WO2018138161A1 - Organic light-emitting component and method for producing an organic light-emitting component - Google Patents

Organic light-emitting component and method for producing an organic light-emitting component Download PDF

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WO2018138161A1
WO2018138161A1 PCT/EP2018/051745 EP2018051745W WO2018138161A1 WO 2018138161 A1 WO2018138161 A1 WO 2018138161A1 EP 2018051745 W EP2018051745 W EP 2018051745W WO 2018138161 A1 WO2018138161 A1 WO 2018138161A1
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WO
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electrode
electrical contact
functional layer
layer stack
organic functional
Prior art date
Application number
PCT/EP2018/051745
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German (de)
French (fr)
Inventor
Richard Baisl
Philipp SCHWAMB
Simon SCHICKTANZ
Original Assignee
Osram Oled Gmbh
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes

Definitions

  • the invention relates to em organic light emitting device. Furthermore, the invention relates to a method for producing an organic light-emitting
  • Organic light-emitting components such as organic light-emitting diodes (OLED) generally have a cathode as a second electrode, which is mechanically connected directly to an electrical contact.
  • the cathode is at least in some areas above the organic
  • Another object to be solved is to overcome the above-mentioned disadvantages.
  • Another object to be achieved is to provide an organic light-emitting device that is faster, simpler and / or
  • This task or these tasks are by a
  • the organic light emitting device comprises a substrate.
  • the device has a first electrode overlying the substrate
  • the component has an electrical
  • the electrical contact is arranged next to the first electrode.
  • the electrical contact is arranged next to the first electrode.
  • electrical contact is for contacting a second
  • the component has at least one organic functional layer stack.
  • the organic functional layer stack is adapted to emit radiation.
  • the device has the second electrode disposed over the organic functional layer stack.
  • the organic light emitting device comprises a substrate.
  • the device has a first electrode overlying the substrate
  • the component has an electrical
  • the electrical contact is arranged next to the first electrode.
  • the electrical contact is arranged next to the first electrode.
  • Electrode is set up or used, wherein the second electrode is not directly connected to the electrical contact
  • the component has at least one
  • the organic functional layer stack on.
  • the organic functional layer stack is adapted to emit radiation.
  • the organic functional layer stack is arranged at least over the first electrode.
  • the organic functional layer stack is at least partially disposed over the electrical contact.
  • the device has the second electrode disposed over the organic functional layer stack.
  • the organic light emitting device is formed as an organic light emitting diode (OLED).
  • OLED organic light emitting diode
  • the organic light-emitting component has a substrate.
  • the substrate may for example comprise one or more materials in the form of a layer, a plate, a foil or a laminate, which are selected from glass, quartz, plastic, metal, silicon wafer, ceramic, coated paper.
  • the substrate comprises or is glass, for example in the form of a glass layer, glass sheet or glass plate.
  • the organic light-emitting component has a first and a second electrode on.
  • at least one electrode may be transparent.
  • a layer is called, which is permeable to visible light.
  • the transparent layer can be transparent or at least partially light-scattering and / or partially light-absorbing, so that the transparent layer can also be translucent, for example, diffuse or milky.
  • a layer designated here as transparent as possible is translucent, so that in particular the absorption of during operation of the organic
  • Light-emitting device in the organic functional layer stack generated light is as low as possible.
  • both electrodes can be transparent
  • the organic light generated in the at least one organic functional layer stack can be radiated in both directions, ie through both electrodes.
  • the light-emitting component having a substrate, this means that light can be emitted both through the substrate, which is then likewise transparent, and in the direction away from the substrate.
  • Component forms a transparent OLED.
  • one of the two electrodes, between which the organic functional layer stack is arranged may also be possible for one of the two electrodes, between which the organic functional layer stack is arranged, to be non-transparent and preferably
  • the arranged on the substrate electrode is transparent and is Also, the substrate formed transparent, so it is also called a so-called bottom emitter, while in the case that the electrode arranged facing away from the electrode is transparent, speaks of a so-called top emitter.
  • TCO transparent, conductive oxide
  • Transparent Conductive Oxide such as ITO
  • TCO Transparent, electrically conductive oxides
  • metal oxides such as zinc oxide, tin oxide
  • ITO indium oxide
  • AZO aluminum zinc oxide
  • Metal oxygen compounds such as ZnO, SnO 2 or ⁇ 2 ⁇ 3 also include ternary metal oxygen compounds such as Zn 2 SnO 2, Cd Sn 3, Zn SnO 3, Mngln 20zi, GalnO 3, 2 ⁇ or In 4 Sn 30, 2 or mixtures of different transparent, conductive oxides into the group of TCOs.
  • TCOs do not necessarily correspond to one
  • stoichiometric composition and may also be p- or n-doped.
  • a transparent electrode may also be a
  • the metal layer has such a small thickness that it is at least partially permeable to that of the organic functional Layer stack generated light is, for example, a thickness of less than or equal to 50 nm.
  • a metal may be used, which may be selected from aluminum, barium, indium, silver, gold,
  • a reflective electrode may comprise silver, aluminum or alloys with these, for example Ag: Mg, Ag: Ca, Mg: Al.
  • the electrodes may be nanostructured
  • Electrodes such as silver nanowires, or out
  • the first electrode may be formed as an anode, then the second electrode is formed as a cathode.
  • the first electrode may be formed as a cathode, then the second electrode is formed as an anode.
  • the electrodes may also be in combination of at least one or more TCO layers and at least one or more metal layers.
  • at least one organic functional layer stack is arranged above the first electrode and / or the substrate.
  • the fact that a layer or a stack is arranged or applied "on" or “above” another layer or stack may mean here and below that the one layer or a stack directly in direct mechanical and / or electrical contact the other layer is arranged.
  • the organic light-emitting component has at least one organic functional layer stack.
  • the organic light emitting device has exactly one
  • a wavelength of the radiation or the wavelength maximum is preferably in the infrared and / or ultraviolet
  • Wavelengths between 420 nm and 680 nm inclusive Wavelengths between 420 nm and 680 nm inclusive.
  • the organic functional layer stack may include layers of organic polymers, organic oligomers,
  • organic monomers organic small non-polymeric molecules ("small molecules") or combinations thereof.
  • the organic functional layer stack may additionally have further functional layers, which are designed as a hole transport layer, in order to achieve an effective
  • the organic functional layer stack can furthermore have at least one functional layer which can be used as a
  • Electron transport layer is formed.
  • the organic functional layer stack may be additional Have layers that are selected from
  • Electron injection layers electron transport layers, hole blocking layers and electron blocking layers.
  • organic functional layer stack completely or at least predominantly organic functional layers.
  • individual layers of the organic functional layer stack also comprise or are formed from inorganic materials.
  • the organic light-emitting component has at least one conductive one
  • the component has an electrical contact.
  • the electrical contact is arranged next to the first electrode.
  • the electrical contact is arranged laterally spaced from the first electrode. Between electrical contact and first
  • the electrode is the organic functional one
  • the electrical contact serves for contacting the second electrode.
  • the electrical contact is an electrical conductor structure which is arranged on the substrate and serves for the indirect contacting of the second electrode.
  • the electrical contact is made of a metal.
  • the electric Contact also have a layer structure.
  • the electrical contact may comprise three layers of two or three different metals.
  • the electrical contact has a layer structure chromium-aluminum-chromium or molybdenum-aluminum-molybdenum or titanium-aluminum-titanium.
  • the electrical contact comprises at least one metal or an alloy
  • the metal or alloy of the electrical contact is selected from a group comprising silver, aluminum, molybdenum, chromium, copper, magnesium or an alloy of molybdenum-aluminum, chromium-aluminum, silver-magnesium and combinations thereof.
  • the electrical contact is formed from silver and / or aluminum.
  • the organic functional layer stack is formed as an insulating layer and arranged between the first and second electrodes.
  • a short circuit between the first electrode and the second electrode is avoided by the arrangement of the organic functional layer stack by the device described here.
  • the organic functional layer stack extends to the electrical contact. The electrical contact and the second electrode are then electrically connected to one another via a so-called current path.
  • the organic electrode is between the first electrode and the electrical contact
  • the organic functional layer stack covers at least partially or
  • the electrical contact upon partial coverage of the electrical contact with the organic functional layer stack, the electrical contact has uncovered areas.
  • Uncovered areas can be used for external power supply.
  • a current path or a plurality of current paths is formed between the second electrode and the electrical contact within the organic functional layer stack.
  • the current path can be generated by means of a laser.
  • the laser has a wavelength from the IR range.
  • the laser has a wavelength of 1064 nm with a tolerance range of 10%, 5%, 3%, 1% or 0.5% of this value. It can be generated while rungs, the one
  • the current path is a microvia.
  • Microvias here and below are small holes which are arranged between the electrical contact and the second electrode. The microvias electrically connect the electrical contact and the second electrode. A microvia is through one
  • the microvia serves for contacting the second electrode.
  • the microvia is generated for example by means of a laser. In this case, the vapor-deposited second electrode is melted.
  • Microvias are formed in particular metallic.
  • the current path is formed and filled both on the side surfaces in the entire diameter with the material of the second electrode.
  • the inventors have recognized that advantageous properties of the organic light-emitting component can be produced if the second electrode is not contacted directly with an electrical contact, but that both elements are connected via a current path of the organic
  • Component can be easily manufactured as no
  • Layer stacks take place.
  • a plurality of organic light-emitting components for example, in one
  • Wafer bond are generated and then contacted differently. It is here so the device by means of a current path, in particular a microvia, between the second electrode and the substrate or the electrical
  • the invention further relates to a method for producing an organic light-emitting component.
  • the device described here is produced by the method described here.
  • the same definitions and embodiments as above for the organic light emitting device also apply to the
  • the method comprises the method steps:
  • Electrode is arranged and arranged on the substrate,
  • step C) is carried out over the entire surface of the organic functional layer stack on the first electrode.
  • the organically functional layer stack is applied over the whole area both to the first electrode and to the electrical contact. Subsequently, the second electrode
  • step D) can be applied, as described in step D), or the organic functional layer stack as described in step E) can then be restructured.
  • step E) can take place.
  • step E) can take place in a structured manner. So the second electrode will not work
  • the second electrode can be evaporated.
  • the current path is generated by means of a laser.
  • the current path extends from the second electrode to the electrical contact and creates an electrical connection between the two elements.
  • the laser has a wavelength from the IR range.
  • the laser has a wavelength of 1064 nm with a tolerance of 10 ⁇ 6 of this value.
  • the current path is formed as a microvia. Additionally or alternatively, the current path in plan view a diameter or
  • the current path is generated by melting the second electrode.
  • the second electrode vapor-deposited on the organically functional layer stack is melted by means of a laser.
  • the second is
  • the molten material of second electrode preferably a metal as material, penetrates the underlying organic functional layer stack. This generates a current path which locally establishes an electrical connection between the second electrode and the electrical contact.
  • FIG. 1 shows a schematic side view of an organic light-emitting component according to an embodiment
  • FIGS. 2A to 2F show a method for producing an organic light-emitting component according to FIG.
  • the organic light emitting device 100 is here as an organic light emitting light emitting diode (OLED) formed.
  • the device 100 has a substrate 1.
  • the substrate 1 may be made of glass, for example.
  • a first electrode 2, for example, the anode be applied.
  • an electrical contact 3 Spaced laterally to the first electrode 2, an electrical contact 3 can be arranged.
  • the electrical contact 3 may for example consist of a
  • the electrical contact 3 serves for contacting the second electrode 6.
  • an organic functional layer stack 5 is arranged above the first electrode 2.
  • the organic functional layer stack 5 is for emitting radiation
  • the organic functional layer stack 5 does not only extend beyond the first one here
  • Electrode 2 but in addition at least partially over the electrical contact 3.
  • the electrical contact 3 the
  • organic functional layer stacks 5 also extend completely over the electrical contact 3. Should the organic functional layer stack 5 extend completely over the electrical contact 3, the organic functional layer stack 5 can also be restructured in regions above the electrical contact. This can be done for example by means of a mask.
  • the second electrode 6 is arranged on the organic functional layer stack 5, the second electrode 6 is arranged.
  • the electrical contact 3 and the second electrode 6 are electrically connected to one another via at least one current path 4, here shown by the example of two current paths 4.
  • the current path 4 is preferably formed as a microvia.
  • the organic functional layer stack 5 extends not only via the first electrode 2 but also via the electrical contact 3.
  • the organic functional layer stack 5 functions here as a so-called insulation layer between the first and the second Electrode.
  • the second electrode 6 and the electrical contact 3 are here not directly electrically or directly mechanically connected to each other, but between the electrical contact 3 and the second electrode 6, the organic functional layer stack 5 is arranged, within which the electrical current path 4 is or is generated.
  • Electrode 6 Over the first electrode 2 and the electrical contact 3, an organic functional layer stack 5 is applied.
  • the application of the organic functional layer stack 5 preferably takes place over the whole area (FIG. 2C).
  • both the first electrode 2 and the electrical contact 3 are completely from the
  • organic functional layer stack 5 covered.
  • the second electrode 6, in particular directly and / or structured, can be applied, and then the organic functional layer stack 5
  • Power supply can serve ( Figure 2D).
  • At least one current path 4 can be generated between the second electrode 6 and the electrical contact 3 in the organic functional layer stack 5.
  • the second electrode 6 can be irradiated by means of a laser, and thus the metal of the second electrode
  • the molten metal can penetrate the underlying organic functional layer stacks 5 and thus locally produce an electrical connection between the second electrode 6 and the electrical contact 3. Not of the organic functional
  • Layer stack 5 covered area of the electrical contact 3 can serve for external power supply.
  • the electrical contact by means of a bonding wire
  • the organic functional layer stack 5 is deposited without a mask, that is maskless.
  • Electrode 6 structured, so for example by means of a mask, deposited.
  • the advantage of this method is that the organic light-emitting component 100 can first be produced completely and then the contacting between the second electrode 6 and the electrical contact 3 can be produced in the so-called back-end process.

Abstract

The invention relates to an organic light-emitting component (100) having a substrate (1), a first electrode (2) arranged above the substrate (1), an electrical contact (3) arranged next to the first electrode (2) and for contacting a second electrode (6), wherein the second electrode (6) is not directly contacted with the electrical contact (3), wherein a current path (4) for contacting is formed between the second electrode (6) and the electrical contact (3) within the organic functional layer stack (5), wherein the current path (4) is a microvia, as well as at least one organic functional layer stack (5) which is configured for emitting radiation, wherein the organic functional layer stack (5) is arranged at least above the first electrode (2) and at least partially above the electrical contact (3), wherein the second electrode (6) is arranged above the organic functional layer stack (5).

Description

Beschreibung description
ORGANISCHES LICHT EMITTIERENDES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ORGANISCHEN LICHT EMITTIERENDEN BAUELEMENTS ORGANIC LIGHT EMITTING COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN ORGANIC LIGHT EMITTING COMPONENT
Die Erfindung betrifft em organisches Licht emittierendes Bauelement. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines organisehen Licht emittierenden The invention relates to em organic light emitting device. Furthermore, the invention relates to a method for producing an organic light-emitting
Bauelements . Component.
Organische Licht emittierende Bauelemente, beispielsweise organische Leuchtdioden (OLED) , weisen in der Regel eine Kathode als zweite Elektrode auf, die direkt mit einem elektrischen Kontakt mechanisch verbunden ist. Die Kathode ist zumindest in Teilbereichen über dem organischen Organic light-emitting components, such as organic light-emitting diodes (OLED), generally have a cathode as a second electrode, which is mechanically connected directly to an electrical contact. The cathode is at least in some areas above the organic
funktionellen Schichtenstapel angeordnet und mit einem elektrischen Kontakt, wie Metallbahnen, verbunden, die neben dem organischen funktionellen Schichtenstapel angeordnet sind. Mit anderen Worten ist die zweite Elektrode und der elektrische Kontakt in der Regel direkt miteinander functional layer stacks arranged and connected to an electrical contact, such as metal tracks, which are arranged adjacent to the organic functional layer stack. In other words, the second electrode and the electrical contact are usually directly connected to each other
mechanisch verbunden. Dadurch muss der organische mechanically connected. This requires the organic
funktionelle Schichtenstapel strukturiert aufgebracht werden. functional layer stacks are applied in a structured manner.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, die oben genannten Nachteile zu überwinden. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin, ein organisches Licht emittierendes Bauelement bereitzustellen, das schneller, einfacher und/oder An object to be solved is to overcome the above-mentioned disadvantages. Another object to be achieved is to provide an organic light-emitting device that is faster, simpler and / or
kostengünstiger herstellbar ist. Diese Aufgabe oder diese Aufgaben werden durch ein is cheaper to produce. This task or these tasks are by a
organisches Licht emittierendes Bauelement gemäß dem organic light emitting device according to the
unabhängigen Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. Ferner wird diese Aufgabe oder werden diese Aufgaben durch ein Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements gemäß dem independent claim 1 solved. Advantageous embodiments and further developments of the invention are the subject of dependent claims. Furthermore, this object or objects is achieved by a method for producing an organic light emitting device according to the
Anspruch 9 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Claim 9 solved. Advantageous embodiments and
Weiterbildungen des Verfahrens sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche 10 bis 15. Further developments of the method are the subject of the dependent claims 10 to 15.
In zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement ein Substrat auf. Das Bauelement weist eine erste Elektrode auf, die über dem Substrat In at least one embodiment, the organic light emitting device comprises a substrate. The device has a first electrode overlying the substrate
angeordnet ist. Das Bauelement weist einen elektrischen is arranged. The component has an electrical
Kontakt auf. Der elektrische Kontakt ist neben der ersten Elektrode angeordnet. Insbesondere ist der elektrische Contact on. The electrical contact is arranged next to the first electrode. In particular, the electrical
Kontakt lateral zur ersten Elektrode beabstandet. Der Contact spaced laterally from the first electrode. Of the
elektrische Kontakt ist zur Kontaktierung einer zweiten electrical contact is for contacting a second
Elektrode eingerichtet oder dient dazu. Das Bauelement weist zumindest einen organischen funktionellen Schichtenstapel auf. Der organische funktionelle Schichtenstapel ist zur Emission von Strahlung eingerichtet. Der organische  Electrode set up or serves. The component has at least one organic functional layer stack. The organic functional layer stack is adapted to emit radiation. The organic one
funktionelle Schichtenstapel ist zumindest über der ersten Elektrode angeordnet. Zusätzlich ist der organische functional layer stack is arranged at least over the first electrode. In addition, the organic
funktionelle Schichtenstapel zumindest teilweise über dem elektrischen Kontakt angeordnet. Das Bauelement weist die zweite Elektrode auf, die über dem organischen funktionellen Schichtenstapel angeordnet ist. functional layer stack at least partially disposed over the electrical contact. The device has the second electrode disposed over the organic functional layer stack.
In zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement ein Substrat auf. Das Bauelement weist eine erste Elektrode auf, die über dem Substrat In at least one embodiment, the organic light emitting device comprises a substrate. The device has a first electrode overlying the substrate
angeordnet ist. Das Bauelement weist einen elektrischen is arranged. The component has an electrical
Kontakt auf. Der elektrische Kontakt ist neben der ersten Elektrode angeordnet. Insbesondere ist der elektrische  Contact on. The electrical contact is arranged next to the first electrode. In particular, the electrical
Kontakt lateral zur ersten Elektrode beabstandet. Der elektrische Kontakt ist zur Kontaktierung einer zweiten Contact spaced laterally from the first electrode. Of the electrical contact is for contacting a second
Elektrode eingerichtet oder dient dazu, wobei die zweite Elektrode nicht direkt mit dem elektrischen Kontakt Electrode is set up or used, wherein the second electrode is not directly connected to the electrical contact
kontaktiert ist, wobei zwischen der zweiten Elektrode (6) und dem elektrischen Kontakt innerhalb des organischen is contacted, wherein between the second electrode (6) and the electrical contact within the organic
funktionellen Schichtenstapels ein Strompfad zur functional layer stack a current path to
Kontaktierung ausgebildet ist, wobei der Strompfad ein Contacting is formed, wherein the current path a
Microvia ist. Das Bauelement weist zumindest einen Microvia is. The component has at least one
organischen funktionellen Schichtenstapel auf. Der organische funktionelle Schichtenstapel ist zur Emission von Strahlung eingerichtet. Der organische funktionelle Schichtenstapel ist zumindest über der ersten Elektrode angeordnet. Zusätzlich ist der organische funktionelle Schichtenstapel zumindest teilweise über dem elektrischen Kontakt angeordnet. Das Bauelement weist die zweite Elektrode auf, die über dem organischen funktionellen Schichtenstapel angeordnet ist. organic functional layer stack on. The organic functional layer stack is adapted to emit radiation. The organic functional layer stack is arranged at least over the first electrode. In addition, the organic functional layer stack is at least partially disposed over the electrical contact. The device has the second electrode disposed over the organic functional layer stack.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist das organische Licht emittierende Bauelement als eine organische Licht emittierende Diode (OLED) ausgeformt. According to at least one embodiment, the organic light emitting device is formed as an organic light emitting diode (OLED).
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement ein Substrat auf. Das Substrat kann beispielsweise eines oder mehrere Materialien in Form einer Schicht, einer Platte, einer Folie oder einem Laminat aufweisen, die ausgewählt sind aus Glas, Quarz, Kunststoff, Metall, Siliziumwafer, Keramik, beschichtetes Papier. In accordance with at least one embodiment, the organic light-emitting component has a substrate. The substrate may for example comprise one or more materials in the form of a layer, a plate, a foil or a laminate, which are selected from glass, quartz, plastic, metal, silicon wafer, ceramic, coated paper.
Besonders bevorzugt weist das Substrat Glas, beispielsweise in Form einer Glasschicht, Glasfolie oder Glasplatte, auf oder ist daraus. Particularly preferably, the substrate comprises or is glass, for example in the form of a glass layer, glass sheet or glass plate.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement eine erste und zweite Elektrode auf. Insbesondere kann zumindest eine Elektrode transparent ausgebildet sein. Mit transparent wird hier und im Folgenden eine Schicht bezeichnet, die durchlässig für sichtbares Licht ist. Dabei kann die transparente Schicht klar durchscheinend oder zumindest teilweise lichtstreuend und/oder teilweise lichtabsorbierend sein, sodass die transparente Schicht beispielsweise auch diffus oder milchig durchscheinend sein kann. Besonders bevorzugt ist eine hier als transparent bezeichnete Schicht möglichst lichtdurchlässig, sodass insbesondere die Absorption von im Betrieb des organischenIn accordance with at least one embodiment, the organic light-emitting component has a first and a second electrode on. In particular, at least one electrode may be transparent. With transparent here and below a layer is called, which is permeable to visible light. In this case, the transparent layer can be transparent or at least partially light-scattering and / or partially light-absorbing, so that the transparent layer can also be translucent, for example, diffuse or milky. Particularly preferably, a layer designated here as transparent as possible is translucent, so that in particular the absorption of during operation of the organic
Licht emittierenden Bauelements im organischen funktionellen Schichtenstapel erzeugten Lichts so gering wie möglich ist. Light-emitting device in the organic functional layer stack generated light is as low as possible.
Alternativ können auch beide Elektroden transparent Alternatively, both electrodes can be transparent
ausgeformt sein. Damit kann das in dem zumindest einen organischen funktionellen Schichtenstapel erzeugte Licht in beide Richtungen, also durch beide Elektroden hindurch, abgestrahlt werden. Für den Fall, dass das organische be formed. In this way, the light generated in the at least one organic functional layer stack can be radiated in both directions, ie through both electrodes. In the event that the organic
lichtemittierende Bauelement ein Substrat aufweist, bedeutet dies, dass Licht sowohl durch das Substrat hindurch, das dann ebenfalls transparent ausgebildet ist, als auch in die vom Substrat abgewandte Richtung abgestrahlt werden kann. light-emitting component having a substrate, this means that light can be emitted both through the substrate, which is then likewise transparent, and in the direction away from the substrate.
Weiterhin können in diesem Fall alle Schichten des Furthermore, in this case, all layers of the
organischen Licht emittierenden Bauelements transparent ausgebildet sein, sodass das organische Licht emittierendebe formed transparent organic light emitting device, so that the organic light emitting
Bauelement eine transparente OLED bildet. Darüber hinaus kann es auch möglich sein, dass eine der beiden Elektroden, zwischen denen der organische funktionelle Schichtenstapel angeordnet ist, nicht-transparent und vorzugsweise Component forms a transparent OLED. Moreover, it may also be possible for one of the two electrodes, between which the organic functional layer stack is arranged, to be non-transparent and preferably
reflektierend ausgebildet ist, so dass das zwischen den beiden Elektroden erzeugte Licht nur in eine Richtung durch die transparente Elektrode abgestrahlt werden kann. Ist die auf dem Substrat angeordnete Elektrode transparent und ist auch das Substrat transparent ausgebildet, so spricht man auch von einem sogenannten Bottom-Emitter, während in dem Fall, dass die dem Substrat abgewandt angeordnete Elektrode transparent ausgebildet ist, von einem sogenannten Top- Emitter spricht. is formed reflecting, so that the light generated between the two electrodes can be emitted only in one direction through the transparent electrode. Is the arranged on the substrate electrode is transparent and is Also, the substrate formed transparent, so it is also called a so-called bottom emitter, while in the case that the electrode arranged facing away from the electrode is transparent, speaks of a so-called top emitter.
Als Material für eine transparente Elektrode kann As a material for a transparent electrode can
beispielsweise ein transparentes, leitfähiges Oxid (TCO For example, a transparent, conductive oxide (TCO
Transparent Conductive Oxide) , wie zum Beispiel ITO, Transparent Conductive Oxide), such as ITO,
verwendet werden. be used.
Transparente, elektrisch leitende Oxide (TCO) sind Transparent, electrically conductive oxides (TCO) are
transparente, elektrisch leitende Materialien, in der Regel Metalloxide, wie beispielsweise Zinkoxid, Zinnoxid, transparent, electrically conductive materials, usually metal oxides, such as zinc oxide, tin oxide,
Cadmiumoxid, Titanoxid, Indiumoxid, Indiumzinnoxid (ITO) oder Aluminiumzinkoxid (AZO) . Neben binären Cadmium oxide, titanium oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO) or aluminum zinc oxide (AZO). In addition to binary
MetallsauerstoffVerbindungen wie beispielsweise ZnO, Sn02 oder Ιη2θ3 gehören auch ternäre MetallsauerstoffVerbindungen wie beispielsweise Zn2SnOzi, CdSn03, ZnSn03, Mgln20zi, Galn03, Ζη2ΐη2θ5 oder In4Sn30]_2 oder Mischungen unterschiedlicher transparenter, leitender Oxide zu der Gruppe der TCOs .  Metal oxygen compounds such as ZnO, SnO 2 or Ιη 2θ 3 also include ternary metal oxygen compounds such as Zn 2 SnO 2, Cd Sn 3, Zn SnO 3, Mngln 20zi, GalnO 3, 2ηηηθ or In 4 Sn 30, 2 or mixtures of different transparent, conductive oxides into the group of TCOs.
Weiterhin entsprechen die TCOs nicht zwingend einer Furthermore, the TCOs do not necessarily correspond to one
stöchiometrischen Zusammensetzung und können auch p- oder n-dotiert sein. stoichiometric composition and may also be p- or n-doped.
Weiterhin kann eine transparente Elektrode auch eine Furthermore, a transparent electrode may also be a
Metallschicht mit einem Metall oder einer Legierung Metal layer with a metal or an alloy
aufweisen, beispielsweise mit einem oder mehreren der have, for example, with one or more of
folgenden Materialien: Silber, Platin, Gold, Magnesium oder eine Legierung aus Silber und Magnesium. Darüber hinaus sind auch andere Metalle möglich. Die Metallschicht weist dabei eine derart geringe Dicke auf, dass sie zumindest teilweise durchlässig für das von dem organischen funktionellen Schichtenstapel erzeugte Licht ist, beispielsweise eine Dicke von kleiner oder gleich 50 nm. following materials: silver, platinum, gold, magnesium or an alloy of silver and magnesium. In addition, other metals are possible. The metal layer has such a small thickness that it is at least partially permeable to that of the organic functional Layer stack generated light is, for example, a thickness of less than or equal to 50 nm.
Als Material für eine reflektierende Elektrode kann As a material for a reflective electrode can
beispielsweise ein Metall verwendet werden, das ausgewählt sein kann aus Aluminium, Barium, Indium, Silber, Gold, For example, a metal may be used, which may be selected from aluminum, barium, indium, silver, gold,
Magnesium, Kalzium und Lithium sowie Verbindungen, Magnesium, calcium and lithium as well as compounds,
Kombinationen und Legierungen daraus. Insbesondere kann eine reflektierende Elektrode Silber, Aluminium oder Legierungen mit diesen aufweisen, beispielsweise Ag:Mg, Ag:Ca, Mg:Al. Combinations and alloys thereof. In particular, a reflective electrode may comprise silver, aluminum or alloys with these, for example Ag: Mg, Ag: Ca, Mg: Al.
Insbesondere können die Elektroden nanostrukturierte In particular, the electrodes may be nanostructured
Elektroden, beispielsweise Silber-Nanodrähte, oder aus Electrodes, such as silver nanowires, or out
Graphen sein. Be graphene.
Insbesondere kann die erste Elektrode als Anode ausgebildet sein, dann ist die zweite Elektrode als Kathode ausgebildet. Alternativ kann die erste Elektrode als Kathode ausgebildet sein, dann ist die zweite Elektrode als Anode ausgebildet. In particular, the first electrode may be formed as an anode, then the second electrode is formed as a cathode. Alternatively, the first electrode may be formed as a cathode, then the second electrode is formed as an anode.
Die Elektroden können auch in Kombination von zumindest einer oder mehrerer TCO-Schichten und zumindest einer oder mehreren Metallschichten aufweisen. Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist zumindest ein organischer funktioneller Schichtenstapel über der ersten Elektrode und/oder dem Substrat angeordnet. Dass eine Schicht oder ein Stapel "auf" oder "über" einer anderen Schicht oder einem Stapel angeordnet oder aufgebracht ist, kann dabei hier und im Folgenden bedeuten, dass die eine Schicht oder der eine Stapel unmittelbar in direktem mechanischem und/oder elektrischem Kontakt auf der anderen Schicht angeordnet ist. Weiterhin kann es auch bedeuten, dass die eine Schicht mittelbar auf beziehungsweise über der anderen Schicht angeordnet ist. Dabei können dann weitere Schichten zwischen der einen und der anderen Schicht angeordnet sein. Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement zumindest einen organischen funktionellen Schichtenstapel auf. Insbesondere weist das organische Licht emittierende Bauelement genau einen The electrodes may also be in combination of at least one or more TCO layers and at least one or more metal layers. In accordance with at least one embodiment, at least one organic functional layer stack is arranged above the first electrode and / or the substrate. The fact that a layer or a stack is arranged or applied "on" or "above" another layer or stack may mean here and below that the one layer or a stack directly in direct mechanical and / or electrical contact the other layer is arranged. Furthermore, it can also mean that one layer is arranged indirectly on or above the other layer. In this case, further layers can then be arranged between the one and the other layer. In accordance with at least one embodiment, the organic light-emitting component has at least one organic functional layer stack. In particular, the organic light emitting device has exactly one
organischen funktionellen Schichtenstapel auf. Im Betrieb des organischen Licht emittierenden Bauelements wird in dem organischen funktionellen Schichtenstapel Strahlung erzeugt. Eine Wellenlänge der Strahlung oder das Wellenlängenmaximum liegt bevorzugt im infraroten und/oder ultravioletten organic functional layer stack on. During operation of the organic light emitting device, radiation is generated in the organic functional layer stack. A wavelength of the radiation or the wavelength maximum is preferably in the infrared and / or ultraviolet
und/oder sichtbaren Spektralbereich, insbesondere bei and / or visible spectral range, especially at
Wellenlängen zwischen einschließlich 420 nm und 680 nm. Wavelengths between 420 nm and 680 nm inclusive.
Der organische funktionelle Schichtenstapel kann Schichten mit organischen Polymeren, organischen Oligomeren, The organic functional layer stack may include layers of organic polymers, organic oligomers,
organischen Monomeren, organischen kleinen nichtpolymeren Molekülen ("small molecules") oder Kombinationen daraus aufweisen. Der organische funktionelle Schichtenstapel kann zusätzlich weitere funktionelle Schichten aufweisen, die als Lochtransportschicht ausgeführt sind, um eine effektive organic monomers, organic small non-polymeric molecules ("small molecules") or combinations thereof. The organic functional layer stack may additionally have further functional layers, which are designed as a hole transport layer, in order to achieve an effective
Löcherinjektion in den zumindest einen organischen Hole injection into the at least one organic
funktionellen Schichtenstapel zu ermöglichen. Als Materialien für eine Lochtransportschicht können sich beispielsweise tertiäre Amine, Carbazolderivate, mit Kampfersulfonsäure dotiertes Polyanilin oder mit Polystyrolsulfonsäure dotiertes Polyethylendioxidthiophen als vorteilhaft erweisen. Der organische funktionelle Schichtenstapel kann weiterhin zumindest eine funktionelle Schicht aufweisen, die als to enable functional layer stacks. For example, tertiary amines, carbazole derivatives, polyaniline doped with camphorsulfonic acid, or polyethylenedioxythiophene doped with polystyrenesulfonic may prove advantageous as materials for a hole transport layer. The organic functional layer stack can furthermore have at least one functional layer which can be used as a
Elektronentransportschicht ausgebildet ist. Allgemein kann der organische funktionelle Schichtenstapel zusätzliche Schichten aufweisen, die ausgewählt sind aus Electron transport layer is formed. In general, the organic functional layer stack may be additional Have layers that are selected from
Löcherinj ektionsschichten, Lochtransportschichten, Hole injection layers, hole transport layers,
Elektroninj ektionsschichten, Elektrontransportschichten, Lochblockierschichten und Elektronenblockierschichten . Electron injection layers, electron transport layers, hole blocking layers and electron blocking layers.
Insbesondere können die Schichten des organischen In particular, the layers of the organic
funktionellen Schichtenstapels vollständig oder zumindest überwiegend organische funktionelle Schichten sein. Darüber hinaus kann es auch möglich sein, dass einzelne Schichten des organischen funktionellen Schichtenstapels auch anorganische Materialien aufweisen oder daraus gebildet sind. functional layer stack completely or at least predominantly organic functional layers. In addition, it may also be possible that individual layers of the organic functional layer stack also comprise or are formed from inorganic materials.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist das organische Licht emittierende Bauelement zumindest eine leitende In accordance with at least one embodiment, the organic light-emitting component has at least one conductive one
StromaufWeitungsstruktur auf. Current spreading structure on.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist das Bauelement einen elektrischen Kontakt auf. Der elektrische Kontakt ist neben der ersten Elektrode angeordnet. Vorzugsweise ist der elektrische Kontakt lateral zur ersten Elektrode beabstandet angeordnet. Zwischen elektrischem Kontakt und erster In accordance with at least one embodiment, the component has an electrical contact. The electrical contact is arranged next to the first electrode. Preferably, the electrical contact is arranged laterally spaced from the first electrode. Between electrical contact and first
Elektrode ist insbesondere der organische funktionelle  In particular, the electrode is the organic functional one
Schichtenstapel angeordnet. Der elektrische Kontakt dient zur Kontaktierung der zweiten Elektrode. Vorzugsweise ist der elektrische Kontakt eine elektrische Leiterstruktur, die auf dem Substrat angeordnet ist und zur indirekten Kontaktierung der zweiten Elektrode dient. Layer stack arranged. The electrical contact serves for contacting the second electrode. Preferably, the electrical contact is an electrical conductor structure which is arranged on the substrate and serves for the indirect contacting of the second electrode.
Der elektrische Kontakt kann ein leitfähiges Glas, eine leitfähige Keramik und/oder ein hochdotierter Halbleiter oder ein Metall sein. The electrical contact may be a conductive glass, a conductive ceramic and / or a heavily doped semiconductor or a metal.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform besteht der elektrische Kontakt aus einem Metall. Alternativ kann der elektrische Kontakt auch einen Schichtaufbau aufweisen. Beispielsweise kann der elektrische Kontakt drei Schichten aus zwei oder drei unterschiedlichen Metallen aufweisen. Insbesondere weist der elektrische Kontakt eine Schichtstruktur Chrom-Aluminium- Chrom oder Molybdän-Aluminium-Molybdän oder Titan-Aluminium- Titan auf. In accordance with at least one embodiment, the electrical contact is made of a metal. Alternatively, the electric Contact also have a layer structure. For example, the electrical contact may comprise three layers of two or three different metals. In particular, the electrical contact has a layer structure chromium-aluminum-chromium or molybdenum-aluminum-molybdenum or titanium-aluminum-titanium.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der elektrische Kontakt zumindest ein Metall oder eine Legierung aus In accordance with at least one embodiment, the electrical contact comprises at least one metal or an alloy
zumindest zwei Metallen auf. Insbesondere ist das Metall oder die Legierung des elektrischen Kontakts aus einer Gruppe ausgewählt, die Silber, Aluminium, Molybdän, Chrom, Kupfer, Magnesium oder eine Legierung aus Molybdän-Aluminium, Chrom- Aluminium, Silber-Magnesium und Kombinationen daraus umfasst. Besonders bevorzugt ist der elektrische Kontakt aus Silber und/oder Aluminium geformt. at least two metals. In particular, the metal or alloy of the electrical contact is selected from a group comprising silver, aluminum, molybdenum, chromium, copper, magnesium or an alloy of molybdenum-aluminum, chromium-aluminum, silver-magnesium and combinations thereof. Particularly preferably, the electrical contact is formed from silver and / or aluminum.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der organische funktionelle Schichtenstapel als Isolationsschicht ausgeformt und zwischen der ersten und zweiten Elektrode angeordnet. Mit anderen Worten wird durch das hier beschriebene Bauelement ein Kurzschluss zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode durch die Anordnung des organischen funktionellen Schichtenstapels vermieden. Vorzugsweise erstreckt sich der organische funktionelle Schichtenstapel auf den elektrischen Kontakt. Der elektrische Kontakt und die zweite Elektrode sind dann über einen so genannten Strompfad elektrisch miteinander verbunden. According to at least one embodiment, the organic functional layer stack is formed as an insulating layer and arranged between the first and second electrodes. In other words, a short circuit between the first electrode and the second electrode is avoided by the arrangement of the organic functional layer stack by the device described here. Preferably, the organic functional layer stack extends to the electrical contact. The electrical contact and the second electrode are then electrically connected to one another via a so-called current path.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist zwischen der ersten Elektrode und dem elektrischen Kontakt der organische In accordance with at least one embodiment, the organic electrode is between the first electrode and the electrical contact
funktionelle Schichtenstapel angeordnet. Vorzugsweise sind die erste Elektrode und der elektronische Kontakt in arranged functional layer stacks. Preferably the first electrode and the electronic contact in
Seitenansicht in einer Ebene lateral zueinander beabstandet. Side view in a plane laterally spaced from each other.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform bedeckt der organische funktionelle Schichtenstapel zumindest teilweise oder In accordance with at least one embodiment, the organic functional layer stack covers at least partially or
vollständig den elektrischen Kontakt. Alternativ oder completely the electrical contact. Alternatively or
zusätzlich weist bei teilweiser Bedeckung des elektrischen Kontakts mit dem organischen funktionellen Schichtenstapel der elektrische Kontakt unbedeckte Bereiche auf. Die In addition, upon partial coverage of the electrical contact with the organic functional layer stack, the electrical contact has uncovered areas. The
unbedeckten Bereiche können zur externen Stromeinspeisung dienen . Uncovered areas can be used for external power supply.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist zwischen der zweiten Elektrode und dem elektrischen Kontakt innerhalb des organischen funktionellen Schichtenstapels ein Strompfad oder eine Mehrzahl von Strompfaden ausgebildet. According to at least one embodiment, a current path or a plurality of current paths is formed between the second electrode and the electrical contact within the organic functional layer stack.
Der Strompfad kann mittels eines Lasers erzeugt werden. The current path can be generated by means of a laser.
Alternativ kann der Strompfad auch durch Plasmaätzen oder mit mechanischen Mikrobohrern hergestellt werden. Alternatively, the current path can also be produced by plasma etching or with mechanical micro drills.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der Laser eine Wellenlänge aus dem IR-Bereich auf. Vorzugsweise weist der Laser eine Wellenlänge von 1064 nm mit einem Toleranzbereich von 10 %, 5 %, 3 %, 1 % oder 0,5 % von diesem Wert auf. Es können dabei Strompfade erzeugt werden, die einen In accordance with at least one embodiment, the laser has a wavelength from the IR range. Preferably, the laser has a wavelength of 1064 nm with a tolerance range of 10%, 5%, 3%, 1% or 0.5% of this value. It can be generated while rungs, the one
durchschnittlichen Durchmesser von 10,2 +/- 10 % um average diameter of 10.2 +/- 10%
aufweisen . Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der Strompfad ein Microvia. Als Microvias werden hier und im Folgenden kleine Löcher bezeichnet, die zwischen dem elektrischen Kontakt und der zweiten Elektrode angeordnet sind. Die Microvias verbinden den elektrischen Kontakt und die zweite Elektrode elektrisch miteinander. Ein Microvia ist durch einen exhibit . In accordance with at least one embodiment, the current path is a microvia. Microvias here and below are small holes which are arranged between the electrical contact and the second electrode. The microvias electrically connect the electrical contact and the second electrode. A microvia is through one
Lochdurchmesser von < 200 ym, vorzugsweise < 50 ym, Hole diameter of <200 ym, preferably <50 ym,
beispielsweise zwischen 5 und 15 ym, zum Beispiel 10 ym, definiert. Das Microvia dient zur Kontaktierung der zweiten Elektrode. Das Microvia wird beispielsweise mittels eines Lasers erzeugt. Dabei wird die aufgedampfte zweite Elektrode aufgeschmolzen. Das aufgeschmolzene Material, insbesondere das aufgeschmolzene Metall der zweiten Elektrode, durchdringt den darunterliegenden organischen funktionellen for example, between 5 and 15 ym, for example 10 ym. The microvia serves for contacting the second electrode. The microvia is generated for example by means of a laser. In this case, the vapor-deposited second electrode is melted. The molten material, in particular the molten metal of the second electrode, penetrates the underlying organic functional
Schichtenstapel und stellt damit lokal eine elektrische  Layer stack and thus provides an electrical local
Verbindung her. Die Seitenwände der Strompfade oder der Connection here. The sidewalls of the current paths or the
Microvias sind insbesondere metallisch ausgeformt. Microvias are formed in particular metallic.
Insbesondere ist der Strompfad sowohl an den Seitenflächen im gesamten Durchmesser mit dem Material der zweiten Elektrode ausgeformt und ausgefüllt. In particular, the current path is formed and filled both on the side surfaces in the entire diameter with the material of the second electrode.
Die Erfinder haben erkannt, dass vorteilhafte Eigenschaften des organischen Licht emittierenden Bauelements erzeugt werden können, wenn die zweite Elektrode nicht direkt mit einem elektrischen Kontakt kontaktiert wird, sondern dass beide Elemente über einen Strompfad des organischen The inventors have recognized that advantageous properties of the organic light-emitting component can be produced if the second electrode is not contacted directly with an electrical contact, but that both elements are connected via a current path of the organic
funktionellen Schichtenstapels miteinander elektrisch functional layer stack with each other electrically
kontaktiert sind. Das organische Licht emittierende are contacted. The organic light-emitting
Bauelement kann einfach hergestellt werden, da kein Component can be easily manufactured as no
Maskierungsprozess zur Aufbringung des organischen Masking process for applying the organic
funktionellen Schichtenstapels erforderlich ist. functional layer stack is required.
Die Verbindung der zweiten Elektrode indirekt mit dem The connection of the second electrode indirectly with the
elektrischen Kontakt, vorzugsweise mit einer kontaktierbaren Leiterfläche, geschieht vorzugsweise erst nach dem Aufbringen der zweiten Elektrode. Dies erfolgt vorzugsweise durch eine zusätzliche maskenfreie, lokal aufgebrachte Leiterstruktur. Mit anderen Worten erfolgt die Kontaktierung der zweiten Elektrode, die vorzugsweise die Top-Elektrode ist, durch den organischen funktionellen Schichtenstapel mittels lokaler Nachbehandlung. Die Nachbehandlung kann mittels eines Lasers erfolgen. electrical contact, preferably with a contactable conductor surface, preferably only after the application of the second electrode. This is preferably done by an additional mask-free, locally applied conductor structure. In other words, the contacting of the second electrode, which is preferably the top electrode, takes place through the organic functional layer stack by means of local after-treatment. The aftertreatment can be done by means of a laser.
Damit kann eine elektrische Verbindung der zweiten Elektrode zum Substrat bei organischen Licht emittierenden Bauelementen mit einem unstrukturierten organischen funktionellen This can be an electrical connection of the second electrode to the substrate in organic light emitting devices with an unstructured organic functional
Schichtenstapel erfolgen. Zudem können mehrere organische Licht emittierende Bauelemente beispielsweise in einem Layer stacks take place. In addition, a plurality of organic light-emitting components, for example, in one
Waferbund erzeugt werden und anschließend unterschiedlich kontaktiert werden. Es wird hier also das Bauelement mittels eines Strompfads, insbesondere einer Microvia, zwischen der zweiten Elektrode und dem Substrat oder dem elektrischenWafer bond are generated and then contacted differently. It is here so the device by means of a current path, in particular a microvia, between the second electrode and the substrate or the electrical
Kontakt kontaktiert. Es erfolgt eine lokale Behandlung ohne eine Massenabscheidung, zum Beispiel mittels Microvias. Damit können auch unstrukturierte organische funktionelle Contact contacted. There is a local treatment without a mass separation, for example by means of microvias. This can also be unstructured organic functional
Schichtenstapel aufgebracht werden. Layer stacks are applied.
Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements. The invention further relates to a method for producing an organic light-emitting component.
Vorzugsweise wird das hier beschriebene Bauelement mit dem hier beschriebenen Verfahren erzeugt. Dabei gelten die gleichen Definitionen und Ausführungen wie vorstehend für das organische Licht emittierende Bauelement auch für das Preferably, the device described here is produced by the method described here. In this case, the same definitions and embodiments as above for the organic light emitting device also apply to the
Verfahren und umgekehrt. Procedure and vice versa.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Verfahren die Verfahrensschritte: In accordance with at least one embodiment, the method comprises the method steps:
A) Bereitstellen eines Substrats, B) Aufbringen einer ersten Elektrode, zusätzlich Aufbringen eines elektrischen Kontakts, der benachbart zur ersten A) providing a substrate, B) applying a first electrode, additionally applying an electrical contact adjacent to the first
Elektrode angeordnet ist und auf dem Substrat angeordnet ist,Electrode is arranged and arranged on the substrate,
C) ganzflächiges Aufbringen des organischen funktionellen Schichtenstapels auf die erste Elektrode und den elektrischen Kontakt, C) application of the organic functional layer stack over the whole area to the first electrode and the electrical contact,
D) Aufbringen der zweiten Elektrode,  D) applying the second electrode,
E) Rückstrukturierung zumindest des organischen funktionellen Schichtenstapels im Bereich des elektrischen Kontakts, sodass ein Bereich des elektrischen Kontakts erzeugt wird, der zur externen Stromeinspeisung dient,  E) restructure at least the organic functional layer stack in the region of the electrical contact, so that a region of the electrical contact is generated which serves for external power supply,
F) Erzeugen eines Strompfads zwischen der zweiten Elektrode und dem elektrischen Kontakt in dem organischen funktionellen Schichtenstapel .  F) generating a current path between the second electrode and the electrical contact in the organic functional layer stack.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform erfolgt der Schritt C) Aufbringen des organischen funktionellen Schichtenstapels auf die erste Elektrode ganzflächig. Mit anderen Worten wird der organisch funktionelle Schichtenstapel sowohl auf die erste Elektrode als auch auf den elektrischen Kontakt ganzflächig aufgebracht. Anschließend kann die zweite Elektrode In accordance with at least one embodiment, step C) is carried out over the entire surface of the organic functional layer stack on the first electrode. In other words, the organically functional layer stack is applied over the whole area both to the first electrode and to the electrical contact. Subsequently, the second electrode
aufgebracht werden, wie in Schritt D) beschrieben, oder der organische funktionelle Schichtenstapel, wie in Schritt E) beschrieben, kann danach rückstrukturiert werden. Mit anderen Worten kann erst Schritt D) und dann Schritt E) erfolgen. Alternativ kann auch erst Schritt E) und dann Schritt D) erfolgen. Das Rückstrukturieren kann mittels Trockenätzen erfolgen . Gemäß zumindest einer Ausführungsform erfolgt Schritt D) strukturiert. Die zweite Elektrode wird also nicht can be applied, as described in step D), or the organic functional layer stack as described in step E) can then be restructured. In other words, only step D) and then step E) can take place. Alternatively, it is also possible to carry out step E) and then step D). The back structuring can be done by dry etching. In accordance with at least one embodiment, step D) takes place in a structured manner. So the second electrode will not work
ganzflächig auf den organischen funktionellen Schichtenstapel aufgebracht, sondern beispielsweise mittels einer Maske strukturiert aufgebracht. Insbesondere ist zumindest ein Teilbereich über dem elektrischen Kontakt frei von der zweiten Elektrode. Vorzugsweise ist der Bereich des applied over the entire surface of the organic functional layer stack, but for example by means of a mask structured applied. In particular, at least a portion above the electrical contact is free from the second electrode. Preferably, the area of the
elektrischen Kontakts, der nicht von dem organischen funktionellen Schichtenstapel bedeckt ist, frei von der zweiten Elektrode. Die zweite Elektrode kann aufgedampft werden . electrical contact, which is not covered by the organic functional layer stack, free from the second electrode. The second electrode can be evaporated.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird der Strompfad mittels eines Lasers erzeugt. Der Strompfad erstreckt sich von der zweiten Elektrode zum elektrischen Kontakt und erzeugt eine elektrische Verbindung zwischen den beiden Elementen . Vorzugsweise weist der Laser eine Wellenlänge aus dem IR- Bereich auf. In accordance with at least one embodiment, the current path is generated by means of a laser. The current path extends from the second electrode to the electrical contact and creates an electrical connection between the two elements. Preferably, the laser has a wavelength from the IR range.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist der Laser eine Wellenlänge von 1064 nm mit einer Toleranz von 10 ~6 von diesem Wert auf. In accordance with at least one embodiment, the laser has a wavelength of 1064 nm with a tolerance of 10 ~ 6 of this value.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der Strompfad als Microvia ausgeformt. Zusätzlich oder alternativ weist der Strompfad in Draufsicht einen Durchmesser oder In accordance with at least one embodiment, the current path is formed as a microvia. Additionally or alternatively, the current path in plan view a diameter or
durchschnittlichen Durchmesser von 10 ym mit einer Toleranz von 10 %, 5 %, 3 %, 2 % oder 1 % von diesem Wert auf. average diameter of 10 ym with a tolerance of 10%, 5%, 3%, 2% or 1% of this value.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird der Strompfad durch Aufschmelzen der zweiten Elektrode erzeugt. In accordance with at least one embodiment, the current path is generated by melting the second electrode.
Beispielsweise wird mittels eines Lasers die auf dem organisch funktionellen Schichtenstapel aufgedampfte zweite Elektrode aufgeschmolzen. Vorzugsweise ist die zweite By way of example, the second electrode vapor-deposited on the organically functional layer stack is melted by means of a laser. Preferably, the second is
Elektrode die Kathode. Das aufgeschmolzene Material der zweiten Elektrode, vorzugsweise ein Metall als Material, durchdringt den darunterliegenden organischen funktionellen Schichtenstapel. Damit wird ein Strompfad erzeugt, der lokal eine elektrische Verbindung zwischen der zweiten Elektrode und dem elektrischen Kontakt herstellt. Electrode the cathode. The molten material of second electrode, preferably a metal as material, penetrates the underlying organic functional layer stack. This generates a current path which locally establishes an electrical connection between the second electrode and the electrical contact.
Weitere Vorteile, vorteilhafte Ausführungsformen und Further advantages, advantageous embodiments and
Weiterbildungen ergeben sich aus den im Folgenden in Further developments emerge from the following in
Verbindung mit den Figuren beschriebenen Compound described with the figures
Ausführungsbeispielen. Embodiments.
Es zeigen: Show it:
Figur 1 eine schematische Seitenansicht eines organischen Licht emittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform, FIG. 1 shows a schematic side view of an organic light-emitting component according to an embodiment,
Figuren 2A bis 2F ein Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements gemäß einer FIGS. 2A to 2F show a method for producing an organic light-emitting component according to FIG
Ausführungsform. Embodiment.
In den Ausführungsbeispielen und Figuren können gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen sein. Die dargestellten Elemente und deren Größenverhältnisse untereinander sind nicht als maßstabsgerecht anzusehen. Vielmehr können einzelne Elemente wie zum Beispiel Schichten, Bauteile, Bauelemente und Bereiche zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein. Die Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements 100 gemäß einer Ausführungsform. Das organische Licht emittierende Bauelement 100 ist hier als organische Licht emittierende Leuchtdiode (OLED) ausgeformt. Das Bauelement 100 weist ein Substrat 1 auf. Das Substrat 1 kann beispielsweise aus Glas sein. Auf dem Substrat 1 kann eine erste Elektrode 2, beispielsweise die Anode, aufgebracht sein. Lateral zur ersten Elektrode 2 beabstandet kann ein elektrischer Kontakt 3 angeordnet sein. Der elektrische Kontakt 3 kann beispielsweise aus einer In the exemplary embodiments and figures, identical, identical or identically acting elements can each be provided with the same reference numerals. The illustrated elements and their proportions with each other are not to be regarded as true to scale. Rather, individual elements such as layers, components, components and areas for exaggerated representability and / or better understanding may be exaggerated. 1 shows a schematic representation of an organic light emitting device 100 according to one embodiment. The organic light emitting device 100 is here as an organic light emitting light emitting diode (OLED) formed. The device 100 has a substrate 1. The substrate 1 may be made of glass, for example. On the substrate 1, a first electrode 2, for example, the anode, be applied. Spaced laterally to the first electrode 2, an electrical contact 3 can be arranged. The electrical contact 3 may for example consist of a
Legierung aus Aluminium und Chrom bestehen. Der elektrische Kontakt 3 dient zur Kontaktierung der zweiten Elektrode 6. Über der ersten Elektrode 2 ist ein organischer funktioneller Schichtenstapel 5 angeordnet. Der organische funktionelle Schichtenstapel 5 ist zur Emission von Strahlung Alloy made of aluminum and chrome. The electrical contact 3 serves for contacting the second electrode 6. Above the first electrode 2, an organic functional layer stack 5 is arranged. The organic functional layer stack 5 is for emitting radiation
eingerichtet. Der organische funktionelle Schichtenstapel 5 erstreckt sich hier nicht nur lediglich über der ersten set up. The organic functional layer stack 5 does not only extend beyond the first one here
Elektrode 2, sondern zusätzlich zumindest bereichsweise über den elektrischen Kontakt 3. Alternativ kann sich der Electrode 2, but in addition at least partially over the electrical contact 3. Alternatively, the
organische funktionelle Schichtenstapel 5 auch vollständig über dem elektrischen Kontakt 3 erstrecken. Sollte der organische funktionelle Schichtenstapel 5 sich über den elektrischen Kontakt 3 vollständig erstrecken, kann der organische funktionelle Schichtenstapel 5 auch in Bereichen oberhalb des elektrischen Kontakts rückstrukturiert werden. Das kann beispielsweise mittels einer Maske erfolgen. Auf dem organischen funktionellen Schichtenstapel 5 ist die zweite Elektrode 6 angeordnet. Der elektrische Kontakt 3 und die zweite Elektrode 6 sind über zumindest einem Strompfad 4, hier am Beispiel von zwei Strompfaden 4 gezeigt, elektrisch miteinander verbunden. Der Strompfad 4 ist vorzugsweise als Microvia ausgeformt. Im Vergleich zu herkömmlichen organic functional layer stacks 5 also extend completely over the electrical contact 3. Should the organic functional layer stack 5 extend completely over the electrical contact 3, the organic functional layer stack 5 can also be restructured in regions above the electrical contact. This can be done for example by means of a mask. On the organic functional layer stack 5, the second electrode 6 is arranged. The electrical contact 3 and the second electrode 6 are electrically connected to one another via at least one current path 4, here shown by the example of two current paths 4. The current path 4 is preferably formed as a microvia. Compared to conventional
Bauelementen erstreckt sich also der organische funktionelle Schichtenstapel 5 hier nicht nur über die erste Elektrode 2, sondern auch über den elektrischen Kontakt 3. Der organische funktionelle Schichtenstapel 5 fungiert hier als so genannte Isolationsschicht zwischen der ersten und der zweiten Elektrode. Die zweite Elektrode 6 und der elektrische Kontakt 3 sind hier nicht direkt elektrisch oder direkt mechanisch miteinander verbunden, sondern zwischen dem elektrischen Kontakt 3 und der zweiten Elektrode 6 ist der organische funktionelle Schichtenstapel 5 angeordnet, innerhalb dessen der elektrische Strompfad 4 erzeugt ist oder wird. In this case, the organic functional layer stack 5 extends not only via the first electrode 2 but also via the electrical contact 3. The organic functional layer stack 5 functions here as a so-called insulation layer between the first and the second Electrode. The second electrode 6 and the electrical contact 3 are here not directly electrically or directly mechanically connected to each other, but between the electrical contact 3 and the second electrode 6, the organic functional layer stack 5 is arranged, within which the electrical current path 4 is or is generated.
Die Figuren 2A bis 2F zeigen ein Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements gemäß einer Ausführungsform. Die Figur 2A zeigt das Bereitstellen eines Substrats 1, das beispielsweise aus Glas geformt wird. Auf dem Substrat 1 wird, wie in Figur 2B gezeigt, die erste FIGS. 2A to 2F show a method for producing an organic light-emitting component according to an embodiment. FIG. 2A shows the provision of a substrate 1, which is formed, for example, from glass. On the substrate 1, as shown in Figure 2B, the first
Elektrode 2 aufgebracht. Lateral und/oder neben der ersten Elektrode 2 wird ein elektrischer Kontakt 3 aufgebracht. Der elektrische Kontakt dient zur Kontaktierung der zweiten Electrode 2 applied. Laterally and / or next to the first electrode 2, an electrical contact 3 is applied. The electrical contact is used to make contact with the second
Elektrode 6. Über der ersten Elektrode 2 und dem elektrischen Kontakt 3 wird ein organischer funktioneller Schichtenstapel 5 aufgebracht. Vorzugsweise erfolgt das Aufbringen des organischen funktionellen Schichtenstapels 5 ganzflächig (Figur 2C) . Es werden also sowohl die erste Elektrode 2 als auch der elektrische Kontakt 3 vollständig von dem  Electrode 6. Over the first electrode 2 and the electrical contact 3, an organic functional layer stack 5 is applied. The application of the organic functional layer stack 5 preferably takes place over the whole area (FIG. 2C). Thus, both the first electrode 2 and the electrical contact 3 are completely from the
organischen funktionellen Schichtenstapel 5 bedeckt. organic functional layer stack 5 covered.
Anschließend kann die zweite Elektrode 6, insbesondere direkt und/oder strukturiert, aufgebracht werden und anschließend der organische funktionelle Schichtenstapel 5 Subsequently, the second electrode 6, in particular directly and / or structured, can be applied, and then the organic functional layer stack 5
rückstrukturiert werden (gestrichelte Linien der Figur 2D) . Mit anderen Worten werden dann Bereiche des elektrischen Kontakts 3 wieder freigelegt, die später zur externen be restructured (dashed lines of Figure 2D). In other words, areas of the electrical contact 3 are then exposed again, which later to the external
Stromeinspeisung dienen können (Figur 2D) . Das Power supply can serve (Figure 2D). The
Rückstrukturieren des organischen funktionellen Rearrangement of the organic functional
Schichtenstapels 5 kann beispielsweise mittels Ätzens  Layer stack 5, for example, by etching
erfolgen. Das Aufbringen der zweiten Elektrode 6 kann mittels Abscheidung im Vakuum erfolgen. Die zweite Elektrode 6 und der elektrische Kontakt 3 sind, wie in Figur 2E gezeigt, elektrisch nicht miteinander verbunden. Es ist also kein direkter elektrischer Kontakt zwischen beiden vorhanden. respectively. The application of the second electrode 6 can take place by means of deposition in a vacuum. The second electrode 6 and the electrical contact 3, as shown in Figure 2E, are not electrically connected to each other. So there is no direct electrical contact between them.
Anschließend kann mittels Behandlung 8, beispielsweise mittels eines Lasers, zumindest ein Strompfad 4 zwischen der zweiten Elektrode 6 und dem elektrischen Kontakt 3 in dem organischen funktionellen Schichtenstapel 5 erzeugt werden. Dabei kann mittels Lasers die zweite Elektrode 6 bestrahlt werden und somit das Metall der zweiten Elektrode Subsequently, by means of treatment 8, for example by means of a laser, at least one current path 4 can be generated between the second electrode 6 and the electrical contact 3 in the organic functional layer stack 5. In this case, the second electrode 6 can be irradiated by means of a laser, and thus the metal of the second electrode
aufgeschmolzen werden. Das aufgeschmolzene Metall kann die darunterliegenden organischen funktionellen Schichtenstapel 5 durchdringen und damit lokal eine elektrische Verbindung zwischen der zweiten Elektrode 6 und dem elektrischen Kontakt 3 erzeugen. Der nicht von dem organischen funktionellen be melted. The molten metal can penetrate the underlying organic functional layer stacks 5 and thus locally produce an electrical connection between the second electrode 6 and the electrical contact 3. Not of the organic functional
Schichtenstapel 5 bedeckte Bereich des elektrischen Kontakts 3 kann zur externen Stromeinspeisung dienen. Beispielsweise kann der elektrische Kontakt mittels eines Bonddrahts Layer stack 5 covered area of the electrical contact 3 can serve for external power supply. For example, the electrical contact by means of a bonding wire
kontaktiert sein. Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird der organische funktionelle Schichtenstapel 5 ohne Maske, also maskenlos, abgeschieden . be contacted. In accordance with at least one embodiment, the organic functional layer stack 5 is deposited without a mask, that is maskless.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform wird die zweite In accordance with at least one embodiment, the second
Elektrode 6 strukturiert, also beispielsweise mittels einer Maske, abgeschieden. Electrode 6 structured, so for example by means of a mask, deposited.
Der Vorteil dieses Verfahrens ist, dass das organische Licht emittierende Bauelement 100 erst vollständig hergestellt werden kann und dann im so genannten Backend-Prozess die Kontaktierung zwischen der zweiten Elektrode 6 und dem elektrischen Kontakt 3 erzeugt werden kann. Die in Verbindung mit den Figuren beschriebenen The advantage of this method is that the organic light-emitting component 100 can first be produced completely and then the contacting between the second electrode 6 and the electrical contact 3 can be produced in the so-called back-end process. The ones described in connection with the figures
Ausführungsbeispiele und deren Merkmale können gemäß weiterer Ausführungsbeispiele auch miteinander kombiniert werden, auch wenn solche Kombinationen nicht explizit in den Figuren gezeigt sind. Weiterhin können die in Verbindung mit denEmbodiments and their features can also be combined with each other according to further embodiments, even if such combinations are not explicitly shown in the figures. Furthermore, in conjunction with the
Figuren beschriebenen Ausführungsbeispiele zusätzliche oder alternative Merkmale gemäß der Beschreibung im allgemeinen Teil aufweisen. Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand derFigures embodiments described additional or alternative features as described in the general part. The invention is not by the description based on the
Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Embodiments limited to these. Rather, the invention encompasses every new feature as well as every combination of features, which in particular includes any combination of features in the patent claims, even if this feature or combination itself is not explicitly described in the claims
Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.  Claims or embodiments is given.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2017 101 390.3, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird. This patent application claims the priority of German Patent Application 10 2017 101 390.3, the disclosure of which is hereby incorporated by reference.
Bezugs zeichenliste Reference sign list
100 organisches lichtemittierendes Bauelement100 organic light emitting device
1 Substrat 1 substrate
2 erste Elektrode  2 first electrode
3 elektrischer Kontakt  3 electrical contact
4 Strompfad  4 current path
5 organischer funktioneller Schichtenstapel 5 organic functional layer stacks
6 zweite Elektrode 6 second electrode
7 Bereich des elektrischen Kontakts  7 range of electrical contact
8 Behandlung  8 treatment

Claims

Patentansprüche claims
Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) isend Organic light emitting device (100)
ein Substrat (1),  a substrate (1),
eine erste Elektrode (2), die über dem Substrat (1) angeordnet ist,  a first electrode (2) disposed over the substrate (1)
einen elektrischen Kontakt (3) , der neben der ersten Elektrode (2) angeordnet ist und zur Kontaktierung einer zweiten Elektrode (6) dient, wobei die zweite Elektrode (6) nicht direkt mit dem elektrischen Kontakt (3) kontaktiert ist, wobei zwischen der zweiten Elektrode (6) und dem elektrischen Kontakt an electrical contact (3), which is arranged next to the first electrode (2) and serves for contacting a second electrode (6), wherein the second electrode (6) is not directly contacted with the electrical contact (3), wherein between the second electrode (6) and the electrical contact
(3) innerhalb des organischen funktionellen Schichtenstapels (5) ein Strompfad (4) zur (3) within the organic functional layer stack (5) a current path (4) for
Kontaktierung ausgebildet ist, wobei der Strompfad Contacting is formed, wherein the current path
(4) ein Microvia ist, (4) is a microvia,
zumindest einen organischen funktionellen  at least one organic functional
Schichtenstapel (5) , der zur Emission von Strahlung eingerichtet ist, wobei der organische funktionelle Schichtenstapel (5) zumindest über der ersten Elektrode (2) und zumindest teilweise über den elektrischen Kontakt (3) angeordnet ist,  Layer stack (5) which is set up to emit radiation, the organic functional layer stack (5) being arranged at least over the first electrode (2) and at least partially via the electrical contact (3),
wobei die zweite Elektrode (6) über dem organischen funktionellen Schichtenstapel (5) angeordnet ist.  wherein the second electrode (6) is disposed over the organic functional layer stack (5).
2. Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) nach Anspruch 1, 2. Organic light-emitting component (100) according to claim 1,
wobei der organische funktionelle Schichtenstapel (5) als Isolationsschicht zwischen der ersten und zweiten Elektrode (2, 6) angeordnet ist. wherein the organic functional layer stack (5) is arranged as an insulating layer between the first and second electrodes (2, 6).
3. Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 3. Organic light-emitting component (100) according to one of the preceding claims,
wobei zwischen der ersten Elektrode (2) und dem elektrischen Kontakt (3) der organische funktionelle Schichtenstapel (5) angeordnet ist. wherein between the first electrode (2) and the electrical contact (3), the organic functional layer stack (5) is arranged.
4. Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 4. Organic light-emitting component (100) according to one of the preceding claims,
wobei der organische funktionelle Schichtenstapel (5) wherein the organic functional layer stack (5)
teilweise den elektrischen Kontakt (3) bedeckt und der unbedeckte Bereich des elektrischen Kontakts (3) zur externen Stromeinspeisung dient. partially covers the electrical contact (3) and the uncovered portion of the electrical contact (3) is used for external power supply.
5. Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 5. Organic light-emitting component (100) according to one of the preceding claims,
wobei der Strompfad (4) mittels eines Lasers erzeugt ist. wherein the current path (4) is generated by means of a laser.
6. Organisches Licht emittierendes Bauelement (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 6. Organic light-emitting component (100) according to one of the preceding claims,
wobei der Laser eine Wellenlänge aus dem IR-Bereich aufweist. wherein the laser has a wavelength in the IR range.
7. Verfahren zur Herstellung eines organischen Licht emittierenden Bauelements (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 6 mit den Schritten: 7. A method for producing an organic light emitting device (100) according to any one of claims 1 to 6, comprising the steps of:
A) Bereitstellen eines Substrats (1),  A) providing a substrate (1),
B) Aufbringen einer ersten Elektrode (2) und benachbart zur ersten Elektrode eines elektrische Kontakts (3) auf das Substrat (1),  B) applying a first electrode (2) and adjacent to the first electrode of an electrical contact (3) on the substrate (1),
C) ganzflächiges Aufbringen des organischen  C) full-surface application of the organic
funktionellen Schichtenstapels (5) auf die erste functional layer stack (5) on the first
Elektrode (2) und den elektrischen Kontakt (3),Electrode (2) and the electrical contact (3),
D) Aufbringen der zweiten Elektrode (6), E) Rückstrukturieren zumindest des organischen funktionellen Schichtenstapels (5) im Bereich des elektrischen Kontakts (3) , so dass ein Bereich des elektrischen Kontakts (7) erzeugt wird, der zur externen Stromeinspeisung dient, D) applying the second electrode (6), E) restructurizing at least the organic functional layer stack (5) in the region of the electrical contact (3) so as to produce a region of the electrical contact (7) which serves for external power supply,
F) Erzeugen eines Strompfads (4) zwischen der zweiten Elektrode (6) und dem elektrischen Kontakt (3) in dem organischen funktionellen Schichtenstapel (5) .  F) generating a current path (4) between the second electrode (6) and the electrical contact (3) in the organic functional layer stack (5).
8. Verfahren nach Anspruch 7, 8. The method according to claim 7,
wobei der Schritt D) strukturiert erfolgt. wherein step D) is structured.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, 9. The method according to claim 7 or 8,
wobei der Strompfad (4) mittels eines Lasers erzeugt wird. wherein the current path (4) is generated by means of a laser.
10. Verfahren nach Anspruch 9, 10. The method according to claim 9,
wobei der Laser eine Wellenlänge aus dem IR-Bereich aufweist. wherein the laser has a wavelength in the IR range.
11. Verfahren nach Anspruch 10, 11. The method according to claim 10,
wobei der Laser eine Wellenlänge von 1064 nm mit einer wherein the laser has a wavelength of 1064 nm with a
Toleranz von 10 % aufweist. Tolerance of 10%.
12. Verfahren nach Anspruch 7 bis 11, 12. The method according to claim 7 to 11,
wobei der Strompfad (4) zumindest ein Microvia ist, das einen Durchmesser von 10 ym mit einer Toleranz von 10 % aufweist. wherein the current path (4) is at least one microvia having a diameter of 10 ym with a tolerance of 10%.
13. Verfahren nach Anspruch 7 bis 12, 13. The method according to claim 7 to 12,
wobei der Strompfad (4) durch Aufschmelzen der zweiten wherein the current path (4) by melting the second
Elektrode (6) erzeugt wird. Electrode (6) is generated.
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