WO2019057579A1 - Precision finishing machine - Google Patents

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WO2019057579A1
WO2019057579A1 PCT/EP2018/074584 EP2018074584W WO2019057579A1 WO 2019057579 A1 WO2019057579 A1 WO 2019057579A1 EP 2018074584 W EP2018074584 W EP 2018074584W WO 2019057579 A1 WO2019057579 A1 WO 2019057579A1
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WO
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tool
finishing machine
rotor
drive
stator
Prior art date
Application number
PCT/EP2018/074584
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German (de)
French (fr)
Inventor
Markus Mueller
Raphael Koenig
Daniel Sonntag
Original Assignee
Supfina Grieshaber Gmbh & Co. Kg
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Publication date
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Priority to CH00328/20A priority patent/CH715468B1/en
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping

Definitions

  • the invention relates to a finishing machine, with a tool that has a rotating effective surface for
  • Rotary drive of the tool a drive is provided, which is the tool to a perpendicular to the active surface
  • the present invention has for its object to provide a fining machine with the simplest possible structure.
  • This object is achieved according to the invention in a finishing machine of the type mentioned in that the drive is designed in the form of a torque motor having a stator and a rotor, wherein the rotor is connected to the tool without the interposition of other transmission elements and the tool to the
  • a compact drive which makes it possible to arrange further bulky additional components of a fine-machining machine such that
  • the torque motor according to the invention is low-maintenance and is therefore particularly suitable for fine-machining machines that are permanently in use.
  • the drive according to the invention is low-vibration, which further simplifies the construction of the fine-machining machine; it can be a relatively simple frame
  • stator-side housing with a frame of
  • Finishing machine can be connected.
  • the supply of the electrical energy required for the torque motor is simplified.
  • a stator-side housing for supplying a machining fluid (in particular an emulsion for cooling and / or lubrication in a working area in which the active surface of the tool is in contact with the workpiece to be machined).
  • Rotor housing part bounded by a concentric to the axis of rotation cavity. This is particularly advantageous if the rotor is located inside with respect to the stator
  • Rotor housing parts can be used to arrange other components of the finishing machine. This may be in the simplest case to electrical, pneumatic or hydraulic lines.
  • Another way to use the cavity of the rotor is a sensor element, which serves to detect a processing parameter, in the cavity
  • This may, for example, a
  • Act sensor element by means of which a material removal, which results from the machining of the workpiece detected.
  • the ablated layer thickness can be detected, from which then the remaining (residual) thickness of
  • Sensor element other processing parameters (for example, temperature and / or pressure) detected.
  • Another way to use the cavity of the rotor is to arrange an assembly in the cavity, which comprises at least one bearing, by means of which the tool and the rotor are rotatably mounted about the axis of rotation on a stator housing.
  • a cavity of the rotor can be used optimally and a particularly compact drive unit can be provided; in the radially outer environment of the stator creates free space.
  • At least one tool of the finishing machine by means of an axial-radial bearing is mounted on a stator housing part. This makes it possible to provide a tool which is particularly precisely aligned with regard to both its axial position and its radial position, with respect to the axis of rotation. This is particularly advantageous when the finishing machine has multiple tools.
  • Finishing machine has multiple tools, it is preferred if at least one tool of
  • Finishing machine is mounted by means of a tapered roller bearing on a stator housing.
  • a particularly stable and inexpensive storage of a tool is possible.
  • For a tolerance compensation is advantageously provided that between the
  • Such a compensation element forms in the context of the present invention, no transmission element
  • a transmission element is rather understood an element by means of which a transfer or reduction or a deflection of a drive movement is realized.
  • Finishing machine is or are flat.
  • the tool is a grinding tool, lapping tool or polishing tool.
  • Finishing machine is designed in the form of a double-sided surface grinding machine.
  • Grinding machine has two grinding tools with two mutually facing flat active surfaces that limit a working area.
  • a separate drive in each case in the form of a torque motor, is provided for each of these grinding tools.
  • Fig. 1 is a perspective view of a
  • Fig. 2 is a perspective view of a first
  • Fig. 3 is a perspective view of a second
  • FIG. 1 Assembly of the fine machining machine according to FIG. 1.
  • an embodiment of a finishing machine is shown, which is generally designated by the reference numeral 10.
  • the reference numeral 10 In the
  • Finishing machine 10 is a
  • Double side grinding machine This one has
  • Machine frame 12 which has a stationary frame member 14 in the form of a cylindrical wall, the
  • Receiving screws 16 is used, by means of which a first assembly 18 shown in Figure 2 is attached to the frame 12.
  • the frame 12 also has a reference to the
  • the carriage 22 has a slide member 24, for example in the form of a
  • the first assembly 18 has a receiving disc 30 for receiving and cooling for a first, lower
  • Abrasive tool 32 which is covered with an abrasive layer 34 having a flat active surface 36 of the
  • Abrasive tool 32 forms.
  • the second assembly 28 has a receiving disk 38 for receiving and cooling a second, upper grinding tool 40 in a corresponding manner. This one is with one Abrasive layer 42 is provided, which forms a flat active surface 44.
  • a limited between the mutually parallel active surfaces 36 and 44 working space 46 is used to arrange facing away from each other sides to be sanded workpieces.
  • a rotor disk 48 is provided, with a workpiece disk 50, in which
  • Nests 52 are provided for the arrangement of workpieces to be ground.
  • the workpiece disk 50 is supported between an inner ring 54 and a fixed one
  • the inner ring 54 is at one
  • Rotation axis 58 rotatably driven around.
  • Transfer workpiece disc 50 which rolls on the outer rim 56. Characterized in that the nests 52 eccentric with respect to a central axis of the workpiece disc 50
  • a rotary drive of the rotor disc 48 is designated overall by the reference numeral 60.
  • the drive 60 comprises a drive motor 62, a diagrammatically illustrated 90 ° bevel gear 64 and a drive shaft 66, which
  • Inner rim 54 is provided.
  • the drive shaft 66 extends through a cavity 70 which is concentric with the axis of rotation 58 and which is delimited by a rotor housing part 72 (see FIG. 2) which is connected to an electric rotor 74.
  • Rotor housing part 72 is arranged by means of radially inwardly disposed screws 76 and by means of radially outside
  • Screw 78 is connected to a collar part 80 which is also concentric with the axis of rotation 58 and rotates together with the rotor 74 and the rotor housing part 72 about the rotation axis 58.
  • the collar 80 is further connected to a bearing ring 82 which forms an outer ring of an axial-radial bearing, generally designated by reference numeral 84.
  • the first assembly 18 further includes a stator base plate 86 which is connected to a hollow cylindrical Statorgekoruseteil 88 which defines an electric stator 90 radially outward.
  • the electric stator 90 and the stator housing part 88 are connected to each other via another stator housing part 92
  • the electric rotor 74 and the electric stator 90 together form a torque motor 96.
  • the electric rotor 74 rotates together the rotor housing part 72 and the collar part 80, which in turn is connected to a support plate 98, which with the
  • Grinding tool 32 carries the rotor housing part 72, a total annular index element 100, which cooperates with a (not shown) measuring sensor.
  • Measuring sensor is preferably part of the control of the torque motor 96, so that a monitoring and control of
  • the assembly 28 comprises a carrier disc 102 for attachment of the receiving disc 38, which in turn is connected to the second grinding tool 40 (see Figure 1).
  • the carrier disk 102 is provided with a
  • Rotor shaft 104 connected to which inner rings 106 of tapered roller bearings 108 are arranged.
  • the rotor shaft 104 is connected via a collar disc 110 with an electric rotor 112.
  • the electric rotor 112 cooperates with an electric stator 114.
  • the rotor 112 and the stator 114 together form a torque motor 116.
  • the electric stator 114 is bounded by a
  • the support plate 122 is radially outwardly beyond the
  • Screw 26 connected to the carriage 22. Radial inside is the carrier disk 122 with another
  • Statorgekoruseteil 124 which carries bearing rings 126 which form the outer rings of the tapered roller bearings 108.
  • the electric stator 112 defines a cavity 128, which serves for the arrangement of the above-described, with respect to the rotor 112 radially inner components, in particular the bearing 108 and the rotor shaft 104th
  • the components rotating together with the rotor 112 rotate about a rotation axis 130. This rotation axis is aligned with the rotation axis 58 of the first torque motor 96 of the first assembly 18.
  • the rotor shaft 104 is hollow. This allows the implementation of a supply line 132 of a
  • Carrier disk 102 comprises a compensation element 135 in the form a spherical cap, which enables an angular compensation of the attached to the receiving disk 38 second grinding tool 40.
  • the assemblies 18 and 28 described above form compact drive units for the
  • Replacement assembly to be mounted when a torque motor 96 or 116 is to be maintained.
  • the assembly 18 and 28 each include cooling means 134, 136 for cooling the torque motors 96 and 116, respectively.
  • the cooling means 134 of the torque motor 96 includes a radially inward accessible inlet 138 and an outlet 140. Between the inlet 138 and the outlet 140 a cooling jacket 142 is arranged.
  • the cooling device 136 of the torque motor 116 has an identical structure. Below is an optional cooling
  • An inlet of this optional system is formed, for example, by a coolant inlet 144 (see Figure 3) disposed in the carrier disk 122.
  • Cooling chambers 146 and 148 The refrigerator 146 feeds a Line 150, passes through which cooling fluid into the working space 46 and then from above on the drive pulley 68 of the rotary actuator 60 strikes. From there, the cooling fluid passes through radial bores 152 in the receiving disk 30, so that their cooling channels 154 are supplied.
  • the cooling channels 154 are closable radially on the outside by throttle element 156, so that a fluid flow of the cooling fluid is controllable.
  • the second cooling chamber 148 (see FIG. 3) feeds corresponding cooling channels 158 of the receiving disk 38.
  • Throttling elements 160 are also provided there for controlling a fluid flow.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Turning (AREA)

Abstract

The invention relates to precision finishing machine, with a tool which has a rotating effective surface (36, 44) for machining a workpiece, wherein for rotationally driving the tool a drive which drives the tool about an axis of rotation (58) perpendicular to the effective surface is provided, wherein the drive takes the form of a torque motor which has a stator and a rotor, wherein the rotor is connected to the tool without any further gear elements in between and drives the tool about the axis of rotation (58).

Description

Titel: Feinbearbeitungsmaschine Title: Finishing Machine
Beschreibung description
Die Erfindung betrifft eine Feinbearbeitungsmaschine, mit einem Werkzeug, das eine rotierende Wirkfläche zur The invention relates to a finishing machine, with a tool that has a rotating effective surface for
Bearbeitung eines Werkstücks aufweist, wobei für den Processing a workpiece, wherein for the
Rotationsantrieb des Werkzeugs ein Antrieb vorgesehen ist, der das Werkzeug um eine zu der Wirkfläche senkrechte  Rotary drive of the tool, a drive is provided, which is the tool to a perpendicular to the active surface
Rotationsachse antreibt. Aus der EP 2 689 891 A2 ist eine Zweischeibenmaschine zur Oberflächenbearbeitung bekannt, bei welcher eine Rotary axis drives. From EP 2 689 891 A2 a two-disc machine for surface treatment is known in which a
monolithische Einheit aus einem Hartgestein vorgesehen ist, welches zur Anordnung verschiedener Antriebe und Getriebe dient . Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Feinbearbeitungsmaschine mit einem möglichst einfachen Aufbau anzugeben. Diese Aufgabe wird bei einer Feinbearbeitungsmaschine der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Antrieb in Form eines Torque-Motors ausgebildet ist, der einen Stator und einen Rotor aufweist, wobei der Rotor ohne Zwischenschaltung weiterer Getriebeelemente mit dem Werkzeug verbunden ist und das Werkzeug um die monolithic unit is provided from a hard rock, which serves to arrange various drives and gearbox. The present invention has for its object to provide a fining machine with the simplest possible structure. This object is achieved according to the invention in a finishing machine of the type mentioned in that the drive is designed in the form of a torque motor having a stator and a rotor, wherein the rotor is connected to the tool without the interposition of other transmission elements and the tool to the
Rotationsachse antreibt. Rotary axis drives.
Erfindungsgemäß wird ein kompakter Antrieb bereitgestellt, der es ermöglicht, teils raumgreifende weitere Bauteile einer Feinbearbeitungsmaschine so anzuordnen, dass According to the invention, a compact drive is provided, which makes it possible to arrange further bulky additional components of a fine-machining machine such that
insgesamt eine kompakt und einfach aufgebaute altogether a compact and simply constructed
Feinbearbeitungsmaschine bereitgestellt werden kann. Der erfindungsgemäße Torque-Motor ist wartungsarm und eignet sich daher insbesondere für Feinbearbeitungsmaschinen, die dauerhaft im Einsatz sind. Finishing machine can be provided. The torque motor according to the invention is low-maintenance and is therefore particularly suitable for fine-machining machines that are permanently in use.
Ferner ist der erfindungsgemäße Antrieb schwingungsarm, wodurch sich der Aufbau der Feinbearbeitungsmaschine weiter vereinfacht; es kann ein relativ einfaches Gestell Furthermore, the drive according to the invention is low-vibration, which further simplifies the construction of the fine-machining machine; it can be a relatively simple frame
verwendet werden, da es nicht dazu geeignet sein muss, vom Antrieb erzeugte Schwingungen zu dämpfen oder zu can be used because it does not have to be suitable for damping or generating vibrations generated by the drive
kompensieren . compensate.
Ein besonders vorteilhafter Aufbau ergibt sich, wenn der Rotor bezogen auf den Stator innenliegend angeordnet ist (sogenannte "Innenläufer"-Konfiguration) . Dies hat den Vorteil, dass der bezogen auf den Rotor radial A particularly advantageous structure results when the rotor is arranged on the inside relative to the stator (so-called "inner rotor" configuration). This has the advantage that the radial relative to the rotor
außenliegende Stator in einfacher Weise über ein external stator in a simple manner over
statorseitiges Gehäuse mit einem Gestell der stator-side housing with a frame of
Feinbearbeitungsmaschine verbunden werden kann. Außerdem vereinfacht sich die Zuführung der für den Torque-Motor erforderlichen elektrischen Energie. Ferner ist es möglich, von radial außen her ein Kühlmedium, das zur Kühlung des Torque-Motors dient, zu- und abzuführen. Ferner ist es möglich, ein statorseitiges Gehäuse für die Zuführung eines Bearbeitungsfluids zu nutzen (insbesondere eine Emulsion zur Kühlung und/oder Schmierung in einem Arbeitsbereich, in welchem die Wirkfläche des Werkzeugs in Kontakt mit dem zu bearbeitenden Werkstück steht) . Finishing machine can be connected. In addition, the supply of the electrical energy required for the torque motor is simplified. Furthermore, it is possible to supply and remove from the outside radially a cooling medium which serves for cooling the torque motor. Furthermore, it is possible to use a stator-side housing for supplying a machining fluid (in particular an emulsion for cooling and / or lubrication in a working area in which the active surface of the tool is in contact with the workpiece to be machined).
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der In a particularly preferred embodiment of the
Erfindung ist vorgesehen, dass der Rotor und/oder ein Invention is provided that the rotor and / or a
Rotorgehäuseteil einen zur Rotationsachse konzentrischen Hohlraum umgrenzt. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn der Rotor bezogen auf den Stator innenliegend Rotor housing part bounded by a concentric to the axis of rotation cavity. This is particularly advantageous if the rotor is located inside with respect to the stator
angeordnet ist. Der Hohlraum des Rotors oder des is arranged. The cavity of the rotor or the
Rotorgehäuseteils kann zur Anordnung weiterer Komponenten der Feinbearbeitungsmaschine genutzt werden. Hierbei kann es sich im einfachsten Fall um elektrische, pneumatische oder hydraulische Leitungen handeln. Rotor housing parts can be used to arrange other components of the finishing machine. This may be in the simplest case to electrical, pneumatic or hydraulic lines.
Besonders bevorzugt ist es, wenn in dem Hohlraum ein It is particularly preferred if in the cavity a
Antriebselement für einen Drehantrieb einer Läuferscheibe angeordnet ist. Eine solche Läuferscheibe wird zur Drive element is arranged for a rotary drive of a rotor disc. Such a carrier becomes the
Positionierung von Werkstücken in einem Arbeitsbereich der Feinbearbeitungsmaschine verwendet. Der Drehantrieb der Läuferscheibe ermöglicht eine von einer Bewegung des Positioning of workpieces in a working area of the Finishing machine used. The rotary drive of the rotor disc allows one of a movement of the
Werkzeugs unabhängige Möglichkeit zur Steuerung einer Tool's independent way to control a
Bewegung eines oder mehrerer Werkstücke. Movement of one or more workpieces.
Eine weitere Möglichkeit, den Hohlraum des Rotors zu nutzen, besteht darin, ein Sensorelement, das zur Erfassung eines Bearbeitungsparameters dient, in dem Hohlraum Another way to use the cavity of the rotor, is a sensor element, which serves to detect a processing parameter, in the cavity
anzuordnen. Dabei kann es sich beispielsweise um ein to arrange. This may, for example, a
Sensorelement handeln, mittels welchem ein Materialabtrag, der durch die Bearbeitung des Werkstücks entsteht, erfasst. Insbesondere kann die abgetragene Schichtstärke erfasst werden, woraus die dann verbleibende (Rest-) Dicke des Act sensor element, by means of which a material removal, which results from the machining of the workpiece detected. In particular, the ablated layer thickness can be detected, from which then the remaining (residual) thickness of
Werkstücks resultiert. Es ist auch denkbar, dass das Workpiece results. It is also conceivable that the
Sensorelement andere Bearbeitungsparameter (beispielsweise Temperatur und/oder Druck) erfasst. Sensor element other processing parameters (for example, temperature and / or pressure) detected.
Eine weitere Möglichkeit, den Hohlraum des Rotors zu nutzen, besteht darin, eine Baugruppe in dem Hohlraum anzuordnen, das mindestens ein Lager umfasst, mittels welchem das Werkzeug und der Rotor um die Rotationsachse drehbar an einem Statorgehäuseteil gelagert sind. Hierdurch kann ein Hohlraum des Rotors optimal genutzt und eine besonders kompakte Antriebseinheit bereitgestellt werden; in der radial äußeren Umgebung des Stators entsteht freier Bauraum . Another way to use the cavity of the rotor, is to arrange an assembly in the cavity, which comprises at least one bearing, by means of which the tool and the rotor are rotatably mounted about the axis of rotation on a stator housing. As a result, a cavity of the rotor can be used optimally and a particularly compact drive unit can be provided; in the radially outer environment of the stator creates free space.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der In a further preferred embodiment of the
Erfindung ist vorgesehen, dass zumindest ein Werkzeug der Feinbearbeitungsmaschine mittels eines Axial-Radial-Lagers an einem Statorgehäuseteil gelagert ist. Dies ermöglicht die Bereitstellung eines Werkzeugs, das sowohl hinsichtlich seiner axialen Position als auch hinsichtlich seiner radialen Position, jeweils bezogen auf die Rotationsachse, besonders genau ausgerichtet ist. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Feinbearbeitungsmaschine mehrere Werkzeuge aufweist. Invention is provided that at least one tool of the finishing machine by means of an axial-radial bearing is mounted on a stator housing part. This makes it possible to provide a tool which is particularly precisely aligned with regard to both its axial position and its radial position, with respect to the axis of rotation. This is particularly advantageous when the finishing machine has multiple tools.
Insbesondere für den Fall, dass die Especially in the event that the
Feinbearbeitungsmaschine mehrere Werkzeuge aufweist, ist es bevorzugt, wenn zumindest ein Werkzeug der Finishing machine has multiple tools, it is preferred if at least one tool of
Feinbearbeitungsmaschine mittels eines Kegelrollenlagers an einem Statorgehäuseteil gelagert ist. Auf diese Weise wird eine besonders stabile und preisgünstige Lagerung eines Werkzeugs ermöglicht. Für einen Toleranzausgleich ist in vorteilhafterweise vorgesehen, dass zwischen dem  Finishing machine is mounted by means of a tapered roller bearing on a stator housing. In this way, a particularly stable and inexpensive storage of a tool is possible. For a tolerance compensation is advantageously provided that between the
Statorgehäuseteil und dem Werkzeug ein Ausgleichselement vorgesehen ist, wodurch eine Neigung des Werkzeugs und dessen Wirkfläche zumindest in einem geringfügigen Maß (beispielsweise maximal ein oder zwei Winkelgrad) Statorgehäuseteil and the tool is provided a compensating element, whereby an inclination of the tool and its effective area at least to a small extent (for example, a maximum of one or two angular degrees)
veränderbar ist. Ein solches Ausgleichselement bildet im Rahmen der vorliegenden Erfindung kein Getriebeelement; is changeable. Such a compensation element forms in the context of the present invention, no transmission element;
unter einem Getriebeelement wird vielmehr ein Element verstanden, mittels welchem eine Über- oder Untersetzung oder eine Umlenkung einer Antriebsbewegung realisiert wird. by a transmission element is rather understood an element by means of which a transfer or reduction or a deflection of a drive movement is realized.
Besondere Vorteile ergeben sich ferner, wenn die Wirkfläche des Werkzeugs oder die Wirkflächen der Werkzeuge der Particular advantages also arise when the effective surface of the tool or the active surfaces of the tools
Feinbearbeitungsmaschine eben ist oder sind. Im Rahmen der Erfindung ist es möglich, dass das Werkzeug ein Schleifwerkzeug, Läppwerkzeug oder Polierwerkzeug ist. Finishing machine is or are flat. In the context of the invention, it is possible that the tool is a grinding tool, lapping tool or polishing tool.
Besondere Vorteile ergeben sich, wenn die Special advantages arise when the
Feinbearbeitungsmaschine in Form einer Doppelseiten- Planschleifmaschine ausgebildet ist. Eine solche Finishing machine is designed in the form of a double-sided surface grinding machine. Such
Schleifmaschine weist zwei Schleifwerkzeuge mit zwei einander zugewandten ebenen Wirkflächen auf, die einen Arbeitsbereich begrenzen. Vorzugsweise ist für jedes dieser Schleifwerkzeuge ein eigener Antrieb, insbesondere jeweils in Form eines Torque-Motors , vorgesehen. Grinding machine has two grinding tools with two mutually facing flat active surfaces that limit a working area. Preferably, a separate drive, in each case in the form of a torque motor, is provided for each of these grinding tools.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung und der zeichnerischen Further features and advantages of the invention are the subject of the following description and the drawings
Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels. Representation of a preferred embodiment.
In den Zeichnungen zeigen: In the drawings show:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Fig. 1 is a perspective view of a
Ausführungsform einer Feinbearbeitungsmaschine;  Embodiment of a Finishing Machine;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer ersten Fig. 2 is a perspective view of a first
Baugruppe der Feinbearbeitungsmaschine gemäß Fig. 1 ; und  Assembly of the finishing machine of FIG. 1; and
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Fig. 3 is a perspective view of a second
Baugruppe der Feinbearbeitungsmaschine gemäß Fig. 1. In der Zeichnung ist eine Ausführungsform einer Feinbearbeitungsmaschine dargestellt, welche insgesamt mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Bei der Assembly of the fine machining machine according to FIG. 1. In the drawing, an embodiment of a finishing machine is shown, which is generally designated by the reference numeral 10. In the
Feinbearbeitungsmaschine 10 handelt es sich um eine Finishing machine 10 is a
Doppelseitenplanschleifmaschine . Diese weist ein Double side grinding machine. This one has
Maschinengestell 12 auf, welches ein ortsfestes Gestellteil 14 in Form einer zylindrischen Wand aufweist, das zur  Machine frame 12, which has a stationary frame member 14 in the form of a cylindrical wall, the
Aufnahme von Schrauben 16 dient, mittels welchen eine in Figur 2 dargestellte, erste Baugruppe 18 an dem Gestell 12 befestigt ist. Receiving screws 16 is used, by means of which a first assembly 18 shown in Figure 2 is attached to the frame 12.
Das Gestell 12 weist ferner eine bezogen auf die The frame 12 also has a reference to the
Schwerkraftrichtung vertikale Führungsschiene 20 auf, längs welcher ein Schlitten 22 bewegbar ist. Der Schlitten 22 weist ein Schlittenteil 24, beispielsweise in Form einesDirection of gravity vertical guide rail 20, along which a carriage 22 is movable. The carriage 22 has a slide member 24, for example in the form of a
Flansches auf, der gemeinsam mit dem Schlitten 22 längs der Führung 20 bewegbar ist und an welchem mittels Schrauben 26 eine in Figur 3 dargestellte zweite Baugruppe 28 befestigt ist . Flange, which is movable together with the carriage 22 along the guide 20 and to which by means of screws 26, a second assembly 28 shown in Figure 3 is attached.
Die erste Baugruppe 18 weist eine Aufnahmescheibe 30 zur Aufnahme und Kühlung für ein erstes, unteres The first assembly 18 has a receiving disc 30 for receiving and cooling for a first, lower
Schleifwerkzeug 32 auf, das mit einer Schleifmittelschicht 34 belegt ist, die eine ebene Wirkfläche 36 des Abrasive tool 32, which is covered with an abrasive layer 34 having a flat active surface 36 of the
Schleifwerkzeugs 32 bildet. Abrasive tool 32 forms.
Die zweite Baugruppe 28 weist in entsprechender Weise eine Aufnahmescheibe 38 zur Aufnahme und Kühlung eines zweiten, oberen Schleifwerkzeugs 40 auf. Diese ist mit einer Schleifmittelschicht 42 versehen, die eine ebene Wirkfläche 44 bildet. The second assembly 28 has a receiving disk 38 for receiving and cooling a second, upper grinding tool 40 in a corresponding manner. This one is with one Abrasive layer 42 is provided, which forms a flat active surface 44.
Ein zwischen den zueinander parallelen Wirkflächen 36 und 44 begrenzter Arbeitsraum 46 dient zur Anordnung von aufeinander abgewandten Seiten zu schleifenden Werkstücken. A limited between the mutually parallel active surfaces 36 and 44 working space 46 is used to arrange facing away from each other sides to be sanded workpieces.
Zur Handhabung der Werkstücke ist eine Läuferscheibe 48 vorgesehen, mit einer Werkstückscheibe 50, in welcher For handling the workpieces, a rotor disk 48 is provided, with a workpiece disk 50, in which
Nester 52 zur Anordnung von zu schleifenden Werkstücken vorgesehen sind. Die Werkstückscheibe 50 stützt sich zwischen einem Innenkranz 54 und einem ortsfesten Nests 52 are provided for the arrangement of workpieces to be ground. The workpiece disk 50 is supported between an inner ring 54 and a fixed one
Außenkranz 56 ab. Der Innenkranz 54 ist um eine Outer ring 56 from. The inner ring 54 is at one
Rotationsachse 58 herum drehbar antreibbar. Eine Rotation axis 58 rotatably driven around. A
Drehbewegung des Innenkranzes 54 wird auf die Rotary movement of the inner ring 54 is on the
Werkstückscheibe 50 übertragen, welche an dem Außenkranz 56 abwälzt. Dadurch, dass die Nester 52 bezogen auf eine zentrale Achse der Werkstückscheibe 50 exzentrisch  Transfer workpiece disc 50, which rolls on the outer rim 56. Characterized in that the nests 52 eccentric with respect to a central axis of the workpiece disc 50
angeordnet sind, bewegen sich die in den Nestern 52 are arranged, move in the nests 52nd
aufgenommenen Werkstücke bei Drehung der Werkstückscheibe 50 entlang einer Zykloidbahn. recorded workpieces upon rotation of the workpiece disk 50 along a cycloid trajectory.
Ein Drehantrieb der Läuferscheibe 48 ist insgesamt mit dem Bezugszeichen 60 bezeichnet. Der Antrieb 60 umfasst einen Antriebsmotor 62, ein nur schematisch dargestelltes 90°- Winkelgetriebe 64 und eine Antriebswelle 66, welche A rotary drive of the rotor disc 48 is designated overall by the reference numeral 60. The drive 60 comprises a drive motor 62, a diagrammatically illustrated 90 ° bevel gear 64 and a drive shaft 66, which
konzentrisch zu der Rotationsachse 58 verläuft und an ihrem Ende mit einer Antriebsscheibe 68 zum Antrieb des concentric with the axis of rotation 58 extends and at its end with a drive pulley 68 for driving the
Innenkranzes 54 versehen ist. Die Antriebswelle 66 verläuft durch einen zu der Rotationsachse 58 konzentrischen Hohlraum 70, der von einem Rotorgehäuseteil 72 (vgl. Figur 2) umgrenzt ist, welches mit einem elektrischen Rotor 74 verbunden ist. Das Inner rim 54 is provided. The drive shaft 66 extends through a cavity 70 which is concentric with the axis of rotation 58 and which is delimited by a rotor housing part 72 (see FIG. 2) which is connected to an electric rotor 74. The
Rotorgehäuseteil 72 ist mittels radial innen angeordneten Schrauben 76 und mittels radial außen angeordneten Rotor housing part 72 is arranged by means of radially inwardly disposed screws 76 and by means of radially outside
Schrauben 78 mit einem Kragenteil 80 verbunden, das ebenfalls zu der Rotationsachse 58 konzentrisch ist und gemeinsam mit dem Rotor 74 und dem Rotorgehäuseteil 72 um die Rotationsachse 58 rotiert. Screw 78 is connected to a collar part 80 which is also concentric with the axis of rotation 58 and rotates together with the rotor 74 and the rotor housing part 72 about the rotation axis 58.
Der Kragen 80 ist ferner mit einem Lagerring 82 verbunden, der einen Außenring eines insgesamt mit dem Bezugszeichen 84 bezeichneten Axial-Radial-Lagers bildet. The collar 80 is further connected to a bearing ring 82 which forms an outer ring of an axial-radial bearing, generally designated by reference numeral 84.
Die erste Baugruppe 18 weist ferner eine statorseitige Grundplatte 86 auf, welches mit einem hohlzylindrischen Statorgehäuseteil 88 verbunden ist, der einen elektrischen Stator 90 nach radial außen begrenzt. The first assembly 18 further includes a stator base plate 86 which is connected to a hollow cylindrical Statorgehäuseteil 88 which defines an electric stator 90 radially outward.
Der elektrische Stator 90 und das Statorgehäuseteil 88 sind über ein weiteres Statorgehäuseteil 92 miteinander The electric stator 90 and the stator housing part 88 are connected to each other via another stator housing part 92
verbunden. An dem weiteren Statorgehäuseteil 92 ist ein Innenring 94 des Lagers 84 angeordnet. connected. At the other Statorgehäuseteil 92, an inner ring 94 of the bearing 84 is arranged.
Der elektrische Rotor 74 und der elektrische Stator 90 bilden gemeinsam einen Torque-Motor 96. The electric rotor 74 and the electric stator 90 together form a torque motor 96.
Bei Beaufschlagung des Torque-Motors 96 mit elektrischer Energie dreht sich der elektrische Rotor 74 gemeinsam mit dem Rotorgehäuseteil 72 und dem Kragenteil 80, das wiederum mit einer Trägerscheibe 98 verbunden ist, die mit der Upon application of electric power to the torque motor 96, the electric rotor 74 rotates together the rotor housing part 72 and the collar part 80, which in turn is connected to a support plate 98, which with the
Aufnahmescheibe 30 verbunden ist. An dieser ist das in Figur 1 sichtbare, untere Schleifwerkzeug 32 befestigt, das somit mittels des Torque-Motors 96 in Rotation um die Achse 58 herum versetzt wird, ohne dass hierfür weitere Recording disc 30 is connected. At this the visible in Figure 1, lower grinding tool 32 is fixed, which is thus offset by means of the torque motor 96 in rotation about the axis 58 around, without further thereto
Getriebeelemente vorgesehen sind. Gear elements are provided.
Zur Erfassung einer Geschwindigkeit der Drehung des For detecting a speed of rotation of the
Schleifwerkzeugs 32 trägt das Rotorgehäuseteil 72 ein insgesamt ringförmiges Indexelement 100, das mit einem (nicht dargestellten) Messsensor zusammenwirkt. Der Grinding tool 32 carries the rotor housing part 72, a total annular index element 100, which cooperates with a (not shown) measuring sensor. The
Messsensor ist vorzugweise Teil der Steuerung des Torque- Motors 96, so dass eine Überwachung und Regelung zur Measuring sensor is preferably part of the control of the torque motor 96, so that a monitoring and control of
Einhaltung einer Sollgeschwindigkeit des Schleifwerkzeugs bereitgestellt ist. Compliance with a desired speed of the grinding tool is provided.
Nachfolgend wird zur Beschreibung der zweiten Baugruppe 28 auf Figur 3 Bezug genommen. Die Baugruppe 28 umfasst eine Trägerscheibe 102 zur Befestigung der Aufnahmescheibe 38, die wiederum mit dem zweiten Schleifwerkzeug 40 (vgl. Figur 1) verbunden ist. Die Trägerscheibe 102 ist mit einer Hereinafter, the description of the second assembly 28 will be referred to FIG. The assembly 28 comprises a carrier disc 102 for attachment of the receiving disc 38, which in turn is connected to the second grinding tool 40 (see Figure 1). The carrier disk 102 is provided with a
Rotorwelle 104 verbunden, an welcher Innenringe 106 von Kegelrollenlagern 108 angeordnet sind. Rotor shaft 104 connected to which inner rings 106 of tapered roller bearings 108 are arranged.
Die Rotorwelle 104 ist über eine Kragenscheibe 110 mit einem elektrischen Rotor 112 verbunden. Der elektrische Rotor 112 wirkt mit einem elektrischen Stator 114 zusammen. Der Rotor 112 und der Stator 114 bilden gemeinsam einen Torque-Motor 116. Der elektrische Stator 114 ist umgrenzt von einem The rotor shaft 104 is connected via a collar disc 110 with an electric rotor 112. The electric rotor 112 cooperates with an electric stator 114. The rotor 112 and the stator 114 together form a torque motor 116. The electric stator 114 is bounded by a
hohlzylindrischen Statorgehäuseteil 118, das an seinem oberen Ende mit einer Abdeckung 120 und an seinem unteren Ende mit einer Trägerplatte 122 verbunden ist. hollow cylindrical Statorgehäuseteil 118, which is connected at its upper end with a cover 120 and at its lower end with a support plate 122.
Die Trägerplatte 122 wird radial außen über die The support plate 122 is radially outwardly beyond the
Verschraubung 26 mit dem Schlitten 22 verbunden. Radial innen ist die Trägerscheibe 122 mit einem weiteren Screw 26 connected to the carriage 22. Radial inside is the carrier disk 122 with another
Statorgehäuseteil 124 verbunden, das Lagerringe 126 trägt, welche die Außenringe der Kegelrollenlager 108 bilden. Statorgehäuseteil 124 which carries bearing rings 126 which form the outer rings of the tapered roller bearings 108.
Der elektrische Stator 112 umgrenzt einen Hohlraum 128, welcher zur Anordnung der vorstehend beschriebenen, bezogen auf den Rotor 112 radial innenliegenden Bauteile dient, insbesondere der Lager 108 und der Rotorwelle 104. The electric stator 112 defines a cavity 128, which serves for the arrangement of the above-described, with respect to the rotor 112 radially inner components, in particular the bearing 108 and the rotor shaft 104th
Die mit dem Rotor 112 gemeinsam rotierenden Bauteile rotieren um eine Rotationsachse 130. Diese Rotationsachse fluchtet mit der Rotationsachse 58 des ersten Torque-Motors 96 der ersten Baugruppe 18. The components rotating together with the rotor 112 rotate about a rotation axis 130. This rotation axis is aligned with the rotation axis 58 of the first torque motor 96 of the first assembly 18.
Die Rotorwelle 104 ist hohl ausgebildet. Dies ermöglicht die Durchführung einer Versorgungsleitung 132 eines The rotor shaft 104 is hollow. This allows the implementation of a supply line 132 of a
insgesamt mit dem Bezugszeichen 134 bezeichneten generally designated by the reference numeral 134
Sensorelements, das dem Arbeitsraum 46 zugewandt ist und zur Erfassung eines Materialabtrags dient.  Sensor element, which faces the working space 46 and serves to detect a material removal.
Die Verbindung zwischen der Rotorwelle 104 und der The connection between the rotor shaft 104 and the
Trägerscheibe 102 umfasst ein Ausgleichselement 135 in Form einer Kugelkalotte, welche einen Winkelausgleich des an der Aufnahmescheibe 38 befestigten zweiten Schleifwerkzeugs 40 ermöglicht . Die vorstehend beschriebenen Baugruppen 18 beziehungsweise 28 bilden kompakte Antriebseinheiten für die Carrier disk 102 comprises a compensation element 135 in the form a spherical cap, which enables an angular compensation of the attached to the receiving disk 38 second grinding tool 40. The assemblies 18 and 28 described above form compact drive units for the
Schleifwerkzeuge 32 beziehungsweise 40. Sie können als separate Baugruppen vorgehalten werden und als Grinding tools 32 and 40. They can be kept as separate assemblies and as
Austauschbaugruppe montiert werden, wenn ein Torque-Motor 96 beziehungsweise 116 gewartet werden soll. Replacement assembly to be mounted when a torque motor 96 or 116 is to be maintained.
Die Baugruppe 18 und 28 umfassen jeweils Kühleinrichtungen 134, 136 zur Kühlung der Torque-Motoren 96 beziehungsweise 116. Die Kühleinrichtung 134 des Torque-Motors 96 umfasst einen von radial außen zugänglichen Einlass 138 und einen Auslass 140. Zwischen dem Einlass 138 und dem Auslass 140 ist ein Kühlmantel 142 angeordnet. Die Kühleinrichtung 136 des Torque-Motors 116 weist einen identischen Aufbau auf. Nachfolgend wird ein optionales Kühl-The assembly 18 and 28 each include cooling means 134, 136 for cooling the torque motors 96 and 116, respectively. The cooling means 134 of the torque motor 96 includes a radially inward accessible inlet 138 and an outlet 140. Between the inlet 138 and the outlet 140 a cooling jacket 142 is arranged. The cooling device 136 of the torque motor 116 has an identical structure. Below is an optional cooling
/Schmiermittelversorgungssystem beschrieben, das den / Lubricant supply system described the
Arbeitsraum 46 mit Schmierstoff versorgt und die Working space 46 supplied with lubricant and the
Schleifwerkzeuge 32 und 40 kühlt. Ein Einlass dieses optionalen Systems ist beispielsweise durch einen Kühlmitteleingang 144 (vgl. Figur 3) gebildet, der in der Trägerscheibe 122 angeordnet ist. Grinding tools 32 and 40 cools. An inlet of this optional system is formed, for example, by a coolant inlet 144 (see Figure 3) disposed in the carrier disk 122.
Von der Trägerscheibe 122 gelangt das Kühlfluid zu From the carrier plate 122, the cooling fluid reaches
Kühlraumen 146 und 148. Der Kühlraum 146 speist eine Leitung 150, durch welche Kühlfluid in den Arbeitsraum 46 gelangt und dann von oben auf die Antriebsscheibe 68 des Drehantriebs 60 trifft. Von dort gelangt das Kühlfluid über Radialbohrungen 152 in die Aufnahmescheibe 30, so dass deren Kühlkanäle 154 versorgt werden. Die Kühlkanäle 154 sind radial außen durch Drosselelement 156 verschließbar, so dass ein Fluidstrom des Kühlfluids steuerbar ist. Cooling chambers 146 and 148. The refrigerator 146 feeds a Line 150, passes through which cooling fluid into the working space 46 and then from above on the drive pulley 68 of the rotary actuator 60 strikes. From there, the cooling fluid passes through radial bores 152 in the receiving disk 30, so that their cooling channels 154 are supplied. The cooling channels 154 are closable radially on the outside by throttle element 156, so that a fluid flow of the cooling fluid is controllable.
Der zweite Kühlraum 148 (vgl. Figur 3) speist entsprechende Kühlkanäle 158 der Aufnahmescheibe 38. Zur Steuerung eines Fluidstroms sind auch dort Drosselelemente 160 vorgesehen. The second cooling chamber 148 (see FIG. 3) feeds corresponding cooling channels 158 of the receiving disk 38. Throttling elements 160 are also provided there for controlling a fluid flow.

Claims

Patentansprüche claims
Feinbearbeitungsmaschine (10), mit einem Werkzeug, das eine rotierende Wirkfläche (36, 44) zur Bearbeitung eines Werkstücks aufweist, wobei für den Finishing machine (10), comprising a tool having a rotating effective surface (36, 44) for machining a workpiece, wherein for the
Rotationsantrieb des Werkzeugs ein Antrieb vorgesehen ist, der das Werkzeug um eine zu der Wirkfläche (36, 44) senkrechte Rotationsachse (58, 130) antreibt, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb in Form eines Torque-Motors (96, 116) ausgebildet ist, der einen Stator (74, 112) und einen Rotor (90, 114) aufweist, wobei der Rotor (90, 114) ohne Zwischenschaltung weiterer Getriebeelemente mit dem Werkzeug verbunden ist und das Werkzeug um die Rotationsachse (58, 130) antreibt . Rotary drive of the tool, a drive is provided which drives the tool about a to the active surface (36, 44) perpendicular axis of rotation (58, 130), characterized in that the drive in the form of a torque motor (96, 116) is formed, a stator (74, 112) and a rotor (90, 114), wherein the rotor (90, 114) is connected without the interposition of other transmission elements with the tool and the tool about the rotation axis (58, 130) drives.
Feinbearbeitungsmaschine (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (90, 114) bezogen auf den Stator (74, 112) innenliegend angeordnet ist. Finishing machine (10) according to claim 1, characterized in that the rotor (90, 114) relative to the stator (74, 112) is arranged on the inside.
Feinbearbeitungsmaschine (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (90, 114) und/oder ein Rotorgehäuseteil (72) einen zur Finishing machine (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the rotor (90, 114) and / or a rotor housing part (72) has a for
Rotationsachse (58, 130) konzentrischen Hohlraum (70, 128) umgrenzt. Rotation axis (58, 130) concentric cavity (70, 128) bounded.
Feinbearbeitungsmaschine (10) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Hohlraum (70, 128) ein Antriebselement (66) für einen Drehantrieb (60) einer Läuferscheibe (48) angeordnet ist. Finishing machine (10) according to claim 3, characterized in that in the cavity (70, 128) a drive element (66) for a rotary drive (60) of a rotor disc (48) is arranged.
5. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Hohlraum (70, 128) ein Sensorelement (134) zur Erfassung eines 5. Finishing machine (10) according to claim 3 or 4, characterized in that in the cavity (70, 128), a sensor element (134) for detecting a
Feinbearbeitungsparameters angeordnet ist.  Finishing parameters is arranged.
6. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Hohlraum (70, 128) ein Lager (84, 108) angeordnet ist, mittels welchem das Werkzeug und der Rotor um die 6. Finishing machine (10) according to one of claims 3 to 5, characterized in that in the cavity (70, 128) a bearing (84, 108) is arranged, by means of which the tool and the rotor to the
Rotationsachse (58, 130) drehbar an einem  Rotation axis (58, 130) rotatable on one
Statorgehäuseteil (92, 124) gelagert sind.  Statorgehäuseteil (92, 124) are mounted.
7. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der 7. Finishing machine (10) according to one of
voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Werkzeug der Feinbearbeitungsmaschine (10) mittels eines Axial-Radial-Lagers (84) an einem Statorgehäuseteil (92) gelagert ist.  preceding claims, characterized in that at least one tool of the finishing machine (10) by means of an axial-radial bearing (84) on a stator housing part (92) is mounted.
8. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der 8. Finishing machine (10) according to one of
voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Werkzeug der Feinbearbeitungsmaschine (10) mittels eines Kegelrollenlagers (108) an einem Statorgehäuseteil (124) gelagert ist.  preceding claims, characterized in that at least one tool of the finishing machine (10) by means of a tapered roller bearing (108) on a stator housing part (124) is mounted.
9. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der 9. Finishing machine (10) according to one of
voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wirkfläche (36, 44) eben ist.  preceding claims, characterized in that the active surface (36, 44) is flat.
10. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der 10. Finishing machine (10) according to one of
voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkzeug ein Schleifwerkzeug (32, 40),  preceding claims, characterized in that the tool comprises a grinding tool (32, 40),
Läppwerkzeug oder Polierwerkzeug ist. Lapping or polishing tool is.
11. Feinbearbeitungsmaschine (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die 11. Finishing machine (10) according to one of claims 1 to 9, characterized in that the
Feinbearbeitungsmaschine (10) in Form einer  Finishing machine (10) in the form of a
Doppelseiten-Planschleifmaschine ausgebildet ist.  Double-sided surface grinding machine is formed.
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