WO2016016331A1 - Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component - Google Patents

Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component Download PDF

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WO2016016331A1
WO2016016331A1 PCT/EP2015/067426 EP2015067426W WO2016016331A1 WO 2016016331 A1 WO2016016331 A1 WO 2016016331A1 EP 2015067426 W EP2015067426 W EP 2015067426W WO 2016016331 A1 WO2016016331 A1 WO 2016016331A1
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WO
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layer
decoupling
coupling
refractive index
stack
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PCT/EP2015/067426
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Johannes Rosenberger
Daniel Riedel
Nina Riegel
Silke SCHARNER
Arne FLEISSNER
Thomas Wehlus
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Osram Oled Gmbh
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Filing date
Publication date
Application filed by Osram Oled Gmbh filed Critical Osram Oled Gmbh
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111Flexible substrates
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/85Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K50/854Arrangements for extracting light from the devices comprising scattering means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present application relates to an optoelectronic component and a method for producing a
  • An organic light-emitting diode may comprise a functional layer stack arranged on a glass carrier, wherein light emitted by the layer stack passes through the glass carrier before it is decoupled from the OLED.
  • On the glass carrier can external
  • Scattering layers in particular microlenses, are applied to increase the degree of radiation extraction.
  • this has a functional layer stack.
  • functional layer stack contains in particular a
  • the functional Layer stack comprises, for example, an organic active layer, which during operation of the device
  • the functional layer stack has, for example, an organic layer embodied as a hole transport layer and an organic layer designed as an electron transport layer.
  • the active organic layer is arranged in the vertical direction between the hole transport layer and the electron transport layer.
  • a vertical direction is understood to mean a direction that is perpendicular to a main extension plane of the organic active layer. In particular, that is
  • Component an OLED.
  • this has a mechanically stable coupling-out layer.
  • the functional layer stack is arranged on the coupling-out layer.
  • a mechanically stable decoupling layer is understood as meaning a layer which is designed to be cantilevered in particular. That is, the mechanically stable
  • Decoupling layer can rely on itself and is stable to the Eigenschraft force.
  • the coupling-out layer is suitable
  • the decoupling layer can carry at least the functional layer stack, without being mechanically deformed due to the Eigenglokraft.
  • the coupling-out layer can be used as a
  • Carrier body of the device to be formed means that the decoupling layer in particular the entire Optoelectronic device gives sufficient mechanical stability.
  • the coupling-out layer has a radiation exit surface of the component on a side facing away from the layer stack.
  • the coupling-out layer is permeable to the electromagnetic radiation generated during operation of the component.
  • the decoupling layer can be clear,
  • the coupling-out layer has inner scattering elements. Under inner scattering elements of the coupling-out are in particular
  • Radiation exit surface is coupled out of the device, whereby the Strahlungsauskopplungsgrad of the device is improved.
  • the coupling-out layer has a refractive index which is at least 80% of a refractive index of the layer stack.
  • a refractive index of a layer is in particular the refractive index of the material forming the layer
  • the layer has multiple layers
  • Partial layers and / or more materials is below a refractive index of the layer in particular the
  • the refractive index is determined at a radiation wavelength which is encompassed by the electromagnetic radiation generated during operation of the component.
  • the refractive indices are determined at a wavelength of 500 nm.
  • the refractive index of the coupling-out layer is at least 80% of the refractive index of the layer stack
  • this has a functional layer stack with an organic active layer and a mechanically stable Auskoppeltik, wherein the
  • the organic active layer emits electromagnetic radiation during operation of the device.
  • the decoupling layer has internal scattering elements.
  • Decoupling layer and the layer stack each have a refractive index, wherein the refractive index of the
  • Decoupling layer is at least 80% of the refractive index of the layer stack. Due to the material, the functional layer stack often has a high refractive index, for example around 1.7. Is the
  • Refractive index of the coupling-out layer at least approximately equal to or higher than the refractive index of the
  • Scattering elements within the coupling-out layer can be
  • Carrier body of the device can be made particularly thin, whereby light losses due to absorption in the decoupling layer or in the carrier body of the device can be reduced.
  • the refractive index of the coupling-out layer is at least 1.6
  • the coupling-out layer is formed from a material having a refractive index, in particular between 1.6 and 4
  • the refractive index of the coupling-out layer is greater than the refractive index of the layer stack.
  • the component is free of an intermediate layer, which in
  • the intermediate layer has a refractive index which is smaller than that
  • Embodiment of the device favors a low-loss radiation transition from the functional layer stack to the coupling-out layer.
  • the device can a
  • Refractive index of the intermediate layer is adapted to the refractive index of the layer stack.
  • the refractive index of the intermediate layer differs from the refractive index of the layer stack by at most 20%, for example by at most 10%, by at most 5 ⁇ 6.
  • the intermediate layer has one or more metal oxides
  • the latter is free on a side of the coupling-out layer facing away from the layer stack from a layer formed as a carrier body of the component.
  • the component between the functional layer stack and the radiation exit surface only has a layer formed as a carrier body of the component, which layer
  • Decoupling layer with the inner scattering elements is.
  • the device is free of a boundary layer between the coupling-out layer and a glass layer.
  • the coupling-out layer has a vertical thickness which is between 10 ⁇ m inclusive and 300 ⁇ m inclusive, in particular between 20 ⁇ m inclusive and 200 ⁇ m inclusive, for example between 20 ⁇ m and 20 ⁇ m inclusive
  • the coupling-out layer is designed to be bendable.
  • the decoupling layer has a flexible, in particular an elastically yielding material.
  • the decoupling layer has a flexible, in particular an elastically yielding material.
  • Modulus of elasticity of the coupling-out layer under standard conditions less than 70 kN / mm 2, for example less than 50 kN / mm 2, in particular less than 40 kN / mm 2.
  • An optoelectronic component with a flexible coupling-out layer can be particularly simplified on uneven, for example crooked
  • the inner scattering elements are embedded in a high-index material of the coupling-out layer.
  • a high-index material is understood as meaning a material which in particular has a refractive index of at least 1.6, for example 1.7 or higher, about 2 or higher.
  • the inner scattering elements are in particular scattering particles, for example of titanium oxide or silicon oxide.
  • a conversion material in particular in the form of
  • the conversion material absorbs the radiation generated by the active layer at a first wavelength and converts it into radiation having a second wavelength different from the first wavelength.
  • the first and second wavelengths are each a peak wavelength or a dominant wavelength of the corresponding radiation.
  • the scattering elements differ from the
  • the scattering elements are optically inactive. That is, the scattering elements absorb no or only little radiation with a first wavelength and do not convert them into radiation with a second wavelength different from the first wavelength.
  • the coupling-out layer is designed to be multi-layered.
  • the multilayer coupling-out layer has a scattering layer with the inner scattering elements.
  • the coupling-out layer may have a partial layer which adjoins the scattering layer, wherein the partial layer is free of the inner scattering elements.
  • the scattering layer and the sub-layer can have the same high-index material. It is, however
  • the Decoupling layer may also have a plurality of scattering layers and / or sub-layers.
  • Barrier layer can protect the functional layer stack from environmental influences such as humidity or noxious gases
  • barrier layer as a
  • Planarleiterstik serve for the layers arranged thereon.
  • the barrier layer may depend on the
  • Forming the decoupling layer be optional increases the barrier layer in the presence of the protection of the
  • Layer stack and also simplifies the production of the layer stack to be applied to the barrier layer.
  • this has an encapsulation layer.
  • the functional layer stack is in plan view of the
  • Decoupling layer of the encapsulation layer completely covered.
  • the encapsulation layer completely covers the layer stack in the lateral direction.
  • a lateral direction is understood to mean a direction which, in the context of the manufacturing tolerance, is parallel to the direction of the production
  • Main extension plane of the organic active layer is directed.
  • Encapsulation layer is understood in particular a layer or a plurality of layers, the layer stack of the device at least partially or completely
  • the Encapsulation layer formed such that little or no humidity and no or hardly any substances in the gaseous state can pass through the encapsulation layer.
  • this has a protective layer.
  • the encapsulation layer is in particular between the layer stack and the
  • the encapsulation layer can thus be protected from external mechanical influences by the protective layer.
  • the protective layer may be flexible, for example, bendable.
  • the protective layer has a lower modulus of elasticity than the glass.
  • the glass For example, the
  • the protective layer is a polymer layer.
  • the decoupling layer is applied to the sacrificial substrate, wherein the decoupling layer is formed mechanically stable.
  • the decoupling layer has a refractive index of at least 80% of a refractive index of the functional Layer stack is. Subsequently, the sacrificial substrate is removed from the device.
  • the sacrificial substrate serves as a carrier of the entire electromagnetic device only during its manufacture.
  • the coupling-out layer can be made particularly thin.
  • such a method is particularly suitable for the production of a flexible organic component, in which in particular the coupling-out layer is designed to be flexible.
  • Victim substrate is basically a wide range of materials available, especially plastics or metals, which have a lower risk of breakage in the manufacture of the device compared to the glass, whereby the yield risk, for example due to possible
  • the sacrificial substrate can be reused, thereby reducing the manufacturing cost of such devices.
  • the decoupling layer is formed on the sacrificial substrate such that its thickness is between 10 ⁇ m and 10 ⁇ m
  • optoelectronic device having a total thickness of between 40 ym and 400 ym inclusive, for example between 40 ym and 200 ym inclusive.
  • the decoupling layer is applied to the sacrificial substrate by means of a wet-chemical method.
  • a wet-chemical method for example, the
  • the coupling-out layer formed as a multilayer coating.
  • the coupling-out layer can have a plurality of layers which are arranged in layers on the sacrificial substrate
  • the coupling-out layer is made of a high refractive index material
  • Scattering particles may be embedded in the high refractive material prior to application to the sacrificial substrate. It is also possible that, for the formation of the coupling-out layer, the high-indexing material is first applied to the sacrificial substrate and the scattering elements are applied to the high-index material, for example sprinkled, before a further layer of the high-indexing material is applied to the scattering elements. A last applied layer of the coupling-out layer can be used as a
  • a litter layer and at least one sub-layer of a high-refractive material layers applied to the substrate are provided.
  • the scattering layer has a plurality of scattering elements, in particular scattering particles.
  • the sub-layer is free of the scattering elements.
  • the sub-layer and the scattering layer can be formed so that the sub-layer
  • the sacrificial substrate is provided in the form of a film.
  • the sacrificial substrate approximately comprises a metal
  • the decoupling layer is applied in particular directly to the sacrificial substrate. For example, this indicates
  • the sacrificial substrate may be removed from the decoupling layer by a mechanical process, for example, peeled or peeled off the decoupling layer.
  • the sacrificial substrate may comprise a metal, a plastic or a glass-containing material.
  • the sacrificial substrate may be a glass body.
  • the sacrificial layer is a soluble lacquer or polymer layer.
  • the sacrificial layer may be temporary adhesives or having pyrolytic paints. Removing the sacrificial layer
  • the sacrificial substrate of the device is in particular performed by the removal of the sacrificial layer.
  • a conversion material in particular in the form of
  • Phosphorus particles introduced into the decoupling layer can be introduced into the coupling-out layer analogously to the scattering elements.
  • Figure 1 is a schematic representation of a
  • Figure 2A shows another embodiment of a
  • Figure 2B is a schematic representation of another
  • FIGS. 3A to 3D are schematic sectional views of different process stages of an exemplary embodiment for producing an optoelectronic component.
  • FIG. 10 A first exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 is shown schematically in FIG.
  • the optoelectronic component 10 has a
  • Decoupling layer 1 one on the decoupling layer. 1
  • Encapsulation layer 71 on. In the vertical direction of the layer stack 6 between the coupling-out layer 1 and the
  • Encapsulation layer 71 is arranged. In the lateral direction, the layer stack 6 is between a first
  • Insulation structure 4 and a second insulation structure 5 limited. In plan view of the decoupling layer. 1
  • the encapsulation layer 71 covers the layer stack 6, the first insulation structure 4 and the second one
  • Insulation structure 5 completely.
  • the functional layer stack 6 has an organic active layer 63.
  • the active layer 63 emits electromagnetic radiation during operation of the device, for example in the ultraviolet, visible or infrared spectral range.
  • the layer stack 6 also contains a first charge transport layer 61 and a second charge transport layer 62, wherein the organic active
  • Layer 63 is disposed between the first charge transport layer 61 and the second charge transport layer 62.
  • Charge transport layer in each case at least one organic material.
  • the first and the second charge transport layer are formed as an electron transport layer or as a hole transport layer or vice versa. These charge transport layers serve to inject the holes and the electrons into the organic active layer 63.
  • the layer stack 6 has one
  • Refractive index n2 which may in particular be greater than 1.6, about 1.7 or higher, for example 2 or higher.
  • the coupling-out layer 1 is designed to be transmissive to radiation and has a radiation exit surface 11 of the component 10 on a side facing away from the layer stack 6. That is, the radiation generated during operation of the device 10 leaves the device, in particular at the
  • the radiation exit surface 11 is free of a structuring or a scattering layer.
  • the decoupling layer 1 has internal scattering elements 12.
  • the scattering elements 11 are in the interior of the decoupling layer. 1
  • the decoupling layer 1 has a high refractive index material in which the scattering elements 12 are embedded.
  • the scattering elements 12 are distributed irregularly in the interior of the decoupling layer 1. It is also possible that the
  • the coupling-out layer has a refractive index n 1, which is in particular at least 80% of the refractive index n 2 of the layer stack 6.
  • the refractive index nl of the coupling-out layer is at least 1.6.
  • the coupling-out layer has a greater refractive index than the glass.
  • the refractive index nl of the coupling-out layer 1 is greater than the refractive index n2 of the layer stack 6.
  • Coupling efficiency of the device 10 is improved.
  • the decoupling layer 1 is formed mechanically stable.
  • the decoupling layer 1 is designed in particular as a carrier body of the component. The latter means that the
  • Decoupling layer is formed such that the device due to the decoupling not by his
  • the decoupling layer 1 has a vertical thickness D1 which is, for example, between 10 ⁇ m and 300 ⁇ m, in particular between 20 ⁇ m and 200 ⁇ m, for example between 20 ⁇ m and 100 ⁇ m.
  • the component 10 is free of a further carrier body of the component on a side of the decoupling layer 1 facing away from the layer stack 6.
  • Radiation exit surface 11 is a surface of the
  • Radiation exit surface 11 is arranged.
  • the component 10 has a first electrode 2 and a second electrode 3 for electrical contacting of the
  • the layer stack 6 is arranged in the vertical direction between the first electrode 2 and the second electrode 3.
  • the first electrode 2 is transmissive to radiation and arranged between the coupling-out layer 1 and the layer stack 6.
  • the first electrode 2 has a transmission for the radiation generated by the organic active layer 63
  • the first electrode may include transparent conductive materials, for example, transparent conductive oxides.
  • the first electrode 2 can have a transparent layer with conductor tracks arranged thereon, for example silver nano-conductor tracks. It is also conceivable that such interconnects of the first
  • Electrode 2 are arranged directly on the coupling-out layer 1, so that the conductor tracks of the first electrode 2 are in direct physical contact both with the coupling-out layer 1 and with the layer stack 6.
  • the second electrode 3 is reflective, for example, for the radiation emitted during operation of the component 10
  • the second electrode 3 reflects at least 70%, preferably at least 90%, of the radiation impinging on the second electrode 3 in the direction of the coupling-out layer 1.
  • the first electrode 2 has a first contact track 20, which is arranged laterally of the layer stack 6 in the lateral direction
  • the second electrode 3 has a second contact track 30, which also laterally of the Layer stack 6 is arranged. Via the first contact track 20 and the second contact track 30, the optoelectronic component 10 can be electrically contacted with an external current source.
  • Decoupling layer 1 and the layer stack 6 is arranged.
  • the layer stack 6 is completely surrounded, in particular hermetically sealed, by the encapsulation layer 71 and by the barrier layer 72 in all directions.
  • Encapsulation layer 71 and the barrier layer 72 thus protect the layer stack 6 from external environmental influences. It is also conceivable that the layer stack 6 is already adequately protected from the encapsulation layer 71 and the decoupling layer 1 from external environmental influences and that
  • Component 10 is free from such a barrier layer 72.
  • the device 10 also has a protective layer 70.
  • the protective layer 70 is in particular as a
  • Decoupling layer covers the protective layer 70 the
  • Protective layer 70 may be formed as a carrier body of the device 10. In such a case, the decoupling layer 1 can be made particularly thin.
  • the protective layer 70 is flexible,
  • Protective layer 70 is a polymer layer.
  • the protective layer 70 has a vertical thickness D2, for example
  • the protective layer 70 limits the device 10 in the vertical direction.
  • the component 10 has a vertical total thickness D.
  • the total thickness D is, for example, between 40 ym and 400 ym.
  • the total thickness D may be between 40 ym and 300 ym, for example between 40 ym and 200 ym.
  • Figure 2A shows a schematic sectional view of a
  • the coupling-out layer 1 has, in addition to the scattering elements 12, also a conversion material 15, which is in particular in the form of phosphor particles.
  • the scattering elements 12 and the conversion material 15 can be embedded in the same high-index material of the coupling-out layer. Due to the clarity, in contrast to Figure 1, only a portion between the first insulating structure 4 and the second
  • Insulation structure 5 shown.
  • FIG. 2B A further exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 is shown schematically in sectional view in FIG. 2B. This embodiment corresponds to
  • Litter layer 13 is in the vertical direction between the
  • Sublayers 14 are arranged. At least one of the partial layers 14 has a vertical thickness that is greater than a vertical thickness of the scattering layer 13. The partial layers 14 of the decoupling layer 1 are free of the inner
  • the decoupling layer 1 can a
  • a sub-layer 14 arranged between the layer stack 6 and the scattering layer 13 contains the conversion material
  • the scattering elements 12 are for example in one
  • the scattering layer 13 and the partial layers 14 have the same high-index material.
  • the high-index material has a refractive index which is at least 1.6, in particular at least 1.7, approximately at least 2.0.
  • Decoupling layer 1 throughout the entire vertical height have the same high refractive index material. It is also conceivable that the scattering layer 13 is formed as a prefabricated scattering layer, which in the high-refractive
  • FIGS. 3A to 3D show different process stages of an exemplary embodiment for producing a
  • a sacrificial substrate 9 is provided.
  • the sacrificial substrate 9 may be a glass body.
  • the sacrificial substrate 9 may be formed of materials that have a lower modulus of elasticity than the glass
  • the sacrificial substrate 9 is made of a plastic, such as PET, or of a metal, such as aluminum.
  • a sacrificial layer 8 is applied, for example by means of a coating process.
  • the sacrificial layer 8 is in particular a soluble lacquer layer or a soluble polymer layer.
  • the sacrificial layer may have temporary adhesives or pyrolytic paints.
  • the sacrificial layer can be dissolved by supplying a chemical solution.
  • a decoupling layer 1 with inner scattering elements 12 is applied to the sacrificial substrate 9.
  • the sacrificial layer 8 is arranged between the coupling-out layer 1 and the sacrificial substrate 9.
  • the coupling-out layer is applied to the sacrificial substrate by means of a coating method, for example a wet-chemical method.
  • Decoupling layer 1 is formed such that it is mechanically stable and in particular as a carrier body for a functional applied thereto
  • Optoelectronic device 10 can serve.
  • a vertical thickness of the coupling-out layer 1 is between 10 ⁇ m and 300 ⁇ m, for example between 20 ⁇ m and 200 ⁇ m, approximately between 20 ⁇ m and 100 ⁇ m.
  • the decoupling layer 1 is formed in particular from a high refractive index material having a refractive index which is at least 1.6.
  • the inner scattering elements 12 are doing in the
  • the scattering elements 12 and / or the conversion material 15 can be distributed uniformly or unevenly in a part of the coupling-out layer 1 or in the entire coupling-out layer 1.
  • the scattering layer 13 contains the scattering elements 12, wherein the at least one partial layer 14 can be free of the scattering elements 12.
  • the scattering elements 12 in particular in the form of
  • Partial layer 14 and the scattering elements 12 are applied.
  • Sub-layer 14 of the coupling-out layer 1 can be formed as a planarization layer.
  • the decoupling layer 1 is multilayered
  • Decoupling layer 1 is formed.
  • a barrier layer 72 is applied directly to the coupling-out layer 1. In principle, however, the formation of such a barrier layer 72 may be optional.
  • Charge transport layer 61 an organic active layer 63, and a second charge transport layer 62, and a second electrode 3 and an encapsulation layer 71
  • the sacrificial substrate 9 is detached from the optoelectronic component 10. The removal of the sacrificial substrate 9 is carried out in particular on the sacrificial layer 8, whereby the detached sacrificial substrate 9 in the production of further optoelectronic components
  • FIG. 3D corresponds to FIG
  • the sacrificial substrate 9 is provided in particular in the form of a film.
  • the decoupling layer 1 is applied directly to the sacrificial substrate 9. The trained in the form of a film
  • Sacrificial substrate 9 is removed mechanically from the cured decoupling layer 1, for example.
  • the sacrificial substrate 9 can be removed from the coupling-out layer 1 or peeled off.

Abstract

An optoelectronic component is specified, comprising a functional layer stack (6) having an organic active layer (63) and a coupling-out layer (1) embodied in a mechanically stable fashion, wherein the organic active layer (63) emits electromagnetic radiation during the operation of the component, the functional layer stack (6) is arranged on the coupling-out layer (1), the coupling-out layer (1) has internal scattering elements (12), and the coupling-out layer (1) has a refractive index (n1) that is at least 80% of a refractive index (n2) of the layer stack (6). Furthermore, a method for producing such a component is specified, wherein the functional layer stack (6) is applied to a sacrificial substrate (9) and the sacrificial substrate is removed from the layer stack (6) in a subsequent method step.

Description

Beschreibung description
Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component
Die vorliegende Anmeldung betrifft ein optoelektronisches Bauelement und ein Verfahren zur Herstellung eines The present application relates to an optoelectronic component and a method for producing a
optoelektronischen Bauelements. Eine organische lichtemittierende Diode (OLED) kann einen auf einem Glasträger angeordneten funktionellen Schichtenstapel aufweisen, wobei von dem Schichtenstapel emittiertes Licht durch den Glasträger hindurchtritt, bevor es aus der OLED ausgekoppelt wird. Auf den Glasträger können externe optoelectronic component. An organic light-emitting diode (OLED) may comprise a functional layer stack arranged on a glass carrier, wherein light emitted by the layer stack passes through the glass carrier before it is decoupled from the OLED. On the glass carrier can external
Streuschichten, insbesondere Mikrolinsen, zur Erhöhung des Strahlungsauskopplungsgrads aufgebracht werden. Die Scattering layers, in particular microlenses, are applied to increase the degree of radiation extraction. The
Prozessierung von OLEDs auf Glasträgern mit externen Processing of OLEDs on glass slides with external
Streuschichten oder Mikrolinsen erweist sich jedoch als aufwändig. Außerdem verringern die Absorptionsverluste innerhalb der vergleichsweise dicken Glasträgern die Scattering or microlenses, however, proves to be costly. In addition, the absorption losses within the relatively thick glass substrates reduce the
Effizienz der organischen lichtemittierenden Dioden. Efficiency of organic light-emitting diodes.
Eine Aufgabe ist es, ein vereinfacht herzustellendes One task is to produce a simplified
optoelektronisches Bauelement mit einem hohen Optoelectronic device with a high
Strahlungsauskopplungsgrad anzugeben. Als eine weitere Specify radiation decoupling. As another
Aufgabe wird ein zuverlässiges, vereinfachtes und Task becomes a reliable, simplified and
kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines cost-effective method for producing a
optoelektronischen Bauelements angegeben. Gemäß zumindest einer Ausführungsform eines Bauelements weist dieses einen funktionellen Schichtenstapel auf. Der specified optoelectronic component. According to at least one embodiment of a component, this has a functional layer stack. Of the
funktionelle Schichtenstapel enthält insbesondere eine functional layer stack contains in particular a
Mehrzahl von organischen Schichten. Der funktionelle Schichtenstapel weist zum Beispiel eine organische aktive Schicht auf, die im Betrieb des Bauelements Plurality of organic layers. The functional Layer stack comprises, for example, an organic active layer, which during operation of the device
elektromagnetische Strahlung, beispielsweise UV-Strahlung, sichtbares Licht oder Infrarotstrahlung, emittiert. Außerdem weist der funktionelle Schichtenstapel beispielsweise eine als Lochtransportschicht ausgeführte organische Schicht und eine als Elektronentransportschicht ausgebildete organische Schicht auf. Insbesondere ist die aktive organische Schicht in vertikaler Richtung zwischen der Lochtransportschicht und der Elektronentransportschicht angeordnet. Unter einer vertikalen Richtung wird eine Richtung verstanden, die senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene der organischen aktiven Schicht gerichtet ist. Insbesondere ist das electromagnetic radiation, such as UV radiation, visible light or infrared radiation emitted. In addition, the functional layer stack has, for example, an organic layer embodied as a hole transport layer and an organic layer designed as an electron transport layer. In particular, the active organic layer is arranged in the vertical direction between the hole transport layer and the electron transport layer. A vertical direction is understood to mean a direction that is perpendicular to a main extension plane of the organic active layer. In particular, that is
Bauelement eine OLED. Component an OLED.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist dieses eine mechanisch stabile Auskoppelschicht auf. Der funktionelle Schichtenstapel ist auf der Auskoppelschicht angeordnet. Unter einer mechanisch stabilen Auskoppelschicht wird eine Schicht verstanden, die insbesondere freitragend ausgebildet ist. Das heißt, die mechanisch stabile According to at least one embodiment of the component, this has a mechanically stable coupling-out layer. The functional layer stack is arranged on the coupling-out layer. A mechanically stable decoupling layer is understood as meaning a layer which is designed to be cantilevered in particular. That is, the mechanically stable
Auskoppelschicht kann auf sich selbst stützen und ist gegenüber der Eigenschwerkraft stabil. Beispielsweise ist die Auskoppelschicht durch geeignete Decoupling layer can rely on itself and is stable to the Eigenschraft force. For example, the coupling-out layer is suitable
Materialauswahl und entsprechende Dickengestaltung derart mechanisch stabil ausgebildet, dass die Auskoppelschicht zumindest den funktionellen Schichtenstapel tragen kann, ohne dabei aufgrund der Eigenschwerkraft mechanisch verformt zu werden. Des Weiteren kann die Auskoppelschicht als ein  Material selection and corresponding thickness configuration formed mechanically stable so that the decoupling layer can carry at least the functional layer stack, without being mechanically deformed due to the Eigenschwerkraft. Furthermore, the coupling-out layer can be used as a
Trägerkörper des Bauelements ausgebildet sein. Letzteres bedeutet, dass die Auskoppelschicht insbesondere dem gesamten optoelektronischen Bauelement eine ausreichende mechanische Stabilität verleiht. Carrier body of the device to be formed. The latter means that the decoupling layer in particular the entire Optoelectronic device gives sufficient mechanical stability.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung des Bauelements weist die Auskoppelschicht auf einer dem Schichtenstapel abgewandten Seite eine Strahlungsaustrittsfläche des Bauelements auf. Insbesondere ist die Auskoppelschicht für die im Betrieb des Bauelements erzeugte elektromagnetische Strahlung durchlässig ausgebildet. Die Auskoppelschicht kann klarsichtig, In accordance with at least one embodiment of the component, the coupling-out layer has a radiation exit surface of the component on a side facing away from the layer stack. In particular, the coupling-out layer is permeable to the electromagnetic radiation generated during operation of the component. The decoupling layer can be clear,
transparent oder milchig trüb ausgebildet sein. be transparent or milky cloudy.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung des Bauelements weist die Auskoppelschicht innere Streuelemente auf. Unter inneren Streuelementen der Auskoppelschicht werden insbesondere In accordance with at least one embodiment of the component, the coupling-out layer has inner scattering elements. Under inner scattering elements of the coupling-out are in particular
Streuzentren im Inneren der Auskoppelschicht verstanden. Scattering centers understood in the interior of the decoupling layer.
Beispielsweise sind die inneren Streuelemente von einem For example, the inner scattering elements of a
Material der Auskoppelschicht allseitig vollständig umgeben. Die im Betrieb des Bauelements von der organischen aktiven Schicht emittierte Strahlung wird an den Streuelementen der Auskoppelschicht gestreut, bevor es an der Material of the decoupling layer completely surrounded on all sides. The radiation emitted by the organic active layer during operation of the component is scattered at the scattering elements of the coupling-out layer, before being applied to the diffuser
Strahlungsaustrittsfläche aus dem Bauelement ausgekoppelt wird, wodurch der Strahlungsauskopplungsgrad des Bauelements verbessert wird. Radiation exit surface is coupled out of the device, whereby the Strahlungsauskopplungsgrad of the device is improved.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist die Auskoppelschicht einen Brechungsindex auf, der mindestens 80 % eines Brechungsindexes des Schichtenstapels ist. Unter einem Brechungsindex einer Schicht wird insbesondere der Brechungsindex des die Schicht bildenden Materials In accordance with at least one embodiment of the component, the coupling-out layer has a refractive index which is at least 80% of a refractive index of the layer stack. Among a refractive index of a layer is in particular the refractive index of the material forming the layer
verstanden. Weist die Schicht beispielsweise mehrere Understood. For example, if the layer has multiple layers
Teilschichten und/oder mehrere Materialien auf, wird unter einem Brechungsindex der Schicht insbesondere der Partial layers and / or more materials, is below a refractive index of the layer in particular the
durchschnittliche Brechungsindex dieser Schicht verstanden. Der Brechungsindex wird dabei bei einer Strahlungswellenlänge bestimmt, die von der im Betrieb des Bauelements erzeugten elektromagnetischen Strahlung umfasst ist. Zum Beispiel werden die Brechungsindices bei einer Wellenlänge von 500 nm bestimmt. Insbesondere ist es möglich, dass die genannte Beziehung der Brechungsindices von Auskoppelschicht und average refractive index of this layer understood. The refractive index is determined at a radiation wavelength which is encompassed by the electromagnetic radiation generated during operation of the component. For example, the refractive indices are determined at a wavelength of 500 nm. In particular, it is possible that the said relationship of the refractive indices of decoupling layer and
Schichtenstapel für den gesamten Wellenlängenbereich der im Betrieb vom Bauelement erzeugten elektromagnetischen Layer stack for the entire wavelength range of the electromagnetic generated during operation of the device
Strahlung erfüllt ist. Radiation is fulfilled.
Beträgt der Brechungsindex der Auskoppelschicht mindestens 80 % des Brechungsindexes des Schichtenstapels, können If the refractive index of the coupling-out layer is at least 80% of the refractive index of the layer stack, then
Strahlungsverluste aufgrund von Totalreflexionen beim Radiation losses due to total reflections during
Übergang der emittierten Strahlung von dem Schichtenstapel zur Auskoppelschicht weitgehend unterdrückt werden, sodass die Auskopplung der emittierten Strahlung aus dem Bauelement besonders effizient ausgestaltet ist. In mindestens einer Ausführungsform des optoelektronischenTransition of the emitted radiation from the stack of layers to the coupling-out layer are largely suppressed, so that the coupling of the emitted radiation from the device is designed to be particularly efficient. In at least one embodiment of the optoelectronic
Bauelements weist dieses einen funktionellen Schichtenstapel mit einer organischen aktiven Schicht und eine mechanisch stabil ausgebildete Auskoppelschicht auf, wobei der Component, this has a functional layer stack with an organic active layer and a mechanically stable Auskoppelschicht, wherein the
funktionelle Schichtenstapel auf der Auskoppelschicht functional layer stacks on the decoupling layer
angeordnet ist. Die organische aktive Schicht emittiert im Betrieb des Bauelements elektromagnetische Strahlung. Die Auskoppelschicht weist innere Streuelemente auf. Die is arranged. The organic active layer emits electromagnetic radiation during operation of the device. The decoupling layer has internal scattering elements. The
Auskoppelschicht und der Schichtenstapel weisen jeweils einen Brechungsindex auf, wobei der Brechungsindex der Decoupling layer and the layer stack each have a refractive index, wherein the refractive index of the
Auskoppelschicht mindestens 80 % des Brechungsindexes des Schichtenstapels ist. Materialbedingt weist der funktionelle Schichtenstapel oft einen hohen Brechungsindex auf, etwa um 1,7. Ist der Decoupling layer is at least 80% of the refractive index of the layer stack. Due to the material, the functional layer stack often has a high refractive index, for example around 1.7. Is the
Brechungsindex der Auskoppelschicht zumindest annähernd gleich oder höher als der Brechungsindex des Refractive index of the coupling-out layer at least approximately equal to or higher than the refractive index of the
Schichtenstapels, können Lichtverluste aufgrund von Layer stack, light losses due to
Totalreflexionen beim Strahlungsübergang von dem Total reflections in the radiation transition of the
Schichtenstapel zur Auskoppelschicht stark reduziert werden. Die Effizienz der Strahlungsauskopplung kann durch Layers stack to Auskoppelschicht be greatly reduced. The efficiency of the radiation decoupling can by
Streuungseffekte an den inneren Streuelementen innerhalb der Auskoppelschicht zusätzlich erhöht werden. Des Weiteren können auf externe Streuschichten oder Mikrolinsen, die auf dem Trägerkörper beziehungsweise auf der Auskoppelschicht des Bauelements aufgebracht sind, verzichtet werden, wodurch die Herstellung eines solchen optoelektronischen Bauelements insgesamt vereinfacht wird. Durch die Ausbildung der Scattering effects on the inner scattering elements within the coupling-out layer are additionally increased. Furthermore, it is possible to dispense with external scattering layers or microlenses which are applied to the carrier body or to the coupling-out layer of the component, as a result of which the production of such an optoelectronic component is simplified as a whole. Through the education of
Streuelemente innerhalb der Auskoppelschicht kann ein Scattering elements within the coupling-out layer can be
vereinfachtes, kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines solchen optoelektronischen Bauelements angewendet werden, bei dem die Auskoppelschicht auch im Fall als simplified, cost-effective method for producing such an optoelectronic device are used, wherein the coupling-out layer in the case as
Trägerkörper des Bauelements besonders dünn ausgestaltet werden kann, wodurch Lichtverluste aufgrund von Absorption in der Auskoppelschicht beziehungsweise in dem Trägerkörper des Bauelements vermindert werden. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements ist der Brechungsindex der Auskoppelschicht mindestens 1,6, Carrier body of the device can be made particularly thin, whereby light losses due to absorption in the decoupling layer or in the carrier body of the device can be reduced. In accordance with at least one embodiment of the component, the refractive index of the coupling-out layer is at least 1.6,
insbesondere mindestens 1,7 oder mindestens 2. Beispielsweise ist die Auskoppelschicht aus einem Material gebildet, das einen Brechungsindex insbesondere zwischen 1,6 und 4 in particular at least 1.7 or at least 2. For example, the coupling-out layer is formed from a material having a refractive index, in particular between 1.6 and 4
beispielsweise zwischen 1,6 und 3 oder zwischen 2 und 3 aufweist. Beispielsweise weist die Auskoppelschicht im for example between 1.6 and 3 or between 2 and 3. For example, the decoupling layer in
Vergleich zum Glas einen größeren Brechungsindex auf. Insbesondere ist der Brechungsindex der Auskoppelschicht größer als der Brechungsindex des Schichtenstapels. Compared to the glass on a larger refractive index. In particular, the refractive index of the coupling-out layer is greater than the refractive index of the layer stack.
Gemäß zumindest einer Ausführungsvariante des Bauelements ist das Bauelement frei von einer Zwischenschicht, die in In accordance with at least one embodiment variant of the component, the component is free of an intermediate layer, which in
vertikaler Richtung zwischen dem Schichtenstapel und der Auskoppelschicht angeordnet ist, wobei die Zwischenschicht einen Brechungsindex aufweist, der kleiner als der vertical direction between the layer stack and the decoupling layer, wherein the intermediate layer has a refractive index which is smaller than that
Brechungsindex des funktionellen Schichtenstapels, Refractive index of the functional layer stack,
insbesondere kleiner als 80 % des Brechungsindexes des funktionellen Schichtenstapels ist. Eine derartige In particular, less than 80% of the refractive index of the functional layer stack is. Such
Ausgestaltung des Bauelements begünstigt einen verlustarmen Strahlungsübergang von dem funktionellen Schichtenstapel zur Auskoppelschicht. Alternativ kann das Bauelement eine Embodiment of the device favors a low-loss radiation transition from the functional layer stack to the coupling-out layer. Alternatively, the device can a
zwischen dem Schichtenstapel und der Auskoppelschicht between the layer stack and the decoupling layer
angeordnete Zwischenschicht aufweisen, wobei ein having arranged intermediate layer, wherein a
Brechungsindex der Zwischenschicht dem Brechungsindex des Schichtenstapels angepasst ist. Insbesondere unterscheidet sich der Brechungsindex der Zwischenschicht höchstens um 20 % %, beispielsweise höchstens um 10 %, etwa höchstens um 5 ~6 vom dem Brechungsindex des Schichtenstapels. Zum Beispiel weist die Zwischenschicht ein Metalloxid oder mehrere Refractive index of the intermediate layer is adapted to the refractive index of the layer stack. In particular, the refractive index of the intermediate layer differs from the refractive index of the layer stack by at most 20%, for example by at most 10%, by at most 5 ~ 6. For example, the intermediate layer has one or more metal oxides
Metalloxide auf, etwa A1203, Zr02 oder Ti02. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements ist dieses auf einer dem Schichtenstapel abgewandten Seite der Auskoppelschicht frei von einer als ein Trägerkörper des Bauelements ausgebildeten Schicht. Insbesondere weist das Bauelement zwischen dem funktionellen Schichtenstapel und der Strahlungsaustrittsfläche lediglich eine als Trägerkörper des Bauelements ausgebildete Schicht auf, welche die Metal oxides, such as A1203, Zr02 or Ti02. According to at least one embodiment of the component, the latter is free on a side of the coupling-out layer facing away from the layer stack from a layer formed as a carrier body of the component. In particular, the component between the functional layer stack and the radiation exit surface only has a layer formed as a carrier body of the component, which layer
Auskoppelschicht mit den inneren Streuelementen ist. Insbesondere ist das Bauelement frei von eine Grenzschicht zwischen der Auskoppelschicht und einer Glasschicht. Decoupling layer with the inner scattering elements is. In particular, the device is free of a boundary layer between the coupling-out layer and a glass layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist die Auskoppelschicht eine vertikale Dicke auf, die zwischen einschließlich 10 ym und einschließlich 300 ym, insbesondere zwischen einschließlich 20 ym und einschließlich 200 ym, beispielsweise zwischen einschließlich 20 ym und In accordance with at least one embodiment of the device, the coupling-out layer has a vertical thickness which is between 10 μm inclusive and 300 μm inclusive, in particular between 20 μm inclusive and 200 μm inclusive, for example between 20 μm and 20 μm inclusive
einschließlich 100 ym, ist. including 100 ym, is.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements ist die Auskoppelschicht biegbar ausgebildet. Zum Beispiel weist die Auskoppelschicht ein flexibles, insbesondere ein elastisch nachgiebiges Material auf. Beispielsweise weist die In accordance with at least one embodiment of the component, the coupling-out layer is designed to be bendable. For example, the decoupling layer has a flexible, in particular an elastically yielding material. For example, the
Auskoppelschicht im Vergleich zum Glas einen geringeren Decoupling layer compared to the glass a smaller
Elastizitätsmodul auf. Zum Beispiel beträgt der Elastic modulus on. For example, the
Elastizitätsmodul der Auskoppelschicht bei Normbedingungen weniger als 70 kN/mm^, zum Beispiel weniger als 50 kN/mm^, insbesondere kleiner als 40 kN/mm^. Ein optoelektronisches Bauelement mit einer flexiblen Auskoppelschicht lässt sich besonders vereinfacht auf unebene beispielsweise krumme Modulus of elasticity of the coupling-out layer under standard conditions less than 70 kN / mm 2, for example less than 50 kN / mm 2, in particular less than 40 kN / mm 2. An optoelectronic component with a flexible coupling-out layer can be particularly simplified on uneven, for example crooked
Oberfläche montiert werden. Insbesondere ist die Surface to be mounted. In particular, the
Auskoppelschicht frei vom Glas oder frei von einem Decoupling layer free of glass or free of one
glashaltigen Material. glass-containing material.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements sind die inneren Streuelemente in einem hochbrechenden Material der Auskoppelschicht eingebettet. Unter einem hochbrechenden Material wird ein Material verstanden, das insbesondere einen Brechungsindex von mindestens 1,6, beispielweise 1,7 oder höher, etwa 2 oder höher aufweist. Die inneren Streuelemente sind insbesondere Streupartikel beispielsweise aus Titanoxid oder Siliziumoxid. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements ist ein Konversionsmaterial, insbesondere in Form von In accordance with at least one embodiment of the component, the inner scattering elements are embedded in a high-index material of the coupling-out layer. A high-index material is understood as meaning a material which in particular has a refractive index of at least 1.6, for example 1.7 or higher, about 2 or higher. The inner scattering elements are in particular scattering particles, for example of titanium oxide or silicon oxide. In accordance with at least one embodiment of the component, a conversion material, in particular in the form of
LeuchtstoffPartikeln, in dem hochbrechenden Material der Auskoppelschicht eingebettet. Das Konversionsmaterial absorbiert die von der aktiven Schicht erzeugte Strahlung mit einer ersten Wellenlänge und wandelt diese in eine Strahlung mit einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge um. Insbesondere sind die erste und die zweite Wellenlänge jeweils eine Peak-Wellenlänge oder eine dominante Wellenlänge der entsprechenden Strahlung. Beispielsweise unterscheiden sich die Streuelemente von dem Phosphor particles embedded in the high refractive index material of the decoupling layer. The conversion material absorbs the radiation generated by the active layer at a first wavelength and converts it into radiation having a second wavelength different from the first wavelength. In particular, the first and second wavelengths are each a peak wavelength or a dominant wavelength of the corresponding radiation. For example, the scattering elements differ from the
Konversionsmaterial beziehungsweise von den Conversion material or from the
LeuchtstoffPartikeln dadurch, dass die Streuelemente optisch inaktiv sind. Das heißt, die Streuelemente absorbieren keine oder nur kaum Strahlung mit einer ersten Wellenlänge und wandeln diese nicht oder nur kaum in eine Strahlung mit einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge um.  Phosphor particles by the fact that the scattering elements are optically inactive. That is, the scattering elements absorb no or only little radiation with a first wavelength and do not convert them into radiation with a second wavelength different from the first wavelength.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements ist die Auskoppelschicht mehrschichtig ausgebildet. Insbesondere weist die mehrschichtige Auskoppelschicht eine Streuschicht mit den inneren Streuelementen auf. Des Weiteren kann die Auskoppelschicht eine Teilschicht aufweisen, die sich an die Streuschicht angrenzt, wobei die Teilschicht frei von den inneren Streuelementen ist. Insbesondere weist die In accordance with at least one embodiment of the component, the coupling-out layer is designed to be multi-layered. In particular, the multilayer coupling-out layer has a scattering layer with the inner scattering elements. Furthermore, the coupling-out layer may have a partial layer which adjoins the scattering layer, wherein the partial layer is free of the inner scattering elements. In particular, the
Teilschicht eine größere Dicke auf als die Streuschicht auf. Die Streuschicht und die Teilschicht können ein gleiches hochbrechendes Material aufweisen. Es ist jedoch auch Partial layer on a greater thickness than the litter layer on. The scattering layer and the sub-layer can have the same high-index material. It is, however
möglich, dass die Streuschicht und die Teilschicht possible that the litter layer and the sublayer
verschiedene hochbrechende Materialien aufweisen. Die Auskoppelschicht kann auch eine Mehrzahl von Streuschichten und/oder Teilschichten aufweisen. have different high refractive materials. The Decoupling layer may also have a plurality of scattering layers and / or sub-layers.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist dieses eine zwischen der Auskoppelschicht und dem According to at least one embodiment of the component, this one between the coupling-out and the
Schichtenstapel angeordnete Barriereschicht auf. Die  Layer stack arranged on barrier layer. The
Barriereschicht kann den funktionellen Schichtenstapel vor Umwelteinflüssen wie Luftfeuchtigkeit oder Schadgase Barrier layer can protect the functional layer stack from environmental influences such as humidity or noxious gases
schützen. Außerdem kann die Barriereschicht als eine protect. In addition, the barrier layer as a
Planarisierungsschicht für die darauf angeordneten Schichten dienen. Zwar kann die Barriereschicht abhängig von der Planarisierungsschicht serve for the layers arranged thereon. Although the barrier layer may depend on the
Ausgestaltung der Auskoppelschicht optional sein, erhöht die Barriereschicht bei deren Anwesenheit den Schutz des Forming the decoupling layer be optional increases the barrier layer in the presence of the protection of the
Schichtenstapels und vereinfacht außerdem die Herstellung des auf die Barriereschicht aufzubringenden Schichtenstapels. Layer stack and also simplifies the production of the layer stack to be applied to the barrier layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist dieses eine Verkapselungsschicht auf. Insbesondere ist der funktionelle Schichtenstapel in Draufsicht auf die According to at least one embodiment of the component, this has an encapsulation layer. In particular, the functional layer stack is in plan view of the
Auskoppelschicht von der Verkapselungsschicht vollständig bedeckt. Beispielsweise bedeckt die Verkapselungsschicht den Schichtenstapel in lateraler Richtung vollständig. Decoupling layer of the encapsulation layer completely covered. For example, the encapsulation layer completely covers the layer stack in the lateral direction.
Unter einer lateralen Richtung wird eine Richtung verstanden, die im Rahmen der Herstellungstoleranz parallel zu der A lateral direction is understood to mean a direction which, in the context of the manufacturing tolerance, is parallel to the direction of the production
Haupterstreckungsebene der organischen aktiven Schicht gerichtet ist. Die vertikale Richtung und die laterale Main extension plane of the organic active layer is directed. The vertical direction and the lateral
Richtung sind somit senkrecht zueinander. Unter einer Direction are thus perpendicular to each other. Under one
Verkapselungsschicht wird insbesondere eine Schicht oder eine Mehrzahl von Schichten verstanden, die den Schichtenstapel des Bauelements zumindest teilweise oder vollständig Encapsulation layer is understood in particular a layer or a plurality of layers, the layer stack of the device at least partially or completely
verkapselt und diesen vor Umwelteinflüssen wie encapsulated and this against environmental influences like
Luftfeuchtigkeit oder Schadgase schützt. Insbesondere ist die Verkapselungsschicht derart ausgebildet, dass keine oder kaum Luftfeuchtigkeit sowie keine oder kaum Stoffe in gasförmigem Zustand durch die Verkapselungsschicht hindurchtreten können. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauelements weist dieses eine Schutzschicht auf. Die Verkapselungsschicht ist insbesondere zwischen dem Schichtenstapel und der Humidity or harmful gases protects. In particular, the Encapsulation layer formed such that little or no humidity and no or hardly any substances in the gaseous state can pass through the encapsulation layer. According to at least one embodiment of the component, this has a protective layer. The encapsulation layer is in particular between the layer stack and the
Schutzschicht angeordnet. Die Verkapselungsschicht kann so von der Schutzschicht vor äußeren mechanischen Einwirkungen geschützt werden. Insbesondere ist der funktionelle Protective layer arranged. The encapsulation layer can thus be protected from external mechanical influences by the protective layer. In particular, the functional
Schichtenstapel bis auf Stellen für elektrische Anschlüsse von der Barriereschicht und der Verkapselungsschicht  Layer stack except for locations for electrical connections of the barrier layer and the encapsulation layer
vollständig verkapselt. Die Schutzschicht kann flexibel, beispielsweise biegbar ausgebildet sein. Beispielsweise weist die Schutzschicht im Vergleich zum Glas einen geringeren Elastizitätsmodul auf. Zum Beispiel beträgt der completely encapsulated. The protective layer may be flexible, for example, bendable. For example, the protective layer has a lower modulus of elasticity than the glass. For example, the
Elastizitätsmodul der Schutzschicht bei Normbedingungen weniger als 70 kN/mm^, zum Beispiel weniger als 50 kN/mm^, insbesondere kleiner als 40 kN/mm^. Insbesondere ist die Schutzschicht eine Polymerschicht. Young's modulus of the protective layer under standard conditions less than 70 kN / mm ^, for example less than 50 kN / mm ^, in particular less than 40 kN / mm ^. In particular, the protective layer is a polymer layer.
In mindestens einer Ausführungsform eines Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements, das eine Auskoppelschicht mit inneren Streuelementen und einen In at least one embodiment of a method for producing an optoelectronic component which has a coupling-out layer with internal scattering elements and a
funktionellen Schichtenstapel mit einer organischen, im functional layer stack with an organic, im
Betrieb des Bauelements elektromagnetische Strahlung Operation of the device electromagnetic radiation
emittierenden Schicht aufweist, wird zunächst ein has emitting layer is first a
Opfersubstrat bereitgestellt. Die Auskoppelschicht wird auf das Opfersubstrat aufgebracht, wobei die Auskoppelschicht mechanisch stabil ausgebildet wird. Der funktionelle Victim substrate provided. The decoupling layer is applied to the sacrificial substrate, wherein the decoupling layer is formed mechanically stable. The functional
Schichtenstapel wird auf die Auskoppelschicht aufgebracht, wobei die Auskoppelschicht einen Brechungsindex aufweist, der mindestens 80 % eines Brechungsindexes des funktionellen Schichtenstapels ist. Nachfolgend wird das Opfersubstrat von dem Bauelement entfernt. Layer stack is applied to the decoupling layer, wherein the decoupling layer has a refractive index of at least 80% of a refractive index of the functional Layer stack is. Subsequently, the sacrificial substrate is removed from the device.
Bei solch einem Verfahren dient das Opfersubstrat als ein Träger des gesamten elektromagnetischen Bauelements lediglich während dessen Herstellung. Da bei der Herstellung des In such a method, the sacrificial substrate serves as a carrier of the entire electromagnetic device only during its manufacture. As in the production of the
Bauelements mechanische Belastungen hauptsächlich von dem Opfersubstrat getragen werden, kann die Auskoppelschicht besonders dünn ausgestaltet werden. Außerdem ist ein solches Verfahren besonders geeignet für die Herstellung eines flexiblen organischen Bauelements, bei dem insbesondere die Auskoppelschicht flexibel ausgebildet wird. Für das Component mechanical loads are mainly carried by the sacrificial substrate, the coupling-out layer can be made particularly thin. In addition, such a method is particularly suitable for the production of a flexible organic component, in which in particular the coupling-out layer is designed to be flexible. For the
Opfersubstrat steht grundsätzlich eine große Auswahl von Materialien zur Verfügung, insbesondere auch Kunststoffe oder Metalle, die bei der Herstellung des Bauelements im Vergleich zum Glas ein geringeres Bruchrisiko aufweisen, wodurch das Yield-Risiko beispielsweise aufgrund von möglichen Victim substrate is basically a wide range of materials available, especially plastics or metals, which have a lower risk of breakage in the manufacture of the device compared to the glass, whereby the yield risk, for example due to possible
Glasbrüchen entfällt. Des Weiteren kann das Opfersubstrat wieder verwendet werden, wodurch die Herstellungskosten von solchen Bauelementen vermindert werden. Glass breaks are eliminated. Furthermore, the sacrificial substrate can be reused, thereby reducing the manufacturing cost of such devices.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird die Auskoppelschicht auf dem Opfersubstrat derart ausgebildet, dass deren Dicke zwischen einschließlich 10 ym und In accordance with at least one embodiment of the method, the decoupling layer is formed on the sacrificial substrate such that its thickness is between 10 μm and 10 μm
einschließlich 300 ym, insbesondere zwischen einschließlich 20 ym und einschließlich 200 ym, beispielsweise zwischen einschließlich 20 ym und einschließlich 100 ym ist. Ein durch ein solches Verfahren hergestelltes Bauelement weist im including 300 ym, especially between 20 ym inclusive and 200 ym inclusive, for example between 20 ym inclusive and 100 ym inclusive. A manufactured by such a method component has in
Vergleich zu herkömmlichen OLEDs eine geringere vertikale Höhe zwischen dem funktionellen Schichtenstapel und der Compared to conventional OLEDs a lower vertical height between the functional layer stack and the
Strahlungsaustrittsfläche auf, wodurch Absorptionsverluste vermindert werden und ein höherer Anteil der erzeugten  Radiation exit surface, whereby absorption losses are reduced and a higher proportion of generated
Strahlung ausgekoppelt wird. Auch kann dadurch die Gesamtdicke des Bauelements verringert werden. Beispielsweise kann durch dieses Verfahren ein organisches Radiation is decoupled. Also, this can be the Total thickness of the device can be reduced. For example, by this method, an organic
optoelektronisches Bauelement mit einer Gesamtdicke zwischen einschließlich 40 ym und einschließlich 400 ym, zum Beispiel zwischen einschließlich 40 ym und einschließlich 200 ym hergestellt werden. optoelectronic device having a total thickness of between 40 ym and 400 ym inclusive, for example between 40 ym and 200 ym inclusive.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird die Auskoppelschicht mittels eines nasschemischen Verfahrens auf das Opfersubstrat aufgebracht. Beispielsweise wird die In accordance with at least one embodiment of the method, the decoupling layer is applied to the sacrificial substrate by means of a wet-chemical method. For example, the
Auskoppelschicht als eine Multilagenbeschichtung ausgebildet. Die Auskoppelschicht kann dabei eine Mehrzahl von Schichten aufweisen, die schichtenweise auf das Opfersubstrat  Decoupling layer formed as a multilayer coating. The coupling-out layer can have a plurality of layers which are arranged in layers on the sacrificial substrate
aufgebracht werden. Insbesondere weist die Mehrzahl der be applied. In particular, the majority of the
Schichten der Auskoppelschicht ein gleiches hochbrechendes Material auf. Layers of Auskoppelschicht a same high-index material.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird die Auskoppelschicht aus einem hochbrechenden Material In accordance with at least one embodiment of the method, the coupling-out layer is made of a high refractive index material
ausgebildet. Die Streuelemente, insbesondere in Form voneducated. The scattering elements, in particular in the form of
Streupartikeln, können in das hochbrechende Material vor dem Aufbringen auf das Opfersubstrat eingebettet werden. Es ist auch möglich, dass zur Ausbildung der Auskoppelschicht zunächst das hochbrechende Material auf das Opfersubstrat aufgebracht wird und die Streuelemente auf das hochbrechende Material aufgebracht, beispielsweise berieselt werden, bevor eine weitere Schicht aus dem hochbrechenden Material auf die Streuelemente aufgebracht wird. Eine zuletzt aufgebrachte Schicht der Auskoppelschicht kann als eine Scattering particles may be embedded in the high refractive material prior to application to the sacrificial substrate. It is also possible that, for the formation of the coupling-out layer, the high-indexing material is first applied to the sacrificial substrate and the scattering elements are applied to the high-index material, for example sprinkled, before a further layer of the high-indexing material is applied to the scattering elements. A last applied layer of the coupling-out layer can be used as a
Planarisierungsschicht ausgebildet werden. Planarisierungsschicht be formed.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens werden zur Ausbildung der Auskoppelschicht eine Streuschicht und zumindest eine Teilschicht aus einem hochbrechenden Material schichtenweise auf das Substrat aufgebracht. Die Streuschicht weist dabei eine Mehrzahl von Streuelementen, insbesondere Streupartikeln, auf. Insbesondere ist die Teilschicht frei von den Streuelementen. Die Teilschicht und die Streuschicht können so ausgebildet werden, dass die Teilschicht According to at least one embodiment of the method, a litter layer and at least one sub-layer of a high-refractive material layers applied to the substrate. The scattering layer has a plurality of scattering elements, in particular scattering particles. In particular, the sub-layer is free of the scattering elements. The sub-layer and the scattering layer can be formed so that the sub-layer
beispielsweise eine größere Dicke aufweist als die for example, has a greater thickness than the
Streuschicht . Litter layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird das Opfersubstrat in Form einer Folie bereitgestellt. In accordance with at least one embodiment of the method, the sacrificial substrate is provided in the form of a film.
Beispielsweise weist das Opfersubstrat ein Metall etwa For example, the sacrificial substrate approximately comprises a metal
Aluminium oder einen Kunststoff etwa Polyethylenterephthalat (PET) auf. Die Auskoppelschicht wird insbesondere direkt auf das Opfersubstrat aufgebracht. Beispielsweise weist das Aluminum or a plastic such as polyethylene terephthalate (PET). The decoupling layer is applied in particular directly to the sacrificial substrate. For example, this indicates
Opfersubstrat im Vergleich zum Glas einen geringeren Sacrificial substrate compared to the glass a smaller one
Elastizitätsmodul auf. Bei der Fertigstellung des Bauelements kann das Opfersubstrat von der Auskoppelschicht mittels eines mechanischen Verfahrens entfernt werden, beispielsweise von der Auskoppelschicht abgeschält oder abgezogen werden. Elastic modulus on. Upon completion of the device, the sacrificial substrate may be removed from the decoupling layer by a mechanical process, for example, peeled or peeled off the decoupling layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird vor dem Aufbringen des funktionellen Schichtenstapels eine In accordance with at least one embodiment of the method, before application of the functional layer stack, a
Opferschicht direkt auf das Opfersubstrat aufgebracht. Die Auskoppelschicht wird anschließend derart auf das Sacrificial layer applied directly to the sacrificial substrate. The decoupling layer is then applied to the
Opfersubstrat aufgebracht, dass die Opferschicht zwischen der Auskoppelschicht und dem Opfersubstrat angeordnet ist.  Applied sacrificial substrate, that the sacrificial layer between the decoupling layer and the sacrificial substrate is arranged.
Das Opfersubstrat kann dabei ein Metall, einen Kunststoff oder ein glashaltiges Material aufweisen. Insbesondere kann das Opfersubstrat ein Glaskörper sein. Beispielsweise ist die Opferschicht eine lösliche Lack- oder Polymerschicht. The sacrificial substrate may comprise a metal, a plastic or a glass-containing material. In particular, the sacrificial substrate may be a glass body. For example, the sacrificial layer is a soluble lacquer or polymer layer.
Insbesondere kann die Opferschicht temporäre Klebstoffe oder pyrolytische Lacke aufweisen. Das Entfernen des In particular, the sacrificial layer may be temporary adhesives or having pyrolytic paints. Removing the
Opfersubstrats von dem Bauelement wird insbesondere durch die Entfernung der Opferschicht durchgeführt. The sacrificial substrate of the device is in particular performed by the removal of the sacrificial layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird ein Konversionsmaterial, insbesondere in Form von In accordance with at least one embodiment of the method, a conversion material, in particular in the form of
LeuchtstoffPartikeln, in die Auskoppelschicht eingeführt. Die Leuchtstoffpartikel können dabei analog zu den Streuelementen in die Auskoppelschicht eingeführt werden.  Phosphorus particles introduced into the decoupling layer. The phosphor particles can be introduced into the coupling-out layer analogously to the scattering elements.
Das in der vorliegenden Anmeldung beschriebene Verfahren ist besonders geeignet für die Herstellung eines vorstehend beschriebenen Bauelements. In Zusammenhang mit dem Bauelement beschriebene Merkmale können daher auch für das Verfahren herangezogen werden und umgekehrt. The method described in the present application is particularly suitable for the production of a device described above. Features described in connection with the component can therefore also be used for the method and vice versa.
Weitere Vorteile, bevorzugte Ausführungsformen und Further advantages, preferred embodiments and
Weiterbildungen des optoelektronischen Bauelements sowie des Verfahrens ergeben sich aus den im Folgenden in Verbindung mit den Figuren 1 bis 3D erläuterten Ausführungsbeispielen. Es zeigen: Further developments of the optoelectronic component and of the method are evident from the exemplary embodiments explained below in conjunction with FIGS. 1 to 3D. Show it:
Figur 1 eine schematische Darstellung eines Figure 1 is a schematic representation of a
Ausführungsbeispiels für ein optoelektronisches Bauelement,  Exemplary embodiment of an optoelectronic component,
Figur 2A ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein Figure 2A shows another embodiment of a
optoelektronisches Bauelement in schematischer Schnittansieht,  Optoelectronic component in a schematic sectional view,
Figur 2B eine schematische Darstellung eines weiteren Figure 2B is a schematic representation of another
Ausführungsbeispiels für ein optoelektronisches Bauelement, und Figuren 3A bis 3D schematische Schnittansichten verschiedener Verfahrensstadien eines Ausführungsbeispiels zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements. Embodiment of an optoelectronic device, and FIGS. 3A to 3D are schematic sectional views of different process stages of an exemplary embodiment for producing an optoelectronic component.
Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren sind jeweils schematische Darstellungen und daher nicht unbedingt maßstabsgetreu. Vielmehr können vergleichsweise kleine Elemente und insbesondere Schichtdicken zur The same, similar or equivalent elements are provided in the figures with the same reference numerals. The figures are each schematic representations and therefore not necessarily to scale. Rather, comparatively small elements and in particular layer thicknesses for
Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt sein. Clarification exaggerated to be large.
Ein erstes Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 10 ist in Figur 1 schematisch dargestellt. A first exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 is shown schematically in FIG.
Das optoelektronische Bauelement 10 weist eine The optoelectronic component 10 has a
Auskoppelschicht 1, einen auf der Auskoppelschicht 1 Decoupling layer 1, one on the decoupling layer. 1
angeordneten funktionellen Schichtenstapel 6 und eine arranged functional layer stack 6 and a
Verkapselungsschicht 71 auf. In vertikaler Richtung ist der Schichtenstapel 6 zwischen der Auskoppelschicht 1 und derEncapsulation layer 71 on. In the vertical direction of the layer stack 6 between the coupling-out layer 1 and the
Verkapselungsschicht 71 angeordnet. In lateraler Richtung ist der Schichtenstapel 6 zwischen einer ersten Encapsulation layer 71 is arranged. In the lateral direction, the layer stack 6 is between a first
Isolierungsstruktur 4 und einer zweiten Isolierungsstruktur 5 beschränkt. In Draufsicht auf die Auskoppelschicht 1  Insulation structure 4 and a second insulation structure 5 limited. In plan view of the decoupling layer. 1
überdeckt die Verkapselungsschicht 71 den Schichtenstapel 6, die erste Isolierungsstruktur 4 und die zweite The encapsulation layer 71 covers the layer stack 6, the first insulation structure 4 and the second one
Isolierungsstruktur 5 vollständig. Insulation structure 5 completely.
Der funktionelle Schichtenstapel 6 weist eine organische aktive Schicht 63 auf. Die aktive Schicht 63 emittiert im Betrieb des Bauelements eine elektromagnetische Strahlung, beispielsweise im ultravioletten, sichtbaren oder infraroten Spektralbereich. Der Schichtenstapel 6 enthält außerdem eine erste Ladungstransportschicht 61 und eine zweite Ladungstransportschicht 62, wobei die organische aktive The functional layer stack 6 has an organic active layer 63. The active layer 63 emits electromagnetic radiation during operation of the device, for example in the ultraviolet, visible or infrared spectral range. The layer stack 6 also contains a first charge transport layer 61 and a second charge transport layer 62, wherein the organic active
Schicht 63 zwischen der ersten Ladungstransportschicht 61 und der zweiten Ladungstransportschicht 62 angeordnet ist. Layer 63 is disposed between the first charge transport layer 61 and the second charge transport layer 62.
Insbesondere weisen die erste und die zweite In particular, the first and the second
Ladungstransportschicht jeweils zumindest ein organisches Material auf. Beispielsweise sind die erste und die zweite Ladungstransportschicht als eine Elektronentransportschicht beziehungsweise als eine Lochtransportschicht ausgebildet oder umgekehrt. Diese Ladungstransportschichten dienen der Injektion der Löcher und der Elektronen in die organische aktive Schicht 63. Der Schichtenstapel 6 weist einen  Charge transport layer in each case at least one organic material. For example, the first and the second charge transport layer are formed as an electron transport layer or as a hole transport layer or vice versa. These charge transport layers serve to inject the holes and the electrons into the organic active layer 63. The layer stack 6 has one
Brechungsindex n2 auf, der insbesondere größer als 1,6, etwa 1,7 oder höher, beispielsweise 2 oder höher sein kann. Refractive index n2, which may in particular be greater than 1.6, about 1.7 or higher, for example 2 or higher.
Die Auskoppelschicht 1 ist strahlungsdurchlässig ausgebildet und weist auf einer dem Schichtenstapel 6 abgewandten Seite eine Strahlungsaustrittsfläche 11 des Bauelements 10 auf. Das heißt, die im Betrieb des Bauelements 10 erzeugte Strahlung verlässt das Bauelement insbesondere an der The coupling-out layer 1 is designed to be transmissive to radiation and has a radiation exit surface 11 of the component 10 on a side facing away from the layer stack 6. That is, the radiation generated during operation of the device 10 leaves the device, in particular at the
Strahlungsaustrittsfläche 11. Die Strahlungsaustrittsfläche 11 ist frei von einer Strukturierung oder einer Streuschicht.  Radiation exit surface 11. The radiation exit surface 11 is free of a structuring or a scattering layer.
Die Auskoppelschicht 1 weist innere Streuelemente 12 auf. Die Streuelemente 11 sind im Inneren der Auskoppelschicht 1. The decoupling layer 1 has internal scattering elements 12. The scattering elements 11 are in the interior of the decoupling layer. 1
Insbesondere weist die Auskoppelschicht 1 ein hochbrechendes Material auf, in das die Streuelemente 12 eingebettet sind. Die Streuelemente 12 sind im Inneren der Auskoppelschicht 1 unregelmäßig verteilt. Es ist auch möglich, dass die  In particular, the decoupling layer 1 has a high refractive index material in which the scattering elements 12 are embedded. The scattering elements 12 are distributed irregularly in the interior of the decoupling layer 1. It is also possible that the
Streuelemente 11 in der gesamten Auskoppelschicht 1 Scattering elements 11 in the entire decoupling layer. 1
gleichmäßig verteilt sind. Die Auskoppelschicht weist einen Brechungsindex nl auf, der insbesondere mindestens 80 % des Brechungsindexes n2 des Schichtenstapels 6 ist. Beispielsweise ist der Brechungsindex nl der Auskoppelschicht mindestens 1,6. Beispielsweise weist die Auskoppelschicht im Vergleich zum Glas einen größeren Brechungsindex auf. Bevorzugt ist der Brechungsindex nl der Auskoppelschicht 1 größer als der Brechungsindex n2 des Schichtenstapels 6. Die im Betrieb des Bauelements emittierte Strahlung aus der organischen aktiven Schicht 63 kann somit verlustarm in die Auskoppelschicht 1 eingekoppelt werden. Die in die Auskoppelschicht 1 eingekoppelte Strahlung wird an den Streuelementen 12 gestreut, bevor sie das Bauelement 10 an der Strahlungsaustrittsfläche 11 verlässt, wodurch die evenly distributed. The coupling-out layer has a refractive index n 1, which is in particular at least 80% of the refractive index n 2 of the layer stack 6. For example, the refractive index nl of the coupling-out layer is at least 1.6. For example, the coupling-out layer has a greater refractive index than the glass. Preferably, the refractive index nl of the coupling-out layer 1 is greater than the refractive index n2 of the layer stack 6. The radiation emitted during operation of the component from the organic active layer 63 can thus be coupled into the coupling-out layer 1 with little loss. The radiation coupled into the coupling-out layer 1 is scattered at the scattering elements 12 before it leaves the device 10 at the radiation exit surface 11, as a result of which
Auskoppeleffizienz des Bauelements 10 verbessert wird. Coupling efficiency of the device 10 is improved.
Die Auskoppelschicht 1 ist mechanisch stabil ausgebildet. Die Auskoppelschicht 1 ist insbesondere als ein Trägerkörper des Bauelements ausgebildet. Letzteres bedeutet, dass die The decoupling layer 1 is formed mechanically stable. The decoupling layer 1 is designed in particular as a carrier body of the component. The latter means that the
Auskoppelschicht derart ausgebildet ist, dass das Bauelement aufgrund der Auskoppelschicht nicht durch seine Decoupling layer is formed such that the device due to the decoupling not by his
Eigenschwerkraft verformt wird und mechanisch stabil ist.  Eigenschraft force is deformed and mechanically stable.
Die Auskoppelschicht 1 weist eine vertikale Dicke Dl auf, die beispielsweise zwischen 10 ym und 300 ym ist, insbesondere zwischen 20 ym und 200 ym, etwa zwischen 20 ym und 100 ym. Das Bauelement 10 ist auf einer dem Schichtenstapel 6 abgewandten Seite der Auskoppelschicht 1 frei von einem weiteren Trägerkörper des Bauelements. Die The decoupling layer 1 has a vertical thickness D1 which is, for example, between 10 μm and 300 μm, in particular between 20 μm and 200 μm, for example between 20 μm and 100 μm. The component 10 is free of a further carrier body of the component on a side of the decoupling layer 1 facing away from the layer stack 6. The
Strahlungsaustrittsfläche 11 ist eine Oberfläche der Radiation exit surface 11 is a surface of the
Auskoppelschicht 1 und begrenzt das Bauelement 10 in Decoupling layer 1 and limits the device 10 in
vertikaler Richtung. Es ist jedoch auch denkbar, dass eine strahlungsdurchlässige Schutzschicht direkt auf der vertical direction. However, it is also conceivable that a radiation-permeable protective layer directly on the
Strahlungsaustrittsfläche 11 angeordnet ist. Das Bauelement 10 weist eine erste Elektrode 2 und eine zweite Elektrode 3 zur elektrischen Kontaktierung des Radiation exit surface 11 is arranged. The component 10 has a first electrode 2 and a second electrode 3 for electrical contacting of the
funktionellen Schichtenstapels 6 auf. Der Schichtenstapel 6 ist in vertikaler Richtung zwischen der ersten Elektrode 2 und der zweiten Elektrode 3 angeordnet. Die erste Elektrode 2 ist strahlungsdurchlässig und zwischen der Auskoppelschicht 1 und dem Schichtenstapel 6 angeordnet. Beispielsweise weist die erste Elektrode 2 eine Transmission für die von der organischen aktiven Schicht 63 erzeugte Strahlung von functional layer stack 6 on. The layer stack 6 is arranged in the vertical direction between the first electrode 2 and the second electrode 3. The first electrode 2 is transmissive to radiation and arranged between the coupling-out layer 1 and the layer stack 6. For example, the first electrode 2 has a transmission for the radiation generated by the organic active layer 63
mindestens 70 %, bevorzugt mindestens 80 %, besonders at least 70%, preferably at least 80%, especially
bevorzugt mindestens 90 %, auf. Die erste Elektrode kann transparente leitende Materialien enthalten, beispielsweise transparente leitfähige Oxide. Alternativ kann die erste Elektrode 2 eine transparente Schicht mit darauf angeordnete Leiterbahnen, etwa Silber-Nano-Leiterbahnen, aufweisen. Es ist auch denkbar, dass solche Leiterbahnen der ersten preferably at least 90%, on. The first electrode may include transparent conductive materials, for example, transparent conductive oxides. Alternatively, the first electrode 2 can have a transparent layer with conductor tracks arranged thereon, for example silver nano-conductor tracks. It is also conceivable that such interconnects of the first
Elektrode 2 direkt auf der Auskoppelschicht 1 angeordnet sind, sodass die Leiterbahnen der ersten Elektrode 2 sowohl mit der Auskoppelschicht 1 als auch mit dem Schichtenstapel 6 in direktem physischen Kontakt sind. Electrode 2 are arranged directly on the coupling-out layer 1, so that the conductor tracks of the first electrode 2 are in direct physical contact both with the coupling-out layer 1 and with the layer stack 6.
Die zweite Elektrode 3 ist beispielsweise für die im Betrieb des Bauelements 10 emittierte Strahlung reflektierend The second electrode 3 is reflective, for example, for the radiation emitted during operation of the component 10
ausgebildet. Beispielsweise reflektiert die zweite Elektrode 3 mindestens 70 %, bevorzugt mindestens 90 % der auf die zweite Elektrode 3 auftreffenden Strahlung in Richtung der Auskoppelschicht 1. Die erste Elektrode 2 weist eine erste Kontaktbahn 20 auf, die in der lateralen Richtung seitlich des Schichtenstapels 6 angeordnet ist. Die zweite Elektrode 3 weist eine zweite Kontaktbahn 30 auf, die ebenfalls seitlich des Schichtenstapels 6 angeordnet ist. Über die erste Kontaktbahn 20 und die zweite Kontaktbahn 30 kann das optoelektronische Bauelement 10 mit einer externen Stromquelle elektrisch kontaktiert werden. educated. For example, the second electrode 3 reflects at least 70%, preferably at least 90%, of the radiation impinging on the second electrode 3 in the direction of the coupling-out layer 1. The first electrode 2 has a first contact track 20, which is arranged laterally of the layer stack 6 in the lateral direction , The second electrode 3 has a second contact track 30, which also laterally of the Layer stack 6 is arranged. Via the first contact track 20 and the second contact track 30, the optoelectronic component 10 can be electrically contacted with an external current source.
In der Figur 1 ist eine Barriereschicht 72 zwischen der In the figure 1 is a barrier layer 72 between the
Auskoppelschicht 1 und dem Schichtenstapel 6 angeordnet. Der Schichtenstapel 6 ist von der Verkapselungsschicht 71 und von der Barriereschicht 72 in allen Richtungen vollständig umgeben, insbesondere hermetisch abgeschlossen. Die Decoupling layer 1 and the layer stack 6 is arranged. The layer stack 6 is completely surrounded, in particular hermetically sealed, by the encapsulation layer 71 and by the barrier layer 72 in all directions. The
Verkapselungsschicht 71 und die Barriereschicht 72 schützen den Schichtenstapel 6 somit vor äußeren Umwelteinflüssen. Es ist auch denkbar, dass der Schichtenstapel 6 bereits von der Verkapselungsschicht 71 und von der Auskoppelschicht 1 vor äußeren Umwelteinflüssen ausreichend geschützt ist und das Encapsulation layer 71 and the barrier layer 72 thus protect the layer stack 6 from external environmental influences. It is also conceivable that the layer stack 6 is already adequately protected from the encapsulation layer 71 and the decoupling layer 1 from external environmental influences and that
Bauelement 10 frei von einer solchen Barriereschicht 72 ist. Component 10 is free from such a barrier layer 72.
Das Bauelement 10 weist außerdem eine Schutzschicht 70 auf. Die Schutzschicht 70 ist insbesondere als eine The device 10 also has a protective layer 70. The protective layer 70 is in particular as a
Kratzschutzschicht ausgebildet. In Draufsicht auf die Scratch protective layer formed. In top view on the
Auskoppelschicht bedeckt die Schutzschicht 70 die Decoupling layer covers the protective layer 70 the
Verkapselungsschicht 71 vollständig, sodass die Encapsulation layer 71 completely, so that the
vergleichsweise empfindliche Verkapselungsschicht 71 vor äußeren mechanischen Einwirkungen geschützt ist. Die comparatively sensitive encapsulation layer 71 is protected from external mechanical influences. The
Schutzschicht 70 kann als ein Trägerkörper des Bauelements 10 ausgebildet sein. In so einem Fall kann die Auskoppelschicht 1 besonders dünn ausgestaltet werden. Protective layer 70 may be formed as a carrier body of the device 10. In such a case, the decoupling layer 1 can be made particularly thin.
Beispielsweise ist die Schutzschicht 70 flexibel, For example, the protective layer 70 is flexible,
insbesondere biegbar, ausgebildet. Zum Beispiel ist die in particular bendable, trained. For example, the
Schutzschicht 70 eine Polymerschicht. Die Schutzschicht 70 weist eine vertikale Dicke D2 auf, die beispielsweise  Protective layer 70 is a polymer layer. The protective layer 70 has a vertical thickness D2, for example
zwischen 20 ym und 200 ym, insbesondere zwischen 20 ym und 100 ym ist. Die Schutzschicht 70 begrenzt das Bauelement 10 in vertikaler Richtung. between 20 ym and 200 ym, in particular between 20 ym and 100 ym is. The protective layer 70 limits the device 10 in the vertical direction.
Das Bauelement 10 weist eine vertikale Gesamtdicke D auf. Die Gesamtdicke D ist beispielsweise zwischen 40 ym und 400 ym. Insbesondere kann die Gesamtdicke D zwischen 40 ym und 300 ym, beispielsweise zwischen 40 ym und 200 ym sein. The component 10 has a vertical total thickness D. The total thickness D is, for example, between 40 ym and 400 ym. In particular, the total thickness D may be between 40 ym and 300 ym, for example between 40 ym and 200 ym.
Figur 2A zeigt eine schematische Schnittansicht eines Figure 2A shows a schematic sectional view of a
Ausführungsbeispiels für ein optoelektronisches Bauelement. Exemplary embodiment of an optoelectronic component.
Dieses Ausführungsbeispiel entspricht im Wesentlichen dem Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement in Figur 1. Im Unterschied hierzu weist die Auskoppelschicht 1 neben den Streuelementen 12 auch ein Konversionsmaterial 15 auf, das insbesondere in Form von LeuchtstoffPartikeln ist. Die Streuelemente 12 und das Konversionsmaterial 15 können in demselben hochbrechenden Material der Auskoppelschicht eingebettet sein. Aufgrund der Übersichtlichkeit wird im Unterschied zu Figur 1 lediglich ein Teilbereich zwischen der ersten Isolierungsstruktur 4 und der zweiten This embodiment corresponds essentially to the exemplary embodiment of an optoelectronic component in FIG. 1. In contrast thereto, the coupling-out layer 1 has, in addition to the scattering elements 12, also a conversion material 15, which is in particular in the form of phosphor particles. The scattering elements 12 and the conversion material 15 can be embedded in the same high-index material of the coupling-out layer. Due to the clarity, in contrast to Figure 1, only a portion between the first insulating structure 4 and the second
Isolierungsstruktur 5 dargestellt. Insulation structure 5 shown.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 10 ist in Figur 2B in Schnittansicht schematisch dargestellt. Dieses Ausführungsbeispiel entspricht im A further exemplary embodiment of an optoelectronic component 10 is shown schematically in sectional view in FIG. 2B. This embodiment corresponds to
Wesentlichen dem in der Figur 2A dargestellten Essentially that shown in Figure 2A
Ausführungsbeispiel. Im Unterschied hierzu weist die Embodiment. In contrast to this, the
Auskoppelschicht 1 eine Streuschicht 13 mit den inneren Decoupling layer 1 a scattering layer 13 with the inner
Streuelementen 12 auf. Des Weiteren weist die Spreaders 12 on. Furthermore, the
Auskoppelschicht 1 zwei Teilschichten 14 auf. Die  Decoupling layer 1 on two partial layers 14. The
Streuschicht 13 ist in vertikaler Richtung zwischen den Litter layer 13 is in the vertical direction between the
Teilschichten 14 angeordnet. Zumindest eine der Teilschichten 14 weist eine vertikale Dicke auf, die größer als eine vertikale Dicke der Streuschicht 13 ist. Die Teilschichten 14 der Auskoppelschicht 1 sind frei von den inneren Sublayers 14 are arranged. At least one of the partial layers 14 has a vertical thickness that is greater than a vertical thickness of the scattering layer 13. The partial layers 14 of the decoupling layer 1 are free of the inner
Streuelementen 12. Die Auskoppelschicht 1 kann ein Spreader elements 12. The decoupling layer 1 can a
Konversionsmaterial aufweisen. Insbesondere enthält eine zwischen dem Schichtenstapel 6 und der Streuschicht 13 angeordnete Teilschicht 14 das Konversionsmaterial, Have conversion material. In particular, a sub-layer 14 arranged between the layer stack 6 and the scattering layer 13 contains the conversion material,
beispielsweise in Form von LeuchtstoffPartikeln . Die Streuelemente 12 sind beispielsweise in einem for example in the form of phosphor particles. The scattering elements 12 are for example in one
hochbrechenden Material der Streuschicht 13 eingebettet. embedded high-refractive material of the litter layer 13.
Insbesondere weisen die Streuschicht 13 und die Teilschichten 14 das gleiche hochbrechende Material auf. Insbesondere weist das hochbrechende Material einen Brechungsindex auf, der mindestens 1,6, insbesondere mindestens 1,7, etwa mindestens 2,0 ist. Genauso wie bei den Ausführungsbeispielen in den Figuren 1 und 2A kann die in der Figur 2B beschriebene In particular, the scattering layer 13 and the partial layers 14 have the same high-index material. In particular, the high-index material has a refractive index which is at least 1.6, in particular at least 1.7, approximately at least 2.0. In the same way as in the exemplary embodiments in FIGS. 1 and 2A, that described in FIG
Auskoppelschicht 1 durchgängig in der gesamten vertikalen Höhe ein gleiches hochbrechendes Material aufweisen. Es ist auch denkbar, dass die Streuschicht 13 als eine vorgefertigte Streuschicht ausgebildet ist, die in dem hochbrechenden Decoupling layer 1 throughout the entire vertical height have the same high refractive index material. It is also conceivable that the scattering layer 13 is formed as a prefabricated scattering layer, which in the high-refractive
Material der Auskoppelschicht 1 eingebettet ist. Material of the coupling-out layer 1 is embedded.
In den Figuren 3A bis 3D sind verschiedene Verfahrensstadien eines Ausführungsbeispiels zur Herstellung eines FIGS. 3A to 3D show different process stages of an exemplary embodiment for producing a
optoelektronischen Bauelements schematisch dargestellt. Optoelectronic component shown schematically.
In Figur 3A wird ein Opfersubstrat 9 bereitgestellt. Das Opfersubstrat 9 kann ein Glaskörper sein. Alternativ kann das Opfersubstrat 9 aus Materialien ausgebildet sein, die im Vergleich zum Glas einen geringeren Elastizitätsmodul In FIG. 3A, a sacrificial substrate 9 is provided. The sacrificial substrate 9 may be a glass body. Alternatively, the sacrificial substrate 9 may be formed of materials that have a lower modulus of elasticity than the glass
und/oder ein geringeres Bruchrisiko aufweisen. Beispielsweise ist das Opfersubstrat 9 aus einem Kunststoff, etwa PET, oder aus einem Metall, etwa Aluminium, ausgebildet. and / or have a lower risk of breakage. For example the sacrificial substrate 9 is made of a plastic, such as PET, or of a metal, such as aluminum.
Auf das Opfersubstrat 9 wird eine Opferschicht 8 aufgebracht, beispielsweise mittels eines Beschichtungsverfahrens . Die Opferschicht 8 ist insbesondere eine lösliche Lackschicht oder eine lösliche Polymerschicht. Des Weiteren kann die Opferschicht temporäre Klebstoffe oder pyrolytische Lacke aufweisen. Insbesondere ist die Opferschicht durch Zuführung einer chemischen Lösung auflösbar. On the sacrificial substrate 9, a sacrificial layer 8 is applied, for example by means of a coating process. The sacrificial layer 8 is in particular a soluble lacquer layer or a soluble polymer layer. Furthermore, the sacrificial layer may have temporary adhesives or pyrolytic paints. In particular, the sacrificial layer can be dissolved by supplying a chemical solution.
Eine Auskoppelschicht 1 mit inneren Streuelementen 12 wird auf das Opfersubstrat 9 aufgebracht. Die Opferschicht 8 ist zwischen der Auskoppelschicht 1 und dem Opfersubstrat 9 angeordnet. Beispielsweise wird die Auskoppelschicht mittels eines Beschichtungsverfahrens , etwa eines nasschemischen Verfahrens, auf das Opfersubstrat aufgebracht. Die A decoupling layer 1 with inner scattering elements 12 is applied to the sacrificial substrate 9. The sacrificial layer 8 is arranged between the coupling-out layer 1 and the sacrificial substrate 9. By way of example, the coupling-out layer is applied to the sacrificial substrate by means of a coating method, for example a wet-chemical method. The
Auskoppelschicht 1 wird derart ausgebildet, dass diese mechanisch stabil ist und insbesondere als ein Trägerkörper für einen darauf aufzubringenden funktionellen Decoupling layer 1 is formed such that it is mechanically stable and in particular as a carrier body for a functional applied thereto
Schichtenstapel 6 oder für das herzustellende Layer stack 6 or for the produced
optoelektronische Bauelements 10 dienen kann. Insbesondere ist eine vertikale Dicke der Auskoppelschicht 1 zwischen 10 ym und 300 ym, beispielsweise zwischen 20 ym und 200 ym, etwa zwischen 20 ym und 100 ym. Die Auskoppelschicht 1 wird insbesondere aus einem hochbrechenden Material ausgebildet, das einen Brechungsindex aufweist, der mindestens 1,6 ist. Die inneren Streuelemente 12 werden dabei in das Optoelectronic device 10 can serve. In particular, a vertical thickness of the coupling-out layer 1 is between 10 μm and 300 μm, for example between 20 μm and 200 μm, approximately between 20 μm and 100 μm. The decoupling layer 1 is formed in particular from a high refractive index material having a refractive index which is at least 1.6. The inner scattering elements 12 are doing in the
hochbrechende Material eingebettet. Die Streuelemente 12 und/oder das Konversionsmaterial 15 können gleichmäßig oder ungleichmäßig in einem Teil der Auskoppelschicht 1 oder in der gesamten Auskoppelschicht 1 verteilt sein. Zur Ausbildung der Auskoppelschicht 1 können zumindest eine Teilschicht 14 aus dem hochbrechenden Material und eine embedded in high-index material. The scattering elements 12 and / or the conversion material 15 can be distributed uniformly or unevenly in a part of the coupling-out layer 1 or in the entire coupling-out layer 1. To form the decoupling layer 1, at least one partial layer 14 of the high refractive index material and a
Streuschicht 13 schichtenweise auf das Opfersubstrat 9 aufgebracht werden. Die Streuschicht 13 enthält dabei die Streuelemente 12, wobei die zumindest eine Teilschicht 14 frei von den Streuelementen 12 sein kann. Beispielsweise werden die Streuelemente 12 insbesondere in Form von Litter layer 13 layers applied to the sacrificial substrate 9. The scattering layer 13 contains the scattering elements 12, wherein the at least one partial layer 14 can be free of the scattering elements 12. For example, the scattering elements 12 in particular in the form of
Streupartikeln auf die zumindest eine Teilschicht 14 Scattering particles on the at least one partial layer 14
aufgebracht. Anschließend kann eine weitere Teilschicht 14 aus dem hochbrechenden Material auf die zumindest eine applied. Subsequently, a further partial layer 14 of the high refractive index material on the at least one
Teilschicht 14 und die Streuelemente 12 aufgebracht werden. Eine dem Opfersubstrat 9 abgewandte Seite angeordnete  Partial layer 14 and the scattering elements 12 are applied. A side facing away from the sacrificial substrate 9 side arranged
Teilschicht 14 der Auskoppelschicht 1 kann dabei als eine Planarisierungsschicht ausgebildet werden. Sub-layer 14 of the coupling-out layer 1 can be formed as a planarization layer.
Alternativ wird die Auskoppelschicht 1 mehrschichtig Alternatively, the decoupling layer 1 is multilayered
ausgebildet, wobei eine Streuschicht 13 mit den formed, wherein a scattering layer 13 with the
Streuelementen 12 zwischen zwei Teilschichten 14 der Diffusing elements 12 between two partial layers 14 of the
Auskoppelschicht 1 ausgebildet wird. Decoupling layer 1 is formed.
Gemäß der Figur 3B wird eine Barriereschicht 72 direkt auf die Auskoppelschicht 1 aufgebracht. Grundsätzlich kann die Ausbildung einer solchen Barriereschicht 72 jedoch optional sein. Nachfolgend werden eine erste Elektrode 2, ein According to FIG. 3B, a barrier layer 72 is applied directly to the coupling-out layer 1. In principle, however, the formation of such a barrier layer 72 may be optional. Hereinafter, a first electrode 2, a
funktioneller Schichtenstapel 6 mit einer ersten functional layer stack 6 with a first
Ladungstransportschicht 61, einer organischen aktiven Schicht 63, und einer zweiten Ladungstransportschicht 62, sowie eine zweite Elektrode 3 und eine Verkapselungsschicht 71  Charge transport layer 61, an organic active layer 63, and a second charge transport layer 62, and a second electrode 3 and an encapsulation layer 71
nacheinander auf die Auskoppelschicht 1 aufgebracht, etwa mittels eines Beschichtungsverfahrens . Anschließend wird eine Schutzschicht 70 auf die Verkapselungsschicht 71 aufgebracht. In der Figur 3C wird das Opfersubstrat 9 von dem optoelektronischen Bauelement 10 abgelöst. Das Entfernen des Opfersubstrats 9 wird insbesondere an der Opferschicht 8 durchgeführt, wodurch das abgelöste Opfersubstrat 9 bei der Herstellung weiterer optoelektronischer Bauelemente successively applied to the decoupling layer 1, for example by means of a coating process. Subsequently, a protective layer 70 is applied to the encapsulation layer 71. In FIG. 3C, the sacrificial substrate 9 is detached from the optoelectronic component 10. The removal of the sacrificial substrate 9 is carried out in particular on the sacrificial layer 8, whereby the detached sacrificial substrate 9 in the production of further optoelectronic components
wiederverwendet werden kann. can be reused.
Gemäß Figur 3D wird das Opfersubstrat 9 von dem According to Figure 3D, the sacrificial substrate 9 of the
optoelektronischen Bauelement 10 entfernt. Das in der Figur 3D beschriebene Ausführungsbeispiel entspricht im optoelectronic component 10 removed. The embodiment described in FIG. 3D corresponds to FIG
Wesentlichen dem in den Figuren 3A bis 3C beschriebenen  Essentially that described in Figures 3A to 3C
Ausführungsbeispiel des Verfahrens. Im Unterschied hierzu wird keine Opferschicht 8 bei der Herstellung des Embodiment of the method. In contrast, no sacrificial layer 8 in the manufacture of the
optoelektronischen Bauelements verwendet. Das Opfersubstrat 9 wird insbesondere in Form einer Folie bereitgestellt. Die Auskoppelschicht 1 wird direkt auf das Opfersubstrat 9 aufgebracht. Das in Form einer Folie ausgebildete optoelectronic device used. The sacrificial substrate 9 is provided in particular in the form of a film. The decoupling layer 1 is applied directly to the sacrificial substrate 9. The trained in the form of a film
Opfersubstrat 9 wird von der ausgehärteten Auskoppelschicht 1 beispielsweise mechanisch entfernt. Insbesondere kann das Opfersubstrat 9 von der Auskoppelschicht 1 abgezogen oder abgeschält werden. Sacrificial substrate 9 is removed mechanically from the cured decoupling layer 1, for example. In particular, the sacrificial substrate 9 can be removed from the coupling-out layer 1 or peeled off.
Mit der Verwendung eines Opfersubstrats kann somit ein hoch effizientes organisches Bauelement mit einer besonders dünnen, hochbrechenden und streuenden Auskoppelschicht vereinfacht und kostengünstig hergestellt werden. With the use of a sacrificial substrate, a highly efficient organic component with a particularly thin, high-refractive and scattering coupling-out layer can thus be simplified and produced at low cost.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2014 110 971.6, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird. This patent application claims the priority of German Patent Application 10 2014 110 971.6, the disclosure of which is hereby incorporated by reference.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung der Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Die Erfindung umfasst vielmehr jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist . The invention is not limited by the description of the invention based on the embodiments of these. The Rather, the invention encompasses any novel feature as well as any combination of features, including in particular any combination of features in the claims, even if this feature or combination itself is not explicitly stated in the claims or exemplary embodiments.

Claims

Patentansprüche claims
1. Optoelektronisches Bauelement (10) aufweisend einen funktionellen Schichtenstapel (6) mit einer organischen aktiven Schicht (63) und eine mechanisch stabil ausgebildete Auskoppelschicht (1), wobei 1. An optoelectronic component (10) comprising a functional layer stack (6) with an organic active layer (63) and a mechanically stable developed coupling-out layer (1), wherein
- die organische aktive Schicht (63) im Betrieb des  the organic active layer (63) during operation of the
Bauelements elektromagnetische Strahlung emittiert, Component emits electromagnetic radiation,
- der funktionelle Schichtenstapel (6) auf der the functional layer stack (6) on the
Auskoppelschicht (1) angeordnet ist,  Decoupling layer (1) is arranged,
- die Auskoppelschicht (1) innere Streuelemente (12)  the decoupling layer (1) inner scattering elements (12)
aufweist, und  has, and
- die Auskoppelschicht (1) einen Brechungsindex (nl)  - the coupling-out layer (1) has a refractive index (nl)
aufweist, der mindestens 80 % eines Brechungsindexes (n2) des Schichtenstapels (6) ist.  which is at least 80% of a refractive index (n2) of the layer stack (6).
2. Bauelement nach dem vorhergehenden Anspruch, 2. Component according to the preceding claim,
bei dem der Brechungsindex (nl) der Auskoppelschicht (1) größer als der Brechungsindex (n2) des Schichtenstapels (6) ist, wobei der Brechungsindex (nl) der Auskoppelschicht (1) mindestens 1,6 ist. in which the refractive index (nl) of the decoupling layer (1) is greater than the refractive index (n2) of the layer stack (6), the refractive index (nl) of the decoupling layer (1) being at least 1.6.
3. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Auskoppelschicht (1) eine Dicke (Dl) zwischen einschließlich 20 ym und einschließlich 200 ym aufweist. 3. Device according to one of the preceding claims, wherein the coupling-out layer (1) has a thickness (Dl) between 20 ym inclusive and including 200 ym.
4. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das auf einer dem Schichtenstapel (6) abgewandten Seite der Auskoppelschicht (1) frei von einem Trägerkörper des 4. The component according to one of the preceding claims, on a side facing away from the layer stack (6) of the decoupling layer (1) free of a carrier body of
Bauelements ist. Component is.
5. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Auskoppelschicht (1) biegbar ausgebildet ist. 5. The component according to one of the preceding claims, wherein the decoupling layer (1) is formed bendable.
6. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die inneren Streuelemente (12) in einem Material der Auskoppelschicht (1) eingebettet sind. 6. The component according to one of the preceding claims, wherein the inner scattering elements (12) are embedded in a material of the coupling-out layer (1).
7. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Auskoppelschicht (1) mehrschichtig ausgebildet ist und eine Streuschicht (13) mit den inneren Streuelementen (12) aufweist. 7. The component according to one of the preceding claims, wherein the decoupling layer (1) is multilayered and has a scattering layer (13) with the inner scattering elements (12).
8. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem eine Barriereschicht (72) zwischen der 8. The component according to one of the preceding claims, wherein a barrier layer (72) between the
Auskoppelschicht (1) und dem Schichtenstapel (6) angeordnet ist . Decoupling layer (1) and the layer stack (6) is arranged.
9. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das eine Schutzschicht (70) und eine zwischen dem 9. The component according to one of the preceding claims, which has a protective layer (70) and one between the
Schichtenstapel (6) und der Schutzschicht (70) angeordnete Verkapselungsschicht (71) aufweist, wobei der Schichtenstapel (6) von der Verkapselungsschicht (71) vollständig bedeckt ist . Layer stack (6) and the protective layer (70) arranged encapsulation layer (71), wherein the layer stack (6) of the encapsulation layer (71) is completely covered.
10. Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen 10. A method for producing an optoelectronic
Bauelements (10), das eine Auskoppelschicht (1) mit inneren Streuelementen (12) und einen funktionellen Schichtenstapel (6) mit einer organischen, im Betrieb des Bauelements Device (10) having a decoupling layer (1) with inner scattering elements (12) and a functional layer stack (6) with an organic, during operation of the device
elektromagnetische Strahlung emittierenden Schicht (63) aufweist, mit folgenden Schritten: electromagnetic radiation emitting layer (63), comprising the following steps:
a) Bereitstellen eines Opfersubstrats (9);  a) providing a sacrificial substrate (9);
b) Aufbringen der Auskoppelschicht (1) auf das  b) applying the decoupling layer (1) on the
Opfersubstrat (9), wobei die Auskoppelschicht (1) mechanisch stabil ausgebildet wird; c) Aufbringen des funktionellen Schichtenstapels (6) auf die Auskoppelschicht (1), wobei die Auskoppelschicht (1) einen Brechungsindex (nl) aufweist, der mindestens o o eines Brechungsindexes (n2) des Schichtenstapels (6) ist; und Sacrificial substrate (9), wherein the coupling-out layer (1) is formed mechanically stable; c) applying the functional layer stack (6) to the decoupling layer (1), wherein the decoupling layer (1) has a refractive index (nl) which is at least oo a refractive index (n2) of the layer stack (6); and
d) Entfernen des Opfersubstrats (9) von dem Bauelement  d) removing the sacrificial substrate (9) from the device
(10) .  (10).
11. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, 11. Method according to the preceding claim,
bei dem die Auskoppelschicht ( 1 ) mittels eines nasschemischen Verfahrens auf das Opfersubstrat (9) aufgebracht wird. in which the decoupling layer (1) is applied to the sacrificial substrate (9) by means of a wet-chemical process.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 11, 12. The method according to any one of claims 10 to 11,
bei dem die Auskoppelschicht ( 1 ) aus einem Material mit einem Brechungsindex von mindestens 1,6 ausgebildet wird und in which the decoupling layer (1) is formed from a material having a refractive index of at least 1.6 and
Streuelemente (12) in das Material eingebettet werden. Scattering elements (12) are embedded in the material.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, 13. The method according to any one of claims 10 to 12,
bei dem zur Ausbildung der Auskoppelschicht (1) zumindest eine Teilschicht (14) aus einem Material mit einem in which for forming the decoupling layer (1) at least one partial layer (14) made of a material having a
Brechungsindex von mindestens 1,6 und eine Streuschicht (13) schichtenweise auf das Opfersubstrat (9) aufgebracht werden, wobei die Streuschicht (13) die Streuelemente (12) aufweist und die zumindest eine Teilschicht (14) frei von den  Refractive index of at least 1.6 and a scattering layer (13) layers on the sacrificial substrate (9) are applied, wherein the scattering layer (13) has the scattering elements (12) and the at least one sub-layer (14) free of the
Streuelementen (12) ist. Scattering elements (12).
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, 14. The method according to any one of claims 10 to 13,
bei dem vor dem Aufbringen des funktionellen Schichtenstapels (6) eine Opferschicht (8) direkt auf das Opfersubstrat (9) aufgebracht wird. in which, prior to the application of the functional layer stack (6), a sacrificial layer (8) is applied directly to the sacrificial substrate (9).
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, 15. The method according to any one of claims 10 to 13,
bei dem das Opfersubstrat (9) in Form einer Folie in which the sacrificial substrate (9) in the form of a film
bereitgestellt wird und die Auskoppelschicht (1) direkt auf das Opfersubstrat (9) aufgebracht wird. is provided and the decoupling layer (1) is applied directly to the sacrificial substrate (9).
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