WO2014084049A1 - 有機el素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置 - Google Patents

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organic
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index layer
light
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祐介 山▲崎▼
祥貴 下平
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昭和電工株式会社
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    • H10K50/82Cathodes
    • H10K50/828Transparent cathodes, e.g. comprising thin metal layers

Definitions

  • the present invention relates to an organic EL element, and an image display device and an illumination device including the organic EL element.
  • the organic EL element has features such as a wide viewing angle, high-speed response, and clear self-luminous display. It is expected as a pillar for next-generation lighting devices and image display devices because of its thin and light weight and low power consumption.
  • Organic EL elements are classified into a bottom emission type in which light is extracted from the support substrate side and a top emission type in which light is extracted from the opposite side of the support substrate, depending on the direction in which the light generated in the organic light emitting layer is extracted. .
  • a bottom emission type organic EL device that includes a transparent electrode, an organic layer including a light emitting layer, and a metal electrode in this order on a transparent substrate
  • light that is incident on the transparent substrate perpendicularly to the light emitted from the light emitting layer is The light passes through the transparent substrate and is taken out of the device.
  • a small incident angle incident on the interface
  • the transparent substrate for example, glass (typical refractive index: 1.52)
  • air refractive index: 1.0
  • the incident light at an angle formed by the normal of the interface with the light ray is refracted at the interface and extracted outside the device. In this specification, these lights are called external mode lights.
  • the light incident on the interface between the transparent substrate and air at an incident angle larger than the critical angle is totally reflected at the interface and is not taken out of the device, and finally Can be absorbed by the material.
  • this light is referred to as substrate mode (Substrate Mode) light.
  • the incident light is larger than the critical angle at the interface between the transparent electrode made of a transparent conductive oxide (for example, indium tin oxide (ITO (typical refractive index: 1.8)) and the transparent substrate.
  • ITO indium tin oxide
  • the light incident at the corner is totally reflected at the interface and is not taken out of the element and can be finally absorbed by the material, which is referred to as waveguide mode light in this specification.
  • a metal layer such as a metal cathode is present in the organic EL device, out of the light emitted from the light-emitting layer, the light enters the metal layer and combines with free electrons of the metal electrode to form a surface plasmon polariton (SPP). ) On the surface of the metal electrode. This light is not taken out of the device but can be finally absorbed by the material. In the present specification, this light is referred to as SPP mode light.
  • the light extraction efficiency of the organic EL element is generally limited to about 20% (for example, Patent Document 1). That is, about 80% of the light emitted from the light emitting layer is lost, and it is a big problem to reduce these losses and improve the light extraction efficiency.
  • the extraction of the substrate mode light can be dealt with by providing a light diffusion sheet or the like on the transparent substrate (for example, Patent Document 2).
  • Patent Document 2 it can be said that research on the reduction and extraction of guided mode light and SPP mode light, particularly reduction and extraction of SPP mode light, has just started.
  • Patent Document 3 discloses a configuration in which a high refractive index layer having a higher refractive index than that of an organic light emitting layer or a transparent electrode is inserted in the vicinity of the organic light emitting layer.
  • Patent Document 2 discloses a configuration in which the refractive index of the organic light emitting layer and the transparent electrode is equivalently lowered by dispersing fine particles having a refractive index lower than that of the organic light emitting layer and the transparent electrode in the organic light emitting layer and the transparent electrode. ing.
  • Patent Documents 4 and 5 disclose a configuration in which a cavity is formed in a transparent electrode layer and a dielectric layer that are sequentially formed on a substrate. Light incident on the side surface of the cavity (interface extending perpendicular to the substrate) is refracted toward the substrate at this interface. The light refracted to the substrate side can reduce the proportion of light that causes total reflection at the interface between the transparent electrode and the substrate and between the substrate and the air.
  • Patent Documents 6 to 9 As a method for extracting SPP mode light trapped on the surface of the metal electrode, a configuration in which a periodic uneven structure is formed on the surface of the metal electrode is known (Patent Documents 6 to 9).
  • Non-patent Document 1 A method of arranging the body and adopting the Otto type arrangement (Non-patent Document 1) is often used.
  • the SPP mode light is extracted from the metal surface, if the light is captured as guided mode light, it is not extracted outside the device, and the light extraction efficiency is not improved.
  • An object of the present invention is to provide an organic EL element in which SPP mode light and waveguide mode light are effectively extracted to improve light extraction efficiency, and an image display device and an illumination device including the organic EL element.
  • the inventors first have a two-step light extraction mechanism in which SPP mode light is extracted from the surface of the metal layer into the organic layer, and then the propagation light is extracted outside the device without being guided mode light. Assuming an effective structure that improves light extraction efficiency out of many structures. Since it is difficult to directly measure the light extraction efficiency, the investigation was mainly based on simulation.
  • the organic EL device of the present invention has a structure in which an organic layer including a light emitting layer is sandwiched between a first electrode and a second electrode.
  • the above-described two-step light extraction mechanism generates the SPP mode light and extracts the generated SPP mode light from the metal layer surface into the organic layer on the second electrode side (Non-Patent Document 1). It consists of a structure and a first electrode side structure that takes out the propagating light to the outside without using it as guided mode light.
  • the inventors of the present invention have shown by simulation that a second electrode side structure having an Otto type arrangement and a convex portion having a specific cross-sectional shape that refracts or directs guided mode light toward the substrate side (on the opposite side of the substrate in the top emission type). Or, by combining with the first electrode side structure provided with the recesses, the second electrode side structure and the first electrode side structure have a remarkable effect that cannot be predicted from the improvement effect of the single light extraction efficiency. Discovered and completed the present invention.
  • An organic EL element comprising a first electrode, an organic layer including a light emitting layer, a second electrode, a low refractive index layer, and a metal layer in this order, wherein the second electrode is translucent
  • the low refractive index layer is made of a conductive material, and the refractive index of the low refractive index layer is lower than the refractive index of the organic layer.
  • the high refractive index layer is provided on the surface of the first electrode opposite to the organic layer.
  • the refractive index layer is made of a material having a refractive index higher than that of a substance adjacent to the surface opposite to the first electrode of the high refractive index layer and higher than that of the low refractive index layer, and further
  • the refractive index layer includes a plurality of convex portions that are convex toward the opposite side of the first electrode, and the convex portion has a maximum height of the cross section among the cross sections perpendicular to the first electrode.
  • the cross-sectional shape of the cross section having the minimum length of the base of the cross section includes a base parallel to the first electrode and two base angles.
  • the two base angles are acute angles, have two hypotenuses connected to the base across the base angle, and the convex portion has a slope including the hypotenuse in the plane.
  • the cross-sectional shape is a multistage polygon having other sides in addition to the base and the two oblique sides, and an angle formed by the two oblique sides and the other sides and the base is The organic EL element according to (1), wherein the organic EL element decreases in order from the bottom of the multistage polygon to the top.
  • the organic EL element according to (2), wherein the cross-sectional shape is a multistage polygon having two or more of the other sides.
  • the real part of the relative dielectric constant of the metal layer is ⁇ 1
  • the relative dielectric constant of the low refractive index layer is ⁇ 2
  • the relative dielectric constant of the high refractive index layer is ⁇ h
  • the high refractive index layer The relative dielectric constant of a substance adjacent to the surface opposite to the first electrode is ⁇ s
  • the base angle ( ⁇ a ) is an angle within the range of the following formula (1) (1 )
  • is an angle defined by the following equation (2).
  • the relative permittivity ⁇ 2 , the relative permittivity ⁇ h , and the relative permittivity ⁇ s are the relative permittivity at the maximum peak wavelength of light emitted from the light emitting layer, and the real part ⁇ 1 of the relative permittivity is the light emitting layer. It is a real part of the relative permittivity at the maximum peak wavelength of the emitted light.
  • the real part of the relative dielectric constant of the metal layer is ⁇ 1
  • the relative dielectric constant of the low refractive index layer is ⁇ 2
  • the relative dielectric constant of the high refractive index layer is ⁇ h
  • the high refractive index layer The relative permittivity of the substance adjacent to the surface opposite to the first electrode is ⁇ s
  • is an angle defined by the following equation (4).
  • the relative permittivity ⁇ 2 , the relative permittivity ⁇ h , and the relative permittivity ⁇ s are the relative permittivity at the maximum peak wavelength of light emitted from the light emitting layer, and the real part ⁇ 1 of the relative permittivity is the light emitting layer. It is a real part of the relative permittivity at the maximum peak wavelength of the emitted light.
  • the base angle is an angle within a range of 20 to 55 °.
  • the organic EL element according to one item. (10) The organic EL element according to (9), wherein the apex angle is an angle within a range of 70 to 140 °.
  • An organic EL element comprising a first electrode, an organic layer including a light emitting layer, a second electrode, a low refractive index layer, and a metal layer in this order, wherein the second electrode is translucent
  • the low refractive index layer is made of a conductive material, and the refractive index of the low refractive index layer is lower than the refractive index of the organic layer.
  • the high refractive index layer is provided on the surface of the first electrode opposite to the organic layer.
  • the refractive index layer is made of a material having a refractive index higher than that of a substance adjacent to the surface opposite to the first electrode of the high refractive index layer and higher than that of the low refractive index layer, and further
  • the refractive index layer includes a plurality of concave portions that are concave toward the first electrode, and the concave portion has a maximum height of the cross section among the cross sections perpendicular to the first electrode, and
  • the cross-sectional shape of the cross section having the minimum length of the base of the cross section is a polygon having a base parallel to the first electrode and two base angles.
  • Each of the two base angles is an acute angle, has two hypotenuses connected to the base side across the base angle, and the recess has a slope including the hypotenuse in the plane.
  • the cross-sectional shape is a multistage polygon having other sides in addition to the base and the two oblique sides, and an angle formed by the two oblique sides and the other sides and the base is The organic EL element according to (11), wherein the organic EL element increases in order from the bottom of the multistage polygon to the top.
  • the organic EL element according to (11), wherein the cross-sectional shape is a multistage polygon having a side parallel to the bottom side in addition to the bottom side and the two oblique sides.
  • the cross-sectional shape is a multi-stage polygon having further other sides, and an angle formed by the two oblique sides and the other sides and the base is from the base of the multi-stage polygon.
  • the organic EL device as described in (13), which increases in order toward the top.
  • Both the size of the polygon forming the cross-sectional shape in the element in-plane direction and the size in the direction perpendicular to the element in-plane direction are not less than the effective wavelength ( ⁇ / n h ) of the emitted light.
  • is the wavelength in vacuum at the maximum peak wavelength of light emitted from the light emitting layer
  • n h is the refractive index of the high refractive index layer.
  • the high refractive index layer is composed of a plurality of layers.
  • a refractive index of the low refractive index layer is further lower than a refractive index of the second electrode.
  • the low refractive index layer is made of a material having a refractive index smaller by 0.2 or more than at least one of the second electrode and the organic layer.
  • An organic EL device according to claim 1. An image display device comprising the organic EL element according to any one of (1) to (23). (25) An illuminating device comprising the organic EL element according to any one of (1) to (23).
  • an organic EL element in which SPP mode light and waveguide mode light are effectively extracted to improve light extraction efficiency, and an image display device and an illumination device including the organic EL element.
  • FIG. 3A shows a case where the angle ⁇ is a small acute angle
  • FIG. 3B shows a case where the angle ⁇ is a large acute angle.
  • FIG. 7A shows a case where the cross-sectional shape of the convex portion 7a is a triangle.
  • FIG. 7B shows a case where the cross-sectional shape of the convex portion 17a is a multistage shape in which the hypotenuse and the other sides are gradually and gradually connected toward the top. It is an example of the top view which looked at the convex part of the organic EL element which concerns on this invention from the normal line direction of the element surface.
  • FIG. 8A shows an example in which the convex portion has a dot shape
  • FIG. 8B shows an example in which the convex portion has a line shape.
  • FIG. 9A shows an arrangement in the case where the convex portion has a dot shape
  • FIG. 9B shows an arrangement example in the case where the convex portion has a line shape.
  • FIG. 10A is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 10B is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the fourth embodiment of the present invention.
  • an energy dissipation calculation was performed to develop the intensity of light emitted from the organic layer with a wave number in the surface direction of the organic EL element. Results are shown. It is the figure which showed the dependence by the film thickness of a low refractive index layer of the energy dissipation calculation in Otto type
  • the refractive index of the low refractive index layer is 1.38
  • FIG. 16A shows the result when the reflective layer is Al
  • FIG. 17A shows the case where the thickness of the low refractive index layer is 0 nm.
  • FIG. 17B shows a case where SPP mode light and waveguide mode light are mixed as the thickness of the low refractive index layer increases.
  • FIG. 17C shows a case where the film thickness of the low refractive index layer is sufficiently thick so that the evanescent wave does not reach the metal layer and is not captured as SPP mode light.
  • FIG. 19A is a graph showing the equation (18) in the case where the reflective layer is Al and FIG. 19B is the reflective layer Ag.
  • the height of the convex portion is 400 nm
  • the height of the convex portion is 800 nm.
  • FIG. 28A is a schematic plan view when the bottom surface of the convex portion is a square and the convex portions are spread in a square lattice pattern.
  • FIG. 28B is a schematic plan view when the bottom surface of the convex portion is circular and the convex portions are spread in a square lattice pattern.
  • FIG. 28C shows a translational symmetry (stripe shape) in which convex portions extend in one direction, and is a schematic plan view in the case where the convex portions are spread in parallel lines.
  • FIG. 29A shows the results when the convex portions of FIGS. 27A and 27B are trapezoidal.
  • FIG. 29B shows the results when the convex portions in FIGS. 27C and 27D have a two-stage convex shape.
  • FIG. 30A shows the result when the convex portions of FIG. 27A and FIG. 27B are trapezoidal.
  • FIG.30 (b) is a result in case the convex part of FIG.27 (c) and FIG.27 (d) has a 2 step
  • FIG. 31 (a) shows the results when the cross-sectional shape of the protrusions in FIGS. 27 (a) and 27 (b) is trapezoidal.
  • FIG. 30A shows the result when the convex portions of FIG. 27A and FIG. 27B are trapezoidal.
  • FIG.30 (b) is a result in case the convex part of FIG.27 (c) and FIG.27 (d) has a 2 step
  • the result of having obtained the light extraction efficiency of the organic EL element having the convex shape of FIGS. 27A to 27D in the arrangement of FIG. 28C by computer simulation using the FDTD method is shown.
  • FIG. 31 (a) shows the results when
  • FIG. 31 (b) shows a result when the cross-sectional shape of the convex portion in FIGS. 27 (c) and 27 (d) has a multistage shape with two steps. It is sectional drawing which shows the cross section of the organic EL element model structure of this invention. For ease of understanding, only the high refractive index layer is shown.
  • FIG. FIGS. 33A1 to 33A3 show the case of the shape shown in FIG. FIGS. 33 (b1) to 33 (b3) show the shape shown in FIG. 32 (b).
  • 33 (a1) and 33 (b1) are the arrangement of FIG. 28 (a)
  • FIG. 33 (a2) and FIG. 33 (b2) are the arrangement of FIG. 28 (b)
  • FIG. 33 (a3) and FIG. b3) is the case of the arrangement of FIG.
  • the organic EL device of the present invention may include a layer not described below as long as the effects of the present invention are not impaired. Furthermore, the so-called top emission type or bottom emission type may be applied to the organic EL element of the present invention. Hereinafter, a bottom emission type configuration will be described as an example.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view thereof.
  • An organic EL element 10 according to the first embodiment of the present invention includes an anode (first electrode) 2, an organic layer 3 including a light emitting layer, and a cathode (second electrode) on one surface of a substrate 1. 4, a low refractive index layer 5, and a metal layer 6 in order (downward in the figure).
  • the cathode 4 is a transparent conductive layer made of a translucent conductive material.
  • the refractive index of the low refractive index layer 5 is lower than the refractive index of the organic layer 3.
  • the low refractive index layer 5 includes a high refractive index layer 7 on the surface of the anode 2 opposite to the organic layer 3.
  • the high refractive index layer 7 has a higher refractive index than the substance (the substrate 1) adjacent to the surface of the high refractive index layer 7 opposite to the anode 2, and has a higher refractive index than the low refractive index layer 5. Is made of high material. Further, the high refractive index layer 7 includes a plurality of convex portions 7 a that are convex toward the side opposite to the anode 2 (on the substrate 1 side).
  • the convex portion 7 a has a maximum cross section height, and the cross sectional shape of the cross section in which the length of the base L of the cross section is minimum is the anode.
  • 2 is a triangle (polygon) having a base L having a base L parallel to 2 and two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12, with the apex being the apex and the apex angle being ⁇ .
  • the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are both acute angles, and the triangle has two hypotenuses connecting the base L with the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 sandwiched therebetween, respectively.
  • the said convex part 7a is the structure which has the slope which contains the said oblique side in a surface.
  • the high refractive index layer 7 is in contact with the anode 2, but a configuration in which another layer is sandwiched between the anode 2 and the anode 2 may be employed. In the present embodiment, it is arranged between the substrate 1 and the anode 2.
  • the high refractive index layer 7 is composed of a plurality of layers of convex portions 7 a and layered portions 7 c.
  • the refractive index of the low refractive index layer 5 is preferably lower than the refractive index of the cathode 4.
  • the refractive index of the cathode 4 is preferably lower than the refractive index of the organic layer 3.
  • the refractive index of the organic layer means the average refractive index of all the layers including the light emitting layer made of the organic EL material.
  • the configuration shown by the solid line in FIG. 1 is a bottom emission type.
  • reference numeral 1 a indicated by a two-dot chain line indicates the arrangement of the substrate in the case of the top emission type in order to easily explain the configuration of the present invention. In this case, it is not necessary to provide the substrate 1, and the substance adjacent to the surface of the high refractive index layer 7 on the side opposite to the anode 2 may be air, for example.
  • the substrate arrangement in the case of the top emission type is the same in the other embodiments.
  • the refractive index of the low refractive index layer is organic. It must be lower than the refractive index of the layer. With such a refractive index configuration, SPP mode light generated at the metal layer / low refractive index interface can be extracted into the organic layer. More preferably, the refractive index of the cathode is higher than the refractive index of the low refractive index layer.
  • the structure of the metal layer / low refractive index layer / cathode is also an Otto type arrangement.
  • the refractive index of the cathode is preferably lower than the refractive index of the organic layer.
  • the organic EL element 10 includes a bottom emission type (when the substrate 1 is on the opposite side of the organic layer 3 when viewed from the anode 2) and a top emission type (when viewed from the metal layer 6 on the side opposite to the low refractive index layer 5). It can be applied to any of the organic EL elements in the case where the substrate 1a is present.
  • the substrate 1 is a light-transmitting substrate and usually needs to be transparent to visible light.
  • transparent to visible light means that it is only necessary to transmit visible light having a wavelength emitted from the light emitting layer, and it is not necessary to be transparent over the entire visible light region.
  • a smooth substrate having a transmittance in visible light of 400 to 700 nm of 50% or more is preferable. Further, the transmittance of the substrate 1 is more preferably 70% or more.
  • the material constituting the substrate 1 include glass and polymer.
  • the glass include soda lime glass, barium / strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, and quartz.
  • the polymer include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyether sulfide, and polysulfone. Even when the emitted light is not visible light, it is necessary to be transparent at least in the emission wavelength region, as in the case of visible light.
  • the transmittance is preferably 50% or more and more preferably 70% or more with respect to the wavelength at which light emission has the maximum intensity.
  • an opaque material can be used in addition to the same as described above. Specifically, for example, Cu, Ag, Au, Pt, W, Ti, Ta, Nb, Al alone, an alloy containing these elements, or a metal material such as stainless steel, Si, SiC, AlN, GaN, Nonmetallic materials such as GaAs and sapphire, and other substrate materials usually used in top emission type organic EL elements can be used.
  • a material having high thermal conductivity is preferably used for the substrate.
  • the substrate 1 is provided with a plurality of concave portions corresponding thereto, and therefore, it is preferable that the material be easily processed more accurately.
  • a preferable material For example, quartz is mentioned.
  • the thickness of the substrate 1 is not particularly limited depending on the required mechanical strength.
  • the thickness is preferably 0.01 mm to 10 mm, more preferably 0.05 mm to 2 mm.
  • the anode 2 is an electrode for applying a voltage between the anode 4 and injecting holes from the anode 2 into the organic layer 3.
  • the anode 2 is preferably made of a material made of a metal, an alloy, a conductive compound, or a mixture thereof having a high work function. It is preferable to use one having a work function of 4 eV or more and 6 eV or less so that the difference from the HOMO (Highest Occupied Molecular Orbital) level of the organic layer 3 in contact with the anode 2 does not become excessive.
  • the material of the anode 2 is not particularly limited as long as it is a translucent and conductive material.
  • transparent inorganic oxides such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), tin oxide, zinc oxide, PEDOT: PSS (poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -poly (styrenesulfonic acid) ), Conductive polymers such as polyaniline and conductive polymers doped with any acceptor, conductive light transmissive materials such as carbon nanotubes, thin film metals, metal nanowires formed into thin films, and composite materials containing these Can be mentioned.
  • the anode 2 can be formed by, for example, a sputtering method, a vacuum deposition method, a coating method, or the like. The thickness of the anode 2 is not particularly limited.
  • the thickness of the anode 2 is 10 to 2000 nm, preferably 50 to 1000 nm.
  • the sheet resistance of the anode 2 increases. If the thickness of the anode 2 is larger than 2000 nm, the flatness of the organic layer 3 cannot be maintained and the transmittance of the anode is lowered.
  • the organic layer 3 may include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, and the like in addition to a light emitting layer made of an organic EL material.
  • a material of the light emitting layer any material known as a material for an organic EL element can be used.
  • the hole injection layer is a layer that assists hole injection from the anode 2 to the organic layer 3, and its ionization energy is usually as low as 5.5 eV or less.
  • a material that injects holes into the organic layer 3 with lower electric field strength is preferable.
  • the material to be formed is not particularly limited as long as it can perform the above functions, and any material can be selected and used from known materials.
  • the hole transport layer is a layer that transports holes to the light emitting region and has a high hole mobility.
  • the material to be formed as such a hole transport layer is not particularly limited as long as it can perform the above function, and any material can be selected and used from known materials.
  • the electron injection layer is a layer that assists electron injection from the cathode 4 to the organic layer 3. Such an electron injection layer is preferably a material that injects electrons into the organic layer 3 with lower electric field strength.
  • the material to be formed is not particularly limited as long as it can perform the above functions, and any material can be selected and used from known materials.
  • the electron transport layer is a layer that transports electrons to the light emitting region and has a high electron mobility. The material for forming such an electron transport layer is not particularly limited as long as it can perform the above function, and any material can be selected and used from known materials.
  • the organic layer 3 may be formed by a dry process such as an evaporation method or a transfer method, or may be formed by a wet process such as a spin coating method, a spray coating method, a die coating method, or a gravure printing method.
  • the thickness of the organic layer 3 is not particularly limited. For example, it is 50 to 2000 nm, preferably 100 to 1000 nm. If the thickness of the organic layer 3 is less than 50 nm, quenching other than SPP coupling occurs, such as a decrease in internal quantum efficiency due to a penetration current and lossy surface wave mode coupling due to the metal layer 6. When the thickness of the organic layer 3 is greater than 2000 nm, the driving voltage increases.
  • the cathode 4 is an electrode for injecting electrons into the light emitting layer, and it is preferable to use a material made of a metal, an alloy, a conductive compound, or a mixture thereof having a small work function. It is preferable to use a cathode 4 having a work function of 1.9 eV or more and 5 eV or less so that the difference from the LUMO (Lowest Unoccupied Molecular Orbital) level of the organic layer 3 in contact with the cathode 4 does not become excessive.
  • LUMO Local Unoccupied Molecular Orbital
  • the thickness of the cathode 4 is not particularly limited. For example, it is 30 nm to 1 ⁇ m, preferably 50 to 500 nm. If the thickness of the cathode 4 is less than 30 nm, the sheet resistance increases and the driving voltage rises. If the thickness of the cathode 4 is greater than 1 ⁇ m, heat and radiation damage during film formation and mechanical damage due to film stress accumulate in the electrode and organic layer.
  • the low refractive index layer 5 is provided on the surface of the cathode 4 opposite to the organic layer 3.
  • the low refractive index layer 5 is made of a material having a refractive index lower than that of the organic layer 3.
  • the low refractive index layer 5 is preferably made of a material having a lower refractive index than the translucent conductive material constituting the cathode 4.
  • the material for the low refractive index layer 5 is not particularly limited as long as it is a material having a refractive index lower than that of the organic layer 3.
  • SOG magnesium fluoride
  • MgF 2 magnesium fluoride
  • metal fluorides such as polytetrafluoroethylene (PTFE (typical refractive index 1.35)), silicon dioxide (SiO 2 (typical refractive index 1.45)
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • SiO 2 typically refractive index 1.405
  • Various low-melting glass and porous material can be mentioned.
  • the low refractive index layer 5 is a layer including an air layer, and may have a lower refractive index than the translucent conductive material constituting the cathode 4.
  • the low refractive index layer 5 is preferably made of a material having a refractive index smaller by 0.2 or more than at least one of the cathode 4 and the organic layer 3. If the cathode 4 and the organic layer 3 correspond to an Otto type high refractive index medium, and the Otto type arrangement has a refractive index difference of 0.2 or more between the low refractive index medium and the high refractive index medium, the wave number of the SPP mode light The in-plane component is reduced.
  • the dispersion curve of the propagation light in the high refractive index medium and the SPP mode light intersects, and the SPP mode light is more efficiently extracted to the cathode 4 or the organic layer 3. It is.
  • the thickness of the low refractive index layer 5 is preferably 20 nm to 300 nm. If the thickness of the low refractive index layer 5 is less than 20 nm, the thickness of the low refractive index layer 5 is too thin, so that the metal layer 6 and the organic layer 3 or the cathode 4 come close to increase the wave number of the SPP mode light. When the wave number of the SPP mode light increases, the dispersion curve does not intersect with the dispersion curve of the propagation light in the organic layer 3, and it becomes difficult for the SPP mode light to be extracted into the organic layer.
  • the thickness of the low refractive index layer 5 is greater than 300 nm, the SPP mode electromagnetic field does not reach the metal layer 6 and SPP mode light is difficult to be extracted into the organic layer. Furthermore, the thickness of the low refractive index layer 5 is more preferably 200 nm or less.
  • the metal layer 6 is provided on the opposite side of the cathode 4 from the organic layer 3 via a low refractive index layer 5.
  • a material in which the real part of the relative complex permittivity has a negative value with a large absolute value is preferable. Examples of such materials include simple substances such as Au, Ag, Cu, Zn, Al, Mg, alkali metals and alkaline earth metals, alloys of Au and Ag, alloys of Ag and Cu, and alloys such as brass. It is done.
  • the metal layer 6 may have a laminated structure of two or more layers.
  • the thickness of the metal layer 6 is not particularly limited.
  • the thickness of the metal layer 6 is, for example, 20 to 2000 nm, and preferably 50 to 500 nm. When the thickness of the metal layer 6 is less than 20 nm, the reflectance is lowered and the front luminance is lowered. When the thickness of the metal layer 6 is greater than 2000 nm, damage due to heat and radiation during film formation and mechanical damage due to film stress accumulate in the electrode and the organic layer.
  • the high refractive index layer 7 is made of a material having a refractive index higher than that of a substance adjacent to the surface opposite to the anode 2 of the high refractive index layer 7 and higher than that of the low refractive index layer 5.
  • the high refractive index layer 7 is a material having a higher refractive index than the substrate 1. Consists of. In a top emission type element, when the material adjacent to the surface of the high refractive index layer 7 opposite to the anode 2 is air, the high refractive index layer 7 has a higher refractive index than air and a low refractive index layer.
  • the substrate can be made of a material having a refractive index higher than 5.
  • the substrate is viewed from the outer surface side (upward in the drawing) in a sectional view.
  • the light incident on the convex portion 7a that is convex is refracted toward the substrate.
  • the incident angle of light on the substrate 1 is changed to a small angle, the amount of light that does not undergo total reflection on the outer surface of the substrate increases, and the substrate mode light is suppressed.
  • light can be directed in a direction nearly perpendicular to the element surface.
  • the refractive index of the high refractive index layer 7 is preferably the same as or higher than the refractive index of the organic layer 3. With such a refractive index structure, the SPP mode light and the emitted light re-radiated into the organic layer are extracted into the high refractive index layer without being totally reflected at the anode / high refractive index layer interface.
  • the material of the high refractive index layer 7 is higher than the material that is translucent and adjacent to the surface of the high refractive index layer 7 opposite to the anode 2 (in the case of the bottom emission type, the material adjacent to the substrate side).
  • the material is not particularly limited as long as the material has a refractive index higher than that of the low refractive index layer 5.
  • the material of the high refractive index layer 7 is, for example, refractive SOG having a refractive index higher than 1.52 (typical refractive index: 1.6 to 2.0), magnesium oxide (MgO) (typical refractive index: 1.74), zinc oxide (ZnO) (typical Refractive index: 2.02) oxides, nitrides such as aluminum nitride (AlN), oxynitrides such as aluminum oxynitride (AlON) and silicon oxynitride, polyethylene naphthalate ( A polymer compound resin such as PEN (typical refractive index: 1.77)) or melamine resin can be selected and used.
  • refractive SOG having a refractive index higher than 1.52 (typical refractive index: 1.6 to 2.0), magnesium oxide (MgO) (typical refractive index: 1.74), zinc oxide (ZnO) (typical Refractive index: 2.02) oxides, nitrides such as aluminum nitride (AlN), oxyni
  • a porous material, a mixture thereof, or a material in which fine particles of an inorganic material are dispersed in a transparent medium can be used.
  • the material of the high refractive index layer 7 is the same as or lower than the refractive index of the substrate.
  • metal halides such as magnesium fluoride (MgF 2 ) (typical refractive index: 1.38) and polytetrafluoroethylene (PTFE (typical refractive index: 1.35)
  • MgF 2 magnesium fluoride
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • a fluorine resin, polymethyl methacrylate (typical refractive index: 1.49), silica (SiO 2 ) (typical refractive index: 1.45), or the like can be selected and used.
  • the high refractive index layer 7 may be composed of a plurality of layers.
  • it is composed of a layer having a layered portion 7c and a convex portion 7a and two layers, but even if they are composed of the same type of high refractive index layer, they are composed of different types of high refractive index layers. Also good.
  • the refractive index of the layered part 7c and the convex part 7a is different, it is preferable that the refractive index of the high refractive index layer of the layered part 7c is lower than the refractive index of the convex part 7a. As shown in FIG.
  • the light emitted from the organic layer 3 passes through the layered portion 7c and the convex portion 7a in this order, and is extracted outside the device. Therefore, if the refractive index of the layered portion 7c is lower than that of the protruding portion 7a, total reflection at the interface between the protruding portion 7a and the layered portion 7c can be suppressed.
  • the fact that total reflection can be suppressed means that light can be extracted efficiently.
  • both the size are not less than the effective wavelength ( ⁇ / n h ) of the emitted light.
  • is the wavelength in vacuum at the maximum peak wavelength of light emitted from the light emitting layer
  • n h is the refractive index of the high refractive index layer 7 at this wavelength.
  • the convex portion 7a such that the size of the region is equal to or larger than the effective wavelength ( ⁇ / n h ) of the emitted light, the light incident on the region from the high refractive index layer 7 is inclined to the convex portion 7a. Can be refracted and light can be extracted efficiently.
  • the first electrode and the second electrode are not associated with either the anode or the cathode, respectively, and are described as the first electrode and the second electrode.
  • be the angular frequency of surface plasmon polariton (SPP) generated on a flat metal surface
  • k sp be the in-plane component of the wave number.
  • This dispersion relationship (the relationship between the angular frequency and the wave number) is determined by the real part ⁇ 1 of the relative dielectric constant of the metal and the relative dielectric constant ⁇ 2 of the dielectric material in contact with the metal surface.
  • the magnitude of the wave number of normal propagating light propagating through a dielectric having a relative dielectric constant ⁇ 2 is given by the following equation (6).
  • the formula (6) is always smaller than the wave number (5) of the SPP. Therefore, the dispersion curve of surface plasmon polariton (SPP) does not intersect with the normal dispersion light dispersion line. That is, normal propagating light cannot excite SPP on a flat metal surface. Further, it is not possible to directly extract propagating light from the SPP present on the flat metal surface.
  • the structure is an Otto type arrangement, that is, a metal / low refractive index medium / high refractive medium, and in the organic EL device of the present invention, the metal layer 6 (real part ⁇ 1 of relative dielectric constant) / low
  • the refractive index of the organic layer 3 is higher than the refractive index of the low refractive index layer 5
  • the light incident from the organic layer 3 side to the low refractive index layer 5 side at an incident angle larger than the critical angle is incident on the organic layer 3 and the cathode 4.
  • ⁇ 3 is sufficiently large, by changing the incident angle ⁇ , the dispersion curve of the SPP and the evanescent wave due to total reflection (hereinafter, even simply referred to as “evanescent wave” refers to all generated by total reflection). It is possible to give an intersection to the dispersion straight line. That is, if evanescent waves are used, SPP can be excited on the surface of the flat metal layer 6 from the propagating light in the organic layer 3. Moreover, it becomes possible to take out SPP into the organic layer 3 through the evanescent wave from the surface of the metal layer 6 existing on the surface of the flat metal layer 6 as the reverse process.
  • ⁇ in equation (7) is the radiation angle of the propagating light. In other words, it means that only light propagating in the organic layer 3 at a predetermined angle can exchange energy with the SPP via the evanescent wave.
  • the low refractive index layer 5 is too thick or too thin, the SPP mode light is not excited or extracted via the evanescent wave. This is because if the low refractive index layer 5 is too thick, exudation of evanescent waves from the organic layer 3 does not reach the metal layer 6 and energy cannot be exchanged between the evanescent waves and the SPP mode light. If the low refractive index layer 5 is too thin, the metal layer 6 and the organic layer 3 or the cathode 4 approach each other, the wave number of the SPP mode becomes larger than the equation (5), and the dispersion curve becomes the dispersion curve (7) of the evanescent wave. This is because they do not intersect at any angle ⁇ . As described above, the light extracted from the SPP is emitted at a predetermined angle corresponding to the intersection of the dispersion curve of the SPP and the dispersion line of the evanescent wave.
  • the high refractive index layer 7 is provided in the surface on the opposite side to the organic layer 3 of the anode 2. As shown in FIG.
  • the high refractive index layer 7 is made of a material having a refractive index higher than that of a substance adjacent to the surface of the high refractive index layer 7 opposite to the anode 2 and higher than that of the low refractive index layer 5.
  • the high refractive index layer 7 includes a plurality of convex portions 7 a that are convex toward the side opposite to the anode 2.
  • a plurality of adjacent convex portions 7a have the same shape, and the polygon of the cross-sectional shape of the convex portion 7a is also a triangle having the same shape.
  • 3A shows a case where the angle ⁇ is an acute angle smaller than the radiation angle ⁇ of the SPP, and FIG.
  • 3B shows a case where the angle ⁇ is an acute angle larger than the radiation angle ⁇ of the SPP.
  • the interface between the anode 2 and the high-refractive index layer 7 is flat, light incident from the organic layer to the high-refractive index layer 7 at an incident angle ⁇ enters the high-refractive index layer 7 (relative to the substrate normal).
  • ⁇ h is the relative dielectric constant of the high refractive index layer 7.
  • the propagation angle ⁇ in the high refractive index layer of the SPP that has been reradiated into the organic layer 3 by the Otto type arrangement and then taken out to the high refractive index layer can be expressed by the following equation. That is, the propagation angle ⁇ in the high refractive index layer 7 is a value determined from the dispersions ⁇ 1 ( ⁇ ), ⁇ 2 ( ⁇ ), and ⁇ h ( ⁇ ) of each layer.
  • the dispersion a value in the frequency of light having the maximum peak wavelength emitted from the light emitting layer 3 is used.
  • the SPP mode light is extracted to the substrate 1 by adjusting the angle of the slope of the convex portion 7a so that the light propagating at this angle suppresses total reflection at the interface of the high refractive index layer 7 / substrate 1.
  • the base angle of the polygon constituting the cross-sectional shape of the convex portion 7a is ⁇
  • the relative dielectric constant of the substrate is ⁇ s
  • the re-emitted light is on the slope closest to the first electrode 2 of the convex portion 7a.
  • FIG. 4 is a diagram showing the change in Fresnel reflectivity at the interface between the high refractive index layer and the substrate with respect to the incident angle. Further, in FIG. 4, calculation is performed for each assumed value of ( ⁇ s / ⁇ h ).
  • the number of the graph line in the legend is ( ⁇ s / ⁇ h ), that is, the ratio between the relative dielectric constant ⁇ s of the substrate and the relative dielectric constant ⁇ h of the high refractive index layer. From the figure, at any relative dielectric constant ratio (that is, in all possible combinations of the high refractive index 7 and the refractive index of the substrate 1), the incident is less than 0.6 times the Brewster angle (dotted line in FIG. 4). It can be seen that the reflectance can be kept low when light is incident on the slope of the convex portion 7a at the corner. In FIG. 4, ⁇ B indicates the Brewster angle.
  • FIG. 4 indicates the Brewster angle.
  • FIG. 3 shows the propagation of re-radiated SPP mode light in the high refractive index layer 7 and the substrate 1 in the organic EL element 10. However, only the high refractive index layer 7 and the substrate 1 are extracted from the organic EL element.
  • the solid line portion is a light beam incident on and emitted from the high refractive index layer 7 to the substrate 1, and the dotted line is a light beam reflected by Fresnel.
  • the condition for suppressing the Fresnel reflection as indicated by the dotted arrow is: It can be represented by the following formula (10).
  • 3B shows a case where the base angle ⁇ is larger than the propagation angle ⁇ .
  • a condition for suppressing Fresnel reflection such as a dotted arrow can be expressed by the following formula (11).
  • the base angle ⁇ As a condition of the base angle ⁇ that can suppress the Fresnel reflection of incident light, it is preferable to satisfy the following expression (12) that combines the above expression (10) and the above expression (11).
  • FIG. 5 illustrates the propagation of re-radiated SPP mode light in the high refractive index layer 7 and the substrate 1 in the organic EL element 10 as in FIG.
  • the propagation angle of the emitted light with respect to the base L of the convex portion 7a is ( ⁇ / 2 ⁇ ) + ⁇ t , if this propagation angle is larger than the basic angle ⁇ , the emitted light is within the cross-sectional shape of the adjacent convex portion 7a. It can be put into the substrate without re-incident.
  • This relationship is expressed by the following formula (14).
  • the following equation (15) is obtained by taking cos of both sides of the above equation (13) and substituting the above equation (14). That is, when the base angle ⁇ satisfies the above equation (15), it is preferable that the base angle ⁇ can be put into the substrate without re-entering the adjacent convex portion 7a.
  • Expression (15) is a conditional expression of the base angle ⁇ when the two adjacent convex portions 7a have the same base angle on the opposite side.
  • the base angle of one convex portion 7a on which the re-radiated light of the SPP is incident is ⁇ a
  • the base angle of the other convex portion 7a is ⁇
  • the above equation (15) can be rewritten by the following equation (16). That is, when the base angle ⁇ a and the base angle ⁇ b satisfy the above equation (16), the light emitted from the interface of the high refractive index layer 7 / substrate 1 re-enters the cross-sectional shape of the adjacent convex portion 7a. This is preferable because it can be put out into the substrate without doing so.
  • the thickness of the high refractive index layer 7 is not particularly limited. For example, it is 10 to 2000 nm, preferably 50 to 1000 nm. If the thickness of the high refractive index layer 7 is lower than 10 nm, the volume ratio of the high refractive index layer 7 to the organic layer 3 becomes small, and it becomes difficult to efficiently extract guided mode light to the substrate side. This is because if the thickness of the high refractive index layer 7 is greater than 2000 nm, it is difficult to maintain the flatness of the organic layer 3.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the second embodiment of the present invention.
  • the organic EL element 20 according to the second embodiment of the present invention includes an anode (first electrode) 12, an organic layer 13 including a light emitting layer, and a cathode (second electrode) on one surface of a substrate 11. 14, a low refractive index layer 15 and a metal layer 16 in this order (downward in the figure).
  • the cathode 14 is a transparent conductive layer made of a translucent conductive material.
  • the refractive index of the low refractive index layer 15 is lower than the refractive index of the organic layer 13.
  • a high refractive index layer 17 is provided on the surface of the anode 12 opposite to the organic layer 13.
  • the high refractive index layer 17 has a refractive index higher than that of the substance (the substrate 11) adjacent to the surface of the high refractive index layer 17 opposite to the anode 12, and is refracted more than the low refractive index layer 15.
  • the high refractive index layer 17 includes a plurality of convex portions 17 a that are convex toward the side opposite to the anode 12. Of the cross section perpendicular to the anode 12, the convex portion 17a has a maximum cross-sectional height and a cross-sectional shape on the surface where the length of the base L of the cross-section is minimum.
  • the pentagon 12 is a pentagon (polygon) having a base L parallel to 12 and two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12.
  • the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are both acute angles, and the pentagon has two hypotenuses that connect the base L with the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 sandwiched therebetween.
  • the said convex part 17a is the structure which has a slope which includes a hypotenuse in the surface.
  • the pentagon is connected to the other end of one hypotenuse sandwiching the base angle ⁇ 11, and has an other side whose angle ⁇ 21 formed with the base L is smaller than the base angle ⁇ 11.
  • the other angle of the other hypotenuse that sandwiches the base angle ⁇ 12 and the other side that is smaller than the base angle ⁇ 12 is an angle ⁇ 22 formed with the base L. Therefore, the pentagon is a pentagon formed by the base L, two hypotenuses, and two other sides, with the apex at the apex and the apex angle at ⁇ .
  • the pentagon forming the cross-sectional shape of the convex portion 17a is an example of a multistage polygon having two other sides in addition to the base L and the two oblique sides. The angles formed by the two oblique sides and the other sides and the base L are gradually reduced from the base of the multistage polygon toward the top.
  • ⁇ 21 and ⁇ 22 are both 0 °
  • the top of the polygon is parallel to the base L
  • the base angles ⁇ 31 and ⁇ 32 at positions closer to the top are both 0 °.
  • the high refractive index layer 17 is in contact with the anode 12, but a configuration in which another layer is interposed between the anode 12 and the anode 12 may be employed. In the present embodiment, it is arranged between the substrate 11 and the anode 12.
  • the high refractive index layer 17 is composed of a plurality of layers of convex portions 17a and layered portions 17c.
  • the refractive index of the low refractive index layer 15 is preferably lower than the refractive index of the cathode 14.
  • the refractive index of the cathode 14 is preferably lower than the refractive index of the organic layer 13.
  • the refractive index of the organic layer means the average refractive index of all the layers including the light emitting layer made of the organic EL material.
  • the arrangement on the cathode side common to the organic EL element of the present embodiment can be the same arrangement as that of the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the low refractive index layer 15 is arranged so that the refractive index of the low refractive index layer 15 is smaller than that of the organic layer 13 and smaller than that of the cathode 14.
  • Each of the substrate 11, the anode 12, the organic layer 13, the cathode 14, the low refractive index layer 15, and the metal layer 16 can be the same as the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the material, arrangement, and thickness of the high refractive index layer 17 can be the same as those of the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the two oblique sides and the other sides of the cross-sectional shape of the convex portion 17a are gradually and gradually connected toward the top portion. That is, the angle formed by the base L and the other side near the top of the cross-sectional shape from the hypotenuse connecting the base L with the low angles ⁇ 11 and ⁇ 12, respectively, is from the base of the base L toward the top. It is preferable to decrease in order. As shown in FIG. 6, it may have a multi-step inclined side, or may have a trapezoidal shape as in the case where the angle closest to the top is 0 °. For example, when the cross-sectional shape of the convex portion 7a is triangular as shown in FIG.
  • the light (arrow A5) is in a direction nearly perpendicular to the element surface as described in the first embodiment. (Arrow B1).
  • the low angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are increased, a part of the light once extracted from the high refractive index layer 7 is incident on the high refractive index layer 7 again (arrow A6).
  • the low angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are reduced so as not to re-enter, the light cannot be directed sufficiently in a direction near the element surface.
  • the hypotenuse and the other sides of the cross-sectional shape of the convex portion 17a are gradually and gradually connected toward the top, thereby increasing the low angles ⁇ 11 and ⁇ 12.
  • the light (arrow A15) directed in the direction close to the element surface is re-incident on the high refractive index layer 17 (arrow B11).
  • it can be oriented in a direction close to vertical.
  • FIG. 7B a multistage shape with two stages is used, but a shape having a plurality of inclined sides with a larger number of stages may be used.
  • the second embodiment is different from the substrate 1 and the high refractive index layer 7 of the first embodiment in that the interface of refraction between the substrate 11 and the high refractive index layer 17 is multistage. Similar effects are achieved with respect to refraction at other interfaces.
  • the way of light propagation indicated by arrows in FIG. 1 is schematically shown in order to easily understand the principle of the refraction effect.
  • a part of the light emitted at the point A of the light emitting point included in the organic layer 3 directly transfers energy to the SPP (arrow A2) mode via the dipole field around the light emitting point (arrow A1).
  • SPP SPP
  • Such energy transfer to the SPP mode is widely known to occur when a light emitting molecule and a metal layer are close to each other in a general organic EL element.
  • the excited SPP mode light is emitted to the cathode 4 at a predetermined angle (arrow A4) through resonance with the evanescent wave (arrow A3), and can be extracted to the organic layer 3.
  • the light emitted from the point A of the organic layer 3 travels in all directions, there is naturally light traveling in a direction other than the arrow A1 in FIG.
  • the arrow A1 merely schematically shows the propagation of part of the light in order to explain the operation and effect of the present invention.
  • the light indicated by the arrows A2 to A4 and the arrow B1 only schematically shows the propagation of part of the light.
  • refraction occurs at interfaces having different refractive indexes, but the refraction action is not shown in the drawing for interfaces that are not particularly necessary for explaining the effects of the present invention.
  • the light extracted from the cathode side structure (cathode 4, low refractive index layer 5, metal layer 6) to point B of the organic layer 3 propagates like B1 and is extracted to the substrate 1. That is, the light B1 traveling from the point B through the organic layer 3 or the like is refracted at the interface between the organic layer 3 and the anode 2 and passes through the anode 2. The light that has passed through the anode 2 is refracted at the interface between the anode 2 and the high refractive index layer 7 c and travels through the high refractive index layer 7. Then, after being refracted by the slope of the convex portion 7 a of the high refractive index layer 7, it can be taken out through the substrate 1.
  • the incident angle on the substrate 1 is changed to a small angle due to refraction at the slope of the convex portion 7a of the high refractive index layer 7. Therefore, it is possible to prevent the light that does not undergo total reflection on the outer surface of the substrate from increasing and the light beam B1 to become substrate mode light.
  • the slope of the convex portion 17a is gradually lowered toward the apex. As a result, re-incidence of the high refractive index layer 17 on the convex portion 17a can be avoided, and light can be more efficiently directed in a direction close to perpendicular to the element surface.
  • plan views of the convex portions 7a and 17a viewed from the normal direction of the element surface.
  • planar shape of the convex parts 7a and 17a There is no restriction
  • dot shapes such as circles, ellipses, ellipses, triangles, squares, rectangles, squares, polygons, and shapes that combine these, linear shapes, bent shapes, curved shapes, annular shapes (donut types), etc.
  • the shape of the convex portion is a cone, a truncated cone, a polygonal pyramid, a polygonal frustum, or a multistage shape that is convex toward the side opposite to the anodes 2 and 12.
  • the shape of the convex portion is a triangular shape, a trapezoidal shape, or a multistage shape in which the cross section perpendicular to the stretching direction is convex toward the opposite side of the anodes 2 and 12 (stripe) Shape), but the cross-sectional size (width / height) and shape may be changed during stretching.
  • planar shapes show examples of planar arrangements of dot-like convex portions and line-like convex portions, respectively.
  • the planar shape is a dot shape or a line shape with a finite length (the line does not extend to the end of the element), it is periodically in the in-plane direction such as a square lattice, hexagonal lattice, or rectangular lattice They may be arranged or aperiodically arranged.
  • a line shape In the case of a line shape, an arrangement in which adjacent convex portions are extended so as to be parallel to each other, an arrangement in which annular lines having different diameters are arranged concentrically, and an arrangement in which a plurality of corrugations and bending lines do not overlap each other There is a case.
  • a plurality of lines may intersect or one line may be branched.
  • the lines may be arranged in a lattice network in a plane. If the convex portions 7a and 17a are formed in a one-dimensional line shape, it is preferable because defects are not easily generated when a plurality of convex portions are formed by machining or the like.
  • the projections 7a and 17a are formed in a dot shape that is two-dimensionally arranged in a square lattice, a hexagonal lattice, etc. in the in-plane direction, the re-radiated light propagating in any direction in the plane is equivalent. It is more preferable because it can be taken out.
  • FIG. 10A is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the third embodiment of the present invention.
  • the organic EL element 30 according to the third embodiment of the present invention has an anode (first electrode) 22, an organic layer 23 including a light emitting layer, and a cathode (second electrode) on one surface of a substrate 21. 24, a low refractive index layer 25, and a metal layer 26 are provided in this order (downward in the figure).
  • the cathode 24 is a transparent conductive layer made of a translucent conductive material.
  • the refractive index of the low refractive index layer 25 is lower than the refractive index of the organic layer 23.
  • the low refractive index layer 25 includes a high refractive index layer 27 on the surface of the anode 22 opposite to the organic layer 23.
  • the high refractive index layer 27 has a refractive index higher than that of the substance (the substrate 21) adjacent to the surface of the high refractive index layer 27 opposite to the anode 22, and has a refractive index higher than that of the low refractive index layer 25. Is made of high material.
  • the high refractive index layer 27 includes a plurality of concave portions 27b that are concave toward the anode 22 side.
  • the concave portion 27 b has a cross-sectional shape in which the height of the cross-section is the maximum among the cross-sections perpendicular to the anode 22 and the length of the base M of the cross-section is the minimum, and is parallel to the anode 22. It is a triangle (polygon) having a base M and two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12, with the apex at the apex and the apex angle ⁇ .
  • the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are both acute angles, and the triangle has two hypotenuses that connect the base M with the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 sandwiched therebetween.
  • the said recessed part 27b is the structure which has the slope which contains the said oblique side in a surface.
  • the high refractive index layer 27 is in contact with the anode 22, but a configuration in which another layer is sandwiched between the anode 22 and the anode 22 may be employed.
  • the high refractive index layer 27 is disposed between the substrate 21 and the anode 22.
  • the high refractive index layer 27 is composed of a plurality of layers of a concave portion 27b and a layered portion 27c. A portion formed of the inverted shape of the concave portion 27b is a convex portion 27a.
  • the refractive index of the low refractive index layer 25 is preferably lower than the refractive index of the cathode 24.
  • the refractive index of the cathode 24 is preferably lower than the refractive index of the organic layer 23.
  • the same arrangement as that of the organic EL element 10 according to the first embodiment can be used.
  • the refractive index of the organic layer means the average refractive index of all the layers including the light emitting layer made of the organic EL material.
  • Each of the substrate 21, the anode 22, the organic layer 23, the cathode 24, the low refractive index layer 25, and the metal layer 26 can be the same as the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the material, arrangement, and thickness of the high refractive index layer 27 can be the same as those of the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the adjacent recessed part 27b is not contacting each other.
  • the cross section of the high refractive index layer cut along a plane passing through the contact points is triangular.
  • the cut surface of the high refractive index layer has a trapezoidal shape. That is, when not in contact, the shape of the cut surface of the high refractive index layer is trapezoidal, which is preferable because the extracted light can be prevented from re-incident on the adjacent convex portion as described above.
  • FIG. 10B is a schematic cross-sectional view for explaining an example of the organic EL element according to the fourth embodiment of the present invention.
  • An organic EL element 40 according to the fourth embodiment of the present invention includes an anode (first electrode) 32, an organic layer 33 including a light emitting layer, and a cathode (second electrode) on one surface of a substrate 31. 34, a low refractive index layer 35, and a metal layer 36 in this order (downward in the figure).
  • the cathode 34 is a transparent conductive layer made of a translucent conductive material.
  • the refractive index of the low refractive index layer 35 is lower than the refractive index of the organic layer 33.
  • a high refractive index layer 37 is provided on the surface of the anode 32 opposite to the organic layer 33.
  • the high refractive index layer 37 has a refractive index higher than that of the material (the substrate 31) adjacent to the surface of the high refractive index layer 37 opposite to the anode 32, and is refracted more than the low refractive index layer 35.
  • the high refractive index layer 37 includes a layered portion 37c and a plurality of concave portions 37b that are concave toward the anode 32 side.
  • the concave portion 37 b has a cross-sectional shape in which the height of the cross-section is the maximum among the cross-sections perpendicular to the anode 32 and the length of the bottom side M of the cross-section is the minimum, and is parallel to the anode 32.
  • This is a concave polygon having a base M and two inner angles ⁇ 11 and ⁇ 12 sandwiching the bottom M.
  • the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 are both acute angles, and the concave polygon has two hypotenuses that connect the base M with the two base angles ⁇ 11 and ⁇ 12 sandwiched therebetween.
  • the said recessed part 37b is the structure which has a slope which includes a hypotenuse in the surface.
  • the concave polygon is composed of another side connected to the other end of one hypotenuse that sandwiches the base angle ⁇ 11 and another side connected to the other end of the other hypotenuse that sandwiches the base angle ⁇ 12. And is a polygon whose apex angle is ⁇ .
  • the angle ⁇ 21 formed by the base M and the other side is an acute angle, which is larger than the base angle ⁇ 11
  • the angle ⁇ 22 formed by the base M and another side is an acute angle, which is larger than the base angle ⁇ 12.
  • a portion formed of the inverted shape of the concave portion 37b is a convex portion 37a.
  • the high refractive index layer 37 is in contact with the anode 32, but a configuration in which another layer is sandwiched between the anode 32 and the anode 32 may be employed. In the present embodiment, it is arranged between the substrate 31 and the anode 32.
  • the high refractive index layer 37 is composed of a plurality of layers of a concave portion 37b and a layered portion 37c.
  • the refractive index of the low refractive index layer 35 is preferably lower than the refractive index of the cathode 34.
  • the refractive index of the cathode 34 is preferably lower than the refractive index of the organic layer 33.
  • FIG. 10B is an example of a multistage polygon having two other sides in addition to the base M and the two oblique sides, and the cross-sectional shape of the recess 37b is a concave pentagon.
  • the angles formed by the two oblique sides and the other sides and the base M are increased in order from the base M of the multistage polygon toward the top.
  • the concave polygon of the present invention is not limited to the concave pentagon of FIG.
  • other sides may be bent in multiple stages. However, as the other side approaches the anode 32, it bends in a direction close to vertical.
  • the apex angle ⁇ may be 180 °, that is, a concave polygon having a flat surface in which the apex of the concave portion is parallel to the anode 32.
  • the adjacent recessed part 37b is not mutually contacting.
  • the concave portions 37b are in contact with each other, the cross section of the concave portion 37a cut along a plane passing through the contact point has a triangular shape.
  • the cut surface of the high refractive index layer has a trapezoidal shape. That is, when not in contact, the shape of the cut surface of the high refractive index layer is trapezoidal, which is preferable because the extracted light can be prevented from re-incident on the adjacent convex portion as described above.
  • the angle ⁇ formed by the anode 32 and the two oblique sides and the other end on the anode side is preferably smaller as the distance from the anode 32 increases.
  • it means an angle formed between the anode side end of the other side and the anode 32 every time the side is bent.
  • the width (size in the element in-plane direction) and height (size in the direction perpendicular to the element in-plane direction) and height of the cross section of the recess are preferably equal to or greater than the effective wavelength.
  • width and height of the concave section are equal to or greater than the effective wavelength, light incident on the concave section area from the high refractive index layer 37 can be refracted on the slope of the concave section 37a, and light can be extracted more efficiently.
  • the same arrangement as that of the organic EL element 10 according to the first embodiment can be used.
  • An arrangement in which the refractive index of the low refractive index layer 35 is smaller than that of the organic layer 33 and smaller than that of the cathode 34 is most preferable.
  • Each of the substrate 31, the anode 32, the organic layer 33, the cathode 34, the low refractive index layer 35, and the metal layer 36 can be the same as the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • the material, arrangement, and thickness of the high refractive index layer 37 can be the same as those of the organic EL element 10 according to the first embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an example of an image display device including the organic EL element.
  • An image display device 100 shown in FIG. 11 is a so-called passive matrix type image display device.
  • anode wiring 104 In addition to the organic EL element 10, an anode wiring 104, an anode auxiliary wiring 106, a cathode wiring 108, an insulating film 110, and a cathode partition 112 are provided. , A sealing plate 116, and a sealing material 118.
  • a plurality of anode wirings 104 are formed on the substrate 1 of the organic EL element 10.
  • the anode wirings 104 are arranged in parallel at a constant interval.
  • the anode wiring 104 is made of a transparent conductive film, and for example, ITO can be used.
  • the thickness of the anode wiring 104 can be set to 100 nm to 150 nm, for example.
  • An anode auxiliary wiring 106 is formed on the end of each anode wiring 104.
  • the anode auxiliary wiring 106 is electrically connected to the anode wiring 104.
  • the anode auxiliary wiring 106 functions as a terminal for connecting to the external wiring on the end portion side of the substrate 1, and the drive circuit (not shown) provided outside via the anode auxiliary wiring 106.
  • a current can be supplied to the anode wiring 104.
  • the anode auxiliary wiring 106 is made of a metal film having a thickness of 500 nm to 600 nm, for example.
  • a plurality of cathode wirings 108 are provided on the organic EL element 10.
  • the plurality of cathode wirings 108 are arranged so as to be parallel to each other and orthogonal to the anode wiring 104.
  • Al or an Al alloy can be used for the cathode wiring 108.
  • the thickness of the cathode wiring 108 is, for example, 100 nm to 150 nm.
  • a cathode auxiliary wiring (not shown) is provided at the end of the cathode wiring 108, similarly to the anode auxiliary wiring 106 for the anode wiring 104.
  • the cathode auxiliary wiring is electrically connected to the cathode wiring 108. Therefore, a current can flow between the cathode wiring 108 and the cathode auxiliary wiring.
  • an insulating film 110 is formed on the substrate 1 so as to cover the anode wiring 104.
  • a rectangular opening 120 is provided in the insulating film 110 so as to expose a part of the anode wiring 104.
  • the plurality of openings 120 are arranged in a matrix on the anode wiring 104.
  • the organic EL element 10 is provided between the anode wiring 104 and the cathode wiring 108. That is, each opening 120 becomes a pixel. Accordingly, a display area is formed corresponding to the opening 120.
  • the film thickness of the insulating film 110 can be, for example, 200 nm to 1000 nm.
  • the size of the opening 120 can be, for example, 100 ⁇ m ⁇ 100 ⁇ m.
  • the organic EL element 10 is located between the anode wiring 104 and the cathode wiring 108 in the opening 120. In this case, the anode 2 of the organic EL element 10 is in contact with the anode wiring 104 and the cathode 4 is in contact with the cathode wiring 108.
  • the thickness of the organic EL element 10 can be set to, for example, 150 nm to 200 nm.
  • a plurality of cathode partition walls 112 are formed along a direction perpendicular to the anode wiring 104.
  • the cathode partition 112 plays a role for spatially separating the plurality of cathode wirings 108 so that the wirings of the cathode wirings 108 do not conduct with each other. Accordingly, the cathode wiring 108 is disposed between the adjacent cathode partition walls 112.
  • the size of the cathode partition 112 for example, the one having a height of 2 ⁇ m to 3 ⁇ m and a width of 10 ⁇ m can be used.
  • the substrate 1 is bonded to each other through a sealing plate 116 and a sealing material 118.
  • the space in which the organic EL element 10 is provided can be sealed, and the organic EL element 10 can be prevented from being deteriorated by moisture in the atmosphere.
  • the sealing plate 116 for example, a glass substrate having a thickness of 0.7 mm to 1.1 mm can be used.
  • the sealing plate 116 may not be transparent when light is extracted from the substrate 1 side as in the case of a bottom emission type element.
  • the sealing plate 116 needs to be transparent to at least a part of the emission wavelength region.
  • a current can be supplied to the organic EL element 10 through a positive electrode auxiliary wiring 106 and a negative electrode auxiliary wiring (not shown) by a driving device (not shown) to cause the light emitting layer to emit light. Then, light can be emitted from the substrate 1 through the substrate 1.
  • An image can be displayed on the image display device 100 by controlling the light emission and non-light emission of the organic EL element 10 corresponding to the above-described pixel by the control device.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a lighting device including the organic EL element 10 described above. 12 includes the organic EL element 10 described above, a terminal 202 installed on the substrate 1 of the organic EL element 10 and connected to the anode 2 (see FIG. 1), and the cathode 4 (see FIG. 1). ), And a lighting circuit 201 for driving the organic EL element 10 connected to the terminal 202 and the terminal 203.
  • the lighting circuit 201 has a DC power source (not shown) and a control circuit (not shown) inside, and supplies a current by applying a voltage between the anode layer 2 and the cathode 4 of the organic EL element 10 through the terminal 202 and the terminal 203. To do. Then, the organic EL element 10 is driven, the light emitting layer is caused to emit light, light is emitted through the substrate 1, and used as illumination light.
  • the light emitting layer may be made of a light emitting material that emits white light, and each of the organic EL elements 10 using light emitting materials that emit green light (G), blue light (B), and red light (R). A plurality of them may be provided so that the combined light is white.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a first method for producing an organic EL element of the present invention.
  • a convex portion corresponding to the convex portion 7 a or 17 a is formed on the plate 48. Machining such as cutting and polishing, laser processing, and the like can be used for processing the convex portion. In the case of forming a multi-stage shape as shown in FIG. 13A, it can be formed by processing the plate 48 a plurality of times while changing the taper angle and width of the V-shaped groove.
  • a metal such as stainless steel, titanium, or nickel, or a non-metal such as a resin can be used.
  • a spin-on dielectric precursor S or a curable resin precursor U is applied onto the substrate 41.
  • the spin-on dielectric is a liquid that has a viscosity at the coating stage of the precursor S and becomes a solid dielectric having an insulating property by being converted after coating, and a known one may be used. it can.
  • spin-on dielectrics include spin-on glass that forms silicon oxide after conversion.
  • the curable resin may be cured after application of the precursor U, and various thermosetting resins, photocurable resins, and the like can be used.
  • the precursor S or U As a method for applying the precursor S or U, various wet processes such as spin coating, bar coating, slit coating, die coating, and spray coating, which generally apply a flat film, can be used.
  • various wet processes such as spin coating, bar coating, slit coating, die coating, and spray coating, which generally apply a flat film, can be used.
  • the precursor S or U is solidified and nanoimprinting is performed.
  • the refractive index of the solidified dielectric 41s (the spin-on dielectric after conversion or the cured resin (dielectric)) is preferably equal to or lower than the refractive index of the substrate 41.
  • the refractive index of the solidified dielectric 41 s is equal to or lower than the refractive index of the substrate 41, the light emitted from the organic layer 43 in the organic EL element 50 is totally reflected between the solidified dielectric 41 s and the substrate 41. Can be suppressed.
  • the plate 48 is peeled off from the solidified dielectric 41s.
  • a release agent is preferably applied to the application surface of the substrate 41 or the surface of the plate 48.
  • a fluorine release agent, a silicon release agent, or the like can be used.
  • the release agent it is possible to improve the releasability when the plate 48 is peeled off from the solidified dielectric 41s.
  • the release agent generally used spin coating, dipping method, spray method and the like can be used.
  • a high refractive index composed of a convex portion 47a and a layered portion 47c are formed in the concave portion of the structure imprinted on the dielectric body 41s after being solidified by the plate 48.
  • Layer 47 is formed.
  • a conventionally known method can be used for forming the high refractive index layer 47 and is not particularly limited. For example, methods such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, and an LB method can be used.
  • the surface of the high refractive index layer 47 after formation may be etched back or polished.
  • an anode 42, an organic layer 43, a cathode 44, a low refractive index layer 45, and a metal layer 46 are laminated in this order downward.
  • a generally used method can be used. For example, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a CVD method, and the like can be given.
  • a plurality of recesses corresponding to the recesses 27b of FIG. 7A or the recesses 37b of FIG. 7B are formed in the plate 48, thereby providing recesses having the inverted shape of the protrusions 47a.
  • the high refractive index layer 47 can also be formed. It is also possible to form a plurality of recesses such as the high refractive indexes 27 and 37 of the organic EL elements 30 and 40 in the high refractive index layer 47 provided at the interface with the substrate.
  • a metal layer, a low refractive index layer, a cathode, an organic layer, and an anode are sequentially formed in the upward direction in the figure, and then a high refractive index curable resin is applied.
  • the applied curable resin is imprinted using a plate processed into a desired shape, whereby a high refractive index layer having a convex portion is formed, and an organic EL element can be produced.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing a second manufacturing method of the organic EL element of the present invention.
  • a high resistance layer 51 ⁇ / b> A and a low resistance layer 51 ⁇ / b> B are sequentially stacked on one surface of the substrate 51 in the downward direction in the drawing.
  • the high resistance layer 51A is a layer having higher etching resistance than the low resistance layer 51B with respect to etching described later.
  • two layers are formed on the substrate 51, but the number of layers is not limited. In the case of forming more layers, the closer to the substrate 51, the higher the resistance to etching described later.
  • it is preferable that the refractive index of each layer is below the refractive index of the layer which is an adjacent layer and exists in the board
  • a positive resist solution is applied on one surface of the low-tolerance layer 51B, and the resist layer R is formed by removing excess resist solution by spin coating or the like. To do. Then, when a mask (not shown) on which a predetermined pattern is drawn is placed, and exposure and development are performed with ultraviolet rays (UV), electron beams (EB), etc., a part of the resist layer R is removed.
  • UV ultraviolet rays
  • EB electron beams
  • the hole H is formed by etching using the remaining resist layer R as a mask.
  • etching either dry etching or wet etching can be used.
  • dry etching various methods such as reactive ion etching (RIE) can be used.
  • wet etching a method of immersing in aqua regia, dilute hydrochloric acid, dilute sulfuric acid, hydrofluoric acid, oxalic acid and other acids, and metal salts such as iron chloride can be used.
  • the etching speed differs between the high resistance layer 51A and the low resistance layer 51B. Due to the difference in etching resistance, a plurality of slopes with different inclinations are formed in the hole H.
  • a high refractive index layer provided with a convex portion having an inverted shape of the hole H in the formed hole H and, if necessary, on one surface of the low resistance layer 51B. 57 is formed.
  • a conventionally known method can be used for forming the high refractive index layer 57 and is not particularly limited. For example, methods such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, and an LB method can be used. Further, in order to flatten and smooth the interface with the anode 52 to be formed later, the surface of the formed high refractive index layer 57 may be etched back or polished.
  • the organic EL element 60 can be manufactured by sequentially stacking layers. As these lamination methods, a generally used method can be used. For example, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a CVD method, and the like can be given.
  • the hole H is formed in a net shape, and the shape of the etching residual portions of the high resistance layer 51A and the low resistance layer 51B is controlled, thereby forming the high refractive index layer 57 having the concave portion formed by the shape of the etching residual portion. You can also.
  • the 3rd manufacturing method of the organic EL element of this invention is demonstrated.
  • the third manufacturing method directly processes one surface of a flat sheet material having a high refractive index.
  • the uneven surface of the high refractive index layer is produced by bonding the processed surface and the substrate.
  • a method for forming the shape in addition to machining such as cutting and polishing, machining using a laser or the like can be used.
  • the processed surface of the high refractive sheet is pressure-bonded to the substrate using a curable resin to form a high refractive index layer. At this time, it is preferable that curable resin has a refractive index below a board
  • an organic EL element can be produced by sequentially laminating an anode, an organic layer, a cathode, a low refractive index layer, and a metal layer on the high refractive index layer.
  • a metal layer, a low refractive index layer, a cathode, an organic layer, and an anode are formed, and then the anode and a high refractive index sheet material that has been subjected to uneven processing as described above are bonded together. be able to.
  • FIG. 15 shows the result of energy dissipation calculation for the organic EL element 70 having a standard structure, in which the intensity of light emitted from the organic layer is developed with the wave number component in the organic EL element surface direction.
  • Horizontal axis an organic EL element plane direction component of the wavenumber of the light emitted from the organic layer divided by the wave number k 0 in a vacuum, that is, the effective refractive index.
  • the vertical axis indicates the intensity of light of the wave number, that is, the expansion coefficient. The calculation was performed separately for the TM polarization component and the TE polarization component.
  • This calculation shows the result of an organic EL element having a standard structure in which an anode 62, an organic layer 63, and a cathode 64 (metal) each having a flat layer are stacked on a substrate 61 (glass).
  • the peak area on the highest wavenumber side of the TM polarized light with respect to the total integrated area of the TM / TE polarized light component represents the intensity ratio of the SPP mode light. As you can see it is captured.
  • the thicknesses of the anode 62 and the organic layer 63 are 150 nm and 100 nm, respectively.
  • the organic EL element 80 (see FIG. 17) having the Otto type arrangement, the dependence of the intensity of the light emitted from the organic layer (TM polarization component) by the energy dissipation calculation due to the film thickness of the low refractive index layer 75 is shown.
  • the figure shown is shown in FIG.
  • the substrate 71, the anode 72, and the organic layer 73 of the organic EL element 80, which is an example of the organic EL element having the Otto type arrangement, have the same configuration as the element 70 in FIG.
  • a cathode 74 (50 nm) made of ITO, which is a transparent conductive material, is formed on the organic layer 73, and further, a low refractive index layer 75 and a metal layer 76 are sequentially formed thereon.
  • the refractive index of the low refractive index layer 75 is 1.38
  • FIG. 16A is a case where the metal layer 76 is Al
  • FIG. 16B is a case where the metal layer 76 is Ag.
  • the film thickness (nm) of the low refractive index layer 75 is shown.
  • the extracted SPP mode light becomes guided mode light, and is recaptured as SPP mode light again by the metal layer 76 by interface reflection.
  • the peak width becomes gradually narrower.
  • the film thickness of the low refractive index layer 75 is sufficiently thick, the state is as shown in FIG. In this case, although the Otto type arrangement is used, the evanescent wave at the light emission point does not reach the metal layer 76 and is not captured as SPP mode light. In this case, the emitted light is captured as guided mode light. That is, when the film thickness of the low refractive index layer 75 exceeds a certain thickness, the trapped light is only guided mode light, so the ease of attenuation does not change and the peak width also does not change.
  • FIG. 18 is a diagram showing a change in peak width (half-value width) with respect to the film thickness of the low refractive index layer 75. It can be seen that when the metal layer 76 is Al, the change in peak width is small when the thickness of the low refractive index layer 75 is 200 nm or more, and the emitted light is not easily captured by the SPP. It can be seen that when the metal layer 76 is made of Ag, the change in peak width is small when the film thickness of the low refractive index layer 75 is 150 nm or more, and it is difficult to be captured as SPP mode light.
  • the film thickness of the low refractive index layer 75 captured as SPP mode light is at least 300 nm or less, and the capturing effect becomes remarkable at 200 nm or less.
  • SPP surface plasmon polariton trapped on the surface of the metal layer 76 can be extracted by evanescent waves generated by light totally reflected at the interface between the cathode 74 and the low refractive index layer 75. That is, the wave number of the evanescent wave, it is necessary to have a wave number k 'sp and the intersection of the SPP that is generated on the surface of the metal layer 76.
  • the real part of the relative permittivity of the metal layer 76 is ⁇ 1
  • the relative permittivity of the low refractive index layer 75 is ⁇ 2
  • the wave number of light in the vacuum at the peak wavelength of light emitted from the light emitting layer (angular frequency / in vacuum) (Speed of light) is k 0
  • the real part of the wave number k ′ sp of the SPP generated on the surface of the metal layer 46 has the same expression as k sp in the above equation (5).
  • the vertical component of the wave number in the low refractive index layer 75 of the surface plasmon polariton (SPP) generated on the surface of the reflective layer 76 can be expressed by the following equation (17).
  • the magnitude (strength) of the SPP electromagnetic field generated on the surface of the metal layer 76 is normalized with the value on the surface of the metal layer 76 being 1.
  • FIG. 19A is a graph showing the equation (18) in the case where the metal layer 76 is Al
  • FIG. 19B is the graph when the metal layer 76 is Ag.
  • the strength of the SPP generated on the surface of the metal layer 76 at the interface of the low refractive index layer 75 / cathode 74 in the equation (18) is:
  • the peak width is the thickness of the low refractive index layer 75 at which the SPP intensity is 0.4 or less at the position propagated in the thickness direction of the low refractive index layer 75. Is saturated to a constant value.
  • the SPP mode light is converted into the organic layer 73 by the Otto arrangement. Can be taken inside.
  • the refractive index of the low refractive index layer 75 and the material of the metal layer 76 are not limited.
  • the FDTD method is an analysis method for differentiating Maxwell's equation describing a time change of an electromagnetic field spatially and temporally and tracking the time change of the electromagnetic field at each point in the space.
  • the light emission in the light emitting layer is regarded as the radiation from the minute dipole, and the intensity of the radiation is counted. More specifically, the frequency dependence is calculated using the ratio of the light extracted to the substrate with respect to the total radiation intensity of the dipole as the light extraction efficiency.
  • ⁇ on the horizontal axis represents the frequency of the dipole as a wavelength in vacuum
  • ⁇ on the vertical axis represents the light extraction efficiency. The same applies to the following drawings.
  • the calculation was performed with the dipole as the light emission source being random (dipole moment is random in all directions).
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing a model structure of the organic EL element 10 which is an example of the first embodiment used in the simulation.
  • the substrate 1 is made of glass, and a refractive index of 1.52 is used.
  • the refractive index is 1.82 + 0.09i at 550 nm, and other wavelengths are extrapolated by the Lorentz model. Further, 1.72 was used as the refractive index of the organic layer 3.
  • the low refractive index layer 5 is made of SOG and has a refractive index of 1.25.
  • the refractive index is 0.649 + 4.32i at 550 nm, and other wavelengths are extrapolated by the Drude model.
  • the layer thicknesses of the anode 2, the organic layer 3, the cathode 4, the low refractive index layer 5, the metal layer 6, and the layered portion 7c of the high refractive index layer were 150 nm, 210 nm, 50 nm, 100 nm, 100 nm, and 150 nm, respectively.
  • the position of the light emission point was a point (star mark in FIG. 20) that was 132.5 nm away from the cathode 4 in the organic layer 3.
  • the convex portion 7a has a translational symmetry (stripe shape) structure in the depth direction of the drawing. That is, in plan view, the convex portion 7a has a line shape extending infinitely in one direction within the surface.
  • 21A and 21B are a cross-sectional view of a model structure of the organic EL element 10 shown in FIG. 20 and a modification thereof.
  • FIG. 22 shows the result of calculating the light extraction efficiency of the organic EL element 10 by computer simulation using the FDTD method when the base angle ⁇ is changed.
  • FIG. 21A shows a schematic cross-sectional view of an organic EL element in which the base angle ⁇ is changed. In all the organic EL elements shown in FIG. 21A, the height of the convex portion 7a is 1200 nm, and the adjacent convex portions 7a are in contact with each other (that is, there is no flat surface between the adjacent convex portions 7a). ).
  • is 70 °, 60 °, and 50 °
  • standard structure a structure that does not have the Otto-type second electrode side structure and does not have the high refractive index layer 7 for comparison
  • solid structure a structure having only the Otto-type arrangement not having only the convex portion 7a
  • the high refractive index layer 7 is made of amorphous zirconia and has a refractive index of 1.90.
  • the horizontal axis ⁇ represents the wavelength in vacuum, and the vertical axis ⁇ represents the light extraction efficiency (the relative value of the light intensity extracted up to the substrate with respect to the total light emission intensity) (the same applies to the following simulation results).
  • the light extraction efficiency is improved at all angles as compared with the standard structure and the solid structure. It can be seen that the light extraction efficiency improves as the base angle decreases. This is because, when the base angle is large, the slope of the convex portion 7a becomes nearly perpendicular to the substrate, so that part of the light once extracted from the convex portion 7a of the high refractive index layer into the substrate This is considered to be due to re-incident on the portion 7a.
  • FIG. 23 shows the result of calculating the light extraction efficiency of the organic EL element 10 by computer simulation using the FDTD method when the refractive index of the high refractive index layer 7 is changed. Calculation was performed in the case where the refractive index of the high refractive index layer 7 was 1.72, 1.90, 2.20, and 2.50. The base angle ⁇ was 60 °. Further, as in Example 1, the standard structure and the solid structure were also calculated for comparison. Similar to Example 1, in any refractive index, the height of the convex portion 7a is 1200 nm, and the adjacent convex portions 7a are in contact with each other. From FIG.
  • the light extraction efficiency is improved in all refractive indexes as compared with the standard structure and the solid structure. It can also be seen that the light extraction efficiency is maximum when the refractive index is 2.20. This is because, as the refractive index of the high refractive index layer increases, the propagation angle ⁇ in the high refractive index layer decreases (becomes closer to the front). This is because reflection tends to occur and light is easily confined in the high refractive index layer.
  • FIG. 24 shows the results of calculating the light extraction efficiency of the organic EL element 10 by computer simulation using the FDTD method when the center interval (pitch) between adjacent convex portions is changed.
  • FIG. 21B shows a schematic cross-sectional view of an organic EL element with a changed pitch. Based on the pitch when adjacent convex parts are in contact with each other (that is, there is no flat surface between adjacent convex parts), calculation is performed for each of 1.5 times and 2.0 times the pitch. It was. As shown in FIG. 21 (b), the shapes of the convex portions 7a are all the same, and when the pitch is 1.5 times and 2.0 times, the gap between the adjacent convex portions 7a is a high refractive index layer.
  • the high refractive index layer 7 had a refractive index of 1.90
  • the base angle ⁇ of the convex portion 7a was 60 °
  • the height was 1200 nm.
  • the standard structure and the solid structure were also calculated for comparison.
  • FIG. 24 shows that the light extraction efficiency is improved at all pitches as compared with the standard structure and the solid structure. It can be seen that the light extraction efficiency is maximized when the pitch is 1.5 times. This is because if the adjacent convex portions are too close, a part of the light extracted from the convex portions reenters the adjacent convex portions. If the adjacent convex portions are too far apart, a flat region increases at the high refractive layer / substrate interface, and it is considered that light that is totally reflected and confined by this interface increases.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view showing a model structure of the organic EL element 10 shown in FIG. 20 and another modification.
  • the convex portion 7a has a translational symmetry (stripe shape) structure in the depth direction of the drawing. That is, in plan view, the convex portion 7a has a line shape extending infinitely in one direction within the surface.
  • the cross-sectional shape of the convex portion 7a is an isosceles triangle, and the diameter d of a circle inscribed in a region surrounded by two adjacent isosceles triangles and a straight line passing through vertices of the adjacent isosceles triangles is 800 nm. .
  • Example 26 shows the result of calculating the light extraction efficiency by simulation when the diameter d is constant and the base angle ⁇ is different. Adjacent protrusions 7a are in contact with each other.
  • the diameter d of the inscribed circle was set to 800 nm as a value sufficiently larger than the effective wavelength of the emitted light that can efficiently extract light. From FIG.
  • the light extraction efficiency is improved as compared with the standard structure and the solid structure at all angles of the base angle ⁇ of 75 ° to 20 ° (the apex angle ⁇ is 30 ° to 140 °).
  • the base angle ⁇ is 75 ° to 65 °
  • the light extraction efficiency is significantly improved when the base angle ⁇ is 55 ° to 20 ° (the apex angle ⁇ is 70 ° to 140 °).
  • the light extraction efficiency is improved as the angle is reduced in the range up to 50 °.
  • the range of the base angle ⁇ is preferably 20 ° to 75 °, more preferably 20 ° to 55 °. Further, the range of the apex angle ⁇ is preferably 30 ° to 140 °, and more preferably 70 ° to 140 °.
  • the shape of the organic EL element 20 of the second embodiment was changed, and the light extraction efficiency was calculated by simulation.
  • the moment direction of the dipole as the light emission source was randomly set.
  • the graphs of the light extraction efficiency calculation results shown below are all the calculation results for this random dipole.
  • FIG. 27 is a schematic diagram showing a cross-sectional view of a model structure of the organic EL element of the embodiment used in the simulation.
  • FIG. 27A and FIG. 27B are different in trapezoidal height.
  • the height of the convex portion 17a in FIG. 27 (a) is assumed to be 400 nm.
  • the height of the convex part 17a of FIG.27 (b) was 800 nm.
  • FIGS. 27C and 27D are diagrams when the convex portion 17a in FIG.
  • FIG. 27C and FIG. 27D are different in the height of the convex portion 17a.
  • the height of the convex portion 17a in FIG. 27C is 667 nm, and the height up to the first stage where the angle of the hypotenuse changes is 400 nm.
  • the height of the convex portion 17a in FIG. 27D is 1000 nm, and the height up to the first stage where the angle of the hypotenuse changes is 933 nm.
  • the refractive index values used for the calculation are as follows.
  • the substrate 11 is made of glass, and a refractive index of 1.52 is used.
  • the convex portion 17a and the layered portion 17c are made of amorphous zirconia and have a refractive index of 1.90.
  • the anode (first electrode) 12 and the cathode (second electrode) 14 are made of ITO, the refractive index is set to 1.82 + 0.009i at 550 nm, and the other wavelengths are extrapolated by the Lorentz model.
  • the average refractive index of the organic layer 13 was 1.72.
  • the low refractive index layer 15 is made of SOG and has a refractive index of 1.25.
  • the metal layer 16 is made of aluminum (Al)
  • the refractive index is 0.649 + 4.32i at 550 nm, and other wavelengths are extrapolated by the Drude model.
  • the layer thicknesses of the layered portion 17c, the anode 12, the organic layer 13, the cathode 14, the low refractive index layer 15, and the metal layer 16 were 150 nm, 150 nm, 210 nm, 50 nm, 100 nm, and 100 nm, respectively.
  • the position of the light emitting point was a point 132.5 nm away from the cathode 4 in the organic layer 3.
  • FIG. 28A is a plan view of the organic EL element according to Example 5 used in the simulation as viewed from the substrate 11 side. Further, the sectional view shape of the convex portion 17a is shown in order to help understanding which portion in the plan view each convex portion 17a corresponds to. As shown in FIG. 28 (a), the bottom surface of the convex portion 17a is a square having a side of 1380 nm, and the convex portions 17a are spread in a square lattice pattern. Further, when viewed in plan as shown in FIG. 28A, a portion corresponding to the star mark of the organic layer was set as a light emitting point.
  • FIG. 29 shows the light extraction efficiency of the organic EL device according to Example 5 having the convex portion 17a shape of FIGS. 27A to 27D in the arrangement of FIG. 28A by computer simulation using the FDTD method. The obtained result is shown.
  • FIG. 29A shows the result of the trapezoidal convex portion 17a shown in FIGS. 27A and 27B, and FIG. 29B is shown in FIGS. 27C and 27D. It is the result of the convex part 17a which has a 2 step
  • the structure has a cathode side structure with an Otto type arrangement, but does not have a first electrode side structure that takes out the propagating light extracted into the organic layer without using it as a guided mode light (hereinafter referred to as “Otto type arrangement only”).
  • Otto type arrangement only a first electrode side structure that takes out the propagating light extracted into the organic layer without using it as a guided mode light
  • Calculation was also performed for a standard structure and a triangular structure (in the case of a structure of the organic EL element 10 and a cross-sectional shape of a regular triangle).
  • FIG. 29 (a) “Stipei (low)” shows the result of computer simulation of the organic EL element schematically shown in FIG. 27 (a), and “Stipei (high)” shows FIG. 27 (b).
  • the result of the computer simulation of the organic EL element typically shown by is shown.
  • FIG. 29 (a) “Stipei (low)” shows the result of computer simulation of the organic EL element schematic
  • the convex portion by deliberately forming the convex portion as a multi-stage shape, the problem that light once extracted from the high refractive index layer re-enters the high refractive index layer can be solved, and the light extraction efficiency can be improved. Further improvement can be achieved.
  • the extraction efficiency result of “Stipei (low)” (structure of FIG. 27 (a)) is “Shoe flat (high)” (structure of FIG. 27 (b)). It is higher than efficiency. This is considered to be because the height of the convex portion is lowered to suppress the light extracted to the outside from re-entering the convex portion 17a.
  • the graph of FIG. 29 (a) the extraction efficiency result of “Stipei (low)” (structure of FIG. 27 (a)) is “Shoe flat (high)” (structure of FIG. 27 (b)). It is higher than efficiency. This is considered to be because the height of the convex portion is lowered to suppress the light extracted to the outside from re-entering the convex
  • 29 (b) the same result is obtained for “taper (low)” (structure of FIG. 27 (c)) and “taper (high)” (structure of FIG. 27 (d)). It has been. 29 (a) and 29 (b), the result represented by “tip flat (high)” (structure of FIG. 27 (b)) in FIG. 29 (a) and “tip taper” in FIG. 29 (b).
  • Each of the results represented by “(high)” seems to be less significant than the results of the triangular structure.
  • FIG. 28B is a plan view of the organic EL element according to Example 6 used in the simulation as viewed from the substrate 11 side.
  • the sectional view shape of the convex portion 17a is shown in order to help understanding which portion in the plan view each convex portion 17a corresponds to.
  • the bottom surface of the convex portion 17a is a circle having a diameter of 1380 nm, and the convex portion 17a is spread in a square lattice pattern.
  • the portion corresponding to the star mark of the organic layer was set as the light emitting point.
  • FIG. 30 shows the result of calculating the light extraction efficiency of the organic EL element having the shape of the convex portion 17a shown in FIGS. 27A to 27D by computer simulation using the FDTD method with the arrangement shown in FIG. .
  • FIG. 30A shows the result of the trapezoidal convex portion 17a shown in FIGS. 27A and 27B.
  • FIG. 30B is a result of the convex portion 17a having the two-step inclined surface represented in FIGS. 27C and 27D.
  • calculations were made for the Otto-type configuration only, the standard structure, and the triangular structure.
  • “trapezoid (low)” indicates the result of computer simulation of the organic EL element schematically shown in FIG.
  • FIG. 27A and “trapezoid (high)” is schematically shown in FIG. 27B.
  • the result of the computer simulation of the organic EL element shown automatically is shown.
  • FIG. 30B “tip taper (low)” shows the result of computer simulation of the organic EL element schematically shown in FIG. 27C, and “tip taper (high)” shows the result of FIG. ) Shows the result of computer simulation of the organic EL element schematically shown.
  • the light extraction efficiency of the organic EL device according to Example 6 is greatly improved as compared with the structure of only the Otto type arrangement at all wavelengths. It can be seen that the organic EL element 10 having a triangular structure according to the first embodiment is also greatly improved compared to the structure having only the Otto type arrangement. On the other hand, when comparing the organic EL element according to Example 6 and the organic EL element 10 having a triangular structure, it can be seen that the light extraction efficiency of the organic EL element according to Example 6 is further improved.
  • the problem that light once extracted from the high refractive index layer re-enters the high refractive index layer can be solved, and the light extraction efficiency can be improved. Can be improved.
  • the extraction efficiency of “trapezoid (low)” (structure of FIG. 27 (a)) is higher than the extraction efficiency of “trapezoid (high)” (structure of FIG. 27 (b)). This is considered to be because the height of the convex portion is lowered to suppress the light extracted to the outside from re-entering the convex portion 17a.
  • the same result is obtained for “taper (low)” (structure of FIG.
  • FIG. 28C is a plan view of the organic EL element according to Example 7 used in the simulation as viewed from the substrate 11 side.
  • the sectional view shape of the convex portion 17a is shown in order to help understanding which portion in the plan view each convex portion 17a corresponds to.
  • the convex portion 17a has a translational symmetry (stripe shape) structure in the depth direction of the drawing. That is, in plan view, the convex portion 17a has a line shape extending infinitely in one direction in the plane. It is assumed that the convex portions 17a having a width of 1380 nm are spread in parallel lines. Further, when viewed in plan as shown in FIG. 28 (c), a portion corresponding to the star mark of the organic layer was set as a light emitting point.
  • FIG. 31 shows the result of calculating the light extraction efficiency of the organic EL element having the shape of the convex portion 17a of FIGS. 27A to 27D by computer simulation using the FDTD method with the arrangement of FIG. .
  • FIG. 31 (a) shows the result of the trapezoidal convex portion 17a shown in FIGS. 27 (a) and 27 (b).
  • FIG. 31B shows the result of the convex portion 17a having the two-step inclined surface 17A shown in FIGS. 27C and 27D.
  • FIG. 31A “Stipe (low)” shows the result of computer simulation of the organic EL element schematically shown in FIG.
  • FIG. 32A schematically shows a tapered tip pentagon having two oblique sides and two other sides.
  • FIG. 32B schematically shows a cross-sectional shape of the trapezoidal convex portion 17a having one other side parallel to the bottom side.
  • the taper-shaped pentagon has two base angles of 60 °, two corners of the other side and the base of 30 °, the length of the base of 1380 nm, and the height from the base to the first piece. h.
  • the trapezoid had a base length of 1380 nm, two base angles of 60 °, and a height from the base side to the first piece as h.
  • the length of the base means one side of the bottom square in the case of FIG. 28A, the diameter of the bottom circle in the case of (b), and the width of the bottom line in the case of (c).
  • FIG. 33 shows the height h to the first part where the angle formed between the base and the hypotenuse of the polygon changes from the base side (that is, the end on the base side of the first other side from the base in the present invention). It is the figure which put together the result of having calculated the change of the light extraction efficiency when changing (height).
  • FIGS. 33 (a1) to (a3) show the results of calculation for a tapered tip pentagon.
  • FIGS. 33 (b1) to 33 (b3) show the results calculated for the trapezoid.
  • 33 (a1) and (b1) are the arrangement of FIG. 28 (a)
  • FIGS. 33 (a2) and (b2) are the arrangement of FIG. 28 (b)
  • FIGS. 33 (a3) and (b3) are FIG.
  • the vertical axis represents the light extraction efficiency
  • the horizontal axis represents the height h to one part.
  • the light extraction efficiencies of typical wavelengths of 700 nm, 620 nm, 550 nm, and 480 nm were calculated.
  • an isosceles triangle having a base angle of 30 ° is formed by two hypotenuses and two bases.
  • the extraction efficiency is the highest in all of FIGS. 33 (a1) to (b3) when the height h to one part is 600 nm. It is considered that if the height h to the one part is too low, a sufficient refraction effect cannot be obtained and light cannot be extracted efficiently. On the other hand, if it is too high, it is considered that the light extracted to the substrate 1 side reenters the adjacent convex portion and cannot be extracted efficiently. It can also be seen that the light extraction efficiency is lower when the height h of one part of FIGS. 33 (b1) to (b3) is 0 to 200 nm than in the other cases.

Abstract

この有機EL素子は、基板上に、陽極と、発光層を含む有機層と、陰極と、低屈折率層と、金属層とを順に具備し、陽極側から外部に光を取り出すように構成されている。低屈折率層の屈折率は有機層の屈折率よりも低い。陽極の有機層と反対側の面に高屈折率層を具備する。高屈折率層は、基板よりも屈折率が高く、且つ低屈折率層よりも屈折率が高い材料からなり、層状部と、陽極と反対側に向かって凸である複数の凸部を備える。凸部は、陽極に対して垂直な断面のうち、断面の高さが最大であり、かつ、断面の底辺の長さが最小である断面の断面形状が、陽極に平行な底辺と二つの底角備える多角形である。この二つの底角はいずれも鋭角であり、この多角形は二つの底角をそれぞれ挟んで底辺に接続する二つの斜辺を有し、凸部はこの斜辺を面内に含む斜面を有する構成である。

Description

有機EL素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置
本発明は、有機EL素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置に関するものである。
本願は、2012年11月27日に、日本に出願された特願2012-259151に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
 有機EL素子は、広視野角、高速応答、鮮明な自発光表示等の特徴を有する。薄型軽量で低消費電力であること等の理由から、次世代の照明装置や画像表示装置等の柱として期待されている。
有機EL素子は、有機発光層で発生した光が取り出される向きに応じて、支持基板側から光が取り出されるボトムエミッション型と、支持基板の反対側から光が取り出されるトップエミッション型とに分けられる。
 例えば、透明基板上に、透明電極、発光層を含む有機層、金属電極を順に備えるボトムエミッション型有機EL素子おいては、発光層で発光した光のうち、透明基板に垂直に入射した光は透明基板を透過して素子の外部に取り出される。発光層で発光した光のうち、透明基板(例えば、ガラス(代表的な屈折率:1.52))と空気(屈折率:1.0)との界面に臨界角以下の小さい入射角(入射光線と入射する界面の法線がなす角度)で入射した光は、その界面で屈折して素子の外部に取り出される。本明細書では、これらの光を外部モード(External Mode)光という。
 これに対して、発光層で発光した光のうち、透明基板と空気との界面に臨界角より大きい入射角で入射した光はその界面で全反射されて素子の外部に取り出されず、最終的に材料に吸収されうる。本明細書では、この光を基板モード(Substrate Mode)光という。
 発光層で発光した光のうち、透明導電性酸化物からなる透明電極(例えば、酸化インジウム錫(ITO(代表的な屈折率:1.8))と透明基板との界面に臨界角より大きい入射角で入射した光もその界面で全反射されて素子の外部に取り出されず、最終的に材料に吸収されうる。本明細書では、この光を導波モード(Waveguide Mode)光という。
 金属陰極のような金属層が有機EL素子中に存在する場合、発光層で発光した光のうち、金属層に入射して金属電極の自由電子と結合し、表面プラズモンポラリトン(SPP;Surface Plasmon Polariton)として金属電極の表面に捕捉される。この光も素子の外部に取り出されず、最終的に材料に吸収されうる。本明細書では、この光をSPPモード(SPP Mode)光という。
 有機EL素子の光取り出し効率(発光層で発光した光に対して素子の外部に取り出される光の割合)は一般に20%程度に留まっている(例えば、特許文献1)。すなわち、発光層で発光した光のうち、約80%が損失となっており、これらの損失を低減して光の取り出し効率を向上させることが大きな課題となっている。
ここで、基板モード光の取り出しについては透明基板上に光拡散シートなどを設けることで対処できる(例えば、特許文献2)。しかし導波モード光及びSPPモード光の低減や取り出し、特にSPPモード光の低減や取り出しについては研究が緒に就いたばかりといえる。
導波モード光は、光が高屈折率材料から低屈折率材料に入射する際に全反射が起きることにより生じる。そのため、導波モード光を低減するには全反射を起きにくくする、あるいは、全反射を生じる光の割合を低減することによって導波モード光を低減する方策が知られている。
特許文献3には、有機発光層の近傍に有機発光層や透明電極よりも屈折率の高い高屈折率層を挿入する構成が開示されている。特許文献2には、有機発光層及び透明電極に有機発光層及び透明電極よりも低屈折率の微粒子を分散させることで、等価的に有機発光層及び透明電極の屈折率を下げる構成が開示されている。
特許文献4及び特許文献5には、基板上に順に形成された透明電極層及び誘電体層にキャビティを有する構成が開示されている。
このキャビティの側面(基板に対して垂直に延びる界面)に入射する光は、この界面において基板側に屈折する。基板側に屈折した光は、透明電極と基板の界面、及び基板と空気の界面で全反射を生じる光の割合を低減することができる。
 一方、金属電極の表面に捕捉されたSPPモード光を取り出す方法として、金属電極の表面に周期的な凹凸構造を形成する構成が知られている(特許文献6~9)。
有機EL素子に限らず一般的に、金属層表面のSPPモードを外部放射モードと結合させて金属層表面から有機層中へ取り出す方法として、金属層表面近傍に低屈折率薄膜および高屈折率誘電体を配置し、Otto型配置(非特許文献1)とする方法がしばしば用いられている。
特開2008-210717号公報 特開2011-243625号公報 特開2011-233288号公報 特表2003-522371号公報 特開2011-82192号公報 特開2006-313667号公報 特開2009-158478号公報 特表2005-535121号公報 特開2004-31350号公報
A. Otto, Z. Physik 216, 398 (1968)
 しかしながら、SPPモード光が金属表面から取り出されても、その光が導波モード光として捉えられると素子の外部に取り出されず、光取り出し効率は向上しない。
 本発明は、上記事情に鑑みなされたものである。SPPモード光及び導波モード光を効果的に取り出して光取り出し効率が向上した有機EL素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置を提供することを目的とする。
 本発明者らは、まず、SPPモード光を金属層表面から有機層中に取り出し、その次に、その伝播光を導波モード光とせずに素子の外部に取り出すという2ステップの光取り出し機構を想定して多数の構造の中から、光取り出し効率を向上させる有効な構造を鋭意検討した。
 光取り出し効率を直接計測することは困難であるため、主にシミュレーションに基づいて検討を行った。
本発明の有機EL素子は、発光層を含む有機層を第1電極と第2電極が挟持してなる構造のものである。ここで、上記の2ステップの光取り出し機構は、SPPモード光を生成し、生成されたSPPモード光を金属層表面から有機層中に取り出すOtto型配置(非特許文献1)の第2電極側構造と、その伝播光を導波モード光とせずに外部に取り出す第1電極側構造とからなる。
 本発明者らは、シミュレーションにより、Otto型配置の第2電極側構造と、導波モード光を基板側(トップエミッション型では基板の反対側)に屈折又は指向させる特定の断面形状を持つ凸部または凹部を備えた第1電極側構造とを組み合わせることにより、かかる第2電極側構造及び第1電極側構造の単独の光取り出し効率の向上効果からは予測できないほどの顕著な効果を奏することを見い出し、本発明を完成させた。
 上記課題を解決するため、概要を説明した本発明は以下の構成を採用する。
(1)第1電極と、発光層を含む有機層と、第2電極と、低屈折率層と、金属層とを順に具備する有機EL素子であって、前記第2電極は、透光性導電材料からなり、前記低屈折率層の屈折率は、前記有機層の屈折率よりも低く、前記第1電極の前記有機層と反対側の面に高屈折率層を具備し、前記高屈折率層は、その高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層よりも屈折率が高い材料からなり、さらに前記高屈折率層は、前記第1電極と反対側に向かって凸である複数の凸部を備え、前記凸部は、前記第1電極に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺の長さが最小である断面の断面形状が、前記第1電極に平行な底辺と二つの底角を備える多角形であり、前記二つの底角はいずれも鋭角であり、前記底角を挟んで前記底辺に接続する二つの斜辺を有し、前記凸部は前記斜辺を面内に含む斜面を有する、ことを特徴とする有機EL素子。
(2)前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、他の辺を有する多段形状の多角形であり、前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に小さくなることを特徴とする(1)に記載の有機EL素子。
(3)前記断面形状が、前記他の辺を二つ以上有する多段形状の多角形であることを特徴とする(2)に記載の有機EL素子。
(4)隣り合う前記凸部のそれぞれの前記断面形状をなす二つの前記多角形を含む平面において、隣り合う二つの前記多角形と、これらの隣り合う多角形の高さが最大である点同士を通る直線と、これらの隣り合う多角形の底辺を結ぶ直線によって囲まれる領域の素子面内方向の大きさ及び素子面内方向に垂直な方向の大きさが、いずれも発光光の実効波長(λ/n)以上であることを特徴とする(1)~(3)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
ここでλは前記発光層で発光する光の最大ピーク波長における真空中での波長であり、nhは前記高屈折率層の屈折率である。
(5)前記金属層の比誘電率の実部をε1、前記低屈折率層の比誘電率をε2、前記高屈折率層の比誘電率をεh、前記高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質の比誘電率をεsとし、前記底角(θ)が下記の式(1)の範囲内の角度であることを特徴とする(1)~(4)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
ここでγは下記の式(2)で定義される角度である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
ここで、比誘電率ε2、比誘電率εh、比誘電率εsは発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率であり、比誘電率の実部ε1は発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率の実部である。
(6)前記金属層の比誘電率の実部をε1、前記低屈折率層の比誘電率をε2、前記高屈折率層の比誘電率をεh、前記高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質の比誘電率をεsとし、隣り合う前記凸部の一方の凸部の前記底角(θ)と他方の凸部の前記底角(θ)が下記の式(3)の範囲内の角度であることを特徴とする(1)~(5)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
ここでγは下記の式(4)で定義される角度である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
ここで、比誘電率ε2、比誘電率εh、比誘電率εsは発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率であり、比誘電率の実部ε1は発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率の実部である。
(7)前記底角が、20~75°の範囲内の角度であることを特徴とする(1)~(6)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(8)前記底角が、20~55°の範囲内の角度であることを特徴とする(7)に記載の有機EL素子。
(9)前記断面形状の高さが最大である部位が頂点をなし、その頂角が、30~140°の範囲内の角度であることを特徴とする(1)~(8)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(10)前記頂角が、70~140°の範囲内の角度であることを特徴とする(9)に記載の有機EL素子。
(11)第1電極と、発光層を含む有機層と、第2電極と、低屈折率層と、金属層とを順に具備する有機EL素子であって、前記第2電極は、透光性導電材料からなり、前記低屈折率層の屈折率は、前記有機層の屈折率よりも低く、前記第1電極の前記有機層と反対側の面に高屈折率層を具備し、前記高屈折率層は、その高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層よりも屈折率が高い材料からなり、さらに前記高屈折率層は、前記第1電極側に向かって凹である複数の凹部を備え、前記凹部は、前記第1電極に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺の長さが最小である断面の断面形状が、前記第1電極に平行な底辺と二つの底角を備える多角形であり、前記二つの底角はいずれも鋭角であり、前記底角を挟んで前記底辺に接続する二つの斜辺を有し、前記凹部は前記斜辺を面内に含む斜面を有する、ことを特徴とする有機EL素子。
(12)前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、他の辺を有する多段形状の多角形であり、前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に大きくなることを特徴とする(11)に記載の有機EL素子。
(13)前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、前記底辺と平行な辺を有する多段形状の多角形であることを特徴とする(11)に記載の有機EL素子。
(14)前記断面形状が、さらに他の辺を有する多段形状の多角形であり、前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に大きくなることを特徴とする(13)に記載の有機EL素子。
(15)前記断面形状が、前記他の辺を二つ以上有する多段形状の多角形であることを特徴とする(12)または(14)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(16)前記断面形状をなす前記多角形の素子面内方向の大きさ及び素子面内方向に垂直な方向の大きさが、いずれも発光光の実効波長(λ/nh)以上であることを特徴とする(11)~(15)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
ここでλは発光層で発光する光の最大ピーク波長における真空中での波長であり、nhは高屈折率層の屈折率である。
(17)前記凸部または前記凹部が面内の一方向に連なるライン状に形成されていることを特徴とする(1)~(16)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(18)前記凸部または前記凹部が面内方向に正方格子状に形成されていることを特徴とする(1)~(17)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(19)前記低屈折率層の厚さが、20nm以上300nm以下であることを特徴とする(1)~(18)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(20)前記高屈折率層が複数の層からなることを特徴とする(1)~(19)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(21)前記低屈折率層の屈折率はさらに、前記第2電極の屈折率よりも低いことを特徴とする(1)~(20)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(22)前記第2電極の屈折率はさらに、前記有機層の屈折率よりも低いことを特徴とする(21)に記載の有機EL素子。
(23)前記低屈折率層は、前記第2電極及び前記有機層のうちの少なくとも一方よりも屈折率が0.2以上小さい材料からなることを特徴とする(1)~(22)のいずれか一項に記載の有機EL素子。
(24)(1)~(23)のいずれか一項に記載の有機EL素子を備えたことを特徴とする画像表示装置。
(25)(1)~(23)のいずれか一項に記載の有機EL素子を備えたことを特徴とする照明装置。
 本発明によれば、SPPモード光及び導波モード光を効果的に取り出して光取り出し効率が向上した有機EL素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置を提供できる。
本発明の第1の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。 図1の拡大図である。 本発明の第1の実施形態に係る有機EL素子10において、隣り合う複数の凸部7aが同一形状で、凸部7aの断面形状の多角形が同一形状の二等辺三角形からなり等間隔で配置される構成である二つの例を示す断面模式図である。図3(a)は角度θが小さな鋭角である場合、図3(b)は角度θが大きな鋭角である場合である。図3では、有機EL素子10の高屈折率層7のみを拡大して表示している。 屈折率界面において反射率の入射角依存性を計算した図である。 本発明の第1の実施形態に係る有機EL素子10において、隣り合う複数の凸部7aが同一形状で、凸部7aの断面形状の多角形が同一形状の二等辺三角形からなり等間隔で配置される構成である一例を示す断面模式図であり、Otto型配置で取り出された光と凸部7aの傾斜面の底角との関係について説明するため断面模式図である。 本発明の第2の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。 本発明の第1の実施形態と第2の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。図7(a)は、凸部7aの断面形状が三角形の場合である。図7(b)は、凸部17aの断面形状が、斜辺と他の辺がその頂部に向かって段階的になだらかに接続される多段形状の場合である。 本発明に係る有機EL素子の凸部を素子面の法線方向から見た平面図の一例である。図8(a)は、凸部がドット形状、図8(b)は、凸部がライン形状の例である。 本発明に係る有機EL素子の凸部を素子面の法線方向から見た配置の一例である。図9(a)は、凸部がドット形状の場合の配置である。図9(b)は、凸部がライン形状の場合の配置例である。 図10(a)は本発明の第3の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。図10(b)は本発明の第4の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。 本発明の有機EL素子を備えた画像表示装置の一例を説明するための断面模式図である。 本発明の有機EL素子を備えた照明装置の一例を説明するための断面模式図である。 本発明に係る有機EL素子の第1の製造方法を模式的に表した断面模式図である。 本発明に係る有機EL素子の第2の製造方法を模式的に表した断面模式図である。 基板上に、陽極と有機層と陰極(金属)とを有する標準構造の有機EL素子において、有機層で発光した光の強度を、有機EL素子面方向における波数で展開するエネルギー散逸計算を行った結果を示す。 Otto型配置におけるエネルギー散逸計算の、低屈折率層の膜厚による依存性を示した図である。低屈折率層の屈折率を1.38とし、図16(a)は反射層をAlとし、図16(b)は反射層をAgとした場合の結果を示した図である。 図16におけるピークの変化を説明するための、Otto型配置の有機EL素子の断面模式図である。図17(a)は、低屈折率層の膜厚が0nmの場合である。図17(b)は、低屈折率層の膜厚が厚くなるにつれて、SPPモード光と導波モード光が混在する場合である。図17(c)は、低屈折率層の膜厚が十分厚く、エバネッセント波が金属層に届かなくなり、SPPモード光として捕捉されない場合である。 図16におけるエネルギー散逸計算の結果において、低屈折率層の膜厚に対するピーク幅(半値幅)の変化を示した図である。 Otto型配置の有機EL素子において、図19(a)は反射層をAl、図19(b)は反射層をAgとした場合の式(18)をグラフ化した図である。 シミュレーションで用いた本発明の第1の実施形態の有機EL素子のモデル構造を示す断面図である。 図20に示す有機EL素子のモデル構造の断面と、その変形例を示す断面図である。 図20における底角θを変更した場合の、第1の実施形態の有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す図である。 高屈折率層の屈折率を変更した場合の、第1の実施形態の有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す図である。 隣接する凸部間の中心間隔(ピッチ)を変更した場合の、第1の実施形態の有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す図である。 図20に示す有機EL素子10のモデル構造の断面の、他の変形例を示す断面図である。 図25に示す、内接する円の直径dが800nmで底角θが異なる有機EL素子について光取り出し効率をシミュレーションにより計算した結果である。 シミュレーションで用いた本発明の第2の実施形態の有機EL素子のモデル構造を示す断面模式図である。図27(a)および図27(b)は、図6における凸部17aの断面形状がθ21=θ22=0°の場合の図である。図27(a)は凸部の高さが400nmであり、図27(b)は凸部の高さが800nmである。図27(c)および図27(d)は、図6における凸部17aがθ21=θ22=30°の場合の図である。図27(c)は凸部の高さが600nmであり、図27(d)は凸部の高さが1000nmである。 本発明の有機EL素子を説明するための平面模式図である。図28(a)が凸部の底面が正方形であり、凸部が正方格子状に敷き詰められている場合の平面模式図である。図28(b)が凸部の底面が円形であり、凸部が正方格子状に敷き詰められている場合の平面模式図である。図28(c)は凸部が一方向に伸びる並進対称(ストライプ状)な構造であり、平行ライン状に敷き詰められている場合の平面模式図である。理解の助けとなるように、凸部の断面視した図を、平面視した場合に凸部がどの位置に対応するかわかるように合わせて記載した。 図28(a)の配置での、図27(a)~(d)の凸部形状を有する有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図29(a)は、図27(a)および図27(b)の凸部が台形形状をしている場合の結果である。図29(b)は、図27(c)および図27(d)の凸部が2段の凸形状を有している場合の結果である。 図28(b)の配置での、図27(a)~(d)の凸部形状を有する有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図30(a)は、図27(a)および、図27(b)の凸部が台形形状をしている場合の結果である。図30(b)は、図27(c)および、図27(d)の凸部が2段の凸形状を有している場合の結果である。 図28(c)の配置での、図27(a)~(d)の凸部形状を有する有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図31(a)は、図27(a)および図27(b)の凸部の断面形状が台形形状をしている場合の結果である。図31(b)は、図27(c)および図27(d)の凸部の断面形状が2段の多段形状を有している場合の結果である。 本発明の有機EL素子モデル構造の断面を示す断面図である。理解を容易にするために、高屈折率層のみを記載している。 図32の模式図において、底辺から最初の片部までの高さhを変更した場合の、第2の実施形態の有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す図である。図33(a1)~(a3)が図32(a)の形状の場合である。図33(b1)~(b3)が図32(b)の形状の場合である。また図33(a1)及び図33(b1)が図28(a)の配置、図33(a2)及び図33(b2)が図28(b)の配置、図33(a3)及び図33(b3)が図28(c)の配置の場合である。
 以下、本発明を適用した有機EL素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置について、図面を用いてその構成を説明する。以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際と同じであるとは限らない。以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
本発明において、第1電極及び第2電極は一方が陽極で他方が陰極である。以下では、第1電極を陽極、第2電極を陰極とする構成を例に挙げて説明する。
本発明の有機EL素子は本発明の効果を損ねない範囲で以下に記載していない層を備えてもよい。さらに、本発明の有機EL素子は、いわゆるトップエミッション型、ボトムエミッション型のいずれを適用してもよい。以下では、ボトムエミッション型の構成を例に挙げて説明する。
(有機EL素子(第1の実施形態))
 図1は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。図2はその拡大図である。
 本発明の第1の一実施形態に係る有機EL素子10は、基板1の一方の表面上に、陽極(第1電極)2と、発光層を含む有機層3と、陰極(第2電極)4と、低屈折率層5と、金属層6とを順に(図中の下方に向かって)具備する。前記陰極4は、透光性導電材料からなる透明導電層である。前記低屈折率層5の屈折率は前記有機層3の屈折率よりも低い。前記低屈折率層5は、前記陽極2の前記有機層3と反対側の面に高屈折率層7を具備する。前記高屈折率層7は、高屈折率層7の前記陽極2とは反対側の面に隣接する物質(前記基板1)よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層5よりも屈折率が高い材料からなる。さらに前記高屈折率層7は、前記陽極2と反対側(前記基板1側)に向かって凸である複数の凸部7aを備える。前記凸部7aは、前記陽極2に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺Lの長さが最小である断面の断面形状が、前記陽極2に平行な底辺Lと二つの底角θ11及び底角θ12を備える頂部が頂点であり頂角がαである三角形(多角形)である。前記二つの底角θ11及びθ12はいずれも鋭角であり、前記三角形は、前記底辺Lと二つの底角θ11及び底角θ12をそれぞれ挟んで接続する二つの斜辺を有する。そして、前記凸部7aは前記斜辺を面内に含む斜面を有する構成である。
図1では高屈折率層7は陽極2に接しているが、陽極2との間に他の層を挟んで配置する構成でもよい。本実施形態では基板1と陽極2との間に配置する構成である。
図1では高屈折率層7は、凸部7aと層状部7cの複数の層からなる構成である。
 低屈折率層5の屈折率はさらに、陰極4の屈折率よりも低いことが好ましい。
 また、陰極4の屈折率は、有機層3の屈折率よりも低いことが好ましい。
陰極側の構造について屈折率の比較を行う場合には、有機層の屈折率とは、有機EL材料からなる発光層を含む全ての層の平均の屈折率をいう。
図1において実線で示す構成はボトムエミッション型のものである。図1おいて、二点鎖線で示す符号1aは、本発明の構成をわかりやすく説明するためにトップエミッション型の場合の基板の配置を併せて示したものである。この場合、基板1を備える必要はなく、高屈折率層7の前記陽極2とは反対側の面に隣接する物質は、例えば空気であってもよい。他の実施形態についても、トップエミッション型の場合の基板の配置は同様である。
本発明の有機EL素子に共通する陰極側の構成である、金属層/低屈折率層/有機層の積層構造において、これらがOtto型配置となるためには低屈折率層の屈折率が有機層の屈折率より低い必要がある。このような屈折率構成とすることによって、金属層/低屈折率界面に生じたSPPモード光を有機層中に取り出すことができる。陰極の屈折率が低屈折率層の屈折率よりも高いことがより好ましい。陰極の屈折率が低屈折率層の屈折率より高い場合、金属層/低屈折率層/陰極の構成もOtto型配置となっているため、SPPモード光をより効率的に再放射させ、有機層や高屈折率層中へ導くことができる。さらに、陰極の屈折率は、有機層の屈折率よりも低いことが好ましい。このような屈折率構成とすることによって、陰極に取り出されたSPPモード光を、陰極/有機層界面で全反射させることなく有機層へ取り出すことができる。
本発明の有機EL素子10は、ボトムエミッション型(陽極2から見て有機層3と反対側に基板1がある場合)、トップエミッション型(金属層6から見て低屈折率層5と反対側に基板1aがある場合)の有機EL素子のいずれにも適用できる。
ボトムエミッション型に適用する場合には、基板1は透光性の基板であり、通常、可視光に対して透明であることが必要である。ここで、「可視光に対し透明である」とは、発光層から発する波長の可視光を透過することができればよいという意味であり、可視光領域全域にわたり透明である必要はない。400~700nmの可視光における透過率が50%以上で、平滑な基板が好ましい。また、基板1の透過率が70%以上であることがより好ましい。
基板1を構成する材料として具体的には、ガラス、ポリマー等が挙げられる。ガラスとしては、特にソーダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、石英等が挙げられる。ポリマーとしては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルファイド、ポリサルフォン等を挙げることができる。
 発光光が可視光でない場合も、少なくとも発光波長領域に対して、可視光の場合と同様に透明であることが必要である。透過率としては、発光が最大強度となる波長に対し、50%以上であることが好ましく、70%以上であることが更に好ましい。
トップエミッション型に適用するためには、上記記載と同様なものの他に、不透明な材料も使用できる。具体的には、例えばCu、Ag、Au、Pt、W、Ti、Ta、Nb、Alの単体、またはこれらの元素を含んだ合金、あるいはステンレスなどの金属材料、Si、SiC、AlN、GaN、GaAs、サファイアなどの非金属材料、その他のトップエミッション型の有機EL素子で通常用いられる基板材料を用いることができる。素子の発光に伴い生じる熱を逃がすため、熱伝導率の高い材料を基板に用いることが好ましい。
但し、本実施形態では、高屈折率層7が凸部7aを形成することにより、基板1はそれに対応する複数の凹部を備えるので、より精確に加工しやすい材料であるのが好ましい。好ましい材料としては特に限定はされないが、例えば、石英が挙げられる。
 基板1の厚さは、要求される機械的強度にもより、特に限定はされない。好ましくは、0.01mm~10mm、より好ましくは0.05mm~2mmである。
陽極2は陰極4との間で電圧を印加し、陽極2より有機層3に正孔を注入するための電極である。陽極2は仕事関数の大きい金属、合金、導電性化合物、あるいはこれらの混合物からなる材料を用いることが好ましい。陽極2に接する有機層3のHOMO(Highest Occupied Molecular Orbital)準位との差が過大にならないように仕事関数が4eV以上6eV以下のものを用いるのが好ましい。陽極2の材料としては透光性でかつ導電性の材料であれば特に制限はない。例えば、酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化錫、酸化亜鉛などの透明無機酸化物、PEDOT:PSS(ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)-ポリ(スチレンスルホン酸))、ポリアニリンなどの導電性高分子および任意のアクセプタなどでドープした導電性高分子、カーボンナノチューブなどの導電性光透過性材料、薄膜金属、薄膜状に形成された金属ナノワイヤ、これらを含む複合材料を挙げることができる。ここにおいて、陽極2は、例えば、スパッタ法、真空蒸着法、塗布法などによって形成することができる。
陽極2の厚さは特に限定はされない。例えば10~2000nmであり、好ましくは50~1000nmである。陽極2の厚さが10nmより薄いと陽極2のシート抵抗が増大する。陽極2の厚さが2000nmより厚いと有機層3の平坦度を保てなくなると共に、陽極の透過率が低下する。
有機層3は、有機EL材料からなる発光層の他、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層等を備えてもよい。発光層の材料としては、有機EL素子用の材料として知られる任意の材料を用いることができる。
正孔注入層は陽極2から有機層3への正孔注入を助ける層であり、イオン化エネルギーが通常5.5eV以下と低い。このような正孔注入層としてはより低い電界強度で正孔を有機層3に注入する材料が好ましい。形成する材料としては、上記の機能を担えるものであれば特に制限はなく、公知のものの中から任意のものを選択して用いることができる。また、正孔輸送層は発光領域まで正孔を輸送する層であって、正孔移動度が大きい。このような正孔輸送層として形成する材料は、上記の機能を担えるものであれば特に制限はなく、公知のものの中から任意のものを選択して用いることができる。
電子注入層は陰極4から有機層3への電子注入を助ける層である。このような電子注入層としてはより低い電界強度で電子を有機層3に注入する材料が好ましい。形成する材料としては、上記の機能を担えるものであれば特に制限はなく、公知のものの中から任意のものを選択して用いることができる。また、電子輸送層は発光領域まで電子を輸送する層であって、電子移動度が大きい。このような電子輸送層として形成する材料は、上記の機能を担えるものであれば特に制限はなく、公知のものの中から任意のものを選択して用いることができる。
有機層3は、蒸着法、転写法などの乾式プロセスによって成膜してもよいし、スピンコート法、スプレーコート法、ダイコート法、グラビア印刷法など、湿式プロセスによって成膜してもよい。
有機層3の厚さは特に限定はされない。例えば50~2000nmであり、好ましくは100~1000nmである。有機層3の厚さが50nmより薄いと突き抜け電流による内部量子効率の低下や、金属層6による損失性表面波モードカップリング(lossy surface wave mode coupling)など、SPPカップリング以外の消光が起こる。有機層3の厚さが2000nmより厚いと駆動電圧が上昇する。
陰極4は、発光層に電子を注入するための電極であり、仕事関数の小さい金属、合金、導電性化合物、あるいはこれらの混合物からなる材料を用いることが好ましい。陰極4に接する有機層3のLUMO(Lowest Unoccupied Molecular Orbital)準位との差が過大にならないように仕事関数が1.9eV以上5eV以下のものを、陰極4として用いるのが好ましい。
陰極4の材料としては、Otto型配置の陰極側構造を形成するために、透光性の導電材料とする必要がある。そのため、上記の陽極材料と同じものを用いることができる。
陰極4の厚さは特に限定はされない。例えば30nm~1μmであり、好ましくは50~500nmである。陰極4の厚さが30nmより薄いとシート抵抗が増加して、駆動電圧が上昇する。陰極4の厚さが1μmより厚いと成膜時の熱や放射線ダメージ、膜応力による機械的ダメージが電極や有機層に蓄積する。
低屈折率層5は、陰極4の有機層3とは反対側の面に備えられている。低屈折率層5は、有機層3よりも屈折率の低い材料からなる。低屈折率層5は、陰極4を構成する透光性導電材料よりも屈折率の低い材料からなることが好ましい。
低屈折率層5の屈折率が、陰極4の屈折率より低いと、発光層で発光した光が陰極4側に伝播し、陰極4と低屈折率層5との界面に達したとき、少なくとも臨界角以上の角度で入射した光は全反射する。
このような低屈折率層5の材料としては、有機層3よりも屈折率の低い材料であれば特に制限はない。例えば、有機層3の全ての層の平均屈折率が1.72の場合、この屈折率条件を満たす低屈折率層5の材料として、SOG、フッ化マグネシウム(MgF(代表的な屈折率1.38))等の金属フッ化物、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE(代表的な屈折率1.35))等の有機フッ素化合物、二酸化ケイ素(SiO(代表的な屈折率1.45))、各種の低融点ガラス、多孔性物質が挙げられる。低屈折率層5は空気層を含む層からなり、陰極4を構成する透光性導電材料より低い屈折率を有するものでもよい。
低屈折率層5は、陰極4及び有機層3のうちの少なくとも一方よりも屈折率が0.2以上小さい材料からなることが好ましい。陰極4や有機層3がOtto型配置の高屈折率媒質に相当し、Otto型配置で低屈折率媒質と高屈折率媒質の屈折率差が0.2以上あれば、SPPモード光の波数の面内成分が小さくなる。SPPモード光の波数の面内成分が小さくなると、高屈折率媒質中の伝播光とSPPモード光の分散曲線が交わるようになり、SPPモード光が陰極4または有機層3へより効率的に取り出される。
低屈折率層5の厚さは、20nm~300nmであることが好ましい。低屈折率層5の厚みが20nmより薄いと、低屈折率層5の膜厚が薄すぎるため、金属層6と有機層3または陰極4が接近してSPPモード光の波数が大きくなる。SPPモード光の波数が大きくなると、分散曲線が有機層3内伝播光の分散曲線と交わらなくなり、SPPモード光が有機層中に取り出されにくくなる。低屈折率層5の厚みが300nmより厚いと、SPPモードの電磁場が金属層6に届かなくなり、SPPモード光が有機層中に取り出されにくくなる。さらに低屈折率層5の厚さは、200nm以下であることがより好ましい。
金属層6は、陰極4の、有機層3とは反対側に低屈折率層5を介して備えられている。
金属膜6の材料としては、有機層3中で生じた発光光を陽極側へ反射することができればよいので、ほとんどの金属の単体または合金を用いることができる。金属膜6の材料としては、中でも比複素誘電率の実部が絶対値が大きな負の値を持つような材料が好ましい。かかる材料としては例えば、Au、Ag、Cu、Zn、Al、Mg、アルカリ金属、アルカリ土類金属等の単体や、AuとAgとの合金、AgとCuとの合金、真鍮等の合金が挙げられる。金属層6は、2層以上の積層構造であってもよい。
金属層6の厚さは特に限定はされない。金属層6の厚さは、例えば20~2000nmであり、好ましくは50~500nmである。金属層6の厚さが20nmより薄いと反射率が低くなり正面輝度が低下する。金属層6の厚さが2000nmより厚いと成膜時の熱や放射線によるダメージ、膜応力による機械的ダメージが電極や有機層に蓄積する。
高屈折率層7は、その高屈折率層7の陽極2とは反対側の面に隣接する物質よりも屈折率が高く、且つ低屈折率層5よりも高い屈折率を有する材料からなる。図1、図2で示す例では、その高屈折率層7の陽極2とは反対側の面に隣接する物質は基板1なので、高屈折率層7は基板1よりも高い屈折率を有する材料からなる。トップエミッション型の素子で、高屈折率層7の陽極2とは反対側の面に隣接する物質が空気の場合は、高屈折率層7は空気よりも屈折率が高く、且つ低屈折率層5よりも屈折率が高い材料で構成することができる。
高屈折率層7の屈折率が基板1の材料よりも高く、且つ低屈折率層5よりも高い屈折率を有することにより、断面視して基板外表面側(図中の上方)に向かって凸である凸部7aに入射した光は基板側に屈折する。その結果、光の基板1への入射角が小さい角度に変わるので、基板の外表面での全反射をしない光が増えて、基板モード光が抑制される。トップエミッション型の素子の場合も、同様に光を素子面に対して垂直に近い方向に指向させることができる。
高屈折率層7の屈折率はさらに、有機層3の屈折率と同じか、これより高いことが好ましい。このような屈折率構造にすることによって、有機層中へ再放射されたSPPモード光および発光光が、陽極/高屈折率層界面で全反射することなく高屈折率層中へ取り出される。
高屈折率層7の材料としては、透光性でかつ高屈折率層7の陽極2とは反対側の面に隣接する物質(ボトムエミッション型の場合、基板側に隣接する材料)よりも高く、且つ低屈性率層5よりも高い屈折率を有する材料であれば特に制限はされない。
例えば、基板側に隣接する材料がガラス基板(代表的な屈折率:1.52)であり低屈折率層の屈折率がガラスより低い場合、高屈折率層7の材料としては、例えば、屈折率が1.52より高いSOG(代表的な屈折率:1.6~2.0)、酸化マグネシウム(MgO)(代表的な屈折率:1.74)、酸化亜鉛(ZnO)(代表的な屈折率:2.02)をはじめとする酸化物、窒化アルミニウム(AlN)をはじめとする窒化物、アルミニウム酸窒化物(AlON)やケイ素酸窒化物をはじめとする酸窒化物、ポリエチレンナフタレート(PEN(代表的な屈折率:1.77))やメラミン樹脂等をはじめとする高分子化合物樹脂、などから選択して用いることができる。また、これらよりなる多孔質性材料、混合物、また、無機材料の微粒子を透明媒質中に分散させたものなどを用いることができる。
基板側に隣接する材料や低屈性率層5の屈折率が1.52より低い場合には、高屈折率層7の材料として、基板の屈折率と同じか、より低い屈折率の材料、例えば、フッ化マグネシウム(MgF)(代表的な屈折率:1.38)をはじめとする金属ハロゲン化物、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE(代表的な屈折率:1.35))をはじめとするフッ素系樹脂、ポリメチルメタクリレート(代表的な屈折率:1.49)、シリカ(SiO)(代表的な屈折率:1.45)などからも選択して用いることができる。
高屈折率層7は複数の層からなってもよい。例えば、図1、図2では、層状部7cと凸部7aを備える層と2層からなるが、これらが同じ種類の高屈折率層からなっても、異なる種類の高屈折率層からなってもよい。層状部7cと凸部7aの屈折率が異なる場合、層状部7cの高屈折率層の屈折率が、凸部7aの屈折率より低いことが好ましい。図1で示すように有機層3で発光した光は、層状部7c、凸部7aの順に通過し、素子外部に取り出される。そのため、層状部7cの屈折率が凸部7aより低ければ、凸部7aと層状部7cの界面での全反射を抑制することができる。全反射を抑制することができることは、すなわち効率的に光を取り出すことができることである。
隣り合う凸部のそれぞれの断面形状をなす二つの多角形と、隣り合う凸部の高さが最大である点同士を通る直線と、隣り合う多角形の底辺を結ぶ直線とに囲まれる領域のサイズ(素子面内方向および面内方向に垂直な方向の大きさ)がともに発光光の実効波長(λ/n)以上であることが好ましい。ここでλは発光層で発光する光の最大ピーク波長における真空中での波長であり、nはこの波長における高屈折率層7の屈折率である。
これは、上記領域のサイズが実効波長より小さい場合、高屈折率層7から上記領域へ入射する光は回折により球面波状に広がるため、透過光を正面方向(素子面に対して垂直に近い方向)に指向させることができない。上記領域のサイズが、発光光の実効波長(λ/n)以上となるような凸部7aを形成することによって、高屈折率層7から上記領域へ入射する光を、凸部7aの斜面において屈折させることができ、そして効率的に光を取り出すことができる。
本発明の有機EL素子の、Otto型配置による第2電極側構造の作用効果について以下に説明する。以下は、計算式に基づく原理的な説明であるため、第1電極と第2電極をそれぞれ陽極または陰極の一方に対応させることはせずに、第1電極及び第2電極のまま記載する。
平坦な金属表面に生成される表面プラズモンポラリトン(SPP)の角振動数をω、波数の基板面内方向成分をkspとする。この分散関係(角振動数と波数の間の関係)は、金属の比誘電率の実部εと、金属表面に接触する誘電体の比誘電率εによって決まり、近似的に次式(5)によって与えられる(cは真空中の光の速さ)。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
これに対して、比誘電率εの誘電体中を伝播する通常の伝播光の波数の大きさは、次式(6)によって与えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
 本発明の金属層6に用いられる金属材料においてはε<0であるので、式(6)は常にSPPの波数(5)より小さい。そのため、表面プラズモンポラリトン(SPP)の分散曲線は通常の伝播光の分散直線と交差しない。つまり、通常の伝播光では平坦な金属表面にSPPを励起することはできない。また、平坦な金属表面に存在するSPPから直接伝播光を取り出すこともできない。
 これに対して、Otto型配置、すなわち金属/低屈折率媒質/高屈折媒質となる構造であって、本発明の有機EL素子においては金属層6(比誘電率の実部ε)/低屈折率層5(比誘電率ε)/有機層(比誘電率ε)の積層構造を用いた場合について考える。有機層3の屈折率が低屈折率層5の屈折率より高い場合、有機層3側から低屈折率層5側に臨界角より大きい入射角で入射した光は、有機層3と陰極4の界面または陰極4と低屈折率層5の界面で全反射する。この際、界面の低屈折率層5側には非伝播光であるエバネッセント波が生じ、全反射の界面から遠ざかるにつれてその電磁場強度は指数関数的に減衰する(入射光は界面で全反射するが、電磁場は界面から滲み出して存在している)。このエバネッセント波の分散曲線は、次式(7)によって与えられる。ここで、δは有機層3中の基板法線に対する伝播角である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000011
従って、εが十分大きければ、入射角δを変えることにより、SPPの分散曲線と全反射によるエバネッセント波(以降、単に「エバネッセント波」という場合も、全て全反射によって生じたものをさすものとする)の分散直線に交点を持たせることが可能となる。すなわち、エバネッセント波を用いれば、有機層3中の伝播光から平坦な金属層6の表面にSPPを励起することができる。また、逆の過程として平坦な金属層6の表面に存在する金属層6表面からエバネッセント波を介してSPPを有機層3中へ取り出すことが可能となる。SPPを取り出す場合は、式(7)中のδは、伝播光の放射角度ということになる。
 言い換えると、所定の角度で有機層3内を伝播する光だけが、エバネッセント波を介しSPPとエネルギーをやり取りできる状態となることを意味する。
ただし、上記低屈折率層5が厚すぎても薄すぎても、エバネッセント波を介したSPPモード光の励起・取り出しはなされない。これは、低屈折率層5が厚すぎると、有機層3からのエバネッセント波の滲み出しが金属層6まで到達せず、エバネッセント波とSPPモード光同士がエネルギーをやりとりできないためである。低屈折率層5が薄すぎると、金属層6と有機層3または陰極4が接近してSPPモードの波数が(5)式より大きくなり、分散曲線がエバネッセント波の分散曲線(7)と、いかなる角度δの場合も交わらなくなるためである。
こうしてSPPから取り出される光は上記の通り、SPPの分散曲線とエバネッセント波の分散直線との交点に対応する所定の角度を有して放射されるものである。
次に、本発明の有機EL素子の第1電極側構造により光を素子外部に取り出す作用効果について以下に説明する。
 第1電極側構造としては、陽極2の有機層3と反対側の面に高屈折率層7を設ける。高屈折率層7は、高屈折率層7の陽極2とは反対側の面に隣接する物質のよりも屈折率が高く、且つ低屈折率層5よりも屈折率が高い材料からなる。高屈折率層7は、陽極2と反対側に向かって凸である複数の凸部7a備える。
図3(a)、(b)は、本実施形態に係る有機EL素子10において、隣り合う複数の凸部7aが同一形状であり、凸部7aの断面形状の多角形も同一形状の三角形からなり等間隔で配置される構成である二つの例を示す断面模式図である。図3(a)、(b)のいずれにおいても、図2に示す底角θ11と底角θ12は等しく、ともに角度θであり、断面形状の多角形は二等辺三角形である。図3(a)は角度θがSPPの放射角度γより小さな鋭角である場合、図3(b)は角度θがSPPの放射角度γより大きな鋭角である場合である。
この陽極2と高屈折率層7との界面が平坦である場合、有機層から高屈折率層7へ入射角δで入射した光の、高屈折率層7中への(基板法線に対する)出射角γは、SPPの真空中での波数k=ω/cと波数kspを用いて
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000012
の関係を満たす。但し、εは高屈折率層7の比誘電率とする。従って、Otto型配置により有機層3中に再放射された後、高屈折率層まで取り出されたSPPの、高屈折率層中での伝播角γは次の式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000013
 すなわち高屈折率層7中の伝播角γは、各層の分散ε(ω)、ε(ω)、ε(ω)から決まる値である。以降はこれらの分散として、発光層3で発光する最大ピーク波長の光の振動数における値を用いる。この振動数の光に対して、光取り出しを向上させる凸部7aの形状について考えることによって、発光波長域の広い有機EL素子についても光取り出し効率を向上させることが可能となる。従って、この角度で伝搬する光が、高屈折率層7/基板1の界面で全反射を抑えるように、凸部7aの斜面の角度を調整することで、SPPモード光の基板1への取り出しを飛躍的に向上させることができる。具体的には、凸部7aの断面形状を構成する多角形の底角をθ、基板の比誘電率をεsとし、再放射光が、凸部7aの第1電極2に最も近い斜面に入射した際の入射角|θ-γ|が高屈折率層7/基板1の界面でのブリュースター角arctan(√(ε/ε))の0.6倍よりも小さければ、この斜面に入射する光の全反射及びフレネル反射を抑えることができる。このことは、図4からも確認できる。図4は、入射角に対する、高屈折率層と基板界面でのフレネル反射率変化を示した図である。また図4では、想定される(ε/ε)の値それぞれに対して計算を行った。凡例のグラフ線の数字は(ε/ε)、すなわち基板の比誘電率εと高屈折率層の比誘電率εの比である。図より、いずれの比誘電率比においても(すなわち想定される全ての高屈折率7および基板1の屈折率の組み合わせにおいて)、ブリュースター角の0.6倍(図4の点線)以下の入射角で凸部7aの斜面に光が入射した場合、反射率を低く抑えることができることが分かる。図4でθはブリュースター角を示している。
図3は有機EL素子10において、再放射されたSPPモード光の高屈折率層7および基板1中での伝播の様子を描いたものである。ただし、有機EL素子については高屈折率層7と基板1のみを抜き出して描いている。図3において、実線部が高屈折率層7から基板1へ入射および出射する光の光線、点線がフレネル反射する光の光線である。図3(a)のように凸部7aの底角θが、再放射光の高屈折率層中における伝播角γより小さい場合、点線の矢印のようなフレネル反射を抑制するための条件は、以下の数式(10)で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000014
図3(b)は底角θが伝播角γより大きい場合である。この場合に点線の矢印のようなフレネル反射を抑制するための条件は、以下の数式(11)で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000015
入射する光のフレネル反射を抑えられる底角θの条件としては、上式(10)と上式(11)も合わせた下記の式(12)を満たすことが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000016
次に、SPPモード光の基板への取り出しを飛躍的に向上させることができる再入射防止の条件について説明する。図5は図3と同様に、有機EL素子10において、再放射されたSPPモード光の高屈折率層7および基板1中での伝播の様子を描いたものである。
伝播角γで高屈折率層7中へ放出されたSPPの再放射光が、高屈折率層7/基板1の界面に入射角θ-γで入射する場合、斜面の法線に対する光の射出角をθとすると、θは以下の式(13)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000017
凸部7aの底辺Lに対する、出射光の伝播角は(π/2-θ)+θなので、この伝播角が底角θより大きいと、出射した光が隣りの凸部7aの断面形状内に再入射することなく、基板中へ出すことができる。この関係は以下の式(14)で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000018
上式(13)の両辺のcosを取り、上式(14)を代入したものが以下の式(15)である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000019
すなわち、底角θが上式(15)を満たす場合に、隣りの凸部7aに再入射することなく基板中へ出すことができるので好ましい。
また、式(15)は、隣り合う2つの凸部7aそれぞれの、向かい合う側の底角が等しい場合の底角θの条件式である。向かい合う底角の大きさが互いに異なる場合は、向かい合う側の底角で、SPPの再放射光が入射する一方の凸部7aの底角をθとし、他方の凸部7aの底角をθとすると、前記の式(15)は、以下の式(16)で書き換えられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000020
すなわち、底角θ、底角θが上式(16)を満たす場合、高屈折率層7/基板1の界面から射出された光が、隣りの凸部7aの断面形状内に再入射することなく基板中へ出すことができるので好ましい。
高屈折率層7の厚さは特に限定するものではない。例えば10~2000nmであり、好ましくは50~1000nmである。高屈折率層7の厚さが10nmより低いと有機層3に対する高屈折率層7の体積の割合が小さくなり、導波モード光を効率的に基板側に取り出しにくくなる。高屈折率層7の厚さが2000nmより厚いと有機層3の平坦度を保ちにくくなるからである。
(有機EL素子(第2の実施形態))
 図6は、本発明の第2の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。
 本発明の第2の一実施形態に係る有機EL素子20は、基板11の一方の表面上に、陽極(第1電極)12と、発光層を含む有機層13と、陰極(第2電極)14と、低屈折率層15と金属層16とを順に(図中の下方に向かって)具備する。前記陰極14は、透光性導電材料からなる透明導電層である。前記低屈折率層15の屈折率は前記有機層13の屈折率よりも低い。前記陽極12の前記有機層13と反対の面に高屈折率層17を具備する。前記高屈折率層17は、その高屈折率層17の前記陽極12とは反対側の面に隣接する物質(前記基板11)よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層15よりも屈折率が高い材料からなる。前記高屈折率層17は、前記陽極12と反対側に向かって凸である複数の凸部17aを備える。前記凸部17aは、前記陽極12に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺Lの長さが最小である面における断面形状が、前記陽極12に平行な底辺Lと二つの底角θ11及び底角θ12を備える五角形(多角形)である。前記二つの底角θ11及びθ12はいずれも鋭角であり、前記五角形は、底辺Lと二つの底角θ11及び底角θ12をそれぞれ挟んで接続する二つの斜辺を有している。そして、前記凸部17aは斜辺を面内に含む斜面を有する構成である。前記五角形は、底角θ11を挟む一方の斜辺の他端に接続し、底辺Lとなす角θ21が底角θ11より小さな他の辺を有する。同様に底角θ12を挟む他方の斜辺の他端に接続し、底辺Lとなす角θ22が底角θ12より小さなもう一つの他の辺を有する。従って、前記五角形は、底辺Lと二つの斜辺と二つの他の辺により作られる、頂部が頂点であり頂角がαである五角形である。
凸部17aの断面形状をなす前記五角形は、前記底辺Lと前記二つの斜辺以外に、他の辺を二つ有する多段形状の多角形の一例である。前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺Lとがなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に小さくなっている。
前記底辺Lと前記二つの斜辺以外に、他の辺を有する多段形状の多角形の例としては、例えばθ21及びθ22がいずれも0°であり、前記多角形の頂部が前記底辺Lと平行なひとつの他の辺からなる台形の場合や、前記五角形の頂部を前記底辺Lと平行な他の辺とする六角形の場合も含む。この六角形の場合、図示しないがより頂部に近い位置での底角θ31及びθ32がいずれも0°である。この六角形の場合、底辺Lから頂部の他の辺に向かって、一方の底角θ11よりθ21が小さく、θ21よりθ31が小さく、他方の底角θ12よりθ22が小さく、θ22よりθ32が小さい。
 図6では高屈折率層17は陽極12に接しているが、陽極12との間に他の層を挟んで配置する構成でもよい。本実施形態では基板11と陽極12の間に配置する構成である。
 高屈折率層17は、凸部17aと層状部17cの複数の層からなる構成である。
 低屈折率層15の屈折率はさらに、陰極14の屈折率よりも低いことが好ましい。
 陰極14の屈折率は、有機層13の屈折率よりも低いことが好ましい。
陰極側の構造について屈折率の比較を行う場合には、有機層の屈折率とは、有機EL材料からなる発光層を含む全ての層の平均の屈折率をいう。
 本実施形態の有機EL素子に共通する陰極側の配置は、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様の配置を用いることができる。低屈折率層15の屈折率が有機層13の屈折率より小さく、かつ陰極14よりも小さくするように配置することが最も好ましい。
基板11、陽極12、有機層13、陰極14、低屈折率層15および金属層16のそれぞれは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
高屈折率層17の材料、配置、厚さは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
凸部17aの断面形状の二つの斜辺と他の辺は、その頂部に向かって段階的になだらかに接続されることが好ましい。つまり、底辺Lと低角θ11、θ12を挟んでそれぞれ接続する斜辺より、断面形状の頂部に近い位置の他の辺と底辺Lとがなす角が、底辺Lのそれぞれの底辺から頂部に向かって順に小さくなることが好ましい。図6のように、多段の傾斜する辺を有するものでも良いし、最も頂部に近い角が0°の場合のように、台形形状でも良い。
これは、例えば図7(a)のように凸部7aの断面形状を三角形形状にした場合、第1の実施形態で説明したように、光(矢印A5)を素子面に対し垂直に近い方向に指向させる(矢印B1)。しかし、低角θ11、θ12を大きくすると、一度高屈折率層7から取出された光の一部が高屈折率層7に再入射してしまう(矢印A6)。また逆に再入射しないように低角θ11、θ12を小さくすると、光を素子面に対し垂直に近い方向に十分指向できなくなる。
一方、図7(b)のように、凸部17aの断面形状の斜辺と他の辺が、その頂部に向かって段階的になだらかに接続されることにより、低角θ11、θ12を大きくしても、素子面に対し垂直に近い方向に指向させた光(矢印A15)が再度高屈折率層17に再入射することを避けることができ(矢印B11)、より効率的に光を素子面に対し垂直に近い方向に指向できる。図7(b)では、2段の多段形状としているが、より段数の多い複数段の傾斜する辺を備える形状としてもよい。
次に、本発明の第1の実施形態の有機EL素子の屈折の作用効果を、図1を用いて模式的に説明する。また第2の実施形態においても基板11と高屈折率層17の屈折の界面が多段になっている点が、第1の実施形態の基板1と高屈折率層7と異なっている。その他の界面での屈折については、同様の作用効果をもたらす。ここで、図1に矢印で示した光の伝播の仕方は、屈折作用効果の原理をわかりやすく説明するために摸式的に示したものである。
有機層3に含まれる発光点のA点で発光した光のうち一部は、発光点周りのダイポール場を介して(矢印A1)、SPP(矢印A2)モードへ直接エネルギー移動する。このようなSPPモードへのエネルギー移動は、一般的な有機EL素子において、発光分子と金属層が近い場合に生じることが広く知られている。
励起されたSPPモード光は、エバネッセント波(矢印A3)との共鳴を介して、前述のように所定の角度で陰極4に放射され(矢印A4)、有機層3に取り出されうる。
ここで、有機層3のA点で発光した光は全方位に進むので、図1の矢印A1以外の方向に進む光も当然存在する。矢印A1は本発明の作用効果を説明するために、その一部の光の伝播を模式的に示しているに過ぎない。矢印A2~A4及び矢印B1で示した光についても一部の光の伝播を模式的に示しているに過ぎない。
 また屈折は屈折率が異なる界面で生じるが、本発明の効果を説明するために特に必要ではない界面には図中では屈折作用の図示を省略している。
また、陰極側構造(陰極4、低屈折率層5、金属層6)から有機層3のB点にまで取り出された光は、B1のように伝播して基板1まで取り出される。
すなわち、B点から有機層3等を通って進む光B1は、有機層3と陽極2との界面で屈折し、陽極2を通過する。陽極2を通過した光は、陽極2と高屈折率層7cとの界面で屈折して高屈折率層7内を進む。そして高屈折率層7の凸部7aの斜面で屈折した後、基板1内を通って外部に取り出されうる。
ここで、光B1が高屈折率層7から基板1へ進む際、高屈折率層7の凸部7aの斜面における屈折により、基板1への入射角が小さい角度に変わる。そのため基板の外表面での全反射をしない光が増えて、光線B1が基板モード光となるのを防ぐことができる。
特に、第2の実施形態に係る有機EL素子においては、凸部17aの斜面は、その頂点に向かって段階的になだらかになっている。これにより高屈折率層17の凸部17aへの再入射を避けることができ、より効率的に光を素子面に対し垂直に近い方向に指向することができる。
図8(a)、(b)に、凸部7a、17aを素子面の法線方向から見た平面図の例を示す。凸部7a、17aの平面形状としては特に制限はない。例えば、円形、楕円形、長円形、三角形、正方形、長方形、四角形、多角形、これらを複合した図形等のドット形状のほか、直線形状、屈曲形状、曲線形状、円環形状(ドーナツ型)等のライン形状、ドット形状とライン形状を組み合わせた平面形状などが挙げられる。
平面形状がドット形状の場合は、凸部の形状は陽極2、12と反対側に向かって凸である円錐、円錐台、多角錐、多角錐台または多段形状となる。平面形状がライン形状である場合は、凸部の形状は延伸方向に垂直な断面が、陽極2、12と反対側に向かって凸である三角形状、台形状、多段形状となる並進形状(ストライプ形状)となるが、延伸の途中で断面サイズ(幅・高さ)や形状が変化していてもよい。
図9(a)、(b)に、それぞれドット状凸部、ライン状凸部の平面配列の例を示す。凸部7a、17aの配置としては特に制限はない。平面形状がドット形状もしくは有限な長さ(素子の端部までラインが延伸しない)をもったライン形状である場合は面内方向に正方格子状、六方格子状、長方格子状など周期的に配列していても、非周期的に配列していてもよい。ライン形状の場合は、隣りあう凸部が互いに平行となるように延伸した配列、異なる径の円環状ラインが同心状に配置された配列、複数の波型や屈曲ラインが互いに重ならないように配列した場合がある。ライン形状では、複数のラインが交差していても、または1つのラインが分岐していてもよく、例えばラインが面内に格子網状にはりめぐらされていてもよい。
凸部7a、17aは、1次元的にライン状に形成されていれば、複数の凸部形状を機械加工等で形成する場合に欠陥を生じにくいため好ましい。一方、凸部7a、17aが2次元的に面内方向に正方格子状、六方格子状などに配列するドット形状として形成されていれば、面内の任意の方位に伝播する再放射光が同等に取り出せるのでより好ましい。
(有機EL素子(第3の実施形態))
図10(a)は、本発明の第3の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。
本発明の第3の一実施形態に係る有機EL素子30は、基板21の一方の表面上に、陽極(第1電極)22と、発光層を含む有機層23と、陰極(第2電極)24と、低屈折率層25と、金属層26とを順に(図中の下方に向かって)具備する。前記陰極24は、透光性導電材料からなる透明導電層である。前記低屈折率層25の屈折率は前記有機層23の屈折率よりも低い。前記低屈折率層25は、前記陽極22の前記有機層23と反対側の面に高屈折率層27を具備する。前記高屈折率層27は、高屈折率層27の前記陽極22とは反対側の面に隣接する物質(前記基板21)よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層25よりも屈折率が高い材料からなる。前記高屈折率層27は、前記陽極22側に向かって凹である複数の凹部27bを備える。前記凹部27bは、前記陽極22に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺Mの長さが最小である断面形状が、前記陽極22に平行な底辺Mと二つの底角φ11及び底角φ12を有し、頂部が頂点であり頂角がβである三角形(多角形)である。前記二つの底角φ11及びφ12はいずれも鋭角であり、前記三角形は、底辺Mと二つの底角φ11及び底角φ12をそれぞれ挟んで接続する二つの斜辺を有する。そして、前記凹部27bは前記斜辺を面内に含む斜面を有する構成である。
 図10(a)では高屈折率層27は陽極22に接しているが、陽極22との間に他の層を挟んで配置する構成でもよい。本実施形態は、高屈折率層27が基板21と陽極22との間に配置する構成である。
高屈折率層27は、凹部27bと層状部27cの複数の層からなる構成である。凹部27bの反転形状からなる部分が凸部27aである。
 低屈折率層25の屈折率はさらに、陰極24の屈折率よりも低いことが好ましい。
 陰極24の屈折率は、有機層23の屈折率よりも低いことが好ましい。
本実施形態の有機EL素子に共通する陰極側の配置は、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様の配置を用いることができる。低屈折率層25の屈折率が有機層23の屈折率より小さく、かつ陰極24よりも小さくするようにする配置が最も好ましい。陰極側の構造について屈折率の比較を行う場合には、有機層の屈折率とは、有機EL材料からなる発光層を含む全ての層の平均の屈折率をいう。
基板21、陽極22、有機層23、陰極24、低屈折率層25および金属層26のそれぞれは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
高屈折率層27の材料、配置、厚さは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
また隣接する凹部27bは互いに接触していないことが好ましい。凹部27bは互いに接触している場合、その接触点を通る平面で切断した高屈折率層の断面が三角形状になる。一方で、接触していない場合は、高屈折率層の切断面が台形形状となる。すなわち、接触していない場合は、高屈折率層の切断面の形状が台形形状となるため、前述したように取り出した光が隣接する凸部への再入射を抑えることができるため好ましい。
(有機EL素子(第4の実施形態))
図10(b)は、本発明の第4の実施形態に係る有機EL素子の一例を説明するための断面模式図である。
本発明の第4の一実施形態に係る有機EL素子40は、基板31の一方の表面上に、陽極(第1電極)32と、発光層を含む有機層33と、陰極(第2電極)34と、低屈折率層35と、金属層36とを順に(図中の下方に向かって)具備する。前記陰極34は、透光性導電材料からなる透明導電層である。前記低屈折率層35の屈折率は前記有機層33の屈折率よりも低い。前記陽極32の前記有機層33と反対の面に高屈折率層37を具備する。前記高屈折率層37は、その高屈折率層37の前記陽極32とは反対側の面に隣接する物質(前記基板31)よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層35よりも屈折率が高い材料からなる。前記高屈折率層37は、層状部37cと、前記陽極32側に向かって凹である複数の凹部37bを備える。前記凹部37bは、前記陽極32に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺Mの長さが最小である断面形状が、前記陽極32に平行な底辺Mとこれを挟む二つの内角φ11及びφ12を備える凹多角形である。前記二つの底角φ11及びφ12はいずれも鋭角であり、前記凹多角形は、底辺Mと二つの底角φ11及び底角φ12をそれぞれ挟んで接続する二つの斜辺を有する。そして、前記凹部37bは斜辺を面内に含む斜面を有する構成である。前記凹多角形は底角φ11を挟む一方の斜辺の他端に接続する他の辺と、底角φ12を挟む他方の斜辺の他端に接続するもう一つの他の辺からなり、頂部が頂点であり頂角がβである多角形である。この際に底辺Mと他の辺がなす角φ21は鋭角であり、底角φ11より大きく、底辺Mともう一つの他の辺がなす角φ22は鋭角であり、底角φ12より大きい。凹部37bの反転形状からなる部分が凸部37aである。
図10(b)では高屈折率層37は陽極32に接しているが、陽極32との間に他の層を挟んで配置する構成でもよい。本実施形態では基板31と陽極32の間に配置する構成である。
 高屈折率層37は、凹部37bと層状部37cの複数の層からなる構成である。
 低屈折率層35の屈折率はさらに、陰極34の屈折率よりも低いことが好ましい。
 陰極34の屈折率は、有機層33の屈折率よりも低いことが好ましい。
陰極側の構造について屈折率の比較を行う場合には、有機層の屈折率とは、有機EL材料からなる発光層を含む全ての層の平均の屈折率をいう。
図10(b)は、前記底辺Mと前記二つの斜辺以外に、他の辺を二つ有する多段形状の多角形の一例であり、凹部37bの断面形状が凹五角形である場合である。前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺Mとがなす角が、前記多段形状の多角形の底辺Mから頂部に向かうに従って順に大きくなっている。
 本発明の凹多角形は図10(b)の凹五角形に限定されるものではない。例えば他の辺が多段に折れ曲がっていてもよい。ただし、他の辺は陽極32に近づくに従い、垂直に近い方向に折れ曲がっている。また頂角βが180°、すなわち凹部の頂点が陽極32と平行な平坦面を有する凹多角形でもよい。
また凹部が断面視で台形となる場合、隣接する凹部37bは互いに接触していないことが好ましい。凹部37bは互いに接触している場合、その接触点を通る平面で切断した凹部37aの断面が三角形状になる。一方で、接触していない場合は、高屈折率層の切断面が台形形状となる。すなわち、接触していない場合は、高屈折率層の切断面の形状が台形形状となるため、前述したように取り出した光が隣接する凸部への再入射を抑えることができるため好ましい。
陽極32と二つの斜辺及び他の辺の陽極側端部がなす角θは、陽極32から離れるに従い、小さくなることが好ましい。他の辺が折れ曲がっている場合は、折れ曲がるごとに他の辺の陽極側端部と陽極32がなす角を意味する。
また凹部断面の幅(素子面内方向の大きさ)及び高さ(素子面内方向に垂直な方向の大きさ)は実効波長以上であることが好ましい。凹部断面の幅及び高さが実効波長以上であれば、高屈折率層37から凹部断面領域へ入射する光を、凹部37aの斜面において屈折させ、より効率的に光を取り出すことができる。
本実施形態の有機EL素子に共通する陰極側の配置は、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様の配置を用いることができる。低屈折率層35の屈折率が有機層33の屈折率より小さく、かつ陰極34よりも小さくするようにする配置が最も好ましい。
基板31、陽極32、有機層33、陰極34、低屈折率層35および金属層36のそれぞれは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
高屈折率層37の材料、配置、厚さは、第1の実施形態に係る有機EL素子10と同様のものを用いることができる。
凹部27b、37bの平面形状、配置としては特に制限はないが、第1の実施形態の凸部7a(または第2の実施形態の凸部17a)の平面形状、配置と同様のものを用いることができる。
(画像表示装置)
次に、上記の有機EL素子を備えた画像表示装置100について説明を行う。上記の有機EL素子10、20、30、40を備えた画像表示装置は有機EL素子による違いはないため、有機EL素子10の場合で代表して以下の説明を行う。有機EL素子はボトムエミッション構造でもトップエミッション構造でも良いが、以下ではボトムエミッション構造の例で説明を行う。
図11は、上記の有機EL素子を備えた画像表示装置の一例を説明した図である。
図11に示した画像表示装置100は、いわゆるパッシブマトリクス型の画像表示装置であり、有機EL素子10の他に、陽極配線104、陽極補助配線106、陰極配線108、絶縁膜110、陰極隔壁112、封止プレート116、シール材118とを備えている。
本実施の形態において、有機EL素子10の基板1上には、複数の陽極配線104が形成されている。陽極配線104は、一定の間隔を隔てて平行に配置される。陽極配線104は、透明導電膜により構成され、例えばITOを用いることができる。また陽極配線104の厚さは例えば、100nm~150nmとすることができる。そして、それぞれの陽極配線104の端部の上には、陽極補助配線106が形成される。陽極補助配線106は陽極配線104と電気的に接続されている。このように構成することにより、陽極補助配線106は、基板1の端部側において外部配線と接続するための端子として機能し、外部に設けられた図示しない駆動回路から陽極補助配線106を介して陽極配線104に電流を供給することができる。陽極補助配線106は、例えば、厚さ500nm~600nmの金属膜によって構成される。
また、有機EL素子10上には、複数の陰極配線108が設けられている。複数の陰極配線108は、それぞれが平行となるよう、かつ、陽極配線104と直交するように配設されている。陰極配線108には、Al又はAl合金を使用することができる。陰極配線108の厚さは、例えば、100nm~150nmである。また、陰極配線108の端部には、陽極配線104に対する陽極補助配線106と同様に、図示しない陰極補助配線が設けられる。陰極補助配線は陰極配線108と電気的に接続されている。よって、陰極配線108と陰極補助配線との間に電流を流すことができる。
更に基板1上には、陽極配線104を覆うように絶縁膜110が形成される。絶縁膜110には、陽極配線104の一部を露出するように矩形状の開口部120が設けられている。複数の開口部120は、陽極配線104の上にマトリクス状に配置されている。この開口部120において、陽極配線104と陰極配線108の間に有機EL素子10が設けられる。すなわち、それぞれの開口部120が画素となる。従って、開口部120に対応して表示領域が形成される。ここで、絶縁膜110の膜厚は、例えば、200nm~1000nmとすることができる。開口部120の大きさは、例えば、100μm×100μmとすることができる。
有機EL素子10は、開口部120において陽極配線104と陰極配線108の間に位置している。そしてこの場合、有機EL素子10の陽極2が陽極配線104と接触し、陰極4が陰極配線108と接触する。有機EL素子10の厚さは、例えば、150nm~200nmとすることができる。
絶縁膜110の上には、複数の陰極隔壁112が陽極配線104と垂直な方向に沿って形成されている。陰極隔壁112は、陰極配線108の配線同士が導通しないように、複数の陰極配線108を空間的に分離するための役割を担っている。従って、隣接する陰極隔壁112の間にそれぞれ陰極配線108が配置される。陰極隔壁112の大きさとしては、例えば、高さが2μm~3μm、幅が10μmのものを用いることができる。
また、基板1は、封止プレート116とシール材118を介して貼り合わせられている。これにより、有機EL素子10が設けられた空間を封止することができ、有機EL素子10が大気中の水分により劣化するのを防ぐことができる。封止プレート116としては、例えば、厚さが0.7mm~1.1mmのガラス基板を使用することができる。封止プレート116は、素子がボトムエミッション型のように光を基板1側から取り出す場合は、透明でなくてもよい。一方、素子がトップエミッション型のように光を封止プレート116側から取り出す場合は、封止プレート116は発光波長域の少なくとも一部の波長に対して透明である必要がある。
このような構造の画像表示装置100において、図示しない駆動装置により、陽極補助配線106、図示しない陰極補助配線を介して、有機EL素子10に電流を供給し、発光層を発光させることができる。そして基板1から基板1を通し、光を出射させることができる。そして、上述の画素に対応した有機EL素子10の発光、非発光を制御装置により制御することにより、画像表示装置100に画像を表示させることができる。
(照明装置)
次に、上記の有機EL素子を用いた照明装置について説明を行う。上記の有機EL素子10、20、30、40を備えた照明装置は有機EL素子による違いはないため、有機EL素子10の場合で代表して以下の説明を行う。また、有機EL素子はボトムエミッション構造でもトップエミッション構造でも良い。以下ではボトムエミッション構造の例で説明を行う。
 図12は、上記の有機EL素子10を備える照明装置の一例を説明した図である。
 図12に示した照明装置200は、上述した有機EL素子10と、有機EL素子10の基板1上に設置され陽極2(図1参照)に接続される端子202と、陰極4(図1参照)に接続される端子203と、端子202と端子203とに接続し有機EL素子10を駆動するための点灯回路201とから構成される。
点灯回路201は、図示しない直流電源と図示しない制御回路を内部に有し、端子202と端子203を通して、有機EL素子10の陽極層2と陰極4との間に電圧を印加して電流を供給する。そして、有機EL素子10を駆動し、発光層を発光させて、基板1を通して光を出射させ、照明光として利用する。発光層は白色光を出射する発光材料より構成されていてもよく、また緑色光(G)、青色光(B)、赤色光(R)を出射する発光材料を使用した有機EL素子10をそれぞれ複数個設け、その合成光が白色となるようにしてもよい。
(有機EL素子の第1の製造方法)
本発明の有機EL素子の第1の製造方法について図13を用いて説明する。図13は本発明の有機EL素子の第1の製造方法を示した断面模式図である。
まず、図13(a)で示すように、版48に凸部7aまたは17aに対応した凸部を形成する。凸部の加工は、切削や研磨等の機械加工、レーザー加工等を用いることができる。図13(a)で示すような、多段の形状を形成する場合は、版48にV字溝のテーパー角および幅を変更しながら複数回加工することで形成することができる。
版は、例えばステンレス、チタン、ニッケル等の金属や樹脂等の非金属を用いることができる。
次に図13(b)に示すように、基板41上にスピンオン誘電体の前駆体Sまたは硬化性樹脂の前駆体Uを塗布する。スピンオン誘電体とは、前駆体Sの塗布段階では粘性を有する液体状であり、塗布後に転化させることにより、絶縁性を有する固体形態の誘電体になるものをいい、公知のものを用いることができる。例えばスピンオン誘電体としては、転化後に酸化ケイ素を形成するスピンオングラスが挙げられる。硬化性樹脂は、前駆体Uの塗布後に硬化すればよく、各種の熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等を用いることができる。
前駆体SまたはUの塗布方法は、一般に平坦膜を塗布するスピンコート、バーコート、スリットコート、ダイコート、スプレーコート等の各種のウェットプロセスを用いることができる。
次に基板41の塗布面に版48を圧着しながら、前駆体SまたはUを固化させ、ナノインプリンティングを行う。固化後の誘電体41s(転化後のスピンオン誘電体または硬化後の樹脂(誘電体))の屈折率が基板41の屈折率以下であることが好ましい。固化後の誘電体41sの屈折率が基板41の屈折率以下であれば、有機EL素子50において、有機層43で発光した光が、固化後の誘電体41sと基板41の間での全反射することを抑えることができる。
固化後に、図13(c)で示すように、版48を固化後の誘電体41sから剥離する。
基板41と版48を圧着する前に、基板41の塗布面または版48表面に離型剤を塗布することが好ましい。離型剤は、フッ素系離型剤、シリコン系離型剤等を用いることができる。離型剤を塗布することにより、版48を固化後の誘電体41sから剥離する際の離型性を向上させることができる。離型剤の塗布は、一般に用いられるスピンコート、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。
さらに図13(d)で示すように、版48により固化後の誘電体41sにインプリントされた構造体の凹部に、前記凹部の反転形状からなる凸部47aと層状部47cからなる高屈折率層47を形成する。高屈折率層47の形成には従来公知の方法を用いることができ特に限定されない。例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の方法を用いることができる。後に形成する陽極42との界面を平坦化・平滑化するために、形成後の高屈折率層47表面をエッチバックや研磨加工してもよい。
最後に図13(e)で示すように、高屈折率層47の上に、陽極42、有機層43、陰極44、低屈折率層45、金属層46を図中の下方に向かって順に積層する。これらの積層方法は、一般に用いられている方法を用いることができる。例えば抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法などが挙げられる。
同様の方法で、版48に図7(a)の凹部27b、または図7(b)の凹部37bに対応した複数の凹部を形成することにより、前記凸部47aの反転形状からなる凹部を備える高屈折率層47を形成することもできる。
それぞれ有機EL素子30、40の高屈折率27、37のような複数の凹部を基板との界面に備える高屈折率層47に形成することもできる。
またトップエミッションの場合は、金属層、低屈折率層、陰極、有機層、陽極を図中の上方に向かって順に形成した後に、高屈折率の硬化性樹脂を塗布する。塗布した硬化性樹脂に対して、目的の形状に加工した版を用いてインプリントを行うことで凸部を備える高屈折率層を形成し、有機EL素子を作製することができる。
(有機EL素子の第2の製造方法)
本発明の有機EL素子の第2の製造方法について図14を用いて説明する。図14は本発明の有機EL素子の第2の製造方法を示した断面模式図である。
まず、図14(a)で示すように、基板51の一方の表面上に、高耐性層51A、低耐性層51Bを図中の下方に向かって順に積層する。高耐性層51Aは後述のエッチングに対して、低耐性層51Bよりエッチング耐性が高い層である。図14(a)では、基板51上に二つの層を形成しているが、層数に制限はない。より多くの層を形成する場合は、基板51に近い層ほど、後述のエッチングの耐性を高くする必要がある。また各層の屈折率は、隣接する層であって基板側に存在する層の屈折率以下であることが好ましい。屈折率が、この条件を満たすことにより各層での全反射の発生を抑制することができ、光の取り出し効率を向上することができる。
次に図14(b)に示すように、まず低耐性層51Bの一方の表面上にポジ型レジスト液を塗布し、スピンコート等により余分なレジスト液を除去することで、レジスト層Rを形成する。そして、所定のパターンが描画されたマスク(図示せず)をかぶせ、紫外線(UV)、電子線(EB)等により露光、現像を行うと、レジスト層Rの一部が除去される。
図14(c)に示すように、残存したレジスト層Rをマスクとして、エッチングを行うことにより孔部Hを形成する。エッチングとしては、ドライエッチングとウェットエッチングの何れをも使用することができる。ドライエッチングとしては、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)を始めとする各種の手法を用いることができる。ウェットエッチングとしては、王水、希塩酸、希硫酸、フッ酸、シュウ酸を始めとする酸、塩化鉄を始めとする金属塩への浸漬を行う方法などが利用できる。
この時、高耐性層51Aと低耐性層51Bでは、エッチングの速度が異なる。このエッチングの耐性の違いにより、孔部Hには複数の傾きの異なる斜面が形成される。
図14(d)に示すように、形成された孔部Hの中及び必要に応じて低耐性層51Bの一方の表面上に、孔部Hの反転形状からなる凸部を備える高屈折率層57を形成する。高屈折率層57の形成には従来公知の方法を用いることができ特に限定されない。例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法等の方法を用いることができる。また、後に形成する陽極52との界面を平坦化・平滑化するために、形成後の高屈折率層57表面をエッチバックや研磨加工してもよい。
次に図14(e)で示すように、高屈折率層57の一方の表面上に、陽極52、有機層53、陰極54、低屈折率層55、金属層56を図中の下方に向かって順に積層し、有機EL素子60を作製することができる。これらの積層方法は、一般に用いられている方法を用いることができる。例えば抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法などが挙げられる。
同様の方法で、孔部Hを網状に形成し高耐性層51Aと低耐性層51Bのエッチング残部の形状を制御することにより、エッチング残部の形状からなる凹部を備える高屈折率層57を形成することもできる。
(有機EL素子の第3の製造方法)
本発明の有機EL素子の第3の製造方法について説明する。
第3の製造方法は、高屈折率からなる平坦なシート材料の一方の表面上を直接加工する。加工した表面と基板とを接着することで高屈折率層の凹凸形状を作製する。形状の作製方法は、切削や研磨等の機械加工のほか、レーザーを用いた加工等を用いることができる。
この高屈折シートの加工された表面を、基板に硬化性樹脂を用いて圧着し、高屈折率層とする。この時に、硬化性樹脂は、硬化後に基板以下の屈折率を有することが好ましい。硬化性樹脂が基板以下の屈折率を有することにより、基板と硬化性樹脂界面での全反射を抑制することができる。
その後、高屈折率層の上に、陽極、有機層、陰極、低屈折率層、金属層を順に積層することにより、有機EL素子を作製することができる。
またトップエミッションの場合は、金属層、低屈折率層、陰極、有機層、陽極を形成した後に、陽極と上記と同様に凹凸加工を施した高屈折率シート材料とを貼りあわせることによって作製することができる。
(Otto型配置におけるSPP取り出し)
本発明における有機EL素子Otto型配置による金属層表面に捕捉されたSPPを取り出すことが可能な低屈折率層の膜厚を検討する。
図15に、標準構造の有機EL素子70について、有機層で発光した光の強度を、有機EL素子面方向における波数成分で展開するエネルギー散逸計算を行った結果を示す。横軸が、有機層で発光した光の波数の有機EL素子面内方向成分を真空中の波数kで割ったもの、すなわち有効屈折率である。縦軸がその波数の光の強度、すなわち展開係数を示している。計算は、TM偏光成分、TE偏光成分に分けて行った。この計算は基板61(ガラス)上に、各層が平坦な陽極62と有機層63と陰極64(金属)とを積層した標準構造の有機EL素子の結果を示している。この場合、TM・TE偏光成分の全積分面積に対する、TM偏光の最も高波数側のピーク面積がSPPモード光の強度割合を表しているが、有機層63で発光した光の多くがSPPモード光として捕捉されているのが分かる。図15に示す有機EL素子では、陽極62と有機層63の膜厚は、それぞれ150nm、100nmである。
一方で、Otto型配置を有する有機EL素子80(図17参照)における、エネルギー散逸計算による有機層で発光した光(TM偏光成分)の強度の、低屈折率層75の膜厚による依存性を示した図を図16に示す。Otto型配置を有する有機EL素子の一例である有機EL素子80の基板71、陽極72、有機層73は、図15の素子70と同じ構成である。有機層73上に透明導電材料であるITOからなる陰極74(50nm)が形成され、さらにその上に低屈折率層75、金属層76が順に形成された構成から成る。
低屈折率層75の屈折率を1.38とし、図16(a)は金属層76をAlとし、図16(b)は金属層76をAgとした場合で、凡例のグラフ線の数字は低屈折率層75の膜厚(nm)を示す。
図16(a)、(b)共に、低屈折率層75の膜厚が厚くなるに従って、ピーク波数が小さくなり、かつピーク幅が狭くなるようにシフトしていることが分かる。また膜厚が厚くなるに従って、ピーク波数のシフトはわずかになり、ピーク幅も一定に近づいていることが確認できる。ピーク波数が小さくなることは、金属層76に接した低屈折率層75の膜厚が大きくなり、SPPの波数がこの低屈折率層75の屈折率の影響で小さくなることを示している。ピーク幅が狭くなることは、SPPとして捕捉されていた光が有機層中に取り出され、光が面内導波する際の減衰が小さくなっていることを示している。これについて、次に説明する。
図17(a)、(b)、(c)を用いてピークの変化について、以下に説明する。
図17(a)は、SPPモード光として光が完全に金属層76の表面に捕捉されている。これは、低屈折率層75の膜厚が0nmの時を表しており、有機層73~金属層76側の積層構造がOtto型配置をなさず、SPPモード光は金属層76と陰極74の界面を面内方向に伝播しながら急速に減衰するため、ピーク幅が大きくなっている。
次に、低屈折率層75の膜厚が厚くなるにつれて、図17(b)のようになり、Otto型配置によってSPPモード光と導波モード光が混在した状態となる。これは、取り出されたSPPモード光が導波モード光となり、界面反射により再度金属層76にSPPモード光として再補足されることを意味している。この場合、光は図17(a)のSPPモード光に比べ減衰しにくいため、ピーク幅は次第に狭くなる。
最後に、低屈折率層75の膜厚が十分厚くなると、図17(c)のようになる。この場合、Otto型配置をしているが、発光点におけるエバネッセント波が金属層76に届かなくなり、SPPモード光として捕捉されない。この場合、発光した光は導波モード光として、捕捉されることとなる。つまり、低屈折率層75の膜厚がある厚みを超えると、捕捉された光は導波モード光のみとなるため、減衰のしやすさは変わらなくなり、ピーク幅にも変化が生じなくなる。
図18は、低屈折率層75の膜厚に対する、ピーク幅(半値幅)の変化を示した図である。金属層76がAlの場合に、低屈折率層75の膜厚が200nm以上でピーク幅の変化が小さくなり、発光した光がSPPに捕捉されにくくなくなっていることが分かる。金属層76がAgの場合に、低屈折率層75の膜厚が150nm以上でピーク幅の変化が小さくなり、SPPモード光として捕捉されにくいことが分かる。
つまりSPPモード光として捕捉される低屈折率層75の膜厚は少なくとも300nm以下であり、200nm以下で捕捉の効果が顕著になることが分かる。本検討は低屈折率層55の屈折率がn=1.38の場合を計算しているが、屈折率は1.38に限定されるものではなく、金属層76もAgとAlに限定されるものではない。
また、Otto型配置において、金属層76の表面に捕捉された表面プラズモンポラリトン(SPP)は、陰極74と低屈折率層75の界面で全反射した光によって発生するエバネッセント波によって取り出すことができる。すなわち、このエバネッセント波の波数が、金属層76の表面に生成されるSPPの波数k’spと交点を持つ必要がある。
金属層76の比誘電率の実部をε1、低屈折率層75の比誘電率をε2 、前記発光層で発光する光のピーク波長における真空中の光の波数(角周波数/真空中の光速)をk0とすると、金属層46の表面に生成されるSPPの波数k’spの実部は、前記の式(5)のkspと同じ表式となる。
 一方で、反射層76の表面に生成される表面プラズモンポラリトン(SPP)の、低屈折率層75の中における波数の垂直成分は以下の式(17)で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000021
 金属層76表面に生成されるSPPの電磁場の大きさ(強度)を、金属層76の表面での値を1として規格化する。金属層76に垂直な方向に指数関数的に減衰しながら滲み出し、低屈折率層75/陰極74の界面に到達したSPPの強度は、低屈折率層75の膜厚をhとおくと、各界面での反射が無視できる場合、近似的に
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000022
となる。
但し、κsp=k’sp/kとする。つまり、式(18)が十分大きければ、金属層76の表面に生成されるSPPの電磁場が陰極や有機層に滲み出し、陰極74と低屈折率層75の界面での全反射により生じたエバネッセント波とカップリングして、取り出すことができる。
 図19(a)は金属層76をAl、(b)は金属層76をAgとした場合の式(18)をグラフ化した図である。
この結果を、図16(a)、(b)と比較すると、式(18)において、金属層76の表面に生成されるSPPの、低屈折率層75/陰極74の界面での強度は、金属層76の表面での強度を1として規格化すると、低屈折率層75の厚み方向に伝搬した位置でのSPPの強度が0.4以下となる低屈折率層75の厚みで、ピーク幅が一定値に飽和していることが分かる。すなわち、式(18)が0.4以下となるときには、低屈折率層75と陰極74の界面にまで滲み出すSPPの強度が小さくなり、Otto型配置による光取り出し効果は少なくなると言える。逆に言えば、低屈折率層75の膜厚は、式(18)が0.4以上となれば、Otto型配置による光取り出し効果を十分に得ることができることが分かる。本検討は低屈折率層75の屈折率がn=1.38の場合を計算しているが、屈折率は1.38に限定されるものではなく、金属層76もAgとAlに限定されるものではない。式(18)で表わされる、低屈折率層75と陰極74の界面でのSPPの強度が一定値(例えば0.4)より大きいという条件を満たせば、Otto配置によってSPPモード光を有機層73中に取り出すことができる。この条件を満たす限り、低屈折率層75の屈折率や金属層76の材料は限定されるものではない。
本発明の有機EL素子の実施例について以下に説明する。
本発明においては、各実施形態の有機EL素子の光取り出し効率への効果の確認をシミュレーションにより行った。最初に、シミュレーションに用いた有限差分時間領域法(FDTDmethod:Finite Difference Time Domain  Method)について説明する。FDTD法は、電磁界の時間変化を記述するMaxwellの方程式を空間的・時間的に差分化し、空間の各点における電磁界の時間変化を追跡する解析手法である。FDTD法により有機EL素子の光取出し効率を計算するには、発光層における発光を微小ダイポールからの放射と捉えて、その放射の強度を計数する。より具体的には、ダイポールの全放射強度に対する基板まで取り出された光の割合を光取り出し効率として、その振動数依存性を計算する。以降ではこの光取り出し効率を計算した結果をグラフで示す。横軸のλはダイポールの振動数を真空中の波長で表示したもの、縦軸のηは光取り出し効率である。以降の図においても同じである。
計算は、現実に近い発光現象をシミュレートするために、発光源であるダイポールをランダム(ダイポールのモーメントが全ての方向にランダム)として行った。
 図20は、シミュレーションで用いた第1の実施形態の一例である有機EL素子10のモデル構造を示す断面図である。
 基板1はガラスからなるとして、屈折率としては1.52を用いた。陽極2および陰極4はITOからなるとして、屈折率としては550nmで1.82+0.09iを用い、その他の波長はローレンツモデルで外挿した。また、有機層3の屈折率としては1.72を用いた。また低屈折率層5は、SOGからなるとして屈折率としては屈折率1.25を用いた。また、金属層6はアルミニウム(Al)からなるとして、屈折率としては550nmで0.649+4.32iを用い、その他の波長はドルーデモデルで外挿した。
 また、陽極2、有機層3、陰極4、低屈折率層5、金属層6、高屈折率層の層状部7cの層厚はそれぞれ、150nm、210nm、50nm、100nm、100nm、150nmとした。
 発光点の位置は、有機層3内で陰極4から132.5nm離れた点(図20中の星印)とした。
 また、凸部7aは、紙面奥行き方向には並進対称(ストライプ状)な構造としている。すなわち、平面視で、凸部7aは面内の一方向を無限に伸びるライン状の形状をしている。
 図21(a)、(b)は、図20に示す有機EL素子10のモデル構造の断面と、その変形例を示す断面図である。
(実施例1)
 図22は、底角θを変更した場合の、有機EL素子10の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す。図21(a)に、底角θを変更した有機EL素子の断面模式図を示した。図21(a)の全ての有機EL素子において、凸部7aの高さは1200nmであり、隣り合う凸部7a同士は互いに接触させている(すなわち、隣接凸部7aの間に平坦面が無い)。θが70°、60°、50°の場合と共に、比較の為にOtto型配置の第2電極側構造を有さず、且つ高屈折率層7も有しない構造(以下、「標準構造」という)と、凸部7aのみを有しないOtto型配置のみの構造(以下、「ベタ構造」という)の計算を行った。また、高屈折率層7は、非晶質のジルコニアからなるとしてその屈折率としては1.90を用いた。横軸λは真空中の波長、縦軸ηは光取り出し効率(全発光強度に対する基板まで取り出された光強度の相対値)を示している(以下のシミュレーション結果についても同様)。
 図22から全ての角度において、標準構造やベタ構造と比較して、光取り出し効率が向上していることが分かる。底角の角度が小さくなるにつれて、光の取り出し効率が向上していることが分かる。これは、底角が大きいと、凸部7aの斜面が基板に垂直に近くなっていくため、一度高屈折率層の凸部7aから基板中に取出された光の一部が、隣接する凸部7aに再入射してしまうためと考えられる。
(実施例2)
 図23は、高屈折率層7の屈折率を変更した場合の、有機EL素子10の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す。高屈折率層7の屈折率が、1.72、1.90、2.20、2.50のそれぞれの場合の計算を行った。底角θは60°とした。また、実施例1と同様に、標準構造及びベタ構造も比較として計算した。実施例1と同様、どの屈折率の場合も、凸部7aの高さは1200nmであり、隣り合う凸部7a同士は互いに接触させている。
 図23から全ての屈折率において、標準構造やベタ構造と比較して、光取り出し効率が向上していることが分かる。また、屈折率が2.20の時に光取り出し効率が最大となっていることが分かる。これは、高屈折率層の屈折率が高くなるほど高屈折率層中の伝播角γが小さくなる(正面寄りとなる)が、高くなりすぎると高屈折率層/基板で光が全反射やフレネル反射を起こしやすくなり、光が高屈折率層中に閉じ込められやすくなるためである。
(実施例3)
 図24は、隣接する凸部間の中心間隔(ピッチ)を変更した場合の、有機EL素子10の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピューターシュミレーションで求めた結果を示す。図21(b)に、ピッチを変更した有機EL素子の断面模式図を示す。隣り合う凸部同士が接触する(すなわち、隣接凸部の間に平坦面が無い)場合のピッチを基本とし、そのピッチの、1.5倍、2.0倍のそれぞれの場合の計算を行った。図21(b)に示すように、凸部7aの形状は全て同じとしており、ピッチが1.5倍および2.0倍の場合は、隣り合う凸部7aの間は、高屈折率層の層状部7cのみが存在し、平坦な面となっているとした。この際の高屈折率層7は屈折率が1.90であり、凸部7aの底角θは60°、高さは1200nmとした。また、実施例1と同様に、標準構造及びベタ構造も比較として計算した。
 図24から全てのピッチにおいて、標準構造やベタ構造と比較して、光取り出し効率が向上していることが分かる。ピッチが1.5倍の時に光取り出し効率が最大となっていることが分かる。これは、隣り合う凸部が近すぎると、凸部から取り出された光の一部が、隣接する凸部に再入射してしまう。隣り合う凸部が離れすぎると、高屈折層/基板界面にフラットな領域が多くなり、この界面を全反射して閉じ込められる光が増えるためと考えられる。
(実施例4)
図25は、図20に示す有機EL素子10のモデル構造と、他の変形例を示す断面図である。凸部7aは、紙面奥行き方向には並進対称(ストライプ状)な構造としている。すなわち、平面視で、凸部7aは面内の一方向を無限に伸びるライン状の形状をしている。凸部7aの断面形状は二等辺三角形であり、隣り合う二つの二等辺三角形と、隣り合う二等辺三角形の頂点同志を通る直線とに囲まれた領域に内接する円の直径dが800nmである。直径dが一定で底角θが異なる場合について光取り出し効率をシミュレーションにより計算した結果を図26に示す。隣り合う凸部7a同士は互いに接触させている。
内接する円の直径dが発光光の実効波長(λ/n)以上とすることで、凸部7aの斜面において光を屈折させ、より効率的に光を取り出すことができる。実施例4では底角θによる影響を明確にするため、効率的に光を取り出すことができる発光光の実効波長より十分大きな値として、内接する円の直径dを800nmとした。
図26から、底角θが75°~20°(頂角αが30°~140°)の全ての角度において、標準構造やベタ構造と比較して、光取り出し効率が向上していることが分かる。底角θが75°~65°の場合に比べ、底角θが55°~20°(頂角αが70°~140°)の場合に光取り出し効率の向上が顕著である。また実施例1の傾向と同様に、50°までの範囲で角度が小さくなるにつれて、光の取り出し効率が向上していることが分かる。これは、底角が大きいと、凸部7aの斜面が基板に垂直に近くなっていくため、一度高屈折率層の凸部7aから取出された光の一部が、隣接する凸部7aに再入射してしまうためと考えられる。底角θの範囲としては、20°~75°が好ましく、20°~55°が更に好ましい。また、頂角αの範囲としては、30°~140°が好ましく、70°~140°が更に好ましい。
 次に、第2の実施形態の有機EL素子20における形状を変えて、光取り出し効率をシミュレーションにより計算した。
計算は、現実に近い発光現象をシミュレートするために、発光源であるダイポールについて、そのモーメント方向をランダムとして行った。以下に示す光取り出し効率の計算結果のグラフ図は全てこのランダムなダイポールに対する計算結果である。
図27は、シミュレーションで用いた実施形態の有機EL素子のモデル構造を断面視した模式図である。図27(a)および(b)は、図6における凸部17aがθ21=θ22=0°の場合の図であり、凸部17aの断面形状が台形形状を形成している場合の図である。図27(a)と図27(b)は台形の高さが異なっている。図27(a)の凸部17aの高さは、400nmであるとした。図27(b)の凸部17aの高さは、800nmとした。また図27(c)および(d)は、図6における凸部17aがθ21=θ22=30°の場合の図であり、凸部17aの断面形状が2段の凸形状を有している。図27(c)と図27(d)は、凸部17aの高さが異なっている。図27(c)の凸部17aの高さは、667nmであるとし、斜辺の角度が変化する一段目までの高さを400nmとした。図27(d)の凸部17aの高さは、1000nmであるとし、斜辺の角度が変化する一段目までの高さを933nmとした。なお、図27の(a)~(d)は、全て図2におけるθ11=θ12=60°とし、隣り合う凸部7a間の中心間隔は、1380nmであるとした。
図27に図示しないが、θ11=θ12=60°で底辺の長さが1380nmの正三角形のモデル構造も比較の為、シミュレーションで計算した。
 計算に用いた屈折率の値は以下のとおりである。基板11はガラスからなるとして、屈折率としては1.52を用いた。凸部17aおよび層状部17cは、非晶質のジルコニアからなるとしてその屈折率としては1.90を用いた。陽極(第1電極)12および陰極(第2電極)14はITOからなるとして、屈折率としては550nmで1.82+0.009iとし、その他の波長はローレンツモデルで外挿した。また、有機層13の平均の屈折率としては1.72を用いた。低屈折率層15は、SOGからなるとして屈折率としては屈折率1.25を用いた。金属層16はアルミニウム(Al)からなるとして、屈折率としては550nmで0.649+4.32iを用い、その他の波長はドルーデモデルで外挿した。
層状部17c、陽極12、有機層13、陰極14、低屈折率層15、金属層16の層厚はそれぞれ、150nm、150nm、210nm、50nm、100nm、100nmとした。
発光点の位置は、有機層3内で陰極4から132.5nm離れた点とした。
(実施例5)
 図28(a)は、シミュレーションで用いた実施例5に係る有機EL素子の基板11側からみた平面図である。また、一つ一つの凸部17aが平面図中のどの部分に対応するかの理解の助けとなるように、凸部17aの断面視形状を図示した。図28(a)に示すように、凸部17aの底面が一辺1380nmの正方形であり、凸部17aが正方格子状に敷き詰められているとした。また図28(a)のように平面視した際に、有機層の星印に対応する箇所を発光点とした。
図29は、図28(a)の配置で図27(a)~(d)の凸部17a形状を有する実施例5に係る有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図29(a)は、図27(a)および(b)で表される台形形状の凸部17aの結果であり、図29(b)は、図27(c)および(d)で表される2段階の斜面を有する凸部17aの結果である。さらに、Otto型配置の陰極側構造を有するが、有機層中まで取り出された伝播光を導波モード光とせずに外部に取り出す第1電極側構造は有しない構造(以下、「Otto型配置のみ構造」ということがある)と、標準構造と、三角構造(有機EL素子10の構造で断面形状が正三角形の場合)の場合も計算した。図29(a)において、「先平(低)」は図27(a)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「先平(高)」は図27(b)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。また図29(b)において、「先テーパー(低)」は図27(c)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「先テーパー(高)」は図27(d)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。
 図29(a)および(b)より、全ての波長において、実施例5に係る有機EL素子の光取り出し効率が、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。また、第1の実施形態に係る三角構造の有機EL素子10も、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。
一方、実施例5に係る有機EL素子と、三角構造の有機EL素子10とを比較すると、実施例5に係る有機EL素子の光取り出し効率がさらに向上していることが分かる。つまり、凸部をあえて多段形状として形成することにより、一度高屈折率層から取出された光が、再度高屈折率層に再入射してしまうという問題を解消することができ、光取り出し効率をさらに向上させることができる。
 図29(a)のグラフで、「先平(低)」(図27(a)の構造)の取り出し効率の結果が、「先平(高)」(図27(b)の構造)の取り出し効率より高くなっている。これは凸部の高さを低くすることで、より外部に取り出された光が凸部17aへ再入射することを抑制しているためと考えられる。図29(b)のグラフで、「先テーパー(低)」(図27(c)の構造)と「先テーパー(高)」(図27(d)の構造)においても、同様の結果が得られている。また、図29(a)および(b)において、図29(a)における「先平(高)」(図27(b)の構造)で表される結果と図29(b)の「先テーパー(高)」(図27(d)の構造)で表される結果のそれぞれは、三角構造の結果と比較して有意差が少ないようにも見える。これは上述のように、外部に取り出された光の凸部17aへの再入射の程度により、三角構造に対する有意差が生じることから、光取り出し効率の結果においても、程度の差はあるものの三角構造より向上していることは変わらない。
(実施例6)
 図28(b)は、シミュレーションで用いた実施例6に係る有機EL素子の基板11側からみた平面図である。一つ一つの凸部17aが平面図中のどの部分に対応するかの理解の助けとなるように、凸部17aの断面視形状を図示した。図28(b)に示すように、実施例6では、凸部17aの底面が直径1380nmの円形であり、凸部17aが正方格子状に敷き詰められているとした。また図28(b)のように平面視した際に、有機層の星印に対応する箇所を発光点とした。
図30は、図28(b)の配置で図27(a)~(d)の凸部17a形状を有する有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図30(a)は、図27(a)および(b)で表される台形形状の凸部17aの結果である。図30(b)は、図27(c)および(d)で表される2段階の傾斜面を有する凸部17aの結果である。さらに、Otto型配置のみ構造、標準構造、三角構造の場合も計算した。図30(a)において、「台形(低)」は図27(a)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「台形(高)」は図27(b)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。また図30(b)において、「先テーパー(低)」は図27(c)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「先テーパー(高)」は図27(d)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。
 図30(a)および(b)より、全ての波長において、実施例6に係る有機EL素子の光取り出し効率が、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。第1の実施形態に係る三角構造の有機EL素子10も、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。
一方、実施例6に係る有機EL素子と、三角構造を有する有機EL素子10と比較すると、実施例6に係る有機EL素子の光取り出し効率がさらに向上していることが分かる。つまり、凸部をあえて多段形状として形成することにより、一度高屈折率層から取出された光が、再度高屈折率層に再入射してしまうという問題を解消することができ、光取り出し効率を向上させることができる。
 図30のグラフにおいて、「台形(低)」(図27(a)の構造)の取り出し効率が、「台形(高)」(図27(b)の構造)の取り出し効率より高くなっており、これは凸部の高さを低くすることで、より外部に取り出された光が凸部17aへ再入射することを抑制しているためと考えられる。図30(b)のグラフで、「先テーパー(低)」(図27(c)の構造)と「先テーパー(高)」(図27(d)の構造)においても、同様の結果が得られている。また、図30(a)および(b)において、図30(a)における「先平(高)」(図27(b)の構造)で表される結果と図30(b)の「先テーパー(高)」(図27(d)の構造)で表される結果のそれぞれは、三角構造の結果と比較して有意差が少ないようにも見える。しかし、グラフ上重なって見えるが、凸部を多段にした結果の方が、程度の差はあるものの三角構造より向上していることは程度の差はあるものの変わらない。このことは後述するが図33(a2)及び(b2)の、h=800nmの結果とh=1200nmの結果を比較した際に、h=800nmの結果の方が光取り出し効率が向上していることからも確認できる。
(実施例7)
 図28(c)は、シミュレーションで用いた実施例7に係る有機EL素子の基板11側からみた平面図である。一つ一つの凸部17aが平面図中のどの部分に対応するかの理解の助けとなるように、凸部17aの断面視形状を図示した。図28(c)に示すように、実施例7では、凸部17aは、紙面奥行き方向には並進対称(ストライプ状)な構造としている。すなわち、平面視で、凸部17aは面内の一方向を無限に伸びるライン状の形状をしている。幅1380nmの凸部17aが平行ライン状に敷き詰められているとした。また図28(c)のように平面視した際に、有機層の星印に対応する箇所を発光点とした。
図31は、図28(c)の配置で図27(a)~(d)の凸部17a形状を有する有機EL素子の光取り出し効率を、FDTD法を用いてコンピュータシミュレーションで求めた結果を示す。図31(a)は、図27(a)および(b)で表される台形形状の凸部17aの結果である。図31(b)は、図27(c)および(d)で表される2段階の傾斜面17Aを有する凸部17aの結果である。さらに、Otto型配置のみ構造、標準構造、三角構造の場合も計算した。図31(a)において、「先平(低)」は図27(a)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「先平(高)」は図27(b)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。また図31(b)において、「先テーパー(低)」は図21(c)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示し、「先テーパー(高)」は図27(d)で模式的に示される有機EL素子のコンピュータシミュレーションの結果を示す。
 図31(a)および(b)より、全ての波長において、実施例7に係る有機EL素子の光取り出し効率が、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。また、第1の実施形態に係る三角構造の有機EL素子10も、Otto型配置のみ構造と比較して大幅に向上していることが分かる。
一方、実施例7に係る有機EL素子と、三角構造の有機EL素子10とを比較すると、実施例7に係る有機EL素子の光取り出し効率がさらに向上していることが分かる。つまり、凸部をあえて多段形状として形成することにより、一度高屈折率層から取出された光が、再度高屈折率層に再入射してしまうという問題が解消でき、光取り出し効率を向上させることができる。
 図31(b)では「先テーパー(低)」(図27(c)の構造)の取り出し効率が、「先テーパー(高)」(図27(d)の構造)」の取り出し効率より高くなっている。これは凸部の高さを低くすることで、より外部に取り出された光が凸部17aへ再入射することを抑制しているためと考えられる。図31(a)では、550nm以下の波長領域では、図31(b)と同じ傾向であるが、550nm以上の波長領域では「先平(低)」(図27(a)の構造)の取り出し効率が、「先平(高)」(図27(b)の構造)の取り出し効率より低くなっており、傾向が逆転している。これは、図27(c)では凸部が素子面内の一方向に並進対称(ストライプ状)な形状をしており、平面視でこの方向に進む光については、凸部の高さを低くすることによる再入射防止の効果が顕現しにくいためであると考えられる。
 また凸部17aにおいて、底辺と多角形の斜辺のなす角が底辺側から見て最初に変化する片部までの高さh(すなわち、本発明における底辺から最初の他の辺の底辺側の端部までの高さ)を変化させた時の光取り出し効率の変化を計算した。図32(a)は、二つの斜辺と二つの他の辺を有する、先テーパー型の五角形を模式的に図示したものである。図32(b)は底辺に平行な一つの他の辺を有する台形の凸部17aの断面視形状を模式的に図示したものである。
 先テーパー型の五角形は、二つの底角を60°、他の辺と底辺のなす二つの角を30°とし、その底辺の長さを1380nm、底辺側から最初の片部までの高さをhとした。台形は、底辺の長さを1380nm、二つの底角を60°とし、その底辺側から最初の片部までの高さをhとした。底辺の長さとは、図28(a)の場合底面の正方形の一辺、(b)の場合底面の円の直径、(c)の場合、底面のラインの幅を意味する。
 図33は、底辺と多角形の斜辺のなす角が底辺側から見て最初に変化する片部までの高さh(すなわち、本発明における底辺から、最初の他の辺の底辺側の端部までの高さ)を変化させた時の光取り出し効率の変化を計算した結果をまとめた図である。図33(a1)~(a3)は先テーパー型の五角形に対して計算した結果である。図33(b1)~(b3)は台形に対して計算した結果である。また図33(a1)及び(b1)が図28(a)の配置、図33(a2)及び(b2)が図28(b)の配置、図33(a3)及び(b3)が図28(c)の配置とした場合の結果である。グラフは縦軸が光の取り出し効率であり、横軸が片部までの高さhである。発光光のうち、代表的な700nm、620nm、550nm、480nmの波長の光の取り出し効率をそれぞれ計算した。先テーパー型の五角形において、片部の高さh=0nmの場合は、二つの斜辺と二つの底辺によって作られる底角30°の二等辺三角形となる。
その結果、片部までの高さhが600nmの時に、図33(a1)~(b3)のすべてにおいて、最も取り出し効率が高くなっていることが分かる。片部までの高さhが低すぎると充分な屈折の効果を得ることができず、効率的に光を取り出せない為と考えられる。また高すぎると、基板1側に取り出された光が、隣接する凸部に再入射し効率的に光を取り出せない為と考えられる。また図33(b1)~(b3)の片部の高さhが、0~200nmの場合、その他の場合に比べて光取り出し効率が低くなっていることが分かる。これは、隣り合う二つの前記多角形と、この隣り合う多角形の高さが最大である点同士を通る直線と、この隣り合う多角形の底辺を結ぶ直線によって囲まれる領域の素子面内方向の大きさ及び素子面内方向に垂直な方向の大きさが、いずれも発光光の実効波長より小さいためと考えられる。
10、20、30、40、50、60、70、80 有機EL素子
1、11、21、31、41、51、61、71 基板
2、12、22、32、42、52、62、72 陽極
3、13、23、33、43、53、63、73 有機層
4、14、24、34、44、54、64、74 陰極
5、15、25、35、45、55、75 低屈折率層
6、16、26、36、46、56、76 金属層
7、17、27、37、47、57 高屈折率層
7a、17a、27a、37a、47a、57a 凸部
27b、37b 凹部
7c、17c、27c、37c、47c、57c 層状部
48 版
41s 固化後の誘電体
S、U 前駆体
51A 高耐性層
51B 低耐性層
100 画像表示装置
104 陽極配線
106 陽極補助配線
108 陰極配線
110 絶縁膜
112 陰極隔壁
116 封止プレート
118 シール材
120 開口部
200 照明装置
201 点灯回路
202 端子
203 端子

Claims (25)

  1.  第1電極と、発光層を含む有機層と、第2電極と、低屈折率層と、金属層を順に具備する有機EL素子であって、
    前記第2電極は、透光性導電材料からなり、
    前記低屈折率層の屈折率は、前記有機層の屈折率よりも低く、
     前記第1電極の前記有機層と反対側の面に高屈折率層を具備し、
    前記高屈折率層は、その高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層よりも屈折率が高い材料からなり、
    さらに前記高屈折率層は、前記第1電極と反対側に向かって凸である複数の凸部を備え、
    前記凸部は、前記第1電極に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺の長さが最小である断面の断面形状が、前記第1電極に平行な底辺と二つの底角を備える多角形であり、前記二つの底角はいずれも鋭角であり、前記底角を挟んで前記底辺に接続する二つの斜辺を有し、
    前記凸部は前記斜辺を面内に含む斜面を有する、ことを特徴とする有機EL素子。
  2. 前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、他の辺を有する多段形状の多角形であり、
    前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に小さくなることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。
  3. 前記断面形状が、前記他の辺を二つ以上有する多段形状の多角形であることを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子。
  4. 隣り合う前記凸部のそれぞれの前記断面形状をなす二つの前記多角形を含む平面において、
    隣り合う二つの前記多角形と、これらの隣り合う多角形の高さが最大である点同士を通る直線と、これらの隣り合う多角形の底辺を結ぶ直線によって囲まれる領域の素子面内方向の大きさ及び素子面内方向に垂直な方向の大きさが、
    いずれも発光光の実効波長(λ/nh)以上であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の有機EL素子。
    ここでλは前記発光層で発光する光の最大ピーク波長における真空中での波長であり、nhは前記高屈折率層の屈折率である。
  5. 前記金属層の比誘電率の実部をε1、前記低屈折率層の比誘電率をε2、前記高屈折率層の比誘電率をεh、前記高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質の比誘電率をεsとし、前記底角(θa)が下記の式(1)の範囲内の角度であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の有機EL素子。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
    ここでγは下記の式(2)で定義される角度である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
    ここで、比誘電率ε2、比誘電率εh、比誘電率εsは発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率であり、比誘電率の実部ε1は発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率の実部である。
  6. 前記金属層の比誘電率の実部をε1、前記低屈折率層の比誘電率をε2、前記高屈折率層の比誘電率をεh、前記高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質の比誘電率をεsとし、隣り合う前記凸部の一方の凸部の前記底角(θ)と他方の凸部の前記底角(θb)が下記の式(3)の範囲内の角度であることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の有機EL素子。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
    ここでγは下記の式(4)で定義される角度である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
    ここで、比誘電率ε2、比誘電率εh、比誘電率εsは発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率であり、比誘電率の実部ε1は発光層で発光する光の最大ピーク波長における比誘電率の実部である。
  7. 前記底角が、20~75°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  8. 前記底角が、20~55°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項7に記載の有機EL素子。
  9. 前記断面形状の高さが最大である部位が頂点をなし、その頂角が、30~140°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  10. 前記頂角が、70~140°の範囲内の角度であることを特徴とする請求項9に記載の有機EL素子。
  11.  第1電極と、発光層を含む有機層と、第2電極と、低屈折率層と、金属層とを順に具備する有機EL素子であって、
    前記第2電極は、透光性導電材料からなり、
    前記低屈折率層の屈折率は、前記有機層の屈折率よりも低く、
     前記第1電極の前記有機層と反対側の面に高屈折率層を具備し、
    前記高屈折率層は、その高屈折率層の前記第1電極とは反対側の面に隣接する物質よりも屈折率が高く、且つ前記低屈折率層よりも屈折率が高い材料からなり、
    さらに前記高屈折率層は、前記第1電極側に向かって凹である複数の凹部を備え、
    前記凹部は、前記第1電極に対して垂直な断面のうち、この断面の高さが最大であり、かつ、この断面の底辺の長さが最小である断面の断面形状が、前記第1電極に平行な底辺と二つの底角を備える多角形であり、前記二つの底角はいずれも鋭角であり、前記底角を挟んで前記底辺に接続する二つの斜辺を有し、
    前記凹部は前記斜辺を面内に含む斜面を有する、ことを特徴とする有機EL素子。
  12. 前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、他の辺を有する多段形状の多角形であり、
    前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に大きくなることを特徴とする請求項11に記載の有機EL素子。
  13. 前記断面形状が、前記底辺と前記二つの斜辺以外に、前記底辺と平行な辺を有する多段形状の多角形であることを特徴とする請求項11に記載の有機EL素子。
  14. 前記断面形状が、さらに他の辺を有する多段形状の多角形であり、
    前記二つの斜辺及び前記他の辺と、前記底辺とのなす角が、前記多段形状の多角形の底辺から頂部に向かうに従って順に大きくなることを特徴とする請求項13に記載の有機EL素子。
  15. 前記断面形状が、前記他の辺を二つ以上有する多段形状の多角形であることを特徴とする請求項12または14のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  16. 前記断面形状をなす前記多角形の素子面内方向の大きさ及び素子面内方向に垂直な方向の大きさが、いずれも発光光の実効波長(λ/nh)以上であることを特徴とする請求項11~15のいずれか一項に記載の有機EL素子。
    ここでλは発光層で発光する光の最大ピーク波長における真空中での波長であり、nhは高屈折率層の屈折率である。
  17.  前記凸部または前記凹部が面内の一方向に連なるライン状に形成されていることを特徴とする請求項1~16のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  18.  前記凸部または前記凹部が面内方向に正方格子状に形成されていることを特徴とする請求項1~17のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  19.  前記低屈折率層の厚さが、20nm以上300nm以下であることを特徴とする請求項1~18のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  20.  前記高屈折率層が複数の層からなることを特徴とする請求項1~19のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  21. 前記低屈折率層の屈折率はさらに、前記第2電極の屈折率よりも低いことを特徴とする請求項1~20のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  22. 前記第2電極の屈折率はさらに、前記有機層の屈折率よりも低いことを特徴とする請求項21に記載の有機EL素子。
  23.  前記低屈折率層は、前記第2電極及び前記有機層のうちの少なくとも一方よりも屈折率が0.2以上小さい材料からなることを特徴とする請求項1~22のいずれか一項に記載の有機EL素子。
  24.  請求項1~23のいずれか一項に記載の有機EL素子を備えたことを特徴とする画像表示装置。
  25.  請求項1~23のいずれか一項に記載の有機EL素子を備えたことを特徴とする照明装置。
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