WO2013168270A1 - Drive device - Google Patents

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Abstract

A drive device (101) is provided with: a base (110); a rotatable driven part (130); elastic parts (120a, 120b) that connect the base and the driven part, and have elasticity so as to allow the driven part to rotate by acting as the axis of rotation in one direction (the Y-axis); a coil part that is disposed on the base, and is provided with a first coil (140a) and a fourth coil (140d) that are electrically connected in such a manner as to be supplied with a common first control current, and a second coil (140b) and a third coil (140c) that are electrically connected in such a manner as to be supplied with a common second control current; and magnetic field applying parts (151, 152) that each apply a magnetic field to the coil part.

Description

駆動装置Drive device
　本発明は、例えばミラー等の被駆動物を回転させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a driving device such as a MEMS scanner that rotates a driven object such as a mirror.
　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。 For example, in various technical fields such as a display, a printing apparatus, precision measurement, precision processing, and information recording / reproduction, research on MEMS (Micro Electro Mechanical System) devices manufactured by semiconductor process technology is being actively promoted. As such a MEMS device, for example, a display field in which light incident from a light source is scanned with respect to a predetermined screen region to embody an image, or light reflected by scanning light with respect to a predetermined screen region. In the scanning field where light is received and image information is read, a micro-structured mirror driving device (optical scanner or MEMS scanner) has attracted attention.
　ミラー駆動装置は、一般的には、ベースとなる固定された本体と、所定の回転軸の周りに回転可能なミラーと、本体とミラーとを接続する又は接合するトーションバー（ねじれ部材）とを備える構成が知られている（特許文献１参照）。 In general, a mirror driving device includes a fixed main body serving as a base, a mirror that can rotate around a predetermined rotation axis, and a torsion bar (twisting member) that connects or joins the main body and the mirror. The structure provided is known (refer patent document 1).
特表２００７－５２２５２９号公報Special table 2007-522529
　このような構成を有するミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。このような構成では、例えばミラーを取り囲むようにミラーにコイルを直接貼り付ける構成が一例としてあげられる。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる。また、上述の特許文献１では、コイルと磁石とが、トーションバーにねじれ方向（言い換えれば、ミラーの回転軸方向）の歪みを生じさせるように配置される構成を採用している。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってトーションバーがねじれ方向に歪み、トーションバーのねじれ方向の歪みがミラーを回転させることになる。 In a mirror driving device having such a configuration, a configuration in which a mirror is driven using a coil and a magnet is generally used. In such a configuration, for example, a configuration in which a coil is directly attached to the mirror so as to surround the mirror can be given as an example. In this case, a force in the rotational direction is applied to the mirror by the interaction between the magnetic field generated by passing a current through the coil and the magnetic field of the magnet, and as a result, the mirror is rotated. In Patent Document 1 described above, a configuration is adopted in which the coil and the magnet are arranged so as to cause distortion in the twisting direction (in other words, the rotation axis direction of the mirror) of the torsion bar. In this case, the torsion bar is distorted in the twisting direction due to the interaction between the magnetic field generated by passing a current through the coil and the magnetic field of the magnet, and the distortion in the twisting direction of the torsion bar rotates the mirror.
　このような従来のミラー駆動装置に対して、本発明は、例えば、コイルと磁石とを用いてミラー（或いは、回転する被駆動物）をより好適に駆動することが可能な駆動装置（つまり、ＭＥＭＳスキャナ）を提供することを課題とする。 In contrast to such a conventional mirror driving device, the present invention, for example, can drive a mirror (or a rotating driven object) more suitably using a coil and a magnet (that is, It is an object to provide a MEMS scanner.
　上記課題を解決するために、駆動装置は、第１ベース部と、第１ベース部によって支持される第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記第２ベース部上に配置されるコイル部と、前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備え、前記コイル部は、(i)第１コイルと、(ii)前記第１コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟みこむ第２コイルと、(iii)前記第１コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込む第３コイルと、(iv)前記第２コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込むと共に、前記第３コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟み込む第４コイルとを備えており、前記第１コイルと前記第４コイルとは、共通の第１制御電流が供給されるように電気的に接続されており、前記第２コイルと前記第３コイルとは、共通の第２制御電流が供給されるように電気的に接続されている。 In order to solve the above problem, the drive device connects the first base portion, the second base portion supported by the first base portion, the first base portion and the second base portion, and A first elastic portion having elasticity that rotates the second base portion about an axis along another direction as a rotation axis, a rotatable driven portion, and the second base portion and the driven portion are connected to each other. And a second elastic part having elasticity that rotates the driven part about an axis along one direction different from the other direction as a rotation axis, and a coil disposed on the second base part And a magnetic field applying unit that applies a magnetic field to the coil unit, wherein the coil unit is (i) between the first coil and (ii) the first coil in the other direction. A second coil sandwiching a rotation axis of the second base portion along the line, and (iii) the first coil And (iv) the rotation axis of the driven part along the one direction between the third coil sandwiching the rotation axis of the driven part along the one direction and (iv) the second coil. And a fourth coil that sandwiches the rotation axis of the second base portion along the other direction between the third coil and the third coil, wherein the first coil and the fourth coil are: The second coil and the third coil are electrically connected so as to be supplied with a common first control current, and the second coil and the third coil are electrically connected so as to be supplied with a common second control current. Yes.
　本発明のこのような作用及び利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。 The operation and gain of the present invention will be clarified from the embodiments described below.
本実施例に係るＭＥＭＳスキャナの構成を概念的に示す平面図である。It is a top view which shows notionally the structure of the MEMS scanner which concerns on a present Example. 第１制御電流の供給に起因して第１コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力を示す平面図である。It is a top view which shows the Lorentz force which arises in each of a 1st coil and a 4th coil resulting from supply of a 1st control current. 第２制御電流の供給に起因して第２コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力を示す平面図である。It is a top view which shows the Lorentz force which arises in each of a 2nd coil and a 3rd coil resulting from supply of a 2nd control current. 制御電流供給回路の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a control current supply circuit. 本実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様（特に、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベースを回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。It is a top view which shows notionally the mode of operation by the MEMS scanner concerning this example (especially mode of operation which rotates the 2nd base about the axis along the X-axis direction as a rotation axis). 本実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様（特に、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベースを回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。It is a top view which shows notionally the mode of operation by the MEMS scanner concerning this example (especially mode of operation which rotates the 2nd base about the axis along the X-axis direction as a rotation axis). 本実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様（特に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラーを回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。It is a top view which shows notionally the aspect (especially aspect of operation | movement which rotates a mirror by making the axis | shaft along a Y-axis direction into a rotating shaft) by the MEMS scanner which concerns on a present Example. 本実施例に係るＭＥＭＳスキャナによる動作の態様（特に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラーを回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。It is a top view which shows notionally the aspect (especially aspect of operation | movement which rotates a mirror by making the axis | shaft along a Y-axis direction into a rotating shaft) by the MEMS scanner which concerns on a present Example.
　以下、発明を実施するための最良の形態として、駆動装置に係る実施形態について順に説明する。 Hereinafter, embodiments according to the drive device will be described in order as the best mode for carrying out the invention.
　＜１＞
　本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、第１ベース部によって支持される第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、回転可能な被駆動部と、前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、前記第２ベース部上に配置されるコイル部と、前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部とを備え、前記コイル部は、(i)第１コイルと、(ii)前記第１コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟みこむ第２コイルと、(iii)前記第１コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込む第３コイルと、(iv)前記第２コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込むと共に、前記第３コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟み込む第４コイルとを備えており、前記第１コイルと前記第４コイルとは、共通の第１制御電流が供給されるように電気的に接続されており、前記第２コイルと前記第３コイルとは、共通の第２制御電流が供給されるように電気的に接続されている。 <1>
The driving apparatus of the present embodiment connects the first base portion, the second base portion supported by the first base portion, the first base portion and the second base portion, and the second base portion. Connecting a first elastic part having elasticity such that an axis along the other direction is a rotation axis, a rotatable driven part, the second base part and the driven part, and A second elastic part having elasticity so as to rotate the driven part about an axis along one direction different from the other direction as a rotation axis; a coil part disposed on the second base part; A magnetic field applying unit that applies a magnetic field to the coil unit, wherein the coil unit includes (i) the first coil and (ii) the first coil along the other direction between the first coil and the first coil. Between the second coil sandwiching the rotating shaft of the two base portions and (iii) the first coil A third coil that sandwiches the rotation axis of the driven part along the line, and (iv) a rotation axis of the driven part along the one direction between the second coil and the third coil And a fourth coil sandwiching the rotation axis of the second base portion along the other direction between the coil and the first coil and the fourth coil. The second coil and the third coil are electrically connected so that a common second control current is supplied.
　本実施形態の駆動装置によれば、基礎となる第１ベース部と当該第１ベース部に支持される第２ベース部とが、弾性を有する第１弾性部（例えば、後述する第１トーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。更に、第２ベース部と回転可能に配置される被駆動部（例えば、後述するミラー等）とが、弾性を有する第２弾性部（例えば、後述する第２トーションバー等）によって直接的に又は間接的に接続されている。第２ベース部は、第１弾性部の弾性（例えば、第２ベース部を他の方向（例えば、後述のＸ軸方向）に沿った軸を回転軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向とは異なる（好ましくは、交わる、より好ましくは、直交する）他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、第２ベース部と第２弾性部を介して接続されている被駆動部もまた、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。加えて、被駆動部は、第２弾性部の弾性（例えば、被駆動部を一の方向（例えば、後述のＹ軸方向）に沿った軸を回転軸として回転させることができるという弾性）によって、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。つまり、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の２軸駆動を行うことができる。但し、本実施形態の駆動装置は、被駆動部の多軸駆動（例えば、３軸駆動、４軸駆動・・・）を行ってもよい。 According to the drive device of the present embodiment, the first base portion serving as the base and the second base portion supported by the first base portion have the first elastic portion having elasticity (for example, a first torsion bar described later). Etc.) directly or indirectly. Further, the second base portion and a driven portion (for example, a mirror described later) rotatably arranged are directly or by a second elastic portion (for example, a second torsion bar described later) having elasticity. Connected indirectly. The second base portion has elasticity of the first elastic portion (for example, elasticity that allows the second base portion to rotate about an axis along another direction (for example, an X-axis direction described later) as a rotation axis). An axis along another direction different from one direction (preferably intersecting, more preferably orthogonal) is rotated as a rotation axis. Therefore, the driven part connected via the second base part and the second elastic part also rotates about the axis along the other direction as the rotation axis. In addition, the driven part is made by the elasticity of the second elastic part (for example, the elasticity that the driven part can be rotated about an axis along one direction (for example, a Y-axis direction described later) as a rotation axis). , The axis along one direction is rotated as a rotation axis. That is, the driving device of the present embodiment can perform biaxial driving of the driven part. However, the drive apparatus of this embodiment may perform multi-axis drive (for example, 3-axis drive, 4-axis drive,...) Of the driven part.
　本実施形態の駆動装置では、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部（言い換えれば、第２ベース部によって支持されている被駆動部）が回転する。言い換えれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転するための駆動力は、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。 In the drive device according to the present embodiment, the second base portion (in other words, the second base portion) has an axis along the other direction as a rotation axis due to the force caused by the electromagnetic interaction between the coil portion and the magnetic field applying portion. The driven part) supported by the rotation. In other words, the driving force for rotating the second base portion about the axis along the other direction as the rotation axis is an electromagnetic force resulting from the electromagnetic interaction between the coil portion and the magnetic field applying portion.
　加えて、本実施形態の駆動装置では、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する。言い換えれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転するための駆動力は、コイル部と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。 In addition, in the driving apparatus of the present embodiment, the driven part rotates about the axis along one direction as the rotation axis by the force caused by the electromagnetic interaction between the coil part and the magnetic field applying part. In other words, the driving force for the driven part to rotate with the axis along one direction as the rotation axis is an electromagnetic force resulting from the electromagnetic interaction between the coil part and the magnetic field applying part.
　本実施形態では特に、コイル部は、少なくとも４つのコイル（つまり、第１コイル、第２コイル、第３コイル及び第４コイル）を備えている。 Particularly in the present embodiment, the coil unit includes at least four coils (that is, the first coil, the second coil, the third coil, and the fourth coil).
　第１コイルは、第２コイルとの間で、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第１コイルは、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸が第１コイルと第２コイルとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第１コイルは、第３コイルとの間で、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第１コイルは、一の方向に沿った被駆動部の回転軸が第１コイルと第３コイルとの間に存在するような位置に配置される。 The first coil is disposed at a position between the second coil and the rotation axis of the second base portion along the other direction. In other words, the first coil is arranged at a position where the rotation axis of the second base portion along the other direction exists between the first coil and the second coil. In addition, the first coil is disposed between the third coil and the third coil so as to sandwich the rotating shaft of the driven part along one direction. In other words, the first coil is arranged at a position where the rotation axis of the driven part along one direction exists between the first coil and the third coil.
　尚、第１コイルは、当該第１コイルを構成する巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。言い換えれば、第１コイルは、当該第１コイルの巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。但し、第１コイルは、当該第１コイルを構成する巻き線の内側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されてもよい。尚、第１コイルが第２ベース部上に配置されるため、第２ベース部の少なくとも一部の形状は、第１コイルを配置可能な形状を有していることが好ましい。 The first coil is preferably disposed on the second base portion so that the driven portion is disposed outside the windings constituting the first coil. In other words, the first coil is preferably disposed on the second base portion so that the driven portion is not disposed inside the winding of the first coil. However, the 1st coil may be arranged on the 2nd base part so that a driven part may be arranged inside the winding which constitutes the 1st coil concerned. In addition, since the first coil is disposed on the second base portion, it is preferable that at least a part of the second base portion has a shape in which the first coil can be disposed.
　第２コイルは、第１コイルとの間で、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第２コイルは、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸が第２コイルと第１コイルとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第２コイルは、第４コイルとの間で、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第２コイルは、一の方向に沿った被駆動部の回転軸が第２コイルと第４コイルとの間に存在するような位置に配置される。 The second coil is disposed at a position between the first coil and the rotation axis of the second base portion along the other direction. In other words, the second coil is arranged at a position where the rotation axis of the second base portion along the other direction exists between the second coil and the first coil. In addition, the second coil is arranged at a position sandwiching the rotation axis of the driven part along one direction with the fourth coil. In other words, the second coil is arranged at a position where the rotation axis of the driven part along one direction exists between the second coil and the fourth coil.
　尚、第２コイルは、当該第２コイルを構成する巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。言い換えれば、第２コイルは、当該第２コイルの巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。但し、第２コイルは、当該第２コイルを構成する巻き線の内側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されてもよい。尚、第２コイルが第２ベース部上に配置されるため、第２ベース部の少なくとも一部の形状は、第２コイルを配置可能な形状を有していることが好ましい。 In addition, it is preferable that the second coil is disposed on the second base portion so that the driven portion is disposed outside the winding constituting the second coil. In other words, the second coil is preferably arranged on the second base part so that the driven part is not arranged inside the winding of the second coil. However, the 2nd coil may be arranged on the 2nd base part so that a driven part may be arranged inside the winding which constitutes the 2nd coil concerned. Since the second coil is disposed on the second base portion, it is preferable that at least a part of the second base portion has a shape that allows the second coil to be disposed.
　第３コイルは、第４コイルとの間で、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第３コイルは、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸が第３コイルと第４コイルとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第３コイルは、第１コイルとの間で、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第３コイルは、一の方向に沿った被駆動部の回転軸が第３コイルと第１コイルとの間に存在するような位置に配置される。 The third coil is disposed at a position between the fourth coil and the rotation axis of the second base portion along the other direction. In other words, the third coil is disposed at a position where the rotation axis of the second base portion along the other direction exists between the third coil and the fourth coil. In addition, the third coil is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the driven part along one direction with the first coil. In other words, the third coil is arranged at a position where the rotation axis of the driven part along one direction exists between the third coil and the first coil.
　尚、第３コイルは、当該第３コイルを構成する巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。言い換えれば、第３コイルは、当該第３コイルの巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。但し、第３コイルは、当該第３コイルを構成する巻き線の内側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されてもよい。尚、第３コイルが第２ベース部上に配置されるため、第２ベース部の少なくとも一部の形状は、第３コイルを配置可能な形状を有していることが好ましい。 The third coil is preferably disposed on the second base portion so that the driven portion is disposed outside the windings constituting the third coil. In other words, the third coil is preferably arranged on the second base part so that the driven part is not arranged inside the winding of the third coil. However, the 3rd coil may be arranged on the 2nd base part so that a driven part may be arranged inside the winding which constitutes the 3rd coil concerned. Since the third coil is disposed on the second base portion, it is preferable that at least a part of the second base portion has a shape in which the third coil can be disposed.
　第４コイルは、第３コイルとの間で、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第４コイルは、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸が第４コイルと第３コイルとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第４コイルは、第２コイルとの間で、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第４コイルは、一の方向に沿った被駆動部の回転軸が第４コイルと第２コイルとの間に存在するような位置に配置される。 The fourth coil is disposed at a position between the third coil and the rotation axis of the second base portion along the other direction. In other words, the fourth coil is disposed at such a position that the rotation axis of the second base portion along the other direction exists between the fourth coil and the third coil. In addition, the fourth coil is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the driven part along one direction with the second coil. In other words, the fourth coil is arranged at a position where the rotation axis of the driven part along one direction exists between the fourth coil and the second coil.
　尚、第４コイルは、当該第４コイルを構成する巻き線の外側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。言い換えれば、第４コイルは、当該第４コイルの巻き線の内側に被駆動部が配置されないように、第２ベース部上に配置されることが好ましい。但し、第４コイルは、当該第４コイルを構成する巻き線の内側に被駆動部が配置されるように、第２ベース部上に配置されてもよい。尚、第４コイルが第２ベース部上に配置されるため、第２ベース部の少なくとも一部の形状は、第４コイルを配置可能な形状を有していることが好ましい。 The fourth coil is preferably disposed on the second base portion so that the driven portion is disposed outside the windings constituting the fourth coil. In other words, the fourth coil is preferably arranged on the second base part so that the driven part is not arranged inside the winding of the fourth coil. However, the 4th coil may be arranged on the 2nd base part so that a driven part may be arranged inside the winding which constitutes the 4th coil concerned. In addition, since the fourth coil is disposed on the second base portion, it is preferable that at least a part of the second base portion has a shape in which the fourth coil can be disposed.
　加えて、第１コイルと第４コイルとは、共通の第１制御電流が供給されるように、電気的に接続されている。例えば、第１コイルと第４コイルとは、第１制御電流が供給される電源端子から見て、直列に又は並列に接続されていてもよい。加えて、第２コイルと第３コイルとは、共通の第２制御電流が供給されるように、電気的に接続されている。例えば、第２コイルと第３コイルとは、第２制御電流が供給される電源端子から見て、直列に又は並列に接続されていてもよい。従って、本実施形態では、第１コイルから第４コイルに対して第１制御電流を供給するためには、第１制御電流が供給される電源端子から第１コイル及び第４コイルへと向かう信号線と、第１コイル及び第４コイルから第１制御電流が供給される電源端子へと戻る信号線とが用いられる。同様に、第２コイルから第３コイルに対して第２制御電流を供給するためには、第２制御電流が供給される電源端子から第２コイル及び第３コイルへと向かう信号線と、第２コイル及び第３コイルから第２制御電流が供給される電源端子へと戻る信号線とが用いられる。 In addition, the first coil and the fourth coil are electrically connected so that a common first control current is supplied. For example, the first coil and the fourth coil may be connected in series or in parallel as viewed from the power supply terminal to which the first control current is supplied. In addition, the second coil and the third coil are electrically connected so that a common second control current is supplied. For example, the second coil and the third coil may be connected in series or in parallel as viewed from the power supply terminal to which the second control current is supplied. Therefore, in the present embodiment, in order to supply the first control current from the first coil to the fourth coil, a signal directed from the power supply terminal to which the first control current is supplied to the first coil and the fourth coil. And a signal line returning from the first coil and the fourth coil to the power supply terminal to which the first control current is supplied are used. Similarly, in order to supply the second control current from the second coil to the third coil, a signal line from the power supply terminal to which the second control current is supplied to the second coil and the third coil, A signal line returning from the second coil and the third coil to the power supply terminal to which the second control current is supplied is used.
　本実施形態の駆動装置では、コイル部を構成する第１コイルから第４コイルの夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部（言い換えれば、第２ベース部によって支持されている被駆動部）が回転する。言い換えれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転するための駆動力は、コイル部を構成する第１コイルから第４コイルの夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。 In the drive device of the present embodiment, the axis along the other direction is set as the rotation axis by the force resulting from the electromagnetic interaction between each of the first to fourth coils and the magnetic field application unit constituting the coil unit. The second base part (in other words, the driven part supported by the second base part) rotates. In other words, the driving force for rotating the second base portion about the axis along the other direction is the electromagnetic force between each of the first to fourth coils constituting the coil portion and the magnetic field applying portion. Electromagnetic force due to interaction.
　より具体的には、例えば、第１コイル及び第４コイルには、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるための第１制御電流が供給される。この第１制御電流は、例えば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいることが好ましい。一方で、第１コイル及び第４コイルには、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部を構成する第１コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第１コイルには、ローレンツ力が発生する。同様に、コイル部を構成する第４コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第４コイルには、ローレンツ力が発生する。 More specifically, for example, the first coil and the fourth coil are supplied with a first control current for rotating the second base portion about the axis along the other direction as a rotation axis. The first control current includes, for example, an alternating current having a frequency that is the same as or synchronized with a frequency (in other words, a cycle) at which the second base unit rotates with an axis along another direction as a rotation axis. It is preferable that On the other hand, a magnetic field is applied to the first coil and the fourth coil from the magnetic field applying unit. Therefore, Lorentz force is generated in the first coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the first coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit. Similarly, Lorentz force is generated in the fourth coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the fourth coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit.
　同様に、第２コイル及び第３コイルには、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるための第２制御電流が供給される。この第２制御電流は、例えば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいるが好ましい。一方で、第２コイル及び第３コイルには、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部を構成する第２コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第２コイルには、ローレンツ力が発生する。同様に、コイル部を構成する第３コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第３コイルには、ローレンツ力が発生する。 Similarly, the second coil and the third coil are supplied with a second control current for rotating the second base portion about the axis along the other direction as the rotation axis. This second control current includes, for example, an alternating current having the same frequency as the frequency (in other words, the period) at which the second base portion rotates about the axis along the other direction as the rotation axis (in other words, the cycle) or a synchronized frequency. However, it is preferable. On the other hand, a magnetic field is applied to the second coil and the third coil from the magnetic field applying unit. For this reason, Lorentz force is generated in the second coil due to the electromagnetic interaction between the control current supplied to the second coil constituting the coil part and the magnetic field applied by the magnetic field applying part. Similarly, Lorentz force is generated in the third coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the third coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit.
　このとき、例えば、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として他方側に配置されている第２コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とが同一でない（言い換えれば、逆である）状況を想定する。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 At this time, for example, in the direction of the Lorentz force generated in each of the first coil and the third coil arranged on one side with respect to the rotation axis of the second base portion along the other direction, and in the other direction Assuming a situation where the direction of the Lorentz force generated in each of the second coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the second base portion along the direction is not the same (in other words, opposite) To do. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil as the rotation axis. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along the other direction as a rotation axis.
　逆に言えば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させるために、上述したローレンツ力が発生するように、第１制御電流及び第２制御電流が適宜調整されたり、第１コイルから第４コイルの特性（例えば、巻き線の方向等）が調整されたり、磁界付与部が付与する磁界の特性（例えば、磁界の方向）等が調整されていることが好ましい。 In other words, the first control current and the second control current may be appropriately adjusted so that the Lorentz force described above is generated in order to rotate the second base portion about the axis along the other direction as the rotation axis. The characteristics (for example, the direction of winding) of the first coil to the fourth coil are adjusted, and the characteristics of the magnetic field (for example, the direction of the magnetic field) applied by the magnetic field applying unit are preferably adjusted.
　加えて、本実施形態の駆動装置では、コイル部を構成する第１コイルから第４コイルの夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した力によって、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する。言い換えれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転するための駆動力は、コイル部を構成する第１コイルから第４コイルの夫々と磁界付与部との間の電磁相互作用に起因した電磁力である。 In addition, in the driving device of the present embodiment, the axis along one direction is adjusted by the force caused by the electromagnetic interaction between each of the first to fourth coils and the magnetic field applying unit constituting the coil unit. A driven part rotates as a rotating shaft. In other words, the driving force for the driven part to rotate about the axis along one direction as the rotation axis is the electromagnetic mutual between the first to fourth coils constituting the coil part and the magnetic field applying part. Electromagnetic force due to action.
　より具体的には、例えば、第１コイル及び第４コイルには、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための第１制御電流が供給される。この第１制御電流は、例えば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいることが好ましい。より好ましくは、第１制御電流は、被駆動部及び第２弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び第２弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいることが好ましい。一方で、第１コイル及び第４コイルには、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部を構成する第１コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第１コイルには、ローレンツ力が発生する。同様に、コイル部を構成する第４コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第４コイルには、ローレンツ力が発生する。 More specifically, for example, the first coil and the fourth coil are supplied with a first control current for rotating the driven part about the axis along one direction as a rotation axis. The first control current includes, for example, an alternating current having a frequency that is the same as or synchronized with a frequency (in other words, a cycle) at which the driven part rotates about an axis along one direction as a rotation axis. Preferably it is. More preferably, the first control current is determined by a resonance frequency of the driven part determined by the driven part and the second elastic part (more specifically, an inertia moment of the driven part and a torsion spring constant of the second elastic part). Preferably, it includes an alternating current having the same frequency as the driven part's resonance frequency) or having a synchronized frequency. On the other hand, a magnetic field is applied to the first coil and the fourth coil from the magnetic field applying unit. Therefore, Lorentz force is generated in the first coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the first coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit. Similarly, Lorentz force is generated in the fourth coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the fourth coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit.
　同様に、第２コイル及び第３コイルには、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるための第２制御電流が供給される。この第２制御電流は、例えば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部が回転する周波数（言い換えれば、周期）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいることが好ましい。より好ましくは、第２制御電流は、被駆動部及び第２弾性部によって定まる被駆動部の共振周波数（より具体的には、被駆動部の慣性モーメント及び第２弾性部のねじりバネ定数によって定まる被駆動部の共振周波数）と同一の周波数を有する又は同期した周波数を有する交流電流を含んでいることが好ましい。一方で、第２コイル及び第３コイルには、磁界付与部から磁界が付与される。このため、コイル部を構成する第２コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第２コイルには、ローレンツ力が発生する。同様に、コイル部を構成する第３コイルに供給される制御電流と磁界付与部が付与する磁界との電磁相互作用に起因して、第３コイルには、ローレンツ力が発生する。 Similarly, the second coil and the third coil are supplied with a second control current for rotating the driven part about the axis along one direction as a rotation axis. The second control current includes, for example, an alternating current having a frequency that is the same as or synchronized with a frequency (in other words, a cycle) at which the driven part rotates about an axis along one direction as a rotation axis. Preferably it is. More preferably, the second control current is determined by a resonance frequency of the driven part determined by the driven part and the second elastic part (more specifically, an inertia moment of the driven part and a torsion spring constant of the second elastic part). It is preferable to include an alternating current having the same frequency as the resonance frequency of the driven part) or having a synchronized frequency. On the other hand, a magnetic field is applied to the second coil and the third coil from the magnetic field applying unit. For this reason, Lorentz force is generated in the second coil due to the electromagnetic interaction between the control current supplied to the second coil constituting the coil part and the magnetic field applied by the magnetic field applying part. Similarly, Lorentz force is generated in the third coil due to electromagnetic interaction between the control current supplied to the third coil constituting the coil portion and the magnetic field applied by the magnetic field applying unit.
　このとき、例えば、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第２コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として他方側に配置されている第３コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とが同一でない（言い換えれば、逆である）状況を想定する。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、一の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転するように振動する。このとき、被駆動部は、第２弾性部を介して第２ベース部と接続されている。このため、一の方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース部の回転ないしは振動によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 At this time, for example, the direction of the Lorentz force generated in each of the first coil and the second coil arranged on one side with respect to the rotation axis of the driven part along one direction, and along the one direction. A situation is assumed in which the direction of the Lorentz force generated in each of the third coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the driven part is not the same (in other words, opposite). In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with the axis along one direction as the rotation axis with respect to the second base portion where the fourth coil is arranged from the first coil. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion vibrates so as to rotate about the axis along one direction as the rotation axis. At this time, the driven part is connected to the second base part via the second elastic part. For this reason, the driven part rotates about the axis along the one direction as the rotation axis by the rotation or vibration of the second base part with the axis along the one direction as the rotation axis.
　このとき、例えば、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、特許第４８２７９９３号公報に開示されている「微振動（つまり、方向性のない力であって、被駆動部の回転方向に向かって第２弾性部を直接的にねじれさせるように作用しない力）」として伝搬してもよい。その結果、当該微振動が第２ベース部から第２弾性部を介して被駆動部に伝搬することで、当該微振動は、一の方向に沿った軸を回転軸とする被駆動部の回転という形で発現することになる。 At this time, for example, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is disclosed in Japanese Patent No. 4827993 with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil. The vibration may be propagated as “a vibration (that is, a force having no directivity and does not act to directly twist the second elastic portion in the rotation direction of the driven portion)”. As a result, the minute vibration propagates from the second base portion to the driven portion via the second elastic portion, so that the minute vibration is caused by rotation of the driven portion with the axis along one direction as the rotation axis. It will be expressed in the form.
　逆に言えば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させるために、上述したローレンツ力が発生するように、第１制御電流及び第２制御電流が適宜調整されたり、第１コイルから第４コイルの特性（例えば、巻き線の方向等）が調整されたり、磁界付与部が付与する磁界の特性（例えば、磁界の方向）等が調整されていることが好ましい。 In other words, the first control current and the second control current are appropriately adjusted so that the Lorentz force described above is generated in order to rotate the driven part about the axis along one direction as the rotation axis. It is preferable that the characteristics (for example, the direction of winding) of the first coil to the fourth coil are adjusted, and the characteristics (for example, the direction of magnetic field) of the magnetic field applied by the magnetic field applying unit are adjusted.
　このように、本実施形態の駆動装置は、少なくとも４つのコイル（第１コイルから第４コイル）を用いて、被駆動部の２軸駆動を実現することができる。 As described above, the drive device according to the present embodiment can realize the biaxial drive of the driven part by using at least four coils (from the first coil to the fourth coil).
　加えて、本実施形態の駆動装置は、少なくとも４つのコイルに制御電流を供給するために信号線を、コイル毎に別個に備えていなくともよくなる。つまり、本実施形態の駆動装置は、第１コイル及び第４コイルに第１制御電流を供給するための２つの信号線と、第２コイル及び第３コイルに第２制御電流を供給するための２つの信号線とを備えていればよい。言い換えれば、本実施形態の駆動装置は、第１コイルに制御電流を供給するための２つの信号線と、第２コイルに制御電流を供給するための２つの信号線と、第３コイルに制御電流を供給するための２つの信号線と、第４コイルに制御電流を供給するための２つの信号線とを備えていなくともよくなる。従って、駆動装置上を伸長する信号線の数を相対的に減らすことができる。 In addition, the drive device according to the present embodiment does not have to include a signal line separately for each coil in order to supply a control current to at least four coils. That is, the drive device of the present embodiment is configured to supply two signal lines for supplying the first control current to the first coil and the fourth coil, and to supply the second control current to the second coil and the third coil. It suffices to have two signal lines. In other words, the drive device of this embodiment controls two signal lines for supplying control current to the first coil, two signal lines for supplying control current to the second coil, and the third coil. It is not necessary to have two signal lines for supplying current and two signal lines for supplying control current to the fourth coil. Therefore, the number of signal lines extending on the driving device can be relatively reduced.
　＜２＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆である。 <2>
In another aspect of the drive device of the present embodiment, the direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is the fourth direction due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the coil, and the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current is caused by the supply of the second control current. The direction of the Lorentz force generated in the three coils is opposite.
　この態様によれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる場合には、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として他方側に配置されている第２コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the second base portion is rotated with the axis along the other direction as the rotation axis, the second base portion is disposed on one side with respect to the rotation axis of the second base portion along the other direction. Of the second coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the direction of the Lorentz force generated in each of the first and third coils and the rotation axis of the second base portion along the other direction. The direction of the Lorentz force generated in each can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil as the rotation axis. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along the other direction as a rotation axis.
　加えて、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させる場合には、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第２コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として他方側に配置されている第３コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、一の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、第２弾性部を介して第２ベース部と接続されている。このため、一の方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース部の回転によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 In addition, when the driven part is rotated with the axis along one direction as the rotation axis, the first coil disposed on one side with respect to the rotation axis of the driven part along the one direction and The direction of the Lorentz force generated in each of the second coils and the Lorentz force generated in each of the third coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the driven part along one direction. The direction of can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with the axis along one direction as the rotation axis with respect to the second base portion where the fourth coil is arranged from the first coil. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along one direction as a rotation axis. At this time, the driven part is connected to the second base part via the second elastic part. For this reason, the driven part rotates about the axis along the one direction as the rotation axis by the rotation of the second base part with the axis along the one direction as the rotation axis.
　つまり、この態様の駆動装置は、４つのコイルに発生するローレンツ力の組み合わせを用いて、被駆動部の２軸駆動を好適に実現することができる。 That is, the drive device according to this aspect can suitably realize the biaxial drive of the driven part by using a combination of Lorentz forces generated in the four coils.
　尚、上述したローレンツ力が発生するように、第１制御電流及び第２制御電流が適宜調整されたり、第１コイルから第４コイルの特性（例えば、巻き線の方向等）が調整されたり、磁界付与部が付与する磁界の特性（例えば、磁界の方向）等が調整されていることが好ましい。以下に説明する他の態様においても同様である。 The first control current and the second control current are appropriately adjusted so that the Lorentz force described above is generated, or the characteristics of the first coil to the fourth coil (for example, the direction of winding) are adjusted, It is preferable that the characteristics (for example, the direction of the magnetic field) of the magnetic field applied by the magnetic field applying unit are adjusted. The same applies to other modes described below.
　尚、本実施形態における「ローレンツ力の方向」とは、第１コイルから第４コイルの夫々の上下方向（具体的には、一の方向及び他の方向の夫々に直交する方向であって、第１コイルから第４コイルの静止時の表面に対して垂直な方向）に沿った方向であることが好ましい。従って、例えば、第１制御電流の供給に起因して第１コイルに発生するローレンツ力が上側に向かう力である場合には、第１制御電流の供給に起因して第４コイルに発生するローレンツ力が下側に向かう力であることが好ましい。同様に、例えば、第１制御電流の供給に起因して第１コイルに発生するローレンツ力が下側に向かう力である場合には、第１制御電流の供給に起因して第４コイルに発生するローレンツ力が上側に向かう力であることが好ましい。第２コイルに発生するローレンツ力及び第３コイルに発生するローレンツ力についても、同様である。 In this embodiment, the “direction of Lorentz force” refers to the vertical direction of each of the first to fourth coils (specifically, the direction orthogonal to one direction and the other direction, A direction along the direction perpendicular to the stationary surface of the first coil to the fourth coil is preferable. Accordingly, for example, when the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is an upward force, the Lorentz generated in the fourth coil due to the supply of the first control current. The force is preferably a downward force. Similarly, for example, when the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is a downward force, it is generated in the fourth coil due to the supply of the first control current. It is preferable that the Lorentz force to be applied is an upward force. The same applies to the Lorentz force generated in the second coil and the Lorentz force generated in the third coil.
　＜３＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第１コイル及び前記第４コイルは、前記被駆動部の対角方向に沿って前記被駆動部を挟み込み、前記第２コイル及び前記第３コイルは、前記被駆動部の対角方向に沿って前記被駆動部を挟み込み、前記被駆動部の対角方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第４コイルの夫々には、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、前記被駆動部の対角方向に沿って配列されている前記第２コイル及び前記第３コイルの夫々には、前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生する。 <3>
In another aspect of the driving apparatus of the present embodiment, the first coil and the fourth coil sandwich the driven part along a diagonal direction of the driven part, and the second coil and the third coil Is sandwiched between the driven parts along the diagonal direction of the driven parts, and each of the first and fourth coils arranged along the diagonal direction of the driven parts includes Lorentz force is generated and arranged along the diagonal direction of the driven part so that the direction of the Lorentz force generated in the first coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil. A Lorentz force is generated in each of the second coil and the third coil such that the direction of the Lorentz force generated in the second coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil.
　この態様によれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる場合には、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として他方側に配置されている第２コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the second base portion is rotated with the axis along the other direction as the rotation axis, the second base portion is disposed on one side with respect to the rotation axis of the second base portion along the other direction. Of the second coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the direction of the Lorentz force generated in each of the first and third coils and the rotation axis of the second base portion along the other direction. The direction of the Lorentz force generated in each can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil as the rotation axis. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along the other direction as a rotation axis.
　加えて、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させる場合には、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第２コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として他方側に配置されている第３コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、一の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、第２弾性部を介して第２ベース部と接続されている。このため、一の方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース部の回転によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 In addition, when the driven part is rotated with the axis along one direction as the rotation axis, the first coil disposed on one side with respect to the rotation axis of the driven part along the one direction and The direction of the Lorentz force generated in each of the second coils and the Lorentz force generated in each of the third coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the driven part along one direction. The direction of can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with the axis along one direction as the rotation axis with respect to the second base portion where the fourth coil is arranged from the first coil. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along one direction as a rotation axis. At this time, the driven part is connected to the second base part via the second elastic part. For this reason, the driven part rotates about the axis along the one direction as the rotation axis by the rotation of the second base part with the axis along the one direction as the rotation axis.
　つまり、この態様の駆動装置は、４つのコイルの夫々に発生するローレンツ力の組み合わせを用いて、被駆動部の２軸駆動を好適に実現することができる。 That is, the drive device of this aspect can suitably realize the biaxial drive of the driven part by using a combination of Lorentz forces generated in each of the four coils.
　＜４＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一である。 <4>
In another aspect of the driving apparatus of the present embodiment, when the second base portion is rotated about the axis along the other direction as a rotation axis, the first control current is supplied due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current, and the direction of the Lorentz force generated in the coil due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the four coils is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current, and the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the first coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current, and due to the supply of the first control current. Loire generated in the fourth coil Direction of Tsu force is the same as the direction of the Lorentz force generated due to the supply of the second control current to the second coil.
　この態様によれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる場合には、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として他方側に配置されている第２コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the second base portion is rotated with the axis along the other direction as the rotation axis, the second base portion is disposed on one side with respect to the rotation axis of the second base portion along the other direction. Of the second coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the direction of the Lorentz force generated in each of the first and third coils and the rotation axis of the second base portion along the other direction. The direction of the Lorentz force generated in each can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil as the rotation axis. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along the other direction as a rotation axis.
　＜５＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、前記一の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第２コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、前記一の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第３コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、前記他の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第３コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、前記他の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第２コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生する。 <5>
In another aspect of the driving apparatus of the present embodiment, when the second base portion is rotated with the axis along the other direction as a rotation axis, the first base arranged along the one direction. The coil and the second coil generate Lorentz force so that the direction of Lorentz force generated in the first coil is opposite to the direction of Lorentz force generated in the second coil. The fourth coil and the third coil arranged along the Lorentz force so that the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil. In the first coil and the third coil arranged along the other direction, the direction of the Lorentz force generated in the first coil is the direction of the Lorentz force generated in the third coil. When The Lorentz force is generated so that the Lorentz force is generated, and the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is the second coil arranged along the other direction. Lorentz force is generated so as to be the same as the direction of Lorentz force generated in the coil.
　この態様によれば、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる場合には、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第３コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、他の方向に沿った第２ベース部の回転軸を基準として他方側に配置されている第２コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、他の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、他の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the second base portion is rotated with the axis along the other direction as the rotation axis, the second base portion is disposed on one side with respect to the rotation axis of the second base portion along the other direction. Of the second coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the direction of the Lorentz force generated in each of the first and third coils and the rotation axis of the second base portion along the other direction. The direction of the Lorentz force generated in each can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with respect to the second base portion on which the fourth coil is arranged from the first coil as the rotation axis. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along the other direction as a rotation axis.
　＜６＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記被駆動部を前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆である。 <6>
In another aspect of the driving apparatus of the present embodiment, when the driven part is rotated with the axis along the one direction as a rotation axis, the first coil is caused by the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the second coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current, and the fourth direction due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in the coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current, and the direction of the Lorentz force generated in the coil due to the supply of the first control current. The direction of the Lorentz force generated in one coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current, and the direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current. Lauren generated in the fourth coil Force is the direction opposite to the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current.
　この態様によれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させる場合には、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第２コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として他方側に配置されている第３コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、一の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、第２弾性部を介して第２ベース部と接続されている。このため、一の方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース部の回転によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the driven part is rotated about the axis along one direction as the rotation axis, the first part arranged on one side with respect to the rotation axis of the driven part along the one direction. The direction of the Lorentz force generated in each of the first coil and the second coil, and the third coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the driven part along one direction, respectively. The direction of the Lorentz force can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with the axis along one direction as the rotation axis with respect to the second base portion where the fourth coil is arranged from the first coil. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along one direction as a rotation axis. At this time, the driven part is connected to the second base part via the second elastic part. For this reason, the driven part rotates about the axis along the one direction as the rotation axis by the rotation of the second base part with the axis along the one direction as the rotation axis.
　＜７＞
　本実施形態の駆動装置の他の態様では、前記被駆動部を前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、前記一の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第２コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、前記一の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第３コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、前記他の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第３コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、前記他の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第２コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生する。 <7>
In another aspect of the driving apparatus of the present embodiment, when the driven part is rotated with the axis along the one direction as a rotation axis, the first coils arranged along the one direction. The Lorentz force is generated in the second coil so that the Lorentz force generated in the first coil is the same as the Lorentz force generated in the second coil. The fourth coil and the third coil arranged in this manner have a Lorentz force so that the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil. The first coil and the third coil that are generated and arranged along the other direction have a direction of Lorentz force generated in the first coil and a direction of Lorentz force generated in the third coil. The Lorentz force is generated so that the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is the second coil and the second coil arranged along the other direction. The Lorentz force is generated so as to be opposite to the direction of the Lorentz force generated at.
　この態様によれば、一の方向に沿った軸を回転軸として被駆動部を回転させる場合には、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として一方側に配置されている第１コイル及び第２コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向と、一の方向に沿った被駆動部の回転軸を基準として他方側に配置されている第３コイル及び第４コイルの夫々に発生するローレンツ力の方向とを逆にすることができる。この場合には、第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力は、第１コイルから第４コイルが配置される第２ベース部に対して、一の方向に沿った軸を回転軸として第２ベース部を回転させる力として作用する。その結果、第２ベース部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。このとき、被駆動部は、第２弾性部を介して第２ベース部と接続されている。このため、一の方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース部の回転によって、被駆動部は、一の方向に沿った軸を回転軸として回転する。 According to this aspect, when the driven part is rotated about the axis along one direction as the rotation axis, the first part arranged on one side with respect to the rotation axis of the driven part along the one direction. The direction of the Lorentz force generated in each of the first coil and the second coil, and the third coil and the fourth coil arranged on the other side with respect to the rotation axis of the driven part along one direction, respectively. The direction of the Lorentz force can be reversed. In this case, the Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil is the second rotation with the axis along one direction as the rotation axis with respect to the second base portion where the fourth coil is arranged from the first coil. 2 Acts as a force to rotate the base. As a result, the second base portion rotates with an axis along one direction as a rotation axis. At this time, the driven part is connected to the second base part via the second elastic part. For this reason, the driven part rotates about the axis along the one direction as the rotation axis by the rotation of the second base part with the axis along the one direction as the rotation axis.
　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。 Such an operation and other advantages of the present embodiment will be clarified from examples described below.
　以上説明したように、本実施形態の駆動装置によれば、第１ベース部と、第２ベース部と、第１弾性部と、コイル部の巻き線の外側に配置される被駆動部と、第２弾性部と、コイル部と、磁界付与部とを備え、コイル部は、第１コイルから第４コイルを備えており、第１コイルと第４コイルとは、共通の第１制御電流が供給されるように電気的に接続されており、第２コイルと第３コイルとは、共通の第２制御電流が供給されるように電気的に接続されている。従って、コイル部と磁界付与部とを用いて被駆動物を好適に駆動することができる。 As described above, according to the driving device of the present embodiment, the first base portion, the second base portion, the first elastic portion, and the driven portion disposed outside the winding of the coil portion, A second elastic portion, a coil portion, and a magnetic field applying portion; the coil portion includes first to fourth coils; and the first coil and the fourth coil have a common first control current. The second coil and the third coil are electrically connected so that a common second control current is supplied. Therefore, the driven object can be suitably driven using the coil part and the magnetic field application part.
　以下、図面を参照しながら、駆動装置の実施例について説明する。尚、以下では、駆動装置をＭＥＭＳスキャナに適用した例について説明する。 Hereinafter, embodiments of the drive device will be described with reference to the drawings. In the following, an example in which the driving device is applied to a MEMS scanner will be described.
　（１）ＭＥＭＳスキャナの構成
　初めに、図１を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成について説明する。ここに、図１は、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の構成を概念的に示す平面図である。 (1) Configuration of MEMS Scanner First, the configuration of the MEMS scanner 101 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a plan view conceptually showing the structure of the MEMS scanner 101 according to this embodiment.
　図１に示すように、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１ベース１１０－１と、第１トーションバー１２０ａ－１と、第１トーションバー１２０ｂ－１と、第２ベース１１０－２と、第２トーションバー１２０ａ－２と、第２トーションバー１２０ｂ－２と、ミラー１３０と、第１コイル１４０ａと、第２コイル１４０ｂと、第３コイル１４０ｃと、第４コイル１４０ｄと、第１磁石１５１ａから１５３ａと、第２磁石１５１ｂから１５３ｂと、第３磁石１５１ｃから１５３ｃと、第４磁石１５１ｄから１５３ｄとを備えている。 As shown in FIG. 1, the MEMS scanner 101 according to this embodiment includes a first base 110-1, a first torsion bar 120a-1, a first torsion bar 120b-1, and a second base 110-2. The second torsion bar 120a-2, the second torsion bar 120b-2, the mirror 130, the first coil 140a, the second coil 140b, the third coil 140c, the fourth coil 140d, and the first magnet 151a to 153a, second magnets 151b to 153b, third magnets 151c to 153c, and fourth magnets 151d to 153d.
　第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第１ベース１１０－１は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向（つまり、Ｙ軸方向に直交する方向）に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第１ベース１１０－１は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。また、第１ベース１１０－１は、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の基礎となる構造体であって、不図示の基板ないしは支持部材に対して固定されている（言い換えれば、ＭＥＭＳスキャナ１０１という系の内部においては固定されている）ことが好ましい。或いは、第１ベース１１０－１は、不図示のサスペンション等によって吊り下げられていてもよい。 The first base 110-1 has a frame shape with a gap inside. That is, the first base 110-1 has two sides extending in the Y-axis direction in FIG. 1 and two sides extending in the X-axis direction (that is, a direction orthogonal to the Y-axis direction) in FIG. And has a frame shape having a gap surrounded by two sides extending in the Y-axis direction and two sides extending in the X-axis direction. In the example shown in FIG. 1, the first base 110-1 has a square shape. However, the first base 110-1 is not limited to this, and other shapes (for example, a rectangular shape such as a rectangle or a circular shape) Shape etc.). The first base 110-1 is a structure that is the basis of the MEMS scanner 101 according to this embodiment, and is fixed to a substrate or a support member (not shown) (in other words, the MEMS scanner 101). It is preferably fixed inside the system). Alternatively, the first base 110-1 may be suspended by a suspension (not shown) or the like.
　尚、図１では、第１ベース１１０－１が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第１ベース１１０－１は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第１ベース１１０－１は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第１ベース１１０－１は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第１ベース１１０－１の形状を任意に代えてもよい。 Although FIG. 1 shows an example in which the first base 110-1 has a frame shape, it goes without saying that the first base 110-1 may have other shapes. For example, the first base 110-1 may have a U-shape in which a part of the first base 110-1 is an opening. Alternatively, for example, the first base 110-1 may have a box shape with a gap inside. That is, the first base 110-1 is orthogonal to the two surfaces distributed on the plane defined by the X axis and the Y axis, and the Z axis (not shown) (that is, both the X axis and the Y axis). 2 planes distributed on a plane defined by the axis) and two planes distributed on a plane defined by the Y axis and a Z axis (not shown) and surrounded by these 6 planes You may have the box shape which has a space | gap. Alternatively, the shape of the first base 110-1 may be arbitrarily changed according to the manner in which the mirror 130 is disposed.
　第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、図１中Ｘ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する長手を有すると共にＹ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々は、Ｘ軸方向に延伸する短手を有すると共にＹ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の一方の端部は、第１ベース１１０－１に接続される。第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の夫々の他方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。つまり、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１は、間に第２ベース１１０－２を挟み込むように第２ベース１１０－２を吊り下げている。 Each of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 is an elastic member such as a spring made of, for example, silicon, copper alloy, iron alloy, other metal, resin, or the like. Each of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 is disposed so as to extend in the X-axis direction in FIG. In other words, each of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 has a shape having a long side extending in the X-axis direction and a short side extending in the Y-axis direction. However, each of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 has a shape having a short side extending in the X-axis direction and a long side extending in the Y-axis direction depending on the setting state of the resonance frequency described later. You may have. One end of each of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 is connected to the first base 110-1. The other ends of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 are connected to the second base 110-2. In other words, the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 suspend the second base 110-2 so as to sandwich the second base 110-2 therebetween.
　第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える枠形状を有している。つまり、第２ベース１１０－２は、図１中のＹ軸方向に延伸する２つの辺と図１中のＸ軸方向に延伸する２つの辺とを有すると共に、Ｙ軸方向に延伸する２つの辺とＸ軸方向に延伸する２つの辺とによって取り囲まれた空隙を有する枠形状を有している。図１に示す例では、第２ベース１１０－２は、正方形の形状を有しているが、これに限定されることはなく、例えばその他の形状（例えば、長方形等の矩形の形状や円形の形状等）を有していてもよい。 The second base 110-2 has a frame shape with a gap inside. That is, the second base 110-2 has two sides extending in the Y-axis direction in FIG. 1 and two sides extending in the X-axis direction in FIG. It has a frame shape having a gap surrounded by the side and two sides extending in the X-axis direction. In the example shown in FIG. 1, the second base 110-2 has a square shape. However, the second base 110-2 is not limited to this. For example, the second base 110-2 has other shapes (for example, a rectangular shape such as a rectangle or a circular shape). Shape etc.).
　また、第２ベース１１０－２は、第１ベース１１０－１の内部の空隙に、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。第２ベース１１０－２は、第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１の弾性によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。 Also, the second base 110-2 is arranged to be suspended or supported by the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 in the gap inside the first base 110-1. The second base 110-2 is configured to rotate about the axis along the X-axis direction by the elasticity of the first torsion bars 120a-1 and 120b-1.
　尚、図１では、第２ベース１１０－２が枠形状を有している例を示しているが、その他の形状を有していてもよいことは言うまでもない。例えば、第２ベース１１０－２は、その一部の辺が開口となるコの字型形状を有していてもよい。或いは、例えば、第２ベース１１０－２は、内部に空隙を備える箱型形状を有していてもよい。つまり、第２ベース１１０－２は、Ｘ軸及びＹ軸によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｘ軸及び不図示のＺ軸（つまり、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交する軸）によって規定される平面上に分布する２つの面と、Ｙ軸及び不図示のＺ軸によって規定される平面上に分布する２つの面とを有すると共に、これらの６つの面によって取り囲まれた空隙を有する箱形状を有していてもよい。或いは、ミラー１３０が配置される態様に応じて適宜第２ベース１１０－２の形状を任意に代えてもよい。 Although FIG. 1 shows an example in which the second base 110-2 has a frame shape, it goes without saying that the second base 110-2 may have other shapes. For example, the second base 110-2 may have a U-shape in which a part of the second base 110-2 is an opening. Alternatively, for example, the second base 110-2 may have a box shape with a gap inside. That is, the second base 110-2 is orthogonal to the two surfaces distributed on the plane defined by the X axis and the Y axis, and the Z axis (not shown) (that is, both the X axis and the Y axis). 2 planes distributed on a plane defined by the axis) and two planes distributed on a plane defined by the Y axis and a Z axis (not shown) and surrounded by these 6 planes You may have the box shape which has a space | gap. Alternatively, the shape of the second base 110-2 may be arbitrarily changed according to the manner in which the mirror 130 is disposed.
　第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、例えばシリコン、銅合金、鉄系合金、その他金属、樹脂等を材料とするバネ等のような弾性を有する部材である。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、図１中Ｙ軸方向に延伸するように配置される。言い換えれば、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する長手を有すると共にＸ軸方向に延伸する短手を有する形状を有している。但し、後述する共振周波数の設定状況に応じて、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々は、Ｙ軸方向に延伸する短手を有すると共にＸ軸方向に延伸する長手を有する形状を有していてもよい。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の一方の端部は、第２ベース１１０－２に接続される。第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の夫々の他方の端部は、ミラー１３０に接続される。つまり、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２は、間にミラー１３０を挟み込むようにミラー１３０を吊り下げている。 Each of the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 is a member having elasticity such as a spring made of, for example, silicon, copper alloy, iron alloy, other metal, resin, or the like. Each of second torsion bars 120a-2 and 120b-2 is arranged to extend in the Y-axis direction in FIG. In other words, each of the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 has a shape having a long side extending in the Y-axis direction and a short side extending in the X-axis direction. However, each of the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 has a shape having a short side extending in the Y-axis direction and a long side extending in the X-axis direction, depending on the setting state of the resonance frequency described later. You may have. One end of each of the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 is connected to the second base 110-2. The other ends of the second torsion bars 120 a-2 and 120 b-2 are connected to the mirror 130. That is, the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 suspend the mirror 130 so as to sandwich the mirror 130 therebetween.
　ミラー１３０は、第２ベース１１０－２の内部の空隙に、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２によって吊り下げられる又は支持されるように配置される。ミラー１３０は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２の弾性によって、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように構成されている。 The mirror 130 is arranged to be suspended or supported by the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 in the gap inside the second base 110-2. The mirror 130 is configured to rotate about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis by the elasticity of the second torsion bars 120a-2 and 120b-2.
　第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）から構成される複数の巻き線である。本実施例では、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、矩形の形状を有している。但し、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、任意の形状（例えば、正方形や長方形やひし形や平行四辺形や円形や楕円形やその他の任意のループ形状）を有していてもよい。 Each of the first coil 140a to the fourth coil 140d is a plurality of windings made of, for example, a material having relatively high conductivity (for example, gold or copper). In the present embodiment, each of the first coil 140a to the fourth coil 140d has a rectangular shape. However, each of the first coil 140a to the fourth coil 140d may have an arbitrary shape (for example, a square, a rectangle, a rhombus, a parallelogram, a circle, an ellipse, or any other loop shape). .
　第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、第２ベース１１０－２上に配置されている。特に、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々を構成する巻き線の外側にミラー１３０が位置するように、第２ベース１１０－２上に配置されることが好ましい。言い換えれば、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々は、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々を構成する巻き線の内側にミラー１３０が位置しないように、第２ベース１１０－２上に配置されることが好ましい。 Each of the first coil 140a to the fourth coil 140d is disposed on the second base 110-2. In particular, each of the first coil 140a to the fourth coil 140d is placed on the second base 110-2 such that the mirror 130 is positioned outside the windings constituting each of the first coil 140a to the fourth coil 140d. Preferably they are arranged. In other words, each of the first coil 140a to the fourth coil 140d is arranged on the second base 110-2 so that the mirror 130 is not positioned inside the windings constituting the first coil 140a to the fourth coil 140d. It is preferable to arrange | position.
　第１コイル１４０ａは、第２コイル１４０ｂとの間で、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第１コイル１４０ａは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸が第１コイル１４０ａと第２コイル１４０ｂとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第１コイル１４０ａは、第３コイル１４０ｃとの間で、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第１コイル１４０ａは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸が第１コイル１４０ａと第３コイル１４０ｃとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第１コイル１４０ａは、ミラー１３０の対角方向（言い換えれば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交わる斜め方向）に沿って、第４コイル１４０ｄとの間でミラー１３０を挟み込む位置に配置される。 The first coil 140a is arranged at a position sandwiching the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction with the second coil 140b. In other words, the first coil 140a is disposed at a position where the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction exists between the first coil 140a and the second coil 140b. In addition, the first coil 140a is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction with the third coil 140c. In other words, the first coil 140a is disposed at such a position that the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction exists between the first coil 140a and the third coil 140c. In addition, the first coil 140a is located between the fourth coil 140d and the fourth coil 140d along the diagonal direction of the mirror 130 (in other words, the oblique direction intersecting both the X-axis direction and the Y-axis direction). Placed in.
　このとき、第１コイル１４０ａは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を基準として、第２コイル１４０ｂと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第１コイル１４０ａとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離は、第２コイル１４０ｂとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第１コイル１４０ａは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、第３コイル１４０ｃと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第１コイル１４０ａとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離は、第３コイル１４０ｃとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第１コイル１４０ａは、ミラー１３０の中心を基準として、第４コイル１４０ｄと点対称な位置に配置されてもよい。つまり、第１コイル１４０ａとミラー１３０との間の距離は、第４コイル１４０ｄとミラー１３０との間の距離と等しくなっていてもよい。 At this time, the first coil 140a may be disposed at a position symmetrical to the second coil 140b with respect to the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. In other words, the distance between the first coil 140a and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction is equal to the rotation distance of the second coil 140b and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. May be equal to the distance between. In addition, the first coil 140a may be disposed at a position symmetrical to the third coil 140c with respect to the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. That is, the distance between the first coil 140a and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction is equal to the distance between the third coil 140c and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. May be. In addition, the first coil 140a may be disposed at a point-symmetrical position with respect to the fourth coil 140d with respect to the center of the mirror 130. That is, the distance between the first coil 140a and the mirror 130 may be equal to the distance between the fourth coil 140d and the mirror 130.
　第２コイル１４０ｂは、第１コイル１４０ａとの間で、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第２コイル１４０ｂは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸が第２コイル１４０ｂと第１コイル１４０ａとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第２コイル１４０ｂは、第４コイル１４０ｄとの間で、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第２コイル１４０ｂは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸が第２コイル１４０ｂと第４コイル１４０ｄとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第２コイル１４０ｂは、ミラー１３０の対角方向（言い換えれば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交わる斜め方向）に沿って、第３コイル１４０ｃとの間でミラー１３０を挟み込む位置に配置される。 The second coil 140b is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction with the first coil 140a. In other words, the second coil 140b is disposed at a position where the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction exists between the second coil 140b and the first coil 140a. In addition, the second coil 140b is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction with the fourth coil 140d. In other words, the second coil 140b is disposed at such a position that the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction exists between the second coil 140b and the fourth coil 140d. In addition, the second coil 140b is located between the third coil 140c and the third coil 140c along the diagonal direction of the mirror 130 (in other words, the oblique direction intersecting both the X-axis direction and the Y-axis direction). Arranged.
　このとき、第２コイル１４０ｂは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を基準として、第１コイル１４０ａと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第２コイル１４０ｂとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離は、第１コイル１４０ａとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第２コイル１４０ｂは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、第４コイル１４０ｄと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第２コイル１４０ｂとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離は、第４コイル１４０ｄとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第２コイル１４０ｂは、ミラー１３０の中心を基準として、第３コイル１４０ｃと点対称な位置に配置されてもよい。つまり、第２コイル１４０ｂとミラー１３０との間の距離は、第３コイル１４０ｃとミラー１３０との間の距離と等しくなっていてもよい。 At this time, the second coil 140b may be disposed at a position symmetrical to the first coil 140a with respect to the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. That is, the distance between the second coil 140b and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction is the same as the distance between the first coil 140a and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. May be equal to the distance between. In addition, the second coil 140b may be disposed at a position symmetrical to the fourth coil 140d with respect to the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. That is, the distance between the second coil 140b and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction is equal to the distance between the fourth coil 140d and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. May be. In addition, the second coil 140b may be disposed at a point-symmetrical position with respect to the third coil 140c with respect to the center of the mirror 130. That is, the distance between the second coil 140b and the mirror 130 may be equal to the distance between the third coil 140c and the mirror 130.
　第３コイル１４０ｃは、第４コイル１４０ｄとの間で、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第３コイル１４０ｃは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸が第３コイル１４０ｃと第４コイル１４０ｄとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第３コイル１４０ｃは、第１コイル１４０ａとの間で、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第３コイル１４０ｃは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸が第３コイル１４０ｂと第１コイル１４０ａとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第３コイル１４０ｃは、ミラー１３０の対角方向（言い換えれば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交わる斜め方向）に沿って、第２コイル１４０ｂとの間でミラー１３０を挟み込む位置に配置される。 The third coil 140c is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction with the fourth coil 140d. In other words, the third coil 140c is disposed at a position where the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction exists between the third coil 140c and the fourth coil 140d. In addition, the third coil 140c is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction with the first coil 140a. In other words, the third coil 140c is disposed at a position where the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction exists between the third coil 140b and the first coil 140a. In addition, the third coil 140c sandwiches the mirror 130 with the second coil 140b along the diagonal direction of the mirror 130 (in other words, the oblique direction intersecting both the X-axis direction and the Y-axis direction). Placed in.
　このとき、第３コイル１４０ｃは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を基準として、第４コイル１４０ｄと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第３コイル１４０ｃとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離は、第４コイル１４０ｄとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第３コイル１４０ｃは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、第１コイル１４０ａと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第３コイル１４０ｃとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離は、第１コイル１４０ａとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第３コイル１４０ｃは、ミラー１３０の中心を基準として、第２コイル１４０ｂと点対称な位置に配置されてもよい。つまり、第３コイル１４０ｃとミラー１３０との間の距離は、第２コイル１４０ｂとミラー１３０との間の距離と等しくなっていてもよい。 At this time, the third coil 140c may be disposed at a position symmetrical to the fourth coil 140d with respect to the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. That is, the distance between the third coil 140c and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction is equal to the rotation distance of the fourth coil 140d and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. May be equal to the distance between. In addition, the third coil 140c may be disposed at a position symmetrical to the first coil 140a with respect to the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. That is, the distance between the third coil 140c and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction is equal to the distance between the first coil 140a and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. May be. In addition, the third coil 140c may be disposed at a point-symmetrical position with respect to the second coil 140b with respect to the center of the mirror 130. That is, the distance between the third coil 140c and the mirror 130 may be equal to the distance between the second coil 140b and the mirror 130.
　第４コイル１４０ｄは、第３コイル１４０ｃとの間で、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第４コイル１４０ｄは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸が第４コイル１４０ｄと第３コイル１４０ｃとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第４コイル１４０ｄは、第２コイル１４０ｂとの間で、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を挟み込む位置に配置される。言い換えれば、第４コイル１４０ｄは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸が第２コイル１４０ｄと第２コイル１４０ｂとの間に存在するような位置に配置される。加えて、第４コイル１４０ｄは、ミラー１３０の対角方向（言い換えれば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交わる斜め方向）に沿って、第１コイル１４０ａとの間でミラー１３０を挟み込む位置に配置される。 The fourth coil 140d is arranged at a position sandwiching the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction with the third coil 140c. In other words, the fourth coil 140d is disposed at a position where the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction exists between the fourth coil 140d and the third coil 140c. In addition, the fourth coil 140d is disposed at a position sandwiching the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction with the second coil 140b. In other words, the fourth coil 140d is arranged at a position where the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction exists between the second coil 140d and the second coil 140b. In addition, the fourth coil 140d is located between the first coil 140a and the first coil 140a along the diagonal direction of the mirror 130 (in other words, the oblique direction intersecting both the X-axis direction and the Y-axis direction). Placed in.
　このとき、第４コイル１４０ｄは、Ｘ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸を基準として、第３コイル１４０ｃと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第４コイル１４０ｄとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離は、第３コイル１４０ｃとＸ軸方向に沿った第２ベース１１０－２の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第４コイル１４０ｄは、Ｙ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸を基準として、第２コイル１４０ｂと線対称な位置に配置されてもよい。つまり、第４コイル１４０ｄとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離は、第２コイル１４０ｂとＹ軸方向に沿ったミラー１３０の回転軸との間の距離と等しくなっていてもよい。加えて、第４コイル１４０ｄは、ミラー１３０の中心を基準として、第１コイル１４０ａと点対称な位置に配置されてもよい。つまり、第４コイル１４０ｄとミラー１３０との間の距離は、第１コイル１４０ａとミラー１３０との間の距離と等しくなっていてもよい。 At this time, the fourth coil 140d may be disposed at a position symmetrical to the third coil 140c with respect to the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. That is, the distance between the fourth coil 140d and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction is equal to the rotation distance of the third coil 140c and the rotation axis of the second base 110-2 along the X-axis direction. May be equal to the distance between. In addition, the fourth coil 140d may be disposed at a position symmetrical to the second coil 140b with respect to the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. That is, the distance between the fourth coil 140d and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction is equal to the distance between the second coil 140b and the rotation axis of the mirror 130 along the Y-axis direction. May be. In addition, the fourth coil 140d may be arranged at a point-symmetrical position with respect to the first coil 140a with respect to the center of the mirror 130. That is, the distance between the fourth coil 140d and the mirror 130 may be equal to the distance between the first coil 140a and the mirror 130.
　このような第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの配置のパターンとしては、以下のパターンが例示される。具体的には、ミラー１３０を中心として、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄがマトリクス状に配置されるパターンが例示される。或いは、ミラー１３０を中心とする仮想的な座標平面であって且つ図１中のＸ軸及びＹ軸から規定される仮想的な座標平面上において、第１象限に第１コイル１４０ａが配置され、第４象限に第２コイル１４０ｂが配置され、第２象限に第３コイル１４０ｃが配置され、第３象限に第４コイル１４０ｄが配置されるパターンが例示される。 The following patterns are exemplified as the arrangement pattern of the first coil 140a to the fourth coil 140d. Specifically, a pattern in which the first coil 140a to the fourth coil 140d are arranged in a matrix around the mirror 130 is exemplified. Alternatively, the first coil 140a is arranged in the first quadrant on a virtual coordinate plane centered on the mirror 130 and on a virtual coordinate plane defined by the X axis and the Y axis in FIG. Examples include a pattern in which the second coil 140b is arranged in the fourth quadrant, the third coil 140c is arranged in the second quadrant, and the fourth coil 140d is arranged in the third quadrant.
　第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄには、第１ベース１１０－１上に形成されている第１電源端子１７１及び１７２を介して、制御電流供給回路１６０から、ミラー１３０及び第２ベース１１０－２を回転させるための第１制御電流が供給される。このとき、第１コイル１４０ａと第４コイル１４０ｄとは、同一の第１制御電流が供給されるように、電気的に接続されている。つまり、第１制御電流が供給される第１電源端子１７１とグランド端子に相当する第１電源端子１７２との間で、第１コイル１４０ａと第４コイル１４０ｄとは、直列に若しくは並列に又はその他の態様で接続されている。 The first coil 140a and the fourth coil 140d are connected to the mirror 130 and the second base 110- from the control current supply circuit 160 via the first power supply terminals 171 and 172 formed on the first base 110-1. A first control current for rotating 2 is supplied. At this time, the first coil 140a and the fourth coil 140d are electrically connected so that the same first control current is supplied. That is, between the first power supply terminal 171 to which the first control current is supplied and the first power supply terminal 172 corresponding to the ground terminal, the first coil 140a and the fourth coil 140d are connected in series, in parallel, or otherwise. Are connected in a manner.
　第１制御電流は、典型的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分及びＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分の双方を含む交流電流である。尚、以下の説明では、説明の便宜上、第１制御電流のうちＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分を、“Ｙ軸駆動用制御電流”と称する。同様に、制御電流のうちＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分を、“Ｘ軸駆動用制御電流”と称する。 The first control current typically has a signal component having a frequency that is the same as or synchronized with the frequency of rotation of the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction and the axis along the X-axis direction as the rotation axis. The AC current includes both signal components having the same or synchronized frequency as the rotation frequency of the second base 110-2. In the following description, for convenience of description, a current component for rotating the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction as the rotation axis in the first control current is referred to as “Y-axis drive control current”. Similarly, a current component for rotating the second base 110-2 with the axis along the X-axis direction as the rotation axis in the control current is referred to as “X-axis drive control current”.
　第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃには、第１ベース１１０－１上に形成されている第２電源端子１７３及び１７４を介して、制御電流供給回路１６０から、ミラー１３０及び第２ベース１１０－２を回転させるための第２制御電流が供給される。このとき、第２コイル１４０ｂと第３コイル１４０ｃとは、同一の第２制御電流が供給されるように、電気的に接続されている。つまり、第２制御電流が供給される第２電源端子１７３とグランド端子に相当する第２電源端子１７４との間で、第２コイル１４０ｂと第３コイル１４０ｃとは、直列に若しくは並列に又はその他の態様で接続されている。 The second coil 140b and the third coil 140c are connected to the mirror 130 and the second base 110- from the control current supply circuit 160 via the second power supply terminals 173 and 174 formed on the first base 110-1. A second control current for rotating 2 is supplied. At this time, the second coil 140b and the third coil 140c are electrically connected so that the same second control current is supplied. That is, between the second power supply terminal 173 to which the second control current is supplied and the second power supply terminal 174 corresponding to the ground terminal, the second coil 140b and the third coil 140c are connected in series, in parallel, or otherwise. Are connected in a manner.
　第２制御電流は、典型的には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分及びＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分の双方を含む交流電流である。尚、以下の説明では、説明の便宜上、第２制御電流のうちＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための電流成分を、“Ｙ軸駆動用制御電流”と称する。同様に、制御電流のうちＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための電流成分を、“Ｘ軸駆動用制御電流”と称する。 The second control current typically has a signal component having a frequency that is the same as or synchronized with the frequency of rotation of the mirror 130 with the axis along the Y-axis direction as the rotation axis and the axis along the X-axis direction as the rotation axis. The AC current includes both signal components having the same or synchronized frequency as the rotation frequency of the second base 110-2. In the following description, for convenience of description, a current component for rotating the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction as the rotation axis in the second control current is referred to as “Y-axis drive control current”. Similarly, a current component for rotating the second base 110-2 with the axis along the X-axis direction as the rotation axis in the control current is referred to as “X-axis drive control current”.
　第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ｃは、第１磁石１５１ａと第１磁石１５２ａと第１磁石１５３ｃとがＸ軸方向に沿って配列されているように配置される。特に、第１磁石１５１ａ及び１５２ａは、Ｘ軸方向に沿って対向する第１コイル１４０ａの２つの辺のうちの一方の辺（図１中の左側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。同様に、第１磁石１５２ａ及び１５３ａは、Ｘ軸方向に沿って対向する第１コイル１４０ａの２つの辺のうちの他方の辺（図１中の右側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。但し、第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ｃは、第１コイル１４０ａに対して所望の磁界を付与することができる限りは、どのような態様で配置されてもよい。 The first magnet 151a to the first magnet 153c are arranged such that the first magnet 151a, the first magnet 152a, and the first magnet 153c are arranged along the X-axis direction. In particular, the first magnets 151a and 152a sandwich one side (the left side in FIG. 1) of the two sides of the first coil 140a facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Placed in. Similarly, the first magnets 152a and 153a sandwich the other side (the right side in FIG. 1) of the two sides of the first coil 140a facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Are arranged as follows. However, the first magnet 151a to the first magnet 153c may be arranged in any manner as long as a desired magnetic field can be applied to the first coil 140a.
　第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂは、第２磁石１５１ｂと第２磁石１５２ｂと第２磁石１５３ｂとがＸ軸方向に沿って配列されているように配置される。特に、第２磁石１５１ｂ及び１５２ｂは、Ｘ軸方向に沿って対向する第２コイル１４０ｂの２つの辺のうちの一方の辺（図１中の左側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。同様に、第２磁石１５２ｂ及び１５３ｂは、Ｘ軸方向に沿って対向する第２コイル１４０ｂの２つの辺のうちの他方の辺（図１中の右側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。但し、第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂは、第２コイル１４０ｂに対して所望の磁界を付与することができる限りは、どのような態様で配置されてもよい。 The second magnet 151b to the second magnet 153b are arranged such that the second magnet 151b, the second magnet 152b, and the second magnet 153b are arranged along the X-axis direction. In particular, the second magnets 151b and 152b sandwich one side (the left side in FIG. 1) of the two sides of the second coil 140b facing in the X-axis direction along the X-axis direction. Placed in. Similarly, the second magnets 152b and 153b sandwich the other side (the right side in FIG. 1) of the two sides of the second coil 140b facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Are arranged as follows. However, the second magnet 151b to the second magnet 153b may be arranged in any manner as long as a desired magnetic field can be applied to the second coil 140b.
　第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃは、第３磁石１５１ｃと第３磁石１５２ｃと第３磁石１５３ｃとがＸ軸方向に沿って配列されているように配置される。特に、第３磁石１５１ｃ及び１５２ｃは、Ｘ軸方向に沿って対向する第３コイル１４０ｃの２つの辺のうちの一方の辺（図１中の左側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。同様に、第３磁石１５２ｃ及び１５３ｃは、Ｘ軸方向に沿って対向する第３コイル１４０ｃの２つの辺のうちの他方の辺（図１中の右側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。但し、第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃは、第３コイル１４０ｃに対して所望の磁界を付与することができる限りは、どのような態様で配置されてもよい。 The third magnet 151c to the third magnet 153c are arranged such that the third magnet 151c, the third magnet 152c, and the third magnet 153c are arranged along the X-axis direction. In particular, the third magnets 151c and 152c sandwich one side (the left side in FIG. 1) of the two sides of the third coil 140c facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Placed in. Similarly, the third magnets 152c and 153c sandwich the other side (the right side in FIG. 1) of the two sides of the third coil 140c facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Are arranged as follows. However, the third magnet 151c to the third magnet 153c may be arranged in any manner as long as a desired magnetic field can be applied to the third coil 140c.
　第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄは、第４磁石１５１ｄと第４磁石１５２ｄと第４磁石１５３ｄとがＸ軸方向に沿って配列されているように配置される。特に、第４磁石１５１ｄ及び１５２ｄは、Ｘ軸方向に沿って対向する第４コイル１４０ｄの２つの辺のうちの一方の辺（図１中の左側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。同様に、第４磁石１５２ｄ及び１５３ｄは、Ｘ軸方向に沿って対向する第４コイル１４０ｄの２つの辺のうちの他方の辺（図１中の右側の辺）をＸ軸方向に沿って挟み込むように配置される。但し、第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄは、第４コイル１４０ｄに対して所望の磁界を付与することができる限りは、どのような態様で配置されてもよい。 The fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d are arranged such that the fourth magnet 151d, the fourth magnet 152d, and the fourth magnet 153d are arranged along the X-axis direction. In particular, the fourth magnets 151d and 152d sandwich one side (the left side in FIG. 1) of the two sides of the fourth coil 140d facing in the X-axis direction along the X-axis direction. Placed in. Similarly, the fourth magnets 152d and 153d sandwich the other side (the right side in FIG. 1) of the two sides of the fourth coil 140d facing each other along the X-axis direction along the X-axis direction. Are arranged as follows. However, the fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d may be arranged in any manner as long as a desired magnetic field can be applied to the fourth coil 140d.
　第１コイル１４０ａには、当該第１コイル１４０ａに供給される第１制御電流と第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ａから付与される磁界との間の電磁相互作用に起因して、ローレンツ力が発生する。同様に、第２コイル１４０ｂには、当該第２コイル１４０ｂに供給される第２制御電流と第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂから付与される磁界との間の電磁相互作用に起因して、ローレンツ力が発生する。同様に、第３コイル１４０ｃには、当該第３コイル１４０ｃに供給される第２制御電流と第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃから付与される磁界との間の電磁相互作用に起因して、ローレンツ力が発生する。同様に、第４コイル１４０ｄには、当該第４コイル１４０ｄに供給される第１制御電流と第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄから付与される磁界との間の電磁相互作用に起因して、ローレンツ力が発生する。これらのローレンツ力によって、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２が回転すると共に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する。 The Lorentz force is applied to the first coil 140a due to electromagnetic interaction between the first control current supplied to the first coil 140a and the magnetic field applied from the first magnet 151a to the first magnet 153a. appear. Similarly, the second coil 140b has an electromagnetic interaction between the second control current supplied to the second coil 140b and the magnetic field applied from the second magnet 151b to the second magnet 153b. Lorentz force is generated. Similarly, the third coil 140c has an electromagnetic interaction between the second control current supplied to the third coil 140c and the magnetic field applied from the third magnet 151c to the third magnet 153c. Lorentz force is generated. Similarly, the fourth coil 140d has an electromagnetic interaction between the first control current supplied to the fourth coil 140d and the magnetic field applied from the fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d. Lorentz force is generated. By these Lorentz forces, the second base 110-2 rotates with the axis along the X-axis direction as the rotation axis, and the mirror 130 rotates with the axis along the Y-axis direction as the rotation axis.
　（２）第１コイルから第４コイルに発生するローレンツ力
　続いて、図２から図３を参照して、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々に発生するローレンツ力について説明する。図２は、第１制御電流の供給に起因して第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々に発生するローレンツ力を示す平面図である。図３は、第２制御電流の供給に起因して第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々に発生するローレンツ力を示す平面図である。 (2) Lorentz force generated from the first coil to the fourth coil Next, the Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a plan view showing the Lorentz force generated in each of the first coil 140a and the fourth coil 140d due to the supply of the first control current. FIG. 3 is a plan view showing the Lorentz force generated in each of the second coil 140b and the third coil 140c due to the supply of the second control current.
　図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、ミラー１３０の対角方向に沿って配列されている第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｂには、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と、第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向とは逆になるように、ローレンツ力が発生する。より具体的には、同一の第１制御電流が第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々に供給された場合には、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と、第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向とは逆になる。言い換えれば、第１制御電流に起因して第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と同一の第１制御電流に起因して第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向とが逆になるように、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々の巻き線の方向（言い換えれば、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々を流れる第１制御電流の方向）や、第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ａによって付与される磁界の方向や、第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄによって付与される磁界の方向等が調整されていることが好ましい。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the Lorentz force generated in the first coil 140a is applied to the first coil 140a and the fourth coil 140b arranged along the diagonal direction of the mirror 130. The Lorentz force is generated so that the direction of is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d. More specifically, when the same first control current is supplied to each of the first coil 140a and the fourth coil 140d, the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a and the fourth coil 140d The direction of the generated Lorentz force is opposite. In other words, the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a due to the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d due to the same first control current. In addition, the direction of each winding of the first coil 140a and the fourth coil 140d (in other words, the direction of the first control current flowing through each of the first coil 140a and the fourth coil 140d) and the first magnet 151a to the first coil It is preferable that the direction of the magnetic field applied by the first magnet 153a, the direction of the magnetic field applied by the fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d, and the like are adjusted.
　図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す例では、第１コイル１４０ａの巻き線の方向と第４コイル１４０ｄの巻き線の方向とは逆になっている。具体的には、例えば、第１コイル１４０ａの巻き線は、正極性の（例えば、ゼロレベルないしはリファレンスレベルよりも電流値が大きい）第１制御電流が第１コイル１４０ａに供給された場合に当該第１制御電流が時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。言い換えれば、第１コイル１４０ａの巻き線は、負極性の（例えば、ゼロレベルないしはリファレンスレベルよりも電流値が小さい）第１制御電流が第１コイル１４０ａに供給された場合に当該第１制御電流が反時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。他方で、第４コイル１４０ｄの巻き線は、正極性の第１制御電流が第４コイル１４０ｄに供給された場合に当該第１制御電流が反時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。言い換えれば、第４コイル１４０ｄの巻き線は、負極性の第１制御電流が第４コイル１４０ｄに供給された場合に当該第１制御電流が時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。 2A and 2B, the winding direction of the first coil 140a is opposite to the winding direction of the fourth coil 140d. Specifically, for example, the winding of the first coil 140a is applied when a first control current having a positive polarity (for example, a current value larger than zero level or reference level) is supplied to the first coil 140a. It is wound in such a direction that the first control current flows in the clockwise direction. In other words, the winding of the first coil 140a is negative when the first control current is supplied to the first coil 140a when the first control current having a negative polarity (for example, a current value smaller than the zero level or the reference level) is supplied to the first coil 140a. Is wound in a direction that flows in a counterclockwise direction. On the other hand, the winding of the fourth coil 140d is wound in such a direction that the first control current flows in the counterclockwise direction when the positive first control current is supplied to the fourth coil 140d. It has been. In other words, the winding of the fourth coil 140d is wound in such a direction that when the negative first control current is supplied to the fourth coil 140d, the first control current flows in the clockwise direction. ing.
　加えて、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す例では、第１磁石１５１ａから第１磁石１５２ａに向かう磁界及び第１磁石１５３ａから第１磁石１５２ａに向かう磁界が、第１コイル１４０ａに付与される。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向する第１コイル１４０ａの２つの辺のうちの一方の辺（図２（ａ）及び図２（ｂ）中の左側の辺）に対して、第１磁石１５１ａから第１磁石１５２ａに向かう磁界が付与され、Ｘ軸方向に沿って対向する第１コイル１４０ａの２つの辺のうちの他方の辺（図２（ａ）及び図２（ｂ）中の右側の辺）に対して、第１磁石１５３ａから第１磁石１５２ａに向かう磁界が付与される。他方で、第４磁石１５１ｄから第４磁石１５２ｄに向かう磁界及び第４磁石１５３ｄから第４磁石１５２ｄに向かう磁界が、第４コイル１４０ｄに付与される。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向する第４コイル１４０ｄの２つの辺のうちの一方の辺（図２（ａ）及び図２（ｂ）中の左側の辺）に対して、第４磁石１５１ｄから第４磁石１５２ｄに向かう磁界が付与され、Ｘ軸方向に沿って対向する第４コイル１４０ｄの２つの辺のうちの他方の辺（図２（ａ）及び図２（ｂ）中の右側の辺）に対して、第４磁石１５３ｄから第４磁石１５２ｄに向かう磁界が付与される。 In addition, in the example shown in FIGS. 2A and 2B, the magnetic field from the first magnet 151a toward the first magnet 152a and the magnetic field from the first magnet 153a toward the first magnet 152a are the first coil 140a. To be granted. In other words, the first magnet with respect to one of the two sides of the first coil 140a facing along the X-axis direction (the left side in FIGS. 2A and 2B). The other side of the two sides of the first coil 140a that is applied with a magnetic field from 151a toward the first magnet 152a and faces along the X-axis direction (the right side in FIGS. 2A and 2B) Is applied to the first magnet 152a from the first magnet 153a. On the other hand, a magnetic field from the fourth magnet 151d toward the fourth magnet 152d and a magnetic field from the fourth magnet 153d toward the fourth magnet 152d are applied to the fourth coil 140d. In other words, the fourth magnet with respect to one side (the left side in FIGS. 2A and 2B) of the two sides of the fourth coil 140d facing in the X-axis direction. A magnetic field from 151d toward the fourth magnet 152d is applied, and the other of the two sides of the fourth coil 140d facing in the X-axis direction (the right side in FIGS. 2A and 2B). Is applied to the fourth magnet 152d from the fourth magnet 153d.
　このような状態の第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｂには、以下に示すローレンツ力が発生する。具体的には、図２（ａ）に示すように、第１電源端子１７１及び第１電源端子１７２を介して正極性の第１制御電流が供給された場合には、第１コイル１４０ａには、図２（ａ）の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する。他方で、第４コイル１４０ｄには、図２（ａ）の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する。一方で、図２（ｂ）に示すように、第１電源端子１７１及び第１電源端子１７２を介して負極性の第１制御電流が供給された場合には、第１コイル１４０ａには、図２（ｂ）の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する。他方で、第４コイル１４０ｄには、図２（ｂ）の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する。このように、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向は、第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向と逆になる。 The Lorentz force shown below is generated in the first coil 140a and the fourth coil 140b in such a state. Specifically, as shown in FIG. 2A, when a positive first control current is supplied via the first power supply terminal 171 and the first power supply terminal 172, the first coil 140a has A Lorentz force in a direction from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 2A is generated. On the other hand, a Lorentz force is generated in the fourth coil 140d in a direction (in other words, upward) in a direction from the back side to the near side of the sheet of FIG. On the other hand, when a negative first control current is supplied via the first power supply terminal 171 and the first power supply terminal 172, as shown in FIG. A Lorentz force in a direction from the back side to the near side (in other words, upward) of the paper surface of 2 (b) is generated. On the other hand, a Lorentz force is generated in the fourth coil 140d in a direction (in other words, downward) from the front side to the back side in FIG. 2B. Thus, the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d.
　尚、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々の巻き線の方向や第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ａ及び第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄの夫々によって付与される磁界の方向はあくまで一例である。従って、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向とは逆になる限りは、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々の巻き線の方向や第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ａ及び第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄの夫々によって付与される磁界の方向は任意に設定されてもよい。 In addition, the direction of each winding of the 1st coil 140a and the 4th coil 140d shown to Fig.2 (a) and FIG.2 (b), the 1st magnet 153a from the 1st magnet 151a, the 4th magnet 151d to the 4th magnet. The direction of the magnetic field applied by each of 153d is merely an example. Therefore, as long as the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d, the direction of the respective windings of the first coil 140a and the fourth coil 140d, The direction of the magnetic field applied by each of the first magnet 151a to the first magnet 153a and the fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d may be arbitrarily set.
　同様に、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ミラー１３０の対角方向に沿って配列されている第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃには、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と、第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向とは逆になるように、ローレンツ力が発生する。より具体的には、同一の第２制御電流が第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々に供給された場合には、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と、第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向とは逆になる。言い換えれば、第２制御電流に起因して第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と同一の第２制御電流に起因して第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向とが逆になるように、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々の巻き線の方向（言い換えれば、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｂの夫々を流れる第２制御電流の方向）や、第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂによって付与される磁界の方向や、第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃによって付与される磁界の方向等が調整されていることが好ましい。 Similarly, as shown in FIGS. 3A and 3B, the second coil 140b and the third coil 140c arranged along the diagonal direction of the mirror 130 are generated in the second coil 140b. The Lorentz force is generated so that the direction of the Lorentz force to be generated is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c. More specifically, when the same second control current is supplied to each of the second coil 140b and the third coil 140c, the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b and the third coil 140c The direction of the generated Lorentz force is opposite. In other words, the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b due to the second control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c due to the same second control current. In addition, the direction of the winding of each of the second coil 140b and the third coil 140c (in other words, the direction of the second control current flowing through each of the second coil 140b and the third coil 140b) and the second magnet 151b It is preferable that the direction of the magnetic field applied by the two magnets 153b, the direction of the magnetic field applied by the third magnet 151c to the third magnet 153c, and the like are adjusted.
　図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す例では、第２コイル１４０ｂの巻き線の方向と第３コイル１４０ｃの巻き線の方向とは逆になっている。具体的には、例えば、第２コイル１４０ｃの巻き線は、正極性の（例えば、ゼロレベルないしはリファレンスレベルよりも電流値が大きい）第２制御電流が第２コイル１４０ｂに供給された場合に当該第２制御電流が時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。言い換えれば、第２コイル１４０ｂの巻き線は、負極性の（例えば、ゼロレベルないしはリファレンスレベルよりも電流値が小さい）第２制御電流が第２コイル１４０ｂに供給された場合に当該第２制御電流が反時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。他方で、第３コイル１４０ｃの巻き線は、正極性の第２制御電流が第３コイル１４０ｃに供給された場合に当該第２制御電流が反時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。言い換えれば、第３コイル１４０ｃの巻き線は、負極性の第２制御電流が第３コイル１４０ｃに供給された場合に当該第２制御電流が時計回りの方向に向かって流れるような方向に巻かれている。 3A and 3B, the winding direction of the second coil 140b is opposite to the winding direction of the third coil 140c. Specifically, for example, the winding of the second coil 140c is applied when a second control current having a positive polarity (for example, a current value larger than zero level or reference level) is supplied to the second coil 140b. It is wound in such a direction that the second control current flows in the clockwise direction. In other words, when the second control current is supplied to the second coil 140b, the winding of the second coil 140b has a negative polarity (for example, a current value smaller than the zero level or the reference level). Is wound in a direction that flows in a counterclockwise direction. On the other hand, the winding of the third coil 140c is wound in such a direction that when the positive second control current is supplied to the third coil 140c, the second control current flows in the counterclockwise direction. It is. In other words, the winding of the third coil 140c is wound in such a direction that when the negative second control current is supplied to the third coil 140c, the second control current flows in the clockwise direction. ing.
　加えて、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す例では、第２磁石１５１ｂから第２磁石１５２ｂに向かう磁界及び第２磁石１５３ｂから第２磁石１５２ｂに向かう磁界が、第２コイル１４０ｂに付与される。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向する第２コイル１４０ｂの２つの辺のうちの一方の辺（図３（ａ）及び図３（ｂ）中の左側の辺）に対して、第２磁石１５１ｂから第２磁石１５２ｂに向かう磁界が付与され、Ｘ軸方向に沿って対向する第２コイル１４０ｂの２つの辺のうちの他方の辺（図３（ａ）及び図３（ｂ）中の右側の辺）に対して、第２磁石１５３ｂから第２磁石１５２ｂに向かう磁界が付与される。他方で、第３磁石１５１ｃから第３磁石１５２ｃに向かう磁界及び第３磁石１５３ｃから第３磁石１５２ｃに向かう磁界が、第３コイル１４０ｃに付与される。言い換えれば、Ｘ軸方向に沿って対向する第３コイル１４０ｃの２つの辺のうちの一方の辺（図３（ａ）及び図３（ｂ）中の左側の辺）に対して、第３磁石１５１ｃから第３磁石１５２ｃに向かう磁界が付与され、Ｘ軸方向に沿って対向する第３コイル１４０ｃの２つの辺のうちの他方の辺（図３（ａ）及び図３（ｂ）中の右側の辺）に対して、第３磁石１５３ｃから第３磁石１５２ｃに向かう磁界が付与される。 In addition, in the example shown in FIGS. 3A and 3B, the magnetic field from the second magnet 151b to the second magnet 152b and the magnetic field from the second magnet 153b to the second magnet 152b are the second coil 140b. To be granted. In other words, the second magnet with respect to one of the two sides of the second coil 140b facing in the X-axis direction (the left side in FIGS. 3A and 3B). The other side of the two sides of the second coil 140b facing in the X-axis direction, to which the magnetic field from 151b toward the second magnet 152b is applied (the right side in FIGS. 3A and 3B) Is applied to the second magnet 152b from the second magnet 153b. On the other hand, a magnetic field from the third magnet 151c toward the third magnet 152c and a magnetic field from the third magnet 153c toward the third magnet 152c are applied to the third coil 140c. In other words, the third magnet with respect to one of the two sides of the third coil 140c facing in the X-axis direction (the left side in FIGS. 3A and 3B). The other side of the two sides of the third coil 140c facing in the X-axis direction, to which the magnetic field from 151c toward the third magnet 152c is applied (the right side in FIGS. 3A and 3B) Is applied to the third magnet 152c from the third magnet 153c.
　このような状態の第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃには、以下に示すローレンツ力が発生する。具体的には、図３（ａ）に示すように、第２電源端子１７３及び第２電源端子１７３を介して正極性の第２制御電流が供給された場合には、第２コイル１４０ｂには、図３（ａ）の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する。他方で、第３コイル１４０ｃには、図３（ａ）の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する。一方で、図３（ｂ）に示すように、第２電源端子１７３及び第２電源端子１７４を介して負極性の第２制御電流が供給された場合には、第２コイル１４０ｂには、図３（ｂ）の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する。他方で、第３コイル１４０ｃには、図３（ｂ）の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する。このように、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向は、第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向と逆になる。 The Lorentz force shown below is generated in the second coil 140b and the third coil 140c in such a state. Specifically, as shown in FIG. 3A, when a positive second control current is supplied via the second power supply terminal 173 and the second power supply terminal 173, the second coil 140b has A Lorentz force in a direction from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 3A is generated. On the other hand, a Lorentz force is generated in the third coil 140c in the direction from the back side to the front side in FIG. 3A (in other words, upward). On the other hand, when a negative second control current is supplied via the second power supply terminal 173 and the second power supply terminal 174, as shown in FIG. The Lorentz force in the direction from the back side to the near side (in other words, upward) of the paper surface of 3 (b) is generated. On the other hand, a Lorentz force is generated in the third coil 140c in the direction from the near side to the far side in FIG. 3B (in other words, downward). Thus, the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c.
　以下のＭＥＭＳスキャナ１０１の動作の説明では、図２（ａ）及び図２（ｂ）並びに図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す例を用いて説明を進める。但し、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々の巻き線の方向や第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂ及び第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃの夫々によって付与される磁界の方向はあくまで一例である。従って、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向とは逆になる限りは、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々の巻き線の方向や第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂ及び第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃの夫々によって付与される磁界の方向は任意に設定されてもよい。 In the following description of the operation of the MEMS scanner 101, the description will be given using the examples shown in FIGS. 2A and 2B and FIGS. 3A and 3B. However, the winding directions of the second coil 140b and the third coil 140c shown in FIGS. 3A and 3B, the second magnet 151b to the second magnet 153b, and the third magnet 151c to the third magnet, respectively. The direction of the magnetic field applied by each of 153c is merely an example. Therefore, as long as the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c, the direction of the respective windings of the second coil 140b and the third coil 140c, The direction of the magnetic field applied by each of the second magnet 151b to the second magnet 153b and the third magnet 151c to the third magnet 153c may be arbitrarily set.
　尚、図２（ａ）及び図２（ｂ）並びに図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す例では、第１コイル１４０ａの巻き線の方向と第２コイル１４０ｂの巻き線の方向とが同一となっている。但し、第１コイル１４０ａの巻き線の方向と第２コイル１４０ｂの巻き線の方向とが逆になっていてもよい。同様に、図２（ａ）及び図２（ｂ）並びに図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す例では、第３コイル１４０ｃの巻き線の方向と第４コイル１４０ｄの巻き線の方向とが同一となっている。但し、第３コイル１４０ｃの巻き線の方向と第４コイル１４０ｄの巻き線の方向とが逆になっていてもよい。 2A, 2B, 3A, and 3B, the winding direction of the first coil 140a and the winding direction of the second coil 140b Are the same. However, the winding direction of the first coil 140a and the winding direction of the second coil 140b may be reversed. Similarly, in the example shown in FIGS. 2A, 2B, 3A, and 3B, the direction of winding of the third coil 140c and the direction of winding of the fourth coil 140d. Are the same. However, the winding direction of the third coil 140c and the winding direction of the fourth coil 140d may be reversed.
　（３）ＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図４から図６を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作の態様（具体的には、ミラー１３０を回転させる動作の態様）について説明する。 (3) Operation of MEMS Scanner Next, with reference to FIG. 4 to FIG. 6, an operation mode (specifically, an operation mode for rotating the mirror 130) of the MEMS scanner 101 according to the present embodiment will be described. .
　（３－１）制御電流供給回路の構成
　まず、図４を参照して、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１の動作を制御するための第１制御電流及び第２制御電流を供給する制御電流供給回路１６０の構成について説明する。図４は、制御電流供給回路１６０の構成を示すブロック図である。 (3-1) Configuration of Control Current Supply Circuit First, referring to FIG. 4, a control current supply for supplying a first control current and a second control current for controlling the operation of the MEMS scanner 101 according to this embodiment. A configuration of the circuit 160 will be described. FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of the control current supply circuit 160.
　図４に示すように、制御信号供給回路１６０は、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１と、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２と、加算器１６３と、減算器１６４とを備えている。 As shown in FIG. 4, the control signal supply circuit 160 includes a Y-axis drive control current source 161, an X-axis drive control current source 162, an adder 163, and a subtractor 164.
　Ｙ軸駆動用制御電流源１６１は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させるための制御電流であるＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）を加算器１６３及び減算器１６４の夫々に供給する。 The Y-axis drive control current source 161 adds an adder 163 and a subtractor 164 to a Y-axis drive control current I (V) that is a control current for rotating the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis. To each of them.
　尚、本実施例では、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数（より具体的には、ミラー１３０の慣性モーメントと第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）は、ミラー１３０の共振周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。より具体的には、例えば、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った軸回り慣性モーメントがＩ（Ｙ）であり且つ第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋ（Ｙ）であるとすれば、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）は、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）と同一の又は同期した信号成分を含む交流電流である但し、ミラー１３０は、ミラー１３０と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２とによって定まる共振周波数とは異なる又は同期しない周波数で、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。この場合には、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０が回転する周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。 In this embodiment, the mirror 130 has a resonance frequency determined by the mirror 130 and the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 (more specifically, the moment of inertia of the mirror 130 and the second torsion bar 120a-2). And an axis along the Y-axis direction as a rotation axis so as to resonate at a resonance frequency determined by a torsion spring constant of 120b-2. Therefore, the Y-axis drive control current I (V) is an alternating current including a signal component having a frequency that is the same as or synchronized with the resonance frequency of the mirror 130. More specifically, for example, when the moment of inertia about the axis along the Y-axis direction of the mirror 130 is I (Y) and the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 are regarded as one spring, If the torsion spring constant is k (Y), the Y-axis drive control current I (V) is specified by (1 / (2π)) × √ (k (Y) / I (Y)). Resonance frequency (or (1 / (2π)) × √ (k (Y) / I (Y)) N times or 1 / N times (where N is an integer equal to or greater than 1)) However, the mirror 130 has a frequency different from or not synchronized with the resonance frequency determined by the mirror 130 and the second torsion bars 120a-2 and 120b-2, in the Y-axis direction. The axis along the axis may be rotated as a rotation axis. In this case, the Y-axis drive control current I (V) is an alternating current that includes a signal component having a frequency that is the same as or synchronized with the frequency at which the mirror 130 rotates about the axis along the Y-axis direction. .
　但し、第２ベース１１０－２の質量が有限であることに起因して、上述した共振周波数（つまり、ミラー１３０の共振周波数）は、厳密に言えば、第２ベース１１０－２の質量、第２ベース１１０－２の慣性モーメント及び第２ベース１１０－２の剛性等の影響を受けて、多少変動し得る。但し、本実施例では、説明の煩雑化を避けるために、第２ベース１１０－２の質量、第２ベース１１０－２の慣性モーメント及び第２ベース１１０－２の剛性等の影響によるミラー１３０の共振周波数の変動は省略して（つまり、無視して）説明を進める。 However, due to the fact that the mass of the second base 110-2 is finite, the above-described resonance frequency (that is, the resonance frequency of the mirror 130) is, strictly speaking, the mass of the second base 110-2, Depending on the moment of inertia of the second base 110-2 and the rigidity of the second base 110-2, it may vary somewhat. However, in this embodiment, in order to avoid complicated explanation, the mirror 130 is affected by the influence of the mass of the second base 110-2, the moment of inertia of the second base 110-2, the rigidity of the second base 110-2, and the like. The explanation will be made by omitting (that is, ignoring) fluctuation of the resonance frequency.
　一方で、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させるための制御電流であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）を加算器１６３及び減算器１６４の夫々に供給する。 On the other hand, the X-axis drive control current source 162 generates an X-axis drive control current I (H) that is a control current for rotating the second base 110-2 about the axis along the X-axis direction as a rotation axis. The signals are supplied to the adder 163 and the subtracter 164, respectively.
　尚、本実施例では、第２ベース１１０－２は、任意の周波数（例えば、６０Ｈｚ）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。従って、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転の周波数と同一の又は同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。但し、第２ベース１１０－２は、第２ベース１１０－２を含む被懸架部（つまり、第２ベース部１１０－２、第２トーションバー１２０ａ―２及び１２０ｂ－２並びにミラー１３０を含む被懸架部）と第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１によって定まる共振周波数（より具体的には、第２ベース１１０－２を含む被懸架部の慣性モーメントと第１トーションバー１２０ａ－１及び１２０ｂ－１のねじりバネ定数によって定まる共振周波数）で、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転してもよい。 In this embodiment, the second base 110-2 rotates at an arbitrary frequency (for example, 60 Hz) with an axis along the X-axis direction as a rotation axis. Therefore, the X-axis drive control current I (H) is an alternating current that includes a signal component having a frequency that is the same as or synchronized with the frequency of rotation of the second base 110-2 whose axis is the axis along the X-axis direction. It is. However, the second base 110-2 is a suspended portion including the second base 110-2 (that is, a suspended portion including the second base portion 110-2, the second torsion bars 120a-2 and 120b-2, and the mirror 130). Part) and the resonance frequency determined by the first torsion bars 120a-1 and 120b-1 (more specifically, the inertia moment of the suspended part including the second base 110-2 and the first torsion bars 120a-1 and 120b- (Resonance frequency determined by a torsion spring constant of 1) may be rotated about the axis along the X-axis direction as a rotation axis.
　加算器１６３は、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１から供給されるＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）と、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２から供給されるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）とを加算する。その後、加算器１６３は、加算結果（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）＋Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ））を、第１制御電流として第１電源端子１７１に供給する。その結果、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々には、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）＋Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第１制御電流が供給される。 The adder 163 includes a Y-axis drive control current I (V) supplied from the Y-axis drive control current source 161 and an X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162. ) And add. Thereafter, the adder 163 supplies the addition result (that is, the Y-axis drive control current I (V) + X-axis drive control current I (H)) to the first power supply terminal 171 as the first control current. As a result, each of the first coil 140a and the fourth coil 140d is supplied with a first control current that matches the Y-axis drive control current I (V) + the X-axis drive control current I (H).
　一方で、減算気１６４は、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１から供給されるＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）から、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２から供給されるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）を減算する。その後、加算器１６３は、減算結果（つまり、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）－Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ））を、第２制御電流として第２電源端子１７３に供給する。その結果、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々には、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）－Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第２制御電流が供給される。 On the other hand, the subtraction air 164 is supplied from the X-axis drive control current source 162 from the Y-axis drive control current I (V) supplied from the Y-axis drive control current source 161. Subtract I (H). Thereafter, the adder 163 supplies the subtraction result (that is, the Y-axis drive control current I (V) −the X-axis drive control current I (H)) to the second power supply terminal 173 as the second control current. As a result, each of the second coil 140b and the third coil 140c is supplied with a second control current that matches Y-axis drive control current I (V) -X-axis drive control current I (H).
　このような第１制御電流及び第２制御電流が供給された場合、ＭＥＭＳスキャナ１０１は、以下のように動作する。以下、ＭＥＭＳスキャナ１０１の動作を、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）に起因したＭＥＭＳスキャナ１０１の動作（つまり、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転）とＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）に起因したＭＥＭＳスキャナ１０１の動作（つまり、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転）とに分けて説明を進める。 When such first control current and second control current are supplied, the MEMS scanner 101 operates as follows. Hereinafter, the operation of the MEMS scanner 101 is the operation of the MEMS scanner 101 caused by the X-axis drive control current I (H) (that is, the rotation of the second base 110-2 with the axis along the X-axis direction as the rotation axis). ) And the operation of the MEMS scanner 101 caused by the Y-axis drive control current I (V) (that is, the rotation of the mirror 130 whose axis is the axis along the Y-axis direction).
　（３－２）Ｘ軸駆動用制御電流に起因したＭＥＭＳスキャナの動作
　まず、図５及び図６を参照しながら、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）に起因したＭＥＭＳスキャナ１０１の動作について説明する。図５及び図６は、夫々、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１による動作の態様（特に、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。 (3-2) Operation of MEMS Scanner Caused by X-axis Drive Control Current First, the operation of the MEMS scanner 101 caused by the X-axis drive control current I (H) will be described with reference to FIGS. To do. FIG. 5 and FIG. 6 are conceptual views of operation modes of the MEMS scanner 101 according to the present embodiment (in particular, operation modes of rotating the second base 110-2 around the axis along the X-axis direction). FIG.
　第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々には、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）がそのまま供給される（言い換えれば、第１制御電流の一部として供給される）。他方で、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々には、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が、その極性が反転された上で供給される（言い換えれば、第２制御電流の一部として供給される）。 The X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162 is supplied as it is to each of the first coil 140a and the fourth coil 140d (in other words, one of the first control currents). Supplied as part). On the other hand, the X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162 is supplied to each of the second coil 140b and the third coil 140c with their polarities reversed. (In other words, supplied as part of the second control current).
　従って、図５に示すように、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が正極性である場合には、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々には、正極性であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）がそのまま供給される。他方で、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が正極性である場合には、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々には、負極性であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が供給される。その結果、第１コイル１４０ａには、図５の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ａ）も参照）。また、第２コイル１４０ｂには、図５の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ｂ）も参照）。また、第３コイル１４０ｃには、図５の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ｂ）も参照）。また、第４コイル１４０ｄには、図５の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ａ）も参照）。 Therefore, as shown in FIG. 5, when the X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162 is positive, each of the first coil 140a and the fourth coil 140d. Is supplied with the X-axis drive control current I (H) having a positive polarity. On the other hand, when the X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162 is positive, each of the second coil 140b and the third coil 140c is negative. A certain X-axis drive control current I (H) is supplied. As a result, a Lorentz force is generated in the first coil 140a from the near side to the far side of the paper surface of FIG. 5 (in other words, downward) (see also FIG. 2A). Further, the Lorentz force in the direction from the back side to the front side in FIG. 5 (in other words, upward) is generated in the second coil 140b (see also FIG. 3B). Further, the Lorentz force in the direction from the near side to the far side of the paper surface of FIG. 5 (in other words, downward) is generated in the third coil 140c (see also FIG. 3B). The fourth coil 140d generates Lorentz force in a direction (in other words, upward) from the back side to the front side in FIG. 5 (see also FIG. 2A).
　一方で、図６に示すように、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が負極性である場合には、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々には、負極性であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）がそのまま供給される。他方で、Ｘ軸駆動用制御電流源１６２が供給するＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が負極性である場合には、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々には、正極性であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が供給される。その結果、第１コイル１４０ａには、図６の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ｂ）も参照）。また、第２コイル１４０ｂには、図６の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ａ）も参照）。また、第３コイル１４０ｃには、図６の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ａ）も参照）。また、第４コイル１４０ｄには、図６の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ｂ）も参照）。 On the other hand, as shown in FIG. 6, when the X-axis drive control current I (H) supplied by the X-axis drive control current source 162 is negative, the first coil 140a and the fourth coil 140d Each is supplied with the X-axis drive control current I (H) having a negative polarity as it is. On the other hand, when the X-axis drive control current I (H) supplied from the X-axis drive control current source 162 is negative, each of the second coil 140b and the third coil 140c is positive. A certain X-axis drive control current I (H) is supplied. As a result, a Lorentz force is generated in the first coil 140a from the back side to the near side (in other words, upward) in FIG. 6 (see also FIG. 2B). Further, a Lorentz force in a direction from the near side to the far side of the paper surface of FIG. 6 (in other words, downward) is generated in the second coil 140b (see also FIG. 3A). Further, the Lorentz force in the direction from the back side to the front side in FIG. 6 (in other words, upward) is generated in the third coil 140c (see also FIG. 3A). The fourth coil 140d generates Lorentz force in a direction from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 6 (see also FIG. 2B).
　つまり、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）を用いてＸ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させる場合には、Ｘ軸方向に沿って配列されている第１コイル１４０ａ及び第３コイル１４０ｃには、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向が同一となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｘ軸方向に沿って配列されている第２コイル１４０ｂ及び第４コイル１４０ｄには、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向が同一となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｙ軸方向に沿って配列されている第１コイル１４０ａ及び第２コイル１４０ｂには、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向が逆となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｙ軸方向に沿って配列されている第３コイル１４０ｃ及び第４コイル１４０ｄには、第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向と第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向が逆となるように、ローレンツ力が発生する。 That is, when the second base 110-2 is rotated using the X-axis drive control current I (H) as an axis along the X-axis direction, the second array 110 arranged along the X-axis direction is used. Lorentz force is generated in the first coil 140a and the third coil 140c so that the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a and the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c are the same. In addition, the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b and the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d are the same for the second coil 140b and the fourth coil 140d arranged along the X-axis direction. Lorentz force is generated so that In addition, the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b in the first coil 140a and the second coil 140b arranged along the Y-axis direction. Lorentz force is generated so that In addition, the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d in the third coil 140c and the fourth coil 140d arranged along the Y-axis direction. Lorentz force is generated so that
　このように第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力は、図５及び図６に示すように、当該ローレンツ力全体として、Ｘ軸方向に沿った軸周りの回転力となる。その結果、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｂが配置されている第２ベース１１０－２は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。 The Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d in this way becomes a rotational force around the axis along the X-axis direction as the whole Lorentz force as shown in FIGS. As a result, the second base 110-2 in which the first coil 140a to the fourth coil 140b are arranged rotates about the axis along the X-axis direction as a rotation axis.
　加えて、第２ベース１１０－２は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０を支持している。このため、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまたＸ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。 In addition, the second base 110-2 supports the mirror 130 via the second torsion bars 120a-2 and 120b-2. Therefore, as the second base 110-2 rotates with the axis along the X-axis direction as the rotation axis, the mirror 130 also rotates with the axis along the X-axis direction as the rotation axis.
　（３－３）Ｙ軸駆動用制御電流に起因したＭＥＭＳスキャナの動作
　続いて、図７及び図８を参照しながら、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）に起因したＭＥＭＳスキャナ１０１の動作について説明する。図７及び図８は、夫々、本実施例に係るＭＥＭＳスキャナ１０１による動作の態様（特に、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させる動作の態様）を概念的に示す平面図である。 (3-3) Operation of MEMS Scanner Caused by Y-axis Drive Control Current Subsequently, with reference to FIGS. 7 and 8, the operation of the MEMS scanner 101 caused by the Y-axis drive control current I (V). explain. 7 and 8 are planes conceptually showing modes of operation by the MEMS scanner 101 according to the present embodiment (in particular, modes of operation for rotating the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction). FIG.
　第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄの夫々には、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１が供給するＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）がそのまま供給される（言い換えれば、第１制御電流の一部として供給される）。同様に、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃの夫々にもまた、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１が供給するＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）がそのまま供給される（言い換えれば、第２制御電流の一部として供給される）。 The Y-axis drive control current I (V) supplied from the Y-axis drive control current source 161 is supplied as it is to each of the first coil 140a and the fourth coil 140d (in other words, one of the first control currents). Supplied as part). Similarly, the Y-axis drive control current I (V) supplied from the Y-axis drive control current source 161 is also supplied to each of the second coil 140b and the third coil 140c (in other words, the second coil 140b and the third coil 140c). Supplied as part of the control current).
　従って、図７に示すように、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１が供給するＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｂ）が正極性である場合には、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々には、正極性であるＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）がそのまま供給される。その結果、第１コイル１４０ａには、図７の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ａ）も参照）。また、第２コイル１４０ｂには、図７の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ａ）も参照）。また、第３コイル１４０ｃには、図７の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ａ）も参照）。また、第４コイル１４０ｄには、図７の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ａ）も参照）。 Therefore, as shown in FIG. 7, when the Y-axis drive control current I (B) supplied from the Y-axis drive control current source 161 is positive, each of the first coil 140a to the fourth coil 140d. Is supplied with the X-axis drive control current I (H) having a positive polarity. As a result, a Lorentz force is generated in the first coil 140a from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 7 (see also FIG. 2A). Further, the Lorentz force in the direction from the near side to the far side of the paper surface of FIG. 7 (in other words, downward) is generated in the second coil 140b (see also FIG. 3A). Further, a Lorentz force is generated in the third coil 140c in a direction from the back side to the front side in FIG. 7 (in other words, upward) (see also FIG. 3A). Further, a Lorentz force in a direction from the back side to the front side of the paper surface of FIG. 7 (in other words, upward) is generated in the fourth coil 140d (see also FIG. 2A).
　一方で、図８に示すように、Ｙ軸駆動用制御電流源１６１が供給するＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｙ）が負極性である場合には、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々には、負極性であるＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）がそのまま供給される。その結果、第１コイル１４０ａには、図８の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ｂ）も参照）。また、第２コイル１４０ｂには、図８の紙面の奥側から手前側に向かう方向の（言い換えれば、上向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ｂ）も参照）。また、第３コイル１４０ｃには、図８の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図３（ｂ）も参照）。また、第４コイル１４０ｄには、図８の紙面の手前側から奥側に向かう方向の（言い換えれば、下向きの）ローレンツ力が発生する（図２（ｂ）も参照）。 On the other hand, as shown in FIG. 8, when the Y-axis drive control current I (Y) supplied by the Y-axis drive control current source 161 is negative, the first coil 140a to the fourth coil 140d The Y-axis drive control current I (V) having a negative polarity is supplied as it is to each. As a result, a Lorentz force is generated in the first coil 140a from the back side to the near side (in other words, upward) in FIG. 8 (see also FIG. 2B). Further, the Lorentz force in the direction from the back side to the front side in FIG. 8 (in other words, upward) is generated in the second coil 140b (see also FIG. 3B). Further, a Lorentz force is generated in the third coil 140c in a direction from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 8 (see also FIG. 3B). Further, a Lorentz force is generated in the fourth coil 140d in the direction from the near side to the far side (in other words, downward) in FIG. 8 (see also FIG. 2B).
　つまり、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）を用いてＹ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させる場合には、Ｘ軸方向に沿って配列されている第１コイル１４０ａ及び第３コイル１４０ｃには、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向が逆となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｘ軸方向に沿って配列されている第２コイル１４０ｂ及び第４コイル１４０ｄには、第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向と第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向が逆となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｙ軸方向に沿って配列されている第１コイル１４０ａ及び第２コイル１４０ｂには、第１コイル１４０ａに発生するローレンツ力の方向と第２コイル１４０ｂに発生するローレンツ力の方向が同一となるように、ローレンツ力が発生する。加えて、Ｙ軸方向に沿って配列されている第３コイル１４０ｃ及び第４コイル１４０ｄには、第３コイル１４０ｃに発生するローレンツ力の方向と第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の方向が同一となるように、ローレンツ力が発生する。 That is, when the mirror 130 is rotated using the Y-axis drive control current I (V) about the axis along the Y-axis direction as the rotation axis, the first coils 140a arranged along the X-axis direction and Lorentz force is generated in the third coil 140c so that the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c. In addition, in the second coil 140b and the fourth coil 140d arranged along the X-axis direction, the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d. Lorentz force is generated so that In addition, the direction of the Lorentz force generated in the first coil 140a and the direction of the Lorentz force generated in the second coil 140b are the same in the first coil 140a and the second coil 140b arranged along the Y-axis direction. Lorentz force is generated so that In addition, the direction of the Lorentz force generated in the third coil 140c and the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil 140d are the same for the third coil 140c and the fourth coil 140d arranged along the Y-axis direction. Lorentz force is generated so that
　このように第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力は、図７及び図８に示すように、当該ローレンツ力全体として、Ｙ軸方向に沿った軸周りの回転力となる。その結果、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｂが配置されている第２ベース１１０－２には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する力が加わる。このとき、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力は、第２ベース１１０－２に対して、微振動として伝搬する。尚、「微振動」については、特許第４８２７９９３号公報に開示されているため、その詳細な説明は省略する。 The Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d in this way becomes a rotational force around the axis along the Y-axis direction as a whole of the Lorentz force as shown in FIGS. As a result, the second base 110-2 in which the first coil 140a to the fourth coil 140b are arranged is applied with a force that rotates about the axis along the Y-axis direction. At this time, the Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d propagates as a slight vibration to the second base 110-2. Since “fine vibration” is disclosed in Japanese Patent No. 4827993, detailed description thereof is omitted.
　このような第２ベース１１０－２の微振動は、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０に伝搬する。ミラー１３０に伝搬した微振動は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転という形で発現する。このとき、ミラー１３０は、ミラー１３０並びに第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２に応じて定まる共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ）で共振するように回転する。例えば、ミラー１３０のＹ軸方向に沿った軸回り慣性モーメントがＩ（Ｙ）であり且つ第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を１本のバネとみなした場合のねじりバネ定数がｋ（Ｙ）であるとすれば、ミラー１３０は、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））にて特定される共振周波数（或いは、（１／（２π））×√（ｋ（Ｙ）／Ｉ（Ｙ））のＮ倍若しくはＮ分の１倍（但し、Ｎは１以上の整数）の共振周波数）で共振するように、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。 Such fine vibration of the second base 110-2 propagates to the mirror 130 via the second torsion bars 120a-2 and 120b-2. The fine vibration propagated to the mirror 130 appears in the form of rotation of the mirror 130 with the axis along the Y-axis direction as the rotation axis. At this time, the mirror 130 rotates so as to resonate at a resonance frequency (for example, 20 kHz) determined according to the mirror 130 and the second torsion bars 120a-2 and 120b-2. For example, the torsion spring constant when the moment of inertia about the axis along the Y-axis direction of the mirror 130 is I (Y) and the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 are regarded as one spring is k ( Y), the mirror 130 has a resonance frequency (or (1 / (2π)) × specified by (1 / (2π)) × √ (k (Y) / I (Y)) × Rotate the axis along the Y-axis direction so that it resonates at N times or 1 / N times (k (Y) / I (Y))) (where N is an integer of 1 or more). Rotates as an axis.
　尚、上述したように、ここでも、説明の煩雑化を避けるために、第２ベース１１０－２の質量、第２ベース１１０－２の慣性モーメント及び第２ベース１１０－２の剛性等の影響によるミラー１３０の共振周波数の変動は省略して（つまり、無視して）説明を進める。 Note that, as described above, here, in order to avoid complication of the explanation, the influence of the mass of the second base 110-2, the moment of inertia of the second base 110-2, the rigidity of the second base 110-2, and the like. The description will be made by omitting (that is, ignoring) fluctuation of the resonance frequency of the mirror 130.
　尚、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力は、第２ベース１１０－２に対して、ラム波として伝搬してもよい。尚、「ラム波」については、例えば、独立行政法人産業総合研究所のホームページ（http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2010/pr20100209/pr20100209.html）に開示されてため、その詳細な説明は省略する。この場合には、ラム波が第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２をねじれさせることで、ミラー１３０は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。或いは。第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を直接的に回転させてもよい。この場合には、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、当該第２ベース１１０－２と第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２と接続されているミラー１３０もまた、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転する。 The Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d may propagate as a Lamb wave to the second base 110-2. “Lamb wave” is disclosed on the website of the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2010/pr20100209/pr20100209.html), for example. Detailed description thereof will be omitted. In this case, the Lamb wave twists the second torsion bars 120a-2 and 120b-2, so that the mirror 130 rotates about the axis along the Y-axis direction. Or The Lorentz force generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d may cause the second base 110-2 to rotate directly about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis. In this case, the second base 110-2 is connected to the second torsion bars 120a-2 and 120b-2 as the second base 110-2 rotates with the axis along the Y-axis direction as the rotation axis. The mirror 130 is also rotated about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis.
　以上説明したように、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。加えて、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として第２ベース１１０－２を回転させることができる。このとき、第２トーションバー１２０ａ－２及び１２０ｂ－２を介してミラー１３０が第２ベース１１０－２に支持されていることを考慮すれば、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転に伴って、ミラー１３０もまた、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転することになる。従って、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸としてミラー１３０を回転させることができる。つまり、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、ミラー１３０の２軸駆動を行うことができる。 As described above, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment can rotate the mirror 130 about the axis along the Y-axis direction as the rotation axis. In addition, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment can rotate the second base 110-2 with the axis along the X-axis direction as a rotation axis. At this time, considering that the mirror 130 is supported by the second base 110-2 via the second torsion bars 120a-2 and 120b-2, the first axis about the axis along the X-axis direction is the rotation axis. As the 2 base 110-2 rotates, the mirror 130 also rotates about the axis along the X-axis direction as the rotation axis. Therefore, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment can rotate the mirror 130 about the axis along the X-axis direction as the rotation axis. That is, the MEMS scanner 101 of the present embodiment can drive the mirror 130 in two axes.
　特に、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄを用いて、ミラー１３０の２軸駆動を実現することができる。このとき、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに第１制御電流又は第２制御電流を供給するために信号線を、コイル毎に別個に備えていなくともよくなる。つまり、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１コイル１４０ａ及び第４コイル１４０ｄに第１制御電流を供給するための２つの信号線と、第２コイル１４０ｂ及び第３コイル１４０ｃに第２制御電流を供給するための２つの信号線とを備えていればよい。言い換えれば、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、第１コイル１４０ａに制御電流を供給するための２つの信号線と、第２コイル１４０ｂに制御電流を供給するための２つの信号線と、第３コイル１４０ｃに制御電流を供給するための２つの信号線と、第４コイル１４０ｄに制御電流を供給するための２つの信号線とを備えていなくともよくなる。従って、ＭＥＭＳスキャナ１０１上を伸長する信号線の数を相対的に減らすことができる。 In particular, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment can realize the biaxial drive of the mirror 130 using the first coil 140a to the fourth coil 140d. At this time, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment does not have to include a signal line separately for each coil in order to supply the first control current or the second control current from the first coil 140a to the fourth coil 140d. . That is, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment includes two signal lines for supplying the first control current to the first coil 140a and the fourth coil 140d, and the second control current to the second coil 140b and the third coil 140c. Need only be provided with two signal lines. In other words, the MEMS scanner 101 of this embodiment includes two signal lines for supplying a control current to the first coil 140a, two signal lines for supplying a control current to the second coil 140b, and a third signal line. The two signal lines for supplying the control current to the coil 140c and the two signal lines for supplying the control current to the fourth coil 140d need not be provided. Therefore, the number of signal lines extending on the MEMS scanner 101 can be relatively reduced.
　尚、信号線を減らすという観点から見れば、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄを用いることに代えて、単一のコイルを用いて、ミラー１３０の２軸駆動を実現してもよいとも考えられる。単一のコイルを用いてミラー１３０の２軸駆動を実現する場合には、当該単一のコイルに、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力及びＹ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力の双方が発生する必要がある。しかしながら、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転を実現するためのＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）の影響を受けて、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）に起因したＹ軸方向に沿った軸を回転軸とするミラー１３０の回転の精度が相対的に低下することが、本願発明者の実験により判明している。これは、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）が単一のコイルに供給された場合には、当該単一のコイルにおいて、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力のみならず、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力が多少なりとも発生してしまうことが原因である。同様に、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）の影響を受けて、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）に起因したＸ軸方向に沿った軸を回転軸とする第２ベース１１０－２の回転の精度が相対的に低下することが、本願発明者の実験により判明している。これは、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）が単一のコイルに供給された場合には、当該単一のコイルにおいて、Ｙ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力のみならず、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力が多少なりとも発生してしまうことが原因である。 From the viewpoint of reducing signal lines, it is considered that the biaxial drive of the mirror 130 may be realized using a single coil instead of using the first coil 140a to the fourth coil 140d. It is done. When two-axis driving of the mirror 130 is realized using a single coil, the Lorentz force and the Y-axis direction that act to rotate about the axis along the X-axis direction as the rotation axis. It is necessary to generate both Lorentz forces that act so as to rotate about the axis along the axis. However, under the influence of the X-axis drive control current I (H) for realizing the rotation of the second base 110-2 with the axis along the X-axis direction as the rotation axis, the Y-axis drive control current I It has been found by experiments of the present inventor that the accuracy of rotation of the mirror 130 whose axis is the axis along the Y-axis direction due to (V) is relatively lowered. When the X-axis drive control current I (H) is supplied to a single coil, this acts so that the single coil rotates about the axis along the X-axis direction as a rotation axis. This is because not only the Lorentz force but also a Lorentz force that acts to rotate about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis is generated. Similarly, under the influence of the Y-axis drive control current I (V), the second base 110-2 having an axis along the X-axis direction caused by the X-axis drive control current I (H) as the rotation axis. It has been found by experiments of the present inventor that the rotation accuracy of the present invention is relatively lowered. When the Y-axis drive control current I (V) is supplied to a single coil, this acts so that the single coil rotates about the axis along the Y-axis direction as a rotation axis. This is because not only the Lorentz force but also a Lorentz force acting so as to rotate about the axis along the X-axis direction as a rotation axis is generated.
　しかるに、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、単一のコイルを用いることに代えて、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄに発生するローレンツ力の組み合わせを用いて、ミラー１３０の２軸駆動を実現している。従って、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々に着目すれば、各コイルに、Ｘ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力及びＹ軸方向に沿った軸を回転軸として回転するように作用するローレンツ力の双方が発生しなくともよくなる。言い換えれば、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々に着目すれば、あくまで各コイル全体を特定の方向に移動させるように作用するローレンツ力が発生すれば、当該ローレンツ力の組み合わせを用いてミラー１３０の２軸駆動が実現される。従って、本実施例のＭＥＭＳスキャナ１０１は、ミラー１３０の相対的に高精度な２軸駆動を実現することができる。 However, the MEMS scanner 101 of the present embodiment realizes two-axis driving of the mirror 130 by using a combination of Lorentz forces generated from the first coil 140a to the fourth coil 140d instead of using a single coil. is doing. Accordingly, if attention is paid to each of the first coil 140a to the fourth coil 140d, the Lorentz force acting to rotate about the axis along the X-axis direction and the axis along the Y-axis direction to each coil. It is not necessary to generate both of the Lorentz forces that act to rotate as the rotation shaft. In other words, if attention is paid to each of the first coil 140a to the fourth coil 140d, if a Lorentz force is generated that acts to move the entire coil in a specific direction, the mirror is obtained using the combination of the Lorentz force. 130 two-axis drive is realized. Therefore, the MEMS scanner 101 according to the present embodiment can realize the biaxial driving of the mirror 130 with relatively high accuracy.
　尚、図５から図８に示すローレンツ力が発生するのは、図２（ａ）及び図２（ｂ）並びに図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す態様のＭＥＭＳスキャナ１０１に対して、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）＋Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第１制御電流及びＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）－Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第２制御電流が供給されるからである。但し、上述したように、第１コイル１４０ａから第４コイル１４０ｄの夫々の巻き線の方向や、第１磁石１５１ａから第１磁石１５３ａ、第２磁石１５１ｂから第２磁石１５３ｂ、第３磁石１５１ｃから第３磁石１５３ｃ及び第４磁石１５１ｄから第４磁石１５３ｄの夫々によって付与される磁界の方向によっては、制御電流供給回路１６０は、Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）－Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第１制御電流及びＹ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）＋Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）と一致する第２制御電流を供給してもよい。或いは、制御電流供給回路１６０は、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）－Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）と一致する第１制御電流及びＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）＋Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）と一致する第２制御電流を供給してもよい。或いは、制御電流供給回路１６０は、Ｘ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）＋Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）と一致する第１制御電流及びＸ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｈ）－Ｙ軸駆動用制御電流Ｉ（Ｖ）と一致する第２制御電流を供給してもよい。いずれにせよ、図５及び図６に示すローレンツ力が発生する限りは、制御電流供給回路１６０は、任意の第１制御電流及び任意の第２制御電流を供給してもよい。 The Lorentz force shown in FIGS. 5 to 8 is generated with respect to the MEMS scanner 101 of the embodiment shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b) and FIGS. 3 (a) and 3 (b). , Y-axis drive control current I (V) + X-axis drive control current I (H) and first control current I (V) -X-axis drive control current I (H) This is because the second control current that coincides with is supplied. However, as described above, the winding direction of the first coil 140a to the fourth coil 140d, the first magnet 151a to the first magnet 153a, the second magnet 151b to the second magnet 153b, and the third magnet 151c Depending on the direction of the magnetic field applied by each of the third magnet 153c and the fourth magnet 151d to the fourth magnet 153d, the control current supply circuit 160 may control the Y-axis drive control current I (V) −the X-axis drive control current. A first control current that matches I (H) and a second control current that matches Y-axis drive control current I (V) + X-axis drive control current I (H) may be supplied. Alternatively, the control current supply circuit 160 may include the first control current and the X-axis drive control current I (H) + Y-axis that match the X-axis drive control current I (H) −the Y-axis drive control current I (V). A second control current that matches the drive control current I (V) may be supplied. Alternatively, the control current supply circuit 160 may include the first control current and the X-axis drive control current I (H) -Y-axis that match the X-axis drive control current I (H) + the Y-axis drive control current I (V). A second control current that matches the drive control current I (V) may be supplied. In any case, as long as the Lorentz force shown in FIGS. 5 and 6 is generated, the control current supply circuit 160 may supply an arbitrary first control current and an arbitrary second control current.
　また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う駆動装置もまた本発明の技術思想に含まれる。 Further, the present invention can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the present invention that can be read from the claims and the entire specification, and a drive device that includes such a change is also included in the technical concept of the present invention. It is.
　１０１～１０６　ＭＥＭＳスキャナ
　１１０　ベース
　１１０－１　第１ベース
　１１０－２　第２ベース
　１２０ａ、１２０ｂ　トーションバー
　１２０ａ－１、１２０ｂ－１　第１トーションバー
　１２０ａ－２、１２０ｂ－２　第２トーションバー
　１３０　ミラー
　１４０ａ　第１コイル
　１４０ｂ　第２コイル
　１４０ｃ　第３コイル
　１４０ｄ　第４コイル
　１５１ａ、１５２ａ、１５３ａ　第１磁石
　１５１ｂ、１５２ｂ、１５３ｂ　第２磁石
　１５１ｃ、１５２ｃ、１５３ｃ　第３磁石
　１５１ｄ、１５２ｄ、１５３ｄ　第４磁石
　１７１、１７２　第１電源端子
　１７３、１７４　第２電源端子 101 to 106 MEMS scanner 110 base 110-1 first base 110-2 second base 120a, 120b torsion bar 120a-1, 120b-1 first torsion bar 120a-2, 120b-2 second torsion bar 130 mirror 140a first 1 coil 140b 2nd coil 140c 3rd coil 140d 4th coil 151a, 152a, 153a 1st magnet 151b, 152b, 153b 2nd magnet 151c, 152c, 153c 3rd magnet 151d, 152d, 153d 4th magnet 171, 172 2nd 1 power supply terminal 173, 174 2nd power supply terminal

Claims (7)

  1. 　第１ベース部と、
    　第１ベース部によって支持される第２ベース部と、
    　前記第１ベース部と前記第２ベース部とを接続し、且つ前記第２ベース部を他の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第１弾性部と、
    　回転可能な被駆動部と、
    　前記第２ベース部と前記被駆動部とを接続し、且つ前記被駆動部を前記他の方向とは異なる一の方向に沿った軸を回転軸として回転させるような弾性を有する第２弾性部と、
    　前記第２ベース部上に配置されるコイル部と、
    　前記コイル部に対して磁界を付与する磁界付与部と
    　を備え、
    　前記コイル部は、(i)第１コイルと、(ii)前記第１コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟みこむ第２コイルと、(iii)前記第１コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込む第３コイルと、(iv)前記第２コイルとの間で、前記一の方向に沿った前記被駆動部の回転軸を挟み込むと共に、前記第３コイルとの間で、前記他の方向に沿った前記第２ベース部の回転軸を挟み込む第４コイルとを備えており、
    　前記第１コイルと前記第４コイルとは、共通の第１制御電流が供給されるように電気的に接続されており、
    　前記第２コイルと前記第３コイルとは、共通の第２制御電流が供給されるように電気的に接続されている
    　ことを特徴とする駆動装置。     A first base portion;
    A second base portion supported by the first base portion;
    A first elastic part having elasticity that connects the first base part and the second base part and rotates the second base part around an axis along another direction;
    A rotatable driven part; and
    A second elastic part that connects the second base part and the driven part and has elasticity such that the driven part rotates about an axis along a direction different from the other direction as a rotation axis. When,
    A coil portion disposed on the second base portion;
    A magnetic field application unit that applies a magnetic field to the coil unit;
    The coil section includes (i) a first coil, and (ii) a second coil that sandwiches a rotation axis of the second base section along the other direction between the first coil and (iii) ) A third coil sandwiching the rotation axis of the driven part along the one direction with the first coil, and (iv) Along the one direction with the second coil. And a fourth coil for sandwiching the rotation axis of the second base portion along the other direction between the third coil and the rotation axis of the driven part.
    The first coil and the fourth coil are electrically connected so that a common first control current is supplied;
    The driving device, wherein the second coil and the third coil are electrically connected so that a common second control current is supplied.
  2. 　前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、
    　前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆である
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     The direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current. The drive device according to claim 1.
  3. 　前記第１コイル及び前記第４コイルは、前記被駆動部の対角方向に沿って前記被駆動部を挟み込み、
    　前記第２コイル及び前記第３コイルは、前記被駆動部の対角方向に沿って前記被駆動部を挟み込み、
    　前記被駆動部の対角方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第４コイルの夫々には、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記被駆動部の対角方向に沿って配列されている前記第２コイル及び前記第３コイルの夫々には、前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生する
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     The first coil and the fourth coil sandwich the driven part along a diagonal direction of the driven part,
    The second coil and the third coil sandwich the driven part along a diagonal direction of the driven part,
    The direction of the Lorentz force generated in the first coil is the Lorentz force generated in the fourth coil in each of the first coil and the fourth coil arranged along the diagonal direction of the driven part. Lorentz force is generated in the opposite direction to
    The direction of the Lorentz force generated in the second coil is the Lorentz force generated in the third coil in each of the second coil and the third coil arranged along the diagonal direction of the driven part. The drive device according to claim 1, wherein a Lorentz force is generated so as to be opposite to the direction.
  4. 　前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一である
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     When rotating the second base portion about the axis along the other direction as a rotation axis,
    The direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current is the same as the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current. The drive device according to claim 1.
  5. 　前記第２ベース部を前記他の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、
    　前記一の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第２コイルの夫々には、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記一の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第３コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記他の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第３コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記他の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第２コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生する
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     When rotating the second base portion about the axis along the other direction as a rotation axis,
    In each of the first coil and the second coil arranged along the one direction, the direction of the Lorentz force generated in the first coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil. Lorentz force is generated so that
    In the fourth coil and the third coil arranged along the one direction, the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil. The Lorentz force is generated,
    In the first coil and the third coil arranged along the other direction, the direction of the Lorentz force generated in the first coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil. The Lorentz force is generated,
    In the fourth coil and the second coil arranged along the other direction, the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the second coil. As described above, the Lorentz force is generated.
  6. 　前記被駆動部を前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆であり、
    　前記第１制御電流の供給に起因して前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向は、前記第２制御電流の供給に起因して前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆である
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     When rotating the driven part about the axis along the one direction as a rotation axis,
    The direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is the same as the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the first coil due to the supply of the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the third coil due to the supply of the second control current. ,
    The direction of the Lorentz force generated in the fourth coil due to the supply of the first control current is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil due to the supply of the second control current. The drive device according to claim 1.
  7. 　前記被駆動部を前記一の方向に沿った軸を回転軸として回転させる場合には、
    　前記一の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第２コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記一の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第３コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と同一となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記他の方向に沿って配列されている前記第１コイル及び前記第３コイルには、前記第１コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第３コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生し、
    　前記他の方向に沿って配列されている前記第４コイル及び前記第２コイルには、前記第４コイルに発生するローレンツ力の方向が前記第２コイルに発生するローレンツ力の方向と逆となるように、ローレンツ力が発生する
    　ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。     When rotating the driven part about the axis along the one direction as a rotation axis,
    In the first coil and the second coil arranged along the one direction, the direction of the Lorentz force generated in the first coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the second coil. The Lorentz force is generated,
    In the fourth coil and the third coil arranged along the one direction, the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is the same as the direction of the Lorentz force generated in the third coil. The Lorentz force is generated,
    In the first coil and the third coil arranged along the other direction, the direction of Lorentz force generated in the first coil is opposite to the direction of Lorentz force generated in the third coil. The Lorentz force is generated,
    In the fourth coil and the second coil arranged along the other direction, the direction of the Lorentz force generated in the fourth coil is opposite to the direction of the Lorentz force generated in the second coil. As described above, the Lorentz force is generated.
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