WO2019025211A1 - Mikromechanische drucksensorvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren - Google Patents

Mikromechanische drucksensorvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren Download PDF

Info

Publication number
WO2019025211A1
WO2019025211A1 PCT/EP2018/069804 EP2018069804W WO2019025211A1 WO 2019025211 A1 WO2019025211 A1 WO 2019025211A1 EP 2018069804 W EP2018069804 W EP 2018069804W WO 2019025211 A1 WO2019025211 A1 WO 2019025211A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
membrane
micromechanical
sensor device
pressure sensor
functional layer
Prior art date
Application number
PCT/EP2018/069804
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Robert Maul
Friedjof Heuck
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Priority to US16/635,644 priority Critical patent/US11560302B2/en
Priority to CN201880064494.6A priority patent/CN111164400B/zh
Publication of WO2019025211A1 publication Critical patent/WO2019025211A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G01L13/026—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms involving double diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0067—Mechanical properties
    • B81B3/0072—For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L15/00—Devices or apparatus for measuring two or more fluid pressure values simultaneously
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/008—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0264—Pressure sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0127—Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function

Definitions

  • the invention relates to a micromechanical pressure sensor device and a
  • 5a) -c) are schematic representations of an exemplary micromechanical pressure sensor device for explaining the present invention
  • Functional layer for example, a silicon layer.
  • Functional layer F is a membrane M with an underlying cavern A formed.
  • the cavern A is closed at the back by a sealing layer V.
  • Reference numerals P1 to P4 denote a bending detection means arranged in or on the diaphragm M, for example, piezoresistive elements for detecting a bending of the diaphragm M due to an external thereto
  • the deflection detection device outputs with the piezoresistive elements P1 to P4 a first measured value, for example via a bridge circuit.
  • the diaphragm M deforms inwardly into the cavity A, and the bending detecting means P1 to P4 outputs a second different measured value.
  • the applied external pressure change can be detected.
  • piezoresistive elements P1 to P4 are provided on four opposite edges of the membrane M.
  • the invention provides a micromechanical pressure sensor device according to claim 1 and a corresponding production method according to claim 10.
  • the micromechanical pressure sensor device allows a structure whose measurement signal is insensitive to chip deflections, which are caused for example by temperature changes in the environment, but at the same time has a high mechanical stability, since no springs for stress decoupling are necessary.
  • the idea underlying the present invention is based on providing an additional deflection detection device, which only measures the deflection of the pressure sensor device, which is caused by mechanical stress.
  • This additional signal can be from the measurement signal of the actual
  • Pressure measurement signal which is caused only by pressure differences, can be output.
  • the first membrane and the first cavern adjoining it are formed in a first micromechanical functional layer, wherein the second membrane is formed in a second micromechanical functional layer, which is arranged at a distance from the first micromechanical functional layer.
  • both membranes can be produced independently.
  • the second micromechanical functional layer is arranged on one side of the first membrane of the first micromechanical functional layer, wherein the first membrane is closed, wherein the second membrane has a passage opening, and wherein the second cavity between the first membrane and the second membrane is arranged and with the
  • Function layer is arranged a spacer layer.
  • the second cavern can be easily defined via the spacer layer.
  • the first cavity is on a side of the first micromechanical opposite the first membrane
  • micromechanical functional layer is arranged on the sealing layer, wherein the first membrane is closed, wherein the second membrane has a passage opening, and wherein the second cavity between the second membrane and the Closing layer is arranged and communicates fluidically with the passage opening.
  • the closure layer has a second passage opening. This allows two media accesses to be realized.
  • the first membrane and the first cavern adjoining it are formed in a first micromechanical functional layer, wherein the second membrane and the second cavern adjacent thereto in the first micromechanical functional layer are laterally spaced from the first membrane and the first cavern adjacent thereto are formed, and wherein the first cavity and the second cavity on one of the first membrane and second membrane
  • both membranes and caverns can be combined in a single
  • the first membrane is closed, wherein the second membrane has a passage opening.
  • the first cavern forms a reference pressure volume.
  • Deflection detection device on or more piezoresistive elements Such a bending detection device is easily realizable.
  • Fig. 1 a), b) are schematic representations of a micromechanical
  • Fig. 2 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • Fig. 3 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • Fig. 4 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • Fig. 5a) -c) are schematic representations of an exemplary micromechanical
  • Fig. 1 a), b) are schematic representations of a micromechanical
  • reference numeral 2 denotes a first micromechanical
  • Functional layer for example, a silicon layer in which a first membrane 3 and an adjacent cavern 4 are formed.
  • a first membrane 3 and an adjacent cavern 4 are formed.
  • a closure layer 1 is provided, for example, also a silicon layer, by means of which the first cavity 4 is closed.
  • the first membrane 3 is also closed, so that in the first cavity 4, a constant pressure
  • a first bending detection device 6 with piezoresistive elements is provided in and / or on the first diaphragm 3 and serves to detect a bending of the first diaphragm 3 due to an external pressure change applied thereto and due to internal mechanical bending of the pressure sensor device due to stress.
  • the measurement of the bending over the deflection detection device 6 takes place, as described in connection with FIG. 5a) -c), for example via a bridge circuit (not shown).
  • a second micromechanical functional layer 7 Superimposed on the first micromechanical functional layer 2 is a second micromechanical functional layer 7, for example likewise a silicon layer, which has a spacer layer 8 with the first micromechanical layer
  • Function layer 2 is connected. Within the second micromechanical
  • Functional layer 7 and above the first membrane 3 is a second
  • Membrane 9 which has a passage opening 10. Between the first membrane 3 and the second membrane 9, a second cavity 5 is formed. In and / or on the second membrane 9 is a second deflection detection device 1 1 with
  • piezoresistive elements arranged to detect a bending of the second diaphragm 9 due to the internal mechanical bending of the
  • Pressure sensor device is used.
  • the second membrane 9 is designed such that it is not bendable due to the external pressure change.
  • the passage opening 10 allows pressure equalization between the first cavity 4 and the second cavity 5.
  • the first deflection detecting means 6 provides a first measuring signal which is proportional to the external pressure and proportional to internal mechanical deflections of the pressure sensor device.
  • the second deflection detection device 1 1 provides a second measurement signal, which is only proportional to a bending of the second diaphragm due to the internal mechanical
  • Bend the pressure sensor device is. Subtracting the second measurement signal from the first measurement signal, one obtains a corrected measurement signal which is only proportional to the external pressure.
  • the elimination of the unwanted noise component, eg due to stress stresses, due to internal mechanical bending works all the more accurately when the Bending of the pressure sensor device at the positions of the piezoresistive elements of the first deflection detection device 6 and at the positions of the piezoresistive elements of the second deflection detection device 1 1 is equal, so the corresponding piezoresistive elements should be arranged as close to each other.
  • Fig. 2 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • the structure of the first micromechanical functional layer 2, the first membrane 3, the first cavity 4 and the first corresponds
  • the second micromechanical functional layer 7 ' is provided over a spacer layer 8', which is arranged on the closure layer 1, which is connected to the first micromechanical functional layer 2 on the first membrane 3
  • the second membrane 9 ' has a second bending detection device 1 1' with piezoresistive elements, wherein a second cavity 5 'is provided between the second membrane 9' and the closure layer 1.
  • the operations of the first deflection detection device 6 and the second deflection detection device 1 1 ' are analogous to the operation of the above-described first deflection detection device 6 and the second one
  • Deflection detecting device 1 As in the first embodiment, a through hole 10 'is provided in the second diaphragm 9', which provides pressure equalization, so that the second deflection detecting device 1 1 'turn only a bending of the second diaphragm 9' due to the internal
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • a single micromechanical functional layer 2 is provided, in which the first membrane 3 and the underlying first cavity 4 and the second membrane 9 "are integrated with the underlying second cavity 5".
  • the first diaphragm 3 has the first deflection detection device 6, and the second diaphragm 9 "has the second deflection detection device 1 1".
  • the second membrane 9 has a through opening 10" so that it is sensitive only to bending due to internal mechanical stress and is not sensitive to external pressure differences. Both caverns 4, 5 "are closed by the sealing layer 1 on the side opposite the membranes 3, 9".
  • the operation of the first deflection detection device 6 and the second deflection detection device 11 ' is identical to the function of the first deflection device 6 and the second deflection detection device 11 of the first embodiment.
  • this third embodiment is less expensive than the first or second embodiment. Since the second bending detection device 1 1 "with the piezoresistive elements is spatially more separated from the first bending detection device 6 with the piezoresistive elements, the elimination of the interference signal is somewhat inaccurate, which is not critical for specific applications with lower requirements.
  • Through hole 12 is provided in the sealing layer, so that the
  • one or more piezoresistive elements are provided as the deflection detecting means, the invention is not limited thereto, but is applicable to any bending detecting means in principle.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Mikromechanische Drucksensorvorrichtung ist ausgestattet mit einer ersten Membran (3) und einer daran angrenzenden ersten Kaverne (4); einer in und/oder auf der ersten Membran (3) angeordneten ersten Verbiegungserfassungseinrichtung (6) zum Erfassen einer Verbiegung der ersten Membran (3) aufgrund einer daran anliegenden externen Druckänderung und aufgrund einer internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; einer zweiten Membran (9) und einer daran angrenzenden zweiten Kaverne (5); und einer in und/oder auf der zweiten Membran (9) angeordneten zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung (11) zum Erfassen einer Verbiegung der zweiten Membran (9) aufgrund der internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; wobei die zweite Membran (9) derart gestaltet ist, dass sie aufgrund der externen Druckänderung nicht verbiegbar ist.

Description

Beschreibung Titel
Mikromechanische Drucksensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein
entsprechendes Herstellungsverfahren.
Stand der Technik
Obwohl auf beliebige mikromechanische Drucksensorvorrichtungen anwendbar, werden die vorliegende Erfindung und die ihr zugrundeliegende Problematik anhand von mikromechanischen Drucksensorvorrichtungen auf Siliziumbasis erläutert, wie z.B. aus der WO 2013/152 901 A1 bekannt.
Fig. 5a)-c) sind schematische Darstellungen einer beispielhaften mikromechanischen Drucksensorvorrichtung zur Erläuterung der der vorliegenden Erfindung
zugrundeliegenden Problematik, und zwar Fig. 5a), 5b) im Querschnitt und Fig. 5c) in Draufsicht.
In Fig. 5a) und 5b) bezeichnet Bezugszeichen F eine mikromechanische
Funktionsschicht, beispielsweise eine Siliziumschicht. In der mikromechanischen
Funktionsschicht F ist eine Membran M mit einer darunter angeordneten Kaverne A ausgebildet. Die Kaverne A ist rückseitig durch eine Verschlussschicht V verschlossen.
Bezugszeichen P1 bis P4 bezeichnen eine in oder auf der Membran M angeordnete Verbiegungserfassungseinrichtung, beispielsweise piezoresistive Elemente, zum Erfassen einer Verbiegung der Membran M aufgrund einer daran anliegenden externen
Druckänderung. Fig. 5a) bezeichnet den Zustand, in dem der äußere Druck P gleich Pa ist, wobei der Druck P = Pa dem Druck innerhalb der Kaverne A entspricht. In diesem Zustand gibt die Verbiegungserfassungseinrichtung mit den piezoresistiven Elementen P1 bis P4 einen ersten Messwert, beispielsweise über eine Brückenschaltung, aus. Wird der äußere Druck P auf einen höheren Druck P = Pb erhöht, so deformiert sich die Membran M nach innen in die Kaverne A, wobei die Verbiegungserfassungseinrichtung P1 bis P4 einen zweiten unterschiedlichen Messwert ausgibt. Somit lässt sich die anliegende externe Druckänderung erfassen.
Wie in Fig. 5c) dargestellt, sind beispielsweise vier piezoresistive Elemente P1 bis P4 an vier gegenüberliegenden Rändern der Membran M vorgesehen.
Bei der bekannten Drucksensorvorrichtung sind jedoch mechanische Verbiegungen der Membran M nicht ausschließlich auf die externe Druckänderung zurückzuführen, sondern auch auf externe Einflüsse, welche die mikromechanische Drucksensorvorrichtung unter mechanische Spannung bringen, z.B. Verbiegung durch mechanische Verspannung aufgrund eines Verpackungsprozesses (nicht dargestellt), durch Aufbau mit einem
Materialmix mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten oder durch Spannung von Lötverbindungen des aufgebauten und verpackten Sensors auf einer (nicht dargestellten) Montage-Leiterplatte.
Dadurch dass entweder der mechanische Stress in der Drucksensorvorrichtung in das Druckmesssignal eingekoppelt wird oder mechanische Stressentlastungsstrukturen zu einer Verringerung der mechanischen Robustheit führen, sind die bekannten
Drucksensoren in gewisser Weise fehlerbelastet.
Offenbarung der Erfindung
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 1 und ein entsprechendes Herstellungsverfahren nach Anspruch 10.
Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche. Vorteile der Erfindung Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung bzw. das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren ermöglichen eine Erhöhung der
Genauigkeit von mikromechanischen Drucksensoren. Insbesondere ermöglicht die erfindungsgemäße mikromechanische Drucksensorvorrichtung einen Aufbau, dessen Messsignal unempfindlich gegenüber Chipverbiegungen ist, welche beispielsweise durch Temperaturänderungen in der Umgebung hervorgerufen werden, die aber gleichzeitig eine hohe mechanische Stabilität aufweist, da keine Federn zur Stressentkopplung notwendig sind.
Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Idee beruht darauf, eine zusätzliche Verbiegungserfassungseinrichtung vorzusehen, welche lediglich die Verbiegung der Drucksensorvorrichtung, welche durch mechanischen Stress hervorgerufen wird, misst. Dieses Zusatzsignal lässt sich vom Messsignal der eigentlichen
Verbiegungserfassungseinrichtung abziehen, sodass ein unverfälschtes
Druckmesssignal, welches lediglich durch Druckunterschiede hervorgerufen wird, ausgebbar ist.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung sind die erste Membran und die daran angrenzende erste Kaverne in einer ersten mikromechanischen Funktionsschicht gebildet, wobei die zweite Membran in einer zweiten mikromechanischen Funktionsschicht, welche beabstandet von der ersten mikromechanischen Funktionsschicht angeordnet ist, gebildet ist. So lassen sich beide Membranen unabhängig voneinander herstellen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die zweite mikromechanische Funktionsschicht auf einer Seite der ersten Membran der ersten mikromechanischen Funktionsschicht angeordnet, wobei die erste Membran geschlossen ist, wobei die zweite Membran eine Durchgangsöffnung aufweist, und wobei die zweite Kaverne zwischen der ersten Membran und der zweiten Membran angeordnet ist und mit der
Durchgangsöffnung fluidisch kommuniziert. So lassen sich die beiden Membranen eng beieinander anordnen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist zwischen der zweiten
mikromechanischen Funktionsschicht und der ersten mikromechanischen
Funktionsschicht eine Abstandshalterschicht angeordnet ist. So lässt sich die zweite Kaverne leicht über die Abstandshalterschicht definieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die erste Kaverne auf einer der ersten Membran gegenüberliegenden Seite der ersten mikromechanischen
Funktionsschicht durch eine Verschlussschicht verschlossen, wobei die zweite
mikromechanische Funktionsschicht auf der Verschlussschicht angeordnet ist, wobei die erste Membran geschlossen ist, wobei die zweite Membran eine Durchgangsöffnung aufweist, und wobei die zweite Kaverne zwischen der zweiten Membran und der Verschlussschicht angeordnet ist und mit der Durchgangsöffnung fluidisch kommuniziert. So lassen sich beide Membranen in etwa symmetrisch zur ersten Kaverne realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weist die Verschlussschicht eine zweite Durchgangsöffnung auf. So lassen sich zwei Medienzugänge realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung sind die erste Membran und die daran angrenzende erste Kaverne in einer ersten mikromechanischen Funktionsschicht gebildet sind, wobei die zweite Membran und die daran angrenzende zweite Kaverne in der ersten mikromechanischen Funktionsschicht lateral beabstandet von der ersten Membran und der daran angrenzenden ersten Kaverne gebildet sind, und wobei die erste Kaverne und die zweite Kaverne auf einer der ersten Membran und zweiten Membran
gegenüberliegenden Seite der ersten mikromechanischen Funktionsschicht verschlossen sind. So lassen sich beide Membranen und Kavernen in einer einzigen
mikromechanischen Funktionsschicht realisieren.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist die erste Membran geschlossen, wobei die zweite Membran eine Durchgangsöffnung aufweist. So bildet die erste Kaverne ein Referenzdruckvolumen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung weisen die erste
Verbiegungserfassungseinrichtung und/oder die zweite
Verbiegungserfassungseinrichtung ein oder mehrere piezoresistive Elemente auf. Eine derartige Verbiegungserfassungseinrichtung ist leicht realisierbar.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 a), b) schematische Darstellungen einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, und zwar Fig. 1 a) im Querschnitt und Fig. 1 b)
Draufsicht; Fig. 2 eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 5a)-c) schematische Darstellungen einer beispielhaften mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung zur Erläuterung der der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Problematik, und zwar Fig. 5a), 5b) im Querschnitt und Fig. 5c) in Draufsicht.
Ausführungsformen der Erfindung
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche
Elemente.
Fig. 1 a), b) sind schematische Darstellungen einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung, und zwar Fig. 1 a) im Querschnitt und Fig. 1 b) Draufsicht.
In Fig. 1 a), b) bezeichnet Bezugszeichen 2 eine erste mikromechanische
Funktionsschicht, beispielsweise eine Siliziumschicht, in der eine erste Membran 3 und eine daran angrenzende Kaverne 4 ausgebildet sind. Auf der der Membran 3
gegenüberliegenden Seite der ersten mikromechanischen Funktionsschicht 2 ist eine Verschlussschicht 1 vorgesehen, beispielsweise ebenfalls eine Siliziumschicht, mittels der die erste Kaverne 4 verschlossen ist. Im vorliegenden Fall ist die erste Membran 3 ebenfalls geschlossen, sodass in der ersten Kaverne 4 ein konstanter Druck
eingeschlossen ist. Eine erste Verbiegungserfassungseinrichtung 6 mit piezoresistiven Elementen ist in und/oder auf der ersten Membran 3 vorgesehen und dient zum Erfassen einer Verbiegung der ersten Membran 3 aufgrund einer daran anliegenden externen Druckänderung und aufgrund einer internen mechanische Verbiegung der Drucksensorvorrichtung aufgrund von Stress.
Die Messung der Verbiegung über die Verbiegungserfassungseinrichtung 6 erfolgt, wie im Zusammenhang mit Fig. 5a)-c) beschrieben, beispielsweise über eine (nicht dargestellte) Brückenschaltung.
Aufgelagert auf der ersten mikromechanischen Funktionsschicht 2 ist eine zweite mikromechanische Funktionsschicht 7, beispielsweise ebenfalls eine Siliziumschicht, welche über eine Abstandshalterschicht 8 mit der ersten mikromechanischen
Funktionsschicht 2 verbunden ist. Innerhalb der zweiten mikromechanischen
Funktionsschicht 7 und oberhalb der ersten Membran 3 befindet sich eine zweite
Membran 9, welche eine Durchgangsöffnung 10 aufweist. Zwischen der ersten Membran 3 und der zweiten Membran 9 ist eine zweite Kaverne 5 gebildet. In und/oder auf der zweiten Membran 9 ist eine zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 mit
piezoresistiven Elementen angeordnet, welche zum Erfassen einer Verbiegung der zweiten Membran 9 aufgrund der internen mechanischen Verbiegung der
Drucksensorvorrichtung dient. Dabei ist die zweite Membran 9 derart gestaltet, dass sie aufgrund der externen Druckänderung nicht verbiegbar ist. Insbesondere ermöglicht die Durchgangsöffnung 10 einen Druckausgleich zwischen der ersten Kaverne 4 und der zweiten Kaverne 5.
Mittels des beschriebenen Aufbaus liefert die erste Verbiegungserfassungseinrichtung 6 ein erstes Messsignal, das proportional zum äußeren Druck und proportional zu internen mechanischen Verbiegungen der Drucksensorvorrichtung ist. Darüber hinaus liefert die zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 ein zweites Messsignal, das nur proportional zu einer Verbiegung der zweiten Membran aufgrund der internen mechanischen
Verbiegung der Drucksensorvorrichtung ist. Subtrahiert man das zweite Messsignal vom ersten Messsignal, so erhält man ein korrigiertes Messsignal, welches nur noch proportional zum äußeren Druck ist. Das Eliminieren des ungewünschten Störanteils, z.B. aufgrund von Stress-Spannungen, aufgrund interner mechanischer Verbiegungen funktioniert umso genauer, wenn die Verbiegung der Drucksensorvorrichtung an den Positionen der piezoresistiven Elemente der ersten Verbiegungserfassungseinrichtung 6 und an den Positionen der piezoresistiven Elemente der zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 gleich ist, weshalb die entsprechenden piezoresistiven Elemente möglichst nahe beieinander angeordnet werden sollten.
Fig. 2 ist eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung.
Bei der zweiten Ausführungsform entspricht der Aufbau der ersten mikromechanischen Funktionsschicht 2, der ersten Membran 3, der ersten Kaverne 4 und der ersten
Verbiegungserfassungseinrichtung 6 dem bereits mit Bezug auf Fig. 1 a), b)
beschriebenen Aufbau.
Im Unterschied zur ersten Ausführungsform ist bei der zweiten Ausführungsform die zweite mikromechanische Funktionsschicht 7' über einer Abstandshalterschicht 8' vorgesehen, welche auf der Verschlussschicht 1 angeordnet ist, die mit der ersten mikromechanischen Funktionsschicht 2 auf der der ersten Membran 3
gegenüberliegenden Seite verbunden ist.
Die zweite Membran 9' weist eine zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 ' mit piezoresistiven Elementen auf, wobei eine zweite Kaverne 5' zwischen der zweiten Membran 9' und der Verschlussschicht 1 vorgesehen ist.
Die Funktionsweisen der ersten Verbiegungserfassungseinrichtung 6 und der zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 ' sind analog zur Funktionsweise der oben beschriebenen ersten Verbiegungserfassungseinrichtung 6 und der zweiten
Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1. Ebenso wie bei der ersten Ausführungsform ist eine Durchgangsöffnung 10' in der zweiten Membran 9' vorgesehen, welche einen Druckausgleich schafft, sodass die zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 ' wiederum nur eine Verbiegung der zweiten Membran 9' aufgrund der internen
mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung erfasst. Fig. 3 ist eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung. Bei der dritten Ausführungsform ist eine einzelne mikromechanische Funktionsschicht 2 vorgesehen, in welcher die erste Membran 3 und die darunterliegende erste Kaverne 4 und die zweite Membran 9" mit der darunterliegenden zweiten Kaverne 5" integriert sind.
Die erste Membran 3 weist die erste Verbiegungserfassungseinrichtung 6 auf, und die zweite Membran 9" weist die zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 " auf.
Wiederum weist die zweite Membran 9" eine Durchgangsöffnung 10" auf, sodass sie lediglich auf Verbiegungen aufgrund von internen mechanischen Stress sensitiv ist und nicht auf äußere Druckdifferenzen sensitiv ist. Beide Kavernen 4, 5" sind auf der den Membranen 3, 9" gegenüberliegenden Seite durch die Verschlussschicht 1 verschlossen.
Auch hier ist die Funktionsweise der ersten Verbiegungserfassungseinrichtung 6 und der zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 " identisch zu der Funktion der ersten Verbiegungseinrichtung 6 und der zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 der ersten Ausführungsform.
Bei der dritten Ausführungsform ist insbesondere keine zweite mikromechanische Funktionsschicht notwendig, und auch keine Abstandshalterschicht. Somit ist diese dritte Ausführungsform kostengünstiger als die erste bzw. zweite Ausführungsform. Da die zweite Verbiegungserfassungseinrichtung 1 1 " mit den piezoresistiven Elementen räumlich stärker von der ersten Verbiegungserfassungseinrichtung 6 mit den piezoresistiven Elementen getrennt ist, ist die Eliminierung des Störsignals etwas ungenauer, was für spezielle Anwendungen mit geringeren Anforderungen jedoch unkritisch ist.
Fig. 4 ist eine schematische Querschnittsdarstellung einer mikromechanischen
Drucksensorvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung.
Der Aufbau der vierten Ausführungsform entspricht dem Aufbau der ersten
Ausführungsform, wobei bei der vierten Ausführungsform eine weitere
Durchgangsöffnung 12 in der Verschlussschicht vorgesehen ist, sodass die
entsprechende Drucksensorvorrichtung eine Differenzdruck-Drucksensorvorrichtung mit zwei Medienzugängen in Form der beiden Durchgangsöffnungen 10, 12 ist, wobei in der ersten Kaverne 4 kein konstanter Druck eingeschlossen ist.
Ansonsten ist die Funktionsweise der vierten Ausführungsform analog zur Funktionsweise der oben beschriebenen ersten Ausführungsform.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt. Insbesondere sind die genannten Materialien und Topologien nur beispielhaft und nicht auf die erläuterten Beispiele beschränkt.
Obwohl bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ein oder mehrere piezoresistive Elemente als Verbiegungserfassungseinrichtung vorgesehen sind, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern prinzipiell für beliebige Verbiegungserfassungseinrichtungen anwendbar.
Auch sind die gezeigten Geometrien und Materialien nur beispielhaft und nicht auf die angeführten Beispiele beschränkt.

Claims

Ansprüche
1 . Mikromechanische Drucksensorvorrichtung mit: einer ersten Membran (3) und einer daran angrenzenden ersten Kaverne (4); einer in und/oder auf der ersten Membran (3) angeordneten ersten
Verbiegungserfassungseinrichtung (6) zum Erfassen einer Verbiegung der ersten Membran (3) aufgrund einer daran anliegenden externen Druckänderung und aufgrund einer internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; einer zweiten Membran (9; 9'; 9") und einer daran angrenzenden zweiten Kaverne (5; 5'; 5"); und einer in und/oder auf der zweiten Membran (9; 9'; 9") angeordneten zweiten
Verbiegungserfassungseinrichtung (1 1 ; 1 1 '; 1 1 ") zum Erfassen einer Verbiegung der zweiten Membran (9; 9'; 9") aufgrund der internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; wobei die zweite Membran (9; 9'; 9") derart gestaltet ist, dass sie aufgrund der externen Druckänderung nicht verbiegbar ist.
2. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei die erste Membran (3) und die daran angrenzende erste Kaverne (4) in einer ersten mikromechanischen
Funktionsschicht (2) gebildet sind, und wobei die zweite Membran (9; 9') in einer zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (7), welche beabstandet von der ersten
mikromechanischen Funktionsschicht (2) angeordnet ist, gebildet ist.
3. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die zweite mikromechanische Funktionsschicht (7) auf einer Seite der ersten Membran (3) der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (2) angeordnet ist, wobei die erste Membran (3) geschlossen ist, wobei die zweite Membran (9) eine Durchgangsöffnung (10) aufweist, und wobei die zweite Kaverne (5) zwischen der ersten Membran (3) und der zweiten Membran (9) angeordnet ist und mit der Durchgangsöffnung (10) fluidisch kommuniziert.
4. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, wobei zwischen der zweiten mikromechanischen Funktionsschicht (7) und der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (2) eine Abstandshalterschicht (8; 8') angeordnet ist.
5. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die erste Kaverne (4) auf einer der ersten Membran (3) gegenüberliegenden Seite der ersten
mikromechanischen Funktionsschicht (2) durch eine Verschlussschicht (1 ) verschlossen ist, wobei die zweite mikromechanische Funktionsschicht (7') auf der Verschlussschicht (1 ) angeordnet ist, wobei die erste Membran (3) geschlossen ist, wobei die zweite Membran (9') eine Durchgangsöffnung (10') aufweist, und wobei die zweite Kaverne (5) zwischen der zweiten Membran (9') und der Verschlussschicht (1 ) angeordnet ist und mit der Durchgangsöffnung (10) fluidisch kommuniziert.
6. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die
Verschlussschicht eine zweite Durchgangsöffnung (12) aufweist.
7. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 1 , wobei die erste
Membran (3) und die daran angrenzende erste Kaverne (4) in einer ersten
mikromechanischen Funktionsschicht (2) gebildet sind, wobei die zweite Membran (9") und die daran angrenzende zweite Kaverne (5") in der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (2) lateral beabstandet von der ersten Membran (3) und der daran angrenzenden ersten Kaverne (4) gebildet sind, und wobei die erste Kaverne (3) und die zweite Kaverne (5") auf einer der ersten Membran (3) und zweiten Membran (5") gegenüberliegenden Seite der ersten mikromechanischen Funktionsschicht (2) verschlossen sind.
8. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach Anspruch 7, wobei die erste Membran (3) geschlossen ist und die zweite Membran (9") eine Duchgangsöffnung (10") aufweist.
9. Mikromechanische Drucksensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, wobei die erste Verbiegungserfassungseinrichtung (6) und/oder die zweite Verbiegungserfassungseinrichtung (1 1 ; 1 1 '; 1 1 ") ein oder mehrere piezoresistive
Elemente aufweisen.
10. Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Drucksensorvorrichtung mit den Schritten: Bilden von einer ersten Membran (3) und einer daran angrenzenden ersten Kaverne (4);
Bilden von einer in und/oder auf der ersten Membran (3) angeordneten ersten
Verbiegungserfassungseinrichtung (6) zum Erfassen einer Verbiegung der ersten
Membran (3) aufgrund einer daran anliegenden externen Druckänderung und aufgrund einer internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung;
Bilden von einer zweiten Membran (9; 9'; 9") und einer daran angrenzenden zweiten Kaverne (5; 5'; 5"); und
Bilden von einer in und/oder auf der zweiten Membran (9; 9'; 9") angeordneten zweiten Verbiegungserfassungseinrichtung (1 1 ; 1 1 '; 1 1 ") zum Erfassen einer Verbiegung der zweiten Membran (9; 9'; 9") aufgrund der internen mechanischen Verbiegung der Drucksensorvorrichtung; wobei die zweite Membran (9; 9'; 9") derart gestaltet wird, dass sie aufgrund der externen Druckänderung nicht verbiegbar ist.
PCT/EP2018/069804 2017-08-02 2018-07-20 Mikromechanische drucksensorvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren WO2019025211A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/635,644 US11560302B2 (en) 2017-08-02 2018-07-20 Micromechanical pressure sensor with two cavities and diaphragms and corresponding production method
CN201880064494.6A CN111164400B (zh) 2017-08-02 2018-07-20 微机械压力传感器设备和相应的制造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017213354.6A DE102017213354A1 (de) 2017-08-02 2017-08-02 Mikromechanische Drucksensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
DE102017213354.6 2017-08-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019025211A1 true WO2019025211A1 (de) 2019-02-07

Family

ID=62981249

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2018/069804 WO2019025211A1 (de) 2017-08-02 2018-07-20 Mikromechanische drucksensorvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11560302B2 (de)
CN (1) CN111164400B (de)
DE (1) DE102017213354A1 (de)
WO (1) WO2019025211A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115979500B (zh) * 2023-03-17 2023-06-13 成都凯天电子股份有限公司 一种双气压腔芯体、压力扫描阀及制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4222277A (en) * 1979-08-13 1980-09-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Media compatible pressure transducer
EP0049955A1 (de) * 1980-10-09 1982-04-21 General Motors Corporation Druckaufnehmer mit zwei Kammern
WO2001053789A1 (en) * 2000-01-19 2001-07-26 Silicon Valley Sensors, Inc. Isolation technique for pressure sensing structure
EP2335039A1 (de) * 2008-09-10 2011-06-22 Robert Bosch GmbH Sensoranordnung, verfahren zum betrieb einer sensoranordnung und verfahren zur herstellung einer sensoranordnung
WO2013152901A1 (de) 2012-04-11 2013-10-17 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer drucksensor

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5354695A (en) * 1992-04-08 1994-10-11 Leedy Glenn J Membrane dielectric isolation IC fabrication
FI112644B (fi) 2000-11-10 2003-12-31 Vaisala Oyj Pintamikromekaaninen absoluuttipaineanturi ja menetelmä sen valmistamiseksi
DE102005007540A1 (de) 2005-02-18 2006-08-31 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Membransensor mit Doppelmembran
US8393222B2 (en) * 2010-02-27 2013-03-12 Codman Neuro Sciences Sárl Apparatus and method for minimizing drift of a piezo-resistive pressure sensor due to progressive release of mechanical stress over time
DE102011005676A1 (de) * 2011-03-17 2012-09-20 Robert Bosch Gmbh Bauteil
FR2982023B1 (fr) 2011-10-26 2015-03-06 Auxitrol Sa Structure micromecanique a membrane deformable et a protection contre de fortes deformations
US9299671B2 (en) * 2013-10-15 2016-03-29 Invensense, Inc. Integrated CMOS back cavity acoustic transducer and the method of producing the same
US9212054B1 (en) * 2014-10-15 2015-12-15 DunAn Sensing, LLC Pressure sensors and methods of making the same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4222277A (en) * 1979-08-13 1980-09-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Media compatible pressure transducer
EP0049955A1 (de) * 1980-10-09 1982-04-21 General Motors Corporation Druckaufnehmer mit zwei Kammern
WO2001053789A1 (en) * 2000-01-19 2001-07-26 Silicon Valley Sensors, Inc. Isolation technique for pressure sensing structure
EP2335039A1 (de) * 2008-09-10 2011-06-22 Robert Bosch GmbH Sensoranordnung, verfahren zum betrieb einer sensoranordnung und verfahren zur herstellung einer sensoranordnung
WO2013152901A1 (de) 2012-04-11 2013-10-17 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer drucksensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE102017213354A1 (de) 2019-02-07
US11560302B2 (en) 2023-01-24
CN111164400A (zh) 2020-05-15
US20210130161A1 (en) 2021-05-06
CN111164400B (zh) 2022-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2726833B1 (de) Verfahren zum betreiben eines absolut- oder relativdrucksensors mit einem kapazitiven wandler
DE102017220132A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Drucksensoren
DE19750131C2 (de) Mikromechanische Differenzdrucksensorvorrichtung
EP1612531A2 (de) Mikromechanische Struktur
EP2743519A1 (de) Ventileinrichtung, Ventilanordnung und Verfahren zum Kalibrieren einer Ventilanordnung
WO2011116899A1 (de) Massenstromsensor und verfahren zur bestimmung des massenstroms in einem rohr
WO2002088655A1 (de) Kapazitiver differenz-drucksensor
DE102009024576B4 (de) Differenzdrucksensor
WO2019025211A1 (de) Mikromechanische drucksensorvorrichtung und entsprechendes herstellungsverfahren
WO1999017089A1 (de) Sensor und verfahren zum betreiben des sensors
EP2543979A2 (de) Druckmessumformer
WO2002029421A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektrischen nullpunktabgleich für ein mikromechanisches bauelement
DE102013201893A1 (de) Strömungsmesser
DE102004011718A1 (de) Halbleiterdrucksensor
DE102010001537A1 (de) Mikromechanisches Sensorelement zur kapazitiven Druckerfassung
DE102013114741A1 (de) Drucksensor
EP0508517B2 (de) Kompensiertes Differenzdruckmessgerät
DE102009045158A1 (de) Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung
DE102016218211A1 (de) Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum
DE102010035862A1 (de) Diagnosefähige resistive Druckmesszelle
EP3232173B1 (de) Differenzdrucksensor
DE102016209486A1 (de) Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum
EP3504153A1 (de) Mikromechanisches bauteil mit membran, herstellungsverfahren für ein derartiges bauteil und verfahren zum betreiben eines drucksensors
WO2016016026A1 (de) Drucksensor und verfahren zum herstellen eines drucksensors
DE102010051644B4 (de) Drucksensor mit Keramikzelle

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18743511

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18743511

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1