WO2013014321A3 - Procédés et systèmes pour dispositifs mems (systèmes microélectromécaniques) cmos (semiconducteur complémentaire à l'oxyde de métal) comprenant un compas à plusieurs fils - Google Patents

Procédés et systèmes pour dispositifs mems (systèmes microélectromécaniques) cmos (semiconducteur complémentaire à l'oxyde de métal) comprenant un compas à plusieurs fils Download PDF

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Abstract

Les systèmes et les procédés décrits dans l'invention sont utilisés pour un magnétomètre qui comprend un élément résonnant pourvu d'un fil intérieur renfermé dans une électrode protectrice. L'électrode protectrice réduit l'effet d'interférence dans l'élément résonnant. Une électrode sensible est disposée à proximité de l'élément résonnant. Le dispositif comprend également une source permettant de générer un courant, laquelle source est connectée à l'élément résonnant. Le courant, lorsqu'il est appliqué par l'intermédiaire du fil intérieur, provoque un déplacement de l'élément résonnant. Le magnétomètre mesure un champ magnétique de l'élément résonnant comme une variation de capacitance entre l'électrode protectrice et l'électrode sensible. Les systèmes et les procédés décrits dans l'invention sont utilisés pour un magnétomètre qui comprend un élément résonnant pourvu d'un noyau intérieur d'un matériel diélectrique renfermé dans une électrode protectrice. L'accéléromètre mesure une accélération de l'élément résonnant comme une variation de capacitance entre l'électrode protectrice et l'électrode sensible.
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