DE102008054915A1 - Messeinrichtung mit einem optischen Sensor - Google Patents

Messeinrichtung mit einem optischen Sensor Download PDF

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Rainer Höcker
Martin Hertel
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Abstract

Messeinrichtung zur Bestimmung einer chemischen und/oder physikalischen Messgröße, insbesondere eines Volumen- und/oder Massedurchflusses, eines durch eine Rohrleitung strömenden Messstoffs, wobei die Messeinrichtung einen Messaufnehmer aufweist, wobei der Messaufnehmer mindestens einen optischen Wellenleiter aufweist, der zur Erzeugung, Aufnahme und/oder Übertragung von Messsignalen dient, wobei die Aufnahme der Messsignale in den optischen Wellenleiter mittels eines Fabry-Pérot Sensors erfolgt.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Messeinrichtung zur Bestimmung einer chemischen und/oder physikalischen Messgröße, insbesondere eines Volumen- und/oder Massedurchflusses, eines durch eine Rohrleitung strömenden Messstoffs.
  • Durchfluss-Messeinrichtungen verwenden heutzutage oftmals die Änderung der elektrischen Kapazität, der elektrischen Leitfähigkeit oder der elektrischen Spannung um den Volumen- und/oder Massendurchfluss zu bestimmen.
  • Eine Wirbel-Durchflussmesseinrichtung beispielsweise besteht. u. a. aus einem Staukörper der stromabwärts eine Kármán'sche Wirbelstrasse erzeugt. Die Druckschwankungen der Wirbelstrasse werden von einer Sensorfahne erfasst. Die periodischen Druckschwankungen regen die Sensorfahne zu einer periodischen Schwingung an. Die Bewegung der Sensorfahne wird bspw. mit Hilfe eines Piezo-Sensors ausgelesen. Der Nachteil dieser Technologie liegt in der Limitierung der Betriebstemperatur des Durchflussmessgerätes bedingt durch den Auslesemechanismus und der Notwendigkeit einer Vor-Ort-Elektronik zur Auslesung des Piezo-Sensors, die eine aufwendige Temperaturisolierung und Maßnahmen zum Explosionschutz an der Elektronik erfordern, um Betriebstemperaturen von 400°C oder mehr erreichen zu können. Es sind auch Wirbeldurchflussmesseinrichtungen bekannt, die ohne Sensorfahne auskommen und bei denen die Druckschwankungen direkt von einem im oder am Staukörper angebrachten Messaufnehmer erfasst werden.
  • Coriolis-Durchflussmesseinrichtungen nutzen die durch die Masse eines Messstoffs verursachte Phasenverschiebung eines vibrierenden Messrohrs. Der Signalabgriff erfolgt üblicherweise über Tauchspulen. Diese Auslesung muss u. a. bezüglich der Temperatur kompensiert werden.
  • Aus der Patentschrift DE 603 11 048 T2 ist ein Verfahren zur Herstellung eines faseroptischen Fabry-Pérot Interferometers bekannt geworden. Das Interferometer besteht dabei aus einem Paar gegenüberliegender optischer Faserendflächen, das auf einem Trägermaterial aufgebracht ist.
  • Aus der Patentschrift DE 692 26 446 T2 ist eine Vorrichtung bekannt, die mittels einer Optikfaser die Oszillationen eines Coriolis-Massenströmungs-Messgerätes aufnimmt. Dafür wird die Schwächung bzw. das Ausmaß der Schwächung eines optischen Signals genutzt, das sich durch das Verbiegen der Optikfaser ergibt.
  • Weiterhin ist aus der DE 41 22 799 A1 eine Vorrichtung zum Messen der Geschwindigkeit eines Fluids bekannt geworden, die einen Wandler aufweist, der wiederum einen stabförmigen Ansatz aufweist. Der stabförmige Ansatz sorgt für die Modulation eines über einen optischen Wellenleiter übertragenen optischen Signals.
  • Solche Anordnungen und Herstellungsverfahren sind aufgrund der erforderlichen Präzision im Aufbau der Messapparatur bzw. aufgrund der Gefahr einer Verschmutzung und/oder Beschädigung zeitaufwändig und teuer.
  • Zur Detektion von Längenänderungen ist es möglich verschiedene optische Verfahren zu nutzen. Bekannte Verfahren beruhen dabei auf interferometrischer Basis. Beispielsweise kann mittels UV-Lithographie ein Bragg-Gitter innerhalb einer optischen Faser realisiert werden. Bei diesem Verfahren wird Licht breitbandig in den Wellenleiter eingestrahlt. Das Bragg-Gitter erzeugt bei einer definierten Wellenlänge einen Bragg-Reflex. Diese Wellenlänge hängt von Temperatur und Längenausdehnung gleichermaßen stark ab. Somit ist es bei diesem Verfahren nicht ohne weiteres möglich zwischen temperaturbedingten und längenänderungsbedingten Effekten zu unterscheiden.
  • Sämtliche genannten Messeinrichtungen weisen den Nachteil auf, dass sich bei höheren Temperaturen eine Verformung des optischen Resonators bzw. der optischen Reflektionsflächen einstellt oder der Messaufnehmer sogar vollständig zerstört wird.
  • Neuerdings sind fiber-optische Sensoren bekannt geworden, die auch bei Temperaturen um 800°C funktionieren und somit den thermischen Einsatzbereich bisher bekannter Sensoren um mehrere hundert Grad Celsius übersteigen. Zur Herstellung solcher Sensoren wird ein Fabry-Pérot Resonator mittels eines Lasers in eine optische Faser mikrogefertigt. Die durch die Fertigung der Lücke an den Enden des optischen Wellenleiters entstandenen Facetten haben spiegelähnliche Eigenschaften. Die Temperaturunabhängigkeit ergibt sich daraus, dass der so gefertigte Kern der optischen Faser sich bei einer Temperaturerhöhung ausdehnt und die beiden Resonanzflächen näher zusammendrückt. Gleichzeitig dehnt sich der Mantel (cladding) der optischen Faser aus und zieht die Resonanzflächen auseinander. Diese beiden Effekte überlagern sich und resultieren in einer kleinen, jedoch zufälligen Temperaturabhängigkeit (vgl. Optics Letters, Nov. 1, 2007, pp. 3071–3073; Photonics Spectra, December 2007 „To boldly go where no sensor has gone before").
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Messeinrichtung zur Bestimmung einer chemischen und/oder physikalischen Messgröße eines durch eine Rohrleitung strömenden Messstoffs vorzuschlagen, welche präzise und auch bei hohen Temperaturen zuverlässig funktioniert.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Messeinrichtung einen Messaufnehmer aufweist, wobei der Messaufnehmer mindestens einen optischen Wellenleiter aufweist, der zur Erzeugung, Aufnahme und/oder Übertragung von Messsignalen dient, wobei die Aufnahme der Messsignale in den optischen Wellenleiter mittels eines Fabry-Pérot Sensors erfolgt. Ein Fabry-Pérot Sensor besteht zumeist aus einem Interferometer aus zwei insbesondere planparallelen Spiegeln hoher Reflektivität, die miteinander einen optischen Resonator bilden und für eine in den Resonator eingestrahlte elektromagnetische Wellenlänge teildurchlässig sind. Ein Vorteil der Erfindung ist, dass die in den optischen Wellenleiter aufgenommenen und übertragenen Messsignale aufgrund des Fabry-Pérot Sensors im Wesentlichen unabhängig von externen mechanischen und/oder thermischen Einflüssen sind. Folglich sind für eine Auswertung der Messsignale hauptsächlich die Eigenschaften des optischen Wellenleiters relevant. Umgebungsbedingte Störeffekte können aufgrund der optischen Aufnahme und Übertragung des Messsignals minimiert werden. Durch die vergleichsweise geringe Ausdehnung des Fabry-Pérot Sensors können die Messsignale an einer genau definierten Stelle in den optischen Wellenleiter aufgenommen werden. Der erfindungsgemäße Messaufnehmer ermöglicht daher eine genauere Bestimmung der Messgröße. Die Messeinrichtung kann zudem bei widrigen Umgebungsbedingungen, wie bspw. hohen Temperaturen oder in explosionsgefährdeten Bereichen zur Erzeugung, Aufnahme und/oder Übertragung eines Messsignals eingesetzt werden. Die Messsignale können auch direkt durch den optischen Wellenleiter erzeugt werden, indem der optische Wellenleiter bspw. in die Rohrleitung eingebracht und dem strömenden Messstoff ausgesetzt wird. Bei den Messsignalen handelt es sich um bspw. aufgrund von Druckschwankungen oder aufgrund von Vibrationen auftretende Längenänderungen.
  • In einer Ausgestaltung besteht der Fabry-Pérot Sensor wenigstens teilweise aus dem optischen Wellenleiter. Beispielsweise kann ein Spiegel des Fabry-Pérot Interferometers aus einer spiegelnden Oberfläche eines Endes einer optischen Glasfaser bestehen. Der Messaufnehmer kann dadurch besonders platzsparend ausgestaltet werden.
  • In einer Ausführungsform ist der Fabry-Pérot Sensor in den optischen Wellenleiter eingebaut. Dafür wird das Fabry-Pérot Interferometer bspw. in den Verlauf des optischen Wellenleiters eingebaut, indem eine Lücke zwischen zwei Endflächen des optischen Wellenleiters gefertigt wird.
  • In einer Ausgestaltung weist der Fabry-Pérot Sensor einen optischen Resonator auf, der vollständig in den optischen Wellenleiter eingebaut ist. Der optische Wellenleiter kann dabei insbesondere aus einer optischen Faser oder aus einem Bündel optischer Fasern bestehen. Zum Signalabgriff und zur Signalübertragung, insbesondere eines Messsignals, lassen sich heutzutage optische Wellenleiter bspw. in Form von Fasern verwenden. Dabei bietet die Signalübertragung mittels Lichtwellen durch optische Fasern gegenüber der elektrischen Signalübertragung zahlreiche Vorteile. So unterliegen optische Signale keinen elektrischen Störeinflüssen, sind sicher gegenüber einer leicht entzündlichen Umgebung und im Einbau sehr kompakt. Mittels optischen Wellenleitern sind große Entfernungen zwischen Messaufnehmer und Messwandlertechnik realisierbar. Die Verbindung ist dabei unempfindlich auf elektromagnetische Störungen und kann explosionssicher verlegt werden.
  • Die Kombination von Fabry-Pérot Interferometer und einem optischen Wellenleiter ermöglicht den Einsatz einer Fabry-Pérot basierten Längenmessung zur Bestimmung einer chemischen und/oder physikalischen Messgröße eines durch eine Rohrleitung strömenden Messstoffs. Die geringe Temperaturabhängigkeit der Längenmessung und die hohe Temperaturresistenz des optischen Wellenleiters sowie die Möglichkeit nur noch Licht mit geringer Energie in die explosionsgeschützten Bereiche eines Prozesses transportieren zu müssen, ermöglicht die Herstellung von Produkten mit deutlichen Vorteilen. Der optische Wellenleiter kann dabei aus einem Glas und/oder einem Kunststoff bestehen.
  • Eine Vor-Ort-Elektronik wie beim Prinzip des Piezo-Elements ist nicht notwendig. Daher entfallen die aufwendigen Maßnahmen zur Wärmeisolierung der Elektronik und bedingt durch die Eigenschaften des optischen Wellenleiters ist es möglich der Messgröße entsprechende Rohsignale aus dem explosionsgeschützten Bereich herauszuführen. Weiterhin erübrigen sich umfangreiche Maßnahmen für den Explosionsschutz.
  • In einer weiteren Ausgestaltung weist der optische Wellenleiter einen Kern und einen Mantel auf, und der optische Resonator besteht aus wenigstens einer Lücke im Kern des optischen Wellenleiters. Die Lücke besteht bspw. aus einem Luftspalt. Die Lücke kann auch im Mantel des optischen Wellenleiters vorhanden sein und diametral durch den optischen Wellenleiter verlaufen. Insbesondere wenn der optische Wellenleiter aus einem Faserbündel besteht, kann es sich bei dem Mantel um einen Bereich um den Kern des Wellenleiters handeln, welcher einen niedrigeren Brechungsindex aufweist als der Kern des optischen Wellenleiters. Weiterhin kann der optischen Wellenleiter von einer Schutzisolierung umgeben sein.
  • In einer Ausführungsform ist der optische Wellenleiter ein optischer Einzel-Moden-Wellenleiter, insbesondere eine Einzel-Moden-Glasfaser. Die Enden optischer Glasfasern können teilweise spiegelnde Oberflächen besitzen. Durch eine Lücke zwischen zwei Enden einer optischen Glasfaser, die spiegelnde Oberflächen aufweisenden, kann ein optischer Resonator gebildet werden. Ein Ändern des Abstands zwischen den Enden der optischen Glasfaser(n) ändert die Stärke der Intensität aufgrund der sich Ändernden Interferenzbedingungen im Resonator. Auf diese Art kann ein einfacher und robuster Fabry-Pérot Sensor hergestellt werden.
  • In einer Ausführungsform ist die Messeinrichtung eine Wirbeldurchflussmesseinrichtung mit einem entlang eines Durchmessers der Rohrleitung angeordneten und an mindestens einer Fixierstelle mit der Rohrleitung verbundenen Staukörper, der der Erzeugung Kármán'scher Wirbel dient und/oder mit einer Sensorfahne zur Aufnahme von, von den Wirbeln erzeugten Druckschwankungen. Durch das Verwenden des in den optischen Wellenleiter integrierten Fabry-Pérot Interferometers wird eine wesentliche Vereinfachung des Aufbaus der Wirbeldurchflussmesseinrichtung erreicht.
  • In einer Ausgestaltung ist der Staukörper und/oder die Sensorfahne von außen durch eine Bohrung in der Messrohrwand hindurch eingesetzt und der Staukörper und/oder die Sensorfahne umfasst eine die Bohrung bedeckende Membran. Der optische Wellenleiter mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer kann bspw. an der Membran befestigt und dadurch auf eine Sensorhülse zur Aufnahme des Messsignals verzichtet werden.
  • In einer weiteren Ausgestaltung ist der optische Wellenleiter mit dem Staukörper und/oder der Sensorfahne und/oder der Membran mechanisch gekoppelt und reagiert auf Bewegungen des Staukörpers, der Sensorfahne bzw. der Membran durch eine Längenänderung. Durch das in den optischen Wellenleiter integrierte Fabry-Pérot Interferometer können somit die am Staukörper und/oder an der Sensorfahne auftretenden Längenänderungen erfasst werden.
  • In einer Ausgestaltung ist der optische Wellenleiter so mit dem Staukörper und/oder mit der Sensorfahne verbunden, dass die Kármán'schen Wirbel Längenänderungen des optischen Wellenleiters erzeugen. Die Längenänderung des optischen Wellenleiters bewirkt wiederum eine Änderung der Resonanzbedingungen im optischen Resonator des Fabry-Pérot Interferometers.
  • In einer Weiterbildung ist aus einem Interferenzmuster, welches aus der Intensität des durch den optischen Wellenleiter übertragenen Messsignals abgeleitet ist, die Frequenz bestimmbar, mit der sich die Kármán'schen Wirbel vom Staukörper ablösen. Die Intensität des durch den optischen Wellenleiter übertragenen Messsignals kann bspw. mittels eines Photosensor oder Photodetektors, insbesondere einer Photodiode, bestimmt werden. Aus dem Interferenzmuster kann dann der Volumendurchfluss bestimmt werden. Dazu wird bspw. mindestens eine Zeitspanne zwischen zwei im zeitlichen Verlauf der Intensität des Messsignals auftretenden Intensitätswerten, insbesondere zwischen im Wesentlichen gleichen Intensitätswerten, ermittelt. Bei den Intensitätswerten handelt es sich vorzugsweise um das Intensitätsmaximum. Besonders bevorzugt handelt es sich um im Wesentlichen gleiche Intensitätswerte, die jedoch bei unterschiedlichen Längen des Resonators, insbesondere bei einer Längenänderung des Resonators um ein vielfaches der halben Wellenlänge des eingestrahlten Lichts, auftreten. Ein Intensitätsmaximum tritt immer dann auf, wenn die Länge d des Resonators im Wesentlichen ein Vielfaches der Hälfte Wellenlänge 2 der in den optischen Wellenleiter eingestrahlten elektromagnetischen Welle beträgt. Der Zusammenhang zwischen der Frequenz, mit der sich die Kármán'schen Wirbel vom Staukörper lösen und der ermittelten Zeitspanne kann bspw. durch eine Kalibrierung hergestellt werden. Abhängig von der Frequenz der Ablösung der Wirbel von dem Staukörper, also der Durchflussgeschwindigkeit des Messstoffs, ändert sich auch die Zeitspanne zwischen zwei Intensitätswerten im zeitlichen Verlauf der Intensität.
  • In einer Ausführungsform ist die Messeinrichtung eine Coriolis-Massedurchflussmesseinrichtung mit mindestens einem im Messbetrieb vibrierenden Messrohr, und der optische Wellenleiter ist mechanisch mit dem Messrohr gekoppelt und der optische Wellenleiter reagiert auf Vibrationen des Messrohrs durch eine Längenänderung. Damit lassen sich die Vibrationen des Messrohrs hochgenau und auch weitestgehend unabhängig von den Umgebungsbedingungen bestimmen. Dafür wird der optische Wellenleiter mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer so am Messrohr fixiert, dass das zu Vibrationen angeregte Messrohr eine Längenänderung des optischen Wellenleiters bzw. des darin integrierten Fabry-Pérot Resonators erzeugt.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist aus einem Interferenzmuster, welches aus der Intensität des durch den optischen Wellenleiter übertragenen Messsignals abgeleitet ist, die Frequenz der Vibrationen des Messrohrs bzw. im Falle zweier Messrohre die Phasenverschiebung zwischen den jeweiligen Frequenzen der beiden Messrohre bestimmbar. Dafür wird bspw. zwischen Intensitätsmaxima und -minima unterschieden und auf diese Weise eine Auflösung der Längenänderung des in dem optischen Wellenleiter enthaltenen Resonators bis zu einem Viertel der Wellenlänge des eingestrahlten Lichts erreicht.
  • In einer Ausführungsform ist zur Bestimmung der Intensität des Messsignals und/oder des Interferenzmusters mindestens eine Photodiode vorgesehen, die ein elektrisches, dem Messsignal entsprechendes Signal erzeugt. Die Photodiode dient der Erzeugung eines elektrischen Signals aus dem in den optischen Wellenleiter eingeleiteten bzw. ausgeleiteten Lichts. Durch die Photodiode kann das Interferenzmuster in ein elektrisches Signal umgewandelt werden und an eine Auswerteeinheit übermittelt werden.
  • Die Erfindung betrifft ein optisches Auswerteverfahrens zur Detektion kleiner Längenänderungen im Messaufnehmer einer Durchflussmesseinrichtung, erzeugt durch den Durchfluss von im Wesentlichen flüssigen und/oder gasförmigen Messstoffen, insbesondere basierend auf dem Prinzip der Wirbeldurchfluss- und Coriolismessung.
  • Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
  • 1: einen aus dem Stand der Technik bekannten Messaufnehmer einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung mit kapazitivem Signalabgriff,
  • 2: eine schematische Darstellung einer Anordnung eines Messaufnehmers einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung mit einem optischen Signalabgriff und
  • 3: eine schematische Darstellung eines an der Sensorhülse befestigten optischen Wellenleiters mit einem integrierten Fabry-Pérot Interferometer,
  • 4: den schematischen Aufbau eines in einen optischen Wellenleiter integrierten Fabry-Pérot Interferometers,
  • 5: eine schematische Darstellung eines an die Membran einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung angebrachten optischen Wellenleiters mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer,
  • 6: schematisch und nicht maßstäblich die ausgelenkte Membran und den an der Membran angebrachten optischen Wellenleiter mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer,
  • 7: eine schematische Darstellung eines an bzw. in der Sensorfahne befestigten optischen Wellenleiters mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer,
  • 8: eine schematische Darstellung eines an dem Staukörper einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung befestigten optischen Wellenleiters mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer,
  • 9: eine schematische Darstellung eines ersten und zweiten mit der Membran einer Sensorfahne verbundene optische Wellenleiters, und
  • 10: einen zeitlichen Verlauf der Intensität eines Interferenzsignals.
  • 1 zeigt einen Querschnitt durch den Messaufnehmer einer aus dem Stand der Technik bekannten Wirbeldurchflussmesseinrichtung.
  • Die am Staukörper, nicht gezeigt, gebildeten Wirbel erzeugen in der Strömung lokale Druckschwankungen, die über einen Sensor abgegriffen und in elektrische Signale umgewandelt werden. Der Sensor ist entweder im Staukörper 9 integriert oder befindet sich wie die in 1 gezeigte Sensorfahne 3 unmittelbar hinter dem Staukörper 9.
  • Periodisch auftretende Wirbeldruckschwankungen üben Kräfte auf die paddelförmige Sensorfahne 3 hinter dem Staukörper 9 aus. Dieses Paddel überträgt die Bewegung auf eine hülsenartige Mittelelektrode, welche mit der in zwei Halbschalen 10a, 10b geteilten Außenelektrode die Kapazitäten C1 und C2 bildet. Durch die Änderung der Spaltweite entsteht eine periodisch variierende und zur Wirbeldruckfrequenz proportionale Kapazitätsänderung, die in der nachgeschalteten Messelektronik, nicht gezeigt, ausgewertet wird.
  • 2 zeigt einen Querschnitt durch einen Messaufnehmer einer erfindungsgemäßen Wirbeldurchflussmesseinrichtung 1, insbesondere durch die paddelförmige Sensorfahne 3. Die Auslenkungen der Sensorhülse 2 werden durch ein Fabry-Pérot Interferometer erfasst. Das Fabry-Pérot Interferometer besteht aus einem Spiegelelement 8 und einem Ende des optischen Wellenleiters 7. Das Spiegelelement 8 und das Ende des optischen Wellenleiters bilden einen optischen Resonator. Dafür ist ein optischer Wellenleiter 7 in Form einer optischen Faser durch die gehäusebildende Wandung 5 des Messaufnehmers geführt. Auf der Sensorhülse 2 ist zudem ein Spiegelelement 8 angebracht, welches das durch den optischen Wellenleiter 7 übertragene Signal reflektiert. Eine Auslenkung der Sensorhülse 2 hat eine Änderung des Abstands zwischen Spiegelelement 8 und optischem Wellenleiter 7 zur Folge. Dadurch verändern sich die Interferenzbedingungen des Resonators. Folglich ändert sich die Intensität des durch den optischen Wellenleiter 7 übertragenen optischen Signals. Die Bedingung für konstruktive Interferenz an den Abstand d zwischen optischem Wellenleiter 7 und Spiegelelement 8 entspricht: 2d = Nλ, wobei N eine positive ganze Zahl und λ die Wellenlänge der in den optischen Wellenleiter 7 eingestrahlten elektromagnetischen Welle ist.
  • Durch die Reflektion am Spiegelelement 8 wird das optische Signal in den optischen Wellenleiter 7 zurückgeworfen und überlagert sich so mit dem ursprünglich eingespeisten Signal. Das so gebildete Interferenzsignal kann über eine Photo-Diode, nicht gezeigt, erfasst werden, auf welche das Interferenzsignal projiziert wird. Dafür wird das optische Signal nachdem es an dem Spiegelelement 8 reflektiert wurde, wieder durch den optischen Wellenleiter 7 zurückgeleitet. Das optische Signal ändert daher abhängig von den Resonanzbedingungen seine Intensität. Diese Änderung kann als Funktion der Zeit dargestellt werden. Das so erhaltene Interferenzmuster entspricht nicht direkt der Bewegung des an der Sensorhülse 2 angebrachten Spiegelelements 8, sondern dem Durchlauf des Abstandes d zwischen dem offenen Ende des optischen Wellenleiters 7 und dem Spiegelelement 8 durch Entfernungen die zu konstruktiver bzw. zu destruktiver Interferenz führen. Durch das Zählen der Intensitätsmaxima und/oder –minima lässt sich so die Amplitude der Auslenkung bspw. der hier gezeigten Sensorhülse 2 bestimmen. Durch das unterscheiden zw. Intensitätsmaximum und Intensitätsminimum kann eine Auflösung von bis zu einem viertel der Wellenlänge 2 des eingestrahlten Lichts erreicht werden. Die Wellenlänge des dabei durch den optischen Wellenleiter 7 übertragenen elektromagnetischen Signals kann über den optischen Wellenlängenbereich hinaus, sowohl im ultravioletten als auch im infraroten Wellenlängenbereich liegen.
  • Als optischer Wellenleiter 7 kann bspw. ein Kern (core) 42 aus einer Glasfaser mit einem Mantel (cladding) 41 und/oder einer Schutzbeschichtung (coating) aus Kunststoff dienen.
  • 2 enthält eine vergrößerte Darstellung des optischen Resonators 48. Der Resonator 48 besteht aus der spiegelnden Oberfläche des Endes des optischen Wellenleiter 7 und dem Spiegelelement B. Der optische Wellenleiter 7 ist an oder in der Wandung 5 des Messaufnehmers befestigt. Gegenüber dem Ende des optischen Wellenleiters 7 ist auf der Sensorhülse 2 ein Spiegelelement 8 aufgebracht, welcher das aus dem optischen Wellenleiter 7 austretende Licht zurück in den optischen Wellenleiter 7 reflektiert.
  • 3 zeigt einen optischen Wellenleiter 7 mit einem integrierten Fabry-Pérot Interferometer. Der optische Wellenleiter 7 ist wenigstens an der Sensorhülse 2 und einer den Wirbeldurchflussmessaufnehmer umgebenden Wandung 5 fixiert. Der Fabry-Pérot Resonator 48 ist zwischen der Fixierung an der Sensorhülse 31 und der Fixierung an der Wandung angeordnet. Der Resonator wird durch zwei Endflächen gebildet, die durch die Mikrofertigung spiegelähnliche Eigenschaften haben. Im Bereich der Sensorhülse 2 ist der optische Wellenleiter bspw. durch eine Klebung an der Sensorhülse 2 fixiert. Der Resonator 48 des Fabry-Pérot Interferometers ist dabei in die optische Faser des Wellenleiters 7 integriert. Der Resonator 48 weist typischerweise eine Länge von 10 bis 100 μm auf. Eine Auslenkung der Sensorfahne 3 bewirkt eine entsprechende Auslenkung der Sensorhülse 2 und hat eine Dehnung und/oder Stauchung des optischen Wellenleiters 7 zur Folge. Dadurch ändern sich die Ausdehnung und die Resonanzbedingung des Resonators 48 und es bildet sich ein Interferenzsignal im optischen Wellenleiter 7 aus.
  • Aufgrund der Kopplung des Fabry-Pérot Interferometers an die Sensorhülse, werden die Bewegungen der Sensorhülse auf den Resonator 48 übertragen. Der Resonator ändert daher die Resonanzbedingungen in Abhängigkeit der Bewegung der Sensorhülse. Die Länge des Resonators 48 kann im Bereich des 10-fachen bis 100-fachen der Wellenlänge des in den optischen Wellenleiter eingestrahlten Lichts gewählt werden. Eine Längenänderung des Resonators 48 hingegen liegt im Bereich eines Zehntels der Länge des Resonators. Bei einer Längenänderung des Resonators von annähernd einem Zehntel seiner Länge, können demnach bis zu einhundert Intensitätsmaxima auftreten.
  • 4 zeigt eine vergrößerte Ansicht des in den optischen Wellenleiter 7 integrierten Fabry-Pérot Interferometers. Der optische Wellenleiter 7 besteht dabei aus einem Mantel (cladding) 41 und einem Kern (core) 42. Zudem ist der optischen Wellenleiter 7 von einer Schutzbeschichtung (coating), nicht gezeigt, umgeben. Der Kern 42 besteht dabei bspw. aus einer Glasfaser. Dieser Kern 42 ist von dem Mantel 41 bspw. ebenfalls Glasfasern mit einem niedrigeren Brechungsindex umgeben. Die Lücke im Kern 42 wird bspw. mittels eines Lasers mikrogefertigt. Durch die so entstandenen Endflächen 44 der optischen Fasern wird ein Fabry-Pérot Resonator 48 gebildet. Die Endflächen 44 des Resonators 48 haben spiegelähnliche Eigenschaften. Die mittels des Lasers mikrogefertigte Lücke muss sich nicht auf den Kern 42 beschränken sondern kann auch teilweise in dem Mantel 41 des optischen Wellenleiters 7 bestehen.
  • 5 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung mit einem optischen Wellenleiter 7 mit integriertem Fabry-Pérot Interferometer. Der optische Wellenleiter 7 ist dabei an der Membran 4 des Messaufnehmers befestigt. Ein Ende des optischen Wellenleiters 7 ist mit der Wandung 5 des Messaufnehmers verbunden. Der Fabry-Pérot Resonator 48 befindet sich zwischen der Wandung 5 des Messaufnehmers und der Sensorfahne 3 auf der Membran 4. Der optische Wellenleiter 7 liegt dabei im Bereich der Membran 4 im Wesentlichen plan auf der Membran 4 auf. In 5 ist der optische Wellenleiter 7 auf Höhe der Membran 7 durch die Wandung 5 des Messaufnehmergehäuses des Wirbeldurchflussmessgerätes geführt und mit einer Auswerteeinheit, nicht gezeigt, verbunden. Es ist auch möglich den optischen Wellenleiter 7 durch das Lumen 21 der Messeinrichtung 1 nach außen zu führen. Bei der in 5 gezeigten Messeinrichtung 1 kann auf eine Sensorhülse 2 zur Aufnahme der Messsignale verzichtet werden.
  • 6 zeigt nicht maßstabsgetreu eine durch die Druckänderungen aufgrund der die Sensorfahne 3 beeinflussenden Wirbel entstehende Auslenkung bzw. Verformung der Sensorfahne 3 und der Membran 4, sowie des auf der Membran 4 befestigten optischen Wellenleiters 7. Der optische Wellenleiter 7 ist auf der Membran 4 im Wesentlichen plan aufgelegt und bspw. mittels einer Klebung fixiert. Durch die Auslenkung der Sensorfahne 3 wird die Membran 4 verformt. Dies hat eine entsprechende Verformung des optischen Wellenleiters 7 und des in dem optischen Wellenleiter 7 integrierten Fabry-Pérot Resonators 48 zur Folge. Die dadurch bedingte Änderung der Resonanzbedingungen des Fabry-Pérot Resonators 48 lassen ein Interferenzsignal entstehen aus welchem sich die Auslenkung der Sensorfahne 3, die Frequenz der Wirbel im Messstoff und somit das Durchflussvolumen Bestimmen lassen.
  • 7 zeigt einen Querschnitt durch einen Messaufnehmer eines Wirbeldurchflussmessgerätes. Der optische Wellenleiter 7 ist direkt mit der Sensorfahne 3 befestigt. Der optische Wellenleiter 7 ist mittig in die Sensorfahne 3 eingebracht. Eine bspw. in 6 gezeigte Auslenkung der Sensorfahne 3 dann ebenfalls zu einer Änderung der Resonanzbedingungen im Fabry-Pérot Resonator 48 des optischen Wellenleiters 7 und das Durchflussvolumen des das Messrohr 6 durchströmenden Messstoffs lässt sich aufgrund des Interferenzsignals bzw. des Interferenzmusters bestimmen.
  • 8 zeigt einen Querschnitt durch einen Staukörper 9 einer Wirbeldurchflussmesseinrichtung. Zur Aufnahme des Messsignals ist der optische Wellenleiter 7 mit integriertem Fabry-Pérot Resonator 48 direkt im Staukörper 9 integriert. Die sich ablösenden Wirbel verursachen am Staukörper 9 ebenfalls Auslenkungen ähnlich denen der Sensorfahne 3. Diese Auslenkungen des Staukörpers 9 lasen sich ebenfalls mittels des in den optischen Wellenleiter 7 integrierten Fabry-Pérot Interferometers detektieren. Die Befestigung des optischen Wellenleiters 7 und das Auslesen des Messsignals erfolgt dabei analog zu den vorhergehenden Ausführungsbeispielen.
  • 9 zeigt einen weiteren Messaufnehmer eines Wirbeldurchflussmessgerätes. Der Messaufnehmer weist zwei optische Wellenleiter 7 auf, welche innerhalb des Messaufnehmers verlaufen. Auf der Membran 4 ist gegenüber einem Ende des ersten und des zweiten optischen Wellenleiters jeweils ein Spiegelelement 8 angebracht, der das durch den ersten bzw. zweiten optischen Wellenleiter 7 übertragene Signal zurück in den ersten bzw. zweiten optischen Wellenleiter 7 reflektiert. Dadurch wird eine Redundanz der Signale erreicht und etwaige in einem Signalpfad auftretende Störungen können erkannt werden. Das erste und das zweite Spiegelelement 8 sind dabei im Wesentlichen diametral zueinander angeordnet. Das erste bzw. der zweite Spiegelelement sind dabei durch einen Luftspalt 43 von einer Länge im μm-Bereich von den Enden des ersten bzw. zweiten optischen Wellenleiter 7 entfernt.
  • Alternativ kann ein in den ersten und/oder zweiten optischen Wellenleiter 7 integriertes Fabry-Pérot Interferometer bzw. ein in den optischen Wellenleiter integrierter Fabry-Pérot Resonator 48 verwendet werden. Dafür sind der erste und der zweite optische Resonator 48 endseitig im Wesentlichen diametral zueinander angeordnet und mit der erste und/oder zweite optische Wellenleiter 7 mit der Membran 4 des Wirbeldurchflussmessgerätes verbunden.
  • 10 zeigt den Verlauf der Intensität des Interferenzsignals als Funktion der Zeit. Wie bereits erwähnt, liegen die Längenänderungen des Resonators im Bereich eines Zehntels der Wellenlänge des in den Wellenleiter eingestrahlten Lichts. Der Intensitätsverlauf während der Längenänderung dient zur Bestimmung der Frequenz mit der sich die Kármán'schen Wirbel vom Staukörper ablösen. Dafür wird die Zeitspanne Δt zwischen zwei Intensitätsmaxima gemessen. Aus der Zeitspanne kann die Frequenz, mit der sich die Kármán'schen Wirbel vom Staukörper ablösen, bestimmt werden.
  • Das in den optischen Wellenleiter eingespeiste Signal kann bspw. einer Laser-Quelle entnommen werden. Die Intensität des Interferenzsignals kann durch eine Photodiode bestimmt und in ein elektrisches Signal umgewandelt werden.
  • 1
    Wirbeldurchflussmesseinrichtung
    2
    Sensorhülse
    3
    Sensorfahne
    4
    Membran
    5
    Wandung
    6
    Messrohr
    7
    Optischer Wellenleiter
    8
    Spiegelelement
    9
    Staukörper
    10a
    Halbschale
    10b
    Halbschale
    21
    Lumen
    31
    Fixierung an der Sensorhülse
    41
    Mantel (cladding)
    42
    Kern (core)
    43
    Luftspalt
    44
    Endfläche
    48
    Resonator
    Δt
    Zeitspanne zwischen zwei Intensitätsmaxima
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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    • - Photonics Spectra, December 2007 „To boldly go where no sensor has gone before” [0011]

Claims (12)

  1. Messeinrichtung zur Bestimmung einer chemischen und/oder physikalischen Messgröße, insbesondere eines Volumen- und/oder Massedurchflusses, eines durch eine Rohrleitung strömenden Messstoffs, wobei die Messeinrichtung einen Messaufnehmer aufweist, wobei der Messaufnehmer mindestens einen optischen Wellenleiter (7) aufweist, der zur Erzeugung, Aufnahme und/oder Übertragung von Messsignalen dient, wobei die Aufnahme der Messsignale in den optischen Wellenleiter (7) mittels eines Fabry-Pérot Sensors erfolgt.
  2. Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Fabry-Pérot Sensor wenigstens teilweise aus dem optischen Wellenleiter besteht.
  3. Messeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, dass der Fabry-Pérot Sensor einen optischen Resonator (48) aufweist, der vollständig in den optischen Wellenleiter (7) eingebaut ist.
  4. Messeinrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Wellenleiter (7) einen Kern (42) und einen Mantel (41) aufweist, und dass der optische Resonator (7) aus wenigstens einer Lücke im Kern (42) des optischen Wellenleiters (7) besteht.
  5. Messeinrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Wellenleiter (7) ein optischer Einzel-Moden-Wellenleiter, insbesondere eine Einzel-Moden-Glasfaser, ist.
  6. Messeinrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung eine Wirbeldurchflussmesseinrichtung (1) mit einem entlang eines Durchmessers der Rohrleitung angeordneten und an mindestens einer Fixierstelle mit der Rohrleitung verbundenen Staukörper (9), der der Erzeugung Kármán'scher Wirbel dient und/oder mit einer Sensorfahne (3) zur Aufnahme von, von den Wirbeln erzeugten Druckschwankungen ist.
  7. Messeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Staukörper (9) und/oder die Sensorfahne (3) von außen durch eine Bohrung in der Messrohrwand hindurch eingesetzt ist und dass der Staukörper (9) und/oder die Sensorfahne (3) eine die Bohrung bedeckende Membran (4) umfasst.
  8. Messeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Wellenleiter (7) mit dem Staukörper (9) und/oder der Sensorfahne (3) und/oder der Membran (4) mechanisch gekoppelt ist und auf Bewegungen des Staukörpers (9), der Sensorfahne (3) bzw. der Membran (4) durch eine Längenänderung reagiert.
  9. Messeinrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass aus einem Interferenzmuster, welches aus der Intensität des durch den optischen Wellenleiter (7) übertragenen Messsignals abgeleitet ist, die Frequenz bestimmbar ist, mit der sich die Kármán'schen Wirbel vom Staukörper (9) ablösen.
  10. Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung eine Coriolis-Massedurchflussmesseinrichtung mit mindestens einem im Messbetrieb vibrierenden Messrohr ist, und dass der optische Wellenleiter (7) mechanisch mit dem Messrohr gekoppelt ist und dass der optische Wellenleiter (7) auf Vibrationen des Messrohrs durch eine Längenänderung reagiert.
  11. Messeinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass aus einem Interferenzmuster, welches aus der Intensität des durch den optischen Wellenleiter (7) übertragenen Messsignals abgeleitetet ist, die Frequenz der Vibrationen des Messrohrs bzw. im Falle zweier Messrohre die Phasenverschiebung zwischen den jeweiligen Frequenzen der beiden Messrohre bestimmbar ist.
  12. Messeinrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung der Intensität des Messsignals und/oder des Interferenzmusters mindestens eine Photodiode vorgesehen ist, die ein elektrisches, dem Messsignal entsprechendes Signal erzeugt.
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