WO2016084116A1 - 光走査用アクチュエータ及び光走査装置 - Google Patents

光走査用アクチュエータ及び光走査装置 Download PDF

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optical scanning
optical
piezoelectric element
ferrule
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雅史 山田
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems

Definitions

  • the present invention relates to an optical scanning actuator and an optical scanning device using the same.
  • the scanning optical fiber disclosed in Patent Document 1 includes a cylindrical piezoelectric actuator that holds the exit end of the optical fiber and displaces the exit end.
  • the piezoelectric actuator is fixed to a fixing member so that the emission end side of the optical fiber can be displaced.
  • the fixing member is coupled to the conductive casing.
  • the rear end of the piezoelectric actuator that is, the end opposite to the emission end face side of the optical fiber protrudes from the fixed portion of the piezoelectric actuator by the fixing member, and the piezoelectric actuator
  • the power cable is soldered to.
  • the fixing member prevents the soldered portion between the piezoelectric actuator and the power cable from coming into contact with the casing, and covers the periphery of the soldered portion from the fixed portion of the piezoelectric actuator to the rear end side of the piezoelectric actuator.
  • the adhesive is filled between the protruding portion and the piezoelectric actuator.
  • the length of the hard portion (hard length) on the rear end side of the piezoelectric actuator is increased from the fixed portion of the piezoelectric actuator by the fixing member, for example, the insertion property into the body cavity is reduced. There is concern about inviting. Further, assuming that the scanning optical fiber is applied to, for example, a projector, the size of the apparatus is increased.
  • an object of the present invention made in view of such a point is to provide an improved optical scanning actuator capable of shortening the hard length and an optical scanning device using the same.
  • An actuator for optical scanning according to the present invention that achieves the above object is as follows.
  • a support part that supports the emission end of the optical fiber in a displaceable manner;
  • a piezoelectric element coupled to the exit end and displacing the exit end in a direction perpendicular to the optical axis direction of the optical fiber;
  • a connecting portion to which a lead wire for applying a voltage to the piezoelectric element is electrically coupled;
  • emission end part is supported by the said support part so that a displacement is possible in the said connection part.
  • connection part may be formed on the surface of the piezoelectric element.
  • the piezoelectric element may be attached to a ferrule that holds the optical fiber.
  • the piezoelectric element may be attached to the exit end of the optical fiber.
  • an optical scanning device that achieves the above object is provided as follows: Optical fiber, The optical scanning end according to any one of claims 1 to 4, wherein the emission end portion of the optical fiber is displaceably supported, and the emission end portion is displaced in a direction perpendicular to an optical axis direction of the optical fiber.
  • An actuator A light input unit for causing illumination light from a light source to enter the optical fiber;
  • An illumination optical system for irradiating an object with the illumination light emitted from the exit end face of the optical fiber, The voltage applied to the piezoelectric element is controlled to scan the illumination light applied to the object so as to have a desired scanning locus.
  • an improved optical scanning actuator capable of shortening the hard length and an optical scanning device using the same can be provided.
  • FIG. 8 is an overview diagram schematically illustrating the scope of FIG. 7. It is sectional drawing which expands and shows the front-end
  • the optical scanning actuator 10 includes a ferrule 12 that penetrates and holds the emission end portion 11 a of the optical fiber 11.
  • the optical fiber 11 is bonded and fixed to the ferrule 12.
  • the ferrule 12 is provided with a buffer member 13 on an end face (tip face) 12a on the exit end face 11b side of the optical fiber 11 so as to cover the periphery of the optical fiber 11.
  • 1B shows an enlarged view of the optical scanning actuator 10 of FIG. 1A as viewed from the exit end face 11b side of the optical fiber 11. As shown in FIG.
  • the ferrule 12 is made of a metal such as nickel, for example.
  • the ferrule 12 may have an arbitrary shape such as a quadrangular prism shape or a cylindrical shape, but the present embodiment illustrates a case where the outer shape is a quadrangular prism shape.
  • the ferrule 12 is provided with piezoelectric elements 14 on the side surfaces facing each other in the x and y directions orthogonal to each other within the plane orthogonal to the z direction. Is done. That is, in the present embodiment, the four piezoelectric elements 14 are coupled to the emission end portion 11 a of the optical fiber 11 through the ferrule 12.
  • the piezoelectric element 14 has a rectangular shape that is long in the z direction, and has electrodes formed by gold plating, vapor deposition, or the like on both surfaces in the thickness direction, and when a voltage is applied in the thickness direction through the electrodes, the z direction It is configured to be stretchable.
  • the piezoelectric element 14 is attached to the ferrule 12 on one electrode side via, for example, a conductive adhesive.
  • the ferrule 12 also functions as a common electrode for the four piezoelectric elements 14.
  • connection portion 16 is made of solder, gold bumps, conductive adhesive, or the like, and is formed at the end portion (rear end portion) opposite to the emission end surface 11b of the optical fiber 11.
  • the lead wire 15 is directly electrically coupled to the connection portion 16.
  • the ferrule 12 also has a lead wire connected to the end (rear end) opposite to the front end surface 12a (not shown).
  • the rear end of the ferrule 12 is coupled to the rectangular opening 17a of the support portion 17, and is supported by the support portion 17 so as to be swingable.
  • the support portion 17 can be formed of a parallel plate made of an insulating member having any shape such as a circular shape or a polygonal shape, but the present embodiment shows a case where the outer shape is made of a parallel plate having a circular shape.
  • the ferrule 12 is coupled to the opening 17 a of the support portion 17 at the connection portion 16 of the four piezoelectric elements 14.
  • the ferrule 12 may be mechanically abutted on the inner peripheral surface of the opening 17a, that is, directly connected to the ferrule 12, or the connecting part 16 may be connected to the inner periphery of the opening 17a via an insulating adhesive. It may be bonded (adhered) to the surface. Further, when the ferrule 12 is supported on the support portion 17 via the connection portion 16, the outer periphery of the support portion 17 may be caulked. Further, the opening 17a at the rear end portion from the connection portion 16 including the connection portion 16 may be filled with, for example, an insulating adhesive containing a filler with high viscosity.
  • the ferrule 12 has an end surface (rear end surface) 12 b of the rear end portion located in the opening 17 a of the support portion 17.
  • the piezoelectric element 14 has a rear end surface located in the opening 17 a of the support portion 17.
  • the two piezoelectric elements 14 facing each other in the x direction are applied with, for example, an in-phase x driving AC voltage with gradually increasing amplitude via corresponding lead wires 15. Further, the two piezoelectric elements 14 facing each other in the y direction have, for example, an in-phase y driving AC voltage whose phase is 90 ° different from that of the x driving AC voltage and whose amplitude is gradually increased via the corresponding lead wire 15. Applied.
  • the two piezoelectric elements 14 facing each other in the x direction expands, the other contracts, and the ferrule 12 bends and vibrates in the x direction.
  • the exit end portion 11a of the optical fiber 11 is deflected in a spiral shape in which vibrations in the x and y directions are combined. Accordingly, when the illumination light is incident on the optical fiber 11, the object to be observed can be scanned in a spiral shape by the illumination light emitted from the emission end face 11b.
  • the ferrule 12 is displaceably supported by the support portion 17 via the connection portion 16 formed on the surface of the rear end portion of the piezoelectric element 14 in the opening portion 17a of the support portion 17, and connected.
  • the part 16 does not protrude from the opening 17a. Therefore, since the rigid length of the optical scanning actuator 10 can be shortened, for example, when used in an endoscope, the insertion property into a body cavity can be improved, and when applied to a projector, the apparatus can be downsized. An improved optical scanning actuator 10 that can be realized can be realized.
  • the rear end surface 12b of the ferrule 12 is located in the opening 17a and the rear end surface of the piezoelectric element 14 is also located in the opening 17a. The effect is remarkable.
  • an insulating sheet made of polyimide or the like may be interposed between the inner peripheral surface of the opening 17 a of the support portion 17 and the connection portion 16. Good.
  • the support portion 17 on the exit end face 11b side of the optical fiber 11 is used.
  • a stepped portion 17b may be formed around the end surface of the first and second ends of the hollow protective case 18 may be fixed to the stepped portion 17b.
  • the protective case 18 may be conductive or insulative, and may be cylindrical or square in shape.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the optical scanning actuator according to the second embodiment.
  • the optical scanning actuator 10 according to the present embodiment is the same as that shown in FIG. 2 except that the support portion 17 is omitted and the protective case 18 functions as a support portion.
  • the protective case 18 is made of an insulating member or a conductive member whose inner peripheral surface is insulated.
  • the ferrule 12 is supported on the inner peripheral surface of the rear end portion of the protective case 18 via a connecting portion 16 formed on the surface of the rear end portion of the piezoelectric element 14 so as to be displaceable.
  • Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • the ferrule 12 may be mechanically abutted on the inner peripheral surface of the protective case 18, that is, directly connected to the ferrule 12, or the connecting part 16 may be connected to the inner periphery of the protective case 18 via an insulating adhesive. It may be bonded (adhered) to the surface. Further, when the ferrule 12 is supported on the inner peripheral surface of the protective case 18 via the connecting portion 16, the outer periphery of the rear end portion of the protective case 18 may be caulked. Further, the opening 17a at the rear end portion from the connection portion 16 including the connection portion 16 may be filled with, for example, an insulating adhesive containing a filler with high viscosity.
  • the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the support portion 17 is not required as compared with the configuration of FIG. 2, so that the number of parts can be reduced and the cost can be reduced. is there.
  • the rear end portion of the ferrule 12 slightly protrudes from the protective case 18, but the rigid length can be further shortened by positioning the rear end portion within the protective case 18.
  • FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a main part of the optical scanning actuator according to the third embodiment.
  • the protective case 18 is made of a conductive member in the second embodiment.
  • a flexible substrate 19 that prevents electrical contact between the piezoelectric element 14 and the protective case 18 is disposed on the inner peripheral surface of the protective case 18.
  • the flexible substrate 19 is disposed so as to extend to at least a portion of the ferrule 12 where the piezoelectric element 14 is located.
  • the flexible substrate 19 is arranged by slightly protruding the protective case 18 from the portion where the tip of the ferrule 12 is located.
  • Conductive patterns corresponding to the connection portions 16 of the four piezoelectric elements 14 are formed on the surface of the flexible substrate 19 on the ferrule 12 side.
  • the conductive pattern may be formed to extend from the front end to the rear end of the flexible substrate 19 so as to face the piezoelectric element 14, or may be formed to extend from the portion where the connection portion 16 is located to the rear end. Good.
  • the ferrule 12 is supported by the protective case 18 so that the connecting portion 16 of the piezoelectric element 14 contacts (connects) the corresponding conductive pattern of the flexible substrate 19 and can be displaced.
  • a lead wire 15 corresponding to the piezoelectric element 14 connected to the conductive pattern is connected to the conductive pattern at the rear end. Therefore, in the present embodiment, the lead wire 15 is electrically coupled (connected) to the corresponding connection portion 16 via the conductive pattern of the flexible substrate 19.
  • Other configurations are the same as those in FIG.
  • the same effects as those of the second embodiment can be obtained, and the protective case 18 of a conductive member such as metal can be used without being insulated as compared with the configuration of FIG. There is an advantage that the degree of freedom can be improved.
  • FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a main part of the optical scanning actuator according to the fourth embodiment.
  • the optical scanning actuator 10 according to the present embodiment has a stepped portion 17b around the end surface of the support portion 17 on the side opposite to the emission end surface 11b side of the optical fiber 11.
  • the stepped portion 17b is formed with four through holes 17c corresponding to the four piezoelectric elements 14 that pass through the opening 17a and are attached to the ferrule 12.
  • connection portion 16 of the piezoelectric element 14 contacts the through hole 17c and can be displaced.
  • connection part 16 is electrically connected to one end of the through hole 17c.
  • the lead wire 15 corresponding to the piezoelectric element 14 connected to the through hole 17c at the stepped portion 17b is electrically connected to the other end of the through hole 17c by a connecting material 20 such as soldering or conductive adhesive.
  • the lead wire 15 is electrically coupled (connected) to the corresponding connection portion 16 through the through hole 17 c formed in the support portion 17.
  • Other configurations are the same as those in FIG.
  • the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and the lead wire 15 only needs to be connected to the through hole 17c of the support portion 17 via the connecting material 20, so that the connection work can be easily performed. There are advantages you can do.
  • FIGS. 6A and 6B are diagrams showing a schematic configuration of a main part of an optical scanning actuator according to a fifth embodiment.
  • the optical scanning actuator 10 according to the present embodiment is the one in which the four piezoelectric elements 14 are directly attached to the emission end portion 11a of the optical fiber 11 by the adhesive 21 without using a ferrule in the first embodiment. is there. That is, the four piezoelectric elements 14 are directly coupled to the emission end portion 11 a of the optical fiber 11.
  • the electrodes of the four piezoelectric elements 14 that are bonded to the optical fiber 11 are connected to each other as a common electrode.
  • the optical fiber 11 is coupled to the opening portion 17a of the support portion 17 via the connection portion 16 at the rear end portion of the piezoelectric element 14, and the emission end portion 11a is supported to be swingable.
  • Other configurations are the same as those of the first embodiment.
  • 6B is an enlarged view of the optical scanning actuator 10 of FIG. 6A as viewed from the exit end face 11b side of the optical fiber 11. As shown in FIG.
  • the piezoelectric element 14 is directly attached to the emission end portion 11 a of the optical fiber 11, and the emission end portion 11 a is swingably supported by the support portion 17 via the connection portion 16 of the piezoelectric element 14. Therefore, the hard length can be minimized. Therefore, for example, when used in an endoscope, it is possible to further improve the insertability into a body cavity, and when applied to a projector, the apparatus can be further downsized.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the optical scanning device according to the sixth embodiment.
  • the optical scanning device according to the present embodiment constitutes an optical scanning endoscope device 30.
  • the optical scanning endoscope apparatus 30 includes a scope (endoscope) 50, a control device main body 70, and a display 90.
  • the control device main body 70 includes a control unit 71 that controls the entire optical scanning endoscope device 30, a light emission timing control unit 72, lasers 73R, 73G, and 73B that constitute a light source, and a coupler 74. Is done.
  • the laser 73R emits red laser light
  • the laser 73G emits green laser light
  • the laser 73B emits blue laser light.
  • the light emission timing control unit 72 controls the light emission timings of the three lasers 73R, 73G, and 73B under the control of the control unit 71.
  • a DPSS laser semiconductor excitation solid-state laser
  • a laser diode can be used as the lasers 73R, 73G, and 73B.
  • Laser beams emitted from the lasers 73R, 73G, and 73B are combined by the coupler 74 and are incident on the illumination optical fiber 51 made of a single mode fiber as white illumination light.
  • the coupler 74 is configured to include, for example, a dichroic prism.
  • the configuration of the light source of the optical scanning endoscope apparatus 30 is not limited to this, and may use one laser light source or other plural light sources. Further, the light source may be housed in a separate housing from the control device main body 70 connected to the control device main body 70 by a signal line.
  • the illumination optical fiber 51 corresponds to the optical fiber 11 described in the first to fifth embodiments, and extends to the distal end portion of the scope 50.
  • the illumination optical fiber 51 includes a light input unit 52 formed of, for example, an optical connector coupled to an incident end.
  • the light input unit 52 is detachably coupled to a light source (coupler 74 in FIG. 7), and makes illumination light from the light source enter the illumination optical fiber 51.
  • the illumination light incident on the illumination optical fiber 51 is guided to the tip of the scope 50 and is irradiated toward the object 100. At that time, the exit end of the illumination optical fiber 51 is driven to vibrate by the optical scanning actuator 10 described in the first to fifth embodiments.
  • the driving of the optical scanning actuator 10 is controlled by a drive control unit 78 of the control device main body 70 to be described later so that the illumination light applied to the object 100 becomes a desired two-dimensional scanning locus. .
  • the object 100 is two-dimensionally scanned on the observation surface by the illumination light emitted from the illumination optical fiber 51.
  • Signal light such as reflected light, scattered light, and fluorescence obtained from the object 100 by irradiation of illumination light is incident on the distal end surface of the detection optical fiber bundle 53 formed of a multimode fiber extending in the scope 50.
  • the light is guided to the control device main body 70.
  • the control device body 70 further includes a photodetector 75 for processing signal light, an ADC (analog-digital converter) 76, an image processing unit 77, and a drive control unit 78.
  • the photodetector 75 decomposes the signal light guided by the detection optical fiber bundle 53 into spectral components, and converts each spectral component into an electrical signal by a photodiode or the like.
  • the detection optical fiber bundle 53 includes a light output unit 54 formed of, for example, an optical connector coupled to the emission end.
  • the light output unit 54 is detachably coupled to the light detector 75 and guides the signal light from the object 100 to the light detector 75.
  • the ADC 76 converts an analog electrical signal output from the photodetector 75 into a digital signal and outputs the digital signal to the image processing unit 77.
  • the control unit 71 calculates information on the scanning position on the scanning path of the laser illumination light from information such as the amplitude and phase of the oscillating voltage applied by the drive control unit 78 and supplies it to the image processing unit 77.
  • the image processing unit 77 sequentially stores pixel data (pixel values) of the object 100 in the memory based on the digital signal output from the ADC 76 and the scanning position information from the control unit 71, and interpolates after the scanning is completed or during the scanning. Necessary processing such as processing is performed to generate an image of the object 100 and display it on the display 90.
  • control unit 71 controls the light emission timing control unit 72, the photodetector 75, the drive control unit 78, and the image processing unit 77 in synchronization.
  • FIG. 8 is an overview diagram schematically showing the scope 50.
  • the scope 50 includes an operation unit 55 and an insertion unit 56.
  • the illumination optical fiber 51, the detection optical fiber bundle 53, and the wiring cable 57 are detachably connected to the control device main body 70, respectively. It extends to the part shown).
  • the wiring cable 57 includes four lead wires connected to the above-described four piezoelectric elements 14 constituting the optical scanning actuator 10 and lead wires connected to the common electrode. As shown in FIG. 7, the wiring cable 57 is detachably connected to the drive control unit 78 via a connection connector 59.
  • FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view showing the distal end portion 58 of the scope 50 of FIG.
  • the distal end portion 58 includes the optical scanning actuator 10, projection lenses 61 a and 61 b constituting the illumination optical system, an illumination optical fiber 51 that passes through the center of the scope 50, and detection light that passes through the outer periphery of the scope 50. And a fiber bundle 53.
  • the optical scanning actuator 10 has any of the configurations described in the first to fifth embodiments. In this embodiment, for the sake of convenience, the optical scanning actuator 10 having the configuration shown in FIGS. 1A and 1B is provided.
  • the optical scanning actuator 10 can swing the ferrule 12 via a ferrule 12, four piezoelectric elements 14 mounted on the outer surface of the ferrule 12, and a connection portion formed on the rear end surface of the piezoelectric element 14. And a support portion 17 that cantilever-supports.
  • the illumination optical fiber 51 is held by the ferrule 12, and the emission end portion 11 a can swing integrally with the ferrule 12.
  • the detection optical fiber bundle 53 is disposed so as to extend through the outer peripheral portion of the insertion portion 56 to the distal end of the distal end portion 58. Further, a detection lens (not shown) is disposed at the distal end portion 53 a of each fiber of the detection optical fiber bundle 53.
  • the projection lenses 61a and 61b and the detection lens are arranged at the forefront of the tip portion 58.
  • the projection lenses 61a and 61b are configured to condense laser light emitted from the emission end face 51b of the illumination optical fiber 51 at a predetermined focal position.
  • the detection lens captures, as signal light, light (light that interacts with the object 100) or fluorescence that is reflected, scattered, refracted, or the like by the laser light irradiated on the object 100 as signal light.
  • the optical fiber bundle 53 for detection disposed behind the detection lens is condensed and coupled. Note that the projection lens is not limited to a two-lens configuration, and may be composed of one lens or three or more lenses.
  • optical scanning endoscope apparatus 30 since any of the optical scanning actuators 10 described in the first to fifth embodiments is provided, the rigid length of the optical scanning actuator 10 is shortened. An improved optical scanning endoscope apparatus 30 that can improve the insertion of the scope 50 into the body cavity can be realized.
  • the ferrule 12 is formed of an insulating member, and a conductive pattern serving as a common electrode for four piezoelectric elements 14 and a conductive pattern for each piezoelectric element 14 are formed on the surface of the ferrule 12.
  • a connection portion 16 to which the lead wire 15 is electrically coupled may be formed on the conductive pattern, and the ferrule 12 may be supported on the support portion 17 and the protective case 18 so as to be displaceable.
  • the rear end portion of the ferrule 12 and / or the piezoelectric element 14 may slightly protrude from the opening portion 17a of the support portion 17.
  • the rear end portion of the piezoelectric element 14 may slightly protrude from the opening 17 a of the support portion 17.
  • the rear end of the ferrule 12 may be positioned inside the protective case 18 and supported by the protective case 18 in order to shorten the hard length. Thereby, it becomes possible to make hard length shorter.
  • the opening portion 17a of the support portion 17 is widened on the tip end side of the ferrule 12. It is good also as a taper shape.
  • the opening of the protective case 18 may have a tapered shape in which the tip end side of the ferrule 12 is expanded.
  • the opening 17a of the support portion 17 may have a tapered shape in which the tip end side of the ferrule 12 is expanded in order to facilitate the support operation of the piezoelectric element 14.
  • the illumination optical fiber 51 displaced by the optical scanning actuator 10 is not limited to a single mode optical fiber but a multimode fiber. You can also.
  • the optical scanning device according to the present invention can be applied not only to an optical scanning endoscope device but also to an optical scanning microscope and an optical scanning projector device. The present invention can also be effectively applied to a case where an optical fiber is displaced in a one-dimensional direction by driving one piezoelectric element.
  • Optical scanning actuator 11 Optical fiber 11a Ejection end part 11b Ejection end surface 12 Ferrule 14 Piezoelectric element 15 Lead wire 16 Connection part 30 Optical scanning endoscope apparatus 50 Scope 51 Optical fiber for illumination 52 Optical input part 70 Control apparatus main body 71 Control unit 73R, 73G, 73B Laser 74 Coupler 78 Drive control unit

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Abstract

　硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータを提供する。　光ファイバ１１の射出端部１１ａを変位可能に支持する支持部１７と、射出端部１１ａに結合されて、射出端部１１ａを光ファイバ１１の光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子１４と、圧電素子１４に電圧を印加するリード線１５が電気的に結合される接続部１６と、を備え、射出端部１１ａは、接続部１６において支持部１７に変位可能に支持される。

Description

光走査用アクチュエータ及び光走査装置
　本発明は、光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置に関するものである。
　従来、光ファイバの射出端部を変位させながら光ファイバから被観察物に向けて光を照射して被観察物を走査する走査型光ファイバが知られている（例えば、特許文献１参照）。
　特許文献１に開示の走査型光ファイバは、光ファイバの射出端部を保持して該射出端部を変位させる筒状の圧電アクチュエータを備える。圧電アクチュエータは、光ファイバの射出端部側が変位可能に固定部材に固定される。固定部材は、導電性のケーシングに結合される。
特許第５２７１８１８号公報
　ところが、上記の走査型光ファイバは、圧電アクチュエータの後端部、すなわち光ファイバの射出端面側とは反対側の端部が、固定部材による圧電アクチュエータの固定部分から突出し、その突出部分において圧電アクチュエータに電源ケーブルが半田付けされている。また、固定部材は、圧電アクチュエータと電源ケーブルとの半田付け部分がケーシングに接触するのを防止するため、半田付け部分の周囲を覆うように、圧電アクチュエータの固定部分から圧電アクチュエータの後端部側に突出され、その突出部分と圧電アクチュエータとの間に接着剤が充填されている。
　そのため、上記の走査型光ファイバは、固定部材による圧電アクチュエータの固定部分から圧電アクチュエータの後端側における硬質部分の長さ（硬質長）が長くなって、例えば体腔内への挿入性の低下を招くことが懸念される。また、走査型光ファイバを例えばプロジェクタに応用する場合を想定すると、装置の大型化を招くことになる。
　したがって、かかる点に鑑みてなされた本発明の目的は、硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置を提供することにある。
　上記目的を達成する本発明に係る光走査用アクチュエータは、
　光ファイバの射出端部を変位可能に支持する支持部と、
　前記射出端部に結合されて、該射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子と、
　前記圧電素子に電圧を印加するリード線が電気的に結合される接続部と、を備え、
　前記射出端部は、前記接続部において前記支持部に変位可能に支持されるものである。
　　前記接続部は、前記圧電素子の表面に形成されているとよい。
　前記圧電素子は、前記光ファイバを保持するフェルールに装着されているとよい。
　前記圧電素子は、前記光ファイバの前記射出端部に装着されてもよい。
　さらに、上記目的を達成する本発明に係る光走査装置は、
　光ファイバと、
　該光ファイバの射出端部を変位可能に支持して、前記射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる請求項１～４のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータと、
　前記光ファイバに光源からの照明光を入射させる光入力部と、
　前記光ファイバの射出端面から射出される前記照明光を対象物に照射する照明光学系と、を備え、
　前記圧電素子に印加する電圧を制御して、前記対象物に照射される前記照明光を所望の走査軌跡となるように走査するものである。
　本発明によれば、硬質長を短くできる改善された光走査用アクチュエータ及びこれを用いる光走査装置を提供することができる。
第１実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。 図１Ａの光走査用アクチュエータを光ファイバの射出端面側から見た拡大図である。 第１実施の形態の変形例を示す図である。 第２実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。 第３実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。 第４実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。 第５実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。 図６Ａの光走査用アクチュエータを光ファイバの射出端面側から見た拡大図である。 第６実施の形態に係る光走査装置の要部の概略構成を示す図である。 図７のスコープを概略的に示す概観図である。 図８のスコープの先端部を拡大して示す断面図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
　（第１実施の形態）
　図１Ａ及び図１Ｂは、第１実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、光ファイバ１１の射出端部１１ａを貫通させて保持するフェルール１２を備える。光ファイバ１１は、フェルール１２に接着固定される。フェルール１２には、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側の端面（先端面）１２ａに、光ファイバ１１の周囲を覆うように緩衝部材１３が設けられている。なお、図１Ｂは、図１Ａの光走査用アクチュエータ１０を光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側からから見た拡大図を示している。
　フェルール１２は、例えばニッケル等の金属からなる。フェルール１２は、外形が四角柱状、円柱状等の任意の形状とすることができるが、本実施の形態では外形が四角柱状からなる場合を例示している。フェルール１２には、光ファイバ１１の光軸方向と平行な方向をｚ方向とするとき、ｚ方向と直交する面内で互いに直交するｘ方向及びｙ方向にそれぞれ対向する側面に圧電素子１４が装着される。すなわち、本実施の形態では、４つの圧電素子１４がフェルール１２を介して光ファイバ１１の射出端部１１ａに結合される。
　圧電素子１４は、ｚ方向に長い矩形状からなり、厚さ方向の両面に金メッキや蒸着等により形成された電極を有し、該電極を介して厚さ方向に電圧が印加されるとｚ方向に伸縮可能に構成される。圧電素子１４は、一方の電極側が例えば導電性接着剤等を介してフェルール１２に装着される。フェルール１２は、４つの圧電素子１４に対する共通電極としても作用する。圧電素子１４の他方の電極すなわち圧電素子１４の表面には、フェルール１２と協働して当該圧電素子１４に電圧を印加するリード線１５が電気的に結合される接続部１６が形成されている。接続部１６は、半田、金バンプ、導電性接着剤等からなり、光ファイバ１１の射出端面１１ｂとは反対側の端部（後端部）に形成される。本実施の形態において、リード線１５は、接続部１６に直接電気的に結合される。フェルール１２にも、図示しないが先端面１２ａとは反対側の端部（後端部）にリード線が接続される。
　フェルール１２は、後端部が支持部１７の四角形状の開口部１７ａに結合されて、支持部１７に揺動可能に片持ち支持される。支持部１７は、外形が円形状、多角形状等の任意の形状の絶縁部材からなる平行平板で形成可能であるが、本実施の形態は外形が円形状の平行平板からなる場合を示している。本実施の形態において、フェルール１２は、４つの圧電素子１４の接続部１６において支持部１７の開口部１７ａに結合される。フェルール１２は、接続部１６が開口部１７ａの内周面に機械的に当接して、すなわち直接結合されても良いし、接続部１６が絶縁性の接着剤を介して開口部１７ａの内周面に結合（接着）されてもよい。また、接続部１６を介してフェルール１２を支持部１７に支持する際に、支持部１７の外周をかしめてもよい。また、接続部１６を含む該接続部１６から後端部の開口部１７ａ内には、例えば粘度の高いフィラー入りの絶縁性の接着剤を充填してもよい。なお、本実施の形態において、フェルール１２は、後端部の端面（後端面）１２ｂが支持部１７の開口部１７ａ内に位置している。同様に、圧電素子１４は、後端面が支持部１７の開口部１７ａ内に位置している。
　ｘ方向に対向する２つの圧電素子１４には、対応するリード線１５を介して例えば振幅が徐々に増加する同相のｘ駆動用交流電圧が印加される。また、ｙ方向に対向する２つの圧電素子１４には、対応するリード線１５を介して例えばｘ駆動用交流電圧とは位相が９０°異なり振幅が徐々に増加する同相のｙ駆動用交流電圧が印加される。これにより、ｘ方向に対向する２つの圧電素子１４は、一方が伸張すると他方が縮小して、フェルール１２がｘ方向に湾曲振動する。同様に、ｙ方向に対向する２つの圧電素子１４は、一方が伸張すると他方が縮小して、フェルール１２がｙ方向に湾曲振動する。その結果、光ファイバ１１の射出端部１１ａは、ｘ方向及びｙ方向の振動が合成されたスパイラル状に偏向される。したがって、光ファイバ１１に照明光を入射させると、射出端面１１ｂから射出される照明光により被観察物をスパイラル状に走査することが可能となる。
　本実施の形態によると、フェルール１２は、支持部１７の開口部１７ａ内において、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部１６を介して支持部１７に変位可能に支持され、接続部１６が開口部１７ａから突出しない。したがって、光走査用アクチュエータ１０の硬質長を短くできるので、例えば内視鏡に用いる場合は、体腔内への挿入性を向上することが可能となり、プロジェクタに応用する場合は、装置の小型化が図れる、改善された光走査用アクチュエータ１０を実現することができる。しかも、本実施の形態においては、フェルール１２の後端面１２ｂが開口部１７ａ内に位置しているとともに、圧電素子１４の後端面も開口部１７ａ内に位置しているので、硬質長をより短くでき、その効果は顕著となる。
　なお、圧電素子１４上の接続部１６や支持部１７を保護するため、例えば支持部１７の開口部１７ａの内周面と接続部１６との間にポリイミド等からなる絶縁シートを介在させてもよい。また、支持部１７の開口部１７ａから突出する光ファイバ１１、フェルール１２及び圧電素子１４の周囲を保護する場合は、例えば図２に示すように、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側の支持部１７の端面周囲に段差部１７ｂを形成し、この段差部１７ｂに中空の保護ケース１８の一端部を固定するとよい。保護ケース１８は、導電性でも又は絶縁性でもよく、形状も円筒でも又は角筒でもよい。
　（第２実施の形態）
　図３は、第２実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、図２に示した構成において、支持部１７を省略し、保護ケース１８を支持部としても機能させたものである。本実施の形態において、保護ケース１８は絶縁性部材、あるいは内周面が絶縁処理された導電性部材からなる。フェルール１２は、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部１６を介して保護ケース１８の後端部内周面に変位可能に支持される。その他の構成は、第１実施の形態と同様である。
　フェルール１２は、接続部１６が保護ケース１８の内周面に機械的に当接して、すなわち直接結合されても良いし、接続部１６が絶縁性の接着剤を介して保護ケース１８の内周面に結合（接着）されてもよい。また、接続部１６を介してフェルール１２を保護ケース１８の内周面に支持する際に、保護ケース１８の後端部外周をかしめてもよい。また、接続部１６を含む該接続部１６から後端部の開口部１７ａ内には、例えば粘度の高いフィラー入りの絶縁性の接着剤を充填してもよい。
　本実施の形態によると、第１実施の形態と同様の効果が得られる他、図２の構成と比較して支持部１７が不要となるので、部品点数を削減でき、コストダウンが図れる利点がある。なお、図３において、フェルール１２は、後端部が保護ケース１８から若干突出しているが、該後端部を保護ケース１８内に位置させることで、硬質長をより短くすることもできる。
　（第３実施の形態）
　図４は、第３実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第２実施の形態において、保護ケース１８が導電性部材からなる。また、保護ケース１８の内周面には、圧電素子１４と保護ケース１８との電気的接触を防止するフレキシブル基板１９が配置される。
　フレキシブル基板１９は、フェルール１２の少なくとも圧電素子１４が位置する部分に延在して配置される。本実施の形態において、フレキシブル基板１９は、フェルール１２の先端部が位置する部分から保護ケース１８を若干突出して配置される。フレキシブル基板１９には、フェルール１２側の表面に、４つの圧電素子１４の接続部１６に対応する導電パターンが形成される。導電パターンは、圧電素子１４と対向してフレキシブル基板１９の先端から後端まで延在して形成されてもよいし、接続部１６が位置する部分から後端まで延在して形成されてもよい。
　フェルール１２は、圧電素子１４の接続部１６がフレキシブル基板１９の対応する導電パターンに接触（接続）して保護ケース１８に変位可能に支持される。導電パターンには、後端部において当該導電パターンに接続された圧電素子１４に対応するリード線１５が接続される。したがって、本実施の形態において、リード線１５は、フレキシブル基板１９の導電パターンを介して対応する接続部１６に電気的に結合（接続）される。その他の構成は、図３と同様である。
　本実施の形態によると、第２実施の形態と同様の効果が得られる他、図３の構成と比較して金属等の導電性部材の保護ケース１８を絶縁処理することなく使用できるので、設計の自由度を向上できる利点がある。
　（第４実施の形態）
　図５は、第４実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第１実施の形態において、光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側とは反対側の支持部１７の端面周囲に段差部１７ｂを有する。段差部１７ｂには、開口部１７ａに貫通してフェルール１２に装着された４つの圧電素子１４に対応する４つのスルーホール１７ｃが形成されている。
　フェルール１２は、圧電素子１４の接続部１６がスルーホール１７ｃに当接して支持部１７に変位可能に支持される。これにより、接続部１６はスルーホール１７ｃの一端に電気的に接続される。スルーホール１７ｃの他端には、段差部１７ｂにおいて当該スルーホール１７ｃに接続された圧電素子１４に対応するリード線１５が例えば半田付けや導電性接着剤等の接続材２０により電気的に接続される。したがって、本実施の形態において、リード線１５は、支持部１７に形成されたスルーホール１７ｃを介して対応する接続部１６に電気的に結合（接続）される。その他の構成は、図１と同様である。
　本実施の形態によると、第１実施の形態と同様の効果が得られる他、リード線１５は支持部１７のスルーホール１７ｃに接続材２０を介して接続すればよいので、接続作業を容易にできる利点がある。
　（第５実施の形態）
　図６Ａ及び図６Ｂは、第５実施の形態に係る光走査用アクチュエータの要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査用アクチュエータ１０は、第１実施の形態において、４つの圧電素子１４がフェルールを介することなく、光ファイバ１１の射出端部１１ａに接着剤２１により直接装着したものである。すなわち、光ファイバ１１の射出端部１１ａには、４つの圧電素子１４が直接結合される。なお、４つの圧電素子１４の光ファイバ１１に接着される側の電極は、共通電極として互いに接続される。光ファイバ１１は、圧電素子１４の後端部において、接続部１６を介して支持部１７の開口部１７ａに結合されて、射出端部１１ａが揺動可能に支持される。その他の構成は、第１実施の形態と同様である。なお、図６Ｂは、図６Ａの光走査用アクチュエータ１０を光ファイバ１１の射出端面１１ｂ側から見た拡大図である。
　本実施の形態によると、圧電素子１４が光ファイバ１１の射出端部１１ａに直接装着されて、圧電素子１４の接続部１６を介して射出端部１１ａが支持部１７に揺動可能に支持されるので、硬質長を最小限にすることができる。したがって、例えば内視鏡に用いる場合は、体腔内への挿入性をより向上することが可能となり、プロジェクタに応用する場合は、装置のより小型化が図れる。
　（第６実施の形態）
　図７は、第６実施の形態に係る光走査装置の要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る光走査装置は、光走査型内視鏡装置３０を構成するものである。光走査型内視鏡装置３０は、スコープ（内視鏡）５０と、制御装置本体７０と、ディスプレイ９０と、を備える。
　制御装置本体７０は、光走査型内視鏡装置３０の全体を制御する制御部７１と、発光タイミング制御部７２と、光源を構成するレーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂ及び結合器７４とを含んで構成される。レーザ７３Ｒは赤のレーザ光を、レーザ７３Ｇは緑のレーザ光を、レーザ７３Ｂは青のレーザ光をそれぞれ射出するものである。発光タイミング制御部７２は、制御部７１の制御の下で、３つのレーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂの発光タイミングを制御する。レーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂとしては、例えばＤＰＳＳレーザ（半導体励起固体レーザ）やレーザダイオードが使用可能である。レーザ７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂから出射されるレーザ光は、結合器７４により合波され、白色の照明光としてシングルモードファイバからなる照明用光ファイバ５１に入射される。結合器７４は、例えばダイクロイックプリズム等を有して構成される。光走査型内視鏡装置３０の光源の構成はこれに限られず、一つのレーザ光源を用いるものであっても、他の複数の光源を用いるものであっても良い。また、光源は、制御装置本体７０と信号線で結ばれた制御装置本体７０とは別の筐体に収納されていても良い。
　照明用光ファイバ５１は、第１～５実施の形態で説明した光ファイバ１１に相当するもので、スコープ５０の先端部まで延在している。照明用光ファイバ５１は、入射端部に結合された例えば光コネクタからなる光入力部５２を備える。光入力部５２は、光源（図７では結合器７４）に着脱自在に結合されて、光源からの照明光を照明用光ファイバ５１に入射させる。照明用光ファイバ５１に入射された照明光は、スコープ５０の先端部まで導光されて対象物１００に向けて照射される。その際、照明用光ファイバ５１の射出端部は、第１～５実施の形態で説明した光走査用アクチュエータ１０により振動駆動される。具体的には、光走査用アクチュエータ１０の駆動が、後述する制御装置本体７０の駆動制御部７８によって、対象物１００に照射される照明光が所望の二次元走査軌跡となるように制御される。これにより、対象物１００は、照明用光ファイバ５１から射出される照明光によって観察表面上が二次元走査される。照明光の照射により対象物１００から得られる反射光、散乱光、蛍光などの信号光は、スコープ５０内に延在されたマルチモードファイバからなる検出用光ファイババンドル５３の先端面に入射されて制御装置本体７０まで導光される。
　制御装置本体７０は、信号光を処理するための光検出器７５、ＡＤＣ（アナログ－デジタル変換器）７６、画像処理部７７及び駆動制御部７８をさらに備える。光検出器７５は、検出用光ファイババンドル５３により導光された信号光をスペクトル成分に分解し、フォトダイオード等により、それぞれのスペクトル成分を電気信号に変換する。なお、検出用光ファイババンドル５３は、射出端部に結合された例えば光コネクタからなる光出力部５４を備える。光出力部５４は、光検出器７５に着脱自在に結合されて対象物１００からの信号光を光検出器７５に導光する。ＡＤＣ７６は、光検出器７５から出力されるアナログの電気信号をデジタル信号に変換して画像処理部７７に出力する。制御部７１は、駆動制御部７８により印加した振動電圧の振幅及び位相などの情報から、レーザ照明光の走査経路上の走査位置の情報を算出して画像処理部７７に供給する。画像処理部７７は、ＡＤＣ７６から出力されたデジタル信号及び制御部７１からの走査位置情報に基づいて対象物１００の画素データ（画素値）を順次メモリに格納し、走査終了後又は走査中に補間処理等の必要な処理を行って対象物１００の画像を生成してディスプレイ９０に表示する。
　上記の各処理において、制御部７１は、発光タイミング制御部７２、光検出器７５、駆動制御部７８、及び、画像処理部７７を同期制御する。
　図８は、スコープ５０を概略的に示す概観図である。スコープ５０は、操作部５５及び挿入部５６を備える。照明用光ファイバ５１、検出用光ファイババンドル５３、及び、配線ケーブル５７は、制御装置本体７０にそれぞれ着脱自在に接続されて、操作部５５から挿入部５６の先端部５８（図８に破線で示す部分）まで延在している。なお、配線ケーブル５７は、光走査用アクチュエータ１０を構成する上述した４つの圧電素子１４にそれぞれ接続された４本のリード線と共通電極に接続されたリード線とを含んでいる。配線ケーブル５７は、図７に示すように接続コネクタ５９を介して駆動制御部７８に着脱自在に接続される。
　図９は、図８のスコープ５０の先端部５８を拡大して示す断面図である。先端部５８は、光走査用アクチュエータ１０と、照明光学系を構成する投影用レンズ６１ａ、６１ｂと、スコープ５０の中心部を通る照明用光ファイバ５１と、スコープ５０の外周部を通る検出用光ファイババンドル５３とを含んで構成される。
　光走査用アクチュエータ１０は、第１～５実施の形態で説明した何れかの構成を有する。本実施の形態では、便宜上、図１Ａ及び図１Ｂに示した構成の光走査用アクチュエータ１０を備えるものとする。光走査用アクチュエータ１０は、フェルール１２と、フェルール１２の外側面に装着された４つの圧電素子１４と、圧電素子１４の後端部表面に形成された接続部を介してフェルール１２を揺動可能に片持ち支持する支持部１７とを含んで構成される。照明用光ファイバ５１は、フェルール１２に保持されて、射出端部１１ａがフェルール１２と一体に揺動可能となっている。一方、検出用光ファイババンドル５３は、挿入部５６の外周部を通って先端部５８の先端まで延在して配置されている。さらに、検出用光ファイババンドル５３の各ファイバの先端部５３ａには、図示しない検出用レンズが配置されている。
　投影用レンズ６１ａ、６１ｂ及び検出用レンズは、先端部５８の最先端に配置される。投影用レンズ６１ａ、６１ｂは、照明用光ファイバ５１の射出端面５１ｂから射出されるレーザ光が所定の焦点位置に集光させるように構成されている。また、検出用レンズは、対象物１００上に照射されたレーザ光が、対象物１００により反射、散乱、屈折等をした光（対象物１００と相互作用した光）又は蛍光等を信号光として取り込み、検出用レンズの後に配置された検出用光ファイババンドル５３に集光、結合させるように配置される。なお、投影用レンズは、二枚構成に限られず、一枚や三枚以上のレンズにより構成されてもよい。
　本実施の形態に係る光走査型内視鏡装置３０によると、第１～５実施の形態で説明した何れかの光走査用アクチュエータ１０を備えるので、光走査用アクチュエータ１０の硬質長が短くなり、スコープ５０の体腔内への挿入性の向上が図れる改善された光走査型内視鏡装置３０を実現することができる。
　なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、第１～４実施の形態において、フェルール１２を絶縁性部材で構成して、該フェルール１２の表面に４つの圧電素子１４の共通電極となる導電パターンと圧電素子１４ごとの導電パターンとを形成する。そして、導電パターン上にリード線１５が電気的に結合される接続部１６を形成して、該接続部１６においてフェルール１２を支持部１７や保護ケース１８に変位可能に支持してもよい。
　また、第１及び４実施の形態において、フェルール１２及び／又は圧電素子１４の後端部は、支持部１７の開口部１７ａから若干突出してもよい。同様に、第５実施の形態において、圧電素子１４の後端部は、支持部１７の開口部１７ａから若干突出してもよい。また、第２及び３実施の形態において、硬質長をより短くするために、フェルール１２の後端を保護ケース１８の内部に位置させて、保護ケース１８に支持してもよい。これにより、硬質長をより短くすることが可能となる。
　また、第１～４実施の形態において、フェルール１２の支持作業を容易にするため、例えば第１及び４実施の形態においては、支持部１７の開口部１７ａをフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。同様に、第２及び３実施の形態においては、保護ケース１８の開口をフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。また、第５実施の形態においては、圧電素子１４の支持作業を容易にするため、支持部１７の開口部１７ａをフェルール１２の先端部側が拡開したテーパ形状としてもよい。
　また、第６実施の形態で説明した光走査型内視鏡装置３０において、光走査用アクチュエータ１０により変位される照明用光ファイバ５１は、シングルモード光ファイバに限らず、マルチモードファイバとすることもできる。さらに、本発明に係る光走査装置は、光走査型内視鏡装置に限らず、光走査型顕微鏡や光走査型のプロジェクタ装置にも適用することが可能である。また、本発明は、一つの圧電素子の駆動により光ファイバを一次元方向に変位させる場合にも有効に適用することができる。
　１０　光走査用アクチュエータ
　１１　光ファイバ
　１１ａ　射出端部
　１１ｂ　射出端面
　１２　フェルール
　１４　圧電素子
　１５　リード線
　１６　接続部
　３０　光走査型内視鏡装置
　５０　スコープ
　５１　照明用光ファイバ
　５２　光入力部
　７０　制御装置本体
　７１　制御部
　７３Ｒ、７３Ｇ、７３Ｂ　レーザ
　７４　結合器
　７８　駆動制御部

Claims (5)

  1. 　光ファイバの射出端部を変位可能に支持する支持部と、
    　前記射出端部に結合されて、該射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる圧電素子と、
    　前記圧電素子に電圧を印加するリード線が電気的に結合される接続部と、を備え、
    　前記射出端部は、前記接続部において前記支持部に変位可能に支持される、光走査用アクチュエータ。
  2. 　前記接続部は、前記圧電素子の表面に形成されている、請求項１に記載の光走査用アクチュエータ。
  3. 　前記圧電素子は、前記光ファイバを保持するフェルールに装着されている、請求項１又は２に記載の光走査用アクチュエータ。
  4. 　前記圧電素子は、前記光ファイバの前記射出端部に装着される、請求項１又は２に記載の光走査用アクチュエータ。
  5. 　光ファイバと、
    　該光ファイバの射出端部を変位可能に支持して、前記射出端部を前記光ファイバの光軸方向と垂直な方向に変位させる請求項１～４のいずれか一項に記載の光走査用アクチュエータと、
    　前記光ファイバに光源からの照明光を入射させる光入力部と、
    　前記光ファイバの射出端面から射出される前記照明光を対象物に照射する照明光学系と、を備え、
    　前記圧電素子に印加する電圧を制御して、前記対象物に照射される前記照明光を所望の走査軌跡となるように走査する、光走査装置。
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