WO2019021761A1

WO2019021761A1 - 物理量計測装置及び物理量計測装置の製造方法

Info

Publication number: WO2019021761A1
Application number: PCT/JP2018/025181
Authority: WO
Inventors: 順三山口; 昇北原; 寛田川; 真樹井上; 博之阿久澤
Original assignee: 株式会社デンソー
Priority date: 2017-07-24
Filing date: 2018-07-03
Publication date: 2019-01-31

Abstract

エアフロメータ（１４）はハウジング（２１）及び流量検出部（２２）を有しており、流量検出部を有するセンサ（ＳＡ５０）がハウジングの内部空間（２４ａ）に収容されている。ハウジングは、内部空間を形成するハウジング本体（２４）と、Ｏリングを保持するリング保持部（２５）とを有している。ハウジング本体は、収容壁部（１２１）及び封止壁部（１２２）を有しており、収容壁部は、リング保持部からハウジング基端側に離間した位置に設けられている。収容壁部は、センサに接触していることで、幅方向（Ｘ）、高さ方向（Ｙ）及び奥行き方向（Ｚ）についてセンサを位置保持している。これにより、物理量検出部の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

Description

物理量計測装置及び物理量計測装置の製造方法

関連出願の相互参照

　本出願は、当該開示内容が参照によって本出願に組み込まれた、２０１７年７月２４日に出願された日本特許出願２０１７－１４２８５５号および、２０１７年１２月２５日に出願された日本特許出願２０１７－２４７４２８号を基にしている。

　この明細書による開示は、物理量計測装置及び物理量計測装置の製造方法に関する。

　流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、内燃機関に吸入される吸入空気の流量を計測する物理量計測装置が開示されている。この物理量計測装置は、流入した流体を通過させる主通路と、この主通路から分岐したバイパス通路とを有しており、吸入空気の流量に応じた検出信号を出力する流量検出部がバイパス通路に設けられている。

特開２０１５－２１０２０５号公報

　しかしながら、バイパス通路等の計測流路に流量検出部等の物理量検出部が設けられた構成について、物理量検出部による物理量の検出精度が製品ごとにばらつくことが懸念される。

　本開示の主な目的は、物理量検出部の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる物理量計測装置及び物理量計測装置の製造方法を提供することにある。

　本開示の第１の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置である。物理量計測装置は、流体が流れる計測流路と、計測流路において流体の物理量を検出する物理量検出部を有する検出ユニットと、検出ユニットの少なくとも一部を収容し、計測流路を形成するハウジングと、を備える。ハウジングは、所定の取付対象に取り付けられるハウジング取付部と、ハウジングにおいて取付対象の内部に入り込んだ入り込み部分と、取付対象の内部からはみ出したはみ出し部分とが並んだ方向においてハウジング取付部よりも入り込み部分側に設けられ、ハウジング取付部に比べて肉厚が薄く、検出ユニットに接触していることで検出ユニットの位置を保持する位置保持部と、を有している。

　ハウジング取付部が取付対象に取り付けられた物理量計測装置では、物理量計測装置を支持するための強度をハウジング取付部に付与する方法として、ハウジング取付部の肉厚を厚くする方法が考えられる。しかしながら、溶融樹脂を硬化させてハウジングを成型する場合、ハウジングにおいては肉厚の厚い部分ほど溶融樹脂の硬化に伴う意図しない変形が生じやすく、位置保持部の形状が製品ごとにばらつきやすくなる。ここで、位置保持部の形状がばらついていることで検出ユニットの位置が製品ごとにばらついた場合、物理量検出部の検出精度もばらつくことが懸念される。

　これに対して、第１の態様によれば、ハウジング取付部よりもハウジングの先端側にある位置保持部がハウジング取付部に比べて肉薄になっている。このため、ハウジング取付部を肉厚にすることで、物理量計測装置を支持するための強度をハウジング取付部に付与できる。その一方で、位置保持部の薄肉化が図られていることで、溶融樹脂の硬化に伴う意図しない変形が生じにくくなり、位置保持部の形状が製品ごとにばらつきにくくなる。この場合、物理量検出部の位置がばらつきにくくなるため、物理量検出部の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本開示の第２の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置である。物理量計測装置は、流体が流れる計測流路と、計測流路において流体の物理量を検出する物理量検出部を有する検出ユニットと、検出ユニットの少なくとも一部を収容し、計測流路を形成するハウジングと、を備える。ハウジングは、所定の取付対象に取り付けられるハウジング取付部と、ハウジングにおいて取付対象の内部に入り込んだ入り込み部分と、取付対象の内部からはみ出したはみ出し部分とが並んだ方向においてハウジング取付部よりも入り込み部分側に設けられ、検出ユニットに接触していることで検出ユニットの位置を保持する位置保持部と、を有している。

　第２の態様によれば、位置保持部がハウジング取付部よりもハウジングの先端側に設けられているため、物理量計測装置を支持するための強度を位置保持部に付与する必要がない。このため、位置保持部の全体的な肉厚をハウジング取付部の肉厚に比べて薄くすることができる。したがって、上記第１の態様と同様に、物理量検出部の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本開示の第３の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置の製造方法である。当該製造方法は、開口部であるハウジング開口部から延び且つ検出ユニットの少なくとも一部を収容する収容空間と、流体が流れる計測流路と、所定の取付対象に取り付けられるハウジング取付部と、ハウジング取付部とは異なる位置に設けられた位置保持部と、を有するハウジングを成型することを含む。当該製造方法はさらに、計測流路において流体の物理量を検出する物理量検出部を有する検出ユニットを、位置保持部に接触していることで検出ユニットの位置が保持されるように、ハウジング開口部から収容空間に挿入することを含む。

　第３の態様によれば、ハウジングにおいて位置保持部がハウジング取付部とは異なる位置に設けられているため、物理量計測装置を支持するための強度を位置保持部に付与する必要がない。このため、上記第２の態様と同様に、物理量検出部の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

第１実施形態における燃焼システムの構成を説明するための模式図。吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの正面図。吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの平面図。エアフロメータの上流側端面を見たエアフロメータの斜視図。エアフロメータの下流側端面を見たエアフロメータの斜視図。エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。エアフロメータをコネクタ部とは反対側から見た側面図。図２のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線断面図。図８の計測流路周辺の拡大図。センサＳＡの構成を示す正面図。図８のＸＩ－ＸＩ線断面図。図８のＸＩＩ－ＸＩＩ線断面図。図８のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線断面図。図８のＸＩＶ－ＸＩＶ線断面図。センサＳＡが挿入される前の状態を示すハウジングの横断面図。ハウジングに挿入される前の状態を示すセンサＳＡの横断面図。センサＳＡの内部構成を示す縦断面図。コネクタターミナルとセンサＳＡのリードターミナルとの接続構造について説明するための図。封止領域の内部構造を示す斜視図。ターミナルユニットの斜視図。図８におけるリップ周辺の拡大図。型装置の分解斜視図。計測成型部による計測流路の成型について説明するための図。ハウジングから計測成型部を取り外した状態を示す図。通過型部による通過流路の成型について説明するための図。ハウジングから通過型部及び計測成型部を取り外した状態を示す図。構成群Ｂにおけるエアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。図２７のＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩ線断面図。構成群Ｃにおける図８でのセンサＳＡ周辺の拡大図。図２９のＸＸＸ－ＸＸＸ線断面図。図２９のＸＸＸＩ－ＸＸＸＩ線断面図。構成群Ｄにおけるハウジングから計測成型部及び通過型部を取り外した状態を示す図。計測成型部及び通過型部による通過流路の成型について説明するための図。構成群Ｅにおける図３０でのセンサＳＡ周辺の拡大図。ハウジングの内部構造を示すエアフロメータの平面図型装置におけるコネクタ型部周辺の拡大図。ハウジングへのセンサＳＡの取り付けについて説明するための図。センサＳＡへのブリッジターミナルの取り付けについて説明するための図。ハウジングの内部空間への熱硬化性樹脂の充填について説明するための図。構成群Ｆにおけるエアフロメータの平面図。図４０のＸＬＩ－ＸＬＩ線断面図。図４１のリップ周辺の拡大図。構成群Ｇにおけるエアフロメータのポッティング部を見た斜視図。構成群Ｈにおける吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。エアフロメータをコネクタ部側から見た側面図。温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。第１補正部での処理について説明するための図。流量信号と時定数との関係を示す図。第１補正信号について、流量が大きい場合及び流量が小さい場合のそれぞれの時間変化を示す図。第１温度信号及び第１補正信号のそれぞれの時間変化を示す図。第１温度信号及び第２温度信号のそれぞれの時間変化を示す図。温度差分信号及び差分補正信号のそれぞれの時間変化を示す図。温度差分信号と差分補正信号との関係を示す図。第１実施形態とは異なる構成について、第１温度信号、第２温度信号及び第１補正信号のそれぞれの時間変化を示す図。第１実施形態とは異なる構成について、温度差分信号及び差分補正信号のそれぞれの時間変化を示す図。第１温度信号、第１補正信号及び補正値信号のそれぞれの時間変化を示す図。第１温度信号、第１補正信号、補正値信号及び実温度のそれぞれの時間変化を示す図。第２実施形態における検出絞り部周辺のハウジングの横断面図。縦仕切壁周辺のハウジングの横断面図。第３実施形態におけるハウジング突起周辺のエアフロメータの横断面図。第４実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの側面図。エアフロメータの正面図。図６１のＬＸＩＩＩ－ＬＸＩＩＩ線断面図。ポッティング部及びカバー部材を取り外した状態でハウジングの内部構造を示す図。ベース部材を示す図。ベース部材へのカバーの取り付けについて説明するための図。ハウジング本体へのセンサＳＡの取り付けについて説明するための図。ハウジングでのポッティング部の形成について説明するための図。構成群Ｃにおける第１規制部の斜視図。図６３での流量検出部周辺の拡大図。図７０のＬＸＸＩ－ＬＸＸＩ線断面図。構成群Ｅ，Ｆにおけるエアフロメータの縦断面図。構成群Ｇにおけるエアフロメータの正面図。第５実施形態、構成群Ｄにおける通過流路周辺のハウジングの縦断面図。図７４のＬＸＸＶ－ＬＸＸＶ線断面図。計測成型部及び通過型部による通過流路の成型について説明するための図。図７６のＬＸＸＶＩＩ－ＬＸＸＶＩＩ線断面図。通過型部よりも先に計測成型部をハウジングから取り外した状態を示す図。計測成型部の後に通過型部をハウジングから取り外した状態を示す図。第６実施形態、構成群Ｅにおけるハウジングの縦断面図。ハウジングへのセンサＳＡの取り付けについて説明するための図。変形例Ｂ１における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの側面図。図８２のＬＸＸＸＩＩＩ－ＬＸＸＸＩＩＩ線断面図。変形例Ｂ３におけるハウジングの横断面図。変形例Ｂ２，Ｂ３におけるハウジングの横断面図。変形例Ｂ３におけるハウジングの横断面図。変形例Ｂ４におけるハウジングの横断面図。変形例Ｂ５における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。変形例Ｃ１におけるセンサＳＡ周辺の縦断面図。変形例Ｃ２におけるセンサＳＡ周辺の縦断面図。位置出し部材の斜視図。変形例Ｃ３におけるポッティング部及びカバー部材を取り外した状態でのハウジングの内部構造を示す図。変形例Ｄ１における計測成型部、流入通過型部及び流出通過型部による通過流路の成型について説明するための図。計測成型部、流入通過型部及び流出通過型部をハウジングから取り外した状態を示す図。変形例Ｄ２における計測成型部、通過型部による通過流路の成型について説明するための図。変形例Ｄ４における通過流路周辺のハウジングの縦断面図。変形例Ｅ１，Ｅ２におけるハウジングの縦断面図。変形例Ｅ１～Ｅ３におけるハウジングの縦断面図。変形例Ｅ２，Ｅ３におけるハウジングの縦断面図。変形例Ｅ４におけるポッティング部及びカバー部材を取り外した状態でのハウジングの内部構造を示す図。ベース部材とセンサＳＡとを分解したハウジングの縦断面図。変形例Ｅ５におけるベース部材とカバーユニットとを分解したハウジングの縦断面図。変形例Ｅ６におけるハウジングの縦断面図。ハウジングの側面図。ハウジングの縦断面図。変形例Ｆ１におけるハウジングの縦断面図。ハウジングの縦断面図。変形例Ｆ２におけるリップ周辺の拡大図。変形例Ｆ３におけるリップ周辺の拡大図。リップ周辺の拡大図。変形例Ｆ４におけるリップ周辺の拡大図。変形例Ｆ５におけるリップ周辺の拡大図。リップ周辺の拡大図。変形例Ｈ１における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータの縦断面図。変形例Ｈ２における温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。変形例Ｈ３における温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。変形例Ｈ４における温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。変形例Ｈ５，７における温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。変形例Ｈ６，７における温度補正部の電気的な構成を示すブロック図。変形例Ｂ４におけるハウジングの横断面図。変形例Ｆ６におけるリップ周辺の拡大図。

　以下に、図面を参照しながら本開示を実施するための複数の形態を説明する。各形態において先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した他の形態を適用することができる。各実施形態で具体的に組合せが可能であることを明示している部分同士の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、明示してなくとも実施形態同士を部分的に組み合せることも可能である。

　（第１実施形態）
　図１に示す燃焼システム１０は、ガソリンエンジン等の内燃機関１１、吸気通路１２、排気通路１３、エアフロメータ１４及びＥＣＵ２０を有しており、例えば車両に搭載されている。エアフロメータ１４は、吸気通路１２に設けられており、内燃機関１１に供給される吸入空気の流量や温度、湿度、圧力といった物理量を計測する機能を有している。エアフロメータ１４は、流体としての吸入空気を計測対象とした物理量計測装置に相当する。吸入空気は、内燃機関１１の燃焼室１１ａに供給される気体である。燃焼室１１ａにおいては、吸入空気と燃料との混合気が点火プラグ１７により点火される。

　ＥＣＵ（Engine Control Unit）２０は、燃焼システム１０の動作制御を行う制御装置である。ＥＣＵ２０は、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びフラッシュメモリ等の記憶媒体、並びに入出力部を含むマイクロコンピュータと、電源回路等と、によって構成された演算処理回路である。ＥＣＵ２０には、エアフロメータ１４から出力されるセンサ信号や、多数の車載センサから出力されるセンサ信号などが入力される。ＥＣＵ２０は、エアフロメータ１４による計測結果を用いて、インジェクタ１６の燃料噴射量やＥＧＲ量などについてエンジン制御を行う。ＥＣＵ２０は、内燃機関１１の運転制御を行う制御装置であり、燃焼システム１０をエンジン制御システムと称することもできる。また、ＥＣＵ２０は、外部装置に相当する。

　エアフロメータ１４は、燃焼システム１０に含まれる多数の計測部の１つである。内燃機関１１の吸気系及び排気系には、計測部として、エアフロメータ１４に加えて、例えば空燃比センサ１８等が設けられている。エアフロメータ１４は、吸気通路１２においてエアクリーナ１９の下流側であってスロットルバルブ１５の上流側に配置されている。この場合、吸気通路１２においてエアフロメータ１４にとっては、エアクリーナ１９側が上流側であり、燃焼室１１ａ側が下流側になる。

　図２、図３に示すエアフロメータ１４は、吸気通路１２を形成する吸気管１２ａに着脱可能に取り付けられている。エアフロメータ１４は、吸気管１２ａの筒壁を貫通するよう形成されたエアフロ挿入孔１２ｂに挿し込まれており、少なくとも一部を吸気通路１２内に位置させている。吸気管１２ａは、エアフロ挿入孔１２ｂから外周側に向けて延びた管フランジ１２ｃを有しており、合成樹脂材料等により形成された配管を含んで構成されている。管フランジ１２ｃは、エアフロ挿入孔１２ｂの周縁部に沿って延びており、例えば円環状になっている。管フランジ１２ｃの先端面は、管フランジ１２ｃの中心線に直交する方向に延びている。この場合、管フランジ１２ｃの先端面は、吸気通路１２の長手方向、すなわち吸気通路１２において吸入空気が流れる方向に延びている。なお、吸気管１２ａが取付対象に相当する。

　エアフロメータ１４は、ハウジング２１、流量検出部２２（図８参照）及び吸気温センサ２３を有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等により形成されている。エアフロメータ１４においては、ハウジング２１が吸気管１２ａに取り付けられていることで、流量検出部２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。ハウジング２１は、ハウジング本体２４、リング保持部２５、フランジ部２７、コネクタ部２８、根元部２９ａ及び保護突起２９ｂを有しており、リング保持部２５に対してＯリング２６が取り付けられている。これらハウジング本体２４、リング保持部２５、フランジ部２７、コネクタ部２８、根元部２９ａ及び保護突起２９ｂは、低コスト化を実現するべく、後述する一度の樹脂モールド成型工程で製造される。

　図２～図７に示すように、ハウジング本体２４は全体として筒状に形成され、ハウジング２１においては、リング保持部２５、フランジ部２７、コネクタ部２８、根元部２９ａ及び保護突起２９ｂがハウジング本体２４に一体的に設けられた状態になっている。エアフロメータ１４について、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚを定義すると、ハウジング本体２４は高さ方向Ｙに延びており、リング保持部２５やフランジ部２７は、ハウジング本体２４から幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延びていることになる。また、リング保持部２５やフランジ部２７、コネクタ部２８は、ハウジング本体２４に対してハウジング２１の基端側に配置されている。以下、ハウジング２１の基端側をハウジング基端側とも言い、ハウジング２１の先端側をハウジング先端側とも言う。すなわち、高さ方向Ｙにおいて、後述するハウジング基端面１９２（図）側をハウジング基端側と称し、ハウジング先端面１９１側をハウジング先端側と称する。なお、ハウジング基端面１９２をハウジング２１の基端や基端部と称することができ、ハウジング先端面１９１をハウジング２１の先端や先端部と称することができる。また、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚは互いに直交している。

　リング保持部２５は、エアフロ挿入孔１２ｂにＯリング２６を介して内嵌される部位である。リング保持部２５は、ハウジング本体２４の周囲に沿って一周した保持溝２５ａを有しており、この保持溝２５ａにＯリング２６を入り込ませた状態でこのＯリング２６を保持している。リング保持部２５は、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに突出した一対の溝形成部を有しており、これら溝形成部が高さ方向Ｙに離間していることで、これら溝形成部の間に保持溝２５ａが形成されている。なお、一対の溝形成部をシールガイド壁と称することもできる。

　Ｏリング２６は、吸気通路１２と吸気管１２ａの外部とをシールする部材である。Ｏリング２６は、リング保持部２５に外嵌されており、管フランジ１２ｃの内周側に入り込んだ状態でリング保持部２５とエアフロ挿入孔１２ｂとの間に介在している。

　フランジ部２７は、リング保持部２５よりもハウジング基端側に配置されており、エアフロ挿入孔１２ｂを吸気管１２ａの外周側から覆った状態になっている。また、フランジ部２７は、吸気管１２ａの管フランジ１２ｃの先端部に引っ掛かることで、ハウジング２１が吸気通路１２内に入り込み過ぎることを規制することが可能になっている。コネクタ部２８は、複数のコネクタターミナル２８ａ（図６参照）を囲う部位であり、コネクタターミナル２８ａを保護するターミナル保護部に相当する。コネクタ部２８には、プラグ部が挿入される。プラグ部は、ＥＣＵ２０に直接的又は間接的に電気接続される接続線の端部に設けられており、コネクタ部２８と嵌合する。

　ハウジング２１には、成型後の寸法精度の向上や軽量化を図るための肉盗み部４１が複数形成されている。肉盗み部４１は、例えばフランジ部２７やハウジング本体２４、リング保持部２５に設けられている。また、ハウジング２１を樹脂成型する場合に、肉盗み部４１によりハウジング２１の肉厚が適度に薄くされることで、金型等の型部内に溶融樹脂が回らない部分が発生しにくくなる。また、成型後に樹脂部品が冷め収縮することに起因して、発生する寸法精度の悪化を抑制することができる。フランジ部２７には、ネジ孔４２が複数形成されており、このネジ孔４２を用いてハウジング２１が吸気管１２ａに固定されている。吸気管１２ａには、ネジ孔４２を貫通したネジ部材（図示略）が羅着されるボス１２ｄが設けられており、フランジ部２７がボス１２ｄにより支持されている。ボス１２ｄは、吸気管１２ａの外周面から管フランジ１２ｃに沿って延びており、管フランジ１２ｃから離間した位置に配置されている。なお、ボス１２ｄは、管フランジ１２ｃに一体的に設けられていてもよい。

　根元部２９ａは、高さ方向Ｙにおいてリング保持部２５からハウジング先端側に向けて突出し、エンジンから受熱し温度上昇したハウジング本体２４の熱の影響を避けるべく、幅方向Ｘにおいてハウジング本体２４から側方に離間した位置に配置されている。吸気温センサ２３は、吸入空気の温度を感知する感温素子２３ａと、感温素子２３ａから延びた一対のリード線２３ｂと、リード線２３ｂに接続された一対の吸気温ターミナル２３ｃとを有している。一対の吸気温ターミナル２３ｃは根元部２９ａから延びており、感温素子２３ａは、一対のリード線２３ｂを介して一対の吸気温ターミナル２３ｃにかけ渡された状態になっている。リード線２３ｂ及び吸気温ターミナル２３ｃは、いずれも導電性を有しており、吸気温ターミナル２３ｃは、コネクタ部２８に設けられたコネクタターミナル２８ａ（図１８参照）に電気的に接続されている。なお、吸気温ターミナル２３ｃを後述するブリッジターミナル８６に接続しても良い。また、図には示していないが、他の実施例としてリード線２３ｂと吸気温ターミナル２３ｃが一体となっていても良い。吸気温センサ２３は、感温素子２３ａにて感知した吸気温に応じた検出信号を出力する。

　保護突起２９ｂは、幅方向Ｘにおいてハウジング本体２４から側方に突出しており、吸気温センサ２３よりもハウジング先端側に配置されている。ハウジング本体２４からの保護突起２９ｂの突出寸法は、ハウジング本体２４からの吸気温センサ２３の離間距離より大きくなっている。この場合、ハウジング２１をその先端側から見ると、保護突起２９ｂの奥側に吸気温センサ２３が重なって見えることになる。このため、エアフロメータ１４を吸気管１２ａに取り付けに際してハウジング２１をエアフロ挿入孔１２ｂに挿入する場合、仮にハウジング２１の挿入位置が幅方向Ｘにずれたとしても、吸気管１２ａの外周面には保護突起２９ｂが当たることになる。したがって、吸気温センサ２３が吸気管１２ａの外周面に当たって吸気温センサ２３が破損するということが抑制される。

　図８に示すように、ハウジング本体２４は、吸気通路１２を流れる吸入空気の一部が流れ込むバイパス流路３０を形成している。バイパス流路３０は、通過流路３１及び計測流路３２を有しており、これら通過流路３１及び計測流路３２は、ハウジング本体２４の内部空間により形成されている。通過流路３１は、奥行き方向Ｚにハウジング本体２４を貫通しており、上流端部である流入口３３ａと、下流端部である流出口３３ｂとを有している。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、下流端部である計測出口３３ｃを有している。なお、吸気通路１２を主通路と称し、バイパス流路３０を副通路と称することもできる。また、図８においては、Ｏリング２６の図示を省略している。

　図２～図７の説明に戻り、ハウジング本体２４においては、その上流側端面に流入口３３ａが設けられ、その下流側端面に流出口３３ｂが設けられている。また、ハウジング本体２４においては、その両側面のそれぞれに計測出口３３ｃが１つずつ設けられている。これら計測出口３３ｃは、高さ方向Ｙに延びた細長形状になっており、幅方向Ｘに並べて配置されている。ハウジング本体２４の側面は、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた平坦面４４を有しており、上流側端面は、上流側に向けて膨らむように湾曲した湾曲面４５を有している。これら平坦面４４と湾曲面４５とは奥行き方向Ｚに隣り合っており、計測出口３３ｃは、ハウジング本体２４の側面において平坦面４４と湾曲面４５との境界部を奥行き方向Ｚに跨いだ位置に配置されている。

　ここで、本実施形態とは異なり、計測出口３３ｃの全てが上流側端面の湾曲面４５に開口された構成では、吸気通路１２の上流側の動圧を計測出口３３ｃが受けやすくなってしまう。その結果、通過流路３１から計測流路３２に流入する流量が意図せずに減ることや、ダスト等の異物が計測出口３３ｃから計測流路３２に進入することなどが懸念される。

　また、ハウジング本体２４において平坦面４４と湾曲面４５との境界部では、上流側端部の平坦面４４に沿って流れてきた吸入空気の進む向きが平坦面４４にて変わることに起因して、吸入空気の剥離が発生しやすい。このため、本実施形態とは異なり、計測出口３３ｃの全てが側面の平坦面４４に開口された構成では、平坦面４４と湾曲面４５との境界部にて発生した吸入空気の剥離の影響を計測出口３３ｃが受け、計測流路３２での流速が不安定になることが懸念される。

　これらの構成に対して、本実施形態のように、計測出口３３ｃが平坦面４４と湾曲面４５とに跨った状態になっている構成では、吸気通路１２の上流側の動圧や吸入空気の剥離の影響を計測出口３３ｃが受けにくいというメリットがある。この場合、吸気通路１２の上流側から受ける動圧の影響と、吸気通路１２を流れる気体が剥離する影響とのバランスを取った位置に計測出口３３ｃが配置されていることになる。また、上記メリットは、計測出口３３ｃが奥行き方向Ｚに極力短くなっていることで更に大きくなるものであり、このメリットを大きくするという観点では、本実施形態のように計測出口３３ｃが高さ方向Ｙに細長形状になっていることが好ましい。

　図８、図９に示すように、通過流路３１は、流入口３３ａから真っ直ぐに延びた流入通過路３１ａと、流出口３３ｂから真っ直ぐに延びた流出通過路３１ｂとを有している。流入通過路３１ａは、奥行き方向Ｚに延びているのに対して、流出通過路３１ｂは、奥行き方向Ｚに対して傾斜した方向に延びている。流出通過路３１ｂは、流出口３３ｂに向けてハウジング基端側に寄るように傾斜しており、これによって、流出口３３ｂが流入口３３ａよりもハウジング基端側にずれた位置に配置されている。

　通過流路３１は、流出口３３ｂに近付くにつれて絞られた構成になっている。換言すれば、通過流路３１は、奥行き方向Ｚにおいて流出口３３ｂから流入口３３ａに近付いても絞られない構成になっている。流入通過路３１ａの流路面積は奥行き方向Ｚにおいて均一になっている。流入通過路３１ａでは、高さ方向Ｙの高さ寸法及び幅方向Ｘの幅寸法の両方が、奥行き方向において均一になっている。これに対して、流出通過路３１ｂの断面積は流出口３３ｂに近付くにつれて徐々に小さくなっている。流出通過路３１ｂでは、高さ寸法が奥行き方向Ｚにおいて均一になっている一方で、幅寸法が流出口３３ｂに近付くにつれて徐々に小さくなっている。

　なお、通過流路３１の流路面積は、通過流路３１の中心線または通過流路３１が延びる方向に直交する方向での通過流路３１の断面積である。流入通過路３１ａの中心線は奥行き方向Ｚに延びており、流出通過路３１ｂの中心線は、奥行き方向Ｚに対して若干傾斜している。

　ハウジング本体２４は、図４～図７に示すように、流出通過路３１ｂの幅寸法を絞る通過絞り部４７を有しており、この通過絞り部４７により通過流路３１の絞り構成が実現されている。また、ハウジング本体２４は、その側面や下流側端面を通過絞り部４７に向けて徐々に窄める狭窄部４８を有している。狭窄部４８を設けることで、通過絞り部４７の内壁面と導入路３２ｂの内壁面とを段差なく繋げることができる。その結果、流出通過路３１ｂと導入路３２ｂとの接続部で剥離流が発生することを抑制でき計測精度が向上する。

　図８、図９の説明に戻り、通過流路３１と計測流路３２との境界である流路境界部３４は、流出通過路３１ｂと計測流路３２との境界になっている。流路境界部３４は、計測流路３２の上流端部である計測入口が含まれている。奥行き方向Ｚにおいて、流路境界部３４の長さ寸法は流出通過路３１ｂの長さ寸法と同じになっている。この場合、流路境界部３４の流入口３３ａ側の方がハウジング先端側に配置されていることに起因して、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４が流入口３３ａから露出しない。ここで、通過流路３１の内周面において、ハウジング基端側の面を天井面と称し、先端側の面を底面と称する。この場合に、奥行き方向Ｚにおいて流出口３３ｂを上流側から見ると、流路境界部３４は、流入通過路３１ａの天井面の奥側に隠れて見えない位置にあることになる。これにより、吸気に交じって砂塵、ダスト、水滴、油滴等の異物が飛来しても、通過流路３１を直進し流出口３３ｂから排出されるので、異物は流量検出部２２まで到達せず検出素子２２ｂを破損することや、異物が堆積し検出精度が悪化することを防止できる。

　計測流路３２は、中間位置にて折り返された折り返し形状になっている。計測流路３２は、流量検出部２２が設けられた検出路３２ａと、検出路３２ａに吸入空気を導入する導入路３２ｂと、検出路３２ａから吸入空気を排出する排出路３２ｃとを有している。導入路３２ｂは流路境界部３４からハウジング基端側に向けて延びており、排出路３２ｃは、計測出口３３ｃからハウジング基端側に向けて延びている。これら導入路３２ｂ及び排出路３２ｃは、高さ方向Ｙにおいて互いに平行に延びており、それぞれの流路面積は、高さ方向Ｙにおいて均一になっている。導入路３２ｂ及び排出路３２ｃにおいては、幅方向Ｘの幅寸法及び奥行き方向Ｚの奥行き寸法の両方が、高さ方向において均一になっている。この場合、導入路３２ｂ及び排出路３２ｃは、ハウジング基端側に近付いても絞られていない。

　なお、計測流路３２の流路面積は、計測流路３２の中心線に直交する方向での計測流路３２の断面積である。導入路３２ｂ及び排出路３２ｃの各中心線は高さ方向Ｙに延びており、検出路３２ａの中心線は奥行き方向Ｚに延びている。また、導入路３２ｂ及び排出路３２ｃが延びている高さ方向Ｙは、検出路３２ａとハウジング開口部６１との並び方向や、計測流路３２とセンサＳＡ５０との並び方向に相当する。

　検出路３２ａは、導入路３２ｂ及び排出路３２ｃよりもハウジング基端側に配置されており、これら導入路３２ｂと排出路３２ｃとにかけ渡された状態で、導入路３２ｂの下流端部と排出路３２ｃの上流端部とを接続している。導入路３２ｂは、奥行き方向Ｚにおいて排出路３２ｃよりも下流側に配置されており、検出路３２ａにおいては、吸気通路１２や通過流路３１とは反対向きに吸入空気が流れる。計測流路３２においては、通過流路３１から流入した吸入空気が一度はハウジング基端側に向かって流れた後、検出路３２ａを通過することでＵターンしてハウジング先端側に向かって流れる。Ｕターン形状の流路により、吸気に交じって砂塵、ダスト、水滴、油滴等の異物が飛来しても流量検出部２２まで到達せず、検出素子２２ｂを破損することや、異物が堆積し検出精度が悪化することを防止できる。そもそも、流入口３３ａから通過流路３１に進入した異物は、吸入空気の流れに沿って進むことで流出口３３ｂから排出されやすく、通過流路３１から計測流路３２に流入しにくくなっている。このことからしても、異物が流量検出部２２に到達しにくくなっている。

　計測出口３３ｃは、排出路３２ｃを幅方向Ｘに開放している。２つの計測出口３３ｃの開口面積の合計は、排出路３２ｃの流路面積とほぼ同じになっている。例えば、本実施形態とは異なり、２つの計測出口３３ｃの開口面積の合計が排出路３２ｃの流路面積より大きい構成では、異物が計測出口３３ｃから排出路３２ｃに進入しやすくなることが懸念される。また、開口面積合計が流路面積より小さい構成では、計測流路３２を流れる吸入空気が計測出口３３ｃから流出しにくくなり、流量検出部２２を通過する吸入空気の流速が低下して流量検出部２２の検出精度が低下することが懸念される。これに対して、本実施形態によれば、開口面積合計が流路面積とほぼ同じになっているため、計測出口３３ｃからの異物の進入や、計測流路３２での流速低下を抑制することができる。

　流量検出部２２は、回路基板としての検出基板２２ａと、検出基板２２ａに搭載された検出素子２２ｂとを有している。検出基板２２ａは流量検出部２２の外郭を形成しており、検出基板２２ａの基板面の中央に検出素子２２ｂが配置されている。この場合、流量検出部２２の中央に検出素子２２ｂが配置されていることになる。検出基板２２ａは、コネクタターミナル２８ａ（図１８参照）に電気的に接続されている。検出素子２２ｂは、発熱抵抗体等の発熱部や温度検出部を有しており、流量検出部２２は、検出素子２２ｂでの発熱に伴う温度の変化に応じた検出信号を出力する。なお、流量検出部２２をセンサチップと称することもできる。

　ここで、流量検出部２２の検出精度を適正に保つには、検出素子２２ｂでの吸気流量に伴う温度検出部での温度変化がある程度大きい必要があり、その温度変化を大きくするには検出素子２２ｂに触れる流体の流速がある程度大きいことが好ましい。これは、流体の流速に応じた検出素子２２ｂの温度変化に対して、自然対流により検出素子２２ｂに作用する温度変化の影響を無くすためである。自然対流による温度変化は検出素子２２ｂの設置角度により変化し、流体による温度変化の検出信号に誤差を及ぼす。検出素子２２ｂに触れる流体の流速を大きくすることで、検出素子２２ｂならびにエアフロメータ１４の設置角度により生じる自然対流の影響をなくし、流体の検出を適正に保つことができる。

　なお、流量検出部２２は、吸入空気の流量を物理量として検出する物理量検出部に相当する。また、流量検出部２２は、熱式の流量センサに限定されず、超音波式の流量センサやカルマン渦式の流量センサ等であってもよい。

　エアフロメータ１４は、チップ式の流量検出部２２を含んで構成されたセンササブアッセンブリを有しており、このセンササブアッセンブリをセンサＳＡ５０と称する。この場合、センサＳＡ５０をセンサ部と称することもでき、エアフロメータ１４をチップ式の流量計測装置と称することもできる。なお、センサＳＡ５０が検出ユニットに相当する。

　図１０に示すように、センサＳＡ５０は、回路収容部５１、中継部５２、センシング部５３及びリードターミナル５４を有しており、全体として奥行き方向Ｚ及び高さ方向Ｙに延びた板状になっている。高さ方向Ｙにおいて、回路収容部５１とセンシング部５３との間に中継部５２が設けられており、リードターミナル５４は、導電性を有し、センシング部５３とは反対側に向けて回路収容部５１から複数延出している。幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方について、中継部５２は回路収容部５１より細く、センシング部５３は中継部５２より更に細くなっている。具体的には、幅方向Ｘの幅寸法及び奥行き方向Ｚの奥行き寸法の両方について、中継部５２は回路収容部５１より小さく、センシング部５３は中継部５２より更に小さくなっている。この場合、回路収容部５１と中継部５２との間には回路段差面５５が形成され、中継部５２とセンシング部５３との間にはセンシング段差面５６が形成されている。これら段差面５５，５６は、いずれも中継部５２の周縁部に沿って一周するように環状に延びており、センサＳＡ５０の先端側を向いている。

　センシング部５３には、流量検出部２２において検出基板２２ａの少なくとも一部と検出素子２２ｂとが含まれており、この含まれた部分を支持するセンシング支持部５７もセンシング部５３に含まれている。センシング支持部５７は、センシング部５３の外郭を形成しており、中継部５２から流量検出部２２の先端側に向けて延びている。

　図８、図１１、図１２に示すように、ハウジング２１において、センサＳＡ５０はセンシング部５３が検出路３２ａに入り込む位置に配置されている。センシング部５３は、幅方向Ｘにおいて検出路３２ａの中間位置に配置されており、奥行き方向Ｚ及び高さ方向Ｙに延びている。センシング部５３は、検出路３２ａの中間領域を幅方向Ｘに仕切った状態になっており、検出路３２ａの内周面において流量検出部２２に対向する位置には、検出路３２ａの流路面積を小さくすることで検出路３２ａを絞る検出絞り部５９が設けられている。検出絞り部５９は、検出路３２ａの内周面から流量検出部２２に向けて突出しており、奥行き方向Ｚでの検出絞り部５９の奥行き寸法Ｄ１は、奥行き方向Ｚでの流量検出部２２の奥行き寸法Ｄ２より大きくなっている。また、高さ方向Ｙにおいて流量検出部２２が存在する領域においては、奥行き方向Ｚでのセンシング支持部５７の奥行き寸法Ｄ３は、検出絞り部５９の奥行き寸法Ｄ１より大きくなっている。

　検出絞り部５９は、幅方向Ｘにおいて先細りした形状になっている。具体的には、ハウジング本体２４の内壁より幅方向Ｘに突出する検出絞り部５９の基端部が最も幅の広い部分になっており、その先端部が最も幅の狭い部分になっている。検出絞り部５９の基端部の幅寸法を上記の奥行き寸法Ｄ１としている。検出絞り部５９は、流量検出部２２に向けて膨らんだ湾曲面を有している。なお、検出絞り部５９は、流量検出部２２に向けて膨らんだテーパ形状であってもよい。

　検出路３２ａの内周面のうちハウジング先端側の面を底面と称し、ハウジング基端側の面を天井面と称すると、検出路３２ａの底面はハウジング本体２４により形成されている一方で、天井面はセンサＳＡ５０のセンシング段差面５６により形成されている。すなわち、検出路３２ａはセンシング段差面５６により区画されている。ここで、開放領域ＰＢにおいて、収容領域ＰＢ１にはセンサＳＡ５０の一部として中継部５２が収容されており、収容領域ＰＢ１と計測領域ＰＢ２との境界部がセンシング段差面５６に一致している。なお、中継部５２とハウジング本体２４との間に隙間が存在する場合、この隙間が検出路３２ａに通じていてもよい。

　検出絞り部５９は、検出路３２ａの底面から天井面に向けて延びている。検出絞り部５９の外周面は高さ方向Ｙにおいて真っ直ぐに延びている。なお、高さ方向Ｙにおいて、検出絞り部５９とセンサＳＡ５０のセンシング段差面５６とは離間しており、検出絞り部５９の先端とセンシング段差面５６との間の空間も検出路３２ａに含まれることになる。

　検出路３２ａにおいては、センシング支持部５７と検出絞り部５９との離間距離が、奥行き方向Ｚにおいて流量検出部２２に近付くにつれて徐々に小さくなっていく。この構成では、導入路３２ｂから検出路３２ａに流れ込んだ吸入空気がセンシング支持部５７と検出絞り部５９との間を通る場合、流量検出部２２の検出素子２２ｂに近付くにつれて吸入空気の流速が大きくなりやすい。この場合、検出素子２２ｂには適度な流速で吸入空気が付与されるため、流量検出部２２の検出精度を高めることができる。

　図８の説明に戻り、ハウジング本体２４は、全体として筒状に形成されている。ハウジング本体２４は、その内部空間２４ａを開放するハウジング開口部６１を有しており、このハウジング開口部６１がハウジング本体２４の一方の端面に形成されている。ハウジング本体２４の他方の端部は閉鎖されており、この閉鎖部分をハウジング底部６２と称すると、このハウジング底部６２が通過流路３１の底面を形成している。ハウジング本体２４は、流入口３３ａ及び流出口３３ｂを形成する孔部を有しており、これら孔部はハウジング底部６２からハウジング基端側に向けて延びている。

　エアフロメータ１４は、ハウジング開口部６１を閉鎖する閉鎖部としてポッティング部６５を有している。ポッティング部６５は、溶融したポッティング樹脂等の樹脂材料がハウジング本体２４の内部空間２４ａに充填されることでその内部空間２４ａを封止する。この場合、ポッティング部６５を封止部やシール部と称することもできる。ポッティング部６５は、エアフロメータ１４においてハウジング２１と一体成型される部位ではなく、ハウジング２１とは独立して形成される部位である。

　内部空間２４ａには、ポッティング部６５により封止された封止領域ＰＡと、ポッティング部６５により封止されていない開放領域ＰＢとが含まれている。封止領域ＰＡは、ハウジング開口部６１からハウジング先端側に向けて延びており、開放領域ＰＢは、封止領域ＰＡのハウジング先端側に配置されている。開放領域ＰＢは、封止領域ＰＡからハウジング先端側に向けて延びており、開放領域ＰＢには計測流路３２が含まれている。封止領域ＰＡと開放領域ＰＢとの境界部は、高さ方向Ｙに直交する方向に延びている。なお、封止領域ＰＡがポッティング領域に相当する。

　開放領域ＰＢは、センサＳＡ５０の一部を収容した収容領域ＰＢ１と、計測流路３２を形成している計測領域ＰＢ２とを有している。収容領域ＰＢ１は封止領域ＰＡからハウジング先端側に向けて延びており、計測領域ＰＢ２は収容領域ＰＢ１のハウジング先端側に設けられている。収容領域ＰＢ１と計測領域ＰＢ２との境界部は高さ方向Ｙに直交する方向に延びており、これら収容領域ＰＢ１と計測領域ＰＢ２とは、開放領域ＰＢを高さ方向Ｙに２分割している。

　ハウジング本体２４の内周面には、封止領域ＰＡの内周面と開放領域ＰＢの内周面との間に領域段差面６６が形成されている。領域段差面６６は、内部空間２４ａの周囲を一周するように環状に延びており、ハウジング基端側を向いている。ハウジング本体２４の肉厚を極力薄くすることなどを目的として、ハウジング本体２４には、領域段差面６６に合わせて外周側に張り出した張り出し部６６ａが設けられている。これら領域段差面６６及び張り出し部６６ａは、リング保持部２５よりもハウジング先端側に配置されている。なお、領域段差面６６が引っ掛かり部に相当する。

　封止領域ＰＡの内周面には、領域段差面６６よりもハウジング基端側に設けられた封止段差面６７が設けられている。封止段差面６７は、領域段差面６６と同様に、封止領域ＰＡの周囲を一周するように環状に延びており、ハウジング基端側を向いている。

　センサＳＡ５０は、高さ方向Ｙにおいて封止領域ＰＡと開放領域ＰＢとに跨った状態で、その全体がハウジング２１の内部空間２４ａに収容されている。センサＳＡ５０の回路段差面５５はハウジング２１の領域段差面６６に引っ掛かった状態になっており、これにより、センサＳＡ５０が更に内部空間２４ａに入り込むことが規制されている。また、回路段差面５５と領域段差面６６とは互いに密着した状態で当接しており、ポッティング部６５を形成する際に溶融樹脂が開放領域ＰＢに浸入することがこの当接部分により規制される。この場合、封止領域ＰＡと開放領域ＰＢとの境界部は、センサＳＡ５０の回路収容部５１と中継部５２との境界部に一致している。なお、ハウジング２１にセンサＳＡ５０が組付けられることで、ハウジング２１の内部空間２４ａの全部または一部はセンサＳＡ５０により占有される。

　奥行き方向Ｚにおいて領域段差面６６での封止領域ＰＡの奥行き寸法Ｄ５が開放領域ＰＢの奥行き寸法Ｄ６より大きくなっている。この場合、センサＳＡ５０において回路段差面５５での回路収容部５１の奥行き寸法Ｄ７は、封止領域ＰＡの奥行き寸法Ｄ５より小さく、開放領域ＰＢの奥行き寸法Ｄ６より大きい。また、図１１に示すように、幅方向Ｘにおいて領域段差面６６での封止領域ＰＡの幅寸法Ｗ１が開放領域ＰＢの幅寸法Ｗ２より大きくなっている。この場合、センサＳＡ５０において回路段差面５５での回路収容部５１の幅寸法Ｗ３は、封止領域ＰＡの幅寸法Ｗ１より小さく、開放領域ＰＢの幅寸法Ｗ２より大きい。このようにして、センサＳＡ５０の回路段差面５５がハウジング２１の領域段差面６６に引っ掛かる構成が実現されている。

　なお、センサＳＡ５０について、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚは、回路収容部５１と流量検出部２２との並び方向に直交する方向や、センシング支持部５７が中継部５２から突出する方向に直交する方向になる。また、リードターミナル５４が回路収容部５１から突出する方向に直交する方向にもなる。ハウジング２１について、奥行き方向Ｚは、通過流路３１や検出路３２ａにおいて吸入空気が流れる方向になる。

　ハウジング本体２４は、横仕切壁６８及び縦仕切壁６９を有しており、これら仕切壁６８，６９は、奥行き方向Ｚに横並びに設けられている。横仕切壁６８は、内部空間２４ａを高さ方向Ｙに直交する方向に仕切ることで、開放領域ＰＢのハウジング先端側の端部を規定している。横仕切壁６８は、ハウジング本体２４の上流側外周部から下流側に向けて延びており、開放領域ＰＢと流入通過路３１ａとを上下に仕切っている。横仕切壁６８は、流入口３３ａよりもハウジング基端側に配置されており、流入通過路３１ａの天井面を形成している。縦仕切壁６９は、横仕切壁６８からハウジング基端側に向けて延びており、計測流路３２の導入路３２ｂと排出路３２ｃとを仕切っているとともに、検出路３２ａの床面を形成している。なお、横仕切壁６８を横仕切部と称し、縦仕切壁６９を縦仕切部と称することもできる。また、横仕切壁６８が通過仕切部に相当し、縦仕切壁６９が計測仕切部に相当する。

　ハウジング本体２４は、流入口３３ａ及び流出口３３ｂよりもハウジング基端側からハウジング開口部６１に近付いても内部空間２４ａを絞らない構成になっている。この構成では、ハウジング本体２４の内周面に、領域段差面６６のようにハウジング基端側を向いた段差面があっても、ハウジング先端側を向いた段差面はない。また、ハウジング２１の内周面において内部空間２４ａを挟んで互いに対向する部分の離間距離が、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付くにつれて大きくなることや変わらないことはあっても、小さくなることはない。

　縦仕切壁６９は、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付いても太くならない構成になっている。この構成では、奥行き方向Ｚにおいて縦仕切壁６９の奥行き寸法が、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付くにつれて小さくなることや変わらないことはあっても、大きくなることはない。また、図１２、図１３において、検出絞り部５９の奥行き寸法Ｄ１は、奥行き方向Ｚにおいて縦仕切壁６９が細い部分の奥行き寸法Ｄ８と同じ又はそれよりも小さくなっている。これにより、検出絞り部５９と縦仕切壁６９との境界部に、ハウジング先端側を向いた段差面が形成されないようになっている。

　図８の説明に戻り、ハウジング本体２４の内部空間２４ａであっても、高さ方向Ｙにおいて横仕切壁６８よりもハウジング先端側の領域においては、ハウジング開口部６１に近付くにつれて内部空間２４ａが絞られていてもよい。すなわち、幅方向Ｘにおいて通過流路３１の幅寸法は、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付くにつれて徐々に小さくなっていてもよい。また、通過流路３１の内周面には、ハウジング先端側を向いた段差面が形成されていてもよい。

　ただし、上述したように、通過流路３１は奥行き方向Ｚにおいて流入口３３ａに近付いても絞られない構成になっている。この構成では、通過流路３１の内周面に、流入口３３ａ側を向いた段差面はあってもよいが、流出口３３ｂ側を向いた段差面はない。

　ハウジング本体２４の内部空間２４ａにおいては、センサＳＡ５０の中継部５２がハウジング本体２４の内周面に嵌合していることで、センサＳＡ５０の回路段差面５５とハウジング本体２４の領域段差面６６とが当接した位置保持される。センサＳＡ５０の板面について、流量検出部２２が設けられた面を表面と称し、表面とは反対側の面を裏面と称すると、図８、図１４に示すように、センサＳＡ５０は、表側に突出した表ＳＡ突起７１ａと、裏側に突出した裏ＳＡ突起７１ｂとを有している。これら表ＳＡ突起７１ａ及び裏ＳＡ突起７１ｂは、いずれも中継部５２にそれぞれ２個ずつ設けられている。

　ハウジング本体２４は、その内周面から幅方向Ｘに突出した幅ハウジング突起７２ａと、奥行き方向Ｚに突出した奥行きハウジング突起７２ｂとを有している。これらハウジング突起７２ａ，７２ｂは、いずれもハウジング本体２４の内周面から内周側に向けて突出している。幅ハウジング突起７２ａはセンサＳＡ５０の表面に対向する位置に２個設けられている。奥行きハウジング突起７２ｂは、ハウジング本体２４の上流側外周部においてセンサＳＡ５０の側面に対向する位置に１個設けられており、奥行き方向Ｚに対して傾いた方向においてハウジング本体２４の湾曲面４５から離間する向きに延びている。

　ハウジング突起７２ａ，７２ｂは、開放領域ＰＢの内周面に配置されていることで、リング保持部２５よりもハウジング先端側に設けられている。ここで、ハウジング２１においては、ハウジング本体２４の外周側にリング保持部２５が設けられていることや、保持溝２５ａを形成することなどに起因して、リング保持部２５を形成する部分の肉厚が比較的大きくなっている。このため、ハウジング２１を樹脂成型する場合に、溶融樹脂の硬化に伴って、ハウジング２１においてリング保持部２５を形成する部分の樹脂歪みが発生しやすいことが懸念される。これに対して、上述したように、ハウジング突起７２ａ，７２ｂがリング保持部２５からハウジング先端側に離間した位置に配置されているため、リング保持部２５での樹脂歪みの影響がハウジング突起７２ａ，７２ｂに付与されにくい。このため、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの寸法や位置を設計通りに精度良く実現することができる。

　表ＳＡ突起７１ａと幅ハウジング突起７２ａとは、それぞれの先端面同士で当接しており、裏ＳＡ突起７１ｂはハウジング本体２４の内周面の平坦部分に当接している。これにより、幅方向Ｘについてハウジング本体２４に対するセンサＳＡ５０の相対的な移動が規制されている。また、中継部５２においてハウジング本体２４の湾曲面４５側の側端面には奥行きハウジング突起７２ｂの先端面が当接しており、中継部５２において湾曲面４５とは反対側の側端面はハウジング本体２４の内周面の平坦部分に当接している。これにより、奥行き方向Ｚについてハウジング本体２４に対するセンサＳＡ５０の相対的な移動が規制されている。

　なお、ハウジング本体２４の内周面には、裏ＳＡ突起７１ｂに対応する突起が設けられていないことに起因して、センサＳＡ５０は、幅方向Ｘにおいて内部空間２４ａの中心よりも幅ハウジング突起７２ａとは反対側に寄った位置に配置されている。すなわち、センサＳＡ５０は、そのセンサＳＡ５０の裏面側に寄った位置に配置されている。

　ここで、エアフロメータ１４の製造時において、センサＳＡ５０がハウジング本体２４の内周面に嵌合される前のハウジング突起７２ａ，７２ｂについて、図１５、図１６を参照しつつ説明する。図１５に示すように、ハウジング本体２４の内周面からのハウジング突起７２ａ，７２ｂの突出寸法は、センサＳＡ５０が嵌合された後に比べて大きくなっている。例えば、センサＳＡ５０が嵌合される前のハウジング突起７２ａ，７２ｂは、突出方向においてテーパ状に先細りした形状になっており、先端が尖っている。

　ハウジング本体２４の内周面は、ハウジング突起７２ａ，７２ｂを支持する突起支持面７３を有している。ここで、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの端面がハウジング先端側に向いた段差面になることを回避するべく、ハウジング突起７２ａ，７２ｂをハウジング先端側から覆い隠すための突起覆い面７４がハウジング本体２４の内周面に含まれている。突起覆い面７４は、突起支持面７３よりもハウジング先端側に設けられ、突起支持面７３よりも幅方向Ｘや奥行き方向Ｚにおいて内周側に配置されている。これら突起支持面７３と突起覆い面７４との境界部には、ハウジング基端側を向いた覆い段差面７５が形成されている。

　図１４、図１６に示すように、センサＳＡ５０のＳＡ突起７１ａ，７１ｂは、ハウジング突起７２ａ，７２ｂとは異なり、ハウジング本体２４の内周面に嵌合される前後で形状及び寸法のいずれについても大きな変化がない。これは、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂがハウジング突起７２ａ，７２ｂに比べて硬度や強度の高い材料により形成されていることなどに起因している。

　図１５、図１６において、センサＳＡ５０が嵌合される前のハウジング本体２４では、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂを除いた幅方向Ｘでの内部空間２４ａの有効寸法Ｗ４が、幅方向ＸでのセンサＳＡ５０の最も厚い部分の幅寸法Ｗ５より小さい。この幅寸法Ｗ５は、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂの先端同士の離間距離になっている。この場合、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに挿入していくと、表ＳＡ突起７１ａにより幅ハウジング突起７２ａの先端部が削り落とされ、中継部５２の側端面により奥行きハウジング突起７２ｂの先端部が削り落とされる。この場合、センサＳＡ５０は、ハウジング本体２４の内周面のうち裏側の面に向けて及び湾曲面４５とは反対側に向けて押し付けられることで、幅方向Ｘにおいて内部空間２４ａでのセンサＳＡ５０の位置決めが精度良く行われる。なお、センサＳＡ５０が内部空間２４ａに挿入される際に、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの先端部が削り落とされることよりも、ハウジング突起７２ａ，７２ｂが表ＳＡ突起７１ａや中継部５２により押圧されて変形することの方が生じやすくなっている。この場合、ハウジング突起７２ａ，７２ｂが表ＳＡ突起７１ａや中継部５２により押し潰されるように変形することで、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの突起寸法が減少することになる。

　上述したように、センサＳＡ５０の幅寸法Ｗ５がＳＡ突起７１ａ，７１ｂにより規定される構成では、この幅寸法Ｗ５が例えば中継部５２の表面及び裏面により規定される構成に比べて、幅寸法Ｗ５の製造ばらつきが生じにくくなっている。このため、センサＳＡ５０がＳＡ突起７１ａ，７１ｂを有していない構成に比べて、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚについてハウジング本体２４に対するセンサＳＡ５０の位置決め精度を更に高めることができる。

　ＳＡ突起７１ａ，７１ｂ及びハウジング突起７２ａ，７２ｂは、いずれも高さ方向Ｙに延びる長尺状になっている。ＳＡ突起７１ａ，７１ｂは、回路段差面５５からハウジング先端側に向けて中継部５２の中間位置まで延びており、ハウジング突起７２ａ，７２ｂは、領域段差面６６からハウジング先端側に向けてハウジング本体２４の中間位置まで延びている。本実施形態では、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの方がＳＡ突起７１ａ，７１ｂよりもハウジング先端側に延びており、表ＳＡ突起７１ａよりもハウジング先端側では、幅ハウジング突起７２ａの先端部が削り落とされずに残った状態になっている。幅ハウジング突起７２ａが表ＳＡ突起７１ａにより押圧されて変形している場合には、幅ハウジング突起７２ａにおいて表ＳＡ突起７１ａよりもハウジング先端側にある部分は、変形していない又は僅かに変形していることになる。

　なお、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂは、中継部５２のハウジング先端側の端部まで延びていてもよい。また、ハウジング突起７２ａ，７２ｂは、開放領域ＰＢのハウジング先端側の端部まで延びていてもよい。この場合、開放領域ＰＢにおいてハウジング突起７２ａ，７２ｂの端面がハウジング基端側を向く構成にならないため、突起覆い面７４及び覆い段差面７５を設ける必要がない。

　また、図１２及び図１３と、図１４及び図１５とでは、ハウジング本体２４の内部空間２４ａの断面形状が異なっているが、これは、図１２及び図１３を概略図としたためであり、図１２～図１５はいずれも図８のエアフロメータ１４に関する図である。図１１では、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂやハウジング突起７２ａ，７２ｂの図示を省略しており、図１４では、突起覆い面７４及び覆い段差面７５の図示を省略している。

　図１７に示すように、センサＳＡ５０は、流量検出部２２及びリードターミナル５４に加えて、各種処理を行う回路チップ８１と、回路チップ８１を支持するリードフレーム８２と、中継基板８３と、ボンディングワイヤ８４とを有している。中継基板８３は、流量検出部２２からの信号を回路チップ８１に中継する。ボンディングワイヤ８４は検出基板２２ａとリードターミナル５４とが電気的に接続されるように複数設けられている。

　また、センサＳＡ５０は、このセンサＳＡ５０の外郭を形成するモールド部７６を有している。モールド部７６は、モールド樹脂等の樹脂材料により形成されており、流量検出部２２やリードターミナル５４、回路チップ８１、リードフレーム８２、中継基板８３、ボンディングワイヤ８４などを保護した状態で固定している。中継基板８３と検出基板２２ａとにかけ渡されたボンディングワイヤ８４は、ポッティング樹脂等の樹脂材料により形成された保護部７７により保護されている。検出基板２２ａには、保護部７７の周縁部に沿って延びるダム材７８が設けられており、ダム材７８は、保護部７７を形成する際に溶融樹脂の形状を規定する役割を果たす。

　モールド部７６は、検出基板２２ａを支持する支持面７６ａを有している。この支持面７６ａには、検出基板２２ａの板面が重ねられた状態で接合されており、検出基板２２ａは、支持面７６ａと保護部７７とで挟み込まれた状態で支持されている。ここで、センサＳＡ５０においては、支持面７６ａ及び回路チップ８１が、ハウジング本体２４との固定部分になる回路段差面５５から極力離間した位置に配置されるようになっている。例えば、支持面７６ａ及び回路チップ８１は、幅方向Ｘや高さ方向Ｙにおいて回路段差面５５に横並びになる位置には配置されていない。この場合、仮に回路段差面５５に加えられた外力によりセンサＳＡ５０が変形したとしても、流量検出部２２や回路チップ８１が変形しにくいため、５０の動作精度を適正に保つことができる。

　図１８、図１９に示すように、センサＳＡ５０のリードターミナル５４は、ハウジング本体２４の封止領域ＰＡにおいてターミナルユニット８５を介してコネクタ部２８のコネクタターミナル２８ａに電気的に接続されている。リードターミナル５４及びコネクタターミナル２８ａは、奥行き方向Ｚにおいてそれぞれ所定間隔で複数ずつ並べられている。互いに対応するリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとが一組のターミナルとして、幅方向Ｘに対向する位置に配置されており、これらターミナル２８ａ，５４がターミナルユニット８５を介して接続されている。

　図２０に示すように、ターミナルユニット８５は、複数のブリッジターミナル８６と、これらブリッジターミナル８６を固定するターミナル固定部８７とを有している。ブリッジターミナル８６は、導電性を有し、全体としてＵ字状に延びた細長部材になっている。ブリッジターミナル８６は、コネクタターミナル２８ａが接続された第１接続部８６ａと、リードターミナル５４が接続された第２接続部８６ｂとを有している。これら接続部８６ａ，８６ｂは、ブリッジターミナル８６の一部がその厚み方向に湾曲して突出した部分であり、その突出部分がターミナル２８ａ，５４に溶接等で接続されている。複数のブリッジターミナル８６は、奥行き方向Ｚに所定間隔で並べられており、ターミナル固定部８７は、これら奥行き方向Ｚに延びた状態でこれらブリッジターミナル８６の中間部分を連結している。ターミナル固定部８７は、電気的な絶縁性を有する樹脂材料等により形成されている。

　コネクタターミナル２８ａ、リードターミナル５４及びブリッジターミナル８６は、互いに接続される部分がいずれも高さ方向Ｙに延びている。この場合、これらターミナル２８ａ，５４，８６について、互いに接続する際に実際の位置関係に合わせて後曲げ等の折り曲げ加工を行うという必要がないため、エアフロメータ１４を製造する際の作業負担を低減できる。また、これらターミナル２８ａ，５４，８６の接続をスポット溶接により行う場合には、溶接治具の電極とターミナル２８ａ，５４，８６とを安定的に接触させることができるため、溶接強度を高めやすい。なお、ターミナル２８ａ，５４，８６を接続する溶接として、スポット溶接の他にもレーザー溶接等を用いてもよい。また、これらターミナル２８ａ，５４，８６の電気的な接続をワイヤーボンディングやはんだ付けなどにより実現してもよい。

　ターミナルユニット８５は、ターミナル固定部８７が封止段差面６７に引っ掛けられることなどによりハウジング本体２４に対して固定されている。この場合、高さ方向Ｙについて、ハウジング本体２４に対するターミナルユニット８５の位置決めが封止段差面６７により行われている。

　なお、図１８においては、ハウジング本体２４の図示を省略しており、ハウジング開口部６１やポッティング部６５を仮想線で図示している。図１９においては、ハウジング本体２４を図示しているが、ポッティング部６５の図示を省略している。また、ブリッジターミナル８６が、コネクタターミナル２８ａ及びリードターミナル５４を嵌合させる嵌合部分を有していてもよい。この構成では、これらターミナル２８ａ，５４，８６にスポット溶接を行う必要がない。

　感温素子２３ａからの信号は、吸気温ターミナル２３ｃ→ブリッジターミナル８６→リードターミナル５４→回路チップ８１→リードターミナル５４→ブリッジターミナル８６→コネクタターミナル２８ａ、の順でコネクタ部２８から出力される。

　センサＳＡ５０においては、計測流路３２を流通する吸入空気の流量に応じた流量信号が流量検出部２２から回路チップ８１に対して出力され、この流量信号が回路チップ８１にて処理されることで吸気通路１２における吸入空気の流量が算出される。回路チップ８１により算出された流量は、リードターミナル５４やコネクタターミナル２８ａを通じた信号送信により、ＥＣＵ２０に伝達される。このようにエアフロメータ１４は、吸気通路１２を流通する吸入空気の流量を、流量検出部２２によって検出する。

　上述したように、封止領域ＰＡにおいては、ターミナル２８ａ，５４，８６が露出しないようにポッティング部６５により封止されている。図８、図２１に示すように、ハウジング本体２４は、ハウジング開口部６１の周縁部に沿って延びるリップ８９を有している。リップ８９は、ハウジング開口部６１の周りを環状に一周しており、ポッティング部６５を形成する際に溶融樹脂がハウジング開口部６１から流出することを規制する機能を有している。ハウジング２１においては、リップ８９の外周側にフランジ部２７が存在している。

　図２１に示すように、ポッティング部６５の表面は、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１からハウジング先端側に離間した位置にある。この表面は、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びているわけではなく、ハウジング本体２４の内周面に近い部分ほどハウジング開口部６１に近い位置に配置されている。これは、ポッティング部６５を形成する際に、封止領域ＰＡに充填された溶融樹脂がハウジング本体２４の内周面を這い上がる現象が起きるためである。溶融樹脂の這い上がり現象は、特に入隅部分において発生しやすい。これに対して、本実施形態では、図３に示すように、ハウジング開口部６１や封止領域ＰＡの四隅が湾曲面になっているため、溶融樹脂の這い上がり現象が発生しにくく、その結果、溶融樹脂がハウジング開口部６１から流出しにくくなっている。また、この場合、溶融樹脂を封止領域ＰＡに充填した際にボイドや隙間も生じにくくなっている。

　ポッティング部６５の形成に用いる熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂が選択された場合、エポキシ樹脂は、例えばウレタン樹脂に比べて硬いことに起因して、センサＳＡ５０の位置決め精度を高めることができる。なお、ポッティング部６５を形成可能な熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂の他に、ウレタン樹脂やシリコン樹脂などが挙げられる。

　次に、ハウジング２１を樹脂成型するための型装置９０について、図２２～図２６を参照しつつ説明する。図２２に示すように、型装置９０は、ハウジング本体２４の内周面を成型する内周型部９１と、ハウジング２１の外周面を成型する外周型部１０２，１０３と、通過流路３１を成型する通過型部１０４と、根元部２９ａを成型する根元型部１０５，１０６とを有している。

　内周型部９１は、型本体部９２と入り込み部９３とを有している。型本体部９２は、フランジ部２７やコネクタ部２８の外周面を形成するための本体凹部９２ａを有しており、入り込み部９３は、ハウジング本体２４の内部空間２４ａを形成するために、本体凹部９２ａの底面から延びている。エアフロメータ１４について定義した方向を型装置９０にも適用すると、本体凹部９２ａは高さ方向Ｙに凹んでおり、入り込み部９３は高さ方向Ｙに延びている。なお、本体凹部９２ａの内周面において高さ方向Ｙを向いた面を底面と称している。

　入り込み部９３は、封止領域ＰＡを形成するための封止成型部９４と、開放領域ＰＢを形成するための開放成型部９５とを有しており、開放成型部９５は封止成型部９４から高さ方向Ｙに延びている。開放成型部９５は、収容領域ＰＢ１を形成するための収容成型部９６と、計測領域ＰＢ２を形成するための計測成型部９７とを有しており、計測成型部９７は収容成型部９６から高さ方向Ｙに延びている。

　図２２～図２４において、計測成型部９７は、検出路３２ａを形成するための検出成型部９７ａと、導入路３２ｂを形成するための導入成型部９７ｂと、排出路３２ｃを形成するための排出成型部９７ｃとを有している。導入成型部９７ｂ及び排出成型部９７ｃは、検出成型部９７ａから高さ方向Ｙに延びており、いずれも長尺状の柱部材になっている。導入成型部９７ｂと排出成型部９７ｃとは、互いに離間した状態で奥行き方向Ｚに横並びに配置されており、検出成型部９７ａは、これら導入成型部９７ｂと排出成型部９７ｃとを接続している。導入成型部９７ｂは導入柱部に相当し、排出成型部９７ｃは排出柱部に相当し、検出成型部９７ａは柱接続部に相当する。

　内周型部９１については、ハウジング２１を樹脂成型した場合に、入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることが可能な構成になっている。具体的には、入り込み部９３においては、封止成型部９４、収容成型部９６、検出成型部９７ａ、導入成型部９７ｂ及び排出成型部９７ｃが、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて細くなることや変わらないことはあっても、太くはなっていない。また、入り込み部９３の外周面には、入り込み部９３の先端側を向いた段差面が形成されていても、入り込み部９３の基端側を向いた段差面は形成されていない。したがって、入り込み部９３においては、幅方向Ｘの幅寸法及び奥行き方向Ｚの奥行き寸法が、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて小さくなることや変わらないことはあっても、大きくはなっていない。ここで内周型部９１の先端部とは、導入成型部９７ｂ及び排出成型部９７ｃにおいて、検出成型部９７ａに接続されていない側である。

　特に、図２３、図２４において、導入成型部９７ｂ及び排出成型部９７ｃについては、これらの離間距離Ｌ１が、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて大きくなることや変わらないことはあっても、小さくはなっていない。また、導入成型部９７ｂ及び排出成型部９７ｃのそれぞれの外側面同士の離間距離Ｌ２は、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて小さくなることや変わらないことはあっても、大きくなってはいない。さらに、幅方向Ｘにおいて一方を右向きと称し、他方を左向きと称すると、導入成型部９７ｂの外周面のうち右向きの右面と、排出成型部９７ｃの外周面のうち左向きの左面との離間距離が、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて大きくはなっていない。同様に、導入成型部９７ｂの左面と排出成型部９７ｃの右面との離間距離も、入り込み部９３の先端部に近付くにつれて大きくはなっていない。

　また、通過型部１０４については、ハウジング２１を樹脂成型した場合に、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることが可能な構成になっている。具体的には、図２２、図２５、図２６において、通過型部１０４は、奥行き方向Ｚに延びる長尺状の柱部材になっている。通過型部１０４について、流出口３３ｂを形成するための部分を先端部と称すると、通過型部１０４は、その先端部に近付くにつれて細くなることや変わらないことはあっても、太くはなっていない。また、通過型部１０４の外周面には、通過型部１０４の先端側を向いた段差面が形成されていても、通過型部１０４の基端側を向いた段差面は形成されていない。したがって、通過型部１０４においては、幅方向Ｘの幅寸法及び高さ方向Ｙの高さ寸法が、通過型部１０４の先端部に近付くにつれて小さくなることや変わらないことはあっても、大きくはなっていない。

　図２２の説明に戻り、一対の外周型部１０２，１０３は、幅方向Ｘに並べて配置されている。この幅方向Ｘは、内周型部９１において導入成型部９７ｂと排出成型部９７ｃとの並び方向である奥行き方向Ｚに直交する方向になっている。一対の外周型部１０２，１０３には、ハウジング２１を成型するためのハウジング用凹部１１１や、通過型部１０４及び根元型部１０５，１０６を収容するための型用凹部１１２が形成されている。フランジ部２７の外周面やコネクタ部２８の外周面について、内周型部９１の本体凹部９２ａと外周型部１０２，１０３のハウジング用凹部１１１とでは、互いに異なる部分を成型する。また、外周型部１０２，１０３は、計測出口３３ｃを形成するための出口用延出部１１３を有しており、この出口用延出部１１３は、ハウジング２１用の型用凹部１１２の底面から幅方向Ｘに延びている。また、第１外周型部１０２は、コネクタ部２８の内周面を形成するために内周型部９１の本体凹部９２ａ内に入り込む型部（図示略）と、保護突起２９ｂを形成するための凹部とを有している。

　なお、第１外周型部１０２が第１型部に相当し、第２外周型部１０３が第２型部に相当する。また、出口用延出部１１３が延びた幅方向Ｘは、第１外周型部１０２と第２外周型部１０３との並び方向でもある。

　一対の根元型部１０５，１０６は、第１外周型部１０２と第２外周型部１０３との間において奥行き方向Ｚに並べて配置されている。これら根元型部１０５，１０６には、根元部２９ａを成型するための凹部が、それぞれの先端面に形成されている。第１根元型部１０５の凹部は、根元部２９ａの上流側端面に合わせた形状になっており、第２根元型部１０６の凹部は、根元部２９ａの下流側端面に合わせた形状になっている。

　続いて、エアフロメータ１４の製造方法として、型装置９０を用いたハウジング２１の製造方法について説明する。なお、エアフロメータ１４の製造方法が物理量計測装置の製造方法に相当する。

　まず、型装置９０について、型部９１，１０２～１０６のそれぞれを準備する。そして、これら型部９１，１０２～１０６を組み付ける。例えば、第１外周型部１０２と第２外周型部１０３とをそれぞれの凹部を向かい合わせた状態で互いに固定し、これら外周型部１０２，１０３の間に形成された開口部に、内周型部９１の入り込み部９３や通過型部１０４、根元型部１０５，１０６を挿入する。この開口部は、外周型部１０２，１０３の各型用凹部１１２により形成されており、この開口部から挿入された内周型部９１の入り込み部９３や通過型部１０４、根元型部１０５，１０６は、型用凹部１１２内をスライドすることになる。なお、この工程では、第１外周型部１０２を作業台等の上に設置し、その凹部内に内周型部９１の入り込み部９３や通過型部１０４，根元型部１０５，１０５を載せた状態で、第１外周型部１０２の上に第２外周型部１０３を載せてもよい。要は、型装置９０を組み立てることができればよい。

　型装置９０が組み立てられた状態では、外周型部１０２，１０３の出口用延出部１１３が内周型部９１の排出成型部９７ｃに当接しており、これによって、計測出口３３ｃがハウジング２１の外周部を貫通する構成が実現される。また、この状態では、通過型部１０４の先端面が外周型部１０２，１０３のハウジング用凹部１１１の内周面の少なくとも一方に当接しており、これによって、流出口３３ｂがハウジング２１の外周部を貫通する構成が実現される。また、通過型部１０４の先端部が導入成型部９７ｂを越えて延び、この先端面が外周型部１０２，１０３の両方に当接している構成をインロー構造と称することができる。このインロー構造では、流出口３３ｂの周辺についてバリ抑制の効果を奏することが可能になる。

　吸気温ターミナル２３ｃやコネクタターミナル２８ａについては、型装置９０を組み立てるよりも前の段階で、互いに接続した状態で内周型部９１や外周型部１０２，１０３にあらかじめ取り付けておく。これにより、ハウジング２１を一体成型する場合でも、ターミナル２３ｃ，２８ａがハウジング２１に埋め込まれた構成を実現できる。

　型装置９０の組み立てが完了した後、型装置９０に形成された１つだけの注入口から溶融樹脂を型装置９０の内部に注入する。注入口は、例えば第１外周型部１０２に形成されており、ハウジング２１全体を一体成型するための溶融樹脂は１回の注入により全て型装置９０の内部に充填される。なお、樹脂注入を複数回に分けて行ってもよいが、複数回の注入に分けられた溶融樹脂の全ては、ハウジング２１を一体成型するために用いられる。本実施形態とは異なり、例えば、複数の部材を成型するための樹脂注入と、これら部材を接合するための樹脂注入と、が行われることでハウジングが製造された場合には、このハウジングを一体成型したと言うことはできないと考えられる。

　型装置９０において型部９１，１０２～１０６の隙間に充填された溶融樹脂が硬化した後、型装置９０を分解することで、型部９１，１０２～１０６をハウジング本体２４から取り外す。例えば、外周型部１０２，１０３の間の開口部から、内周型部９１の入り込み部９３や通過型部１０４、根元型部１０５，１０６を抜き取り、外周型部１０２，１０３を互いに離間させることでこれら外周型部１０２，１０３からハウジング２１を取り外す。なお、外周型部１０２，１０３を互いに離間させた後に、ハウジング２１から内周型部９１や通過型部１０４、根元型部１０５，１０６を取り外してもよい。要は、型装置９０を分解してハウジング２１を取り出すことができればよい。

　ここで、内周型部９１については、上述したように、入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることが可能な構成が実現されていることで、ハウジング本体２４の内周面を一体成型することができる。例えば、図２４に示すように、計測成型部９７をハウジング本体２４の内周面から離脱させることで計測流路３２が一体成型される。通過型部１０４についても、上述したように、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることが可能な構成が実現されていることで、図２６に示すように、通過流路３１の内周面を一体成型することができる。なお、ハウジング２１の樹脂成型に際して、導入成型部９７ｂは、流路境界部３４を越えて流出通過路３１ｂまで達している。これにより、流出通過路３１ｂが流入通過路３１ａに対してハウジング基端側に向けて傾斜している構成でも、通過型部１０４が縦仕切壁６９に引っ掛かってしまってその通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることができないということを回避できる。

　＜構成群Ａの効果＞
　計測流路の一体成型に関する構成群Ａの効果について説明する。本実施形態によれば、型装置９０を用いることでハウジング２１が一体成型されるため、複数の部材を別々に樹脂成型した後にこれら部材を組み合わせてハウジング２１を製造するという必要がない。この場合、部材同士の境界部において、通過流路３１や計測流路３２の内周面に段差が発生することや、幅方向Ｘにおいて通過流路３１や計測流路３２の幅寸法が製品ごとにばらつくということが生じにくくなる。このように製造ばらつきを抑制することで、流量検出部２２による吸入空気量の検出精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、第１外周型部１０２及び第２外周型部１０３という少なくとも２個の型部を用いてハウジング２１の外周面が形成されるため、ハウジング２１の外周形状に関する自由度を高めることができる。また、型装置９０において外周型部１０２，１０３が並ぶ幅方向Ｘは、導入路３２ｂ及び排出路３２ｃが並ぶ奥行き方向Ｚに直交しているため、例えば外周型部１０２，１０３が奥行き方向Ｚに並んだ構成に比べて、ハウジング用凹部１１１の深さ寸法が小さくなる。この場合、溶融樹脂がハウジング用凹部１１１の全体に行き渡りやすくなるため、樹脂成型したハウジング２１の一部が欠けているという製品不良が生じることを抑制できる。

　本実施形態によれば、型装置９０において第１外周型部１０２の出口用延出部１１３が内周型部９１に当接しているため、ハウジング２１の外周部を貫通する計測出口３３ｃを型装置９０により成型することができる。このため、例えばハウジング２１を成型した後にハウジング２１の外周部に孔開け加工を施すことで計測出口３３ｃを形成するという方法に比べて、計測出口３３ｃを形成するための作業負担を低減できる。しかも、ハウジング２１の外周部を幅方向Ｘに貫通する計測出口３３ｃを成型するには、出口用延出部１１３を第１外周型部１０２から幅方向Ｘに延出させればよい。このため、例えば通過型部１０４を用いて成型する通過流路３１とは異なり、計測出口３３ｃを成型するための専用型部を第１外周型部１０２とは別に使用する必要がない。この場合、専用型部を使用しない分だけ型装置９０の製造コストを低減でき、さらに、専用型部を使用しないことで型装置９０を組み立てる際の作業負担を低減できる。

　本実施形態によれば、型装置９０においては、通過型部１０４が内周型部９１に奥行き方向Ｚに並んでいるため、通過流路３１の流入口３３ａ及び流出口３３ｂが奥行き方向Ｚに開放された構成を樹脂成型により実現できる。例えば、本実施形態とは異なり、奥行き方向Ｚに開放された流入口３３ａや流出口３３ｂを形成する専用部分が第１外周型部１０２に設けられた構成では、ハウジング２１から第１外周型部１０２を幅方向Ｘに取り外すことが困難になってしまう。

　本実施形態によれば、内周型部９１の型本体部９２と外周型部１０２，１０３を組み合わせることで、ハウジング本体２４から幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに延出したフランジ部２７やコネクタ部２８が成型される。このようにフランジ部２７やコネクタ部２８を成型するには、型本体部９２と外周型部１０２，１０３とが高さ方向Ｙに組み合わされることで、フランジ部２７から型本体部９２及び外周型部１０２，１０３を容易に取り外すことができる。

　本実施形態によれば、型装置９０において内周型部９１の入り込み部９３が外周型部１０２，１０３の各ハウジング用凹部１１１に入り込んだ状態になっている。この場合、溶融樹脂が硬化した後には、作業者等が型本体部９２を掴んだ状態で入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることで、ハウジング２１から内周型部９１を取り外すことができる。このため、ハウジング２１の一体成型を実現する型装置９０を実現でき、しかも、ハウジング２１から型装置９０を容易に取り外すことができる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１においては、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付いても内部空間２４ａが絞られていない。このため、型装置９０を用いてハウジング２１を樹脂成型する場合に、内周型部９１の入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることが可能になる。したがって、ハウジング２１において内部空間２４ａを形成する部分を複数の部材に分割するという必要がない。例えば、本実施形態とは異なり、ハウジング開口部６１に近付くにつれて内部空間２４ａが絞られるハウジング２１では、その絞られた部分の内周面に入り込み部９３が引っ掛かってしまってハウジング開口部６１から入り込み部９３を抜き取ることが困難になる。この構成では、内部空間２４ａを形成する部分を複数の部材に分割し、これら部材を組み付けることで内部空間２４ａを製造することになり、その結果、上述したような製造ばらつきが発生しやすくなってしまう。

　しかも、内部空間２４ａがハウジング基端側に向けて絞られていないということは、内部空間２４ａがハウジング先端側に向けて絞られていることになる。この構成では、センサＳＡ５０に対して計測流路３２や通過流路３１が極力小さくされるため、ハウジング２１の小型化が可能になる。また、ハウジング２１の小型化が実現されると、ハウジング２１の製造に用いる樹脂材料が少なくなるため、ハウジング２１の製造に要する材料費を低減できる。すなわち、エアフロメータ１４の製造コストを低減できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０が引っ掛かっている領域段差面６６がハウジング開口部６１側を向いている。このため、内部空間２４ａをハウジング開口部６１に向けて絞らない構成を領域段差面６６によっても実現しつつ、高さ方向ＹについてのセンサＳＡ５０の位置決めを領域段差面６６により行うことができる。したがって、エアフロメータ１４の製造に際して、作業者は、センサＳＡ５０を領域段差面６６に引っ掛かる位置までハウジング開口部６１に挿入するという容易な作業を行うことで、センサＳＡ５０の位置決めを精度良く行うことができる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０の回路段差面５５とハウジング２１の領域段差面６６とがそれぞれの全周にわたって互いに当接しているため、この当接部分により封止領域ＰＡと開放領域ＰＢとを仕切ることができる。この場合、ポッティング部６５の製造に際して、封止領域ＰＡに充填される溶融樹脂が開放領域ＰＢに流れ込むことが規制されるため、開放領域ＰＢや計測流路３２の大きさや形状が溶融樹脂により意図せずに変化してしまうということを回避できる。

　本実施形態によれば、開放領域ＰＢにおいて導入路３２ｂと排出路３２ｃとを仕切る縦仕切壁６９が高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付いても太くなっていない。このため、内周型部９１の入り込み部９３において、導入成型部９７ｂや排出成型部９７ｃを導入路３２ｂや排出路３２ｃから抜き取ることが可能になる。したがって、ハウジング開口部６１から内周型部９１の入り込み部９３を抜き取り可能な構成を実現できる。

　本実施形態によれば、計測流路３２の検出路３２ａに検出絞り部５９が設けられていることで、流量検出部２２を通過する吸入空気の流速が大きくなりやすいため、流量検出部２２の検出精度を高めることができる。また、検出絞り部５９は、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付いても太くなっておらず、さらに、縦仕切壁６９からハウジング開口部６１側に向けて延び、且つ縦仕切壁６９よりも太くなっていない。このため、ハウジング２１の樹脂成型に際して、縦仕切壁６９や検出絞り部５９から内周型部９１の入り込み部９３を取り外すことができる。

　本実施形態によれば、計測領域ＰＢ２よりもハウジング先端側に通過流路３１が設けられているため、計測流路３２を内周型部９１の入り込み部９３により成型し、通過流路３１を通過型部１０４により成型する構成を実現できる。この構成では、通過型部１０４を通過流路３１から抜き取る奥行き方向Ｚを、入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取る高さ方向Ｙに直交させざるを得ない。このため、検出路３２ａと通過流路３１とを仕切る横仕切壁６８が奥行き方向Ｚに延びていても、通過型部１０４と内周型部９１の入り込み部９３とでこの横仕切壁６８を成型することができる。したがって、奥行き方向Ｚに延びる横仕切壁６８がハウジング２１に含まれていても、このハウジング２１を一体成型することが可能になる。

　本実施形態とは異なり、複数の部材の組み合わせにより計測流路が形成される物理量計測装置がある。この物理量計測装置は、互いに対向する一対のカバーと、これらカバーの間に設けられた本体部とを有している。この物理量計測装置においては、カバーと本体部との間や一対のカバーの間に副通路が形成されており、この副通路には、吸入空気の流量を検出する流量検出部が設けられている。一対のカバーや本体部は、金型に熱可塑性樹脂を注入する樹脂モールド工程により互いに独立した状態で形成され、互いに組み付けられることで副通路を形成することになる。

　しかしながら、一対のカバーや本体部といった複数の部材により副通路が形成される構成では、これら部材同士の位置ずれなどにより副通路の形状や大きさなどが製品ごとにばらつくことが懸念される。例えば、本体部に対する一対のカバーの取り付け位置がハウジングの厚み方向にずれると、副通路の流路面積が製品ごとにばらつくことになる。これに対して、本実施形態によれば、物理量を計測するための計測流路の製造ばらつきを抑制できる。

　＜構成群Ｂの説明＞
　計測出口の位置に関する構成群Ｂについて、図２７、図２８等を参照しつつ説明する。なお、図６、図７等には、ハウジング２１の外周面において平坦面４４に肉盗み部４１が設けられているように図示されているが、ここでは、平坦面４４には肉盗み部４１が設けられていないとして説明を進める。

　図２７、図２８に示すように、ハウジング２１の外周面について、その上流端部を外周上流端１３２ａと称し、その下流端部を外周下流端１３２ｂと称する。この場合、ハウジング２１は、奥行き方向Ｚにおいて平坦面４４から外周上流端１３２ａに向けて徐々に幅方向Ｘでの厚みが小さくなっていくことで湾曲面４５が形成されている。この場合、ハウジング２１においては、幅方向Ｘの幅寸法が外周上流端１３２ａに向けて徐々に小さくなっている。

　ハウジング２１の外周面には、平坦面４４と湾曲面４５との境界部１３１ａ，１３１ｂがある。縦境界部１３１ａは高さ方向Ｙに延びており、横境界部１３１ｂは奥行き方向Ｚに延びている。ハウジング２１の外周面のうち、コネクタ部２８側の面を表面と称し、表面とは反対側の面を裏面と称すると、これら表面と裏面とは、幅方向Ｘに並んでおり、ハウジング２１の外周面に含まれる一対の側面である。外周上流端１３２ａは、表側の湾曲面４５と裏側の湾曲面４５との境界部になっており、高さ方向Ｙに延びている。一方、外周下流端１３２ｂは、幅方向Ｘ及び高さ方向Ｙに延びた平面になっている。また、流出口３３ｂは外周下流端１３２ｂに設けられている。

　ハウジング２１の外周面においては、平坦面４４、湾曲面４５及び計測出口３３ｃは、いずれも高さ方向Ｙに延びた縦長形状になっている。特に、計測出口３３ｃは、縦境界部１３１ａを奥行き方向Ｚに跨いだ状態でその縦境界部１３１ａに沿って延びた偏平形状になっている。計測出口３３ｃにおいては、高さ方向Ｙの縦寸法が奥行き方向Ｚの横寸法より大きくなっている。また、計測出口３３ｃの開放面積は、流入口３３ａの開放面積より小さくなっている。

　高さ方向Ｙにおいて、平坦面４４の高さ寸法Ｈ１１は、湾曲面４５の高さ寸法Ｈ１２及び計測出口３３ｃの高さ寸法Ｈ１３のいずれよりも大きく、湾曲面４５の高さ寸法Ｈ１２は、計測出口３３ｃの高さ寸法Ｈ１３より大きくなっている。高さ方向Ｙにおいて、湾曲面４５及び計測出口３３ｃは平坦面４４の中間位置に配置されており、計測出口３３ｃは平坦面４４の中間位置に配置されている。この場合、湾曲面４５のハウジング先端側の端部及びハウジング基端側の端部の両方が横境界部１３１ｂに含まれている。

　ハウジング２１の外周面においては、その外周上流端１３２ａと外周下流端１３２ｂとの間に縦境界部１３１ａがあり、この縦境界部１３１ａは、外周上流端１３２ａ寄りの位置にある。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、平坦面４４の長さ寸法Ｌ１１は、湾曲面４５の長さ寸法Ｌ１２より大きくなっている。計測出口３３ｃの長さ寸法Ｌ１３は、平坦面４４の長さ寸法Ｌ１１及び湾曲面４５の長さ寸法Ｌ１２のいずれよりも小さくなっている。なお、奥行き方向Ｚが外周上流端１３２ａと外周下流端１３２ｂとの並び方向であり、平坦面４４は並び方向に延びている。また、平坦面４４に沿って延びる方向のうち、高さ方向Ｙが並び方向に直交する方向に相当する。

　計測出口３３ｃは、奥行き方向Ｚにおいて外周上流端１３２ａ寄りの位置に配置されている。この場合、計測出口３３ｃと外周上流端１３２ａとの離間距離Ｌ１４が、計測出口３３ｃと外周下流端１３２ｂとの離間距離Ｌ１５より小さくなっている。ここで、計測出口３３ｃについて、その上流端部を出口上流端１３４ａと称し、その下流端部を出口下流端１３４ｂと称すると、縦境界部１３１ａは、奥行き方向Ｚにおいて出口上流端１３４ａ寄りの位置にある。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、出口上流端１３４ａと縦境界部１３１ａとの離間距離Ｌ１６は、出口下流端１３４ｂと縦境界部１３１ａとの離間距離Ｌ１７より小さくなっている。

　計測流路３２の内周面は、計測出口３３ｃを形成する形成面１３５ａ～１３５ｃを有している。ハウジング２１の外周部には、計測出口３３ｃを形成するための貫通孔が設けられており、形成面１３５ａ～１３５ｃはこの貫通孔の内周面に含まれている。上流形成面１３５ａは、計測出口３３ｃの出口上流端１３４ａを形成しており、奥行き方向Ｚに直交した状態で下流側を向いていることで平坦面４４に直交している。下流形成面１３５ｂは、出口下流端１３４ｂを形成しており、外周側に傾斜した状態で上流側を向いていることで平坦面４４に対して傾斜している。接続形成面１３５ｃは、上流形成面１３５ａと下流形成面１３５ｂとを接続しており、これら形成面１３５ａ，１３５ｂを挟んで一対設けられている。各接続形成面１３５ｃは、それぞれ高さ方向Ｙに直交している。

　下流形成面１３５ｂは、出口下流端１３４ｂからハウジング２１の内周側に向けて真っ直ぐに延びた傾斜面になっており、下流平坦部１３７ａに直交していない。ハウジング２１の表側及び裏側のそれぞれに設けられた下流形成面１３５ｂは、計測出口３３ｃの出口上流端１３４ａに向けてハウジング２１を薄くしたテーパ面になっている。下流平坦部１３７ａ等の平坦面４４に対する下流形成面１３５ｂの傾斜角度θ１は例えば３０度になっている。なお、傾斜角度θ１は３０度より大きくても小さくてもよいが、３０度以下であることが好ましい。

　平坦面４４は、下流平坦部１３７ａ、先端側平坦部１３７ｂ及び基端側平坦部１３７ｃを有している。下流平坦部１３７ａは、奥行き方向Ｚにおいて計測出口３３ｃから外周下流端１３２ｂに向けて延びている。先端側平坦部１３７ｂは、下流平坦部１３７ａからハウジング先端側に向けて延びており、基端側平坦部１３７ｃは、下流平坦部１３７ａからハウジング基端側に向けて延びている。この場合、高さ方向Ｙにおいて、先端側平坦部１３７ｂと基端側平坦部１３７ｃとの間に下流平坦部１３７ａが配置されている。

　先端側平坦部１３７ｂは、計測出口３３ｃ及び湾曲面４５のハウジング先端側に回り込んだ部分も有しており、この部分は、これら計測出口３３ｃ及び湾曲面４５からハウジング先端側に向けて延びている。基端側平坦部１３７ｃは、計測出口３３ｃ及び湾曲面４５のハウジング基端側に回り込んだ部分も有しており、この部分は、これら計測出口３３ｃ及び湾曲面４５からハウジング基端側に向けて延びている。

　湾曲面４５は、その曲がり度合いが均一になっているわけではなく、湾曲面４５においては、曲がり度合いが最も大きい部分が奥行き方向Ｚにおいて外周上流端１３２ａ寄りの位置に配置されている。このため、計測出口３３ｃは、縦境界部１３１ａを跨ぐ位置に配置されていることで、湾曲面４５の下流端部という最も曲がり度合いが小さい部分に配置されていることになり、計測出口３３ｃを上流側から見ると奥行き方向Ｚに延びた細長形状に見える。この場合、本実施形態とは異なり、例えば、計測出口３３ｃが湾曲面４５の下流端部から外周上流端１３２ａ側に離間した位置に配置された構成に比べて、幅方向Ｘにおいて計測出口３３ｃの幅寸法Ｗ１１が小さくなっている。

　湾曲面４５は、上流湾曲部１３８ａ、先端側湾曲部１３８ｂ及び基端側湾曲部１３８ｃを有している。上流湾曲部１３８ａは、奥行き方向Ｚにおいて計測出口３３ｃから外周上流端１３２ａに向けて延びている。先端側湾曲部１３８ｂは、上流湾曲部１３８ａからハウジング先端側に向けて延びており、基端側湾曲部１３８ｃは、上流湾曲部１３８ａからハウジング基端側に向けて延びている。この場合、高さ方向Ｙにおいて、先端側湾曲部１３８ｂと基端側湾曲部１３８ｃとの間に上流湾曲部１３８ａが配置されている。

　先端側湾曲部１３８ｂは、計測出口３３ｃのハウジング先端側に回り込んだ部分を有しており、この部分は、計測出口３３ｃと先端側平坦部１３７ｂとの間に入り込み、且つ計測出口３３ｃからハウジング先端側に向けて延びている。基端側湾曲部１３８ｃは、計測出口３３ｃのハウジング基端側に回り込んだ部分を有しており、この部分は、計測出口３３ｃと基端側平坦部１３７ｃとの間に入り込み、且つ計測出口３３ｃからハウジング基端側に向けて延びている。

　なお、平坦面４４が外周平坦面に相当し、湾曲面４５が外周平坦面に対して傾斜した外周傾斜面に相当する。平坦面４４においては、先端側平坦部１３７ｂ及び基端側平坦部１３７ｃが延出平坦部に相当し、湾曲面４５においては、上流湾曲部１３８ａが上流傾斜部に相当し、先端側湾曲部１３８ｂ及び基端側湾曲部１３８ｃが延出傾斜部に相当する。また、縦境界部１３１ａが外周境界部に相当する。

　また、幅方向Ｘを第１方向と称し、第１方向においてハウジング２１の両側に位置している各面を第１面及び第２面と称すると、これら第１面及び第２面のそれぞれに平坦面４４及び湾曲面４５が含まれている。奥行き方向Ｚを第２方向と称し、外周上流端１３２ａを第３面と称し、外周下流端１３２ｂを第４面と称すると、第３面及び第４面は、第２方向においてハウジング２１の両側に位置している。計測出口３３ｃは、第１面及び第２面のそれぞれに設けられており、第２方向において第４面側を向かないようにハウジング２１の外部に向けて開放されている。

　次に、吸気通路１２においてハウジング２１の外周側で生じる吸入空気の流れについて、図２８を参照しつつ説明する。

　吸気通路１２を順流する吸入空気のうち、ハウジング２１の外周上流端１３２ａに到達した空気ＡＦ１は、湾曲面４５の上流湾曲部１３８ａに沿って進むことで流れる向きを変えつつ、計測出口３３ｃに到達する。この場合、空気ＡＦ１が計測出口３３ｃに到達した時には、空気ＡＦ１の流れる向きが既に出口上流端１３４ａと出口下流端１３４ｂとの並び方向に近くなっており、空気ＡＦ１が計測出口３３ｃに流れ込みにくくなっている。このため、計測出口３３ｃに空気ＡＦ１が流れ込むという逆流が生じにくくなっており、順流時において計測出口３３ｃが空気ＡＦ１から動圧を受けにくくなっている。

　また、湾曲面４５に沿って進むことで流れの向きが徐々に変わった空気は、平坦面４４に到達した際に平坦面４４から剥離しにくくなっている。このため、計測出口３３ｃの周辺や縦境界部１３１ａの周辺において、平坦面４４からの空気の剥離に伴う気流の乱れが生じにくくなり、空気の流れが安定しやすくなる。この場合、空気から計測出口３３ｃに加えられる圧力が安定しやすくなることで、計測流路３２での空気の流れも安定しやすくなる。

　平坦面４４の下流平坦部１３７ａに沿って流れる空気ＡＦ２は、下流平坦部１３７ａの下流端部を通過した後も奥行き方向Ｚに進むことで、ハウジング２１の外周面から剥離する。空気ＡＦ２の剥離に伴って、下流平坦部１３７ａよりも下流側においては、外周下流端１３２ｂの周辺などにて渦流など気流の乱れが生じやすくなる。この気流の乱れにより、外周下流端１３２ｂ周辺では外周下流端１３２ｂに向けて逆流する空気ＡＦ３が発生することがある。本実施形態では、空気ＡＦ３のように一部の空気だけが逆流することを一部逆流と称する。

　本実施形態とは異なり、例えば、下流平坦部１３７ａよりも下流側である外周下流端１３２ｂなどに計測出口が設けられた構成では、空気ＡＦ３が計測出口に流れ込むという逆流が生じやすくなってしまう。これに対して、本実施形態の計測出口３３ｃは、下流平坦部１３７ａよりも下流側に配置されていないため、空気ＡＦ３が計測出口３３ｃに流れ込むことが生じない。

　吸気通路１２の全体において吸入空気が逆流する全体逆流が生じた場合、吸気通路１２を逆流する空気ＡＦ４が外周下流端１３２ｂに到達すると、外周下流端１３２ｂは空気ＡＦ４から動圧を受けることになる。このため、本実施形態とは異なり、下流側に向けて開放された計測出口が外周下流端１３２ｂなどに設けられた構成では、この計測出口が空気ＡＦ４から動圧を受けることになる。これに対して、本実施形態の計測出口３３ｃは、外周下流端１３２ｂに設けられておらず、下流側に向けて開放された構成でもないため、空気ＡＦ４から動圧を受けることがない。また、空気ＡＦ４が流れ込む計測出口３３ｃに流れ込むという逆流が生じることもない。

　流入口３３ａに流れ込んだ後、計測流路３２を通じて計測出口３３ｃから流出する空気ＡＦ５は、下流形成面１３５ｂに沿って流れることで、計測出口３３ｃから流出した後に下流平坦部１３７ａに沿って流れやすくなっている。この場合、空気ＡＦ５が計測出口３３ｃから流出した後に下流平坦部１３７ａから剥離しにくくなっており、下流平坦部１３７ａからの空気ＡＦ５の剥離に伴って計測出口３３ｃの周辺にて渦流などの気流の乱れが生じにくくなっている。

　本実施形態とは異なり、例えば、下流形成面１３５ｂが上流形成面１３５ａと同様に平坦面４４に対して直交している構成では、計測出口３３ｃから流出する空気ＡＦ６が、平坦面４４に直交する方向に進むことになる。この場合、空気ＡＦ６の進行方向と、ハウジング２１の外周側を奥行き方向Ｚに順流する空気の進行方向とが大きく異なることなどに起因して、計測出口３３ｃの周辺では渦流などの気流の乱れが生じやすいと考えられる。また、この場合、空気ＡＦ６は、計測出口３３ｃから流出することで下流平坦部１３７ａから剥離した状態になっており、この剥離に伴って計測出口３３ｃの周辺で気流の乱れが生じやすくなる、と考えることもできる。

　構成群Ｂについて本実施形態によれば、計測出口３３ｃが外周下流端１３２ｂに向けて開放されていない。このため、吸気通路１２において空気ＡＦ３等の一部逆流や空気ＡＦ４等の全体逆流が生じたとしても、これら逆流に伴って吸入空気が計測出口３３ｃに流入するということが生じにくくなっている。この場合、計測流路３２での吸入空気の流れが一部逆流や全体逆流により乱れるということが生じにくいため、流量検出部２２による流量検出の精度低下を抑制できる。また、全体逆流が生じたとしても、その全体逆流による動圧を計測出口３３ｃが受けにくくなっているため、計測流路３２での吸入空気の流れが全体逆流により乱れるということが生じにくい。このことからしても、流量検出部２２による流量検出の精度低下を抑制できる。したがって、エアフロメータ１４による吸入空気量の計測精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、平坦面４４においては、下流平坦部１３７ａが計測出口３３ｃから下流側に向けて延びているため、計測出口３３ｃが下流側に向けて開放されない構成を実現できる。この場合、下流平坦部１３７ａの分だけ計測出口３３ｃと外周下流端１３２ｂとが奥行き方向Ｚに離間していることになる。このため、一部逆流や全体逆流による空気の乱れが吸気通路１２において外周下流端１３２ｂの周辺で生じたとしても、その乱れが計測出口３３ｃに到達することを下流平坦部１３７ａにより抑制できる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の外周面においては、計測出口３３ｃと外周下流端１３２ｂとの間に、下流平坦部１３７ａに加えて先端側平坦部１３７ｂ及び基端側平坦部１３７ｃも配置されている。このため、外周下流端１３２ｂ周辺の位置のうち、計測出口３３ｃよりもハウジング先端側やハウジング基端側の位置において、気流の乱れが発生したとしても、その乱れが計測出口３３ｃに到達することを平坦部１３７ｂ，１３７ｃにより抑制できる。

　本実施形態によれば、平坦面４４においては、上流湾曲部１３８ａが計測出口３３ｃから上流側に向けて延びている。このため、ハウジング２１の外周上流端１３２ａに到達した空気ＡＦ１等の順流空気は、上流湾曲部１３８ａに沿って流れることで計測出口３３ｃに沿って流れやすくなっており、計測出口３３ｃに流れ込みにくくなっている。この場合、順流空気による動圧が計測出口３３ｃに付与されにくいため、この動圧により計測流路３２での気流が乱れて流量検出部２２の検出精度が低下するということを抑制できる。

　しかも、奥行き方向Ｚにおいて、曲がり度合いが最も大きい部分が外周上流端１３２ａ寄りの位置に配置された湾曲面４５において、計測出口３３ｃが湾曲面４５の下流端部に配置されている。この場合、計測出口３３ｃは上流側に向けてはほとんど開放されていないため、順流空気のうち奥行き方向Ｚに真っ直ぐに進んでいる空気が計測出口３３ｃに直接的に到達する確率が低くなっている。このため、順流空気が計測出口３３ｃに流れ込むことや、順流空気が計測出口３３ｃに動圧を付与することが生じにくくなっている。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の外周面においては、計測出口３３ｃと外周上流端１３２ａとの間に、上流湾曲部１３８ａに加えて先端側湾曲部１３８ｂ及び基端側湾曲部１３８ｃも配置されている。このため、湾曲面４５に沿って流れる順流空気のうち、奥行き方向Ｚに対して斜めに流れる空気についても、湾曲部１３８ｂ，１３８ｃに沿って流れることで、計測出口３３ｃに流れ込みにくくなるように幅方向Ｘの進行方向が変えられることになる。この場合、順流空気による動圧が計測出口３３ｃに更に付与されにくくすることができる。

　本実施形態によれば、計測出口３３ｃの出口下流端１３４ｂを形成する下流形成面１３５ｂが、奥行き方向Ｚに対して直交しているのではなく、ハウジング２１の外周側を向いて傾斜している。このため、計測出口３３ｃから流れ出す空気ＡＦ５が下流形成面１３５ｂに沿って流れることで、この空気の進行方向が、吸気通路１２を流れる順流空気の進行方向に近付きやすい。この場合、空気ＡＦ５が下流平坦部１３７ａから剥離しにくくなるため、その剥離に伴う気流の乱れが計測出口３３ｃの周囲にて生じにくくなる。したがって、計測流路３２を流れる空気が計測出口３３ｃから流出しにくくなることに起因して流量検出部２２の検出精度が低下するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、計測出口３３ｃが奥行き方向Ｚにおいて外周上流端１３２ａ寄りの位置に配置されている。この場合、ハウジング２１において外周下流端１３２ｂと計測出口３３ｃとの離間距離が極力大きくなっているため、外周下流端１３２ｂ周辺において逆流に伴う気流の乱れが生じたとしても、この乱れが計測出口３３ｃに届くことをより確実に抑制できる。

　本実施形態によれば、計測出口３３ｃの開放面積が流入口３３ａの開放面積に比べて小さくなっているため、流入口３３ａよりも計測出口３３ｃの方が空気ＡＦ１等の順流空気が流れ込みやすくなっている。このため、計測出口３３ｃに順流空気が流れ込むことを抑制できる。

　本実施形態によれば、計測出口３３ｃが高さ方向Ｙに延びる扁平状になっている。このため、吸気通路１２において計測出口３３ｃを必ず配置したい配置領域を設定しておくことで、エアフロ挿入孔１２ｂへのエアフロメータ１４の挿入深さが車両ごとに多少ばらついたとしても、計測出口３３ｃの一部を配置領域に確実に配置することができる。また、この場合、本実施形態とは異なり、例えば計測出口３３ｃが奥行き方向Ｚに延びる扁平状になっている構成に比べて、奥行き方向Ｚにおいて計測出口３３ｃと外周下流端１３２ｂとの離間距離が大きくなる。このため、仮に、外周下流端１３２ｂの周辺において気流の乱れが生じたとしても、その乱れが計測出口３３ｃに到達することを抑制できる。

　＜構成群Ｃの説明＞
　ハウジング取付部と位置保持部との位置関係に関する構成群Ｃについて、図２９及び図３０等を参照しつつ説明する。なお、図３０においては、コネクタターミナル２８ａやＳＡ突起７１ａ，７１ｂ、幅ハウジング突起７２ａの図示を省略している。

　図８や図２９、図３０に示すように、ハウジング２１においては、領域段差面６６がリング保持部２５よりもハウジング先端側に配置されている。ハウジング本体２４は、収容領域ＰＢ１を形成する収容壁部１２１と、封止領域ＰＡを形成する封止壁部１２２とを有しており、これら壁部１２１，１２２はいずれも高さ方向Ｙに延びた筒状部になっている。封止壁部１２２は、収容壁部１２１よりもハウジング基端側に設けられており、これら封止壁部１２２と収容壁部１２１とは、張り出し部６６ａにより接続されている。この場合、張り出し部６６ａもハウジング本体２４に含まれていることになり、張り出し部６６ａがハウジング接続部に相当する。また、収容壁部１２１がハウジング壁部に相当する。

　封止壁部１２２においては、その内周面が収容壁部１２１の内周面よりも外周側に配置されており、その外周面が収容壁部１２１の外周面よりも外周側に配置されている。張り出し部６６ａは、収容壁部１２１と封止壁部１２２との中間部分が外周側に膨らんでいる。張り出し部６６ａは、収容壁部１２１から外周側に向けて延びた横延出部６６ｂと、封止壁部１２２からハウジング先端側に向けて延びた縦延出部６６ｃとを有しており、これら延出部６６ｂ，６６ｃの接続部分は湾曲面で面取りされた状態になっている。なお、横延出部６６ｂが、高さ方向Ｙに直交する方向に延びた直交延出部に相当する。

　ハウジング２１においては、吸気管１２ａに取り付けられるハウジング取付部が、リング保持部２５、フランジ部２７及び封止壁部１２２により構成されている。これらリング保持部２５、フランジ部２７及び封止壁部１２２は、ハウジング取付部が全体としてハウジング２１の周縁部に沿って幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びる形状になっている。この場合、高さ方向Ｙは、ハウジング取付部が延びる方向に直交していることになる。リング保持部２５はＯリング２６を介して吸気管１２ａに固定されており、フランジ部２７はボス１２ｄを介して吸気管１２ａに固定されている。この場合、エアフロメータ１４を吸気管１２ａに対して固定するための負荷がリング保持部２５やフランジ部２７を介して封止壁部１２２に加えられることになる。そこで、封止壁部１２２が全体として肉厚に形成されていることで、封止壁部１２２の強度が高められている。

　封止壁部１２２においては、横断面の外周端が全体として円状になっている一方で、その内周端が全体として矩形状になっている。封止壁部１２２は、吸気管１２ａのエアフロ挿入孔１２ｂに入り込んだ状態になっており、リング保持部２５など封止壁部１２２の外周面はエアフロ挿入孔１２ｂの内周面や管フランジ１２ｃの内周面に対向している。ここで、エアフロ挿入孔１２ｂは円状に形成されており、封止壁部１２２の外周端は、エアフロ挿入孔１２ｂの形状に合わせて円状に形成されている。この場合、封止壁部１２２の外周面とエアフロ挿入孔１２ｂの内周面との離間距離が均一化されているため、これら外周面と内周面との間の気密性をＯリング２６により確保しやすくなっている。

　一方、上述したように、ハウジング本体２４の内周面が形成した内部空間２４ａにはセンサＳＡ５０が挿入されており、封止壁部１２２の内周面はセンサＳＡ５０の外周面に対向している。ここで、センサＳＡ５０は、全体として板状になっていることに起因して横断面が扁平状になっており、封止壁部１２２の内周端は、センサＳＡ５０の断面形状に合わせて扁平状に形成されている。なお、封止壁部１２２の横断面は、高さ方向Ｙに直交する方向に延びる断面である。また、内部空間２４ａがセンサＳＡ５０を収容した収容空間に相当する。

　このように封止壁部１２２の外周が円状になっている一方で、内周が扁平状になっていることに起因して、封止壁部１２２においては、その厚み寸法Ｄ２１が周方向において均一になっていない。全体として板状になっているセンサＳＡ５０の外周面には、一対の板面である一対のＳＡ板面１２５が含まれ、一対の側面である一対のＳＡ側面１２６が含まれている。全体としてＳＡ板面１２５は奥行き方向Ｚに延び、全体としてＳＡ側面１２６は幅方向Ｘに延びている。封止壁部１２２においては、センサＳＡ５０のＳＡ板面１２５に対向する部分が、ＳＡ側面１２６に対向する部分に比べて全体として肉厚になっている。この場合、封止壁部１２２においては、その厚み寸法Ｄ２１が最も大きくなっている部分が、ＳＡ板面１２５に対向する部分に含まれている。なお、ＳＡ板面１２５は、センサＳＡ５０において高さ方向Ｙに延びる板面でもある。

　リング保持部２５は、封止壁部１２２に設けられた保持溝２５ａにより形成されている。ここで、保持溝２５ａが一対の溝形成部により形成されているとすると、これら溝形成部の先端面は封止壁部１２２の外周面に含まれることになる。このため、封止壁部１２２の厚み寸法Ｄ２１は、封止壁部１２２の内周面と溝形成部の先端面との離間距離になる。なお、一対の溝形成部が封止壁部１２２の外周面から突出している構成としてもよい。この場合は、溝形成部が封止壁部１２２に含まれないことになるため、封止壁部１２２の厚み寸法Ｄ２１は、封止壁部１２２の内周面と保持溝２５ａの底面との離間距離になる。また、Ｏリング２６は、封止壁部１２２側と吸気管１２ａ側とに密着していることで、吸入空気がエアフロ挿入孔１２ｂから外部に漏れ出ることを規制するシール部材であり、Ｏリング２６をパッキン部材と称することもできる。この場合、リング保持部２５がシール保持部に相当する。

　収容壁部１２１においては、横断面の外周端及び内周端の両方が全体として扁平状になっている。これは、封止壁部１２２とは異なり、収容壁部１２１の外周面がエアフロ挿入孔１２ｂの内周面に対向しておらず、封止壁部１２２の外周端の形状をエアフロ挿入孔１２ｂの形状に合わせる必要がないためである。このように収容壁部１２１の外周端及び内周端の両方が扁平状になっていることに起因して、収容壁部１２１では、その周方向において厚み寸法Ｄ２２がほぼ均一になっている。換言すれば、収容壁部１２１においては、その厚み寸法Ｄ２２を周方向において均一化するために、外周面の形状が内周面の形状に合わせて設定されている。

　収容壁部１２１は、封止壁部１２２に比べて全体として肉薄になっている。収容壁部１２１と封止壁部１２２との肉厚を比較すると、封止壁部１２２が収容壁部１２１より肉厚になっている部分は存在するが、封止壁部１２２が収容壁部１２１より肉薄になっている部分は存在しない。すなわち、封止壁部１２２において最も肉厚の部分の厚み寸法Ｄ２１は、収容壁部１２１のどの部分の厚み寸法Ｄ２２より大きく、封止壁部１２２において最も肉薄の部分の厚み寸法Ｄ２１は、収容壁部１２１のどの部分の厚み寸法Ｄ２２より小さくはない。

　張り出し部６６ａは、封止壁部１２２に比べて肉薄になっていることはもちろんのこと、収容壁部１２１に比べても全体として肉薄になっている。張り出し部６６ａと収容壁部１２１との肉厚を比較すると、収容壁部１２１が張り出し部６６ａより肉厚になっている部分は存在するが、収容壁部１２１が張り出し部６６ａより肉薄になっている部分は存在しない。

　ハウジング２１において領域段差面６６は、収容壁部１２１のハウジング基端側の端面により形成されている。上述したように、領域段差面６６にはセンサＳＡ５０の回路段差面５５が引っ掛かっており、領域段差面６６は、センサＳＡ５０に接触していることで、センサＳＡ５０をハウジング側に移動しないように高さ方向Ｙについて位置保持している。領域段差面６６は、高さ方向Ｙに直交する面であり、第３保持部に相当する。また、回路段差面５５は、領域段差面６６に接触しているユニット接触部に相当する。領域段差面６６を、センサＳＡ２２０の位置を決めたり出したりする位置出し面と称することができる。

　なお、領域段差面６６は、収容壁部１２１のハウジング基端側の端面、横延出部６６ｂのハウジング基端側の面によっても形成されている。このため、センサＳＡ５０の回路段差面５５は、領域段差面６６に引っ掛かっていれば、収容壁部１２１だけでなく横延出部６６ｂに接触していることもある。

　上述したように、ハウジング本体２４は、センサＳＡ５０を位置保持するハウジング突起７２ａ，７２ｂを有しており（図１４、図１５参照）、これらハウジング突起７２ａ，７２ｂは、収容壁部１２１に含まれている。図３１に示すように、センサＳＡ５０のＳＡ側面１２６には、奥行き方向Ｚに直交せずに傾斜している傾斜面１２６ａ，１２６ｂが含まれている。これら傾斜面１２６ａ，１２６ｂは、センサＳＡ５０の中継部５２の外周面に含まれている。表傾斜面１２６ａはセンサＳＡ５０の表側を向いており、裏傾斜面１２６ｂはセンサＳＡ５０の裏側を向いている。

　幅方向Ｘが第１方向に相当する場合、幅ハウジング突起７２ａは、ＳＡ板面１２５に接触していることで、センサＳＡ５０を幅方向Ｘについて位置保持しており、第１保持部に相当する。これは、ＳＡ板面１２５が幅方向Ｘに直交しているためである。一方、奥行き方向Ｚが第２方向に相当する場合、奥行きハウジング突起７２ｂは、表傾斜面１２６ａに接触していることで、センサＳＡ５０を幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方について位置保持しており、第１保持部及び第２保持部の両方に相当する。これは、表傾斜面１２６ａが幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方に対して傾斜しているためである。

　このように、センサＳＡ５０は、収容壁部１２１の領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂに接触していることで、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚの全てについて位置保持されている。この場合、収容壁部１２１が、第１保持部、第２保持部及び第３保持部を有し、位置保持部に相当する。収容壁部１２１とセンサＳＡ５０との接触部分の少なくとも一部は、接着剤を用いた接着や溶融樹脂を用いた溶着により接合されている。例えば、収容壁部１２１の領域段差面６６とセンサＳＡ５０の回路段差面５５とが接合されており、この接合部分はセンサＳＡ５０の周縁部に沿って環状に延びている。この場合、領域段差面６６と回路段差面５５との間が接着剤や溶融樹脂によりシールされるため、ポッティング部６５を形成する際に熱硬化性樹脂が領域段差面６６と回路段差面５５との間を通じて封止領域ＰＡから漏れ出す、ということが抑制される。

　上述したように、熱可塑性樹脂を溶融させた溶融樹脂を用いてハウジング２１を樹脂成型する場合、溶融樹脂の硬化に伴って意図しない変形がハウジング２１に生じることがある。意図しない変形としてはヒケやソリが挙げられ、ヒケは、溶融樹脂の硬化に伴って生じる凹みや窪み等であり、ソリは、溶融樹脂が硬化する際に温度差等による残留応力や残留歪により生じる射出後の変形等である。

　樹脂成型に伴う意図しない変形は、ハウジング２１において肉厚な部分ほど生じやすい。例えば、封止壁部１２２が全体として収容壁部１２１よりも肉厚になっていることに起因して、樹脂成型に伴う変形は、収容壁部１２１に比べて封止壁部１２２の方が発生しやすい。このため、本実施形態とは異なり、例えば領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂが封止壁部１２２に設けられた構成では、樹脂成型に際して領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂが意図せずに変形する可能性が高くなる。この場合、領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂの意図しない変形に伴って、センサＳＡ５０や流量検出部２２の位置が設計上の位置からずれ、流量検出部２２の検出精度が低下してしまう。

　これに対して、収容壁部１２１は、封止壁部１２２に比べて全体として肉薄になっているため、封止壁部１２２に比べて樹脂成型に伴う変形が生じにくくなっている。そこで、本実施形態では、上述したように、領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂが、封止壁部１２２ではなく収容壁部１２１に含まれている。すなわち、領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂが、リング保持部２５及びフランジ部２７よりもハウジング先端側に設けられている。この場合、樹脂成型に伴う意図しない変形によりセンサＳＡ５０や流量検出部２２の位置ずれが生じにくくなっており、流量検出部２２の検出精度が低下しにくくなっている。

　領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂが収容壁部１２１に含まれた構成でも、樹脂成型に伴う変形がこの収容壁部１２１に生じてセンサＳＡ５０や流量検出部２２の位置ずれが生じる、ということがないとは言えない。例えば、センサＳＡ５０が領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂとの接触部分を支点として幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに回動するように位置ずれした場合、流量検出部２２が幅方向Ｘや奥行き方向Ｚにずれることが懸念される。

　そこで、本実施形態のセンサＳＡ５０では、高さ方向Ｙにおいて、流量検出部２２と回路段差面５５との離間距離Ｌ３が、そのハウジング基端側の端部と回路段差面５５との離間距離Ｌ４より小さくなっている。すなわち、高さ方向Ｙにおいて、回路段差面５５が流量検出部２２寄りの位置に設けられている。ここで、センサＳＡ５０が収容壁部１２１との接触部分を支点として回動した場合、流量検出部２２の回動半径が小さいほど、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚでの流量検出部２２の位置ずれ量が小さくなる。このように、高さ方向Ｙにおいて回路段差面５５と流量検出部２２との離間距離Ｌ３が小さいほど、流量検出部２２の位置ずれ量が小さくなり、流量検出部２２の検出精度が低下しにくくなる。

　なお、本実施形態では、高さ方向Ｙにおいて流量検出部２２の検出素子２２ｂの中央部分と回路段差面５５との離間距離を離間距離Ｌ３としている。ただし、離間距離Ｌ３は、流量検出部２２と回路段差面５５との離れ度合いを示す値であればよく、例えば、高さ方向Ｙにおいて流量検出部２２のハウジング基端側の端部と回路段差面５５との離間距離とされていてもよい。

　ハウジング本体２４の内部空間２４ａにおいては、離間距離Ｌ３が離間距離Ｌ４より小さいことに起因して、収容領域ＰＢ１の容積Ｖ１が封止領域ＰＡの容積Ｖ２より小さくなっている。換言すれば、収容領域ＰＢ１の容積Ｖ１が封止領域ＰＡの容積Ｖ２より小さい場合、センサＳＡ５０では、高さ方向Ｙにおいて回路段差面５５が流量検出部２２寄りの位置に設けられている可能性が高い。また、内部空間２４ａにおいて、高さ方向Ｙでの領域段差面６６とセンサＳＡ５０でのハウジング先端側の端部との間の領域を、流量検出部２２を収容した検出領域ＰＢ３と称すると、この検出領域ＰＢ３の容積Ｖ３は、封止領域ＰＡの容積Ｖ２より小さい。その一方で、検出領域ＰＢ３の容積Ｖ３は、収容領域ＰＢ１の容積Ｖ１より大きい。なお、検出領域ＰＢ３は、収容領域ＰＢ１の全体と計測領域ＰＢ２のハウジング基端側の部分とを含んだ領域になっている。

　樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１に少しでも生じた場合、エアフロメータ１４の製造に際して、作業者がセンサＳＡ５０を収容壁部１２１の内部に挿入すると、収容壁部１２１の変形に合わせてセンサＳＡ５０が歪むことが懸念される。例えば、領域段差面６６において上流側の部分と下流側の部分とが高さ方向Ｙに位置ずれした場合、回路段差面５５において上流側の部分と下流側の部分とが高さ方向Ｙに位置ずれするようにセンサＳＡ５０が歪むことが懸念される。この場合、センサＳＡ５０の歪みに伴って流量検出部２２の位置が設計上の位置からずれると、流量検出部２２の検出精度が低下しやすくなってしまう。

　そこで、本実施形態のセンサＳＡ５０では、流量検出部２２が回路段差面５５から極力遠い位置に配置されている。具体的には、高さ方向Ｙにおいて、流量検出部２２と領域段差面６６との離間距離Ｌ３が、横延出部６６ｂの厚み寸法Ｄ２２より大きくなっている。すなわち、流量検出部２２が張り出し部６６ａよりもハウジング先端側に配置されている。この場合、例えば、樹脂成型に伴う変形がハウジング本体２４の領域段差面６６に生じたことに起因して、センサＳＡ５０において回路段差面５５付近の部分が歪んだとしても、その歪みが流量検出部２２まで届きにくくなっている。このため、仮に樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１の領域段差面６６に生じていたとしても、流量検出部２２が位置ずれしにくくなっている。

　センサＳＡ５０においては、高さ方向Ｙにおいて、回路段差面５５と流量検出部２２との間にＳＡ突起７１ａ，７１ｂが設けられており、このことからしても、流量検出部２２が回路段差面５５から極力遠い位置に配置されていると言える。特に、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂは高さ方向Ｙに延びており、高さ方向Ｙにおいて回路段差面５５と流量検出部２２との間隔寸法は、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂの長手寸法よりも大きくなっている。したがって、樹脂成型に伴う変形が領域段差面６６に生じていたとしても、センサＳＡ５０において歪みが流量検出部２２に届くことが届きにくくなっている。

　流量検出部２２は、回路段差面５５から極力遠い位置にあることで、リング保持部２５からも離間していることになる。この場合、エアフロメータ１４において、吸気管１２ａの外部にて内燃機関１１等から熱がハウジング本体２４やフランジ部２７、ポッティング部６５に付与されても、この熱が流量検出部２２にまで伝わりにくくなっている。このため、吸気管１２ａの外部からの熱により流量検出部２２の検出精度が低下するということが生じにくくなっている。

　本実施形態のセンサＳＡ５０では、図２９に示すように、流量検出部２２が奥行き方向Ｚにおいて収容壁部１２１から極力遠い位置に配置されている。具体的には、奥行き方向Ｚにおいて流量検出部２２と収容壁部１２１との離間距離Ｌ５が、収容壁部１２１の厚み寸法Ｄ２３より大きくなっている。離間距離Ｌ５は、収容壁部１２１において最も肉厚の部分の厚み寸法Ｄ２３より大きくなっている。流量検出部２２は、奥行き方向Ｚにおいて収容領域ＰＢ１の中央位置に配置されており、このため、離間距離Ｌ５は、奥行き方向Ｚの収容領域ＰＢ１の奥行き寸法Ｄ６（図８参照）の１／２になっている。なお、収容壁部１２１においてハウジング突起７２ａ，７２ｂがある部分については、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの突出寸法が厚み寸法Ｄ２３に含まれている。

　この場合、例えば、樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１において奥行きハウジング突起７２ｂなどに生じたことに起因して、センサＳＡ５０の中継部５２の外周面付近の部分が歪んだとしても、その歪みが流量検出部２２まで届きにくくなっている。このため、仮に樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１の奥行きハウジング突起７２ｂに生じていたとしても、流量検出部２２が位置ずれしにくくなっている。

　なお、本実施形態では、奥行き方向Ｚにおいて流量検出部２２の中央部分と収容壁部１２１の内周面との離間距離を離間距離Ｌ５としている。ただし、離間距離Ｌ５は、奥行き方向Ｚについての流量検出部２２と収容壁部１２１との離れ度合いを示す値であればよく、例えば、奥行き方向Ｚにおいて流量検出部２２と収容壁部１２１との間隔寸法とされていてもよい。

　次に、エアフロメータ１４の製造方法について、センサＳＡ５０をハウジング２１に装着する手順を中心に、図１４、図２９及び図３０を参照しつつ説明する。

　型装置９０を用いてハウジング２１を樹脂成型した後、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに挿入する。センサＳＡ５０の中継部５２を収容壁部１２１の内部に嵌合させる場合、表ＳＡ突起７１ａが幅ハウジング突起７２ａを変形させるとともに、中継部５２が奥行きハウジング突起７２ｂを変形させることになる。そして、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに挿入して行って、センサＳＡ５０の回路段差面５５をハウジング２１の領域段差面６６に押し付けた状態になった場合に、センサＳＡ５０の挿入を終了する。なお、ハウジング開口部６１は、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに収容させるための収容開口部に相当する。

　この場合、幅ハウジング突起７２ａの先端面が表ＳＡ突起７１ａの先端面に接触していることで、幅方向ＸにおいてセンサＳＡ５０が幅ハウジング突起７２ａに近付く側に移動することが規制される。一方、センサＳＡ５０が幅ハウジング突起７２ａから遠ざかる側に移動することは、センサＳＡ５０の裏ＳＡ突起７１ｂが収容壁部１２１の内周面に接触していることで規制される。この場合、幅ハウジング突起７２ａの先端面や、収容壁部１２１の内周面において裏ＳＡ突起７１ｂに接触している部分を、位置出し面と称することができる。

　また、この場合、奥行きハウジング突起７２ｂの先端面が中継部５２の上流側の端面に接触していることで、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方においてセンサＳＡ５０が奥行きハウジング突起７２ｂに近付く側に移動することが規制される。一方、センサＳＡ５０が奥行きハウジング突起７２ｂから遠ざかる側に移動することは、センサＳＡ５０の下流側の側面が収容壁部１２１の内周面に接触していることで規制される。この場合、奥行きハウジング突起７２ｂの先端面や、収容壁部１２１の内周面においてセンサＳＡ５０の下流側の端面が接触している部分を、位置出し面と称することができる。

　さらに、センサＳＡ５０の回路段差面５５がハウジング２１の領域段差面６６に接触していることで、高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０がハウジング先端側に移動することが規制される。一方、センサＳＡ５０がハウジング基端側に移動することは、センサＳＡ５０の中継部５２が収容壁部１２１の内部に嵌合していることで規制される。

　センサＳＡ５０を内部空間２４ａに挿入した後、この内部空間２４ａにポッティング樹脂等の熱硬化性樹脂を注入し、この熱硬化性樹脂を硬化させることでポッティング部６５を形成する。この場合、センサＳＡ５０がハウジング基端側に移動することは、ポッティング部６５によっても規制されることになる。

　構成群Ｃについて本実施形態によれば、ハウジング２１において収容壁部１２１がリング保持部２５からハウジング先端側に離間している。このため、リング保持部２５を強度向上のために肉厚化できる一方で、収容壁部１２１は、樹脂成型に伴う変形が生じないように肉薄化できる。このように、収容壁部１２１の肉薄化が図られていることで、収容壁部１２１の形状が製品ごとにばらつくということが生じにくくなるため、収容壁部１２１により位置決めされるセンサＳＡ５０の位置がばらつくということも生じにくくなる。したがって、流量検出部２２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部６１が領域段差面６６よりもハウジング基端側に設けられている。ここで、ハウジング２１においては、ハウジング開口部６１が形成された部分の強度が比較的低いことに起因してハウジング本体２４が意図せずに変形することが懸念される。その一方で、ハウジング２１において領域段差面６６よりもハウジング基端側では、封止壁部１２２やリング保持部２５、フランジ部２７によりハウジング２１の強度が高められている。したがって、ハウジング２１において、領域段差面６６よりもハウジング基端側という強度を確保しやすい部分にハウジング開口部６１を形成することで、ハウジング開口部６１の存在によってハウジング本体２４が意図せずに変形する、ということを抑制できる。この結果、ハウジング本体２４の変形に伴ってセンサＳＡ５０の位置ずれが生じるということも抑制できる。

　本実施形態によれば、幅方向ＸへのセンサＳＡ５０の移動を規制する幅ハウジング突起７２ａと、奥行き方向ＺへのセンサＳＡ５０の移動を規制する奥行きハウジング突起７２ｂと、の両方が収容壁部１２１に含まれている。この場合、収容壁部１２１では、これらハウジング突起７２ａ，７２ｂについても、樹脂成型に伴う変形が生じにくくなっているため、幅方向Ｘ及び奥行き方向ＺについてセンサＳＡ５０の位置が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、収容壁部１２１の内周面の大部分がセンサＳＡ５０の外周面に接触しているのではなく、ハウジング突起７２ａ，７２ｂの先端部という限られた部分がセンサＳＡ５０の外周面に接触している。この場合、仮に樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１に生じたとしても、この変形でハウジング突起７２ａ，７２ｂの位置がずれたりハウジング突起７２ａ，７２ｂ自体が変形したりするとは限らない。このため、万が一、製品ごとの形状ばらつきが収容壁部１２１に生じたとしても、この変形ばらつきによりセンサＳＡ５０の位置がばらつくということが生じにくくなっている。したがって、センサＳＡ５０の位置が製品ごとにばらつくことをより確実に抑制できる。

　本実施形態によれば、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端側へのセンサＳＡ５０の移動を規制する領域段差面６６が収容壁部１２１に含まれている。この場合、収容壁部１２１では、この領域段差面６６についても、樹脂成型に伴う変形が生じにくくなっているため、高さ方向ＹについてセンサＳＡ５０の位置が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、リードターミナル５４と流量検出部２２との間において、流量検出部２２寄りの位置に回路段差面５５が設けられている。この場合、仮に、センサＳＡ５０が領域段差面６６との接触部分を支点として回動するように位置ずれしたとしても、例えばリードターミナル５４寄りの位置に回路段差面５５が設けられた構成に比べて、流量検出部２２の位置ずれ量を低減できる。このため、流量検出部２２の検出精度の低下を抑制できる。

　本実施形態によれば、リング保持部２５と収容壁部１２１とが張り出し部６６ａにより接続されているため、収容壁部１２１がリング保持部２５からハウジング先端側に離間した構成を実現できる。この場合、仮に、樹脂成型に伴う変形がリング保持部２５に生じたとしても、この変形が張り出し部６６ａにより吸収されることで、リング保持部２５の変形に伴って収容壁部１２１の位置や形状が変化するということが生じにくくなっている。このため、領域段差面６６やハウジング突起７２ａ，７２ｂによるセンサＳＡ５０の位置決め精度が低下するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流量検出部２２と領域段差面６６との離間距離Ｌ３が横延出部６６ｂの厚み寸法Ｄ２２より大きいため、高さ方向Ｙにおいて流量検出部２２を領域段差面６６から極力遠ざけた構成を実現できる。この構成によれば、仮に樹脂成型に伴う変形が領域段差面６６に生じていたとしても、収容壁部１２１の内側に嵌合されることでセンサＳＡ５０に生じた歪みが流量検出部２２までは届きにくくなる。このため、センサＳＡ５０をハウジング２１に組み付ける際にセンサＳＡ５０の歪みが生じたとしても、流量検出部２２の位置ずれが生じるということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流量検出部２２と収容壁部１２１との離間距離Ｌ５が収容壁部１２１の厚み寸法Ｄ２３より大きいため、奥行き方向Ｚにおいて流量検出部２２を収容壁部１２１から極力遠ざけた構成を実現できる。この構成によれば、仮に樹脂成型に伴う変形がハウジング突起７２ａ，７２ｂに生じていたとしても、収容壁部１２１の内側に嵌合されることでセンサＳＡ５０に生じた歪みが流量検出部２２までは届きにくくなる。このため、センサＳＡ５０の歪みにより流量検出部２２の位置ずれが生じるということを抑制できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０がハウジング開口部６１を通じて内部空間２４ａに挿入される。このように、樹脂成型されたハウジング２１に対してセンサＳＡ５０を後付けする場合でも、樹脂成型に伴う変形が収容壁部１２１にて生じにくくなっていることに起因して、収容壁部１２１によるセンサＳＡ５０の位置決め精度を高めることができる。

　＜構成群Ｄの説明＞
　通過流路の構成に関する構成群Ｄについて、図３２、図３３等を参照しつつ説明する。

　図３２に示すように、通過流路３１は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４よりも下流側には延びていない。換言すれば、通過流路３１には、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４と流入口３３ａとの間の部分が流入通過路３１ａである一方で、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４と流出口３３ｂとの間の部分が存在しない。この場合、流路境界部３４の一部と流出口３３ｂの一部とが重複しており、流路境界部３４は、奥行き方向Ｚにおいて流出口３３ｂから流入口３３ａに向けて延びている。なお、流路境界部３４が分岐境界部に相当する。

　通過流路３１の内周面は、通過天井面１５１、通過床面１５２及び通過壁面１５３を有している。通過天井面１５１と通過床面１５２とは、高さ方向Ｙにおいて通過流路３１を挟んで対向しており、通過天井面１５１が通過流路３１よりもハウジング基端側に配置されている。通過天井面１５１はハウジング先端側を向いており、通過床面１５２はハウジング基端側を向いている。通過壁面１５３は、幅方向Ｘにおいて通過天井面１５１及び通過床面１５２を挟んで一対設けられており、これら通過壁面１５３は、幅方向Ｘを向いた状態で互いに対向している。

　また、通過流路３１の内周面は、流入口３３ａから流出口３３ｂに向けて通過流路３１を絞っている絞り面１５２ａ，１５３ａを有している。この場合、通過流路３１の流路面積が流出口３３ｂに向けて徐々に小さくなっている。絞り面１５２ａ，１５３ａは、流出通過路３１ｂの内周面に含まれており、流出口３３ｂから流入通過路３１ａに向けて延びている。絞り面１５２ａ，１５３ａは、流入口３３ａ側を向いていることで奥行き方向に対して傾斜している。絞り面１５２ａ，１５３ａは、流出通過路３１ｂの上流端部と下流端部とにかけ渡されている一方で、流入通過路３１ａの内周面には含まれていない。通過流路３１の流路断面は、流出通過路３１ｂにおいて流出口３３ｂに近い部分ほど小さくなっている。

　床絞り面１５２ａは通過床面１５２に含まれており、壁絞り面１５３ａは通過壁面１５３に含まれている。床絞り面１５２ａは、ハウジング底部６２において奥行き方向Ｚに対して傾斜した部分の内周面になっている。壁絞り面１５３ａは、通過絞り部４７の内周面になっており、幅方向Ｘにおいて床絞り面１５２ａを挟んで一対設けられている。なお、床絞り面１５２ａ及び壁絞り面１５３ａが通過絞り面に相当する。

　流路境界部３４は、流出口３３ｂを向いていることで奥行き方向Ｚに対して傾斜している。すなわち、流路境界部３４は通過天井面１５１に対して傾斜している。流路境界部３４は、流出口３３ｂを挟んで床絞り面１５２ａに対向しており、この床絞り面１５２ａに平行に延びている。

　ハウジング２１の外周面には、流入口３３ａと流路境界部３４との重複部分から外周側に向けて延びた庇面１５４が含まれている。庇面１５４は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４を挟んで通過天井面１５１とは反対側に配置されており、通過天井面１５１と同様に奥行き方向Ｚに延びている。このため、床絞り面１５２ａは、庇面１５４に対しても傾斜していることになる。なお、通過壁面１５３が庇面１５４に接続されていないことに起因して、庇面１５４は通過流路３１を形成していない。

　次に、型装置９０の通過型部１０４について説明する。

　図３２、図３３に示すように、通過型部１０４の外周面は、床絞り面１５２ａを成型するための床絞り成型面１５６と、壁絞り面１５３ａを成型するための壁絞り成型面１５７とを有している。通過型部１０４は、型装置９０が組み立てられた状態において外周型部１０２，１０３に当接する外側通過面１５８を有しており、この外側通過面１５８は、通過型部１０４の先端部や先端面になっている。床絞り成型面１５６及び壁絞り成型面１５７は、通過型部１０４の外側通過面１５８から奥行き方向Ｚに延びている。これら成型面１５６，１５７が設けられていることで、通過型部１０４は外側通過面１５８に近い部分ほど細くなっている。壁絞り成型面１５７は、幅方向Ｘにおいて床絞り成型面１５６を挟んで一対設けられている。なお、床絞り成型面１５６及び壁絞り成型面１５７が型絞り部に相当する。

　また、通過型部１０４の外周面は、型装置９０が組み立てられた状態において導入成型部９７ｂに当接する内側通過面１５９を有している。内側通過面１５９は、通過型部１０４において壁絞り成型面１５７及び外側通過面１５８を挟んで反対側に配置されており、外側通過面１５８に直交している。床絞り成型面１５６は、内側通過面１５９に対して傾斜している。上述したように、導入成型部９７ｂは計測成型部９７に含まれており、計測成型部９７は内周型部９１に含まれている。内周型部９１は、計測流路３２の内周面を成型する計測型部及び分岐型部に相当する。

　型装置９０が組み立てられた状態においては、計測成型部９７が通過型部１０４及び外周型部１０２，１０３の両方に当接している。計測成型部９７の外周面は、型装置９０において外周型部１０２，１０３に当接する外側計測面１６１と、通過型部１０４の内側通過面１５９に当接する内側計測面１６２とを有している。樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０が取り外される前の状態では、計測成型部９７の先端部が通過流路３１に入り込んでいることで、外側計測面１６１及び内側計測面１６２は通過流路３１の内部に配置されている。この場合、通過型部１０４の外側通過面１５８と計測成型部９７の外側計測面１６１とが同一平面を形成しており、この平面が流出口３３ｂに含まれている。計測成型部９７については、通過流路３１に入り込むように進入した部分を進入部分１６３と称し、この進入部分１６３を図３２にドットハッチングで図示している。

　図３３の図示に合わせて、計測成型部９７が第１外周型部１０２に当接している部分について説明すると、型装置９０では、計測成型部９７と通過型部１０４と第１外周型部１０２との境界部である型境界部１６５が形成されている。型境界部１６５は、幅方向Ｘに延びており、この型境界部１６５には、計測成型部９７の外側計測面１６１と内側計測面１６２との境界部が含まれている。型境界部１６５は、ハウジング２１において通過流路３１のうち流出口３３ｂに配置されている。なお、計測成型部９７が第２外周型部１０３に当接している部分については、計測成型部９７、通過型部１０４及び第２外周型部１０３という３個の型部の境界部を型境界部１６５と称することができる。

　上述したように、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０を取り外す場合、通過型部１０４をハウジング２１の流入口３３ａから抜き取った後に、外周型部１０２，１０３をハウジング２１の外周面から取り外す。なお、内周型部９１をハウジング２１から取り外す作業と、通過型部１０４をハウジング２１から取り外す作業は、どちらが先に行われてもよい。

　構成群Ｄについて本実施形態によれば、ハウジング２１の樹脂成型に際して、型装置９０を用いることで通過流路３１の内周面が一体成型される。このため、複数の部材を別々に樹脂成型した後にこれら部材を組み合わせて通過流路３１を形成するという必要がない。この場合、部材同士の境界部において、通過流路３１の内周面に段差が発生することや、通過流路３１の形状や大きさが製品ごとにばらつくということが生じにくくなる。このように製造ばらつきを抑制することで、流量検出部２２の検出精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０を取り外す場合、通過型部１０４をハウジング２１の流入口３３ａから抜き取った後に、外周型部１０２，１０３をハウジング２１の外周面から取り外す。この場合、通過型部１０４を流入口３３ａから奥行き方向Ｚに抜き取る際には、ハウジング２１の外周部が外周型部１０２，１０３により保護された状態になっている。このため、仮に、通過型部１０４の先端部分を幅方向Ｘや高さ方向Ｙに振るように、通過型部１０４をこじりながら流入口３３ａから抜き取ったとしても、通過型部１０４でハウジング２１を内周側から変形させてしまうということが生じにくくなっている。したがって、通過型部１０４をハウジング２１から取り外す際に意図せずにハウジング２１が変形したり破損したりすることを抑制できる。

　本実施形態によれば、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０を取り外す前の状態においては、計測成型部９７の進入部分１６３が通過流路３１に入り込んだ状態になっている。すなわち、型境界部１６５が通過流路３１の内部に形成されている。このように、通過流路３１の内周面の一部を計測成型部９７により成型することで、通過型部１０４を流出口３３ｂからは抜き取らないという型装置９０において、通過流路３１の形状に関する設計や製造の自由度を高めることができる。このため、本実施形態のように流路境界部３４が流出口３３ｂ側を向いたハウジング２１を実現することができる。

　本実施形態によれば、通過型部１０４が外側通過面１５８を形成する先端部に向けて徐々に細くなっている。すなわち、通過型部１０４が先太りしない形状になっている。このため、通過型部１０４と外周型部１０２，１０３とを互いに組み付けた状態でハウジング２１の樹脂成型を行った場合に、通過型部１０４を外側通過面１５８とは反対側に向けてハウジング２１の流入口３３ａから抜き取ることができる。この場合、通過型部１０４を用いて通過流路３１の内周面を一体成型することができる。

　本実施形態によれば、通過型部１０４の外周面には床絞り成型面１５６及び壁絞り成型面１５７が含まれているため、通過型部１０４が外側通過面１５８に向けて徐々に細くなっている形状を実現できる。この場合、通過流路３１の内周面において、通過型部１０４の引き抜き方向である奥行き方向Ｚに平行に延びた部分の面積が床絞り成型面１５６及び壁絞り成型面１５７の分だけ小さくなる。このため、通過型部１０４を通過流路３１の内部から引き抜きやすくすることができる。

　本実施形態によれば、奥行き方向Ｚにおいて、流出口３３ｂから流入口３３ａに向けては通過流路３１が絞られていない。この場合、型装置９０を用いてハウジング２１を樹脂成型する際に、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることが可能であるため、複数の部材を組み合わせて通過流路３１を形成するという必要がない。本実施形態とは異なり、例えば、通過流路３１の中間部分が最も太くなった構成では、通過型部１０４が通過流路３１の内周面に引っ掛かることなどにより通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることが困難になる。この構成では、複数の部材を組み合わせて通過流路３１を形成することになるため、上述したような通過流路３１の製造ばらつきが発生しやすくなってしまう。

　本実施形態によれば、通過流路３１の内周面に床絞り面１５２ａ及び壁絞り面１５３ａが含まれているため、流出口３３ｂに向けて通過流路３１の絞り度合いを大きくすることができる。しかも、床絞り面１５２ａ及び壁絞り面１５３ａが流出口３３ｂから流入口３３ａに向けて延びているため、通過流路３１において流出口３３ｂの絞り度合いを最も大きくすることができる。これにより、流路境界部３４から流出口３３ｂが延びた構成でも、流出口３３ｂを絞ることで計測流路３２での空気の流速を適度に高めることができる。

　本実施形態によれば、流路境界部３４から流出口３３ｂが延びているため、ハウジング２１の樹脂成型に際して、通過型部１０４を流路境界部３４よりも流出口３３ｂ側にまで延ばす必要がない。この場合、通過流路３１において流路境界部３４に高さ方向Ｙに並んだ部分を通過型部１０４だけでなく計測成型部９７によっても成型することができる。このため、通過型部１０４を流出口３３ｂからは抜き取らないという型装置９０を用いてハウジング２１を形成する場合に、流路境界部３４と流出口３３ｂとの位置関係に関する設計や製造の自由度を高めることができる。

　本実施形態によれば、流出口３３ｂから流路境界部３４が延びているため、通過流路３１の内周面を一体成型する構成において、流路境界部３４が流出口３３ｂ側を向くように奥行き方向Ｚに対して傾斜させることができる。この場合、流入口３３ａから通過流路３１に進入した異物は、流出口３３ｂに向けて真っ直ぐに進んでいるだけでは流路境界部３４に到達することができない。このため、通過流路３１から計測流路３２に異物が進入することを抑制できる。

　＜構成群Ｅ＞
　コネクタターミナルの位置に関する構成群Ｅについて、図３４～図３９等を参照しつつ説明する。なお、図３４においては、ＳＡ突起７１ａ，７１ｂや幅ハウジング突起７２ａ、ターミナル固定部８７の図示を省略し、図３５においては、ポッティング部６５の図示を省略している。

　図３４に示すように、エアフロメータ１４のコネクタ部２８は、その先端面が凹むことで形成されたコネクタ凹部１７１を有している。コネクタ凹部１７１の開放端をコネクタ開口部１７１ａと称すると、コネクタ開口部１７１ａは、コネクタ凹部１７１の内部空間を奥行き方向Ｚに開放している。なお、本実施形態では、高さ方向Ｙが検出ユニットとハウジング開口部とが並んだ方向に相当する。また、コネクタ開口部１７１ａは、コネクタ凹部１７１の内部空間を幅方向Ｘや高さ方向Ｙに開放していてもよい。

　コネクタターミナル２８ａは、コネクタ凹部１７１と内部空間２４ａとにかけ渡されている。コネクタターミナル２８ａは、コネクタ凹部１７１の内部に配置された第１ターミナル部１７２ａと、内部空間２４ａに配置された第２ターミナル部１７２ｂと、これらターミナル部１７２ａ，１７２ｂを接続する接続ターミナル部１７２ｃとを有している。コネクタターミナル２８ａにおいては、一方の端部が第１ターミナル部１７２ａに含まれており、他方の端部が第２ターミナル部１７２ｂに含まれている。第１ターミナル部１７２ａは、コネクタ凹部１７１の内部においてコネクタ開口部１７１ａに向けて延びている。第２ターミナル部１７２ｂは、内部空間２４ａにおいてハウジング開口部６１に向けて延びている一方で、ハウジング開口部６１から外部には突出していない。

　コネクタターミナル２８ａにおいては、ハウジング２１の内周面からコネクタ凹部１７１の内部に突出した部分が第１ターミナル部１７２ａであり、ハウジング２１の内周面から内部空間２４ａに突出した部分が第２ターミナル部１７２ｂである。このため、内部空間２４ａとコネクタ凹部１７１との間においては、接続ターミナル部１７２ｃの全体がハウジング２１に埋め込まれた状態になっている。なお、接続ターミナル部１７２ｃは、少なくとも一部がハウジング２１に埋め込まれていればよい。この場合でも、接続ターミナル部１７２ｃがハウジング２１に固定された構成を実現できる。

　センサＳＡ５０について、回路収容部５１、中継部５２及びセンシング部５３を含んで構成された部位をＳＡ本体１７０と称すると、ＳＡ本体１７０は流量検出部２２を有している。リードターミナル５４は、高さ方向ＹにおいてＳＡ本体１７０からハウジング開口部６１に向けて延びている一方で、ハウジング開口部６１から外部には突出していない。なお、ＳＡ本体１７０がユニット本体に相当する。

　内部空間２４ａは、ＳＡ本体１７０を収容した本体領域ＰＣ１と、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂを収容したコネクタ領域ＰＣ２とを有している。本体領域ＰＣ１及びコネクタ領域ＰＣ２は、高さ方向Ｙに直交する方向である幅方向Ｘに横並びに配置されており、いずれもハウジング開口部６１からハウジング先端側に向けて延びている。本体領域ＰＣ１には、高さ方向Ｙにおいて領域段差面６６とハウジング開口部６１とにかけ渡された領域が含まれており、コネクタ領域ＰＣ２は、高さ方向Ｙにおいて封止段差面６７とハウジング開口部６１とにかけ渡された領域になっている。高さ方向Ｙに直交する方向である幅方向Ｘにおいて領域段差面６６と封止段差面６７との境界部が、本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部に含まれている。なお、領域段差面６６は、幅方向Ｘにおいて内部空間２４ａを挟んで一対設けられている。

　コネクタ領域ＰＣ２は、高さ方向ＹにおいてＳＡ本体１７０からハウジング開口部６１側に離間した位置に配置されている。これは、封止段差面６７が高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１とＳＡ本体１７０との間に配置されているためである。

　コネクタ領域ＰＣ２においては、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂが封止段差面６７からハウジング開口部６１に向けて延びている。コネクタターミナル２８ａにおいては、接続ターミナル部１７２ｃがコネクタ領域ＰＣ２に露出していない。この場合、接続ターミナル部１７２ｃからハウジング開口部６１に向けて延びた部分のうちコネクタ領域ＰＣ２に配置された部分が第２ターミナル部１７２ｂを形成している。なお、第２ターミナル部１７２ｂが突出ターミナル部及び縦ターミナル部に相当する。

　内部空間２４ａでは、コネクタターミナル２８ａが高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１とセンサＳＡ５０との間に入り込んでいない。これは、第２ターミナル部１７２ｂがコネクタ領域ＰＣ２から本体領域ＰＣ１にはみ出していないためである。すなわち、コネクタターミナル２８ａが本体領域ＰＣ１にはみ出していないためである。

　内部空間２４ａにおいては、センサＳＡ５０の回路段差面５５がハウジング開口部６１側から領域段差面６６に引っ掛かった状態になっている。また、ターミナルユニット８５のブリッジターミナル８６がハウジング開口部６１側から封止段差面６７に引っ掛かった状態になっている。上述したように、領域段差面６６及び封止段差面６７はいずれもハウジング２１の内周面に含まれている。領域段差面６６は、高さ方向ＹについてセンサＳＡ５０の位置を保持するユニット保持面に相当し、封止段差面６７は、高さ方向Ｙについてブリッジターミナル８６の位置を保持するターミナル保持面に相当する。また、ブリッジターミナル８６が接続ターミナルに相当する。

　ブリッジターミナル８６は、リードターミナル５４に接続された第１ブリッジ部１７３ａと、コネクタターミナル２８ａに接続された第２ブリッジ部１７３ｂと、これらブリッジ部１７３ａ，１７３ｂを接続した接続ブリッジ部１７３ｃを有している。ブリッジターミナル８６は、本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部を幅方向Ｘに跨いだ状態になっている。第１ブリッジ部１７３ａは、本体領域ＰＣ１においてリードターミナル５４に沿って延びており、第２ブリッジ部１７３ｂは、コネクタ領域ＰＣ２においてコネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂに沿って延びている。接続ブリッジ部１７３ｃは、本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２とにかけ渡された状態になっている。

　第２ブリッジ部１７３ｂは、封止段差面６７とハウジング開口部６１との間に入り込んでおり、第２ブリッジ部１７３ｂ及び接続ブリッジ部１７３ｃの少なくとも一方が封止段差面６７に接触している。この場合、封止段差面６７は、第２ブリッジ部１７３ｂと第２ターミナル部１７２ｂとの接続部分を支持していることになる。第１ブリッジ部１７３ａには第２接続部８６ｂ（図１８等参照）が含まれており、この第２接続部８６ｂを含む部分が第１ブリッジ部１７３ａとリードターミナル５４との接続部分になっている。また、第２ブリッジ部１７３ｂには第１接続部８６ａ（図１８等参照）が含まれており、この第１接続部８６ａを含む部分が第２ブリッジ部１７３ｂと第２ターミナル部１７２ｂとの接続部分になっている。

　図３５に示すように、センサＳＡ５０が有する複数のリードターミナル５４には、コネクタターミナル２８ａに電気的に接続されたターミナルに加えて、吸気温ターミナル２３ｃに電気的に接続されたターミナルが含まれている。吸気温ターミナル２３ｃも、コネクタターミナル２８ａと同様に、ブリッジターミナル８６を介してリードターミナル５４に接続されている。吸気温ターミナル２３ｃは、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂと同様に封止段差面６７からコネクタ領域ＰＣ２に突出し且つハウジング開口部６１に向けて延びた吸気温ターミナル部１７５を有している。この場合、吸気温ターミナル部１７５も、第２ターミナル部１７２ｂと同様に、本体領域ＰＣ１にはみ出さない状態でコネクタ領域ＰＣ２に配置されている。

　次に、型装置９０について図２２、図３６を参照しつつ説明する。なお、図３６には、第１外周型部１０２とは反対側から第２外周型部１０３の外周面を見た場合の型装置９０を図示している。

　図２２、図３６に示すように、型装置９０は、内周型部９１及び第２外周型部１０３に組み付けられるコネクタ型部１７７を有している。コネクタ型部１７７は、内周型部９１の内部に入り込んだ状態で、第２外周型部１０３の外周面に対して組み付けられることで、コネクタ部２８の内周面を成型する。本実施形態のコネクタ型部１７７は、内周型部９１及び第２外周型部１０３に対して別部材として形成されている。なお、コネクタ型部１７７は、内周型部９１や第２外周型部１０３に一体的に取り付けられていてもよく、この場合は、内周型部９１や第２外周型部１０３にコネクタ型部１７７が含まれることになる。

　型装置９０が組み立てられた状態では、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃが型装置９０に既に装着された状態になっている。型装置９０が、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃを仮支持する仮支持部１７８を有しており、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃを仮支持部１７８に仮取り付け可能になっている。仮支持部１７８は、例えばコネクタ型部１７７に含まれており、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃを着脱可能になっている。仮支持部１７８は、ターミナル２８ａ，２３ｃを支持可能な支持状態と、ターミナル２８ａ，２３ｃの支持を解除する解除状態とに移行可能になっている。

　型装置９０においては、コネクタターミナル２８ａがコネクタ型部１７７の内部に収容されている一方で、吸気温ターミナル２３ｃは、コネクタ型部１７７と第２外周型部１０３と根元型部１０５，１０６とにかけ渡された状態になっている。

　続いて、エアフロメータ１４の製造方法について、ハウジング２１を樹脂成型した後の手順を中心に、図３６～図３９等を参照しつつ説明する。

　本実施形態では、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃを埋め込んだ状態のハウジングを樹脂成型するインサート成型を行う。このインサート成型では、型装置９０を組み立てる工程において、図３６に示すように、コネクタ型部１７７の仮支持部１７８にコネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃの仮取り付けを行う。そして、この状態のコネクタ型部１７７を内周型部９１や外周型部１０２，１０３等に組み付ける。その後、型装置９０の内部に溶融樹脂を注入し、溶融樹脂を硬化させてハウジング２１を成型した後、ハウジング２１から型装置９０を取り外す。

　この工程では、仮支持部１７８を解除状態に移行させることなどにより、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃを仮支持部１７８から取り外し、コネクタ型部１７７をハウジング２１のコネクタ部２８から取り外す。また、内周型部９１や外周型部１０２，１０３もハウジング２１から取り外す。樹脂成型されたハウジング２１においては、コネクタターミナル２８ａ及び吸気温ターミナル２３ｃのそれぞれの一部がハウジング２１に埋め込まれた状態になっている。

　そして、図３７に示すように、ハウジング２１の内部空間２４ａにセンサＳＡ５０を設置する工程を行う。この工程では、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から内部空間２４ａの本体領域ＰＣ１に挿入し、センサＳＡ５０の回路段差面５５がハウジング２１の領域段差面６６に引っ掛かるまでセンサＳＡ５０を押し込む。この場合、センサＳＡ５０のセンシング部５３からハウジング開口部６１に挿入することで、リードターミナル５４が内部空間２４ａの封止領域ＰＡに配置されることになる。

　型装置９０においては、コネクタターミナル２８ａの接続ターミナル部１７２ｃ全体がハウジング２１に埋め込まれるように、ハウジング２１を樹脂成型する構成になっている。このため、本体領域ＰＣ１及びコネクタ領域ＰＣ２の内周面を内周型部９１の入り込み部９３により成型する構成では、入り込み部９３を単にハウジング開口部６１から抜き取ることで、これら本体領域ＰＣ１及びコネクタ領域ＰＣ２を成型できる。

　本実施形態とは異なり、例えば、接続ターミナル部１７２ｃを封止段差面６７からハウジング開口部６１側に離間させたハウジング２１を樹脂成型するには、接続ターミナル部１７２ｃと封止段差面６７との間に入り込み部９３の一部を回り込ませる必要が生じる。この構成では、入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることが困難になってしまうため、ハウジング２１を一体成型するのではなく、複数の部材を組み付けて製造せざるを得なくなってしまう。

　上述したように、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂ及び吸気温ターミナル部１７５は、本体領域ＰＣ１にはみ出さないようにコネクタ領域ＰＣ２に設置されている。このため、センサＳＡ５０を本体領域ＰＣ１に挿入する際に、センサＳＡ５０が第２ターミナル部１７２ｂや吸気温ターミナル部１７５に接触しにくくなっている。また、本体領域ＰＣ１においては、領域段差面６６がハウジング開口部６１側を向いている。このため、作業者は、一対の領域段差面６６の間を狙ってセンサＳＡ５０を挿入することで、センサＳＡ５０を、第２ターミナル部１７２ｂや吸気温ターミナル部１７５に接触しないように本体領域ＰＣ１に設置することが容易になる。

　その後、図３８に示すように、ターミナルユニット８５をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに挿入し、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂとの間に押し込む。ここでは、ブリッジターミナル８６を封止段差面６７に接触させることで、ブリッジターミナル８６をハウジング２１に対して仮取り付けする。

　そして、ブリッジターミナル８６をリードターミナル５４及びコネクタターミナル２８ａのそれぞれに溶接等により接合する作業を、一対の溶接電極を有する溶接装置等の接合具を用いて行う。ここでは、一対の溶接電極をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに差し入れ、これら溶接電極によりリードターミナル５４と第１ブリッジ部１７３ａとを挟み込むようにして、これらリードターミナル５４と第１ブリッジ部１７３ａとの溶接を行う。このような接合作業により、リードターミナル５４とブリッジターミナル８６との接続部分が形成される。また、一対の溶接電極により第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとを挟み込むようにして、これら第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとの溶接を行う。このような接合作業により、コネクタターミナル２８ａとブリッジターミナル８６との接続部分が形成される。

　図３９において、ブリッジターミナル８６を介してリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを電気的に接続する作業が完了した後、ハウジング開口部６１から内部空間２４ａの封止領域ＰＡにポッティング樹脂等の熱硬化性樹脂を注入する。そして、熱硬化性樹脂に熱を加えて硬化させることでポッティング部６５を形成する。ここでは、熱硬化性樹脂によりＳＡ本体１７０を覆い隠すのはもちろんのこと、リードターミナル５４、ブリッジターミナル８６及びコネクタターミナル２８ａを熱硬化性樹脂により覆い隠す。この場合、リードターミナル５４とブリッジターミナル８６との接続部分、及びブリッジターミナル８６とコネクタターミナル２８ａとの接続部分がポッティング部６５により保護されることになる。

　構成群Ｅについて本実施形態によれば、ハウジング２１の内部空間２４ａにおいては、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１とセンサＳＡ５０との間にコネクタターミナル２８ａが入り込んでいない。このため、コネクタターミナル２８ａをハウジング２１に取り付けた後に、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに挿入することができる。この場合、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに設置した後に、ハウジング２１にコネクタターミナル２８ａを取り付ける作業を行う必要がない。このため、ハウジング２１へのコネクタターミナル２８ａの取り付けに伴う衝撃などによりセンサＳＡ５０の位置ずれが生じる、ということを抑制できる。

　ここで、内部空間２４ａにおいてセンサＳＡ５０の位置ずれが生じると、計測流路３２での流量検出部２２の位置も意図せずにずれることになる。この場合、計測流路３２にて流量検出部２２に沿って流れる吸入空気の量や速さが設計値とずれることなどにより、流量検出部２２の検出精度が低下しやすくなる。これに対して、本実施形態によれば、上述したように、意図しないセンサＳＡ５０の位置ずれが生じにくくなっているため、流量検出部２２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、内部空間２４ａにおいて、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂが本体領域ＰＣ１にはみ出さない状態でコネクタ領域ＰＣ２に収容されている。このため、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１とセンサＳＡ５０との間に第２ターミナル部１７２ｂが入り込んでいない構成を実現できる。この場合、作業者は、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から本体領域ＰＣ１に挿入する際に、このセンサＳＡ５０を単にコネクタ領域ＰＣ２に進入させないことで、センサＳＡ５０が第２ターミナル部１７２ｂに接触することを回避できる。したがって、ハウジング２１へのセンサＳＡ５０の取り付けに伴ってセンサＳＡ５０やコネクタターミナル２８ａが互いの接触によって破損したり変形したりするということを抑制できる。

　本実施形態によれば、コネクタ領域ＰＣ２がセンサＳＡ５０のＳＡ本体１７０よりもハウジング開口部６１に近い位置に配置されている。これに伴って、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂもＳＡ本体１７０よりもハウジング開口部６１に近い位置に配置されることになる。この場合、第２ターミナル部１７２ｂとブリッジターミナル８６とを接合するための接合具を、内部空間２４ａの奥深くまで差し入れる必要がないため、接合を行う際の作業負担を低減できる。また、接合具を内部空間２４ａの奥深くまで差し入れる構成に比べて、接合具がＳＡ本体１７０やハウジング２１に接触してこれらＳＡ本体１７０やハウジング２１が破損したり変形したりすることを抑制できる。

　本実施形態によれば、内部空間２４ａにおいては、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂが封止段差面６７によりハウジング開口部６１とは反対側から支持されている。この場合、第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとを接合する際に、第２ターミナル部１７２ｂが意図せずに変位するということが生じにくい。このため、接合作業時に第２ターミナル部１７２ｂが第２ブリッジ部１７３ｂに対して相対的に変位してしまい、これら第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとを適正に接合することが困難になる、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ブリッジターミナル８６が封止段差面６７によりハウジング開口部６１とは反対側から支持されている。この場合、ブリッジターミナル８６をハウジング２１に仮取り付けした段階で、ブリッジターミナル８６が位置保持された状態を作り出すことができる。このため、ブリッジターミナル８６をリードターミナル５４やコネクタターミナル２８ａに接合する際に、ブリッジターミナル８６を位置保持する作業を必要としない分だけ作業負担を低減できる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の内周面において、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂを支持する封止段差面６７が、センサＳＡ５０を支持する領域段差面６６よりもハウジング開口部６１に近い位置に配置されている。この場合、封止段差面６７からの第２ターミナル部１７２ｂの突出寸法が極力小さくなるため、ハウジング２１を樹脂成型する際などに第２ターミナル部１７２ｂが意図せずに変形するということが生じにくくなっている。また、この場合、コネクタターミナル２８ａとブリッジターミナル８６との接合部分が封止段差面６７とハウジング開口部６１との間に配置されるため、内部空間２４ａにおいて封止段差面６７よりも深い位置まで接合具を差し入れる必要がない。このため、接合作業の容易化や、接合具との接触に伴うＳＡ本体１７０やハウジング２１の破損や変形の抑制を実現できる。

　本実施形態によれば、第２ターミナル部１７２ｂが封止段差面６７からハウジング開口部６１に向けて延びている。この場合、第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとを溶接電極などの接合具により挟み込む際に、ハウジング開口部６１から見て第２ターミナル部１７２ｂや第２ブリッジ部１７３ｂの奥側に接合具を入り込ませる必要がない。このため、接合具を用いて第２ターミナル部１７２ｂと第２ブリッジ部１７３ｂとを接合する際に、この接合作業を容易化できる。

　本実施形態によれば、型装置９０の仮支持部１７８にコネクタターミナル２８ａを仮取り付けしておくことで、コネクタターミナル２８ａが埋め込まれた状態のハウジング２１が樹脂成型される。このため、ハウジング２１に対するコネクタターミナル２８ａの位置ずれが生じるということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部６１から内部空間２４ａに注入された熱硬化性樹脂によりセンサＳＡ５０、コネクタターミナル２８ａ及びブリッジターミナル８６が覆い隠された状態になっている。このため、センサＳＡ５０が位置ずれすることや、リードターミナル５４、コネクタターミナル２８ａ及びブリッジターミナル８６が変形したり破損したりすることを、熱硬化性樹脂によって形成されたポッティング部６５により抑制できる。

　＜構成群Ｆ＞
　検出ユニットを覆うことに関する構成群Ｆについて、図４０～図４２等を参照しつつ説明する。

　図４０、図４１に示すように、リップ８９の内周面とハウジング本体２４の内周面とは面一になっており、封止領域ＰＡの内周面１８０は領域段差面６６や封止段差面６７からハウジング開口部６１に向けて高さ方向Ｙに真っ直ぐに延びている。リップ８９は、内部空間２４ａの周縁部に沿って延びていることでハウジング開口部６１を形成しており、開口リブ部に相当する。

　上述したように、ハウジング開口部６１を含む封止領域ＰＡは、全体として平面視で矩形状に形成されているが、四隅が湾曲している。この場合、封止領域ＰＡの内周面１８０は、ハウジング開口部６１に幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びる平坦な内周平坦面１８１と、互いに交差する内周平坦面１８１を接続するように湾曲した内周湾曲面１８２とを有している。内周湾曲面１８２は、ハウジング開口部６１に鋭角や直角な入隅部分が形成されないように、外周側に向けて膨らむように湾曲している。内周湾曲面１８２は、封止領域ＰＡの外周側に向けて膨らむように曲がった内周曲がり面に相当する。

　封止領域ＰＡの内周面１８０においては、ハウジング開口部６１の四辺に対応する位置に内周平坦面１８１が配置され、四隅に対応する位置に内周湾曲面１８２が配置されている。内周平坦面１８１と内周湾曲面１８２とは互いに連続していることで、これら内周平坦面１８１と内周湾曲面１８２との境界部には段差が形成されていない。内周平坦面１８１及び内周湾曲面１８２は、ハウジング開口部６１から領域段差面６６や封止段差面６７に向けて延びている。

　上述したように、ハウジング２１においては、フランジ部２７はハウジング本体２４から幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びており、リング保持部２５は、フランジ部２７よりもハウジング先端側に配置されている。一方、リップ８９は、ハウジング本体２４からハウジング基端側に向けて延びている。この場合、リング保持部２５及びフランジ部２７を含んでハウジング取付部が構成されているとすると、リップ８９は、ハウジング取付部を挟んでバイパス流路３０や流入口３３ａとは反対側に配置されていることになる。換言すれば、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング開口部６１はセンサＳＡ５０を挟んで流入口３３ａとは反対側に配置されている。

　上述したように、センサＳＡ５０のリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとは互いに接続されており、この接続部分１８３は封止領域ＰＡに収容されている。接続部分１８３には、リードターミナル５４におけるブリッジターミナル８６に接続された各部分と、コネクタターミナル２８ａにおけるブリッジターミナル８６に接続された部分と、ブリッジターミナル８６の全体とが含まれている。なお、接続部分１８３には、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂ（図３４参照）の全体や、リードターミナル５４の全体が含まれているとしてもよい。

　次に、エアフロメータ１４の製造方法について、ポッティング部６５を作成する手順を中心に説明する。なお、ポッティング部６５が充填部に相当する。

　まず、ハウジング２１の内部空間２４ａにセンサＳＡ５０を設置し、ターミナルユニット８５を用いてリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを接続する。そして、図４２に示すように、熱硬化性樹脂であるポッティング材１８５が内部空間２４ａから溢れないように、ハウジング開口部６１を通じて内部空間２４ａに注入する工程を行う。この注入工程では、液体状や流体状のポッティング材１８５を内部空間２４ａに充填することでこの内部空間２４ａを封止する。ここでは、ポッティング材１８５を封止材と称することもできる。本実施形態では、ポッティング材１８５として例えばエポキシ樹脂を使用し、ポッティング材１８５が充填材に相当する。

　なお、ポッティング材１８５がポッティング樹脂及び硬化性樹脂に相当する。ポッティング材１８５として、ウレタン樹脂やシリコン樹脂を用いてもよい。これらウレタン樹脂やシリコン樹脂がポッティング材１８５として使用された場合、エポキシ樹脂がポッティング材１８５として使用された場合に比べて、ポッティング部６５が軟らかくなりやすい。

　この注入工程においては、封止領域ＰＡに充填されたポッティング材１８５にボイドや隙間といった空気の塊が形成されないように注入作業を行う。ここで、封止領域ＰＡにおいては、内周湾曲面１８２により鋭角や直角な入隅部分が存在しないようになっている。この場合、ポッティング材１８５と封止領域ＰＡの内周面１８０との間に隙間が生じにくくなっており、また、ポッティング材１８５が封止領域ＰＡの内周面１８０に沿ってハウジング開口部６１に向けて這い上がるという現象が生じにくくなっている。

　また、この注入工程においては、センサＳＡ５０や接続部分１８３、コネクタターミナル２８ａがハウジング開口部６１側から覆い隠すように、ポッティング材１８５を封止領域ＰＡに充填する。ここで、封止領域ＰＡの内周面１８０においては、内周湾曲面１８２によりポッティング材１８５の這い上がり現象が生じにくくなっていても、多少はこの這い上がり現象が生じると考えられる。そこで、這い上がり現象が生じてもポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れないように、ポッティング材１８５の表面中央部分がハウジング開口部６１から内側に若干入り込んだ位置になるようにポッティング材１８５の注入量を設定する。

　なお、内部空間２４ａにおいては、リードターミナル５４と吸気温ターミナル２３ｃとの接続部分もポッティング材１８５により覆い隠される。リードターミナル５４と吸気温ターミナル２３ｃとの接続部分には、リードターミナル５４及び吸気温ターミナル２３ｃにおけるブリッジターミナル８６との接続部分と、ブリッジターミナル８６の全体とが含まれる。

　ポッティング材１８５を注入した後、ポッティング材１８５を加熱することで硬化させてポッティング部６５を形成する。ここで、ポッティング部６５について硬度等の硬さは、ポッティング材１８５の種類の成分等により異なる。ポッティング部６５の硬さに関係なく、内部空間２４ａにてセンサＳＡ５０の位置ずれが生じることをポッティング部６５により抑制できるが、ポッティング部６５が硬いほど、センサＳＡ５０が位置ずれすることに対する抑制効果が高くなる。また、ポッティング部６５が軟らかいほど、封止領域ＰＡやセンサＳＡ５０、接続部分１８３に対してポッティング部６５が密着しやすくなるため、ポッティング部６５によるシール性を高めることができる。

　ポッティング部６５は、ハウジング開口部６１側からセンサＳＡ５０を覆っており、覆い部に相当する。この場合、ポッティング部６５は、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとの接続部分をハウジング開口部６１側から覆っている。また、ポッティング材１８５が覆い材に相当する。

　構成群Ｆについて本実施形態によれば、ポッティング材１８５が内部空間２４ａに注入されることでポッティング部６５が形成されるため、内部空間２４ａを封止する際にその内部空間２４ａに圧力が付与されるということが生じにくくなっている。この場合、内部空間２４ａに付与される圧力によりセンサＳＡ５０の位置ずれが意図せずに生じるということが抑制されるため、センサＳＡ５０の位置が製品ごとにばらつくということが生じにくくなっている。したがって、流量検出部２２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ハウジング本体２４から突出したリップ８９によりハウジング開口部６１が形成されている。このため、ハウジング本体２４の形状や大きさを変更しなくても、単にリップ８９の突出寸法を変更することで、高さ方向Ｙにおいて内部空間２４ａや封止領域ＰＡの深さ寸法を変更することができる。この場合、ハウジング本体２４の汎用性を低下させることなく、高さ方向ＹでのセンサＳＡ５０の長さ寸法に応じて内部空間２４ａや封止領域ＰＡの深さ寸法を適正に設定できる。したがって、内部空間２４ａに対してセンサＳＡ５０が長すぎて、内部空間２４ａをポッティング材１８５により封止したにもかかわらずこのポッティング材１８５からセンサＳＡ５０の一部が突出してしまう、ということを回避できる。

　本実施形態によれば、封止領域ＰＡの内周面１８０に内周湾曲面１８２が含まれている。このため、ポッティング材１８５と内周面１８０との間に隙間が生じることや、ポッティング材１８５が内周面１８０に沿って這い上がってハウジング開口部６１から溢れること、などを抑制できる。したがって、ポッティング材１８５による内部空間２４ａの封止性能を適正に発揮させることができる。

　本実施形態によれば、エアフロメータ１４においては、ハウジング開口部６１がリング保持部２５を挟んで流入口３３ａとは反対側に配置されている。このため、ハウジング開口部６１が吸気通路１２ではなく吸気管１２ａの外部に配置される構成を実現できる。この場合、吸気通路１２を流れる吸入空気にポッティング部６５が常にさらされることがないため、ポッティング部６５の破損や劣化を抑制できる。これにより、ポッティング部６５による内部空間２４ａの封止性能を長期間にわたって発揮させることができる。

　本実施形態によれば、内部空間２４ａにおいては、センサＳＡ５０に加えて、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとの接続部分１８３がポッティング部６５により覆われている。このため、ポッティング部６５の封止性能によりセンサＳＡ５０だけでなく接続部分１８３も保護することができる。

　＜構成群Ｇ＞
　情報部に関する構成群Ｇについて、図４３等を参照しつつ説明する。

　図４３に示すように、ハウジング２１において、一方の端面をハウジング先端面１９１と称し、他方の端面をハウジング基端面１９２と称すると、ハウジング開口部６１はハウジング基端面１９２に設けられている。ハウジング基端面１９２は、ハウジング本体２４やフランジ部２７、コネクタ部２８のそれぞれの外周面により形成されており、ハウジング開口部６１はハウジング本体２４の外周面に配置されている。ハウジング基端面１９２には、ハウジング開口部６１に加えて、複数の肉盗み部４１やネジ孔４２が設けられており、これら肉盗み部４１やネジ孔４２は、フランジ部２７の外周面に配置されている。なお、ハウジング基端面１９２がハウジングの一面であるハウジング面に相当する。また、ハウジング先端面１９１とハウジング基端面１９２とは高さ方向Ｙに並んでいることになる。

　ハウジング開口部６１は内部空間２４ａの開放端部であり、上述したように、内部空間２４ａはポッティング部６５によりハウジング開口部６１側から封止されている。ポッティング部６５においては、その外側面であるポッティング面１９３が、ハウジング基端面１９２と同様に高さ方向ＹにおいてセンサＳＡ５０とは反対側を向いている。また、上述したように、内部空間２４ａに充填されたポッティング材１８５が封止領域ＰＡの内周面１８０を這い上がることにより、ポッティング面１９３においては周縁部分が湾曲しやすくなっている。しかしながら、ポッティング面１９３の全体としては、周縁部分を除くほとんどの部分が平坦面になっている。この場合、ポッティング部６５が封止部に相当し、ポッティング面１９３が封止部の外側面に相当する。

　ハウジング２１においては、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１がセンサＳＡ５０を挟んで流入口３３ａとは反対側に配置されている。この場合、流入口３３ａが吸気管１２ａの内部において吸気通路１２に配置される一方で、ポッティング部６５が吸気管１２ａの外部に配置されることになる。ポッティング部６５においては、ポッティング面１９３が高さ方向Ｙにおいて吸気管１２ａとは反対側を向いている。

　ハウジング開口部６１は、上述したように、全体として矩形状に形成されている。この場合、ハウジング開口部６１は、長辺である一対の第１辺部１９５と、短辺である一対の第２辺部１９６とを有しており、全体として奥行き方向Ｚに延びた扁平状になっている。この場合、第１辺部１９５は奥行き方向Ｚに延びており、第２辺部１９６は幅方向Ｘに延びている。ハウジング開口部６１は四隅が面取りされており、その面取り部分は、第１辺部１９５と第２辺部１９６とを接続した状態で外周側に向けて湾曲している。なお、第１辺部１９５が対向辺に相当する。また、面取り部分は、湾曲しているのではなく真っ直ぐに延びていてもよく、折れ曲がっていてもよい。面取り部分は、ハウジング開口部６１の四隅の全てに配置されていなくてもよい。

　ポッティング面１９３には、あらかじめ定められた所定情報を示す情報部１９４が設けられている。情報部１９４は、数字や文字、マークなどを有しており、マークには、記号やロゴ、記憶マークなどが含まれ、記憶マークには２次元コードなどが含まれている。記憶マークには、各種情報が記憶されており、この各種情報には、流量検出部２２や吸気温センサ２３等の検出信号が回路チップ８１やＥＣＵ２０で補正される際にその補正に用いる補正値が含まれている。また、この各種情報には、補正値の他にも、流量検出部２２や吸気温センサ２３、エアクリーナ１９等の特性を示す特性マップなどが含まれている。

　情報部１９４は、ポッティング面１９３に付与されたインクや塗料、凹凸により形成されている。情報部１９４をポッティング面１９３に付与する方法としては、レーザーマーキングやインクマーキングなどが挙げられる。情報部１９４は、各種情報を示すべく複数の数字や文字により形成された数列や文字列を有しており、これら数列や文字列が第１辺部１９５に沿って並んでいる。この場合、ユーザ等は、情報部１９４により表示された情報を第１辺部１９５に沿って読み取ればよいため、情報部１９４の内容を誤って読み取るということが生じにくくなっている。また、情報部１９４は、ポッティング面１９３の広範囲に配置されているが、基本的には、ポッティング面１９３の平坦部分に配置されている。

　構成群Ｇについて本実施形態によれば、ポッティング材１８５が内部空間２４ａに注入されることでポッティング部６５が形成されているため、ポッティング面１９３の大部分を平坦化することが可能である。しかも、ハウジング開口部６１及び内部空間２４ａは、センサＳＡ５０を挿入することができるほどに大きくなっているため、情報部１９４を表示する上でポッティング面１９３が不足するということが生じにくくなっている。このように、ポッティング面１９３の平坦化及び大型化が図られているため、ポッティング面１９３に付与された情報部１９４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の内部空間２４ａにおいては、センサＳＡ５０のＳＡ本体１７０とコネクタターミナル２８ａとが幅方向Ｘに横並びに配置されている。このため、ＳＡ本体１７０とコネクタターミナル２８ａとを横並びに配置できる程度に、幅方向Ｘについて内部空間２４ａの幅寸法及びハウジング開口部６１の幅寸法が大きくなっている。すなわち、幅方向Ｘにおいてポッティング面１９３の幅寸法が大きくなっている。この場合、ポッティング面１９３において、情報部１９４の大型化を図ることが可能になっていることで、情報部１９４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１がセンサＳＡ５０を挟んで流入口３３ａとは反対側に配置されているため、ポッティング面１９３が吸気管１２ａの外部に配置されることになる。この場合、作業者は、エアフロメータ１４が吸気管１２ａに取り付けられた状態のまま、ポッティング面１９３や情報部１９４を視認することができる。したがって、情報部１９４を視認する際に、エアフロメータ１４を吸気管１２ａから取り外すという手間を省くことができる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部６１が、一対の第１辺部１９５が長辺になるように全体として扁平しているため、情報部１９４の並び方向を明確化することができる。この場合、ポッティング面１９３において、情報部１９４の数列や文字列が第１辺部１９５に沿って並んでいることで、作業者がこれら数列や文字列を読み間違えるということを抑制できる。このように、ポッティング面１９３の形状により情報部１９４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング基端面１９２には肉盗み部４１が設けられている。ここで、ハウジング基端面１９２において、情報部１９４の視認性が不足しない程度に大きな平坦面を確保しようとすると、ハウジング基端面１９２での肉盗み部４１が不足することが懸念される。ハウジング基端面１９２にて肉盗み部４１が不足すると、ハウジング２１が肉厚になることで、ハウジング２１を樹脂成型する際に溶融樹脂の硬化に伴って意図しない変形がハウジング２１に生じることが懸念される。これに対して、本実施形態では、ポッティング面１９３に情報部１９４が付与されているため、情報部１９４の表示に適する程度の平坦面をハウジング基端面１９２に確保する必要がない。この場合、ハウジング基端面１９２に十分な肉盗み部４１を配置することで、樹脂成型に伴うハウジング２１の変形を抑制した上で、ポッティング面１９３での情報部１９４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の内部空間２４ａにおいては、センサＳＡ５０がポッティング部６５により覆われている。ここで、本実施形態とは異なり、例えば、ハウジング２１とは別部材として樹脂成型されたフタ部材がハウジング開口部６１に取り付けられた構成では、ハウジング開口部６１が大型化するほど、フタ部材も大型化することになる。フタ部材が大型化した場合、フタ部材が自身の形状を保持できる程度にフタ部材を肉厚に形成する必要がある一方で、樹脂成型に伴う変形が生じないようにするためにフタ部材に肉抜き部を形成する必要も生じると考えられる。このため、フタ部材では、情報部１９４を付与できる程度に平坦面を確保することが困難になってしまう。

　これに対して、本実施形態によれば、情報部１９４が付与されたポッティング部６５については、樹脂成型を行わないことに起因して肉盗み部４１を形成する必要がない。しかも、内部空間２４ａに充填されたポッティング部６５については、ポッティング面１９３が必然的に平坦化されるという現象を利用することで、ポッティング面１９３のほぼ全体に情報部１９４を配置することが可能になる。したがって、ポッティング面１９３において情報部１９４の視認性を高めることができる。

　＜構成群Ｈ＞
　物理量検出部の検出結果を補正すること関する構成群Ｈについて、図４４～５７等を参照しつつ説明する。

　図４４に示すように、エアフロメータ１４は、吸気管１２ａの内部に入り込んだ入り込み部分５０１と、吸気管１２ａの内部に入り込んでいないことで吸気管１２ａの外部にはみ出したはみ出し部分５０２とを有している。入り込み部分５０１にはバイパス流路３０やリング保持部２５が含まれており、はみ出し部分５０２にはハウジング開口部６１やフランジ部２７、コネクタ部２８が含まれている。入り込み部分５０１とはみ出し部分５０２とは、高さ方向Ｙに並んでいることでエアフロメータ１４を２分割しており、これら部分５０１，５０２の境界部は管フランジ１２ｃの開放端に一致している。ハウジング本体２４やセンサＳＡ５０は、入り込み部分５０１とはみ出し部分５０２との境界部を高さ方向Ｙに跨いだ状態になっている。

　エアフロメータ１４においては、はみ出し部分５０２にハウジング基端面１９２が含まれ、入り込み部分５０１にハウジング先端面１９１が含まれている。この場合、ハウジング２１においては、ハウジング基端面１９２をはみ出し部分５０２側の端部と称し、ハウジング先端面１９１を入り込み部分５０１側の端部と称することもできる。また、入り込み部分５０１とはみ出し部分５０２とは高さ方向Ｙに並んでおり、高さ方向Ｙが入り込み部分５０１とはみ出し部分５０２とが並んだ方向に相当する。

　エアフロメータ１４は、流量検出部２２に加えて、吸気通路１２を流れる吸入空気の温度を検出する温度検出部５０５，５０６を有している。温度検出部５０５，５０６は、回路基板に搭載された温度検出素子等の素子を含んで構成されたセンサであり、吸気管１２ａの内部温度を検出することになる。

　第１温度検出部５０５は、計測流路３２に設けられており、計測流路３２において吸入空気の温度を検出する。第１温度検出部５０５は、計測流路３２を流れる吸入空気の温度を検出することで、吸気通路１２を流れる吸入空気の温度を検出する。第１温度検出部５０５は、センサＳＡ５０のセンシング部５３に配置されており、具体的には、検出素子２２ｂと共に検出基板２２ａに搭載されている。この場合、検出基板２２ａが、第１温度検出部５０５の素子が搭載された回路基板に相当する。

　第２温度検出部５０６は、高さ方向Ｙにおいて第１温度検出部５０５よりもハウジング開口部６１側の位置に配置されており、エアフロメータ１４の内部温度を検出する。第２温度検出部５０６は、吸入空気に触れない位置に配置されていたとしても、エアフロメータ１４の内部温度を検出することで吸気管１２ａの内部温度を検出することになる。第２温度検出部５０６は、計測流路３２よりもハウジング開口部６１側の位置に配置されていることで、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端面１９２と第１温度検出部５０５との間に配置されている。第２温度検出部５０６は、センサＳＡ５０の回路収容部５１に配置されており、具体的には、回路チップ８１と共にリードフレーム８２に搭載されている。この場合、リードフレーム８２が、第２温度検出部５０６の素子が搭載された回路基板に相当する。

　ハウジング２１の内部空間２４ａにおいて、第１温度検出部５０５は封止領域ＰＡ（図８等参照）に配置されており、第２温度検出部５０６は開放領域ＰＢ（図８等参照）に配置されている。

　ここで、吸気管１２ａの外部において熱を発生する内燃機関１１等を外部熱源と称すると、この外部熱源からエアフロメータ１４に熱が付与されることが想定される。エアフロメータ１４においては、外部熱源からの熱がまずはみ出し部分５０２に付与され、この熱がはみ出し部分５０２から入り込み部分５０１に伝わると考えられる。この場合、温度検出部５０５，５０６は、吸入空気からの熱に加えて外部熱源からの熱が付与されることに起因して、温度検出部５０５，５０６の検出結果である検出値と、吸気通路１２を流れる吸入空気の実際の温度との間には誤差が生じやすい。以下、吸気通路１２を流れる吸入空気の実際の温度を吸入空気の実温度とも称する。なお、この実温度を定常値と称することもできる。

　上述したように、第１温度検出部５０５は、第２温度検出部５０６に比べてはみ出し部分５０２から遠い位置に配置されている。また、第２温度検出部５０６が吸入空気に触れにくい位置に配置されているのに対して、第１温度検出部５０５は、計測流路３２にて吸入空気に触れやすい位置に配置されている。これらのことに起因して、第１温度検出部５０５の検出値は、第２温度検出部５０６の検出値に比べて、外部熱源からの影響を受けにくく、吸入空気の実温度に近い値になりやすい。換言すれば、吸入空気の実温度に対する第１温度検出部５０５の誤差は、吸入空気の実温度に対する第２温度検出部５０６の誤差に比べて小さくなりやすい。

　本実施形態の回路チップ８１は、第１温度検出部５０５の検出値を補正した温度補正値を温度計測値として取得する処理を行う。回路チップ８１は、温度補正値を計測値として取得するなど、エアフロメータ１４の制御を行う計測制御装置に相当する。回路チップ８１は、ＥＣＵ２０と同様に、プロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭ及びフラッシュメモリ等の記憶媒体、並びに入出力部を含むマイクロコンピュータと、電源回路等と、によって構成された演算処理回路である。回路チップ８１には、流量検出部２２や吸気温センサ２３、温度検出部５０５，５０６が電気的に接続されており、これら検出部２２，５０５，５０６やセンサ２３の検出信号が入力される。回路チップ８１は、検出部２２，５０５，５０６やセンサ２３の検出信号を用いて、計測流路３２を流れる吸入空気の流量や温度を計測する。

　図４５に示すように、エアフロメータ１４が有する複数のコネクタターミナル２８ａには、信号端子５２１、電源端子５２２、グランド端子５２３及び調整端子５２４が含まれている。これら端子５２１～５２４は、いずれも回路チップ８１に電気的に接続されており、回路チップ８１は、温度や流量についての計測値を信号端子５２１からＥＣＵ２０等に対して出力する。ここで、回路チップ８１は、温度補正値に関する情報を補正タイミング等の時間情報に関連付けて記憶媒体に記憶させる。調整端子５２４には、回路チップ８１による補正精度を調整することが可能な外部装置としての調整装置を接続可能になっている。この調整装置が調整端子５２４に電気的に接続された状態では、記憶媒体に記憶された温度補正値に関する情報を書き換えることが可能になっている。

　回路チップ８１は、第１温度検出部５０５の検出値を補正することで温度補正値を取得する温度補正部５１０を有している。図４６に示すように、温度補正部５１０は、第１補正部５１１、温度差分部５１２、第２補正部５１３、特性変換部５１４、補正量算出部５１５及び補正値算出部５１６という複数の機能ブロックを有している。物理量補正部に対応する温度補正部５１０においては、流量検出部２２や温度検出部５０５，５０６の各検出結果は、第１補正部５１１や温度差分部５１２、特性変換部５１４に入力される。また、温度補正部５１０においては、流量検出部２２や温度検出部５０５，５０６の検出信号に基づいて流量の検出値や温度の検出値が取得される。

　本実施形態では、第１温度検出部５０５の検出値を含む第１温度信号Ｓａ１と、第２温度検出部５０６の検出値を含む第２温度信号Ｓａ２と、流量検出部２２の検出値を含む流量信号Ｓａ３と、を用いて第１温度信号Ｓａ１の補正を行う。温度補正部５１０においては、第１温度信号Ｓａ１が第１補正部５１１及び温度差分部５１２に入力され、第２温度信号Ｓａ２が温度差分部５１２に入力され、流量信号Ｓａ３が特性変換部５１４に入力される。

　なお、第１温度検出部５０５は、温度という物理量を検出する物理量検出部に相当し、第１温度信号Ｓａ１は、物理量検出部の検出結果に相当する。第２温度検出部５０６は、第１温度検出部５０５と同じ種類の物理量である温度を検出する同種検出部に相当し、第２温度信号Ｓａ２は、同種検出部の検出結果に相当する。流量検出部２２は、第１温度検出部５０５とは異なる種類の物理量である流量を検出する異種検出部に相当し、流量信号Ｓａ３は、異種検出部の検出結果に相当する。また、第２温度信号Ｓａ２及び流量信号Ｓａ３は、第１温度信号Ｓａ１の補正に用いられる補正パラメータに相当する。

　第１補正部５１１は、第１温度信号Ｓａ１の応答補正を行うことで第１補正信号Ｓｂ１を算出する。温度差分部５１２は、第１温度信号Ｓａ１と第２温度信号Ｓａ２との差異である差分を温度差分信号Ｓｂ２として算出する。第２補正部５１３は、温度差分信号Ｓｂ２の応答補正を行うことで差分補正信号Ｓｂ３を算出する。特性変換部５１４は、流量信号Ｓａ３の特性変換を行うことで流量変換信号Ｓｂ４を算出する。補正量算出部５１５は、差分補正信号Ｓｂ３及び流量変換信号Ｓｂ４を用いて補正量信号Ｓｂ５を算出する。補正値算出部５１６は、第１補正信号Ｓｂ１及び補正量信号Ｓｂ５を用いて補正値信号Ｓｃを算出する。

　第１補正部５１１は、第１温度信号Ｓａ１の変化態様に基づいてその第１温度信号Ｓａ１の補正を行い、その補正値を第１補正信号Ｓｂ１として取得する。この場合、第１補正部５１１は変化補正部に対応する。ここでは、図４７に示すような第１温度信号Ｓａ１について１次遅れ補正を行うことで第１補正信号Ｓｂ１を取得する。例えば、第１温度信号Ｓａ１について、タイミングｔｎでの検出値Ｓａ１（ｔｎ）と、過去の傾きｍと、時定数Ａとを取得し、傾きｍと時定数Ａとの乗算に検出値Ｓａ１（ｔｎ）を加えることで、タイミングｔｎでの補正値Ｓｂ１（ｔｎ）を算出する。このように、下記（式１）を用いて、都度の補正値Ｓｂ１（ｔｎ）を算出することで第１補正信号Ｓｂ１を取得する。

　Ｓｂ１（ｔｎ）＝Ｓａ１（ｔｎ）＋ｍ×Ａ…（式１）
　この（式１）においては、微小時間Δｔでの第１温度信号Ｓａ１の変化量ΔＳａ１を微小時間Δｔで割ることで、傾きｍを算出する。例えば、タイミングｔｎ，ｔｎ―１について微小時間Δｔを算出し、これらタイミングｔｎ，ｔｎ―１での検出値Ｓａ１（ｔｎ），Ｓａ１（ｔｎ―１）を用いて変化量ΔＳａ１を算出する。

　時定数Ａは、吸気通路１２での吸入空気の流量に応じて設定される。例えば、図４８に示すように、流量信号Ｓａ３が小さいほど時定数Ａが大きい値に設定される。回路チップ８１の記憶媒体等には、流量信号Ｓａ３と時定数Ａとの関係を示す情報が、マップやデータ、数式などの流時情報として記憶されている。第１補正部５１１は、記憶媒体等からこの流時情報を読み込み、この流時情報等を用いて流量信号Ｓａ３に応じた時定数Ａを算出する。この場合、第１補正部５１１は、温度とは異なる種類の物理量である流量を用いて第１温度信号Ｓａ１を補正することになり、異種補正部に対応する。

　第１温度信号Ｓａ１は、その変化態様に基づいた補正が行われなくても、吸入空気の実温度に対応した収束値に収束していき、その収束値で安定することになる。吸気通路１２での吸入空気の流量が大きいほど、外部熱源からエアフロメータ１４に付与された熱が吸気通路１２にて放出されやすく、第１温度信号Ｓａ１が収束値に収束しやすく、応答性が高い。このため、図４９に示すように、吸気通路１２での吸入空気の流量が比較的大きいと、補正量が比較的小さくても第１補正信号Ｓｂ１が収束値に収束しやすい。これに対して、吸気通路１２での吸入空気の流量が比較的小さいと、第１補正信号Ｓｂ１を収束値に収束させるには補正量を比較的大きくする必要がある。したがって、上述したように、流量信号Ｓａ３などの流量が小さいほど時定数Ａを大きい値に設定することが好ましい。なお、時定数Ａが流量補正量に対応する。

　第１温度信号Ｓａ１に含まれる時間変化情報としての変化態様を利用して第１温度信号Ｓａ１の応答補償を行うことで、第１補正信号Ｓｂ１の応答性が高められる。図５０に示すように、第１温度信号Ｓａ１にとっての収束値である第１収束値Ｅｖ１に第１補正信号Ｓｂ１が到達するまでに要する時間Ｔｂは、第１温度信号Ｓａ１が第１収束値Ｅｖ１に到達するまでに要する時間Ｔｂに比べて短くなっている。例えば、吸入空気の実温度の変化に伴って第１温度信号Ｓａ１及び第１補正信号Ｓｂ１がタイミングｔ０にて変化し始めた場合、第１温度信号Ｓａ１はタイミングｔ２にて第１収束値Ｅｖ１に到達する。これに対して、第１補正信号Ｓｂ１は、タイミングｔ２よりも早いタイミングｔ１にて第１収束値Ｅｖ１に到達する。このように、第１補正信号Ｓｂ１の方が第１温度信号Ｓａ１に比べて応答性が高くなっている。換言すれば、吸入空気の実温度が変化を開始した過渡時等については、その第１収束値Ｅｖ１との誤差が第１温度信号Ｓａ１よりも第１補正信号Ｓｂ１の方が小さくなっており、第１補正信号Ｓｂ１の精度が高いと言える。これは、第１補正部５１１が、実温度の過渡時について、流量信号Ｓａ３が小さいほど時定数Ａを大きい値に設定しているためである。

　ここで、外部熱源からエアフロメータ１４に熱が付与された場合、実温度と第１温度信号Ｓａ１との誤差が大きくなることに加えて、吸入空気の実温度が変化した場合の第１温度信号Ｓａ１の応答性も低下しやすい。これは、外部熱源からの熱が、ハウジング２１からセンサＳＡ５０のモールド部７６や計測流路３２内の吸入空気を介して、第１温度検出部５０５に伝わると考えられるためである。これに対して、外部熱源からの熱により第１温度信号Ｓａ１の応答性が低下したとしても、第１補正部５１１により第１補正信号Ｓｂ１の応答性が高められることになる。

　第１補正信号Ｓｂ１の応答性が高められると補正値信号Ｓｃの応答性が高められることになる。ここで、補正値信号Ｓｃは、吸入空気の温度に関する情報として回路チップ８１からＥＣＵ２０に出力され、ＥＣＵ２０にて燃焼システム１０の制御に用いられる。このため、補正値信号Ｓｃの応答性が高められると、燃費やエミッションの向上を実現することや、ＯＢＤ（On-board diagnostics）等の故障診断装置の誤診断を抑制することが可能になる。

　温度差分部５１２は、第１温度信号Ｓａ１及び第２温度信号Ｓａ２のうち一方を基準として温度差分信号Ｓｂ２を算出する。本実施形態の温度差分部５１２は、第１温度信号Ｓａ１を基準としており、図５１に示すように、第２温度信号Ｓａ２から第１温度信号Ｓａ１を引いた値を温度差分信号Ｓｂ２としている。図５１においては、第２温度信号Ｓａ２にとっての収束値である第２収束値Ｅｖ２が第１収束値Ｅｖ１より大きくなっている。このように第２収束値Ｅｖ２が第１収束値Ｅｖ１より大きい場合としては、外部熱源から第１温度検出部５０５に付与される熱の方が、計測流路３２を流れる吸入空気から第１温度検出部５０５に付与される熱より大きい、という場合が挙げられる。

　第２温度信号Ｓａ２の応答性が第１温度信号Ｓａ１の応答性より高い場合、図５２に示すように、温度差分信号Ｓｂ２は徐々に大きくなっていき、第１収束値Ｅｖ１と第２収束値Ｅｖ２との差異である近傍差ΔＥｖにやがて到達する。ここでは、第１温度信号Ｓａ１と第１収束値Ｅｖ１との誤差が、第２温度信号Ｓａ２と第２収束値Ｅｖ２との誤差より大きくなっていることに起因して、第１温度信号Ｓａ１を基準とした温度差分信号Ｓｂ２が近傍差ΔＥｖに向けて徐々に大きくなっていく。

　第２補正部５１３は、温度差分信号Ｓｂ２の変化態様に基づいてその温度差分信号Ｓｂ２の補正を行い、その補正値を差分補正信号Ｓｂ３として取得する。第２補正部５１３は温度差分信号Ｓｂ２を対象として、例えば第１補正部５１１と同様に、現在値及び過去値を用いて１次遅れ補正を行う。これにより、差分補正信号Ｓｂ３の応答性が温度差分信号Ｓｂ２の応答性に比べて高くなっている。具体的には、図５２に示すように、差分補正信号Ｓｂ３が近傍差ΔＥｖに到達するまでに要する時間が、温度差分信号Ｓｂ２が近傍差ΔＥｖに到達するまでに要する時間より短くなっている。これは、図５３に示すように、第２補正部５１３が、実温度の過渡時について、温度差分信号Ｓｂ２が大きいほど補正量信号Ｓｂ５等の差異補正量を大きい値に設定しているためである。

　回路チップ８１の記憶媒体等には、温度差分信号Ｓｂ２と差分補正信号Ｓｂ３との関係を示す情報が、マップやデータ、数式などの温補情報として記憶されている。第２補正部５１３は、記憶媒体等からこの温補情報を読み込み、この温補情報等を用いて温度差分信号Ｓｂ２に応じた差分補正信号Ｓｂ３を算出する。この場合、第２補正部５１３が差分補正部に対応し、差分補正信号Ｓｂ３が差分補正量に相当する。

　上述したように、温度補正部５１０は、第１温度信号Ｓａ１と第２温度信号Ｓａ２との差分を算出した後に、その差分の応答補正を行うことで差分補正信号Ｓｂ３を算出している。これに対して、本実施形態とは異なり、第１温度信号Ｓａ１ではなく第１補正信号Ｓｂ１と第２温度信号との差分を差分補正信号Ｓｘとして算出する、という構成が考えられる。この構成では、図５４、図５５に示すように、差分補正信号Ｓｘがいったん近傍差ΔＥｖより大きくなった後に徐々に減少することで近傍差ΔＥｖに到達する。すなわち、差分補正信号Ｓｘにおいては、応答初期にオーバーシュートが発生してしまう。このように、差分補正信号Ｓｘにオーバーシュートが含まれると、補正値信号にもオーバーシュートが含まれることになる。この補正値信号がＥＣＵ２０にて燃焼システム１０の制御に用いられることを想定すると、燃費やエミッションが低下することや、故障診断装置の診断精度が低下することが懸念される。

　第２補正部５１３により取得された差分補正信号Ｓｂ３の時間情報は、第１補正部５１１により取得された第１補正信号Ｓｂ１の時間情報に一致している。例えば、第１補正部５１１や温度差分部５１２、第２補正部５１３では、第１温度信号Ｓａ１や第２温度信号Ｓａ２、温度差分信号Ｓｂ２について各種処理を行うことで、多少の応答遅れが生じる。これに対して、第１補正部５１１にて生じる応答遅れ時間と、温度差分部５１２及び第２補正部５１３のそれぞれにて生じる応答遅れ時間の合計時間とが同じになっている。この場合、補正値信号Ｓｃに含まれる第１補正信号Ｓｂ１及び差分補正信号Ｓｂ３が同一の時間情報を有することになり、例えば、これら第１補正信号Ｓｂ１と差分補正信号Ｓｂ３とで異なる時間情報を有する構成に比べて、補正値信号Ｓｃの計測精度が向上する。

　なお、第１補正信号Ｓｂ１と差分補正信号Ｓｂ３とは、それぞれの時間情報が互いに一致していなくてもよい。この場合でも、これら時間情報のずれが適正範囲に含まれるなど僅かなずれ量であれば、補正値信号Ｓｃの計測精度が適正範囲に保たれ、この計測精度が著しく低下するということが抑制される。

　特性変換部５１４は、第１補正部５１１での応答補正に流量信号Ｓａ３の内容が反映されるように、且つ第２補正部５１３での応答補正に流量信号Ｓａ３の内容が反映されるように流量信号Ｓａ３の特性変換を行い、流量変換信号Ｓｂ４を算出する。特性変換部５１４は、第１補正部５１１及び第２補正部５１３のそれぞれに接続されており、これら補正部５１１，５１３に対して流量変換信号Ｓｂ４を出力する。例えば、流量変換信号Ｓｂ４には、第１温度信号Ｓａ１や図４８に示すような流時情報に適用しやすい態様に流量信号Ｓａ３を変換する。

　補正量算出部５１５は、差分補正信号Ｓｂ３と流量変換信号Ｓｂ４とを乗算した乗算信号を補正量信号Ｓｂ５として取得する。この場合、補正量算出部５１５は、計測流路３２での吸入空気の流量に応じて差分補正信号Ｓｂ３を増減させた値を補正量信号Ｓｂ５として算出することになる。

　補正値算出部５１６は、第１補正信号Ｓｂ１と補正量信号Ｓｂ５とを加算するなど積算した積算信号を補正値信号Ｓｃとして取得する。この場合、補正値算出部５１６は、第１温度検出部５０５と第２温度検出部５０６との温度差と計測流路３２での吸入空気の流量との両方に応じて第１補正信号Ｓｂ１を増減させた値を、補正値信号Ｓｃとして算出することになる。補正値信号Ｓｃを温度補正値や温度計測値と称することもできる。

　図５６、図５７に示すように、補正値信号Ｓｃにとっての収束値である補正収束値Ｅｖ３は、第１温度信号Ｓａ１にとっての第１収束値Ｅｖ１に比べて、吸入空気の実温度Ｓｄに近い値になっている。この場合、補正値信号Ｓｃと実温度Ｓｄとの誤差は、補正収束値Ｅｖ３と実温度Ｓｄとの差異であり、第１収束値Ｅｖ１と実温度Ｓｄとの差異に比べて小さくなっている。しかも、補正値信号Ｓｃが補正収束値Ｅｖ３に到達するまでに要する時間は、第１補正信号Ｓｂ１が第１収束値Ｅｖ１に到達するまでに要する時間Ｔｂと同じになっている。したがって、補正値信号Ｓｃについては、第１温度信号Ｓａ１に比べて計測精度及び応答性の両方が高くなっている。

　なお、回路チップ８１は、温度補正部５１０について各機能ブロックの処理を実行する機能を有している。この場合、温度補正部５１０の処理を実行する機能が物理量補正部に相当し、第１補正部５１１の処理を実行する機能が変化補正部及び異種補正部に相当し、第２補正部５１３の処理を実行する機能が差分補正部に相当する。

　回路チップ８１は、流量検出部２２の流量信号Ｓａ３を補正することで流量補正値の計測精度を高める機能として、流量補正部を有している。この流量補正部は、吸気温センサ２３に電気的に接続されており、この吸気温センサ２３の検出信号を取得する。流量補正部は、流量信号Ｓａ３の補正に吸気温センサ２３の検出信号を補正パラメータとして用いる。ここで、吸気温センサ２３は、ハウジング２１の外部に設けられていることに起因して、外部熱源からの熱の付与度合いが流量検出部２２に比べて小さくなりやすい。これは、吸気温センサ２３が吸気通路１２に露出していることで、吸気通路１２を流れる吸入空気から吸気温センサ２３に熱が付与されやすい一方で、外部熱源からハウジング２１に付与された熱が吸気温センサ２３に伝わりにくいためである。このため、外部熱源からの熱の影響が小さい吸気温センサ２３の検出信号を補正パラメータとして流量信号Ｓａ３の補正が行われることで、その補正精度を高めることができる。

　構成群Ｈについて本実施形態によれば、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端面１９２と第１温度検出部５０５との間に第２温度検出部５０６が配置されている。この場合、外部熱源からの熱の付与度合いが第１温度検出部５０５と第２温度検出部５０６とで異なりやすくなる。この場合、温度検出部５０５，５０６への熱の付与度合いの差異が、温度検出部５０５，５０６の検出結果である温度信号Ｓａ１，Ｓａ２の差異に反映されやすいということを利用して、第１温度信号Ｓａ１の補正を第２温度信号Ｓａ２により行うことができる。したがって、温度計測値である補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、第１温度検出部５０５及び第２温度検出部５０６は、いずれもエアフロメータ１４の入り込み部分５０１に配置されている。このため、これら温度検出部５０５，５０６に対して外部熱源から付与される熱が、吸気通路１２を流れる吸入空気から付与される熱に比べて大きくなり過ぎないようになっている。すなわち、第１温度信号Ｓａ１及び第２温度信号Ｓａ２と吸入空気の実温度Ｓｄとの差異が大きくなり過ぎないようになっている。この場合、第１温度信号Ｓａ１が検出値として適正な値になりやすく、且つ第２温度信号Ｓａ２が補正値として適正な値になりやすいため、補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、第１温度検出部５０５及び第２温度検出部５０６がいずれもセンサＳＡ５０に含まれている。この場合、これら温度検出部５０５，５０６を設置するための回路基板としてセンサＳＡ５０内の検出基板２２ａやリードフレーム８２等を利用可能であり、専用基板をハウジング２１に設置する必要が生じない。このため、温度検出部５０５，５０６の少なくとも一方がセンサＳＡ５０に搭載されない構成に比べて、設計負担やコスト負担などを低減することができる。

　本実施形態によれば、エアフロメータ１４が温度検出部５０５，５０６に加えて流量検出部２２を有している。このため、空気とは異なる物理量である流量という補正パラメータを用いて、第１温度信号Ｓａ１を補正することが可能になる。例えば、第１収束値Ｅｖ１への第１温度信号Ｓａ１の収束しやすさが、吸気通路１２を流れる吸入空気の量を示す流量信号Ｓａ３に応じて変化しやすいという現象を利用して、第１温度信号Ｓａ１の補正に流量信号Ｓａ３を用いることができる。補正値信号Ｓｃの計測精度を流量信号Ｓａ３により高めることができる。

　本実施形態によれば、第１温度検出部５０５及び流量検出部２２の両方が計測流路３２に設けられている。この場合、これら第１温度検出部５０５が搭載されると回路基板と流量検出部２２が搭載される回路基板とを共通化することが可能であるため、センサＳＡ５０のコスト負担を低減できる。また、この場合、第１温度信号Ｓａ１及び流量信号Ｓａ３の両方が、計測流路３２を流れる吸入空気を検出対象としているため、第１温度信号Ｓａ１の検出対象と流量信号Ｓａ３の検出対象とを共通の吸入空気になりやすい。したがって、補正対象である第１温度信号Ｓａ１が補正パラメータである流量信号Ｓａ３により補正される構成において、その補正精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、第２温度信号Ｓａ２を補正パラメータとして第１温度信号Ｓａ１が補正されるため、補正値信号Ｓｃの補正精度を高めることができる。しかも、補正パラメータとして温度差分信号Ｓｂ２が用いられるため、第１温度信号Ｓａ１に対する第２温度信号Ｓａ２の相対的な変化態様を利用することで、補正値信号Ｓｃの補正精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、温度差分信号Ｓｂ２が大きいほど差分補正信号Ｓｂ３が大きくなるように温度差分信号Ｓｂ２の補正が行われる。このため、吸入空気の実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの誤差を、実温度Ｓｄに対する第１温度信号Ｓａ１の誤差に比べて小さくすることができる。すなわち、補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、流量信号Ｓａ３が、第２温度信号Ｓａ２と共に第１温度信号Ｓａ１の補正に用いられる。このため、第２温度信号Ｓａ２により補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる一方で、流量信号Ｓａ３により補正値信号Ｓｃの応答性を高めることができる。

　本実施形態によれば、第１温度検出部５０５及び第２温度検出部５０６という２つの検出部により同一種類の物理量として温度が検出される。このため、これらの温度信号Ｓａ１，Ｓａ２により外部熱源からの熱の付与度合いを適正に把握した上で、第１温度信号Ｓａ１を精度良く補正することができる。すなわち、補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　本実施形態によれば、第１温度信号Ｓａ１の変化態様に基づいてこの第１温度信号Ｓａ１の補正が行われる。この場合、第１温度信号Ｓａ１の今後の値を予測することが可能になるため、第１補正信号Ｓｂ１が第１収束値Ｅｖ１に到達するまでに要する時間を、第１温度信号Ｓａ１が第１収束値Ｅｖ１に到達するまでに要する時間より短縮できる。したがって、補正値信号Ｓｃの応答性を高めることができる。しかも、第１温度信号Ｓａ１の変化態様と第２温度信号Ｓａ２との両方が第１温度信号Ｓａ１に用いられることで、補正値信号Ｓｃの応答性及び計測精度の両方を高めることができる。

　本実施形態によれば、流量信号Ｓａ３が、第１温度信号Ｓａ１の変化態様と共に第１温度信号Ｓａ１の補正に用いられる。このため、第１温度信号Ｓａ１の変化態様により高められた補正値信号Ｓｃの応答性を、流量信号Ｓａ３により更に高めることができる。また、第１温度信号Ｓａ１の変化態様が、第２温度信号Ｓａ２と共に第２温度信号Ｓａ２の補正に用いられることで、第２温度信号Ｓａ２では向上しにくい補正値信号Ｓｃの応答性を高めることができる。

　本実施形態によれば、流量信号Ｓａ３が小さいほど補正量信号Ｓｂ５が大きい値に設定される。このため、吸気通路１２での吸入空気の流速が小さい場合など吸入空気の流量が小さいほど第１温度信号Ｓａ１の応答性が低下しやすいという現象を利用して、補正値信号Ｓｃの応答性を高めることができる。

　（第２実施形態）
　上記第１実施形態では、縦仕切壁６９の形状が検出絞り部５９の形状に関係なく設定されていたが、第２実施形態では、縦仕切壁６９の形状が検出絞り部５９の形状に応じて設定されている。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

　図５８、図５９に示すように、縦仕切壁６９が壁本体６９ａと壁膨出部６９ｂとを有している。壁本体６９ａと壁膨出部６９ｂとは幅方向Ｘに並べられており、壁膨出部６９ｂは、幅方向ＸにおいてセンサＳＡ５０の表側に配置されている。壁膨出部６９ｂは、高さ方向Ｙにおいて検出絞り部５９からハウジング先端側に延びており、検出絞り部５９における壁本体６９ａよりも表側の部分の形状と同じ形状になっている。

　奥行き方向Ｚにおいて、壁本体６９ａの奥行き寸法Ｄ９は、検出絞り部５９の奥行き寸法Ｄ１より小さくなっており、壁膨出部６９ｂの奥行き寸法Ｄ１０は、検出絞り部５９の奥行き寸法Ｄ１と同じ又はそれより大きくなっている。本実施形態でも、縦仕切壁６９及び検出絞り部５９を一体的な部位であると仮定した場合に、この部位が全体としてハウジング開口部６１に近付いても太くなっていない。このため、ハウジング２１の樹脂成型に際して、内部空間２４ａに入り込んでいる内周型部９１の入り込み部９３を検出絞り部５９及び縦仕切壁６９から取り外し、その入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることができる。

　（第３実施形態）
　上記第１実施形態では、ハウジング本体２４の幅ハウジング突起７２ａがセンサＳＡ５０の表面に対向する位置に設けられていたが、第３実施形態では、幅ハウジング突起７２ａがセンサＳＡ５０の裏面に対向する位置に設けられている。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

　図６０に示すように、幅ハウジング突起７２ａは、センサＳＡ５０の表ＳＡ突起７１ａではなく裏ＳＡ突起７１ｂに当接している。このため、センサＳＡ５０の表ＳＡ突起７１ａは、ハウジング本体２４の内周面のうち表側の面に当接している。なお、図６０では、センサＳＡ５０の左側の面にて流量検出部２２が露出しており、この左側の面を表面と称し、右側の面を裏面と称している。これに対して、上記第１実施形態の図１４では、センサＳＡ５０の右側の面にて流量検出部２２が露出しており、この右側の面を表面と称し、左側の面を裏面と称していた。

　本実施形態では、上述したように、表ＳＡ突起７１ａがハウジング本体２４の内周面のうち表側の面に当接しているため、この表側の面と流量検出部２２との離間距離が表ＳＡ突起７１ａの突出寸法により規定される。換言すれば、検出路３２ａの内周面と流量検出部２２との離間距離が幅ハウジング突起７２ａに関係なく規定される。このため、内部空間２４ａへのセンサＳＡ５０の挿入に伴って裏ＳＡ突起７１ｂが幅ハウジング突起７２ａを変形させる構成でも、幅ハウジング突起７２ａの変形度合いに関係なく、検出路３２ａの内周面と流量検出部２２との離間距離が設定される。この場合、検出路３２ａの内周面と流量検出部２２との離間距離について製造ばらつきが生じにくくなるため、流量検出部２２による検出精度が製品によってばらつくということを抑制できる。

　また、本実施形態の奥行きハウジング突起７２ｂは、ハウジング本体２４の上流側外周部ではなく下流側外周部においてセンサＳＡ５０に対向する位置に設けられている。この奥行きハウジング突起７２ｂは、奥行き方向Ｚに対して傾いた方向においてハウジング本体２４の湾曲面４５に向けて延びている。この構成では、奥行きハウジング突起７２ｂがセンサＳＡ５０の中継部５２の端面により押圧されて変形することで、内部空間２４ａにおいてセンサＳＡ５０が湾曲面４５に向けて押し付けられる。これにより、奥行き方向Ｚについても、ハウジング２１に対するセンサＳＡ５０の位置決め精度が高められる。

　（第４実施形態）
　上記第１実施形態では、ハウジング開口部６１が高さ方向Ｙに開放されていたが、第４実施形態では、ハウジング開口部６１が幅方向Ｘに開放されている。本実施形態では、物理量計測装置としてエアフロメータ１４に代えてエアフロメータ２００が燃焼システムに含まれており、上記第１実施形態との相違点を中心に説明する。

　図６１、図６２に示すように、エアフロメータ２００が吸気通路１２に設けられている。エアフロメータ２００は、上記第１実施形態のエアフロメータ１４と同様に物理量計測装置であり、吸気管１２ａ（図２、図８参照）に取り付けられている。エアフロメータ２００は、ハウジング２０１、流量検出部２０２及びシール部材２０６を有しており、ハウジング２０１は、ハウジング本体２０４、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を有している。これら部材や部位は、上記第１実施形態の同じ名称の部材や部位に対応している。

　ハウジング２０１において、一方の端面をハウジング先端面２１５と称し、他方の端面をハウジング基端面２１６と称し、さらに、高さ方向Ｙにおいてハウジング先端面２１５側をハウジング先端側と称し、ハウジング基端面２１６側をハウジング基端側と称する。本実施形態では、ハウジング先端側からハウジング本体２０４、シール保持部２０５、フランジ部２０７、コネクタ部２０８の順番で並べられており、ハウジング本体２０４がシール保持部２０５からハウジング先端側に向けて延びている。エアフロメータ２００においては、吸気管１２ａの内部に入り込んだ入り込み部分に、ハウジング本体２０４とシール保持部２０５の一部とが含まれており、更にハウジング先端面２１５が含まれている。また、吸気管１２ａの外部にはみ出したはみ出し部分に、シール保持部２０５の一部とフランジ部２０７とコネクタ部２０８とが含まれており、更にハウジング基端面２１６が含まれている。この場合、ハウジング２０１においては、ハウジング基端面２１６をはみ出し部分側の端部と称し、ハウジング先端面２１５を入り込み部分側の端部と称することもできる。

　シール部材２０６は、シール保持部２０５と吸気管１２ａの管フランジ１２ｃとの間に設けられており、これらシール保持部２０５と管フランジ１２ｃとに密着している。シール部材２０６は、上記第１実施形態のＯリング２６と同様に、吸入気がエアフロ挿入孔１２ｂから外部に漏れ出ることを規制する部材であり、シール保持部２０５の形状に合わせて矩形環状に形成されている。この場合、シール部材２０６の外周端は矩形状になっている。本実施形態では、シール保持部２０５が溝部を有していない一方で、シール保持部２０５からフランジ部２０７が外周側に向けて延びており、シール部材２０６がフランジ部２０７にも押し付けられた状態になっている。このため、シール保持部２０５自体がシール部材２０６を保持する機能を有していなくても、シール保持部２０５及びフランジ部２０７によりシール部材２０６を保持可能になっている。この場合のシール部材２０６を押し付けパッキンと称することもできる。

　ハウジング本体２０４は、バイパス流路２１０を有している。バイパス流路は、通過流路２１１、計測流路２１２、流入口２１３ａ、流出口２１３ｂ及び計測出口２１３ｃを有している。また、流量検出部２０２はセンサＳＡ２２０に含まれている。これら部材や部位は、上記第１実施形態の同じ名称の部材や部位に対応している。センサＳＡ２２０は、ＳＡベース部２２１、検出支持部２２３及びリードターミナル２２４（図６３参照）を有している。検出支持部２２３は流量検出部２０２を支持しており、ＳＡベース部２２１は検出支持部２２３及びリードターミナル２２４を支持している。ＳＡベース部２２１は、上記第１実施形態の回路収容部５１や中継部５２に対応し、検出支持部２２３及びリードターミナル２２４はセンシング部５３及びリードターミナル５４に対応する部材や部位である。なお、センサＳＡ２２０を、センサモジュールやセンサアッシー、センサユニットと称することもできる。

　センサＳＡ２２０においては、流量検出部２０２、ＳＡベース部２２１及び検出支持部２２３によりＳＡ本体２２５が構成されている。この場合、センサＳＡ２２０は、ＳＡ本体２２５及びリードターミナル２２４を有している。センサＳＡ２２０においては、ＳＡ本体２２５が流量検出部２０２を有する部位であり、リードターミナル２２４がＳＡ本体２２５から延びている。

　検出支持部２２３はＳＡベース部２２１からハウジング先端側に向けて延びており、リードターミナル２２４はＳＡベース部２２１からハウジング基端側に向けて延びている。検出支持部２２３は、流量検出部２０２を計測流路２１２に配置できる大きさ及び形状を有しており、リードターミナル２２４は、コネクタ部２０８に設けられたコネクタターミナル２０８ａ（図６３参照）に電気的に接続されている。コネクタターミナル２０８ａは、上記第１実施形態のコネクタターミナル２８ａと同様に、プラグ部がコネクタ部２０８に挿入されることでＥＣＵ２０に電気的に接続される。

　ハウジング本体２０４は、センサＳＡ２２０を収容した内部空間２０４ａと、内部空間２０４ａを開放したハウジング開口部２４１とを有している。ハウジング本体２０４は、内部空間２０４ａを形成する壁部２３１～２３５を有しており、これら壁部２３１～２３５はいずれも板状になっている。内部空間２０４ａの上流側にある上流壁部２３１と、内部空間２０４ａの下流側にある下流壁部２３２とは、奥行き方向Ｚに並んでおり、それぞれの板面を奥行き方向Ｚに向けた状態で内部空間２０４ａを挟んで互いに対向している。センサＳＡ２２０の表面に対向する表壁部２３３と、センサＳＡ２２０の裏面に対向する裏壁部２３４とは、幅方向Ｘに並んでおり、それぞれの板面を幅方向Ｘに向けた状態で内部空間２０４ａを挟んで互いに対向している。

　先端壁部２３５は、ハウジング本体２０４の先端面を形成しており、壁部２３１～２３４を接続している。先端壁部２３５は、幅方向Ｘにおいて表壁部２３３と裏壁部２３４とにかけ渡された状態になっているとともに、奥行き方向Ｚにおいて上流壁部２３１と下流壁部２３２とにかけ渡された状態になっている。

　ハウジング開口部２４１の開放方向は、上記第１実施形態のハウジング開口部６１の開放方向とは異なり、幅方向Ｘになっている。ハウジング開口部２４１は、表壁部２３３に形成されている。ハウジング開口部２４１は、高さ方向Ｙにおいてシール保持部２０５寄りの位置に設けられており、シール保持部２０５からハウジング先端側に向けて延びている。この場合、上流壁部２３１、下流壁部２３２及び裏壁部２３４が、シール保持部２０５からハウジング先端側に向けて延びているのに対して、裏壁部２３４は、シール保持部２０５からハウジング先端側に離間した位置に配置されている。

　ハウジング本体２０４においては、上流壁部２３１に流入口２１３ａが設けられ、下流壁部２３２に流出口２１３ｂが設けられ、表壁部２３３及び裏壁部２３４のそれぞれに計測出口２１３ｃが設けられている。

　エアフロメータ２００は、ハウジング開口部２４１を閉鎖するポッティング部２４２を有している。ポッティング部２４２は、ハウジング開口部２４１側からセンサＳＡ２２０を覆っており、覆い部に相当する。ポッティング部２４２は、上記第１実施形態のポッティング部６５と同様に、内部空間２０４ａに充填されたポッティング樹脂等の熱硬化性樹脂が硬化することで形成されている。熱硬化性樹脂は、流体の状態でハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに注入されることで、内部空間２０４ａを封止している。なお、上記第１実施形態と同様に、熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂やウレタン樹脂、シリコン樹脂などにより形成されていればよい。

　センサＳＡ２２０は、内部空間２０４ａにおいて位置ずれしないように位置保持されている。図６３、図６４に示すように、ハウジング本体２０４は、センサＳＡ２２０の位置ずれを規制する規制部２５１，２５５を有している。規制部２５１，２５５は、いずれも板状に形成されており、それぞれの板面を高さ方向Ｙに向けた状態で高さ方向Ｙに所定間隔で設けられている。規制部２５１，２５５は、高さ方向Ｙにおいてハウジング本体２０４の中間位置に設けられている。

　規制部２５１，２５５は互いに対向しており、これら規制部２５１，２５５の間にセンサＳＡ２２０が入り込んだ状態になっている。センサＳＡ２２０のＳＡベース部２２１が規制部２５１，２５５の間に嵌合されており、ＳＡベース部２２１が規制部２５１，２５１に引っ掛かることで、高さ方向ＹへのセンサＳＡ２２０の移動が規制されている。ＳＡベース部２２１のハウジング先端側には第１規制部２５１が設けられており、ＳＡベース部２２１のハウジング基端側には第２規制部２５５が設けられている。センサＳＡ２２０は、ＳＡベース部２２１が規制部２５１，２５５の間に挟み込まれた状態になっていることで幅方向Ｘや奥行き方向Ｚにも移動しにくくなっている。

　内部空間２０４ａは、バイパス流路２１０（図６１参照）を形成する流路領域ＱＡと、ＳＡベース部２２１を収容する支持領域ＱＢと、コネクタターミナル２０８ａとリードターミナル２２４との接続部分を収容するコネクタ領域ＱＣとを有している。高さ方向Ｙにおいて、流路領域ＱＡとコネクタ領域ＱＣとの間に支持領域ＱＢが配置されている。流路領域ＱＡと支持領域ＱＢとが第１規制部２５１により仕切られ、支持領域ＱＢとコネクタ領域ＱＣとが第２規制部２５５により仕切られている。シール保持部２０５のハウジング基端側の端面がコネクタ領域ＱＣを挟んで第２規制部２５５に対向しており、コネクタ領域ＱＣは、これらシール保持部２０５によっても区画されている。高さ方向Ｙにおいて、流路領域ＱＡと支持領域ＱＢとの境界部は第１規制部２５１の中央に配置され、支持領域ＱＢとコネクタ領域ＱＣとの境界部は第２規制部２５５の中央に配置されている。

　ポッティング部２４２は、内部空間２０４ａの全ての領域に充填されているわけではなく、支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣに充填されている一方で、流路領域ＱＡには充填されていない。支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣは、ハウジング開口部２４１を介して外部に開放された領域であり、作業者は、ハウジング開口部２４１から支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣに熱硬化性樹脂を注入することが可能になっている。

　第１規制部２５１は、幅方向Ｘにおいて表壁部２３３と裏壁部２３４との間に設けられ、これら壁部２３３，２３４にかけ渡されている。また、第１規制部２５１は、奥行き方向Ｚにおいて上流壁部２３１と下流壁部２３２との間に設けられ、これら壁部２３１，２３２にかけ渡されている。第１規制部２５１には、センサＳＡ２２０の検出支持部２２３が挿通された第１挿通部２５２が設けられている。第１挿通部２５２は、第１規制部２５１を高さ方向Ｙに貫通する切り欠きであり、奥行き方向Ｚで第１規制部２５１の中間位置において、第１規制部２５１の表側端部から裏壁部２３４に向けて延びている。なお、第１挿通部２５２は、第１規制部２５１を貫通する貫通孔でもよい。

　センサＳＡ２２０と第１規制部２５１とは、エアフロメータ２００の製造時において、支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣに注入された熱硬化性樹脂がセンサＳＡ２２０と第１規制部２５１との間から流路領域ＱＡに漏れ出さないように密着している。具体的には、ＳＡベース部２２１のハウジング先端側の端面と第１規制部２５１の外周面とが重なるように当接し、第１挿通部２５２の内周面と検出支持部２２３の外周面とが重なるように当接している。また、ＳＡベース部２２１と表壁部２３３とが当接していることなどにより、検出支持部２２３と表壁部２３３との隙間から熱硬化性樹脂が漏れ出さないようになっている。

　第２規制部２５５は、第１規制部２５１と同様に、奥行き方向Ｚにおいて上流壁部２３１と下流壁部２３２との間に設けられ、これら壁部２３１，２３２にかけ渡されている。一方、第２規制部２５５は、第１規制部２５１とは異なり、幅方向Ｘにおいて裏壁部２３４からハウジング開口部２４１に向けて延びており、表壁部２３３には接続されていない。第２規制部２５５には、センサＳＡ２２０のリードターミナル２２４が挿通された第２挿通部２５６が設けられている。第２挿通部２５６は、第２規制部２５５を高さ方向Ｙに貫通する切り欠きであり、奥行き方向Ｚで第２規制部２５５の中間位置において、第２規制部２５５の表側端部から裏壁部２３４に向けて延びている。

　第２規制部２５５についても、上述したように、ＳＡベース部２２１が第２規制部２５５に接触していることで、ハウジング基端側へのセンサＳＡ２２０の移動が規制されている。また、ＳＡベース部２２１は表壁部２３３と裏壁部２３４とで挟み込まれている。この場合、ＳＡベース部２２１の表面が表壁部２３３に接触し、ＳＡベース部２２１の裏面が裏壁部２３４に接触していることで、幅方向ＸへのセンサＳＡ２２０の移動が規制されている。

　裏壁部２３４には、ＳＡベース部２２１の裏側板面を収容する収容凹部２６４が設けられている。収容凹部２６４は、裏壁部２３４の内周面が外周側に向けて凹むことで形成されており、奥行き方向Ｚにおいて上流壁部２３１と下流壁部２３２との中間位置に配置されている。ＳＡベース部２２１は収容凹部２６４に嵌合しており、センサＳＡ２２０が奥行き方向Ｚに移動することが収容凹部２６４の内周面により規制される。

　ハウジング２０１は、上記第１実施形態のハウジング２１とは異なり、複数の部品を組み付けることで形成されている。ハウジング２０１は、ベース部材２６１及びカバー部材２６２を有している。カバー部材２６２は、ハウジング本体２０４の少なくとも表壁部２３３を有しており、ベース部材２６１とは別部材として一体成型されている。ベース部材２６１は、ハウジング本体２０４のうちカバー部材２６２を除いた部分と、シール保持部２０５、フランジ部２０７及びコネクタ部２０８を有しており、これら部位が一体成型されている。

　ベース部材２６１の内部空間は、ベース部材２６１が表壁部２３３を有していないことに起因して、上流壁部２３１、下流壁部２３２及び先端壁部２３５を挟んで裏壁部２３４とは反対側に向けて開放されている。この開放部分をベース開口部２６３と称すると、ベース開口部２６３は、ハウジング２０１が完成した状態ではカバー部材２６２及びポッティング部２４２により閉鎖されることになる。

　ハウジング本体２０４の表面においてベース部材２６１とカバー部材２６２との境界部に段差が生じないように、カバー部材２６２を収容した収容切欠部２６５がベース部材２６１に設けられている。収容切欠部２６５は、上流壁部２３１、下流壁部２３２、先端壁部２３５及び第１規制部２５１に跨っており、ベース部材２６１の表側端部を切り欠いている。この収容切欠部２６５にカバー部材２６２が入り込んだ状態になっていることで、ハウジング本体２０４の表面において、上流壁部２３１及び下流壁部２３２により形成された部分と、カバー部材２６２により形成された部分とが面一になっている。

　なお、本実施形態では、流量検出部２０２が物理量検出部に相当し、センサＳＡ２２０が検出ユニットに相当する。また、図６３、図６４等では、バイパス流路２１０の図示を省略している。図６３は、ハウジング２０１について、シール保持部２０５よりもハウジング先端側の部分だけの断面を示した部分断面図になっている。また、図６４は、ポッティング部２４２及びカバー部材２６２を取り外した状態で、ベース部材２６１の開放側からハウジング２０１を見た図である。

　次に、エアフロメータ２００の製造方法について、センサＳＡ２２０をハウジング２０１に装着する手順を中心に、図６５～図６８を参照しつつ説明する。

　ハウジング本体２０４について、樹脂成型を行うことでベース部材２６１及びカバー部材２６２を作成する。ベース部材２６１の作成については、金型等の型装置にコネクタターミナル２０８ａを着脱可能に仮取り付けし、この状態の型装置に溶融樹脂を注入することで、コネクタターミナル２０８ａが埋め込まれた状態のベース部材２６１を樹脂成型する。ベース部材２６１から型装置を取り外す場合には、この型装置へのコネクタターミナル２０８ａの仮取り付けを解除してベース部材２６１から型装置を取り外す。樹脂成型したベース部材２６１においては、図６５に示すように、コネクタターミナル２０８ａの一端部がシール保持部２０５からハウジング先端側に向けて突出した状態になっている。

　そして、図６６に示すように、ベース開口部２６３の一部をカバー部材２６２で塞ぐように、カバー部材２６２をベース部材２６１に取り付ける。これにより、ハウジング２０１、ハウジング本体２０４、ハウジング開口部２４１を作成する。ここでは、ベース部材２６１とカバー部材２６２とが接触する部分について、これらベース部材２６１とカバー部材２６２とを接着や溶着により接合する。

　続いて、図６７に示すように、センサＳＡ２２０をハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに挿入することで、ハウジング本体２０４にセンサＳＡ２２０を取り付ける。ここでは、検出支持部２２３を第１挿通部２５２に挿入しながら、ＳＡベース部２２１を第１規制部２５１と第２規制部２５５との間に嵌合させ、さらに、ＳＡベース部２２１を収容凹部２６４にも嵌合させるように、センサＳＡ２２０を押し込む。その後、リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとを溶接等により電気的に接続する。

　図６８に示すように、ベース部材２６１にカバー部材２６２を組み付けることでハウジング本体２０４が完成した後、流体の状態になっている熱硬化性樹脂をハウジング開口部２４１から支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣに注入する。この場合、コネクタターミナル２０８ａ、リードターミナル２２４、センサＳＡ２２０がハウジング開口部２４１から露出しないように、支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣを熱硬化性樹脂で充填する。その後、熱硬化性樹脂を加熱により硬化させることで、ポッティング部２４２を形成する。

　＜構成群Ｃの説明＞
　ハウジング取付部と位置保持部との位置関係に関する構成群Ｃについて、図６１～図６４、図６９～図７１等を参照しつつ説明する。なお、図６９においては、ハウジング本体２０４のベース部材２６１について、上流壁部２３１、下流壁部２３２、表壁部２３３及び裏壁部２３４の図示を省略している。

　図６１～図６４において、シール保持部２０５は、ハウジング本体２０４に比べて肉厚になっている。シール保持部２０５においては、上記第１実施形態のリング保持部２５と同様に横断面の外周端が円状になっている一方で、シール保持部２０５のハウジング先端側の端面から延びるハウジング本体２０４は横断面矩形状になっている。また、シール保持部２０５は、エアフロメータ２００を支持するために必要な強度を確保できるように肉厚になっている。ハウジング２０１においては、吸気管１２ａに取り付けられるハウジング取付部が、シール保持部２０５及びフランジ部２０７により構成されている。

　上述したように、ハウジング本体２０４においては、第１規制部２５１及び第２規制部２５５がセンサＳＡ２２０の移動を規制しており、これら規制部２５１，２５５のそれぞれが位置保持部に相当する。ハウジング本体２０４においては、上流壁部２３１、下流壁部２３２及び裏壁部２３４がシール保持部２０５と規制部２５１，２５５とを接続しており、これら壁部２３１，２３２，２３４がハウジング接続部に相当する。また、内部空間２０４ａがセンサＳＡ２２０を収容した収容空間に相当する。

　第１規制部２５１においては、ハウジング基端側の板面２５１ａがＳＡベース部２２１に接触しており、この板面２５１ａによりハウジング先端側へのセンサＳＡ２２０の移動が規制されている。第２規制部２５５においては、ハウジング先端側の板面２５５ａがＳＡベース部２２１に接触しており、この板面２５５ａによりハウジング基端側へのセンサＳＡ２２０の移動が規制されている。この場合、板面２５１ａ，２５５ａは、センサＳＡ２２０が高さ方向Ｙに移動しないように位置保持しており、特に、第１規制部２５１の板面２５１ａは第３保持部に相当する。

　ＳＡベース部２２１においては、ハウジング先端側の端面２２１ａが第１規制部２５１の板面２５１ａに接触しており、ハウジング基端側の端面２２１ｂが第２規制部２５５の板面２５５ａに接触している。この場合、ＳＡベース部２２１の端面２２１ａ，２２１ｂが、第３保持部に接触しているユニット接触部に相当する。

　上述したように、検出支持部２２３の外周面が第１挿通部２５２の内周面に接触していることで、センサＳＡ２２０が幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに移動することが規制されている。図６９に示すように、第１挿通部２５２の内周面には、表内面２５２ａ、裏内面２５２ｂ、上流内面２５２ｃ及び下流内面２５２ｄが含まれている。

　表内面２５２ａと裏内面２５２ｂとは幅方向Ｘに並べられており、表内面２５２ａは、検出支持部２２３の表面に接触し、裏内面２５２ｂは検出支持部２２３の裏面に接触している。これら表内面２５２ａ及び裏内面２５２ｂは、センサＳＡ２２０を幅方向Ｘに移動しないように位置保持しており、第１保持部に相当する。上流内面２５２ｃと下流内面２５２ｄとは奥行き方向Ｚに並べられており、上流内面２５２ｃがハウジング本体２０４の上流壁部２３１側に配置され、下流内面２５２ｄが下流壁部２３２側に配置されている。上流内面２５２ｃ及び下流内面２５２ｄは、いずれも検出支持部２２３の側面に接触していることで、センサＳＡ２２０を奥行き方向Ｚに移動しないように位置保持しており、第２保持部に相当する。

　なお、本実施形態でも、上記第１実施形態と同様に、幅方向Ｘが第１方向に相当し、奥行き方向Ｚが第２方向に相当する。また、第１規制部２５１の板面２５１ａや第１挿通部２５２の内面２５２ａ～２５２ｄを位置出し面と称することもできる。

　図７０、図７１に示すように、ハウジング本体２０４は、計測流路２１２の流路面積を小さくすることで計測流路２１２を絞る絞り部２７１，２７２を有している。表絞り部２７１は、表壁部２３３から裏壁部２３４に向けて延びた凸部であり、裏絞り部２７２は、裏壁部２３４から表壁部２３３に向けて延びた凸部である。表絞り部２７１と裏絞り部２７２とは、検出支持部２２３を挟んで対向しており、流量検出部２０２は、これら絞り部２７１，２７２の間に配置されている。この場合、流量検出部２０２は表絞り部２７１と対向している。

　計測流路２１２では、流量検出部２０２周辺の領域が絞り部２７１，２７２により絞られることで、流量検出部２０２に到達する吸入空気が整流される。この場合、流量検出部２０２の周辺においては、吸入空気の流れに乱れが生じにくくなっており、この乱れにより流量検出部２０２の検出精度が低下するということを抑制できる。また、流量検出部２０２は、上記第１実施形態の流量検出部２２と同様に、発熱部の放熱量を利用した検出部であり、流量検出部２０２の検出精度を適正に保つには、流量検出部２０２周辺での吸入空気の流速がある程度大きいことが好ましい。これに対して、本実施形態では、流量検出部２０２に向けて絞り部２７１，２７２により計測流路２１２が絞られていることで、吸入空気の流速が増加しやすくなっているため、流量検出部２０２の検出精度を適正化できる。

　表壁部２３３において表絞り部２７１が形成された部分を表形成部２３３ａと称すると、この表形成部２３３ａは、表壁部２３３での他の部分に比べて肉厚になっている。同様に、裏壁部２３４において裏絞り部２７２が形成された部分を裏形成部２３４ａと称すると、この裏形成部２３４ａは、裏壁部２３４での他の部分に比べて肉厚になっている。

　ここで、裏壁部２３４について、裏形成部２３４ａが肉厚になっていることに起因して、エアフロメータ２００の製造時において樹脂成型に伴う変形が裏形成部２３４ａに生じることが懸念される。これに対して、裏壁部２３４と第１規制部２５１とが一体成型されたベース部材２６１において、裏絞り部２７２が高さ方向Ｙにおいて第１規制部２５１からハウジング先端側に離間している。この場合、仮に、樹脂成型に伴う変形が裏形成部２３４ａに生じたとしても、この変形が裏壁部２３４において第１規制部２５１と裏形成部２３４ａとの間の部分で吸収されると考えられる。このため、裏形成部２３４ａの変形に伴って第１規制部２５１の位置や形状が変化するということが生じにくくなっており、その結果、流量検出部２０２の位置ずれが抑制される。

　ハウジング本体２０４においては、表形成部２３３ａが裏形成部２３４ａに比べて肉厚になっている。この場合、幅方向Ｘにおいて、表壁部２３３からの表絞り部２７１の突出寸法Ｄ３１は、裏壁部２３４からの裏絞り部２７２の突出寸法Ｄ３２より大きくなっている。このため、樹脂成型に伴う変形が生じないように表形成部２３３ａを極力肉薄にしたとしても、表形成部２３３ａの肉厚を調整することで、流量検出部２０２の検出精度を適正化できるように計測流路２１２の絞り度合いを適度に大きくできる。上述したように、表形成部２３３ａを有するカバー部材２６２と、第１規制部２５１を有するベース部材２６１とは別部材である。この場合、仮に樹脂成型に伴う変形が表形成部２３３ａに生じたとしても、この変形により第１規制部２５１の位置や形状が変化するということが生じないため、表形成部２３３ａの肉厚化によって流量検出部２０２の位置ずれが生じるということはない。

　幅方向Ｘにおいて、検出支持部２２３の表面と表絞り部２７１との離間距離Ｄ３３は、検出支持部２２３の裏面と裏絞り部２７２との離間距離Ｄ３４より小さくなっている。計測流路２１２においては、検出支持部２２３と表絞り部２７１との間の領域の方が、検出支持部２２３と裏絞り部２７２との間の領域よりも絞り度合いが大きくなっている。なお、表絞り部２７１により計測流路２１２が絞られていれば、必ずしも裏絞り部２７２は設けられていなくてもよい。

　構成群Ｃについて本実施形態によれば、ハウジング２０１において第１規制部２５１及び第２規制部２５５がシール保持部２０５からハウジング先端側に離間している。このため、シール保持部２０５を強度向上のために肉厚化できる一方で、規制部２５１，２５５を薄肉化できる。このように、規制部２５１，２５５の肉薄化が図られていることで、規制部２５１，２５５の形状が製品ごとにばらつくということが生じにくくなるため、規制部２５１，２５５により位置決めされるセンサＳＡ２２０の位置がばらつくということも生じにくくなる。したがって、流量検出部２０２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、第１規制部２５１においては、表内面２５２ａ及び裏内面２５２ｂが幅方向ＸへのセンサＳＡ２２０の移動を規制し、上流内面２５２ｃ及び下流内面２５２ｄが奥行き方向ＺへのセンサＳＡ２２０の移動を規制する。この場合、第１規制部２５１では、これら内面２５２ａ～２５２ｄについても、樹脂成型に伴う変形が生じにくくなっているため、幅方向Ｘ及び奥行き方向ＺについてセンサＳＡ２２０の位置が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、第１規制部２５１においては、ハウジング基端側の板面２５１ａがハウジング先端側へのセンサＳＡ２２０の移動を規制する。この場合、第１規制部２５１では、この板面２５１ａについても、樹脂成型に伴う変形が生じにくくなっているため、高さ方向ＹについてセンサＳＡ２２０の位置が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ２２０においては、リードターミナル２２４と流量検出部２０２との間において、流量検出部２０２寄りの位置にハウジング先端側の端面２２１ａが設けられている。この場合、仮に、センサＳＡ２２０が第１規制部２５１との接触部分を支点として回動するように位置ずれしたとしても、例えばリードターミナル２２４寄りの位置に端面２２１ａが設けられた構成に比べて、流量検出部２０２の位置ずれ量を低減できる。このため、流量検出部２０２の検出精度の低下を抑制できる。

　本実施形態によれば、シール保持部２０５と第１規制部２５１及び第２規制部２５５とが上流壁部２３１、下流壁部２３２及び裏壁部２３４により接続されているため、シール保持部２０５が規制部２５１，２５５から離間した構成を実現できる。この場合、仮に、樹脂成型に伴う変形がシール保持部２０５に生じたとしても、この変形が壁部２３１，２３２，２３４により吸収されることで、シール保持部２０５の変形に伴って規制部２５１，２５５の位置や形状が変化するということが生じにくくなっている。このため、規制部２５１，２５５によるセンサＳＡ２２０の位置決め精度が低下するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、エアフロメータ２００の製造時において、センサＳＡ２２０がベース開口部２６３を通じてベース部材２６１の内部に挿入される。このようにベース部材２６１にセンサＳＡ２２０を取り付ける場合に、樹脂成型に伴う変形がベース部材２６１の第１規制部２５１にて生じにくくなっていることに起因して、第１規制部２５１によるセンサＳＡ２２０の位置決め精度を高めることができる。

　＜構成群Ｅの説明＞
　コネクタターミナルの位置に関する構成群Ｅについて、図７２等を参照しつつ説明する。

　図７２に示すように、コネクタターミナル２０８ａは、コネクタ部２０８と内部空間２０４ａとにかけ渡されている。コネクタターミナル２０８ａは、コネクタ部２０８に配置された第１ターミナル部２８２ａと、内部空間２０４ａに配置された第２ターミナル部２８２ｂと、これらターミナル部２８２ａ，２８２ｂを接続する接続ターミナル部２８２ｃとを有している。コネクタターミナル２０８ａにおいては、一方の端部が第１ターミナル部２８２ａに含まれており、他方の端部が第２ターミナル部２８２ｂに含まれている。第１ターミナル部２８２ａは、コネクタ部２０８の内部においてハウジング本体２０４から遠ざかる向きに延びている。第２ターミナル部２８２ｂは、内部空間２４ａにおいてコネクタ部２０８から遠ざかる向きに延びている。第２ターミナル部２８２ｂは、ハウジング開口部２４１と裏壁部２３４との間に配置されている。

　コネクタターミナル２０８ａにおいては、少なくとも接続ターミナル部２８２ｃがハウジング２０１に埋め込まれている。この埋め込み部分により、コネクタターミナル２０８ａがハウジング２０１に固定されている。また、コネクタターミナル２０８ａは支持領域ＱＢにはみだしておらず、第２ターミナル部２８２ｂ全体がコネクタ領域ＱＣに収容されている。

　本実施形態では、第２ターミナル部２８２ｂが突出ターミナル部に相当する。センサＳＡ２２０については、リードターミナル２２４が検出ターミナルに相当し、ＳＡ本体２２５がユニット本体に相当する。また、幅方向Ｘが検出ユニットとハウジング開口部とが並んだ方向に相当する。

　センサＳＡ２２０においては、ＳＡ本体２２５が流路領域ＱＡと支持領域ＱＢとを高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置され、リードターミナル２２４が支持領域ＱＢとコネクタ領域ＱＣとの境界部を高さ方向Ｙに跨ぐ位置に配置されている。この場合、流路領域ＱＡ及び支持領域ＱＢが本体領域を構成していることになる。

　リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとはコネクタ領域ＱＣにて接続されており、この接続部分においては、幅方向Ｘにおいてコネクタターミナル２０８ａがリードターミナル２２４とハウジング開口部２４１との間に入り込んでいない。例えば、接続部分では、幅方向Ｘにおいてリードターミナル２２４がコネクタターミナル２０８ａとハウジング開口部６１との間に配置されている。また、リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとが奥行き方向Ｚに横並びに配置されていてもよい。いずれの場合でも、内部空間２０４ａにおいて、幅方向ＸにおいてセンサＳＡ２２０とハウジング開口部２４１との間にコネクタターミナル２０８ａが入り込んでいないことになる。

　次に、エアフロメータ２００の製造方法について、リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとが直接的に接続されていることを中心に、図７２を参照しつつ説明する。

　樹脂成型したハウジング２０１にカバー部材２６２を取り付けた後、ハウジング開口部２４１からセンサＳＡ２２０を内部空間２０４ａに挿入する。ここでは、センサＳＡ２２０をＳＡ本体２２５が裏壁部２３４や第１規制部２５１に引っ掛かるまで押し込む。ここで、ＳＡ本体２２５が裏壁部２３４や第１規制部２５１に引っ掛かるよりも先に、リードターミナル２２４がコネクタターミナル２０８ａに接触する場合が想定される。これに対して、リードターミナル２２４及びコネクタターミナル２０８ａの少なくとも一方が変形することで、センサＳＡ２２０を内部空間２０４ａに更に深く押し込むことが可能になっている。このため、リードターミナル２２４が流路領域ＱＡと支持領域ＱＢとの境界部を跨ぐ位置に配置されていても、リードターミナル２２４がコネクタターミナル２０８ａに引っ掛かることでセンサＳＡ２２０の位置ずれが生じるということが抑制される。

　センサＳＡ２２０を内部空間２０４ａに設置した後、接合具を用いてリードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとを接続する工程を行う。この工程では、上記第１実施形態と同様に、一対の溶接電極によりリードターミナル２２４と第２ターミナル部２８２ｂとを挟み込むようにして、これらリードターミナル２２４と第２ターミナル部２８２ｂとを直接的に接合する。その後、内部空間２０４ａに熱硬化性樹脂を注入してポッティング部２４２を形成する。

　構成群Ｅについて本実施形態によれば、ハウジング２０１の内部空間２０４ａにおいては、幅方向Ｘにおいてハウジング開口部２４１とセンサＳＡ２２０との間にコネクタターミナル２０８ａが入り込んでいない。このため、コネクタターミナル２０８ａをハウジング２０１に取り付けた後に、センサＳＡ２２０をハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに挿入することができる。この場合、センサＳＡ２２０を内部空間２０４ａに設置した後に、ハウジング２０１にコネクタターミナル２０８ａを取り付ける作業を行う必要がない。このため、ハウジング２０１へのコネクタターミナル２０８ａの取り付けに伴う衝撃などによりセンサＳＡ２２０の位置ずれが生じる、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、内部空間２０４ａにおいて、コネクタターミナル２０８ａの第２ターミナル部２８２ｂがコネクタ領域ＱＣにはみださない状態で流路領域ＱＡ及び支持領域ＱＢに収容されている。このため、幅方向Ｘにおいてハウジング開口部２４１とセンサＳＡ２２０との間に第２ターミナル部２８２ｂが入り込んでいない構成を実現できる。この場合、作業者は、センサＳＡ２２０をハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに挿入する際に、このＳＡ本体２２５を単にコネクタ領域ＱＣに進入させないことで、ＳＡ本体２２５が第２ターミナル部２８２ｂに接触することを回避できる。したがって、ハウジング２０１へのセンサＳＡ２２０の取り付けに伴ってＳＡ本体２２５やコネクタターミナル２０８ａが互いの接触に伴って破損したり変形したりするということを抑制できる。

　本実施形態によれば、内部空間２０４ａにおいて、センサＳＡ２２０のリードターミナル２２４が支持領域ＱＢとコネクタ領域ＱＣとの境界部を跨ぐ位置に配置されている。この場合、リードターミナル２２４をコネクタターミナル２０８ａに直接的に接続することが可能になる。このため、リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとを電気的に接続するために内部空間２０４ａにて行う溶接作業の回数を極力少なくすることができる。したがって、内部空間２０４ａでの溶接作業によりセンサＳＡ２２０の位置ずれが生じるということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ベース部材２６１の樹脂成型に用いられる型装置にコネクタターミナル２０８ａが仮取り付けされることで、コネクタターミナル２０８ａの少なくとも一部が埋め込まれた状態のベース部材２６１を成型できる。このため、ベース部材２６１に対するコネクタターミナル２０８ａの位置ずれが生じるということを抑制できる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに注入された熱硬化性樹脂によりセンサＳＡ２２０及びコネクタターミナル２０８ａが覆い隠された状態になっている。このため、センサＳＡ２２０が位置ずれすることや、リードターミナル２２４及びコネクタターミナル２０８ａが変形したり破損したりすることを、熱硬化性樹脂により形成されたポッティング部２４２により抑制できる。

　＜構成群Ｆの説明＞
　検出ユニットを覆うことに関する構成群Ｆについて、図７２等を参照しつつ説明する。

　図６１に示すように、ハウジング開口部２４１は、高さ方向Ｙにおいてシール保持部２０５と流入口２１３ａとの間に配置されている。ここで、シール保持部２０５及びフランジ部２０７を含んでハウジング取付部が構成されているとすると、ハウジング開口部２４１は、ハウジング取付部と流入口２１３ａとの間に配置されていることになる。上述したように、図７２において、センサＳＡ２２０のリードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとは互いに接続されており、この接続部分２９１はコネクタ領域ＱＣに収容されている。なお、支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣにより封止領域が構成されており、ポッティング部２４２が充填部に相当する。また、内部空間２０４ａに充填された後に硬化することでポッティング部２４２を形成する熱硬化性樹脂が充填材に相当する。

　構成群Ｆについて本実施形態によれば、熱硬化性樹脂が内部空間２０４ａに注入されることでポッティング部２４２が形成されるため、内部空間２０４ａを封止する際にその内部空間２０４ａに圧力が付与されるということが生じにくくなっている。この場合、内部空間２０４ａに付与される圧力によりセンサＳＡ２２０の位置ずれが意図せずに生じるということが抑制されるため、センサＳＡ２２０の位置が製品ごとにばらつくということが生じにくくなっている。したがって、流量検出部２０２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　本実施形態によれば、内部空間２０４ａにおいては、センサＳＡ２２０に加えて、リードターミナル２２４とコネクタターミナル２０８ａとの接続部分２９１がポッティング部２４２により覆われている。このため、ポッティング部２４２の封止性能によりセンサＳＡ２２０だけでなく接続部分２９１も保護することができる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部２４１が高さ方向Ｙにおいてシール保持部２０５と流入口２１３ａとの間に配置されている。このため、ハウジング開口部２４１が吸気管１２ａの外部ではなく内部である吸気通路１２に配置される構成を実現できる。この場合、内燃機関１１などの熱源からポッティング部２４２に熱が直接的に付与されるということが生じにくくなっているため、熱によるポッティング部２４２の劣化を抑制できる。これにより、ポッティング部２４２による内部空間２０４ａの封止性能を長期間にわたって発揮させることができる。

　＜構成群Ｇの説明＞
　情報部に関する構成群Ｇについて、図７３等を参照しつつ説明する。

　図７３に示すように、ハウジング２０１において、表壁部２３３の外側面をハウジング表面３０１と称し、裏壁部２３４の外側面をハウジング裏面と称すると、ハウジング開口部２４１はハウジング２０１に設けられている。ハウジング表面３０１には、裏壁部２３４側に向けて凹んだ肉盗み部３０２が複数設けられている。肉盗み部３０２は、ハウジング表面３０１を形成するカバー部材２６２に設けられていることになる。なお、ハウジング表面３０１がハウジングの一面であるハウジング面に相当する。

　ハウジング開口部２４１は内部空間２０４ａの開放端部であり、上述したように、内部空間２０４ａはポッティング部２４２によりハウジング開口部２４１側から封止されている。ポッティング部２４２においては、その外側面であるポッティング面３０３が、ハウジング表面３０１と同様に、幅方向ＸにおいてセンサＳＡ５０とは反対側を向いている。また、内部空間２０４ａに充填されたポッティング材が支持領域ＱＢ及びコネクタ領域ＱＣの内周面を這い上がることにより、ポッティング面３０３においては周縁部分が湾曲しやすくなっている。しかしながら、ポッティング面３０３の全体としては、周縁部分を除くほとんどの部分が平坦面になっている。この場合、ポッティング部２４２が封止部に相当し、ポッティング面３０３が封止部の外側面に相当する。

　ハウジング２０１では、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部２４１がシール保持部２０５と流入口２１３ａとの間に配置されている。この場合、エアフロメータ２００が吸気管１２ａに取り付けられた状態では、流入口２１３ａ及びポッティング部２４２の両方が吸気管１２ａの内部において吸気通路１２に配置されることになる。

　ハウジング開口部２４１は、全体として矩形状に形成されている。この場合、ハウジング開口部２４１は、長辺である一対の第１辺部３０５と、短辺である一対の第２辺部３０６とを有しており、全体として高さ方向Ｙに延びた扁平状になっている。この場合、第１辺部３０５は高さ方向Ｙに延びており、第２辺部３０６は奥行き方向Ｚに延びている。本実施形態では、ハウジング開口部２４１の四隅が面取りされておらず、第１辺部３０５と第２辺部３０６とが直接的に接続されている。なお、第１辺部３０５が対向辺に相当する。

　ポッティング面３０３には、上記第１実施形態の情報部１９４と同様の情報部３０４が設けられている。情報部３０４においては、数列や文字列が第１辺部３０５に沿って並んでいる。

　構成群Ｇについて本実施形態によれば、ポッティング材が内部空間２０４ａに注入されることでポッティング部２４２が形成されているため、ポッティング面３０３の大部分を平坦化することが可能である。しかも、ハウジング開口部２４１及び内部空間２０４ａは、センサＳＡ２２０をＳＡ本体２２５の板面から挿入することができるほどに大きくなっているため、情報部３０４を表示する上でポッティング面３０３が不足するということが生じにくくなっている。このように、ポッティング面３０３の平坦化及び大型化が図られているため、ポッティング面３０３に付与された情報部３０４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング２０１の内部空間２０４ａにおいては、センサＳＡ２２０のＳＡ本体２２５とコネクタターミナル２０８ａとが高さ方向Ｙに横並びに配置されている。このため、ＳＡ本体２２５とコネクタターミナル２０８ａとを横並びに配置できる程度に、高さ方向Ｙについて内部空間２０４ａの幅寸法及びハウジング開口部２４１の幅寸法が大きくなっている。すなわち、高さ方向Ｙにおいてポッティング面３０３の幅寸法が大きくなっている。この場合、ポッティング面３０３において、情報部３０４の大型化を図ることが可能になっていることで、情報部３０４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング開口部２４１が、一対の第１辺部３０５が長辺になるように全体として扁平しているため、情報部３０４の並び方向を明確化することができる。この場合、ポッティング面３０３において、情報部３０４の数列や文字列が第１辺部３０５に沿って並んでいることで、作業者がこれら数列や文字列を読み間違えるということを抑制できる。このように、ポッティング面３０３の形状により情報部３０４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング表面３０１には肉盗み部３０２が設けられている。ここで、ハウジング表面３０１において、情報部３０４の視認性が不足しない程度に大きな平坦面を確保しようとすると、ハウジング表面３０１での肉盗み部３０２が不足することが懸念される。ハウジング表面３０１にて肉盗み部３０２が不足すると、カバー部材２６２が肉厚になることで、カバー部材２６２を樹脂成型する際に溶融樹脂の硬化に伴って意図しない変形がカバー部材２６２に生じることが懸念される。これに対して、本実施形態では、ポッティング面３０３に情報部３０４が付与されているため、情報部３０４の表示に適する程度の平坦面をハウジング表面３０１に確保する必要がない。この場合、ハウジング表面３０１に十分な肉盗み部３０２を配置することで、樹脂成型に伴うカバー部材２６２の変形を抑制した上で、ポッティング面３０３での情報部３０４の視認性を高めることができる。

　本実施形態によれば、ハウジング２０１の内部空間２０４ａにおいては、センサＳＡ２２０がポッティング部２４２により覆われている。ここで、本実施形態とは異なり、例えば、ハウジング２０１とは別部材として樹脂成型されたフタ部材がハウジング開口部２４１に取り付けられた構成では、ハウジング開口部２４１が大型化するほど、フタ部材も大型化することになる。フタ部材が大型化した場合、カバー部材２６２と同様にフタ部材にも肉盗み部３０２を形成する必要が生じ、情報部３０４を付与できる程度の平坦面をフタ部材にて確保することが困難になってしまう。

　これに対して、本実施形態によれば、情報部３０４が付与されたポッティング部２４２については、樹脂成型を行わないことに起因して肉盗み部３０２を形成する必要がない。しかも、内部空間２０４ａに充填されたポッティング部２４２については、ポッティング面３０３が必然的に平坦化されるという現象を利用することで、ポッティング面３０３のほぼ全体に情報部３０４を配置することが可能になる。したがって、ポッティング面３０３において情報部３０４の視認性を高めることができる。

　（第５実施形態）
　上記第１実施形態では、流路境界部３４の一部と流出口３３ｂの一部とが互いに重複していたが、第５実施形態では、流路境界部３４と流出口３３ｂとが奥行き方向Ｚに離間している。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に、図７４～図７９を参照しつつ説明する。

　＜構成群Ｄの説明＞
　通過流路の構成に関する構成群Ｄについて説明を行う。図７４、図７５に示すように、通過流路３１は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４よりも下流側に延びた形状になっている。この場合、通過流路３１は、流入通過路３１ａ及び流出通過路３１ｂに加えて、これら流入通過路３１ａと流出通過路３１ｂとを接続する接続通過路３３１を有している。接続通過路３３１は、流入通過路３１ａと流出通過路３１ｂとの間に設けられ、流路境界部３４から通過床面１５２に向けて延びている。この場合、流出通過路３１ｂは、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４と流出口３３ｂとの間にある。

　通過流路３１においては、通過床面１５２の全体が床絞り面１５２ａになっている。この場合、床絞り面１５２ａは、流入口３３ａと流出口３３ｂとにかけ渡された状態になっている。なお、床絞り面１５２ａが床傾斜面に相当する。壁絞り面１５３ａは、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部３４と流出口３３ｂとの間に設けられており、奥行き方向Ｚにおいて流出通過路３１ｂの全体に配置されている。この場合、壁絞り面１５３ａは、接続通過路３３１と流出口３３ｂとにかけ渡された状態になっている。

　通過天井面１５１は、流路境界部３４よりも流入口３３ａ側に設けられた流入天井部３３２ａと、流路境界部３４よりも流出口３３ｂ側に設けられた流出天井部３３２ｂとを有している。流入天井部３３２ａは、流入口３３ａと流路境界部３４とにかけ渡された状態になっており、流入口３３ａと流出口３３ｂとが並んだ方向である奥行き方向Ｚに延びている。流出天井部３３２ｂは、流路境界部３４と流出口３３ｂとにかけ渡された状態になっており、流入口３３ａ側を向いていることで流入天井部３３２ａに対して傾斜している。

　流路境界部３４は、上記第１実施形態と同様に流出口３３ｂ側を向いていることで、流入天井部３３２ａに対して傾斜している。また、床絞り面１５２ａも流入天井部３３２ａに対して傾斜している。流入天井部３３２ａに対する床絞り面１５２ａの傾斜角度θ３は、流入天井部３３２ａに対する流路境界部３４の傾斜角度θ２と同じ又はそれより大きくなっている。なお、上述したように、流路境界部３４は分岐境界部に相当する。また、上記第１実施形態と同様に、流路境界部３４は、人が流入口３３ａから奥行き方向Ｚに通過流路３１を覗き込んでも、流入通過路３１ａの天井面の奥側に隠れて見えない位置にある。この場合、吸気に交じって砂塵、ダスト、水滴、油滴等の異物が飛来しても、この異物は通過流路３１を直進して流出口３３ｂから排出されやすくなっている。このため、異物は流量検出部２２まで到達せず、異物により検出素子２２ｂが破損することや、異物が堆積して流量検出部２２の検出精度が悪化することを防止できる。

　次に、型装置９０について、図７６、図７７を参照しつつ説明する。

　図７６、図７７に示すように、計測成型部９７の導入成型部９７ｂは流出口３３ｂまで到達しておらず、外周型部１０２，１０３には当接していない。このため、導入成型部９７ｂは、上記第１実施形態とは異なり、外周型部１０２，１０３に当接する外側計測面１６１を有していない。計測成型部９７の内側計測面１６２と通過型部１０４の内側通過面１５９とは、上記第１実施形態と同様に互いに当接しており、さらに、互いに引っ掛かっている。

　計測成型部９７は、内側計測面１６２が内側通過面１５９側に向けて突出した型凸部３３４を有し、通過型部１０４は、内側通過面１５９が内側計測面１６２とは反対側に向けて凹んだ型凹部３３５を有している。幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方について、型凸部３３４は内側計測面１６２の中間位置に配置され、型凹部３３５は内側通過面１５９の中間位置に配置されている。この場合、型凸部３３４が型凹部３３５の内部に入り込んで嵌合していることで、型凸部３３４の四方が型凹部３３５の内周面により囲まれた状態になっている。このため、型凸部３３４が型凹部３３５の内周面に引っ掛かることで、計測成型部９７と通過型部１０４とが幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに相対的に移動することが規制されている。

　計測成型部９７の内側計測面１６２と通過型部１０４の内側通過面１５９とは、流路境界部３４にて当接している。その一方で、型凸部３３４は、流路境界部３４を越えて通過流路３１に入り込んだ状態になっており、型凸部３３４と型凹部３３５とは通過流路３１にて嵌合している。この場合、通過型部１０４は、流路境界部３４を越えて計測流路３２側に入り込んだ部分を有していない。

　続いて、エアフロメータ１４の製造方法について、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０を取り外す手順について説明する。

　図７８に示すように、通過型部１０４よりも先に計測成型部９７をハウジング２１の計測流路３２から抜き取る。これは、型凸部３３４が型凹部３３５の内部に入り込んだ状態になっていることで、通過型部１０４を計測成型部９７に対して奥行き方向Ｚに移動させることができないためである。図７９に示すように、計測成型部９７をハウジング２１から抜き取った後に、通過型部１０４をハウジング２１の流入口３３ａから抜き取る。

　通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取る場合、通過型部１０４を通過流路３１の床絞り面１５２ａに沿わせるように流入口３３ａ側に移動させる。例えば、通過型部１０４を通過流路３１の流入天井部３３２ａに沿わせるように流入口３３ａ側に移動させようとすると、内側通過面１５９が流入天井部３３２ａの上流端部に引っ掛かってしまい、流入口３３ａから抜き取ることができない。これは、通過型部１０４の内側通過面１５９の少なくとも一部が高さ方向Ｙにおいて流入口３３ａよりもハウジング基端側に配置されているためである。

　また、本実施形態とは異なり、床絞り面１５２ａの傾斜角度θ３が流路境界部３４の傾斜角度θ２より小さい構成では、通過型部１０４が外側通過面１５８に向けて先太りした形状になってしまう。このため、通過型部１０４を通過流路３１の床絞り面１５２ａに沿わせるように流入口３３ａ側に向けて移動させようとしても、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることができない。この場合、通過型部１０４においては、床絞り成型面１５６と内側通過面１５９との離間距離が外側通過面１５８に向けて徐々に大きくなっていることになる。

　さらに、本実施形態とは異なり、通過流路３１の流出天井部３３２ｂが流入口３３ａ側を向いているのではなく、流出口３３ｂ側を向いていても、通過型部１０４が外側通過面１５８に向けて先太りした形状になってしまう。このため、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取ることができない。

　構成群Ｄについて本実施形態によれば、型装置９０において型凸部３３４が型凹部３３５に入り込んでいるため、計測成型部９７と通過型部１０４との相対的な位置ずれを規制できる。しかも、型凸部３３４の四方が型凹部３３５の内周面により囲まれているため、計測成型部９７と通過型部１０４との相対的な位置ずれを、幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方について規制できる。このため、計測成型部９７と通過型部１０４とが位置ずれしてこれら型部９７，１０４の境界部に段差が形成されることで、通過流路３１や計測流路３２の内周面に段差が生じる、ということを抑制できる。したがって、通過流路３１や計測流路３２の内周面に形成された段差により空気の流れが乱れ、流量検出部２２の検出精度が低下する、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、奥行き方向Ｚを基準として、床絞り面１５２ａの傾斜角度θ３が流路境界部３４の傾斜角度θ２と同じ又はそれより大きくなっている。このため、計測流路３２への異物の進入を抑制するために、流路境界部３４が流出口３３ｂ側を向くように奥行き方向Ｚに対して傾斜していたとしても、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取り可能な構成を実現できる。

　（第６実施形態）
　第６実施形態では、センサＳＡ５０のリードターミナル５４がブリッジターミナル８６を介さずにコネクタターミナル２８ａに接続されている。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に、図８０、図８１を参照しつつ説明する。

　＜構成群Ｅの説明＞
　コネクタターミナルの位置に関する構成群Ｅについて説明を行う。図８０に示すように、センサＳＡ５０のリードターミナル５４は、高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に向けて真っ直ぐに延びているのではなく、コネクタターミナル２８ａ側に向けて延びるように折れ曲がった状態になっている。

　リードターミナル５４は、ＳＡ本体１７０から延びた第１リード部３４１と、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂに沿って延びている第２リード部３４２と、これらリード部３４１，３４２を接続する第３リード部３４３とを有している。第１リード部３４１は、ＳＡ本体１７０からハウジング開口部６１に向けて延びている。第２リード部３４２は、第１リード部３４１よりもコネクタターミナル２８ａに近い位置に配置されており、第３リード部３４３からハウジング開口部６１に向けて延びている。第１リード部３４１及び第２リード部３４２は、互いに平行な状態で高さ方向Ｙに延びている。第３リード部３４３は、第１リード部３４１からコネクタターミナル２８ａ側に向けて幅方向Ｘに延びている。なお、第１リード部３４１が検出リード部に相当する。また、第２リード部３４２及び第３リード部３４３は、第１リード部３４１に接続された接続リード部を構成している。

　リードターミナル５４は、本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部を幅方向Ｘに跨いだ状態になっている。リードターミナル５４においては、第１リード部３４１が本体領域ＰＣ１に配置され、第２リード部３４２がコネクタ領域ＰＣ２に配置されており、第３リード部３４３が本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部を幅方向Ｘに跨ぐ位置に配置されている。なお、リードターミナル５４が検出ターミナルに相当する。

　第２リード部３４２は、高さ方向Ｙにおいて封止段差面６７とハウジング開口部６１との間に入り込んでおり、第２リード部３４２及び第３リード部３４３の少なくとも一方が封止段差面６７に接触している。この場合、封止段差面６７は、第２リード部３４２と第２ターミナル部１７２ｂとの接続部分を支持していることになる。

　次に、エアフロメータ１４の製造方法について、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとが直接的に接続されていることを中心に、図８０、図８１を参照しつつ説明する。

　まず、センサＳＡ５０の製造手順について説明する。ここでは、汎用性の高いセンサＳＡを汎用ＳＡと称し、汎用ＳＡは、ＳＡ本体１７０及び第１リード部３４１を有している一方で、第２リード部３４２及び第３リード部３４３を有していない構成とする。本実施形態では、汎用ＳＡの第１リード部３４１に第２リード部３４２及び第３リード部３４３を溶接等により接続することで、センサＳＡ５０を製造する。

　なお、センサＳＡ５０は、汎用ＳＡにリード部３４２，３４３を取り付けることで製造されるのではなく、第１リード部３４１、第２リード部３４２及び第３リード部３４３を有するリードターミナル５４をＳＡ本体１７０に取り付けることで製造されてもよい。また、汎用ＳＡの第１リード部３４１は、上記第１実施形態のセンサＳＡ５０のリードターミナル５４に対応する部位であり、上記第１実施形態のセンサＳＡ５０も汎用性の高い汎用ＳＡと称することができる。

　ハウジング２１を樹脂成型した後、図８１に示すように、ハウジング２１の内部空間２４ａにセンサＳＡ５０を挿入する。ここでは、上記第１実施形態と同様に、ハウジング開口部６１から挿入したセンサＳＡ５０を、回路段差面５５が領域段差面６６に引っ掛かるまで押し込む。ここで、ＳＡ本体１７０が領域段差面６６に引っ掛かるよりも先に、リードターミナル５４の第２リード部３４２や第３リード部３４３が封止段差面６７に引っ掛かる場合が想定される。この場合でも、封止段差面６７に引っ掛かった状態のリードターミナル５４が全体的に変形することで、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに更に深く押し込むことが可能になっている。このため、リードターミナル５４が本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部を跨ぐ位置に配置されていても、リードターミナル５４が封止段差面６７に引っ掛かることでセンサＳＡ５０の位置ずれが生じるということが抑制される。

　センサＳＡ５０を内部空間２４ａに設置した後、接合具を用いてリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを接続する工程を行う。この工程では、一対の溶接電極をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに差し入れ、これら溶接電極により第２ブリッジ部１７３ｂと第２ターミナル部１７２ｂとを挟み込み、これら第２ブリッジ部１７３ｂと第２ターミナル部１７２ｂとの溶接を行う。このように本実施形態では、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを直接的に接合することで、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに設置した後に接合作業を必要とする接合部分の数を極力少なくしている。

　例えば、上記第１実施形態のようにリードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを間接的に接続する構成では、リードターミナル５４に対する溶接作業と、コネクタターミナル２８ａに対する溶接作業とを別々に行うことになる。この構成に比べると、本実施形態では、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとが直接的に接合されることで、センサＳＡ５０を内部空間２４ａに設置した後に接合作業を必要とする接合部分の数が半分にまで少なくなっている。

　構成群Ｅについて本実施形態によれば、リードターミナル５４は、ハウジング開口部６１に向けて真っ直ぐには延びていなくても、全体としてハウジング開口部６１に向けて延びていることで、第２リード部３４２がコネクタ領域ＰＣ２に配置されている。すなわち、第２リード部３４２がＳＡ本体１７０よりもハウジング開口部６１に近い位置に配置されている。この場合、第２リード部３４２と第２ターミナル部１７２ｂとを接合するための接合具を、内部空間２４ａの奥深くまで差し入れる必要がないため、接合を行う際の作業負担を低減できる。

　本実施形態によれば、ハウジング２１の内部空間２４ａにおいて、センサＳＡ５０のリードターミナル５４が本体領域ＰＣ１とコネクタ領域ＰＣ２との境界部を跨ぐ位置に配置されている。この場合、リードターミナル５４をコネクタターミナル２８ａに直接的に接続することが可能になるため、リードターミナル５４とコネクタターミナル２８ａとを電気的に接続するために内部空間２４ａにて行う溶接作業の回数を極力少なくすることができる。このため、内部空間２４ａでの溶接作業によりセンサＳＡ５０の位置ずれが生じてしまうということを抑制できる。

　本実施形態によれば、コネクタターミナル２８ａの第２ターミナル部１７２ｂが封止段差面６７により支持されているため、第２ターミナル部１７２ｂと第２リード部３４２とを接合する際に、意図しない第２ターミナル部１７２ｂの変位を抑制できる。このため、接合作業時に第２ターミナル部１７２ｂが第２リード部３４２に対して相対的に変位してしまい、これら第２ターミナル部１７２ｂと第２リード部３４２とを適正に接合することが困難になる、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、リードターミナル５４において、封止段差面６７とハウジング開口部６１との間に入り込んだ第２リード部３４２が封止段差面６７によりハウジング開口部６１とは反対側から支持されている。ここで、センサＳＡ５０においては、第１リード部３４１が第２リード部３４２及び第３リード部３４３を片持ち支持した状態になっていることに起因して、第２リード部３４２が変位しやすくなっている。この場合、第２リード部３４２を第２ターミナル部１７２ｂに接合する際に、第２ターミナル部１７２ｂに対して第２リード部３４２が相対的に変位することで、接合作業の困難性が増加することや、適正に接合が行われないことが懸念される。これに対して、本実施形態によれば、第２リード部３４２が封止段差面６７により支持されていることで、第１リード部３４１が第２リード部３４２及び第３リード部３４３を片持ち支持した状態が解消される。このため、第２リード部３４２と第２ターミナル部１７２ｂとの接合作業を容易化できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０の第２リード部３４２を支持する封止段差面６７が領域段差面６６よりもハウジング開口部６１に近い位置に配置されている。この場合、第２リード部３４２と第２ターミナル部１７２ｂとを接合する際に接合具を内部空間２４ａにおいて封止段差面６７よりも深い位置まで接合具を差し入れる必要がないため、接合具が意図せずにＳＡ本体１７０に接触するということなどを抑制できる。

　本実施形態によれば、第２ターミナル部１７２ｂ及び第２リード部３４２が封止段差面６７からハウジング開口部６１に向けて延びている。この場合、第２ターミナル部１７２ｂと第２リード部３４２とを溶接電極などの接合具により挟み込む際に、ハウジング開口部６１から見て第２ターミナル部１７２ｂや第２リード部３４２の奥側に接合具を入り込ませる必要がない。このため、接合具を用いて第２ターミナル部１７２ｂと第２リード部３４２とを接合する際に、この接合作業を容易化できる。

　本実施形態によれば、センサＳＡ５０においては、ＳＡ本体１７０から延びた第１リード部３４１に第２リード部３４２及び第３リード部３４３を接続することでリードターミナル５４が作成されている。この場合、第２リード部３４２及び第３リード部３４３を有していない汎用ＳＡを用いてセンサＳＡ５０を製造することができる。このため、ハウジング２１にコネクタターミナル２８ａを固定した後に、このハウジング２１の内部空間２４ａにセンサＳＡ５０を設置できる構成を実現した上で、センサＳＡ５０を製造するためのコスト負担を低減できる。

　（他の実施形態）
　以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　＜構成群Ａの変形例＞
　変形例１として、ハウジング２１が通過流路３１を有していなくてもよい。換言すれば、バイパス流路３０が計測流路３２だけを有していてもよい。例えば、縦仕切壁６９がハウジング底部６２まで延びた構成とする。この構成では、流入口３３ａから流入した吸入空気の全てが計測流路３２の導入路３２ｂに案内されて計測出口３３ｃから排出される。また、この構成では、ハウジング２１の樹脂成型に際して流出口３３ｂを成型しないようにするために、型装置９０において通過型部１０４の先端部が外周型部１０２，１０３に当接しないようになっている。

　変形例２として、計測流路３２においては、流量検出部２２が導入路３２ｂや排出路３２ｃに設けられていてもよい。この場合、検出路３２ａは導入路３２ｂと排出路３２ｃとを接続する接続路としての役割を果たすことになる。例えば、流量検出部２２が導入路３２ｂに設けられた構成としては、センサＳＡ５０においてセンシング支持部５７が導入路３２ｂに到達する程度にハウジング先端側に向けて延びた構成が挙げられる。この構成では、センシング支持部５７の先端部寄りの位置に流量検出部２２が設けられていることで、この流量検出部２２を導入路３２ｂ内に配置することが可能になる。

　変形例３として、計測流路３２においては、導入路３２ｂと排出路３２ｃとが奥行き方向Ｚではなく幅方向Ｘに並べられていてもよい。この構成では、検出路３２ａが幅方向Ｘに向けて延びることになるが、検出路３２ａでの吸入空気の流れる向きが奥行き方向Ｚではないというだけで、流量検出部２２による流量検出を適正に行うことはできる。

　変形例４として、封止領域ＰＡと開放領域ＰＢとの境界部が、センサＳＡ５０の回路段差面５５ではなくセンシング段差面５６に一致していてもよい。例えば、ハウジング２１の領域段差面６６がセンサＳＡ５０のセンシング段差面５６に当接する位置に配置され、封止領域ＰＡ及び収容領域ＰＢ１がポッティング部６５により封止された構成とする。この構成では、センサＳＡ５０の中継部５２の外周面とハウジング本体２４の収容領域ＰＢ１の内周面との間には隙間が形成されていない。

　変形例５として、検出絞り部５９は、幅方向Ｘにおいてセンシング支持部５７の両側に設けられていてもよい。この場合、ハウジング２１は、幅方向Ｘに並ぶ一対の検出絞り部５９を有しており、これら検出絞り部５９の間にセンシング支持部５７及び流量検出部２２が配置されることになる。この構成でも、一対の検出絞り部５９及び縦仕切壁６９は、全体としてハウジング開口部６１に近付いても太くなっていないことが好ましい。これにより、ハウジング２１の内周面を一体成型することができる。

　変形例６として、型装置９０においては、第１外周型部１０２と第２外周型部１０３とが幅方向Ｘではなく奥行き方向Ｚに並べられてもよい。また、ハウジング２１の外周面を成型する型部は、外周型部１０２，１０３のように２個ではなく、３個以上とされていてもよい。また、ハウジング２１の外周面からの取り外しが可能であれば、ハウジング２１の外周面を成型する型部は１個でもよい。

　変形例７として、ハウジング２１の樹脂成型に際して、ハウジング開口部６１から抜き取られる型部は、内周型部９１のように１個だけではなく、複数であってもよい。例えば、導入成型部９７ｂを有する第１内周型部と、排出成型部９７ｃを有する第２内周型部とが互いに独立して形成されており、型装置９０においては、これら内周型部が互いに組み合わされた状態で外周型部１０２，１０３の内部に入り込んだ構成とする。この構成でも、第１内周型部及び第２内周型部をまとめて又は順番にハウジング開口部６１から抜き取ることが可能になっていることが好ましい。

　変形例８として、計測出口３３ｃを成型するための出口用延出部１１３は、外周型部１０２，１０３に含まれているのではなく、外周型部１０２，１０３から独立した専用型部に含まれていてもよい。例えば、出口用延出部１１３を含む専用型部が、通過型部１０４と同様に型装置９０において第１外周型部１０２と第２外周型部１０３との間に設けられた構成をする。このように専用型部を用いることで、計測出口３３ｃの開放方向を幅方向Ｘではなく奥行き方向Ｚに変更することが容易化できる。

　変形例９として、計測出口３３ｃが排出路３２ｃではなく検出路３２ａに設けられていてもよい。例えば、検出路３２ａにおいて流量検出部２２よりも下流側に計測出口３３ｃが設けられた構成とする。この構成では、流量検出部２２を通過した吸入空気が排出路３２ｃを通らなくても計測出口３３ｃから外部に排出される。この場合、排出路３２ｃは設けられていなくてもよい。排出路３２ｃが設けられていない構成でも、導入路３２ｂが高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１に近付いても絞られていなければ、ハウジング２１の樹脂成型に際して内周型部９１の入り込み部９３をハウジング開口部６１から抜き取ることができる。この構成では、入り込み部９３が排出成型部９７ｃを有していないことになる。

　変形例１０として、燃焼システムの制御装置としての機能を発揮する構成は、ＥＣＵ２０ではなく、車両に搭載された種々の演算装置であってもよく、複数の演算装置が協働で制御装置としての機能を発揮してもよい。また、各演算装置に設けられたフラッシュメモリやハードディスク等の非遷移的実体的記憶媒体に各種プログラムが記憶されていてもよい。

　＜構成群Ｂの変形例＞
　変形例Ｂ１として、上記第１実施形態において、ハウジング２１の表面及び裏面のそれぞれに計測出口３３ｃが設けられているのではなく、表面及び裏面のうち一方に計測出口３３ｃが設けられていてもよい。例えば、図８２、図８３に示すように、ハウジング２１の表面に計測出口３３ｃが設けられた構成とする。この構成では、ハウジング２１がその表側と裏側とで非対称な形状になっており、流出口３３ｂも、外周下流端１３２ｂではなく計測出口３３ｃと同様にハウジング２１の表面に設けられている。また、流出口３３ｂ及び計測出口３３ｃは、矩形状ではなく円状に形成されている。

　ハウジング２１の表面は、平坦面４４及び湾曲面４５に加えて、外周下流端１３２ｂから上流側に向けて奥行き方向Ｚに対して傾斜した状態で真っ直ぐに延びた下流テーパ面４０１を有している。ハウジング２１の表面においては、平坦面４４と湾曲面４５とが奥行き方向Ｚに横並びに配置されていることで、縦境界部１３１ａがフランジ部２７からハウジング２１の先端まで高さ方向Ｙに直線的に延びており、縦境界部１３１ａは形成されていない。また、平坦面４４と下流テーパ面４０１とも奥行き方向Ｚに横並びに配置されており、これら平坦面４４と下流テーパ面４０１との境界部であるテーパ境界部４０２は、縦境界部１３１ａと並行に延びている。なお、ハウジング２１の裏面は、下流テーパ面４０１を有しておらず、平坦面４４が外周下流端１３２ｂから湾曲面４５に向けて奥行き方向Ｚに延びている。

　ハウジング２１の表面において、上記第１実施形態と同様に、計測出口３３ｃは縦境界部１３１ａを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に配置されている。流出口３３ｂは、外周下流端１３２ｂではなく、縦境界部１３１ａとテーパ境界部４０２との間において平坦面４４に設けられている。なお、流出口３３ｂは、湾曲面４５や下流テーパ面４０１に設けられていてもよく、計測出口３３ｃと同様に、縦境界部１３１ａを奥行き方向Ｚに跨ぐ位置に設けられていてもよい。

　変形例Ｂ２として、上記第１実施形態において、ハウジング２１の湾曲面４５は、奥行き方向Ｚに対して傾斜した外周傾斜面であればよい。例えば、図８５に示すように、外周傾斜面は、平坦面４４から外周上流端１３２ａに向けて真っ直ぐに延びたテーパ面であってもよい。また、外周傾斜面は、ハウジング２１の内周側に向けて凹むように湾曲した面であってもよい。いずれの場合でも、計測出口３３ｃが外周境界部としての縦境界部１３１ａを跨ぐ位置に配置されていることで、計測出口３３ｃが下流側に向けて開放されない構成を実現できる。

　変形例Ｂ３として、計測出口は、外周平坦面及び外周傾斜面のうち外周傾斜面だけに設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図８４に示すように、計測出口３３ｃが平坦面４４にはみ出さないように湾曲面４５に設けられた構成とする。この構成では、計測出口３３ｃが、縦境界部１３１ａを奥行き方向Ｚに跨ぐのではなく、縦境界部１３１ａから奥行き方向Ｚにおいて外周上流端１３２ａに向けて延びており、計測出口３３ｃの出口下流端１３４ｂが縦境界部１３１ａに含まれている。

　また、図８５に示すように、計測出口３３ｃが平坦面４４にはみ出さないように外周傾斜面としての上流テーパ面４０４に設けられた構成とする。この構成では、湾曲面４５に代えて上流テーパ面４０４がハウジング２１の外周面に含まれており、上流テーパ面４０４と平坦面４４との境界部が縦境界部１３１ａになっている。上流テーパ面４０４は、縦境界部１３１ａから外周上流端１３２ａに向けて真っ直ぐに延びており、奥行き方向Ｚに対して傾斜している。この構成でも、計測出口３３ｃの出口下流端１３４ｂが縦境界部１３１ａに含まれている。

　図８４、図８５のいずれの構成でも、計測出口３３ｃが外周傾斜面に配置されていることで下流側に開放されていない。このため、吸気通路１２において外周下流端１３２ｂ周辺にて気流の乱れが生じたとしても、この乱れが計測出口３３ｃに到達することを平坦面４４により抑制できる。また、空気ＡＦ１等の順流空気は、上記第１実施形態と同様に、計測出口３３ｃに到達するまでに外周傾斜面に沿って流れることで、進行方向が計測出口３３ｃの開放方向にほぼ直交する向きに変わるため、計測出口３３ｃに流れ込みにくくなる。

　さらに、計測出口３３ｃが湾曲面４５に設けられた構成としては、計測出口３３ｃが奥行き方向Ｚにおいて外周傾斜面の中間位置に配置された構成が挙げられる。例えば、図８６に示すように、計測出口３３ｃが外周上流端１３２ａと縦境界部１３１ａとの間に配置された構成とする。この構成では、上流テーパ面４０４の上流端部が外周上流端１３２ａに含まれ、上流テーパ面４０４の下流端部が縦境界部１３１ａに含まれており、計測出口３３ｃは、奥行き方向Ｚにおいて縦境界部１３１ａ寄りの位置に配置されている。この構成でも、上記変形例Ｂ１１と同様に、順流空気は、計測出口３３ｃに到達するまでに外周傾斜面としての上流テーパ面４０４に沿って流れることで、計測出口３３ｃに流れ込みにくくなる。

　順流空気が計測出口３３ｃに流れ込みにくくなるようにするという観点では、計測出口３３ｃが上流テーパ面４０４の上流端部や外周上流端１３２ａからできるだけ遠いことが好ましい。このため、奥行き方向Ｚにおいて、縦境界部１３１ａと計測出口３３ｃとの離間距離Ｌ１８が計測出口３３ｃの長さ寸法Ｌ１３より小さくなっていることが好ましい。

　なお、計測出口３３ｃは、奥行き方向Ｚにおいて外周上流端１３２ａ寄りの位置に配置されていてもよい。この場合でも、計測出口３３ｃと外周上流端１３２ａとが奥行き方向Ｚに離間していれば、順流空気が計測出口３３ｃに流れ込みにくくすることができる。

　変形例Ｂ４として、計測出口は、外周平坦面及び外周傾斜面のうち外周平坦面だけに設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、計測出口３３ｃが湾曲面４５にはみ出さないように平坦面４４に設けられた構成とする。この構成では、計測出口３３ｃが、縦境界部１３１ａを奥行き方向Ｚに跨ぐのではなく、縦境界部１３１ａから奥行き方向Ｚにおいて外周下流端１３２ｂに向けて延びており、計測出口３３ｃの出口上流端１３４ａが縦境界部１３１ａに含まれている。この構成でも、計測出口３３ｃの出口下流端１３４ｂと平坦面４４の下流端部とが奥行き方向Ｚに離間していれば、平坦面４４の下流端部周辺や外周下流端１３２ｂ周辺にて気流の乱れが発生しても、その乱れが計測出口３３ｃに到達することを抑制できる。

　また、図１２０に示すように、計測出口３３ｃが外周傾斜面としての上流テーパ面４０４にはみ出さないように平坦面４４に設けられた構成とする。この構成では、図８５と同様に、湾曲面４５に代えて上流テーパ面４０４がハウジング２１の外周面に含まれており、上流テーパ面４０４と平坦面４４との境界部が縦境界部１３１ａになっている。この構成でも、計測出口３３ｃの出口上流端１３４ａが縦境界部１３１ａに含まれている。

　さらに、計測出口３３ｃが平坦面４４に設けられた構成としては、計測出口３３ｃが奥行き方向Ｚにおいて平坦面４４の中間位置に配置された構成が挙げられる。例えば、図８７に示すように、計測出口３３ｃが縦境界部１３１ａと外周下流端１３２ｂとの間に配置された構成とする。この構成では、平坦面４４の上流端部が縦境界部１３１ａに含まれ、平坦面４４の下流端部が外周下流端１３２ｂに含まれており、計測出口３３ｃは、奥行き方向Ｚにおいて縦境界部１３１ａ寄りの位置に配置されている。この構成でも、上記変形例Ｂ１３と同様に、平坦面４４の下流端部周辺や外周下流端１３２ｂ周辺にて気流の乱れが発生しても、その乱れが計測出口３３ｃに到達することを抑制できる。

　計測出口３３ｃよりも下流側において発生した気流の乱れが計測出口３３ｃに到達することを抑制するという観点では、計測出口３３ｃが平坦面４４の下流端部や外周下流端１３２ｂからできるだけ遠いことが好ましい。このため、奥行き方向Ｚにおいて、縦境界部１３１ａと計測出口３３ｃとの離間距離Ｌ１９が計測出口３３ｃの長さ寸法Ｌ１３より小さくなっていることが好ましい。

　変形例Ｂ５として、上記第１実施形態において、計測流路３２の排出路３２ｃが高さ方向Ｙにおいてハウジング基端側に向けて絞られていてもよい。例えば、図８８に示すように、排出路３２ｃの一部が奥行き方向Ｚに膨出した膨出領域４０６が計測流路３２に含まれた構成とする。膨出領域４０６は、排出路３２ｃと導入路３２ｂとが縦仕切壁６９により仕切られた状態を保つように導入路３２ｂ側に向けて膨らんでおり、排出路３２ｃのハウジング先端側の端部に配置されている。計測出口３３ｃは、膨出領域４０６の全体を幅方向Ｘに向けて開放する部分４０７ａと、導入路３２ｂとは反対側に向けて縦仕切壁６９から突出した部分４０７ｂとを有している。この場合、本変形例とは異なり、計測流路３２が膨出領域４０６を有していない構成に比べて、計測出口３３ｃの開放面積が大きくなるため、計測出口３３ｃからの吸入空気の排出量を増加させることができる。これにより、計測流路３２での空気の流速が大きくなることで流量検出部２２の計測精度を高めることができる。

　変形例Ｂ６として、上記第１実施形態等の上記各実施形態において、平坦面４４及び湾曲面４５は、ハウジング２１の外周面においてハウジング先端側の端面やハウジング基端側の端面に含まれていてもよい。この場合、計測出口３３ｃがハウジング２１においてハウジング先端側の端面やハウジング基端側の端面に設けられていることになる。

　変形例Ｂ７として、上記各実施形態において、計測出口３３ｃは平坦面４４と湾曲面４５とを跨いだ位置であれば、これら平坦面４４及び湾曲面４５との位置関係は上記各実施形態に限られない。例えば、上記第１実施形態において、平坦面４４は、下流平坦部１３７ａ、先端側平坦部１３７ｂ及び基端側平坦部１３７ｃの少なくとも１つを有していればよい。また、湾曲面４５は、上流湾曲部１３８ａ、先端側湾曲部１３８ｂ及び基端側湾曲部１３８ｃの少なくとも１つを有していればよい。要は、縦境界部１３１ａが高さ方向Ｙに延びるように平坦面４４及び湾曲面４５が配置されていればよい。なお、縦境界部１３１ａは、高さ方向Ｙに対して傾斜していてもよい。

　変形例Ｂ８として、上記第１実施形態等の上記各実施形態において、ハウジング２１の外周面において計測出口３３ｃが外周上流端１３２ａを幅方向Ｘに跨ぐ位置に配置されていてもよい。この場合でも、計測出口３３ｃの開放面積が流入口３３ａの開放面積より小さいことなどにより、順流空気が計測出口３３ｃに流れ込みにくい構成を実現することができる。

　変形例Ｂ９として、上記第１実施形態において、図６、図７等に図示されているように、平坦面４４に肉盗み部４１が設けられていてもよい。この場合でも、計測出口３３ｃと肉盗み部４１とが奥行き方向Ｚに離間していれば、仮に肉盗み部４１周辺にて気流の乱れが発生したとしても、この乱れが計測出口３３ｃに到達することを抑制できる。

　変形例Ｂ１０として、上記第１実施形態において、下流形成面１３５ｂは、テーパ面ではなく湾曲面になっていてもよい。要するに、下流形成面１３５ｂは、平坦面４４に対して傾斜した傾斜面であればよい。また、下流形成面１３５ｂが湾曲面である構成では、この湾曲面は、ハウジング２１の外周側に向けて突出するように湾曲していてもよく、ハウジング２１の内周側に向けて凹むように湾曲していてもよい。

　＜構成群Ｃの変形例＞
　変形例Ｃ１として、上記第１実施形態において、収容壁部１２１が位置保持部になっていなくてもよい。例えば、図８９に示すように、ハウジング本体２４が位置出し部４１１を有し、この位置出し部４１１が収容壁部１２１から内周側に向けて突出した構成とする。この構成では、ハウジング本体２４が張り出し部６６ａを有しておらず、収容壁部１２１が封止壁部１２２からハウジング先端側に向けて延びている。このため、高さ方向Ｙにおいて、収容壁部１２１と封止壁部１２２との境界部が封止領域ＰＡと収容領域ＰＢ１との境界部に一致している。

　位置出し部４１１は、収容壁部１２１の内周面に沿って延びており、収容壁部１２１のハウジング基端側の端部に配置されている。位置出し部４１１は板状に形成されており、位置出し部４１１においてハウジング基端側の板面４１１ａは、上記第１実施形態の領域段差面６６と同様に、センサＳＡ５０の回路段差面５５に接触している。この板面４１１ａは、ハウジング先端側へのセンサＳＡ５０の移動を規制しており、第３保持部に相当する。位置出し部４１１の先端面４１１ｂは、上記第１実施形態のハウジング突起７２ａ，７２ｂの先端面と同様に、センサＳＡ５０の中継部５２の外周面に接触していることで、幅方向Ｘ及び奥行き方向ＺへのセンサＳＡ５０の移動を規制している。この先端面４１１ｂのうち、幅方向Ｘを向いた部分が第１保持部に相当し、奥行き方向Ｚを向いた部分が第２保持部に相当する。

　位置出し部４１１は、リング保持部２５からハウジング先端側に離間した位置に設けられている。この場合、仮に樹脂成型に伴う変形がリング保持部２５や封止壁部１２２に生じたとしても、この変形がハウジング本体２４においてリング保持部２５と位置出し部４１１との間の部分で吸収されると考え有れる。このため、リング保持部２５や封止壁部１２２の変形に伴って位置出し部４１１の位置や形状が変化するということが生じにくくなっており、その結果、流量検出部２２の位置ずれが抑制される。

　変形例Ｃ２として、上記変形例Ｃ１において、位置出し部４１１は、ハウジング本体２４とは別部材により形成されていてもよい。例えば、図９０、図９１に示すように、位置出し部４１１を形成する位置出し部材４１２がハウジング本体２４に取り付けられた構成とする。位置出し部材４１２は、ハウジング本体２４とは異なり、導電性を有する金属材料等により形成されている。このように位置出し部材４１２が導電性を有していることで、絶縁性を有するハウジング本体２４に帯電する静電気が位置出し部材４１２により放電されやすくなる。このため、流量検出部２２の検出精度が静電気により低下するということを抑制できる。

　位置出し部材４１２は、奥行き方向Ｚに延びる奥行き部４１２ａと、幅方向Ｘに延びる一対の幅部４１２ｂとを有しており、各幅部４１２ｂは、奥行き部４１２ａの両端から同じ向きに延びている。位置出し部材４１２においては、センサＳＡ５０の回路段差面５５に接触する板面４１１ａが、奥行き部４１２ａ及び幅部４１２ｂの各板面により形成されている。また、センサＳＡ５０の中継部５２の外周面に接触する先端面４１１ｂが、位置出し部材４１２の内周面により形成されている。

　ハウジング本体２４の内周面には、位置出し部材４１２を支持する支持凹部４１３が形成されている。支持凹部４１３は、外周側に向けて凹んだ凹部であり、収容壁部１２１のハウジング基端側の端部に沿って溝状に延びている。位置出し部材４１２は、その外周端が支持凹部４１３に入り込んだ状態で支持凹部４１３に嵌合しており、位置出し部材４１２とハウジング本体２４とが接着材等により接合されている。位置出し部材４１２の奥行き部４１２ａは、センサＳＡ５０の表面側に配置されており、裏面側には配置されていない。

　ハウジング２１は、上記第１実施形態のように一体成型されているのではなく、上記第４実施形態のように複数の部材を組み付けて形成されている。例えば、複数の部材をそれぞれ樹脂成型し、位置出し部材４１２を金属成型した後、位置出し部材４１２が内部空間２４ａに収容されるように複数の部材を互いに組み付ける。

　本変形例によれば、位置出し部材４１２がハウジング本体２４とは別部材であるため、位置出し部４１１を形成する材料の選択自由度を高めることができる。また、センサＳＡ５０の仕様変更に伴って形状や大きさを設計変更した場合でも、位置出し部材４１２の形状や大きさを変更すれば、既存のハウジング２１を流用することができる。

　変形例Ｃ３として、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０，２２０が複数の物理量検出部を有していてもよい。例えば、上記第４実施形態において、センサＳＡ２２０が互いに異なる物理量を検出する２つの物理量検出部を有する構成とする。図９２に示すように、この構成のセンサＳＡ２２０は、空気の流量を検出する第１検出部４２１と、空気の温度を検出する第２検出部４２２とを、物理量検出部として有している。第１検出部４２１は、上記第４実施形態の流量検出部２０２と同様に、計測流路３２に設けられていることで計測流路３２での吸入空気の流量を検出する。第２検出部４２２は、上記第１実施形態の吸気温センサ２３と同様に、ハウジング２０１の外部に設けられていることで吸気通路１２での吸入空気の温度を検出する。

　センサＳＡ２２０は、第１検出部４２１を支持する第１支持部４２３と、第２検出部４２２を支持する第２支持部４２４とを有している。第１支持部４２３は、上記第４実施形態の検出支持部２２３と同様にＳＡベース部２２１からハウジング先端側に向けて延びている。第２支持部４２４は、ＳＡベース部２２１から奥行き方向Ｚにおいて上流壁部２３１に向けて延びており、ＳＡベース部２２１のハウジング先端側の端部寄りの位置に配置されている。ハウジング本体２０４の外周部には、第２支持部４２４が挿通された外周挿通部４２６が設けられており、第２検出部４２２は、第２支持部４２４において外周挿通部４２６を通じてハウジング外側に露出した部分に配置されている。

　ハウジング本体２０４には、その外周面が下流側に向けて凹むことで形成されたハウジング凹部４２７が設けられている。ハウジング凹部４２７は、高さ方向Ｙにおいてハウジング本体２０４の中間位置に配置されている。上流壁部２３１においては、上記第４実施形態において第１規制部２５１と第２規制部２５５とを接続していた部分が設けられていない。この部分に代えて、第１規制部２５１と第２規制部２５５とを接続する規制接続部４２８が、上流壁部２３１よりも下流壁部２３２寄りの位置に設けられており、規制接続部４２８の外周面によりハウジング凹部４２７の底面が形成されている。規制接続部４２８は、第１規制部２５１や第２規制部２５５と同様に、ベース部材２６１に含まれており、これら規制部２５１，２５５等と一体成型されている。

　外周挿通部４２６は規制接続部４２８に設けられている。外周挿通部４２６は、規制接続部４２８を奥行き方向Ｚに貫通する貫通孔であり、外周挿通部４２６の内周面４２６ａが第２支持部４２４の外周面に接触している。この場合、第２支持部４２４が幅方向Ｘや高さ方向Ｙに移動することが外周挿通部４２６の内周面４２６ａにより規制されており、この内周面４２６ａを位置出し面と称することができる。また、規制接続部４２８の下流側板面はＳＡベース部２２１の外周面に接触している。この場合、センサＳＡ２２０が上流側に向けて移動することが規制接続部４２８の下流側板面により規制されており、この下流側板面を位置出し面と称することができる。

　また、図９２に示すように、ハウジング２０１がシール部材２０６を有していなくてもよい。この場合でも、ハウジング取付部がフランジ部２０７により構成されており、ハウジング取付部の肉厚化が図られていることに変わりはない。なお、ハウジング取付部は、必ずしも収容壁部１２１より肉厚になっていなくてもよい。

　変形例Ｃ４として、上記第４実施形態において、第１規制部２５１や第２規制部２５５が、ハウジング本体２０４とは別部材により形成されていてもよい。例えば、第１規制部２５１を形成する第１規制部材がハウジング本体２０４に取り付けられた構成とする。この構成では、第１規制部材が板状に形成されている。ハウジング本体２０４の内周面には、第１規制部材を支持する支持凹部が形成されており、この支持凹部に第１規制部材の外周端が嵌合されている。第１規制部材は、導電性を有する金属材料等により形成されている。このように第１規制部材が導電性を有していることで、絶縁性を有するハウジング本体２０４に帯電する静電気が第１規制部材により放電されやすくなる。このため、流量検出部２０２の検出精度が静電気により低下するということを抑制できる。

　変形例Ｃ５として、上記第１実施形態において、ハウジング本体２４の奥行きハウジング突起７２ｂは、第１保持部及び第２保持部のうち一方だけの機能を有していてもよい。例えば、ＳＡ側面１２６において奥行き方向Ｚに直交した部分に奥行きハウジング突起７２ｂが接触した構成とする。この構成の奥行きハウジング突起７２ｂは、センサＳＡ５０を奥行き方向Ｚについて位置保持することになり、第１保持部の機能を有する一方で、第２保持部の機能を有していないことになる。

　また、幅ハウジング突起７２ａが第１保持部及び第２保持部の両方の機能を有していてもよい。例えば、センサＳＡ５０の外周面において幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方に傾斜した部分に幅ハウジング突起７２ａが接触した構成とする。この構成の幅ハウジング突起７２ａは、センサＳＡ５０を幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方について位置保持することになり、第１保持部及び第２保持部の両方の機能を有することになる。

　変形例Ｃ６として、第３保持部が第１保持部及び第２保持部の少なくとも一方の機能を有していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング本体２４の領域段差面６６が高さ方向Ｙに直交せずに、高さ方向Ｙに対して傾斜した構成をする。この構成では、領域段差面６６が内周側を向くように幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに対して傾斜しており、センサＳＡ５０の回路段差面５５が外周側を向くように幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚに対して傾斜している。この場合、回路段差面５５が領域段差面６６の内側に入り込んだ状態になっており、回路段差面５５が領域段差面６６に接触していることで、高さ方向Ｙだけでなく、幅方向Ｘ及び奥行き方向ＺについてもセンサＳＡ５０の移動が規制されている。このため、領域段差面６６が第３保持部としての機能に加えて、第１保持部及び第２保持部の機能を有していることになる。なお、回路段差面５５や領域段差面６６は、テーパ面で傾斜していてもよく、湾曲面で傾斜していてもよい。

　変形例Ｃ７として、センサＳＡ５０，２２０である検出ユニットにおいてハウジングの位置保持部に接触する部分が、検出ユニットにおいて流量検出部２２，２０２等の物理量検出部寄りの位置になくてもよい。例えば、上記第１実施形態では、流量検出部２２と回路段差面５５との離間距離Ｌ３が、センサＳＡ５０の基端部と回路段差面５５との離間距離Ｌ４より大きくなっていてもよい。

　変形例Ｃ８として、物理量計測装置はＯリング２６やシール部材２０６等のシール部材を介さずに吸気管１２ａに対して固定されていてもよい。例えば、ハウジングが、エアフロ挿入孔１２ｂに嵌合するハウジング嵌合部を有しており、このハウジング嵌合部の外周面とエアフロ挿入孔１２ｂの内周面とが密着した構成とする。この構成では、ハウジング嵌合部がハウジング取付部に含まれており、収容壁部１２１や第１規制部２５１等の位置保持部はハウジング嵌合部よりもハウジング先端側に設けられている。

　変形例Ｃ９として、ハウジングにおいて吸気通路１２内に入り込んでいない部分の全体がハウジング取付部になっていてもよい。例えば、上記第４実施形態において、シール保持部２０５及びフランジ部２０７に加えて、ハウジング２０１において吸気通路１２に入り込んでいない部分もハウジング取付部に含まれる構成とする。この構成では、ハウジング本体２０４のうち、エアフロ挿入孔１２ｂの内周面や管フランジ１２ｃの内周面に対向している部分がハウジング取付部に含まれる。この構成でも、位置保持部としての第１規制部２５１がハウジング取付部よりもハウジング先端側にあれば、樹脂成型に伴う変形がハウジング取付部に生じたとしても、その変形により第１規制部２５１の位置や形状が意図せずに変化するということを抑制できる。

　変形例Ｃ１０として、ハウジング開口部は奥行き方向Ｚに向けて開放されていてもよい。例えば、上記第４実施形態において、ハウジング開口部２４１がハウジング本体２０４の上流壁部２３１又は下流壁部２３２に設けられた構成とする。この構成でも、センサＳＡ２２０をハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに挿入することや、熱硬化性樹脂をハウジング開口部２４１から内部空間２０４ａに注入することが可能である。

　変形例Ｃ１１として、ハウジングを形成する際に互いに組み付けられる部材は３個以上であってもよい。例えば、上記第４実施形態において、ベース部材２６１に表カバー部材及び裏カバー部材という２つのカバー部材が組み付けられる構成とする。この構成では、表カバー部材がカバー部材２６２であり、裏カバー部材が、ハウジング本体２０４の裏壁部２３４の少なくとも一部を有する部材である。

　変形例Ｃ１２として、センサＳＡ５０，２２０である検出ユニットの全てがハウジングの内部空間に収容されていなくてもよい。すなわち、検出ユニットの少なくとも一部が内部空間に収容されていればよい。例えば、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０のリードターミナル５４の先端部がハウジング開口部６１を通じて外部に突出した構成とする。この構成でも、リードターミナル５４を覆う部材をハウジング２１に取り付けることで、リードターミナル５４やコネクタターミナル２８ａを保護することができる。

　変形例Ｃ１３として、収容壁部１２１や第１規制部２５１等の位置保持部は、ハウジングにおいてハウジング取付部から離間した位置であれば、ハウジング取付部よりもハウジング基端側に設けられていてもよい。この構成でも、位置保持部とハウジング取付部とが離間しているため、樹脂成型に伴う変形がハウジング取付部に生じたとしても、この変形によって位置保持部の位置や形状が変化するということを抑制できる。

　変形例Ｃ１４として、吸入空気の流量とは異なる物理量を検出する物理量検出部が計測流路に設けられていてもよい。計測流路に設けられる物理量検出部としては、流量検出部２２，２０２の他に、温度を検出する検出部や、湿度を検出する検出部、圧力を検出する検出部などが挙げられる。これら検出部は、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０，２２０に搭載されていてもよく、搭載されていなくてもよい。検出ユニットに搭載されていない物理量検出部は、計測流路の内周面に取り付けられていてもよく、計測流路の内周面から突出した凸部等に取り付けられていてもよい。また、物理量検出部は、計測流路でなくてもバイパス流路３０，２１０に設けられていればよい。すなわち、物理量検出部が通過流路に設けられていてもよい。

　＜構成群Ｄの変形例＞
　変形例Ｄ１として、型装置は、通過流路を成型する通過型部を複数有していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図９３、図９４に示すように、ハウジング２１の通過流路３１が通過型部４３１ａ，４３１ｂにより成型される構成とする。

　この構成の通過流路３１は、流入通過路３１ａと流出通過路３１ｂとの間に設けられた絞り通過部４３３を有している。絞り通過部４３３が流出口３３ｂに向けて通過流路３１を絞っている一方で、流出通過路３１ｂは、流出口３３ｂに向けて通過流路３１を絞っていない。例えば、絞り通過部４３３の内周面には壁絞り面１５３ａが含まれている一方で、流出通過路３１ｂの内周面には壁絞り面１５３ａが含まれていない。絞り通過部４３３と流出通過路３１ｂとの境界部を絞り境界部４３４と称すると、通過流路３１は、絞り境界部４３４から流入口３３ａ及び流出口３３ｂのいずれに向けても絞られていない。

　型装置９０は、上記第１実施形態の通過型部１０４に代えて、流入通過型部４３１ａ及び流出通過型部４３１ｂを有している。型装置９０においては、これら通過型部４３１ａ，４３１ｂは、互いに当接しているとともに、それぞれ計測成型部９７にも当接している。流入通過型部４３１ａと流出通過型部４３１ｂとは、それぞれの先端面同士で当接しており、計測成型部９７の先端面には通過型部４３１ａ，４３１ｂのそれぞれのハウジング基端側の面が当接している。

　流入通過型部４３１ａ及び流出通過型部４３１ｂは、それぞれの先端面に向けて太くはなっていない。このため、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０を取り外す場合に、流入通過型部４３１ａを流入口３３ａから抜き取ることが可能になっており、流出通過型部４３１ｂを流出口３３ｂから抜き取ることが可能になっている。なお、流入通過型部４３１ａが流入型部に相当し、流出通過型部４３１ｂが流出型部に相当する。

　本変形例によれば、通過流路３１において、絞り境界部４３４より流入口３３ａ側の部分が流入通過型部４３１ａにより成型され、絞り境界部４３４より流出口３３ｂ側の部分が流出通過型部４３１ｂにより成型される。このため、流入通過型部４３１ａを流出口３３ｂから抜き取る必要がなく、流出通過型部４３１ｂを流入口３３ａから抜き取る必要がないため、通過流路３１の形状や大きさに関する設計や製造の自由度を高めることができる。しかも、流入通過型部４３１ａを流入口３３ａから抜き取り可能であり、流出通過型部４３１ｂを流出口３３ｂから抜き取り可能であるため、通過流路３１の内周面を一体成型することができる。

　変形例Ｄ２として、型凸部が型凹部に嵌合することで通過型部と計測型部との位置ずれが規制される構成では、通過型部及び計測型部のいずれが型凸部を有していてもよい。例えば、上記第５実施形態では、計測成型部９７が型凸部３３４を有し、通過型部１０４が型凹部３３５を有していたが、計測成型部９７が型凹部３３５を有し、通過型部１０４が型凸部３３４を有していてもよい。

　例えば、上記第１実施形態において、図９５に示すように、通過型部１０４の先端面が外周型部１０２，１０３ではなく計測成型部９７に当接した構成とする。この構成では、樹脂成型されたハウジング２１から型装置９０が取り外される前の状態で、通過流路３１にて計測成型部９７が通過型部１０４と外周型部１０２，１０３との間に入り込んでおり、通過型部１０４の先端面と計測成型部９７の側面とが当接している。この当接部分において、通過型部１０４の先端面には型凸部３３４が設けられ、計測成型部９７の側面には型凹部３３５が設けられている。この場合、上記第１実施形態とは異なり、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取った後に、計測成型部９７をハウジング２１から取り外すことになる。

　なお、型凸部が型凹部に嵌合する構成は、上記変形例Ｄ１に適用されてもよい。例えば、流入通過型部４３１ａ及び流出通過型部４３１ｂのそれぞれに型凹部３３５が設けられ、計測成型部９７には、通過型部４３１ａ，４３１ｂの各型凹部３３５に嵌合する型凸部３３４が設けられた構成とする。また、型凸部及び型凹部のうち一方が流入通過型部４３１ａに設けられ、他方が流出通過型部４３１ｂに設けられていてもよい。この場合は、流入通過型部４３１ａと流出通過型部４３１ｂとが幅方向Ｘや高さ方向Ｙに位置ずれすることを規制できる。

　変形例Ｄ３として、上記第５実施形態において、型凹部３３５は型凸部３３４の四方を囲んでいなくてもよい。例えば、通過型部１０４において型凹部３３５が幅方向Ｘに開放された構成とする。この構成では、型凹部３３５は、内側通過面１５９において幅方向Ｘに延びた溝部になっており、型凸部３３４は、その溝部に沿って延びた形状になっている。この構成でも、型凸部３３４が型凹部３３５の内部に入り込むことで、奥行き方向Ｚについて通過型部１０４と計測成型部９７との相対的な移動が規制される。

　変形例Ｄ４として、流入口が奥行き方向Ｚに対して傾斜した向きに開放されていてもよい。例えば、流入口がハウジング基端側とは反対側に向けて斜めに開放されていてもよい。例えば、上記第５実施形態において、図９６に示すように、奥行き方向Ｚにおいて、通過床面１５２の上流端部が通過天井面１５１の上流端部より流出口３３ｂに近い位置に配置された構成とする。

　この構成では、上記第５実施形態に比べて、奥行き方向Ｚにおいて通過床面１５２の長さ寸法が小さくなっており、小さくなった分だけ通過床面１５２は高さ方向Ｙにも短くなっている。このため、上記第５実施形態に比べて、高さ方向Ｙでの流入口３３ａの高さ寸法が小さくなっており、小さくなった分だけ異物が流入口３３ａから進入しにくくなっている。

　通過床面１５２に床絞り面１５２ａが含まれた構成では、床絞り面１５２ａに当たって進む向きが変わることでかえって計測流路３２に進入しやすくなる異物が存在すると考えられる。これに対して、本変形例では、通過床面１５２が奥行き方向Ｚに長いほど、異物の進む向きを計測流路３２に進入しやすい向きに変える可能性が高いと想定し、床絞り面１５２ａにおいて通過天井面１５１の上流端部に高さ方向Ｙに並ぶ部分が設置されていない。すなわち、床絞り面１５２ａにおいて、異物の進む向きを計測流路３２に進入しやすい向きに変える可能性の高い部分が削除されている。このため、床絞り面１５２ａに当たった異物が計測流路３２に進入するということを抑制できる。

　変形例Ｄ５として、流路境界部３４は流出口３３ｂ側を向いていなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、流路境界部３４が通過天井面１５１と同様に奥行き方向Ｚに延びた構成とする。この構成では、型装置９０において、計測成型部９７と通過型部１０４との境界部が流路境界部３４に一致することになる。

　変形例Ｄ６として、通過型部は流入口ではなく流出口から抜き取られてもよい。例えば、上記第１実施形態において、通過型部１０４が流出口３３ｂから抜き取られる構成とする。この構成では、通過型部１０４がその先端部に向けて太くなっていないことは上記第１実施形態と同様であるが、通過型部１０４が外周型部１０２，１０３に組み付けられる向きが上記第１実施形態とは反対になる。また、通過流路３１においては、上記第１実施形態とは反対に、流入口３３ａから流出口３３ｂに向けて絞られない構成になっている。

　変形例Ｃ７として、上記第５実施形態において、通過床面１５２において傾斜角度θ３が場所によって均一でなくてもよい。このでも、通過床面１５２の上流端部と下流端部とを真っ直ぐに結んだ仮想線を想定し、流入天井部３３２ａに対する仮想線の傾斜角度が流路境界部３４の傾斜角度θ２より大きいことで、通過型部１０４を流入口３３ａから抜き取り可能な構成を実現できる。

　＜構成群Ｅの変形例＞
　変形例Ｅ１として、上記第４実施形態において、エアフロメータ２００が、コネクタ領域ＱＣにおいてコネクタターミナル２０８ａを支持するターミナル支持部を有していてもよい。例えば、図９７～図９９に示すように、コネクタ領域ＱＣにおいて、ターミナル支持部としての裏支持部４４１が第２ターミナル部２８２ｂと裏壁部２３４との間に設けられた構成とする。裏支持部４４１は、合成樹脂材料により板状に形成されており、裏壁部２３４の内周面に重ねられた状態で、この裏壁部２３４に接着剤等により接合されている。第２ターミナル部２８２ｂは、裏支持部４４１においてハウジング開口部２４１側の板面に当接している。この場合、裏支持部４４１は、第２ターミナル部２８２ｂをハウジング開口部２４１とは反対側から支持していることになる。

　裏支持部４４１は、高さ方向Ｙにおいて第２ターミナル部２８２ｂとリードターミナル２２４とにかけ渡された状態になっている。すなわち、裏支持部４４１は、第２ターミナル部２８２ｂとリードターミナル２２４との境界部を高さ方向Ｙに跨いだ位置に設けられている。リードターミナル２２４は、第２ターミナル部２８２ｂと同様に、裏支持部４４１においてハウジング開口部２４１側の板面に当接している。この場合、裏支持部４４１は、第２ターミナル部２８２ｂに加えて、リードターミナル２２４をハウジング開口部２４１とは反対側から支持していることになる。

　ハウジング２０１においては、センサＳＡ２２０のＳＡ本体２２５が裏壁部２３４に引っ掛かった状態になっており、裏壁部２３４におけるハウジング開口部２４１側の壁面２８３がセンサＳＡ２２０の位置を保持している。裏支持部４４１においては、センサＳＡ２２０のリードターミナル２２４が裏支持部４４１に引っ掛かった状態になっており、裏支持部４４１におけるハウジング開口部２４１側の板面４４１ａがリードターミナル２２４の位置を保持している。この場合、壁面２８３がユニット保持面に相当し、板面４４１ａがターミナル保持面に相当する。

　なお、裏支持部４４１は、金属材料により形成されていてもよい。また、ハウジング２０１の一部により裏支持部４４１が形成されていてもよい。例えば、ハウジング２０１の裏壁部２３４がハウジング開口部２４１側に向けて突出した凸部により裏支持部４４１が形成された構成とする。この構成では、凸部の先端面が裏支持部４４１の板面４１１ａであり、ターミナル保持面に相当する。

　本変形例によれば、コネクタ領域ＱＣにおいて、第２ターミナル部１７２ｂが裏支持部４４１によりハウジング開口部２４１とは反対側から支持されている。このため、第２ターミナル部１７２ｂが意図せずに変形したり変位したりすることが生じにくくなっている。この場合、リードターミナル２２４に対して第２ターミナル部２８２ｂが位置ずれすることで、これら第２ターミナル部２８２ｂとリードターミナル２２４とを適正に接合することができない、ということを抑制できる。

　本変形例によれば、ハウジング開口部２４１と裏支持部４４１との間に入り込んだリードターミナル２２４が、裏支持部４４１によりハウジング開口部２４１とは反対側から支持されている。このため、リードターミナル２２４が意図せずに変形したり変位したりすることが生じにくくなっている。この場合、第２ターミナル部２８２ｂに対してリードターミナル２２４が位置ずれすることで、これら第２ターミナル部２８２ｂとリードターミナル２２４とを適正に接合することができない、ということを抑制できる。

　本変形例によれば、センサＳＡ２２０のリードターミナル２２４を支持する裏支持部４４１の板面４４１ａが、ＳＡ本体２２５を支持する裏壁部２３４の壁面２８３よりもハウジング開口部２４１に近い位置に配置されている。この場合、第２リード部３４２とリードターミナル２２４とを接合する際に、接合具を板面４４１ａよりも深い位置に差し入れる必要がないため、接合具が意図せずにハウジング２０１に接触することなどを抑制できる。

　変形例Ｅ２として、上記第４実施形態において、コネクタターミナル２０８ａとリードターミナル２２４との接続部分では、これらコネクタターミナル２０８ａとリードターミナル２２４とが、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚではなく、高さ方向Ｙに並んでいてもよい。例えば、図９７、図９８に示すように、第２ターミナル部２８２ｂ及びリードターミナル２２４のそれぞれがハウジング開口部２４１に向けて延びた構成とする。

　この構成の第２ターミナル部２８２ｂは、シール保持部２０５から延びたターミナル延出部４４３ａと、ターミナル延出部４４３ａからハウジング開口部２４１に向けて起立したターミナル起立部４４３ｂとを有している。リードターミナル２２４は、ＳＡ本体２２５から延びたリード延出部４４４ａと、リード延出部４４４ａからハウジング開口部２４１に向けて起立したリード起立部４４４ｂとを有している。リード起立部４４４ｂは、ターミナル起立部４４３ｂに沿って幅方向Ｘに延びており、ターミナル起立部４４３ｂに溶接等により接合されている。ターミナル起立部４４３ｂが縦ターミナル部に相当する。

　本変形例によれば、ターミナル起立部４４３ｂが裏支持部４４１からハウジング開口部２４１に向けて延びている。この場合、リード起立部４４４ｂとターミナル起立部４４３ｂとを溶接電極等の接合具により挟み込む際に、ハウジング開口部２４１からリード起立部４４４ｂやターミナル起立部４４３ｂの奥側に接合具を入り込ませる必要がない。このため、接合具を用いてリード起立部４４４ｂとターミナル起立部４４３ｂとを接合する際に、その接合作業を容易化できる。

　変形例Ｅ３として、上記第４実施形態において、リードターミナル２２４やコネクタターミナル２０８ａが曲がり部としてのベント４４５を有していてもよい。例えば、図９８に示すように、リードターミナル２２４のリード延出部４４４ａとコネクタターミナル２０８ａのターミナル延出部４４３ａとのそれぞれがベント４４５を有する構成とする。また、図９９に示すように、リードターミナル２２４及び第２ターミナル部２８２ｂのそれぞれがベント４４５を有する構成とする。いずれの構成でも、リードターミナル２２４やコネクタターミナル２０８ａに加えられた応力をベント４４５により緩和することができる。

　変形例Ｅ４として、上記変形例Ｃ３と同様に、検出ユニットとしてのセンサＳＡ５０，２２０が複数の物理量検出部を有していてもよい。上記変形例Ｃ３では、上記第４実施形態において、第１検出部４２１がハウジング２０１の内部に設けられ、第２検出部４２２がハウジング２０１の外部に設けられた構成が例示されている。これに対して、本変形例では、第１検出部４２１及び第２検出部４２２が両方ともハウジング２０１の内部に設けられた構成を例示する。例えば、上記第４実施形態において、図１００、図１０１に示すように、センサＳＡ２２０においてハウジング開口部２４１側の板面に第１検出部４２１が配置され、ハウジング開口部２４１とは反対側の板面に第２検出部４２２が配置された構成とする。この構成では、第１検出部４２１が表壁部２３３に対向し、第２検出部４２２が裏壁部２３４に対向することになる。

　変形例Ｅ５として、上記第４実施形態において、センサＳＡ２２０とカバー部材２６２とが互いに組み付けられた状態で、これらセンサＳＡ２２０とカバー部材２６２とがまとめてベース部材２６１に取り付けられてもよい。例えば、図１０２に示すように、センサＳＡ２２０とカバー部材２６２とを互いに組み付けることでカバーユニット４４７を作成し、このカバーユニット４４７をベース部材２６１に取り付ける構成とする。この構成によれば、部品点数を削減することや、エアフロメータ２００の構造を簡素化することが可能になる。

　変形例Ｅ６として、ハウジングの内部空間がカバー部材により封止されてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１０３に示すように、ハウジング２１の内部空間２４ａがカバー部材４４８により封止された構成とする。この構成では、内部空間２４ａに熱硬化性樹脂が充填されていないことでポッティング部６５が形成されていない。カバー部材４４８は、ハウジング２１とは独立して樹脂成型された別部材であり、ハウジング開口部６１に嵌合されている。なお、ポッティング部６５及びカバー部材４４８の両方により内部空間２４ａが封止されていてもよい。例えば、内部空間２４ａに熱硬化性樹脂が充填されることでポッティング部６５が形成された後に、ハウジング開口部６１に対してカバー部材４４８が取り付けられた構成とする。

　また、上記第４実施形態において、図１０４、図１０５に示すように、ハウジング２０１の内部空間２０４ａがカバー部材４４９により封止された構成とする。この構成では、上記第４実施形態のようにベース部材２６１の開放部分においてカバー部材２６２により閉鎖されていない部分がハウジング開口部２４１になっているのではなく、ベース部材２６１の開放部分の全体がハウジング開口部２４１になっている。カバー部材４４９は、ハウジング開口部２４１に嵌合されていることで、ハウジング開口部２４１の全体を閉鎖している。なお、ポッティング部２４２及びカバー部材４４９の両方により内部空間２０４ａが封止されていてもよい。例えば、内部空間２０４ａに熱硬化性樹脂が充填されることでポッティング部２４２が形成された後、ハウジング開口部２４１に対してカバー部材２６２が取り付けられた構成とする。

　変形例Ｅ７として、コネクタターミナルは本体領域にはみ出していてもよい。この場合でも、検出ユニットとハウジング開口部とが並ぶ方向において、コネクタターミナルが検出ユニットとハウジング開口部との間に入り込んでいない構成であれば、検出ユニットをハウジングの内部空間に挿入する際にコネクタターミナルが支障にならない。例えば、上記第１実施形態において、コネクタターミナル２８ａが本体領域ＰＣ１にはみ出していることで、第２ターミナル部１７２ｂが本体領域ＰＣ１に配置された構成とする。この構成でも、第２ターミナル部１７２ｂが高さ方向Ｙにおいてハウジング開口部６１とセンサＳＡ５０との間に入り込んでいなければよい。

　変形例Ｅ８として、上記第１実施形態において、コネクタターミナル２８ａの接続ターミナル部１７２ｃがコネクタ領域ＰＣ２側に露出していてもよい。例えば、接続ターミナル部１７２ｃが封止段差面６７からハウジング開口部６１側に離間した構成とする。この構成でも、接続ターミナル部１７２ｃや第２ターミナル部１７２ｂが本体領域ＰＣ１にはみ出していなければ、これらターミナル部１７２ｂ，１７２ｃが内部空間２４ａへのセンサＳＡ５０の挿入の支障になることを抑制できる。

　変形例Ｅ９として、上記第１実施形態において、第２ターミナル部１７２ｂは、高さ方向Ｙではなく、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚに延びていてもよい。

　変形例Ｅ１０として、ハウジングの内部空間において、ハウジング開口部と検出ユニットとの並び方向において、コネクタ領域がハウジング開口部とユニット本体との間に配置されていなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、高さ方向Ｙにおいて封止段差面６７がリードターミナル５４よりもハウジング開口部６１から遠い位置に配置された構成とする。この構成では、幅方向Ｘにおいてコネクタ領域ＰＣ２がセンサＳＡ５０に横並びに配置されていることになる。

　変形例Ｅ１１として、コネクタターミナルがハウジングに固定された構成であれば、必ずしもコネクタターミナルの一部がハウジングに埋め込まれていなくてもよい。例えば、型装置を用いてハウジングを樹脂成型した後に、このハウジングにコネクタターミナルが取り付けられる構成とする。この構成でも、ハウジングの内部空間への検出ユニットの挿入にコネクタターミナルが支障にならない物理量計測装置であれば、ハウジングへのコネクタターミナルの取り付けた後に、ハウジングの内部空間に検出ユニットを設置することができる。

　＜構成群Ｆの変形例＞
　変形例Ｆ１として、上記変形例Ｅ６と同様に、ハウジングの内部空間に設置された検出ユニットがカバー部材によりハウジング開口側から覆い隠されていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１０６に示すように、内部空間２４ａに設置されたセンサＳＡ５０がハウジング開口部６１側からカバー部材４４８により覆い隠された構成とする。この構成のカバー部材４４８は、センサＳＡ５０に加えて接続部分１８３も覆っている。カバー部材４４８は、内部空間２４ａに入り込んだ部分と、リップ８９の端面に重ねられた部分とを有しており、内部空間２４ａに入り込んだ部分は、封止領域ＰＡの内周面１８０に嵌合されている。

　この構成では、内部空間２４ａに対してポッティング部６５及びカバー部材４４８の両方が設けられており、カバー部材４４８は、ポッティング部６５を挟んでセンサＳＡ５０とは反対側に配置されている。この場合、ポッティング部６５及びカバー部材４４８の少なくとも一方が内部空間２４ａを封止していればよい。

　エアフロメータ１４の製造時においては、カバー部材４４８をハウジング２１とは別部材として型装置等を用いて樹脂成型する。そして、ハウジング２１の内部空間２４ａにセンサＳＡ５０を設置し、熱硬化性樹脂を内部空間２４ａに注入することなどによりポッティング部６５を形成した後に、ハウジング２１に対してカバー部材４４８を取り付ける。この場合、接着剤や溶融樹脂等を用いて、封止領域ＰＡの内周面１８０やリップ８９の端面に対してカバー部材４４８を固定する。

　また、カバー部材４４８がセンサＳＡ５０をハウジング開口部６１側から覆い隠す構成としては、図１０７に示すように、ポッティング部６５が設けられていない構成が挙げられる。この構成では、内部空間２４ａがポッティング部６５により封止されていないため、カバー部材２６２が内部空間２４ａを封止していることが好ましい。

　さらに、上記第４実施形態において、変形例Ｅ６と同様に、図１０５に示すように、内部空間２０４ａに設置されたセンサＳＡ２２０がハウジング開口部２４１側からカバー部材４４９により覆い隠された構成とする。

　本変形例によれば、ハウジング２１とは別部材として作成されたカバー部材４４８がハウジング２１に取り付けられることで、内部空間２４ａに設置されたセンサＳＡ５０がカバー部材４４８により覆い隠される。この場合、カバー部材４４８をハウジング２１に取り付ける際に内部空間２４ａに圧力が付与されにくいため、センサＳＡ５０の位置ずれが生じにくくなっている。したがって、流量検出部２２の検出精度が製品ごとにばらつくということを抑制できる。

　変形例Ｆ２として、ハウジングは、ハウジング開口部から熱硬化性樹脂が溢れた場合にこの熱硬化性樹脂を貯留する貯留溝を有していてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１０８に示すように、ハウジング２１が、ハウジング開口部６１から溢れたポッティング材１８５を貯留する貯留溝４６１を有する構成とする。貯留溝４６１は、ハウジング開口部６１の周縁部に沿って環状に延びており、リップ８９を挟んで封止領域ＰＡとは反対側において、リップ８９から外周側に離間した位置に配置されている。貯留溝４６１は、ハウジング２１の基端面であるハウジング基端面１９２に設けられており、高さ方向Ｙに向けて開放されている。

　ハウジング基端面１９２は、ハウジング本体２４の外周面やフランジ部２７の外周面等により形成されており、貯留溝４６１は、ハウジング基端面１９２においてハウジング本体２４の外周面により形成された部分に設けられている。なお、貯留溝４６１は、ハウジング基端面１９２においてフランジ部２７の外周面により形成された部分に設けられていてもよい。

　本変形例では、ポッティング材１８５を内部空間２４ａに注入している際に、このポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れ出してしまったとしても、溢れたポッティング材１８５が貯留溝４６１に貯留される。このため、ポッティング材１８５が貯留溝４６１よりも広範囲に広がってしまい、エアフロメータ１４や作業台など意図しない部分にポッティング材１８５が付着することを抑制できる。

　変形例Ｆ３として、ハウジングは開口リブ部を有していなくてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１０９に示すように、開口リブ部としてのリップ８９がハウジング本体２４から延びておらず、上記変形例Ｆ２と同様に、ハウジング開口部６１の外周側に貯留溝４６１が設けられた構成とする。この構成では、ハウジング開口部６１がリップ８９ではなくハウジング本体２４により形成されており、貯留溝４６１はハウジング基端面１９２に配置されている。この構成によれば、上記変形例Ｆ２と同様に、ハウジング開口部６１から溢れたポッティング材１８５が貯留溝４６１に貯留される。

　また、図１１０に示すように、ハウジング２１がリップ８９及び貯留溝４６１の両方を有していなくてもよい。この構成でも、ポッティング材１８５の液面や流体面がハウジング開口部６１に到達しないように、内部空間２４ａへのポッティング材１８５の注入量を調整することで、ポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れることを抑制できる。

　変形例Ｆ４として、開口リブ部の内周面とハウジング本体の内周面とが面一になっておらず、開口リブ部の内周面とハウジング本体の内周面との間に段差が形成されていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１１１に示すように、封止領域ＰＡの内周面１８０において、リップ８９の内周面がハウジング本体２４の内周面より外周側に配置された構成とする。この構成では、リップ８９の内周面とハウジング本体２４の内周面との間に、ハウジング開口部６１側を向いた開口段差面４６３が形成されている。開口段差面４６３は、リップ８９と同様にハウジング開口部６１の周縁部に沿って環状に延びている。

　この構成によれば、作業者がポッティング材１８５を内部空間２４ａに注入する際に、このポッティング材１８５が開口段差面４６３に達しないようにポッティング材１８５の注入量を調整することが好ましい。この場合、仮にポッティング材１８５が開口段差面４６３に達したとしても、まだポッティング材１８５はハウジング開口部６１に達しておらず、リップ８９を越えてポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れ出すということを抑制できる。

　変形例Ｆ５として、ハウジングの内周面を凹ませた内周凹部が内部空間の開放端部に設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１１２に示すように、封止領域ＰＡの内周面１８０を凹ませた内周凹部４６４が、内周面１８０とハウジング基端面１９２とにかけ渡された位置に設けられた構成とする。内周凹部４６４は、ハウジング開口部６１に向けても開放されており、ハウジング開口部６１の周縁部に沿って環状に延びている。内周凹部４６４の内周面は内周面１８０を形成している。

　この構成によれば、作業者がポッティング材１８５を内部空間２４ａに注入する際に、このポッティング材１８５が内周凹部４６４に達しないようにポッティング材１８５の注入量を調整することが好ましい。この場合、仮にポッティング材１８５が内周凹部４６４に達したとしても、まだポッティング材１８５は、ハウジング開口部６１に達しておらず、内周凹部４６４を越えてポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れ出すということを抑制できる。

　また、図１１３に示すように、内周凹部４６４の内部に入り込んできたポッティング材１８５を貯留する凹内溝４６５が内周凹部４６４に設けられた構成とする。凹内溝４６５は、内周凹部４６４の内周面のうちハウジング開口部６１側を向いた面に形成されており、ハウジング開口部６１側に向けて開放されている。凹内溝４６５は、内周凹部４６４に沿って環状に延びている。

　この構成によれば、内周凹部４６４の容積が凹内溝４６５の容積の分だけ大きくなっている。このため、内部空間２４ａに注入されているポッティング材１８５が内周凹部４６４に達したとしても、そのポッティング材１８５がハウジング開口部６１に達するまでに必要なポッティング材１８５の注入量が多くなっている。したがって、内周凹部４６４を越えてポッティング材１８５がハウジング開口部６１から溢れ出すということが、凹内溝４６５の容積の分だけ生じにくくなっている。

　変形例Ｆ６として、ハウジング基端面の内周端を面取りした面取り部が内部空間の開放端部に設けられていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、図１２１に示すように、ハウジング２１の出隅部分を面取りした面取り部４６６が、ハウジング基端面１９２と内周面１８０とにかけ渡されるように設けられた構成とする。面取り部４６６は、ハウジング基端面１９２と封止領域ＰＡの内周面１８０とが交差する出隅部分を面取りした面取り面であり、高さ方向Ｙにおいてハウジング基端面１９２に向けて封止領域ＰＡを徐々に拡張する向きに真っ直ぐに延びている。面取り部４６６は、ハウジング開口部６１の周縁部に沿って環状に延びている。

　この構成によれば、ポッティング材１８５が内部空間２４ａから溢れ出さない範囲で、面取り部４６６に達するまで内部空間２４ａに注入されることが好ましい。この場合、ポッティング材１８５が面取り部４６６を這い上がりやすくなっており、ポッティング材１８５が面取り部４６６を這い上がった分だけポッティング面１９３が拡張されるため、ポッティング面１９３に付与する情報部１９４を大型化できる。これにより、情報部１９４の視認性を高めることができる。

　なお、面取り部４６６は湾曲面であってもよい。この湾曲面としては、高さ方向Ｙにおいて面取り部４６６がハウジング基端面１９２側に膨らんだ湾曲面や、面取り部４６６がハウジング先端面１９１側に凹んだ湾曲面が挙げられる。

　変形例Ｆ７として、ハウジングの内周面が有する内周曲がり面は、外周側に膨らむように曲がっていれば、必ずしも湾曲していなくてもよい。例えば、内周曲がり面は外周側に膨らむように複数個所で折れ曲がっていてもよい。この場合でも、互いに交差する２つの内周平坦面が内周曲がり面で接続されていることにより、ハウジングの内部空間に熱硬化性樹脂が注入された際に、熱硬化性樹脂がハウジングの内周面を這い上がるということを抑制できる。

　変形例Ｆ８として、ポッティング材１８５等の充填材によりポッティング部６５等の充填部を形成する場合、熱を付与することで充填材を強制的に硬化させるのではなく、常温で充填材をゆっくりと硬化させてもよい。

　変形例Ｆ９として、ハウジングの内部空間に充填される充填材として、ポッティング材１８５等の熱硬化性樹脂が用いられるのではなく、光の照射により硬化する光硬化性樹脂や紫外線の照射により硬化する紫外線硬化性樹脂が用いられてもよい。また、充填材として、空気に触れたり水が付与されたりすることで硬化する接着剤が用いられてもよい。要は、熱や光、空気や水等の付与により硬化する硬化性樹脂が充填材として内部空間に充填されてもよい。この場合でも、内部空間に充填された充填材が硬化することで充填部を形成することができる。なお、充填材は、自身の形状を保持することができる程度に硬化することで充填部を形成したことになる。

　＜構成群Ｇの変形例＞
　変形例Ｇ１として、上記変形例Ｆ１と同様に、ハウジングの内部空間がカバー部材により封止されていてもよい。例えば、上記第１実施形態において、ハウジング２１とは別部材としてカバー部材が樹脂成型され、そのカバー部材がハウジング開口部６１側から内部空間２４ａを閉鎖するようにハウジング２１に取り付けられた構成とする。この構成では、カバー部材が封止部に相当し、カバー部材の外側面に情報部１９４が設けられている。この構成でも、ハウジング開口部６１や内部空間２４ａの大型化が図られていることで、カバー部材の外側面が大型化されるため、情報部１９４の視認性を高めることができる。

　変形例Ｇ２として、上記第１実施形態において、センサＳＡ５０のＳＡ本体１７０とコネクタターミナル２８ａとは奥行き方向Ｚに並んでいてもよい。この場合でも、センサＳＡ５０をハウジング開口部６１から内部空間２４ａに挿入する際に、コネクタターミナル２８ａが支障になるということを抑制できる。

　変形例Ｇ３として、上記第１実施形態において、ハウジング開口部６１は、高さ方向Ｙを向いているのではなく、幅方向Ｘや奥行き方向Ｚを向いていてもよい。この場合でも、高さ方向Ｙにおいて、ハウジング開口部６１がセンサＳＡ５０やリング保持部２５を挟んで流入口３３ａとは反対側の位置に配置されていることが好ましい。すなわち、エアフロメータ１４が吸気管１２ａに取り付けられた状態で、ポッティング面１９３が吸気管１２ａの外側に配置されていることが好ましい。これにより、作業者は、エアフロメータ１４を吸気管１２ａから取り外さなくても、ポッティング面１９３の情報部１９４を視認することができる。

　＜構成群Ｈの変形例＞
　変形例Ｈ１として、上記第１実施形態において、第２温度検出部５０６は、ハウジング基端面１９２と第１温度検出部５０５との間に配置されていれば、リードフレーム８２に搭載されていなくてもよい。例えば、図１１４に示すように、第２温度検出部５０６が回路チップ８１に搭載された構成とする。この構成では、回路チップ８１の基板が、第２温度検出部５０６の素子が搭載された回路基板に相当することになる。また、第２温度検出部５０６は、中継基板８３やリードターミナル５４などに搭載されていてもよい。

　変形例Ｈ２として、上記第１実施形態において、第２温度信号Ｓａ２の応答補正を行うことで第２補正信号が取得された後に、この第２補正信号と第１補正信号Ｓｂ１との差分が算出されてもよい。例えば、図１１５に示すように、第２補正部５１３が、温度差分信号Ｓｂ２の応答補正を行うのではなく、第２温度信号Ｓａ２の応答補正を行う、という構成にする。

　第２補正部５１３は、第２温度信号Ｓａ２の応答補正を行うことで第２補正信号Ｓｂ１１を算出し、この第２補正信号Ｓｂ１１を温度差分部５１２に対して出力する。第２補正部５１３は、第１補正部５１１が第１温度信号Ｓａ１の変化態様を用いて第１温度信号Ｓａ１の補正を行うのと同様に、第２温度信号Ｓａ２の変化態様を用いて第２温度信号Ｓａ２の補正を行う。また、第２補正部５１３は、第１補正部５１１が第１温度信号Ｓａ１の補正に流量信号Ｓａ３や流量変換信号Ｓｂ４を用いるのと同様に、第２温度信号Ｓａ２の補正に流量信号Ｓａ３や流量変換信号Ｓｂ４を用いる。

　温度差分部５１２は、差分補正信号Ｓｂ３を算出するのではなく、第１補正信号Ｓｂ１と第２補正信号Ｓｂ１１との差分である補正後差分信号Ｓｂ１２を算出する。そして、補正量算出部５１５は、この補正後差分信号Ｓｂ１２と流量変換信号Ｓｂ４とを用いて補正量信号Ｓｂ５を算出する。

　この構成でも、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が補正パラメータとして用いられていることに変わりがない。このため、差分補正信号Ｓｂ３ではなく補正後差分信号Ｓｂ１２を用いて補正量信号Ｓｂ５が算出されたとしても、実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの誤差を低減することができる。したがって、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２補正信号Ｓｂ１１が用いられない構成に比べて、補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　変形例Ｈ３として、上記第１実施形態において、温度差分信号Ｓｂ２の応答補正が行われなくてもよい。例えば、図１１６に示すように、温度補正部５１０が第２補正部５１３を有していない構成とする。この構成では、温度差分部５１２にて算出された温度差分信号Ｓｂ２が補正量算出部５１５に直接的に入力される。この構成でも、上記変形例Ｈ２と同様に、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が補正パラメータとして用いられていることに変わりがない。このため、差分補正信号Ｓｂ３ではなく温度差分信号Ｓｂ２を用いて補正量信号Ｓｂ５が算出されたとしても、実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの誤差を低減することができる。したがって、上記変形例Ｈ２と同様に、補正値信号Ｓｃの計測精度を高めることができる。

　変形例Ｈ４として、上記第１実施形態において、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が用いられなくてもよい。例えば、図１１７に示すように、温度補正部５１０が温度差分部５１２、第２補正部５１３、補正量算出部５１５及び補正値算出部５１６を有していない構成とする。この構成では、第１補正部５１１から出力される第１補正信号Ｓｂ１が補正値信号Ｓｃとして取得される。この構成でも、第１温度信号Ｓａ１の補正に、第１温度信号Ｓａ１の変化態様及び流量信号Ｓａ３がそれぞれ補正パラメータとして用いられることに変わりがない。このため、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が用いられないとしても、実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの応答性を高めることができる。なお、本変形例では、エアフロメータ１４が第２温度検出部５０６を有していなくてもよい。

　変形例Ｈ５として、上記第１実施形態において、第１温度信号Ｓａ１の補正に流量信号Ｓａ３が用いられなくてもよい。例えば、図１１８に示すように、温度補正部５１０が第２補正部５１３、特性変換部５１４及び補正量算出部５１５を有していない構成とする。この構成では、補正値算出部５１６が補正量信号Ｓｂ５ではなく第２温度信号Ｓａ２を用いて補正値信号Ｓｃを算出する。この構成でも、上記変形例Ｈ２と同様に、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が用いられることに変わりがない。このため、第１温度信号Ｓａ１の補正に流量信号Ｓａ３が用いられないとしても、実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの誤差を低減することができる。なお、本変形例では、エアフロメータ１４が流量検出部２２を有していなくてもよい。

　変形例Ｈ６として、上記第１実施形態において、第１温度信号Ｓａ１の応答補正が行われなくてもよい。例えば、図１１９に示すように、温度補正部５１０が第１補正部５１１、補正量算出部５１５及び補正量算出部５１５を有していない構成とする。この構成では、補正値算出部５１６が第１補正信号Ｓｂ１ではなく第１温度信号Ｓａ１を用いて補正値信号Ｓｃを算出する。この構成でも、上記変形例Ｈ２と同様に、第１温度信号Ｓａ１の補正に第２温度信号Ｓａ２が用いられることに変わりがない。このため、第１温度信号Ｓａ１の補正にこの第１温度信号Ｓａ１の変化態様が用いられないとしても、実温度Ｓｄに対する補正値信号Ｓｃの誤差を低減することができる。

　変形例Ｈ７として、上記第１実施形態において、補正値算出部５１６は、第１温度信号Ｓａ１に基づいた信号と、第２温度信号Ｓａ２や流量信号Ｓａ３に基づいた信号とを、積算するのではなく乗算することなどにより補正値信号Ｓｃを算出してもよい。例えば、図１１８に示すように、補正値算出部５１６が第１補正信号Ｓｂ１と温度差分信号Ｓｂ２とを乗算することで補正値信号Ｓｃを算出する構成とする。また、図１１９に示すように、補正値算出部５１６が第１温度信号Ｓａ１と差分補正信号Ｓｂ３とを乗算することで補正値信号Ｓｃを算出する構成とする。

　変形例Ｈ８として、上記第１実施形態において、第１温度検出部５０５は、高さ方向Ｙにおいて第２温度検出部５０６を挟んでハウジング開口部６１とは反対側に配置されていれば、流量検出部２２の検出基板２２ａに搭載されていなくてもよい。例えば、第１温度検出部５０５が、中継基板８３やリードフレーム８２に搭載された構成とする。

　変形例Ｈ９として、上記第１実施形態において、第１温度検出部５０５及び第２温度検出部５０６の少なくとも一方が、センサＳＡ５０に搭載されていなくてもよい。例えば、第１温度検出部５０５がハウジング２１の縦仕切壁６９に埋め込まれた構成や、第２温度検出部５０６がコネクタターミナル２８ａに搭載された構成とする。

　変形例Ｈ１０として、上記第１実施形態において、流量検出部２２及び第１温度検出部５０５は、それぞれが計測流路３２に設けられていれば、互いに独立した基板に搭載されていてもよい。また、これら流量検出部２２と第１温度検出部５０５とは、互いに高さ方向Ｙに離間した位置に配置されていてもよい。この場合でも、これら流量検出部２２及び第１温度検出部５０５の検出対象が計測流路３２を流れる吸入空気になるため、流量信号Ｓａ３を用いた第１温度信号Ｓａ１の応答性を高めることができる。

　変形例Ｈ１１として、上記第１実施形態において、自身の変化態様に基づいて補正される物理量が温度とされていたが、この補正対象は、吸入空気の流量や湿度、圧力など温度とは異なる物理量とされていてもよい。例えば、物理量検出部として圧力を検出する第１圧力検出部が計測流路３２に設けられ、この第１圧力検出部と同じ種類の物理量を検出する同種検出部として第２圧力検出部が、第１圧力検出部よりもハウジング基端面１９２に近い位置に配置された構成とする。この構成では、計測制御装置にといて、第１圧力検出部の検出結果である第１圧力信号が、第２圧力検出部の検出結果である第２圧力信号を用いて補正される。

　また、物理量計測装置は、圧力とは異なる種類の物理量を検出する異種検出部として、温度を検出する温度検出部を有しており、計測制御装置においては、温度検出部の検出結果である温度信号を用いて第１圧力信号の補正が行われる。さらに、計測制御装置においては、第１圧力信号の変化態様を用いてこの第１圧力信号の補正が行われる。これらの構成によれば、物理量としての圧力の計測について、圧力の計測精度や圧力計測の応答性を高めることができる。

　変形例Ｈ１２として、上記第１実施形態において、第１温度信号Ｓａ１の補正処理を行う計測制御装置は、回路チップ８１ではなく、エアフロメータ１４に含まれる別の制御装置により構成されていてもよい。また、計測制御装置は、エアフロメータ１４とは別にＥＣＵ２０等の外部装置に設けられていてもよい。例えば、第１温度信号Ｓａ１や第２温度信号Ｓａ２、流量信号Ｓａ３が、第１温度検出部５０５や第２温度検出部５０６、流量検出部２０２から回路チップ８１を介してＥＣＵ２０に入力される構成とする。また、計測制御装置は、車両に搭載された種々の演算装置であってもよく、複数の演算装置が協働で制御装置としての機能を発揮してもよい。また、各演算装置に設けられたフラッシュメモリやハードディスク等の非遷移的実体的記憶媒体に各種プログラムが記憶されていてもよい。

　本開示は実施例を参照して記載されているが、本開示は開示された上記実施例や構造に限定されるものではないと理解される。寧ろ、本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形を包含する。加えて、本開示の様々な要素が、様々な組み合わせや形態によって示されているが、それら要素よりも多くの要素、あるいは少ない要素、またはそのうちの１つだけの要素を含む他の組み合わせや形態も、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims

　流体の物理量を計測する物理量計測装置（１４，２００）であって、
　前記流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
　前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（２２，２０２）を有する検出ユニット（５０，２２０）と、
　前記検出ユニットの少なくとも一部を収容し、前記計測流路を形成するハウジング（２１，２０１）と、を備え、
　前記ハウジングは、
　所定の取付対象（１２ａ）に取り付けられるハウジング取付部（２５，２７，１２２，２０５，２０７）と、
　前記ハウジングにおいて前記取付対象の内部に入り込んだ入り込み部分（５０１）と、前記取付対象の内部からはみ出したはみ出し部分（５０２）とが並んだ方向（Ｙ）において前記ハウジング取付部よりも前記入り込み部分側に設けられ、前記ハウジング取付部に比べて肉厚が薄く、前記検出ユニットに接触していることで前記検出ユニットの位置を保持する位置保持部（１２１，２５１，２５５）と、
を有している、物理量計測装置。
　前記並んだ方向（Ｙ）に直交する２つの方向のうち、一方を第１方向（Ｘ）と称し、他方を第２方向（Ｚ）と称すると、
　前記位置保持部は、
　前記検出ユニットに接触していることで、前記検出ユニットが前記第１方向に移動しないように前記検出ユニットの位置を保持する第１保持部（７２ａ，７２ｂ，２５２ａ，２５２ｂ）と、
　前記検出ユニットに接触していることで、前記検出ユニットが前記第２方向に移動しないように前記検出ユニットの位置を保持する第２保持部（７２ｂ，２５２ｃ，２５２ｄ）と、
のうち少なくとも一方を有している、請求項１に記載の物理量計測装置。
　前記第１保持部は、前記第１方向及び前記第２方向のうち少なくとも前記第１方向において前記検出ユニットに向けて突出しており、
　前記第２保持部は、前記第１方向及び前記第２方向のうち少なくとも前記第２方向において前記検出ユニットに向けて突出している、請求項２に記載の物理量計測装置。
　前記位置保持部は、
　前記検出ユニットに接触していることで、前記検出ユニットが前記並んだ方向において前記入り込み部分側に移動しないように前記検出ユニットの位置を保持する第３保持部（６６，２５１ａ）、を有している、請求項１～３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記検出ユニットにおいて前記第３保持部に接触しているユニット接触部（５５，２２１ａ，２２１ｂ）は、前記並んだ方向（Ｙ）において、前記検出ユニットの先端寄りの位置に設けられており、
　前記物理量検出部は、前記ユニット接触部よりも前記検出ユニットの先端側に設けられている、請求項４に記載の物理量計測装置。
　前記検出ユニットは、
　前記並んだ方向（Ｙ）に延びる板面（１２５）を有しており、
　前記位置保持部は、前記並んだ方向に筒状に延びていることで前記ハウジングの内周面を形成するハウジング壁部（１２１）であり、
　前記並んだ方向に直交し且つ前記板面が延びる方向（Ｚ）において、前記位置保持部と前記物理量検出部との離間距離（Ｌ５）は、前記ハウジング壁部の厚み寸法（Ｄ２３）より大きい、請求項１～５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記ハウジングは、
　前記ハウジング取付部と前記位置保持部とを接続するハウジング接続部（６６ａ，２３１，２３２，２３４）を有している、請求項１～６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記ハウジング接続部は、
　前記並んだ方向（Ｙ）に直交する方向（Ｘ，Ｚ）において前記位置保持部から延びた直交延出部（６６ｂ）を有しており、
　前記並んだ方向において、前記直交延出部と前記物理量検出部との離間距離（Ｌ３）は、前記直交延出部の厚み寸法（Ｄ２２）より大きい、請求項７に記載の物理量計測装置。
　前記ハウジング取付部は、
　前記取付対象に密着するシール部材（２６，２０６）を保持するシール保持部（２５，２０５）を有している、請求項１～８のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記ハウジングは、
　前記並んだ方向において前記位置保持部よりも前記はみ出し部分側に設けられたハウジング開口部（６１）と、
　前記並んだ方向において前記ハウジング開口部から前記入り込み部分側に向けて延び、前記検出ユニットの少なくとも一部を収容する収容空間（２４ａ）と、
を有している、請求項１～９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（１４，２００）であって、
　前記流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、
　前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（２２，２０２）を有する検出ユニット（５０，２２０）と、
　前記検出ユニットの少なくとも一部を収容し、前記計測流路を形成するハウジング（２１，２０１）と、を備え、
　前記ハウジングは、
　所定の取付対象（１２ａ）に取り付けられるハウジング取付部（２５，２７，１２２，２０５，２０７）と、
　前記ハウジングにおいて前記取付対象の内部に入り込んだ入り込み部分（５０１）と、前記取付対象の内部からはみ出したはみ出し部分（５０２）とが並んだ方向（Ｙ）において前記ハウジング取付部よりも前記入り込み部分側に設けられ、前記検出ユニットに接触していることで前記検出ユニットの位置を保持する位置保持部（１２１，２５１，２５５）と、
を有している、物理量計測装置。
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（１４，２００）の製造方法であって、
　開口部であるハウジング開口部（６１，２４１）から延び且つ検出ユニット（５０，２２０）の少なくとも一部を収容する収容空間（２４ａ，２０４ａ）と、前記流体が流れる計測流路（３２，２１２）と、所定の取付対象（１２ａ）に取り付けられるハウジング取付部（２５，２７，１２２，２０５，２０７）と、前記ハウジング取付部とは異なる位置に設けられた位置保持部（１２１，２５１，２５５）と、を有するハウジング（２１，２０１）を成型し、
　前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（２２，２０２）を有する前記検出ユニットを、前記位置保持部に接触していることで前記検出ユニットの位置が保持されるように、前記ハウジング開口部から前記収容空間に挿入する、物理量計測装置の製造方法。