WO2017046844A1 - レーザシステム - Google Patents

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charging capacitor
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若林　理
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    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383—Parallel arrangements

Definitions

  • This disclosure relates to a laser system.
  • the laser annealing apparatus irradiates an amorphous (non-crystalline) silicon film formed on a substrate with a pulsed laser beam having a wavelength in the ultraviolet region output from a laser system such as an excimer laser, and modifies it to a polysilicon film.
  • a laser system such as an excimer laser
  • a TFT thin film transistor
  • This TFT is used for a relatively large liquid crystal display.
  • a laser system is a first laser apparatus, and includes a first laser chamber, a first pair of electrodes disposed in the first laser chamber, and a first charging capacitor.
  • a first pulse generator including: a pulse voltage generated by electrical energy stored in a first charging capacitor, and the pulse voltage applied to the first pair of electrodes;
  • a first charger for supplying electric energy to the first charging capacitor for charging, a second laser device, a second laser chamber, a second charger,
  • a second pulse generator including a second pair of electrodes disposed in the laser chamber and a second charging capacitor, which generates a pulse voltage by the electric energy stored in the second charging capacitor,
  • a second laser device comprising: a second pulse generator for applying a pulse voltage to the second pair of electrodes; and a second charger for supplying electric energy to the second charging capacitor for charging.
  • a common charging voltage measuring unit that measures the charging voltage charged in the first charging capacitor and the charging voltage charged in the second charging capacitor; the charging voltage charged in the first charging capacitor; and the second charging You may provide the at least 1 bleed circuit which respectively drops the charging voltage charged to the capacitor
  • a laser system is a first laser apparatus, which includes a first laser chamber, a first pair of electrodes disposed in the first laser chamber, and a first A first pulse generator including a charging capacitor, wherein a pulse voltage is generated by electrical energy stored in the first charging capacitor and the pulse voltage is applied to a first pair of electrodes.
  • a first laser device, a second laser device, a second laser chamber, a first laser device comprising: a first charger for supplying electrical energy to the first charging capacitor to charge the first charging capacitor;
  • a second pulse generator including a second pair of electrodes disposed in the two laser chambers and a second charging capacitor, and generates a pulse voltage by the electric energy stored in the second charging capacitor.
  • a second laser device comprising: a second pulse generator for applying the pulse voltage to the second pair of electrodes; and a second charger for supplying electric energy to the second charging capacitor for charging.
  • a common charging voltage measuring unit that measures the charging voltage charged in the first charging capacitor and the charging voltage charged in the second charging capacitor, and the charging voltage charged in the first charging capacitor.
  • the application timing of the pulse voltage from the first pulse generator to the first pair of electrodes is controlled, and the second pulse voltage from the second pulse generator is controlled based on the charging voltage charged in the second charging capacitor.
  • a synchronization control unit that controls application timing to the pair of electrodes.
  • FIG. 1 schematically shows a configuration of a laser annealing apparatus including a laser system according to a comparative example.
  • FIG. 2 shows a configuration example of the laser system shown in FIG.
  • FIG. 3 is a timing chart in the laser system shown in FIG.
  • FIG. 4 is a timing chart showing a specific correction method in the nth trigger correction unit.
  • FIG. 5 is a flowchart showing processing of the laser system control unit shown in FIG.
  • FIG. 6 is a flowchart showing processing of the laser control unit shown in FIG.
  • FIG. 7 is a flowchart showing the processing of the nth trigger correction unit shown in FIG.
  • FIG. 1 schematically shows a configuration of a laser annealing apparatus including a laser system according to a comparative example.
  • FIG. 2 shows a configuration example of the laser system shown in FIG.
  • FIG. 3 is a timing chart in the laser system shown in FIG.
  • FIG. 4 is a timing chart showing a specific correction method in the nth trigger
  • FIG. 8 schematically illustrates the configuration of the laser system according to the first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 9 shows an internal configuration of the laser chamber as viewed from a direction substantially parallel to the traveling direction of the pulse laser beam in the first embodiment.
  • FIG. 10 is a flowchart showing processing of the measurement control unit shown in FIG.
  • FIG. 11 is a flowchart showing processing of the bleed circuit control unit shown in FIG.
  • FIG. 12 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the second embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 13 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the third embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 14 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the fourth embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 10 is a flowchart showing processing of the measurement control unit shown in FIG.
  • FIG. 11 is a flowchart showing processing of the bleed circuit control unit shown in FIG.
  • FIG. 12 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the second embodiment
  • FIG. 15 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the fifth embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 16 schematically shows a configuration of the bleed circuit 79 shown in FIG.
  • FIG. 17 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the sixth embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 18 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the control unit.
  • FIG. 1 schematically shows the configuration of a laser annealing apparatus including a laser system according to a comparative example.
  • the laser annealing apparatus 1 shown in FIG. 1 may include a laser system 5 and an annealing apparatus 4.
  • the laser system 5 may include a laser system control unit 20, a synchronization control unit 22, first and second laser devices 2 a and 2 b, and a beam splitter 3.
  • Each of the first and second laser devices 2a and 2b may be an excimer laser device using, for example, XeF, XeCl, KrF, or ArF as a laser medium.
  • the first and second laser devices 2a and 2b may have substantially the same configuration.
  • the first and second laser devices 2a and 2b may output first and second pulse laser beams 21a and 21b, respectively.
  • the first and second pulse laser beams 21a and 21b may have an ultraviolet wavelength region.
  • the first and second pulsed laser beams 21a and 21b may be guided to the beam splitter 3. Although two laser devices are shown in FIG. 1, the number of laser devices is not particularly limited, and may be three or more as will be described later with reference to FIG.
  • the luminous device 3 may include high reflection mirrors 31 and 32 and a right-angle prism 33.
  • a right angle prism 33 may be disposed between the high reflection mirrors 31 and 32.
  • the high reflection mirror 31 may be disposed so as to intersect with the optical path axis of the first pulse laser beam 21a at an angle of about 45 °.
  • the high reflection mirror 32 may be disposed so as to intersect the optical path axis of the second pulse laser beam 21b at an angle of about 45 °.
  • the right-angle prism 33 may be formed in a triangular prism shape whose bottom surface, which is a plane parallel to the paper surface, is a right-angle triangle. High reflection films may be coated on the two side surfaces forming the right angle of the right-angle prism 33. Two side surfaces forming a right angle of the right-angle prism 33 may constitute a first reflection surface 33a and a second reflection surface 33b, respectively.
  • the first pulse laser beam 21a output from the first laser device 2a may be reflected by the high reflection mirror 31 toward the first reflection surface 33a of the right-angle prism 33. Further, the first pulse laser beam 21 a may be reflected by the first reflecting surface 33 a of the right-angle prism 33 and output toward the annealing device 4.
  • the second pulse laser beam 21b output from the second laser device 2b may be reflected by the high reflection mirror 32 toward the second reflection surface 33b of the right-angle prism 33. Further, the second pulse laser beam 21 b may be reflected by the second reflecting surface 33 b of the right-angle prism 33 and output toward the annealing device 4.
  • the light beam splitter 3 makes the first and second pulse laser beams 21 a and 21 b have their optical path axes parallel to each other and closes these optical paths to form the light beam laser beam 21. It may be emitted.
  • the “optical path axis” of the pulse laser beam means the central axis of the optical path of the pulse laser beam.
  • Flued laser beam may be a pulsed laser beam in which a plurality of pulsed laser beams are bundled.
  • the light beam laser beam 21 may have about twice as much pulse energy as the pulse laser beam output from one laser device.
  • the annealing apparatus 4 may include an annealing control unit 40, an illumination optical system 42, a mask 43, a high reflection mirror 41, a transfer optical system 44, and a stage 45.
  • the annealing device 4 may form the luminous laser beam 21 emitted from the laser system 5 into a predetermined mask pattern and transfer the mask pattern to the irradiation object P.
  • the illumination optical system 42 includes a fly-eye lens 421 and a condenser optical system 422, and may be designed to constitute Koehler illumination.
  • the fly eye lens 421 may be disposed in the optical path of the light beam laser beam 21 emitted from the laser system 5.
  • the fly-eye lens 421 may include a plurality of lenses arranged along the cross section of the light beam laser beam 21.
  • the luminous laser beam 21 incident on the fly-eye lens 421 may be substantially parallel light.
  • Each of the plurality of lenses included in the fly-eye lens 421 may enlarge the beam width of each part of the light flux laser beam 21 when transmitting the part of the light flux laser beam 21 toward the condenser optical system 422.
  • the condenser optical system 422 may be disposed in the optical path of the light beam laser beam 21 emitted from the fly-eye lens 421.
  • the condenser optical system 422 may illuminate the light beam laser beam 21 emitted from the fly-eye lens 421 toward the mask 43.
  • the condenser optical system 422 may be arranged so that the position of the rear focal plane of the condenser optical system 422 substantially coincides with the position of the mask 43. Therefore, the condenser optical system 422 can make the luminous laser beams 21 transmitted through each of the plurality of lenses included in the fly-eye lens 421 enter substantially the same region of the mask 43.
  • the condenser optical system 422 is illustrated as including one convex lens, but may include a combination with another convex lens or a concave lens (not illustrated), a concave mirror, or the like.
  • the illumination optical system 42 can reduce variation in the light intensity distribution in the beam cross section of the light beam laser beam 21 irradiated on the mask 43.
  • the mask 43 may be a slit in which a rectangular opening is formed.
  • the opening shape of the slit can constitute a mask pattern of the mask 43.
  • the mask pattern of the mask 43 is not limited to a rectangular shape, and may be a pattern having a desired shape.
  • the high reflection mirror 41 may be disposed in the optical path of the light beam laser beam 21 that has passed through the mask 43.
  • the high reflection mirror 41 may reflect the light beam laser beam 21 so as to enter the transfer optical system 44.
  • the transfer optical system 44 may be disposed in the optical path of the light beam laser beam 21 reflected by the high reflection mirror 41.
  • the transfer optical system 44 may be arranged so that the position of the image of the mask 43 formed by the transfer optical system 44 substantially coincides with the irradiated position of the irradiated object P. Thereby, the transfer optical system 44 can transfer the mask pattern of the mask 43 to the irradiated object P.
  • the transfer optical system 44 may include one or more convex lenses.
  • the transfer optical system 44 is not limited to one or a plurality of convex lenses, and may include, for example, a combination of a convex lens and a concave lens, a concave mirror, or the like.
  • the transfer optical system 44 may be configured by a cylindrical lens that transfers only the short direction of the rectangular mask pattern to the irradiation object P.
  • the stage 45 may be configured to move the irradiated object P so that the image of the mask 43 formed by the transfer optical system 44 scans the irradiated surface of the irradiated object P.
  • the laser system 5 can output the luminous laser beam 21 having higher pulse energy than the pulse laser beam output from one laser device.
  • the laser annealing apparatus 1 can irradiate the irradiated object P with the luminous laser beam 21 with a predetermined pulse energy density required for annealing and a wide irradiation area. And it may be possible to efficiently manufacture a large area liquid crystal display.
  • the annealing control unit 40 may perform control such as movement of the stage 45 and replacement of the irradiation object P and the mask 43.
  • the annealing control unit 40 may output a trigger signal TR to the laser system control unit 20.
  • the laser system control unit 20 may transmit the trigger signal TR received from the annealing control unit 40 to the synchronization control unit 22. Based on the trigger signal TR received from the laser system control unit 20, the synchronization control unit 22 sends the first and second switch signals S (1) and S (2) to the first and second laser devices 2a and 2a, respectively. You may transmit to 2b. The first and second laser devices 2 a and 2 b may output pulsed laser light based on the respective switch signals received from the synchronization control unit 22.
  • FIG. 2 shows a configuration example of the laser system shown in FIG.
  • the first laser device 2a may include a laser chamber 10, a pair of electrodes 11a and 11b, a charger 12, and a pulse power module (PPM) 13.
  • the first laser device 2a may further include a high reflection mirror 14, an output coupling mirror 15, a pulse energy measurement unit 17, a discharge sensor 18, and a laser control unit 19.
  • the configuration of the second laser device 2b may be the same.
  • FIG. 2 shows the internal configuration of the laser chamber 10 as viewed from the direction perpendicular to both the traveling direction of the pulsed laser light 21a and the discharge direction between the pair of electrodes 11a and 11b.
  • the laser chamber 10 may be a chamber in which a laser gas as a laser medium containing, for example, argon, krypton, or xenon as a rare gas, neon or helium as a buffer gas, chlorine, fluorine, or the like as a halogen gas is enclosed.
  • the pair of electrodes 11a and 11b may be disposed in the laser chamber 10 as electrodes for exciting the laser medium by discharge.
  • An opening may be formed in the laser chamber 10, and the opening may be closed by the electrical insulating portion 29.
  • the electrode 11a may be supported by the electrical insulating portion 29, and the electrode 11b may be supported by the return plate 10d.
  • the return plate 10d may be connected to the inner surface of the laser chamber 10 by wirings 10e and 10f described later with reference to FIG.
  • the electrically insulating portion 29 may be embedded with a conductive portion 29a.
  • the conductive part 29a may apply a high voltage supplied from the pulse power module 13 to the electrode 11a.
  • the charger 12 may be a DC power supply that charges a charging capacitor C0 (described later) in the pulse power module 13 with a predetermined voltage.
  • the pulse power module 13 may include a switch 13a and a magnetic compression circuit described later.
  • the pulse power module 13 may correspond to the pulse generator of the present disclosure.
  • the high reflection mirror 14 and the output coupling mirror 15 may constitute an optical resonator.
  • the pulse energy measurement unit 17 may include a beam splitter 17a, a condensing optical system 17b, and an optical sensor 17c.
  • the synchronization control unit 22 may include first and second trigger correction units 22a and 22b and a delay circuit unit 24.
  • Each of the first and second trigger correction units 22 a and 22 b may include a processing unit 25, a delay circuit 26, and a timer 27.
  • a common clock signal is supplied to the first and second trigger correction units 22a and 22b and the delay circuit unit 24 by a clock generator (not shown). Also good.
  • the delay circuit unit 24 may receive the trigger signal TR output from the laser system control unit 20.
  • the delay circuit unit 24 uses the first delay signal TR (1) indicating that the first delay time TRd (1) has elapsed since the reception of the trigger signal TR as a delay circuit of the first trigger correction unit 22a. 26 and the timer 27 may be output.
  • the delay circuit unit 24 uses the second delay signal TR (2) indicating that the second delay time TRd (2) has elapsed since the reception of the trigger signal TR as a delay circuit of the second trigger correction unit 22b. 26 and the timer 27 may be output.
  • the data of the first delay time TRd (1) and the data of the second delay time TRd (2) may be given from the laser system control unit 20 to the synchronization control unit 22.
  • the delay circuit 26 of the first trigger correction unit 22a receives the first switch signal S (1) indicating that the first correction time Td (1) has elapsed since the reception of the first delay signal TR (1). ) May be output to the pulse power module 13 of the first laser device 2a.
  • the first correction time Td (1) may be set by the processing unit 25 of the first trigger correction unit 22a.
  • the delay circuit 26 of the second trigger correction unit 22b receives the second switch signal S (2) indicating that the second correction time Td (2) has elapsed since the reception of the second delay signal TR (2). ) May be output to the pulse power module 13 of the second laser device 2b.
  • the second correction time Td (2) may be set by the processing unit 25 of the second trigger correction unit 22b.
  • the laser control unit 19 may send and receive various signals to and from the laser system control unit 20 described above.
  • the laser control unit 19 may receive target pulse energy data from the laser system control unit 20.
  • the laser controllers 19 of the first and second laser devices 2a and 2b set the charging voltage based on the target pulse energy Et (1) and Et (2) data received from the laser system controller 20, respectively.
  • the values V (1) and V (2) may be calculated.
  • the laser control unit 19 may transmit the set value of the charging voltage to the charger 12 and the processing unit 25 of the corresponding trigger correction unit. .
  • the charger 12 may charge the charging capacitor C0 in the pulse power module 13 according to the set value of the charging voltage.
  • the pulse power modules 13 of the first and second laser devices 2a and 2b may receive the first and second switch signals S (1) and S (2) output from the delay circuit 26, respectively. .
  • the switch 13a of the pulse power module 13 of the first and second laser devices 2a and 2b may be switched from OFF to ON by switch signals S (1) and S (2), respectively.
  • the pulse power module 13 when the switch 13a is turned from OFF to ON, the pulse power module 13 generates a pulsed high voltage from the electric energy held in the charging capacitor C0. Also good. This high voltage may be applied to the pair of electrodes 11a and 11b.
  • the laser medium in the laser chamber 10 can be excited to shift to a high energy level.
  • the excited laser medium subsequently moves to a low energy level, light corresponding to the energy level difference can be emitted.
  • the light generated in the laser chamber 10 can be emitted to the outside of the laser chamber 10 through the windows 10a and 10b.
  • the high reflection mirror 14 may reflect the light emitted from the window 10 a of the laser chamber 10 with a high reflectance and return it to the laser chamber 10.
  • the output coupling mirror 15 may transmit a part of the light output from the window 10 b of the laser chamber 10 and output it, and may reflect the other part and return it to the laser chamber 10.
  • the light emitted from the laser chamber 10 reciprocates between the high reflection mirror 14 and the output coupling mirror 15, and can be amplified every time it passes through the laser gain space between the electrode 11a and the electrode 11b.
  • each part of the amplified light can be output as pulsed laser light 21 a and 21 b via the output coupling mirror 15.
  • the beam splitter 17a of the pulse energy measuring unit 17 may transmit the pulse laser beam with high transmittance and reflect a part of the pulse laser beam toward the condensing optical system 17b.
  • the condensing optical system 17b may condense the pulse laser beam reflected by the beam splitter 17a on the light receiving surface of the optical sensor 17c.
  • the optical sensor 17 c may detect the pulse energy of the pulsed laser light focused on the light receiving surface and output data of the detected pulse energy to the laser control unit 19.
  • the laser controller 19 may feedback control the set value of the charging voltage based on the target pulse energy data received from the laser system controller 20 and the detected pulse energy data.
  • the discharge sensors 18 of the first and second laser devices 2a and 2b detect the discharge generated between the pair of electrodes 11a and 11b, and the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2), respectively. ) May be output.
  • the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2) may be input to the timers 27 of the first and second trigger correction units 22a and 22b, respectively.
  • the timer 27 of the first trigger correction unit 22a receives a first elapsed time TRdm (from the time when the first delay signal TR (1) is received until the time when the first discharge detection signal DS (1) is received. 1) may be measured and transmitted to the processing unit 25.
  • the timer 27 of the second trigger correction unit 22b receives a second elapsed time TRdm (from when the second delay signal TR (2) is received until when the second discharge detection signal DS (2) is received. 2) may be measured and transmitted to the processing unit 25.
  • the processing unit 25 of the first trigger correction unit 22a includes the charging voltage set value V (1) transmitted from the laser control unit 19 of the first laser apparatus 2a and the first elapsed time transmitted from the timer 27. Based on TRdm (1), the first correction time Td (1) may be set.
  • the processing unit 25 of the second trigger correction unit 22b includes the charging voltage set value V (2) transmitted from the laser control unit 19 of the second laser apparatus 2b and the second elapsed time transmitted from the timer 27. Based on TRdm (2), the second correction time Td (2) may be set.
  • FIG. 3 is a timing chart in the laser system shown in FIG.
  • the laser system control unit 20 may transmit the trigger signal TR received from the annealing control unit 40 to the synchronization control unit 22.
  • the delay circuit unit 24 of the synchronization control unit 22 may output the first and second delay signals TR (1) and TR (2) to the first and second trigger correction units 22a and 22b, respectively.
  • the first and second delay signals may each indicate that different first and second delay times TRd (1) and TRd (2) have elapsed since the trigger signal TR was received.
  • the time from the output timing of the first and second delay signals TR (1) and TR (2) to the output timing of the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2) is almost equal to each other. It is desirable to be controlled to be equal. In that case, the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2) are output with substantially the same time difference as the time difference between the first and second delay signals TR (1) and TR (2). Can be done.
  • the first and second pulse laser beams 21a and 21b may be output from the first and second laser devices 2a and 2b, respectively.
  • the first and second pulse laser beams 21a and 21b may be output at substantially the same timing as the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2), respectively.
  • the first and second pulse laser beams 21a and 21b may be output at timing slightly delayed from the first and second discharge detection signals DS (1) and DS (2), respectively.
  • the optical path lengths from the respective output positions of the first and second laser devices 2a and 2b to the emission position of the beam forming device 3 may be adjusted to be substantially equal to each other.
  • the light flux laser beam 21 emitted from the light flux generator 3 has the first and second pulses having the same time difference as the time difference between the first and second delay signals TR (1) and TR (2).
  • the laser beams 21a and 21b may be combined. By controlling the timing of the first and second delay signals TR (1) and TR (2), the pulse waveform of the light beam laser beam 21 can be adjusted.
  • the first delay signal TR (1) and the second delay signal TR (2) may have a predetermined time difference.
  • the first required time from the time when the first laser device 2a receives the first switch signal S (1) to the time when the first pulse laser beam is generated is the first laser device 2a. It may vary depending on the charging voltage charged in the charging capacitor C0.
  • the second required time from the time when the second laser device 2b receives the second switch signal S (2) to the time when the second pulse laser beam is generated is the charging capacitor C0 of the second laser device 2b. It may vary depending on the charging voltage charged.
  • These charging voltages can be controlled separately by the first laser device 2a and the second laser device 2b. Accordingly, the first required time and the second required time can vary separately from each other.
  • the first required time and the second required time can vary depending on the temperature of the magnetic compression circuit included in each pulse power module 13.
  • the first elapsed time TRdm (1) from the time when the timer 27 receives the first delay signal TR (1) to the time when the first discharge detection signal DS (1) is received is the first correction time. It may correspond to the total time of Td (1) and the first required time.
  • the second elapsed time TRdm (2) from the time when the timer 27 receives the second delay signal TR (2) to the time when the second discharge detection signal DS (2) is received is the second correction time. It may correspond to the total time of Td (2) and the second required time.
  • the first pulsed laser beam 21a and the second pulsed laser beam 21b can be generated with substantially the same time difference.
  • FIG. 4 is a timing chart showing a specific correction method in the nth trigger correction unit.
  • each of the first and second trigger correction units 22a and 22b may be referred to as an nth trigger correction unit 22n.
  • the signal input or output by the nth trigger correction unit 22n is indicated with (n), or the time set in the nth trigger correction unit 22n is indicated with (n). is there.
  • the nth correction time Td (n) may be calculated by the following equation.
  • Td (n) Td0 (n) + ⁇ TV (n)
  • Td0 (n) may be the first correction element
  • ⁇ TV (n) may be the second correction element.
  • the initial value of the first correction element Td0 (n) may be set by the following equation.
  • Initial value of Td0 (n) TRdt ⁇ F (V0 (n))
  • TRdt may be a target value of the nth elapsed time TRdm (n).
  • the nth elapsed time TRdm (n) is an elapsed time from when the timer 27 receives the nth delay signal TR (n) to when the timer 27 receives the nth discharge detection signal DS (n). Also good.
  • the target value TRdt of the nth elapsed time TRdm (n) is a value common to the first and second trigger correction units 22a and 22b will be described, but different target values are set. You may do it.
  • F (V0 (n)) is the nth switch signal S (n) when the set value of the charging voltage in the nth laser device 2n is a predetermined reference voltage value V0 (n). May be a calculated value of a required time from the input of n to the output of the nth discharge detection signal DS (n).
  • the product of the required time T until the voltage is applied between the pair of electrodes 11a and 11b can be a substantially constant value K. Accordingly, the calculation of F (V0 (n)) may be performed by the following equation.
  • F (V0 (n)) K / V0 (n) V0 (n) may be a reference voltage value.
  • the second correction element ⁇ TV (n) is expressed by the following equation: It may be calculated.
  • ⁇ TV (n) F (V0 (n)) ⁇ F (V (n))
  • F (V (n)) is the nth discharge from the input of the nth switch signal S (n) when the set value of the charging voltage in the nth laser device 2n is V (n). It may be a calculated value of the time required until the output of the detection signal DS (n).
  • the calculation of F (V (n)) may be performed by the following equation.
  • F (V (n)) K / V (n)
  • the timing control of the nth switch signal S (n) is performed at high speed. Can do.
  • the processing unit 25 of the nth trigger correction unit 22n receives the nth discharge detection signal DS (n) from when the timer 27 receives the nth delay signal TR (n).
  • the difference ⁇ TRd (n) from the target value TRdt may be calculated.
  • the first correction element Td0 (n) may be updated by the following equation.
  • Td0 (n) Td0 (n) ⁇ TRd (n)
  • the timing control of the nth switch signal S (n) can be performed with high accuracy.
  • a change in discharge timing due to a change in temperature of the magnetic compression circuit, a change in gas pressure in the laser chamber, or the like is defined as a “drift change”.
  • FIG. 5 is a flowchart showing processing of the laser system control unit shown in FIG.
  • the laser system control unit 20 performs the following processing on the target pulse energy Et (n) and the nth delay time TRd (n) for each of the nth pulsed laser beams 21n output from the nth laser device 2n. May be calculated.
  • the laser system control unit 20 receives the target pulse waveform data of the light beam laser beam 21 and the target pulse energy data of the light beam laser beam 21 from the annealing control unit 40 of the annealing device 4. May be.
  • the laser system control unit 20 may calculate the target pulse energy Et (n) and the nth delay time TRd (n) for each of the nth pulsed laser beams 21n. For example, when the target pulse waveform of the light beam laser beam 21 has a short pulse width, each of the nth delay times TRd (n) may be a value close to each other.
  • the target pulse energy Et (n) of the n-th pulse laser beam 21n is adjusted so that the total of the target pulse energy Et (n) of the n-th pulse laser beam 21n approaches the target pulse energy of the light beam laser beam 21. n) may be determined.
  • the laser system control unit 20 may transmit the respective values to the laser control unit 19 of the corresponding laser device. After calculating the nth delay time TRd (n) for each of the nth pulse laser beams 21n, the laser system control unit 20 may transmit these values to the delay circuit unit 24 of the synchronization control unit 22. .
  • the laser system control unit 20 may determine whether or not to change the target pulse waveform of the luminous laser beam 21 and the target pulse energy of the luminous laser beam 21. When changing these values (S113; YES), the laser system control unit 20 may return the process to S102 described above. When not changing (S113; NO), the laser system control part 20 may advance a process to S114.
  • the laser system control unit 20 may determine whether or not to stop the control of the pulse waveform.
  • the laser system control unit 20 may return the process to S113 described above.
  • the laser system control unit 20 may end the process of this flowchart.
  • the laser system control unit 20 may calculate the target pulse energy Et (n) and the nth delay time TRd (n).
  • FIG. 6 is a flowchart showing processing of the laser control unit shown in FIG.
  • the laser control unit 19 included in each of the nth laser devices 2n may calculate the set value V (n) of the charging voltage based on the target pulse energy Et (n) by the following process.
  • the laser control unit 19 may set the setting value V (n) of the charging voltage of the laser device 2n to an initial value.
  • the initial value of the setting value of the charging voltage may be the above-described reference voltage value V0 (n).
  • the laser control unit 19 may read the target pulse energy Et (n) of the laser device 2 (n) from the laser system control unit 20.
  • the laser control unit 19 may determine whether or not the laser device 2 (n) oscillates. When the laser device 2 (n) does not oscillate (S203; NO), the laser control unit 19 may stand by until laser oscillation occurs. When the laser apparatus 2 (n) performs laser oscillation (S203; YES), the laser control unit 19 may advance the process to S204.
  • the laser control unit 19 may detect the pulse energy E (n) of the pulsed laser light 21n output from the laser device 2n.
  • the pulse energy E (n) may be detected by the pulse energy measuring unit 17.
  • the laser control unit 19 may calculate a difference ⁇ E (n) between the detected pulse energy E (n) and the target pulse energy Et (n) by the following equation.
  • ⁇ E (n) E (n) ⁇ Et (n)
  • the laser control unit 19 may calculate the change amount ⁇ V (n) of the set value of the charging voltage based on the difference ⁇ E (n) from the target pulse energy by the following equation.
  • ⁇ V (n) H ⁇ ⁇ E (n)
  • H may be a proportionality constant.
  • the amount of change ⁇ V (n) in the setting value of the charging voltage may indicate how much the setting value V (n) of the next charging voltage should be changed.
  • the laser control unit 19 may calculate the set value V (n) of the next charging voltage using the following equation.
  • V (n) V (n) + ⁇ V (n)
  • the laser control unit 19 may transmit the set value V (n) of the next charging voltage to the charger 12 and the processing unit 25 of the nth trigger correction unit 22n.
  • the laser control unit 19 may determine whether or not to change the target pulse energy Et (n).
  • the laser control unit may return the process to S202 described above.
  • the target pulse energy Et (n) is not changed (S208; NO)
  • the laser control unit may return the process to S203 described above.
  • the laser control unit 19 may calculate the set value V (n) of the charging voltage.
  • FIG. 7 is a flowchart showing the process of the nth trigger correction unit shown in FIG.
  • the nth trigger correction unit 22n may calculate the first correction element Td0 (n) and the second correction element ⁇ TV (n) constituting the nth correction time Td (n) by the following process. Good.
  • J may be a counter for counting the number of oscillation pulses.
  • TRdmsum (n) is an nth elapsed time TRdm (n) from the time when the timer 27 receives the nth delay signal TR (n) to the time when the nth discharge detection signal DS (n) is received. It may be a total value of TRdm (n) for calculating an average value.
  • Td0 (n) may be a first correction element
  • TRdt-F (V0 (n)) may be an initial value of the first correction element described above.
  • the nth trigger correction unit 22n may read the set value V (n) of the charging voltage from the laser control unit 19.
  • the nth trigger correction unit 22n may calculate the second correction element ⁇ TV (n) by the following equation based on the set value V (n) of the charging voltage.
  • ⁇ TV (n) F (V0 (n)) ⁇ F (V (n))
  • the nth trigger correction unit 22n may calculate the nth correction time Td (n) by the following equation.
  • Td (n) Td0 (n) + ⁇ TV (n)
  • Td0 (n) may be a first correction element
  • ⁇ TV (n) may be a second correction element.
  • the nth trigger correction unit 22n may determine whether or not the nth laser device 2n has oscillated. Whether or not the nth laser device 2n has oscillated may be determined by whether or not the timer 27 has received the nth discharge detection signal DS (n) from the discharge sensor 18.
  • the nth trigger correction unit 22n may advance the process to S307.
  • the n-th trigger correction unit 22n may stand by until the n-th laser device 2n oscillates.
  • the nth trigger correction unit 22n may update the value of J by adding 1 to the current value of the counter J.
  • the nth trigger correction unit 22n performs the operation from the time when the timer 27 receives the nth delay signal TR (n) to the time when the nth discharge detection signal DS (n) is received.
  • the elapsed time TRdm (n) of n may be read from the timer 27.
  • the nth trigger correction unit 22n may update the total value TRdmsum (n) of TRdm (n) by the following equation.
  • TRdmsum (n) TRdmsum (n) + TRdm (n)
  • the nth trigger correction unit 22n may determine whether or not the value of the counter J has reached a predetermined number of samples Jmax. When the value of the counter J has not reached the predetermined number of samples Jmax (S312; NO), the nth trigger correction unit 22n may return the process to S302 described above. When the value of the counter J reaches the predetermined number of samples Jmax (S312; YES), the nth trigger correction unit 22n may advance the process to S313.
  • the nth trigger correction unit 22n may calculate a difference ⁇ TRd (n) between the average value of TRdm (n) and the target value TRdt.
  • the nth trigger correction unit 22n may update the first correction element Td0 (n) by the following equation.
  • Td0 (n) Td0 (n) ⁇ TRd (n)
  • the nth trigger correction unit 22n may return the process to S302 described above.
  • the nth trigger correction unit 22n calculates the nth correction time Td (n) while updating the first correction element Td0 (n) and the second correction element ⁇ TV (n). May be.
  • the second correction element ⁇ TV (n) may be updated for each pulse oscillation as described above.
  • the first correction element Td0 (n) may be updated for each pulse oscillation of the predetermined number of samples Jmax.
  • the predetermined number of samples Jmax may be, for example, 200 to 10,000 times.
  • the frequency of the setting process for setting the nth correction time Td (n) by updating the first correction element Td0 (n) is the nth correction by updating the second correction element ⁇ TV (n). It may be smaller than the frequency of the setting process for setting the time Td (n).
  • the nth trigger correction unit 22n corrects the nth correction time Td (n) according to the fluctuation of the nth required time, whereby the nth elapsed time TRdm (n ) Can be made closer to the target value TRdt. Specifically, it is possible to control the correction time based on the set value of the charging voltage and to control the correction time according to the fluctuation of the nth required time due to the drift change. Thereby, the discharge timing of each laser device can be stabilized, and the pulse waveform of the light beam laser beam can be stabilized.
  • the delay circuit unit 24 controls the pulse waveform of the light beam laser beam by controlling the nth delay time TRd (n), the control is performed separately from the control by the nth trigger correction unit 22n. Can do.
  • a clock generator (not shown) generates a clock signal common to the first and second trigger correction units 22 a and 22 b and the delay circuit unit 24. Thereby, the mutual error of each delay time TRd (n) or correction time Td (n) can be reduced.
  • the electrical signal can be delayed by 1 / c. c may be the speed of light. Therefore, the delay of the signal may be corrected from the length of the electric wire of each switch signal S (n) and the timing signal of each discharge sensor. Further, even if communication is performed using an optical fiber instead of wiring, a similar delay may occur, and this correction may be performed.
  • the control of the pulse waveform of the light beam laser beam is realized by the delay circuit unit 24 controlling the nth delay time TRd (n).
  • the control is limited to this comparative example.
  • the following configuration may be used.
  • a distributor that distributes the trigger signal TR from the annealing control unit 40 without delay is arranged, and each of the trigger correction units 22n corresponding to each laser device has a different target value TRdt (n). May be used to control the timing of the pulsed laser light output from each laser device.
  • the laser system control unit 20, the synchronization control unit 22, and the laser control unit 19 of each laser device control the laser device, but the present disclosure is not limited to this.
  • the annealing control unit 40 included in the annealing apparatus 4 may perform various controls.
  • the second correction element ⁇ TV (n) may be calculated based on the set value V (n) of the charging voltage.
  • the actual charging voltage charged in the charging capacitor C0 may deviate from the set value V (n) of the charging voltage.
  • the synchronization accuracy of the plurality of pulse laser beams output from the plurality of laser devices may be deteriorated.
  • the pulse waveform of the luminous laser beam obtained by bundling a plurality of pulse laser beams changes, which may affect the annealing performance.
  • an actual charging voltage is accurately measured by a charging voltage measurement unit common to a plurality of laser apparatuses, and a bleed circuit and a trigger correction unit operate based on the measured charging voltage. You may do it.
  • FIG. 8 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the first embodiment of the present disclosure.
  • the overall configuration of the laser annealing apparatus 1 may be the same as that shown in FIG.
  • each of the first and second laser devices 2a and 2b may further include a voltage dividing circuit 6 and a bleed circuit 7.
  • the laser system 5 may further include a charging voltage measurement unit 8 and a bleed circuit control unit 9.
  • the voltage dividing circuit 6 and the bleed circuit 7 may be connected to a wiring that connects the charger 12 and the charging capacitor C0 of the pulse power module 13.
  • the voltage dividing circuit 6 included in each of the first and second laser devices 2 a and 2 b may be connected to the charging voltage measuring unit 8.
  • the charging voltage measurement unit 8 may be connected to the bleed circuit control unit 9.
  • the bleed circuit control unit 9 may be connected to a signal line that connects the laser control unit 19 of the first and second laser devices 2a and 2b and the processing unit 25 of the trigger correction unit corresponding to these laser devices. .
  • the bleed circuit control unit 9 may be further connected to a bleed circuit 7 included in each of the first and second laser devices 2a and 2b.
  • FIG. 9 shows the internal configuration of the laser chamber as viewed from a direction substantially parallel to the traveling direction of the pulse laser beam in the first embodiment.
  • FIG. 9 also shows the configuration of the pulse power module, discharge sensor, voltage dividing circuit, bleed circuit, and charging voltage measuring instrument shown in FIG.
  • the conductive member including the wall surface of the laser chamber 10 may be connected to a ground potential.
  • the electrode 11b may be connected to the ground potential via the return plate 10d, the wirings 10e and 10f, and the wall surface of the laser chamber 10.
  • the discharge sensor 18 included in each of the first and second laser devices 2a and 2b may include a window 10c attached to the laser chamber 10, a condensing optical system 181, and an optical sensor 182.
  • the window 10c may transmit light generated by the discharge between the pair of electrodes 11a and 11b.
  • the condensing optical system 181 may condense the light transmitted through the window 10 c on the light receiving surface of the optical sensor 182.
  • the optical sensor 182 may include a photodiode or a phototube.
  • the optical sensor 182 may transmit the nth discharge detection signal DS (n) indicating the discharge timing to the synchronization control unit 22 by detecting light generated by the discharge between the pair of electrodes 11a and 11b. .
  • the pulse power module 13 may include a charging capacitor C0, a switch 13a, a step-up transformer TC1, a plurality of magnetic switches Sr1 to Sr3, and a plurality of capacitors C1 to C3.
  • the step-up transformer TC1, the plurality of magnetic switches Sr1 to Sr3, and the plurality of capacitors C1 to C3 may constitute a magnetic compression circuit.
  • any of the magnetic switches Sr1 to Sr3 may include a saturable reactor.
  • Each of the magnetic switches Sr1 to Sr3 may have a low impedance when the time integration value of the voltage applied to both ends thereof reaches a predetermined value determined by the characteristics of each magnetic switch.
  • a charging voltage set value V (n) may be set in the charger 12 by the laser controller 19.
  • the charger 12 may charge the charging capacitor C0 based on the set value V (n) of the charging voltage.
  • a switch signal may be input to the switch 13 a of the pulse power module 13 by the synchronization control unit 22. When the switch signal is input to the switch 13a, the switch 13a may be turned on. When the switch 13a is turned on, a current can flow from the charging capacitor C0 to the primary side of the step-up transformer TC1.
  • the magnetic switch Sr1 When the time integral value of the voltage applied to the magnetic switch Sr1 reaches a threshold value, the magnetic switch Sr1 becomes magnetically saturated and the magnetic switch Sr1 can be closed. When the magnetic switch Sr1 is closed, a current flows from the secondary side of the step-up transformer TC1 to the capacitor C1, and the capacitor C1 can be charged.
  • the magnetic switch Sr2 When the capacitor C1 is charged, the magnetic switch Sr2 eventually becomes magnetically saturated and the magnetic switch Sr2 can be closed. When the magnetic switch Sr2 is closed, a current flows from the capacitor C1 to the capacitor C2, and the capacitor C2 can be charged. At this time, the capacitor C2 may be charged with a pulse width shorter than the pulse width of the current when the capacitor C1 is charged.
  • the magnetic switch Sr3 When the capacitor C2 is charged, the magnetic switch Sr3 eventually becomes magnetically saturated and the magnetic switch Sr3 can be closed. When the magnetic switch Sr3 is closed, a current flows from the capacitor C2 to the capacitor C3, and the capacitor C3 can be charged. At this time, the capacitor C3 may be charged with a pulse width shorter than the pulse width of the current when the capacitor C2 is charged.
  • the pulse width of the current can be compressed by sequentially flowing the current from the capacitor C1 to the capacitor C2 and from the capacitor C2 to the capacitor C3.
  • the pulse laser beam may be output at a predetermined oscillation frequency.
  • a discharge timing detector instead of the discharge sensor 18, an ammeter 18b for detecting a discharge current may be used. This ammeter 18b is a current probe, and may detect the timing of discharge.
  • the pulse energy measuring unit 17 (FIG. 8) may be used as a discharge timing detector instead of the discharge sensor 18.
  • the pulse energy measuring unit 17 may include a high-speed photodiode.
  • the voltage dividing circuit 6 included in each of the first and second laser devices 2a and 2b may include a first resistance element 61 and a second resistance element 62.
  • the first resistance element 61 may be connected to a wiring that connects the charger 12 and the charging capacitor C0 of the pulse power module 13.
  • the second resistance element 62 may be connected between the first resistance element 61 and the ground potential.
  • An output terminal 63 between the first resistance element 61 and the second resistance element 62 may be connected to the charging voltage measurement unit 8.
  • the first resistance element 61 may have a resistance value ten times or more that of the second resistance element 62.
  • the voltage of the output terminal 63 is a voltage obtained by dividing the charging voltage charged in the charging capacitor C0 at a ratio corresponding to the resistance ratio between the first resistance element 61 and the second resistance element 62. Also good.
  • the charging voltage measurement unit 8 may include a first amplifier 81, a second amplifier 82, a multiplexer 83, an AD converter 84, and a measurement control unit 85.
  • the first amplifier 81 may amplify the voltage signal output from the voltage dividing circuit 6 included in the first laser device 2 a and output the amplified voltage signal to the first channel of the multiplexer 83.
  • the second amplifier 82 may amplify the voltage signal output from the voltage dividing circuit 6 included in the second laser device 2 b and output the amplified voltage signal to the second channel of the multiplexer 83.
  • the multiplexer 83 may be further connected to the AD converter 84.
  • the multiplexer 83 is a switch that can be switched between a first mode in which the output of the first amplifier 81 is input to the AD converter 84 and a second mode in which the output of the second amplifier 82 is input to the AD converter 84. There may be.
  • the AD converter 84 may convert the analog voltage signal input from the multiplexer 83 into digital voltage data and output the digital voltage data to the measurement control unit 85.
  • the AD converter 84 may be a common measurement unit connected to the multiplexer 83.
  • the measurement control unit 85 may be connected to the multiplexer 83 and the AD converter 84 via signal lines, respectively, and control the multiplexer 83 and the AD converter 84.
  • the measurement control unit 85 may output the voltage data received from the AD converter 84 to the bleed circuit control unit 9.
  • the bleed circuit control unit 9 sets the charging voltage setting value V (1) set by the laser control unit 19 of the first laser device 2a and the charging of the first laser device 2a measured by the charging voltage measurement unit 8.
  • the charging voltage Vm (1) charged in the capacitor C0 may be compared.
  • the bleed circuit control unit 9 may output a switch ON signal to the bleed circuit 7 of the first laser device 2a based on the comparison result.
  • the bleed circuit control unit 9 sets the charging voltage set value V (2) set by the laser control unit 19 of the second laser device 2b and the charging of the second laser device 2b measured by the charging voltage measurement unit 8.
  • the charging voltage Vm (2) charged in the capacitor C0 may be compared.
  • the bleed circuit control unit 9 may output a switch ON signal to the bleed circuit 7 of the second laser device 2b based on the comparison result.
  • the bleed circuit 7 included in each of the first and second laser devices 2a and 2b may include a resistance element 71 and a bipolar transistor 72.
  • a resistance element 71 is connected to the wiring connecting the charger 12 and the charging capacitor C0 of the pulse power module 13, and a solid state switch such as a bipolar transistor 72 is connected between the resistance element 71 and the ground potential. May be connected.
  • the terminal connected to the resistance element 71 may be a collector terminal.
  • the terminal connected to the ground potential may be an emitter terminal.
  • a bipolar transistor 72 is connected to the wiring connecting the charger 12 and the charging capacitor C0 of the pulse power module 13, and the resistance element 71 is connected between the resistance element 71 and the ground potential. It may be connected.
  • the above-described switch ON signal output from the bleed circuit control unit 9 may be input to the base terminal of the bipolar transistor 72.
  • the bipolar transistor 72 when the switch ON signal is not input to the base terminal, the collector terminal and the emitter terminal may be substantially electrically insulated.
  • the bipolar transistor 72 when a switch ON signal is input to the base terminal, the electrical resistance between the collector terminal and the emitter terminal may decrease. At this time, a current flows through the resistance element 71 and the bipolar transistor 72, and the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the pulse power module 13 may decrease.
  • FIG. 10 is a flowchart showing processing of the measurement control unit shown in FIG.
  • the measurement control unit 85 controls the multiplexer 83 and the AD converter 84 by the following processing, and charges the charging capacitors C0 of the first and second laser devices 2a and 2b, respectively. And Vm (2) may be measured.
  • the measurement control unit 85 may set the multiplexer 83 to the first channel. Accordingly, the charging capacitor C0 of the first laser device 2a may be connected to the AD converter 84 via the voltage dividing circuit 6 and the first amplifier 81.
  • the measurement control unit 85 may read the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a by reading the output of the AD converter 84.
  • the measurement control unit 85 may transmit data of the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a to the bleed circuit control unit 9.
  • the measurement control unit 85 may set the multiplexer 83 to the second channel. Accordingly, the charging capacitor C0 of the second laser device 2b may be connected to the AD converter 84 via the voltage dividing circuit 6 and the second amplifier 82.
  • the measurement control unit 85 may read the charging voltage Vm (2) charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b by reading the output of the AD converter 84.
  • the measurement control unit 85 may transmit data of the charging voltage Vm (2) charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b to the bleed circuit control unit 9.
  • the measurement control unit 85 may return the process to S401 described above. Through the above processing, the measurement control unit 85 may alternately measure the charging voltages charged in the charging capacitors C0 of the first and second laser devices 2a and 2b.
  • FIG. 11 is a flowchart showing processing of the bleed circuit control unit shown in FIG.
  • the bleed circuit control unit 9 compares the set value of the charging voltage with the charging voltage charged in the charging capacitor C0 for each of the first and second laser devices 2a and 2b by the following processing, and the bleed circuit 7 May be controlled.
  • the bleed circuit control unit 9 may read the set value V (1) of the charging voltage set by the laser control unit 19 of the first laser device 2a.
  • the bleed circuit control unit 9 may determine whether or not the charging of the charging capacitor C0 of the first laser device 2a is completed. Whether or not the charging of the charging capacitor C0 is completed is determined by whether or not the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 is higher than the charging voltage setting value V (1). Good.
  • the bleed circuit control unit 9 may read data on the charging voltage Vm (1) of the charging capacitor C0 measured by the charging voltage measuring unit 8.
  • the bleed circuit control unit 9 may output a switch ON signal to the bleed circuit 7 of the first laser device 2a.
  • the bleed circuit control unit 9 sets the charging voltage Vm (1) of the first laser device 2a measured by the charging voltage measuring unit 8 and the set value V ( 1) may be compared.
  • the charging voltage Vm (1) of the first laser device 2a measured by the charging voltage measuring unit 8 exceeds the set value V (1) of the charging voltage of the first laser device 2a (S505; NO)
  • the bleed circuit control unit 9 may return the process to the above-described S503 and control the bleed circuit 7 while newly reading the charging voltage Vm (1).
  • the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a can further drop.
  • the charging voltage Vm (1) of the first laser device 2a measured by the charging voltage measuring unit 8 is equal to or less than the set value V (1) of the charging voltage of the first laser device 2a (S505; YES)
  • the bleed circuit control unit 9 may advance the process to S506.
  • the bleed circuit control unit 9 may stop the switch ON signal transmitted to the bleed circuit 7 of the first laser device 2a. That is, the bleed circuit control unit 9 may switch off the bipolar transistor 72 included in the bleed circuit 7 of the first laser device 2a.
  • the bleed circuit control unit 9 transmits a signal indicating that the charging of the charging capacitor C0 of the first laser device 2a is completed to the laser control unit 19 of the first laser device 2a. Good.
  • the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a may be controlled.
  • the bleed circuit control unit 9 may execute the processes of S511 to S517.
  • the processing of S511 to S517 may be the one in which each component of the first laser device 2a is replaced with each component of the second laser device 2b in the processing of S501 to S507 described above. By these processes, the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b may be controlled.
  • the actual charging voltage can be accurately measured by the charging voltage measuring unit common to the plurality of laser apparatuses. Since the bleed circuit operates based on this actual charging voltage, the charging voltage can be adjusted to the set value with high accuracy. Therefore, the trigger timing correction by the trigger correction unit can be performed with high accuracy.
  • U.S. Pat. No. 8,238,400 discloses disposing a switch connecting the charging capacitors of two lasers in order to make the charging voltages to the charging capacitors of the two lasers coincide with each other.
  • U.S. Pat. No. 6,865,210 discloses charging two charging capacitors with one charger. However, in these methods, the charging voltages of the two lasers must be the same. In these systems, two lasers must be arranged close to each other.
  • the present embodiment even when the charging voltages of the two lasers are controlled separately, the respective charging voltages can be accurately measured. Moreover, even if two lasers are arranged apart from each other, the respective charging voltages can be measured with high accuracy. Therefore, the trigger timing can be adjusted with high accuracy.
  • FIG. 12 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the second embodiment of the present disclosure.
  • each of the first and second laser devices 2 a and 2 b may not include the bleed circuit 7.
  • the laser system 5 may not include the bleed circuit control unit 9.
  • the charging voltage measurement unit 8 may be connected to the processing unit 25 included in the first trigger correction unit 22a and the processing unit 25 included in the second trigger correction unit 22b via signal lines, respectively.
  • the charging voltage measuring unit 8 transmits the data of the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a to the processing unit 25 included in the first trigger correcting unit 22a. May be.
  • the charging voltage measurement unit 8 may transmit data on the charging voltage Vm (2) charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b to the processing unit 25 included in the second trigger correction unit 22b. .
  • the first and second trigger correction units 22a and 22b may correct the trigger timings of the switch signals S (1) and S (2) based on the charging voltage by the same process as in FIG. However, in the second embodiment, the trigger timing is not corrected based on the set value V (n) of the charging voltage, but the charging voltage Vm (n of the charging capacitor C0 measured by the charging voltage measuring unit 8 is used. ), The trigger timing may be corrected. About another point, it may be the same as that of 1st Embodiment.
  • the actual charging voltage can be accurately measured by the charging voltage measuring unit common to the plurality of laser devices. Since the trigger correction unit operates based on the actual charging voltage, the trigger timing can be corrected with high accuracy.
  • FIG. 13 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the third embodiment of the present disclosure.
  • the first trigger correction unit including the processing unit 25, the delay circuit 26, and the timer 27 is integrated with the first laser device 2a or included in the first laser device 2a. It may be.
  • the second trigger correction unit including the processing unit 25, the delay circuit 26, and the timer 27 is integrated with the second laser device 2b or included in the second laser device 2b. It may be.
  • a clock generator (not shown) for the first trigger correction unit and a clock generator (not shown) for the second trigger correction unit may be separate clock generators.
  • the clock frequency of these clock generators is preferably 1 GHz or more.
  • the third embodiment has been described with respect to the case where the trigger correction unit is integrated with the laser device in the second embodiment that does not include a bleed circuit, the present disclosure is not limited thereto.
  • the trigger correction unit may be integrated with the laser device.
  • FIG. 14 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the fourth embodiment of the present disclosure.
  • the charging voltage measurement unit 8 is connected to the processing unit 25 included in the first trigger correction unit 22a and the processing unit 25 included in the second trigger correction unit 22b via signal lines, respectively. It may be connected.
  • the charging voltage measuring unit 8 transfers the data of the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a to the bleed circuit control unit 9 and the first trigger correction unit 22a. You may transmit to both the process parts 25 contained.
  • the charging voltage measuring unit 8 converts the data of the charging voltage Vm (2) charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b into a processing unit included in the bleed circuit control unit 9 and the second trigger correction unit 22b. 25 may be transmitted to both.
  • the bleed circuit control unit 9 may control the charging voltage Vm (n) of the charging capacitor C0 included in the first and second laser devices 2a and 2b based on the setting value V (n) of the charging voltage. .
  • the first and second trigger correction units 22a and 22b may correct the trigger timings of the switch signals S (1) and S (2) based on the charging voltage by the same process as in FIG.
  • the trigger timing is not corrected based on the set value V (n) of the charging voltage, but the charging voltage Vm (n of the charging capacitor C0 measured by the charging voltage measuring unit 8 is used. ), The trigger timing may be corrected. About another point, it may be the same as that of 1st Embodiment.
  • the actual charging voltage can be accurately measured by the charging voltage measuring unit common to the plurality of laser devices. Since the bleed circuit operates based on this actual charging voltage, the charging voltage can be adjusted to the set value with high accuracy. Furthermore, since the trigger correction unit operates based on the actual charging voltage adjusted in the vicinity of the set value, the trigger timing can be corrected with high accuracy. And the stability of the pulse energy of the laser device can also be improved.
  • FIG. 15 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the fifth embodiment of the present disclosure.
  • the bleed circuit is not provided in each of the first and second laser devices 2a and 2b, but one common bleed circuit 79 may be provided.
  • FIG. 16 schematically shows a configuration of the bleed circuit 79 shown in FIG.
  • the bleed circuit 79 may include a multiplexer 73, a resistance element 71, a bipolar transistor 72, and a bleed circuit control unit 9.
  • the charging capacitor C0 of the first laser device 2a may be connected to the first channel of the multiplexer 73.
  • the charging capacitor C0 of the second laser device 2b may be connected to the second channel of the multiplexer 73.
  • the multiplexer 73 may be further connected to the resistance element 71.
  • the multiplexer 73 includes a first mode in which the charging capacitor C0 of the first laser device 2a is connected to the resistance element 71, and a second mode in which the charging capacitor C0 of the second laser device 2b is connected to the resistance element 71.
  • a switch that can be switched may be used.
  • the bleed circuit control unit 9 may be connected to the laser control unit 19 of the first laser device 2a, and data of the set value V (1) of the charging voltage may be input from the laser control unit 19.
  • the bleed circuit control unit 9 may be connected to the laser control unit 19 of the second laser device 2b, and data of the set value V (2) of the charging voltage may be input from the laser control unit 19.
  • the bleed circuit control unit 9 may be further connected to a charging voltage measuring unit 8 and may be input with the charging voltage measured by the charging voltage measuring unit 8. That is, the bleed circuit control unit 9 includes data of the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a and the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b. Vm (2) data may be input.
  • the bleed circuit control unit 9 may be connected to the multiplexer 73 via a signal line and control the multiplexer 73.
  • the bleed circuit control unit 9 may set the multiplexer 73 to the first channel. Thereby, the charging capacitor C0 of the first laser device 2a may be connected to the bipolar transistor 72 via the resistance element 71.
  • the bleed circuit control unit 9 compares the set value V (1) of the charging voltage with the charging voltage Vm (1) charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a, and based on the comparison result
  • the bipolar transistor 72 may be controlled. Thereby, the bleed circuit control unit 9 may adjust the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the first laser device 2a.
  • the bleed circuit control unit 9 may set the multiplexer 73 to the second channel. Accordingly, the charging capacitor C0 of the second laser device 2b may be connected to the bipolar transistor 72 via the resistance element 71.
  • the bleed circuit control unit 9 compares the set value V (2) of the charging voltage with the charging voltage Vm (2) charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b, and based on the comparison result
  • the bipolar transistor 72 may be controlled. Thereby, the bleed circuit control unit 9 may adjust the charging voltage charged in the charging capacitor C0 of the second laser device 2b.
  • a common bleed circuit 79 may be provided in the fourth embodiment described with reference to FIG.
  • the trigger timing can be synchronized with a simpler configuration.
  • FIG. 17 schematically illustrates a configuration of a laser system according to the sixth embodiment of the present disclosure.
  • three or more laser devices 2a to 2k may be provided.
  • Three or more trigger correction units 22a to 22k may be provided corresponding to the three or more laser devices 2a to 2k.
  • a voltage dividing circuit not shown in FIG. 17 and, if necessary, a bleed circuit may be provided in each of the laser devices 2a to 2k.
  • the charging voltage measuring unit 8 may be provided in common for these laser devices 2a to 2k.
  • FIG. 1 shows a beam forming device 3 that converts a pulse laser beam output from two laser devices into a beam, but a pulse laser beam output from three or more laser devices 2a to 2k.
  • a plurality of beam splitters 3 may be combined.
  • the laser annealing apparatus 1 can irradiate the irradiated object P with the luminous laser beam 21 with a predetermined pulse energy density required for annealing and a wide irradiation area. And it may be possible to efficiently manufacture a large area liquid crystal display.
  • FIG. 18 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the control unit.
  • Control units such as the laser system control unit 20 and the synchronization control unit 22 in the above-described embodiments may be configured by general-purpose control devices such as a computer and a programmable controller. For example, it may be configured as follows.
  • the control unit includes a processing unit 1000, a storage memory 1005, a user interface 1010, a parallel I / O controller 1020, a serial I / O controller 1030, A / D, and D / A connected to the processing unit 1000. And a converter 1040. Further, the processing unit 1000 may include a CPU 1001, a memory 1002 connected to the CPU 1001, a timer 1003, and a GPU 1004.
  • the processing unit 1000 may read a program stored in the storage memory 1005.
  • the processing unit 1000 may execute the read program, read data from the storage memory 1005 in accordance with execution of the program, or store data in the storage memory 1005.
  • the parallel I / O controller 1020 may be connected to devices 1021 to 102x that can communicate with each other via a parallel I / O port.
  • the parallel I / O controller 1020 may control communication using a digital signal via a parallel I / O port that is performed in the process in which the processing unit 1000 executes a program.
  • the serial I / O controller 1030 may be connected to devices 1031 to 103x that can communicate with each other via a serial I / O port.
  • the serial I / O controller 1030 may control communication using a digital signal via a serial I / O port that is performed in a process in which the processing unit 1000 executes a program.
  • the A / D and D / A converter 1040 may be connected to devices 1041 to 104x that can communicate with each other via an analog port.
  • the A / D and D / A converter 1040 may control communication using an analog signal via an analog port that is performed in the process in which the processing unit 1000 executes a program.
  • the user interface 1010 may be configured such that the operator displays the execution process of the program by the processing unit 1000, or causes the processing unit 1000 to stop the program execution by the operator or perform interrupt processing.
  • the CPU 1001 of the processing unit 1000 may perform arithmetic processing of a program.
  • the memory 1002 may temporarily store a program during the course of execution of the program by the CPU 1001 or temporarily store data during a calculation process.
  • the timer 1003 may measure time and elapsed time, and output the time and elapsed time to the CPU 1001 according to execution of the program.
  • the GPU 1004 may process the image data according to the execution of the program and output the result to the CPU 1001.
  • the devices 1021 to 102x connected to the parallel I / O controller 1020 and capable of communicating via the parallel I / O port include first and second laser devices 2a and 2b, an annealing control unit 40, other control units, and the like. May be used for receiving and transmitting oscillation trigger signals, timing signals, charging voltage data, delay data, and the like.
  • the devices 1031 to 103x that are connected to the serial I / O controller 1030 and can communicate via the serial I / O port include first and second laser devices 2a and 2b, an annealing control unit 40, other control units, and the like. It may be used for data transmission / reception that does not require high speed.
  • the devices 1041 to 104x connected to the A / D and D / A converter 1040 and capable of communicating via analog ports may be various sensors such as the pulse energy measuring unit 17 and the voltage dividing circuit 7. With the configuration as described above, the control unit may be able to realize the operation shown in each embodiment.

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Abstract

このレーザシステムは、第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧をそれぞれ降下させる少なくとも１つのブリード回路と、充電電圧計測部によって計測された電圧に基づいて少なくとも１つのブリード回路を制御するブリード回路制御部と、を備えてもよい。

Description

レーザシステム
　本開示は、レーザシステムに関する。
　レーザアニール装置は、基板上に成膜されたアモルファス（非結晶）シリコン膜にエキシマレーザ等のレーザシステムから出力された紫外線領域の波長を有するパルスレーザ光を照射し、ポリシリコン膜に改質する装置である。アモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に改質することにより、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を作製することができる。このＴＦＴは、比較的大きな液晶ディスプレイに使用されている。
特開２００４－３４２９６４号公報 米国特許第８２３８４００号明細書 米国特許第６８６５２１０号明細書
概要
　本開示の１つの観点に係るレーザシステムは、第１のレーザ装置であって、第１のレーザチャンバと、第１のレーザチャンバに配置された第１の一対の電極と、第１の充電コンデンサを含む第１のパルス発生器であって、第１の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を第１の一対の電極に印加する第１のパルス発生器と、第１の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第１の充電器と、を含む第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置であって、第２のレーザチャンバと、第２のレーザチャンバに配置された第２の一対の電極と、第２の充電コンデンサを含む第２のパルス発生器であって、第２の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を第２の一対の電極に印加する第２のパルス発生器と、第２の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第２の充電器と、を含む第２のレーザ装置と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧をそれぞれ降下させる少なくとも１つのブリード回路と、充電電圧計測部によって計測された電圧に基づいて少なくとも１つのブリード回路を制御するブリード回路制御部と、を備えてもよい。
　本開示の他の１つの観点に係るレーザシステムは、第１のレーザ装置であって、第１のレーザチャンバと、第１のレーザチャンバに配置された第１の一対の電極と、第１の充電コンデンサを含む第１のパルス発生器であって、第１の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を第１の一対の電極に印加する第１のパルス発生器と、第１の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第１の充電器と、を含む第１のレーザ装置と、第２のレーザ装置であって、第２のレーザチャンバと、第２のレーザチャンバに配置された第２の一対の電極と、第２の充電コンデンサを含む第２のパルス発生器であって、第２の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を第２の一対の電極に印加する第２のパルス発生器と、第２の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第２の充電器と、を含む第２のレーザ装置と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、第１の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて第１のパルス発生器によるパルス電圧の第１の一対の電極への印加タイミングを制御し、第２の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて第２のパルス発生器によるパルス電圧の第２の一対の電極への印加タイミングを制御する同期制御部と、を備えてもよい。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
比較例に係るレーザシステムを含むレーザアニール装置の構成を概略的に示す。 図２は、図１に示されるレーザシステムの構成例を示す。 図３は、図１に示されるレーザシステムにおけるタイミングチャートである。 図４は、第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。 図５は、図１に示されるレーザシステム制御部の処理を示すフローチャートである。 図６は、図２に示されるレーザ制御部の処理を示すフローチャートである。 図７は、図２に示される第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。 図８は、本開示の第１の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図９は、第１の実施形態においてパルスレーザ光の進行方向に略平行な方向からみたレーザチャンバの内部構成を示す。 図１０は、図９に示される計測制御部の処理を示すフローチャートである。 図１１は、図９に示されるブリード回路制御部の処理を示すフローチャートである。 図１２は、本開示の第２の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図１３は、本開示の第３の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図１４は、本開示の第４の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図１５は、本開示の第５の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図１６は、図１５に示されるブリード回路７９の構成を概略的に示す。 図１７は、本開示の第６の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。 図１８は、制御部の概略構成を示すブロック図である。
実施形態
＜内容＞
１．比較例に係るレーザ装置
　１．１　レーザ装置の概要
　１．２　光束化装置
　１．３　露光装置
　１．４　制御部
　１．５　レーザ装置の詳細
　１．６　レーザ装置の動作
　１．７　タイミングチャート
　１．８　フローチャート
　　１．８．１　レーザシステム制御部の処理
　　１．８．２　レーザ制御部の処理
　　１．８．３　第ｎのトリガ補正部の処理
　１．９　課題
２．計測された充電電圧に基づいてブリード回路を制御するレーザシステム（第１の実施形態）
　２．１　構成
　２．２　動作
　　２．２．１　計測制御部の処理
　　２．２．２　ブリード回路制御部の処理
　２．３　作用
３．計測された充電電圧に基づいてトリガタイミングを制御するレーザシステム（第２の実施形態）
　３．１　構成
　３．２　動作
４．トリガ補正部をレーザ装置と一体化したレーザシステム（第３の実施形態）
５．計測された充電電圧に基づいてブリード回路とトリガタイミングとの両方を制御するレーザシステム（第４の実施形態）
　５．１　構成
　５．２　動作
６．ブリード回路を共通化したレーザシステム（第５の実施形態）
　６．１　構成
　６．２　動作
７．より多くのレーザ装置を含むレーザシステム（第６の実施形態）
８．制御部の構成
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
１．比較例に係るレーザ装置
　図１は、比較例に係るレーザシステムを含むレーザアニール装置の構成を概略的に示す。図１に示されるレーザアニール装置１は、レーザシステム５と、アニール装置４とを備えてもよい。レーザシステム５は、レーザシステム制御部２０と、同期制御部２２と、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂと、光束化装置３と、を含んでもよい。
　１．１　レーザ装置の概要
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれは、例えば、ＸｅＦ、ＸｅＣｌ、ＫｒＦ、又はＡｒＦをレーザ媒質とするエキシマレーザ装置であってもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれは、互いに実質的に同一の構成を有してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂは、それぞれ第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂを出力してもよい。第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂは、紫外線の波長領域を有してもよい。
　第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂは、光束化装置３に導かれてもよい。図１においては２台のレーザ装置が図示されているが、レーザ装置の台数は特に限定されず、図１７を参照しながら後述するように３以上の台数であってもよい。
　１．２　光束化装置
　光束化装置３は、高反射ミラー３１及び３２と、直角プリズム３３と、を備えてもよい。高反射ミラー３１及び３２の間に、直角プリズム３３が配置されてもよい。高反射ミラー３１は、第１のパルスレーザ光２１ａの光路軸と約４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。高反射ミラー３２は、第２のパルスレーザ光２１ｂの光路軸と約４５°の角度を成して交差するように配置されてもよい。
　直角プリズム３３は、紙面に平行な面である底面が直角三角形である三角柱形状に形成されてもよい。直角プリズム３３の直角を成す２つの側面には、高反射膜がコートされてもよい。直角プリズム３３の直角を成す２つの側面は、それぞれ第１反射面３３ａ及び第２反射面３３ｂを構成してもよい。
　第１のレーザ装置２ａから出力された第１のパルスレーザ光２１ａは、高反射ミラー３１によって直角プリズム３３の第１反射面３３ａに向けて反射されてもよい。さらに、第１のパルスレーザ光２１ａは、直角プリズム３３の第１反射面３３ａで反射され、アニール装置４に向けて出力されてもよい。
　第２のレーザ装置２ｂから出力された第２のパルスレーザ光２１ｂは、高反射ミラー３２によって直角プリズム３３の第２反射面３３ｂに向けて反射されてもよい。さらに、第２のパルスレーザ光２１ｂは、直角プリズム３３の第２反射面３３ｂで反射され、アニール装置４に向けて出力されてもよい。
　このように、光束化装置３は、第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂを、それらの光路軸が互いに平行となるようにし、これらの光路を近接させて、光束化レーザ光２１として出射させてもよい。本明細書では、パルスレーザ光の「光路軸」は、パルスレーザ光の光路の中心軸を意味する。「光束化レーザ光」は、複数のパルスレーザ光が束ねられたパルスレーザ光であってもよい。光束化レーザ光２１は、１台のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光に対して約２倍のパルスエネルギーを有してもよい。
　１．３　露光装置
　アニール装置４は、アニール制御部４０と、照明光学系４２と、マスク４３と、高反射ミラー４１と、転写光学系４４と、ステージ４５と、を備えてもよい。アニール装置４は、レーザシステム５から出射された光束化レーザ光２１を所定のマスクパターンに成形し、このマスクパターンを被照射物Ｐに転写してもよい。
　照明光学系４２は、フライアイレンズ４２１と、コンデンサ光学系４２２とを含み、ケーラー照明を構成するように設計されてもよい。
　フライアイレンズ４２１は、レーザシステム５から出射された光束化レーザ光２１の光路に配置されてもよい。フライアイレンズ４２１は、光束化レーザ光２１の断面に沿って配列された複数のレンズを含んでもよい。フライアイレンズ４２１に入射する光束化レーザ光２１は、ほぼ平行光であってもよい。フライアイレンズ４２１に含まれる複数のレンズのそれぞれは、光束化レーザ光２１の各一部をコンデンサ光学系４２２に向けて透過させるときに、当該各一部のビーム幅を拡大させてもよい。
　コンデンサ光学系４２２は、フライアイレンズ４２１から出射された光束化レーザ光２１の光路に配置されてもよい。コンデンサ光学系４２２は、フライアイレンズ４２１から出射された光束化レーザ光２１をマスク４３に向けて照明してもよい。
　コンデンサ光学系４２２は、当該コンデンサ光学系４２２の後側焦点面の位置がマスク４３の位置とほぼ一致するように配置されてもよい。従って、コンデンサ光学系４２２は、フライアイレンズ４２１に含まれる複数のレンズのそれぞれを透過した光束化レーザ光２１を、マスク４３の互いにほぼ同じ領域に入射させ得る。
　図１において、コンデンサ光学系４２２は１つの凸レンズを含むものとして図示したが、図示しない他の凸レンズ又は凹レンズとの組み合わせや、凹面ミラー等を含んでもよい。
　以上の構成により、照明光学系４２は、マスク４３に照射される光束化レーザ光２１のビーム断面における光強度分布のばらつきを低減し得る。
　マスク４３は、長方形形状の開口が形成されたスリットであってもよい。当該スリットの開口形状は、マスク４３のマスクパターンを構成し得る。マスク４３のマスクパターンは、長方形形状に限定されず、所望形状のパターンであってもよい。
　高反射ミラー４１は、マスク４３を通過した光束化レーザ光２１の光路に配置されてもよい。高反射ミラー４１は、光束化レーザ光２１を反射して転写光学系４４に入射させてもよい。
　転写光学系４４は、高反射ミラー４１によって反射された光束化レーザ光２１の光路に配置されてもよい。転写光学系４４は、当該転写光学系４４によって結像されるマスク４３の像の位置が被照射物Ｐの被照射位置とほぼ一致するように配置されてもよい。これにより、転写光学系４４は、マスク４３のマスクパターンを被照射物Ｐに転写し得る。
　転写光学系４４は、１つ又は複数の凸レンズを含んでもよい。転写光学系４４は、１つ又は複数の凸レンズに限定されず、例えば凸レンズと凹レンズの組み合わせや、凹面ミラー等を含んでもよい。転写光学系４４は、長方形形状のマスクパターンの短手方向だけを被照射物Ｐに転写するシリンドリカルレンズによって構成されてもよい。
　ステージ４５は、転写光学系４４によって結像されるマスク４３の像が被照射物Ｐの被照射面を走査するように、被照射物Ｐを移動させるように構成されてもよい。
　以上のように、レーザシステム５は、１台のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光よりもパルスエネルギーの高い光束化レーザ光２１を出力し得る。その結果、レーザアニール装置１は、アニールに必要な所定のパルスエネルギー密度で、且つ、広い照射面積で、光束化レーザ光２１を被照射物Ｐに照射し得る。そして、大面積の液晶ディスプレイの効率的な製造が可能となり得る。
　１．４　制御部
　アニール制御部４０は、ステージ４５の移動、被照射物Ｐやマスク４３の交換などの制御を行ってもよい。アニール制御部４０は、レーザシステム制御部２０に対し、トリガ信号ＴＲを出力してもよい。
　レーザシステム制御部２０は、アニール制御部４０から受信したトリガ信号ＴＲを、同期制御部２２に送信してもよい。同期制御部２２は、レーザシステム制御部２０から受信したトリガ信号ＴＲに基づいて、第１及び第２のスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）をそれぞれ第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂに送信してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂは、同期制御部２２から受信したそれぞれのスイッチ信号に基づいて、パルスレーザ光を出力してもよい。
　１．５　レーザ装置の詳細
　図２は、図１に示されるレーザシステムの構成例を示す。例えば、第１のレーザ装置２ａは、レーザチャンバ１０と、一対の電極１１ａ及び１１ｂと、充電器１２と、パルスパワーモジュール（ＰＰＭ）１３と、を含んでもよい。第１のレーザ装置２ａは、さらに、高反射ミラー１４と、出力結合ミラー１５と、パルスエネルギー計測部１７と、放電センサ１８と、レーザ制御部１９と、を含んでもよい。第２のレーザ装置２ｂの構成も同様でよい。図２においては、パルスレーザ光２１ａの進行方向と一対の電極１１ａ及び１１ｂの間の放電方向との両方に垂直な方向からみたレーザチャンバ１０の内部構成が示されている。
　レーザチャンバ１０は、例えばレアガスとしてアルゴン又はクリプトン又はキセノン、バッファガスとしてネオン又はヘリューム、ハロゲンガスとして塩素又はフッ素等を含む、レーザ媒質としてのレーザガスが封入されるチャンバでもよい。一対の電極１１ａ及び１１ｂは、レーザ媒質を放電により励起するための電極として、レーザチャンバ１０内に配置されてもよい。レーザチャンバ１０には開口が形成され、この開口を電気絶縁部２９が塞いでいてもよい。電極１１ａは電気絶縁部２９に支持され、電極１１ｂはリターンプレート１０ｄに支持されていてもよい。このリターンプレート１０ｄは図９を参照しながら後述する配線１０ｅ及び１０ｆによってレーザチャンバ１０の内面と接続されてもよい。電気絶縁部２９には、導電部２９ａが埋め込まれていてもよい。導電部２９ａは、パルスパワーモジュール１３から供給される高電圧を電極１１ａに印加するものであってもよい。
　充電器１２は、パルスパワーモジュール１３の中の後述する充電コンデンサＣ０に所定の電圧で充電する直流電源装置であってもよい。パルスパワーモジュール１３は、スイッチ１３ａと、後述の磁気圧縮回路とを含んでもよい。パルスパワーモジュール１３は、本開示のパルス発生器に相当し得る。
　レーザチャンバ１０の両端にはウインドウ１０ａ及び１０ｂが設けられてもよい。高反射ミラー１４及び出力結合ミラー１５は、光共振器を構成してもよい。パルスエネルギー計測部１７は、ビームスプリッタ１７ａと、集光光学系１７ｂと、光センサ１７ｃとを含んでもよい。
　同期制御部２２は、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂと、遅延回路部２４と、を含んでもよい。第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂの各々は、処理部２５と、遅延回路２６と、タイマー２７とを含んでもよい。
　１．６　レーザ装置の動作
　同期制御部２２において、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂと、遅延回路部２４と、には、図示しないクロック生成器によって共通のクロック信号が供給されてもよい。遅延回路部２４は、レーザシステム制御部２０から出力されたトリガ信号ＴＲを受信してもよい。遅延回路部２４は、トリガ信号ＴＲを受信した時から第１の遅延時間ＴＲｄ（１）が経過したことを示す第１の遅延信号ＴＲ（１）を、第１のトリガ補正部２２ａの遅延回路２６及びタイマー２７に出力してもよい。遅延回路部２４は、トリガ信号ＴＲを受信した時から第２の遅延時間ＴＲｄ（２）が経過したことを示す第２の遅延信号ＴＲ（２）を、第２のトリガ補正部２２ｂの遅延回路２６及びタイマー２７に出力してもよい。第１の遅延時間ＴＲｄ（１）のデータ及び第２の遅延時間ＴＲｄ（２）のデータは、レーザシステム制御部２０から同期制御部２２に与えられてもよい。
　第１のトリガ補正部２２ａの遅延回路２６は、第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から第１の補正時間Ｔｄ（１）が経過したことを示す第１のスイッチ信号Ｓ（１）を、第１のレーザ装置２ａのパルスパワーモジュール１３に出力してもよい。第１の補正時間Ｔｄ（１）は、第１のトリガ補正部２２ａの処理部２５によって設定されてもよい。第２のトリガ補正部２２ｂの遅延回路２６は、第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から第２の補正時間Ｔｄ（２）が経過したことを示す第２のスイッチ信号Ｓ（２）を、第２のレーザ装置２ｂのパルスパワーモジュール１３に出力してもよい。第２の補正時間Ｔｄ（２）は、第２のトリガ補正部２２ｂの処理部２５によって設定されてもよい。
　レーザ制御部１９は、上述のレーザシステム制御部２０との間で各種信号を送受信してもよい。例えば、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から、目標パルスエネルギーのデータを受信してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのレーザ制御部１９は、それぞれ、レーザシステム制御部２０から受信した目標パルスエネルギーＥｔ（１）及びＥｔ（２）のデータに基づいて、充電電圧の設定値Ｖ（１）及びＶ（２）を算出してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々において、レーザ制御部１９は、充電電圧の設定値を、充電器１２と、対応するトリガ補正部の処理部２５と、に送信してもよい。充電器１２は、充電電圧の設定値に従い、パルスパワーモジュール１３の中の充電コンデンサＣ０を充電してもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのパルスパワーモジュール１３は、それぞれ、遅延回路２６から出力された第１及び第２のスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）を受信してもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのパルスパワーモジュール１３のスイッチ１３ａは、それぞれスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）によってＯＦＦからＯＮになってもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々において、スイッチ１３ａがＯＦＦからＯＮになると、パルスパワーモジュール１３は、充電コンデンサＣ０に保持されていた電気エネルギーからパルス状の高電圧を生成してもよい。この高電圧は、一対の電極１１ａ及び１１ｂに印加されてもよい。
　一対の電極１１ａ及び１１ｂに高電圧が印加されると、一対の電極１１ａ及び１１ｂ間が絶縁破壊され、放電が起こり得る。この放電のエネルギーにより、レーザチャンバ１０内のレーザ媒質が励起されて高エネルギー準位に移行し得る。励起されたレーザ媒質が、その後低エネルギー準位に移行するとき、そのエネルギー準位差に応じた光を放出し得る。
　レーザチャンバ１０内で発生した光は、ウインドウ１０ａ及び１０ｂを介してレーザチャンバ１０の外部に出射し得る。高反射ミラー１４は、レーザチャンバ１０のウインドウ１０ａから出射された光を高い反射率で反射してレーザチャンバ１０に戻してもよい。出力結合ミラー１５は、レーザチャンバ１０のウインドウ１０ｂから出力される光のうちの一部を透過させて出力し、他の一部を反射させてレーザチャンバ１０内に戻してもよい。
　レーザチャンバ１０から出射した光は、高反射ミラー１４と出力結合ミラー１５との間で往復し、電極１１ａと電極１１ｂとの間のレーザゲイン空間を通過する度に増幅され得る。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂにおいて、増幅された光の各一部が、出力結合ミラー１５を介して、パルスレーザ光２１ａ及び２１ｂとして出力され得る。
　パルスエネルギー計測部１７のビームスプリッタ１７ａは、パルスレーザ光を高い透過率で透過させるとともに、パルスレーザ光の一部を集光光学系１７ｂに向けて反射してもよい。集光光学系１７ｂは、ビームスプリッタ１７ａによって反射されたパルスレーザ光を光センサ１７ｃの受光面に集光してもよい。光センサ１７ｃは、受光面に集光されたパルスレーザ光のパルスエネルギーを検出し、検出されたパルスエネルギーのデータをレーザ制御部１９に出力してもよい。レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から受信した目標パルスエネルギーのデータと、検出されたパルスエネルギーのデータとに基づいて、充電電圧の設定値をフィードバック制御してもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの放電センサ１８は、一対の電極１１ａ及び１１ｂ間に発生した放電を検出し、それぞれ第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）を出力してもよい。第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）は、それぞれ第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂのタイマー２７に入力されてもよい。
　第１のトリガ補正部２２ａのタイマー２７は、第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から、第１の放電検出信号ＤＳ（１）を受信した時までの第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）を計測し、処理部２５に送信してもよい。第２のトリガ補正部２２ｂのタイマー２７は、第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から、第２の放電検出信号ＤＳ（２）を受信した時までの第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を計測し、処理部２５に送信してもよい。
　第１のトリガ補正部２２ａの処理部２５は、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９から送信された充電電圧の設定値Ｖ（１）と、タイマー２７から送信された第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）とに基づいて、第１の補正時間Ｔｄ（１）を設定してもよい。
　第２のトリガ補正部２２ｂの処理部２５は、第２のレーザ装置２ｂのレーザ制御部１９から送信された充電電圧の設定値Ｖ（２）と、タイマー２７から送信された第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）とに基づいて、第２の補正時間Ｔｄ（２）を設定してもよい。
　１．７　タイミングチャート
　図３は、図１に示されるレーザシステムにおけるタイミングチャートである。レーザシステム制御部２０は、アニール制御部４０から受信したトリガ信号ＴＲを、同期制御部２２に送信してもよい。
　同期制御部２２の遅延回路部２４は、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂに対し、それぞれ第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）を出力してもよい。第１及び第２の遅延信号は、それぞれ、トリガ信号ＴＲを受信した時から互いに異なる第１及び第２の遅延時間ＴＲｄ（１）及びＴＲｄ（２）が経過したことを示すものでもよい。
　第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）の出力タイミングから、第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）の出力タイミングまでの時間は、互いにほぼ等しくなるように制御されることが望ましい。その場合、第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）の間の時間差とほぼ同じ時間差で、第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）が出力され得る。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂからは第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂがそれぞれ出力されてもよい。第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂは、第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）とそれぞれほぼ同じタイミングで出力されてもよい。あるいは、第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂは、第１及び第２の放電検出信号ＤＳ（１）及びＤＳ（２）からそれぞれわずかに遅れたタイミングで出力されてもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれの出力位置から光束化装置３の出射位置までの光路長は、互いにほぼ等しくなるように調節されてもよい。その場合、光束化装置３から出射される光束化レーザ光２１は、第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）の時間差とほぼ同じ時間差を有する第１及び第２のパルスレーザ光２１ａ及び２１ｂが、組み合わされたものでもよい。第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）のタイミングを制御することにより、光束化レーザ光２１のパルス波形を調節することができる。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれの出力位置から光束化装置３の出射位置までの光路長が互いに異なる場合には、その光路長差を光速で除算した値を用いて、第１及び第２の遅延信号ＴＲ（１）及びＴＲ（２）のタイミングを補正してもよい。
　図３に示されるように、第１の遅延信号ＴＲ（１）と第２の遅延信号ＴＲ（２）とは所定の時間差を有してもよい。ここで、第１のレーザ装置２ａが第１のスイッチ信号Ｓ（１）を受信した時から第１のパルスレーザ光を生成する時までの第１の所要時間は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧によって変動し得る。第２のレーザ装置２ｂが第２のスイッチ信号Ｓ（２）を受信した時から第２のパルスレーザ光を生成する時までの第２の所要時間は、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧によって変動し得る。そして、これらの充電電圧は、第１のレーザ装置２ａと第２のレーザ装置２ｂとで互いに別々に制御され得る。従って、第１の所要時間と第２の所要時間とは、互いに別々に変動し得る。また、第１の所要時間及び第２の所要時間は、それぞれのパルスパワーモジュール１３に含まれる磁気圧縮回路の温度によっても、変動し得る。
　タイマー２７が第１の遅延信号ＴＲ（１）を受信した時から、第１の放電検出信号ＤＳ（１）を受信した時までの第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）は、第１の補正時間Ｔｄ（１）と、第１の所要時間と、の合計時間に相当してもよい。タイマー２７が第２の遅延信号ＴＲ（２）を受信した時から、第２の放電検出信号ＤＳ（２）を受信した時までの第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）は、第２の補正時間Ｔｄ（２）と、第２の所要時間と、の合計時間に相当してもよい。
　第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）を目標値に近づけるためには、第１の所要時間の変動に応じて、第１の補正時間Ｔｄ（１）を変更する必要があり得る。第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を目標値に近づけるためには、第２の所要時間の変動に応じて、第２の補正時間Ｔｄ（２）を変更する必要があり得る。
　第１の経過時間ＴＲｄｍ（１）及び第２の経過時間ＴＲｄｍ（２）を目標値に近づけることにより、第１の遅延信号ＴＲ（１）と第２の遅延信号ＴＲ（２）との時間差とほぼ等しい時間差で、第１のパルスレーザ光２１ａ及び第２のパルスレーザ光２１ｂを生成することができる。
　図４は、第ｎのトリガ補正部における具体的な補正方法を示すタイミングチャートである。以下の説明において、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂの各々を第ｎのトリガ補正部２２ｎとすることがある。また、第ｎのトリガ補正部２２ｎが入力又は出力する信号に（ｎ）を付して示し、あるいは、第ｎのトリガ補正部２２ｎに設定される時間に（ｎ）を付して示すことがある。
　第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）は、以下の式で算出されるものでもよい。
　　　Ｔｄ（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）＋ΔＴＶ（ｎ）
　ここで、Ｔｄ０（ｎ）を第１の補正要素とし、ΔＴＶ（ｎ）を第２の補正要素としてもよい。
　第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）の初期値は、以下の式で設定されてもよい。
　　　Ｔｄ０（ｎ）の初期値
　　＝ＴＲｄｔ－Ｆ（Ｖ０（ｎ））
　ここで、ＴＲｄｔは、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の目標値であってもよい。第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの経過時間であってもよい。ここでは、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の目標値ＴＲｄｔが、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂに共通の値である場合について説明するが、別々の目標値が設定されるようにしてもよい。
　上記の式において、Ｆ（Ｖ０（ｎ））は、第ｎのレーザ装置２ｎにおける充電電圧の設定値が所定の基準電圧値Ｖ０（ｎ）である場合の、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の入力から第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）の出力までの所要時間の計算値であってもよい。パルスパワーモジュール１３に含まれる磁気圧縮回路において、充電電圧のみが変更された場合には、この充電電圧と、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）がスイッチ１３ａに入力されてからパルス状の高電圧が一対の電極１１ａ及び１１ｂの間に印加されるまでの所要時間Ｔと、の積がほぼ一定値Ｋとなり得る。従って、Ｆ（Ｖ０（ｎ））の計算は、以下の式で行われてもよい。
　　　Ｆ（Ｖ０（ｎ））＝Ｋ／Ｖ０（ｎ）
　Ｖ０（ｎ）は、基準電圧値でもよい。
　第ｎのレーザ装置２ｎにおける充電電圧の設定値が所定の基準電圧値Ｖ０（ｎ）と異なる電圧値Ｖ（ｎ）である場合に、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）が、以下の式で算出されてもよい。
　　　ΔＴＶ（ｎ）＝Ｆ（Ｖ０（ｎ））－Ｆ（Ｖ（ｎ））
　ここで、Ｆ（Ｖ（ｎ））は、第ｎのレーザ装置２ｎにおける充電電圧の設定値をＶ（ｎ）とした場合の、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）の入力から第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）の出力までの所要時間の計算値であってもよい。Ｆ（Ｖ（ｎ））の計算は、以下の式で行われてもよい。
　　　Ｆ（Ｖ（ｎ））＝Ｋ／Ｖ（ｎ）
　以上のように、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を算出することにより、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）のタイミング制御を高速で行うことができる。
　第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を受信した場合に、目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＴＲｄ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
　　　ΔＴＲｄ（ｎ）＝ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））－ＴＲｄｔ
　ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））は、ＴＲｄｍ（ｎ）を複数回にわたって計測した場合のＴＲｄｍ（ｎ）の平均値であってもよい。
　こうして算出された差ΔＴＲｄ（ｎ）に基づいて、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）が、以下の式により更新されてもよい。
　　　Ｔｄ０（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）－ΔＴＲｄ（ｎ）
　以上のように、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値と目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）に基づいて、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を更新することにより、例えば、磁気圧縮回路の温度変化やレーザチャンバのガス圧の変化等による第ｎの所要時間の変動に応じた補正が可能となる。これにより、第ｎのスイッチ信号Ｓ（ｎ）のタイミング制御を精度よく行うことができる。本明細書では、磁気圧縮回路の温度変化やレーザチャンバのガス圧の変化等による放電タイミングの変化を「ドリフト変化」と定義する。
　１．８　フローチャート
　　１．８．１　レーザシステム制御部の処理
　図５は、図１に示されるレーザシステム制御部の処理を示すフローチャートである。レーザシステム制御部２０は、以下の処理により、第ｎのレーザ装置２ｎから出力される第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。
　まず、Ｓ１０２において、レーザシステム制御部２０は、アニール装置４のアニール制御部４０から、光束化レーザ光２１の目標パルス波形のデータと、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーのデータとを受信してもよい。
　次に、Ｓ１０３において、レーザシステム制御部２０は、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。例えば、光束化レーザ光２１の目標パルス波形が短いパルス幅を有するものである場合には、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）の各々を互いに近接した値としてもよい。また、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）の合計が、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーに近づくように、第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）が決められてもよい。
　第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を算出したら、レーザシステム制御部２０は、それぞれの値を対応するレーザ装置のレーザ制御部１９に送信してもよい。
　第ｎのパルスレーザ光２１ｎの各々について、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出したら、レーザシステム制御部２０は、これらの値を同期制御部２２の遅延回路部２４に送信してもよい。
　次に、Ｓ１１３において、レーザシステム制御部２０は、光束化レーザ光２１の目標パルス波形と、光束化レーザ光２１の目標パルスエネルギーを変更するか否かを判定してもよい。これらの値を変更する場合（Ｓ１１３；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１０２に戻してもよい。変更しない場合（Ｓ１１３；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理をＳ１１４に進めてもよい。
　次に、Ｓ１１４において、レーザシステム制御部２０は、パルス波形の制御を停止するか否かを判定してもよい。パルス波形の制御を停止しない場合（Ｓ１１４；ＮＯ）、レーザシステム制御部２０は、処理を上述のＳ１１３に戻してもよい。パルス波形の制御を停止する場合（Ｓ１１４；ＹＥＳ）、レーザシステム制御部２０は、本フローチャートの処理を終了してもよい。
　以上のようにして、レーザシステム制御部２０は、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）及び第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。
　　１．８．２　レーザ制御部の処理
　図６は、図２に示されるレーザ制御部の処理を示すフローチャートである。第ｎのレーザ装置２ｎにそれぞれ含まれるレーザ制御部１９は、以下の処理により、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）に基づいて充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を算出してもよい。
　まず、Ｓ２０１において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２ｎの充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を、初期値に設定してもよい。充電電圧の設定値の初期値は、上述の基準電圧値Ｖ０（ｎ）であってもよい。
　次に、Ｓ２０２において、レーザ制御部１９は、レーザシステム制御部２０から、当該レーザ装置２（ｎ）の目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を読出してもよい。
　次に、Ｓ２０３において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振したか否かを判定してもよい。当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振していない場合（Ｓ２０３；ＮＯ）、レーザ制御部１９は、レーザ発振するまで待機してもよい。当該レーザ装置２（ｎ）がレーザ発振した場合（Ｓ２０３；ＹＥＳ）、レーザ制御部１９は、処理をＳ２０４に進めてもよい。
　Ｓ２０４において、レーザ制御部１９は、当該レーザ装置２ｎから出力されたパルスレーザ光２１ｎのパルスエネルギーＥ（ｎ）を検出してもよい。パルスエネルギーＥ（ｎ）は、パルスエネルギー計測部１７によって検出されてもよい。
　次に、Ｓ２０５において、レーザ制御部１９は、検出されたパルスエネルギーＥ（ｎ）と、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）との差ΔＥ（ｎ）を、以下の式により算出してもよい。
　　　ΔＥ（ｎ）＝Ｅ（ｎ）－Ｅｔ（ｎ）
　次に、Ｓ２０６において、レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーとの差ΔＥ（ｎ）に基づいて、充電電圧の設定値の変化量ΔＶ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
　　　ΔＶ（ｎ）＝Ｈ・ΔＥ（ｎ）
　ここで、Ｈは比例定数であってもよい。充電電圧の設定値の変化量ΔＶ（ｎ）は、次の充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）をどのくらい変化させればよいかを示していてもよい。レーザ制御部１９は、次の充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
　　　Ｖ（ｎ）＝Ｖ（ｎ）＋ΔＶ（ｎ）
　次に、Ｓ２０７において、レーザ制御部１９は、充電器１２と、第ｎのトリガ補正部２２ｎの処理部２５と、に次の充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を送信してもよい。
　次に、Ｓ２０８において、レーザ制御部１９は、目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更するか否かを判定してもよい。目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更する場合（Ｓ２０８；ＹＥＳ）、レーザ制御部は、処理を上述のＳ２０２に戻してもよい。目標パルスエネルギーＥｔ（ｎ）を変更しない場合（Ｓ２０８；ＮＯ）、レーザ制御部は、処理を上述のＳ２０３に戻してもよい。
　以上のようにして、レーザ制御部１９は、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を算出してもよい。
　　１．８．３　第ｎのトリガ補正部の処理
　図７は、図２に示される第ｎのトリガ補正部の処理を示すフローチャートである。第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の処理により、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を構成する第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）及び第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を算出してもよい。
　まず、Ｓ３０１において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下のように、いくつかの変数を初期値に設定してもよい。
　　　Ｊ＝０
　　　ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝０
　　　Ｔｄ０（ｎ）＝ＴＲｄｔ－Ｆ（Ｖ０（ｎ））
　ここで、Ｊは発振パルス数を数えるためのカウンタでもよい。ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）は、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値を算出するための、ＴＲｄｍ（ｎ）の合計値であってもよい。Ｔｄ０（ｎ）は、第１の補正要素であって、ＴＲｄｔ－Ｆ（Ｖ０（ｎ））は、上述した第１の補正要素の初期値であってもよい。
　次に、Ｓ３０２において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、レーザ制御部１９から、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）を読出してもよい。
　次に、Ｓ３０３において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
　　　ΔＴＶ（ｎ）＝Ｆ（Ｖ０（ｎ））－Ｆ（Ｖ（ｎ））
　次に、Ｓ３０４において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を以下の式により算出してもよい。
　　　Ｔｄ（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）＋ΔＴＶ（ｎ）
　ここで、Ｔｄ０（ｎ）は第１の補正要素であり、ΔＴＶ（ｎ）は第２の補正要素であってもよい。
　次に、Ｓ３０６において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振したか否かを判定してもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振したか否かは、放電センサ１８から第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）をタイマー２７が受信したか否かによって判定されてもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振した場合（Ｓ３０６；ＹＥＳ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理をＳ３０７に進めてもよい。第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振していない場合（Ｓ３０６；ＮＯ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第ｎのレーザ装置２ｎがレーザ発振するまで待機してもよい。
　Ｓ３０７において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、現在のカウンタＪの値に１を加算してＪの値を更新してもよい。
　次に、Ｓ３０８において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、タイマー２７が第ｎの遅延信号ＴＲ（ｎ）を受信した時から、第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を受信した時までの第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を、タイマー２７から読出してもよい。
　次に、Ｓ３０９において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、以下の式により、ＴＲｄｍ（ｎ）の合計値ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）を更新してもよい。
　　　ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＝ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）＋ＴＲｄｍ（ｎ）
　次に、Ｓ３１２において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達したか否かを判定してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達していない場合（Ｓ３１２；ＮＯ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。カウンタＪの値が所定のサンプル数Ｊｍａｘに達した場合（Ｓ３１２；ＹＥＳ）、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理をＳ３１３に進めてもよい。
　Ｓ３１３において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、ＴＲｄｍ（ｎ）の平均値と、目標値ＴＲｄｔとの差ΔＴＲｄ（ｎ）を算出してもよい。差ΔＴＲｄ（ｎ）は、以下の式により算出されてもよい。
　　　ΔＴＲｄ（ｎ）＝ＡＶＧ（ＴＲｄｍ（ｎ））－ＴＲｄｔ
　　　　　　　　　　＝ＴＲｄｍｓｕｍ（ｎ）／Ｊｍａｘ－ＴＲｄｔ
　次に、Ｓ３１４において、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を、以下の式により更新してもよい。
　　　Ｔｄ０（ｎ）＝Ｔｄ０（ｎ）－ΔＴＲｄ（ｎ）
　第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）を更新したら、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、処理を上述のＳ３０２に戻してもよい。
　以上のようにして、第ｎのトリガ補正部２２ｎは、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）及び第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）を更新しながら、第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を算出してもよい。第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）は、上述のように、１回のパルス発振ごとに更新されてもよい。第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）は、上述のように、所定のサンプル数Ｊｍａｘのパルス発振ごとに更新されてもよい。所定のサンプル数Ｊｍａｘは、例えば２００回～１００００回であってもよい。このように、第１の補正要素Ｔｄ０（ｎ）の更新により第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を設定する設定処理の頻度は、第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）の更新により第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を設定する設定処理の頻度より小さくてもよい。
　以上の比較例によれば、第ｎのトリガ補正部２２ｎが、第ｎの所要時間の変動に応じて第ｎの補正時間Ｔｄ（ｎ）を補正することにより、第ｎの経過時間ＴＲｄｍ（ｎ）を目標値ＴＲｄｔに近づけることができる。具体的には、充電電圧の設定値に基づく補正時間の制御と、ドリフト変化による第ｎの所要時間の変動に応じた補正時間の制御と、が可能となる。これにより、各レーザ装置の放電タイミングを安定化させ、光束化レーザ光のパルス波形を安定化し得る。
　光束化レーザ光のパルス波形の制御は、遅延回路部２４が第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を制御することにより実現されるので、第ｎのトリガ補正部２２ｎによる制御とは別々に行うことができる。
　また、以上の比較例によれば、図示しないクロック生成器が、第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂと、遅延回路部２４と、に共通のクロック信号を生成している。これにより、それぞれの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）あるいは補正時間Ｔｄ（ｎ）の相互の誤差を低減することができる。
　なお、同期制御部２２と各レーザ装置との配線が長い場合には、配線の長さをｌとすると電気信号はｌ／ｃ遅れ得る。ｃは光速でもよい。そこで、それぞれのスイッチ信号Ｓ（ｎ）とそれぞれの放電センサのタイミング信号の電線の長さから信号の遅れ分を補正してもよい。また、配線の代わりに光ファイバによる通信を行ったとしても同様の遅れが発生し得るので、この補正を行ってもよい。
　また、この比較例では、光束化レーザ光のパルス波形の制御は、遅延回路部２４が、第ｎの遅延時間ＴＲｄ（ｎ）を制御することにより実現しているが、この比較例に限定されることなく、以下の構成であってもよい。遅延回路部２４の代わりにアニール制御部４０からのトリガ信号ＴＲを遅延することなく分配する分配器を配置し、各レーザ装置に対応するトリガ補正部２２ｎに、それぞれ、異なる目標値ＴＲｄｔ（ｎ）を設定することによって、各レーザ装置から出力されるパルスレーザ光のタイミングを制御してもよい。
　上述の説明においては、レーザシステム制御部２０、同期制御部２２及び各レーザ装置のレーザ制御部１９がレーザ装置の制御を行ったが、本開示はこれに限定されない。アニール装置４に含まれるアニール制御部４０が、各種制御を行ってもよい。
　１．９　課題
　以上の比較例においては、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて第２の補正要素ΔＴＶ（ｎ）が算出されてもよい。しかしながら、充電コンデンサＣ０に充電された実際の充電電圧が充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）とずれる場合があり得る。その場合、複数のレーザ装置から出力される複数のパルスレーザ光の同期精度が悪化することがあり得る。
　その結果、複数のパルスレーザ光を束ねた光束化レーザ光のパルス波形が変化し、アニール性能に影響することがあり得る。
　以下に説明する実施形態においては、複数のレーザ装置に共通の充電電圧計測部によって、実際の充電電圧を精度よく計測し、この計測された充電電圧に基づいてブリード回路やトリガ補正部が動作するようにしてもよい。
２．計測された充電電圧に基づいてブリード回路を制御するレーザシステム（第１の実施形態）
　２．１　構成
　図８は、本開示の第１の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。第１の実施形態において、レーザアニール装置１の全体的な構成は、図１と同様でよい。
　第１の実施形態において、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々は、さらに、分圧回路６と、ブリード回路７と、を含んでもよい。レーザシステム５は、さらに、充電電圧計測部８と、ブリード回路制御部９と、を含んでいてもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々において、分圧回路６及びブリード回路７は、充電器１２とパルスパワーモジュール１３の充電コンデンサＣ０とを接続する配線に接続されていてもよい。第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれに含まれる分圧回路６は、充電電圧計測部８に接続されていてもよい。充電電圧計測部８は、ブリード回路制御部９に接続されていてもよい。ブリード回路制御部９は、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのレーザ制御部１９とこれらのレーザ装置に対応するトリガ補正部の処理部２５とを接続する信号線に接続されていてよい。ブリード回路制御部９は、さらに、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれに含まれるブリード回路７に接続されていてもよい。
　図９は、第１の実施形態においてパルスレーザ光の進行方向に略平行な方向からみたレーザチャンバの内部構成を示す。図９は、図８に示されるパルスパワーモジュール、放電センサ、分圧回路、ブリード回路、充電電圧測定器の構成も示している。レーザチャンバ１０の壁面を含む導電性部材は、接地電位に接続されてもよい。電極１１ｂは、リターンプレート１０ｄと配線１０ｅ及び１０ｆとレーザチャンバ１０の壁面を介して接地電位に接続されていてもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々に含まれる放電センサ１８は、レーザチャンバ１０に取り付けられたウインドウ１０ｃと、集光光学系１８１と、光センサ１８２と、を含んでもよい。
　ウインドウ１０ｃは、一対の電極１１ａ及び１１ｂの間の放電によって発生した光を透過させてもよい。集光光学系１８１は、ウインドウ１０ｃを透過した光を光センサ１８２の受光面に集光してもよい。光センサ１８２は、フォトダイオード又は光電管を含んでもよい。光センサ１８２は、一対の電極１１ａ及び１１ｂの間の放電によって発生した光を検出することにより、放電タイミングを示す第ｎの放電検出信号ＤＳ（ｎ）を同期制御部２２に送信してもよい。
　パルスパワーモジュール１３は、充電コンデンサＣ０と、スイッチ１３ａと、昇圧トランスＴＣ１と、複数の磁気スイッチＳｒ１～Ｓｒ３と、複数のコンデンサＣ１～Ｃ３と、を含んで構成されてもよい。昇圧トランスＴＣ１と、複数の磁気スイッチＳｒ１～Ｓｒ３と、複数のコンデンサＣ１～Ｃ３とは、磁気圧縮回路を構成してもよい。
　磁気スイッチＳｒ１～Ｓｒ３は、いずれも、可飽和リアクトルを含んでもよい。磁気スイッチＳｒ１～Ｓｒ３の各々は、その両端に印加された電圧の時間積分値が、各磁気スイッチの特性で決まる所定の値になったときに、低インピーダンスになるようにしもよい。
　充電器１２には、レーザ制御部１９により充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）が設定されてもよい。充電器１２は、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて、充電コンデンサＣ０を充電してもよい。
　パルスパワーモジュール１３のスイッチ１３ａには、同期制御部２２によりスイッチ信号が入力されてもよい。スイッチ信号がスイッチ１３ａに入力されると、スイッチ１３ａがＯＮになってもよい。スイッチ１３ａがＯＮになると、充電コンデンサＣ０から昇圧トランスＴＣ１の１次側に電流が流れ得る。
　昇圧トランスＴＣ１の１次側に電流が流れると、電磁誘導によって昇圧トランスＴＣ１の２次側に逆方向の電流が流れ得る。昇圧トランスＴＣ１の２次側に電流が流れると、やがて磁気スイッチＳｒ１に印加される電圧の時間積分値が閾値に達し得る。
　磁気スイッチＳｒ１に印加される電圧の時間積分値が閾値に達すると、磁気スイッチＳｒ１は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ１は閉じ得る。
　磁気スイッチＳｒ１が閉じると、昇圧トランスＴＣ１の２次側からコンデンサＣ１に電流が流れ、コンデンサＣ１が充電され得る。
　コンデンサＣ１が充電されることにより、やがて磁気スイッチＳｒ２は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ２は閉じ得る。
　磁気スイッチＳｒ２が閉じると、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２に電流が流れ、コンデンサＣ２が充電され得る。このとき、コンデンサＣ１を充電する際の電流のパルス幅よりも短いパルス幅で、コンデンサＣ２が充電されてもよい。
　コンデンサＣ２が充電されることにより、やがて磁気スイッチＳｒ３は磁気飽和した状態となり、磁気スイッチＳｒ３は閉じ得る。
　磁気スイッチＳｒ３が閉じると、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３に電流が流れ、コンデンサＣ３が充電され得る。このとき、コンデンサＣ２を充電する際の電流のパルス幅よりも短いパルス幅で、コンデンサＣ３が充電されてもよい。
　このように、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３へと電流が順次流れることにより、当該電流のパルス幅は圧縮され得る。
　コンデンサＣ３の電圧がレーザガスのブレークダウン電圧に達したときに、一対の電極１１ａ及び１１ｂ間のレーザガスに絶縁破壊が生じてもよい。これにより、レーザガスが励起され、レーザ発振して、パルスレーザ光が出力され得る。このような放電動作が、スイッチ１３ａのスイッチング動作によって繰り返されることにより、所定の発振周波数で、パルスレーザ光が出力されてもよい。放電センサ１８の代わりの放電タイミング検出器として、放電電流を検出する電流計１８ｂが用いられてもよい。この電流計１８ｂは電流プローブであって、放電のタイミングを検出してもよい。
　また、放電センサ１８の代わりの放電タイミング検出器として、パルスエネルギー計測部１７（図８）が用いられてもよい。このパルスエネルギー計測部１７は、高速のフォトダイオードを含んでもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々に含まれる分圧回路６は、第１の抵抗素子６１と、第２の抵抗素子６２とを含んでもよい。第１の抵抗素子６１は、充電器１２とパルスパワーモジュール１３の充電コンデンサＣ０とを接続する配線に接続されていてもよい。第２の抵抗素子６２は、第１の抵抗素子６１と接地電位との間に接続されていてもよい。第１の抵抗素子６１と第２の抵抗素子６２との間の出力端子６３が、充電電圧計測部８に接続されていてもよい。第１の抵抗素子６１は、第２の抵抗素子６２の１０倍以上の抵抗値を有していてもよい。出力端子６３の電圧は、第１の抵抗素子６１と第２の抵抗素子６２との抵抗比に応じた割合で、充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧を分圧して得られた電圧であってもよい。
　充電電圧計測部８は、第１のアンプ８１と、第２のアンプ８２と、マルチプレクサ８３と、ＡＤコンバータ８４と、計測制御部８５とを含んでもよい。第１のアンプ８１は、第１のレーザ装置２ａに含まれる分圧回路６から出力された電圧信号を増幅してマルチプレクサ８３の第１のチャンネルに出力してもよい。第２のアンプ８２は、第２のレーザ装置２ｂに含まれる分圧回路６から出力される電圧信号を増幅してマルチプレクサ８３の第２のチャンネルに出力してもよい。マルチプレクサ８３は、さらにＡＤコンバータ８４に接続されてもよい。マルチプレクサ８３は、第１のアンプ８１の出力をＡＤコンバータ８４に入力する第１のモードと、第２のアンプ８２の出力をＡＤコンバータ８４に入力する第２のモードとの切替えが可能なスイッチであってもよい。
　ＡＤコンバータ８４は、マルチプレクサ８３から入力されたアナログの電圧信号をデジタルの電圧データに変換して計測制御部８５に出力してもよい。ＡＤコンバータ８４は、マルチプレクサ８３に接続された共通の計測部であってよい。計測制御部８５は、マルチプレクサ８３とＡＤコンバータ８４とにそれぞれ信号線を介して接続され、マルチプレクサ８３とＡＤコンバータ８４とを制御してもよい。計測制御部８５は、ＡＤコンバータ８４から受信した電圧データを、ブリード回路制御部９に出力してもよい。
　ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９によって設定される充電電圧の設定値Ｖ（１）と、充電電圧計測部８によって計測された第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）とを比較してもよい。ブリード回路制御部９は、この比較の結果に基づいて、第１のレーザ装置２ａのブリード回路７にスイッチＯＮ信号を出力してもよい。
　ブリード回路制御部９は、第２のレーザ装置２ｂのレーザ制御部１９によって設定される充電電圧の設定値Ｖ（２）と、充電電圧計測部８によって計測された第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（２）とを比較してもよい。ブリード回路制御部９は、この比較の結果に基づいて、第２のレーザ装置２ｂのブリード回路７にスイッチＯＮ信号を出力してもよい。
　第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々に含まれるブリード回路７は、抵抗素子７１と、バイポーラトランジスタ７２と、を含んでもよい。図９に示されるように、充電器１２とパルスパワーモジュール１３の充電コンデンサＣ０とを接続する配線に抵抗素子７１が接続され、抵抗素子７１と接地電位との間にバイポーラトランジスタ７２などの固体スイッチが接続されてもよい。なお、バイポーラトランジスタ７２において、抵抗素子７１に接続される端子はコレクタ端子であってもよい。接地電位に接続される端子はエミッタ端子であってもよい。図９に示される例とは逆に、充電器１２とパルスパワーモジュール１３の充電コンデンサＣ０とを接続する配線にバイポーラトランジスタ７２が接続され、抵抗素子７１と接地電位との間に抵抗素子７１が接続されてもよい。
　ブリード回路制御部９から出力される上述のスイッチＯＮ信号は、バイポーラトランジスタ７２のベース端子に入力されてもよい。バイポーラトランジスタ７２においては、ベース端子にスイッチＯＮ信号が入力されていないときは、コレクタ端子とエミッタ端子との間がほぼ電気絶縁状態であってもよい。バイポーラトランジスタ７２においては、ベース端子にスイッチＯＮ信号が入力されると、コレクタ端子及びエミッタ端子間の電気抵抗が低下してもよい。このとき、抵抗素子７１とバイポーラトランジスタ７２とを介して電流が流れ、パルスパワーモジュール１３の充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧が低下してもよい。
　２．２　動作
　　２．２．１　計測制御部の処理
　図１０は、図９に示される計測制御部の処理を示すフローチャートである。計測制御部８５は、以下の処理により、マルチプレクサ８３とＡＤコンバータ８４とを制御して、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂのそれぞれの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧Ｖｍ（１）及びＶｍ（２）を計測してもよい。
　まず、Ｓ４０１において、計測制御部８５は、マルチプレクサ８３を第１のチャンネルに設定してもよい。これにより、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０が、分圧回路６及び第１のアンプ８１を介してＡＤコンバータ８４に接続されてもよい。
　次に、Ｓ４０２において、計測制御部８５は、ＡＤコンバータ８４の出力を読み取ることにより、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧Ｖｍ（１）を読み込んでもよい。
　次に、Ｓ４０３において、計測制御部８５は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧Ｖｍ（１）のデータを、ブリード回路制御部９に送信してもよい。
　次に、Ｓ４０４において、計測制御部８５は、マルチプレクサ８３を第２のチャンネルに設定してもよい。これにより、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０は、分圧回路６及び第２のアンプ８２を介してＡＤコンバータ８４に接続されてもよい。
　次に、Ｓ４０５において、計測制御部８５は、ＡＤコンバータ８４の出力を読み取ることにより、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧Ｖｍ（２）を読み込んでもよい。
　次に、Ｓ４０６において、計測制御部８５は、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧Ｖｍ（２）のデータを、ブリード回路制御部９に送信してもよい。
　Ｓ４０６の後、計測制御部８５は、処理を上述のＳ４０１に戻してもよい。
　以上の処理により、計測制御部８５は、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々の充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧を交互に計測してもよい。
　　２．２．２　ブリード回路制御部の処理
　図１１は、図９に示されるブリード回路制御部の処理を示すフローチャートである。ブリード回路制御部９は、以下の処理により、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々について、充電電圧の設定値と充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧とを比較し、ブリード回路７を制御してもよい。
　まず、Ｓ５０１において、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９によって設定される充電電圧の設定値Ｖ（１）を読み込んでもよい。
　次に、Ｓ５０２において、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０の充電が完了したか否かを判定してもよい。充電コンデンサＣ０の充電が完了したか否かは、充電電圧の設定値Ｖ（１）よりも充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）の方が高くなったか否かによって判定されてもよい。
　次に、Ｓ５０３において、ブリード回路制御部９は、充電電圧計測部８によって計測された充電コンデンサＣ０の充電電圧Ｖｍ（１）のデータを読み込んでもよい。
　次に、Ｓ５０４において、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａのブリード回路７にスイッチＯＮ信号を出力してもよい。これにより、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧が降下を開始し得る。
　次に、Ｓ５０５において、ブリード回路制御部９は、充電電圧計測部８によって計測された第１のレーザ装置２ａの充電電圧Ｖｍ（１）と第１のレーザ装置２ａの充電電圧の設定値Ｖ（１）とを比較してもよい。
　充電電圧計測部８によって計測された第１のレーザ装置２ａの充電電圧Ｖｍ（１）が、第１のレーザ装置２ａの充電電圧の設定値Ｖ（１）を超えている場合（Ｓ５０５；ＮＯ）、ブリード回路制御部９は、処理を上述のＳ５０３に戻して、充電電圧Ｖｍ（１）を新たに読み込みながらブリード回路７を制御してもよい。Ｓ５０４において第１のレーザ装置２ａのブリード回路７にスイッチＯＮ信号が出力されているので、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）がさらに降下し得る。
　充電電圧計測部８によって計測された第１のレーザ装置２ａの充電電圧Ｖｍ（１）が、第１のレーザ装置２ａの充電電圧の設定値Ｖ（１）以下となった場合（Ｓ５０５；ＹＥＳ）、ブリード回路制御部９は、処理をＳ５０６に進めてもよい。
　Ｓ５０６において、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａのブリード回路７に送信するスイッチＯＮ信号を停止させてもよい。すなわち、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａのブリード回路７に含まれるバイポーラトランジスタ７２をスイッチＯＦＦにしてもよい。
　次に、Ｓ５０７において、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０の充電が完了したことを示す信号を、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９に送信してもよい。
　以上のようにして、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧が制御されてもよい。
　Ｓ５０７の後、ブリード回路制御部９は、Ｓ５１１～Ｓ５１７の処理を実行してもよい。Ｓ５１１～Ｓ５１７の処理は、上述のＳ５０１～Ｓ５０７の処理において、第１のレーザ装置２ａの各構成要素が第２のレーザ装置２ｂの各構成要素に置き換えられたものでもよい。これらの処理により、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電される充電電圧が制御されてもよい。
　２．３　作用
　以上説明した第１の実施形態によれば、複数のレーザ装置に共通の充電電圧計測部によって、実際の充電電圧を精度よく計測し得る。この実際の充電電圧に基づいてブリード回路が動作するので、充電電圧を設定値に精度よく調整し得る。従って、トリガ補正部によるトリガタイミングの補正を精度よく行うことができる。
　米国特許第８２３８４００号明細書は、２台のレーザの充電コンデンサへの充電電圧を互いに一致させるために、２台のレーザの充電コンデンサを接続するスイッチを配置することを開示している。また、米国特許第６８６５２１０号明細書は、１つの充電器で、２つの充電コンデンサを充電することを開示している。しかしながら、これらの方式では、２台のレーザの充電電圧が同一でなければならない。また、これらの方式では、２台のレーザが近接して配置されていなければならない。これに対し、本実施形態によれば、２台のレーザの充電電圧を別々に制御する場合でも、それぞれの充電電圧を精度よく計測できる。また、２台のレーザが互いに離れて配置されていても、それぞれの充電電圧を精度よく計測できる。従って、トリガタイミングを高精度に調整し得る。
３．計測された充電電圧に基づいてトリガタイミングを制御するレーザシステム（第２の実施形態）
　３．１　構成
　図１２は、本開示の第２の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。第２の実施形態において、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂの各々は、ブリード回路７を含まなくてもよい。さらに、レーザシステム５は、ブリード回路制御部９を含まなくてもよい。
　充電電圧計測部８は、第１のトリガ補正部２２ａに含まれる処理部２５と、第２のトリガ補正部２２ｂに含まれる処理部２５とにそれぞれ信号線を介して接続されていてもよい。
　３．２　動作
　充電電圧計測部８は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）のデータを、第１のトリガ補正部２２ａに含まれる処理部２５に送信してもよい。
　充電電圧計測部８は、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（２）のデータを、第２のトリガ補正部２２ｂに含まれる処理部２５に送信してもよい。
　第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂは、上述の図７と同様の処理により、充電電圧に基づいてスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）のトリガタイミングを補正してもよい。但し、第２の実施形態においては、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいてトリガタイミングが補正されるのではなく、充電電圧計測部８によって計測された充電コンデンサＣ０の充電電圧Ｖｍ（ｎ）に基づいてトリガタイミングが補正されてもよい。
　他の点については、第１の実施形態と同様でよい。
　第２の実施形態によれば、複数のレーザ装置に共通の充電電圧計測部によって、実際の充電電圧を精度よく計測し得る。この実際の充電電圧に基づいてトリガ補正部が動作するので、トリガタイミングの補正を精度よく行うことができる。
４．トリガ補正部をレーザ装置と一体化したレーザシステム（第３の実施形態）
　図１３は、本開示の第３の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。
　第３の実施形態において、処理部２５、遅延回路２６及びタイマー２７を含む第１のトリガ補正部は、第１のレーザ装置２ａと一体のものであり、あるいは、第１のレーザ装置２ａに含まれるものでもよい。
　第３の実施形態において、処理部２５、遅延回路２６及びタイマー２７を含む第２のトリガ補正部は、第２のレーザ装置２ｂと一体のものであり、あるいは、第２のレーザ装置２ｂに含まれるものでもよい。
　第３の実施形態において、第１のトリガ補正部のための図示しないクロック生成器と、第２のトリガ補正部のための図示しないクロック生成器と、は別々のクロック生成器であってもよい。これらのクロック生成器のクロック周波数は、１ＧＨｚ以上が好ましい。
　他の点については、第２の実施形態と同様でよい。
　第３の実施形態については、ブリード回路を含まない第２の実施形態においてトリガ補正部をレーザ装置と一体化した場合について説明したが、本開示はこれに限定されない。ブリード回路を含む第１の実施形態において、トリガ補正部をレーザ装置と一体化してもよい。
５．計測された充電電圧に基づいてブリード回路とトリガタイミングとの両方を制御するレーザシステム（第４の実施形態）
　５．１　構成
　図１４は、本開示の第４の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。第４の実施形態において、充電電圧計測部８は、第１のトリガ補正部２２ａに含まれる処理部２５と、第２のトリガ補正部２２ｂに含まれる処理部２５とにそれぞれ信号線を介して接続されていてもよい。
　５．２　動作
　充電電圧計測部８は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）のデータを、ブリード回路制御部９と、第１のトリガ補正部２２ａに含まれる処理部２５との両方に送信してもよい。
　充電電圧計測部８は、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（２）のデータを、ブリード回路制御部９と、第２のトリガ補正部２２ｂに含まれる処理部２５との両方に送信してもよい。
　ブリード回路制御部９は、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂに含まれる充電コンデンサＣ０の充電電圧Ｖｍ（ｎ）を、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいて制御してもよい。
　第１及び第２のトリガ補正部２２ａ及び２２ｂは、上述の図７と同様の処理により、充電電圧に基づいてスイッチ信号Ｓ（１）及びＳ（２）のトリガタイミングを補正してもよい。但し、第４の実施形態においては、充電電圧の設定値Ｖ（ｎ）に基づいてトリガタイミングが補正されるのではなく、充電電圧計測部８によって計測された充電コンデンサＣ０の充電電圧Ｖｍ（ｎ）に基づいてトリガタイミングが補正されてもよい。
　他の点については、第１の実施形態と同様でよい。
　第４の実施形態によれば、複数のレーザ装置に共通の充電電圧計測部によって、実際の充電電圧を精度よく計測し得る。この実際の充電電圧に基づいてブリード回路が動作するので、充電電圧を設定値に精度よく調整し得る。さらに、設定値の付近に調整された実際の充電電圧に基づいてトリガ補正部が動作するので、トリガタイミングの補正を精度よく行い得る。そして、レーザ装置のパルスエネルギーの安定性も改善し得る。
６．ブリード回路を共通化したレーザシステム（第５の実施形態）
　６．１　構成
　図１５は、本開示の第５の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。第５の実施形態においては、ブリード回路が第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂにそれぞれ設けられるのではなく、１つの共通のブリード回路７９が設けられていてもよい。
　図１６は、図１５に示されるブリード回路７９の構成を概略的に示す。ブリード回路７９は、マルチプレクサ７３と、抵抗素子７１と、バイポーラトランジスタ７２と、ブリード回路制御部９と、を含んでいてもよい。第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０は、マルチプレクサ７３の第１のチャンネルに接続されてもよい。第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０は、マルチプレクサ７３の第２のチャンネルに接続されてもよい。マルチプレクサ７３は、さらに抵抗素子７１に接続されてもよい。マルチプレクサ７３は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０を抵抗素子７１に接続する第１のモードと、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０を抵抗素子７１に接続する第２のモードとの切替えが可能なスイッチであってもよい。
　ブリード回路制御部９には、第１のレーザ装置２ａのレーザ制御部１９が接続され、レーザ制御部１９から充電電圧の設定値Ｖ（１）のデータが入力されてもよい。
　ブリード回路制御部９には、第２のレーザ装置２ｂのレーザ制御部１９が接続され、レーザ制御部１９から充電電圧の設定値Ｖ（２）のデータが入力されてもよい。
　ブリード回路制御部９には、さらに充電電圧計測部８が接続され、充電電圧計測部８で計測された充電電圧が入力されてもよい。すなわち、ブリード回路制御部９には、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）のデータと、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（２）のデータとが入力されてもよい。
　ブリード回路制御部９は、マルチプレクサ７３と信号線を介して接続され、マルチプレクサ７３を制御してもよい。
　６．２　動作
　ブリード回路制御部９は、マルチプレクサ７３を第１のチャンネルに設定してもよい。これにより、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０が、抵抗素子７１を介してバイポーラトランジスタ７２に接続されてもよい。
　ブリード回路制御部９は、充電電圧の設定値Ｖ（１）と、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（１）と、を比較し、比較の結果に基づいてバイポーラトランジスタ７２を制御してもよい。これにより、ブリード回路制御部９は、第１のレーザ装置２ａの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧を調整してもよい。
　また、ブリード回路制御部９は、マルチプレクサ７３を第２のチャンネルに設定してもよい。これにより、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０が、抵抗素子７１を介してバイポーラトランジスタ７２に接続されてもよい。
　ブリード回路制御部９は、充電電圧の設定値Ｖ（２）と、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧Ｖｍ（２）と、を比較し、比較の結果に基づいてバイポーラトランジスタ７２を制御してもよい。これにより、ブリード回路制御部９は、第２のレーザ装置２ｂの充電コンデンサＣ０に充電された充電電圧を調整してもよい。
　他の点については、第１の実施形態と同様でよい。あるいは、図１４を参照しながら説明した第４の実施形態において、共通のブリード回路７９を設けてもよい。
　第５の実施形態によれば、ブリード回路を共通化したことにより、より簡素な構成でトリガタイミングの同期制御が可能となる。
７．より多くのレーザ装置を含むレーザシステム（第６の実施形態）
　図１７は、本開示の第６の実施形態に係るレーザシステムの構成を概略的に示す。第６の実施形態においては、３台以上のレーザ装置２ａ～２ｋが備えられていてもよい。３台以上のレーザ装置２ａ～２ｋに対応して、３つ以上のトリガ補正部２２ａ～２２ｋが備えられていてもよい。図１７には示されていない分圧回路及び必要に応じてブリード回路が、レーザ装置２ａ～２ｋの各々に設けられてもよい。充電電圧計測部８は、これらのレーザ装置２ａ～２ｋに共通のものとして設けられてもよい。
　他の点については第１～第５の実施形態と同様でよい。
　光束化装置３について、図１には２台のレーザ装置から出力されたパルスレーザ光を光束化するものが示されているが、３台以上のレーザ装置２ａ～２ｋから出力されたパルスレーザ光を光束化するために、例えば、複数の光束化装置３が組み合わせられてもよい。
　第６の実施形態によれば、より多くのレーザ装置を組み合わせることにより、さらにパルスエネルギーの高い光束化レーザ光２１を出力し得る。その結果、レーザアニール装置１は、アニールに必要な所定のパルスエネルギー密度で、且つ、広い照射面積で、光束化レーザ光２１を被照射物Ｐに照射し得る。そして、大面積の液晶ディスプレイの効率的な製造が可能となり得る。
８．制御部の構成
　図１８は、制御部の概略構成を示すブロック図である。
　上述した実施の形態におけるレーザシステム制御部２０、同期制御部２２等の制御部は、コンピュータやプログラマブルコントローラ等汎用の制御機器によって構成されてもよい。例えば、以下のように構成されてもよい。
（構成）
　制御部は、処理部１０００と、処理部１０００に接続される、ストレージメモリ１００５と、ユーザインターフェイス１０１０と、パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０と、シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０と、Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０とによって構成されてもよい。また、処理部１０００は、ＣＰＵ１００１と、ＣＰＵ１００１に接続された、メモリ１００２と、タイマー１００３と、ＧＰＵ１００４とから構成されてもよい。
（動作）
　処理部１０００は、ストレージメモリ１００５に記憶されたプログラムを読出してもよい。また、処理部１０００は、読出したプログラムを実行したり、プログラムの実行に従ってストレージメモリ１００５からデータを読出したり、ストレージメモリ１００５にデータを記憶させたりしてもよい。
　パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０は、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０２１～１０２ｘに接続されてもよい。パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うパラレルＩ／Ｏポートを介した、デジタル信号による通信を制御してもよい。
　シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０は、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０３１～１０３ｘに接続されてもよい。シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うシリアルＩ／Ｏポートを介した、デジタル信号による通信を制御してもよい。
　Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０は、アナログポートを介して通信可能な機器１０４１～１０４ｘに接続されてもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０は、処理部１０００がプログラムを実行する過程で行うアナログポートを介した、アナログ信号による通信を制御してもよい。
　ユーザインターフェイス１０１０は、オペレータが処理部１０００によるプログラムの実行過程を表示したり、オペレータによるプログラム実行の中止や割り込み処理を処理部１０００に行わせたりするよう構成されてもよい。
　処理部１０００のＣＰＵ１００１はプログラムの演算処理を行ってもよい。メモリ１００２は、ＣＰＵ１００１がプログラムを実行する過程で、プログラムの一時記憶や、演算過程でのデータの一時記憶を行ってもよい。タイマー１００３は、時刻や経過時間を計測し、プログラムの実行に従ってＣＰＵ１００１に時刻や経過時間を出力してもよい。ＧＰＵ１００４は、処理部１０００に画像データが入力された際、プログラムの実行に従って画像データを処理し、その結果をＣＰＵ１００１に出力してもよい。
　パラレルＩ／Ｏコントローラ１０２０に接続される、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０２１～１０２ｘは、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂ、アニール制御部４０、他の制御部等の発振トリガ信号、タイミングを示す信号、充電電圧データや遅延データ等の受送信に使用してもよい。
　シリアルＩ／Ｏコントローラ１０３０に接続される、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器１０３１～１０３ｘは、第１及び第２のレーザ装置２ａ及び２ｂ、アニール制御部４０、他の制御部等の高速性が要求されないデータの受送信に使用してもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ１０４０に接続される、アナログポートを介して通信可能な機器１０４１～１０４ｘは、パルスエネルギー計測部１７等の各種センサや分圧回路７であってもよい。
　以上のように構成されることで、制御部は各実施形態に示された動作を実現可能であってよい。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
　本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。

Claims (11)

  1. 　第１のレーザ装置であって、第１のレーザチャンバと、前記第１のレーザチャンバに配置された第１の一対の電極と、第１の充電コンデンサを含む第１のパルス発生器であって、前記第１の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第１の一対の電極に印加する前記第１のパルス発生器と、前記第１の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第１の充電器と、を含む前記第１のレーザ装置と、
    　第２のレーザ装置であって、第２のレーザチャンバと、前記第２のレーザチャンバに配置された第２の一対の電極と、第２の充電コンデンサを含む第２のパルス発生器であって、前記第２の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第２の一対の電極に印加する前記第２のパルス発生器と、前記第２の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第２の充電器と、を含む前記第２のレーザ装置と、
    　前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、
    　前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧をそれぞれ降下させる少なくとも１つのブリード回路と、
    　前記充電電圧計測部によって計測された電圧に基づいて前記少なくとも１つのブリード回路を制御するブリード回路制御部と、
    を備えるレーザシステム。
  2. 　前記第１の充電コンデンサに接続され、前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧を第１の割合で分圧して前記充電電圧計測部に出力する第１の分圧回路と、
    　前記第２の充電コンデンサに接続され、前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を第２の割合で分圧して前記充電電圧計測部に出力する第２の分圧回路と、
    をさらに備える、請求項１記載のレーザシステム。
  3. 　前記充電電圧計測部は、
    前記第１の分圧回路に接続された第１のモードと、前記第２の分圧回路に接続された第２のモードと、に切り替えるスイッチと、
    前記スイッチに接続された共通の計測部と、
    を含む、請求項２記載のレーザシステム。
  4. 　前記少なくとも１つのブリード回路は、
    前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧を降下させる第１のブリード回路と、
    前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を降下させる第２のブリード回路と、
    を含む、請求項１記載のレーザシステム。
  5. 　前記少なくとも１つのブリード回路は、
    前記第１の充電コンデンサに接続された第１のモードと、前記第２の充電コンデンサに接続された第２のモードと、に切り替えるスイッチと、
    前記スイッチに接続された共通のブリード回路と、
    を含む、請求項１記載のレーザシステム。
  6. 　第３のレーザ装置であって、第３のレーザチャンバと、前記第３のレーザチャンバに配置された第３の一対の電極と、第３の充電コンデンサを含む第３のパルス発生器であって、前記第３の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第３の一対の電極に印加する前記第３のパルス発生器と、前記第３の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第３の充電器と、を含む前記第３のレーザ装置
    をさらに備え、
    　前記充電電圧計測部は、さらに、前記第３の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測し、
    　前記少なくとも１つのブリード回路は、さらに、前記第３の充電コンデンサに充電された充電電圧を降下させる、
    請求項１記載のレーザシステム。
  7. 　前記少なくとも１つのブリード回路によって降下した前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて前記第１のパルス発生器によるパルス電圧の前記第１の一対の電極への印加タイミングを制御し、前記少なくとも１つのブリード回路によって降下した前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて前記第２のパルス発生器によるパルス電圧の前記第２の一対の電極への印加タイミングを制御する同期制御部
    をさらに備える、請求項１記載のレーザシステム。
  8. 　第１のレーザ装置であって、第１のレーザチャンバと、前記第１のレーザチャンバに配置された第１の一対の電極と、第１の充電コンデンサを含む第１のパルス発生器であって、前記第１の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第１の一対の電極に印加する前記第１のパルス発生器と、前記第１の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第１の充電器と、を含む前記第１のレーザ装置と、
    　第２のレーザ装置であって、第２のレーザチャンバと、前記第２のレーザチャンバに配置された第２の一対の電極と、第２の充電コンデンサを含む第２のパルス発生器であって、前記第２の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第２の一対の電極に印加する前記第２のパルス発生器と、前記第２の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第２の充電器と、を含む前記第２のレーザ装置と、
    　前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧及び前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測する共通の充電電圧計測部と、
    　前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて前記第１のパルス発生器によるパルス電圧の前記第１の一対の電極への印加タイミングを制御し、前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて前記第２のパルス発生器によるパルス電圧の前記第２の一対の電極への印加タイミングを制御する同期制御部と、
    を備えるレーザシステム。
  9. 　前記第１の充電コンデンサに接続され、前記第１の充電コンデンサに充電された充電電圧を第１の割合で分圧して前記充電電圧計測部に出力する第１の分圧回路と、
    　前記第２の充電コンデンサに接続され、前記第２の充電コンデンサに充電された充電電圧を第２の割合で分圧して前記充電電圧計測部に出力する第２の分圧回路と、
    をさらに備える、請求項８記載のレーザシステム。
  10. 　前記充電電圧計測部は、
    前記第１の分圧回路に接続された第１のモードと、前記第２の分圧回路に接続された第２のモードと、に切り替えるスイッチと、
    前記スイッチに接続された共通の計測部と、
    を含む、請求項９記載のレーザシステム。
  11. 　第３のレーザ装置であって、第３のレーザチャンバと、前記第３のレーザチャンバに配置された第３の一対の電極と、第３の充電コンデンサを含む第３のパルス発生器であって、前記第３の充電コンデンサに蓄えられた電気エネルギーによってパルス電圧を生成し、当該パルス電圧を前記第３の一対の電極に印加する前記第３のパルス発生器と、前記第３の充電コンデンサに電気エネルギーを供給して充電する第３の充電器と、を含む前記第３のレーザ装置
    をさらに備え、
    　前記充電電圧計測部は、さらに、前記第３の充電コンデンサに充電された充電電圧を計測し、
    　前記同期制御部は、さらに、前記第３の充電コンデンサに充電された充電電圧に基づいて前記第３のパルス発生器によるパルス電圧の前記第３の一対の電極への印加タイミングを制御する、
    請求項８記載のレーザシステム。
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