WO2016034417A1 - SENSORBAUGRUPPE FÜR EINEN SENSOR, SENSOR SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM - Google Patents

SENSORBAUGRUPPE FÜR EINEN SENSOR, SENSOR SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM Download PDF

Info

Publication number
WO2016034417A1
WO2016034417A1 PCT/EP2015/069046 EP2015069046W WO2016034417A1 WO 2016034417 A1 WO2016034417 A1 WO 2016034417A1 EP 2015069046 W EP2015069046 W EP 2015069046W WO 2016034417 A1 WO2016034417 A1 WO 2016034417A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
membrane
sensor
esp
sensor flag
same
Prior art date
Application number
PCT/EP2015/069046
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Christian Lais
Andreas Strub
Dominique Wiederkehr
Original Assignee
Endress+Hauser Flowtec Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress+Hauser Flowtec Ag filed Critical Endress+Hauser Flowtec Ag
Priority to US15/507,350 priority Critical patent/US10948321B2/en
Priority to EP15760104.8A priority patent/EP3189311B1/de
Priority to CN201580047051.2A priority patent/CN107148558B/zh
Publication of WO2016034417A1 publication Critical patent/WO2016034417A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • G01F1/3209—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters using Karman vortices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • G01F1/325—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl
    • G01F1/3259—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl for detecting fluid pressure oscillations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/16—Diaphragms; Bellows; Mountings therefor

Definitions

  • the invention relates to a sensor assembly having a membrane and a sensor flag extending from a surface of the membrane. Furthermore, the invention relates to a sensor formed by means of such a sensor module or measuring system formed therewith or its use for detecting pressure fluctuations in a flowing fluid.
  • Flow velocities of fluids flowing in conduits in particular fast-flowing and / or hot gases and / or fluid streams of high Reynolds number (Re), or of volumetric or mass flow rates corresponding to a respective flow velocity (u), often designed as vortex flowmeters used.
  • Re Reynolds number
  • u volumetric or mass flow rates
  • the measurement systems shown each have one in the lumen of the respective, for example, as a system component of a heat supply network or a turbine circuit formed, pipe or in a lumen of a measuring tube inserted into the course of the same pipe, thus flowing from the fluid bluff body to produce a so-called Kärmän vortex street vortexed within the immediately downstream of the bluff body flowing partial volume of the fluid flow.
  • the vortexes are known to be dependent on the flow rate
  • the measuring systems have a built-in the baffle body or connected to this or downstream of the same, namely in the area of the Karman vortex street in the flow, thus in the lumen of the protruding sensor, which serves to pressure fluctuations in the Kärmänschen formed in the flowing fluid
  • the sensor has for this purpose by means of a thin and substantially flat membrane and a starting from a substantially planar surface of the membrane
  • the membrane has a - usually annular - outer
  • Edge segment which is adapted to be hermetically sealed with a holder of the membrane serving on a wall of a tube socket, for example, to be bonded, such that the membrane covers an opening provided in the wall of the pipe opening or hermetically sealed and that the surface of the membrane carrying the sensor flag faces the fluid-carrying lumen of the measuring tube or the pipeline, and consequently the sensor flag protrudes into the same lumen.
  • the membrane is shaped such that at least one membrane thickness, measured as a minimum thickness of an inner membrane segment bounded by the outer edge segment, is much smaller than a membrane diameter, measured as a largest diameter of a surface bounded by the outer edge segment.
  • membranes of established measuring systems typically a diameter to thickness ratio that is on the order of 20: 1.
  • sensor assemblies of the type described above can occasionally also a starting from one of the surface of the sensor surface bearing surface of the sensor membrane extending, usually rod, plate or sleeve-shaped
  • the sensor further comprises a corresponding, for example, by means of a mechanically coupled to the sensor assembly or integrated capacitor or by means of a piezoelectric transducer piezostapel formed, converter element, which is typically adapted to movements of the membrane or the If necessary, to detect existing compensation body and to modulate an electrical or optical carrier signal.
  • the sensor module or the sensor formed therewith is further on a side facing away from the fluid lumen with a - typically pressure and shock-resistant encapsulated, possibly also externally hermetically sealed - connected converter electronics.
  • Transformer electronics industrially suitable measuring systems usually have a corresponding, with the
  • Transducer element via connecting lines, possibly with the interposition of electrical barriers and / or galvanic separation points, electrically connected digital measuring circuit for processing the at least one sensor signal generated by the transducer element and for generating digital measured values for each measured variable to be detected, namely the
  • Flow rate the volume flow rate and / or the mass flow rate on.
  • the usually accommodated in a protective housing made of metal and / or impact-resistant plastic converter electronics industry-standard or established in industrial metrology measurement systems also usually provide an industry standard, such as DIN IEC 60381-1, compliant external interfaces for communication with parent , for example, by means of programmable logic controllers (PLC) formed, measuring and / or controller systems ready.
  • PLC programmable logic controllers
  • Such an external interface can be designed, for example, as a two-wire connection which can be incorporated into a current loop and / or is compatible with established industrial fieldbuses.
  • Membrane material usually a compressive strength, namely a maximum allowable operating pressure, above which a non-reversible plastic deformation of the sensor or even bursting of the membrane is to be obtained, which are too low for occasionally actually occurring in certain applications extremely high pressures or pressure surges can, or have such
  • an object of the invention is to improve the construction of sensor assemblies of the type in question or sensors formed so that, as a result, a higher compressive strength or a use in superheated steam applications with steam temperatures of about 400 C and pressure peaks of Have over 140 bar permitting dependence of the compressive strength of the operating temperature.
  • the invention consists in a sensor assembly for a sensor, for example, a sensor for detecting pressure fluctuations in a in a
  • sensor module a cup-shaped, namely at least partially curved membrane having a curved first surface and an opposite, for example, also curved and / or to the first surface at least partially parallel and / or at least partially non-parallel, second surface and a starting from the first surface of the membrane
  • the invention comprises a sensor for detecting pressure fluctuations in a flowing fluid, in particular for detecting pressure fluctuations in a Kärmän vortex street formed in the flowing fluid, which sensor has such a sensor module and a converter element for generating a time-varying, for example at least occasionally periodic, Movements of the sensor flag and / or temporally changing, for example at least temporarily periodic, deformations of the membrane representing, for example electrical or optical, sensor signal comprises.
  • the invention consists in a measuring system for measuring at least one, in particular temporally variable, flow parameter, e.g. a flow rate and / or a volume flow rate, of a fluid flowing in a pipeline, which measuring system for detecting pressure fluctuations in the flowing fluid, for example for detecting pressure fluctuations in a Kärmän vortex street formed in the flowing fluid, such a sensor and a measuring electronics, which is set up to receive and process the sensor signal, namely to generate, for example, the measured values representing at least one flow parameter.
  • a measuring system for measuring at least one, in particular temporally variable, flow parameter, e.g. a flow rate and / or a volume flow rate, of a fluid flowing in a pipeline
  • a measuring system for detecting pressure fluctuations in the flowing fluid, for example for detecting pressure fluctuations in a Kärmän vortex street formed in the flowing fluid, such a sensor and a measuring electronics, which is set up to receive and process the sensor signal, namely to generate, for example, the measured values representing at
  • a further aspect of the invention is a measuring system as described above for measuring a flow parameter - for example a flow velocity and / or a volumetric flow rate and / or a mass flow rate - of a temperature flowing in a pipeline, for example a temperature of more than 400 ° C and / or with a pressure of more than 140 bar acting on the membrane of the sensor, fluid, such as a steam, to use.
  • a flow parameter - for example a flow velocity and / or a volumetric flow rate and / or a mass flow rate - of a temperature flowing in a pipeline, for example a temperature of more than 400 ° C and / or with a pressure of more than 140 bar acting on the membrane of the sensor, fluid, such as a steam, to use.
  • the membrane is shaped so that the area of the first surface adjacent to the sensor flag is aspherical.
  • the membrane is shaped such that the region of the first surface adjacent to the sensor flag is axially symmetrical with respect to at least one imaginary axis of symmetry, for example such that the same axis of symmetry is parallel to a main axis of inertia of the sensor flag and / or such that the same
  • Symmetry axis is perpendicular to a main axis of inertia of the sensor flag.
  • the membrane is shaped so that the adjacent to the sensor flag region of the first surface is axially symmetrical with respect to exactly two mutually perpendicular imaginary symmetry axes, for example, such that at least one of the axes of symmetry parallel to a main axis of inertia of the sensor flag and / / or such that a main axis of inertia of the sensor flag is perpendicular to one of the imaginary axes of symmetry and parallel to the other imaginary axis of symmetry.
  • the membrane is shaped so that the area adjacent to the sensor flag region of the first surface is rotationally symmetric, for example, namely spherical.
  • a segment of the membrane carrying the sensor flag forms a first zone with a first thickness forming a center of the membrane and a second zone adjacent to, for example, the first zone, namely the first zone Thickness has different second thickness, such that the first thickness is smaller than the second thickness.
  • the membrane is shaped so that at least one of the adjacent to the sensor flag region of the first surface
  • opposite region of the second surface is concave.
  • the diaphragm is shaped so that a diaphragm height measured as a minimum distance of a centroid of the first surface to an imaginary projection area inscribed by a peripheral outer edge of the portion of the first surface adjacent to the sensor flag is smaller than a membrane diameter, measured as a largest diameter of the same
  • Projection surface for example, smaller than a largest half-axis or a radius of the same projection screen - is; this, for example, also such that a diameter-to-height ratio of the membrane, defined as a ratio of the same membrane diameter to the same
  • Membrane height less than 30 and / or greater than 2, and / or such that a ratio of the same membrane diameter to a length of the sensor flag, measured as a minimum distance between a proximal, namely the membrane adjacent end of the sensor flag up to a distal, namely of the membrane or its surface remote end of the sensor flag, less than 2 and / or more than 0.5.
  • the membrane is at least partially conical.
  • the membrane is shaped such that at least the region of the first surface adjacent to the sensor flag corresponds to a surface of a spherical zone, for example such that a top surface is more similar
  • Sphere zone corresponds to a cross-sectional area of the sensor flag or the like
  • the membrane is shaped such that at least the region of the first surface adjacent to the sensor flag corresponds to a lateral surface of a truncated cone.
  • the membrane is shaped so that at least the region of the first surface adjacent to the sensor flag is a segment of a
  • the lateral surface of an ellipsoid corresponds.
  • the sensor flag and membrane are positioned and aligned with each other so that a main axis of inertia of the sensor flag is parallel to an axis of inertia of the sensor assembly or coincides with it.
  • the sensor flag and membrane are positioned and aligned with each other so that a main axis of inertia of the membrane extends parallel to a main axis of inertia of the sensor assembly, namely namely coincident with it.
  • the membrane consists at least partially, for example, also predominantly or completely, of a metal, such as a stainless steel or a nickel-based alloy.
  • the sensor flag at least partially, for example, also predominantly or completely, from a metal such as a stainless steel or a nickel-based alloy exists.
  • membrane and sensor flag are made of a same material.
  • the membrane and sensor cream components one and the same, for example, cast or
  • the membrane and sensor flag are materially connected to one another, in particular welded or soldered together.
  • the membrane has a
  • the outer edge segment is arranged for serving with a holder of the membrane on a wall of a pipe
  • Socket for example, cohesive and / or hermetically sealed, to be connected, such that the membrane covers an opening provided in the wall of the tube, esp. Namely hermetically seals, and / or such that the first surface of the membrane a lumen of Pipe facing, thus protruding the sensor flag in the same lumen.
  • at least one, for example circumferential and / or annular, sealing surface may be formed in the outer edge segment and / or the outer edge segment may form a peripheral outer edge of the adjacent to the sensor flag convex portion of the first surface.
  • this further comprises: a compensating body extending from the second surface of the membrane, for example rod-shaped or plate-shaped or sleeve-shaped, for compensating forces and / or moments resulting from movements of the sensor assembly.
  • a compensating body extending from the second surface of the membrane, for example rod-shaped or plate-shaped or sleeve-shaped, for compensating forces and / or moments resulting from movements of the sensor assembly.
  • At least one region of the second surface adjoining the compensating body is concave.
  • the diaphragm and compensating body are connected to one another in a material-locking manner, for example welded or soldered to one another.
  • the sensor flag and compensation body are arranged in alignment with each other.
  • a fourth embodiment of the first development sensor module is the
  • the compensation body and the membrane are positioned and aligned with each other so that a
  • the sensor flag, balancing body and diaphragm are positioned and aligned with each other so that a main inertial axis of the sensor assembly both to a
  • Equalizing body as well as to a main axis of inertia of the diaphragm runs parallel or
  • the same main axis of inertia of the sensor assembly coincides both with the principal axis of inertia of the sensor flag and with the principal axis of inertia of the compensating body, as well as with the principal axis of inertia of the diaphragm.
  • membrane and balancing body components of one and the same monolithic molding for example, such that the sensor flag, membrane and balancing body
  • the compensation body at least partially, for example, also predominantly or completely, made of a metal, such as. a stainless steel or a nickel-based alloy.
  • membrane and balancing body made of a same material, for example, such that sensor flag, membrane and balancing body made of a same material.
  • this further comprises: a tube which can be inserted in the course of the same pipeline and having a lumen which is adapted to be inserted in the tube
  • the first development sensor module According to a first embodiment of the first development sensor module, the
  • Sensor flag a length, measured as the minimum distance between a proximal end of the sensor flag, namely adjacent to the membrane to a distal, namely from the membrane or its surface remote end of the sensor flag, which length is less than 95% of a
  • Caliber of the tube and / or more than half of the same caliber corresponds.
  • Wall of the pipe one, for example, a holding the membrane to the wall serving opening formed, and the sensor is inserted into the same opening, such that the membrane covers the opening, for example, hermetically seals, and that the first surface of the membrane facing the lumen of the tube, thus the sensor flag in the same lumen protrudes.
  • This embodiment of the invention further provides that the opening of a holding the membrane to the
  • Wall serving socket in which at least one, for example, circumferential and / or annular, sealing surface is formed.
  • the membrane may in this case also have, for example, an annular, outer edge segment, in which at least one, for example, circumferential and / or annular, sealing surface is formed, said n considerede sealing surface and the sealing surface of the socket are adapted to the opening, possibly also with an intermediate layer at least one seal, hermetically seal.
  • this further comprises: a stowage body arranged in the lumen of the tube, which is set up to effect a Kärmän vortex street in the flowing fluid.
  • a basic idea of the invention is the desired high nominal compressive strength for the sensor assembly according to the invention, not least even at high operating temperatures of over 400 ° C., or the desired improvement in the dependence of the compressive strength of the invention
  • Sensor assembly from the operating temperature causes by the membrane - in contrast to the substantially flat membranes of conventional sensor assemblies - shell-shaped and is also arranged in such a way that the sensor flag-bearing surface at least in the Convex adjacent to the sensor flag area, namely bent in the direction of the sensor flag.
  • An advantage of the invention is i.a. The fact that not only in a very simple manner, a significant improvement in the nominal compressive strength and the pressure-temperature curve of sensors of the type in question can be achieved, but that this is achieved without thereby the measuring sensitivity, namely the sensitivity of Significantly reduce the sensor to the pressure fluctuations actually to be detected.
  • a further advantage of the invention is also to be seen in the fact that the sensor assembly according to the invention, apart from the shape of the membrane, can in principle be of the same design as known sensor assemblies of conventional sensors or measurement systems formed therewith.
  • the membrane of the sensor assembly according to the invention can also be made of the same materials as conventional membranes, thus the manufacturing or marginal costs of the invention
  • Figures 1, 2 schematically in different views a - trained here as a vortex flowmeter - measuring system with a sensor and a measuring electronics for measuring at least one flow parameter of a flowing fluid in a pipe;
  • 3c, 3d are sectional views of a sensor assembly for a sensor suitable for use in a measuring system according to FIGS. 1 and 2, respectively;
  • FIG. 4a, 4b schematically in two different sectional side views another
  • Measuring system according to Figures 1 and 2 suitable sensor and schematically in a plan view a further variant of a sensor assembly for a, in particular for use in a measuring system according to the Figures 1 and 2 suitable, sensor. schematically in a plan view another variant of a sensor assembly for a, esp. For use in a measuring system according to the Fig. 1 and 2 suitable sensor.
  • Figs. 1 and 2 is an embodiment of a measuring system for measuring at least one, possibly also time-variable flow parameter, such. a flow rate v and / or a volumetric flow rate V, of a fluid flowing in a pipeline,
  • the pipeline can, for example, as a plant component of a
  • the fluid For example, steam, especially saturated steam or superheated steam, be.
  • fluid can also be, for example, a (compressed) natural gas or a biogas, thus the pipeline can, for example, also component of a natural gas or a biogas plant or a
  • the measuring system has a sensor 1, which is provided or designed for,
  • the measuring system further comprises, one - for example, in a pressure and / or impact resistant
  • the measuring electronics 2 is especially adapted to receive and process the sensor signal s1,
  • the at least one flow parameter for example the flow velocity v or the volume flow rate V, to generate measured values XM ZU.
  • the measured values X M can, for example, be visualized on site and / or - wired via a connected fieldbus and / or wirelessly - to an electronic
  • the protective housing 20 for the measuring electronics 2 may for example be made of a metal, such as a stainless steel or aluminum, and / or by means of a
  • Casting method such as an investment casting or die casting (HPDC) process; but it can also be produced, for example, by means of an injection molding process
  • the sensor 1 comprises, as shown in Fig. 2 and Figs. 3a, 3b, 3c, 3d and from a
  • a sensor assembly 1 which is formed by means of a membrane 1 1 1 and a starting from a first surface 1 1 1 + n junker membrane 1 1 1 extending sensor flag 1 12.
  • the sensor flag 1 12 has a wedge shape in the embodiment shown here; but it can also, for example, as in such sensors quite common, be formed rod or plate-shaped.
  • Membrane 1 1 1 and sensor flag 1 12 may be, for example, components of one and the same monolithic molded part, which is cast, for example, or produced by 3D laser melting; Membrane and sensor flag may also be formed as initially separate from each other or only subsequently cohesively interconnected, for example, namely, welded together or soldered, items, thus be made of materially cohesively connectable materials.
  • the diaphragm can, as is well customary in the case of sensor modules of this type, at least partially, for example predominantly or completely, consist of a metal, such as, for example, stainless steel or a nickel-based alloy.
  • the sensor flag at least partially made of a metal, for example a stainless steel or a nickel-based alloy;
  • membrane and sensor flag can also be made of the same material.
  • the sensor further includes a - for example as
  • piezoelectric transducer capacitive component formed as a component of a capacitor, or, for example, also designed as a component of a photodetector,
  • optical - Wandelerelement 2 for generating a time-varying - typically at least temporarily periodic - movements of the sensor flag or equally temporally changing deformations of the membrane representing here also serving as a sensor signal, such as a modulated by the aforementioned movements variable electrical voltage or correspondingly modulated laser light ,
  • the measuring system further comprises an insertable in the course of the aforementioned pipe 3 with one of a - for example metallic - wall 3 * of the tube enveloped lumen 3 ', the sch sch from an inlet end 3 + to an outlet end. 3 # and which is adapted to guide the fluid flowing in the pipeline.
  • the embodiment shown here is at the inlet end 3+ as well as on
  • the outlet end 3 # is provided with a flange serving to establish a leak-free flange connection, each having a corresponding flange on an inlet or outlet side of the pipeline.
  • the tube 3 is here substantially straight, for example formed as a hollow cylinder of circular cross section, such that the tube 3 has an imaginary straight longitudinal axis L connecting the inlet end 3+ and the outlet end 3 #.
  • the sensor 1 is inserted from the outside through an opening formed in the wall opening 3 "in the lumen of the tube and in the same area n thanker opening - for example, again detachably - fixed from the outside to the wall 3 * , in such a way that the surface of the first 1 1 + the
  • Diaphragm 1 1 1 the lumen 3 'of the tube 3 faces, thus protruding the sensor flag 1 12 in the same lumen.
  • the sensor 1 is inserted into the opening 3 ", that the
  • Membrane 1 1 1 covers or hermetically closes the opening 3.
  • the same opening can, for example, be designed in such a way that, as is quite customary with measuring systems of the type in question, it has an (inner) diameter which is in a range between 10 mm and about 50 mm.
  • a socket 3a serving to support the membrane on the wall 3 * is formed in the opening 3.
  • the sensor 1 can in this case be provided, for example, by materially connecting, in particular by welding or soldering, membrane 11 1 and wall 3 * be fixed to the tube 3, but it may also be, for example, also releasably connected to the tube 3, for example, screwed or screwed Socket 3a may further be formed at least one, for example, circumferential or annular, sealing surface, which is adapted to seal in conjunction with the membrane 1 1 1 and a possibly provided, for example, annular or annular disc-shaped sealing element, the opening 3 "accordingly.
  • the membrane 1 1 1 Inserted sensor assembly in the aforementioned setting 3a or that the membrane 1 1 1 is to be materially connected to the wall of the tube 3, the membrane 1 1 1 according to a further embodiment of the invention an outer, for example, substantially
  • edge segment 1 1 1 a can advantageously also be provided with a sealing surface which corresponds, for example, to the sealing surface which may be provided in the opening 3 "and / or in the form of an annular ring formed with a in the lumen of the tube 3 - here upstream of the sensor 1 - arranged, serving to effect a Kärmänsche vortex street in the flowing fluid Staugroper 4.
  • Sensor and bluff body are in this particular dimensioned and arranged so that the sensor flag 1 12 in such Extends into the lumen 3 * of the tube or the fluid guided therein, which regularly during operation of the measuring system of a (stationary trained)
  • the sensor 1 and the tube 3 are further dimensioned so that a length I of the sensor flag 112, measured at a minimum distance between a proximal end of the sensor flag 1 12 bordering on the membrane and up to a distal one, viz from the membrane 1 1 1 or whose surface 1 1 1 + removed (free) end of the sensor flag 1 12 more than half of a caliber DN of the tube 3 and less than 95% of the same caliber DN corresponds.
  • the length I can be quite common, for example - as with a comparatively small caliber of less than 50 mm or as well as from FIG. 2
  • the sensor flag 1 12 As in Measuring systems of the type in question quite common, for example, be designed to be significantly shorter than one half of a caliber of the tube. 3
  • the sensor module thus the sensor formed therewith or the measuring system formed therewith, is especially intended for this, at least occasionally a high one
  • cup-shaped namely at least partially curved, such that the first surface 1 1 1 + the membrane 1 1 1 is curved, wherein the membrane is shaped so that, as readily apparent from the synopsis of Fig. 2, 3c, 3d, 4a, 4b, at least the area adjacent to the sensor flag 112 area of the surface 1 1 1 + is convex.
  • FIGS. 2, 3c, 3d, 4a and 4b cup-shaped, namely at least partially curved, such that the first surface 1 1 1 + the membrane 1 1 1 is curved, wherein the membrane is shaped so that, as readily apparent from the synopsis of Fig. 2, 3c, 3d, 4a, 4b, at least the area adjacent to the sensor flag 112 area of the surface 1 1 1 + is convex.
  • the membrane 1 1 1 can in this case in particular be shaped so that one of the surfaces 1 1 1 + opposite, namely facing away from the lumen 3 * when installed in the tube 3 sensor 3 - here at least partially also curved and / or at least partially concave - second surface 1 1 1 # completely or
  • the membrane 1 1 1 may also be shaped so that the surface 11 1 # partially, if necessary predominantly or even completely
  • the membrane is not parallel to the surface 1 1 1 +, for example, such that the membrane has 1 1 1 in the radial direction or along at least one side line varying thicknesses.
  • the membrane is further shaped so that the adjacent to the sensor flag 1 12 region of the surface 1 1 1 + with respect to at least one imaginary symmetry axis axisymmetric.
  • the same axis of symmetry may, for example, correspond to one of the sectional lines A and B shown in FIG. 3b.
  • membrane 1 1 1 and sensor flag 1 12 hereby be formed and aligned with each other so that - as well as from a synopsis of Fig. 3a, 3b, 3c and 3c readily apparent - same axis of symmetry parallel to a main axis of inertia of the sensor flag and / / or such, that the same
  • Symmetry axis is perpendicular to a main axis of inertia of the sensor flag.
  • the sensor flag 1 12 and the membrane 1 11 also be positioned and aligned with each other, that - as well as from a synopsis of Fig.
  • a main axis of inertia of the membrane 1 1 1 in extension coincides with a main axis of inertia of the sensor flag 1 12 or that same main axis of inertia of the membrane 1 1 1 extends in extension parallel to the same axis of inertia of the sensor flag 1 12, for example, such that the same inertial main axis of the sensor flag 1 12 in Extension parallel, thus at a distance to the same main axis of inertia of the membrane 1 1 1 runs, so that - as well as in Fig. 5 indicated - same inertial main axis of the
  • Sensor flag 1 12 is not coincident with the main axis of inertia of the membrane 1 1 1.
  • Sensor tab 1 12 and diaphragm 1 1 1 may also be positioned and aligned such that an inertial major axis of the sensor flag extends in extension parallel to an inertial major axis of the sensor assembly, and / or an inertial major axis of the diaphragm becomes a major inertial axis of the sensor assembly 1 1 runs parallel or coincident with it.
  • the membrane is shaped so that the adjacent to the sensor flag 1 12 region of the first surface 1 1 1 + with respect to exactly two mutually perpendicular imaginary symmetry axes
  • Fig. 3a, 3b 3c, 3d seen - at least one of the two axes of symmetry to a
  • Inertia main axis of the sensor flag runs parallel and / or such that a
  • Inertia main axis of the sensor flag is perpendicular to one of the imaginary axes of symmetry and parallel to the other imaginary axis of symmetry.
  • the membrane 1 1 1 is according to a further embodiment of the invention is shaped so that at least the adjacent to the sensor flag 1 12 region of the surface 1 1 1 + is rotationally symmetric. As can be readily seen from a synopsis of Figs. 2, 3a, 3b 3c, 3d, the
  • Membrane 1 1 1 thereby e.g. be at least partially conical
  • Surface 1 1 1 + not least their adjacent to the sensor flag area, at least partially correspond to a lateral surface of a truncated cone, for example, such that - as well as from Figs. 2 or 3c and 3d readily apparent - an imaginary top surface n concerneden truncated cone corresponds with a cross-sectional area of the sensor flag or more similar
  • the membrane for example, be shaped so that - as shown schematically in Figures 4a, 4b - whose surface 1 1 1 +, not least their adjacent to the sensor flag area, at least partially a surface of a spherical zone corresponds, for example, such that - as well as from Fig. 4a and 4b or their synopsis apparent - an imaginary top surface n managerer spherical zone with a
  • Cross-sectional area of the sensor flag corresponds or the same cross-sectional area corresponds, so that at least the region of the first surface adjacent to the sensor flag 1 1 1 + is spherically shaped.
  • the membrane but also be shaped so that the surface 1 1 1 + is at least partially aspheric, for example, their adjacent to the sensor flag area.
  • the membrane may further be shaped in such a way that at least the segment 1 1 1 b carrying the sensor trough 112, that is, the region of the first surface 1 1 1 + which adjoins the sensor trough, is rotationally symmetrical, in particular as a rotational body having a cylinder symmetry is trained.
  • the membrane may also be shaped, not least for the purpose of further optimizing measurement sensitivity and compressive strength, such that the first surface 11 1 + of the membrane or its region adjoining the sensor tread 12 is not rotationally symmetric, for example only surface-symmetrical is and / or corresponds, for example, a segment of a lateral surface of an ellipsoid; this in particular in such a way that, as also shown in Fig. 6 or from a synopsis of Fig. 2 and Fig.
  • a largest semi-axis (r ') of the shape of the adjacent to the sensor flag area the surface 1 1 1 + corresponding ellipsoid transverse to the longitudinal axis L of the tube 3 and a central half-axis (r ") identical ellipsoid parallel to the longitudinal axis L.
  • the membrane in the manner described above, namely basically cup-shaped with a convex surface 1 1 1 + formed at least in an area adjacent to the sensor flag area, in a simple yet very effective way, a drastic increase in nominal compressive strength or a drastic improvement in dependence the compressive strength of the operating temperature can be achieved without in return a measurement sensitivity, namely a sensitivity of the sensor to the actual pressure fluctuations to be detected on a for the - not least in industrial application - typically required high accuracy less suitable measure to lower.
  • the membrane is shaped in particular so that - as well as from a synopsis of FIGS.
  • Projection area is smaller than a diaphragm diameter 2r, measured as a largest
  • the diameter of the same projection surface is smaller, in particular, than a radius r or, in the case of an elliptical projection surface, smaller than a largest semiaxis of the same projection surface, but for example also smaller than a smallest half-axis of the same projection surface
  • a compromise between the highest possible compressive strength on the one hand and the highest possible measuring sensitivity on the other hand, can be achieved, for example, by the membrane is shaped so that a diameter-to-height ratio of the membrane (2r / h), defined as a ratio of the same membrane diameter n managerer Membrane height is less than 30 and / or greater than 2, esp. Less than 20 and / or greater than 5.
  • Membrane diameter 2r to the same length I less than 2 and / or more than 0.5.
  • Membrane 1 1 1 also have, for example, zones of different thickness. Therefore, the membrane 1 1 1 is further designed according to a further embodiment of the invention so that the sensor flag 1 12 supporting segment 1 1 1 b is a center of the membrane forming the first zone with a first thickness and a first zone adjacent to, esp this second surrounding zone having a second thickness different from the first thickness, for example such that the first thickness is less than the second thickness, in particular that the first thickness corresponds to the minimum thickness db.
  • the sensor module 1 1 after a further embodiment of the invention further comprises, starting from the second surface 1 1 1 # of the membrane 1 1 1 extending, for example, rod, plate or sleeve-shaped,
  • compensation body 1 13 may also serve as a holder of the transducer element 12 or serve as a part of the transducer element 12, for example, as a movable electrode of a same (capacitive) transducer element forming capacitor.
  • the diaphragm is further shaped or the compensating body is positioned so that at least one adjoining the compensating body 1 13 region of the second surface 1 1 1 # is concave and / or rotationally symmetrical, esp. Namely parallel to the sensor flag adjacent area of the first surface 1 1 1 + runs.
  • the compensation body 1 13 may for example consist of the same material as the membrane and / or as the sensor flag, for example a metal.
  • the compensating body 1 13 may be made of a stainless steel or a nickel-based alloy.
  • membrane 1 1 1 and compensating body 1 13 cohesively connected to each other, for example, welded or soldered, thus providing compensating body 1 13 and membrane 1 1 1 from correspondingly cohesively connectable materials to produce.
  • Equalizing body 1 13 but also be components of one and the same monolithic molding, for example, such that sensor flag 1 1 1, diaphragm 1 12 and compensating body 1 13 components are the same molding.
  • Sensor flag 1 12 and compensating body 1 13 can further - as well as from a
  • FIGS. 3c and 3d or a combination of FIGS. 4a and 4b be seen - aligned with each other, such that a main axis of inertia of the sensor flag 1 12 coincides in extension with a main axis of inertia of the compensating body 1 13.
  • the compensating body 1 13 and the membrane 1 1 1 also be positioned and aligned with each other so that a main axis of inertia of the
  • sensor flag 1 12, balancing body 1 13 and membrane 1 1 1 also be positioned and aligned with each other, that - as for example, from a
  • FIGS. 2, 3a, 3b, 3c and 3d apparent - a main axis of inertia of
  • Sensor assembly 1 1 both to a main axis of inertia of the sensor flag 1 12 and a main axis of inertia of the compensation body 1 13 as well as a main axis of inertia of the
  • Membrane 1 1 1 runs parallel or both with the same inertial main axis of the sensor flag as well as with the same main axis of inertia balancing body as well as with the same
  • the main axis of inertia of the membrane coincides.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

Die Sensorbaugruppe (11) umfaßt eine schalenförmige, nämlich zumindest abschnittsweise gewölbte Membran (11) mit einer gekrümmten Oberfläche (111+) und einer gegenüberliegenden Oberfläche (111#) sowie eine sich ausgehend von der Oberfläche (111+) der Membran erstreckende Sensorfahne (12). Die Membran (11) ist so geformt, daß zumindest ein an die Sensorfahne angrenzender Bereich der Oberfläche (111+) konvex ist. Ein mittels einer solchen Sensorbaugruppe sowie eines damit gekoppelten, dem Generieren eines zeitlich ändernde Bewegungen der Sensorfahne und/oder zeitlich ändernde Verformungen der Membran repräsentierenden Sensorsignals dienenden Wandelerelements (12) gebildeter Sensor bzw. ein mittels nämlichen Sensors und einer daran angeschlossenen Meßelektronik gebildetes Meßsystem können zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid, wie etwa einem 400 C heißen Dampf, verwendet werden, etwa um einen Strömungsparameter nämlichen Fluids zu messen.

Description

Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
Die Erfindung betrifft eine Sensorbaugruppe mit einer Membran sowie eine sich ausgehend von einer Oberfläche der Membran erstreckende Sensorfahne. Ferner betrifft die Erfindung einen mittels einer solchen Sensorbaugruppe gebildeten Sensor bzw. damit gebildetes Meßsystem bzw. dessen Verwendung zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid.
In der Prozeßmeß- und Automatisierungstechnik werden für die Messung von
Strömungsgeschwindigkeiten von in Rohrleitungen strömenden Fluiden, insb. schnellströmenden und/oder heißen Gasen und/oder Fluidströmen von hoher Reynoldszahl (Re), bzw. von mit einer jeweiligen Strömungsgeschwindigkeit (u) korrespondierenden Volumen- oder Massen- Durchflußraten oftmals als Vortex-Durchflußmeßgeräte ausgebildete Meßsysteme verwendet.
Beispiele für solche, Meßsysteme sind u.a. aus der der US-A 2006/0230841 , der
US-A 2008/0072686, der US-A 201 1 /0154913, der US-A 201 1 /0247430, der US-A 60 03 384, der US-A 61 01 885, der US-B 63 52 000, der US-B 69 10 387 oder der US-B 69 38 496 bekannt und werden u.a. auch von der Anmelderin selbst angeboten, beispielsweise unter der
Warenbezeichnung "PROWIRL D 200", "PROWIRL F 200", "PROWIRL O 200", "PROWIRL R 200" (http://www.de.endress.eom/#products/prowirl).
Die gezeigten Meßsysteme weisen jeweils einen in das Lumen der jeweiligen, beispielsweise nämlich als Anlagenkomponente eines Wärmeversorgungsnetzes oder eines Turbinenkreislaufes ausgebildeten, Rohrleitung bzw. in ein Lumen eines in den Verlauf nämlicher Rohrleitung eingesetzten Meßrohrs hineinragenden, mithin vom Fluid angeströmten Staukörper zum Erzeugen von zu einer sogenannten Kärmänschen Wirbelstrasse aufgereihten Wirbeln innerhalb des unmittelbar stromabwärts des Staukörpers strömenden Teilvolumens des Fluidstroms auf. Die Wirbel werden dabei bekanntlich mit einer von der Strömungsgeschwindigkeit abhängigen
Ablöserate (1 /fvtx) am Staukörper generiert. Ferner weisen die Meßsysteme einen in den Staukörper integrierten bzw. mit diesem verbundenen oder stromabwärts desselben, nämlich im Bereich der Karman'schen Wirbelstrasse in die Strömung, mithin in Lumen der hineinragenden Sensor auf, der dazu dient Druckschwankungen in der im strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänschen
Wirbelstrasse zu erfassen und in ein die Druckschwankungen repräsentierendes Sensorsignal zu wandeln, nämlich ein - beispielsweise elektrisches oder optisches - Signal zu liefern, das mit einem innerhalb des Fluids herrschenden, infolge gegenläufiger Wirbel stromab des Staukörpers periodischen Schwankungen unterworfenen Druck korrespondiert bzw. das eine mit der Ablöserate der Wirbel korrespondierende Signalfrequenz (~ fvtx) aufweist. Der Sensor weist dafür eine mittels einer dünnen und im wesentlichen flachen Membran sowie einer sich ausgehend von einer im wesentlichen planaren Oberfläche der Membran
erstreckenden - zumeist stabförmigen, plattenförmigen oder keilförmigen - Sensorfahne gebildete Sensorbaugruppe auf, die dafür eingerichtet ist, Druckschwankungen in der Kärmänschen
Wirbelstrasse zu erfassen, nämlich in mit den Druckschwankungen korrespondierende Bewegungen der Membran zu wandeln. Die Membran weist ein - zumeist kreisringförmiges - äußeres
Randsegment auf, das dafür eingerichtet ist, mit einer dem Haltern der Membran an einer Wandung eines Rohrs dienenden Fassung hermetisch dicht, beispielsweise nämlich stoffschlüssige, verbunden zu werden, derart, daß die Membran eine in der Wandung des Rohrs vorgesehene Öffnung überdeckt bzw. hermetisch verschließt und daß die die Sensorfahne tragende Oberfläche der Membran dem Fluid führenden Lumen des Meßrohrs bzw. der Rohrleitung zugewandt ist, mithin die Sensorfahne in nämliches Lumen hineinragt. Die Membran ist so geformt, daß zumindest eine Membran-Dicke, gemessen als eine minimale Dicke eines durch das äußere Randsegment begrenzten inneren Membransegment, sehr viel kleiner als ein Membran-Durchmesser, gemessen als ein größter Durchmesser einer durch das äußere Randsegment begrenzten Fläche ist. Um eine möglichst hohe Meßemepfindlichkeit, nämliche eine möglichst hohe Empfindlichkeit des Sensors auf die zu erfassenden Druckschwankungen und zugleich eine möglichst hohe, nämlich oberhalb der höchsten zu messenden Ablöserate liegende mechanische Eigenfrequenz für den durch die Druckschwankungen erzwungenen Biegeschwingungsmode der Sensorbaugruppe zu erzielen, weisen Membranen etablierter Meßsysteme typischerweise ein Durchmesser-zu-Dicke-Verhältnis auf, das etwa in der Größenordnung von 20:1 liegt. Wie u.a. in der eingangs erwähnten
US-B 63 52 000 gezeigt, können Sensorbaugruppen der vorbezeichneten Art gelegentlich zudem einen sich ausgehend von einer der die Sensorfahne tragende Oberfläche abgewandten Oberfläche der Membran erstreckenden, zumeist stab-, platten- oder hülsenförmig ausgebildeten
Ausgleichskörper aufweisen, der im besonderen dazu dient, aus Bewegungen der Sensorbaugruppe resultierenden Kräften bzw. Momenten, beispielsweise infolge von Vibrationen der Rohrleitung, zu kompensieren bzw. daraus resultierende unerwünschte Bewegungen der Sensorfahne zu vermeiden. Zwecks des Generierens des Sensorsignals umfaßt der Sensor ferner ein entsprechendes, beispielsweise nämlich mittels eines mit der Sensorbaugruppe mechanisch gekoppelten bzw. darin integrierten Kondensator oder mittels eines als piezoelektrischer Wandler dienenden Piezostapel gebildetes, Wandelerelement, das typischerweise dafür eingerichtet ist, Bewegungen der Membran bzw. des ggf. vorhandenen Ausgleichskörper zu erfassen und einem elektrischen oder optischen Trägersignal auf zu modulieren.
Die Sensorbaugruppe bzw. der damit gebildete Sensor ist auf einer dem Fluid führenden Lumen abgewandten Seite ferner mit einer - typischerweise druck- und schlagfest gekapselten, ggf. auch nach außen hin hermetisch abgedichteten - Umformer-Elektronik verbunden. Umformer-Elektronik industrietauglichen Meßsysteme weisen üblicherweise eine entsprechende, mit dem
Wandlerelement via Anschlußleitungen, ggf. unter Zwischenschaltung elektrischer Barrieren und/oder galvanischer Trennstellen, elektrisch verbundene digitale Meßschaltung zum Verarbeiten des wenigstens einen vom Wandlerelement erzeugten Sensorsignals und zum Erzeugen von digitalen Meßwerten für die jeweils zu erfassende Meßgröße, nämlich die
Strömungsgeschwindigkeit, die Volumen-Durchflußrate und/oder die Massen-Durchflußrate, auf. Die üblicherweise in einem Schutz-Gehäuse aus Metall und/oder schlagfestem Kunststoff untergebrachte Umformer-Elektronik industrietauglicher bzw. in der industriellen Meßtechnik etablierter Meßsysteme stellen zudem zumeist auch einem Industriestandard, beispielsweise der DIN IEC 60381-1 , konforme externe Schnittstellen für die Kommunikation mit übergeordneten, beispielsweise mittels Speicherprogrammierten Steuerungen (SPS) gebildete, Meß- und/oder Reglersysteme bereit. Ein solche externe Schnittstelle kann beispielsweise als in eine Stromschleife eingliederbarer Zweileiter-Anschluß ausgebildete und/oder mit etablierten industriellen Feldbussen kompatible ausgebildet sein.
Nicht zuletzt aufgrund des meßprinzipbedingt relativ hohen Durchmesser-zu-Dicke-Verhältnisse der Membran weisen konventionelle Sensoren der in Rede stehenden Art - selbst bei Verwendung einer hochfesten Nickelbasislegierung, wie z.B. Inconel 718 (Special Metals Corp.), als
Membranmaterial - zumeist eine Druckfestigkeit, nämlich einen maximal zulässiger Betriebsdruck, oberhalb dem eine nicht reversible plastische Verformung des Sensors oder gar ein Bersten der Membran zu besorgen ist, auf, die für in bestimmten Anwendungen gelegentlich tatsächlich auftretende extrem hohe Drücke bzw. Druckstöße zu niedrig sein kann, bzw. weisen solche
Sensoren eine für solche Anwendungen zu ungünstige Abhängigkeit nämlicher Druckfestigkeit von der Betriebstemperatur (Druck-Temperatur-Kurve) auf, derart, daß beispielsweise für in eigentlich prädestinierten Heißdampfanwendungen mit Dampftemperaturen von über 400 C gelegentlich, beispielsweise infolge sogenannter kondensationsinduzierte Wasserschlägen (CIWH - condensation induced water hammers), auftretende Betriebsdrücken oberhalb von 140 bar ein zerstörungsfreies Widerstehen nicht mehr garantiert werden kann bzw. eine Verwendung eines konventionellen Meßsystems der in Rede stehenden Art aufgrund einschlägiger Rechtsvorschriften, wie z.B.
Richtlinie 97/23/EG, 14. ProdSV, ASUE U-Stamp oder andere Druckgeräterichtlinien, nicht zulässig ist.
Ausgehend davon besteht eine Aufgabe der Erfindung darin, den Aufbau von Sensorbaugruppen der in Rede stehenden Art bzw. damit gebildeten Sensoren dahingehend zu verbessern, daß im Ergebnis ein höhere Druckfestigkeit bzw. eine auch den Einsatz in Heißdampfanwendungen mit Dampftemperaturen von über 400 C und Druckspitzen von über 140 bar ermöglichende Abhängigkeit der Druckfestigkeit von der Betriebstemperatur aufweisen. Zur Lösung der Aufgabe besteht die Erfindung in einer Sensorbaugruppe für einen Sensor, beispielsweise für einen Sensor zum Erfassen von Druckschwankungen in einer in einem
strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänscher Wirbelstrasse, welche Sensorbaugruppe eine schalenförmige, nämlich zumindest abschnittsweise gewölbte Membran mit einer gekrümmten ersten Oberfläche und einer gegenüberliegenden, beispielsweise ebenfalls gekrümmten und/oder zur ersten Oberfläche zumindest teilweise parallelen und/oder zumindest teilweise nicht-parallelen, zweiten Oberfläche sowie eine sich ausgehend von der ersten Oberfläche der Membran
erstreckende, beispielsweise stabförmigen oder plattenförmige oder keilförmige, Sensorfahne umfaßt, wobei die Membran so geformt ist, daß zumindest ein an die Sensorfahne angrenzender Bereich der ersten Oberfläche konvex ist.
Darüberhinaus besteht die Erfindung in einem Sensor zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid, insb. zum Erfassen von Druckschwankungen in einer im strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänschen Wirbelstrasse, welcher Sensor eine solche Sensorbaugruppe sowie ein Wandelerelement zum Generieren eines zeitlich ändernde, beispielsweise zumindest zeitweise periodische, Bewegungen der Sensorfahne und/oder zeitlich ändernde, beispielsweise zumindest zeitweise periodische, Verformungen der Membran repräsentierenden, beispielsweise elektrischen oder optischen, Sensorsignals umfaßt.
Ferner besteht die Erfindung in einem Meßsystem zum Messen wenigstens eines, insb. zeitlich veränderlichen, Strömungsparameters, wie z.B. einer Strömungsgeschwindigkeit und/oder einer Volumendurchflußrate, eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids, welches Meßsystem zum Erfassen von Druckschwankungen im strömenden Fluid, beispielsweise nämlich zum Erfassen von Druckschwankungen in einer im strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänschen Wirbelstrasse, einen solchen Sensor sowie eine Meß-Elektronik umfaßt, die dafür eingerichtet ist, das Sensorsignal zu empfangen und zu verarbeiten, beispielsweise nämlich den wenigstens einen Strömungsparameter repräsentierende Meßwerte zu generieren. Ein weiter Aspekt der Erfindung besteht darin, ein vorbezeichnetes Meßsystem zum Messen eines Strömungsparameters - beispielsweise nämlich einer Strömungsgeschwindigkeit und/oder einer Volumendurchflußrate und/oder einer Massend urchflußrate - eines in einer Rohrleitung strömenden, beispielsweise eine Temperatur von mehr als 400°C und/oder mit einem Druck von mehr als 140 bar auf die Membran des Sensors wirkenden, Fluids, wie z.B. einem Dampf, zu verwenden.
Nach einer ersten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche asphärisch ist. Nach einer zweiten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche bezüglich wenigstens einer gedachten Symmetrieachse achsensymmetrisch ist, beispielsweise derart, daß nämliche Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß nämliche
Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne senkrecht ist.
Nach einer dritten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche bezüglich genau zweier aufeinander senkrecht stehender gedachter Symmetrieachsen achsensymmetrisch ist, beispielsweise derart, daß zumindest eine der Symmetrieachsen zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne zu einer der gedachten Symmetrieachsen senkrecht ist und zur anderen gedachten Symmetrieachse parallel verläuft.
Nach einer vierten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche rotationssymmetrisch, beispielsweises nämlich sphärisch, ist.
Nach einer fünften Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß ein die Sensorfahne tragendes Segment der Membran eine eine Mitte der Membran bildendende erste Zone mit einer ersten Dicke und eine an nämlich erste Zone angrenzende, beispielsweise nämliche erste Zone umschließende, zweite Zone mit einer von der ersten Dicke verschiedenen zweiten Dicke aufweist, etwa derart, daß die erste Dicke kleiner als die zweite Dicke ist.
Nach einer sechsten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß zumindest ein dem an die Sensorfahne angrenzenden Bereich der ersten Oberfläche
gegenüberliegender Bereich der zweiten Oberfläche konkav ist.
Nach einer siebenten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß eine Membran-Höhe, gemessen als ein minimaler Abstand eines Flächenschwerpunkts der ersten Oberfläche bis zu einer durch einen umlaufenden äußeren Rand des an die Sensorfahne angrenzenden Bereichs der ersten Oberfläche einbeschriebenen gedachten Projektionsfläche kleiner als ein Membran-Durchmesser, gemessen als ein größter Durchmesser nämlicher
Projektionsfläche, - beispielsweise kleiner als eine größte Halbachse bzw. ein Radius nämlicher Projektionsfläche - ist; dies beispielsweise auch derart, daß ein Durchmesser-zu- Höhe-Verhältnis der Membran, definiert als ein Verhältnis nämlichen Membran-Durchmessers zu nämlicher
Membran-Höhe kleiner als 30 und/oder größer als 2, und/oder derart, daß ein Verhältnis nämlichen Membran-Durchmessers zu einer Länge der Sensorfahne, gemessen als minimaler Abstand zwischen einem proximalen, nämlich an die Membran grenzenden Ende der Sensorfahne bis zu einem distalen, nämlich von der Membran bzw. deren Oberfläche entfernten Ende der Sensorfahne, weniger als 2 und/oder mehr als 0,5 beträgt.
Nach einer achten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß die Membran zumindest teilweise konusförmig ist.
Nach einer neunten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche, einer Oberfläche einer Kugelzone entspricht, beispielsweise nämlich derart, daß eine Deckfläche nämlicher
Kugelzone mit einer Querschnittsfläche der Sensorfahne korrespondiert bzw. nämlicher
Querschnittsfläche entspricht.
Nach einer zehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche einer Mantelfläche eines Kegelstumpfs entspricht.
Nach einer elften Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist die Membran so geformt, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche einem Segment einer
Mantelfläche eines Ellipsoids entspricht.
Nach einer zwölften Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Sensorfahne und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe parallel verläuft oder damit koinzidiert.
Nach einer dreizehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Sensorfahne und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Membran in Verlängerung parallel zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe verläuft, beispielsweise nämlich damit koinzidiert.
Nach einer vierzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß die Membran zumindest anteilig, beispielsweise auch überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, wie z.B. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht. Nach einer fünfzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß die Sensorfahne zumindest anteilig, beispielsweise auch überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, wie z.B. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht. Nach einer sechzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Sensorfahne aus einem gleichen Material bestehen.
Nach einer siebzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Sensorfahne Bestandteile ein und desselben, beispielsweise gegossenen oder
durch 3D-Laserschmelzen hergestellten, monolithischen Formteils sind.
Nach einer achtzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Sensorfahne stoffschlüssig miteinander verbunden, insb. nämlich miteinander verschweißt bzw. verlötet, sind.
Nach einer neunzehnten Ausgestaltung der Sensorbaugruppe weist die Membran ein,
beispielsweise kreisringförmiges und/oder mit einer Dichtfläche versehenes, äußeres Randsegment auf. Diese Ausgestaltung der Erfindung weiterbildend ist das äußere Randsegment dafür eingerichtet, mit einer dem Haltern der Membran an einer Wandung eines Rohrs dienenden
Fassung, beispielsweise stoffschlüssige und/oder hermetisch dicht, verbunden zu werden, etwa derart, daß die Membran eine in der Wandung des Rohrs vorgesehene Öffnung überdeckt, insb. nämlich hermetisch verschließt, und/oder derart, daß die erste Oberfläche der Membran einem Lumen des Rohrs zugewandt ist, mithin die Sensorfahne in nämliches Lumen hineinragt. Alternativ oder in Ergänzung kann in dem äußere Randsegment wenigstens eine, beispielsweise umlaufende und/oder kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet sein und/oder kann das äußere Randsegment einen umlaufenden äußeren Rand des an die Sensorfahne angrenzenden konvexen Bereichs der ersten Oberfläche bilden. Nach einer ersten Weiterbildung der Sensorbaugruppe umfaßt diese weiters: einen sich ausgehend von der zweiten Oberfläche der Membran erstreckenden, beispielsweise stabförmigen oder plattenförmigen oder hülsenförmigen, Ausgleichskörper zum Kompensieren von aus Bewegungen der Sensorbaugruppe resultierenden Kräften und/oder Momenten.
Nach einer ersten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß zumindest ein an den Ausgleichskörper angrenzender Bereich der zweiten Oberfläche konkav ist.
Nach einer zweiten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Ausgleichskörper stoffschlüssig miteinander verbunden, beispielsweise nämlich miteinander verschweißt bzw. verlötet, sind.
Nach einer dritten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Sensorfahne und Ausgleichskörper zueinander fluchtend angeordnet sind. Nach einer vierten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist die
Membran so geformt, daß der an den Ausgleichskörper angrenzende Bereich der zweiten
Oberfläche rotationssymmetrisch ist.
Nach einer fünften Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe sind der Ausgleichskörper und die Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet, daß eine
Trägheitshauptachse der Membran in Verlängerung parallel zu einer Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers verläuft, insb. nämlich damit koinzidiert.
Nach einer sechsten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Sensorfahne, Ausgleichskörper und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe sowohl zu einer
Trägheitshauptachse der Sensorfahne als auch zu einer Trägheitshauptachse des
Ausgleichskörpers wie auch zu einer Trägheitshauptachse der Membran parallel verläuft bzw.
nämliche Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe sowohl mit nämlicher Trägheitshauptachse der Sensorfahne als auch mit nämlicher Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers wie auch mit nämlicher Trägheitshauptachse der Membran koinzidiert.
Nach einer siebenten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Ausgleichskörper Bestandteile ein und desselben monolithischen Formteils sind, beispielsweise derart, daß Sensorfahne, Membran und Ausgleichskörper
Bestandteile nämlichen Formteils sind.
Nach einer achten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist
vorgesehen, daß der Ausgleichskörper zumindest anteilige, beispielswweise auch überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, wie z.B. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht.
Nach einer neunten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist vorgesehen, daß Membran und Ausgleichskörper aus einem gleichen Material bestehen, beispielsweise auch derart, daß Sensorfahne, Membran und Ausgleichskörper aus einem gleichen Material bestehen.
Nach einer ersten Weiterbildung des Meßsystems umfaßt dieses weiters: ein in der Verlauf nämlicher Rohrleitung einsetzbares Rohr mit einem Lumen, das dafür eingerichtet ist, das in der
Rohrleitung strömende Fluid zu führen.
Nach einer ersten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe weist die
Sensorfahne eine Länge, gemessen als minimaler Abstand zwischen einem proximalen, nämlich an die Membran grenzenden Ende der Sensorfahne bis zu einem distalen, nämlich von der Membran bzw. deren Oberfläche entfernten Ende der Sensorfahne auf, welche Länge weniger als 95% eines
Kalibers des Rohrs und/oder mehr als einer Hälfte nämlichen Kalibers entspricht.
Nach einer zweiten Ausgestaltung der ersten Weiterbildung Sensorbaugruppe ist in der
Wandung des Rohrs eine, beispielsweise auch eine dem Haltern der Membran an der Wandung dienende Fassung aufweisende, Öffnung ausgebildet, und ist der Sensor in nämliche Öffnung eingesetzt, derart, daß die Membran die Öffnung überdeckt, beispielsweise nämlich hermetisch verschließt, und daß die erste Oberfläche der Membran dem Lumen des Rohrs zugewandt ist, mithin die Sensorfahne in nämliches Lumen hineinragt. Diese Ausgestaltung der Erfindung weiterbildend ist ferner vorgesehen, daß die Öffnung eine dem Haltern der Membran an der
Wandung dienende Fassung aufweist, in der wenigstens eine, beispielsweise umlaufende und/oder kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet ist. Die Membran kann hierbei zudem ein, beispielsweise kreisringförmiges, äußeres Randsegment aufweisen, in der wenigstens eine, beispielsweise umlaufende und/oder kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet ist, wobei nämliche Dichtfläche und die Dichtfläche der Fassung dafür eingerichtet sind, die Öffnung, ggf. auch unter Zwischenlage wenigstens einer Dichtung, hermetisch zu verschließen.
Nach einer zweiten Weiterbildung des Meßsystems umfaßt dieses weiters: ein im Lumen des Rohrs angeordneten Stauköper, der dafür eingerichtet ist, im strömendem Fluid eine Kärmänsche Wirbelstrasse zu bewirken.
Ein Grundgedanke der Erfindung besteht darin, die angestrebte hohe nominelle Druckfestigkeit für die erfindungsgemäße Sensorbaugruppe, nicht zuletzt auch bei hohen Betriebstemperaturen von über 400°C, bzw. die angestrebte Verbesserung der Abhängigkeit der Druckfestigkeit der
Sensorbaugruppe von der Betriebstemperatur (Druck-Temperatur-Kurve der Sensorbaugruppe) dadurch herbeizuführen, indem die Membran - im Gegensatz zu den im wesentlichen flachen Membranen herkömmlicher Sensorbaugruppen - schalenförmig ausgebildet und darüberhinaus in der Weise angeordnet ist, daß die die Sensorfahne tragende Oberfläche zumindest in dem an die Sensorfahne grenzenden Bereich konvex, nämlich in Richtung der Sensorfahne ausgebogen ist.
Ein Vorteil der Erfindung besteht u.a. darin, daß damit nicht nur auf sehr einfache Weise eine erhebliche Verbesserung der nominellen Druckfestigkeit bzw. der Druck-Temperatur- Kurve von Sensoren der in Rede stehenden Art erzielt werden kann, sondern daß dies erreicht wird, ohne dadurch die Meßempfindlichkeit, nämlich die Empfindlichkeit des Sensors auf die eigentlich zu erfassenden Druckschwankungen nennenswert zu verringern. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist zudem auch darin zu sehen, daß die erfindungsgemäße Sensorbaugruppe, abgesehen von der Form der Membran, prinzipiell gleich aufgebaut sein kann, wie bekannte Sensorbaugruppen konventioneller Sensoren bzw. damit gebildeter Meßsysteme. Darüberhinaus kann die Membran der erfindungsgemäßen Sensorbaugruppe auch aus den gleichen Materialien gefertigt werden, wie konventionelle Membranen, mithin die Herstell- bzw. Grenzkosten der erfindungsgemäßen
Sensorbaugruppe etwa in der Größenordnung nämlicher Kosten konventioneller Sensorbaugruppen der in Rede stehenden Art liegen. Die Erfindung sowie vorteilhafte Ausgestaltungen davon werden nachfolgend anhand von
Ausführungsbeispielen näher erläutert, die in den Figuren der Zeichnung dargestellt sind. Gleiche bzw. gleichwirkende oder gleichartig fungierende Teile sind in allen Figuren mit denselben
Bezugszeichen versehen; wenn es die Übersichtlichkeit erfordert oder es anderweitig sinnvoll erscheint, wird auf bereits erwähnte Bezugszeichen in nachfolgenden Figuren verzichtet. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen oder Weiterbildungen, insb. auch Kombinationen zunächst nur einzeln erläuterter Teilaspekte der Erfindung, ergeben sich ferner aus den Figuren der Zeichnung und/oder aus den Ansprüchen. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 , 2 schematisch in verschieden Ansichten ein - hier als Wirbel-Durchflußmeßgerät ausgebildetes - Meßsystem mit einem Sensor und einer Meß-Elektronik zum Messen wenigstens eines Strömungsparameters eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids;
Fig. 3a, 3b, schematisch, gleichwohl jeweils maßstäblich in verschiedenen, teilweise auch
3c, 3d geschnittenen Ansichten eine Sensorbaugruppe für einen, insb. für die Verwendung in einem Meßsystem gemäß der Fig. 1 bzw. 2 geeigneten, Sensor;
Fig. 4a, 4b schematisch in zwei verschiedenen geschnittenen Seitenansichten eine weitere
Variante einer Sensorbaugruppe für einen, insb. zur Verwendung in einem
Meßsystem gemäß der Fig. 1 bzw. 2 geeigneten, Sensor; und schematisch in einer Aufsicht eine weitere Variante einer Sensorbaugruppe für einen, insb. zur Verwendung in einem Meßsystem gemäß der Fig. 1 bzw. 2 geeigneten, Sensor; schematisch in einer Aufsicht eine weitere Variante einer Sensorbaugruppe für einen, insb. zur Verwendung in einem Meßsystem gemäß der Fig. 1 bzw. 2 geeigneten, Sensor.
In Fig. 1 und 2 ist ein Ausführungsbeispiel für ein Meßsystem zum Messen wenigstens eines, ggf. auch zeitlich veränderlichen Strömungsparameters, wie z.B. einer Strömungsgeschwindigkeit v und/oder einer Volumendurchflußrate V, eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids,
beispielsweise eines heißen, insb. eine Temperatur von mehr als 400°C aufweisenden, und/oder zumindest zeitweise unter einem hohen Druck, insb. von mehr als 140 bar, stehenden Gases, gezeigt. Die Rohrleitung kann beispielsweise als Anlagenkomponente eines
Wärmeversorgungsnetzes oder eines Turbinenkreislaufes ausgebildet, mithin kann das Fluid beispielsweise Dampf, insb. auch gesättigter Dampf oder überhitzter Dampf, sein. Fluid kann aber beispielsweise auch ein (komprimiertes) Erd- oder ein Biogas sein, mithin kann die Rohrleitung beispielsweise auch Komponente einer Erd- oder einer Biogasanlage oder einer
Gasversorgungsnetzes sein.
Das Meßsystem weist einen Sensor 1 auf, der dafür vorgesehen bzw. ausgestaltet ist,
Druckschwankungen im strömenden Fluid zu erfassen und in ein mit nämlichen
Druckschwankungen korrespondierendes, beispielsweise elektrisches oder optisches,
Sensorsignal s1 zu wandeln. Wie aus der Zusammenschau der Fig. 1 und 2 ersichtlich, umfaßt das Meßsystem desweiteren, eine - beispielsweise in einem druck- und/oder schlagfesten
Schutzgehäuse 20 untergebrachte - Meß-Elektronik 2, die an den Sensor 1 angeschlossen ist bzw. im Betrieb des Meßsystems mit dem Sensor 1 kommuniziert. Die Meß-Elektronik 2 ist im besonderen dafür eingerichtet, das Sensorsignal s1 zu empfangen und zu verarbeiten,
beispielsweise nämlich den wenigstens einen Strömungsparameters, beispielsweise also die Strömungsgeschwindigkeit v bzw. die Volumendurchflußrate V, repräsentierende Meßwerte XM ZU generieren. Die Meßwerte XM können beispielsweise vor Ort visualisiert und/oder - drahtgebunden via angeschlossenen Feldbus und/oder drahtlos per Funk - an ein elektronisches
Datenverarbeitungssystem, etwa eine Speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) und/oder einen Prozeßleitstand, übermittelt werden. Das Schutzgehäuse 20 für die Meß-Elektronik 2 kann beispielsweise aus einem Metall, etwa einem Edelstahl oder Aluminium, und/oder mittels eines
Gießverfahrens, wie z.B. einem Feinguß- oder einem Druckgußverfahren (HPDC), hergestellt sein; es kann aber beispielsweise auch mittels eines in einem Spritzgießverfahren hergestellten
Kunststoffformteils gebildet sein. Der Sensor 1 umfaßt, wie auch in Fig. 2 und den Fig. 3a, 3b, 3c, 3d dargestellt bzw. aus einer
Zusammenschau nämlicher Figuren ohne weiteres ersichtlich, eine Sensorbaugruppe 1 1 , die mittels einer Membran 1 1 1 sowie einer sich ausgehend von einer ersten Oberfläche 1 1 1 + nämlicher Membran 1 1 1 erstreckenden Sensorfahne 1 12 gebildet ist. Die Sensorfahne 1 12 weist im hier gezeigten Ausführungsbeispiel eine Keilform auf; sie kann aber beispielsweise auch, wie bei derartigen Sensoren durchaus üblich, stab- oder plattenformig ausgebildet sein. Membran 1 1 1 und Sensorfahne 1 12 können beispielsweise Bestandteile ein und desselben monolithischen Formteils sein, das beispielsweise gegossen oder durch 3D-Laserschmelzen hergestellt ist; Membran und Sensorfahne können aber auch als zunächst voneinander getrennte bzw. erst nachträglich stoffschlüssig miteinander verbundene, beispielsweise nämlich miteinander verschweißte bzw. verlötete, Einzelteile ausgebildet, mithin aus entsprechend stoffschlüssig miteinander verbindbaren Materialien hergestellt sein. Die Membran kann, wie bei derartigen Sensorbaugruppen durchaus üblich, zumindest anteilig, beispielsweise nämlich überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, wie z.B. Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, bestehen. Ebenso kann auch die Sensorfahne zumindest anteilig aus einem Metall, beispielsweisenämlich einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, bestehen; insbesondere können Membran und Sensorfahne auch aus dem gleichen Material hergestellt werden. Neben der Sensorbaugruppe 1 umfaßt der Sensor desweiteren ein - beispielsweise als
piezoelektrischer Wandler, als Komponente eines Kondensators ausgebildetes, kapazitives oder beispielsweise auch als Komponente eines Fotodetektor ausgebildetes,
optisches - Wandelerelement 2 zum Generieren eines zeitlich ändernde - typischerweise nämlich zumindest zeitweise periodische - Bewegungen der Sensorfahne bzw. gleichermaßen zeitlich ändernde Verformungen der Membran repräsentierenden, hier auch als Sensorsignal dienenden Signals, beispielsweise eine durch die vorbezeichneten Bewegungen modulierte veränderliche elektrische Spannung oder entsprechend moduliertes Laserlicht.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung umfaßt das Meßsystem ferner ein in der Verlauf der vorbezeichneten Rohrleitung einsetzbares Rohr 3 mit einem von einer - beispielsweise metallischen - Wandung 3* des Rohrs umhüllten Lumen 3', das sch von einem Einlaßende 3+ bis zu einem Auslaßende 3# erstreckt und das dafür eingerichtet ist, das in der Rohrleitung strömende Fluid zu führen. Im hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist am Einlaßende 3+ wie auch am
Auslaßende 3# jeweils ein dem Herstellen einer leckfreien Flanschverbindung mit jeweils einem korrespondierenden Flansch an einem ein- bzw. auslaßseitig Leitunsgsegment der Rohrleitung dienender Flansch vorgesehen. Ferner ist das Rohr 3 hier im wesentlichen gerade, beispielsweise nämlich als Hohlzylinder mit kreisförmigem Querschnitt ausgebildet, derart, daß das Rohr 3 eine das Einlaßende 3+ und das Auslaßende 3# imaginär verbindende gedachte gerade Längsachse L aufweist. Der Sensor 1 ist von außen durch eine in der Wandung eingeformte Öffnung 3" hindurch in das Lumen des Rohrs eingeführt und im Bereich nämlicher Öffnung - beispielsweise auch wieder lösbar - von außen an der Wandung 3* fixiert, und zwar so, daß die Oberfläche 1 1 1 + der
Membran 1 1 1 dem Lumen 3' des Rohrs 3 zugewandt ist, mithin die Sensorfahne 1 12 in nämliches Lumen hineinragt. Insbesondere ist der Sensor 1 so in die Öffnung 3"eingesetzt, daß die
Membran 1 1 1 die Öffnung 3" überdeckt bzw. hermetisch verschließt. Nämliche Öffnung kann beispielsweise so ausgebildet sein, daß sie- wie bei Meßsystemen der in Rede stehenden Art durchaus üblich - einen (Innen-) Durchmesser aufweist, der in einem Bereich zwischen 10 mm und ca. 50 mm liegt.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist in der der Öffnung 3" eine dem Haltern der Membran an der Wandung 3* dienende Fassung 3a ausgebildet. Der Sensor 1 kann hierbei beispielsweise durch stoffschlüssiges Verbinden, insb. nämlich durch Verschweißen oder Verlöten, von Membran 1 1 1 und Wandung 3* am Rohr 3 fixiert sein; er kann aber beispielsweise auch mit dem Rohr 3 lösbar verbundenen, beispielsweise nämlich ver- bzw. angeschraubt sein. In der der Fassung 3a kann ferner wenigstens eine, beispielsweise auch umlaufende bzw. kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet sein, die dafür eingerichtet ist, im Zusammenspiel mit der Membran 1 1 1 und einem ggf. vorgesehenen, beispielsweise ringförmige oder ringscheibenförmige, Dichtelement die Öffnung 3" entsprechend abzudichten. Nicht zuletzt für den vorbeschriebenen Fall, daß die
Sensorbaugruppe in die vorbezeichnete Fassung 3a eingesetzt bzw. daß die Membran 1 1 1 stoffschlüssig mit der Wandung des Rohrs 3 verbunden werden soll, weist die Membran 1 1 1 nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ein äußeres, beispielsweise im wesentlichen
kreisringförmiges, Randsegment 1 1 1 a mit einer Dicke da auf, die - wie in den Fig. 2 bzw.
3a, 3b, 3c, 3d angedeutet - im Vergleich zu einer minimalen Dicke db eines von nämlichem
Randsegment 1 1 1 a eingeschlossen inneren - hier nämlich die Sensorfahne 1 12
tragenden - Segment 1 1 1 b wesentlich größer ist. Nämliches Randsegment 1 1 1 a kann in vorteilhafter Weise ferner mit einer, beispielsweise auch mit der in der Öffnung 3" ggf. vorgesehenen Dichtfläche korrespondierenden und/oder kreisringartigen, Dichtfläche versehen sein. Im hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Meßsystem speziell als ein Wirbel-Durchflußmeßgrät mit einem im Lumen des Rohrs 3 - hier nämlich stromaufwärts des Sensors 1 - angeordneten, dem Bewirken einer Kärmänsche Wirbelstrasse im strömenden Fluid dienenden Stauköper 4 ausgebildet. Sensor und Staukörper sind hierbei im besonderen so dimensioniert und angeordnet, daß die Sensorfahne 1 12 in einem solchen Bereich in das Lumen 3* des Rohrs bzw. das darin geführte Fluid hineinragt, der im Betrieb des Meßsystems regelmäßig von einer (stationär ausgebildeten)
Kärmänschen Wirbelstrasse eingenommen wird, so daß die mittels des Sensors 1 erfaßten
Druckschwankungen durch am Staukörper 4 mit einer Ablösrate (~ 1/fvtx) abgelöste gegenläufige Wirbel verursachte periodische Druckschwankungen sind und das Sensorsignal s1 eine mit der Ablöserate nämlicher Wirbel korrespondierende Signalfrequenz (~ fVtx) aufweist. Im hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Wirbel-Durchflußmeßgrät zudem als ein Meßsystem in
Kompaktbauweise ausgebildet, bei dem die Meß-Elektronik 2 in einem - beispielsweise mittels eines halsförmigen Anschlußstutzen 30 - am Rohr gehalterten Schutzgehäuse 20 untergebracht ist.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind der Sensor 1 und das Rohr 3 ferner so dimensioniert, daß eine Länge I der Sensorfahne 112, gemessen als minimaler Abstand zwischen einem proximalen, nämlich an die Membran grenzenden Ende der Sensorfahne 1 12 bis zu einem distalen, nämlich von der Membran 1 1 1 bzw. deren Oberfläche 1 1 1 + entfernten (freien) Ende der Sensorfahne 1 12 mehr als einer Hälfte eines Kalibers DN des Rohrs 3 bzw. weniger als 95% nämlichen Kalibers DN entspricht. Die Länge I kann beispielsweise - wie bei vergleichsweise kleinem Kaliber von weniger als 50 mm durchaus üblich bzw. wie auch aus der Fig. 2
ersichtlich - auch so gewählt sein, daß nämliches distales Ende der Sensorfahne 1 12 nur noch einen sehr geringen minimalen Abstand zur Wandung 3* des Rohrs 3 aufweist. Bei Rohren mit vergleichsweise großem Kaliber von 50 mm oder mehr kann die Sensorfahne 1 12, wie bei Meßsystemen der in Rede stehenden Art durchaus üblich, beispielsweise auch deutlich kürzer ausgebildet sein, als eine Hälfte eines Kalibers des Rohrs 3.
Wie bereits erwähnt, ist die Sensorbaugruppe, mithin der damit gebildete Sensor bzw. das damit gebildete Meßsystem im besonderen dafür vorgesehen, zumindest gelegentlich eine hohe
Temperatur von mehr als 400° und einen hohen Druck von mehr als 140 bar aufweisendes Fluid zu messen bzw. messen zu können. Um eine dafür erforderliche Korrelation zwischen Druckfestigkeit und Betriebstemperatur (Druck-Temperatur-Kurve) zu erreichen, ist die Membran der
erfindungsgemäßen Sensorbaugruppe, wie auch in den Fig. 2, 3c, 3d, 4a bzw. 4b jeweils schematisch dargestellt, schalenförmig ausgebildet, nämlich zumindest abschnittsweise gewölbt, derart, daß die ersten Oberfläche 1 1 1 + der Membran 1 1 1 gekrümmt ist, wobei die Membran so geformt ist, daß, wie aus der Zusammenschau der Fig. 2, 3c, 3d, 4a, 4b ohne weiteres ersichtlich, zumindest der an die Sensorfahne 112 angrenzende Bereich der Oberfläche 1 1 1 + konvex ist. Wie in den Fig. 2, 3c, 3d schematisch dargestellt kann die Membran 1 1 1 hierbei im besonderen so geformt sein, daß eine der Oberfläche 1 1 1 + gegenüberliegende, nämlich bei in das Rohr 3 eingebauter Sensorbaugruppe 1 vom Lumen 3* abgewandte - hier zumindest teilweise ebenfalls gekrümmte und/oder zumindest teilweise konkave - zweite Oberfläche 1 1 1# vollständig bzw.
zumindest überwiegend parallel zur ersten Oberfläche 1 1 1 + verläuft und/oder daß ein Bereich der zweiten Oberfläche 1 1 1#, der dem die Sensorfahne tragenden konvexen Bereich der
Oberfläche 1 1 1 + gegenüberliegt, konkav ist; falls erforderlich kann die Membran 1 1 1 auch so geformt sein, das die Oberfläche 11 1# teilweise, ggf. überwiegend oder auch vollständig
nicht-parallel ist zur Oberfläche 1 1 1 +, beispielsweise derart, daß die Membran 1 1 1 in radialer Richtung bzw. entlang wenigstens einer Seitenlinie variierende Dicken aufweist. Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Membran ferner so geformt, daß der an die Sensorfahne 1 12 angrenzende Bereich der Oberfläche 1 1 1 + bezüglich wenigstens einer gedachten Symmetrieachse achsensymmetrisch. Nämliche Symmetrieachse kann beispielsweise einer der in Fig. 3b eingezeichneten Schnittlinien A bzw. B entsprechen. Ferner können Membran 1 1 1 und Sensorfahne 1 12 hierbei so ausgebildet und zueinander ausgerichtet sein, daß - wie auch aus einer Zusammenschau der Fig. 3a, 3b, 3c und 3c ohne weiteres ersichtlich - nämliche Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß nämliche
Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne senkrecht ist. Alternativ oder in Ergänzung können die Sensorfahne 1 12 und die Membran 1 11 zudem so positioniert und zueinander ausgerichtet sein, daß - wie auch aus einer Zusammenschau der Fig. 3a, 3b, 3c und 3c ohne weiteres ersichtlich - eine Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 in Verlängerung mit einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 koinzidiert oder daß nämliche Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 in Verlängerung parallel zu nämlicher Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 verläuft, beispielsweise auch derart, daß nämliche Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 in Verlängerung parallel, mithin im Abstand zu nämlicher Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 verläuft, so daß - wie auch in Fig. 5 angedeutet - nämliche Trägheitshauptachse der
Sensorfahne 1 12 nicht mit der Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 koinzidiert. Sensorfahne 1 12 und Membran 1 1 1 können zudem auch so positioniert und zueinander ausgerichtet sein, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne in Verlängerung parallel zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe verläuft bzw. damit koinzidiert, und/oder daß eine Trägheitshauptachse der Membran zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe 1 1 parallel verläuft bzw. damit koinzidiert. Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist ferner vorgesehen bzw. ist die Membran so geformt, daß der an die Sensorfahne 1 12 angrenzende Bereich der ersten Oberfläche 1 1 1 + bezüglich genau zweier aufeinander senkrecht stehender gedachter Symmetrieachsen
achsensymmetrisch ist, beispielsweise nämlich derart, daß - wie auch aus einer Zusammenschau der Fig. 3a, 3b 3c, 3d ersichtlich - zumindest eine der beiden Symmetrieachsen zu einer
Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß eine
Trägheitshauptachse der Sensorfahne zu einer der gedachten Symmetrieachsen senkrecht ist und zur anderen gedachten Symmetrieachse parallel verläuft.
Die Membran 1 1 1 ist nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung so geformt ist, daß zumindest der an die Sensorfahne 1 12 angrenzende Bereich der Oberfläche 1 1 1 + rotationssymmetrisch ist. Wie aus einer Zusammenschau der Fig. 2, 3a, 3b 3c, 3d ohne weiteres ersichtlich, kann die
Membran 1 1 1 dabei z.B. zumindest teilweise konusförmig ausgbildet sein, mithin kann die
Oberfläche 1 1 1 +, nicht zuletzt auch deren an die Sensorfahne angrenzende Bereich, zumindest teilweise einer Mantelfläche einer Kegelstumpf entsprechen, beispielsweise derart, daß - wie auch aus den Fig. 2 bzw. 3c und 3d ohne weiteres ersichtlich - eine gedachte Deckfläche nämlichen Kegelstumpfs mit einer Querschnittsfläche der Sensorfahne korrespondiert bzw. nämlicher
Querschnittsfläche entspricht. Alternativ oder in Ergänzung kann die Membran, beispielsweise auch so geformt sein, daß - wie in den Fig. 4a, 4b schematisch dargestellt - deren Oberfläche 1 1 1 +, nicht zuletzt auch deren an die Sensorfahne angrenzende Bereich, zumindest teilweise einer Oberfläche einer Kugelzone entspricht, beispielsweise derart, daß - wie auch aus Fig. 4a und 4b bzw. deren Zusammenschau ersichtlich - eine gedachte Deckfläche nämlicher Kugelzone mit einer
Querschnittsfläche der Sensorfahne korrespondiert bzw. nämlicher Querschnittsfläche entspricht, daß also zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche 1 1 1 + sphärisch geformt ist. Alternativ oder in Ergänzung die Membran aber auch so geformt sein, daß die Oberfläche 1 1 1 + zumindest teilweise asphärisch ist, beispielsweise auch deren an die Sensorfahne angrenzende Bereich. Die Membran ist kann ferner in so geformt sein, daß zumindest das die Sensorfahne 112 tragende, mithin das den an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche 1 1 1 + bildende Segment 1 1 1 b rotationssymmetrisch ist, insb. nämlich als ein Zylindersymmetrie aufweisender Rotationskörper ausgebildet ist. Alternativ kann die die Membran aber auch so geformt sein, nicht zuletzt zwecks einer weiteren Optimierung von Meßempfindlichkeit und Druckfestigkeit, daß die erste Oberfläche 1 1 1 + der Membran bzw. deren an die Sensorfahne 1 12 angrenzende Bereich nicht rotationssymmetrisch ist, beispielsweise nämlich lediglich flächensymmetrisch ist und/oder beispielsweise einem Segment einer Mantelfläche eines Ellipsoids entspricht; dies im besonderen in der Weise, daß, wie auch in Fig. 6 gezeigt bzw. aus einer Zusammenschau von Fig. 2 und Fig. 6 ersichtlich, im Ergebnis eine größte Halbachse (r') des der Form des dem an die Sensorfahne angrenzenden Bereich der Oberfläche 1 1 1 + entsprechenden Ellipsoids quer zur Längsachse L des Rohrs 3 und eine mittlere Halbachse (r") nämlichen Ellipsoiden parallel zur Längsachse L verlaufen.
Indem die Membran in der vorbezeichneten Weise geformt, nämlich grundsätzlich schalenförmig mit konvexer Oberfläche 1 1 1 + zumindest in einem an die Sensorfahne grenzenden Bereich ausgebildet ist, kann auf einfache gleichwohl sehr effektive Weise eine drastische Erhöhung der nominellen Druckfestigkeit bzw. eine drastische Verbesserung der Abhängigkeit der Druckfestigkeit von der Betriebstemperatur erzielt werden, ohne im Gegenzug eine Meßempfindlichkeit, nämlich eine Empfindlichkeit des Sensors auf die eigentlich zu erfassenden Druckschwankungen auf ein für die - nicht zuletzt auch in industriellen Anwendung - typischerweise geforderte hohe Meßgenauigkeit untaugliches Maß abzusenken. Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Membran im besonderen so geformt ist, daß - wie auch aus einer Zusammenschau der Fign. 3a, 3b, 3c und 3d ohne weiteres ersichtlich - eine Membran-Höhe h, gemessen als ein minimaler Abstand eines Flächenschwerpunkts der Oberfläche 1 1 1 + bis zu einer durch einen umlaufenden - beispielsweise auch unmittelbar an das vorbezeichnete Randsegment 1 1 1 a grenzenden - äußeren Rand des an die Sensorfahne angrenzenden Bereichs der ersten Oberfläche einbeschriebenen gedachten
Projektionsfläche kleiner ist als ein Membran-Durchmesser 2r, gemessen als ein größter
Durchmesser nämlicher Projektionsfläche ist, insb. nämlich kleiner ist als ein Radius r bzw. - im Falle einer elliptischen Projektionsfläche - kleiner ist eine größte Halbachse r' nämlicher Projektionsfläche, beispielsweise aber auch kleiner ist als eine kleinste Halbachse r" nämlicher Projektionsfläche. Ein sehr guter Kompromiss zwischen möglichst hoher Druckfestigkeit einerseits und möglichst hoher Meßempfindlichkeit anderseits kann beispielsweise erreicht werden, indem die Membran so geformt ist, daß ein Durchmesser-zu- Höhe-Verhältnis der Membran (2r/h), definiert als ein Verhältnis nämlichen Membran-Durchmessers zu nämlicher Membran-Höhe kleiner als 30 und/oder größer als 2, insb. kleiner als 20 und/oder größer als 5, gewählt bzw. ausgebildet ist. Alternativ oder in
Ergänzung kann die Membran 1 1 1 , abgestimmt auf die vorbezeichnete Länge I der
Sensorfahne 1 12, ferner so dimensioniert sein, daß ein Verhältnis nämlichen
Membran-Durchmessers 2r zu nämlicher Länge I weniger als 2 und/oder mehr als 0,5 beträgt. Zwecks einer weiteren Optimierung von Meßempfindlichkeit und Druckfestigkeit kann die
Membran 1 1 1 zudem beispielsweise auch Zonen unterschiedlicher Dicke aufweisen. Daher ist die Membran 1 1 1 nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ferner so ausgebildet, daß das die Sensorfahne 1 12 tragenden Segment 1 1 1 b eine eine Mitte der Membran bildenden erste Zone mit einer ersten Dicke und eine an nämlich erste Zone angrenzende, insb. diese umschließende, zweite Zone mit einer von der ersten Dicke verschiedenen zweiten Dicke aufweist, beispielsweise derart, daß die erste Dicke kleiner als die zweite Dicke ist, insb. nämlich daß die erste Dicke der minimalen Dicke db entspricht.
Zum Kompensieren von aus allfälligen Bewegungen der Sensorbaugruppe - etwa infolge von Vibration der angeschlossenen Rohrleitung, resultierenden Kräften und/oder Momenten bzw. zum Vermeiden von daraus resultierenden unerwünschten, nämlich das Sensorsignal s1 verfälschenden Bewegungen der Sensorfahne bzw. der Membran weist die Sensorbaugruppe 1 1 nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ferner einen sich ausgehend von der zweiten Oberfläche 1 1 1# der Membran 1 1 1 erstreckenden, beispielsweise stab-, platten- oder hülsenförmigen,
Ausgleichskörper 1 13 auf. Nämlicher Ausgleichskörper 1 13 kann zudem auch als eine Halterung des Wandlerelements 12 dienen oder auch als ein Bestandteil des Wandlerelements 12 dienen, beispielsweise als eine bewegliche Elektrode eines nämliches (kapazitives) Wandlerelement bildenden Kondensators. Nach einer weiteren Ausgestaltung ist die Membran ferner so geformt bzw. ist der Ausgleichskörper so positioniert, daß zumindest ein an den Ausgleichskörper 1 13 angrenzender Bereich der zweiten Oberfläche 1 1 1# konkav und/oder rotationssymmetrisch ist, insb. nämlich parallel zum an die Sensorfahne angrenzenden Bereich der ersten Oberfläche 1 1 1 + verläuft.
Der Ausgleichskörper 1 13 kann beispielsweise aus dem gleichen Material bestehen, wie die Membran und/oder wie die Sensorfahne, beispielsweise einem Metall. Beispielsweise kann der Ausgleichskörper 1 13 nämlich aus einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung hergestellt sein. Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind Membran 1 1 1 und Ausgleichskörper 1 13 stoffschlüssig miteinander verbunden, beispielsweise miteinander verschweißt bzw. verlötet, mithin ist vorgesehen, Ausgleichskörper 1 13 und Membran 1 1 1 aus entsprechend stoffschlüssig miteinander verbindbaren Materialien herzustellen. Alternativ können Membran 1 1 1 und
Ausgleichskörper 1 13 aber auch Bestandteile ein und desselben monolithischen Formteils sein, beispielsweise auch derart, daß Sensorfahne 1 1 1 , Membran 1 12 und Ausgleichskörper 1 13 Bestandteile nämlichen Formteils sind.
Sensorfahne 1 12 und Ausgleichskörper 1 13 können desweiteren - wie auch aus einer
Zusammenschau der Fig. 3c und 3d bzw. einer Zusammenschau der Fig. 4a und 4b ersichtlich - zueinander fluchtend angeordnet sein, derart, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 in Verlängerung mit einer Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers 1 13 koinzidiert. Alternativ oder in Ergänzung können der Ausgleichskörper 1 13 und die Membran 1 1 1 zudem so positioniert und zueinander ausgerichtet sein, daß eine Trägheitshauptachse der
Membran 1 1 1 in Verlängerung mit einer Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers 1 13 koinzidiert oder auch so, daß nämliche Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 in Verlängerung parallel zu nämlicher Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers 1 13 verläuft; dies beispielsweise auch derart, daß Sensorfahne 1 12 und Ausgleichskörper 1 13 in der vorbezeichneten Weise miteinander fluchten, jedoch sowohl die Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers als auch Trägheitshauptachse der Sensorfahne jeweils in Verlängerung parallel, mithin im Abstand zur Trägheitshauptachse der Membran verlaufen, so daß also nicht nur nämliche Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 - wie beispielsweise auch in Fig. 5 gezeigt -, sondern auch nämliche Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers 1 13 mit der Trägheitshauptachse der Membran 1 1 1 nicht koinzidiert.
Darüberhinaus können Sensorfahne 1 12, Ausgleichskörper 1 13 und Membran 1 1 1 auch so positioniert und zueinander ausgerichtet sein, daß - wie beispielsweise auch aus einer
Zusammenschau der Fig. 2, 3a, 3b, 3c und 3d ersichtlich - eine Trägheitshauptachse der
Sensorbaugruppe 1 1 sowohl zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne 1 12 als auch einer Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers 1 13 wie auch einer Trägheitshauptachse der
Membran 1 1 1 parallel verläuft oder sowohl mit nämlicher Trägheitshauptachse der Sensorfahne als auch mit nämlicher Trägheitshauptachse Ausgleichskörpers wie auch mit nämlicher
Trägheitshauptachse der Membran koinzidiert.

Claims

P A T E N T A N S P R Ü C H E
1. Sensorbaugruppe für einen Sensor, insb. für einen Sensor zum Erfassen von
Druckschwankungen in einer in einem strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänscher Wirbelstrasse, welche Sensorbaugruppe umfaßt:
- eine schalenförmige, nämlich zumindest abschnittsweise gewölbte Membran (1 1 1 ) mit einer gekrümmten ersten Oberfläche (1 1 1 +) und einer gegenüberliegenden, insb. gekrümmten und/oder zur ersten Oberfläche (1 1 1 +) zumindest teilweise parallelen und/oder zumindest teilweise nicht-parallelen, zweiten Oberfläche (1 1 1#);
- sowie eine sich ausgehend von der ersten Oberfläche (1 1 1 +) der Membran erstreckende, insb. stabförmigen oder plattenförmige oder keilförmige, Sensorfahne (1 12);
- wobei die Membran so geformt ist, daß zumindest ein an die Sensorfahne angrenzender Bereich der ersten Oberfläche (1 1 1 +) konvex ist.
2. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche,
- wobei die Membran (11 1 ) so geformt ist, daß der an die Sensorfahne (1 12) angrenzende Bereich der ersten Oberfläche (1 1 1 +) asphärisch ist; und/oder
- wobei die Membran (11 1 ) so geformt ist, daß der an die Sensorfahne (1 12) angrenzende Bereich der ersten Oberfläche (1 1 1 +) bezüglich wenigstens einer gedachten Symmetrieachse
achsensymmetrisch, insb. derart, daß nämliche Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß nämliche Symmetrieachse zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne senkrecht ist.
3. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Membran so geformt ist, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche bezüglich genau zweier aufeinander senkrecht stehender gedachter Symmetrieachsen achsensymmetrisch ist, insb. derart, daß zumindest eine der Symmetrieachsen zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne parallel verläuft und/oder derart, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne zu einer der gedachten Symmetrieachsen senkrecht ist und zur anderen gedachten Symmetrieachse parallel verläuft.
4. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Membran so geformt ist, daß der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche rotationssymmetrisch, insb. sphärisch, ist.
5. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche,
- wobei ein die Sensorfahne (1 12) tragendes Segment (1 1 1 b) der Membran eine eine Mitte der Membran bildendende erste Zone mit einer ersten Dicke und eine an nämlich erste Zone angrenzende, insb. diese umschließende, zweite Zone mit einer von der ersten Dicke
verschiedenen zweiten Dicke aufweist, insb. derart, daß die erste Dicke kleiner als die zweite Dicke ist; und/oder
- wobei zumindest ein dem an die Sensorfahne angrenzenden Bereich der ersten Oberfläche gegenüberliegender Bereich der zweiten Oberfläche konkav ist; und/oder
- wobei die Membran so geformt ist, daß eine Membran-Höhe, gemessen als ein minimaler Abstand eines Flächenschwerpunkts der ersten Oberfläche bis zu einer durch einen umlaufenden äußeren
Rand des an die Sensorfahne angrenzenden Bereichs der ersten Oberfläche einbeschriebenen gedachten Projektionsfläche kleiner als ein Membran-Durchmesser, gemessen als ein größter Durchmesser nämlicher Projektionsfläche ist, insb. derart, daß nämlicher Membran-Durchmesser kleiner als eine größte Halbachse bzw. kleiner als ein Radius nämlicher Projektionsfläche, ist und/oder daß ein Durchmesser-zu- Höhe-Verhältnis der Membran, definiert als ein Verhältnis nämlichen Membran-Durchmessers zu nämlicher Membran-Höhe kleiner als 30 und/oder größer als 2, insb. kleiner als 20 und/oder größer als 5, ist, und/oder derart, daß ein Verhältnis nämlichen Membran-Durchmessers zu einer Länge der Sensorfahne (1 12), gemessen als minimaler Abstand zwischen einem proximalen, nämlich an die Membran (1 1 1 ) grenzenden Ende der
Sensorfahne (1 12) bis zu einem distalen, nämlich von der Membran (1 1 1 ) bzw. deren
Oberfläche (1 1 1 +) entfernten Ende der Sensorfahne (1 12), weniger als 2 und/oder mehr als 0,5 beträgt.
6. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Membran zumindest teilweise konusförmig ist.
7. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Membran so geformt ist, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche, einer Oberfläche einer Kugelzone entspricht, insb. derart, daß eine Deckfläche nämlicher Kugelzone mit einer
Querschnittsfläche der Sensorfahne korrespondiert bzw. nämlicher Querschnittsfläche entspricht.
8. Sensorbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Membran so geformt ist, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche einer Mantelfläche eines Kegelstumpfs entspricht.
9. Sensorbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Membran so geformt ist, daß zumindest der an die Sensorfahne angrenzende Bereich der ersten Oberfläche einem Segment einer Mantelfläche eines Ellipsoids entspricht.
10. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche,
- wobei Sensorfahne und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorfahne zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe parallel verläuft oder damit koinzidiert, und/oder
- wobei Sensorfahne und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Membran in Verlängerung parallel zu einer Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe verläuft, insb. nämlich damit koinzidiert.
1 1. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche,
- wobei die Membran zumindest anteilig, insb. überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, insb. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht; und/oder
- wobei die Sensorfahne zumindest anteilig, insb. überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, insb. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht; und/oder
- wobei Membran und Sensorfahne aus einem gleichen Material bestehen; und/oder
- wobei Membran und Sensorfahne Bestandteile ein und desselben, beispielsweise gegossenen oder durch 3D-Laserschmelzen hergestellten, monolithischen Formteils sind.
12. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei Membran und Sensorfahne stoffschlüssig miteinander verbunden, insb. nämlich miteinander verschweißt bzw. verlötet, sind.
13. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, weiters umfassend: einen sich ausgehend von der zweiten Oberfläche der Membran erstreckenden, insb. stabförmigen oder plattenförmigen oder hülsenförmigen, Ausgleichskörper zum Kompensieren von aus Bewegungen der Sensorbaugruppe resultierenden Kräften und/oder Momenten.
14. Sensorbaugruppe nach Anspruch 13,
- zumindest ein an den Ausgleichskörper angrenzender Bereich der zweiten Oberfläche konkav ist; und/oder
- wobei Membran und Ausgleichskörper stoffschlüssig miteinander verbunden, insb. nämlich miteinander verschweißt bzw. verlötet, sind; und/oder
- wobei Sensorfahne und Ausgleichskörper zueinander fluchtend angeordnet sind; und/oder
- wobei die Membran so geformt ist, daß der an den Ausgleichskörper angrenzende Bereich der zweiten Oberfläche rotationssymmetrisch ist; und/oder - wobei der Ausgleichskörper und die Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Membran in Verlängerung parallel zu einer
Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers verläuft, insb. nämlich damit koinzidiert; und/oder
- wobei Sensorfahne, Ausgleichskörper und Membran so positioniert und zueinander ausgerichtet sind, daß eine Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe sowohl zu einer Trägheitshauptachse der Sensorfahne als auch zu einer Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers wie auch zu einer Trägheitshauptachse der Membran parallel verläuft bzw. nämliche Trägheitshauptachse der Sensorbaugruppe sowohl mit nämlicher Trägheitshauptachse der Sensorfahne als auch mit nämlicher Trägheitshauptachse des Ausgleichskörpers wie auch mit nämlicher
Trägheitshauptachse der Membran koinzidiert; und/oder
- wobei Membran und Ausgleichskörper Bestandteile ein und desselben monolithischen Formteils sind, insb. derart, daß Sensorfahne, Membran und Ausgleichskörper Bestandteile nämlichen Formteils sind; und/oder
- wobei der Ausgleichskörper zumindest anteilige, insb. überwiegend oder vollständig, aus einem Metall, insb. einem Edelstahl bzw. einer Nickelbasislegierung, besteht; und/oder
- wobei Membran und Ausgleichskörper aus einem gleichen Material bestehen, insb. derart, daß Sensorfahne, Membran und Ausgleichskörper aus einem gleichen Material bestehen.
15. Sensorbaugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Membran ein, insb.
kreisringförmiges und/oder mit einer Dichtfläche versehenes, äußeres Randsegment (1 1 1 a) aufweist.
16. Sensorbaugruppe nach dem vorherigen Anspruch,
- wobei das äußere Randsegment (1 1 1 a) dafür eingerichtet ist, mit einer dem Haltern der Membran an einer Wandung eines Rohrs dienenden Fassung (3a), insb. stoffschlüssige und/oder hermetisch dicht, verbunden zu werden, insb. derart, daß die Membran eine in der Wandung des Rohrs vorgesehene Öffnung überdeckt, insb. nämlich hermetisch verschließt, und/oder derart, daß die erste Oberfläche der Membran einem Lumen des Rohrs zugewandt ist, mithin die Sensorfahne in nämliches Lumen hineinragt; und/oder
- wobei in dem äußere Randsegment (1 1 1 a) wenigstens eine, insb. umlaufende und/oder
kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet ist; und/oder
- wobei das äußere Randsegment (1 1 1 a) einen umlaufenden äußeren Rand des an die
Sensorfahne angrenzenden konvexen Bereichs der ersten Oberfläche bildet.
17. Sensor zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid, insb. zum Erfassen von Druckschwankungen in einer im strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänschen Wirbelstrasse, welcher Sensor umfaßt:
- eine Sensorbaugruppe (1 1 ) gemäß einem der vorherigen Ansprüche; - sowie ein Wandelerelement (12) zum Generieren eines zeitlich ändernde, insb. zumindest zeitweise periodische, Bewegungen der Sensorfahne und/oder zeitlich ändernde, insb. zumindest zeitweise periodische, Verformungen der Membran repräsentierenden, insb. elektrischen oder optischen, Sensorsignals.
18. Meßsystem zum Messen wenigstens eines, insb. zeitlich veränderlichen,
Strömungsparameters, insb. einer Strömungsgeschwindigkeit und/oder einer Volumendurchflußrate, eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids, welches Meßsystem umfaßt:
- zum Erfassen von Druckschwankungen im strömenden Fluid, insb. nämlich zum Erfassen von Druckschwankungen in einer im strömenden Fluid ausgebildeten Kärmänschen Wirbelstrasse, einen Sensor (1 ) gemäß Anspruch 17;
- sowie eine Meß-Elektronik (2), die dafür eingerichtet ist, das Sensorsignal zu empfangen und zu verarbeiten, insb. nämlich den wenigstens einen Strömungsparameter repräsentierende
Meßwerte (XM) ZU generieren.
19. Meßsystem nach dem vorherigen Anspruch, weiters umfassend: ein in der Verlauf nämlicher Rohrleitung einsetzbares Rohr (3) mit einem Lumen (3'), das dafür eingerichtet ist, das in der Rohrleitung strömende Fluid zu führen.
20. Meßsystem nach Anspruch 19, wobei die Sensorfahne (1 12) eine Länge, gemessen als minimaler Abstand zwischen einem proximalen, nämlich an die Membran (1 1 1 ) grenzenden Ende der Sensorfahne (1 12) bis zu einem distalen, nämlich von der Membran (1 1 1 ) bzw. deren
Oberfläche (1 1 1 +) entfernten Ende der Sensorfahne (1 12) aufweist, welche Länge weniger als 95% eines Kalibers (DN) des Rohrs (3) und/oder mehr als einer Hälfte nämlichen Kalibers (DN) entspricht.
21. Meßsystem nach einem der Ansprüche 19 bis 20,
- wobei in der Wandung des Rohrs (3) eine, insb. eine dem Haltern der Membran an der Wandung dienende Fassung (3a) aufweisende, Öffnung (3") ausgebildet ist,
- und wobei der Sensor (1 ) in nämliche Öffnung (3") eingesetzt ist, derart, daß die Membran die Öffnung (20') überdeckt, insb. nämlich hermetisch verschließt, und daß die erste Oberfläche der Membran dem Lumen (3') des Rohrs zugewandt ist, mithin die Sensorfahne in nämliches Lumen hineinragt.
22. Meßsystem nach dem vorherigen Anspruch, wobei die Öffnung (3") eine dem Haltern der Membran an der Wandung dienende Fassung (3a) aufweist.
23. Meßsystem nach dem vorherigen Anspruch, wobei in der Fassung (3a) wenigstens eine, insb. umlaufende und/oder kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet ist.
24. Meßsystem nach dem vorherigen Anspruch,
- wobei die Membran ein, insb. kreisringförmiges, äußeres Randsegment (1 1 1 a) aufweist, in der wenigstens eine, insb. umlaufende und/oder kreisringartige, Dichtfläche ausgebildet ist, und - wobei nämliche Dichtfläche und die Dichtfläche der Fassung dafür eingerichtet sind, die Öffnung, insb. unter Zwischenlage wenigstens einer Dichtung, hermetisch zu verschließen.
25. Meßsystem nach einem der Ansprüche 18 bis 24, weiters umfassend: ein im Lumen des Rohrs (3) angeordneten Stauköper (4), der dafür eingerichtet ist, im strömendem Fluid eine
Kärmänsche Wirbelstrasse zu bewirken.
26. Verwenden eines Meßsystems nach einem der Ansprüche 18 bis 25 zum Messen eines Strömungsparameters - insb. nämlich einer Strömungsgeschwindigkeit und/oder einer
Volumendurchflußrate und/oder einer Massendurchflußrate - eines in einer Rohrleitung strömenden, insb. eine Temperatur von mehr als 400°C und/oder mit einem Druck von mehr als 140 bar auf die Membran des Sensors wirkenden, Fluids, insb. einem Dampf.
PCT/EP2015/069046 2014-09-01 2015-08-19 SENSORBAUGRUPPE FÜR EINEN SENSOR, SENSOR SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM WO2016034417A1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/507,350 US10948321B2 (en) 2014-09-01 2015-08-19 Sensor assembly for a sensor, sensor, and measuring system formed therewith
EP15760104.8A EP3189311B1 (de) 2014-09-01 2015-08-19 Sensorbaugruppe für einen sensor, sensor sowie damit gebildetes messsystem
CN201580047051.2A CN107148558B (zh) 2014-09-01 2015-08-19 用于传感器的传感器组件、传感器和由此形成的测量系统

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014112558.4 2014-09-01
DE102014112558.4A DE102014112558A1 (de) 2014-09-01 2014-09-01 Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016034417A1 true WO2016034417A1 (de) 2016-03-10

Family

ID=54065323

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2015/069046 WO2016034417A1 (de) 2014-09-01 2015-08-19 SENSORBAUGRUPPE FÜR EINEN SENSOR, SENSOR SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10948321B2 (de)
EP (1) EP3189311B1 (de)
CN (1) CN107148558B (de)
DE (1) DE102014112558A1 (de)
WO (1) WO2016034417A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016124358A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Endress + Hauser Flowtec Ag Meßrohr für ein Meßgerät bzw. mittels eines solchen Meßrohrs gebildetes Meßgerät sowie Herstellverfahren für ein solches Meßrohr
JP2019032282A (ja) * 2017-08-09 2019-02-28 株式会社オーバル 感温素子の駆動方法、駆動装置、および渦流量計

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014112558A1 (de) 2014-09-01 2016-03-03 Endress + Hauser Flowtec Ag Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
WO2016176224A1 (en) 2015-04-27 2016-11-03 Kim Lewis Fluid flow meter diagnostics
JP6690899B2 (ja) * 2015-06-29 2020-04-28 株式会社デンソー 空気流量測定装置
DE102016104423A1 (de) 2016-03-10 2017-09-14 Endress+Hauser Flowtec Ag Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
DE102018132311A1 (de) 2018-12-14 2020-06-18 Endress + Hauser Flowtec Ag Meßsystem zum Messen eines Strömungsparameters eines in einer Rohrleitung strömenden Fluids
DE102019117831A1 (de) * 2019-07-02 2021-01-07 Krohne Messtechnik Gmbh Wirbeldurchflussmessgerät und Verfahren zum Betreiben eines Wirbeldurchflussmessgeräts
DE102020134264A1 (de) 2020-12-18 2022-06-23 Endress+Hauser Flowtec Ag Sensor zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid sowie damit gebildetes Meßsystem
DE102021117707A1 (de) 2021-07-08 2023-01-12 Endress+Hauser Flowtec Ag Meßsystem zum Messen eines Strömungsparameters eines in einer Rohrleitung strömenden fluiden Meßstoffs
DE102022105199A1 (de) 2022-03-04 2023-09-07 Endress+Hauser Flowtec Ag Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
DE102022114875A1 (de) 2022-06-13 2023-12-14 Endress+Hauser SE+Co. KG Messsystem
DE102022119145A1 (de) 2022-07-29 2024-02-01 Endress+Hauser Flowtec Ag Anschlussschaltung für ein Feldgerät und Feldgerät
DE102022127160A1 (de) 2022-10-18 2024-04-18 Endress+Hauser Flowtec Ag Sensorelement
DE102022131694A1 (de) 2022-11-30 2024-06-06 Endress+Hauser Flowtec Ag Kapazitive Sensorbaugruppe für ein Feldgerät und Feldgerät

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989002580A1 (en) * 1987-09-15 1989-03-23 Rosemount Inc. Rocking beam vortex sensor
WO1994008211A1 (en) * 1992-10-05 1994-04-14 Rosemount Inc. Vortex flowmeter
EP0841545A1 (de) * 1996-11-08 1998-05-13 Endress + Hauser Flowtec AG Wirbelströmungsaufnehmer
WO2000009973A1 (de) * 1998-08-12 2000-02-24 Endress + Hauser Flowtec Ag Wirbelströmungsaufnehmer
US20060230841A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 Shrikrishna Vaidya A Sensor devices
DE102008054915A1 (de) * 2008-12-18 2010-06-24 Endress + Hauser Flowtec Ag Messeinrichtung mit einem optischen Sensor
US20110154913A1 (en) * 2009-12-24 2011-06-30 Alexander Konyukhov Vortex flow meter with vortex oscillation sensor plate

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4791818A (en) * 1987-07-20 1988-12-20 Itt Corporation Cantilever beam, insertable, vortex meter sensor
DE4122799A1 (de) * 1991-07-10 1993-01-21 Iwk Regler Kompensatoren Vorrichtung zum messen der geschwindigkeit eines fluids
DE4419172C2 (de) * 1994-06-01 1996-07-04 Karlsruhe Forschzent Durchflußsensor
US6101885A (en) 1997-06-24 2000-08-15 Endress + Hauser Flowtec Ag Substitution kits for volumetric flow sensors and corresponding vortex flow sensors
DE29900479U1 (de) * 1999-01-14 1999-03-18 D+P Dosier- und Prüftechnik GmbH, 73441 Bopfingen Strömungsmeßgerät
US6938496B2 (en) 2001-09-04 2005-09-06 Endress + Hauser Flowtec Ag Vortex flow pickup
US6910387B2 (en) 2002-09-04 2005-06-28 Endress + Hausser Flowtec Ag Vortex flow sensor for measuring fluid flow through a flow tube
US6843139B2 (en) * 2003-03-12 2005-01-18 Rosemount Inc. Flow instrument with multisensors
WO2008009720A2 (de) 2006-07-21 2008-01-24 Endress+Hauser Flowtec Ag MEßSYSTEM FÜR EIN IN EINER PROZEßLEITUNG STRÖMENDES MEDIUM
DE102007030690A1 (de) * 2007-06-30 2009-05-07 Endress + Hauser Flowtec Ag Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium
JP5667618B2 (ja) 2012-12-14 2015-02-12 株式会社アドバンテスト 電磁レンズ及び電子ビーム露光装置
DE102013002118B4 (de) * 2013-02-08 2015-01-15 Viega Gmbh & Co. Kg Verteilerventil mit integrierter Durchflussmesseinheit
DE102013013476A1 (de) * 2013-08-15 2015-02-19 Endress + Hauser Flowtec Ag Wirbelströmungsmesssensor und Wirbelströmungsmessaufnehmer zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit eines fluids
DE102013110243A1 (de) * 2013-09-17 2015-04-02 Endress + Hauser Flowtec Ag Verfahren zur Überwachung eines Messgerätes der Automatisierungstechnik
DE102014112558A1 (de) 2014-09-01 2016-03-03 Endress + Hauser Flowtec Ag Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989002580A1 (en) * 1987-09-15 1989-03-23 Rosemount Inc. Rocking beam vortex sensor
WO1994008211A1 (en) * 1992-10-05 1994-04-14 Rosemount Inc. Vortex flowmeter
EP0841545A1 (de) * 1996-11-08 1998-05-13 Endress + Hauser Flowtec AG Wirbelströmungsaufnehmer
WO2000009973A1 (de) * 1998-08-12 2000-02-24 Endress + Hauser Flowtec Ag Wirbelströmungsaufnehmer
US20060230841A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 Shrikrishna Vaidya A Sensor devices
DE102008054915A1 (de) * 2008-12-18 2010-06-24 Endress + Hauser Flowtec Ag Messeinrichtung mit einem optischen Sensor
US20110154913A1 (en) * 2009-12-24 2011-06-30 Alexander Konyukhov Vortex flow meter with vortex oscillation sensor plate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016124358A1 (de) 2016-12-14 2018-06-14 Endress + Hauser Flowtec Ag Meßrohr für ein Meßgerät bzw. mittels eines solchen Meßrohrs gebildetes Meßgerät sowie Herstellverfahren für ein solches Meßrohr
WO2018108378A1 (de) 2016-12-14 2018-06-21 Endress+Hauser Flowtec Ag MEßROHR FÜR EIN MEßGERÄT BZW. MITTELS EINES SOLCHEN MEßROHRS GEBILDETES MEßGERÄT SOWIE HERSTELLVERFAHREN FÜR EIN SOLCHES MEßROHR
US11493416B2 (en) 2016-12-14 2022-11-08 Endress+Hauser Flowtec Ag Measurement tube for a measuring device, measuring device formed by means of such a measurement tube, and production method for such a measurement tube
JP2019032282A (ja) * 2017-08-09 2019-02-28 株式会社オーバル 感温素子の駆動方法、駆動装置、および渦流量計

Also Published As

Publication number Publication date
EP3189311A1 (de) 2017-07-12
EP3189311B1 (de) 2020-03-11
US10948321B2 (en) 2021-03-16
US20170284841A1 (en) 2017-10-05
CN107148558A (zh) 2017-09-08
CN107148558B (zh) 2021-02-09
DE102014112558A1 (de) 2016-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3189311B1 (de) Sensorbaugruppe für einen sensor, sensor sowie damit gebildetes messsystem
EP3427013B1 (de) Sensorbaugruppe für einen sensor, sensor sowie damit gebildetes messsystem
EP2044392B1 (de) MESSSYSTEM FÜR EIN IN EINER PROZEßLEITUNG STRÖMENDES MEDIUM
DE102015116147A1 (de) Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
EP2227677B1 (de) MEßSYSTEM FÜR EIN IN EINER PROZESSLEITUNG STRÖMENDES MEDIUM
EP2612114B1 (de) Messsystem mit einem messaufnehmer vom vibrationstyp
EP2516971B1 (de) Messaufnehmer vom vibrationstyp sowie damit gebildetes messsystem
DE102006034296A1 (de) Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium
EP1996902B1 (de) MEßAUFNEHMER VOM VIBRATIONSTYP
EP4006500B1 (de) Messrohr für ein messgerät bzw. mittels eines solchen messrohrs gebildetes messgerät sowie herstellverfahren für ein solches messrohr
EP2742325B1 (de) SENSOR-MODUL ZUM MESSEN UND/ODER ÜBERWACHEN VON PARAMETERN VON IN ROHRLEITUNGEN STRÖMENDEN MEDIEN SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM
WO2019068553A1 (de) MEßWANDLER FÜR EIN VIBRONISCHES MEßSYSTEM SOWIE DAMIT GEBILDETES VIBRONISCHES MEßSYSTEM
DE102015121462A1 (de) Anschlußvorrichtung zum mechanischen Verbinden eines Elektronik-Gehäuses und eines Meßwandler-Gehäuses, Meßwandler mit einer einer solchen Anschlußvorrichtung bzw. damit gebildetes Feldgerät
EP3894798B1 (de) Messsystem zum messen eines strömungsparameters eines in einer rohrleitung strömenden fluids
EP3732388A1 (de) ROHR FÜR EINEN MEßWANDLER, MEßWANDLER MIT EINEM SOLCHEN ROHR SOWIE DAMIT GEBILDETES MEßSYSTEM
DE102020134264A1 (de) Sensor zum Erfassen von Druckschwankungen in einem strömenden Fluid sowie damit gebildetes Meßsystem
DE102022105199A1 (de) Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem
WO2024083401A1 (de) Sensorelement und damit gebildetes messsystem
DE102016106182A1 (de) Feldgerät der Prozessmesstechnik

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15760104

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2015760104

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2015760104

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15507350

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE