WO2013077556A1 - 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석 및 이의 제조 방법 - Google Patents

전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석 및 이의 제조 방법 Download PDF

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원미숙
윤장희
최세용
박진용
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Definitions

  • Embodiments relate to magnets for Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source devices and methods of manufacturing magnets for ECR ion source devices.
  • ECR Electron Cyclotron Resonance
  • ECR electron cyclone resonance
  • the ECR ion source device includes a magnet to apply a magnetic field for generating ECR.
  • Korean Laid-Open Patent Publication No. 2000-0007386 discloses a racetrack type superconducting magnet wound with a coil.
  • the angle of the wedge for structurally reinforcing the hexapole coil wound in a racetrack shape is maintained at about 60 degrees, the self-locking effect of the wedge is small, and additional space and Cost.
  • a racetrack horseshoe-type hexapole coil may be used, but the racetrack horseshoe-type hexapole coil has a high manual dependency, resulting in an increase in manufacturing cost and time.
  • ECR electron eddy resonance
  • Electron eddy resonance (ECR) ion source device magnet according to one embodiment, the internal structure; And a pole magnet part including a plurality of coils spaced apart from each other on an outer circumferential surface of the internal structure.
  • each of the plurality of coils may have a stepped structure in which the cross-sectional area increases as the distance from the internal structure increases.
  • the plurality of coils may include six coils arranged at regular intervals on the outer circumferential surface of the internal structure. That is, the pole magnet portion may be composed of a hexapole magnet.
  • a method of manufacturing a magnet for an ECR ion source device includes providing an internal structure; And forming a plurality of coils arranged on the outer circumferential surface of the inner structure to be spaced apart from each other and wound so that the cross-sectional area increases as the distance from the inner structure increases.
  • the coiled shape of the coil has a stepped structure, thereby distributing an area subject to electromagnetic force. It is possible to improve the self-locking force of the wedge by reducing the angle of insertion of the wedge between the coils. In addition, by effectively utilizing the coil cross-sectional area while maintaining a racetrack-type winding that is easy to manufacture, it is possible to generate a high magnetic field and save wire.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a magnet for an Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source device according to one embodiment.
  • ECR Electron Cyclotron Resonance
  • FIG. 2 is a bottom view of one coil of the magnet for the ECR ion source device shown in FIG. 1.
  • 3A and 3B are side views of the coil shown in FIG. 2.
  • FIG. 4 is a plan view of the coil illustrated in FIG. 2.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a magnet for an Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source device according to one embodiment.
  • ECR Electron Cyclotron Resonance
  • a magnet for an ECR ion source device may include an internal structure 1 and a pole magnet part 2.
  • the internal structure 1 is a part for structurally supporting the magnet for an ECR ion source device.
  • the internal structure 1 may be a cylindrical structure, but is not limited thereto.
  • the pole magnet portion 2 is a portion for applying a magnetic field for inducing an ECR phenomenon of ions.
  • the pole magnet part 2 may include a plurality of coils 21.
  • the plurality of coils 21 may be arranged spaced apart from each other on the outer peripheral surface of the internal structure (1).
  • the plurality of coils 21 may include six coils 21 arranged at regular intervals on the outer circumferential surface of the internal structure 1. That is, the pole magnet portion 2 may be a hexapole magnet including six coils 21.
  • the pole magnet portion 2 may comprise a bobbin located in the center region 22 corresponding to each pole, or the bobbin is removed after the winding of the coil 21 is completed so that the pole magnet portion 2 ) May not be included.
  • the pole magnet portion 2 may further include a pole magnet support structure 23 surrounding the internal structure 1 and the plurality of coils 21.
  • FIG. 2 is a bottom view showing any one coil in the magnet for an ECR ion source device shown in FIG. 1
  • FIGS. 3A and 3B are side views of the coil
  • FIG. 4 is a plan view of the coil.
  • the coil 21 may have a stepped structure.
  • the coil 21 may be formed by winding the wire rod in a plurality of stages. In this case, the number of windings of the wire rod may be adjusted so that the cross-sectional area of the coil 21 is different at each end.
  • the coil 21 may have a stepped structure in which the cross-sectional area of the coil 21 increases as the distance from the internal structure increases.
  • FIG. 2 shows a shape viewed from the smallest cross-sectional area of the coil 21, and each step of the stepped structure in which the cross-sectional area of the coil 21 gradually increases can be seen.
  • Figure 4 shows the shape seen from the largest cross-sectional area of the coil 21, so that each step of the stepped structure is shown by a dotted line.
  • the magnet for the ECR ion source device may further include a solenoid magnet portion 4 surrounding the internal structure 1 and the pole magnet portion 2.
  • the solenoid magnet portion 4 is a portion that provides a magnetic field for trapping electrons in the plasma to generate an ECR phenomenon.
  • the magnet for the ECR ion source device may further comprise a connecting structure 3 and / or a magnet combination 5.
  • the connecting structure 3 or the magnet assembly 5 is a part for structurally supporting the structure consisting of the internal structure 1, the pole magnet part 2, and the solenoid magnet part 4 by mutual coupling.
  • the connecting structure 3 may exist as an empty space or may be filled with a material for facilitating structural reinforcement and heat transfer, and the magnet assembly 5 may be made of a material for structural reinforcement and heat transfer.
  • an area subject to electromagnetic force is dispersed due to the stepped structure of each of the plurality of coils 21 while maintaining a conventional racetrack-type winding that is easy to manufacture. It is structurally stable.
  • a wedge (not shown) may be inserted between the coils 21 when the coils are assembled. Due to the stepped structure of each of the coils 21, the angle of the area between the adjacent coils 21 into which the wedges are to be inserted is included. ( ⁇ ) can be reduced as compared with the case of the conventional magnet to improve the self-locking force by the wedge. Furthermore, by effectively utilizing the cross-sectional area of the coil 21 to increase the magnetic field around the required center, it is possible to save the wire rod required for the coil 21 while generating a higher magnetic field by increasing the cross-sectional area closer to the center.
  • the pole magnet portion 2 may be formed by forming a plurality of coils 21 spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the internal structure 1.
  • the plurality of coils 21 may include six coils 21 arranged at regular intervals on the outer circumferential surface of the internal structure 1, in which case the pole magnet part 2 may be a hexapole magnet.
  • Each coil 21 may be formed by placing the bobbin in the center region 22 corresponding to the pole position and winding the wire rod in the bobbin.
  • the coil 21 may be formed by winding the wire while applying epoxy in the winding, or the epoxy may be vacuum-impregnated after the winding of the coil 21 is completed.
  • the bobbin may be removed or may be included in the pole magnet portion 2 without being removed.
  • each coil 21 may be formed in a stepped structure in which the cross-sectional area of the coil 21 increases as the distance from the internal structure 1 increases.
  • the direction adjacent to the internal structure 1 is referred to as below and the direction far from the internal structure 1 is referred to as the top of the two adjacent stages.
  • the coil 21 may be formed by winding the wire so that the number of turns is larger than that of the lower end. At this time, the winding direction of the wire rod may be a direction from the lower end to the upper end, or may be the opposite direction.
  • the process of forming the coil 21 of the stepped structure may include the step of forming a reinforcement (not shown) on the winding after the winding of each stage of the stepped structure is completed.
  • the reinforcement may be made of metal, epoxy or other suitable material.
  • the epoxy may be a glass epoxy such as G10, but is not limited thereto.
  • cutting the reinforcing material may be further included after the formation of the coil 21 is completed.
  • the reinforcement may be cut at an appropriate angle, taking into account the self-locking effect of the wedge to be inserted later.
  • a pole magnet support structure 23 may be formed surrounding the inner structure 1 and the pole magnet portion 2. For example, after the winding of the plurality of coils 21 is completed, the coil 21 formed by removing air, moisture, or other impurities present in the internal structure 1 and the plurality of coils 21 by vacuum impregnation or other method. ) And the wedge may form the pole magnet support structure 23 to ensure structural stability using other metals, epoxies, or suitable materials.
  • the solenoid magnet portion 4 surrounding the inner structure 1 and the pole magnet portion 2 may be formed. While the pole magnet portion 2 is a portion for applying a magnetic field for inducing the ECR phenomenon of ions, the solenoid magnet portion 4 is a portion for providing a magnetic field for trapping electrons in the plasma. Furthermore, in one embodiment, it may further comprise the step of forming the connecting structure 3 and / or the magnet combination 5.
  • Embodiments relate to magnets for Electron Cyclotron Resonance (ECR) ion source devices and methods of manufacturing magnets for ECR ion source devices.
  • ECR Electron Cyclotron Resonance

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Abstract

전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석은, 내부 구조체; 및 상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 포함하는 폴 자석부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수 개의 코일 각각은, 상기 내부 구조체로부터의 거리가 증가할수록 단면적이 증가하는 계단형 구조를 가질 수 있다. 상기 ECR 이온원 장치용 자석은 코일이 권선된 모양이 계단형 구조를 갖도록 함으로써 전자기력을 받는 영역을 분산시킬 수 있으며, 코일 사이에 쐐기가 삽입되는 각도를 감소시켜 쐐기가 자체 잠김력을 획득하도록 할 수 있는 이점이 있다.

Description

전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석 및 이의 제조 방법
실시예들은 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석 및 ECR 이온원 장치용 자석의 제조 방법에 대한 것이다.
일반적으로 이온원 장치가 필요한 여러 응용 장치에 있어 상대적으로 저렴한 비용으로 요구되는 이온을 발생시킬 수 있는 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치가 여러 응용 분야에서 사용되고 있다. ECR 이온원 장치는, ECR을 발생시키기 위한 자기장을 인가하기 위하여 자석을 포함한다. 일 예로, 대한민국 공개특허공보 특2000-0007386호에는 코일이 권취된 레이스트랙(racetrack)형 초전도 자석이 개시된다.
ECR 이온원 장치에 사용되는 종래의 자석의 경우, 권선 후 진공 함침(vacuum impregnation)을 시행하며, 헥사폴(hexapole) 코일의 조립 시 각각의 코일 사이의 간극에 티타늄 쐐기를 박고, 조립된 헥사폴 코일에 와이어를 추가 보강 권선함으로써 구조적 안정성을 확보하고 있다. 그러나, 초전도 자석의 경우 진공 함침 재료에 따라 저온 수축의 차이가 발생하고, 좁은 영역에 강한 전자기력이 작용하므로 추가로 고가의 액체 금속을 삽입할 필요가 발생하는 등 구조적 건전성을 유지하는데 어려움이 있다. 또한, 레이스트랙형으로 권선되는 헥사폴 코일을 구조상 보강하는 쐐기의 각도가 약 60도를 유지하게 되어 있어 쐐기의 자체 잠김 효과가 작으며, 이를 보강하기 위한 보강 와이어를 사용하는 데에 추가적인 공간 및 비용이 소요된다. 이상의 문제점을 해결하기 위해 레이스트랙 말굽형 헥사폴 코일을 사용하는 경우가 있으나, 레이스트랙 말굽형 헥사폴 코일은 수작업 의존성이 높아 제작 비용과 시간의 증대를 가져온다.
더욱이, 고성능의 ECR 이온원 장치를 구현하기 위해서는 보다 높은 자기장의 실현이 요구되므로, 자석의 구조적 안정성 및 효율성에 대한 이상의 문제는 차세대 ECR 이온원 장치의 개발에 큰 걸림돌이 되고 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 제작이 용이한 기존의 레이스트랙(racetrack)형 권선을 유지하면서 코일 단면적을 효과적으로 활용함으로써 높은 자기장을 생성시키고 선재의 소모를 감소시킬 수 있는 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석 및 ECR 이온원 장치용 자석의 제조 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예에 따른 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석은, 내부 구조체; 및 상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 포함하는 폴 자석부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수 개의 코일 각각은, 상기 내부 구조체로부터의 거리가 증가할수록 단면적이 증가하는 계단형 구조를 가질 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 코일은 상기 내부 구조체의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일을 포함할 수도 있다. 즉, 상기 폴 자석부는 헥사폴(hexapole) 자석으로 구성될 수 있다.
일 실시예에 따른 ECR 이온원 장치용 자석의 제조 방법은, 내부 구조체를 제공하는 단계; 및 상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되며, 상기 내부 구조체로부터 거리가 증가할수록 단면적이 증가하도록 권선된 복수 개의 코일을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석에 의하면, 헥사폴(hexapole) 자석 등에서 코일이 권선된 형상이 계단형 구조를 갖도록 함으로써 전자기력을 받는 영역을 분산시킬 수 있으며, 코일 사이에 쐐기가 삽입되는 각도를 감소시켜 쐐기의 자체 잠김력을 향상시킬 수 있다. 또한, 제작이 용이한 레이스트랙(racetrack)형 권선을 유지하면서 코일 단면적을 효과적으로 활용함으로써 높은 자기장을 생성시키고 선재를 절약할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석의 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 ECR 이온원 장치용 자석의 하나의 코일의 저면도이다.
도 3a 및 3b는 도 2에 도시된 코일의 측면도들이다.
도 4는 도 2에 도시된 코일의 평면도이다.
이하에서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 살펴본다.
도 1은 일 실시예에 따른 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석의 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 ECR 이온원 장치용 자석은 내부 구조체(1) 및 폴 자석부(2)를 포함할 수 있다. 내부 구조체(1)는 ECR 이온원 장치용 자석을 구조적으로 지지하기 위한 부분이다. 예컨대, 내부 구조체(1)는 원통 형상의 구조물일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
폴 자석부(2)는 이온의 ECR 현상을 유도하기 위한 자기장을 인가하는 부분이다. 폴 자석부(2)는 복수 개의 코일(21)을 포함할 수 있다. 복수 개의 코일(21)은 내부 구조체(1)의 외주면에 서로 이격하여 배열될 수 있다. 일 실시예에서, 복수 개의 코일(21)은 내부 구조체(1)의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일(21)을 포함할 수도 있다. 즉, 폴 자석부(2)는 6개의 코일(21)을 포함하는 헥사폴(hexapole) 자석일 수 있다. 폴 자석부(2)는 각각의 폴에 해당하는 중심 영역(22)에 위치하는 보빈(bobbin)을 포함할 수도 있으며, 또는 보빈은 코일(21)의 권선이 완료된 후 제거되어 폴 자석부(2)에 포함되지 않을 수도 있다. 또한, 폴 자석부(2)는 내부 구조체(1) 및 복수 개의 코일(21)을 둘러싸는 폴 자석 지지 구조체(23)를 더 포함할 수도 있다.
도 2는 도 1에 도시된 ECR 이온원 장치용 자석에서 어느 하나의 코일을 나타내는 저면도이며, 도 3a 및 3b는 상기 코일의 측면도이고, 도 4는 상기 코일의 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 ECR 이온원 장치용 자석에서 코일(21)은 계단형 구조를 가질 수 있다. 코일(21)은 복수 개의 단으로 선재를 감아 이루어질 수 있는데, 이때 각 단에서 코일(21)의 단면적이 상이하도록 선재의 권선 수를 조절할 수 있다. 그 결과, 코일(21)은 내부 구조체로부터의 거리가 증가할수록 코일(21)의 단면적이 증가하는 계단형 구조를 가질 수 있다. 도 2는 코일(21)의 단면적이 가장 작은 면에서 바라본 형태를 도시하며, 코일(21)의 단면적이 점차 증가하는 계단형 구조의 각 단을 확인할 수 있다. 반면, 도 4는 코일(21)의 단면적이 가장 큰 면에서 바라본 형태를 도시하며, 따라서 계단형 구조의 각 단은 점선으로 도시되었다.
다시 도 1을 참조하면, 일 실시예에서 ECR 이온원 장치용 자석은 내부 구조체(1) 및 폴 자석부(2)를 둘러싸는 솔레노이드 자석부(4)를 더 포함할 수도 있다. 솔레노이드 자석부(4)는 ECR 현상을 발생시키기 위하여 플라즈마 내의 전자를 가두기 위한 자기장을 제공하는 부분이다.
또한 일 실시예에서, ECR 이온원 장치용 자석은 연결 구조체(3) 및/또는 자석 조합체(5)를 더 포함할 수도 있다. 연결 구조체(3) 또는 자석 조합체(5)는 내부 구조체(1), 폴 자석부(2) 및 솔레노이드 자석부(4)로 이루어지는 구조를 서로 결합하여 구조적으로 지지하기 위한 부분이다. 연결 구조체(3)는 빈 공간으로 존재할 수도 있고 구조적 보강과 열 전달을 용이하게하기 위한 재료로 채우질 수도 있으며, 자석 조합체(5)는 구조적 보강과 열전달에 용이한 재료로 이루어 질 수 있다. 이상에서 설명한 실시예에 따른 ECR 이온원 장치용 자석은, 제작이 용이한 기존의 레이스트랙(racetrack)형 권선을 유지하면서도 복수 개의 코일(21) 각각의 계단형 구조로 인하여 전자기력을 받는 영역이 분산되어 구조적으로 안정하다. 또한, 코일의 조립시 각각의 코일(21) 사이에 쐐기(미도시)를 삽입할 수 있는데, 코일(21) 각각의 계단형 구조로 인하여 쐐기가 삽입될 인접 코일(21) 사이의 영역의 각도(θ)가 종래의 자석의 경우에 비하여 감소되어 쐐기에 의한 자체 잠김력을 향상시킬 수 있다. 나아가, 요구되는 중심부 주변의 자기장을 높이기 위해 코일(21) 단면적을 효과적으로 활용함으로써 중심부에 보다 근접한 곳에 단면적을 크게하여 보다 높은 자기장을 생성하면서도 코일(21)에 소요되는 선재를 절약할 수 있다.
이하에서는, 도 1 내지 도 4를 참조하여 전술한 ECR 이온원 장치용 자석의 제조 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 자석의 구조적 지지를 위한 내부 구조체(1)를 준비할 수 있다. 다음으로, 내부 구조체(1)의 외주면에 서로 이격된 복수 개의 코일(21)을 형성함으로서 폴 자석부(2)를 형성할 수 있다. 복수 개의 코일(21)은 내부 구조체(1)의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일(21)을 포함할 수도 있으며, 이 경우 폴 자석부(2)는 헥사폴 자석일 수 있다. 각각의 코일(21)은 폴 위치에 해당하는 중심 영역(22)에 보빈을 위치시키고 보빈에 선재를 감아 형성될 수 있다. 권선에 있어서 에폭시를 바르면서 선재를 감아 코일(21)을 형성할 수도 있고 코일(21)을 권선 완료한 후 에폭시를 진공 함침할 수도 있다. 코일(21)의 권선이 완료된 후 보빈은 제거될 수 있으며, 또는 제거되지 않고 폴 자석부(2)에 포함될 수도 있다.
복수 개의 코일(21)을 형성하는 과정에 있어서, 각각의 코일(21)은 내부 구조체(1)로부터의 거리가 증가할수록 코일(21)의 단면적이 증가하는 계단형 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어, 선재를 복수 개의 단으로 권취하여 코일을 형성하되, 내부 구조체(1)에 인접한 방향을 아래로 지칭하고 내부 구조체(1)로부터 먼 방향을 위로 지칭하면, 인접하는 두 단 중 윗단의 권선수가 아랫단의 권선수에 비해 크도록 선재를 감아 코일(21)을 형성할 수 있다. 이때 선재의 권선 방향은 아랫단으로부터 윗단의 방향일 수도 있으며, 또는 그 반대 방향일 수도 있다.
일 실시예에서는, 계단형 구조의 코일(21)을 형성하는 과정에서 계단형 구조의 각 단의 권선이 완료된 후 권선상에 보강재(미도시)를 형성하는 단계를 포함할 수도 있다. 보강재는 금속, 에폭시(epoxy) 또는 다른 적당한 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 에폭시는 G10 등 유리 에폭시일 수도 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 계단형 구조의 각 단에 보강재를 형성하였을 경우에는, 코일(21)의 형성이 완료된 후 보강재를 절단하는 단계를 더 포함할 수도 있다. 보강재는 향후 삽입될 쐐기의 자체 잠김 효과를 고려하여 적절한 각도로 절단될 수 있다.
일 실시예에서는, 내부 구조체(1) 및 폴 자석부(2)를 둘러싸는 폴 자석 지지 구조체(23)를 형성할 수도 있다. 예컨대, 복수 개의 코일(21)의 권선이 완료된 후 진공 함침 또는 다른 방법에 의하여 내부 구조체(1) 및 복수 개의 코일(21)상에 존재하는 공기, 수분 또는 다른 분순물을 제거하고 형성된 코일(21)을 중심부을 기준으로 6개의 조합으로 배열한 후 쐐기는 기타 금속, 에폭시 또는 적당한 물질을 이용하여 구조적 안정성을 확보할 수 있도록 폴 자석 지지 구조체(23)를 형성할 수도 있다.
일 실시예에서는, 내부 구조체(1) 및 폴 자석부(2)를 둘러싸는 솔레노이드 자석부(4)를 형성할 수도 있다. 폴 자석부(2)가 이온의 ECR 현상을 유도하기 위한 자기장을 인가하는 부분인 반면, 솔레노이드 자석부(4)는 플라즈마 내의 전자를 가두기 위한 자기장을 제공하기 위한 부분이다. 나아가 일 실시예에서는, 연결 구조체(3) 및/또는 자석 조합체(5)을 형성하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
이상에서 살펴본 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러나, 이와 같은 변형은 본 발명의 기술적 보호범위 내에 있다고 보아야 한다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.
실시예들은 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석 및 ECR 이온원 장치용 자석의 제조 방법에 대한 것이다.

Claims (9)

  1. 내부 구조체; 및
    상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 포함하는 폴 자석부를 포함하되,
    상기 복수 개의 코일 각각은, 상기 내부 구조체로부터의 거리가 증가할수록 단면적이 증가하는 계단형 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 코일은 상기 내부 구조체의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일을 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 폴 자석부의 외주면을 둘러싸도록 배치된 솔레노이드 자석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 코일 각각에 위치하는 보강재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석.
  5. 내부 구조체를 제공하는 단계; 및
    상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되며, 상기 내부 구조체로부터 거리가 증가할수록 단면적이 증가하는 계단형 구조를 갖는 복수 개의 코일을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 코일을 형성하는 단계는,
    상기 계단형 구조의 각 단에 대응되는 권선을 형성하는 단계; 및
    상기 각 단에 대응되는 권선상에 보강재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 보강재를 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 복수 개의 코일은 상기 내부 구조체의 외주면에 일정한 간격으로 배열된 6개의 코일을 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 내부 구조체 및 상기 복수 개의 코일을 둘러싸는 솔레노이드 자석을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석의 제조 방법.
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