WO2012152843A1 - Ressort spiral en silicium pour montre mecanique - Google Patents

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WO2012152843A1
WO2012152843A1 PCT/EP2012/058574 EP2012058574W WO2012152843A1 WO 2012152843 A1 WO2012152843 A1 WO 2012152843A1 EP 2012058574 W EP2012058574 W EP 2012058574W WO 2012152843 A1 WO2012152843 A1 WO 2012152843A1
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WO
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holes
spiral
blade
spiral spring
silicon
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Application number
PCT/EP2012/058574
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English (en)
Inventor
Yves Corthesy
Original Assignee
Lvmh Swiss Manufactures Sa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/04—Wound springs
    • F16F1/10—Spiral springs with turns lying substantially in plane surfaces
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/22—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature
    • G04B17/227—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature composition and manufacture of the material used

Definitions

  • the present invention relates to a spiral spring made of silicon for a mechanical watch, in particular a spiral spring made of silicon for a regulating member of a mechanical watch.
  • the regulating organ of mechanical watches is composed of a rocker on the axis of which is fixed a spring called spiral or spiral spring, which is a blade, generally of rectangular section, wound on itself in the form of spiral.
  • the attachment of the spiral to the axis of the balance is via a ferrule.
  • the other end of the hairspring is attached to the raquet or a bridge via a peg.
  • Isochronous oscillations are oscillations that occur at equal time intervals, independently of their amplitude and the factors mentioned.
  • the number of alternations per unit of time determines the temporal resolution of the regulator.
  • the temporal resolution is improved, which makes it possible to count shorter time intervals.
  • An improved temporal resolution is for example useful for chronographs.
  • - L is the length of the blade [mm].
  • a spiral can be made of different materials. It has been found that the use of silicon has advantages, because silicon is a non-magnetic material and allows low manufacturing costs. However, its Young's modulus is strongly influenced by temperature: its first thermal coefficient is strongly negative, causing a thermal drift incompatible with watchmaking requirements.
  • spiral deformations caused by other deformations for example those caused by a variation of inclination and the action of gravity, are not reduced.
  • the spiral spring described does not have an own oscillation frequency greater than or equal to 25 Hz.
  • the thickness of silicon oxide required for this compensation thus becomes not only significantly greater than the thickness of the native silicon oxide layer, which is formed because of contact between the silicon and the oxygen of the air, and whose thickness is only some nm, but also the thickness of the silicon oxide layers obtained by an oxidation method, for example a thermal oxidation or anodic or plasma, known spirals.
  • the method for coating a silicon balance spring having a high oscillation natural frequency, for example greater than or equal to 25 Hz, of this oxide layer Due to the increase in the volume of the silicon oxide to be produced, the method for coating a silicon balance spring having a high oscillation natural frequency, for example greater than or equal to 25 Hz, of this oxide layer. Silicon consequently becomes extremely slow and can last for one or more weeks, which is not acceptable in a context of industrial production of spirals.
  • the relationship between increasing the oscillation frequency and the spiral thickness to the time required to obtain a silicon oxide layer is not linear. For example, by increasing the oscillation frequency by a factor of 10, keeping all the parameters of formula (1) except the thickness e, the latter must increase by about a factor of 4.6, which corresponds to a manufacturing time of the oxide layer about 20 times larger.
  • the document EP2151722 relates to a spiral for a spiral balance resonator which comprises four blades in order to render its oscillations isochronous.
  • the spiral is thermo-compensated using a silicon oxide layer.
  • Two blades are arranged between the ferrule and a ring
  • Document CH700653 relates to a spiral spring made of silicon which may have a silicon oxide layer.
  • the outer turn comprises a portion divided into two blades, defining an opening for receiving a control member whose position is movable relative to the opening.
  • the last turn may also include a second portion comprising two strands rigidly connected by connecting beams, which define four holes to bring the center of action of the spiral in correspondence with the center of the balance, in order to correct the spiral of its non-concentric development.
  • EP2184652 relates to a silicon curvature spiral which may have a silicon oxide layer.
  • the hairspring comprises a terminal curve and an elevating device between the outer coil of the spring and this terminal curve to improve the
  • a silicon spiral coated with a silicon oxide layer which can oscillate at a frequency greater than or equal to 25 Hz, preferably greater than or equal to 50 Hz, and which can be manufactured quickly, that is to say in a period substantially smaller than a week, for example in a time of the order of magnitude of a few tens of hours.
  • An object of the present invention is to provide a spiral spring made of silicon for a mechanical watch, free from the limitations of known silicon spiral springs.
  • Another object of the invention is to provide a silicon spiral coated with a silicon oxide layer which can oscillate at a frequency greater than or equal to 25 Hz, preferably equal to or greater than 50 Hz, and which can be made quickly. According to the invention, these objects are achieved in particular by means of a spiral spring made of silicon, by means of a mechanical watch and by means of a method of manufacturing a spiral spring made of silicon according to the claims below.
  • the spiral spring made of silicon for a mechanical watch according to the invention comprises a number of holes greater than 50, preferably greater than 500, for example between 800 and 1600, preferably greater than 1000.
  • the angular pitch between two holes is preferably less than 5 degrees, preferably between 1 ° and 4 °.
  • the hairspring comprises more than 800 holes separated from each other by a pitch less than 5 °.
  • the hairspring comprises more than 1000 holes separated from each other by a pitch less than 4 °.
  • the angular spacing between each hole and the nearest neighbor hole is advantageously constant.
  • all the turns are provided with holes, except for the eventual terminal curve. In one embodiment, all the turns except the eventual terminal curve are provided with holes distributed over the entire length of each turn.
  • At least one turn, or all the turns except the eventual terminal curve are provided with holes distributed over a portion of each turn smaller than the length of this turn; a portion of at least one turn and therefore devoid of holes.
  • the holes may be of circular section.
  • the spiral spring made of silicon for a mechanical watch according to the invention comprises a silicon blade wound on itself in the form of a spiral, the blade comprising a so-called oxidizable surface in contact with the air.
  • the blade is shaped so that the area of the oxidizable surface is at least equal to 1, 1 times the area of a rectilinear convex envelope of the blade, preferably at least 1.5 times the area of the blade. the rectilinear convex envelope.
  • rectilinear convex envelope is meant the convex hull that the blade would have in a rectilinear configuration, that is to say non-spirally wound.
  • This rectilinear convex hull makes it possible to characterize the apparent surface and the general shape of the hairspring, without taking into account any irregularities or surface irregularities.
  • the "oxidizable surface" of the blade is the surface of the hairspring that can be oxidized, so the outer surface of the hairspring, that is to say the one that can come into contact with oxygen.
  • Each irregularity of the spiral forms a surface that can be oxidized.
  • the oxidizable surface of the hairspring accurately characterizes the specific shape of the hairspring, taking into account each surface detail.
  • a conventional spiral spring of the state of the art has a regular spiral shape, generally of rectangular section. Its surface has almost no irregularities but a smooth appearance. So, if it were unwound, its oxidizable surface, of parallelepipedal shape, would coincide appreciably with its rectilinear convex envelope and their areas would be merged.
  • the oxidation of a silicon balance spring in this context serves to compensate for the thermal coefficient of silicon: the native silicon oxide layer, which is formed due to the contact between silicon and oxygen air, and whose thickness is only a few nm, is not sufficient to guarantee this compensation. Therefore, in the context of the invention, the oxidizable surface of the hairspring will be oxidized with thermal or anodic oxidation or plasma, in order to create a thickness of the silicon oxide layers greater than the thickness of the oxide layer. native silicon, to thermally compensate the silicon of the spiral.
  • the area of the oxidizable surface of the spiral spring is increased by at least 10% or more.
  • the amount of silicon oxide carried by the spiral spring is also increased. Therefore, it reduces the oxidation time required to obtain a desired amount of silicon oxide.
  • the oxidizable surface comprises at least one non-planar portion, for example a corrugated, crenellated, sawtooth portion, or a portion comprising irregularities such as holes or grooves.
  • non-planar in this context indicates that the oxidized surface does not belong to a single plane, but to different planes that may have different inclinations with respect to each other, for example they may also be perpendicular .
  • the different plans can also be parallel to each other.
  • the fact of having a non-planar surface makes it possible to increase the oxidizable surface of the spring, for a given general shape, that is to say for a given rectilinear convex envelope.
  • the blade is shaped so that the oxidized surface comprises two lateral surfaces, a lower surface and an upper surface, and a plurality of through holes and / or blind holes, opening on one or more of the lateral surfaces, lower and higher.
  • the hairspring has blind holes on its upper surface and blind holes on its lower surface.
  • the spiral can for example comprise alternating blind holes on the upper and lower faces, which allows to maintain optimal rigidity and symmetry between the upper and lower faces which will deform according to the same deformation modes.
  • the holes in a variant may belong and lead at least to the upper surface of the spiral spring, that is to say to the edge of the spiral spring visible from above.
  • the mouth of these holes constitutes at least 80% of this upper surface.
  • the holes belong not only to the upper surface of the spiral spring, but also to its lower surface, which is generally parallel to the upper one, and to surfaces substantially perpendicular to the upper and lower surfaces.
  • the holes may belong at least to the lateral surfaces of the spiral spring, that is to say its flanks, although this is more difficult to manufacture and may create rupture primers.
  • the number of holes is such that the oxidizable surface of the spring comprising these holes has an area at least equal to 1.1 times, preferably 1.5 times, the area of the oxidizable surface of the same spring. he was devoid of these holes. In other words, the number of holes is determined so as to increase by at least 10% the oxidizable surface of the spring relative to a spring without holes.
  • the holes are periodically distributed on the upper surface of the blade, that is to say, they are repeated at intervals regular, which promotes the production of a regular oxide layer or in any case periodic. In a variant, the holes are not periodic.
  • the holes are made at the same time as the embodiment of the spiral 1, that is to say, its cutting in a silicon wafer, for example by photolithography and etching.
  • the holes can also be made after the manufacture of a hairspring, by
  • the etching can be a DRIE (Deep Reactive-Ion Etching) etching.
  • the holes are made in the neutral fiber of the hairspring, that is to say the part of the hairspring which is subjected to a lower number of stresses during the oscillation of the hairspring.
  • the decrease in mass also makes it possible to concentrate a greater part of the inertia in the balance rod, in
  • the holes make it possible to increase the area which oxidizes: the layer of silicon oxide to be deposited in order to reduce the spiral deformations caused by temperature variations will therefore be less thick, which makes it possible to maintain a manufacturing time. reasonable spiral, the order of magnitude of a few tens of hours, for example 30 hours.
  • the holes are through, that is to say each hole is a perforation which crosses the entire spiral of silicon.
  • the use of through holes allows for simpler manufacturing and an increased oxidation surface, at the cost of a slightly reduced stiffness.
  • the holes are blind, which allows to maintain a high stiffness at the cost of a substantially reduced oxidation surface compared to the use of through holes.
  • the holes have an oblong shape, all have the same size and are distributed in a
  • the lightening it is therefore deformed less under the influence of gravity.
  • the pitch between the holes is not regular.
  • the holes may be substantially aligned and / or centered with respect to the surface to which they belong, in order to avoid parasitic vibratory modes that could be caused in the event that the holes separate the hairspring into two thin bands independently oscillating one from the other. the other.
  • their dimensions are also defined by precise calculations and determined by a compromise: in fact larger holes can reduce the weight of the spiral, with the advantages mentioned above, and accelerate its oxidation; on the other hand, if the length of each hole is greater than a predetermined threshold, the spiral behaves like a series of pairs of spirals of much lower thickness and its stiffness decreases very strongly.
  • the distance between two consecutive holes is less than a predetermined threshold, the spiral may break.
  • the thickness of each hole relative to that of the hairspring the length of each hole and the distance between two consecutive holes are parameters to be defined during the design of the hairspring, so that it has the desired oscillation mode .
  • the silicon used to manufacture the spiral according to the invention is indeed a solid silicon, that is to say non-porous, and advantageously has an orientation of the type ⁇ 1 1 1 ⁇ , which has substantially identical mechanical properties on all the axes, unlike the orientation of the type ⁇ 100 ⁇ which is not isotropic.
  • the orientation of the type ⁇ 1 1 1 ⁇ has planes with more atoms than a ⁇ 100 ⁇ orientation, which allows a faster oxidation of the silicon.
  • the holes are in number greater than 1000, for example 1300.
  • the invention also relates to a spiral spring made of silicon for a mechanical watch comprising through holes 10 and / or blind holes, said holes 10 defining first surfaces 100, 102, 104, said first surfaces 100, 102, 104 constituting less than 20% of the oxidizable surface of said spring (1).
  • the spiral spring of silicon may comprise a silicon blade wound on itself, said blade comprises two sidewalls 30, 32, a lower surface 40 and an upper surface 42, each of said two sidewalls 30, 32 and / or said lower surface 40 and / or said surface
  • Said holes 10 may belong at least to the upper surface 42 of said spiral spring 1.
  • Said holes may belong to at least 80% of said upper surface 42 of said spiral spring 1. Said holes 10 may be arranged periodically.
  • the invention also relates to a method for manufacturing a spiral spring made of silicon 1 for a mechanical watch, characterized in that it comprises the following steps:
  • Figure 1 illustrates a top view of an embodiment of the spiral spring according to the invention.
  • Figure 2 illustrates a detail of Figure 1.
  • FIG. 3 illustrates a perspective view of the spiral spring of FIG. 1.
  • Figure 4 illustrates a sectional view of an embodiment of the spiral spring according to the invention.
  • Figure 5 illustrates a sectional view of another embodiment of the spiral spring according to the invention.
  • Figure 6 illustrates a sectional view of another embodiment of the spiral spring according to the invention.
  • Figure 7 illustrates a sectional view of another embodiment of the spiral spring according to the invention.
  • Figures 1 and 3 respectively illustrate a view from above and a perspective view of a spiral spring 1 according to the invention.
  • the spiral spring 1 comprises a silicon blade wound on itself, of generally rectangular section.
  • This blade comprises two lateral surfaces, or flanks 30, 32, a lower surface 40 and an upper surface 42, visible in FIG. 3.
  • each of the two sidewalls 30, 32 and / or the lower surface 40 and / or the upper surface 42 may comprise a non-planar oxidized surface 14, i.e., one or more of the side, bottom and top surfaces are not planar and smooth as in a conventional spring.
  • the oxidized surface is non-planar because the spiral 1
  • each hole 10 comprises irregularities, which, according to a first embodiment, are holes 10 as in the example of Figures 1 and 3. These holes 10 may be through or blind. In the example illustrated in Figure 4, the holes 10 are through and each hole 10 defines two first surfaces 100, which are substantially vertical, that is to say substantially perpendicular to the plane containing the spiral 1.
  • the adverb "substantially” indicates that small tolerances, of the order of magnitude of a few degrees from the perpendicular to the plane of the spiral 1, can be accepted.
  • each hole 10 is blind, and defines two first surfaces 100, which are substantially vertical, and a first surface 102 which is substantially horizontal, ie substantially perpendicular to the first surfaces 100. If the holes 10 are through, their manufacture is simpler and the oxidation surface is further increased, because the oxidized surface does not belong to a single plane, but to different planes that can have different inclinations relative to one another. to the other, for example the planes of the walls of the holes 10 may be perpendicular to the upper and lower surfaces of the spiral spring 1.
  • the holes are blind, which allows to maintain a stiffness a little higher at the cost of a reduced oxidation surface of the walls of the holes compared to the use of through holes; however there is also the bottom surface of each hole.
  • the holes belong at least to the upper surface 42 of the spiral spring 1, that is to say to the surface of the spiral spring visible from the top, for example that visible in FIG.
  • the mouth of the holes represent at least 80% of the surface area
  • a non-planar bottom surface may also be envisaged.
  • the holes 10 are distributed periodically. Examples are shown in Figures 1 to 5, in which the reference 16 indicates the silicon oxide layer.
  • the non-planar oxidized surface 14 forms holes 10, which in the case of Figure 4 are through, in the case of Figure 5 blind.
  • the holes are generally made in the neutral fiber of the hairspring.
  • the presence of these holes makes it possible to reduce the mass of the spring balance spring spiral, which makes it possible to increase the natural oscillation frequency of the spiral in order to eliminate the parasitic vibratory modes, to reduce the influence of the gravity on the hairspring and to concentrate a greater part of the inertia in the pendulum serge.
  • the shape and layout of the holes is
  • the holes of substantially rectangular or square section it is possible, according to a second embodiment of the invention, to have on the surface 14 any other kind of irregularities that make it non-planar, for example those illustrated on Figures 6 and 7, where the Surface irregularities are corrugations, grooves or cavities which for example have a triangular section. Crossing irregularities can also be considered. These irregularities must allow a reduction of the mass of the spiral with respect to a spiral devoid of these irregularities and an increase of at least 10% of the oxidized surface.
  • the presence of these irregularities makes it possible to increase the area to be oxidized: the layer of silicon oxide to be deposited in order to reduce the spiral deformations caused by temperature variations will consequently be less thick, which makes it possible to maintain a reasonable spiral production time, of the order of magnitude of a few tens of hours, for example 30 hours.
  • each cavity 10 is blind, and defines two first surfaces 104, which are inclined with respect to an axis perpendicular to the plane of the hairspring 1.
  • the surface 104 forms for example an angle which is greater than 10 ° with respect to the axis
  • each cavity 10 is blind, and defines a first substantially vertical surface 100 and a first inclined surface 104.
  • Each hole 10 can define any other combination of first surfaces 100, 102, 104: for example, according to a variant which is not illustrated, a blind hole 10 can define a substantially vertical surface 100, a substantially horizontal surface 102 and a surface inclined 104.
  • the holes have an oblong shape, all have the same dimension and are spaced by a regular pitch B, visible in Figure 5. They are substantially aligned and / or centered relative to the surface to which they belong, as shown in Figure 2, to avoid parasitic vibratory modes caused by their non-aligned arrangement and / or non-centered. In general, they are made substantially in the neutral fiber of the hairspring 1.
  • the spiral may break.
  • the thickness E of each hole visible in FIG. 2, with respect to the thickness e of the spiral or in other words the thicknesses e 1 and e 2 of the spiral on the ribs of each hole, the length A of each hole and the distance B between two consecutive holes are parameters to be defined during the design of the hairspring, so that it has a mode of oscillation as close as possible to that of a hairspring without holes.
  • the holes ended with rays
  • the silicon used to manufacture the spiral according to the invention is a solid silicon, that is to say non-porous, and advantageously has an orientation of the type ⁇ 1 1 1 ⁇ which is isotropic and allows a faster oxidation of silicon than an orientation of type ⁇ 100 ⁇ .
  • the holes are in number greater than 1000, for example 1300.
  • the attachment of the spiral spring 1 to the axis of the balance is via a ferrule 2, visible in Figures 1 and 3.
  • the ferrule can be integrated in the spiral to be fixed, for example glued or riveted , on the axis of the balance, or possibly constitute a separate part. It can have holes in order to promote its deep oxidation and to minimize the deformations due to the temperature. It can also be devoid of holes as in Figure 3 to be more solid.
  • the spiral spring 1 has an own oscillation frequency greater than or equal to 25 Hz, preferably equal to or greater than 50 Hz. frequency is obtained by acting on the values of the dimensions
  • the spiral spring for example its height h and its thickness e, according to formula (1).
  • the spiral spring has a height h greater than or equal to 100 ⁇ , for example 150 ⁇ and / or a thickness e greater than or equal to 30 ⁇ .
  • the thickness e is twice that of a conventional spiral spring, for example e is greater than 50 ⁇ , preferably greater than 65 ⁇ .
  • the spiral spring 1 may comprise, as illustrated in Figures 1 and 3, an end curve 12, or any other curve that allows the center of gravity of the spiral to be in the center of the spiral, that is to say on the axis of the balance, throughout the oscillation.
  • This terminal curve may be devoid of holes, as in Figures 1 and 3. In a variant this terminal curve is also provided with holes.
  • the area of the oxidizable surface of the spring is at least 10% greater than the area of the straight convex envelope of the spring, i.e. The area of a spring of similar shape and size but with no holes or surface irregularities.
  • the area of the rectilinear convex envelope is easy to determine because the spiral spring retains a conventional general shape whose area of the average section and the length are measurable.
  • the invention also relates to a mechanical watch comprising a spiral spring as described and a method for manufacturing a spiral spring made of silicon for a mechanical watch comprising the following steps:
  • a silicon blade wound on itself in a spiral shape comprising a surface, said oxidizable, in contact with the air, the blade being shaped so that the area of the oxidizable surface is at less than 1.1 times the area of a rectilinear convex hull of the blade, preferably at least 1.5 times the area of the rectilinear convex hull,
  • the oxidizable surface is obtained by making through holes and / or blind holes in a flat surface of the blade, preferably in an upper surface of the blade.
  • the holes are made at the same time as the production of the spiral 1, that is to say of its cutting in a silicon wafer, for example by photolithography and DRIE etching.
  • the holes 10 can also be made after the manufacture of a spiral, by photolithography and etching and / or laser.
  • the oxidation of the spiral 1 may be thermal or anodic or plasma. Thermal oxidation allows reduced manufacturing costs. It is preferably wet to further increase the rate of oxidation.

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Abstract

Ressort spiral pour montre mécanique, le ressort comprenant un nombre de trous traversants ou borgnes (10) supérieur à 500. Il comprend une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite oxydable, en contact avec l'air, la lame étant conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne. Le spiral oscille à une fréquence supérieure ou égale à 25 Hz, de préférence égale ou supérieure à 50 Hz, et peut être oxydé rapidement grâce à la présence des trous (10). Le nombre de ces trous (10) dans une variante préférentielle est supérieur à 1000.

Description

Ressort spiral en silicium pour montre mécanique
Domaine technique
La présente invention concerne un ressort spiral en silicium pour montre mécanique, notamment un ressort spiral en silicium pour organe régulateur d'une montre mécanique.
Etat de la technique L'organe réglant des montres mécaniques est composé d'un balancier sur l'axe duquel est fixé un ressort appelé spiral ou ressort spiral, qui est une lame, généralement de section rectangulaire, enroulée sur elle- même en forme de spirale. La fixation du spiral à l'axe du balancier se fait par l'intermédiaire d'une virole. L'autre extrémité du spiral est fixée à la raquetterie ou à un pont par l'intermédiaire d'un piton.
Entre la virole et le piton, le spiral peut se déformer en fonction de divers facteurs, dont la température, la force de gravité, un champ magnétique, son propre poids, etc., ce qui nuit à l'isochronisme. Des oscillations isochrones sont des oscillations qui se produisent à des intervalles de temps égaux, de façon indépendante de leur amplitude et des facteurs mentionnés.
Un balancier donné couplé à un spiral donné oscille à une fréquence déterminée. Le nombre d'alternances par unité de temps détermine la résolution temporelle de l'organe régulateur. En augmentant la fréquence d'oscillation, la résolution temporelle est améliorée, ce qui permet de compter des intervalles de temps plus courts. Une résolution temporelle améliorée est par exemple utile pour des chronographes.
La fréquence f d'oscillation d'un organe réglant peut être déterminée par la formule suivante : f = ± fc = ± fL˱Z [Hz] (1) 2π I 2π Ι \2L dans laquelle
- 1 est le moment d'inertie du balancier autour de son axe [kg · m2]
- M est le couple élastique du spiral [N · m]
- E est le module d'élasticité de la lame qui constitue le spiral [N · mm2]
- h est la hauteur de la lame [mm]
- e est l'épaisseur de la lame [mm]
- L est la longueur de la lame [mm].
Un spiral peut être réalisé en différents matériaux. Il a été constaté que l'utilisation du silicium présente des avantages, parce que le silicium est un matériau amagnétique et permet des coûts de fabrication faibles. Cependant son module de Young est fortement influencé par la température : son premier coefficient thermique est fortement négatif, en provoquant une dérive thermique incompatible avec les exigences horlogères.
Afin de compenser cette dérive, le document EP1422436, qui décrit un ressort spiral issu du découpage d'une plaque {001 } de silicium, suggère de revêtir le spiral d'une couche de dioxyde de silicium Si02, dans la suite oxyde de silicium, dont le premier coefficient thermique est fortement positif. La présence du silicium et de son oxyde, dont les coefficients de température sont de signe opposé, permet de réduire les déformations du spiral causées par des variations de température.
Cependant les déformations du spiral causées par d'autres déformations, par exemple celles causées par une variation d'inclinaison et de l'action de la gravité, ne sont pas réduites. En outre le ressort spiral décrit n'a pas une fréquence d'oscillation propre supérieure ou égale à 25 Hz.
En effet, pour obtenir une fréquence d'oscillation élevée, par exemple supérieure ou égale à 25 Hz, selon la formule (1 ) il est possible par exemple d'augmenter la hauteur h ou bien l'épaisseur e de la lame qui constitue le spiral. La réalisation d'un spiral épais en silicium nécessite cependant d'une épaisseur importante d'oxyde de silicium afin de compenser le coefficient thermique de la masse augmentée de silicium. Le rapport entre le volume de silicium et celui de son oxyde dans la pratique est d'environ 10%. li a été constaté dans le cadre de cette invention que l'épaisseur d'oxyde de silicium nécessaire à cette compensation devient donc non seulement nettement plus importante que l'épaisseur de la couche d'oxyde de silicium natif, qui se forme à cause du contact entre le silicium et l'oxygène de l'air, et dont l'épaisseur est de quelque nm seulement, mais aussi que l'épaisseur des couches d'oxyde de silicium obtenues par une méthode d'oxydation, par exemple une oxydation thermique ou anodique ou plasma, des spiraux connus.
En raison de l'augmentation du volume de l'oxyde de silicium à produire, le procédé pour recouvrir un spiral en silicium ayant une fréquence propre d'oscillation élevée, par exemple supérieure ou égale à 25 Hz, de cette couche d'oxyde de silicium devient en conséquence extrêmement lent et peut durer une ou plusieurs semaines, ce qui n'est pas acceptable dans un contexte de production industrielle des spiraux. En outre la relation qui lie l'augmentation de la fréquence d'oscillation et l'épaisseur du spiral au temps requis pour obtenir une couche d'oxyde de silicium n'est pas linéaire. Par exemple en augmentant la fréquence d'oscillation d'un facteur 10, en gardant tous les paramètres de la formule (1) sauf l'épaisseur e, ce dernier doit augmenter environ d'un facteur 4,6, ce qui correspond à un temps de fabrication de la couche d'oxyde environ 20 fois plus grand.
Le document EP2151722 concerne un spiral pour résonateur balancier spiral qui comprend quatre lames afin de rendre ses oscillations isochrones. Le spiral est thermo-compensé à l'aide d'une couche d'oxyde de silicium. Deux lames sont disposées entre la virole et un anneau
intermédiaire et les autres deux lames entre l'anneau et un anneau de fixation. L'anneau intermédiaire peut être évidé avec une dizaine de trous afin de réduire sa masse. Le document CH700653 concerne un ressort spiral en silicium qui peut présenter une couche d'oxyde de silicium. La spire extérieure comporte une portion divisée en deux lames, définissant une ouverture destinée à recevoir un organe de réglage dont la position est mobile par rapport à l'ouverture. La dernière spire peut comporter aussi une deuxième portion comprenant deux brins reliés de manière rigide par des poutres de liaison, qui définissent quatre trous afin de ramener le centre d'action du spiral en correspondance avec le centre du balancier, afin de corriger le spiral de son développement non concentrique. Le document EP2184652 concerne un spiral à élévation de courbe en silicium qui peut présenter une couche d'oxyde de silicium. Le spiral comprend une courbe terminale et un dispositif d'élévation entre la spire externe du ressort et cette courbe terminale afin d'améliorer la
concentricité du développement du ressort. II existe donc un besoin pour un spiral en silicium revêtu d'une couche d'oxyde de silicium qui puisse osciller à une fréquence supérieure ou égale à 25 Hz, de préférence supérieure ou égale à 50 Hz, et qui puisse être fabriqué rapidement, c'est-à-dire dans un délai sensiblement plus petit qu'une semaine, par exemple dans un délai de l'ordre de grandeur de quelques dizaines d'heures.
Il existe aussi un besoin d'un spiral en silicium revêtu d'une couche d'oxyde de silicium qui puisse être suffisamment raide pour pouvoir osciller à une fréquence égale ou supérieure à 25 Hz, de préférence égale ou supérieure à 50 Hz.
Bref résumé de l'invention Un but de la présente invention est de proposer un ressort spiral en silicium pour montre mécanique exempt des limitations des ressorts spiraux en silicium connus. Un autre but de l'invention est de proposer un spiral en silicium revêtu d'une couche d'oxyde de silicium qui puisse osciller à une fréquence supérieure ou égale à 25 Hz, de préférence égale ou supérieure à 50 Hz, et qui puisse être fabriqué rapidement. Selon l'invention, ces buts sont atteints notamment au moyen d'un ressort spiral en silicium, au moyen d'une montre mécanique et au moyen d'un procédé de fabrication d'un ressort spiral en silicium selon les revendications ci-dessous.
Le ressort spiral en silicium pour montre mécanique selon l'invention comprend un nombre de trous supérieur à 50, de préférence supérieur à 500, par exemple entre 800 et 1600, de préférence supérieur à 1000.
L'utilisation d'un nombre de trous importants, et donc d'un nombre important de ponts séparant chaque paire de trous, permet d'une part d'augmenter la surface oxydable, d'autre part de conserver une rigidité importante en limitant le risque que la face interne de chaque spire vibre avec un autre mode que la face externe.
Afin d'obtenir ce nombre de trous importants, le pas angulaire entre deux trous est de préférence inférieur à 5 degrés, de préférence entre 1 ° et 4°. Dans un mode de réalisation, le spiral comporte plus de 800 trous séparés les uns des autres par un pas inférieur à 5°. Dans un mode de réalisation préférentiel, le spiral comporte plus de 1000 trous séparés les uns des autres par un pas inférieur à 4°.
L'espacement angulaire entre chaque trou et le trou voisin le plus proche est avantageusement constant.
Dans un mode de réalisation, toutes les spires sont munies de trous, à l'exception de la courbe terminale éventuelle. Dans un mode de réalisation, toutes les spires à l'exception de la courbe terminale éventuelle sont munies de trous répartis sur toute la longueur de chaque spire.
Dans un mode de réalisation, au moins une spire, ou toutes les spires à l'exception de la courbe terminale éventuelle, sont munies de trous répartis sur une portion de chaque spire inférieure à la longueur de cette spire ; une portion d'au moins une spire et donc dépourvue de trous.
Les trous peuvent être de section circulaire.
Le ressort spiral en silicium pour montre mécanique selon l'invention comprend une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite oxydable, en contact avec l'air. La lame est conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1 ,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne.
On entend par enveloppe convexe rectiligne, l'enveloppe convexe qu'aurait la lame dans une configuration rectiligne, c'est-à-dire non-enroulée en spirale. Cette enveloppe convexe rectiligne permet de caractériser la surface apparente et la forme générale du spiral, sans tenir compte de ses éventuelles irrégularités ou anfractuosités de surface.
La « surface oxydable » de la lame est la surface du spiral qui peut être oxydée, donc la surface externe du spiral, c'est-à-dire celle qui peut entrer en contact avec de l'oxygène. Chaque irrégularité du spiral forme une surface qui peut être oxydée. Ainsi, la surface oxydable du spiral caractérise avec précision la forme spécifique du spiral, en tenant compte de chaque détail de surface.
Un ressort spiral classique de l'état de la technique présente une forme régulière de spirale, généralement de section rectangulaire. Sa surface ne présente presque pas d'irrégularités mais un aspect lisse. Ainsi, s'il était déroulé, sa surface oxydable, de forme parallélépipédique, coïnciderait sensiblement avec son enveloppe convexe rectiligne et leurs aires seraient confondues.
Comme discuté ci-dessus, l'oxydation d'un spiral en silicium dans ce contexte sert pour compenser le coefficient thermique du silicium : la couche d'oxyde de silicium natif, qui se forme à cause du contact entre le silicium et l'oxygène de l'air, et dont l'épaisseur est de quelque nm seulement, n'est pas suffisante à garantir cette compensation. Donc, dans le contexte de l'invention, la surface oxydable du spiral sera oxydée avec une oxydation thermique ou anodique ou plasma, afin de créer une épaisseur des couches d'oxyde de silicium supérieure à l'épaisseur de la couche d'oxyde de silicium natif, pour compenser thermiquement le silicium du spiral.
Grâce à l'invention, pour une forme générale du ressort spiral donnée (c'est-à-dire pour une aire de l'enveloppe convexe rectiligne donnée), l'aire de la surface oxydable du ressort spiral est accrue d'au moins 10% ou plus. Ainsi, la quantité d'oxyde de silicium portée par le ressort spiral est également accrue. Donc cela permet de réduire le temps d'oxydation nécessaire à l'obtention d'une quantité d'oxyde de silicium voulue.
Avantageusement, la surface oxydable comprend au moins une portion non planaire par exemple une portion ondulée, en créneau, en dents de scie, ou une portion comprenant des irrégularités telles que des trous ou des rainures. L'expression « non planaire » dans ce contexte indique que la surface oxydée n'appartient pas à un seul plan, mais à différents plans qui peuvent avoir différentes inclinaisons l'un par rapport à l'autre, par exemple ils peuvent aussi être perpendiculaires. Les différents plans peuvent être aussi l'un parallèle à l'autre. Le fait d'avoir une surface non planaire permet d'augmenter la surface oxydable du ressort, pour une forme générale donnée, c'est-à-dire pour une enveloppe convexe rectiligne donnée. Dans une variante préférentielle la lame est conformée de sorte que la surface oxydée comprend deux surfaces latérales, une surface inférieure et une surface supérieure, et une pluralité de trous traversants et/ou borgnes, débouchants sur l'une ou plusieurs des surfaces latérales, inférieure et supérieure.
Dans un mode de réalisation le spiral comporte des trous borgnes sur sa surface supérieure et des trous borgnes sur sa surface inférieure. Le spiral peut par exemple comporter en alternance des trous borgnes sur les faces supérieures et inférieures, ce qui permet de maintenir une rigidité optimale et une symétrie entre les faces supérieures et inférieures qui vont se déformer selon les mêmes modes de déformation.
Les trous dans une variante peuvent appartenir et déboucher au moins à la surface supérieure du ressort spiral, c'est-à-dire à la tranche du ressort spiral visible par le haut. L'embouchure de ces trous constitue au moins le 80% de cette surface supérieure. Dans une autre variante les trous appartiennent non seulement à la surface supérieure du ressort spiral, mais aussi à sa surface inférieure, qui généralement est parallèle à celle supérieure, et à des surfaces sensiblement perpendiculaires à celle supérieure et inférieure. Dans une autre variante les trous peuvent appartenir au moins aux surfaces latérales du ressort spiral, c'est-à-dire ses flancs, bien que cela soit plus difficile à fabriquer et risque de créer des amorces de rupture.
Selon l'invention, le nombre de trous est tel que la surface oxydable du ressort comprenant ces trous a une aire au moins égale à 1 ,1 fois, de préférence 1 ,5 fois, l'aire de la surface oxydable du même ressort s'il était dépourvu de ces trous. En d'autres termes, le nombre de trous est déterminé de manière à augmenter d'au moins 10% la surface oxydable du ressort par rapport à un ressort sans trous.
Dans une variante les trous sont répartis périodiquement sur la surface supérieure de la lame, c'est-à-dire qu'ils se répètent à intervalles réguliers, ce qui favorise la production d'une couche d'oxyde régulière ou en tout cas périodique. Dans une variante les trous ne sont pas périodiques.
Dans une variante préférentielle les trous sont réalisés au même temps que la réalisation du spiral 1 , c'est-à-dire de son découpage dans une plaque de silicium, par exemple par photolithographie et gravure. Les trous peuvent être aussi réalisés après la fabrication d'un spiral, par
photolithographie et gravure et/ou par laser. La gravure peut être une gravure DRIE (Deep Reactive-Ion Etching).
La présence de ces trous permet une diminution de masse du spiral, tout en gardant sa raideur, ce qui permet d'augmenter la fréquence propre d'oscillation du spiral afin d'éliminer les modes vibratoires parasites.
En outre la diminution de masse du spiral pour une même raideur permet aussi d'augmenter la fréquence d'oscillation de l'ensemble spiral-balancier.
En effet les trous sont réalisés dans la fibre neutre du spiral, c'est-à-dire la partie du spiral qui est soumise à un nombre inférieur de contraintes lors de l'oscillation du spiral. La diminution de masse permet aussi de concentrer une plus grande partie de l'inertie dans la serge du balancier, en
améliorant la fonction de volant d'inertie du balancier.
Avantageusement les trous permettent d'augmenter la surface qui s'oxyde : la couche d'oxyde de silicium à déposer afin de réduire les déformations du spiral causées par des variations de température sera donc moins épaisse, ce qui permet de maintenir un temps de fabrication du spiral raisonnable, de l'ordre de grandeur de quelques dizaines d'heures, par exemple 30 heures. Dans une variante préférentielle les trous sont traversants, c'est- à-dire chaque trou est une perforation qui traverse en entier le spiral de silicium. L'utilisation de trous traversants permet une fabrication plus simple et une surface d'oxydation encore augmentée, au prix d'une raideur légèrement réduite. Dans une autre variante les trous sont borgnes, ce qui permet de maintenir une raideur élevée au prix d'une surface d'oxydation sensiblement réduite par rapport à l'utilisation de trous traversants. Dans une variante préférentielle les trous ont une forme oblongue, ont tous la même dimension et sont répartis de façon
périodique, c'est-à-dire espacés par un pas régulier. Cette disposition permet de maintenir la raideur du spiral presque intacte, tout en
l'allégeant ; il se déforme donc moins sous l'influence de la gravité. Dans une autre variante le pas entre les trous n'est pas régulier.
Les trous peuvent être sensiblement alignés et/ou centrés par rapport à la surface à laquelle ils appartiennent, afin d'éviter des modes vibratoires parasites qui pourraient être causés au cas où les trous sépareraient le spiral en deux bandes fines oscillant indépendamment l'une de l'autre. En outre leurs dimensions sont aussi définies par des calculs précis et déterminées par un compromis : en effet des trous plus grands permettent de diminuer la masse du spiral, avec les avantages mentionnées plus en haut, et d'accélérer son oxydation ; par contre si la longueur de chaque trou est supérieure à un seuil prédéterminé, le spiral se comporte comme une suite de paires de spiraux d'épaisseur très inférieure et sa raideur diminue très fortement. En outre si la distance entre deux trous consécutifs est inférieure à un seuil prédéterminé, le spiral risque de se casser. En général l'épaisseur de chaque trou par rapport à celui du spiral, la longueur de chaque trou et la distance entre deux trous consécutifs sont des paramètres à définir lors de la conception du spiral, afin qu'il ait le mode d'oscillation désiré.
Le silicium utilisé pour fabriquer le spiral selon l'invention est en effet un silicium massif, c'est-à-dire non poreux, et avantageusement a une orientation du type {1 1 1}, qui présente des propriétés mécaniques sensiblement identiques sur tous les axes, à différence de l'orientation du type {100} qui n'est pas isotrope. En outre l'orientation du type {1 1 1 } présente des plans avec plus d'atomes par rapport à une orientation du type {100}, ce qui permet une oxydation plus rapide du silicium. Dans une variante les trous sont en nombre supérieur à 1000, par exemple 1300. Selon un aspect, l'invention concerne aussi un ressort spiral en silicium pour montre mécanique comprenant des trous 10 traversants et/ou borgnes, lesdits trous 10 définissant des premières surfaces 100, 102, 104, lesdites premières surfaces 100, 102, 104 constituant au moins le 20% de la surface oxydable dudit ressort (1).
Le ressort spiral en silicium peut comprendre une lame en silicium enroulée sur elle-même, ladite lame comprend deux flancs 30, 32, une surface inférieure 40 et une surface supérieure 42, chacun desdits deux flancs 30, 32 et/ou ladite surface inférieure 40 et/ou ladite surface
supérieure 42 comprenant une surface oxydée non planaire 14.
Lesdits trous 10 peuvent appartenir au moins à la surface supérieure 42 dudit ressort spiral 1 .
Lesdits trous peuvent appartenir au moins au 80% de ladite surface supérieure 42 dudit ressort spiral 1 . Lesdits trous 10 peuvent être disposés de manière périodique.
L'invention concerne aussi un procédé de fabrication d'un ressort spiral en silicium 1 pour montre mécanique caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :
- réalisation dans le spiral de trous 10 traversants et/ou borgnes, lesdits trous définissant des premières surfaces, lesdites premières surfaces constituant au moins le 20% de la surface oxydable dudit ressort 1 ,
- oxydation dudit ressort 1 .
Brève description des figures
Des exemples de mise en œuvre de l'invention sont indiqués dans la description illustrée par les figures annexées dans lesquelles : La figure 1 illustre une vue par le haut d'un mode de réalisation du ressort spiral selon l'invention.
La figure 2 illustre un détail de la figure 1 .
La figure 3 illustre une vue en perspective du ressort spiral de la figure 1 .
La figure 4 illustre une vue de coupe d'un mode de réalisation du ressort spiral selon l'invention.
La figure 5 illustre une vue de coupe d'un autre mode de réalisation du ressort spiral selon l'invention. La figure 6 illustre une vue de coupe d'un autre mode de réalisation du ressort spiral selon l'invention.
La figure 7 illustre une vue de coupe d'un autre mode de réalisation du ressort spiral selon l'invention.
Exemple(s) de mode(s) de réalisation de l'invention
Les figures 1 et 3 illustrent respectivement une vue par le haut et une vue en perspective d'un ressort spiral 1 selon l'invention.
Le ressort spiral 1 comprend une lame en silicium enroulée sur elle-même, de section généralement rectangulaire. Cette lame comprend deux surfaces latérales, ou flancs 30, 32, une surface inférieure 40 et une surface supérieure 42, visibles sur la figure 3. Avantageusement chacun des deux flancs 30, 32 et/ou la surface inférieure 40 et/ou la surface supérieure 42 peuvent comprendre une surface oxydée non planaire 14, c'est-à-dire que l'une ou plusieurs des surfaces latérales, inférieure et supérieure ne sont pas planes et lisse comme dans un ressort classique. La surface oxydée est non planaire parce que le spiral 1
comprend des irrégularités, qui, selon un premier mode de réalisation, sont des trous 10 comme dans l'exemple des figures 1 et 3. Ces trous 10 peuvent être traversants ou borgnes. Dans l'exemple illustré sur la figure 4, les trous 10 sont traversants et chaque trou 10 définit deux premières surfaces 100, qui sont sensiblement verticales, c'est-à-dire sensiblement perpendiculaires par rapport au plan qui contient le spiral 1 . L'adverbe « sensiblement » indique que des petites tolérances, de l'ordre de grandeur de quelques dégrées par rapport à la perpendiculaire au plan du spiral 1 , peuvent être acceptées.
Dans l'exemple illustré sur la figure 5 chaque trou 10 est borgne, et définit deux premières surfaces 100, qui sont sensiblement verticales, et une première surface 102 qui est sensiblement horizontale, c'est à-dire sensiblement perpendiculaire aux premières surfaces 100. Si les trous 10 sont traversants, leur fabrication est plus simple et la surface d'oxydation est encore augmentée, parce que la surface oxydée n'appartient pas à un seul plan, mais à différents plans qui peuvent avoir différentes inclinaisons l'un par rapport à l'autre, par exemple les plans des parois des trous 10 peuvent être perpendiculaires à la surface supérieure et à celle inférieure du ressort spiral 1 . Dans une autre variante les trous sont borgnes, ce qui permet de maintenir une raideur un peu plus élevée au prix d'une surface d'oxydation des parois des trous réduite par rapport à l'utilisation de trous traversants ; cependant il y a aussi la surface du fond de chaque trou. Les trous appartiennent au moins à la surface supérieure 42 du ressort spiral 1 , c'est-à-dire à la surface du ressort spiral visible par le haut, par exemple celle visible sur la figure 1 . Dans une variante préférentielle l'embouchure des trous représentent au moins 80% de la surface
supérieure 32 du ressort spiral 1 . Les trous, traversants ou borgnes, dans une variante
préférentielle sont fabriqués par photolithographie et gravure, directement lors de la fabrication du ressort spiral en silicium à partir d'un wafer. Dans une autre variante ils sont fabriqués après la réalisation du silicium, par photolithographie et gravure ou par laser.
Dans le cas d'un spiral comportant des trous traversants entre les deux surfaces 40, 42, ou des trous borgnes sur une ou sur les deux surfaces inférieures 40 et/ou supérieures 42, une surface inférieure non planaire peut aussi être envisagée. Par ailleurs, il est aussi envisageable de favoriser l'oxydation au moyen de surfaces latérales 30, 32 munies de trous ou d'aspérités, bien que cela soit plus difficile à fabriquer et risque de créer des amorces de rupture.
Dans une variante les trous 10 sont répartis de manière périodique. Des exemples sont visibles sur les figures 1 à 5, sur lesquelles la référence 16 indique la couche d'oxyde de silicium.
Dans la variante illustrée sur les figures 1 à 5 la surface oxydée non planaire 14 forme des trous 10, qui dans le cas de la figure 4 sont traversants, dans le cas de la figure 5 borgnes. Les trous sont généralement réalisés dans la fibre neutre du spiral. Comme mentionné, la présence de ces trous 10 permet une diminution de masse du spiral à parité de raideur, ce qui permet d'augmenter la fréquence propre d'oscillation du spiral afin d'éliminer les modes vibratoires parasites, de diminuer l'influence de la gravité sur le spiral et de concentrer une plus grande partie de l'inertie dans la serge du balancier. La forme et la disposition des trous est
cependant choisie de façon à maintenir la raideur du spiral, ce qui lui permet d'osciller à fréquence élevée et d'être moins sensible à la
gravitation.
Au lieu des trous de section sensiblement rectangulaire ou carrée, il est possible, selon un second mode de réalisation de l'invention, d'avoir sur la surface 14 toute autre sorte d'irrégularités qui la rendent non planaire, par exemple celles illustrées sur les figures 6 et 7, où les irrégularités de surface sont des ondulations, des rainures ou des cavités qui ont par exemple une section triangulaire. Des irrégularités traversantes peuvent aussi être envisagées. Ces irrégularités doivent permettre une réduction de la masse du spiral par rapport à un spiral dépourvu de ces irrégularités et une augmentation d'au moins 10% de la surface oxydée.
Comme mentionné, la présence de ces irrégularités 10 permet d'augmenter la surface à oxyder : la couche d'oxyde de silicium à déposer afin de réduire les déformations du spiral causées par des variations de température sera en conséquence moins épaisse, ce qui permet de maintenir un temps de fabrication du spiral raisonnable, de l'ordre de grandeur de quelques dizaines d'heures, par exemple 30 heures.
Dans l'exemple illustré sur la figure 6 chaque cavité 10 est borgne, et définit deux premières surfaces 104, qui sont inclinées par rapport à un axe perpendiculaire au plan du spiral 1 . La surface 104 forme par exemple un angle qui est supérieur à 10° par rapport à l'axe
perpendiculaire au plan du spiral 1 .
Dans l'exemple illustré sur la figure 7 chaque cavité 10 est borgne, et définit une première surface 100 sensiblement verticale et une première surface 104 inclinée. Chaque trou 10 peut définir toute autre combinaison de premières surfaces 100, 102, 104 : par exemple, selon une variante qui n'est pas illustrée, un trou 10 borgne peut définir une surface sensiblement verticale 100, une surface sensiblement horizontale 102 et une surface inclinée 104.
Dans la variante illustrée sur les figures 1 à 5, les trous ont une forme oblongue, ont tous la même dimension et sont espacés par un pas B régulier, visible sur la figure 5. Ils sont sensiblement alignés et/ou centrés par rapport à la surface à laquelle ils appartiennent, comme visible sur la figure 2, afin d'éviter des modes vibratoires parasites causés par leur disposition non alignée et/ou non centrée. En général ils sont réalisés sensiblement dans la fibre neutre du spiral 1 . En outre leurs dimensions sont aussi définies par des calculs précis et déterminées par un compromis : en effet des trous plus grands permettent de diminuer la masse du spiral, avec les avantages mentionnées plus en haut, et d'accélérer son oxydation ; par contre si la longueur de chaque trou A est supérieure à un seuil prédéterminé, le spiral se comporte comme une suite de deux spiraux parallèles reliés par des attaches, ce qui change entièrement le mode vibratoire du spiral.
En outre si la distance entre deux trous consécutifs B est inférieure à un seuil prédéterminé, le spiral risque de se casser. En général l'épaisseur E de chaque trou, visible sur la figure 2, par rapport à l'épaisseur e du spiral ou en d'autres termes les épaisseurs ei et e2 du spiral sur les côtes de chaque trou, la longueur A de chaque trou et la distance B entre deux trous consécutifs sont des paramètres à définir lors de la conception du spiral, afin qu'il ait un mode d'oscillation aussi proche que possible de celui d'un spiral sans trous. Les trous terminés par des rayons
proportionnellement importants évitent des amorces de rupture.
Le silicium utilisé pour fabriquer le spiral selon l'invention est un silicium massif, c'est-à-dire non poreux, et avantageusement a une orientation du type {1 1 1 } qui est isotrope et permet une oxydation plus rapide du silicium qu'une orientation du type {100}. Dans une variante les trous sont en nombre supérieur à 1000, par exemple 1300.
La fixation du ressort spiral 1 à l'axe du balancier se fait par l'intermédiaire d'une virole 2, visible sur les figures 1 et 3. La virole peut être intégrée au spiral afin d'être fixée, par exemple collée ou rivée, sur l'axe du balancier, ou éventuellement constituer une pièce distincte. Elle peut présenter des trous afin de favoriser son oxydation en profondeur et de minimiser les déformations dues à la température. Elle peut aussi être dépourvue de trous comme sur la figure 3 afin d'être plus solide.
Le ressort spiral 1 a une fréquence d'oscillation propre supérieure ou égale à 25 Hz, de préférence égale ou supérieure à 50 Hz. Cette fréquence est obtenue en agissant sur les valeurs des dimensions
géométrique du ressort spiral, par exemple sa hauteur h et son épaisseur e, selon la formule (1). Dans une variante le ressort spiral a une hauteur h supérieure ou égale à 100 μηη, par exemple 150 μιτη et/ou une épaisseur e supérieure ou égale à 30 μιτι. Dans une variante préférentielle l'épaisseur e est deux fois celle d'un ressort spiral conventionnel, par exemple e est supérieur à 50 μηη, de préférence supérieur à 65 μιτι.
Le ressort spiral 1 peut comprendre, comme illustré sur les figures 1 et 3, une courbe terminale 12, ou toute autre courbe qui permette au centre de gravité du spiral de se trouver au centre du spiral, c'est-à-dire sur l'axe du balancier, tout au long de l'oscillation. Cette courbe terminale peut être dépourvue de trous, comme sur les figures 1 et 3. Dans une variante cette courbe terminale est également munie de trous.
Dans tous les modes de réalisation de l'invention, l'aire de la surface oxydable du ressort est supérieure d'au moins 10% à l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne du ressort, c'est-à-dire à l'aire d'un ressort de forme et de taille similaire mais ne comportant ni trous ni irrégularités de surface. L'aire de l'enveloppe convexe rectiligne est aisée à déterminer car le ressort spiral conserve une forme générale classique dont l'aire de la section moyenne et la longueur sont mesurables.
L'invention concerne aussi une montre mécanique comportant un ressort spiral tel que décrit et un procédé de fabrication d'un ressort spiral en silicium pour montre mécanique comprenant les étapes suivantes :
- réalisation d'une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite oxydable, en contact avec l'air, la lame étant conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne,
- oxydation de la surface oxydable. La surface oxydable est obtenue par réalisation de trous traversants et/ou borgnes dans une surface plane de la lame, de préférence dans une surface supérieure de la lame.
Dans une variante préférentielle les trous sont réalisés en même temps que la réalisation du spiral 1 , c'est-à-dire de son découpage dans une plaque de silicium, par exemple par photolithographie et gravure DRIE.
Les trous 10 peuvent être aussi réalisés après la fabrication d'un spiral, par photolithographie et gravure et/ou par laser.
L'oxydation du spiral 1 peut être thermique ou anodique ou plasma. L'oxydation thermique permet des coûts de fabrications réduits. Elle est de préférence humide pour augmenter encore plus la vitesse d'oxydation.
Numéros de référence employés sur les figures
1 Ressort spiral
10 Trou
12 Courbe terminale
14 Surface supérieure du ressort spiral
16 Couche d'oxyde de silicium
2 Virole
30 Premier flanc du spiral
32 Deuxième flanc du spiral
40 Surface inférieure du spiral
42 Surface supérieure du spiral
50 Enveloppe convexe rectiligne du spiral
100 Première surface sensiblement verticale
102 Première surface sensiblement horizontale
104 Première surface sensiblement inclinée ou non verticale e Epaisseur du spiral
h Hauteur du spiral
A Largeur d'un trou
B Espace entre deux trous
C Distance entre deux trous
D Hauteur d'un trou
E Epaisseur d'un trou
ei Epaisseur du spiral le long d'un premier côté d'un trou e2 Epaisseur du spiral le long d'un deuxième côté d'un trou

Claims

Revendications
1 . Ressort spiral en silicium (1 ) pour montre mécanique comprenant des trous (10) traversants et/ou borgnes, le nombre desdits trous (10) étant supérieur à 500.
2. Le ressort spiral selon la revendication 1 , le nombre desdits trous (10) étant supérieur à 1000.
3. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 ou 2, la surface latérale desdits trous étant sensiblement perpendiculaire à l'embouchure desdits trous.
4. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 ou 2, la surface latérale desdits trous étant non perpendiculaire à l'embouchure desdits trous.
5. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 4, le ressort
comprenant une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite surface oxydable, en contact avec l'air, caractérisé en ce que la lame est conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne (50) de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne.
6. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 5, comprenant une lame en silicium enroulée sur elle-même, ladite lame comprend deux flancs
(30, 32), une surface inférieure (40) et une surface supérieure (42), chacun desdits deux surfaces latérales (30, 32) et/ou ladite surface inférieure (40) et/ou ladite surface supérieure (42) comprenant une surface oxydée non planaire (14).
7. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 6, l'embouchure desdits trous (10) appartenant au moins à la surface supérieure (42) dudit ressort spiral (1 ).
8. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 7, lesdits trous (10) étant disposés de manière périodique.
9. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 8, ledit silicium étant un silicium ayant une orientation du type {1 1 1}.
10. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 9, ledit silicium étant un silicium massif.
1 1 . Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 10, lesdits trous (10) étant sensiblement alignés.
12. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 1 1, chacun desdits trous (10) ayant une forme oblongue.
13. Le ressort spiral selon l'une des revendications 1 à 12, ayant une hauteur (h) supérieure ou égale à 100 μιτη et/ou une épaisseur (e) supérieure ou égale à 30 μιτι.
14. Montre mécanique comportant un ressort spiral (1 ) selon l'une des revendications 1 à 13.
1 5. Ressort spiral pour montre mécanique, le ressort comprenant une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite surface oxydable, en contact avec l'air, caractérisé en ce que la lame est conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1 ,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne.
16. Procédé de fabrication d'un ressort spiral en silicium (1 ) pour montre mécanique caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :
- réalisation dans le spiral (1 ) de trous (10) traversants et/ou borgnes, le nombre desdits trous (10) étant supérieur à 500, de préférence supérieure à 1000,
- oxydation dudit ressort (1).
17. Le procédé selon la revendication 16, lesdits trous (10) étant réalisés par photolithographie et gravure lors de la réalisation dudit ressort spiral (1).
18. Le procédé selon la revendication 16, lesdits trous (10) étant réalisés par photolithographie et gravure et/ou par laser après la réalisation dudit ressort spiral (1 ).
19. Le procédé selon l'une des revendications 16 à 18, ladite oxydation de ladite surface (14) étant thermique ou anodique ou plasma.
20. Le procédé selon l'une des revendications 16 à 19, comprenant les étapes suivantes
- réalisation d'une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite oxydable, en contact avec l'air, la lame étant conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne,
- oxydation de la surface oxydable (1 ).
21 . Procédé de fabrication d'un ressort spiral en silicium (1 ) pour montre mécanique caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :
- réalisation d'une lame en silicium enroulée sur elle-même en forme de spirale, la lame comprenant une surface, dite oxydable, en contact avec l'air, la lame étant conformée de sorte que l'aire de la surface oxydable est au moins égale à 1,1 fois l'aire d'une enveloppe convexe rectiligne de la lame, de préférence au moins égale à 1 ,5 fois l'aire de l'enveloppe convexe rectiligne,
- oxydation de la surface oxydable (1 ).
22. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel la surface oxydable est obtenue par réalisation de trous traversants et/ou borgnes dans une surface plane de la lame, de préférence dans une surface supérieure de la lame.
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