WO2019016933A1

WO2019016933A1 - 対基板作業システム

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Publication number: WO2019016933A1
Application number: PCT/JP2017/026416
Authority: WO
Inventors: 陽司藤田
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2017-07-21
Filing date: 2017-07-21
Publication date: 2019-01-24
Anticipated expiration: 2020-01-21
Also published as: JP6817442B2; JPWO2019016933A1

Abstract

１又は複数のベースと、ベースの上面に配列されると共に、ベースに対し配列方向に直交する方向へ引き出し可能に設けられ、且つ、配列方向に基板を搬入出するための開口部をそれぞれ備えた複数の対基板作業モジュールと、隣接する二台の対基板作業モジュールの間に、隣接する二台の対基板作業モジュールの各々に対してスライド可能に設けられ、且つ、スライドすることにより前記開口部を開閉可能なスライドカバーと、を備える対基板作業システム。

Description

対基板作業システム

　本発明は、対基板作業システムに関する。

　特許文献１には、側面に開口部が設けられた複数の対基板作業モジュールが、ベースの上面に配列されると共に、各々の対基板作業モジュールがベースに対して引き出し可能に設置された対基板作業システムが開示されている。作業者は、対基板作業モジュールのメンテナンス等を行う際に、隣接する二台の対基板作業モジュールのうち一方の対基板作業モジュールを前方へ引き出し、二台の対基板作業モジュールの前後位置をずらす。これにより、作業者は、開口部を露出させることができ、開口部から対基板作業モジュールの内部にアクセスすることができる。

特開２０１２－１６０６７６号公報

　隣接する二台の対基板作業モジュールの前後位置をずらすと、二台の対基板作業モジュールのうち前方に引き出された一方の対基板作業モジュールは、開口部の前方側が露出するのに対し、後方に位置する他方の対基板作業モジュールは、開口部の後方側が露出する。そのため、対基板作業モジュールの内部前方側へアクセスする際には、アクセスしようとする対基板作業モジュールを前方へ引き出し、対基板作業モジュールの内部後方側へアクセスする際には、アクセスしようとする対基板作業モジュールに隣接する対基板作業モジュールを前方へ引き出すことが、作業効率の点において望ましい。

　この点に関して、隣接する二台の対基板作業モジュールのうち、一方の対基板作業モジュールを前方へ引き出した状態であっても、後方に位置する他方の対基板作業モジュールは、基板に対する作業を行うことができる。従って、後方に位置する対基板作業モジュールの開口部を覆うカバー等を設け、作業者の手や所持品等が開口部から対基板作業モジュールの内部に進入することを防止することが、安全を確保する観点において望ましい。

　しかしながら、開口部を覆うカバーをベースに固定した場合、後方に位置する対基板作業モジュールの開口部が常に塞がれるため、作業者は、後方に位置する対基板作業モジュールの内部にアクセスすることができなくなる。よってこの場合、対基板作業モジュールの内部後方へアクセスする際に、アクセスしようとする対基板作業モジュールを前方へ引き出し、開口部の前方から手を入れて内部後方へアクセスしたり、アクセスしようとする対基板作業モジュールをベースから一旦取り外す等の作業が必要となり、対基板作業モジュールの内部にアクセスする作業が繁雑となる。

　本明細書は、安全性を確保しつつ、対基板作業モジュールの内部に容易にアクセスできる対基板作業システムを提供することを目的とする。

　本明細書は、１又は複数のベースと、前記ベースの上面に配列されると共に、前記ベースに対し配列方向に直交する方向へ引き出し可能に設けられ、且つ、前記配列方向に基板を搬入出するための開口部をそれぞれ備えた複数の対基板作業モジュールと、隣接する二台の前記対基板作業モジュールの間に、前記隣接する二台の前記対基板作業モジュールの各々に対してスライド可能に設けられ、且つ、スライドすることにより前記開口部を開閉可能なスライドカバーと、を備えた対基板作業システムを開示する。

　本開示の対基板作業システムは、開口部を開閉可能なスライドカバーを備えているので、開口部を閉塞することにより基板に対する生産を行う際の安全性を確保しつつ、開口部を露出させることで対基板作業モジュールの内部に容易にアクセスできる。

本明細書の一実施形態における対基板作業システムの斜視図である。対基板作業モジュールの内部構造を示す図である。１台のベース及び１台のベースの上面に配列された２台の対基板作業モジュールを後方側から見た斜視図であり、２台の対基板作業モジュールのうち一方の対基板作業モジュールが前方に引き出され、他方の対基板作業モジュールの開口部がスライドカバーにより塞がれた状態を模式的に示す。１台のベース及び１台のベースの上面に配列された２台の対基板作業モジュールを前方側から見た斜視図であり、２台の対基板作業モジュールのうち一方の対基板作業モジュールが前方に引き出された状態を模式的に示す。スライドカバーの斜視図である。２台の対基板作業モジュールに支持されたスライドカバーを前方側から見た対基板作業システムの拡大断面図であり、スライドカバーの上端付近及び下端付近を示す。第一対基板作業モジュールを前方から見た斜視図であり、第一対基板作業モジュール模式的に表した図である。１台のベース及び１台のベースの上面に配列された２台の対基板作業モジュールを後方側から見た斜視図であり、２台の対基板作業モジュールのうち一方の対基板作業モジュールを前方に引き出し、スライドカバーを前方へスライドさせた状態を模式的に示す。

　以下、本明細書に開示する対基板作業システムを適用した実施形態について、図面を参照しながら説明する。まず、図１及び図２を参照して、一実施形態における対基板作業システム１の構成を説明する。なお、以下において、対基板作業システム１の左右方向をＸ方向、Ｘ方向に直交する前後方向をＹ方向、鉛直方向をＺ方向と定義する。

　図１に示すように、対基板作業システム１は、ベース２と、複数の対基板作業モジュール３とを主に備える。ベース２の上面には、複数の対基板作業モジュール３が左右方向に配列され、各々の対基板作業モジュール３は、ベース２に対して前方へ引き出し可能に設けられる。なお、本実施形態では、対基板作業システム１が、２台の対基板作業モジュール３を設置可能なベース２を２台並べて構成される場合を例に挙げて説明するが、対基板作業システム１は、４台の対基板作業モジュール３を設置可能な１台で構成されるものでもよく、１台の対基板作業モジュール３を配置可能なベース２を４台並べて構成されるものでもよい。

　次に、図２を参照して、対基板作業モジュール３の概略構成を説明する。図２に示すように、対基板作業モジュール３は、筐体１０と、基板搬送装置２０と、部品供給装置３０と、部品移載装置４０と、制御装置５０と、を主に備える。筐体１０は、基板搬送装置２０及び部品移載装置４０を収容可能な箱状に形成される。また、筐体１０の配列方向（左右方向）を向く両側面には、基板Ｋを搬入出するための開口部１１が形成される。なお、開口部１１の外形は、基板Ｋの搬入出に必要とされる外形寸法よりも大きな寸法に設定されており、作業者は、例えば、対基板作業モジュール３のメンテナンスを行う際に、開口部１１から筐体１０の内部へアクセスすることができる。

　なお、図１に示す対基板作業システム１を構成する４台の対基板作業モジュール３の各側面のうち、他の対基板作業モジュール３に対向していない側面（配列方向における外側を向く側面）に形成される開口部１１は、基板Ｋを搬入出するために必要とされる部分を除き、カバー部材１０ａにより閉塞されている。

　基板搬送装置２０は、ベルトコンベア等により構成され、開口部１１から筐体１０に搬入された基板ＫをＸ方向へ順次搬送する。基板搬送装置２０は、筐体１０の内部における所定位置に基板Ｋを位置決めする。そして、位置決めされた基板Ｋに対する部品の装着処理が終了すると、基板搬送装置２０は、基板Ｋを開口部１１から筐体１０の外部へ搬出する。

　部品供給装置３０は、基板Ｋに装着する部品を供給する。部品供給装置３０は、Ｘ方向に配列された複数のスロットを備え、それら複数のスロットの各々には、フィーダ３１が着脱可能にセットされる。部品供給装置３０は、フィーダ３１によってキャリアテープを送り移動させ、フィーダ３１の先端側（図１上側）に部品を供給する。

　部品移載装置４０は、部品供給装置３０によって供給された部品を保持し、保持した部品を位置決めされた基板Ｋに装着する。部品移載装置４０は、ヘッド駆動装置４１と、移動台４２と、装着ヘッド４３とを主に備える。ヘッド駆動装置４１は、直動機構により移動台４２をＸ方向及びＹ方向へ移動可能に構成される。装着ヘッド４３は、部品を保持する保持装置であり、移動台４２に対して着脱可能に構成される。また、装着ヘッド４３に設けられたノズルホルダ４４には、部品を保持可能な複数の吸着ノズル（図示せず）が着脱可能に設けられる。

　制御装置５０は、主に、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置５０は、対基板作業モジュール３を動作させるための制御プログラム、基板Ｋに対する部品の装着処理を行うための制御を行う。

　また、図３及び図４に示すように、対基板作業システム１は、スライドカバー７０と、カバー固定部８０と、を更に備える。スライドカバー７０は、隣接する二台の対基板作業モジュール３の間に配置された板状の部材であって、二台の対基板作業モジュール３の各々に対してスライド可能に設けられる。

　カバー固定部８０は、ベース２の後方側端部に固定された柱状の部材である。スライドカバー７０は、カバー固定部８０に対してスライドカバー７０の後方側をボルトにより連結可能に構成される。スライドカバー７０は、カバー固定部８０に連結されることで、ベース２に対するスライドが規制される。一方、スライドカバー７０は、ボルトによるカバー固定部８０との連結を解除し、カバー固定部８０から取り外されることで、ベース２に対してスライド可能となる。なお、スライドカバー７０は、カバー固定部８０に対して取り外し可能に連結されていればよく、ボルトによる連結以外の方法でカバー固定部８０に連結されていてもよい。

　次に、図５を参照して、スライドカバー７０について説明する。図５に示すように、スライドカバー７０は、カバー本体７１と、基板搬送口７２と、一対の延在部７３と、切欠部７４と、を備える。

　カバー本体７１は、開口部１１よりも大きな外形に形成され、開口部１１は、カバー本体７１が開口部１１と対応する位置に配置されることで閉塞される。基板搬送口７２は、カバー本体７１による開口部１１の閉塞時において、筐体１０に対する基板Ｋの搬入出を行うために設けられた開口である。基板Ｋの搬送方向（対基板作業モジュール３の配列方向）において上流側（図１左上側）で隣接する対基板作業モジュール３から搬送された基板Ｋは、基板Ｋの搬送方向における上流側を向く基板搬送口７２から筐体１０の内部に搬入される。また、筐体１０の内部に搬入された基板Ｋは、部品の装着作業が終了した後、基板Ｋの搬送方向において下流側（図１右下側）を向く基板搬送口７２から筐体１０の外部に搬出される。

　一対の延在部７３は、カバー本体７１の上端部分から後方へ延びる上延在部７３ａと、カバー本体７１の下端部分から後方へ延びる下延在部７３ｂと、を備える。スライドカバー７０は、上延在部７３ａ及び下延在部７３ｂの少なくとも一方の後端部分をカバー固定部８０に連結することにより、ベース２に対するスライドカバー７０のスライドが規制される。切欠部７４は、上延在部７３ａの下方、且つ、下延在部７３ｂの上方に設けられ、スライドカバー７０の後端部分から前方へ向けて切欠き形成される。

　スライドカバー７０による開口部１１の閉塞時において、カバー本体７１は、開口部１１と対応する位置に配置され、一対の延在部７３及び切欠部７４は、開口部１１よりも後方に位置する。このとき、作業者は、開口部１１から筐体１０の内部へのアクセスが制限される。一方、切欠部７４は、スライドカバー７０をスライドさせることにより、開口部１１と対応する位置に配置可能に形成される。即ち、開口部１１は、切欠部７４が開口部１１に対応する位置に配置されることで切欠部７４から露出し、作業者は、切欠部７４及び開口部１１から筐体１０の内部へアクセスすることが可能な状態となる。

　また、スライドカバー７０は、４つの転動体９０を備える。転動体９０は、スライドカバー７０を二台の隣接する対基板作業モジュール３に対してスライド可能に支持する。複数の転動体９０は、カバー本体７１の上端部分又は上延在部７３ａの上端部分に、前後方向に間隔を空けつつ設けられる。

　ここで、図６及び図７を参照して、転動体９０について説明する。図６に示すように、転動体９０は、一対のローラ９１と、転動軸部９２とを備える。一対のローラ９１は、カバー本体７１又は上延在部７３ａを挟んだ両側に配置される。転動軸部９２は、カバー本体７１又は上延在部７３ａに貫設され、一対のローラ９１をカバー本体７１又は延在部７３に対して回転可能に支持する。

　図７に示すように、隣接する二台の対基板作業モジュール３の各々には、筐体１０の互いに対向する側面であって開口部１１が形成される部位の上方部分に、被転動部材１２が固定される。被転動部材１２は、前後方向に延びる長尺の部材であり、筐体１０に対してローラ９１を前後方向へ転動可能に支持する。被転動部材１２は、下固定部１２ａと、転動支持部１２ｂとを備える。下固定部１２ａは、筐体１０に固定される部位である。転動支持部１２ｂは、筐体１０に対して下固定部１２ａの上端からＸ方向外方へ延びる部位であり、ローラ９１は、転動支持部１２ｂの上面を転動する。

　また、筐体１０の側面には、被転動部材１２が固定される部位の上方部分に、ローラ９１を案内するガイド部材１３が固定される。ガイド部材１３は、ローラ９１が被転動部材１２から脱輪することを防止する。ガイド部材１３は、上固定部１３ａと、延設部１３ｂと、規制部１３ｃとを備える。上固定部１３ａは、筐体１０の側面に固定される部位である。延設部１３ｂは、筐体１０に対して固定部１３ａの下端からＸ方向外方に延設される部位であり、転動支持部１２ｂを転動するローラ９０の上方に配置される。規制部１３ｃは、延設部１３ｂの延設方向先端部分から下方へ延びる部位であり、被転動部材１２を転動するローラ９１の転動可能範囲を規制する。

　また、二台の対基板作業モジュール３の各々には、互いに対向する筐体１０の側面であって、各々の開口部１１が形成される部位の下方部分に、筐体１０の側面から突出する突出部１４が設けられる。突出部１４は、前後方向に延在し、カバー本体７１の下端部分及び下延在部７３ｂは、対向する突出部１４の間に配置される。従って、対基板作業システム１は、左右方向に揺れるスライドカバー７０の下端部分を突出部１４に接触させることにより、スライドカバー７０の左右方向への揺れを軽減することができる。また、突出部１４には、スライドカバー７０に接触する表面部分にエンボス加工が施されている。

　このように、スライドカバー７０は、筐体１０に対してスライドすることにより、開口部１１を開閉可能に設けられる。さらに、対基板作業システム１は、二台の対基板作業モジュール３の間に１枚のスライドカバー７０を配置する。そして、１枚のスライドカバー７０は、複数の転動体９０を介して二台の対基板作業モジュール３の双方に対してスライド可能に支持される。即ち、対基板作業システム１は、１枚のスライドカバー７０が二台の対基板作業モジュール３の対向する開口部１１を開閉する構成となっている。これにより、対基板作業システム１は、二台の対基板作業モジュール３の間に必要とされる隙間を小さくすることができるので、対基板作業システム１に必要とされる設置スペースを小さくすることができる。

　なお、スライドカバー７０は、対基板作業モジュール３に対してスライド可能に支持されていればよく、対基板作業モジュール３に対するスライドカバー７０の支持態様は、本実施形態のような、複数の転動体９０を介して対基板作業モジュール３にスライド可能に支持される態様に限定されるものではない。

　ここで、基板Ｋに対する部品の装着作業を行う際における対基板作業モジュール３の配置位置、即ち、ベース２に対して前方に引き出されていない状態における対基板作業モジュール３の配置位置を「基準位置」と定義する。

　対基板作業モジュール３が基準位置に配置された状態において、スライドカバー７０に設けられた全ての転動体９０は、対基板作業モジュール３の被転動部材１２に対して転動可能に支持される。スライドカバー７０がカバー固定部８０に連結された状態において、カバー本体７１は、基準位置に配置された対基板作業モジュール３の開口部１１と対応する位置に配置され、開口部１１は、カバー本体７１によって閉塞された状態となる。

　一方、対基板作業モジュール３に対してスライドカバー７０を前方へスライドさせることにより、切欠部７４は、開口部１１に対応する位置へ移動する。これにより、カバー本体７１に塞がれていた開口部１１の一部が露出するので、作業者は、露出した開口部１１から筐体１０の内部へアクセスすることができる。

　次に、開口部１１から対基板作業モジュール３の筐体１０の内部にアクセスする手順を説明する。対基板作業システム１は、隣接する二台の対基板作業モジュール３の間に形成される隙間を小さくし、設置スペースの省スペース化を図っている。従って、作業者は、隣接する対基板作業モジュール３が前後方向において同じ位置に配置された状態で、開口部１１から筐体１０の内部にアクセスすることができない。そのため、筐体１０の内部へアクセスする際、作業者は、隣接する二台の対基板作業モジュール３のうち一方の対基板作業モジュール３を前方へ引き出す。これにより、作業者は、隣接する二台の対基板作業モジュール３の前後位置をずらすことができる。

　なお、説明の便宜上、以下において、隣接する二台の対基板作業モジュール３のうち前方に引き出す一方の対基板作業モジュール３を「第一対基板作業モジュール３Ａ」と称し、後方に位置する他方の対基板作業モジュール３を「第二対基板作業モジュール３Ｂ」と称す。

　このとき、図３及び図４に示すように、スライドカバー７０がカバー固定部８０に連結されていれば、スライドカバー７０は、ベース２に対するスライドが規制される。このとき、第一対基板作業モジュール３Ａを前方へ引き出すと、スライドカバー７０は、第一対基板作業モジュール３Ａに対してスライドする。その結果、第一対基板作業モジュール３Ａは、第二対基板作業モジュール３Ｂの前端部分よりも前方へ移動した開口部１１の一部が露出する一方、第二対基板作業モジュール３Ｂは、カバー固定部８０に固定されたスライドカバー７０によって開口部１１が覆われた状態を維持できる。

　従って、作業者は、第一対基板作業モジュール３Ａの筐体１０の内部前方へアクセスしようとする場合に、第一対基板作業モジュール３Ａを前方へ引き出すことにより、露出した第一対基板作業モジュール３Ａの開口部１１から筐体１０の内部前方へ容易にアクセスすることができる。その一方、第二対基板作業モジュール３Ｂは、スライドカバー７０により開口部１１が塞がれているので、作業者の手や所持品等が誤って第二対基板作業モジュール３Ｂの筐体１０の内部に進入することを防止できる。よって、対基板作業システム１は、安全性の向上を図ることができる。

　またこのとき、スライドカバー７０は、全ての転動体９０が第二対基板作業モジュール３Ｂの被転動部材１２及びガイド部材１３に支持されている。よって、対基板作業システム１は、第一対基板作業モジュール３Ａが前方へ引き出された状態であっても、スライドカバー７０を安定的に支持することができる。

　さらに、図８に示すように、作業者は、カバー固定部８０に対するスライドカバー７０の連結を解除することにより、スライドカバー７０を第二対基板作業モジュール３Ｂに対して前方へスライドさせることができる。そして、作業者は、第一対基板作業モジュール３Ａを前方に引き出した状態から、スライドカバー７０を第二対基板作業モジュール３Ｂに対して前方へスライドさせることにより、第二対基板作業モジュール３Ｂの開口部１１に対応する位置に切欠部７４を移動させることができる。

　このように、作業者は、第二対基板作業モジュール３Ｂの筐体１０の内部後方へアクセスしようとする場合に、第一対基板作業モジュール３Ａを前方へ引き出した状態でスライドカバー７０を前方へスライドさせることにより、露出した第二対基板作業モジュール３Ｂの開口部１１から筐体１０の内部後方へ容易にアクセスすることができる。

　またこの場合、スライドカバー７０の複数の転動体９０のうち第二対基板作業モジュール３Ｂの被転動部材１２及びガイド部材１３よりも前方へ移動した転動体９０は、第一対基板作業モジュール３Ａの被転動部材１２及びガイド部材１３により転動可能に支持される。従って、対基板作業システム１は、第一対基板作業モジュール３Ａを前方へ引き出した状態でスライドカバー７０を前方へスライドさせた状態であっても、スライドカバー７０を安定的に支持することができる。

　スライドカバー７０には、カバー本体７１から後方へ延びる延在部７３が形成され、複数の転動体９０は、カバー本体７１の上端部分及び上延在部７３ａの上端部分に対し、前後方向に間隔を空けつつ設けられている。この場合、二台の対基板作業モジュール３の前後位置を大きくずらした状態でスライドカバー７０を前方へスライドさせたとしても、スライドカバー７０が第一対基板作業モジュール３Ａに支持された状態を維持しやすくすることができる。その一方、スライドカバー７０には、後方側から前方側へ向けて切欠き形成された切欠部７４が形成されている。よって、第二対基板作業モジュール３Ｂの開口部１１を露出させようとした場合に、スライドカバー７０の前方へのスライド量を小さくすることができる。よって、対基板作業モジュール３は、第二対基板作業モジュール３Ｂの開口部１１を露出させた状態であっても、二台の対基板作業モジュール３の双方にスライドカバー７０が支持された状態を維持しやすくすることができる。

　以上説明したように、対基板作業システム１は、対基板作業モジュール３の筐体１０に形成された開口部１１を開閉可能なスライドカバー７０を備えている。よって、対基板作業システム１は、開口部１１を閉塞することにより基板Ｋに対する生産を行う際の安全性を確保しつつ、開口部１１を開放することにより内部へのアクセスを容易に行うことができる。

　以上、上記実施形態に基づいて本明細書に開示する対基板作業システムについて説明したが、上記形態に何ら限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変形改良が可能であることは容易に推察できるものである。

　例えば、上記実施形態では、二台の対基板作業モジュール３の間に１枚のスライドカバー７０がスライド可能に支持される場合について説明したが、これに限られるものではない。即ち、各々の対基板作業モジュール３が単独で２枚のスライドカバー７０を備え、筐体１０の配列方向を向く各側面に対し、各スライドカバー７０が開口部１１を開閉可能に支持される構成であってもよい。

　上記実施形態では、スライドカバー７０が一対の延在部７３及び切欠部７４を備え、上延在部７３ａと下延在部７３ｂとの間に切欠部７４を形成する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではない。例えば、延在部７３は、上延在部７３ａのみ又は下延在部７３ｂのみで構成されていてもよく、延在部７３がカバー本体７１の中央部分から後方へ延在すると共に延在部７３の上方及び下方に切欠部７４が形成される構成であってもよい。

　また、スライドカバー７０は、一対の延在部７３及び切欠部７４を備えていない矩形板状に形成されたものであってもよい。この場合、カバー本体７１の後端部分がカバー固定部８０に対して取り外し可能に連結され、カバー本体７１は、カバー固定部８０に固定された状態で、開口部１１を閉塞可能な寸法に形成される。

　また、上記実施形態では、カバー本体７１の上端部分及び上延在部７３ａの上端部分に複数の転動体９０を設ける場合について説明したが、カバー本体７１の下端部分及び下延在部７３ｂの下端部分に複数の転動体９０を設けてもよい。また、本実施形態では、対基板作業システム１は、被転動部材１２の上方に設けたガイド部材１３により、ローラ９１が被転動部材１２から脱輪することを防止する場合について説明したが、これに限られるものではない。例えば、対基板作業システム１は、被転動部材１２の転動支持部１２ｂに対し、上方へ延びる規制部１２ｃを設けてもよい。この場合、対基板作業システム１は、ガイド部材１３を省略できるので、筐体１０の軽量化を図ることができる。

　１：対基板作業システム、　２：ベース、　３：対基板作業モジュール、　１１：開口部、　７０：スライドカバー、　７１：カバー本体、　７３：延在部、　７４：切欠部、　８０：カバー固定部、　Ｋ：基板

Claims

　１又は複数のベースと、
　前記ベースの上面に配列されると共に、前記ベースに対し配列方向に直交する方向へ引き出し可能に設けられ、且つ、前記配列方向に基板を搬入出するための開口部をそれぞれ備えた複数の対基板作業モジュールと、
　隣接する二台の前記対基板作業モジュールの間に、前記隣接する二台の前記対基板作業モジュールの各々に対してスライド可能に設けられ、且つ、スライドすることにより前記開口部を開閉可能なスライドカバーと、
　を備える対基板作業システム。
　前記スライドカバーは、前記隣接する二台の前記対基板作業モジュールの側面の間に１つ設けられると共に、前記隣接する二台の前記対基板作業モジュールの双方に対してスライド可能に支持される、請求項１に記載の対基板作業システム。
　前記対基板作業モジュールは、前記ベースに固定され、前記スライドカバーの後方側を連結可能なカバー固定部を備える、請求項２に記載の対基板作業システム。
　前記スライドカバーは、
　前記スライドカバーによる前記開口部の閉塞時において前記開口部と対応する位置に配置されるカバー本体と、
　前記カバー本体から後方へ延びる部位であって、前記スライドカバーによる前記開口部の閉塞時において前記開口部よりも後方に配置されると共に、前記カバー固定部に連結可能な延在部と、
　前記延在部の上方又は下方に切欠き形成された部位であって、前記スライドカバーをスライドさせることにより前記開口部と対応する位置に配置可能な切欠部と、
　を備える、請求項３に記載の対基板作業システム。
　前記延在部は、前記カバー本体の上端部分又は下端部分から後方へ延び、
　前記スライドカバーは、前記カバー本体及び前記カバー本体の上端部分から延びる前記延在部の上端部分、又は、前記カバー本体及び前記カバー本体の下端部分から延びる前記延在部の下端部分を、前記隣接する二台の前記対基板作業モジュールの各々に対してスライド可能に支持される、請求項４に記載の対基板作業システム。