WO2012168423A1 - Strahlkombinierer zum kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten beleuchtungsstrahlen eines lichtrastermikroskops - Google Patents

Strahlkombinierer zum kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten beleuchtungsstrahlen eines lichtrastermikroskops Download PDF

Info

Publication number
WO2012168423A1
WO2012168423A1 PCT/EP2012/060879 EP2012060879W WO2012168423A1 WO 2012168423 A1 WO2012168423 A1 WO 2012168423A1 EP 2012060879 W EP2012060879 W EP 2012060879W WO 2012168423 A1 WO2012168423 A1 WO 2012168423A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
illumination beam
scanner
illumination
optical
optical axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2012/060879
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Gerhard Krampert
Michel Stutz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Priority to US14/124,513 priority Critical patent/US9599803B2/en
Publication of WO2012168423A1 publication Critical patent/WO2012168423A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/0048—Scanning details, e.g. scanning stages scanning mirrors, e.g. rotating or galvanomirrors, MEMS mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/108—Beam splitting or combining systems for sampling a portion of a beam or combining a small beam in a larger one, e.g. wherein the area ratio or power ratio of the divided beams significantly differs from unity, without spectral selectivity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/143—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces

Definitions

  • Beam combiner for combining two independently scanned illumination beams of a light scanning microscope
  • the invention relates to a beam combiner for combining two independently scannable illumination beams of a light scanning microscope.
  • dichroic beam splitters are known for beam combiners. They have the limitation that the wavelengths of the illumination beams to be combined must be sufficiently different. Also, there is little flexibility in the wavelengths used for a given beam splitter. As a result, when the wavelength of one or both of the illumination beams changes, the dichroic beam splitter must be replaced. For this change mechanisms are known, however, must meet high precision requirements and therefore are expensive to manufacture. An alternative are so-called neutral dividers. Although they are in no way limiting with regard to the wavelengths used, they inevitably lead to intensity losses in the combination of the illumination beams.
  • the invention is therefore based on the object of specifying a beam combiner for combining two independently scannable illumination beams of a light-scanning microscope, which provides full flexibility in the wavelength of the illumination beams and does not cause disturbing intensity losses of the two illumination beams.
  • a beam combiner for combining two, each independently scannable illumination beams of a light-scanning microscope, the a first beam path that guides a first illumination beam along a first optical axis and that has a first optical device that focuses the first illumination beam in an intermediate image plane, a second optical path that guides a second illumination beam along a second optical axis that comprises the first optical path optical axis at an intersectional plane or near the intermediate image plane intersecting point, and having a scanner for deflecting the second illumination beam, wherein the scanner is arranged in the propagation direction of the second illumination beam in front of the intersection of the optical axes, a coupling unit, the Intersection of the optical axes is arranged and which either has a mirror surface which has a passage opening at the point of impact of the first optical axis, or transparent except for a mirror element which is located at the point of impact of the first optical axis ent is, wherein the size of the passage opening or the mirror element corresponds to the cross section, which
  • the beam combiner has a coupling-in unit which has a mirror surface. It lies at the intersection of the optical axes of the illumination beam paths in which the illumination beams are guided. At least the first beam path is formed so that the first illumination beam is focused into an intermediate image plane.
  • the mirror surface has a passage opening at the point of impact of the optical axis, preferably in the intermediate image plane, so that the first illumination beam can pass through the mirror without loss.
  • the second illumination beam is deflected at the mirror. The orientation of the mirror surface is chosen so that the two beams then propagate as a combined illumination beam. Since the coupling unit is preceded by a scanner in the second beam path, the second illumination beam can be easily deflected relative to the first illumination beam.
  • This deflection has the consequence that the point of impact of the second illumination beam on the mirror surface depends on the deflection of the scanner for deflecting the second illumination beam. As long as this point of incidence does not coincide completely or partially with the passage opening, the second illumination beam is coupled in without loss. Only for scanner positions in which the second illumination beam falls on the passage opening, no or only a highly lossy coupling is given. However, this property is extremely advantageous for laser scanning microscopy if the second illumination beam is a sample manipulation beam. It would then be absolutely necessary to avoid that the sample manipulation beam falls onto the same sample surface as the excitation beam. If such a situation occurs, damage to the detector of the laser scanning microscope could occur.
  • the structure can also be inverted, in that the coupling-in unit is transparent, except for a mirror element which lies in the region of the point of impingement of the optical axis and deflects the first illumination beam.
  • the second illumination beam is then transmitted, as far as it does not fall on the back of the mirror element.
  • the beam combiner according to the invention eliminates the need for expensive safety measures to prevent the second illumination beam from being directed to the same location in the sample as the first illumination beam.
  • security measures are known for example from EP 1953579 A1.
  • the second Illumination beam path has a second optical unit, which focuses the second illumination beam to a focus which is at the intersection of the two optical axes, when the scanner for deflecting the second illumination beam is not deflected.
  • the second illumination beam in the combined illumination beam propagate along the same optical axis as the first illumination beam to which the second has been coupled. This is particularly easy to achieve when the mirror surface is flat and perpendicular to a straight line passing through the intersection of the two optical axes and bisecting an angle between the optical axis. The plane mirror surface is thus perpendicular to the bisector of the two optical axes through the intersection.
  • a scanner for deflecting the combined illumination beam is preferably arranged downstream of the coupling-in unit.
  • the first illumination beam is expediently focused in the intermediate image plane on a point-shaped spot.
  • the passage opening may be formed as a pinhole, in particular as a round pinhole.
  • the surface of the passage opening is then particularly small compared to the mirror surface. If one wants a fast deflection of the first illumination beam, it is expedient to pre-allocate the coupling unit to a scanner for uniaxial deflection of the first illumination beam. If the first optical device further focuses the first illumination beam onto a point-shaped spot in the intermediate image plane, the passage opening is formed as a slot, which is adapted to the uniaxial deflection. By this is meant that with each deflection of the scanner for uniaxial deflection of the first illumination beam, the focus of the first illumination beam falls on the slot.
  • the deflection axis of the scanner for uniaxial deflection of the first illumination beam will lie parallel to the second optical axis and, in particular, in the plane which is spanned by the first optical axis and the second optical axis.
  • the passage opening formed as a slot may be a straight gap. This construction method can also be inverted. Then the slot is replaced by an elongate mirror element.
  • the optical structure is preferably formed as a so-called 4f arrangement in that the first and the second optical device have the same focal length and between the coupling unit and the scanner for deflecting the combined illumination beam, a third optical device is arranged, which has a focal length, wherein the scanner for the deflection of the combined illumination beam is two times the focal distance from the intersection and the third optical device is located midway between the intersection and the scanner for deflecting the combined illumination beam.
  • the beam combiner according to the invention is basically designed so that it the first illumination beam and the second illumination beam are provided as a parallel beam. It may expediently be used in a light-scanning microscope which has corresponding sources for providing first and second illumination beam.
  • the first source which provides the first illumination beam for fluorescence excitation of a sample and the second sample for manipulating fluorescence properties of the sample, may be suitably designed.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a beam combiner for use in a laser scanning microscope
  • FIG. 2 shows a further embodiment of a beam combiner similar to that of FIG. 1.
  • Fig. 1 shows schematically a beam combiner 1, which is designed for use in a light scanning microscope.
  • the beam combiner 1 combines a first illumination beam, which may represent an excitation beam 2, with a second illumination beam, which in the described embodiment may be a manipulation beam 3.
  • a first illumination beam which may represent an excitation beam 2
  • a second illumination beam which in the described embodiment may be a manipulation beam 3.
  • the cross section of the manipulation beam 3 is hatched in the representation of FIG. 1.
  • the beam combiner 1 is configured to provide first and second illumination beams as parallel beams.
  • the excitation beam 2 is guided in a first beam path B1.
  • the manipulation beam 3 in a second beam path B2.
  • the excitation beam 2 is added to the manipulation beam 3, so that the two then exist as a combined beam.
  • a mirror 4 is provided which has a mirror surface 5.
  • the mirror surface 5 has a hole 6. This is located exactly at the point where a lens L1 focuses the excitation beam 2 in a focus.
  • the excitation beam 2 can therefore pass through the mirror 4. It is then converted by a lens L3 back into a parallel beam.
  • the lens L1 causes an intermediate image plane for the spot-shaped illumination, which is effected with the excitation beam 2.
  • the intermediate image is located exactly in the hole 6.
  • the mirror surface 5 intersects the intermediate image plane in the hole 6.
  • the excitation beam 2 thus propagates along an optical axis OA1, and the hole 6 of the mirror 4 lies exactly at the piercing point of the optical axis OA1 through the mirror surface fifth
  • the manipulation beam 3 is also irradiated on the mirror - along an optical axis OA2, which intersects the optical axis OA1 at an intersection point Z.
  • the optical axes OA1 and OA2 intersect at right angles. That is optional.
  • the mirror 4 is always formed so that the mirror surface 5 is perpendicular to the bisector between the optical axes OA1 and OA2 at the intersection Z.
  • the second beam path B2 there is a scanner S2, which deflects the manipulation beam 3 with respect to the optical axis OA2 of the second beam path B2 about two deflection axes A2, A3.
  • the second beam path B2 further has, after the scanner S2, a lens L2 which focuses the manipulation beam 3 to a focus which is likewise located at the intersection point Z when the scanner S2 is not deflected.
  • the deflection by the scanner S2 causes the manipulation beam 3 to hit different areas of the mirror surface 5 depending on the scanner position.
  • the lens L3 is reflected and then parallelized by the lens L3 in an analogous manner as the excitation beam 2.
  • the structure according to FIG. 1 can also be inverted by replacing the mirror 4 with a transparent element, wherein, instead of the hole 6, a mirror element advances. Then, the optical axis OA1 is deflected vertically downwards on this mirror element, and the lens L3 and the scanner S1 are pivoted vertically downwards relative to the illustration of FIG. The effect is the same.
  • the excitation beam 2 is reflected at the mirror element, which sits at the location of the hole 6.
  • the manipulation beam 3 is always transmitted through the coupling element, if it is not directed to the back of the mirror element. Apart from the fact that the combined beam path 8 is then pivoted perpendicular to the representation of Figure 1 downwards, there is no significant difference.
  • the lens L3 is followed by a scanner S1, which deflects the combined beam 8 biaxially, about two deflection axes A4 and A5.
  • the lenses L1 and L2 each have a focal length f2.
  • the lens L3 has a focal length f1.
  • This 4-f imaging ensures that the combined beam 8 forms a single spot on the mirror S1, in which the re-parallelized excitation beam 2 is superimposed on the re-parallelized manipulation beam 3.
  • the scanner S2 is further imaged onto the scanner S1, which sits in the exit pupil of the beam combiner 1. With this arrangement, the combined beam can be deflected by the scanner S1.
  • the manipulation beam 3 is deflected relative to the excitation beam 2 by the scanner S2.
  • the beam combiner 1 automatically ensures that in the combined beam 8 of the excitation beam 2 and the manipulation beam 3 can not completely coincide, since this would only be possible if the scanner S2 the manipulation beam 3 exactly on the Point of intersection Z of the optical axes OA1 and OA2 would judge. Here, however, there is the hole 6, so that there the manipulation beam 3 can not be mirrored. This feature ensures that radiation of the manipulation beam 3 can not fall on the same spot in a sample as radiation of the excitation beam 2. Thus, the manipulation beam 3 is not undesirably detected in a confocal detection in the microscope in which the beam combiner is installed become. A detector can thus not be accidentally damaged.
  • FIG. 2 shows a development of the beam combiner 1 of FIG. 1.
  • the construction of FIG. 2 corresponds essentially to that of FIG. 1, but is supplemented by a scanner arranged in the first beam path B1 for uniaxial deflection of the excitation beam 2.
  • the scanner S3 deflects the excitation beam 2 about a deflection axis A1.
  • the focus generated by the lens L1 is scanned in the intermediate image plane perpendicular to the optical axis OA1.
  • the passage opening in the mirror surface 5 is therefore replaced by a slot 7. This slot 7, as explained in the illustration of Fig.
  • the slot 7 may be formed suitably curved.
  • the mirror S3 can preferably be formed as a resonant oscillating mirror in order to achieve a particularly rapid deflection.
  • a development which is also already entered in FIG. It comprises a rotation device 9, which are connected via suitable active connections 10 and 1 1 with the scanner S3 and the mirror 4. It rotates the optical axis A1 about the optical axis OA1 and in synchronism with the mirror 4 about its surface normal, ie the bisecting line between the optical axis OA1 and OA2. The rotation takes place synchronously, ie the respective rotation angles are the same. This ensures that the fanning of the excitation beam 2 by the scanner S3 always coincides with the slot 7 or in the described inverse version with the mirror element.
  • the scanners described here can be biaxial deflecting scanners. However, it is also possible to combine two uniaxial deflecting scanners, preferably with suitable pupil imaging in between.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Ein Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei, jeweils eigenständig scanbaren Beleuchtungsstrahlen eines Lichtraster-Mikroskops, der aufweist: - einen ersten Strahlengang (B1), der einen ersten Beleuchtungsstrahl (2) längs einer ersten optischen Achse (OA1) führt und der eine erste Optikeinrichtung (L1) aufweist, die den ersten Beleuchtungsstrahl (2) in einer Zwischenbildebene bündelt, - einen zweiten Strahlengang (B2), der einen zweiten Beleuchtungsstrahl (3) längs einer zweiten optischen Achse (OA2) führt, die die erste optische Achse (OA1) in einem in der Zwischenbildebene gelegenen oder einem nahe der Zwischenbildebene gelegenen Schnittpunkt (Z) schneidet, und der einen Scanner (S2) zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) aufweist, wobei der Scanner (S2) in Ausbreitungsrichtung des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) vor dem Schnittpunkt (Z) der optischen Achsen (OA1, OA2) angeordnet ist, - eine Einkoppeleinheit (4), die am Schnittpunkt (Z) der optischen Achsen (OA1, OA2) angeordnet ist und die entweder eine Spiegelfläche (5) aufweist, die am Auftreffpunkt der ersten optischen Achse (OA1) eine Durchlaßöffnung (6; 7) hat, oder die bis auf ein Spiegelelement, das am Auftreffpunkt der ersten optischen Achse (OA1) liegt, transparent ist, wobei die Größe der Durchlaßöffnung (6; 7) bzw. des Spiegelelements dem Querschnitt entspricht, den der erste Beleuchtungsstrahl (2) am Auftreffpunkt überdeckt, und so diesen passieren läßt bzw. reflektiert, wobei nach der Einkoppeleinheit (4) erster und zweiter Beleuchtungsstrahl (2, 3) als kombinierter Beleuchtungsstrahl (8) propagieren.

Description

Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten Beleuchtungsstrahlen eines Lichtrastermikroskops
Die Erfindung bezieht sich auf einen Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei, jeweils eigenständig scanbaren Beleuchtungsstrahlen eines Lichtrastermikroskops.
In der Lichtrastermikroskopie besteht Bedarf, zwei oder mehr gescannte Beleuchtungsstrahlen zu überlagern. Exemplarisch sei auf die Überlagerung eines Fluoreszenz-Anregungsstrahls mit einem Manipulationsstrahl, der die Fluoreszenzeigenschaften der Probe an bestimmten Stellen manipuliert (z.B. durch Bleichen der Probe) verwiesen.
Im Stand der Technik sind für Strahlkombinierer dichroitische Strahlteiler bekannt. Sie haben die Einschränkung, daß die Wellenlängen der zu kombinierenden Beleuchtungsstrahlen sich ausreichend unterscheiden müssen. Auch besteht nur geringe Flexibilität hinsichtlich der verwendeten Wellenlängen für einen gegebenen Strahlteiler. Dies führt dazu, daß bei einer Veränderung der Wellenlänge einer oder beider Beleuchtungsstrahlen der dichroitische Strahlteiler ausgetauscht werden muß. Hierzu sind Wechselmechanismen bekannt, die jedoch hohe Präzisionsanforderungen erfüllen müssen und deshalb aufwendig in der Herstellung sind. Eine Alternative sind sogenannte Neutralteiler. Sie sind zwar hinsichtlich der verwendeten Wellenlängen in keiner Weise einschränkend, führen jedoch zwingend zu Intensitätsverlusten bei der Kombination der Beleuchtungsstrahlen.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei, jeweils eigenständig scanbaren Beleuchtungsstrahlen eines Lichtraster-Mikroskops anzugeben, der volle Flexibilität bei der Wellenlänge der Beleuchtungsstrahlen liefert und keine störende Intensitätsverluste der beiden Beleuchtungsstrahlen verursacht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit einem Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei, jeweils eigenständig scanbaren Beleuchtungsstrahlen eines Lichtraster-Mikroskops, der aufweist: einen ersten Strahlengang, der einen ersten Beleuchtungsstrahl längs einer ersten optischen Achse führt und der eine erste Optikeinrichtung aufweist, die den ersten Beleuchtungsstrahl in einer Zwischenbildebene bündelt, einen zweiten Strahlengang, der einen zweiten Beleuchtungsstrahl längs einer zweiten optischen Achse führt, die die erste optische Achse in einem in der Zwischenbildebene gelegenen oder einem nahe der Zwischenbildebene gelegenen Schnittpunkt schneidet, und der einen Scanner zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls aufweist, wobei der Scanner in Ausbreitungsrichtung des zweiten Beleuchtungsstrahls vor dem Schnittpunkt der optischen Achsen angeordnet ist, eine Einkoppeleinheit, die am Schnittpunkt der optischen Achsen angeordnet ist und die entweder eine Spiegelfläche aufweist, die am Auftreffpunkt der ersten optischen Achse eine Durchlaßöffnung hat, oder die bis auf ein Spiegelelement, das am Auftreffpunkt der ersten optischen Achse liegt, transparent ist, wobei die Größe der Durchlaßöffnung bzw. des Spiegelelements dem Querschnitt entspricht, den der erste Beleuchtungsstrahl am Auftreffpunkt überdeckt, und so diesen passieren läßt bzw. reflektiert, wobei nach der Einkoppeleinheit erster und zweiter Beleuchtungsstrahl als kombinierter Beleuchtungsstrahl propagieren.
Der Strahlkombinierer weist eine Einkoppeleinheit aus, die eine Spiegelfläche hat. Sie liegt am Schnittpunkt der optischen Achsen der Beleuchtungsstrahlengänge, in denen die Beleuchtungsstrahlen geführt werden. Zumindest der erste Strahlengang ist dabei so ausgebildet, daß der erste Beleuchtungsstrahl in eine Zwischenbildebene gebündelt wird. Die Spiegelfläche hat am Auftreffpunkt der optischen Achse, vorzugsweise in der Zwischenbildebene eine Durchlaßöffnung, so daß der erste Beleuchtungsstrahl den Spiegel verlustfrei passieren kann. Der zweite Beleuchtungsstrahl wird hingegen am Spiegel abgelenkt. Die Ausrichtung der Spiegelfläche ist so gewählt, daß die beiden Strahlen danach als kombinierter Beleuchtungsstrahl propagieren. Da der Einkoppeleinheit im zweiten Strahlengang ein Scanner vorgeordnet ist, kann der zweite Beleuchtungsstrahl relativ zum ersten Beleuchtungsstrahl einfach abgelenkt werden. Diese Ablenkung hat zur Folge, daß der Auftreffpunkt des zweiten Beleuchtungsstrahls auf die Spiegelfläche von der Auslenkung des Scanners zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls abhängt. So lange dieser Auftreffpunkt nicht mit der Durchlaßöffnung vollständig oder teilweise zusammenfällt, wird auch der zweite Beleuchtungsstrahl verlustfrei eingekoppelt. Lediglich für Scannerpositionen, in denen der zweite Beleuchtungsstrahl auf die Durchlaßöffnung fällt, ist keine oder nur eine stark verlustbehaftete Einkopplung gegeben. Diese Eigenschaft ist jedoch für die Laserscanningmikroskopie äu ßerst vorteilhaft, wenn der zweite Beleuchtungsstrahl ein Strahl zur Probenmanipulation ist. Man möchte nämlich dann unbedingt vermeiden, daß der Probenmanipulationsstrahl auf die selbe Probenfläche fällt, wie der Anregungsstrahl. Würde eine solche Situation auftreten, könnte eine Beschädigung des Detektors des Laserscanningmikroskops eintreten. Der Aufbau kann auch invertiert werden, indem die Einkoppeleinheit transparent ist, bis auf ein im Bereich des Auftreffpunktes der optischen Achse liegendes Spiegelelement, das den ersten Beleuchtungsstrahl umlenkt. Der zweite Beleuchtungsstrahl wird dann transmittiert, soweit er nicht auf die Rückseite des Spiegelelementes fällt.
Durch den erfindungsgemäßen Strahlkombinierer werden also aufwendige Sicherheitsmaßnahmen, die verhindern sollen, daß der zweite Beleuchtungsstrahl an die selbe Stelle in der Probe gerichtet ist, wie der erste Beleuchtungsstrahl, unnötig. Solche Sicherheitsmaßnahmen sind beispielsweise aus der EP 1953579 A1 bekannt.
Unter dem Gesichtspunkt, daß zum einen verhindert werden soll, daß im kombinierten Beleuchtungsstrahl der erste Beleuchtungsstrahl absolut identisch mit dem zweiten Beleuchtungsstrahl propagiert, zum anderen aber für bereits geringe Abweichungen möglichst keine Abschwächung des zweiten Beleuchtungsstrahles auftreten soll, ist es zu bevorzugen, daß der zweite Beleuchtungsstrahlengang eine zweite Optikeinheit aufweist, welche den zweiten Beleuchtungsstrahl auf einen Fokus bündelt, der am Schnittpunkt der beiden optischen Achsen liegt, wenn der Scanner zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls nicht ausgelenkt ist.
Für die meisten Anwendungen ist angestrebt, daß der zweite Beleuchtungsstrahl im kombinierten Beleuchtungsstrahl längs der gleichen optischen Achse propagiert, wie der erste Beleuchtungsstrahl, auf den der zweite eingekoppelt wurde. Dies ist besonders einfach dann zu erreichen, wenn die Spiegelfläche plan ist und senkrecht zu einer Geraden liegt, die durch den Schnittpunkt der beiden optischen Achsen läuft und einen Winkel zwischen der optischen Achse halbiert. Die ebene Spiegelfläche liegt also senkrecht zur Winkelhalbierenden der beiden optischen Achsen durch den Schnittpunkt.
Für Lichtrastermikroskopie ist es zweckmäßig, den kombinierten Beleuchtungsstrahl abzulenken. Hierzu ist vorzugsweise ein Scanner zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls der Einkoppeleinheit nachgeordnet.
Der erste Beleuchtungsstrahl ist zweckmäßigerweise in der Zwischenbildebene auf einen punktförmigen Spot fokussiert. Die Durchlaßöffnung kann als Pinhole, insbesondere als rundes Pinhole ausgebildet sein. Die Fläche der Durchlaßöffnung ist gegenüber der Spiegelfläche dann besonders klein. Möchte man eine schnelle Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls, ist es zweckmäßig, der Einkoppeleinheit einen Scanner zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls vorzuordnen. Fokussiert die erste Optikeinrichtung weiter den ersten Beleuchtungsstrahl auf einen punktförmigen Spot in der Zwischenbildebene, ist die Durchlaßöffnung als Schlitz ausgebildet, der an die einachsige Ablenkung angepaßt ist. Darunter ist zu verstehen, daß bei jeder Auslenkung des Scanners zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls der Fokus des ersten Beleuchtungsstrahls auf den Schlitz fällt. Zweckmäßigerweise wird man die Ablenkachse des Scanners zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls parallel zur zweiten optischen Achse und insbesondere in die Ebene legen , die von erster optischer Achse und zweiter optischer Achse aufgespannt ist. Dann kann die als Schlitz ausgebildete Durchlaßöffnung ein gerader Spalt sein. Auch diese Bauweise kann invertiert werden. Dann ist der Schlitz durch ein längliches Spiegelelement ersetzt.
Möchte man die Richtung der einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls verstellen, ist es zweckmäßig, die Einkoppeleinheit und den Scanner mit einer Rotationseinrichtung zu koppeln, welche diese beiden Elemente synchron verstellt. Unter „synchroner Verstellung" ist dabei zu verstehen, daß die Auffächerungsfläche, in welcher der Scanner zur einachsigen Ablenkung den ersten Beleuchtungsstrahl verstellt, immer mit der als Schlitz ausgebildeten Durchlaßöffnung zusammenfällt.
Der optische Aufbau ist vorzugsweise als sogenannte 4f-Anordnung ausgebildet, indem die erste und die zweite Optikeinrichtung die gleiche Brennweite haben und zwischen Einkoppeleinheit und dem Scanner zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls eine dritte Optikeinrichtung angeordnet ist, die eine Brennweite hat, wobei der Scanner zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls im Abstand der zweifachen Brennweite vom Schnittpunkt liegt und die dritte Optikeinrichtung sich in der Mitte zwischen dem Schnittpunkt und dem der Scanner zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls befindet.
Der erfindungsgemäße Strahlkombinierer ist grundsätzlich dafür ausgebildet, daß ihm der erste Beleuchtungsstrahl und der zweite Beleuchtungsstrahl als paralleles Strahlbündel bereitgestellt sind. Er kann zweckmäßigerweise in einem Lichtrastermikroskop eingesetzt sein, das entsprechende Quellen zum Bereitstellen von erstem und zweitem Beleuchtungsstrahl aufweist. Dabei kann die erste Quelle, welche den ersten Beleuchtungsstrahl bereitstellt zur Fluoreszenzanregung einer Probe und die zweite Probe zur Manipulation von Fluoreszenzeigenschaften der Probe geeignet ausgebildet sein.
Es versteht sich , daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Schemadarstellung eines Strahlkombinierers zum Einsatz in einem Laserscanningmikroskop und Fig. 2 eine weitere Ausführungsform eines Strahlkombinierers ähnlich dem der Fig. 1 .
Fig. 1 zeigt schematisch einen Strahlkombinierer 1 , der zur Anwendung in einem Lichtrastermikroskop ausgebildet ist. Der Strahlkombinierer 1 kombiniert einen ersten Beleuchtungsstrahl, der einen Anregungsstrahl 2 darstellen kann, mit einem zweiten Beleuchtungsstrahl, der in der beschriebenen Ausführungsform ein Manipulationsstrahl 3 sein kann. Zur besseren Unterscheidung ist in der Darstellung der Fig. 1 der Querschnitt des Manipulationsstrahles 3 schraffiert eingezeichnet. Der Strahlkombinierer 1 ist daraufhin ausgestaltet, daß erster und zweiter Beleuchtungsstrahl als parallele Strahlbündel bereitgestellt sind. Der Anregungsstrahl 2 wird in einem ersten Strahlengang B1 geführt. Der Manipulationsstrahl 3 in einem zweiten Strahlengang B2.
Dem Anregungsstrahl 2 wird der Manipulationsstrahl 3 hinzukombiniert, so daß die beiden dann als kombinierter Strahl vorliegen. Hierfür ist ein Spiegel 4 vorgesehen, der eine Spiegelfläche 5 aufweist. Die Spiegelfläche 5 hat ein Loch 6. Dieses ist genau an der Stelle angeordnet, an der eine Linse L1 den Anregungsstrahl 2 in einem Fokus bündelt. Der Anregungsstrahl 2 kann deshalb durch den Spiegel 4 hindurchtreten. Er wird dann von einer Linse L3 wieder in ein paralleles Strahlbündel umgesetzt.
Die Linse L1 bewirkt eine Zwischenbildebene für die spotförmige Beleuchtung, welche mit dem Anregungsstrahl 2 bewirkt wird. Das Zwischenbild befindet sich genau im Loch 6. Die Spiegelfläche 5 schneidet die Zwischenbildebene im Loch 6. Der Anregungsstrahl 2 propagiert somit längs einer optischen Achse OA1 , und das Loch 6 des Spiegels 4 liegt exakt am Durchstoßpunkt der optischen Achse OA1 durch die Spiegelfläche 5. Der Manipulationsstrahl 3 wird ebenfalls auf den Spiegel eingestrahlt - längs einer optischen Achse OA2, welche die optische Achse OA1 in einem Schnittpunkt Z schneidet. In der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform schneiden sich die optischen Achsen OA1 und OA2 rechtwinklig. Das ist aber optional. Der Spiegel 4 ist jedoch immer so ausgebildet, daß die Spiegelfläche 5 senkrecht zur Winkelhalbierenden zwischen den optischen Achsen OA1 und OA2 im Schnittpunkt Z steht.
Im zweiten Strahlengang B2 befindet sich ein Scanner S2, welcher den Manipulationsstrahl 3 gegenüber der optischen Achse OA2 des zweiten Strahlengangs B2 um zwei Ablenkachsen A2, A3 auslenkt. Der zweite Strahlengang B2 weist weiter nach dem Scanner S2 eine Linse L2 auf, die den Manipulationsstrahl 3 auf einen Fokus bündelt, der ebenfalls am Schnittpunkt Z liegt, wenn der Scanner S2 nicht ausgelenkt ist. Somit bewirkt die Auslenkung durch den Scanner S2, daß der Manipulationsstrahl 3 je nach Scannerstellung auf unterschiedliche Stellen der Spiegelfläche 5 trifft. Dort wird er reflektiert und dann von der Linse L3 in analoger Weise wie der Anregungsstrahl 2 parallelisiert.
Der Aufbau gemäß Fig. 1 kann auch invertiert werden, indem der Spiegel 4 durch ein transparentes Element ersetzt wird, wobei anstelle des Loches 6 en Spiegelelement rückt. Dann wird die optische Achse OA1 an diesem Spiegelelement senkrecht nach unten umgelenkt, und die Linse L3 sowie der Scanner S1 sind gegenüber der Darstellung der Fig. 1 senkrecht nach unten verschwenkt. Die Wirkung ist die gleiche. Der Anregungsstrahl 2 wird am Spiegelelement, das an der Stelle des Loches 6 sitzt, reflektiert. Der Manipulationsstrahl 3 wird immer dann durch das Einkoppelelement transmittiert, wenn es nicht auf die Rückseite des Spiegelelementes gerichtet ist. Abgesehen von der Tatsache, daß der kombinierte Strahlengang 8 dann gegenüber der Darstellung der Figur 1 senkrecht nach unten geschwenkt ist, ergibt sich kein wesentlicher Unterschied.
Der Linse L3 ist ein Scanner S1 nachgeordnet, der den kombinierten Strahl 8 zweiachsig ablenkt, um zwei Ablenkachsen A4 und A5.
Die Linsen L1 und L2 haben jeweils eine Brennweite f2. Die Linse L3 hat eine Brennweite f1 . Diese 4-f-Abbildung sorgt dafür, daß der kombinierte Strahl 8 auf dem Spiegel S1 einen einzigen Spot bildet, in dem sich der wieder parallelisierte Anregungsstrahl 2 mit dem wieder parallelisierten Manipulationsstrahl 3 überlagert. Durch die 4-f-Abbildung wird weiter der Scanner S2 auf den Scanner S1 abgebildet, der in der Austrittspupille des Strahlkombinierers 1 sitzt. Mit dieser Anordnung kann der kombinierte Strahl durch den Scanner S1 abgelenkt werden. Im kombinierten Strahl 8 wird der Manipulationsstrahl 3 relativ zum Anregungsstrahl 2 durch den Scanner S2 abgelenkt.
Der Strahlkombinierer 1 sorgt automatisch dafür, daß im kombinierten Strahl 8 der Anregungsstrahl 2 und der Manipulationsstrahl 3 nicht vollständig zusammenfallen können, da dies nur dann möglich wäre, wenn der Scanner S2 den Manipulationsstrahl 3 exakt auf den Schnittpunkt Z der optischen Achsen OA1 und OA2 richten würde. Hier befindet sich jedoch das Loch 6, so daß dort der Manipulationsstrahl 3 nicht gespiegelt werden kann. Durch diese Eigenschaft ist sichergestellt, daß Strahlung des Manipulationsstrahles 3 nicht auf den selben Fleck in einer Probe fallen kann, wie Strahlung des Anregungsstrahls 2. Somit kann der Manipulationsstrahl 3 nicht unerwünscht bei einer konfokalen Detektion im Mikroskop, in dem der Strahlkombinierer eingebaut ist, detektiert werden. Ein Detektor kann somit nicht versehentlich beschädigt werden.
Fig. 2 zeigt eine Weiterbildung des Strahlkombinierers 1 der Fig. 1 . Einander funktionell oder identisch entsprechende Elemente sind in beiden Figuren mit den selben Bezugszeichen versehen. Der Aufbau der Fig. 2 entspricht im wesentlichen dem der Fig. 1 , ist allerdings um einen im ersten Strahlengang B1 angeordneten Scanner zur einachsigen Ablenkung des Anregungsstrahls 2 ergänzt. Der Scanner S3 lenkt den Anregungsstrahl 2 um eine Ablenkachse A1 ab. Somit wird der von der Linse L1 erzeugte Fokus in der Zwischenbildebene senkrecht zur optischen Achse OA1 gescannt. Die Durchlaßöffnung in der Spiegelfläche 5 ist deshalb durch einen Schlitz 7 ersetzt. Dieser Schlitz 7 ist, wie in der Darstellung der Fig. 2 erläutert, gerade, da die Ablenkachse A1 parallel zur optischen Achse OA2 und damit in der Ebene liegt, die von den optischen Achsen OA1 und OA2 aufgespannt wird. Bei anderen Geometrien kann der Schlitz 7 passend gekrümmt ausgebildet sein.
Die anhand der Fig. 1 erläuterte Invertierung, bei der der Spiegel 5 durch ein transparentes Element ersetzt wird, kann natürlich auch in Fig. 2 zur Anwendung kommen. Der Schlitz 7 ist dann als längliches Spiegelelement auszubilden. Ansonsten gilt das für die oben erwähnte Abwandlung Gesagte auch analog hinsichtlich der Abwandlung der Fig. 2.
Der Spiegel S3 kann vorzugsweise als resonanter Schwingspiegel ausgebildet werden, um eine besonders schnelle Ablenkung zu erreichen.
Möchte man die Ablenkachse A1 des Spiegels S3 erstellen, ist eine Weiterbildung geeignet, die ebenfalls in Fig. 2 bereits eingetragen ist. Sie umfaßt eine Rotationseinrichtung 9, die über geeignete Wirkverbindungen 10 und 1 1 mit dem Scanner S3 sowie dem Spiegel 4 verbunden sind. Die rotiert die optische Achse A1 um die optische Achse OA1 und synchron dazu den Spiegel 4 um seine Flächennormale, d.h. die Winkelhalbierende zwischen der optischen Achse OA1 und OA2. Die Drehung erfolgt synchron, d.h. die jeweiligen Drehwinkel sind gleich. Dies stellt sicher, daß die Auffächerung des Anregungsstrahls 2 durch den Scanner S3 immer mit dem Schlitz 7 bzw. bei der geschilderten invertierten Version mit dem Spiegelelement zusammenfällt. Die hier beschriebenen Scanner können zweiachsig ablenkende Scanner sein. Es ist aber auch eine Kombination zweier einachsiger ablenkender Scanner, vorzugsweise mit geeigneter Pupillenabbildung dazwischen möglich.

Claims

Patentansprüche
1 . Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei, jeweils eigenständig scanbaren Beleuchtungsstrahlen eines Lichtraster-Mikroskops, der aufweist:
einen ersten Strahlengang (B1 ), der einen ersten Beleuchtungsstrahl (2) längs einer ersten optischen Achse (OA1 ) führt und der eine erste Optikeinrichtung (L1 ) aufweist, die den ersten Beleuchtungsstrahl (2) in einer Zwischenbildebene bündelt,
einen zweiten Strahlengang (B2), der einen zweiten Beleuchtungsstrahl (3) längs einer zweiten optischen Achse (OA2) führt, die die erste optische Achse (OA1 ) in einem in der Zwischenbildebene gelegenen oder einem nahe der Zwischenbildebene gelegenen Schnittpunkt (Z) schneidet, und der einen Scanner (S2) zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) aufweist, wobei der Scanner (S2) in Ausbreitungsrichtung des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) vor dem Schnittpunkt (Z) der optischen Achsen (OA1 , OA2) angeordnet ist,
eine Einkoppeleinheit (4), die am Schnittpunkt (Z) der optischen Achsen (OA1 , OA2) angeordnet ist und die entweder eine Spiegelfläche (5) aufweist, die am Auftreffpunkt der ersten optischen Achse (OA1 ) eine Durchlaßöffnung (6; 7) hat, oder die bis auf ein Spiegelelement, das am Auftreff punkt der ersten optischen Achse (OA1 ) liegt, transparent ist, wobei die Größe der Durchlaßöffnung (6; 7) bzw. des Spiegelelements dem Querschnitt entspricht, den der erste Beleuchtungsstrahl (2) am Auftreffpunkt überdeckt, und so diesen passieren läßt bzw. reflektiert, wobei nach der Einkoppeleinheit (4) erster und zweiter Beleuchtungsstrahl (2, 3) als kombinierter Beleuchtungsstrahl (8) propagieren.
2. Strahlkombinierer nach Anspruch 1 , wobei die Spiegelfläche (5) plan ist und senkrecht zu einer Geraden liegt, die durch den Schnittpunkt (Z) der beiden optischen Achsen (OA1 , OA2) läuft und einen Winkel zwischen den optischen Achsen (OA1 , OA2) halbiert.
3. Strahlkombinierer nach Anspruch 1 oder 2, mit einem Scanner (S1 ) zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls (8), wobei der Scanner (S1 ) der Einkoppeleinheit (4) nachgeordnet ist.
4. Strahlkombinierer nach Anspruch 1 , 2 oder 3, wobei die erste Optikeinrichtung (L1 ) den ersten Beleuchtungsstrahl (2) in der Zwischenbildebene auf einen punktförmigen Sport fokussiert, und wobei die Durchlaßöffnung als Pinhole (6) oder das Spiegelelement kreisförmig ausgebildet ist.
5. Strahlkombinierer nach Anspruch 1 , 2 oder 3, wobei die erste Optikeinrichtung (L1 ) den ersten Beleuchtungsstrahl (2) in der Zwischenbildebene auf einen punktförmigen Sport fokussiert, und wobei der Strahlkombinierer einen Scanner (S3) zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls (2) aufweist, der im ersten Strahlengang (B1 ) angeordnet und der Einkoppeleinheit (4) vorgeordnet ist, und wobei die Durchlaßöffnung (7) bzw. das Spiegelelement entsprechend der einachsigen Ablenkung länglich ausgebildet ist.
6. Strahlkombinierer nach Anspruch 5, die eine Rotationseinrichtung (9) aufweist, die mit der Einkoppeleinheit (4) und dem Scanner (S3) zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls (2) verbunden ist und dazu ausgebildet ist, die Einkoppeleinheit (4) und den Scanner (S3) zur einachsigen Ablenkung des ersten Beleuchtungsstrahls (2) synchron zu rotieren, wobei die Rotationseinrichtung (9) die Einkoppeleinheit (4) um eine Flächennormale der Spiegelfläche (5) oder des Spiegelelementes und den Scanner (S3) um die erste optische Achse (OA1 ) rotiert.
7. Strahlkombinierer nach einem der obigen Ansprüche, der eine zweite Optikeinrichtung (L2) aufweist, die im zweiten Strahlengang (B2) angeordnet ist und den zweiten Beleuchtungsstrahl (3) auf den Schnittpunkt (Z) der optischen Achsen (OA1 , OA2) bündelt, wenn der Scanner (S2) zur Ablenkung des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) nicht ausgelenkt ist.
8. Strahlkombinierer nach einer Kombination der Ansprüche 3 und 6, wobei die erste und die zweite Optikeinrichtung (L1 , L2) die gleiche Brennweite (f2) haben und zwischen Einkoppeleinheit (4) und dem Scanner (S1 ) zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls (8) eine dritte Optikeinrichtung (L3) angeordnet ist, die eine Brennweite (f1 ) hat, wobei der Scanner (S1 ) zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls (8) im Abstand der zweifachen Brennweite (f1 ) vom Schnittpunkt (Z) liegt und die dritte Optikeinrichtung (L3) sich in der Mitte zwischen dem Schnittpunkt (Z) und dem der Scanner (S1 ) zur Ablenkung des kombinierten Beleuchtungsstrahls (8) befindet.
9. Lichtrastermikroskop mit einem Strahlkombinierer nach einem der obigen Ansprüche, wobei das Lichtrastermikroskop (1 ) eine erste Quelle zum Bereitstellen des ersten Beleuchtungsstrahls (2) und eine zweite Quelle zum Bereitstellen des zweiten Beleuchtungsstrahls (3) aufweist.
10. Lichtrastermikroskop nach Anspruch 9, wobei erste Quelle zur Fluoreszenzanregung einer Probe und die zweite Quelle zur Manipulation von Fluoreszenzeigenschaften der Probe ausgebildet ist.
PCT/EP2012/060879 2011-06-09 2012-06-08 Strahlkombinierer zum kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten beleuchtungsstrahlen eines lichtrastermikroskops Ceased WO2012168423A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/124,513 US9599803B2 (en) 2011-06-09 2012-06-08 Beam combiner for combining two independently scanned illuminating beams of a light scanning microscope

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011077327.4 2011-06-09
DE102011077327.4A DE102011077327B4 (de) 2011-06-09 2011-06-09 Lichtrastermikroskop mit Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten Beleuchtungsstrahlen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012168423A1 true WO2012168423A1 (de) 2012-12-13

Family

ID=46229507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2012/060879 Ceased WO2012168423A1 (de) 2011-06-09 2012-06-08 Strahlkombinierer zum kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten beleuchtungsstrahlen eines lichtrastermikroskops

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9599803B2 (de)
DE (1) DE102011077327B4 (de)
WO (1) WO2012168423A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103604773A (zh) * 2013-11-22 2014-02-26 长春理工大学 用于tdlas多种气体同时检测的激光合束器

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017119479A1 (de) * 2017-08-25 2019-02-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung zum Scannen von Anregungsstrahlung und/oder Manipulationsstrahlung in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskop
JP7336460B2 (ja) 2018-05-04 2023-08-31 シーメンス・ヘルスケア・ダイアグノスティックス・インコーポレイテッド 均一な照明スポットを生成する複数の光源を含む照明ユニット
WO2026024225A1 (en) * 2024-07-25 2026-01-29 National University Of Singapore Optical measurement device, system and method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030044967A1 (en) * 2001-08-29 2003-03-06 Heffelfinger David M. System for high throughput analysis
DE102004016253A1 (de) * 2004-04-02 2005-11-10 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Rastermikroskop und Verfahren zur rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe
EP1953579A1 (de) 2007-02-05 2008-08-06 Olympus Corporation Laser-Scanning-Mikroskop

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3343276B2 (ja) * 1993-04-15 2002-11-11 興和株式会社 レーザー走査型光学顕微鏡
KR20020084786A (ko) * 2001-05-04 2002-11-11 이재웅 선형 선 스캐닝을 이용하는 공초점 영상 형성 장치 및 방법
US6888148B2 (en) 2001-12-10 2005-05-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample
DE102004011770B4 (de) 2004-03-09 2005-12-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Mikroskop
DE102004034983A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop
DE102004034954A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop
DE102005020543A1 (de) * 2005-05-03 2006-11-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur einstellbaren Veränderung von Licht

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030044967A1 (en) * 2001-08-29 2003-03-06 Heffelfinger David M. System for high throughput analysis
DE102004016253A1 (de) * 2004-04-02 2005-11-10 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Rastermikroskop und Verfahren zur rastermikroskopischen Untersuchung einer Probe
EP1953579A1 (de) 2007-02-05 2008-08-06 Olympus Corporation Laser-Scanning-Mikroskop

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103604773A (zh) * 2013-11-22 2014-02-26 长春理工大学 用于tdlas多种气体同时检测的激光合束器

Also Published As

Publication number Publication date
DE102011077327A1 (de) 2012-12-13
DE102011077327B4 (de) 2022-03-03
US9599803B2 (en) 2017-03-21
US20160187634A1 (en) 2016-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19906757B4 (de) Mikroskop
DE19758745C5 (de) Laser-Scanning-Mikroskop
DE10140402B4 (de) Bildumkehrsystem, Ophthalmoskopie-Vorsatzmodul und Operationsmikroskop
DE10137155B4 (de) Optische Anordnung und Scanmikroskop
DE10227120A1 (de) Mikroskop, insbesondere Laserscanningmikroskop mit adaptiver optischer Einrichtung
WO1999042884A1 (de) Optische anordnung mit spektral selektivem element
DE102013227105A1 (de) Mikroskop und akustooptischer Strahlvereiniger für ein Mikroskop
EP1664888A1 (de) Rastermikroskop mit evaneszenter beleuchtung
EP3042233B1 (de) Mikroskop mit einer akustooptischen vorrichtung
EP1141763B1 (de) Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop
EP3475750B1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für ein mikroskop
EP1122574B1 (de) Mikroskop-Aufbau
DE10247247A1 (de) Optische Anordnung und Mikroskop
EP2185953B1 (de) Lichtfalle, einkoppeleinrichtung für einen strahlengang sowie beleuchtungseinrichtung und optische beobachtungseinrichtung
DE102011077327B4 (de) Lichtrastermikroskop mit Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten Beleuchtungsstrahlen
DE102005055679A1 (de) Spektroskop und damit ausgerüstetes Mikrospektroskop
WO2008037346A1 (de) Laserscanningmikroskop mit element zur pupillenmanipulation
DE10029680B4 (de) Mikroskop-Aufbau
DE10227119A1 (de) Optische Anordnung zur Gewinnung von Informationen von einer Probe oder einem Beobachtungsobjekt
EP3042234A1 (de) Mikroskop mit einem element zum verändern der form des beleuchtungslichtfokus
DE102009028229B3 (de) Beleuchtungseinrichtung für ein Operationsmikroskop
DE10045837A1 (de) Mikroskop
EP1440334B1 (de) Verfahren und eine vorrichtung zum zusammenführen eines ersten und zweiten strahlenbündels
DE102016108384B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur lichtblattartigen Beleuchtung einer Probe
DE102014108596B3 (de) Objektiv und optisches Gerät

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12726447

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14124513

Country of ref document: US

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12726447

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1