WO2016068331A1 - ノズル、成膜装置及び皮膜の形成方法 - Google Patents

ノズル、成膜装置及び皮膜の形成方法 Download PDF

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公一 川崎
智資 平野
正樹 遠藤
洋子 榊原
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NHK Spring Co Ltd
Tokyo Denki University
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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/14—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas designed for spraying particulate materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
    • C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles

Definitions

  • the present invention relates to a nozzle for a film forming apparatus using a cold spray method, a film forming apparatus, and a film forming method.
  • the cold spray method is a method of forming a film on the surface of a base material by injecting the powder of the material from a nozzle together with a high-pressure gas having a temperature equal to or lower than the melting point or softening point and colliding with the base material in a solid state. It is.
  • the processing is performed at a lower temperature than the thermal spraying method, it is possible to obtain a metal film having no phase transformation and suppressing oxidation. In addition, the influence of thermal stress can be reduced.
  • both the base material and the material to be the film are metal
  • plastic deformation occurs between the powder and the base material when the metal material powder collides with the base material (or the previously formed film). Since the anchor effect is obtained and the oxide films of each other are destroyed and metal bonds are formed by the new surfaces, a laminate with high adhesion strength can be obtained.
  • a taper-shaped nozzle (so-called Laval nozzle) whose width gradually decreases from the proximal end side toward the distal end side and then widens again toward the distal end is used.
  • the high-pressure gas and the powder of material are accelerated and injected when passing through the Laval nozzle.
  • FIG. 21 of Patent Document 3 discloses the structure of an acceleration nozzle connected to the tip of the main body as an injection nozzle device for cold spray.
  • this accelerating nozzle has a complicated structure and it is necessary to supply gas to the inner wall of the powder flow path, the configuration of the entire apparatus becomes complicated and large, and it is difficult to put it into practical use.
  • the present invention has been made in view of the above, and a nozzle capable of increasing the injection speed of powder used in the cold spray method with a simple configuration, and a film forming apparatus including such a nozzle And it aims at providing the formation method of a membrane
  • the nozzle according to the present invention sprays material powder together with gas and sprays and deposits the powder on the surface of the base material in a solid state.
  • a nozzle used in a film forming apparatus for forming a film wherein a nozzle tube having a passage through which the powder passes together with the gas is formed, and provided at a tip portion of the nozzle tube, and emitted from the tip portion
  • a cylindrical member that allows the powder and the gas to pass therethrough and includes a cylindrical member in which a width between inner wall side surfaces at an end surface on the proximal end side is wider than a width of the passage at a distal end portion of the nozzle tube. It is characterized by.
  • the proximal end surface of the cylindrical member is closed except for a connection portion with a distal end portion of the nozzle tube.
  • the nozzle In the cross section including the central axis of the nozzle, the nozzle has an angle formed by the inner wall surface of the passage at the distal end portion of the nozzle tube and the end surface on the proximal end side of the cylindrical member is 270 ° or less.
  • the width between the inner wall side surfaces of the end surface on the base end side of the cylindrical member is 1.1 times or more and 1.4 times or less than the width of the passage at the distal end portion of the nozzle tube.
  • the length of the cylindrical member is 3 to 5 times the width of the passage at the tip of the nozzle tube.
  • the nozzle is characterized in that the nozzle tube and the cylindrical member have a circular shape, an elliptical shape, a rectangular shape, or a polygonal shape in a cross section orthogonal to the central axis of the nozzle.
  • the film forming apparatus includes the nozzle, a gas powder mixing unit that mixes the powder with a compressed gas and supplies the mixed gas to the nozzle, and a gas that introduces the compressed gas into the gas powder mixing unit And a powder supply unit for supplying the powder to the gas powder mixing unit.
  • the powder of the film material is accelerated together with the gas by the film forming apparatus on the surface of the base material, and sprayed and deposited in a solid phase state to be deposited on the base material.
  • the method includes a step of forming a film.
  • the tubular member having a width between the inner wall side surfaces on the proximal end side wider than the width of the passage at the distal end portion of the nozzle tube is provided at the distal end portion of the nozzle tube. It can be inflated and accelerated. Therefore, it is possible to increase the injection speed of the powder injected from the nozzle together with the gas with a simple device.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a film forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing the appearance of the nozzle shown in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view showing the tip of the nozzle shown in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view of the nozzle shown in FIG. 1 as viewed from the front of the injection port.
  • FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a reference example of the shape of the base end side of the expansion tube.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a modification of the shape of the base end side of the magnifying tube.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a modification of the shape of the nozzle according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a film forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing the appearance of the nozzle shown in FIG.
  • FIG. 3 is
  • FIG. 8 is a plan view showing a modified example of the shape of the nozzle according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a plan view showing another modification of the shape of the nozzle according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view showing still another modified example of the shape of the nozzle according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a modification of the shape of the nozzle tube included in the nozzle according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a film forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • a film forming apparatus 1 according to the present embodiment is a film forming apparatus using a cold spray method, and a gas heater 2 for heating a high-pressure gas (compressed gas) and a film forming material powder.
  • Powder supply device 3 for storing and supplying to spray gun 4, spray gun 4 for mixing heated high-pressure gas with powder and introducing it into nozzle 5, supply of high-pressure gas to gas heater 2 and powder supply device 3 Valves 6 and 7 for adjusting the amounts are provided.
  • the spray gun 4 includes a nozzle 5 that injects powder together with high-pressure gas.
  • the high-pressure gas inexpensive air or an inert gas such as helium or nitrogen is used.
  • the high-pressure gas supplied to the gas heater 2 is heated to a temperature in a range lower than the melting point of the material powder, and then introduced into the spray gun 4.
  • the heating temperature of the high pressure gas is preferably 150 to 900 ° C.
  • the high-pressure gas supplied to the powder supply device 3 supplies the powder in the powder supply device 3 to the spray gun 4 so that a predetermined discharge amount is obtained.
  • the heated high-pressure gas is jetted as a supersonic flow (about 340 m / s or more for air and nitrogen, about 1000 m / s or more for helium) by passing through the nozzle 5.
  • the gas pressure of the high-pressure gas is preferably about 0.3 to 5 MPa. This is because by adjusting the pressure of the high-pressure gas to this level, the adhesion strength of the film 101 to the substrate 100 can be improved. More preferably, the treatment is performed at a pressure of about 3 to 5 MPa.
  • the base material 100 is arranged facing the spray gun 4, and the film forming material powder is put into the powder supply apparatus 3, and the high-pressure gas to the gas heater 2 and the powder supply apparatus 3.
  • the powder supplied to the spray gun 4 is injected into the supersonic flow of the high-pressure gas, accelerated, and injected from the nozzle 5.
  • the powder 101 collides and deposits on the base material 100 at a high speed in a solid phase state, whereby the coating 101 is formed.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing the appearance of the nozzle 5.
  • 3 is an enlarged longitudinal sectional view (a sectional view including the central axis of the nozzle 5) showing the tip of the nozzle 5.
  • FIG. 4 is a plan view of the nozzle 5 as viewed from the front of the injection port.
  • the nozzle 5 includes a nozzle tube 51 in which a passage 51 a through which powder passes is formed, and an enlarged tube 52 which is a cylindrical member provided at the tip of the nozzle tube 51.
  • the nozzle port 51 and the expansion port 52 have a rectangular shape.
  • the length of the white arrow shown in FIG. 3 schematically represents the speed of the powder introduced into the nozzle 5.
  • 3 schematically represents the flow of the high-pressure gas emitted from the nozzle tube 51 to the expansion tube 52.
  • the passage 51a of the nozzle tube 51 has a width D once narrowed from the base end side (spray gun 4 side shown in FIG. 1) to the tip end side (enlarged tube 52 side), and then again toward the tip end. It has a widening divergent shape.
  • a nozzle provided with a passage having such a shape is called a Laval nozzle, and a portion having the narrowest width D of the passage 51a is called a throat.
  • the powder introduced together with the gas from the spray gun 4 is accelerated when passing through the throat 51 b and is injected into the expansion tube 52 from the tip of the nozzle tube 51.
  • the expansion tube 52 is a cylindrical member in which the width W between the inner wall side surfaces on the proximal end side is wider than the width D 1 of the passage 51 a in the emission end surface 51 c of the nozzle tube 51.
  • the end face 52a on the proximal end side of the magnifying tube 52 is closed except for the connecting portion with the nozzle tube 51, and the end face 52b on the distal end side of the magnifying tube 52 is open.
  • the gas injected from the nozzle tube 51 is rapidly expanded and accelerated in the expansion tube 52. Along with this expanded gas, the powder is also accelerated and injected outward from the tip of the expansion tube 52.
  • the width W between the inner wall side surface of the base end portion of the expanded tube 52 is wider than the width D 1 of the passage 51a at the output end face 51c.
  • the width W of the enlarged tube 52 about 1.1 times to 1.4 times the width D 1 of the passage 51a, and more preferably may be approximately 1.2 times.
  • the length L of the enlarged tube 52 in order to sufficiently accelerate while rectifying the expanded high pressure gas and powder, about 3 times higher than five times the width D 1, and more preferably about 4 fold or.
  • the angle ⁇ formed by the inner wall surface 51d of the passage 51a and the end surface 52a of the expansion tube 52 at the tip end portion (near the emission end surface 51c) of the nozzle tube 51 is 270 °. It is not limited to. Preferably, the angle ⁇ is 270 ° or less.
  • FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a reference example of the shape of the base end side of the expansion tube.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing a modification of the shape of the base end side of the magnifying tube.
  • the enlarged tube 52 is provided at the tip of the nozzle tube 51, it is possible to increase the speed of the powder sprayed from the nozzle tube 51 with a simple configuration. Accordingly, a dense film can be formed, and the film quality can be improved. Further, according to the present embodiment, since the powder can be made faster than the conventional one with the same amount of gas consumption as the conventional configuration in which the expansion pipe 52 is not provided, without increasing the manufacturing cost, A high-quality film can be formed, or various kinds of films can be formed. Furthermore, according to the present embodiment, since the speed of the powder can be maintained at the same level as the conventional one with a smaller gas supply amount than the conventional one, the manufacturing cost of the coating can be reduced.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a modified example of the shape of the nozzle according to the present embodiment.
  • 8 to 10 are plan views showing modified examples of the shape of the nozzle according to the present embodiment.
  • the shape of the nozzle tube 51 and the expansion tube 52 as viewed from the front of the injection port is not limited to a rectangular shape.
  • the cross-sectional shapes of the nozzle tubes 51A to 51C and the enlarged tubes 52A to 52C may be similar to each other, but are not limited thereto.
  • the width D 1 of the passage at the output end face of the nozzle tubes 51A ⁇ 51C by increasing the width W between the side of the inner wall of the expansion pipe 52A ⁇ 52C, the high pressure gas emitted from the nozzle tubes 51 What is necessary is just to be able to expand rapidly.
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a modification of the shape of the nozzle tube included in the nozzle according to the present embodiment.
  • a Laval nozzle is applied as the nozzle tube 51, but the shape of the nozzle is not limited to this.
  • the magnifying tube 52 may be attached to the tip of the tapered nozzle 55 whose tip 55a is narrowed. Also in this case, the high-pressure gas emitted from the tapered nozzle 55 can be accelerated by rapidly expanding in the expansion tube 52.

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Abstract

　コールドスプレー法による成膜装置において、ノズルから噴射される粉末を簡素な構成で高速化することができるノズル等を提供する。ノズルは、材料の粉末をガスと共に噴射し、該粉末を基材の表面に固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより皮膜を形成する成膜装置において用いられるノズルであって、粉末をガスと共に通過させる通路５１ａが内部に形成されたノズル管５１と、ノズル管５１の先端部に設けられ、該先端部から出射した粉末及びガスを通過させる筒状をなす拡大管５２であって、基端側の端面における内壁側面間の幅Ｗがノズル管５１の先端部における通路５１ａの幅Ｄ1よりも広い拡大管５２とを備える。

Description

ノズル、成膜装置及び皮膜の形成方法
　本発明は、コールドスプレー法による成膜装置用のノズル、成膜装置及び皮膜の形成方法に関する。
　近年、金属皮膜の形成方法として、コールドスプレー法が知られている（例えば特許文献１～４参照）。コールドスプレー法とは、材料の粉末を、融点又は軟化点以下の温度の高圧ガスと共にノズルから噴射し、固相状態のまま基材に衝突させることにより、基材の表面に皮膜を形成する方法である。コールドスプレー法においては、溶射法と比較して低い温度で加工が行われるので、相変態がなく酸化も抑制された金属皮膜を得ることができる。また、熱応力の影響を緩和することもできる。さらに、基材及び皮膜となる材料がともに金属である場合、金属材料の粉末が基材（又は先に形成された皮膜）に衝突した際に粉末と基材との間で塑性変形が生じてアンカー効果が得られると共に、互いの酸化皮膜が破壊されて新生面同士による金属結合が生じるので、密着強度の高い積層体を得ることができる。
　ノズルとしては通常、基端側から先端側に向けて幅が徐々に狭くなった後、再び先端に向けて幅が広がる先細末広形状のノズル（所謂ラバルノズル）が用いられる。高圧ガス及び材料の粉末は、このラバルノズルを通過する際に加速されて噴射される。
　このようなコールドスプレー法においては、ノズルから噴射される粉末を高速にするほど緻密な皮膜を形成することができ、膜質の向上を図ることが可能になると共に、適用可能な皮膜材料の種類を増やすことができる。
米国特許第５３０２４１４号明細書 特開２００５－９５８８６号公報 特開２００８－８０３２３号公報 特開２０１２－５２１８６号公報
　ノズルから噴射される粉末を高速にする方法として、高圧ガスとして一般的に使用される窒素や空気の代わりに、より高速化が可能なヘリウムガスを用いることが考えられる。しかしながら、ヘリウムガスは非常に高価であるので、皮膜の製造コストが上昇してしまう。また、成膜装置に対して高耐圧の設備を設ける必要が生じるので、現実的ではない。
　上記特許文献３の図２１には、コールドスプレー用の噴射ノズル装置として、本体部の先端に接続される加速ノズルの構造が開示されている。しかしながら、この加速ノズルは構造が複雑であると共に、粉体の流路の内壁にもガスを供給する必要があるため、装置全体の構成が複雑かつ大がかりとなり、実用化が困難である。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、コールドスプレー法において使用される粉末の噴射速度を簡素な構成で高速化することができるノズル、及びこのようなノズルを備えた成膜装置及び皮膜の形成方法を提供することを目的とする。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るノズルは、材料の粉末をガスと共に噴射し、前記粉末を基材の表面に固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより皮膜を形成する成膜装置において用いられるノズルであって、前記粉末を前記ガスと共に通過させる通路が内部に形成されたノズル管と、前記ノズル管の先端部に設けられ、該先端部から出射した前記粉末及び前記ガスを通過させる筒状部材であって、前記基端側の端面における内壁側面間の幅が前記ノズル管の先端部における前記通路の幅よりも広い筒状部材と、を備えることを特徴とする。
　上記ノズルにおいて、前記筒状部材の前記基端側の端面は、前記ノズル管の先端部との接続部を除いて閉じていることを特徴とする。
　上記ノズルは、当該ノズルの中心軸を含む断面において、前記ノズル管の先端部における前記通路の内壁面と前記筒状部材の前記基端側の端面とのなす角度が２７０°以下であることを特徴とする。
　上記ノズルにおいて、前記筒状部材の前記基端側の端面における内壁側面間の幅は、前記ノズル管の先端部における前記通路の幅の１．１倍以上１．４倍以下であることを特徴とする。
　上記ノズルにおいて、前記筒状部材の長さは、前記ノズル管の先端部における前記通路の幅の３倍以上５倍以下であることを特徴とする。
　上記ノズルは、当該ノズルの中心軸と直交する断面において、前記ノズル管及び前記筒状部材が円形状、楕円形状、矩形状、又は多角形状をなすことを特徴とする。
　本発明に係る成膜装置は、前記ノズルと、前記粉末を圧縮されたガスと混合して前記ノズルに供給するガス粉末混合部と、前記ガス粉末混合部に前記圧縮されたガスを導入するガス室と、前記ガス粉末混合部に前記粉末を供給する粉末供給部と、を備えることを特徴とする。
　本発明に係る皮膜の形成方法は、基材表面に、皮膜材料の粉体を、前記成膜装置により、ガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより、前記基材に皮膜を形成する工程を含むことを特徴とする。
　本発明によれば、基端側の内壁側面間の幅がノズル管の先端部における通路の幅よりも広い筒状部材をノズル管の先端部に設けるので、ノズル管から出射したガスを急激に膨張させて加速することができる。従って、ノズルからガスと共に噴射される粉末の噴射速度を簡素な装置で高速化することが可能となる。
図１は、本発明の実施の形態に係る成膜装置の構成を示す模式図である。 図２は、図１に示すノズルの外観を概略的に示す斜視図である。 図３は、図１に示すノズルの先端部を拡大して示す縦断面図である。 図４は、図１に示すノズルを噴射口の正面から見た平面図である。 図５は、拡大管の基端側の形状の参考例を示す縦断面図である。 図６は、拡大管の基端側の形状の変形例を示す縦断面図である。 図７は、本発明の実施の形態に係るノズルの形状の変形例を示す斜視図である。 図８は、本発明の実施の形態に係るノズルの形状の変形例を示す平面図である。 図９は、本発明の実施の形態に係るノズルの形状の別の変形例を示す平面図である。 図１０は、本発明の実施の形態に係るノズルの形状のさらに別の変形例を示す平面図である。 図１１は、本発明の実施の形態に係るノズルが有するノズル管の形状の変形例を示す縦断面図である。
　以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解し得る程度に形状、大きさ、及び位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。即ち、本発明は各図で例示された形状、大きさ、及び位置関係のみに限定されるものではない。
（実施の形態）
　図１は、本発明の実施の形態に係る成膜装置の構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態に係る成膜装置１は、コールドスプレー法による成膜装置であり、高圧ガス（圧縮ガス）を加熱するガス加熱器２と、成膜材料の粉末を収容してスプレーガン４に供給する粉末供給装置３と、加熱された高圧ガスを粉末と混合してノズル５に導入するスプレーガン４と、ガス加熱器２及び粉末供給装置３に対する高圧ガスの供給量をそれぞれ調節するバルブ６及び７とを備える。スプレーガン４は、高圧ガスと共に粉末を噴射するノズル５を含んでいる。
　高圧ガスとしては、安価な空気や、ヘリウム、窒素等の不活性ガスが使用される。ガス加熱器２に供給された高圧ガスは、材料の粉末の融点よりも低い範囲の温度に加熱された後、スプレーガン４に導入される。高圧ガスの加熱温度は、好ましくは１５０～９００℃である。
　一方、粉末供給装置３に供給された高圧ガスは、粉末供給装置３内の粉末をスプレーガン４に所定の吐出量となるように供給する。
　加熱された高圧ガスは、ノズル５を通過することにより超音速流（空気及び窒素の場合、約３４０ｍ／ｓ以上、ヘリウムの場合、約１０００ｍ／ｓ以上）となって噴射される。この際の高圧ガスのガス圧力は、０．３～５ＭＰａ程度とすることが好ましい。高圧ガスの圧力をこの程度に調整することにより、基材１００に対する皮膜１０１の密着強度の向上を図ることができるからである。より好ましくは、３～５ＭＰａ程度の圧力で処理すると良い。
　このような成膜装置１において、基材１００をスプレーガン４に向けて配置すると共に、成膜材料の粉末を粉末供給装置３に投入し、ガス加熱器２及び粉末供給装置３への高圧ガスの供給を開始する。それにより、スプレーガン４に供給された粉末が、この高圧ガスの超音速流の中に投入されて加速され、ノズル５から噴射される。この粉末が、固相状態のまま基材１００に高速で衝突して堆積することにより、皮膜１０１が形成される。
　図２は、ノズル５の外観を概略的に示す斜視図である。また、図３は、ノズル５の先端部を拡大して示す縦断面図（ノズル５の中心軸を含む断面図）である。図４は、ノズル５を噴射口の正面から見た平面図である。図２～図４に示すように、ノズル５は、粉末を通過させる通路５１ａが内部に形成されたノズル管５１と、該ノズル管５１の先端部に設けられた筒状部材である拡大管５２とを備える。本実施の形態において、ノズル管５１及び拡大管５２の噴射口は矩形状をなしている。なお、図３に示す白抜き矢印の長さは、ノズル５に導入された粉末の速度を模式的に表す。また、図３に示す一点鎖線の矢印は、ノズル管５１から拡大管５２に出射した高圧ガスの流れを模式的に表す。
　ノズル管５１の通路５１ａは、基端側（図１に示すスプレーガン４側）から先端側（拡大管５２側）に向けて幅Ｄが一旦狭くなった後、再び先端に向けて幅Ｄが広がる末広形状をなしている。なお、このような形状の通路が設けられたノズルはラバルノズルと呼ばれ、通路５１ａの幅Ｄが最も狭い部分はスロートと呼ばれる。スプレーガン４からガスと共に導入された粉末は、スロート５１ｂを通過する際に加速され、ノズル管５１の先端から拡大管５２内に噴射される。
　拡大管５２は、基端側の内壁側面間の幅Ｗがノズル管５１の出射端面５１ｃにおける通路５１ａの幅Ｄ1よりも広い筒状部材である。拡大管５２の基端側の端面５２ａはノズル管５１との接続部を除いて閉じており、拡大管５２の先端側の端面５２ｂは開放されている。ノズル管５１から噴射されたガスは、拡大管５２において急激に膨張して加速される。この膨張したガスと共に粉末も加速され、拡大管５２の先端から外部に向けて噴射される。
　次に、拡大管５２の寸法について説明する。拡大管５２は、ノズル管５１から出射した高圧ガスを急激に膨張させ、さらに、内壁側面に沿って進行させる。そのため、拡大管５２の基端側の内壁側面間の幅Ｗは、出射端面５１ｃにおける通路５１ａの幅Ｄ1よりも広くなっている。好ましくは、拡大管５２の幅Ｗを、通路５１ａの幅Ｄ1の約１．１倍以上１．４倍以下、より好ましくは１．２倍程度にすると良い。また、拡大管５２の長さＬについては、膨張した高圧ガス及び粉末を整流しつつ充分に加速させるため、幅Ｄ1の約３倍以上５倍以下、より好ましくは４倍程度にすると良い。
　次に、拡大管５２の基端側の端面５２ａの形状について説明する。図３においては、ノズル管５１の先端部（出射端面５１ｃ近傍）における通路５１ａの内壁面５１ｄと拡大管５２の端面５２ａとのなす角度θを２７０°としているが、両者のなす角度θはこれに限定されない。好ましくは、角度θを２７０°以下にすると良い。図５は、拡大管の基端側の形状の参考例を示す縦断面図である。また、図６は、拡大管の基端側の形状の変形例を示す縦断面図である。
　図５に示すように、ノズル管５１の先端部における通路５１ａの内壁面５１ｄと拡大管５３の端面５３ａとのなす角度θを２７０°より大きくする場合、即ち、通路５１ａの出射端面５１ｃに対して拡大管５３の端面５３ａを後退させる場合、拡大管５３内に、高圧ガスの膨張及び加速に寄与しない領域５３ｂが生じてしまう。そのため、高圧ガス及び粉末の加速は可能であるものの、ロスも生じてしまう。
　これに対し、図６に示すように、ノズル管５１の先端部における通路５１ａの内壁面５１ｄと拡大管５４の端面５４ａとのなす角度θを２７０°以下とする場合、即ち、通路５１ａの出射端面５１ｃに対して拡大管５４の端面５４ａを前進させる場合、高圧ガスの膨張及び加速に寄与しない領域を低減させることができる。そのため、高圧ガス及び粉末を効率良く加速させることが可能となる。
　以上説明したように、本実施の形態によれば、ノズル管５１の先端部に拡大管５２を設けるので、ノズル管５１から噴射される粉末を簡素な構成で高速化することが可能となる。従って、緻密な皮膜を形成することができ、膜質の向上を図ることが可能となる。また、本実施の形態によれば、拡大管５２を設けない従来の構成と同程度のガス消費量で、粉末を従来よりも高速化することができるので、製造コストの増加を招くことなく、高品質な皮膜を形成する、或いは、多様な種類の皮膜を形成することが可能となる。さらに、本実施の形態によれば、従来よりも少ないガスの供給量で、従来と同程度の粉末の速度を維持することができるので、皮膜の製造コストを低減することが可能となる。
（変形例１）
　次に、本発明の実施の形態の変形例１について説明する。図７は、本実施の形態に係るノズルの形状の変形例を示す斜視図である。また、図８～図１０は、本実施の形態に係るノズルの形状の変形例を示す平面図である。
　ノズル管５１及び拡大管５２を噴射口の正面からみた形状（言い換えると、ノズル５の中心軸と直交する断面における形状）は矩形状に限定されない。例えば図７及び図８に示すノズル管５１Ａ及び拡大管５２Ａのように、円形状としても良い。また、図９に示すノズル管５１Ｂ及び拡大管５２Ｂのように、楕円形状としても良い。或いは、図１０に示すノズル管５１Ｃ及び拡大管５２Ｃのように、六角形等の多角形状としても良い。好ましくは、ノズル管５１Ａ～５１Ｃ及び拡大管５２Ａ～５２Ｃの断面形状を互いに相似にすると良いが、これに限定されるものではない。いずれにしても、ノズル管５１Ａ～５１Ｃの出射端面における通路の幅Ｄ1に対して、拡大管５２Ａ～５２Ｃの内壁側面間の幅Ｗを大きくすることにより、ノズル管５１から出射する高圧ガスを急激に膨張させることができれば良い。
（変形例２）
　次に、本発明の実施の形態の変形例２について説明する。図１１は、本実施の形態に係るノズルが有するノズル管の形状の変形例を示す縦断面図である。上記実施の形態においては、ノズル管５１としてラバルノズルを適用したが、ノズルの形状はこれに限定されない。例えば図１１に示すように、先端部５５ａが狭くなった先細ノズル５５の先端に拡大管５２を取り付けても良い。この場合も、先細ノズル５５から出射した高圧ガスを拡大管５２において急激に膨張させて加速することができる。
　１　成膜装置
　２　ガス加熱器
　３　粉末供給装置
　４　スプレーガン
　５　ノズル
　６、７　バルブ
　５１、５１Ａ～５１Ｃ　ノズル管
　５１ａ　通路
　５１ｂ　スロート
　５１ｃ　出射端面
　５１ｄ　内壁面
　５２、５２Ａ～５２Ｃ、５３、５４　拡大管
　５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５４ａ　端面
　５３ｂ　領域
　５５　先細ノズル
　１００　基材
　１０１　皮膜

Claims (8)

  1. 　材料の粉末をガスと共に噴射し、前記粉末を基材の表面に固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより皮膜を形成する成膜装置において用いられるノズルであって、
    　前記粉末を前記ガスと共に通過させる通路が内部に形成されたノズル管と、
    　前記ノズル管の先端部に設けられ、該先端部から出射した前記粉末及び前記ガスを通過させる筒状部材であって、前記基端側の端面における内壁側面間の幅が前記ノズル管の先端部における前記通路の幅よりも広い筒状部材と、
    を備えることを特徴とするノズル。
  2. 　前記筒状部材の前記基端側の端面は、前記ノズル管の先端部との接続部を除いて閉じていることを特徴とする請求項１に記載のノズル。
  3. 　当該ノズルの中心軸を含む断面において、前記ノズル管の先端部における前記通路の内壁面と前記筒状部材の前記基端側の端面とのなす角度は２７０°以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズル。
  4. 　前記筒状部材の前記基端側の端面における内壁側面間の幅は、前記ノズル管の先端部における前記通路の幅の１．１倍以上１．４倍以下であることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のノズル。
  5. 　前記筒状部材の長さは、前記ノズル管の先端部における前記通路の幅の３倍以上５倍以下であることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載のノズル。
  6. 　当該ノズルの中心軸と直交する断面において、前記ノズル管及び前記筒状部材は、円形状、楕円形状、矩形状、又は多角形状をなすことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のノズル。
  7. 　請求項１～６のいずれか１項に記載のノズルと、
    　前記粉末を圧縮されたガスと混合して前記ノズルに供給するガス粉末混合部と、
    　前記ガス粉末混合部に前記圧縮されたガスを導入するガス室と、
    　前記ガス粉末混合部に前記粉末を供給する粉末供給部と、
    を備えることを特徴とする成膜装置。
  8. 　基材表面に、皮膜材料の粉体を、請求項７に記載の成膜装置により、ガスと共に加速し、固相状態のままで吹き付けて堆積させることにより、前記基材に皮膜を形成する工程を含むことを特徴とする皮膜の形成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115863210A (zh) * 2021-09-24 2023-03-28 株式会社国际电气 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及存储介质

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007184269A (ja) * 2005-12-21 2007-07-19 Sulzer Metco Us Inc プラズマとコールドスプレーとを組み合わせた方法および装置
JP2009136870A (ja) * 2006-09-01 2009-06-25 Kobe Steel Ltd 噴射ノズル装置
JP2011240314A (ja) * 2010-05-21 2011-12-01 Kobe Steel Ltd コールドスプレー装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4044515B2 (ja) * 2003-11-28 2008-02-06 富士通株式会社 エアロゾルデポジッション成膜装置
JP4593947B2 (ja) * 2004-03-19 2010-12-08 キヤノン株式会社 成膜装置および成膜方法
JP2006193777A (ja) * 2005-01-13 2006-07-27 Toto Ltd 複合構造物作製装置およびこれに組み込まれるノズル

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007184269A (ja) * 2005-12-21 2007-07-19 Sulzer Metco Us Inc プラズマとコールドスプレーとを組み合わせた方法および装置
JP2009136870A (ja) * 2006-09-01 2009-06-25 Kobe Steel Ltd 噴射ノズル装置
JP2011240314A (ja) * 2010-05-21 2011-12-01 Kobe Steel Ltd コールドスプレー装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115863210A (zh) * 2021-09-24 2023-03-28 株式会社国际电气 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及存储介质
KR20230043711A (ko) * 2021-09-24 2023-03-31 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램
KR102870586B1 (ko) * 2021-09-24 2025-10-13 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 프로그램 및 기판 처리 방법

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