WO2011149311A3 - Condensateur variable à mems et procédé pour le faire fonctionner - Google Patents

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Dongchan Park
Junbo Yoon
Donghun Choi
Hyunho Yang
Sungbae Cho
Juyoung Song
Sanghun Lee
Changhun Han
Changwook Kim
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Lg Innotek Co., Ltd.
Korea Advanced Institute Of Science And Technology
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    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes

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Abstract

La présente invention concerne un condensateur variable à MEMS et un procédé pour le faire fonctionner, le condensateur variable à MEMS comprenant une première électrode, une deuxième électrode flottant au-dessus de la partie supérieure de la première électrode, une électrode fixe séparée au niveau de la surface latérale de la deuxième électrode, et une électrode mobile placée entre la deuxième électrode et l'électrode fixe, connectée à la deuxième électrode et en contact physique avec l'électrode fixe par une tension appliquée à l'électrode fixe.
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