WO2018007558A3 - Détecteur de rayonnement et fabrication dudit détecteur - Google Patents

Détecteur de rayonnement et fabrication dudit détecteur Download PDF

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WO2018007558A3 PCT/EP2017/067023 EP2017067023W WO2018007558A3 WO 2018007558 A3 WO2018007558 A3 WO 2018007558A3 EP 2017067023 W EP2017067023 W EP 2017067023W WO 2018007558 A3 WO2018007558 A3 WO 2018007558A3
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Abstract

L'invention concerne un détecteur de rayonnement (1) comprenant un substrat (2) et une membrane (3), et au moins un espaceur (4) servant à maintenir la membrane (3) à distance du substrat (2), pour la mise en contact électrique de la membrane (3) et pour l'isolation thermique de la membrane (3) par rapport au substrat (2). Le ou les espaceurs (4) sont divisés dans une direction située entre le substrat (2) et la membrane (3) en une première section (4a) et une seconde section (4b) dont la longueur couvre respectivement moins d'une distance entre le substrat (2) et la membrane (3). La première et la seconde section (4a, 4b) sont décalées latéralement l'une par rapport à l'autre et reliées par un élément orienté latéralement (5), de sorte que la première et la seconde section (4a, 4b) sont connectées électriquement en série par l'intermédiaire de l'élément orienté latéralement (5), l'élément orienté latéralement (5) participant moins ou autant à une résistance thermique du ou des espaceurs (4) qu'une somme des résistances thermiques de la première et de la seconde section (4a, 4b). Selon une variante, le ou les espaceurs (4) peuvent présenter une couche (8) électroconductrice et thermoconductrice qui s'étend dans un plan de section perpendiculairement au substrat (2) en forme de boucle traversant le ou les espaceurs (14), de sorte qu'un trajet électrique traversant le ou les espaceurs (14) et sur lequel la membrane (2) est mise en contact est plus long que la distance entre le substrat (2) et la membrane (3). Selon une autre variante, le détecteur de rayonnement (1) peut également comprendre un substrat (2) muni d'un évidement et une membrane (3), l'évidement du substrat (2) s'étendant dans une direction l'éloignant de la membrane (3), au moins un espaceur (4, 14) étant conçu pour maintenir la membrane (3) à distance du substrat (2) pour la mise en contact de la membrane (3) et pour l'isolation thermique de la membrane (3) par rapport au substrat (2), et le ou les espaceurs (4, 14) s'étendant dans l'évidement. Selon une variante ou en complément, l'espaceur (4, 14) présente une rugosité de surface latérale qui est obtenue par des dentelures, pour réduire le transport de phonos par des effets de diffusion de surface ainsi que par l'allongement du trajet qui en résulte. L'invention concerne en coutre des procédés de fabrication de détecteurs de rayonnement (1) de ce type.
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