WO2011118596A1

WO2011118596A1 - 陽極酸化アルミナの製造方法、検査装置および検査方法

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Publication number: WO2011118596A1
Application number: PCT/JP2011/056865
Authority: WO
Inventors: 三文福山; 松原　雄二
Original assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 2010-03-25
Filing date: 2011-03-22
Publication date: 2011-09-29
Anticipated expiration: 2012-09-25
Also published as: CN102844473B; TWI408257B; TW201134986A; KR20120135416A; JPWO2011118596A1; KR101345049B1; JP5049405B2; US20130206601A1; US8780350B2; CN102844473A

Abstract

　本発明は、モールド（１２）の表面に形成された、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナの表面に光を照射するライン状照明装置（１４）（照明手段）と、陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ（１６）（撮像手段）と、カラーラインＣＣＤカメラ（１６）により撮像された画像から得られた色の情報に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理装置（１８）（画像処理手段）とを有する、陽極酸化アルミナの検査装置に関する。本発明は、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチを簡易に検査でき、細孔の形状が安定した陽極酸化アルミナを製造する方法を提供することができる。

Description

陽極酸化アルミナの製造方法、検査装置および検査方法

　本発明は、アルミニウム基材の表面に形成された、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナ（多孔質の酸化皮膜）の製造方法、検査方法および検査装置に関する。
　本願は２０１０年３月２５日に日本に出願された特願２０１０－０７０２７９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　可視光波長以下のピッチの微細凹凸構造を表面に有する物品は、反射防止機能等を発現することから、その有用性が注目されている。特に、モスアイ（Ｍｏｔｈ－Ｅｙｅ）構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から材料の屈折率に連続的に増大していくことで有効な反射防止機能を発現することが知られている。

　微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法としては、下記の方法が知られており、生産性、および経済性の点から、（ｉｉ）の方法が優れている。
　（ｉ）透明基材等の表面を直接加工して微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法。
　（ｉｉ）微細凹凸構造に対応した反転構造を有するモールドを用いて、透明基材等の表面に反転構造を転写する方法。

　モールドに反転構造を形成する方法としては、電子線描画法、およびレーザー光干渉法等が知られている。近年、より簡便に反転構造を形成できる方法として、アルミニウム基材の表面を陽極酸化する方法が注目されている（例えば、特許文献１参照）。
　アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって形成される陽極酸化アルミナは、アルミニウムの酸化皮膜（アルマイト）であり、ピッチが可視光の波長以下である２個以上の細孔からなる微細凹凸構造を有する。

　前記陽極酸化アルミナにおいては、陽極酸化の際にアルミニウム基材を浸漬させる電解液の濃度や温度にムラが生じたり、アルミニウム基材の表面の性状にムラがあったりすると、細孔の深さや細孔間のピッチに多少のムラが生じることがある。陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチが設計どおりに形成されない領域の面積が大きくなると、そのモールドは、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造に用いることができない。しかし、これまで、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチを簡易に検査できる方法がなかった。

特開２００５－１５６６９５号公報

　本発明は、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチを簡易に検査でき、細孔の形状が安定した陽極酸化アルミナを製造する方法を提供する。

　本発明者は、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）に応じて、陽極酸化アルミナからの反射光の色が変化することを見出し、本発明に至った。
　陽極酸化アルミナからの反射光の色は、しゃぼんだまに見られるような一般的な薄膜の干渉色だけではなく、陽極酸化アルミナの細孔の深さやピッチなどの構造の影響を反映したものである。

　本発明の陽極酸化アルミナの検査装置は、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する装置であって、陽極酸化アルミナの表面に光を照射する照明手段と、陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された画像から得られた色の情報に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段とを有することを特徴とする。

　本発明の陽極酸化アルミナの検査方法は、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する方法であって、陽極酸化アルミナの表面に照明手段から光を照射し、陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像し、撮像手段により撮像された画像から色の情報を取得し、前記色の情報に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することを特徴とする。

　すなわち、本発明は以下に関する。
（１）２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを製造する方法であって、陽極酸化アルミナ形成後に陽極酸化アルミナ表面に照明手段から光を照射すること、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像すること、前記撮像手段により撮像された画像から色の情報を取得すること、および前記色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む陽極酸化アルミナの製造方法。
（２）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像することを含む、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
（３）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像することを含む、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
（４）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像することを含む、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
（５）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することが、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、および前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
（６）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することが、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換すること、および前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
（７）前記陽極酸化アルミナ形成後に陽極酸化アルミナ表面に照明手段から光を照射することの前に、さらに、下記の工程（ａ）～（ｅ）を含む前記陽極酸化アルミナを形成する工程を有する、（１）に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　（ａ）鏡面化されたアルミニウム基材の表面を電解液中、定電圧下で陽極酸化して、表面に酸化皮膜を形成する工程。
　（ｂ）前記酸化皮膜を除去し、陽極酸化の細孔発生点を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程。
　（ｃ）前記細孔発生点が形成されたアルミニウム基材の表面を、電解液中、定電圧下で再度陽極酸化して、前記細孔発生点に対応した細孔を有する酸化皮膜を表面に形成する工程。
　（ｄ）前記細孔の径を拡大させる工程。
　（ｅ）前記工程（ｃ）と工程（ｄ）とを繰り返し行う工程。

（８）２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する方法であって、前記陽極酸化アルミナの表面に照明手段から光を照射すること、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像すること、前記撮像手段により撮像された画像から色の情報を取得すること、および前記色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することを含む、陽極酸化アルミナの検査方法。
（９）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像することを含む、（８）に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
（１０）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像することを含む、（８）に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
（１１）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像することを含む、（８）に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
（１２）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することが、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、および前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、（８）に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
（１３）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することが、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換すること、および前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、（８）に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。

（１４）２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する装置であって、前記陽極酸化アルミナの表面に光を照射する照明手段と、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像から得られた色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段とを有する、陽極酸化アルミナの検査装置。
（１５）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像する手段である、（１４）に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
（１６）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像する手段である、（１４）に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
（１７）前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像する手段である、（１４）に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
（１８）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段が、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像する手段と、前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査する手段とを含む、（１４）に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
（１９）前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段が、前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像する手段と、前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換する手段と、前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査する手段とを含む、（１４）に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。

　本発明の陽極酸化アルミナの製造方法、検査装置および検査方法によれば、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチを簡易に検査でき、細孔の形状が安定した陽極酸化アルミナを製造することができる。

本発明の陽極酸化アルミナの検査装置の一例を示す概略構成図である。本発明の陽極酸化アルミナの検査装置の他の例を示す概略構成図である。陽極酸化アルミナを表面に有するモールドの製造工程を示す断面図である。本発明により撮像した陽極酸化アルミナ細孔異常部の画像である。撮像角度５°～３５°間の１０°おきの撮像画像の１ラインを抜き出したものである。撮像角度４５°～８５°間の１０°おきの撮像画像の１ラインを抜き出したものである。撮像角度５°～８５°間の５°おきの各撮像画像にて正常部と異常部の色相差をプロットしたものである。

（検査装置）
　図１は、本発明の陽極酸化アルミナの検査装置の一例を示す概略構成図である。
　検査装置は、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナがロール状のアルミニウム基材の表面に形成された、ロール状のモールド１２を回転させる回転手段（図示略）と、モールド１２にライン状に光を照射するライン状照明装置１４（照明手段）と、モールド１２の陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１６（撮像手段）と、カラーラインＣＣＤカメラ１６からの画像信号を処理する画像処理装置１８（画像処理手段）とを有する。

　ライン状照明装置１４は、モールド１２への光の照射範囲の長手方向がモールド１２の周方向（回転方向）に直交するように配置される。
　ライン状照明装置１４としては、高周波点灯の蛍光灯点灯装置、ロッド照明、ライン状に配置された光ファイバ照明、およびＬＥＤ照明等が挙げられる。
　また、照明はライン状照明装置に関わらず、面状照明装置、またはスポット状照明装置でもよい。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６は、２個以上のカラーＣＣＤ素子が１次元に配置されたカメラであり、ライン状照明装置１４から照射され、モールド１２の陽極酸化アルミナの表面にて反射した光をカラーＣＣＤ素子で受光し、画素ごとにＲＧＢの画像信号を出力するものである。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６は、撮像範囲の長手方向がモールド１２の周方向（回転方向）に直交するように配置される。また、カラーラインＣＣＤカメラ１６は、撮像範囲にあるモールド１２の陽極酸化アルミナの表面（接平面）の法線Ｎに対して、カラーラインＣＣＤカメラ１６の光軸Ｌの角度θが４５～８９．９°となるように配置されることが好ましい。前記角度θが４５°以上であれば、陽極酸化アルミナの細孔アスペクト比（深さ／ピッチ）に対応した、陽極酸化アルミナの表面の反射光の色が明確に現れる。角度θが６５°以上であれば、４５°の時よりもノイズの影響を受けにくくなり、角度θが８０°以上であればさらに好ましく、角度θが８５°以上であればより好ましい。角度θが８９．９°を超えると、撮像が困難になる。
　前記角度θは４５°～８９．９°が好ましく、６５°～８９．９°がより好ましく、８０°～８９．９°がさらに好ましく、８５°～８９．９°が特に好ましい。

　画像処理装置１８は、カラーラインＣＣＤカメラ１６から出力された画素ごとの２５６階調のＲＧＢの画像信号を取得し、取得した画像信号に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する。
　また、判定の簡単化の目的で、ＲＧＢの画像信号をＨＳＶ表色系に変換し、階調化された色相（Ｈ）のデジタル情報に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することも可能である。
　前記アスペクト比（深さ／ピッチ）の所定の範囲とは、任意に設定することができ、０．５～４．０が好ましく、１．０～３．５がより好ましく、１．８～３．５がさらに好ましく、２．０～３．０が最も好ましい。

　判定に際して、具体的には、色の階調があらかじめ設定された階調の範囲外にあるＮＧ画素を抽出し、所定の領域（例えば２０００×４０００ピクセル）におけるＮＧ画素の割合が、所定の割合（例えば５％）を超えた場合等において、検査対象のモールド１２が不良品であると判定する。

　例えば、ＲＧＢの画像信号にて判定する場合は、以下のように行う。
　モールド１２の陽極酸化アルミナの細孔の深さおよび細孔間のピッチを、それぞれ２００ｎｍおよび１００ｎｍ（アスペクト比：２）と設計し、設計どおりの陽極酸化アルミナが形成された場合、前記陽極酸化アルミナの反射光の色を実測すると、Ｒ：１９０、Ｇ：１６０、Ｂ：１２０となる。よって、良品のモールド１２における色の範囲は、例えばＲＧＢのいずれか一つでも±１０以内と設定する。

　また、ＨＳＶ表色系に判定する場合は、例えば、以下のように行う。
　モールド１２の陽極酸化アルミナの細孔の深さおよび細孔間のピッチを、それぞれ２００ｎｍおよび１００ｎｍ（アスペクト比：２）と設計し、設計どおりの陽極酸化アルミナが形成された場合、前記陽極酸化アルミナの反射光の色相（Ｈ）を実測すると、薄い赤（Ｈ＝２４前後）となる。よって、良品のモールド１２における色相（Ｈ）の階調の範囲は、例えば１４～３４と設定する。

　一方、モールド１２の陽極酸化アルミナの細孔の深さおよび細孔間のピッチを、それぞれ１００ｎｍおよび１００ｎｍ（アスペクト比：１）と設計し、設計どおりの陽極酸化アルミナが形成された場合、前記陽極酸化アルミナの反射光の色相（Ｈ）を実測すると、薄い緑（Ｈ＝５１前後）となる。同様に、モールド１２の陽極酸化アルミナの細孔の深さおよび細孔間のピッチを、それぞれ２００ｎｍおよび２００ｎｍ（アスペクト比：１）と設計し、設計どおりの陽極酸化アルミナが形成された場合、前記陽極酸化アルミナの反射光の色相（Ｈ）を実測すると、薄い黄（Ｈ＝３８前後）となる。よって、設計どおりの陽極酸化アルミナが形成されていない部分に対応する画素の色相（Ｈ）の階調は、あらかじめ設定された階調の範囲（例えばＨ＝１４～３４）外となる。

　なお、ＨＳＶ変換および判定を行う手段は専用のハードウエアにより実現されるものであってもよく、また、ＨＳＶ変換および判定を行う手段は少なくともメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、ＨＳＶ変換換および判定の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
　また、画像処理装置には、周辺機器として、入力装置、表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、およびキーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴ、および液晶表示装置等のことをいう。

（検査方法）
　図１に示す検査装置を用いた陽極酸化アルミナの検査方法について説明する。

　まず、陽極酸化アルミナの細孔の深さおよび細孔間のピッチがそれぞれ２００ｎｍおよび１００ｎｍ（アスペクト比：２）となるような条件にてロール状のアルミニウム基材の表面の陽極酸化を行い、モールド１２を得る。

　モールド１２を回転手段に取り付け、回転するロール状のモールド１２の陽極酸化アルミナの表面に、ライン状照明装置１４から光を照射する。
　陽極酸化アルミナの表面からの反射光をカラーラインＣＣＤカメラ１６にて撮像する。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６から出力された、モールド１２の陽極酸化アルミナの表面の１周分の画像について、画像処理装置１８において、画素ごとにＲＧＢの画像信号を、必要に応じてＨＳＶ表色系に変換し、２５６階調で表される色（色相（Ｈ））のデジタル情報を得る。

　画像処理装置１８において、モールド１２の陽極酸化アルミナの表面の１周分の画像から、色相（Ｈ）の階調があらかじめ設定された階調の範囲（例えばＨ＝１４～３４）外にあるＮＧ画素を抽出し、所定の領域（例えば２０００×４０００ピクセル）におけるＮＧ画素の割合が、所定の割合（例えば５％）を超えた場合等において、検査対象のモールド１２が不良品であると判定する。

　以上説明した本発明の陽極酸化アルミナの検査装置および検査方法にあっては、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）に応じて、陽極酸化アルミナの表面の反射光の色が変化することを利用して、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比が設計どおりに形成されているかを見積もることができるため、例えば、電子顕微鏡を用いた陽極酸化アルミナの断面観察による細孔の深さや細孔間のピッチの測定方法に比べ、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチが設計どおりに形成されているかを簡易に検査できる。

　なお、本発明の陽極酸化アルミナの検査装置は、陽極酸化アルミナの表面に光を照射する照明手段と、陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された画像から得られた色の情報に基づいて、陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段とを有するものであればよく、図示例のものに限定はされない。

　例えば、図２に示すように、移動手段２０によって水平方向に移動する平板状のモールド１２の検査を行う検査装置であってもよい。
　また、検査対象のモールド１２が不良品であると判定する方法も、上述の方法に限定されない。
　また、撮像手段も上述ではカラーラインＣＣＤカメラを用いているが、光検出器にて反射スペクトルを測定し、反射スペクトルから良品、および不良品を判定する検査装置であってもよい。
また、画像処理装置における画像信号の処理方法として、２５６階調の画像信号として処理しているが、画像信号から正常部と異常部を判別できれば良いため、５１２階調でも、１０２４階調でも、もしくはアナログ信号であってもよい。

（製造方法）
　以下、アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって、ピッチが可視光の波長以下である２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドについて説明する。

　モールドの製造方法としては、下記の工程を順に行う方法が好ましい。
　第１の酸化皮膜形成工程（ａ）：
　鏡面化されたアルミニウム基材の表面を電解液中、定電圧下で陽極酸化して、表面に酸化皮膜を形成する（以下、工程（ａ）とも記す。）。
　酸化皮膜除去工程（ｂ）：
　酸化皮膜の少なくとも一部を除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する（以下、工程（ｂ）とも記す。）。
　第２の酸化皮膜形成工程（ｃ）：
　細孔発生点が形成されたアルミニウム基材を電解液中、定電圧下で再度陽極酸化して、細孔発生点に対応した細孔を有する酸化皮膜を表面に形成する（以下、工程（ｃ）とも記す。）。
　孔径拡大処理工程（ｄ）：
　細孔の径を拡大させる（以下、工程（ｄ）とも記す。）。
　繰り返し工程（ｅ）：
　必要に応じて、第２の酸化皮膜形成工程（ｃ）と孔径拡大処理工程（ｄ）とを繰り返し行う（以下、工程（ｅ）とも記す。）。

　工程（ａ）～（ｅ）を有する方法によれば、鏡面化されたアルミニウム基材の表面に、開口部から深さ方向に徐々に径が縮小するテーパ形状の細孔が周期的に形成され、その結果、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドを得ることができる。

　工程（ａ）の前に、アルミニウム基材の表面の酸化皮膜を除去する前処理を行ってもよい。酸化皮膜を除去する方法としてはクロム酸／リン酸混合液に浸漬する方法等が挙げられる。
　また、細孔の配列の規則性はやや低下するが、モールドの表面を転写した材料の用途によっては工程（ａ）を行わず、工程（ｃ）から行ってもよい。
　以下、各工程を詳細に説明する。

　工程（ａ）：
　第１の酸化皮膜形成工程（ａ）では、鏡面化されたアルミニウム基材の表面を電解液中、定電圧下で陽極酸化し、図３に示すように、アルミニウム基材３０の表面に、細孔３１を有する酸化皮膜３２を形成する。
　電解液としては、酸性電解液、およびアルカリ性電解液が挙げられ、酸性電解液が好ましい。
　酸性電解液としては、シュウ酸、硫酸、およびこれらの混合物等が挙げられる。

　シュウ酸を電解液として用いる場合、シュウ酸の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸の濃度が０．７Ｍを超えると、陽極酸化時の電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
　また、陽極酸化時の電圧を３０～６０Ｖとすることにより、ピッチが１００ｎｍ程度の規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドを得ることができる。陽極酸化時の電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にあり、ピッチが可視光の波長より大きくなることがある。
　電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象が起こる傾向にあり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。

　硫酸を電解液として用いる場合、硫酸の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸の濃度が０．７Ｍを超えると、陽極酸化時の電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
　また、陽極酸化時の電圧を２５～３０Ｖとすることにより、ピッチが６３ｎｍ程度の規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドを得ることができる。陽極酸化時の電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向があり、ピッチが可視光の波長より大きくなることがある。
　電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がより好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象が起こる傾向にあり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。

　工程（ａ）では、陽極酸化を長時間施すことで形成される酸化皮膜が厚くなり、細孔の配列の規則性を向上させることができるが、その際、酸化皮膜の厚さを３０μｍ以下とすることにより、結晶粒界によるマクロな凹凸がより抑制され、光学用途の物品の製造により適したモールドを得ることができる。酸化皮膜の厚さは、１～１０μｍがより好ましく、１～３μｍがさらに好ましい。酸化皮膜の厚さは、電界放出形走査電子顕微鏡等で観察できる。

　工程（ｂ）：
　工程（ａ）の後、工程（ａ）により形成された酸化皮膜３２を除去することにより、図３に示すように、除去された酸化皮膜３２の底部（バリア層と呼ばれる）に対応する周期的な窪み、すなわち、細孔発生点３３を形成することができる。
　形成された酸化皮膜３２を一旦除去し、陽極酸化の細孔発生点３３を形成することで、最終的に形成される細孔の規則性を向上させることができる（例えば、益田、「応用物理」、２０００年、第６９巻、第５号、ｐ．５５８参照。）。なお、細孔が高い規則性を有する必要がない場合、工程（ｂ）において酸化被膜３２を完全に除去しても良く、少なくとも一部を除去するようにしても構わない。

　酸化皮膜３２を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、アルミナを選択的に溶解する溶液によって除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸／リン酸混合液等が挙げられる。

　工程（ｃ）：
　細孔発生点３３が形成されたアルミニウム基材３０を電解液中、定電圧下で再度陽極酸化し、再び酸化皮膜を形成する。
　工程（ｃ）では、工程（ａ）と同様の条件（電解液濃度、電解液温度、および化成電圧等）下で陽極酸化すればよい。
　これにより、図３に示すように、円柱状の細孔３４が形成された酸化皮膜３５を形成できる。工程（ｃ）においても、陽極酸化を長時間施すほど、深い細孔を得ることができるが、例えば反射防止物品などの光学用の物品を製造するためのモールドを製造する場合には、ここでは０．０１～０．５μｍ程度の酸化皮膜を形成すればよく、工程（ａ）で形成するほどの厚さの酸化皮膜を形成する必要はない。

　工程（ｄ）：
　工程（ｃ）の後、工程（ｃ）で形成された細孔３４の径を拡大させる孔径拡大処理を行って、図３に示すように、細孔３４の径を拡径する。
　孔径拡大処理の具体的方法としては、アルミナを溶解する溶液に浸漬して、工程（ｃ）で形成された細孔の径をエッチングにより拡大させる方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。工程（ｄ）の時間を長くするほど、細孔の径は大きくなる。

　工程（ｅ）：
　再度、工程（ｃ）を行って、図３に示すように、細孔３４の形状を径の異なる２段の円柱状とし、その後、再度、工程（ｄ）を行う。このように工程（ｃ）と工程（ｄ）を繰り返す、繰り返し工程（ｅ）により、図３に示すように、細孔３４の形状を開口部から深さ方向に徐々に径が縮小するテーパ形状にでき、その結果、周期的な２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールド１２を得ることができる。

　工程（ｃ）および工程（ｄ）の条件、例えば、陽極酸化の時間および孔径拡大処理の時間を適宜設定することにより、様々な形状の細孔を形成することができる。よって、モールドから製造しようとする物品の用途等に応じて、これら条件を適宜設定すればよい。また、このモールドが反射防止膜等の反射防止物品を製造するものである場合には、このように条件を適宜設定することにより、細孔のピッチや深さを任意に変更できるため、最適な屈折率変化を設計することも可能となる。

　こうして製造されたモールドは、多数の周期的な細孔が形成された結果、表面に微細凹凸構造を有するものとなる。そして、この微細凹凸構造における細孔のピッチが可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下であると、いわゆるモスアイ構造となる。
　ピッチは、微細凹凸構造の凹部（細孔）の中心からこれに隣接する凹部（細孔）の中心までの距離である。
　ピッチが４００ｎｍより大きいと可視光の散乱が起こるため、十分な反射防止機能は発現せず、反射防止膜等の反射防止物品の製造には適さない。
　前記ピッチは、５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下が好ましく、７０ｎｍ以上３００ｎｍ以下がより好ましく、８０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下がさらに好ましい。

　モールドが反射防止膜等の反射防止物品を製造するものである場合には、細孔のピッチが可視光の波長以下であるとともに、細孔の深さは、５０ｎｍ以上であることが好ましく、１００ｎｍ以上であることがより好ましい。
　深さは、微細凹凸構造の凹部（細孔）の開口部から最深部までの距離である。
　細孔の深さが５０ｎｍ以上であれば、モールドの表面の転写により形成された光学用途の物品の表面、すなわち転写面の反射率が低下する。

　また、モールドの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）は１．０～４．０が好ましく、１．３～３．５がより好ましく、１．８～３．５がさらに好ましく、２．０～３．０が最も好ましい。アスペクト比が１．０以上であれば、反射率が低い転写面を形成でき、その入射角依存性や波長依存性も十分に小さくなる。アスペクト比が４．０より大きいと転写面の機械的強度が低下する傾向がある。

　モールドの形状は、平板でもあってもよく、ロール状であってもよい。
　モールドの微細凹凸構造が形成された表面は、離型が容易になるように、離型処理が施されていてもよい。離型処理の方法としては、例えば、シリコーン系ポリマーやフッ素ポリマーをコーティングする方法、フッ素化合物を蒸着する方法、およびフッ素系またはフッ素シリコーン系のシランカップリング剤をコーティングする方法等が挙げられる。

　上記のようにして製造したモールドを、平板であれば図２に示した検査装置により、ロール状であれば図１に示した検査装置により、陽極酸化アルミナの表面からの反射光をカラーラインＣＣＤカメラ１６にて撮像する。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６から出力された、モールド１２の陽極酸化アルミナ表面の画像について、画像処理装置１８において、画素ごとにＲＧＢの画像信号を、必要に応じてＨＳＶ表色系に変換し、色（色相（Ｈ））の情報を得る。

　取得した色の情報からモールド１２の良否を判定し、良品であれば微細凹凸構造を表面に有する物品の製造工程等へとモールド１２を進める。不良品であり、モールド全体に均一な欠陥、ナノホールの細孔の深さが全体的に深いまたは浅い欠陥、或いは、ナノホールの細孔のピッチが全体的に広いまたは狭いような欠陥であれば、モールド１２に対して前記陽極酸化工程（ａ）～（ｅ）のいずれかを再度実施し、陽極酸化アルミナを修復する。モールド全体ではなく、部分的にナノホールの形状が異常であり、前記陽極酸化工程（ａ）～（ｅ）のいずれかの実施だけでは修復できないような欠陥の場合は、陽極酸化アルミナ層をアルミニウム基材ごと除去し、前記陽極酸化工程（ａ）～（ｅ）を最初から実施しても良い。陽極酸化アルミナの再形成後、再度検査を行い、モールド１２が良品となるまで陽極酸化工程と検査工程を繰り返し実施する。

　以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

（モールドａ）
　直径：６５ｍｍ、厚さ：２ｍｍの円板状のアルミニウム基材（純度９９．９９％）を、算術平均粗さＲａが２０ｎｍ以下となる条件にて鏡面研磨した。
　工程（ａ）：
　前記アルミニウム基材について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流：４０Ｖ、温度：１６℃の条件で３０分間陽極酸化を行った。
　工程（ｂ）：
　酸化皮膜が形成されたアルミニウム基材を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に浸漬して、酸化皮膜を除去した。

　工程（ｃ）：
　前記アルミニウム基材について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流：４０Ｖ、温度：１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。
　工程（ｄ）：
　酸化皮膜が形成されたアルミニウム基材を、３０℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
　工程（ｅ）：
　前記工程（ｃ）および工程（ｄ）を合計で５回繰り返し、平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：２００ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成された円板状のモールドａを得た。

（モールドｂ）
　前記工程（ｃ）における陽極酸化の時間を２０秒に変更した以外は、モールドａの製造と同様にして、平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：１００ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成された円板状のモールドｂを得た。

（モールドｃ）
　純度９９．９９％のアルミニウムインゴットを外径：２００ｍｍ、内径：１５５ｍｍ、長さ：３５０ｍｍに切断した圧延痕のない円筒状のアルミニウム基材に、羽布研磨処理を施した後、これを過塩素酸／エタノール混合溶液中（体積比：１／４）で電解研磨し、鏡面化した。

　工程（ａ）：
　前記アルミニウム基材について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流：４０Ｖ、温度：１６℃の条件で３０分間陽極酸化を行った。
　工程（ｂ）：
　厚さ３μｍの酸化皮膜が形成されたアルミニウム基材を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に浸漬して、酸化皮膜を除去した。

　工程（ｃ）：
　前記アルミニウム基材について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流：４０Ｖ、温度：１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。この際、シュウ酸水溶液中の温度にムラが生じるように、シュウ酸水溶液の撹拌を止めた。
　工程（ｄ）：
　酸化皮膜が形成されたアルミニウム基材を、３０℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
　工程（ｅ）：
　前記工程（ｃ）および工程（ｄ）を合計で５回繰り返し、設計上では平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：２００ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたロール状のモールドｃを得た。

　（モールドｄ）
　前記工程（ｃ）におけるシュウ酸水溶液中の温度にムラが生じないように、シュウ酸水溶液の撹拌を実施した以外は、モールドｃの製造と同様にして、平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：２００ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたロール状のモールドｄを得た。

〔参考例１〕
　陽極酸化アルミナが形成された面が上側となるように、モールドａを卓上に設置し、約３０ｃｍ離れた場所から、デジタルカメラ（キヤノン社製、ＩＸＹ　ＤＩＧＩＴＡＬ　５５）にて陽極酸化アルミナの表面を撮影した。この際、モールドａの陽極酸化アルミナの表面（接平面）の法線Ｎに対して、デジタルカメラの光軸Ｌの角度θが約７０°となるように撮影した。
　撮影の結果、平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：２００ｎｍ（アスペクト比：２）の略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナの表面は、薄い赤色であることが確認された。

〔参考例２〕
　モールドａをモールドｂに変更した以外は、参考例１と同様にして陽極酸化アルミナの表面を撮影した。
　撮影の結果、平均ピッチ：１００ｎｍ、深さ：１００ｎｍ（アスペクト比：１）の略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナの表面は、薄い緑色であることが確認された。

〔実施例１〕
　図１に示す検査装置を用い、上述の検査方法にてモールドの陽極酸化アルミナの検査を実施した。
　モールド１２は、モールドｃとした。
　ライン状照明装置１４としては、Ｐａｎａｓｏｎｉｃ社製の蛍光光源ＦＬ２０ＳＳ・ＥＸ－Ｎ／１８を４０ｋＨｚにて用いた。
　カラーラインＣＣＤカメラ１６としては、ＪＡＩ社製のＣＶ－Ｌ１０７ＣＬ－３ＣＣＤを用いた。
　画像処理装置１８としては、Ｍａｔｒｏｘ社製のＭＩＬ９を用いた。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６は、撮像範囲にあるモールド１２の陽極酸化アルミナの表面（接平面）の法線Ｎに対して、カラーラインＣＣＤカメラ１６の光軸Ｌの角度θを５°から８５°の間で条件を変えながら撮像した。
　モールド１２とカラーラインＣＣＤカメラ１６との距離は約５０ｃｍとした。
　ライン状照明装置１４は反射光がカラーラインＣＣＤカメラ１６に入るように配置した。

　図４は光軸Ｌの角度θ＝８５°の条件にて、モールド１２の陽極酸化アルミナの表面１周分を撮像した画像の一部分を切り出し、カラーからモノクロに変換した画像である。
　陽極酸化アルミナの細孔異常部１０１が画像中央付近に黒く撮像されている。

光軸Ｌの角度θを５°～８５°間の１０°おきにて撮像した画像を、画像処理装置１８にてＲＧＢ信号から色相（Ｈ）信号に変換し、異常部を含む１ラインのデータを図５および図６に示した。
　色相（Ｈ）は通常、０～３６０°で表現するが、画像処理装置１８内では０～３６０°を０～２５５の８ｂｉｔデータで表現している。
　１ラインのデータ位置は、図４の１０２で示す１ラインであり、他の光軸Lの角度θで撮像した画像においても同じ位置のデータである。
　図５および図６の各グラフの縦軸は正常部の色相（Ｈ）を基準とし、異常部との色相（Ｈ）との差分を取った値である。また、横軸は画素である。

　例えば検出閾値を色相差１．０以上とした場合、図５の光軸Ｌの角度θ＝５°～３５°では、異常部が検出不可であり、図６の光軸Ｌの角度θ＝４５°から検出が可能となり、光軸Ｌの角度θがさらに大きくなるにつれて、検出感度が高くなる。
　撮像角度５°～８５°間の５°おきの各撮像画像にて正常部と異常部の色相差をプロットしたものを図７に示した。
　光軸Ｌの角度θ＝６５°では４５°の時よりも正常部と異常部の色相差が大きいため感度良く検出でき、光軸Ｌの角度θ＝８０°ではさらに検出感度が高くなり、図７の光軸Ｌの角度θ＝８５°ではさらに感度良く検出できる。

　上述の実施例より、本発明を実施するための形態は、撮像範囲にあるモールドの陽極酸化アルミナの表面（接平面）の法線Ｎに対して、カラーラインＣＣＤカメラの光軸Ｌの角度θは４５°以上から可能となるが、好ましくは６５°以上であり、より好ましくは８０°以上であり、さらに好ましくは８５°以上である。
〔実施例２〕
　図１に示す検査装置を用い、上述の検査方法にてモールドの陽極酸化アルミナの検査を実施した。
　モールド１２は、モールドｄとした。
　ライン状照明装置１４としては、Ｐａｎａｓｏｎｉｃ社製の蛍光光源ＦＬ２０ＳＳ・ＥＸ－Ｎ／１８を４０ｋＨｚにて用いた。
　カラーラインＣＣＤカメラ１６としては、ＪＡＩ社製のＣＶ－Ｌ１０７ＣＬ－３ＣＣＤを用いた。
　画像処理装置１８としては、Ｍａｔｒｏｘ社製のＭＩＬ９を用いた。

　カラーラインＣＣＤカメラ１６は、撮像範囲にあるモールド１２の陽極酸化アルミナの表面（接平面）の法線Ｎに対して、カラーラインＣＣＤカメラ１６の光軸Ｌの角度θは８０°とした。
　モールド１２とカラーラインＣＣＤカメラ１６との距離は約５０ｃｍとした。
　ライン状照明装置１４は反射光がカラーラインＣＣＤカメラ１６に入るように配置した。

　モールド１２の陽極酸化アルミナの表面１周分を撮像した画像を画像処理装置１８にてＲＧＢ信号から０～２５５の８ｂｉｔデータの色相（Ｈ）信号に変換した。
　陽極酸化アルミナの表面１周分の色相信号を画像全体に渡って平均し、その平均値から１．０以上異なる画素を異常部としたが、モールド１２において異常部は検出されなかった。
　モールド１２を用いて、微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムを作製した所、ムラの無いフィルムを作ることができた。
　また、参考として実施例２にて用いたモールドｃにて同様に微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムを作製した所、ムラの有るフィルムとなった。

　上述の実施例より、本発明による陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査する工程により、陽極酸化アルミナの細孔の深さや細孔間のピッチを簡易に検査でき、細孔の形状が安定した陽極酸化アルミナを製造することができる。

　本発明の陽極酸化アルミナの製造方法、検査方法および検査装置は、アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって、ピッチが可視光の波長以下である２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドの製造に有用である。

　１２　モールド
　１４　ライン状照明装置（照明手段）
　１６　カラーラインＣＣＤカメラ（撮像手段）
　１８　画像処理装置（画像処理手段）
　３４　細孔
　３５　酸化皮膜（陽極酸化アルミナ）
　１０１　陽極酸化アルミナの細孔異常部

Claims

　２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを製造する方法であって、
　陽極酸化アルミナ形成後に陽極酸化アルミナ表面に照明手段から光を照射すること、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像すること、
　前記撮像手段により撮像された画像から色の情報を取得すること、および
　前記色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することが、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、および
　前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することが、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、
　前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換すること、および
　前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　前記陽極酸化アルミナ形成後に陽極酸化アルミナ表面に照明手段から光を照射することの前に、さらに、下記の工程（ａ）～（ｅ）を含む前記陽極酸化アルミナを形成する工程を有する、請求項１に記載の陽極酸化アルミナの製造方法。
　（ａ）鏡面化されたアルミニウム基材の表面を電解液中、定電圧下で陽極酸化して、表面に酸化皮膜を形成する工程。
　（ｂ）前記酸化皮膜を除去し、陽極酸化の細孔発生点を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程。
　（ｃ）前記細孔発生点が形成されたアルミニウム基材の表面を、電解液中、定電圧下で再度陽極酸化して、前記細孔発生点に対応した細孔を有する酸化皮膜を表面に形成する工程。
　（ｄ）前記細孔の径を拡大させる工程。
　（ｅ）前記工程（ｃ）と工程（ｄ）とを繰り返し行う工程。
　２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する方法であって、
　前記陽極酸化アルミナの表面に照明手段から光を照射すること、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像すること、
　前記撮像手段により撮像された画像から色の情報を取得すること、および
　前記色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することを含む、陽極酸化アルミナの検査方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項８に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項８に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像手段にて撮像することが、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像することを含む、請求項８に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することが、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、および
　前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、請求項８に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定することが、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像すること、
　前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換すること、および
　前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査することを含む、請求項８に記載の陽極酸化アルミナの検査方法。
　２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナを検査する装置であって、
　前記陽極酸化アルミナの表面に光を照射する照明手段と、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段と、
　前記撮像手段により撮像された画像から得られた色の情報に基づいて、前記陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段と
　を有する、陽極酸化アルミナの検査装置。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が４５～８９．９°となるように撮像する手段である、請求項１４に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が６５～８９．９°となるように撮像する手段である、請求項１４に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光を撮像する撮像手段が、
　前記陽極酸化アルミナ表面の法線に対して、前記撮像手段の光軸の角度が８０～８９．９°となるように撮像する手段である、請求項１４に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段が、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像する手段と、
　前記ＲＧＢ信号の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査する手段とを含む、請求項１４に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。
　前記色の情報に基づいて陽極酸化アルミナの細孔のアスペクト比（深さ／ピッチ）が所定の範囲内にあるかを判定する画像処理手段が、
　前記陽極酸化アルミナの表面からの反射光をＲＧＢ信号として撮像する手段と、
　前記ＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系に変換する手段と、
　前記ＨＳＶ表色系の情報に基づいて前記陽極酸化アルミナの細孔の形状を検査する手段とを含む、請求項１４に記載の陽極酸化アルミナの検査装置。