WO2013069732A1 - 磁気ナノ粒子 - Google Patents

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WO2013069732A1
WO2013069732A1 PCT/JP2012/078993 JP2012078993W WO2013069732A1 WO 2013069732 A1 WO2013069732 A1 WO 2013069732A1 JP 2012078993 W JP2012078993 W JP 2012078993W WO 2013069732 A1 WO2013069732 A1 WO 2013069732A1
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hollow
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metal
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安田　賢二
賢徹 金
英之 寺薗
服部　明弘
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財団法人神奈川科学技術アカデミー
一般社団法人オンチップ・セロミクス・コンソーシアム
国立大学法人東京医科歯科大学
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    • B81C99/0085—Manufacture of substrate-free structures using moulds and master templates, e.g. for hot-embossing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
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    • H01F1/342—Oxides
    • H01F1/344—Ferrites, e.g. having a cubic spinel structure (X2+O)(Y23+O3), e.g. magnetite Fe3O4
    • H01F1/346—[(TO4) 3] with T= Si, Al, Fe, Ga

Definitions

  • the present invention relates to a hollow microscopic object composed of a metal, a semiconductor, or the like, and a material purification method using them.
  • Microstructures such as microparticles are widely used as a scale for nanometer-sized structures, as materials for new devices, and as labels for visualizing proteins and DNA in the biological field. It's being used. Producing fine particles of various materials of uniform size is essential for promoting research and development in the above-mentioned fields.
  • the inventors of the present application have disclosed a method for preparing ultrafine particles (Japanese Patent Laid-Open No. 11-001703) (Patent Documents). 1), and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-153826 “Biological Sample Labeled Substance and Biological Substance Labeling Method and Biological Substance Inspection Method” (Patent Document 2) And an inspection method using electron microscope was proposed.
  • JP-A-11-001703 discloses a method of forming fine particles by dispersing polystyrene spheres in a single layer on a flat substrate and depositing a metal or a semiconductor.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-153826 discloses a method for immobilizing biomolecules such as proteins and DNA to the prepared fine particles, and a method for identifying the type of element covering the surface by observation using a scanning electron microscope. Yes.
  • the fine particles produced by these methods are those in which the surface is coated with an element such as polystyrene or glass, and a method for producing pure fine particles composed only of the target element is not described.
  • the nano-sized light emitting device can be used as a fluorescent marker for tracking many physical and chemical elementary processes. For example, if a nano-light emitting element is attached to a large biomolecule, its structural change and molecular function can be directly observed. Furthermore, since the movement of individual molecules can be followed, the dynamic behavior of living cells can be explored.
  • the extremely high potential of such single molecule observations is often limited by two factors: The first is flashing. If blinking occurs during observation, the task of extracting useful information from the experimental results becomes complicated. The second is that the measurement is limited by photobleaching. Excited molecules may cause an irreversible chemical reaction due to the excess energy, and may not fluoresce.
  • This nano light-emitting device which is considered to be capable of an almost infinite measurement time, is a semiconductor nanocrystal, and is generally called a colloidal quantum dot. Quantum dots are one of the most brilliant achievements produced by nanotechnology, and their electrical and optical properties depending on their size are very attractive (A. P. Alivisatos, Science 271, 933) (1996) (Non-Patent Document 1)).
  • t is the length of the on or off time
  • exponent ⁇ is a number between 1 and 2 (typically 1.5).
  • colloidal quantum dots that have come to be used as fluorescent light sources
  • colloidal quantum dots such as CdSe
  • CdSe can be chemically synthesized with a size of about 2 to 6 nm.
  • One is an isolated semiconductor nanocrystal. This size range is where various physical property values change from molecule to bulk. When the size of the nanocrystal is reduced, the range in which the charge carrier can move around becomes narrower. This is called the quantum confinement effect.
  • small quantum dots have discrete energy levels and large band gaps. When irradiated with light with energy greater than the band gap, the quantum dots absorb the light and form electron-hole pairs called excitons. This exciton eventually emits light and disappears.
  • CdTe quantum dots particle size 2.5 nm to 5 nm
  • CdHgTe quantum dots HgTe quantum dots, etc. have been put into practical use and have been confirmed to emit various kinds of fluorescence.
  • colloidal quantum dots are very small, there are many dangling bonds on their surface, that is, unbonded electrons (unpaired electrons) that are not involved in the bonds that appear on the surface of a covalently bonded substance or in the vicinity of defects. Since the electrons excited by are captured, the performance of the quantum dot is degraded. Attempts are currently being made to modify the surface of quantum dots with organic ligands, and two effects have been confirmed. One is that colloidal quantum dots can exist stably in a dispersed form in a solution, and the influence of dangling bonds can be mitigated. As another method for closing the dangling bonds on the surface of the quantum dots, there is a method of covering the surface with an inorganic shell. As the shell, a semiconductor with a larger band gap is often used, and such a quantum dot is called a core-shell quantum dot.
  • the second method is to suppress the blinking by covering CdSe quantum dots as a core with a thick (5 ⁇ ⁇ -15 nm) shell of CdS crystal (B. Mahler, P. Spinicelli, S . Buil, X. Banin, J.-P. Hermier, B. Dubertret, Nat. Mater. 7, 659 (2008) (Non-Patent Document 5); Y. Chen, J. Vela, H. Htoon, J. L Casson, D. J. Werder, D. A. Bussian, V. I. Klimov, J. A. Hollingsworth, J. Am. Chem. Soc. 130, 5026 (2008) (non-patent document 6)).
  • the present inventors produce a microscopic body having a hollow structure composed only of a metal, a transition metal, or a semiconductor having a desired thickness, and a combination of these in a layered form.
  • a method has already been developed (Japanese Patent Laid-Open No. 2011-101941 (Patent Document 3)). According to this, it is possible to obtain a microscopic body having a uniform particle size, which is composed of only the target element, in which the quantum dot has the same particle size as that of the organic template.
  • each microferromagnet has a size that cannot build a magnetic domain structure, so it cannot maintain ferromagnetism and is paramagnetic. Because it behaves as a body, the assembled magnetic beads are dispersed. This technique can recover cells that bind to the antibody by combining with the antibody, but does not have the property of recovering the target according to the size of the cell or molecule.
  • the present invention is a minute body having a hollow structure composed only of a metal, a transition metal, or a semiconductor having a desired thickness, and a combination of these in a layered form, and cannot maintain a magnetic domain structure.
  • the fine particles are two-dimensionally dispersed and included in the interface between two specific substance layers of a plurality of substances arranged in layers inside a microscopic body having a hollow structure. Furthermore, these fine particles contain a substance that generates fluorescence.
  • one of the metal layers configured in the above-described layer shape is an object exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature having a structure that is thin enough not to maintain a magnetic domain structure.
  • a method for producing the same a microscopic body in which a cell-binding substance is added to the inside of the innermost layer of the hollow structure, and a method for purifying microparticles such as cells using the same.
  • an oxide magnetic substance called FeO called ferrite ⁇ Fe 2 O 3 , MnO / Fe 2 O 3 , NiO / Fe 2 O 3 , CoO / Fe 2 O 3 etc.
  • FeO oxide magnetic substance
  • MnO / Fe 2 O 3 MnO / Fe 2 O 3
  • NiO / Fe 2 O 3 CoO / Fe 2 O 3 etc.
  • Fe garnet (garnet) M 3 / Fe 5 O 12 M is
  • an insulating ferrimagnetic material such as yttrium iron garnet (YIG) Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 can be used.
  • an arbitrary second layer from the innermost side is ferromagnetic at room temperature or thinned to such an extent that the magnetic domain structure cannot be maintained.
  • An object that exhibits ferrimagnetism, an outer layer that is insulating at room temperature (insulator), and an outer layer that is thin enough to maintain a magnetic domain structure at room temperature Compared with a micro object having a single magnetic layer, in which the laminated structure of the magnetic material and the insulator is repeated N times or more N times, N times as many as the number of laminated layers.
  • N means a finite number of repetitions and is an integer of 2 or more.
  • the insulator here means a substance usually used in this field (a substance having an electrical conductivity ⁇ at room temperature of about 10 ⁇ 6 S / cm or less), typically silicon oxide or Examples include silicon dioxide.
  • the surface of the microbody can be dissolved by a change in the nature of the environmental liquid, and the polymer bound to the inner surface of the microbody can be changed by a change in the nature of the environmental liquid, an electric field and / or a magnetic field.
  • the layered structure is Two or more thin film layers; Fine particles disposed in a two-dimensionally dispersed manner at the interface between the two or more thin film layers; Including A microscopic object in which the fine particles are made of a substance or quantum dot that is ferromagnetic or ferrimagnetic at a room temperature so fine that the magnetic domain structure cannot be maintained, and is different from the material of the thin film layer.
  • a hollow microscopic object that includes a layered structure that forms an outer shell and includes at least one thin layer of a transition metal, metal, or semiconductor, and an internal space and an opening defined by the layered structure. And The layered structure is Including two or more thin film layers, At least one of these layers is a microscopic body made of a substance exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature having a structure that is so thin that a magnetic domain structure cannot be maintained.
  • a hollow microscopic object that includes a layered structure that forms an outer shell and includes at least one thin layer of a transition metal, metal, or semiconductor, and an internal space and an opening defined by the layered structure.
  • the layered structure is Including three or more thin film layers, A magnetic material in which at least two of these layers are composed of a substance exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature having such a thin structure that the magnetic domain structure cannot be maintained, and the layers separating the layers are separated A micro body made of an insulator having a thickness that is separated from the layers by a distance that does not allow ferromagnetism to be generated.
  • the transition metal, metal or semiconductor is a transition metal up to 79 in the periodic table except atomic number 43, atomic number 13, 31, 32, 33, 49, 50, 51, 81, 82, or
  • the substance exhibiting ferromagnetism at room temperature is selected from the group consisting of iron, cobalt, nickel, and gadolinium,
  • the materials that show ferrimagnetism at room temperature are FeO ⁇ Fe 2 O 3 , MnO ⁇ Fe 2 O 3 , NiO ⁇ Fe 2 O 3 , CoO ⁇ Fe 2 O 3 , iron garnet (garnet) M 3 ⁇ Fe 5 O 12 (M) is an element such as Fe, Y, Mn, and yttrium iron garnet (YIG) Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 Microscopic body.
  • the outermost layer material of the layered structure is gold and the film thickness is 2 nm or more, or (ii) The innermost layer material of the layered structure is gold and the film thickness is 2 nm.
  • the microbody according to any one of (1) to (5) above, which is as described above.
  • (7) (i) The thickness of the layer separating the insulator that does not have ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature is 10 nm or more, or (ii) the insulator that does not have ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature is separated.
  • the layered structure includes two or more layers of the thin film, The material of the outermost thin film layer has the property of being dissolved by a predetermined liquid, The microscopic object according to (1), (2) or (3) above, wherein the material of the inner thin film layer has a property that it is not dissolved by the liquid.
  • the innermost layer material is gold, silver, silicon, or silicon oxide
  • the outermost layer material is iron, copper, germanium, aluminum, chromium, tin, titanium, manganese, nickel, cobalt, or gadolinium.
  • a hollow microstructure comprising a step of forming a layered structure by depositing at least one layer of a transition metal, a metal, or a semiconductor in the shape of a thin film layer on the template using a microstructure composed of an organic substance as a template
  • the fine particles are composed of a material or quantum dots that exhibit ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature that is so small that the magnetic domain structure cannot be maintained, and is different from the material of the thin film layer.
  • a substance exhibiting ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature wherein the layered structure includes two or more thin film layers, and at least one of the layers is thin enough to maintain a magnetic domain structure.
  • the layered structure includes three or more thin-film layers, and at least two of the layers have a structure that is thin enough to maintain a magnetic domain structure, and is ferromagnetic or ferrimagnetic at room temperature.
  • a method wherein the material is composed of the indicated material and the layer separating it is composed of an insulator.
  • An organic mold suspension containing an organic mold having a predetermined diameter, an appropriate amount of pure water, and a material for suppressing electrostatic repulsion between the organic molds is dropped on one surface of the substrate, A step of distributing the organic material mold to a predetermined density; Cleaning and removing an excessive amount of the organic template not adsorbed on the substrate; Drying the organic mold distributed on the substrate, Cutting the organic mold and adjusting the gap between the organic molds disposed on the substrate to a predetermined interval; Depositing at least one layer of transition metal, metal or semiconductor thin film on the organic template distributed on the substrate; A step of decomposing and removing the organic template on which at least one layer of transition metal, metal or semiconductor is deposited, and obtaining a remaining hollow microscopic body;
  • a method for producing a hollow micro body composed of a transition metal, a metal or a semiconductor comprising: (I) after the step of depositing at least one layer of
  • the fine particles are composed of a substance that exhibits ferromagnetism or ferrimagnetism at a room temperature that is so small that the magnetic domain structure cannot be maintained, and is different from the material of the thin film layer.
  • the thin film layer includes two or more thin film layers, and at least one of these layers has a structure that is thin enough to maintain a magnetic domain structure and exhibits ferromagnetic or ferrimagnetic properties at room temperature.
  • the layered structure includes three or more thin-film layers, and at least two of the layers have a structure that is thin enough to maintain a magnetic domain structure, and is ferromagnetic or ferrimagnetic at room temperature.
  • a method wherein the material is composed of the indicated material and the layer separating it is composed of an insulator.
  • the organic mold cutting method is any one of a plasma etching process, an ion milling process, a focused ion beam process, and a resist process.
  • the step of depositing at least one layer of transition metal, metal, or semiconductor on the organic template distributed on the substrate is performed by any one of resistance heating vacuum deposition, sputtering, and chemical vapor deposition. The method according to (20) above.
  • the step of decomposing and removing the organic template on which at least one layer of transition metal, metal or semiconductor is deposited is performed by any one of an ultraviolet-ozone method, a plasma decomposition method, a photocatalytic decomposition method, and a heat incineration method. (20) The method described. (24) The step of obtaining the hollow micro body further includes A small amount of liquid is dropped on the hollow micro body, While applying ultrasonic waves to the other surface of the substrate, a material having a flat bottom surface on the one surface side to which the hollow micro object is fixed is placed so that a slight load is applied to the bottom surface, and the material is arbitrarily selected. Separating the micro object from the substrate by moving in the direction of The method according to (20) above.
  • the liquid dropped on the hollow microsphere is pure water or a protein containing bovine serum, antibody, bovine serum albumin (BSA) in pure water, synthetic DNA, citrate, phosphoric acid.
  • BSA bovine serum albumin
  • the method according to (24) above, wherein a salt and a surfactant containing sodium dodecyl sulfate (SDS) or tannic acid are added.
  • SDS sodium dodecyl sulfate
  • tannic acid are added.
  • an active oxygen generator or the like is used to produce a microparticle with a uniform particle size composed of only each element component in which a metal, a transition metal, or a semiconductor is deposited by controlling the thickness of one or more layers.
  • a metal, a transition metal, or a semiconductor is deposited by controlling the thickness of one or more layers.
  • a micro body composed only of the deposited elemental components is obtained.
  • a weak vibration such as an ultrasonic wave
  • the present invention provides a microscopic object configured by arranging quantum dot fine particles between layers of a metal, a transition metal, or a semiconductor having a thickness desired to be manufactured, and a combination of these, and the microscopic object. Provide a method to make. Thereby, blinking of fluorescence can be reduced.
  • a minute structure composed of an organic substance such as polystyrene having a uniform particle size is used as a template, and one or more layers of metal, transition metal, or semiconductor are deposited on the surface thereof while controlling the thickness.
  • an active oxygen generator or the like After placing the quantum dot fine particles on each element component deposited one or more layers, and further depositing one or more layers of metal, transition metal or semiconductor on the surface thereof, by using an active oxygen generator or the like, Decompose and remove organic mold. As a result, it is possible to obtain a micro body composed only of the deposited elemental components.
  • the present invention it is possible to obtain a micro object composed of only the target element, which does not contain an impurity component such as polystyrene or glass.
  • an impurity component such as polystyrene or glass.
  • by aligning the particle size of the organic template it is possible to create a microscopic object composed of only the target element whose particle size is about the same as that of the organic template for elements that have been difficult with conventional self-polymerization and crushing methods. Obtainable.
  • the shape and size of the organic template various, it is possible to obtain a microscopic body composed only of target elements having various shapes and sizes. Further, it is possible to disperse the fine particles between layers of different substances in the microscopic body and arrange them in a two-dimensional manner (that is, spread in a direction parallel to the interlayer interface).
  • the hollow microbody of the present invention biological materials such as cells that bind to the inner surface of the hollow microbody can be easily recovered using an external magnetic field.
  • a biological material such as a specific cell that is smaller than the size of the hollow microbody, that is, can be accommodated in the hollow portion of the hollow microbody.
  • the size fractionation of is possible.
  • the recovery rate of the target biological material such as cells can be arbitrarily controlled according to the number of layers of the magnetic layer, and more quickly and selectively. It becomes possible to collect.
  • (A) is a scanning electron microscope secondary electron image of the produced iron micro object, and (b) is the reflected electron image.
  • (A) is a conceptual diagram of a micro object sandwiching quantum dots and (a ') one layer of element removed, (b) and (b') are micro objects in the cases (a) and (a '), respectively. It is a conceptual diagram which shows the fluorescence wavelength characteristic emitted from.
  • (A) is a conceptual diagram in the case of immobilizing a biomolecule inside a hollow microbody and capturing the target biomolecule by electrical attraction.
  • (A ') is the conceptual diagram of a mode that the target biomolecule was captured as a result of performing electrical attraction.
  • (B) is a conceptual diagram in the case where the chain biomolecule is linearly stretched to capture the target biomolecule in the hollow microbody.
  • (B ') is a conceptual diagram of a state in which a target biomolecule is captured by a chain biomolecule.
  • (C) is a conceptual diagram in the case of capturing a target biomolecule inside two hollow microscopic bodies linked by chain biomolecules.
  • (C ′) is a conceptual diagram showing a state in which target biomolecules are trapped inside two hollow microscopic bodies. It is a figure which shows the state of the particle
  • FIG. (A) is a concept of a hollow micro object having two layers of ferromagnetic layers having a film thickness that cannot maintain a magnetic domain structure, and a multilayer thin film structure having a total of three layers separated by an insulator layer.
  • FIG. (B) is a graph showing the relationship between the number of ferromagnetic layers at a film thickness that cannot maintain the magnetic domain structure of the micro object and the response to the applied magnetic field.
  • the present invention comprises a layered structure comprising one or more thin film layers of a transition metal, metal or semiconductor, and has an internal space and an opening defined by the layered structure.
  • a hollow microscopic object is provided.
  • the hollow microscopic object of the present invention has a cap-like structure having an internal space and an opening defined by a layered structure.
  • the shape of the cap portion may vary depending on the shape of the mold used in the manufacturing process of the micro body, and may be a hemispherical shape, a cylindrical shape, a conical shape, a prismatic shape, or the like, but is not limited thereto.
  • the size (or particle size) of the hollow microparticles of the present invention can also vary depending on the application and the size of the mold used in the manufacturing process, and is in the range of about 0.1 nm to about 1 mm, Preferably, it is about 1 nm to about 500 ⁇ m, more preferably about 5 nm to 100 ⁇ m, and most preferably about 5 nm to 1 ⁇ m.
  • metal simply refers to a typical element metal.
  • Typical elements are elements of Groups 1, 2 and 12 to 18 in the periodic table, and are classifications of elements composed of all non-metals and some metals.
  • metals such as Al, Ga, Ge, As, In, Sn, Sb, Tl, Pb, and Bi are preferable.
  • transition metal means a transition element, and means a group 3 to group 11 element of the periodic table.
  • the “transition metal” used in the present invention is preferably a transition metal from 21 to 79 excluding atomic number 43.
  • semiconductor has a meaning commonly used in the art (“a substance having an electrical conductivity ⁇ at room temperature of about 10 3 to 10 ⁇ 10 S / cm between a metal and an insulator”). (Iwanami Physical and Chemical Dictionary 5th edition, 1998 Iwanami Shoten)). As the “semiconductor” used in the present invention, for example, Si, Se, Te and the like are preferable.
  • FIG. 1 shows an example of a hollow microscopic object of the present invention.
  • a hemispherical hollow micro object composed of three types of elements 1, 2, and 3 is shown, but the number of layers, the shape of the micro object, and the like are not limited thereto.
  • the outer shell of the hollow microbody of the present invention has a layered structure in which the elements 1, 2, and 3 are laminated in a thin film shape, and the thickness of each layer is typical. Is in the range of about 1 nm to about 1 ⁇ m, more preferably in the range of about 1 nm to about 500 nm, and most preferably in the range of about 1 nm to about 100 nm, but is not limited to these ranges, and the lower limit is The upper limit can be appropriately set depending on the purpose within an arbitrary range from about 0.1 nm to about 10 ⁇ m.
  • FIG. 2 schematically shows a method for producing a hollow micro object.
  • a template of the minute body for example, on the 5nm of 100 micron organic structure 4, the vapor deposition source 5 -1, emitted from 5-2 elements 1, 2, 3 are sequentially deposited in the range of 1 nm to 500 nm, and then the organic template 4 is decomposed and removed by a method such as ultraviolet-ozone method, plasma decomposition method, photocatalytic decomposition method, heating incineration method, etc. Get.
  • a method such as ultraviolet-ozone method, plasma decomposition method, photocatalytic decomposition method, heating incineration method, etc. Get.
  • a thin layer having a thin film thickness that cannot maintain the magnetic domain structure of an element or compound having ferromagnetism or ferromagnetism at room temperature is introduced.
  • a hollow microbody is provided.
  • an element or compound Fe, Fe 2 O 3 , MnO ⁇ Fe 2 , which is a ferromagnet of a single element such as iron, cobalt, nickel, gadolinium, etc.
  • ferrimagnetic materials such as insulating ferrimagnetic materials such as yttrium iron garnet (YIG) Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 can be used.
  • the film thickness that cannot maintain the magnetic domain structure is generally 10 nm or less, 9 nm or less, 8 nm or less, 7 nm or less, 6 nm or less, preferably about 5 nm or less, 4 nm or less, 3 nm or less, 2 nm or less, depending on the type of material. Alternatively, when the thickness is 1 nm or less, superparamagnetism that cannot have a magnetic domain structure can be realized.
  • the hollow microbody of the present invention two or more thin layers that cannot maintain the magnetic domain structure of an element or compound having ferromagnetism or ferromagnetism at room temperature are introduced, and that layer is an insulator layer.
  • a hollow micro object having superparamagnetic properties isolated by being sandwiched between them is provided.
  • an element or a compound constituting the insulator layer SiO, SiO 2 , manganese oxide, nickel oxide, alumina and other oxides, polymers such as Teflon (registered trademark), organic polymers such as plastics, An insulator or the like can be used.
  • the film thickness separating the magnetic layers depends on the type of material, it is generally about 5 nm or more, preferably about 10 nm or more so that each magnetic layer is separated by an insulator layer. Superparamagnetism can be realized.
  • the layered structure includes two or more thin film layers, and includes hollow particles including fine particles arranged two-dimensionally dispersed and buried at the interface between the two or more thin film layers. Of microparticles are provided. These fine particles are different from the substance forming the thin film layer.
  • a substance that emits fluorescence is used as these particles.
  • Such fine particles include, for example, fine particles (quantum dots) having a diameter of several nm constructed by an element such as cadmium-selenium (CdSe).
  • quantum dots include CdS, CdTe, CdHgTe, HgTe, and the like.
  • the surrounding environment of the quantum dots can be kept constant by dispersion embedding in the layer interface, it is possible to provide quantum dots that emit stable fluorescence characteristics. In this way, the problem of quantum dot ionization can be solved.
  • ferromagnetic elements of simple elements such as iron, cobalt, nickel, and gadolinium that exhibit ferromagnetism at normal temperature, or FeO ⁇ Fe 2 O 3 , MnO ⁇ Fe 2 called ferrite
  • FeO ⁇ Fe 2 O 3 , MnO ⁇ Fe 2 called ferrite
  • O 3 , NiO ⁇ Fe 2 O 3 , CoO ⁇ Fe 2 O 3 and other oxide magnetic materials iron garnet (garnet) M 3 ⁇ Fe 5 O 12 (M substitutes elements such as Fe, Y and Mn)
  • a ferrimagnetic material such as an insulating ferrimagnetic material such as yttrium iron garnet (YIG) Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 can be used which has a minute size that does not maintain the magnetic domain structure.
  • the substance that generates fluorescence and the substance that exhibits ferromagnetism or ferrimagnetism at room temperature can be used simultaneously or mixed as the fine particles.
  • a hollow micro object further including a polymer having one end fixed to the surface facing the internal space of the layered structure.
  • Polymer includes biomolecules such as nucleic acid molecules (eg, DNA, RNA), proteins, polymer polymers (eg, cellulose polymer, polyethylene glycol) and the like.
  • a polymer whose structure changes with changes in ionic strength and pH of the solution is preferably used.
  • the substance forming the outermost layer of the shell is, for example, a substance in which one end of a polymer such as iron, copper, germanium, aluminum, chromium, tin, titanium, manganese, nickel is difficult to bind Is included.
  • the substance forming the innermost layer includes, for example, a substance that easily bonds to one end of a polymer such as gold, silver, silicon, or silicon oxide. Which substance is used can be easily determined by those skilled in the art depending on the application.
  • the layered structure forming the outer shell includes two or more thin film layers, and the substance of the outermost thin film layer of the outer shell is dissolved by a predetermined liquid.
  • a hollow micro object having a property that the material of the inner thin film layer is not dissolved by the liquid is provided.
  • the outermost layer and the immediately inner layer (A) are made of a substance 2 (for example, aluminum, copper) having a property of being dissolved by a predetermined solution
  • the inner layer ( B) and its inner layer (C) (which may be the innermost layer) are substances that do not dissolve in the solution and are preferably made of substance 1 (for example, gold) that is easily chemically modified.
  • Quantum dots 7 having nano-sized quantum dots 8 dispersed and buried two-dimensionally between the outermost layer and layer A, and having optical characteristics different from those of quantum dots 8 between layers B and C. Is buried in two dimensions.
  • a fluorescence resonance phenomenon occurs between the quantum dots 8 and 7, and fluorescence with a characteristic wavelength is stably emitted (see FIGS. 10A and 10B).
  • the distance between the quantum dots 7 and 8 can be appropriately adjusted so that the fluorescence resonance phenomenon occurs by appropriately adjusting the thicknesses of the layers A and B.
  • the outermost layer and the layer A immediately inside it are eluted by exposing the hollow micro object to a solution capable of dissolving the substance 2 (for example, hydrochloric acid).
  • the quantum dots 8 can be removed together with these layers.
  • the fluorescence emitted from the microscopic object of the present invention according to this embodiment has a wavelength that the quantum dot 7 originally emits. In this way, it is possible to provide a sensor that emits different light depending on the solvent conditions (see FIGS. 10 (a ') and (b')).
  • the substance forming the outermost thin film layer in this embodiment is preferably a substance that can be eluted depending on the solvent conditions, and includes, for example, metals such as magnesium and aluminum, transition metals such as zinc and copper, and semiconductors such as germanium. However, it is not limited to these.
  • the substance forming the innermost thin film layer is preferably a substance that is easily chemically modified, and includes, for example, transition metals such as gold and silver, semiconductor oxides such as dielectrics, silicon monoxide, and silicon dioxide.
  • the “predetermined liquid” varies depending on the substance used in the outermost layer. For example, hydrochloric acid or sodium hydroxide in the case of aluminum, nitric acid in the case of copper, hydrochloric acid or sulfuric acid in the case of zinc, etc. Can be used.
  • the present invention provides a method for producing a hollow microscopic object, using a microstructure composed of an organic substance as a template, and at least one layer of a transition metal, metal, or semiconductor as the above template as a thin film layer.
  • a method for producing a hollow microscopic body which includes a step of depositing on a substrate.
  • An organic mold suspension containing an organic mold having a predetermined diameter, an appropriate amount of pure water, and a material for suppressing electrostatic repulsion between the organic molds is dropped on one surface of the substrate, and the organic matter is deposited on the substrate.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing an example in which an organic structure serving as a template for producing the hollow microscopic object of the present invention is arranged on a substrate.
  • a prismatic organic mold 4 disposed on a flat substrate 6 is taken as an example.
  • the material of the substrate is generally silicon, glass, aluminum, plastic or the like, but any material may be used as long as it is flat.
  • the size of the organic template 4 can vary depending on the application and is in the range of about 0.1 nm to about 1 mm, preferably about 1 nm to about 500 ⁇ m, more preferably about 5 nm to about 100 ⁇ m, most preferably Is about 5 nm to about 1 ⁇ m.
  • the thickness is about 5 nm to about 100 microns, and a shape such as a sphere, cylinder, cone, or insulator can be used.
  • the material is appropriately selected from polystyrene, polypropylene, polyethylene, polymethylsiloxane (PDMS), polymethyl methacrylate resin (PMMA), etc. according to the shape of the micro object that is finally desired to be produced.
  • PDMS polymethylsiloxane
  • PMMA polymethyl methacrylate resin
  • polystyrene, hemisphere, cylinder, cone, PDMS, PMMA, etc. are suitable for making spherical, respectively.
  • Examples of the method for arranging the organic material template 4 on the substrate 6 include a method of cutting an organic material thin film applied on the substrate, a method of applying a self-organized film forming method, and a method of controlling the dispersion force of the organic material template in a solvent. is there.
  • a method of controlling the dispersion force of an organic template in a solvent an appropriate amount of salt is added to the solvent in which the organic template is dispersed, and the electrostatic repulsion between organic templates is suppressed on the substrate.
  • the organic material mold can be arranged on the substrate with high density.
  • the amount of salt to be added varies depending on the size and material of the organic template. For example, when a polystyrene sphere having a diameter of 100 nm is used as a template, the organic template solution and the 500 mM salt solution may be mixed at a ratio of 1: 2.
  • the organic material mold 4 arranged on the substrate 6 is subjected to physical cutting such as plasma etching processing, ion milling processing, focused ion beam processing, resist processing, and chemical cutting using an acidic solvent, an alkaline solvent, and an organic solvent.
  • the size and the distance between the organic molds can be appropriately controlled. For example, as shown in FIG. 4, 100 nm diameter polystyrene spheres (see FIG. 4A) arranged on the substrate so as to be in contact with each other are subjected to plasma etching for 15 seconds, whereby a diameter of about 80 nm and an interval of about 30 nm (FIG. 4). (See (b)).
  • a microscopic element desired to be produced is deposited on the template.
  • an appropriate method may be selected from (resistance heating type) vacuum deposition, sputtering, chemical vapor deposition, and the like.
  • a method for producing a microscopic object by vacuum deposition will be described as an example.
  • examples of elements that can be used as a vapor deposition source are listed in the periodic table as follows.
  • transition metals up to 79 excluding atomic number 43 (2) Metals with atomic numbers 13, 31, 32, 33, 49, 50, 51, 81, 82, and 83, and (3) Semiconductors with atomic numbers 14, 34, and 52.
  • Both the substrate 6 and the organic template 4 disposed thereon are disposed in a vacuum deposition apparatus to deposit one or more layers of elements.
  • the vapor deposition can be performed as follows, for example.
  • the organic mold 4 previously placed on the substrate 6 is set in the chamber of the resistance heating evaporation apparatus so as to face the evaporation source in the apparatus.
  • the degree of vacuum in the chamber is, for example, 5 ⁇ 10 ⁇ 4 Pascal, and the temperature in the chamber is room temperature.
  • a shutter is provided between the organic mold 4 and the vapor deposition source.
  • the vapor deposition source includes a vapor deposition source container and a heating resistor. The shutter can be moved back and forth or left and right. When the shutter covers the entire surface of the substrate 6, vapor deposition on the organic mold is blocked, and when the substrate 6 is exposed to the vapor deposition source by moving the shutter, the organic mold 4 is moved. Is deposited.
  • a metal, transition metal or semiconductor deposited on the surface of the organic mold is placed.
  • the heating resistor is used to heat and evaporate the element placed in the deposition source container.
  • FIG. 5 shows a schematic diagram when two layers of elements 1 and 2 are deposited on the organic template 4.
  • vapor deposition is preferably performed sequentially from an element serving as an inner layer.
  • the element 2 is deposited after the element 1 is deposited.
  • the film thickness of the element to be deposited may be appropriately selected within the range of 1 nm to 500 nm, for example.
  • the outermost layer of the elements deposited on the surface of the micro object corresponding to element 2 is made of a material that can be easily modified such as gold or silver, thereby immobilizing organic molecules on the surface of the micro object. can do.
  • thiol groups bind strongly to the gold surface, but proteins such as DNA and RNA into which thiol groups have been introduced at the ends using this binding reaction and antibodies containing thiol groups
  • Various organic molecules such as a monomolecular film-forming reagent containing a thiol group can be immobilized.
  • the thickness of the outermost element layer is preferably at least about 1 nm, more preferably at least about 1.5 nm, and at least about 2 nm in order to obtain a stable immobilization layer. Most preferred.
  • FIG. 6 shows a case where gold, germanium, copper, and nickel were deposited on the surface of a polystyrene sphere microparticle having a diameter of 100 nm as a first layer, and then deposited as a second layer on which gold was not deposited (FIG. 6 (a)). ), And when the gold was deposited to 2 nm (FIG. 6 (b)), the DNA having a thiol group at the 5 ′ end was reacted at a concentration of 3 ⁇ M, and the unreacted remaining in the supernatant. It is the result of having performed the light absorption spectrum measurement with respect to DNA.
  • the horizontal axis is the wavelength of light
  • the vertical axis is the light absorbance.
  • FIG. 7 shows that after depositing gold, germanium, copper, nickel on the surface of a polystyrene sphere microparticle having a diameter of 100 nm as a first layer, gold is deposited as a second layer on each of 0, 2, 5, and 10 nm.
  • surface which put together the result of having calculated the fixed density of DNA containing the thiol group fixed on the surface of a microbody by the difference measurement of said light absorption spectrum measurement, when vapor-depositing with a film thickness.
  • the DNA immobilization density is gold when the second layer gold film thickness is 2 nm.
  • the immobilization density hardly changes even when the film thickness increases to 5 nm or 10 nm, so that the thickness of the second gold layer, which is the outermost layer, is 2 nm or more, and the molecules are sufficiently fixed. It can be used as a layer, and it was confirmed that the performance did not change even when the film thickness was changed to a thickness greater than that.
  • the organic mold can be decomposed and removed by any of the ultraviolet-ozone method, plasma decomposition method, photocatalytic decomposition method, and heat incineration method.
  • the method is not limited.
  • FIG. 8 a description will be given taking as an example decomposition and removal by the ultraviolet-ozone method.
  • the organic material template 4 on which the elements 1 and 2 are deposited is placed in the ultraviolet-ozone decomposition apparatus cabinet together with the substrate 6. Ozone is generated by introducing oxygen into the chamber and irradiating with ultraviolet rays, and the organic matter including the organic matter template 4 is decomposed and removed.
  • the time for performing the treatment can be appropriately adjusted by those skilled in the art depending on the size of the organic material template and the like, but in the case of a polystyrene sphere template having a diameter of 100 nm, a treatment of about 60 minutes is sufficient.
  • the hollow microscopic body composed only of the deposited elements is obtained by decomposing and removing the organic material template 4.
  • a microscopic body having a two-layer structure of elements 1 and 2 can be obtained after the decomposition treatment.
  • the produced microscopic object can be separated from the substrate 6 by a method such as ultrasonic treatment and suspended in an appropriate solvent.
  • the microscopic object can be suspended in pure water by dropping pure water on the substrate 6 and applying an ultrasonic wave to the side of the substrate 6 opposite to the side where the microscopic object is attached.
  • a small amount of liquid is dropped on the hollow micro body, while applying ultrasonic waves to the other surface of the substrate, a material having a flat bottom surface on the one surface side to which the hollow micro object is fixed is placed so that a slight load is applied to the bottom surface, and the material is arbitrarily selected.
  • the minute body may be peeled off from the substrate by moving in the direction.
  • the liquid dropped on the hollow micro body is not limited to pure water, for example, protein containing bovine serum, antibody, bovine serum albumin (BSA) in pure water, synthetic DNA, citrate, phosphorus It may be a salt added with an acid salt and a surfactant containing sodium dodecyl sulfate (SDS) or tannic acid. Further, it may be an acid such as sulfuric acid, hydrochloric acid or nitric acid, an alkali such as ammonia or potassium hydroxide, an organic solvent such as ethanol or dimethyl sulfoxide (DMSO), or the like.
  • SDS sodium dodecyl sulfate
  • FIG. Fig. 9 shows that 10nm of iron is deposited on a 100nm diameter polystyrene sphere mold, the organic mold is decomposed and removed by the UV-ozone method, suspended in pure water, and then the microscopic object is placed again on another substrate and scanned. This is an example observed with a scanning electron microscope.
  • the detailed structure of the microscopic object can be seen by secondary electron measurement, and the reflected electron luminance of the manufactured microscopic object is found to be almost uniform by the reflected electron measurement.
  • nano-sized fine particles different from the material of the thin film layer are dispersed on the surface of a specific layer between two or more thin film layers constituting the hollow micro object.
  • a micro object characterized by having can be manufactured.
  • the step of dispersing and bonding fine particles on the surface, and the transition metal, metal, or semiconductor again after the step
  • the fine particles are dispersed and buried in a two-dimensional manner in a sandwich manner at the interface formed between the deposited material of the first layer and the deposited material of the second layer.
  • Quantum dots are minute particles with a diameter of several nanometers constructed from elements such as cadmium-selenium, and are characterized by fluorescence depending on size. In the biological field, it is widely used as a label for a target biomolecule, but it is known that fluorescence blinks or quenches due to environmental factors such as the distance between adjacent quantum dots and solvent conditions. It is also known that when two types of quantum dots that emit light of different wavelengths are brought close to each other at a certain distance, a resonance phenomenon due to energy transfer occurs and light of a characteristic wavelength is emitted.
  • iron, cobalt, nickel, gadolinium and other ferromagnetic elements that exhibit ferromagnetism at normal temperature or FeO / Fe 2 O 3 , MnO / Fe 2 O 3 , NiO / Magnetic oxides such as Fe 2 O 3 and CoO / Fe 2 O 3 , iron garnet (garnet) M 3 ⁇ Fe 5 O 12 (M is substituted with elements such as Fe, Y, and Mn), yttrium iron garnet ( YIG)
  • Ferrimagnetic materials such as insulating ferrimagnetic materials such as Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 are dispersed in two layers so as not to be joined to each other as fine particles with a size that does not maintain the magnetic domain structure.
  • the particle size for maintaining superparamagnetism is preferably 5 nm or less, superparamagnetism in which a magnetic domain structure cannot be reliably constructed can be realized.
  • FIG. 10 shows the method.
  • the element 1 constituting the minute body is made of a material that can be easily chemically modified, such as gold, and the quantum dots 7 are immobilized thereon.
  • Immobilization methods include the use of two-dimensional spatial structure construction of DNA, cross-linking by introducing amino groups, thiol groups, and biotin at both ends, methods using proteins such as BSA and antibodies, and two-crosslinking agents. There are methods to use. After fixing the quantum dots 7 on the surface of the element 1, the same kind of element 1 ′ is stacked to confine the quantum dots 7 in the element 1. As a result, the distance between adjacent quantum dots can be controlled, the surrounding environment can be kept constant by confinement, and stable fluorescence characteristics can be emitted.
  • the element 2 ′ is again laminated in the same manner to confine the quantum dots 8.
  • the total thickness of element 1 'and element 2 is set to an appropriate value between 2 nm and 1 micron, a fluorescence resonance phenomenon occurs between quantum dots 7 and 8, and fluorescence with a characteristic wavelength is stabilized. Be emitted.
  • the type of element 2 a material that can be eluted under a solvent condition such as aluminum or copper, the elements 2 and 2 ′ and the quantum dots 8 can be removed together with the micro object.
  • the fluorescence emitted from the minute body has a wavelength that the quantum dot 7 originally emits, and can be used as a sensor that emits different light depending on the solvent conditions.
  • the micro body developed in the present invention can also be used as a micro cell for capturing a target biomolecule.
  • FIG. 11 shows the method.
  • a single layer or multiple layers of hollow micro objects 9 are arranged so that the opening faces opposite to the substrate 6 as shown in FIG.
  • the method of arranging the micro objects 9 in this way is performed by using an adhesive tape or the like as the material of the substrate 6 and gently peeling the tape after affixing the tape on the hollow micro objects prepared in FIG.
  • the biomolecule 10 desired to react with the target biomolecule 11 is fixed inside the microbody 9.
  • the protein can be immobilized inside the hollow micro object 9 via an amino group or a thiol group of the protein.
  • the target biomolecule By applying an electric field between the substrate 6 and another substrate 6 ′ disposed in a solvent in which the target biomolecule 11 is dispersed, the target biomolecule can be captured inside the hollow microscopic object.
  • the reaction biomolecule 10 as an antibody and the target biomolecule 11 as an antigen, only the antigen can be selectively recovered from the solvent.
  • the reaction biomolecule 10 a chaperone protein and the target biomolecule 11 a protein having a broken structure, the target protein can be confined in the hollow microscopic internal space and efficiently repaired.
  • the chain biomolecule 14 is fixed inside the hollow microbody 9 and the target biomolecule 12 is recovered by stretching the chain.
  • the material of the chain biomolecule 14 may be DNA or a polymer, and further a material obtained by linking these with molecules that change in structure by light irradiation and / or electric field application.
  • a substance such as diazobenzene that changes its structure when irradiated with light having a wavelength of 365 nm may be used.
  • a capture biomolecule 13 for capturing the target biomolecule 12 is immobilized on the chain biomolecule 14.
  • the side chain of the chain biomolecule 14 and the amino group, thiol group, or carboxyl group of the capture biomolecule 13 may be chemically cross-linked.
  • the chain biomolecule 14 is linearly extended by application of an electric field and / or magnetic field, light irradiation, or change in the solvent salt concentration, and the target biomolecule 12 in the solvent is bound to the capture biomolecule 13.
  • the target biomolecule 12 is folded into the hollow microbody by folding the chain biomolecule 14 into the hollow microbody by changing the electric field, the magnetic field, or the solvent salt concentration in the opposite direction, or by stopping the light irradiation. 9 is collected inside.
  • the target biomolecule 12 and the reaction biomolecule 9 can be efficiently reacted inside the microbody.
  • the chain biomolecule 14 can be extended by returning the electric field and / or magnetic field again, light irradiation, or changing the solvent salt concentration again, and the target biomolecule 12 can be returned to the solvent.
  • the biomolecule for reaction 10 is a chaperone protein
  • the target biomolecule 12 is a protein with a broken structure
  • the capture biomolecule 13 is an antibody against the protein
  • a method of capturing the target biomolecule 12 in the solvent by connecting the two hollow micromolecules with the chain biomolecules 14 as shown in FIG. 11C without immobilizing the hollow micromolecules 9 on the substrate. is there.
  • the method of linking two hollow microscopic bodies can be prepared by using gold or silver as the material inside the microscopic bodies and introducing amino groups, thiol groups or carboxyl groups at both ends of the chain biomolecule 14 and mixing them. It is.
  • By extending the chain biomolecule 14 linearly by applying an electric field or magnetic field, irradiating light, or changing the solvent salt concentration the distance between the two hollow microscopic bodies 9 is increased, and the capture biomolecule 13 is exposed.
  • the target biomolecule 12 in the solvent is bound to the capture biomolecule 13.
  • the chain-like biomolecule 14 is folded inside the hollow microscopic body by changing the electric field, the magnetic field, or the solvent salt concentration in the opposite direction, or by stopping the light irradiation.
  • the two hollow micro objects are closed, and the target biomolecule 12 can be captured inside the hollow micro object 9.
  • the chain biomolecule 14 can be stretched by reapplying an electric and / or magnetic field, light irradiation, or changing the solvent salt concentration again to return the target biomolecule 12 back into the solvent.
  • ferromagnetism or ferromagnetism at room temperature introduce elements or compounds that have ferromagnetism or ferromagnetism at room temperature into thin layers that cannot maintain the magnetic domain structure, or fine particles with a small particle size that cannot maintain the magnetic domain structure between layers. By making it contain, it can be set as the hollow fine body which has the superparamagnetic characteristic.
  • specific examples of substances used include ferromagnetic substances such as iron, cobalt, nickel, and gadolinium that exhibit ferromagnetism at room temperature, or FeO ⁇ Fe 2 O 3 and MnO ⁇ Fe 2 O called ferrite.
  • iron garnet (garnet) M 3 ⁇ Fe 5 O 12 M is substituted with elements such as Fe, Y, Mn
  • Ferrimagnetic materials such as insulating ferrimagnetic materials such as yttrium iron garnet (YIG) Y 3 ⁇ Fe 5 O 12 can be used.
  • FIG. 12 is a diagram showing the state of particles before, during and after application of an external magnetic field in a hollow micro object having a ferromagnetic layer with a film thickness that cannot maintain the magnetic domain structure.
  • a hollow microscopic object consisting of two layers of nickel, which is a ferromagnetic metal on the outer layer and gold on the inner side
  • the diameter is 10 ⁇ m
  • the gold film thickness on the inner side is 10 nm
  • the outer nickel is
  • the microscopic bodies are dispersed, and when the nickel film thickness is 2 nm, the magnetic domain structure cannot be maintained and it has superparamagnetic characteristics.
  • the diameter is 10 ⁇ m
  • the inside of the micro body is gold 10 nm
  • the outside of the micro body is 5 nm of nickel
  • the thickness of the nickel layer of 5 nm is the boundary thickness of the superparamagnetic material that cannot maintain the magnetic domain structure and the strong paramagnetic material that can construct the magnetic domain structure.
  • FIG. 13 schematically shows an example of a cell recovery method that actually uses a magnetic hollow microparticle having superparamagnetic properties at room temperature.
  • FIG. A schematically shows a state in which a cell 1302 smaller than the size of the hemisphere of the magnetic hollow micro object 1301 interacts with the micro object 1301 and is collected and purified.
  • molecules that interact with target cells such as DNA aptamers and antibodies modified on the inner surface of the micro object 1301 in the stirring step (i) can physically contact the inner surface of the micro object 1301.
  • the size is as small as possible, the cell 1302 and the micro object 1301 can be bonded by interacting with the cell surface.
  • the microscopic object is aggregated by an external magnetic field such as a permanent magnet 1306 to remove the cells that have not been combined with the microscopic object 1301, and only the microscopic object 1301 and the target cell 1302 are obtained.
  • Factors that fix cells on the inner surface of the micro object 1301 such as the enzyme 1303 are decomposed.
  • the micro object may be disassembled.
  • only the target object 1302 can be recovered by recovering only the minute body 1301 again by the permanent magnet 1306.
  • FIG. B shows an example where the size of the cell 1304 is larger than the size of the hollow portion of the micro object 1301.
  • FIG. C schematically shows a procedure when the test tube 1305 is actually used.
  • the micro object 1301 is mixed in a test tube 1305 including various cells 1302 and 1304, and the solution is exchanged while the micro object 1301 is held by the permanent magnet 1306, the cell 1304 that has not bound to the micro object 1301 is removed. .
  • the collected cells 1302 to be collected can be collected.
  • the micro body 1301 of one kind of size is used.
  • the process shown in FIG. 13 is repeated, and the micro bodies of a plurality of sizes are gradually changed from a micro body having a large particle diameter to a small micro body. To perform size fractionation.
  • FIG. 14 (a) shows the simplest example, in which there are two ferromagnetic layers (1401, 1403) having a film thickness that cannot maintain the magnetic domain structure, and these are separated by an insulator layer (1402).
  • the body is schematically shown.
  • the elements or compounds constituting the insulator layer include oxides such as SiO, SiO 2 , manganese oxide, nickel oxide, and alumina, polymers such as Teflon (registered trademark), organic polymers such as plastic, and insulators. Can be used.
  • the film thickness separating the magnetic layers depends on the type of material, it is generally about 5 nm or more, preferably about 10 nm or more so that each magnetic layer is separated by an insulator layer. Superparamagnetism can be realized. As one of the preferred non-limiting examples, a process of forming a 2 nm Ni layer on a polystyrene sphere mold having a diameter of 10 ⁇ m, a 20 nm SiO 2 layer, and a 2 nm Ni layer is further formed.
  • FIG. 14B is a graph summarizing the relationship of (moving) speed. As shown in FIG.
  • the response speed to the magnetic field increases substantially linearly as the number of magnetic layers included in the micro object increases, so that a large number of magnetic layers are desired when rapid recovery by applying a magnetic field is desired. It can be seen that it is desirable to produce a micro body having a small number of magnetic layers when it is desired to slowly collect the micro body having a magnetic layer.
  • a hollow micro object composed of only elements desired to be manufactured by decomposing and removing an organic template after depositing a target element on an organic template disposed on a substrate.
  • it is possible to produce a large amount of various types of microparticles so that not only can various biomolecules be labeled at the same time, but also new materials that use microscopic bodies of various elements of nanometer size.
  • the hollow microbody of the present invention and the method for recovering a biological material or the like using the same are useful for selectively and / or effectively recovering target fine particles such as cells having a specific size instead of filter fractionation. . Further, by selecting the material and thickness of the element layer and the number of layers at the time of producing the micro object, it is possible to recover quickly or gently. Furthermore, it is useful for selectively and / or effectively recovering small target microparticles such as intracellular structures, which have been difficult until now, in a size-dependent manner, by using microparticles of 1 micron or less. .
  • Chain biomolecules 1301 ... magnetic hollow microscopic bodies, 1302 ... small size cells that can enter the inner surface of the microbody, 1303 ... DNA aptamer degrading enzyme, 1304 ... large size cells that cannot enter the inner surface of the microbody, 1305 ... Test tube, 1306 ... Permanent magnet, 14 1 ... magnetic layer, 1402 ... insulating layer, 1403 ... magnetic layer.

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Abstract

　本発明は、有機物にて構成された微小な構造体を鋳型として、基板上に配置し、真空蒸着法などにより、有機物構造体の表面に目的の元素を堆積させ、その後、紫外線-オゾン処理法などにより、鋳型である有機物構造体を分解除去することにより、目的の元素成分のみで構成された微小体を得ることを含む微小体の製造方法を提供する。

Description

磁気ナノ粒子
　本発明は金属，半導体などで構成された中空状の微小体（microscopic object）と、それらを利用した物質精製方法に関する。
　微粒子（microparticle）などの微小構造体（microstructure）は、ナノメートルサイズの構造の物差しとして、新規デバイスの材料として、また、生物分野ではタンパク質やDNAを可視化するための標識物として、多岐に渡って利用されている。大きさの揃った様々な素材の微粒子を作製することは、上記分野での研究開発推進に必須であり、本願の発明者らは、特開平１１－００１７０３「超微粒子の調製方法」（特許文献１）、および特開２００６－１５３８２６「生体試料標識物および生体物質標識法および生体物質の検査法」（特許文献２）において、生体分子を標識するために利用することができる微小体の作製方法および電子顕微鏡を利用した検査法を提案した。
　特開平１１－００１７０３には、平坦な基板上にポリスチレン球を一層に分散し、金属または半導体を蒸着することにより微粒子を形成する方法が開示されている。特開２００６－１５３８２６には、作製した微粒子に対してタンパク質やDNAなどの生体分子を固定する方法、走査型電子顕微鏡を利用した観察により表面を被覆した元素の種類を特定する方法が開示されている。
　しかしながら、これらの方法で作製された微粒子はポリスチレンやガラスなどの表面に元素が被覆されたものであり、目的の元素のみで構成された純粋な微粒子を作製する方法は記載されていない。
　他方、単一分子観測を可能とした技術的大革新は、これまでにないほどの詳細な情報を物理学の様々な分野にもたらし、数多くの驚くべき現象も発見されるようになった。ナノサイズの発光素子は、数多くの物理学的、化学的素過程を追跡する蛍光マーカーとして使うことができる。例えば大きな生体分子にナノ発光素子を付着させれば、その構造変化や分子機能を直接観測することができる。さらに個々の分子の動きを追うこともできるので、生体細胞の動的な振る舞いを探ることもできる。このような単一分子観測がもつ極めて高い潜在能力は、しばしば次に挙げる二つの要因により制限されてしまう。第一は点滅である。点滅が観測中に起こると実験結果から有益な情報を引き出す作業が煩雑になる。第二は測定が光退色(photobleaching)により制限される点である。励起状態の分子はその余分なエネルギーにより非可逆的な化学反応を起こし、蛍光を発さなくなることがある。
　退色しにくい発光素子が開発されると、長い時間スケールでの点滅現象の研究が行われるようになった。恐らくほぼ無限大の測定時間が可能と考えられるこのナノ発光素子は、半導体ナノ結晶であり、一般的にはコロイド量子ドットと呼ばれている。量子ドットはナノテクノロジー技術が産み出した最も輝かしい成果の一つであり、その大きさに依存した電気的、光学的な性質は非常に魅力的である（A. P. Alivisatos, Science 271, 933 (1996)（非特許文献１））。
　孤立した量子ドットからの蛍光の点滅は、1996年にMITのバウェンディ(Moungi Bawendi)とベル研究所(当時)のブルス(Louis Brus)の共同研究により初めて観測された（M. Nirmal, B. O. Dabbousi, M. G. Bawendi, J. J. Macklin, J. K. Trautman, T. D. Harris, L. E. Brus, Nature 383, 802 (1996)（非特許文献２））。
　実際、ドットの発光に何が影響を及ぼすのかという点については、当時は何も知られていなかったので、量子ドットの点滅は大変な驚きだった。それに加えて研究グループは、オン状態やオフ状態に留まる時間(逗留時間)が指数関数的には分布していないことも確認していた。この結果は、この新奇な点滅現象の背景には複雑な過程が潜んでいることを示唆する。後に、JILAのクノ(Masaru Kuno)、ネスビット(David Nesbitt)等のグループは、オン時間とオフ時間の確率密度分布は次式のようなベキ乗則にしたがうことを見いだした（M. Kuno, D. P. Fromm, H. F. Hamann, A. Gallagher, D. J. Nesbitt, J. Chem. Phys. 115, 1028 (2001)（非特許文献３））。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　ここで、t はオンまたはオフ時間の長さ、そして指数 α は1と2の間の数である(典型的には1.5)。
　このベキ乗則は、半導体ナノロッドあるいはナノワイアー、有機分子、蛍光タンパク質、複合ポリマーをはじめとしたほとんど全ての乱雑に配置された単一量子発光素子で確認されている。
　近年、蛍光光源として利用がされるようになった、コロイド量子ドットについては、たとえばCdSeのようなコロイド量子ドットは、大きさを2～6nm程度のものを化学的に合成することができ、一個一個が孤立した半導体ナノ結晶である。この大きさの範囲は、いろいろな物性値が分子からバルクへと変化するところである。ナノ結晶の大きさが小さくなると電荷の担体が動き回れる範囲が狭くなる。これは量子閉じ込め効果と呼ばれている。結果として小さい量子ドットは離散的なエネルギー準位と大きなバンドギャップをもつ。バンドギャップより大きなエネルギーの光を照射すると、量子ドットは光を吸収して励起子と呼ばれる電子-正孔対を形成する。この励起子はいずれ光を発して消滅する。ドットの大きさや組成を変化させれば、光吸収端や発光波長を可視光領域で自由に制御することができる。CdTe量子ドット（粒径2.5nm～5nm）、CdHgTe量子ドット、HgTe量子ドットなどが実用化され、さまざまな蛍光を発することが確認されている。
　コロイド量子ドットは大変小さいため、その表面には多数のダングリングボンド(dangling bond)、すなわち、共有結合性物質の表面や欠陥近傍に現れる結合に関与しない結合手(不対電子)があり、そこに励起された電子が捕獲されるために量子ドットの性能が低下する。量子ドット表面を有機物配位子で修飾することが現在試みられており、２つの効能が確認されている。ひとつはコロイド量子ドットが溶液中で分散した形で安定に存在できるようになることと、ダングリングボンドの影響を緩和できることである。量子ドット表面のダングリングボンドを塞ぐ他の方法として、表面を無機物のシェルで覆う手法もある。シェルとしてはより大きなバンドギャップをもつ半導体がよく使われ、このような量子ドットはコア-シェル量子ドットと呼ばれている。
　ベキ乗則にしたがう振る舞いが何に起因するかの理解はまだ進んでいないが、最近、点滅現象に関して二つの新しい手法が開発された。ひとつは量子ドットを他の応用に利用する目的のため新機能を追加する試みの中で得られ、量子ドット表面にさまざまな分子配位子を結合させたところ、ドットの光学的な性質が大きく変化したというものである（V. Fomenko, D. J. Nesbitt, Nano Lett. 8, 287 (2008（非特許文献４））。たとえば電子ドナーとなる配位子はオフ時間の長さと頻度を劇的に減少させる。しかし点滅の動力学が同時に変わったとは必ずしも言えない。オフ時間の現れる頻度は少なくなったが、ベキ乗分布には相変わらずしたがっている。したがって、あまり望ましくない点滅の頻度を減らすという現実的な応用に関しては大きな進歩をもたらしたものである。
　二番目の手法は、CdSe量子ドットをコアとしてその周囲をCdS結晶の厚い(5 - 15 nm)シェルで覆うことで点滅を抑えることができるというものである（B. Mahler, P. Spinicelli, S. Buil, X. Quelin, J.-P. Hermier, B. Dubertret, Nat. Mater. 7, 659 (2008)（非特許文献５）； Y. Chen, J. Vela, H. Htoon, J. L. Casson, D. J. Werder, D. A. Bussian, V. I. Klimov, J. A. Hollingsworth, J. Am. Chem. Soc. 130, 5026 (2008)（非特許文献６））。この発見から、ベキ乗則にしたがう点滅は周囲の欠陥に関係しており結晶そのものを起源とするものではないという理解が得られる。実際、高品質の結晶をエピタキシー成長させる際にある条件の下で勝手に形成され基板とほぼ完璧に格子定数が一致する、いわゆる自己組織化量子ドットでは蛍光が点滅しないことはすでによく知られている。
　したがって、各量子ドットの相互の距離を一定以上の距離に隔離すること、3次元に分散配置しないこと、量子ドットがイオン化しないように量子ドットの周囲を被覆すること、などが量子ドットの点滅を防ぐために有効であることが理論および実験の結果より示唆されている。
　他方、外界と孤立化できるナノ空間を人工的に構築することは、ケージド化合物の光刺激による選択的放出、あるいはシャペロンタンパク質内への変性タンパク質の取り込みによるタンパク質の再生など、さまざまな有用性が予測されるにも関わらず、人工ナノ構造物による効果的な孤立空間の可逆構築技術の開発は行われていない。
　本発明者らは、このような状況に鑑み、作製を望む厚さの金属、遷移金属または半導体ならびに、これらを層状に組み合わせたもののみで構成された中空構造を持つ微小体、それを作製する方法を既に開発している（特開２０１１－１０１９４１（特許文献３））。これによれば、量子ドットを、粒径が有機物鋳型と同程度に揃った、目的の元素のみで構成された粒径の揃った微小体を得ることができる。
　また、近年、特に、がん研究の現場では、血中がん細胞の抽出が早期診断のための手法として着目されているが、実際の回収方法としては、血中の通常の白血球細胞の細胞サイズに対して、血中を循環するガン細胞のサイズが大きい場合が見られるため、細胞のサイズに着目した細胞回収方法の有用性や、ガン細胞特有の表面抗原に結合する抗体を用いた細胞回収方法が検討されている。特定の細胞を精製する手段として、ミリポア社等が販売しているある一定のポアサイズの微小孔が空いたメンブレンフィルターを用いて、その孔を通過できるサイズであるかどうかでサイズ分画する手法があるが、目詰まりの問題や細胞に加えられる圧力による損傷の問題、また、ポアサイズ以上の一定のサイズ以上の細胞を捕獲することはできるがポアサイズ以下の細胞を回収することができない等の問題がある。他方、抗体を表面に付けた微粒子を用いて、この微粒子を回収することで抗体に結合する標的細胞を回収する技術がある。特に、ダイナル社が実用化した磁気ビーズ法では、ポリスチレン製の数ミクロンの微粒子の中に、磁区構造を構築できない程度のサイズに粉砕した鉄などの強磁性体微小粒子を超常磁性体として混入させる事で、磁気ビーズを作製する手法を開発している。そして磁石などの外磁場があるときだけ強磁性が磁気ビーズに発生し、外磁場が消失したときには、各微小強磁性体は磁区構造を構築できないサイズであるために強磁性を維持できず常磁性体として振る舞うため、集合していた磁気ビーズは分散する。この手法は、抗体と組み合わせる事で抗体と結合する細胞を回収することはできるが、細胞や分子のサイズにあわせてターゲットを回収するという特性は有さない。
特開平１１－００１７０３ 特開２００６－１５３８２６ 特開２０１１－１０１９４１
A. P. Alivisatos, Science 271, 933 (1996). M. Nirmal, B. O. Dabbousi, M. G. Bawendi, J. J. Macklin, J. K. Trautman, T. D. Harris, L. E. Brus, Nature 383, 802 (1996) . M. Kuno, D. P. Fromm, H. F. Hamann, A. Gallagher, D. J. Nesbitt, J. Chem. Phys. 115, 1028 (2001). V. Fomenko, D. J. Nesbitt, Nano Lett. 8, 287 (2008). B. Mahler, P. Spinicelli, S. Buil, X. Quelin, J.-P. Hermier, B. Dubertret, Nat. Mater.7, 659 (2008) Y. Chen, J. Vela, H. Htoon, J. L. Casson, D. J. Werder, D. A. Bussian, V. I. Klimov, J. A. Hollingsworth, J. Am. Chem. Soc. 130, 5026 (2008).
　したがって、フィルター分画に替わる特定のサイズの細胞等のターゲット微粒子を、選択的におよび／または効果的に回収する方法が望まれる。
　本発明は、上記状況を鑑み、作製を望む厚さの金属、遷移金属または半導体ならびに、これらを層状に組み合わせたもののみで構成された中空構造を持つ微小体であって、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性もしくはフェリ磁性を示す物質からなる微粒子を含む微小体、および上記中空構造体の最内面の層の内側に細胞結合性の物質が付加された微小体、ならびにそれを作製する方法、およびそれを利用する細胞回収方法を提供する。
　１つの実施形態では、上記微粒子は中空構造を持つ微小体内部に層状に配置された複数の物質の特定の２つの物質層の間の界面に2次元に分散されて内包配置されている。さらに、これらの微粒子の中に蛍光を発生する物質が含まれている。
　本発明のさらに別の実施形態によれば、上記層状に構成された金属層のひとつを、磁区構造を維持できない程度に薄い構造とした常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物体とすること、ならびにそれを作製する方法および上記中空構造体の最内面の層の内側に細胞結合性の物質が付加された微小体、ならびにこれを用いた細胞等の微粒子精製方法が提供される。
　ここで、このような常温にて強磁性を示す単体としては、例えば、鉄、コバルト、ニッケル、ガドリニウム等を、常温にてフェリ磁性を示す単体としては、酸化物の磁性体でフェライトと呼ばれるFeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3等を用いることができ、また鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素を代入）、例えば、イットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12などの絶縁性のフェリ磁性体を用いることもできる。
　本発明のさらなる実施形態によれば、上記層状に構成された複数の金属層のうち、最内側から任意の番目の層を、磁区構造を維持できない程度に薄い構造とした常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物体とし、その1層外側の層を常温にて絶縁性を示す物体（絶縁体）、さらにその1層外側の層をまた磁区構造を維持できない程度に薄い構造とした常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物体とし、この磁性体と絶縁体の積層構造が２回以上N回繰り返された、単層の磁性体層を有する微小体に比べて積層数Nに合わせてN倍大きな磁気モーメントを有する微小体を作製する方法および上記中空構造体の最内面の層の内側に細胞結合性の物質が付加された微小体、ならびにこれを用いた細胞等の微粒子精製方法が提供される。
　ここでNは有限の繰り返し回数を意味しており、2以上の整数である。
　また、ここで絶縁体とは、当該分野で通常用いられる物質（室温における電気伝導率σが、約10-6Ｓ／ｃｍ以下である物質）を意味しており、典型的には酸化ケイ素や二酸化ケイ素などを示す。
　また、さらなる実施形態では、微小体の表面が環境の液体の性質の変化によって溶解することができ、微小体内側表面に結合した高分子が環境の液体の性質の変化、電場および／または磁場の印加、光照射等によって伸縮することができ、および／または2つ以上の中空微小体の内面と高分子の両端が結合しており環境の液体の性質の変化によって2つの中空微小体が接合することができる。
　より具体的には、本発明は、以下の中空微小体およびその製造方法、ならびにその利用方法を提供する。
（１）外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体（A hollow microscopic object comprising: a layer structure which forms an outer shell and comprises a layer of at least one thin film of a transition metal, a metal or a semiconductor; and an inner space and an opening which are defined by the layer structure.）であって、
　上記層状構造が、
　２以上の薄膜の層と、
　上記２以上の薄膜の層間の界面に二次元的に分散埋没されて配置された微粒子と、
を含み、
　上記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質または量子ドットで構成され、上記薄膜層の物質とは異なるものである、微小体。
（２）外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体であって、
　上記層状構造が、
　２以上の薄膜の層を含み、
　少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、微小体。
（３）外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体であって、
　上記層状構造が、
　３以上の薄膜の層を含み、
　少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が隔てられた磁性体層の間で強磁性を発生させることができない程度の距離を隔てる厚さを有する絶縁体から構成されている、微小体。
（４）上記遷移金属、金属または半導体が、周期律表で原子番号４３番を除く７９番までの遷移金属、原子番号１３，３１，３２，３３，４９，５０，５１，８１，８２，もしくは８３番の金属、または原子番号１４，３４，もしくは５２番の半導体のいずれかである、上記（１）、（２）または（３）記載の微小体。
（５）上記常温で強磁性を示す物質が、鉄、コバルト、ニッケル、およびガドリニウムからなる群から選択され、
　上記常温でフェリ磁性を示す物質が、FeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素）、およびイットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12からなる群から選択される、上記（１）～（４）のいずれか一項記載の微小体。
（６）（i）上記層状構造の最外層の物質が金であり、その膜厚が2nm以上である、または（ii）上記層状構造の最内層の物質が金であり、その膜厚が2nm以上である、上記（１）～（５）のいずれか一項記載の微小体。
（７）（i）常温にて強磁性またはフェリ磁性を持たない絶縁体を隔てる層の厚さが１０ｎｍ以上である、または
（ii）常温にて強磁性またはフェリ磁性を持たない絶縁体を隔てる層として絶縁体物質または金属酸化物を用いたことを特徴とした、上記（３）記載の微小体。
（８）上記微粒子の層の厚さとして５nm以下の膜厚としたことを特徴とする上記（２）または（３）記載の微小体。
（９）前記量子ドットが、CdS、CdSe、CdTe、CdHgTe、およびHgTeからなる群から選択される、上記（１）記載の微小体。
（１０）上記層状構造が、２以上の上記薄膜の層を含み、
　最外層の薄膜層の物質が、所定の液体によって溶解する性質を有し、
　内側の薄膜層の物質が、上記液体によって溶解しない性質を有する、上記（１）、（２）または（３）記載の微小体。
（１１）上記最外層の薄膜層の物質が金属であり、上記内側の薄膜層の物質が誘電体物質または半導体物質である、上記（１０）記載の微小体。
（１２）上記層状構造の上記内部空間に面した表面に、その一端が固定された高分子をさらに含む、上記（１）、（２）または（３）記載の微小体。
（１３）上記層状構造の最内層の物質と最外層の物質とが異なっており、上記最内層の物質が、上記高分子の一端が付加されることに適した物質であり、上記最外層の物質が、上記高分子の一端が付加されにくい物質である、上記（１２）記載の微小体。
（１４）上記最内層の物質が金、銀、シリコン、酸化シリコンのいずれかであり、上記最外層の物質が鉄、銅、ゲルマニウム、アルミニウム、クロム、スズ、チタン、マンガン、ニッケル、コバルト、ガドリニウムのいずれかである、上記（１２）または（１３）記載の微小体。
（１５）上記高分子が、溶液のイオン強度および／もしくはｐＨの変化、電場の印加、磁場の印加、または光照射によって構造が変化する高分子である、上記（１２）～（１４）のいずれか一項記載の微小体。
（１６）上記高分子が、ＤＮＡ鎖またはセルロースポリマー、またはこれらを電場の印加、磁場の印加、もしくは光照射により構造変化する分子で連結したものである、上記（１２）～（１５）のいずれか一項記載の微小体。
（１７）上記高分子が、核酸分子もしくは分子鎖、核酸誘導体分子もしくは分子鎖、抗体等のタンパク質分子鎖、または細胞表面等への結合性を有する高分子鎖等である、上記（１２）～（１５）のいずれか一項記載の微小体。
（１８）上記高分子の他端が、別の微小体または基板表面に固定されている、上記（１２）～（１５）のいずれか一項記載の微小体。
（１９）有機物で構成された微小構造物を鋳型として、遷移金属、金属または半導体の少なくとも１つ以上の層を上記鋳型に薄膜層状に堆積させて層状構造を形成する工程を含む、中空微小体の作製方法であって、
　（ｉ）上記遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程の後に、該堆積させた層の表面に微粒子を分散して結合させる工程と、その工程の後に、再び遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程とをさらに含み、それによって、上記微粒子が、上記第１層の堆積物質と、上記第２層の堆積物質との間に作られる界面にサンドイッチ状に２次元に分散埋没され、
　　上記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質または量子ドットで構成され、上記薄膜層の物質とは異なるものである、
　または
　（ｉｉ）上記層状構造が、２以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、
　または
　（ｉｉｉ）上記層状構造が、３以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が絶縁体で構成されている、方法。
（２０）所定の直径を有する有機物鋳型、適量の純水、および有機物鋳型間の静電反発力を抑制するための材料を含む有機物鋳型懸濁液を基板の一面に滴下して、上記基板上に上記有機物鋳型を所定の密度に分布させる工程、
　上記基板上に吸着していない過剰量の上記有機物鋳型を洗浄除去する工程、
　上記基板上に分布された上記有機物鋳型を乾燥させる工程、
　上記有機物鋳型の切削処理を行い、上記基板上に配置された上記有機物鋳型の間隙を所定の間隔に調整する工程、
　上記基板上に分布された上記有機物鋳型に、遷移金属、金属または半導体の薄膜の層を少なくとも１層堆積させる工程、
　遷移金属、金属または半導体の層を少なくとも１層堆積させた上記有機物鋳型を分解除去し、残存した中空微小体を得る工程、
を含む、遷移金属、金属または半導体で構成された中空微小体の製作方法であって、
　（ｉ）上記遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程の後に、該堆積させた層の表面に微粒子を分散して結合させる工程と、その工程の後に、再び遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程とをさらに含み、それによって、上記微粒子が、上記第１層の堆積物質と、上記第２層の堆積物質との間に作られる界面にサンドイッチ状に２次元に分散埋没され、
　上記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質で構成され、上記薄膜層の物質とは異なるものである、
　または
　（ｉｉ）上記薄膜の層が、２以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、
　または
　（ｉｉｉ）上記層状構造が、３以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が絶縁体で構成されている、方法。
（２１）上記有機物鋳型の切削処理法が、プラズマエッチング処理、イオンミリング処理、収束イオンビーム処理、レジスト処理のいずれかである、上記（２０）記載の方法。
（２２）上記基板上に分布された上記有機物鋳型に遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程が、抵抗加熱式真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相成長法のいずれかによって行われる、上記（２０）記載の方法。
（２３）遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層蒸着させた上記有機物鋳型を分解除去する工程が、紫外線-オゾン法、プラズマ分解法、光触媒分解法、加熱焼却法のいずれかによって行われる、上記（２０）記載の方法。
（２４）上記中空微小体を得る工程がさらに、
　　上記中空微小体上に、微量の液体を滴下し、
　　上記基板の他面に超音波を作用させながら、上記中空微小体が固定された上記一面側に平坦な底面を有する素材を該底面に若干加重が加わる様に載置して、該素材を任意の方向に移動させることにより上記微小体を上記基板から剥離させることを含む、
上記（２０）記載の方法。
（２５）上記中空微小体上に滴下する液体が、純水、あるいは純水に牛血清、抗体、牛血清アルブミン（bovine serum albumin (BSA)）を含むタンパク質、合成DNA、クエン酸塩、リン酸塩、および硫酸ドデシルナトリウム（sodium dodecyl sulfate (SDS)）もしくはタンニン酸（tannic acid）を含む界面活性剤を加えたものである、上記（２４）記載の方法。
（２６）上記基板が、シリコン基板、ガラス基板、アルミ基板、またはプラスチック基板である、上記（１９）～（２５）のいずれか一項記載の方法。
（２７）内表面に特異的に特定のターゲット生体物質と結合する物質が修飾された超常磁性の特性を有する中空微小体を用いて、
　上記中空微小体とターゲット生体物質を含む溶液とを混合する工程、および
　上記中空微小体の内表面に修飾したターゲット生体物質と結合する物質と結合したターゲット生体物質を外磁場によって誘引して磁力によって回収する工程を含む、生体物質回収法。
（２８）上記生体物質が細胞である、上記（２７）記載の方法。
（２９）上記回収する工程の後に、
　ターゲット生体物質との結合物質を分解して該ターゲット生体物質を回収する工程を含む上記（２７）または（２８）記載の方法。
（３０）上記ターゲット生体物質との結合物質としてＤＮＡアプタマーを用い、かつ、分解する工程にＤＮＡ分解酵素を用いる、上記（２９）記載の方法。
（３１）上記回収する工程の後に、
　中空微小体を分解する工程を含む、上記（２７）記載の方法。
（３２）上記中空微小体が、上記（１２）～（１８）のいずれか一項記載の中空微小体である、上記（２７）～（３１）のいずれか一項記載の方法。
（３３）上記中空微小体のサイズを調整することによって、ターゲット生体物質のサイズ分画を可能とした、上記（２７）～（３２）のいずれか一項記載の方法。
　本発明では、金属、遷移金属または半導体を、その厚さを制御して１層以上堆積させた各元素成分のみで構成された粒径の揃った微小体を作製するため、活性酸素発生装置などの利用により、有機物鋳型を分解除去する。これにより、堆積させた元素成分のみで構成された微小体を得る。得られた微小体に超音波などの微弱な振動を作用させることにより、任意の溶媒に分散させることができる。
　また、本発明は、作製を望む厚さの金属、遷移金属または半導体ならびに、これらを層状に組み合わせたものの層の間に、量子ドット微粒子を配置して構成された微小体、および、この微小体を作製する手法を提供する。これにより、蛍光の点滅を減少させることができる。
　本発明では、粒径が揃ったポリスチレンなどの有機物で構成された微小な構造体を鋳型とし、その表面に金属、遷移金属または半導体を１層以上、厚さを制御して堆積させた後、量子ドット微粒子を、これら１層以上堆積させた各元素成分の上に配置し、さらに、その表面に金属、遷移金属または半導体を１層以上堆積させた後、活性酸素発生装置などの利用により、有機物鋳型を分解除去する。これにより、堆積させた元素成分のみで構成された微小体を得ることができる。
　本発明によれば、ポリスチレンやガラスなどの不純成分を含まない、目的の元素のみで構成された微小体を得ることができる。また、有機物鋳型の粒径を揃えることで、従来の自己重合法や破砕法では困難であった元素について、粒径が有機物鋳型と同程度に揃った目的の元素のみで構成された微小体を得ることができる。また、有機物鋳型の形状や大きさを様々なものとすることにより、様々な形状、大きさの目的の元素のみで構成された微小体を得ることができる。また、微小体内の異なる物質の層の間に微粒子を分散して2次元に（すなわち、層間界面に平行な方向に広がって）配置して内包することが可能となる。
　また、本発明によれば、量子ドットを、粒径が有機物鋳型と同程度に揃った、目的の元素のみで構成された粒径の揃った微小体を得ることができる。
　また、本発明の中空微小体を用いることによって、中空微小体の内表面に結合する細胞等の生体物質を、外磁場を用いて簡便に回収することができる。特に、中空微小体のサイズより小さな、すなわち、中空微小体の中空部分に収容可能な、特定の細胞等の生体物質を選択的に回収することが可能であることから、細胞等のターゲット生体物質のサイズ分画が可能となる。さらには磁性体層が複層構造の微小体を作製することで、細胞等のターゲット生体物質の回収速度を磁性体層の層数に応じて任意に制御しより高速に、かつ、選択的に回収することが可能となる。
本発明において作製する中空状微小体の概念図である。 微小体を作製する手順の概念図である。 基板上に配置した有機物鋳型の概念図である。 （a）はプラズマエッチング処理を行う前、（b）は処理後の有機物鋳型の走査型電子顕微鏡写真である。 真空蒸着法により元素を堆積させた有機物鋳型の概念図である。 （a）直径100nmのポリスチレン球微小体表面に金、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目として10nm蒸着した後、その上に2層目として金を蒸着しなかった場合、および（b）金を2nm蒸着した場合、の微小体に対して、5'末端にチオール基を持つDNAを3μMの濃度で反応させた後、上清に残った未反応のDNAに対して光吸収スペクトル測定を行った結果のグラフである。図中の"Before"の線は、微小体と反応を行う前の、3μMの濃度に相当するDNAに対して光吸収スペクトル測定を行った結果である。 直径100nmのポリスチレン球微小体表面に金、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目として10nm蒸着した後、その上に2層目として金を0, 2, 5, 10nmの各膜厚で蒸着した場合において、微小体表面に固定化された、チオール基を含有するDNAの固定化密度を計算した結果をまとめた表である。 （a）は元素を堆積させた有機物鋳型に紫外線-オゾン処理を行う手順の概念図である。（b）紫外線-オゾン処理により有機物鋳型を分解除去した後の概念図である。 （a）は作製した鉄製微小体の走査型電子顕微鏡２次電子像、（b）は同反射電子像である。 （a）は量子ドットを挟み込んだ微小体と（a'）元素を１層除去した際の概念図、（b）および（b'）は（a）および（a'）それぞれの場合に微小体から発せられる蛍光波長特性を示す概念図である。 （a）は中空状微小体内部に生体分子を固定化し、電気的誘引により標的生体分子を捕捉する場合の概念図である。（a'）は電気的誘引を行った結果、標的生体分子が捕捉された様子の概念図である。（b）は鎖状生体分子を直線状に伸ばして標的生体分子を中空状微小体内に捕捉する場合の概念図である。（b'）は鎖状生体分子により標的生体分子が捕捉された様子の概念図である。（c）は鎖状生体分子により連結された二つの中空状微小体内部に標的生体分子を捕捉する場合の概念図である。（c'）は二つの中空状微小体内部に標的生体分子が捕捉された様子の概念図である。 磁区構造を維持できない膜厚での強磁性体層を持つ中空微小体の、外磁場印加前、印加中、印加後の粒子の状態を示す図である。 常温で超常磁性特性を持つ磁性中空微小体を用いた細胞回収法の一例を模式的に示した概念図である。 （a）は磁区構造を維持できない膜厚での強磁性体層を２層有し、それらの層が絶縁体層で隔てられた合計３層構造の複層薄膜構造を持つ中空微小体の概念図である。（b）は微小体が有する磁区構造を維持できない膜厚での強磁性体層の層数と印加された磁場に対する応答性の関係を示したグラフである。
１．本発明の中空微小体
　本発明は、１つの実施形態において、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造を備え、該層状構造によって規定された内部空間および開口部を有する、中空状の微小体を提供する。
　本発明の中空状の微小体は、層状構造によって規定された内部空間および開口部を有するキャップ様の構造を有する。キャップ部分の形状は、該微小体の製造過程で用いる鋳型の形に応じて変化し得、半球形、円柱形、円錐形、角柱形などでありうるが、これらに限定されない。
　本発明の中空状微小体のサイズ（または粒径）もまた、用途に応じて、製造過程で用いる鋳型のサイズに応じて変化させることができ、約0.1nm～約1mmの範囲内にあり、好ましくは、約1nm～約500μm、より好ましくは、約5nm～100μm、最も好ましくは、約5nm～1μmである。
　本明細書中、単に「金属」という場合、典型元素の金属を指すものとする。「典型元素」とは、周期表の1族、2族と12族から18族の元素で、全ての非金属および一部の金属から構成される元素の区分である。本発明において使用される「金属」としては、例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉなどの金属が好ましい。
　本明細書中、「遷移金属」とは、遷移元素を意味し、周期表の3族から11族の元素をいうものとする。本発明に使用する「遷移金属」としては、原子番号４３番を除く２１番から７９番までの遷移金属が好ましい。
　本明細書中、「半導体」という用語は、当該分野で通常用いられる意味（「室温における電気伝導率σが、金属と絶縁体の中間の１０３～１０－１０Ｓ／ｃｍ程度である物質」（岩波　理化学辞典　第５版、１９９８　岩波書店））で用いられる。本発明において使用する「半導体」としては、例えば、Ｓｉ、Ｓｅ、Ｔｅなどが好ましい。
　図１は本発明の中空状の微小体の例を示す。この例では、３種類の元素１、２、３の層からなる半球状の中空微小体が示されているが、層の数、微小体の形状などはこれに限定されない。
　図１に示すように、本発明の中空微小体の外殻は、各元素１、２、３が薄膜状に積層された層状構造を有しており、それぞれの層の厚さは、典型的には、約1nm～約1μmの範囲であり、より好ましくは、約1nmから約500nmであり、最も好ましくは、約1nm～約100nmの範囲であるが、これらの範囲に限定されず、下限は、約0.1nmから、上限は約10μmまでの任意の範囲で目的に応じて適宜設定可能である。
　図２は中空微小体の作製方法を模式的に示したものである。真空蒸着法やスパッタリング法などにより、微小体の鋳型となる、例えば、5nmから100ミクロンの有機物構造体４の上に、蒸着源５－１、５－２から発せられた元素１、２、３を1nmから500nmの範囲で順次堆積させた後、有機物鋳型４を、例えば、紫外線-オゾン法、プラズマ分解法、光触媒分解法、加熱焼却法等の方法により分解除去することにより中空状の微小体を得る。さらに具体的な作製手順については本明細書の後の部分で示す。
　本発明の中空微小体の１つの実施形態では、常温で強磁性あるいはフェロ磁性を持つ元素あるいは化合物の磁区構造を維持できない膜厚の薄い層が導入され、超常磁性の特性を持った中空状微小体とされた中空微小体が提供される。ここで、このような元素または化合物としては、常温にて強磁性を示す鉄、コバルト、ニッケル、ガドリニウム等の単体元素の強磁性体、あるいはフェライトと呼ばれるFeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3等の酸化物磁性体、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素を代入）、イットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12等の絶縁性フェリ磁性体などのフェリ磁性体などを用いることができる。磁区構造を維持できない膜厚としては、物質の種類にもよるが、概して、１０ｎｍ以下、９ｎｍ以下、８ｎｍ以下、７ｎｍ以下、６ｎｍ以下、好適には約５nm以下、４ｎｍ以下、３ｎｍ以下、２ｎｍ以下、または１ｎｍ以下とすることで磁区構造をできない超常磁性を実現できる。
　本発明の中空微小体の別の実施形態では、常温で強磁性あるいはフェロ磁性を持つ元素あるいは化合物の磁区構造を維持できない膜厚の薄い層が2層以上導入され、その層が絶縁体層を間に挟むことにより隔離された、超常磁性の特性を持った中空微小体が提供される。ここで、絶縁体層を構成する元素または化合物としては、SiO、SiO2、酸化マンガン、酸化ニッケル、アルミナなどの酸化物や、テフロン（登録商標）等の高分子やプラスチック等の有機高分子、碍子などを用いることができる。磁性体層を隔てる膜厚としては、物質の種類にもよるが、概して、約５ｎｍ以上、好適には約１０nm以上とすることで各磁性体層が絶縁体層で隔てられた複層構造の超常磁性を実現できる。
　本発明の中空微小体のさらなる実施形態においては、層状構造が２以上の薄膜の層を含み、２以上の薄膜の層間の界面に二次元的に分散埋没されて配置された微粒子を含む中空状の微小体が提供される。これらの微粒子は、薄膜の層を形成する物質とは異なるものである。
　一つの実施形態では、これらの粒子として、蛍光を発光する物質が用いられる。そのような微粒子には、例えば、カドミウム-セレン（CdSe）などの元素により構築された直径数ｎｍの微粒子（量子ドット）が含まれる。その他の量子ドットの例としては、CdS、CdTe、CdHgTe、HgTe、等が挙げられる。この実施形態では、量子ドットの周辺環境を層界面への分散埋没により一定なものに保つことができるので、安定な蛍光特性を発する量子ドットを提供することができる。このようにして、量子ドットイオン化の問題を解決することが可能である。
　また、別の実施形態では、上記微粒子として、常温にて強磁性を示す鉄、コバルト、ニッケル、ガドリニウム等の単体元素の強磁性体、あるいはフェライトと呼ばれるFeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3等の酸化物磁性体、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素を代入）、イットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12等の絶縁性フェリ磁性体などのフェリ磁性体について、磁区構造を維持できない程度の微小サイズにしたものを用いる事もできる。粒子サイズとして約１０ｎｍ以下、９ｎｍ以下、８ｎｍ以下、７ｎｍ以下、６ｎｍ以下、好適には約５nm以下、４ｎｍ以下、３ｎｍ以下、２ｎｍ以下、または１ｎｍ以下とすることで磁区構造を構築できない超常磁性を実現できる。
　好適な実施形態では、上記微粒子として、上記蛍光を発生する物質および上記常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質を同時にまたは混合して用いることができる。
　本発明の中空微小体のさらなる実施形態においては、上記層状構造の内部空間に面した表面に、その一端が固定された高分子をさらに含む中空微小体が提供される。「高分子」には、生体分子、例えば、核酸分子（例：ＤＮＡ、ＲＮＡ）、タンパク質、高分子ポリマー（例：セルロースポリマー、ポリエチレングリコール）等が含まれる。この実施形態の特定の用途には、例えば、溶液のイオン強度、ｐＨの変化によって構造が変化する高分子が好ましく用いられる。
　この実施形態の中空微小体において、殻の最外層を形成する物質には、例えば、鉄、銅、ゲルマニウム、アルミニウム、クロム、スズ、チタン、マンガン、ニッケル等の高分子の一端が結合しにくい物質が含まれる。また、最内層を形成する物質には、例えば、金、銀、シリコン、酸化シリコン等の高分子の一端が結合しやすい物質が含まれる。いずれの物質を用いるかは、用途に応じて、当業者が容易に決定しうる。
　本発明の中空微小体のさらなる実施形態においては、外殻を形成する層状構造が２以上の薄膜の層を含み、外殻の最外層の薄膜層の物質が、所定の液体によって溶解する性質を有し、内側の薄膜層の物質が、上記液体によって溶解しない性質を有する中空微小体が提供される。
　この実施形態では、例えば、最外層とその直ぐ内側の層（Ａとする）を所定の溶液によって溶解する性質を有する物質２（例えば、アルミニウム、銅）からなる層とし、そのさらに内側の層（Ｂ）とさらにその内側の層（Ｃ）（最内層であり得る）とを上記溶液によって溶解しない性質の物質であって、かつ、好ましくは化学修飾し易い物質１（例えば、金）からなる層とし、最外層と層Ａとの間にナノサイズの量子ドット８を二次元的に分散埋没させ、さらに層Ｂと層Ｃとの間にも量子ドット８とは異なる光学特性を有する量子ドット７を二次元的に分散埋没させる。このような形態にすることにより、量子ドット８と７との間で蛍光共鳴現象が起こり、特徴的な波長の蛍光が安定に発せられる（図１０（ａ）及び（ｂ）を参照）。このようにして、量子ドットの点滅やイオン化の問題を解決することができる。量子ドット７と８との距離は、層Ａと層Ｂの厚さを適宜調節することにより、蛍光共鳴現象が起こるように適切に調節可能である。
　また、この実施形態の本発明の中空微小体では、物質２を溶解することができる溶液（例えば、塩酸）に上記中空微小体を曝すことにより最外層とその直ぐ内側の層Ａとを溶出し、これらの層と共に量子ドット８を取り除くことができる。それによりこの実施形態に係る本発明の微小体から発せられる蛍光は量子ドット７が本来発する波長となる。このようにして、溶媒条件により異なる光を発するセンサーを提供することができる（図１０（ａ’）及び（ｂ’）を参照）。
　この実施形態における最外層の薄膜層を形成する物質には、溶媒条件により溶出可能な物質が好ましく、例えば、マグネシウム、アルミニウムなどの金属、亜鉛、銅などの遷移金属、ゲルマニウムなどの半導体が含まれるが、これらに限定されない。また、最内層の薄膜層を形成する物質には、化学修飾し易い物質が好ましく、例えば、金、銀などの遷移金属、誘電体、一酸化ケイ素、二酸化ケイ素などの半導体酸化物が含まれるが、これらに限定されない。さらに、上記「所定の液体」としては、最外層に用いる物質によって異なるが、例えば、アルミニウムの場合には塩酸や水酸化ナトリウム、銅の場合には硝酸、または亜鉛の場合には塩酸や硫酸等が用いられうる。
２．本発明の中空微小体の作製方法
　本発明は、一つの実施形態において、有機物で構成された微小構造物を鋳型として、遷移金属、金属または半導体の少なくとも１つ以上の層を上記鋳型に薄膜層状に堆積させる工程を含む、中空微小体の作製方法を提供する。
　より具体的には、本発明の一実施形態では、
所定の直径を有する有機物鋳型、適量の純水、および有機物鋳型間の静電反発力を抑制するための材料を含む有機物鋳型懸濁液を基板の一面に滴下して、上記基板上に上記有機物鋳型を所定の密度に分布させる工程、
　上記基板上に吸着していない過剰量の上記有機物鋳型を洗浄除去する工程、
　上記基板上に分布された上記有機物鋳型を乾燥させる工程、
　上記有機物鋳型の切削処理を行い、上記基板上に配置された上記有機物鋳型の間隙を所定の間隔に調整する工程、
　上記基板上に分布された上記有機物鋳型に、遷移金属、金属または半導体の薄膜の層を少なくとも１層堆積させる工程、
　遷移金属、金属または半導体の層を少なくとも１層堆積させた上記有機物鋳型を分解除去し、残存した中空微小体を得る工程、
を含む、遷移金属、金属または半導体で構成された中空微小体の製作方法が提供される。
　図３は本発明の中空状微小体を作製する際の鋳型となる有機物構造体を基板上に配置した一例を示す模式図である。ここでは平坦な基板６の上に配置した角柱状の有機物鋳型４を例とする。基板の材質はシリコン、ガラス、アルミ、プラスチックなどが一般的であるが、平坦であるならどのような材質でも構わない。
　有機物鋳型４のサイズは、用途に応じて変化させることができ、約0.1nm～約1mmの範囲内にあり、好ましくは、約1nm～約500μm、より好ましくは、約5nm～約100μm、最も好ましくは、約5nm～約1μmである。代表的には、約5nmから約100ミクロンであり、球や円柱、円錐、賽子のような形状のものを用いることができる。材質はポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメチルシロキサン（PDMS）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（PMMA）などの中から最終的に作製を望む微小体の形状に合わせて適宜選択する。例えば、球状にするにはポリスチレン、半球、円柱、円錐、賽子状にするにはPDMSやPMMAなどがそれぞれ適している。
　有機物鋳型４の基板６上への配置法は、基板上に塗布した有機物薄膜を切削する方法、自己組織化膜形成法を応用する方法、溶媒中の有機物鋳型の分散力を制御する方法などがある。一例として、溶媒中の有機物鋳型の分散力を制御する方法では、有機物鋳型が分散している溶媒に適量の塩を添加して、有機物鋳型間の静電反発力を抑制した状態で基板上に塗布することにより、基板上に有機物鋳型を高密度に配置することができる。添加する塩の量は有機物鋳型の大きさや材質により異なるが、例えば100nm径のポリスチレン球を鋳型とする場合では、有機物鋳型溶液と500mMの塩溶液を1:2の比率で混合するとよい。
　基板６上に配置した有機物鋳型４は、プラズマエッチング処理、イオンミリング処理、収束イオンビーム処理、レジスト処理などの物理的切削や、酸性溶媒、アルカリ性溶媒、有機溶媒による化学的切削を行うことにより、大きさと有機物鋳型間の距離を適宜制御することができる。例えば図４に示すように、基板上に互いに接するよう配置した100nm径のポリスチレン球（図４（ａ）を参照）を15秒間プラズマエッチング処理することにより、直径約80nm、間隔約30nm（図４（ｂ）を参照）とすることができる。
　基板６上に有機物鋳型４を適切な大きさ、間隔にて配置した後、作製を望む微小体の元素を鋳型上に堆積させる。堆積させる方法は、（抵抗加熱式）真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相成長法などの中から適切な方法を選択するとよい。以下、真空蒸着法により微小体を作製する方法を例として説明する。
　本発明において蒸着源（微小体を構成する元素）として利用できる元素の例を列挙すると周期律表において以下のようである。
（１）原子番号４３番を除く７９番までの遷移金属、
（２）原子番号１３，３１，３２，３３，４９，５０，５１，８１，８２，８３番の金属、および
（３）原子番号１４，３４，５２番の半導体
である。
　基板６と、その上に配置した有機物鋳型４共に、真空蒸着装置内に配置して１層以上の元素の蒸着を行う。蒸着は、例えば、次のように行うことができる。
　まず、抵抗加熱式蒸着装置のチャンバー内に、基板６上に予め配置した有機物鋳型４が、装置内の蒸着源に向くようにセットする。チャンバーの真空度は、たとえば、５×１０－4パスカル、チャンバー内の温度は室温である。有機物鋳型４と蒸着源との間にはシャッターが設けられている。蒸着源は蒸着源容器と加熱用抵抗器とから構成される。シャッターは前後または左右に移動させることができ、シャッターが基板６の全面を覆うときは有機物鋳型への蒸着が阻止され、シャッターの移動により基板６が蒸着源に曝されるときは有機物鋳型４への蒸着が行われる。蒸着源容器には有機物鋳型の表面に蒸着される金属、遷移金属あるいは半導体が入れられる。加熱用抵抗器は蒸着源容器に入れられた元素を加熱し、蒸発させるために使用される。
　図５に、有機物鋳型４の上に元素１、２を２層堆積させた場合の模式図を示す。元素を２層以上堆積させる場合は、内部の層となる元素から順次蒸着を行うとよい。例えば図５の例では、元素１の蒸着を行った後に元素２の蒸着を行う。蒸着を行う元素の膜厚は、例えば、1nmから500nmの範囲で適切に選択するとよい。
　図５において元素２に相当する、微小体表面に堆積させる元素のうち最も外側となる層を金や銀などの分子修飾が容易な素材とすることにより、微小体の表面に有機分子を固定化することができる。例えば、金の表面にはチオール基が強く結合することがよく知られているが、この結合反応を利用して末端にチオール基が導入されたDNAやRNA、チオール基を含有する抗体などのタンパク質、チオール基を含有する単分子膜形成試薬など、各種有機分子を固定化することができる。この最も外側を構成する元素の層の厚さは、安定した固定化層とするためには、少なくとも約1nmとすることが好ましく、少なくとも約1.5nmとすることがより好ましく、少なくとも約2nmとすることが最も好ましい。
　図６は、直径100nmのポリスチレン球微小体表面に金、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目として10nm蒸着した後、その上に2層目として金を蒸着しなかった場合（図６(a)）、および金を2nm蒸着した場合（図６(b)）の微小体に対して、5'末端にチオール基を持つDNAを3μMの濃度で反応させた後、上清に残った未反応のDNAに対して光吸収スペクトル測定を行った結果である。横軸は光の波長、縦軸は光吸収度である。図中には微小体と反応を行う前の、3μMの濃度に相当するDNAに対して光吸収スペクトル測定を行った結果を同時に示してある。DNAは260nmに吸収ピークを持つため、微小体へのDNA固定反応前後の260nm光吸収度の差分を計算することにより、微小体表面へ固定化されたDNA分子数を定量化することができる。外側の層として金が存在しない図（６(a)）では、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目とした場合、チオール基が各元素の表面に密に結合しないため、反応前後で260nmの光吸収度に顕著な変化が見られないが、外側に2nmの金の層を2層目として形成した図（６(b)）では、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目とした場合においても1層目を金とした場合と同程度に、反応前後で260nmの光吸収度に顕著な変化が見られた。すなわち、微小体表面に2nmの金の層を形成することにより、チオール基を含有するDNAを高密度固定化することができることが確認できた。
　さらに、図７は、直径100nmのポリスチレン球微小体表面に金、ゲルマニウム、銅、ニッケルを1層目として10nm蒸着した後、その上に2層目として金を0, 2, 5, 10nmの各膜厚で蒸着した場合において、微小体表面に固定化された、チオール基を含有するDNAの固定化密度を上記の光吸収スペクトル測定の差分計測により計算した結果をまとめた表である。1層目が金の場合を比較対象として1層目がゲルマニウムやニッケルの場合の固定化密度を見ると、2層目の金の膜厚が2nmの場合にDNAの固定化密度が金の場合と同程度となり、かつ膜厚が5nm, 10nmと増加しても固定化密度はほとんど変化しないことから、最外層となる2層目の金の膜厚は2nm以上であれば十分に分子の固定層として利用することができ、それ以上の膜厚に変化させても性能は変化しないことが確認された。
　さらに、目的の中空状の微小体を得るために、紫外線-オゾン法、プラズマ分解法、光触媒分解法、加熱焼却法いずれかの方法にて有機物鋳型の分解除去を行うことができるが、これらの方法に限定されない。ここでは、図８に示すように、紫外線-オゾン法による分解除去を例として説明する。元素１、２を堆積させた有機物鋳型４を基板６と共に紫外線-オゾン分解装置庫内に配置する。庫内に酸素を導入して紫外線を照射することによりオゾンが発生し、有機物鋳型４を含む有機物が分解除去される。処理を行う時間は有機物鋳型の大きさなどに依存して当業者が適宜調整し得るが、100nm径のポリスチレン球鋳型の例では約60分の処理で十分である。
　有機物鋳型４の分解除去により、蒸着を行った元素のみで構成された中空状の微小体を得る。図８の例では、分解処理後に元素１および２の２層構造の微小体を得ることができる。作製した微小体は、超音波処理などの方法により基板６から剥離させて適切な溶媒に懸濁することができる。例えば、基板６上に純水を滴下し、基板６の微小体が付着している側と反対側に超音波を作用させることにより、微小体を純水中に懸濁することができる。
　したがって、本発明の中空微小体の製造方法の好ましい実施形態では、上記の中空微小体を得る工程においてさらに、
　　上記中空微小体上に、微量の液体を滴下し、
　　上記基板の他面に超音波を作用させながら、上記中空微小体が固定された上記一面側に平坦な底面を有する素材を上記底面に若干加重が加わる様に載置して、上記素材を任意の方向に移動させることにより上記微小体を上記基板から剥離させることを行ってもよい。
　上記中空微小体上に滴下する液体は、純水に限らず、例えば、純水に牛血清、抗体、牛血清アルブミン（bovine serum albumin (BSA)）を含むタンパク質、合成DNA、クエン酸塩、リン酸塩、および硫酸ドデシルナトリウム（sodium dodecyl sulfate (SDS)）もしくはタンニン酸（tannic acid）を含む界面活性剤を加えたもの等であってもよい。また、硫酸、塩酸、硝酸などの酸、アンモニア、水酸化カリウムなどのアルカリ、エタノール、ジメチルスルホキシド（DMSO）などの有機溶媒等であってもよい。
　以上の手順により、蒸着を行った元素のみで構成された中空状の微小体を得ることができる。得られた微小体の一例を図９に示す。図９は、100nm径ポリスチレン球鋳型の上に鉄を10nm堆積させ、紫外線-オゾン法により有機物鋳型を分解除去し、純水に懸濁した後に別の基板上に微小体を再度配置して走査型電子顕微鏡により観察を行った例である。２次電子計測により微小体の詳細な構造を見ることができ、また、反射電子計測では作製した微小体の反射電子輝度がほぼ均一であることがわかる。
　本発明の中空微小体の製造方法のさらなる実施形態においては、中空微小体を構成する2層以上の薄膜層の間の特定の層の表面に薄膜層の物質とは異なるナノサイズの微粒子を分散して配置して、前記微粒子を前記2層以上の層の特定の２層の間の界面にサンドイッチ状に2次元に分散（すなわち、層間界面に平行な方向に広がって）埋没させた構造を持つことを特徴とした微小体を製造することができる。
　具体的には、たとえば、上記の遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程の後に、その表面に微粒子を分散して結合させる工程と、その工程の後に、再び遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程を用いることで、前記微粒子が、前記第１層の堆積物質と、前記第2層の堆積物質との間に作られる界面にサンドイッチ状に2次元に分散埋没させることで製作することができる。
　例のひとつとして、量子ドットを微小体に挟み込み、光学特性を制御する方法を紹介する。量子ドットはカドミウム-セレンなどの元素により構築された直径数nmの微小な粒子で、サイズに依存した蛍光を発することが特徴である。生物分野では目的生体分子の標識として広く利用されているが、隣り合う量子ドット間の距離や溶媒条件など周辺環境要因により蛍光の点滅や消光が起こることが知られている。また、異なる波長の光を発する２種類の量子ドットを一定距離で近づけると、エネルギー異動による共鳴現象が起こり、特徴的な波長の光を発することが知られている。
　また、別の例として、常温にて強磁性を示す鉄、コバルト、ニッケル、ガドリニウム等の単体元素の強磁性体、あるいはフェライトと呼ばれるFeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3等の酸化物磁性体、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素を代入）、イットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12等の絶縁性フェリ磁性体などのフェリ磁性体について、磁区構造を維持できない程度の微小サイズにしたものを上記微粒子として互いに接合しないように分散して２層間に配置する事で、超常磁性の特性を持った中空状微小体として用いる事もできる。ここで超常磁性を維持する粒子サイズとして好適には５nm以下とすることで確実に磁区構造を構築できない超常磁性を実現できる。
　本発明にて開発した微小体を利用すると、量子ドット間の距離を制御することにより光学特性を制御することができる。図１０にその方法を示す。微小体を構成する元素１を金などの化学修飾が容易な素材とし、その上に量子ドット７を固定化する。固定化の方法はDNAの２次元空間構造構築の利用や両末端にアミノ基、チオール基、ビオチンを導入して架橋を行う方法、BSAや抗体などのタンパク質を介する方法、２架性架橋剤を使用する方法などがある。量子ドット７を元素１の表面に固定化した後、同じ種類の元素１’を積層して量子ドット７を元素１中に閉じ込める。これにより隣接する量子ドットの距離を制御することが可能であり、また閉じ込めにより周辺環境を一定に保つことができ、安定な蛍光特性を発することができる。
　次に異なる種類の元素２を積層し、量子ドット７とは異なる光学特性を示す別の量子ドット８を元素２の表面に固定化する。その後、同様に元素２’を再度積層し、量子ドット８を閉じ込める。元素１’と元素２の合計の厚さを2nmから1ミクロンの間の適切な値とすることにより、量子ドット７と８の間で蛍光共鳴現象が起こり、特徴的な波長の蛍光が安定に発せられる。また、元素２の種類をアルミニウムや銅などの溶媒条件により溶出可能な材質とすることにより、微小体から元素２および２’、それと共に量子ドット８を取り除くことができる。それにより微小体から発せられる蛍光は量子ドット７が本来発する波長となり、これを利用して溶媒条件により異なる光を発するセンサーとして応用することが可能である。
　本発明にて開発した微小体は、標的生体分子を捕捉するための微小な罠としても利用することができる。図１１にその方法を示す。１層もしくは複層の中空状微小体９を、図１１（a）のように開口部が基板６と逆を向くように配置する。微小体９をそのように配置させる方法は、基板６の素材として粘着性テープなどを利用し、図８にて作製した中空状微小体の上にテープをそっと貼った後に剥がすことにより行う。次に、標的生体分子１１と反応を行うことを望む生体分子１０を微小体９の内側に固定する。中空状微小体９の内部の素材を金や銀などの素材とすることにより、タンパク質が持つアミノ基やチオール基を介して中空状微小体９の内部に固定化することができる。基板６と、標的生体分子１１が分散している溶媒中に配置した別の基板６’の間に電場を印加することにより、標的生体分子を中空状微小体内部に捕捉することができる。この方法により、例えば反応用生体分子１０を抗体、標的生体分子１１を抗原とすることにより、溶媒中から抗原のみを選択的に回収することができる。また、反応用生体分子１０をシャペロンタンパク質、標的生体分子１１を構造が壊れたタンパク質とすることにより、目的のタンパク質を中空状微小体内部空間に閉じ込めて効率よく修復することができる。
　別の方法として、図１１（b）のように中空状微小体９の内部に鎖状生体分子１４を固定化し、鎖の伸縮により標的生体分子１２を回収する方法がある。鎖状生体分子１４の素材はDNAや高分子ポリマー、さらにはこれらを光照射および／または電場印加により構造変化する分子で連結した素材を用いると良い。光照射、電場印加、磁場印加等により構造変化する分子としては、例えば波長365nmの光を照射することにより構造変化するジアゾベンゼンのような物質を用いると良い。また、鎖状生体分子１４には標的生体分子１２を捕捉するための捕捉生体分子１３を固定化しておく。固定化の方法は、鎖状生体分子１４の側鎖と捕捉生体分子１３のアミノ基、チオール基もしくはカルボキシル基を化学的に架橋するとよい。鎖状生体分子１４を電場および／もしくは磁場の印加、光照射、または溶媒塩濃度の変化により直線状に伸ばして、溶媒中の標的生体分子１２を捕捉生体分子１３に結合させる。次に、電場、磁場、もしくは溶媒塩濃度の逆方向への変化、あるいは光照射の中止により鎖状生体分子１４を中空状微小体内部に折りたたませることで、標的生体分子１２を中空状微小体９の内部に回収する。中空状微小体９の内部に反応用生体分子９を予め固定化しておくことにより、微小体内部で標的生体分子１２と反応用生体分子９を効率的に反応させることができる。反応後は電場および／もしくは磁場の再印加、光照射、または溶媒塩濃度を再度変化させることにより鎖状生体分子１４を伸張させて、標的生体分子１２を溶媒中に戻すことができる。例えば反応用生体分子１０をシャペロンタンパク質、標的生体分子１２を構造が壊れたタンパク質、捕捉生体分子１３をタンパク質に対する抗体とすることにより、効率的にタンパク質の修復を行うことができる。
　中空状微小体９を基板に固定化せず、図１１（c）に示すように二つの中空状微小体を鎖状生体分子１４により連結して溶媒中の標的生体分子１２を捕捉する方法がある。二つの中空状微小体を連結する方法は、微小体内部の素材を金もしくは銀とし、鎖状生体分子１４の両末端にアミノ基、チオール基もしくはカルボキシル基を導入して混合することで作製可能である。鎖状生体分子１４を電場や磁場の印加、光照射、もしくは溶媒塩濃度の変化により直線状に伸ばして、二つの中空状微小体９の距離を離し、捕捉用生体分子１３を露出させることにより、溶媒中の標的生体分子１２を捕捉生体分子１３に結合させる。次に、電場、磁場、もしくは溶媒塩濃度の逆方向への変化、あるいは光照射の中止により鎖状生体分子１４を中空状微小体内部に折りたたませる。これにより二つの中空状微小体が閉じ、標的生体分子１２を中空状微小体９の内部に捕捉することができる。電場および／もしくは磁場の再印加、光照射、または溶媒塩濃度を再度変化させることにより鎖状生体分子１４を伸張させて、標的生体分子１２を溶媒中に戻すことができる。
　中空状微小体について、常温で強磁性あるいはフェロ磁性を持つ元素あるいは化合物を、磁区構造を維持できない膜厚の薄い層を導入すること、あるいは磁区構造を維持できない微小な粒径の微粒子をレイヤー間に含有させることによって、超常磁性の特性を持った中空状微小体とすることができる。ここで、用いる物質として具体的には、常温にて強磁性を示す鉄、コバルト、ニッケル、ガドリニウム等の単体元素の強磁性体、あるいはフェライトと呼ばれるFeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3等の酸化物磁性体、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素を代入）、イットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12等の絶縁性フェリ磁性体などのフェリ磁性体などを用いることができる。
　図１２は、磁区構造を維持できない膜厚での強磁性体層を持つ中空微小体の、外磁場印加前、印加中、印加後の粒子の状態を示す図である。図にあるように、外層に強磁性体金属であるニッケルを、内側に金を用いた２層からなる中空状微小体について、直径10μm、微小体内側の金の膜厚が１０nm、外側のニッケルの膜厚が２nmの場合の、外磁場を与えた場合の微小体の応答を観察した場合、磁石（ネオジウム、０．６Ｔ）を近づけると、微小体は互いに引き寄せ合い集合するが、磁石を外して外磁場を除去すると、微小体は分散することが確認され、ニッケルの膜厚が２nmの場合には磁区構造が維持できず超常磁性の特性を持っていることが確認できる。他方、図１２と同じ、直径１０μm、微小体　内側は金１０nm、微小体外側はニッケル５nmとした場合には、外磁場を磁石で加えた後に、再度、外磁場を除去しても若干の凝集が残る事から、ニッケル層の膜厚５nmが、ちょうど磁区構造を維持できない超常磁性体と磁区構造を構築できる強常磁性体の境界膜厚となっていることが分かる。
　図１３に、実際に、常温で超常磁性特性を持つ磁性中空微小体を用いた細胞回収法の一例を模式的に示す。図Ａに、磁性中空微小体１３０１の半球のサイズに対してそのサイズより小さい細胞１３０２が、微小体１３０１と相互作用して回収精製される様子を模式的に示している。まず（ｉ）の撹拌の工程で微小体１３０１内面の表面に修飾したＤＮＡアプタマーや抗体等のターゲットとする細胞と相互作用をする分子が、細胞サイズが微小体１３０１の内面に物理的接触が可能な程度に小さなサイズであったときに、細胞表面と相互作用して細胞１３０２と微小体１３０１は結合することができる。次に（ｉｉ）の工程として、微小体を永久磁石１３０６等の外磁場によって凝集させ、微小体１３０１と結合しなかった細胞を除去し、微小体１３０１とターゲット細胞１３０２のみとした後、ＤＮＡ分解酵素１３０３等の微小体１３０１内面で細胞を固定している因子を分解する。ここで、上記手法でも示したが、逆に微小体を分解させても良い。次に、微小体１３０１のみを再度、永久磁石１３０６によって回収する事で、ターゲット細胞１３０２のみを回収することができる。図Ｂは、細胞１３０４のサイズが微小体１３０１の中空部分のサイズより大きい場合の例である。図からもわかるように、細胞１３０４は微小体１３０１内面の細胞と相互作用する修飾高分子等と接触ができないため、微小体１３０１を永久磁石１３０６によって回収しても、細胞１３０４は回収されることは無い。図Cは、実際に試験管１３０５を使った場合の手順を、模式的に示したものである。さまざまな細胞１３０２，１３０４を含む試験管１３０５中に微小体１３０１を混合させ、微小体１３０１を永久磁石１３０６によって保持しながら溶液を交換すると、微小体１３０１と結合しなかった細胞１３０４は除去される。次に、ターゲット結合物質がＤＮＡアプタマーで会った場合にはＤＮＡ分解酵素１３０３等の細胞結合物質を分解する物質を添加して、再度、永久磁石１３０６を用いて微小体１３０１を除去すると、ターゲットとした回収したい細胞１３０２を回収することができる。
　この実施例では、１種類のサイズの微小体１３０１を用いたが、上記図１３で示した工程を繰り返し、複数のサイズの微小体を段階的に粒径の大きな微小体から小さな微小体に対して行う事で、サイズ分画を行うことができる。
　超常磁性を有する微小体に対して、印加された磁場に対する応答性を向上させるには、磁性体層を複数層（２層以上）有する微小体を作製するとよい。図１４（a）はその最も単純な例として、磁区構造を維持できない膜厚での強磁性体層を２層（１４０１、１４０３）持ち、かつそれが絶縁体層（１４０２）で隔てられた微小体を模式的に示したものである。絶縁体層を構成する元素または化合物としては、SiO、SiO2、酸化マンガン、酸化ニッケル、アルミナなどの酸化物や、テフロン（登録商標）等の高分子やプラスチック等の有機高分子、碍子などを用いることができる。磁性体層を隔てる膜厚としては、物質の種類にもよるが、概して、約５ｎｍ以上、好適には約１０nm以上とすることで各磁性体層が絶縁体層で隔てられた複層構造の超常磁性を実現できる。その好適な非限定的（non-limiting）例のひとつとして、直径１０μmのポリスチレン球鋳型上にNi層を２nm形成した後、SiO2層を２０nm形成し、さらにNi層を２nm形成するといった工程を繰り返すことで、Ni層を１、２、３、４または５層有する微小体をそれぞれ作製した後、0.1％のTween20を含む水に分散させた状態で磁石（ネオジウム、０．６Ｔ）を近づけ、微小体が磁場により吸い寄せられる力と溶媒の粘性抵抗が釣り合って速度が一定となった段階で微小体の移動速度を顕微鏡観察により計測し、微小体が有する磁性体層の数と磁場印加に対する応答（移動）速度の関係をまとめたグラフが図１４（b）である。図１４（b）に示したとおり、微小体が有する磁性体層の数が増加するにつれて磁場に対する応答速度は概ね線形に増加するため、磁場印加による速やかな回収を望む場合は多数の磁性体層を有する微小体を、緩やかな回収を望む場合は少数の磁性体層を有する微小体を作製することが望ましいと分かる。
　本発明は上述のように、基板上に配置した有機物鋳型の上に目的の元素を堆積させた後、有機物鋳型を分解除去することにより、作製を望む元素のみで構成された中空状の微小体を作製することができる。これを利用すれば、様々な種類の微小体を大量に作製することができるため、様々な生体分子を同時に標識できるのみでなく、ナノメートルサイズの様々な元素の微小体を利用した新規素材を開発することができる。
　本発明の中空微小体およびそれを用いた生体物質等回収方法は、フィルター分画に替わる特定のサイズの細胞等のターゲット微粒子を、選択的におよび／または効果的に回収するために有用である。また、微小体を作製する際の元素層の材質と厚み、層数を最適に選択することで、速やかまたは緩やかな回収が可能となる。さらには、１ミクロン以下の微小体を用いることで、これまで困難であった細胞内構造物など小さなターゲット微粒子を選択的におよび／または効果的に、サイズ依存的に回収するために有用である。
　１…元素１、１’…元素１と同じ素材の堆積層、２…元素２、２’…元素２と同じ素材の堆積層、３…元素３、４…有機物鋳型、４’ …紫外線-オゾン処理により分解除去された有機物鋳型、５－１…元素１を堆積させる蒸着源、５－２…元素２を堆積させる蒸着源、６…基板１、６’…基板２、７…量子ドット１、８…量子ドット２、９…１層もしくは複層の中空状微小体、１０…生体分子１、１１…生体分子２、１２…生体分子３、１３…１２を捕捉するための生体分子、１４…鎖状生体分子、１３０１…磁性中空状微小体、１３０２…微小体内面に入ることができる小さなサイズの細胞、１３０３…ＤＮＡアプタマー分解酵素、１３０４…微小体内面に入ることができない大きなサイズの細胞、１３０５…試験管、１３０６…永久磁石、１４０１…磁性体層、１４０２…絶縁体層、１４０３…磁性体層。
 

Claims (33)

  1. 　外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体であって、
    　前記層状構造が、
    　２以上の薄膜の層と、
    　前記２以上の薄膜の層間の界面に二次元的に分散埋没されて配置された微粒子と、
    を含み、
    　前記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質または量子ドットで構成され、前記薄膜層の物質とは異なるものである、微小体。
  2. 　外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体であって、
    　前記層状構造が、
    　２以上の薄膜の層を含み、
    　少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、微小体。
  3. 　外殻を形成し、遷移金属、金属または半導体の１以上の薄膜の層を含む層状構造、ならびに該層状構造によって規定された内部空間および開口部を備える、中空状の微小体であって、
    　前記層状構造が、
    　３以上の薄膜の層を含み、
    　少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が隔てられた磁性体層の間で強磁性を発生させることができない程度の距離を隔てる厚さを有する絶縁体から構成されている、微小体。
  4. 　前記遷移金属、金属または半導体が、周期律表で原子番号４３番を除く７９番までの遷移金属、原子番号１３，３１，３２，３３，４９，５０，５１，８１，８２，もしくは８３番の金属、または原子番号１４，３４，もしくは５２番の半導体のいずれかである、請求項１、２または３記載の微小体。
  5. 　前記常温で強磁性を示す物質が、鉄、コバルト、ニッケル、およびガドリニウムからなる群から選択され、
    　前記常温でフェリ磁性を示す物質が、FeO・Fe2O3、MnO・Fe2O3、NiO・Fe2O3、CoO・Fe2O3、鉄ガーネット（ザクロ石）M3・Fe5O12（MはFe、Y、Mnなどの元素）、およびイットリウム鉄ガーネット（YIG）Y3・Fe5O12からなる群から選択される、請求項１～４のいずれか一項記載の微小体。
  6. 　（i）前記層状構造の最外層の物質が金であり、その膜厚が2nm以上である、または
    　（ii）前記層状構造の最内層の物質が金であり、その膜厚が2nm以上である、請求項１～５のいずれか一項記載の微小体。
  7. 　（i）常温にて強磁性またはフェリ磁性を持たない絶縁体を隔てる層の厚さが１０ｎｍ以上である、または
    　（ii）常温にて強磁性またはフェリ磁性を持たない絶縁体を隔てる層として絶縁体物質または金属酸化物を用いたことを特徴とした、請求項３記載の微小体。
  8. 　前記微粒子の層の厚さとして５nm以下の膜厚としたことを特徴とする請求項２または３記載の微小体。
  9. 　前記量子ドットが、CdS、CdSe、CdTe、CdHgTe、およびHgTeからなる群から選択される、請求項１記載の微小体。
  10. 　前記層状構造が、２以上の前記薄膜の層を含み、
    　最外層の薄膜層の物質が、所定の液体によって溶解する性質を有し、
    　内側の薄膜層の物質が、前記液体によって溶解しない性質を有する、請求項１、２または３記載の微小体。
  11. 　前記最外層の薄膜層の物質が金属であり、前記内側の薄膜層の物質が誘電体物質または半導体物質である、請求項１０記載の微小体。
  12. 　前記層状構造の前記内部空間に面した表面に、その一端が固定された高分子をさらに含む、請求項１、２または３記載の微小体。
  13. 　前記層状構造の最内層の物質と最外層の物質とが異なっており、前記最内層の物質が、前記高分子の一端が付加されることに適した物質であり、前記最外層の物質が、前記高分子の一端が付加されにくい物質である、請求項１２記載の微小体。
  14. 　前記最内層の物質が金、銀、シリコン、酸化シリコンのいずれかであり、前記最外層の物質が鉄、銅、ゲルマニウム、アルミニウム、クロム、スズ、チタン、マンガン、ニッケル、コバルト、ガドリニウムのいずれかである、請求項１２または１３記載の微小体。
  15. 　前記高分子が、溶液のイオン強度および／もしくはｐＨの変化、電場の印加、磁場の印加、または光照射によって構造が変化する高分子である、請求項１２～１４のいずれか一項記載の微小体。
  16. 　前記高分子が、ＤＮＡ鎖またはセルロースポリマー、またはこれらを電場の印加、磁場の印加、もしくは光照射により構造変化する分子で連結したものである、請求項１２～１５のいずれか一項記載の微小体。
  17. 　前記高分子が、核酸分子もしくは分子鎖、核酸誘導体分子もしくは分子鎖、抗体等のタンパク質分子鎖、または細胞表面等への結合性を有する高分子鎖等である、請求項１２～１５のいずれか一項記載の微小体。
  18. 　前記高分子の他端が、別の微小体または基板表面に固定されている、請求項１２～１５のいずれか一項記載の微小体。
  19. 　有機物で構成された微小構造物を鋳型として、遷移金属、金属または半導体の少なくとも１つ以上の層を前記鋳型に薄膜層状に堆積させて層状構造を形成する工程を含む、中空微小体の作製方法であって、
    　（ｉ）前記遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程の後に、該堆積させた層の表面に微粒子を分散して結合させる工程と、その工程の後に、再び遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程とをさらに含み、それによって、前記微粒子が、前記第１層の堆積物質と、前記第２層の堆積物質との間に作られる界面にサンドイッチ状に２次元に分散埋没され、
    　前記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質または量子ドットで構成され、前記薄膜層の物質とは異なるものである、
    　または
    　（ｉｉ）前記層状構造が、２以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、
    　または
    　（ｉｉｉ）前記層状構造が、３以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が絶縁体で構成されている、方法。
  20. 　所定の直径を有する有機物鋳型、適量の純水、および有機物鋳型間の静電反発力を抑制するための材料を含む有機物鋳型懸濁液を基板の一面に滴下して、前記基板上に前記有機物鋳型を所定の密度に分布させる工程、
    　前記基板上に吸着していない過剰量の前記有機物鋳型を洗浄除去する工程、
    　前記基板上に分布された前記有機物鋳型を乾燥させる工程、
    　前記有機物鋳型の切削処理を行い、前記基板上に配置された前記有機物鋳型の間隙を所定の間隔に調整する工程、
    　前記基板上に分布された前記有機物鋳型に、遷移金属、金属または半導体の薄膜の層を少なくとも１層堆積させる工程、
    　遷移金属、金属または半導体の層を少なくとも１層堆積させた前記有機物鋳型を分解除去し、残存した中空微小体を得る工程、
    を含む、遷移金属、金属または半導体で構成された中空微小体の製作方法であって、
    　（ｉ）前記遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程の後に、該堆積させた層の表面に微粒子を分散して結合させる工程と、その工程の後に、再び遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程とをさらに含み、それによって、前記微粒子が、前記第１層の堆積物質と、前記第２層の堆積物質との間に作られる界面にサンドイッチ状に２次元に分散埋没され、
    　前記微粒子が、磁区構造を維持できない程度に微小なサイズの常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質で構成され、前記薄膜層の物質とは異なるものである、
    　または
    　（ｉｉ）前記薄膜の層が、２以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の一層が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されている、
    　または
    　（ｉｉｉ）前記層状構造が、３以上の薄膜の層を含み、少なくともそれらの層の中の２層以上が、磁区構造を維持できない程度に薄い構造を有する常温にて強磁性またはフェリ磁性を示す物質から構成されており、それを隔てる層が絶縁体で構成されている、方法。
  21. 　前記有機物鋳型の切削処理法が、プラズマエッチング処理、イオンミリング処理、収束イオンビーム処理、レジスト処理のいずれかである、請求項２０記載の方法。
  22. 　前記基板上に分布された前記有機物鋳型に遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層堆積させる工程が、抵抗加熱式真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相成長法のいずれかによって行われる、請求項２０記載の方法。
  23. 　遷移金属、金属または半導体を少なくとも１層蒸着させた前記有機物鋳型を分解除去する工程が、紫外線-オゾン法、プラズマ分解法、光触媒分解法、加熱焼却法のいずれかによって行われる、請求項２０記載の方法。
  24. 　前記中空微小体を得る工程がさらに、
    　　前記中空微小体上に、微量の液体を滴下し、
    　　前記基板の他面に超音波を作用させながら、前記中空微小体が固定された前記一面側に平坦な底面を有する素材を該底面に若干加重が加わる様に載置して、該素材を任意の方向に移動させることにより前記微小体を前記基板から剥離させることを含む、
    請求項２０記載の方法。
  25. 　前記中空微小体上に滴下する液体が、純水、あるいは純水に牛血清、抗体、牛血清アルブミン（bovine serum albumin (BSA)）を含むタンパク質、合成DNA、クエン酸塩、リン酸塩、および硫酸ドデシルナトリウム（sodium dodecyl sulfate (SDS)）もしくはタンニン酸（tannic acid）を含む界面活性剤を加えたものである、請求項２４記載の方法。
  26. 　前記基板が、シリコン基板、ガラス基板、アルミ基板、またはプラスチック基板である、請求項１９～２５のいずれか一項記載の方法。
  27. 　内表面に特異的に特定のターゲット生体物質と結合する物質が修飾された超常磁性の特性を有する中空微小体を用いて、
    　前記中空微小体とターゲット生体物質を含む溶液とを混合する工程、および
    　前記中空微小体の内表面に修飾したターゲット生体物質と結合する物質と結合したターゲット生体物質を外磁場によって誘引して磁力によって回収する工程を含む、生体物質回収法。
  28. 　前記生体物質が細胞である、請求項２７記載の方法。
  29. 　前記回収する工程の後に、
    　ターゲット生体物質との結合物質を分解して該ターゲット生体物質を回収する工程を含む請求項２７または２８記載の方法。
  30. 　前記ターゲット生体物質との結合物質としてＤＮＡアプタマーを用い、かつ、分解する工程にＤＮＡ分解酵素を用いる、請求項２９記載の方法。
  31. 　前記回収する工程の後に、
    　中空微小体を分解する工程を含む、請求項２７記載の方法。
  32. 　前記中空微小体が、請求項１２～１８のいずれか一項記載の中空微小体である、請求項２７～３１のいずれか一項記載の方法。
  33. 　前記中空微小体のサイズを調整することによって、ターゲット生体物質のサイズ分画を可能とした、請求項２７～３２のいずれか一項記載の方法。
     
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