WO2016042408A3 - Compositions d'attaque chimique de nitrure de titane ayant une compatibilité avec le germaniure de silicium et le tungstène - Google Patents

Compositions d'attaque chimique de nitrure de titane ayant une compatibilité avec le germaniure de silicium et le tungstène Download PDF

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Abstract

L'invention concerne des compositions utiles pour l'élimination sélective de nitrure de titane et/ou de matières résiduelles d'attaque chimique de résine photosensible par rapport à des matériaux conducteurs métalliques, par exemple, le tungstène et le cuivre, et isolants d'un dispositif microélectronique sur lequel se trouve ces matières. Les compositions contiennent au moins un oxydant, au moins un agent d'attaque chimique, et au moins un solvant organique, et peuvent contenir divers inhibiteurs de corrosion pour assurer la sélectivité.
PCT/IB2015/002015 2014-09-17 2015-09-16 Compositions d'attaque chimique de nitrure de titane ayant une compatibilité avec le germaniure de silicium et le tungstène WO2016042408A2 (fr)

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