WO2011092131A1 - Device for transporting plate-shaped substrates in a system for chemical and/or electrochemical treatment - Google Patents

Device for transporting plate-shaped substrates in a system for chemical and/or electrochemical treatment Download PDF

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WO2011092131A1
WO2011092131A1 PCT/EP2011/050885 EP2011050885W WO2011092131A1 WO 2011092131 A1 WO2011092131 A1 WO 2011092131A1 EP 2011050885 W EP2011050885 W EP 2011050885W WO 2011092131 A1 WO2011092131 A1 WO 2011092131A1
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transport
shaft
bearing
glass
transport element
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Application number
PCT/EP2011/050885
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German (de)
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Inventor
Michael Kreitschy
Henry Kunze
Armin Lutsch
Original Assignee
Atotech Deutschland Gmbh
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    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/06—Wires; Strips; Foils
    • C25D7/0614—Strips or foils
    • C25D7/0664—Isolating rolls
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating

Definitions

  • the present invention relates to a device for transporting
  • the plate-shaped substrates may, for. B., wafers, solar cells, flexible films, in particular printed circuits such as printed circuit boards and conductor foils.
  • the plate-shaped substrates are e.g. conveyed in the horizontal direction, wherein they are conveyed between a plurality of similar rotating transport elements, which may have a drive, and at the same time constitute a support and a conveyor drive for the plate-shaped substrates.
  • Transport elements is formed by a rotating shaft mounted on two sides, which either has a cylindrical outer surface over which the substrate is contacted and conveyed, or which, for example, has disk-shaped, cylindrical support elements for the plate-shaped substrates over which their underside rests or which rest against the top of the substrate.
  • the waves of a pair must be arranged so straight and parallel that the contact surfaces on the top and bottom of the substrate coincide exactly with each other to minimize deflection and deformation of the plate-shaped substrate and an eccentric running of the waves.
  • Support elements usually consist of a suitable thermoplastic material. Problems with the previously used axes or waves from GfK or CfK can u.a. caused by the fact that can dissolve in these materials fine splinters and contaminate the bath. Furthermore, as with uncoated metal axles, it can become a distinct and u.U. rapidly progressing metal deposition come. Coated axes have the problem that the uniformity of the layer thickness is subject to large tolerances.
  • An object of the invention is to provide a chemically inert and mechanically resilient rotating transport element with high concentricity that can accurately guide and convey the plate-shaped substrates to ensure high coating and product quality.
  • the invention proposes a device for the transport of plate-shaped substrates in a system for chemical or electrochemical treatment.
  • the system is used in particular for the currentless deposition of conductive layers.
  • the invention comprises a rotating transport element of such a transport device for plate-shaped substrates, which is part of a chemical or electrochemical treatment device.
  • the promotion is preferably carried out in a defined conveying direction, wherein a number of other similar rotating transport elements together provides for the support of the plate-shaped substrates, which are moved in the conveying direction over the rotating transport elements away.
  • the rotating transport elements or the majority of the rotating transport elements consists at least partially of mineral glass.
  • the transport element has at least one bearing part for the rotatable mounting of the
  • Transport element and at least one transport part with at least one planar or line-like contact area to the plate-shaped substrate Both the
  • Transport part and the bearing part can each be at least partially formed by mineral glass.
  • the transport element may have an axis or a shaft, which comprises mineral glass and / or is at least partially made of mineral glass, and which at least partially forms the bearing part.
  • This axle or shaft can at least partially formed by a glass rod or by a glass tube. When using a glass tube, this preferably has on both sides closed end sides.
  • the transport part of the transport element may be formed by at least one rotationally symmetrical support element for the plate-shaped substrate.
  • the transport element may have rotationally symmetrical support elements for the substrate.
  • a useful variant may consist in that the transport part comprises a rotationally symmetrical central part in the form of a roller or a tube, the / s on both end faces each receiving sections for
  • the roller itself may be graduated again in diameter, for example by a slightly tapered central region, which may have, for example, by about 0.05 to 1 mm, preferably 0.1 to 0.3 mm smaller diameter than the two-sided outer edges , which adjoin the respectively adjoining shaft stumps or bearing parts of smaller diameter.
  • a slightly tapered central region which may have, for example, by about 0.05 to 1 mm, preferably 0.1 to 0.3 mm smaller diameter than the two-sided outer edges , which adjoin the respectively adjoining shaft stumps or bearing parts of smaller diameter.
  • the transport element in addition to the rotationally symmetrical central part to each side of the central part axis-centered on a pivot pin or a stub shaft, the
  • Rotary mounting of the transport element is used and can be included in corresponding bearing sections of the system.
  • the diameter of the central part or the transport part is greater than the diameter of the shaft stumps of the bearing part or the bearing parts.
  • the at least one support element can be secured by at least one, attached to the shaft or the glass rod and / or between the
  • Shaft stumps of the bearing part or the bearing parts arranged roller may be formed with cylindrical outer circumferential surfaces.
  • the attachment of the stub shafts at the central part can be done either by integral design of the entire transport element or by suitable joining methods such as. Gluing, welding, compression or by design of suitable fixing devices.
  • An alternative embodiment of the device according to the invention provides that the support elements are formed by a plurality of at least partially regularly spaced apart, mounted on the shaft or the glass rod plastic discs with cylindrical outer circumferential surfaces and rounded edges.
  • a distance between the lateral edges of two adjacent support elements may have a value that is less than 300 mm, preferably 100 mm.
  • a meaningful variant may be that the at least one transport element is driven, in particular via a rotational transmission element arranged at least on one of the stub shafts of the transport element, for example in the form of a toothed wheel or the like.
  • the present invention comprises a conveying device with a plurality of rotating conveying elements according to one of the previously described
  • the transport elements may each be arranged in pairs one above the other in order to move between the plate-shaped substrates therethrough.
  • inventive transport element optionally have a drive.
  • the rotating transport element is also two-sided, e.g. stored on both sides. It is designed as a rotating shaft or axle, which has support elements for the plate-shaped substrates over its length. According to the present invention, at least a portion of the shaft is formed of mineral glass.
  • Transport element may be the portion of the shaft of a glass rod, in particular of a hollow glass rod, ie formed of a glass tube.
  • a glass tube has advantages over a solid glass rod, since the tube material has lower mechanical properties at lower weight.
  • the two end faces are preferably closed, so that no treatment medium can penetrate, which would be difficult to remove sufficiently, for example, during cleaning.
  • a transport element can be at least two rotationally symmetric
  • the support elements of the transport element may in particular be provided by a plurality of e.g. regularly spaced, mounted on the shaft or the glass rod or glass tube wheels e.g. Plastic discs be formed with cylindrical or convex outer surfaces and rounded edges. These plastic discs are preferably fixed without play on the shaft or on the cylindrical outer surface of the glass rod or glass tube.
  • Plastic discs can in this case be fixed firmly on the shaft, in particular by means of a shrinking process. Also, a pressing or gluing the discs is possible. Furthermore, the shaft can at least at one end
  • Have drive transmission element which may be formed, for example, by a gear made of plastic or other suitable material.
  • Drive transmission element or the gear can optionally also shrunk onto the shaft and / or glued to this.
  • the gear may optionally be pressed with the shaft, possibly in addition to a gluing.
  • the transport elements according to the invention are used in particular as
  • Transport shafts may be different and adapted to the particular application.
  • the support elements may be separated from the transport shaft formed parts. They can be placed on the transport shaft and positively or non-positively, e.g. shrunk, or cohesively, e.g. glued, connected to the transport shaft.
  • the support elements may be mounted spaced.
  • the support elements may be formed in terms of their geometry as a wheel and / or as discs and / or as rollers. Also, for example, round shapes, in which one or more support elements, for example, may have a spherical or spherical contact surface, conceivable.
  • the surface contact between the respective support element and the plate-shaped substrate to be conveyed may be linear or punctiform depending on the geometry of the respective support element.
  • the attached or shrunk support elements for example.
  • Plastic discs can be formed, provide protection of the glass shafts against Mechanical damage, eg. During their handling, when replacing the shafts and / or other maintenance of the system. For this purpose, it is advantageous if the distance between the edges of each adjacent bearing elements on smaller than 300 mm, preferably less than 100 mm.
  • the waves used mineral glass have a number of advantages, such as the special dimensional stability with sufficient elasticity, whereby plastic, ie permanent deformations are excluded. It can deform elastically to a certain extent under occurring loads, and offers for the
  • the waves are also very temperature resistant, as they can withstand high temperatures without appreciable strains.
  • the mechanical stress is low due to the relatively low weights of the transported substrates, so that the glass has sufficient strength for all applications.
  • the glass shafts can be produced quite inexpensively with high accuracy, both in terms of the required diameter and the concentricity. With a shaft length of about 500 mm to over one meter, a typical diameter may be about 10 mm. The wall thickness of the hollow glass shaft can be about 2 mm with such a dimensioning. The runout over the total length of the shaft may in this case preferably be less than 0.1 mm, while the dimensional accuracy in diameter may be +/- 0.15 mm or less.
  • the present invention also encompasses a method for the treatment of substrates, in which the substrate is transported by a device or transporting or conveying device according to one of the previously described embodiments.
  • Fig. 1 shows a schematic representation of a conveying device with a plurality of transport elements.
  • Fig. 2 shows a schematic representation of a first variant of a
  • Fig. 3 shows a schematic representation of a second variant of a
  • Fig. 4 shows a schematic representation of a third variant of a
  • FIG. 1 shows a part of a transport path within a here only partially indicated device 8 for the transport of plate-shaped substrates 10, in the horizontal direction of the arrow 12th
  • Transport direction 12 are conveyed between successively arranged pairs of rotating transport elements 14 therethrough.
  • Transport elements 14 may be arranged, which is for horizontal promotion of
  • plate-shaped substrates 10 serve in the defined conveying direction 12 and for this purpose at least partially via a drive (not shown in Fig. 1) may have. If the rotating transport elements 14 have such a drive, this is usually done via gears o. The like. On one side of the both sides mounted transport elements 14th
  • transport device 8 shown schematically in FIG. 1 also shows pairs of transport elements 14 arranged one above the other, which are spaced such that the plate-shaped substrate 10 is conveyed between the lateral surfaces 18 of the superimposed transport elements 14 to form an upper and lower rolling contact this is by no means limiting. Variants are also conceivable in which the horizontal conveyance of the substrates 10 takes place only by means of transport elements 14 arranged one behind the other, which form a horizontal supporting and conveying plane, without that above the
  • Substrates 10 more transport elements 14 are arranged.
  • the transport elements 14 are at least partially made of mineral glass.
  • the bearing parts (see Fig. 2 ff.) Of the transport elements 14 may be made of mineral glass.
  • Embodiment variant of the transport elements 14 illustrates, here are the
  • Transport elements 14 each have a transport part 20 of larger diameter and on both sides of the transport member 20 arranged bearing parts 22 for rotatably supporting the transport element 14.
  • the transport part 20 may also be referred to as a middle part.
  • This cylindrical transport part 20 forms on its lateral surface 18 a flat or line-like contact area to the plate-shaped substrate (see FIG.
  • Both the transport part 20 and the bearing part 22 may each be at least partially formed by mineral glass.
  • the bearing members 22 are formed by stub shafts 24 or shaft portions, which may also be designed as axle bolts. In the present context, however, the term "shaft" or stub shaft 24 is preferred, since this part of the bearing rotates while the bearing receptacle 26 is fixed and anchored in a part of the system
  • Shaft stubs 24, which are arranged on both end faces 28 of the middle or transport part 20 and typically coaxial with the cylindrical surface 18, are preferably made of mineral glass. This axis or shaft or the
  • Shank stumps 24 may at least partially pass through a glass rod or through a glass rod
  • Glass tube 30 may be formed. When using a glass tube 30 this may have at least one side, preferably two-sided closed end faces 32.
  • the transport part 20 of the transport element 14 is shown in FIG.
  • the roller 36 itself may be formed stepped again in diameter.
  • a slightly tapered central region 38 which may have, for example, a diameter smaller by about 0.05... 1 mm than the outer edges 40 on both sides, which are smaller in each case against the respective shaft stumps 24 or bearing parts 22 Diameter borders.
  • the plate-shaped substrate 10 only on the edge side of the outer edges 40 is transported, while the largest surface of the substrate 10 is disposed above the central constricted or slightly tapered portion 38 and is transported largely contactless.
  • a contactless transport of so-called Benefits allows, as
  • Base material for printed circuit boards are used, since only the edge portions, which are later removed, are contacted via the edge regions 40 of the roller 36.
  • the attachment of the stub shafts 24 to the central part 20 may in the
  • roller 36 can also be fixed without play on a continuous shaft or on the cylindrical jacket surface of the glass tube 30, for example by gluing or optionally also by means of a shrinking process.
  • Embodiment variant of the transport elements 14 illustrated can also be formed as a double-sided, continuously formed rotating shafts 42 of glass tube 30 having over its length a plurality of cylindrical support members 44 for the plate-shaped substrates 10 (see Fig .. 1).
  • the hollow shafts 42 are made of tubular mineral glass, on the
  • Transport elements 14 are in the illustrated embodiment by a plurality of regularly spaced, mounted on the shaft 42 and the glass tube 30 plastic discs 48 with cylindrical outer circumferential surfaces and possibly
  • plastic discs 48 are fixed without play on the shaft 42 or on the cylindrical lateral surface 46 of the glass tube 30, preferably by means of a shrinking process or by gluing or by another suitable joining method.
  • the spaced-apart support elements 44 in the form of disks 48 together form the middle part or transport part 20, while the left and right edge elements on the bearing elements 44 projecting portions of the shaft 42 each have the bearing parts 22nd form, which can be stored in bearing blocks, not shown here (see Fig. 2 and 3: bearing seat 26).
  • the support elements 44 may be formed, for example, by plastic and / or metal and / or by ceramic materials and / or by mineral glass.
  • the attached or shrunk support elements 44 which are formed in the embodiment shown in Fig. 4 by plastic discs 48, provide good protection of the glass shafts 42 against mechanical damage, eg. In their handling, when replacing the shafts 42 and / or other Maintenance of the system.
  • the support elements 44 may be made of plastic or mineral glass.
  • the transport elements 14 or shafts 42 at least at one
  • a drive transmission element as indicated in Figures 2, 3 and 4, for example, by a drive wheel 50 or gear made of plastic or other suitable material may be formed.
  • This drive transmission element or the drive wheel 50 may optionally also be shrunk and / or glued onto the shaft 42 (FIG. 4) or on the corresponding stub shaft 24 (FIGS. 2, 3).
  • the roller 36 shown in FIGS. 2 and 3 may be made, for example, of plastic, of mineral glass or of another material and may have a cylindrical outer circumferential surface and optionally slightly rounded edges.
  • the roller 36 may also have one or more constrictions o. The like. According to Fig. 3, so that the supporting portions 40 by one or more
  • the shafts 42 or shaft sections 24 made of mineral glass have a number of advantages, such as the special one
  • the shafts 42, 24 are also very temperature resistant, since they can withstand high temperatures without appreciable strains.
  • the mechanical stability is sufficient for the intended use, since the substrates 10 are often very light and lead to no significant weight load of the shafts 42, 24 used.
  • the glass shafts and glass tubes used can be produced quite inexpensively with high dimensional accuracy, both in terms of the required diameter and the concentricity. With a length of the shaft 18 of about 500 mm to over one meter, a typical diameter may be about 10 mm.
  • the wall thickness of the hollow glass shaft can be about 2 mm (+/- 30%) with such a dimensioning.
  • the runout over the total length of the shaft may in this case preferably be less than 0.1 mm, while the dimensional accuracy in
  • Diameter can be +/- 0.15 mm or less.
  • Plastic wheel 48 is very diverse in the vast majority of all relevant processes due to the chemically inert or neutral behavior.
  • the glass shafts or transport elements 14 are normally each slide-mounted at their two ends, typically in suitable bearing receptacles 26 made of plastic, in which they are easily rotatable and from which they can be removed upwards, for example, for maintenance or cleaning purposes.
  • suitable bearing receptacles 26 made of plastic, in which they are easily rotatable and from which they can be removed upwards, for example, for maintenance or cleaning purposes.
  • Axle bolts or stub shafts 24, which are rotatably mounted in the bearing receivers 26 and of which at least one can be provided with a drive wheel 50, are designated in FIGS. 2 and 3 in each case by the reference numeral 22.
  • the bearing receiver 26 may be provided with a through opening, e.g. a through-hole or a bag-like opening, e.g. a blind bore, be provided to store the shaft therein.
  • the opening may be in fluid communication with a channel such that liquid is divertable from the through opening via the channel.
  • liquid can be discharged via the channel into a further region, which is located below the through-opening.
  • the channel may for example have a diameter between about 1 mm and 10 mm.
  • the channel may have a diameter between about 2 mm and 5 mm.

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Abstract

The invention relates to a device for transporting plate-shaped substrates (10) in a system (8) for chemical and/or electrochemical treatment, in particular for currentless separation of conductive layers. The device according to the invention comprises at least one rotating transport element (14), which at least partially comprises mineral glass. The invention further relates to a conveyance device having a plurality of rotating transport elements (14), each arranged over each other in pairs, between which the plate-shaped substrates (10) can be moved.

Description

Vorrichtung zum Transport von plattenförmigen Substraten in einer Anlage zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung  Device for transporting plate-shaped substrates in a system for chemical and / or electrochemical treatment
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport von The present invention relates to a device for transporting
plattenförmigen Substraten in einer Anlage zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung, insbesondere zur stromlosen Abscheidung von leitfähigen Schichten, mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs. plate-shaped substrates in a system for chemical and / or electrochemical treatment, in particular for electroless deposition of conductive layers, having the features of the independent claim.
Zur chemischen oder elektrochemischen Behandlung von plattenförmigen Substraten dienen Behandlungsvorrichtungen, bei denen die Substrate durch ein Behandlungsbad befördert werden und dabei z.B. eine metallische Beschichtung, insbesondere Kupfer, auf den Oberflächen des folien- oder plattenartigen Substrats abgeschieden wird. Die plattenförmigen Substrate können z. B., Wafer, Solarzellen, flexible Folien, insbesondere gedruckte Schaltungen wie Leiterplatten und Leiterfolien sein. Die plattenförmigen Substrate werden z.B. in horizontaler Richtung befördert, wobei sie zwischen einer Vielzahl gleichartiger rotierender Transportelemente befördert werden, die über einen Antrieb verfügen können, und die gleichzeitig eine Auflage und einen Förderantrieb für die plattenförmigen Substrate darstellen. Jedes der rotierenden For the chemical or electrochemical treatment of plate-shaped substrates are processing devices in which the substrates are conveyed through a treatment bath and thereby, for. a metallic coating, in particular copper, is deposited on the surfaces of the foil or plate-like substrate. The plate-shaped substrates may, for. B., wafers, solar cells, flexible films, in particular printed circuits such as printed circuit boards and conductor foils. The plate-shaped substrates are e.g. conveyed in the horizontal direction, wherein they are conveyed between a plurality of similar rotating transport elements, which may have a drive, and at the same time constitute a support and a conveyor drive for the plate-shaped substrates. Each of the rotating
Transportelemente ist durch eine zweiseitig gelagerte drehende Welle gebildet, die entweder eine zylindrische Mantelfläche aufweist, über welche das Substrat kontaktiert und befördert wird, oder die bspw. über ihre Länge scheibenförmige, zylindrische Auflageelemente für die plattenförmigen Substrate aufweist, auf denen dessen Unterseite aufliegt bzw. die an der Oberseite des Substrats anliegen. Die Wellen eines Paares müssen derart gerade und parallel angeordnet sein, dass sich die Kontaktflächen an der Ober- und Unterseite des Substrats exakt miteinander decken, um eine Durchbiegung und Verformung des plattenförmigen Substrats und einen exzentrischen Lauf der Wellen möglichst gering zu halten. Transport elements is formed by a rotating shaft mounted on two sides, which either has a cylindrical outer surface over which the substrate is contacted and conveyed, or which, for example, has disk-shaped, cylindrical support elements for the plate-shaped substrates over which their underside rests or which rest against the top of the substrate. The waves of a pair must be arranged so straight and parallel that the contact surfaces on the top and bottom of the substrate coincide exactly with each other to minimize deflection and deformation of the plate-shaped substrate and an eccentric running of the waves.
Die rotierenden Transportelemente sowie alle mit dem Bad in Kontakt The rotating transport elements and all in contact with the bath
kommenden Bauteile müssen möglichst chemisch inert, also widerstandsfähig gegen einen chemischen Angriff sein und keine Wechselwirkung mit der Badlösung eingehen.coming components must be as chemically inert as possible, so be resistant to chemical attack and not enter into any interaction with the bath solution.
Insbesondere soll eine Abscheidung von Metallen aus dem Behandlungsbad vermieden werden. So kommen bisher für die Wellen Kunststoffe wie bspw. GfK oder CfK oder auch Edelstahl oder eine Titanlegierung zum Einsatz, während die scheibenförmigen In particular, a deposition of metals from the treatment bath should be avoided. So far come for the waves plastics such as. GfK or CfK or Stainless steel or a titanium alloy is used while the disc-shaped
Auflageelemente üblicherweise aus einem geeigneten thermoplastischen Kunststoff bestehen. Probleme mit den bisher verwendeten Achsen bzw. Wellen aus GfK oder CfK können u.a. dadurch verursacht werden, dass sich bei diesen Materialien feine Splitter herauslösen und das Bad verunreinigen können. Ferner kann es wie auch bei unbeschichteten Metallachsen zu einer ausgeprägten und u.U. rasch fortschreitenden Metallabscheidung kommen. Bei beschichteten Achsen besteht das Problem, dass die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke zu großen Toleranzen unterliegt. Support elements usually consist of a suitable thermoplastic material. Problems with the previously used axes or waves from GfK or CfK can u.a. caused by the fact that can dissolve in these materials fine splinters and contaminate the bath. Furthermore, as with uncoated metal axles, it can become a distinct and u.U. rapidly progressing metal deposition come. Coated axes have the problem that the uniformity of the layer thickness is subject to large tolerances.
Ein Ziel der Erfindung besteht in der Schaffung eines chemisch inerten und mechanisch belastbaren rotierenden Transportelements mit hoher Rundlaufgenauigkeit, das die plattenförmigen Substrate zur Sicherstellung einer hohen Beschichtungs- und Produktqualität exakt führen und befördern kann. An object of the invention is to provide a chemically inert and mechanically resilient rotating transport element with high concentricity that can accurately guide and convey the plate-shaped substrates to ensure high coating and product quality.
Dieses Ziel der Erfindung wird mit dem Gegenstand des unabhängigen This object of the invention is with the subject matter of the independent
Anspruchs erreicht. Merkmale vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. Zur Erreichung des Ziels schlägt die Erfindung eine Vorrichtung für den Transport von plattenförmigen Substraten in einer Anlage zur chemischen oder elektrochemischen Behandlung vor. Die Anlage dient insbesondere der stromlosen Abscheidung von leitfähigen Schichten. So umfasst die Erfindung ein rotierendes Transportelement einer derartigen Transporteinrichtung für plattenförmige Substrate, die Teil einer chemischen oder elektrochemischen Behandlungsvorrichtung ist. Die Förderung erfolgt dabei vorzugsweise in einer definierten Förderrichtung, wobei eine Anzahl weiterer gleichartiger rotierender Transportelemente gemeinsam für die Auflage der plattenförmigen Substrate sorgt, die in der Förderrichtung über die rotierenden Transportelemente hinweg bewegt werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung besteht das rotierende Transportelemente bzw. die Mehrzahl der rotierenden Transportelemente zumindest teilweise aus Mineralglas. Achieved. Features of advantageous developments of the invention will become apparent from the dependent claims. To achieve the object, the invention proposes a device for the transport of plate-shaped substrates in a system for chemical or electrochemical treatment. The system is used in particular for the currentless deposition of conductive layers. Thus, the invention comprises a rotating transport element of such a transport device for plate-shaped substrates, which is part of a chemical or electrochemical treatment device. The promotion is preferably carried out in a defined conveying direction, wherein a number of other similar rotating transport elements together provides for the support of the plate-shaped substrates, which are moved in the conveying direction over the rotating transport elements away. According to the present invention, the rotating transport elements or the majority of the rotating transport elements consists at least partially of mineral glass.
Gemäß einer bevorzugten Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist das Transportelement wenigstens einen Lagerteil zur drehbaren Lagerung des According to a preferred variant of the device according to the invention, the transport element has at least one bearing part for the rotatable mounting of the
Transportelements sowie wenigstens einen Transportteil mit mindestens einem flächigen oder linienartigen Kontaktbereich zum plattenförmigen Substrat auf. Sowohl der Transport element and at least one transport part with at least one planar or line-like contact area to the plate-shaped substrate. Both the
Transportteil als auch der Lagerteil kann jeweils zumindest teilweise durch Mineralglas gebildet sein. Das Transportelement kann eine Achse bzw. eine Welle aufweisen, die Mineralglas umfasst und/oder zumindest teilweise aus Mineralglas gefertigt ist, und die zumindest teilweise den Lagerteil bildet. Diese Achse bzw. Welle kann zumindest teilweise durch einen Glasstab oder durch ein Glasrohr gebildet sein. Bei Verwendung eines Glasrohrs weist dieses vorzugsweise beidseitig geschlossene Stirnseiten auf. Transport part and the bearing part can each be at least partially formed by mineral glass. The transport element may have an axis or a shaft, which comprises mineral glass and / or is at least partially made of mineral glass, and which at least partially forms the bearing part. This axle or shaft can at least partially formed by a glass rod or by a glass tube. When using a glass tube, this preferably has on both sides closed end sides.
Weiterhin kann das Transportteil des Transportelements durch wenigstens ein rotationssymmetrisches Auflageelement für das plattenförmige Substrat gebildet sein. So kann das Transportelement bspw. rotationssymmetrische Auflageelemente für das Substrat aufweisen. Auch kann eine sinnvolle Variante darin bestehen, dass das Transportteil einen rotationssymmetischen Mittelteil in Gestalt einer Walze oder eines Rohres umfasst, die/das an beiden Stirnseiten jeweils Aufnahmeabschnitte für Furthermore, the transport part of the transport element may be formed by at least one rotationally symmetrical support element for the plate-shaped substrate. For example, the transport element may have rotationally symmetrical support elements for the substrate. Also, a useful variant may consist in that the transport part comprises a rotationally symmetrical central part in the form of a roller or a tube, the / s on both end faces each receiving sections for
Wellenstümpfe des Lagerteils bzw. der Lagerteile aufweist. Die Walze selbst kann nochmals im Durchmesser abgestuft ausgebildet sein, bspw. durch einen leicht verjüngten Mittelbereich, der einen bspw. um ca. 0,05 bis 1 mm, vorzugsweise 0,1 - 0,3 mm geringeren Durchmesser aufweisen kann als die beidseitigen Außenränder, die an die sich jeweils daran anschließenden Wellenstümpfe bzw. Lagerteile geringeren Durchmessers grenzen. Hierdurch kann gewährleistet werden, dass das plattenförmige Substrat lediglich randseitig auf den außenliegenden Rändern transportiert wird, während die größte Fläche des Substrats über dem mittleren eingeschnürten bzw. leicht verjüngten Bereich angeordnet ist und weitgehend berührungslos transportiert wird. Mit einer solchen Variante der Walze ist bspw. ein berührungsloser Transport von sog. Nutzen ermöglicht, die als Basismaterial für Leiterplatten dienen, da nur die Has shaft stumps of the bearing part or the bearing parts. The roller itself may be graduated again in diameter, for example by a slightly tapered central region, which may have, for example, by about 0.05 to 1 mm, preferably 0.1 to 0.3 mm smaller diameter than the two-sided outer edges , which adjoin the respectively adjoining shaft stumps or bearing parts of smaller diameter. In this way, it can be ensured that the plate-shaped substrate is transported only peripherally on the outer edges, while the largest surface of the substrate is arranged above the middle constricted or slightly tapered region and is largely transported without contact. With such a variant of the roller is, for example, a contactless transport of so-called. Benefits allows, which serve as a base material for printed circuit boards, since only the
Randabschnitte, die später entfernt werden, kontaktiert werden. Edge sections that are removed later, be contacted.
Gemäß einer weiteren Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist das Transportelement neben dem rotationssymmetischen Mittelteil zu jeder Seite des Mittelteils achszentriert einen Achsbolzen bzw. einen Wellenstumpf auf, der zur According to a further variant of the device according to the invention, the transport element in addition to the rotationally symmetrical central part to each side of the central part axis-centered on a pivot pin or a stub shaft, the
Drehlagerung des Transportelements dient und in entsprechenden Lagerabschnitten der Anlage aufgenommen werden kann. Zweckmäßigerweise ist bei dieser Variante der Durchmesser des Mittelteils bzw. des Transportteils größer als der Durchmesser der Wellenstümpfe des Lagerteils bzw. der Lagerteile. Zudem bestehen die Wellenstümpfe und/oder zumindest die Oberfläche des Mittelteils bzw. des Transportteils aus Rotary mounting of the transport element is used and can be included in corresponding bearing sections of the system. Appropriately, in this variant, the diameter of the central part or the transport part is greater than the diameter of the shaft stumps of the bearing part or the bearing parts. In addition, there are the shaft stumps and / or at least the surface of the central part or the transport part
Mineralglas. Wie bereits oben erwähnt, kann das wenigstens eine Auflageelement durch wenigstens eine, auf der Welle bzw. dem Glasstab befestigte und/oder zwischen denMineral glass. As already mentioned above, the at least one support element can be secured by at least one, attached to the shaft or the glass rod and / or between the
Wellenstümpfen des Lagerteils bzw. der Lagerteile angeordnete Walze mit zylindrischen Außenmantelflächen gebildet sein. Die Befestigung der Wellenstümpfe an dem Mittelteil kann wahlweise durch einstückige Ausgestaltung des gesamten Transportelements oder durch geeignete Fügeverfahren wie bspw. Verkleben, Verschweißen, Verpressen oder durch Ausgestaltung geeigneter Fixierungseinrichtungen erfolgen. Eine alternative Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, dass die Auflageelemente durch eine Mehrzahl von zumindest abschnittsweise regelmäßig voneinander beabstandeten, auf der Welle bzw. dem Glasstab befestigten Kunststoffscheiben mit zylindrischen Außenmantelflächen und abgerundeten Kanten gebildet sind. Wahlweise kann ein Abstand zwischen den seitlichen Rändern zweier benachbarter Auflageelemente einen Wert aufweisen, der kleiner als 300 mm, bevorzugt 100 mm ist. Shaft stumps of the bearing part or the bearing parts arranged roller may be formed with cylindrical outer circumferential surfaces. The attachment of the stub shafts at the central part can be done either by integral design of the entire transport element or by suitable joining methods such as. Gluing, welding, compression or by design of suitable fixing devices. An alternative embodiment of the device according to the invention provides that the support elements are formed by a plurality of at least partially regularly spaced apart, mounted on the shaft or the glass rod plastic discs with cylindrical outer circumferential surfaces and rounded edges. Optionally, a distance between the lateral edges of two adjacent support elements may have a value that is less than 300 mm, preferably 100 mm.
Bei allen beschriebenen Varianten ist es darüber hinaus sinnvoll, In addition, it makes sense for all the variants described
Oberflächenrauhigkeiten an medienberührten Stellen des Glases vorzusehen, die einen Wert aufweisen, der kleiner als 1 μιη ist. Provide surface roughness at media-wetted areas of the glass, which have a value which is less than 1 μιη.
Weiterhin kann eine sinnvolle Variante darin bestehen, dass das mindestens eine Transportelement angetrieben ist, insbesondere über ein zumindest an einem der Wellenstümpfe des Transportelements angeordnetes Drehübertragungselement, bspw. in Gestalt eines Zahnrads o. dgl. Furthermore, a meaningful variant may be that the at least one transport element is driven, in particular via a rotational transmission element arranged at least on one of the stub shafts of the transport element, for example in the form of a toothed wheel or the like.
Die vorliegende Erfindung umfasst schließlich eine Fördervorrichtung mit einer Mehrzahl rotierender Transportelemente gemäß einer der zuvor beschriebenen Finally, the present invention comprises a conveying device with a plurality of rotating conveying elements according to one of the previously described
Ausführungsvarianten. Die Transportelemente können jeweils paarweise übereinander angeordnet sein, um dazwischen die plattenförmigen Substrate hindurch zu bewegen. Versions. The transport elements may each be arranged in pairs one above the other in order to move between the plate-shaped substrates therethrough.
Nachfolgend finden sich zusammengefasst neben den wesentlichen Aspekten der Erfindung einige weitere Aspekte und Ausführungsvarianten. So kann das Below are summarized in addition to the essential aspects of the invention, some other aspects and variants. That's how it works
erfindungsgemäße Transportelement wahlweise über einen Antrieb verfügen. Das rotierende Transportelement ist zudem zweiseitig, z.B. beidseitig gelagert. Es ist als drehende Welle oder Achse ausgebildet, die über ihre Länge Auflageelemente für die plattenförmigen Substrate aufweist. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist zumindest ein Abschnitt der Welle aus Mineralglas gebildet. Bei dem erfindungsgemäßen inventive transport element optionally have a drive. The rotating transport element is also two-sided, e.g. stored on both sides. It is designed as a rotating shaft or axle, which has support elements for the plate-shaped substrates over its length. According to the present invention, at least a portion of the shaft is formed of mineral glass. In the inventive
Transportelement kann der Abschnitt der Welle aus einem Glasstab, insbesondere aus einem hohlen Glasstab, d.h. aus einem Glasrohr gebildet sein. In Versuchen hat sich herausgestellt, dass die Verwendung eines Glasrohrs Vorteile gegenüber einem massiven Glasstab aufweist, da das Rohrmaterial bei geringerem Gewicht günstigere mechanische Eigenschaften aufweist. Bei Verwendung eines Glasrohrs als Welle sind vorzugsweise die beiden Stirnseiten verschlossen, damit kein Behandlungsmedium eindringen kann, was z.B. bei einer Reinigung nur schwer in ausreichendem Maße entfernt werden könnte. Ein Transportelement kann mindestens zwei rotationssymmetrische Transport element may be the portion of the shaft of a glass rod, in particular of a hollow glass rod, ie formed of a glass tube. In experiments, it has been found that the use of a glass tube has advantages over a solid glass rod, since the tube material has lower mechanical properties at lower weight. When using a glass tube as a shaft, the two end faces are preferably closed, so that no treatment medium can penetrate, which would be difficult to remove sufficiently, for example, during cleaning. A transport element can be at least two rotationally symmetric
Auflageelemente besitzen. Die Auflageelemente des Transportelements können insbesondere durch eine Mehrzahl von z.B. regelmäßig voneinander beabstandeten, auf der Welle bzw. dem Glasstab oder Glasrohr befestigten Rädern z.B. Kunststoffscheiben mit zylindrischen oder ballig gewölbten Außenmantelflächen und abgerundeten Kanten gebildet sein. Diese Kunststoffscheiben sind vorzugsweise spielfrei auf der Welle bzw. auf der zylindrischen Mantelfläche des Glasstabs oder Glasrohrs fixiert. Die Own support elements. The support elements of the transport element may in particular be provided by a plurality of e.g. regularly spaced, mounted on the shaft or the glass rod or glass tube wheels e.g. Plastic discs be formed with cylindrical or convex outer surfaces and rounded edges. These plastic discs are preferably fixed without play on the shaft or on the cylindrical outer surface of the glass rod or glass tube. The
Kunststoffscheiben können hierbei insbesondere mittels eines Schrumpfprozesses fest auf der Welle fixiert sein. Auch ein Verpressen oder Verkleben der Scheiben ist möglich. Weiterhin kann die Welle zumindest an einem Ende ein Plastic discs can in this case be fixed firmly on the shaft, in particular by means of a shrinking process. Also, a pressing or gluing the discs is possible. Furthermore, the shaft can at least at one end
Antriebsübertragungselement aufweisen, das bspw. durch ein Zahnrad aus Kunststoff oder aus einem anderen geeigneten Material gebildet sein kann. Dieses  Have drive transmission element, which may be formed, for example, by a gear made of plastic or other suitable material. This
Antriebsübertragungselement bzw. das Zahnrad kann wahlweise ebenfalls auf der Welle aufgeschrumpft und/oder mit dieser verklebt sein. Auch das Zahnrad kann wahlweise mit der Welle verpresst sein, ggf. zusätzlich zu einem Verkleben. Drive transmission element or the gear can optionally also shrunk onto the shaft and / or glued to this. Also, the gear may optionally be pressed with the shaft, possibly in addition to a gluing.
Die erfindungsgemäßen Transportelemente dienen insbesondere als The transport elements according to the invention are used in particular as
Transportwellen für platten- oder folienförmige Substrate. Hierfür werden sie Transport shafts for plate- or foil-shaped substrates. For this they will
üblicherweise in einer Fördervorrichtung eingesetzt, die eine Mehrzahl oft jeweils paarweise übereinander angeordneter rotierender Transportelemente gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsvarianten aufweist, zwischen denen jeweils die platten- oder folienförmigen Substrate hindurch bewegbar sind. Die Bestückung der Usually used in a conveying device, which has a plurality of often in pairs superimposed rotating transport elements according to one of the previously described embodiments, between each of which the plate or film-shaped substrates are movable therethrough. The equipment of the
Transportwellen kann unterschiedlich sein und den jeweiligen Einsatzzwecken angepasst sind. Bei den Auflageelementen kann es sich um von der Transportwelle getrennt ausgebildete Teile handeln. Sie können auf die Transportwelle aufgesetzt werden und formschlüssig oder kraftschlüssig, z.B. aufgeschrumpft, oder stoffschlüssig, z.B. geklebt, mit der Transportwelle verbunden werden. In einer bevorzugten Ausführungsform können die Auflageelemente beanstandet montiert sein. Die Auflageelemente können hinsichtlich ihrer Geometrie als Rädchen und/oder als Scheiben und/oder als Walzen ausgebildet sein. Auch sind beispielsweise runde Formgebungen, bei welchen ein oder mehrere Auflageelemente beispielsweise eine kugelige- oder ballige Kontaktfläche aufweisen können, vorstellbar. Der Oberflächenkontakt zwischen dem jeweiligen Auflageelement und dem zu befördernden plattenförmigen Substrat kann in Abhängigkeit von der Geometrie des jeweiligen Auflageelementes linienförmig oder punktuell ausgebildet sein. Die aufgesetzten oder aufgeschrumpften Auflageelemente, die bspw. durch Transport shafts may be different and adapted to the particular application. In the support elements may be separated from the transport shaft formed parts. They can be placed on the transport shaft and positively or non-positively, e.g. shrunk, or cohesively, e.g. glued, connected to the transport shaft. In a preferred embodiment, the support elements may be mounted spaced. The support elements may be formed in terms of their geometry as a wheel and / or as discs and / or as rollers. Also, for example, round shapes, in which one or more support elements, for example, may have a spherical or spherical contact surface, conceivable. The surface contact between the respective support element and the plate-shaped substrate to be conveyed may be linear or punctiform depending on the geometry of the respective support element. The attached or shrunk support elements, for example. By
Kunststoffscheiben gebildet sein können, bieten einen Schutz der Glaswellen gegen mechanische Beschädigungen, bspw. bei ihrer Handhabung, beim Austauschen der Wellen und/oder bei einer sonstigen Wartung der Anlage. Dazu ist es vorteilhaft, wenn der Abstand zwischen den Rändern jeweils benachbarter Auf lageelemente kleiner als 300 mm, bevorzugt kleiner als 100 mm beträgt. Plastic discs can be formed, provide protection of the glass shafts against Mechanical damage, eg. During their handling, when replacing the shafts and / or other maintenance of the system. For this purpose, it is advantageous if the distance between the edges of each adjacent bearing elements on smaller than 300 mm, preferably less than 100 mm.
Die eingesetzten Wellen aus Mineralglas weisen eine Reihe von Vorteilen auf, so bspw. die besondere Formstabilität bei ausreichender Elastizität, wodurch plastische, also dauerhafte Verformungen ausgeschlossen sind. Es kann sich bei auftretenden Belastungen in einem gewissen Grad elastisch verformen, und bietet für den The waves used mineral glass have a number of advantages, such as the special dimensional stability with sufficient elasticity, whereby plastic, ie permanent deformations are excluded. It can deform elastically to a certain extent under occurring loads, and offers for the
gewünschten Einsatzzweck die erforderliche Robustheit. Die Wellen sind zudem sehr temperaturbeständig, da sie hohen Temperaturen ohne nennenswerte Dehnungen standhalten können. Die mechanische Belastung ist aufgrund der relativ niedrigen Gewichte der beförderten Substrate gering, so dass das Glas eine für alle Einsatzfälle ausreichende Festigkeit hat. desired application the required robustness. The waves are also very temperature resistant, as they can withstand high temperatures without appreciable strains. The mechanical stress is low due to the relatively low weights of the transported substrates, so that the glass has sufficient strength for all applications.
Die Glaswellen können recht kostengünstig mit hoher Genauigkeit, sowohl hinsichtlich des erforderlichen Durchmessers als auch des Rundlaufs, hergestellt werden. Bei einer Länge der Welle von ca. 500 mm bis über einen Meter kann ein typischer Durchmesser ca. 10 mm betragen. Die Wandstärke der hohl ausgeführten Glaswelle kann bei einer solchen Dimensionierung ca. 2 mm betragen. Die Rundlaufabweichung über die Gesamtlänge der Welle kann hierbei vorzugsweise weniger als 0,1 mm betragen, während die Maßgenauigkeit im Durchmesser +/- 0,15 mm oder weniger betragen kann. The glass shafts can be produced quite inexpensively with high accuracy, both in terms of the required diameter and the concentricity. With a shaft length of about 500 mm to over one meter, a typical diameter may be about 10 mm. The wall thickness of the hollow glass shaft can be about 2 mm with such a dimensioning. The runout over the total length of the shaft may in this case preferably be less than 0.1 mm, while the dimensional accuracy in diameter may be +/- 0.15 mm or less.
Der Einsatzbereich solcher Transportelemente mit Glaswellen und aufgesetzten Kunststoff rädchen ist aufgrund des chemisch neutralen Verhaltens bei der The field of application of such transport elements with glass shafts and plastic wheels is due to the chemically neutral behavior in the
überwiegenden Mehrzahl aller relevanten Prozesse nahezu unbeschränkt, da es erst nach sehr langem Einsatz der Elemente z.B. zu Metalliesierungen auf ihrer Oberfläche kommt. overwhelming majority of all relevant processes almost unlimited, since it only after very long use of the elements e.g. comes to Metalliesierungen on their surface.
Der Vollständigkeit halber sei darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung auch ein Verfahren zur Behandlung von Substraten umfasst, bei dem das Substrat durch eine Vorrichtung bzw. Transport- oder Fördervorrichtung gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsvarianten transportiert wird. For the sake of completeness, it should be pointed out that the present invention also encompasses a method for the treatment of substrates, in which the substrate is transported by a device or transporting or conveying device according to one of the previously described embodiments.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Gleiche Teile in den Zeichnungen sind hierbei mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden deshalb teilweise nicht mehrfach erläutert. Grundsätzlich soll das anliegende Ausführungsbeispiel die Erfindung illustrieren, ist jedoch keinesfalls einschränkend zu verstehen. The invention will be explained in more detail below with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings. The same parts in the drawings are provided with the same reference numerals and therefore partially not explained several times. In principle, the present exemplary embodiment is intended to illustrate the invention, but is by no means to be understood as limiting.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Fördervorrichtung mit einer Mehrzahl von Transportelementen. Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Variante eines Fig. 1 shows a schematic representation of a conveying device with a plurality of transport elements. Fig. 2 shows a schematic representation of a first variant of a
Transportelements.  Transport element.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Variante eines Fig. 3 shows a schematic representation of a second variant of a
Transportelements. Transport element.
Fig. 4 zeigt eine schematische Darstellung einer dritten Variante eines Fig. 4 shows a schematic representation of a third variant of a
Transportelements. Transport element.
Die schematische Darstellung der Fig. 1 zeigt einen Teil eines Transportwegs innerhalb einer hier nur ausschnittsweise angedeuteten Vorrichtung 8 zum Transport von plattenförmigen Substraten 10, die in horizontaler Richtung des Pfeils 12 The schematic representation of Fig. 1 shows a part of a transport path within a here only partially indicated device 8 for the transport of plate-shaped substrates 10, in the horizontal direction of the arrow 12th
(Transportrichtung 12) zwischen nacheinander angeordneten Paaren von rotierenden Transportelementen 14 hindurch befördert werden. Im Bereich der Transportvorrichtung 8 kann eine Vielzahl solcher jeweils um horizontale Drehachsen 16 rotierender (Transport direction 12) are conveyed between successively arranged pairs of rotating transport elements 14 therethrough. In the region of the transport device 8, a plurality of such each about horizontal axes of rotation 16 rotating
Transportelemente 14 angeordnet sein, die zur horizontalen Förderung der Transport elements 14 may be arranged, which is for horizontal promotion of
plattenförmigen Substrate 10 in der definierten Förderrichtung 12 dienen und zu diesem Zweck zumindest teilweise über einen Antrieb (in Fig. 1 nicht dargestellt) verfügen können. Sofern die rotierenden Transportelemente 14 über einen solchen Antrieb verfügen, erfolgt dieser meist über Zahnräder o. dgl. an einer Seite der beidseitig gelagerten Transportelemente 14. plate-shaped substrates 10 serve in the defined conveying direction 12 and for this purpose at least partially via a drive (not shown in Fig. 1) may have. If the rotating transport elements 14 have such a drive, this is usually done via gears o. The like. On one side of the both sides mounted transport elements 14th
Wenn die in Fig. 1 schematisch dargestellte Transportvorrichtung 8 auch jeweils paarweise übereinander angeordnete Transportelemente 14 zeigt, die so beabstandet sind, dass das plattenförmige Substrat 10 zwischen den Mantelflächen 18 der übereinander angeordneten Transportelemente 14 unter Ausbildung eines oberen und unteren Wälzkontaktes hindurch gefördert wird, so ist dies keinesfalls einschränkend zu verstehen. Es sind ebenso Varianten denkbar, bei denen die horizontale Förderung der Substrate 10 lediglich mittels hintereinander angeordneter Transportelemente 14 erfolgt, die eine horizontale Auflage- und Förderebene bilden, ohne dass oberhalb des If the transport device 8 shown schematically in FIG. 1 also shows pairs of transport elements 14 arranged one above the other, which are spaced such that the plate-shaped substrate 10 is conveyed between the lateral surfaces 18 of the superimposed transport elements 14 to form an upper and lower rolling contact this is by no means limiting. Variants are also conceivable in which the horizontal conveyance of the substrates 10 takes place only by means of transport elements 14 arranged one behind the other, which form a horizontal supporting and conveying plane, without that above the
Substrates 10 weitere Transportelemente 14 angeordnet sind. Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die Transportelemente 14 zumindest teilweise aus Mineralglas gefertigt. Z.B. können die Lagerteile (vgl. Fig. 2 ff.) der Transportelemente 14 aus Mineralglas gefertigt sein. Substrates 10 more transport elements 14 are arranged. According to the present invention, the transport elements 14 are at least partially made of mineral glass. For example, the bearing parts (see Fig. 2 ff.) Of the transport elements 14 may be made of mineral glass.
Wie die schematische Darstellung der Fig. 2 anhand einer ersten Like the schematic representation of FIG. 2 with reference to a first
Ausführungsvariante der Transportelemente 14 verdeutlicht, weisen hier die Embodiment variant of the transport elements 14 illustrates, here are the
Transportelemente 14 jeweils einen Transportteil 20 größeren Durchmessers sowie beidseitig des Transportteils 20 angeordnete Lagerteile 22 zur drehbaren Lagerung des Transportelements 14 auf. Der Transportteil 20 kann auch als Mittelteil bezeichnet werden. Dieser zylindrische Transportteil 20 bildet an seiner Mantelfläche 18 einen flächigen oder linienartigen Kontaktbereich zum plattenförmigen Substrat auf (vgl. Fig. Transport elements 14 each have a transport part 20 of larger diameter and on both sides of the transport member 20 arranged bearing parts 22 for rotatably supporting the transport element 14. The transport part 20 may also be referred to as a middle part. This cylindrical transport part 20 forms on its lateral surface 18 a flat or line-like contact area to the plate-shaped substrate (see FIG.
1 ). Sowohl der Transportteil 20 als auch der Lagerteil 22 kann jeweils zumindest teilweise durch Mineralglas gebildet sein. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Lagerteile 22 durch Wellenstümpfe 24 oder Wellenabschnitte gebildet, die auch als Achsbolzen ausgeführt sein können. Im vorliegenden Zusammenhang wird jedoch die Bezeichnung „Welle" oder Wellenstumpf 24 bevorzugt, da dieser Teil der Lagerung rotiert, während die Lageraufnahme 26 fest steht und in einem Teil der Anlage verankert ist. Die 1 ). Both the transport part 20 and the bearing part 22 may each be at least partially formed by mineral glass. In the illustrated embodiment, the bearing members 22 are formed by stub shafts 24 or shaft portions, which may also be designed as axle bolts. In the present context, however, the term "shaft" or stub shaft 24 is preferred, since this part of the bearing rotates while the bearing receptacle 26 is fixed and anchored in a part of the system
Wellenstümpfe 24, die zu beiden Stirnseiten 28 des Mittel- bzw. Transportteils 20 und typischer Weise koaxial zu dessen zylindrischer Mantelfläche 18 angeordnet sind, bestehen vorzugsweise aus Mineralglas. Diese Achse bzw. Welle bzw. die Shaft stubs 24, which are arranged on both end faces 28 of the middle or transport part 20 and typically coaxial with the cylindrical surface 18, are preferably made of mineral glass. This axis or shaft or the
Wellenstümpfe 24 können zumindest teilweise durch einen Glasstab oder durch einShank stumps 24 may at least partially pass through a glass rod or through a glass rod
Glasrohr 30 gebildet sein. Bei Verwendung eines Glasrohrs 30 kann dieses zumindest einseitig, vorzugsweise zweiseitig geschlossene Stirnseiten 32 aufweisen. Glass tube 30 may be formed. When using a glass tube 30 this may have at least one side, preferably two-sided closed end faces 32.
Der Transportteil 20 des Transportelements 14 ist im gezeigten The transport part 20 of the transport element 14 is shown in FIG
Ausführungsbeispiel durch das rotationssymmetrische Auflageelement 34 für das plattenförmige Substrat 10 gebildet, wobei das Auflageelement 34 durch eine Walze 36 gebildet ist, die an beiden Stirnseiten 28 jeweils Aufnahmeabschnitte (nicht dargestellt) für die beiden Wellenstümpfe 24 der Lagerteile 22 aufweist. Embodiment formed by the rotationally symmetrical support member 34 for the plate-shaped substrate 10, wherein the support member 34 is formed by a roller 36 having on both end faces 28 each receiving portions (not shown) for the two stub shafts 24 of the bearing parts 22.
Wie die schematische Darstellung einer weiteren Variante des Transportelements 14 anhand der Fig. 3 zeigt, kann die Walze 36 selbst nochmals im Durchmesser abgestuft ausgebildet sein. Dies ist hier durch einen leicht verjüngten Mittelbereich 38 realisiert, der einen bspw. um ca. 0,05 ...1 mm geringeren Durchmesser aufweisen kann als die beidseitigen Außenränder 40, die an die sich jeweils daran anschließenden Wellenstümpfe 24 bzw. Lagerteile 22 geringeren Durchmessers grenzen. Hierdurch kann gewährleistet werden, dass das plattenförmige Substrat 10 lediglich randseitig auf den außenliegenden Rändern 40 transportiert wird, während die größte Fläche des Substrats 10 über dem mittleren eingeschnürten bzw. leicht verjüngten Bereich 38 angeordnet ist und weitgehend berührungslos transportiert wird. Mit einer solchen Variante der Walze 36 ist bspw. ein berührungsloser Transport von sog. Nutzen ermöglicht, die als As the schematic representation of a further variant of the transport element 14 with reference to FIG. 3 shows, the roller 36 itself may be formed stepped again in diameter. This is realized here by a slightly tapered central region 38, which may have, for example, a diameter smaller by about 0.05... 1 mm than the outer edges 40 on both sides, which are smaller in each case against the respective shaft stumps 24 or bearing parts 22 Diameter borders. In this way it can be ensured that the plate-shaped substrate 10 only on the edge side of the outer edges 40 is transported, while the largest surface of the substrate 10 is disposed above the central constricted or slightly tapered portion 38 and is transported largely contactless. With such a variant of the roller 36 is, for example, a contactless transport of so-called. Benefits allows, as
Basismaterial für Leiterplatten dienen, da nur die Randabschnitte, die später entfernt werden, über die Randbereiche 40 der Walze 36 kontaktiert werden. Base material for printed circuit boards are used, since only the edge portions, which are later removed, are contacted via the edge regions 40 of the roller 36.
Die Befestigung der Wellenstümpfe 24 an dem Mittelteil 20 kann bei den The attachment of the stub shafts 24 to the central part 20 may in the
Varianten der Figuren 2 und 3 wahlweise durch einstückige Ausgestaltung des gesamten Transportelements 14 oder durch geeignete Fügeverfahren wie bspw. Verkleben, Verschweißen, Verpressen oder durch Ausgestaltung geeigneter Fixierungseinrichtungen erfolgen. Wahlweise kann die Walze 36 auch spielfrei auf einer durchgängigen Welle bzw. auf der zylindrischen Mantelfläche des Glasrohrs 30 fixiert sein, bspw. durch Verkleben oder wahlweise auch mittels eines Schrumpfprozesses. Variations of Figures 2 and 3 either by integral design of the entire transport element 14 or by suitable joining methods such as. Bonding, welding, pressing or by design of suitable fixation done. Optionally, the roller 36 can also be fixed without play on a continuous shaft or on the cylindrical jacket surface of the glass tube 30, for example by gluing or optionally also by means of a shrinking process.
Wie die schematische Darstellung der Fig. 4 anhand einer alternativen As the schematic representation of Fig. 4 using an alternative
Ausführungsvariante der Transportelemente 14 verdeutlicht, können diese auch als beidseitig gelagerte, durchgängig ausgebildete drehenden Wellen 42 aus Glasrohr 30 gebildet sein, die über ihre Länge eine Mehrzahl zylindrischer Auflageelemente 44 für die plattenförmigen Substrate 10 (vgl. Fig. 1 ) aufweisen. Bei dieser Variante sind die hohl ausgebildeten Wellen 42 aus rohrförmigem Mineralglas gefertigt, auf dessen Embodiment variant of the transport elements 14 illustrated, they can also be formed as a double-sided, continuously formed rotating shafts 42 of glass tube 30 having over its length a plurality of cylindrical support members 44 for the plate-shaped substrates 10 (see Fig .. 1). In this variant, the hollow shafts 42 are made of tubular mineral glass, on the
Mantelfläche 46 die zylindrischen oder scheibenförmigen Auflageelemente 44 aufgebracht und befestigt sind. Die beiden Stirnseiten 28 jeder Welle 42 sind Lateral surface 46, the cylindrical or disc-shaped support elements 44 are applied and fixed. The two end faces 28 of each shaft 42 are
verschlossen, so dass in das Innere des Glasrohrs 30 kein Medium eindringen kann, das nur schwer beim Reinigen entfernt werden könnte. Die Auflageelemente 44 der closed, so that no medium can penetrate into the interior of the glass tube 30, which could be difficult to remove during cleaning. The support elements 44 of
Transportelemente 14 sind im gezeigten Ausführungsbeispiel durch eine Mehrzahl von regelmäßig voneinander beabstandeten, auf der Welle 42 bzw. dem Glasrohr 30 befestigten Kunststoffscheiben 48 mit zylindrischen Außenmantelflächen und ggf. Transport elements 14 are in the illustrated embodiment by a plurality of regularly spaced, mounted on the shaft 42 and the glass tube 30 plastic discs 48 with cylindrical outer circumferential surfaces and possibly
abgerundeten Kanten gebildet. Diese Kunststoffscheiben 48 sind spielfrei auf der Welle 42 bzw. auf der zylindrischen Mantelfläche 46 des Glasrohrs 30 fixiert, vorzugsweise mittels eines Schrumpfprozesses oder durch Verkleben oder durch ein anderes geeignetes Fügeverfahren. rounded edges formed. These plastic discs 48 are fixed without play on the shaft 42 or on the cylindrical lateral surface 46 of the glass tube 30, preferably by means of a shrinking process or by gluing or by another suitable joining method.
Bei der dritten Variante des Transportelements 14 gemäß Fig. 4 bilden die voneinander beabstandeten Auflageelemente 44 in Form der Scheiben 48 gemeinsam den Mittelteil bzw. Transportteil 20, während die links und rechts die randseitigen Auf lageelementen 44 überragenden Abschnitte der Welle 42 jeweils die Lagerteile 22 bilden, die in hier nicht dargestellten Lagerböcken (vgl. Fig. 2 und 3: Lageraufnahme 26) gelagert sein können. Die Auflageelemente 44 können beispielsweise durch Kunststoff und/oder Metall und/oder durch keramische Stoffe und/oder durch Mineralglas ausgebildet sein. Die aufgesetzten oder aufgeschrumpften Auflageelemente 44, die in dem in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel durch Kunststoffscheiben 48 gebildet sind, bieten einen guten Schutz der Glaswellen 42 gegen mechanische Beschädigungen, bspw. bei ihrer Handhabung, beim Austauschen der Wellen 42 und/oder bei einer sonstigen Wartung der Anlage. Die Auflageelemente 44 können aus Kunststoff oder Mineralglas bestehen. Weiterhin können die Transportelemente 14 bzw. Wellen 42 zumindest an einemIn the third variant of the transport element 14 as shown in FIG. 4, the spaced-apart support elements 44 in the form of disks 48 together form the middle part or transport part 20, while the left and right edge elements on the bearing elements 44 projecting portions of the shaft 42 each have the bearing parts 22nd form, which can be stored in bearing blocks, not shown here (see Fig. 2 and 3: bearing seat 26). The support elements 44 may be formed, for example, by plastic and / or metal and / or by ceramic materials and / or by mineral glass. The attached or shrunk support elements 44, which are formed in the embodiment shown in Fig. 4 by plastic discs 48, provide good protection of the glass shafts 42 against mechanical damage, eg. In their handling, when replacing the shafts 42 and / or other Maintenance of the system. The support elements 44 may be made of plastic or mineral glass. Furthermore, the transport elements 14 or shafts 42 at least at one
Ende ein Antriebsübertragungselement aufweisen, das wie in den Figuren 2, 3 und 4 angedeutet bspw. durch ein Antriebsrad 50 bzw. Zahnrad aus Kunststoff oder aus einem anderen geeigneten Material gebildet sein kann. Dieses Antriebsübertragungselement bzw. das Antriebsrad 50 kann wahlweise ebenfalls auf der Welle 42 (Fig. 4) bzw. auf dem entsprechenden Wellenstumpf 24 (Fig. 2, Fig. 3) aufgeschrumpft und/oder verklebt sein. Have a drive transmission element, as indicated in Figures 2, 3 and 4, for example, by a drive wheel 50 or gear made of plastic or other suitable material may be formed. This drive transmission element or the drive wheel 50 may optionally also be shrunk and / or glued onto the shaft 42 (FIG. 4) or on the corresponding stub shaft 24 (FIGS. 2, 3).
Die in den Figuren 2 und 3 gezeigte Walze 36 kann bspw. aus Kunststoff, aus Mineralglas oder aus einem anderen Material gefertigt sein und eine zylindrische Außenmantelfläche sowie ggf. leicht abgerundete Kanten aufweisen. Wahlweise kann die Walze 36 auch eine oder mehrere Einschnürungen o. dgl. entsprechend Fig. 3 aufweisen, so dass die tragenden Abschnitte 40 durch eine oder mehrere The roller 36 shown in FIGS. 2 and 3 may be made, for example, of plastic, of mineral glass or of another material and may have a cylindrical outer circumferential surface and optionally slightly rounded edges. Optionally, the roller 36 may also have one or more constrictions o. The like. According to Fig. 3, so that the supporting portions 40 by one or more
Einschnürungen oder Absätze geringfügig geringeren Durchmessers voneinander getrennt sind. Das aufgesetzte oder aufgeschrumpfte Transportteil 20, das im gezeigten Ausführungsbeispiel durch die Walze 36 gebildet ist, bietet einen guten Schutz der Glaswelle 42 bzw. 24 gegen mechanische Beschädigungen, bspw. bei ihrer  Constrictions or paragraphs of slightly smaller diameter are separated. The attached or shrunk on transport member 20, which is formed in the illustrated embodiment by the roller 36, provides good protection of the glass shaft 42 and 24 against mechanical damage, eg. In their
Handhabung, beim Austauschen der Wellen 42 und/oder bei einer sonstigen Wartung der Anlage. Handling, when replacing the shafts 42 and / or other maintenance of the system.
Die eingesetzten Wellen 42 bzw. Wellenabschnitte 24 aus Mineralglas (vgl. Figuren 1 bis 4) weisen eine Reihe von Vorteilen auf, so bspw. die besondere The shafts 42 or shaft sections 24 made of mineral glass (see FIGS. 1 to 4) have a number of advantages, such as the special one
Formstabilität bei ausreichender Elastizität. Plastische Verformungen treten bei dieser Anwendung nicht auf. Die Wellen 42, 24 sind zudem sehr temperaturbeständig, da sie hohen Temperaturen ohne nennenswerte Dehnungen standhalten können. Die mechanische Stabilität reicht für den vorgesehenen Einsatzzweck aus, da die Substrate 10 oft sehr leicht sind und zu keiner nennenswerten Gewichtsbelastung der verwendeten Wellen 42, 24 führen. Die verwendeten Glaswellen und Glasrohre können recht kostengünstig mit hoher Maßhaltigkeit, sowohl hinsichtlich des erforderlichen Durchmessers als auch des Rundlaufs, hergestellt werden. Bei einer Länge der Welle 18 von ca. 500 mm bis über einen Meter kann ein typischer Durchmesser ca. 10 mm betragen. Die Wandstärke der hohl ausgeführten Glaswelle kann bei einer solchen Dimensionierung ca. 2 mm (+/- 30%) betragen. Die Rundlaufabweichung über die Gesamtlänge der Welle kann hierbei vorzugsweise weniger als 0,1 mm betragen, während die Maßgenauigkeit im Dimensional stability with sufficient elasticity. Plastic deformations do not occur in this application. The shafts 42, 24 are also very temperature resistant, since they can withstand high temperatures without appreciable strains. The mechanical stability is sufficient for the intended use, since the substrates 10 are often very light and lead to no significant weight load of the shafts 42, 24 used. The glass shafts and glass tubes used can be produced quite inexpensively with high dimensional accuracy, both in terms of the required diameter and the concentricity. With a length of the shaft 18 of about 500 mm to over one meter, a typical diameter may be about 10 mm. The wall thickness of the hollow glass shaft can be about 2 mm (+/- 30%) with such a dimensioning. The runout over the total length of the shaft may in this case preferably be less than 0.1 mm, while the dimensional accuracy in
Durchmesser +/- 0,15 mm oder weniger betragen kann. Der Einsatzbereich solcher Transportelemente 14 mit Glaswellen und aufgesetzten Walzen 36 oder Diameter can be +/- 0.15 mm or less. The application of such transport elements 14 with glass shafts and mounted rollers 36 or
Kunststoffrädchen 48 ist aufgrund des chemisch inerten bzw. neutralen Verhaltens bei der überwiegenden Mehrzahl aller relevanten Prozesse sehr vielfältig. Plastic wheel 48 is very diverse in the vast majority of all relevant processes due to the chemically inert or neutral behavior.
Die Glaswellen bzw. Transportelemente 14 sind normalerweise an ihren beiden Enden jeweils gleitgelagert, typischerweise in geeigneten Lageraufnahmen 26 aus Kunststoff, in denen sie leicht drehbar liegen und aus denen sie nach oben entnommen werden können, bspw. zu Wartungs- oder Reinigungszwecken. Die beidseitigen The glass shafts or transport elements 14 are normally each slide-mounted at their two ends, typically in suitable bearing receptacles 26 made of plastic, in which they are easily rotatable and from which they can be removed upwards, for example, for maintenance or cleaning purposes. The two-sided
Achsbolzen bzw. Wellenstümpfe 24, die in den Lageraufnahmen 26 drehbar gelagert sind und von denen zumindest einer mit einem Antriebsrad 50 versehen sein kann, sind in den Figuren 2 und 3 jeweils mit der Bezugsziffer 22 bezeichnet. Die Lageraufnahme 26 kann mit einer durchgehenden Öffnung, z.B. einer Durchgangsbohrung oder eine sackartigen Öffnung, z.B. einer Sackbohrung, versehen sein, um die Welle darin zu lagern. Die Öffnung kann mit einem Kanal in fluidisch leitender Verbindung stehen, so dass Flüssigkeit von der durchgehenden Öffnung über den Kanal ableitbar ist.  Axle bolts or stub shafts 24, which are rotatably mounted in the bearing receivers 26 and of which at least one can be provided with a drive wheel 50, are designated in FIGS. 2 and 3 in each case by the reference numeral 22. The bearing receiver 26 may be provided with a through opening, e.g. a through-hole or a bag-like opening, e.g. a blind bore, be provided to store the shaft therein. The opening may be in fluid communication with a channel such that liquid is divertable from the through opening via the channel.
Beispielsweise kann Flüssigkeit über den Kanal in einen weiteren Bereich abgeleitet werden, welcher sich unterhalb der durchgehenden Öffnung befindet. Der Kanal kann beispielsweise einen Durchmesser zwischen ca. 1 mm und 10 mm aufweisen. For example, liquid can be discharged via the channel into a further region, which is located below the through-opening. The channel may for example have a diameter between about 1 mm and 10 mm.
Vorzugsweise kann der Kanal einen Durchmesser zwischen ca. 2 mm und 5 mm besitzen.  Preferably, the channel may have a diameter between about 2 mm and 5 mm.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Oberflächenrauhigkeit der medienberührten Glasoberflächen kleiner als 1 μιη, bevorzugt kleiner als 0,5 μιη und besonders bevorzugt kleiner als 0,1 μιη zu gestalten. Dadurch wird ein nicht It has proven to be advantageous to make the surface roughness of the wetted glass surfaces smaller than 1 μm, preferably smaller than 0.5 μm, and particularly preferably smaller than 0.1 μm. This will not be one
beabsichtigtes Abscheiden von Metall aus dem Behandlungsbad, insbesondere von Kupfer aus einem stromlos arbeitenden Kupferbad, wirksam unterdrückt. intended deposition of metal from the treatment bath, in particular copper from a currentless working copper bath, effectively suppressed.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen The features of the invention disclosed in the foregoing description, drawings and claims can be used individually as well as in any desired Combination for the realization of the invention in its various
Ausgestaltungen von Bedeutung sein. Die Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr ist eine Vielzahl von Varianten und Embodiments of importance. The invention is not limited to the above embodiments. Rather, a variety of variants and
Abwandlungen denkbar, die von dem erfindungsgemäßen Gedanken Gebrauch machen und deshalb ebenfalls in den Schutzbereich fallen. Modifications conceivable that make use of the inventive concept and therefore also fall within the scope.
Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS
8 Behandlungsmaschine / Behandlungsvorrichtung8 treatment machine / treatment device
10 Substrat 10 substrate
12 Transportrichtung, Förderrichtung  12 transport direction, conveying direction
14 Transportelement  14 transport element
16 Drehachse  16 axis of rotation
18 Mantelfläche  18 lateral surface
20 Mittelteil, Transportteil  20 middle part, transport part
22 Lagerteil  22 bearing part
24 Wellenstumpf  24 stub shaft
26 Lageraufnahme  26 bearing receiver
28 Stirnseite  28 front side
30 Glasrohr  30 glass tube
32 Stirnseite  32 front side
34 Auflageelement  34 support element
36 Walze  36 roller
38 Mittelbereich  38 middle area
40 Außenrand  40 outer edge
42 Welle  42 wave
44 Auflageelement  44 supporting element
46 Mantelfläche  46 lateral surface
48 Kunststoffscheibe  48 plastic disc
50 Antriebsrad  50 drive wheel

Claims

P at e n ta n s p rü c h e P aten tsp arche
1 . Vorrichtung für den Transport von plattenförmigen Substraten (10) in einer Anlage (8) zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung, insbesondere zur stromlosen Abscheidung von leitfähigen Schichten, die mindestens ein rotierendes Transportelement (14) umfasst, welches zumindest teilweise aus Mineralglas besteht, wobei ein Transportteil (20) des Transportelements (14) durch wenigstens ein rotationssymmetrisches Auflageelement (34; 44) für das plattenförmige Substrat (10) gebildet ist und wobei das Auflageelement (34; 44) auf das Transportelement (14) aufgesetzt oder aufgeschrumpft ist. 1 . Apparatus for transporting plate-shaped substrates (10) in a plant (8) for chemical and / or electrochemical treatment, in particular for electroless deposition of conductive layers, which comprises at least one rotating transport element (14) which consists at least partially of mineral glass, wherein a transport part (20) of the transport element (14) is formed by at least one rotationally symmetrical support element (34; 44) for the plate-shaped substrate (10) and wherein the support element (34; 44) is placed or shrunk onto the transport element (14).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , bei der das Transportelement (14) wenigstens einen, zumindest teilweise durch Mineralglas gebildeten Lagerteil (22) zur drehbaren Lagerung des Transportelements (14) sowie wenigstens einen Transportteil (20) mit mindestens einem flächigen oder linienartigen Kontaktbereich zum plattenförmigen Substrat (10) aufweist. 2. Device according to claim 1, wherein the transport element (14) at least one, at least partially formed by mineral glass bearing part (22) for rotatably supporting the transport element (14) and at least one transport part (20) with at least one flat or line-like contact area to the plate-shaped Substrate (10).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der das Transportelement (14) eine Achse, einen Wellenstumpf (24) bzw. eine Welle (42) aufweist, die Mineralglas umfasst und/oder zumindest teilweise aus Mineralglas gefertigt ist, und die zumindest teilweise den Lagerteil (22) bildet. 3. Apparatus according to claim 1 or 2, wherein the transport element (14) has an axis, a stub shaft (24) or a shaft (42) comprising mineral glass and / or at least partially made of mineral glass, and at least partially forms the bearing part (22).
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Achse, der Wellenstumpf (24) bzw. die Welle (42) zumindest teilweise durch einen Glasstab oder ein Glasrohr (30) gebildet ist, das mindestens einseitig geschlossene Stirnseiten (32) besitzt. 4. Apparatus according to claim 3, wherein the axis, the stub shaft (24) or the shaft (42) is at least partially formed by a glass rod or a glass tube (30) having at least one side closed end faces (32).
5. Vorrichtung nach Anspruch 1 , bei der der Transportteil (20) einen 5. Apparatus according to claim 1, wherein the transport part (20) has a
rotationssymmetischen Mittelteil des Transportelements (14) in Gestalt einer Walze (36) oder eines Rohres umfasst, die/das an beiden Stirnseiten (28) jeweils  rotationally symmetrical central part of the transport element (14) in the form of a roller (36) or a tube, the / on both end faces (28) respectively
Aufnahmeabschnitte für Wellenstümpfe (24) des Lagerteils (22) bzw. der Lagerteile (22) aufweist.  Having receiving portions for shaft stumps (24) of the bearing part (22) and the bearing parts (22).
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 5, bei der der Durchmesser des 6. Apparatus according to claim 1 or claim 5, wherein the diameter of the
Mittelteils bzw. des Transportteils (20) größer ist als der Durchmesser der  Central part or the transport part (20) is greater than the diameter of the
Wellenstümpfe (24) des Lagerteils (22) bzw. der Lagerteile (22). Stub shafts (24) of the bearing part (22) and the bearing parts (22).
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 6, bei der die Wellenstümpfe (24) und/oder zumindest die Oberfläche des Mittelteils bzw. des Transportteils (20) aus Mineralglas bestehen. 7. Device according to one of claims 5 to 6, wherein the stub shafts (24) and / or at least the surface of the central part or the transport part (20) consist of mineral glass.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der ein Abstand zwischen den seitlichen Rändern zweier benachbarter Auflageelemente (44) einen Wert aufweist, der kleiner als ca. 300 mm ist. 8. Device according to one of claims 1 to 7, wherein a distance between the lateral edges of two adjacent support elements (44) has a value which is smaller than about 300 mm.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Auf lageelemente 9. Device according to one of claims 1 to 8, wherein the bearing elements on
miteinander nicht in Oberflächenkontakt gebracht sind und hinsichtlich ihrer  not brought into surface contact with each other and in terms of their
Geometrie als Rädchen und/oder als Scheiben und/oder als Walzen ausgebildet sind.  Geometry are designed as a wheel and / or as discs and / or as rollers.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei der die Oberflächenrauhigkeit an medienberührten Stellen des Glases einen Wert aufweist, der kleiner als 1 μιη ist. 10. Device according to one of claims 1 to 9, wherein the surface roughness at wetted areas of the glass has a value which is smaller than 1 μιη.
1 1 . Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der das mindestens eine 1 1. Device according to one of claims 1 to 10, wherein the at least one
Transportelement (14) angetrieben ist, insbesondere über ein zumindest an einem der Wellenstümpfe (24) angeordnetes Drehübertragungselement bzw. Antriebsrad (50).  Transport element (14) is driven, in particular via a at least one of the shaft stumps (24) arranged rotational transmission element or drive wheel (50).
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , bei der das Transportelement (14) in einer Lageraufnahme (26) drehbar angeordnet ist, wobei die Lageraufnahme (26) mit einem Kanal fluidisch leitend in Verbindung gebracht ist. 12. Device according to one of claims 1 to 1 1, wherein the transport element (14) in a bearing receptacle (26) is rotatably arranged, wherein the bearing receptacle (26) is fluidically connected to a channel in connection.
13. Fördervorrichtung mit einer Mehrzahl jeweils paarweise übereinander angeordneter rotierender Transportelemente (14) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, zwischen denen jeweils die plattenförmigen Substrate (10) hindurch bewegbar sind. 13. Conveyor device with a plurality of pairs of superimposed rotating transport elements (14) according to one of claims 1 to 12, between which in each case the plate-shaped substrates (10) are movable therethrough.
14. Verfahren zur Behandlung von Substraten, bei dem das Substrat durch eine 14. A process for the treatment of substrates, wherein the substrate by a
Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12 bzw. durch eine Fördervorrichtung gemäß Anspruch 13 transportiert wird.  Device according to one of claims 1 to 12 or by a conveyor device according to claim 13 is transported.
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