WO2013143537A1 - Richtkoppler mit geringer elektrischer kopplung - Google Patents

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WO2013143537A1
WO2013143537A1 PCT/DE2013/100114 DE2013100114W WO2013143537A1 WO 2013143537 A1 WO2013143537 A1 WO 2013143537A1 DE 2013100114 W DE2013100114 W DE 2013100114W WO 2013143537 A1 WO2013143537 A1 WO 2013143537A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
directional coupler
strips
main line
line
shield
Prior art date
Application number
PCT/DE2013/100114
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Ekkehard Mann
Christian Wangler
Original Assignee
Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg filed Critical Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg
Publication of WO2013143537A1 publication Critical patent/WO2013143537A1/de

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
    • H01P5/16—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port
    • H01P5/18—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port consisting of two coupled guides, e.g. directional couplers
    • H01P5/184—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port consisting of two coupled guides, e.g. directional couplers the guides being strip lines or microstrips
    • H01P5/187—Broadside coupled lines

Definitions

  • the invention relates to a directional coupler, in particular for systems for plasma excitation and / or laser excitation, comprising: a. a main line for transmitting a power;
  • High frequency generators are used for one
  • directional couplers which have two secondary lines in addition to a main line, via which the high-frequency power is sent in the direction of the load.
  • a secondary line can be used to measure the power delivered in the direction of the load, and the reflected power can be measured via the other secondary line. Due to the supply of high frequency power through the main line, electromagnetic fields are generated which are coupled to the secondary lines so that a measuring signal, which is related to the power on the main line, can be detected at the secondary lines.
  • Directivity describes the quality of the measurement.
  • the aim is to detect as few as possible of the power delivered in the direction of the load on the one sub-line and, if possible, to detect only portions of the reflected power with the other sub-line. In practice, however, this is not fully achieved. This means that with the one secondary line, with only the one delivered towards the load Power is to be detected, even if a small proportion of the reflected power is detected.
  • Directivity is the ratio of the power detection of the desired signal to the power detection of the unwanted power signal. The directivity should be as large as possible.
  • Directional couplers which are suitable for the above purpose, usually have a fixed coupling factor, which is about 20dB to 70dB, depending on the frequency and selected geometry, ie. it is a weak coupling.
  • a fixed coupling factor which is about 20dB to 70dB, depending on the frequency and selected geometry, ie. it is a weak coupling.
  • accuracy and resulting manufacturing costs are important in particular importance in the design of a directional coupler. High accuracy is achieved in particular by a high directivity.
  • a directional coupler which can be produced cost-effectively and which has high accuracy and has a weak coupling.
  • a directional coupler in particular for systems for plasma excitation and / or laser excitation, comprising: a. a main line for transmitting a power;
  • the shield has strips which have an electrical idling, an interruption is realized between the strips, so that annular currents in the shield can not or only very poorly trained. As a result, the electrical coupling can be selectively reduced from the main line to the secondary line.
  • Directivity is significantly influenced by the fields coupled to the sub-line as well as the load impedance on which the sub-line operates.
  • the targeted attenuation of the electric fields carried out according to the invention has the result that the secondary line can be adapted with optimized tolerances so that a load on which the secondary line operates can be in the region of 50 ohms.
  • By reducing the coupling of the electric field is therefore obtained greater freedom in terms of the choice of the load impedance on which the secondary line works.
  • the coupling can be reduced to -45dB and lower.
  • the first shield of the directional coupler can in particular so
  • a particularly simple type of embodiment of the first shield results when the first shield is designed as a comb-like structure, wherein the strips form the prongs of the comb-like structure.
  • the first shield may be connected to ground. Also, this can effectively reduce the formation of annular currents in the first shield.
  • the main line and the first secondary line can run parallel to one another in the coupling area. This creates a bigger one
  • the main line may be arranged in a first and the secondary line may be in a second, in particular parallel, position. This means that the main line and the secondary line are arranged one above the other.
  • the first shield may be arranged in a third position.
  • the first shield in an additional layer of
  • Multi-layer board can be realized. The production of the main line or the secondary line is not affected.
  • the first shield can be arranged in a position parallel to the first and second position.
  • the third layer can be arranged between the first and second layer or on the side of the second layer which faces away from the main line.
  • the first shield can thus either between the
  • Main line and the secondary line or under the secondary line i. be arranged on the side facing away from the main side of the secondary line.
  • the secondary line may have a length ⁇ / 8 in the coupling region, where ⁇ is the wavelength of the signals to be transmitted on the main line.
  • ⁇ is the wavelength of the signals to be transmitted on the main line.
  • the directional coupler can be realized relatively small construction.
  • the distances between the strips can be in the range 0.5 to 10mm. This means that the slot-like recess has a width in the Range may have 0.5 to 10mm. Depending on the intended use of the directional coupler, the spacing of the strips can thus be used for dimensioning the coupling factor of the directional coupler.
  • the distances between the stripes may be in the range of 0.0005 x ⁇ to 0.001 x ⁇ . This means that the slot-like recess can have a width in the range 0.0005 ⁇ ⁇ to 0.001 ⁇ ⁇ . In this way the coupling amplitudes are adjusted and the directivity is improved.
  • the strips can have a width in the range of 0.5 to 10 mm.
  • the strips may also have a width in the range 0.0005 x ⁇ to 0.001 x ⁇ . In this way the coupling amplitudes are adjusted and the directivity is improved.
  • Strip width to choose independently. It is also conceivable to choose a symmetrical arrangement, so that the strips have the same width as the slots between the strips. Also the
  • Strip width can thus be used for dimensioning the coupling factor.
  • the length of the strips can be in the range 30 to 50% of the width of a board on which the directional coupler is realized.
  • the length of the strips may be in the range 0.001 x ⁇ to 0.01 x ⁇ . In this way the coupling amplitudes are adjusted and the directivity is improved.
  • the directional coupler may have a second secondary line, which in the
  • Coupling region spaced from the main line in particular parallel to this runs.
  • both the power transmitted to the load and the power reflected by the load can be detected. This can be done on the different secondary lines.
  • two secondary lines are arranged parallel to one another, at least in the coupling region, and the secondary lines in the coupling region are also arranged parallel to the main line.
  • a particularly high accuracy can be achieved by using two secondary lines. The high accuracy is achieved in particular by a high directivity.
  • the accuracy requirement relates to the output signals of the secondary lines in the event that any mismatch load impedances are present at the output of the main line. This may be the case in particular if the directional coupler is used in a system which is used to operate a plasma load.
  • a plasma load has a strong nonlinear and ever-changing nature
  • one end of the secondary line can be terminated with a resistor and a capacitor (a high accuracy of the resistance value and a high accuracy of the capacity allow a high directivity) as well as the other end of the secondary line with the measuring electronics.
  • the dimensions of the secondary lines are considerably larger than the tolerances of PCB manufacturing, so there is a particularly small impact of the manufacturing process of the circuit board on the directivity.
  • the production is simplified if the second secondary line is arranged in the second layer.
  • Secondary line can be identical at least in the coupling area
  • the second secondary line may be associated with a second shield having a plurality of electrically interconnected strips, wherein the strips have an electrical idle at their free end.
  • the electrical coupling to the second bypass is effectively reduced by the second shield, in particular compared to a magnetic coupling.
  • the production of the directional coupler is simplified if the first and the second shield are identical. This also makes it possible to use the directional coupler
  • first and the second shield are arranged in the same position, they can be produced simultaneously. This reduces the manufacturing costs of the directional coupler.
  • the first and second shields may be opposed to the free ends of their shielding webs. Thus, a gap can be realized between the first and the second shield. To prevent ring currents from forming, the first and second shields should not touch each other.
  • the distance of the first and second secondary line may be smaller in the coupling region than the width of the main line.
  • the secondary lines are then in an area where the electric field between Main and mass trains homogeneously. As a result, a position offset (production) has little effect on the coupling properties
  • the first and second sub-lines may be arranged symmetrically with respect to a central longitudinal plane of the main line. This results in a total symmetrical structure of the directional coupler.
  • the directional coupler according to the invention is used at frequencies in the range 1 to 100 MHz and at powers in the range 1kW to 100kW. It is thus particularly suitable for transmitting signals with frequencies in the range of 1 to 100 MHz and powers in the range of 1 kW to 100 kW on the main line.
  • the directional coupler is designed as a multilayer conductor card component (multilayer board). Such a directional coupler is less expensive and can be produced with higher reproducibility than z.
  • the scope of the invention also includes a method for
  • Main line and a secondary line is reduced by a
  • Shielding structure is used in a position above or below the secondary line, through which the electrical coupling is weakened more than the magnetic coupling.
  • a directional coupler Reducing the coupling factor between a main line and a secondary line of a directional coupler, which is designed as a multilayer board directional coupler with a plurality of electrically insulating layers, wherein the electrical coupling between a main line and a
  • Sub-line is reduced by using in the uppermost insulating layer, a material having a higher dielectric constant than in the lowermost insulating layer. By doing so, capacitive losses can be increased, effectively reducing the electrical coupling from the main line to the sub-line. This too leads to the above-described goal of realizing a low coupling factor.
  • Fig. 1 is an exploded view of a device according to the invention
  • Fig. 2 is a perspective top view of an inventive
  • FIG. 3 shows another embodiment of a first and second shielding
  • Fig. Figure 4 shows an alternative embodiment of a first and second
  • Fig. 5 is a sectional view through an inventive
  • the directional coupler 1 shows a directional coupler 1, which consists of several layers.
  • the directional coupler 1 is designed as Mehrlagenleiter Actuallybauteil.
  • the directional coupler 1 has a main line 2, through which an electrical power is transmitted.
  • a coupling region 3 In a coupling region 3, a first secondary line 4 and a second secondary line 5
  • the secondary lines 4, 5 also run parallel to the main line. 2
  • the secondary lines 4, 5 are arranged in a position keeping the main line 2.
  • the connections 6 to 9 of the secondary lines 4, 5 are located outside the coupling region 3, likewise like the connections 10, 11 of the main line 2.
  • a first shield 12 and a second shield 13 are provided.
  • the shields 12, 13 formed like a comb, wherein the strips 14, 15 form the tines.
  • the first and second shields 12, 13 are opposite
  • the shields 12, 13 may be connected to ground during operation.
  • FIG. 2 shows the directional coupler 1 in the assembled state.
  • the secondary lines 4, 5 are not visible in the coupling area, since they are located below the main line 2.
  • the free ends 16, 17 of the strips 14, 15 are not visible, as they are also below the main line 2 and thus in the coupling region 3. From Figure 2 it can be seen that the strips 14, 15 perpendicular to
  • Extension direction of the main line 2 and the coupling region 3 are aligned. However, this arrangement is not mandatory for the operation of the directional coupler according to the invention.
  • the strips 14, 15 of the shields 12, 13 and the slot-like recesses 18, 19 have the same width in the example shown. However, the widths of the strips 14, 15 and also the slot-like recesses 18, 19 may vary.
  • FIG. 3 shows an alternative embodiment for first and second shields 12.1, 13.1.
  • the strips 14.1, 15.1 are aligned in different directions with respect to the main line 2.
  • the distance between the strips is one Shield 12.1, 13.1 not necessarily equidistant.
  • the distances or slot widths can vary.
  • the width of the strips 14.1, 15.1 is not equal.
  • the width of the strips 14.1, 15.1 can thus vary.
  • FIG. 4 shows a further alternative embodiment of a first and second shield 12.2, 13.2 is shown.
  • the strips 14.2, 15.2 obliquely, in particular at an angle between 0 and 90 ° aligned with the direction of extension of the main line 2.
  • Ring currents in the shields 12.2, 13.2 avoided or at least reduced by the presence of the slot-like recesses 18.2, 19.2. It can also be seen in FIG. 4 that the width of the strips and also the spacing between the strips is different.
  • first and second shields are shown extending substantially in a plane. This is advantageous because these shields can be easily made in a board process. But it is quite conceivable to make the shields at an angle or not to arrange in the same plane.
  • the lowermost layer in a lowermost layer is a metallic layer 30, which is formed as a third vote and can be connected to ground.
  • an insulating layer 31 is provided, which is preferably made of printed circuit board material.
  • This layer may have a first dielectric constant E.
  • the first and second secondary line 4, 5 are arranged in one layer.
  • a further insulating layer 32 is provided, which may also be formed of printed circuit board material.
  • This layer 32 may have a second dielectric constant s r2 .
  • the first and second shields 12, 13 and the strips 14, 15 can be seen in a further position. Here it can also be seen that the strips 13, 14 are spaced apart by the gap 20.
  • a gap of the same width is also located between the secondary lines 4, 5 in the coupling region 3.
  • a further layer 33 formed as an insulating layer, on which the main line 2 is located in a further position.
  • This layer has a dielectric constant ⁇ ⁇ 3.
  • a further insulating layer 34 may be arranged above the main line 2.
  • ⁇ ⁇ i ⁇ ⁇ 2 and ⁇ ⁇ i ⁇ ⁇ 3 By the ratio of ⁇ ⁇ l, ⁇ ⁇ 2 and ⁇ ⁇ 3 capacitive loads can be generated, whereby the electrical coupling between the main line 2 and the
  • Secondary lines 4, 5 can be reduced. In the region of the main line 2, no further layer is provided above the layer 34. Outside of the coupling region shown in Figure 5, however, a metallic layer, in particular a circuit may be provided.
  • the layers of the secondary lines 4, 5 and the first and second shields 12, 13 can be reversed. This would mean that on the layer 31, the first and second

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  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

Ein Richtkoppler (1), insbesondere für Systeme zur Plasmaanregung und/oder Laseranregung, ausgebildet als Mehrlagenleiterkartenbauteil umfassend: • Eine Hauptleitung (2) zur Übertragung einer Leistung; • Eine erste Nebenleitung (4), die in einem Koppelbereich (3) von der Hauptleitung (2) beabstandet zu dieser verläuft, wobei die Hauptleitung (2) in einer ersten und die erste Nebenleitung (4) in einer zweiten, insbesondere parallelen, Lage angeordnet ist; • Eine erste Abschirmung (12, 12.1, 12.2), die mehrere elektrisch miteinander verbundene Streifen (14, 14.1, 14.2) aufweist, wobei die Streifen (14, 14.1, 14.2) an ihrem freien Ende (16) einen elektrischen Leerlauf aufweisen, wobei die erste Abschirmung in einer dritten Lage angeordnet ist. Ein derartiger Richtkoppler weist eine hohe Genauigkeit und eine schwache Kopplung auf.

Description

B E S C H R E I B U N G
Richtkoppler mit geringer elektrischer Kopplung
Die Erfindung betrifft einen Richtkoppler, insbesondere für Systeme zur Plasmaanregung und/oder Laseranregung, umfassend : a. eine Hauptleitung zur Übertragung einer Leistung;
b. eine erste Nebenleitung, die in einem Koppelbereich von der
Hauptleitung beabstandet zu dieser verläuft;
c. eine erste Abschirmung, die mehrere elektrisch miteinander
verbundene Streifen aufweist.
Hochfrequenzgeneratoren werden dafür eingesetzt, eine
Hochfrequenzleistung zu erzeugen und an eine Last zu liefern . Als Last kommen beispielsweise Plasmaprozesse, wie Plasmabeschichten und Plasmaätzen, oder Laserprozesse (Laseranregung) in Frage. Da sich die Impedanz der Last ändern kann und es somit bei Fehlanpassung zur (teilweisen) Reflektion der von dem Hochfrequenzgenerator gelieferten Leistung kommen kann, wird häufig nicht die gesamte von dem Hochfrequenzgenerator gelieferte Leistung in der Last (dem Plasma) absorbiert. Um die in die Last gelieferte Hochfrequenzleistung genau einstellen bzw. regeln zu können, ist es wünschenswert, die in der Last absorbierte Leistung zu bestimmen.
Es ist bekannt, zur Messung/Bestimmung der in einer Last absorbierten Hochfrequenzleistung einen Richtkoppler einzusetzen, wobei die
absorbierte Hochfrequenzleistung sich aus der Differenz der von dem Hochfrequenzgenerator erzeugten Leistung und der reflektierten Leistung ergibt. Dadurch ist es möglich, den Hochfrequenzgenerator so zu regeln, dass die in der Last absorbierte Leistung hochgenau eingestellt und konstant gehalten werden kann.
Um sowohl die in Richtung Last gelieferte Hochfrequenzleistung als auch die reflektierte Leistung erfassen zu können, ist es bekannt, Richtkoppler einzusetzen, die neben einer Hauptleitung, über die die Hochfrequenzleistung in Richtung Last gesendet wird, zwei Nebenleitungen aufweisen. Über eine Nebenleitung kann dabei die in Richtung Last gelieferte Leistung gemessen werden und über die andere Nebenleitung kann die reflektierte Leistung gemessen werden. Aufgrund der Lieferung der Hochfrequenzleistung über die Hauptleitung entstehen elektromagnetische Felder, die auf die Nebenleitungen gekoppelt werden, so dass an den Nebenleitungen ein Messsignal erfasst werden kann, welches mit der Leistung auf der Hauptleitung in Beziehung steht. Mit dem Begriff Richtschärfe
('Directivity') wird die Qualität der Messung beschrieben. Ziel ist es, auf der einen Nebenleitung möglichst nur Anteile der in Richtung Last gelieferten Leistung zu detektieren und mit der anderen Nebenleitung möglichst nur Anteile der reflektierten Leistung zu detektieren. In der Praxis wird dies jedoch nicht vollständig erreicht. Das bedeutet, dass mit der einen Nebenleitung, mit der nur die in Richtung Last gelieferte Leistung detektiert werden soll, auch immer ein kleiner Anteil der reflektierten Leistung detektiert wird . Mit der Richtschärfe ('Directivity') wird das Verhältnis von der Leistungsdetektion des gewünschten Signals zu der Leistungsdetektion des unerwünschten Leitungssignals bezeichnet. Die Richtschärfe (Directivity) sollte möglichst groß sein.
Richtkoppler, die für den oben genannten Zweck geeignet sind, weisen in der Regel einen festen Koppelfaktor auf, der je nach Frequenz und gewählter Geometrie ca. 20dB bis 70dB beträgt, d .h. es handelt sich um eine schwache Kopplung . Von besonderer Wichtigkeit beim Design eines Richtkopplers sind die Genauigkeit und die resultierenden Herstellkosten. Eine hohe Genauigkeit wird insbesondere durch eine hohe Directivity erreicht.
Um bei höheren Frequenzen, z. B. 40MHz, und hohen Leistungen, z.B. 24kW, eine schwache Kopplung zu erzielen, müssten bei einem
Platinenrichtkoppler immer dickere Platinenschichten verwendet werden oder die Nebenleitungen müssten sehr schmal realisiert werden (< < 1mm). Ein solches System oder Vorgehen wäre jedoch sehr
toleranzempfindlich, denn je kleiner die Abmessungen der Nebenleitungen werden, desto größer werden die Auswirkungen der Fertigungstoleranz, die im Allgemeinen gleich bleibt.
Aus der beschriebenen Problemstellung folgt, dass bei
Platinenrichtkopplern aufgrund der endlichen Platinendicke nicht beliebig kleine Koppelfaktoren realisiert werden können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen kostengünstig herzustellenden Richtkoppler bereit zu stellen, der eine hohe Genauigkeit aufweist und eine schwache Kopplung aufweist. Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch einen Richtkoppler, insbesondere für Systeme zur Plasmaanregung und/oder Laseranregung, umfassend : a. eine Hauptleitung zur Übertragung einer Leistung;
b. eine erste Nebenleitung, die in einem Koppelbereich von der
Hauptleitung beabstandet zu dieser verläuft;
c. eine erste Abschirmung, die mehrere elektrisch miteinander
verbundene Streifen aufweist, wobei
d. die Streifen an ihrem freien Ende einen elektrischen Leerlauf
aufweisen.
Durch diese Maßnahme wird erreicht, dass das elektrische Feld gedämpft wird, das magnetische Feld jedoch nicht oder nur geringfügig. Dadurch, dass die Abschirmung Streifen aufweist, die einen elektrischen Leerlauf aufweisen, wird zwischen den Streifen eine Unterbrechung realisiert, so dass sich ringförmige Ströme in der Abschirmung nicht oder nur sehr schlecht ausbilden können. Dadurch kann gezielt die elektrische Kopplung von der Hauptleitung auf die Nebenleitung reduziert werden. Die
Directivity wird maßgeblich durch die auf die Nebenleitung gekoppelten Felder sowie durch die Lastimpedanz, auf die die Nebenleitung arbeitet, beeinflusst. Die erfindungsgemäß durchgeführte gezielte Dämpfung der elektrischen Felder hat zur Folge, dass die Nebenleitung toleranzoptimiert angepasst werden kann, so dass eine Last, auf die die Nebenleitung arbeitet, im Bereich von 50 Ohm liegen kann. Durch die Reduzierung der Kopplung des elektrischen Feldes erhält man daher größere Freiräume bezüglich der Wahl der Lastimpedanz, auf die die Nebenleitung arbeitet. Durch die Verwendung der Abschirmung mit Streifen, die einen Leerlauf aufweisen, wobei die Abschirmung und die Streifen vorzugsweise aus Kupfer ausgebildet sind, kann die Kopplung auf -45dB und geringer gesenkt werden.
Die erste Abschirmung des Richtkopplers kann insbesondere so
ausgestaltet sein, dass zwischen zumindest zwei Streifen eine einseitig offene schlitzartige Ausnehmung vorgesehen ist. Durch Einbringen eines einseitig offenen Schlitzes, können auf besonders einfache Art und Weise zwei Streifen realisiert werden. Die einseitig offene schlitzartige
Ausnehmung verhindert, dass sich zwischen den Streifen Ringströme ausbilden können. Dadurch wird das elektrische Feld abgeschirmt und die elektrische Kopplung von der Hauptleitung auf die Nebenleitung reduziert.
Eine besonders einfache Art der Ausgestaltung der ersten Abschirmung ergibt sich, wenn die erste Abschirmung als kammartige Struktur ausgebildet ist, wobei die Streifen die Zinken der kammartigen Struktur bilden.
Die erste Abschirmung kann mit Masse verbunden sein. Auch dadurch kann die Ausbildung von ringförmigen Strömen in der ersten Abschirmung wirksam vermindert werden.
Die Hauptleitung und die erste Nebenleitung können im Kopplungsbereich parallel zueinander verlaufen. Dadurch entsteht ein größerer
Kopplungsbereich . Außerdem wird die Herstellung des Richtkopplers, insbesondere wenn dieser als Platinenrichtkoppler ausgebildet ist, vereinfacht. Die Hauptleitung kann in einer ersten und die Nebenleitung kann in einer zweiten, insbesondere parallelen, Lage angeordnet sein. Dies bedeutet, dass die Hauptleitung und die Nebenleitung übereinander angeordnet sind .
Die erste Abschirmung kann in einer dritten Lage angeordnet sein. Somit kann die erste Abschirmung in einer zusätzlichen Lage einer
Mehrlagenplatine realisiert werden. Die Herstellung der Hauptleitung oder der Nebenleitung wird dadurch nicht beeinflusst.
Dabei kann die erste Abschirmung in einer zur ersten und zweiten Lage parallelen Lage angeordnet sein.
Um eine möglichst effektive Abschirmung des elektrischen Feldes zu erreichen kann die dritte Lage zwischen erster und zweiter Lage oder auf der der Hauptleitung abgewandten Seite der zweiten Lage angeordnet sein. Die erste Abschirmung kann somit entweder zwischen der
Hauptleitung und der Nebenleitung angeordnet sein oder unter der Nebenleitung, d.h. auf der der Hauptleitung abgewandten Seite der Nebenleitung angeordnet sein.
Die Nebenleitung kann im Koppelbereich eine Länge <λ/8 aufweisen, wobei λ die Wellenlänge der auf der Hauptleitung zu übertragenden Signale ist. Somit hat die Nebenleitung im Kopplungsbereich eine
Ausdehnung, die wesentlich kleiner ist als die Wellenlänge. Typischerweise kann die Ausdehnung 0,01 x λ betragen. Somit lässt sich der Richtkoppler relativ kleinbauend realisieren.
Die Abstände zwischen den Streifen können im Bereich 0,5 bis 10mm liegen. Dies bedeutet, dass die schlitzartige Ausnehmung eine Breite im Bereich 0,5 bis 10mm aufweisen kann. Der Abstand der Streifen kann je nach Einsatzzweck des Richtkopplers somit zur Dimensionierung des Koppelfaktors des Richtkopplers verwendet werden.
Die Abstände zwischen den Streifen können im Bereich von 0,0005 x λ bis 0,001 x λ liegen. Dies bedeutet, dass die schlitzartige Ausnehmung eine Breite im Bereich 0,0005 x λ bis 0,001 x λ aufweisen kann. Auf diese Weise werden die Koppelamplituden angepasst und die Richtschärfe verbessert.
Die Streifen können eine Breite im Bereich 0,5 bis 10mm aufweisen.
Die Streifen können auch eine Breite im Bereich 0,0005 x λ bis 0,001 x λ aufweisen . Auf diese Weise werden die Koppelamplituden angepasst und die Richtschärfe verbessert.
Es ist somit denkbar, die Abstände zwischen den Streifen und die
Streifenbreite unabhängig voneinander zu wählen. Es ist auch denkbar, eine symmetrische Anordnung zu wählen, so dass die Streifen die gleiche Breite aufweisen wie die Schlitze zwischen den Streifen. Auch die
Streifenbreite kann somit zur Dimensionierung des Koppelfaktors verwendet werden.
Die Länge der Streifen kann im Bereich 30 bis 50% der Breite einer Platine sein, auf der der Richtkoppler realisiert ist.
Die Länge der Streifen kann im Bereich 0,001 x λ bis 0,01 x λ sein. Auf diese Weise werden die Koppelamplituden angepasst und die Richtschärfe verbessert. Der Richtkoppler kann eine zweite Nebenleitung aufweisen, die im
Koppelbereich beabstandet von der Hauptleitung, insbesondere parallel zu dieser, verläuft. Wenn somit zwei Nebenleitungen vorgesehen sind, kann sowohl die in Richtung Last übertragene Leistung erfasst werden als auch die von der Last reflektierte Leistung. Dies kann auf den unterschiedlichen Nebenleitungen erfolgen. Vorzugsweise sind zwei Nebenleitungen zumindest im Kopplungsbereich parallel zueinander angeordnet und sind die Nebenleitungen im Kopplungsbereich auch parallel zur Hauptleitung angeordnet. Eine besonders hohe Genauigkeit kann durch die Verwendung von zwei Nebenleitungen erreicht werden. Die hohe Genauigkeit wird insbesondere durch eine hohe Directivity erreicht. Die
Genauigkeitsanforderung betrifft insbesondere die Ausgangssignale der Nebenleitungen für den Fall, dass beliebige Fehlanpassungslastimpe- danzen am Ausgang der Hauptleitung vorliegen. Dies kann insbesondere dann der Fall sein, wenn der Richtkoppler in einem System verwendet wird, welches zur Betreibung einer Plasmalast verwendet wird. Eine Plasmalast hat eine stark nichtlineare und sich ständig ändernde
Impedanz.
Bei der Verwendung von zwei Nebenleitungen kann jeweils ein Ende der Nebenleitung durch einen Widerstand und eine Kapazität (eine hohe Genauigkeit des Widerstandswert und eine hohe Genauigkeit der Kapazität erlauben eine hohe Directivity) sowie das andere Ende der Nebenleitung mit der Messelektronik abgeschlossen werden.
Wird die Koppelgeometrie so gewählt, dass bei hoher Directivity die Abmessungen der Nebenleitungen erheblich größer sind als die Toleranzen der Leiterplattenfertigung, so ergibt sich ein besonders geringer Einfluss des Herstellungsprozesses der Leiterplatte auf die Directivity. Die Herstellung wird vereinfacht, wenn die zweite Nebenleitung in der zweiten Lage angeordnet ist. Somit können die erste und zweite
Nebenleitung gleichzeitig hergestellt werden. Die erste und zweite
Nebenleitung können zumindest im Kopplungsbereich identisch
ausgebildet sein, insbesondere gleich lang und gleich breit sein.
Der zweiten Nebenleitung kann eine zweite Abschirmung zugeordnet sein, die mehrere elektrisch miteinander verbundene Streifen aufweist, wobei die Streifen an ihrem freien Ende einen elektrischen Leerlauf aufweisen. Somit wird auch die elektrische Kopplung auf die zweite Nebenleitung effektiv durch die zweite Abschirmung, insbesondere im Vergleich zu einer magnetischen Kopplung, reduziert. Die Herstellung des Richtkopplers wird vereinfacht, wenn die erste und die zweite Abschirmung identisch ausgebildet sind . Dadurch ist es auch möglich, den Richtkoppler
symmetrisch auszubilden und für die beiden Nebenleitungen den gleichen Koppelfaktor zu realisieren.
Wenn die erste und die zweite Abschirmung in derselben Lage angeordnet sind, können diese gleichzeitig hergestellt werden. Dadurch werden die Herstellungskosten des Richtkopplers verringert.
Die erste und die zweite Abschirmung können mit den freien Enden ihrer Abschirmstege gegenüberliegend angeordnet sein. Somit kann zwischen der ersten und der zweiten Abschirmung ein Spalt realisiert sein. Um zu verhindern, dass sich Ringströme ausbilden, sollten sich die erste und zweite Abschirmung nicht berühren.
Der Abstand der ersten und zweiten Nebenleitung kann im Koppelbereich kleiner sein als die Breite der Hauptleitung . Die Nebenleitungen befinden sich dann in einem Bereich, wo sich das elektrische Feld zwischen Hauptleitung und Masse homogen ausbildet. Dadurch hat ein Lagenversatz (Fertigung) wenig Auswirkung auf die Koppeleigenschaften
Die erste und die zweite Nebenleitung können symmetrisch bezüglich einer Mittenlängsebene der Hauptleitung angeordnet sein. Dadurch ergibt sich insgesamt ein symmetrischer Aufbau des Richtkopplers.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn der erfindungsgemäße Richtkoppler bei Frequenzen im Bereich 1 bis 100 MHz und bei Leistungen im Bereich 1kW bis 100kW eingesetzt wird . Er ist somit besonders geeignet, Signale mit Frequenzen im Bereich 1 bis 100MHz und Leistungen im Bereich 1kW bis 100kW auf der Hauptleitung zu übertragen.
Eine besonders kostengünstige Herstellungsmöglichkeit ergibt sich, wenn der Richtkoppler als Mehrlagenleiterkartenbauteil (Multilayerplatine) ausgebildet ist. Ein solcher Richtkoppler ist kostengünstiger und mit höherer Reproduzierbarkeit herstellbar als z. B. ein Richtkoppler aus gefrästen (Metall-) Bauteilen (Fräsrichtkoppler).
In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein Verfahren zur
Reduzierung des Koppelfaktors zwischen einer Hauptleitung und einer Nebenleitung eines Richtkopplers, der als mehrlagiger Platinenrichtkoppler ausgebildet ist, bei dem die elektrische Kopplung zwischen einer
Hauptleitung und einer Nebenleitung reduziert wird, indem eine
Abschirmstruktur in einer Lage über oder unter der Nebenleitung verwendet wird, durch die die elektrische Kopplung stärker geschwächt wird als die magnetische Kopplung . Durch diese Maßnahme kann eine höhere Genauigkeit und somit ein geringerer Koppelfaktor realisiert werden. In einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zur
Reduzierung des Koppelfaktors zwischen einer Hauptleitung und einer Nebenleitung eines Richtkopplers, der als mehrlagiger Platinenrichtkoppler mit mehreren elektrisch isolierenden Schichten ausgebildet ist, bei dem die elektrische Kopplung zwischen einer Hauptleitung und einer
Nebenleitung reduziert wird, indem in der obersten isolierenden Schicht ein Material mit einer höheren Dielektrizitätskonstante verwendet als in der untersten isolierenden Schicht. Durch diese Maßnahme können kapazitive Verluste erhöht werden, wodurch effektiv die elektrische Kopplung von der Hauptleitung auf die Nebenleitung reduziert wird . Auch dies führt zu dem oben beschriebenen Ziel, einen niedrigen Koppelfaktor zu realisieren.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentlich Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen :
Fig . 1 eine Explosionsdarstellung eines erfindungsgemäßen
Richtkopplers;
Fig . 2 eine perspektivische Draufsicht auf einen erfindungsgemäßen
Richtkoppler; Fig . 3 eine weitere Ausführungsform einer ersten und zweiten Abschirmung;
Fig . 4 eine alternative Ausführungsform einer ersten und zweiten
Abschirmung;
Fig . 5 eine Schnittdarstellung durch einen erfindungsgemäßen
Richtkoppler im Bereich der Hauptleitung.
Die Figur 1 zeigt einen Richtkoppler 1, der aus mehreren Lagen besteht. Insbesondere ist der Richtkoppler 1 als Mehrlagenleiterkartenbauteil ausgebildet. Der Richtkoppler 1 weist eine Hauptleitung 2 auf, durch die eine elektrische Leistung übertragen wird. In einem Kopplungsbereich 3 sind eine erste Nebenleitung 4 und eine zweite Nebenleitung 5
vorgesehen, welche im Kopplungsbereich parallel zueinander verlaufen. Die Nebenleitungen 4, 5 verlaufen auch parallel zur Hauptleitung 2.
Insbesondere sind die Nebenleitungen 4, 5 in einer Lage unterhalt der Hauptleitung 2 angeordnet. Die Anschlüsse 6 bis 9 der Nebenleitungen 4, 5 befinden sich außerhalb des Kopplungsbereichs 3, ebenfalls wie die Anschlüsse 10, 11 der Hauptleitung 2.
Um zu bewirken, dass elektrische Felder von der Hauptleitung 2 weniger stark auf die erste und zweite Nebenleitung 4, 5 gekoppelt werden als magnetische Felder, sind eine erste Abschirmung 12 und eine zweite Abschirmung 13 vorgesehen. Die erste und zweite Abschirmung 12, 13, die über oder unter den Nebenleitungen 4, 5 angeordnet sein können, weisen Streifen 14, 15 auf, deren freien Enden 16, 17 elektrisch leerlaufend sind . An den anderen Enden sind die Streifen 14, 15 mit weiteren Streifen derselben Abschirmung 12, 13 elektrisch leitend verbunden. Zwischen zwei benachbarten Streifen derselben Abschirmung 12, 13 sind schlitzartige Ausnehmungen 18, 19, die an einer Seite geöffnet sind, vorgesehen. Somit sind die Abschirmungen 12, 13 kammartig ausgebildet, wobei die Streifen 14, 15 die Zinken bilden.
Die erste und zweite Abschirmung 12, 13 sind gegenüberliegend
voneinander angeordnet, wobei die freien Enden 16, 17 aufeinander zuweisen, jedoch durch einen Spalt 20 voneinander beabstandet sind . Die Abschirmungen 12, 13 können im Betrieb mit Masse verbunden sein.
Die Figur 2 zeigt den Richtkoppler 1 in zusammengebautem Zustand . Die Nebenleitungen 4, 5 sind im Kopplungsbereich nicht zu sehen, da sie sich unterhalb der Hauptleitung 2 befinden. Auch die freien Enden 16, 17 der Streifen 14, 15 sind nicht zu sehen, da diese sich ebenfalls unterhalb der Hauptleitung 2 und somit im Kopplungsbereich 3 befinden. Der Figur 2 kann man entnehmen, dass die Streifen 14, 15 senkrecht zur
Erstreckungsrichtung der Hauptleitung 2 bzw. des Kopplungsbereichs 3 ausgerichtet sind. Diese Anordnung ist für die Funktionsweise des erfindungsgemäßen Richtkopplers jedoch nicht zwingend.
Die Streifen 14, 15 der Abschirmungen 12, 13 und die schlitzartigen Ausnehmungen 18, 19 weisen im gezeigten Beispiel dieselbe Breite auf. Die Breiten der Streifen 14, 15 und auch der schlitzartigen Ausnehmungen 18, 19 kann jedoch variieren.
Die Figur 3 zeigt eine alternative Ausführungsform für erste und zweite Abschirmungen 12.1, 13.1. Hier ist zu erkennen, dass die Streifen 14.1, 15.1 in unterschiedliche Richtungen in Bezug auf die Hauptleitung 2 ausgerichtet sind. Außerdem ist der Abstand zwischen den Streifen einer Abschirmung 12.1, 13.1 nicht notwendigerweise äquidistant. Die Abstände bzw. Schlitzbreiten können variieren. Die Breite der Streifen 14.1, 15.1 ist nicht gleich. Auch die Breite der Streifen 14.1, 15.1 kann somit variieren.
In der Figur 4 ist eine weitere alternative Ausgestaltung einer ersten und zweiten Abschirmung 12.2, 13.2 gezeigt. In diesem Fall sind die Streifen 14.2, 15.2 schräg, insbesondere in einem Winkel zwischen 0 und 90° zur Erstreckungsrichtung der Hauptleitung 2 ausgerichtet. Auch hier wird, wie in den vorgeschriebenen Ausführungsformen die Ausbildung von
Ringströmen in den Abschirmungen 12.2, 13.2 durch das Vorhandensein der schlitzartigen Ausnehmungen 18.2, 19.2 vermieden oder zumindest verringert. Auch in der Figur 4 ist zu erkennen, dass die Breite der Streifen und auch der Abstand zwischen den Streifen unterschiedlich ist.
In den Figuren 1, 3 und 4 sind erste und zweite Abschirmungen gezeigt, die sich im Wesentlichen in einer Ebene erstrecken. Dies ist vorteilhaft, da diese Abschirmungen einfach in einem Platinenprozess hergestellt werden können. Es ist aber durchaus denkbar, die Abschirmungen schräg zu stellen bzw. nicht in derselben Ebene anzuordnen.
Die Figur 5 zeigt eine Schnittdarstellung durch den Richtkoppler 1. Die unterste Schicht in einer untersten Lage ist eine metallische Schicht 30, die als dritte Abstimmung ausgebildet ist und mit Masse verbunden werden kann. Über der Schicht 30 ist eine isolierende Schicht 31 vorgesehen, die vorzugsweise aus Platinenmaterial hergestellt ist. Diese Schicht kann eine erste Dielektrizitätskonstante E aufweisen. Darüber sind die erste und zweite Nebenleitung 4, 5 in einer Lage angeordnet. Über den Nebenleitungen 4, 5 ist eine weitere isolierende Schicht 32 vorgesehen, die ebenfalls aus Platinenmaterial ausgebildet sein kann. Diese Schicht 32 kann eine zweite Dielektrizitätskonstante sr2 aufweisen. Über der Schicht 32 sind die erste und zweite Abschirmung 12, 13, bzw. die Streifen 14, 15 in einer weiteren Lage zu erkennen. Hier ist auch zu erkennen, dass die Streifen 13, 14 durch den Spalt 20 beabstandet sind . Ein Spalt derselben Breite befindet sich auch zwischen den Nebenleitungen 4, 5 im Kopplungsbereich 3. Über der ersten und zweiten Abschirmung 12, 13 ist eine weitere als isolierende Schicht ausgebildete Schicht 33 vorgesehen, auf der sich die Hauptleitung 2 in einer weiteren Lage befindet. Diese Schicht weist eine Dielektrizitätskonstante εΓ3 auf. Eine weitere isolierende Schicht 34 kann über der Hauptleitung 2 angeordnet sein. Vorzugsweise ist εΓ i < εΓ 2 und εΓ i < εΓ 3 Durch das Verhältnis von εΓ l, εΓ 2 und εΓ 3 können kapazitive Belastungen generiert werden, wodurch die elektrische Kopplung zwischen der Hauptleitung 2 und den
Nebenleitungen 4, 5 reduziert werden kann. Im Bereich der Hauptleitung 2 ist oberhalb der Schicht 34 keine weitere Lage vorgesehen. Außerhalb des in der Figur 5 dargestellten Kopplungsbereichs kann jedoch eine metallische Schicht, insbesondere eine Beschaltung vorgesehen sein.
In einer alternativen Ausgestaltung können die Lagen der Nebenleitungen 4, 5 und der ersten und zweiten Abschirmung 12, 13 vertauscht werden. Dies würde bedeuten, dass auf der Schicht 31 die erste und zweite
Abschirmung 12, 13 und auf der Schicht 32 die erste und zweite
Nebenleitung 4, 5 angeordnet sind.

Claims

Patentansprüche
1. Richtkoppler (1), insbesondere für Systeme zur Plasmaanregung und/oder Laseranregung, ausgebildet als
Mehrlagenleiterkartenbauteil umfassend :
a . Eine Hauptleitung (2) zur Übertragung einer Leistung;
b. Eine erste Nebenleitung (4), die in einem Koppelbereich (3) von der Hauptleitung (2) beabstandet zu dieser verläuft, wobei die Hauptleitung (2) in einer ersten und die erste Nebenleitung (4) in einer zweiten, insbesondere parallelen, Lage angeordnet ist;
c. Eine erste Abschirmung (12, 12.1, 12.2), die mehrere
elektrisch miteinander verbundene Streifen (14, 14.1, 14.2) aufweist, wobei die Streifen (14, 14.1, 14.2) an ihrem freien Ende (16) einen elektrischen Leerlauf aufweisen,
dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abschirmung (12, 12.1, 12.2) in einer dritten Lage angeordnet ist.
2. Richtkoppler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
zwischen zumindest zwei Streifen (14, 14.1, 14.2) eine einseitig offene schlitzartige Ausnehmung (18, 18.2) vorgesehen ist.
3. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abschirmung (12, 12.1, 12.2) als kammartige Struktur ausgebildet ist, wobei die Streifen (14, 14.1, 14.2) die Zinken der kammartigen Abschirmung (12, 12.1, 12.2) bilden.
4. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abschirmung (12, 12.1, 12.2) in einer zur ersten und zweiten Lage parallelen Lage angeordnet ist.
5. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Lage zwischen erster und zweiter Lage oder auf der der Hauptleitung abgewandten Seite der zweiten Lage angeordnet ist.
6. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstände zwischen den Streifen im Bereich von 0,5 mm bis 10 mm liegen.
7. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifen eine Breite im Bereich von 0,5 mm bis 10 mm aufweisen.
8. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifen eine Länge im Bereich von 30% bis 50% der Breite einer Platine aufweisen, auf der der Richtkoppler realisiert ist.
9. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nebenleitung (4) im Koppelbereich eine Länge < λ/8 aufweist, wobei λ die Wellenlänge der auf der
Hauptleitung zu übertragenden Signale ist.
10. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstände zwischen Streifen (14, 14.1, 14.2) im Bereich 0,0005 x λ bis 0,001 x λ betragen, wobei λ die Wellenlänge der auf der Hauptleitung zu übertragenden Signale ist.
11. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Streifen (14, 14.1, 14.2) eine Breite im Bereich 0,0005 x λ bis 0,001 x λ betragen, wobei λ die Wellenlänge der auf der Hauptleitung zu übertragenden Signale ist.
12. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge der Streifen (14, 14.1, 14.2) im Bereich 0,001 x A bis 0,01 x λ liegt, wobei λ die
Wellenlänge der auf der Hauptleitung zu übertragenden Signale ist.
13. Richtkoppler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass einer zweiten Nebenleitung (5) eine zweite Abschirmung (13, 13.1, 13.2) zugeordnet ist, die mehrere elektrisch miteinander verbundene Streifen (15, 15.1, 15.2) aufweist, wobei die Streifen (15, 15.1, 15.2) an ihrem freien Ende (17) einen elektrischen Leerlauf aufweisen.
14. Verfahren zur Reduzierung des Koppelfaktors zwischen einer Hauptleitung (2) und einer Nebenleitung (4, 5) eines Richtkopplers, der als mehrlagiger Platinenrichtkoppler ausgebildet ist, bei dem die elektrische Kopplung zwischen einer Hauptleitung (2) und einer Nebenleitung (4, 5) reduziert wird, indem eine Abschirmstruktur (12, 12.1, 12.2, 13, 13.1, 13.2) in einer Lage über oder unter der Nebenleitung (4, 5) verwendet wird, durch die die elektrische Kopplung stärker geschwächt wird als die magnetische Kopplung.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019185424A1 (de) 2018-03-26 2019-10-03 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Richtkoppler
WO2019185425A1 (de) 2018-03-26 2019-10-03 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Hochfrequenzleistungsmessvorrichtung
DE102023109309A1 (de) 2023-04-13 2024-10-17 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Mikrowellen-Erwärmungseinrichtung für eine mikrowellengestützte Bearbeitungsvorrichtung und Nutzung derselben

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015212184A1 (de) 2015-06-30 2017-01-05 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Richtkoppler

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060028295A1 (en) * 2004-08-04 2006-02-09 Belinda Piernas Three-dimensional quasi-coplanar broadside microwave coupler
WO2010076085A1 (en) * 2009-01-02 2010-07-08 International Business Machines Corporation Integrated millimeter wave phase shifter and method
US20110148544A1 (en) * 2009-12-18 2011-06-23 Ngk Insulators, Ltd. Directional coupler

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2951218A (en) * 1957-02-19 1960-08-30 Itt Directional couplings
US6816031B1 (en) * 2001-12-04 2004-11-09 Formfactor, Inc. Adjustable delay transmission line

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060028295A1 (en) * 2004-08-04 2006-02-09 Belinda Piernas Three-dimensional quasi-coplanar broadside microwave coupler
WO2010076085A1 (en) * 2009-01-02 2010-07-08 International Business Machines Corporation Integrated millimeter wave phase shifter and method
US20110148544A1 (en) * 2009-12-18 2011-06-23 Ngk Insulators, Ltd. Directional coupler

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SACHSE K ET AL: "Novel, multilayer coupled-line structures and their circuit applications", MICROWAVES, RADAR AND WIRELESS COMMUNICATIONS. 2000. MIKON-2000. 13TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MAY 22-24, 2000, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, vol. 3, 22 May 2000 (2000-05-22), pages 131 - 155, XP010537480, ISBN: 978-83-906662-3-5 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019185424A1 (de) 2018-03-26 2019-10-03 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Richtkoppler
WO2019185425A1 (de) 2018-03-26 2019-10-03 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Hochfrequenzleistungsmessvorrichtung
DE102023109309A1 (de) 2023-04-13 2024-10-17 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Mikrowellen-Erwärmungseinrichtung für eine mikrowellengestützte Bearbeitungsvorrichtung und Nutzung derselben

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