DE102008051616A1 - Transport device and substrate coating system - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Transporteinrichtung mit wenigstens einer drehbeweglich angeordneten Transportrolle (12), die einen Auflagezylinderabschnitt (6) zum seitlichen Tragen eines zu transportierenden Gegenstands aufweist, sowie auf eine Substratbeschichtungsanlage. Erfindungsgemäß besteht die Transportrolle mindestens in ihrem Auflagezylinderabschnitt aus einem volumenkorrosionsfesten Material, und/oder die Transportrolle ist mehrteilig gebildet. Verwendung z.B. in Substratbeschichtungsanlagen bei der Photovoltaikmodulfertigung.The invention relates to a transport device with at least one rotatably arranged transport roller (12), which has a support cylinder section (6) for laterally carrying an article to be transported, and to a substrate coating plant. According to the invention, the transport roller at least in its support cylinder portion of a volume corrosion resistant material, and / or the transport roller is formed in several parts. Use e.g. in substrate coating systems in photovoltaic module manufacturing.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Transporteinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder 12 und auf eine Substratbeschichtungsanlage.The The invention relates to a transport device according to the preamble of claim 1 or 12 and to a substrate coater.

Transporteinrichtungen dieser Art sind beispielsweise in Anlagen gebräuchlich, in denen Substrate beschichtet oder thermisch nachbehandelt werden, insbesondere für Anwendungen in der Dünnschichttechnologie, wie in der Dünnschichtsolarzellenfertigung. Häufig erfolgt die Beschichtung in diesen Anwendungen bei erhöhten Temperaturen und/oder in einer reaktiven Atmosphärenumgebung. Dies gilt speziell auch für Dünnschichtsolarzellensubstrate, die üblicherweise mit oder ohne einen Substratträger als Auflage z. B. im Durchlaufverfahren durch eine Vakuumbeschichtungsanlage hindurch transportiert werden. Der Transport kann in horizontaler oder vertikaler Richtung oder in einer beliebigen anderen, kombinierten Richtung erfolgen. Die Transporteinrichtung muss neben dem Substrattransport sicherstellen, dass sich das Substrat nicht zu stark durchbiegt und es sich auf einer festgelegten Bahn durch die Beschichtungsanlage hindurch bewegt.transport equipment This type are used, for example, in plants in which substrates coated or thermally post-treated, especially for applications in thin-film technology, as in thin-film solar cell production. Often the coating takes place in these applications at elevated temperatures and / or in a reactive atmosphere environment. This especially applies to Thin film solar cell substrates, the usual with or without a substrate carrier as a support z. B. in a continuous process by a vacuum coating system be transported through. The transport can be in horizontal or vertical direction or in any other, combined Direction. The transport device must ensure next to the substrate transport, that the substrate does not bend too much and it rises a defined path through the coating system moves through.

Für entsprechende Anwendungen gerade auch bei erhöhten Temperaturen in reaktiver Umgebung, wie bei der Substratbeschichtung für Photovoltaikmodule, zeigt es sich, dass in solchen Transporteinrichtungen bislang verwendete, einteilig aus einem Stahlmaterial ausgeführte Transportrollen zu Problemen führen können. Denn ein derartiges Stahlmaterial ist allenfalls oberflächlich korrosionsbeständig, indem sich eine schützende, dichte Passivierungsschicht aus Chromoxid an der Werkstoffoberfläche ausbildet. Durch die im Betrieb auftretenden Relativbewegungen zwischen Transportrolle und Substrat bzw. Substratträger und den damit einhergehenden Reibungseffekten ist diese oberflächliche Korrosionsschutzschicht einer Abnutzung unterworfen, welche die Lebensdauer der Transportrolle merklich limitieren und Funktionsstörungen der Transporteinrichtung verursachen kann.For appropriate Applications even at elevated Temperatures in a reactive environment, such as substrate coating for photovoltaic modules, it turns out that previously used in such transport facilities, One-piece made of a steel material running wheels to problems to lead can. Because such a steel material is possibly superficially corrosion resistant by a protective, dense passivation layer of chromium oxide forms on the surface of the material. By occurring during operation relative movements between transport roller and substrate or substrate carrier and the associated friction effects is this superficial corrosion protection layer subject to wear, which the life of the transport roller noticeably limit and malfunction can cause the transport device.

In Beschichtungsanlagen zur Photovoltaikmodulfertigung werden derartige Funktionsstörungen z. B. bei einer Materialkombination von nichtrostendem Stahl für die Transportrollen und Quarzglas oder Glaskeramik für das Substrat bzw. den Substratträger beobachtet, wobei es insbesondere zu einem korrosionsbedingten Materialabtrag an der Transportrolle in deren Kontaktbereich zum Substrat bzw. Substratträger kommen kann. Ein Austausch von einteilig gefertigten Transportrollen ist mit relativ hohem Zeit- und Kostenaufwand verbunden.In Coating plants for photovoltaic module production become such Malfunction z. As in a combination of stainless steel material for the transport rollers and quartz glass or glass ceramic for the substrate or the substrate carrier observed, in particular, a corrosion-related material removal come to the transport roller in the contact region to the substrate or substrate carrier can. An exchange of one-piece transport wheels is associated with relatively high time and cost.

Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstellung einer Transporteinrichtung der eingangs genannten Art und einer Substratbeschichtungsanlage zugrunde, die eine vergleichsweise hohe Lebensdauer und Funktionszuverlässigkeit auch beim Einsatz und Betrieb in reaktiven Umgebungen ermöglichen und/oder vergleichsweise einfach zu warten sind.Of the Invention is the technical problem of providing a Transport device of the type mentioned and a substrate coating system underlying that has a comparatively long life and functional reliability as well allow for use and operation in reactive environments and / or comparatively easy to maintain.

Die Erfindung löst dieses Problem durch die Bereitstellung einer Transporteinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, 3 oder 12 sowie durch eine Substratbeschichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 13.The Invention solves this problem by providing a transport device with the features of claim 1, 3 or 12 and by a substrate coating system with the features of claim 13.

Bei der Transporteinrichtung nach Anspruch 1 besteht die Transportrolle mindestens in ihrem Auflagezylinderabschnitt aus einem volumenkorrosionsfesten Material. Darunter ist vorliegend ein Material zu verstehen, das im Gegensatz z. B. zu korrosionsbeständigem Stahlmaterial im Volumen korrosionsfest ist und nicht lediglich aufgrund einer Oberflächenschutzschicht korrosionsfest ist. Reibungseffekte aufgrund von Relativbewegungen im Betrieb der Transporteinrichtung führen daher bei dieser Transportrolle nicht zu den Verschleißerscheinungen des Auflagezylinderabschnitts, die sich, wie oben erläutert, bei Verwendung von korrosionsfestem Stahlmaterial ergeben. Dies kann die Lebensdauer der Transportrolle im Einsatz deutlich erhöhen.at The transport device according to claim 1 is the transport role at least in its support cylinder section of a volume corrosion resistant Material. This is to be understood in the present case as a material that in contrast z. B. to corrosion resistant steel material in volume is corrosion resistant and not just due to a surface protective layer is corrosion resistant. Frictional effects due to relative movements during operation of the transport device therefore lead to this transport role not to the signs of wear the support cylinder section, which, as explained above, at Use of corrosion-resistant steel material result. This can significantly increase the service life of the transport roller during use.

Für die Transportrolle vorteilhaft verwendbare, volumenkorrosionsfeste Materialien sind in Ausgestaltung der Erfindung im Anspruch 2 angegeben.For the transport role are advantageously usable, volume corrosion resistant materials specified in an embodiment of the invention in claim 2.

Bei der Transporteinrichtung nach Anspruch 3 ist die Transportrolle mehrteilig mit einem Grundkörper und einem den Auflagezylinderabschnitt umfassenden, mit dem Grundkörper drehfest gekoppelten Laufschalenkörper oder mit einem den Auflagezylinderabschnitt umfassenden Transportrollenelement und einer in eine Buchsenaufnahme des Transportrollenelements eingefügten Einsatzbuchse gebildet. Diese mehrteilige Realisierung der Transportrolle erleichtert beträchtlich ihre Wartung und insbesondere einen etwa notwendig werdenden Austausch verschleißbelasteter Teile, z. B. des den Auflagezylinderabschnitt umfassenden Laufschalenkörpers oder der Einsatzbuchse.at The transport device according to claim 3 is the transport roller multi-part with a basic body and a support cylinder portion comprehensive, rotatably with the body coupled runner body or with a transport roller element comprising the support cylinder section and an insert bush inserted in a bush receptacle of the transport roller element educated. This multi-part realization of the transport roller facilitates considerably their maintenance and in particular a possibly necessary replacement verschleißbelasteter Parts, z. B. of the support cylinder section comprehensive running shell body or the insert bush.

In Ausgestaltung dieser Maßnahme ist gemäß Anspruch 4 der Laufschalenkörper seinerseits mehrteilig mit einer drehfest mit der Grundkörper gekoppelten Halteplatte und einer drehfest mit der Halteplatte gekoppelten Laufschale gebildet. Auch dies trägt vorteilhaft zu einer erleichterten Wartung bzw. einem erleichterten Austausch der den Auflagezylinderabschnitt umfassenden Laufschale bei. Gleiches gilt für eine Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 5 durch die dabei vorgesehene Einsatzbuchse.In Design of this measure is according to claim 4 of the running shell body in turn, in several parts with a rotatably coupled to the body Retaining plate and a rotatably coupled to the retaining plate running shell educated. This also contributes advantageous for easier maintenance or easier Replacement of the bearing cylinder section comprehensive running shell at. The same applies to an embodiment of the invention according to claim 5 by the case provided insert bushing.

In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 6 umfasst die Transportrichtung mehrere, in einer Transportrichtung aufeinanderfolgend angeordnete Paare von sich quer zur Transportrichtung beabstandet gegenüberliegenden Transportrollen. In dieser Ausgestaltung kann der zu transportierende Gegenstand zwischen den sich paarig gegenüberliegenden Transportrollen bewegt und dabei mindestens randseitig auf den Auflagezylinderabschnitten der Transportrollen getragen werden. In weiterer Ausgestaltung ist nach Anspruch 7 eine sich jeweils zwischen den beiden Transportrollen eines Paares erstreckende Mittenunterstützungsstange vorgesehen, die an ihren Enden in einer Stangenaufnahme der jeweiligen Transportrolle gehalten ist, wobei die Halterung an wenigstens einem der beiden Enden drehbeweglich ausgeführt ist. Die Mittenunterstützungsstange kann eine zusätzliche Abstützung des zu transportierenden Gegenstands, z. B. eines zu beschichtenden Photovoltaikmodulsubstrats, in einem Mittenbereich oder an beliebiger anderer Stelle zwischen den sich gegenüberliegenden Transportrollen bieten. Damit wird einer unerwünscht großen Durchbiegung auch von relativ dünnen Substraten entgegengewirkt.In a further development of the invention according to Claim 6, the transport direction comprises a plurality of successively arranged in a transport direction pairs of transversely to the transport direction spaced opposite transport rollers. In this embodiment, the object to be transported can be moved between the paired opposite transport rollers and thereby be worn at least at the edge on the support cylinder sections of the transport rollers. In a further embodiment, a respectively extending between the two transport rollers of a pair center support rod is provided according to claim 7, which is held at their ends in a rod receiving the respective transport roller, wherein the holder is rotatably carried on at least one of the two ends. The center support bar may provide additional support for the item to be transported, e.g. B. to be coated photovoltaic module substrate, in a central region or at any other location between the opposite transport rollers offer. This counteracts an undesirably large deflection even of relatively thin substrates.

In weiterer Ausgestaltung dieser Maßnahme ist gemäß Anspruch 8 die Stangenaufnahme an der jeweiligen Transportrolle von einem hohlen Innenraum des Auflagezylinderabschnitts gebildet, so dass dieser Funktionsabschnitt der Transportrolle eine Doppelfunktion erfüllt. In weiterer Ausgestaltung ist die Stangenaufnahme gemäß Anspruch 9 von der Einsatzbuchse gebildet, die in eine Aufnahme der Transportrolle einge setzt ist und in die das betreffende Ende der Mittenunterstützungsstange eingefügt ist. Es zeigt sich, dass die Einsatzbuchse hinsichtlich weiterer Verringerung der Verschleißanfälligkeit und hinsichtlich hoher Funktionssicherheit insbesondere der drehbeweglichen Kopplung von Mittenunterstützungsstange und Transportrolle vorteilhaft ist. So lässt sich ein etwaiges Festkorrodieren der Mittenunterstützungsstange in ihrer jeweiligen Stangenaufnahme mit der Einsatzbuchse besonders zuverlässig verhindern.In Another embodiment of this measure is according to claim 8 the rod holder on the respective transport roller of a hollow interior of the support cylinder section formed so that this Function section of the transport roller fulfills a dual function. In Another embodiment is the rod holder according to claim 9 formed by the insert bush, which in a recording of the transport roller is set and in which the relevant end of the center support rod is inserted. It turns out that the insert bush in terms of further reduction the susceptibility to wear and in terms of high reliability especially the rotatable Coupling of center support rod and transport roller is advantageous. So it can be a possible Festkorrodieren the center support rod especially in their respective pole mount with the insert bushing reliably prevent.

In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 10 weist die Mittenunterstützungsstange wenigstens einen zylindrischen Stützabschnitt in einem Mittenbereich auf, wobei der jeweilige Stützabschnitt einen größeren Außendurchmesser besitzt als beidseits anschließende Stangenbereiche. Durch den oder die Stützabschnitte kann der zu transportierende Gegenstand je nach Anwendungsfall ausreichend und zuverlässig nicht nur an seinen Seitenbereichen, sondern auch dazwischen abgestützt werden.In a development of the invention according to claim 10, the center support rod at least a cylindrical support portion in a central region, wherein the respective support section a larger outer diameter has as adjoining on both sides Bar areas. By or the support sections of the transported Subject sufficient and reliable not depending on the application be supported only on its sides, but also in between.

In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 11 weist die Transportrolle ein Antriebskopplungsmittel zum Ankoppeln an einen Rotationsantrieb auf. Damit kann die aktive Bewegung des auf dem Auflagezylinderabschnitt der Transportrolle randseitig getragenen Gegenstands in der Transportrichtung bewirkt werden, wobei im Fall sich paarig gegenüberliegender Transportrollen insbesondere vorgesehen sein kann, von einem jeweiligen Transportrollenpaar nur eine der beiden Transportrollen aktiv anzutreiben, während die andere frei mitdreht. Dies macht Synchronisationsmaßnahmen bezüglich zweier Antriebe für beide Transportrollen eines jeweiligen Rollenpaares überflüssig.In a development of the invention according to claim 11, the transport roller a drive coupling means for coupling to a rotary drive on. Thus, the active movement of the on the support cylinder section the transport roller edge-worn object in the transport direction be effected, in the case of pairs of opposing transport rollers in particular may be provided by a respective pair of transport rollers to actively drive only one of the two transport rollers, while the other freely rotates. This makes synchronization measures with respect to two Drives for both transport rollers of a respective pair of rollers superfluous.

Bei der Transporteinrichtung nach Anspruch 12 wird die Bewegung des zu transportierenden Gegenstands durch eine Rotationsbewegung der einen oder mehreren Transportstangen bewirkt, die in Querrichtung un ter der gesamten Breite des zu transportierenden Gegenstands verlaufen und an einem ihrer beiden Enden durch einen zugeordneten Stangenantrieb einseitig angetrieben werden. Am anderen Ende ist die jeweilige Transportstange drehbeweglich, aber antriebslos gehalten. Im Gegensatz zu einem beidseitigen Antrieb bedarf dieser einseitige Antrieb keiner Synchronisierungsmaßnahmen, und es besteht keine Gefahr von Torsionsbelastungen der Transportstangen aufgrund fehlsynchronisierter beidseitiger Antriebe.at the transport device according to claim 12, the movement of the to be transported object by a rotational movement of the one or more transport bars causes, in the transverse direction un run the entire width of the object to be transported and at one of its two ends by an associated rod drive be driven on one side. At the other end is the respective one Transport rod rotatably held, but unpowered. In contrast For a two-sided drive this one-sided drive requires none Synchronization measures and there is no risk of torsional loads on the transport bars due to mis-synchronized double-sided drives.

Die erfindungsgemäße Substratbeschichtungsanlage nach Anspruch 13 weist vorteilhaft eine erfindungsgemäße Transporteinrichtung auf, um zu beschichtende und/oder thermisch nachzubehandelnde Substrate, z. B. für Dünnschichtsolarzellenbauelemente bzw. Photovoltaikmodule, zu transportieren.The Substrate coating system according to the invention according to claim 13 advantageously has a transport device according to the invention on to be coated and / or thermally post-treated substrates, z. For example Thin film solar cells components or photovoltaic modules to transport.

Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden nachfolgend beschrieben. Hierbei zeigen:advantageous embodiments The invention is illustrated in the drawings and will be described below described. Hereby show:

1 eine ausschnittweise Draufsicht auf einen Seitenbereich einer Substratbeschichtungsanlage mit Transporteinrichtung für Photovoltaikmodulsubstrate, 1 a fragmentary plan view of a side portion of a substrate coating system with transport device for photovoltaic module substrates,

2 eine Draufsicht auf einen Substratträger mit aufliegendem Substrat zur Beschichtung in der Anlage von 1 mit beidseitig angeordneten Transportrollen als Teil der Substrattransporteinrichtung, 2 a plan view of a substrate carrier with overlying substrate for coating in the system of 1 with transport rollers arranged on both sides as part of the substrate transport device,

3 eine Seitenansicht der Anordnung von 2 in Transportrichtung, 3 a side view of the arrangement of 2 in transport direction,

4 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer einteiligen Transportrollenausführung, 4 a partially sectioned side view of a one-piece transport roller execution,

5 bis 10 teilweise geschnittene Explosionsansichten verschiedener mehrteiliger Transportrollenausführungen, 5 to 10 partially cut exploded views of various multi-piece transport roller designs,

11 eine Detailansicht eines Bereichs XI von 3, 11 a detailed view of an area XI of 3 .

12 eine Seitenansicht einer für die Transporteinrichtung verwendbaren Mittenunterstützungsstange und 12 a side view of a usable for the transport means center support rod and

13 eine Seitenansicht einer in einer modifizierten Substrattransporteinrichtung verwendbaren, direkt antreibbaren Transportstange. 13 a side view of a usable in a modified substrate transport device, directly driven transport rod.

In den 1 bis 3 ist eine erfindungsgemäße Transporteinrichtung und deren Verwendung in einer Substratbeschichtungsanlage veranschaulicht, wobei es sich insbesondere um eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten für die Photovoltaikmodulfertigung handeln kann. Dabei sind wie auch in den übrigen Figuren nur die hier zum Verständnis der Erfindung wesentlichen Systemkomponenten gezeigt, auf die im Folgenden näher eingegangen wird, während im übrigen herkömmliche Komponenten die Transporteinrichtung und die mit ihr ausgerüstete Substratbeschichtungsanlage vervollständigen. Die erfindungsgemäße Transporteinrichtung kann auch in Anlagen zur thermischen Nachbehandlung von Substraten bzw. auf dem Substrat aufgebrachten Schichten im Feinvakuum bis Atmosphärendruck unter Schutz- oder Reaktivgas eingesetzt werden.In the 1 to 3 is a transport device according to the invention and illustrates its use in a substrate coating system, which may be in particular a vacuum coating system for coating substrates for photovoltaic module production. In this case, as in the other figures, only the system components essential for understanding the invention are shown, which will be discussed in more detail below, while the other conventional components complete the transport device and equipped with her substrate coating system. The transport device according to the invention can also be used in systems for the thermal aftertreatment of substrates or on the substrate applied layers in a fine vacuum to atmospheric pressure under protective or reactive gas.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel der 1 bis 3 weist die Transporteinrichtung eine Mehrzahl von in einer Transportrichtung T aufeinanderfolgend angeordneten Paaren von Transportrollen 1a, 1b; 2a, 2b; 3a, 3b auf, wobei sich die beiden Transportrollen eines jeweiligen Paares quer zur Transportrichtung beabstandet gegenüberliegen. Ein plattenförmiger Substratträger 4 trägt ein zu beschichtendes Substrat 5 und liegt an seinen beiden Querseitenrandbereichen 4a, 4b auf den Transportrollen 1a bis 3b auf, speziell auf einem Auflagezylinderabschnitt 6 jeder Transportrolle 1a bis 3b. Der Substratträger 4 besteht z. B. aus Glaskeramik, Graphit, einem Verbundwerkstoff oder einer technischen Keramik und kann optional entfallen, d. h. in alternativen Ausführungen wird das Substrat 5 direkt ohne den Substratträger 4 transportiert.In the illustrated embodiment of the 1 to 3 the transport device has a plurality of pairs of transport rollers arranged successively in a transport direction T 1a . 1b ; 2a . 2 B ; 3a . 3b on, with the two transport rollers of a respective pair opposite each other transversely to the transport direction. A plate-shaped substrate carrier 4 carries a substrate to be coated 5 and lies at its two lateral edge areas 4a . 4b on the transport wheels 1a to 3b on, especially on a pad cylinder section 6 every transport role 1a to 3b , The substrate carrier 4 exists z. As glass-ceramic, graphite, a composite material or a technical ceramic and can optionally be omitted, ie, in alternative embodiments, the substrate 5 directly without the substrate carrier 4 transported.

Der Auflagezylinderabschnitt 6 bildet ein axiales Stirnende der jeweiligen Transportrolle 1a bis 3b. Ein an den Auflagezylinderabschnitt 6 anschließender Anschlagflansch 19 jeder Transportrolle 1a bis 3b dient als Anschlagbegrenzung für das zu transportierende Substrat 5 bzw. den dieses tragenden Substratträger 4. Am anderen axialen Stirnende ist die jeweilige Transportrolle 1a bis 3b mit einem Antriebskopplungsmittel zum bedarfsweisen Ankoppeln an einen Rotationsantrieb versehen, wobei das Antriebskopplungsmittel in diesem Beispiel als ein Koppelflansch 7 ausgebildet ist. Vorzugsweise wird von jedem Paar sich gegenüberliegender Transportrollen 1a, 1b; 2a, 2b; 3a, 3b je eine der beiden Transportrollen aktiv durch Ankopplung an einen zugehörigen Rotationsantrieb angetrieben, z. B. die auf einer Seite liegenden Transportrollen, wie die in der Ansicht von 2 linken Transportrollen 1a, 2a, 3a. Mit einem mittleren Schaftabschnitt 12 überbrückt die in 1 gezeigte Transportrolle 1a einen Reaktorkammerbereich, in welchem sich weitere herkömmliche Bauteile 13 befinden können. Der Rotationsantrieb umfasst eine Antriebswelle 8, an die der Koppelflansch 7 der betreffenden, aktiv angetriebenen Transportrolle drehfest gekoppelt ist, wobei die Antriebswelle 8 mittels einer Drehdurchführung 9 durch eine Reaktorkammerwand 10 der Beschichtungsanlage durchgeführt ist und ihrerseits von einer Antriebskurbel 11 angetrieben wird.The support cylinder section 6 forms an axial end face of the respective transport roller 1a to 3b , An on the support cylinder section 6 subsequent stop flange 19 every transport role 1a to 3b serves as a stop limit for the substrate to be transported 5 or the substrate carrier carrying this 4 , At the other axial front end is the respective transport roller 1a to 3b provided with a drive coupling means for on-demand coupling to a rotary drive, wherein the drive coupling means in this example as a coupling flange 7 is trained. Preferably, each pair of opposing transport rollers 1a . 1b ; 2a . 2 B ; 3a . 3b each one of the two transport rollers actively driven by coupling to an associated rotary drive, z. B. lying on one side transport rollers, as in the view of 2 left transport rollers 1a . 2a . 3a , With a middle shaft section 12 bridges the in 1 shown transport role 1a a reactor chamber area in which further conventional components 13 can be located. The rotary drive comprises a drive shaft 8th to which the coupling flange 7 the relevant, actively driven transport roller is rotatably coupled, wherein the drive shaft 8th by means of a rotary feedthrough 9 through a reactor chamber wall 10 the coating system is performed and in turn by a drive crank 11 is driven.

Zwischen den beiden gegenüberliegenden Transportrollen 1a, 1b; 2a, 2b; 3a, 3b eines jeden Transportrollenpaares verläuft jeweils eine Mit tenunterstützungsstange 14, die an ihren beiden axialen Enden drehbeweglich an der jeweiligen Transportrolle gehalten ist, wie in 3 für das Transportrollenpaar 1a, 1b zu erkennen. Die Mittenunterstützungsstange 14 besteht z. B. aus Quarzglas, Graphit, einem Verbundwerkstoff, oder einer technischen Keramik, wobei auch Materialkombinationen möglich sind, insbesondere bei mehrteiliger Ausführung der Stange 14.Between the two opposite transport rollers 1a . 1b ; 2a . 2 B ; 3a . 3b of each pair of transport rollers each runs with a tenunterstützungsstange 14 which is rotatably supported at its two axial ends on the respective transport roller, as in 3 for the transport roller pair 1a . 1b to recognize. The center support rod 14 exists z. B. of quartz glass, graphite, a composite material, or a technical ceramic, wherein material combinations are possible, especially in multi-part design of the rod 14 ,

Die 4 bis 10 zeigen verschiedene vorteilhafte Transportrollenvarianten zur Verwendung in entsprechenden Ausführungsformen der in den 1 bis 3 gezeigten Substrattransporteinrichtung. Zum leichteren Verständnis sind im Folgenden gleiche Bezugszeichen für identische oder funktionell äquivalente Elemente verwendet.The 4 to 10 show various advantageous transport roller variants for use in corresponding embodiments of the in the 1 to 3 shown substrate transport device. For ease of understanding, the same reference numerals will be used below for identical or functionally equivalent elements.

Eine in 4 gezeigte Transportrolle 11 ist einteilig aus einem volumenkorrosionsfesten Material gefertigt, z. B. aus einem Sintermetall, Molybdän, Titan, Quarzglas, Graphit, einem Verbundwerkstoff, wie einem glasfaserverstärkten Kunststoff oder einem kohlefaserverstärkten Kunststoff, einer technischen Keramik, wie einer Silicatkeramik, einer Oxidkeramik oder einer Nichtoxidkeramik, oder aus einer Kombination mehrerer dieser Materialien. Bei einem solchen volumenkorrosionsfesten Material wird der Korrosionsschutz nicht durch eine schützende Oberflächenschicht bewirkt, die einem Abtrag durch Reibung bzw. Verschleiß unterliegen kann, sondern dadurch, dass das Material als solches, d. h. im Volumen, nicht korrosionsanfällig ist.An in 4 shown transport role 1 1 is made in one piece from a volume corrosion resistant material, for. Example of a sintered metal, molybdenum, titanium, quartz glass, graphite, a composite material such as a glass fiber reinforced plastic or a carbon fiber reinforced plastic, a technical ceramics such as a silicate ceramic, an oxide ceramic or a non-oxide ceramic, or a combination of several of these materials. In such a volume corrosion-resistant material, the corrosion protection is not effected by a protective surface layer, which may be subject to abrasion or abrasion, but the fact that the material as such, ie in volume, is not susceptible to corrosion.

Selbst wenn daher die Transportrolle 11 Reibungsbelastungen im Betrieb unterliegt, bleibt der Korrosionsschutz bestehen. Dies gilt insbesondere für den Auflagezylinderabschnitt 6, der aufgrund des auf ihm aufliegenden Substratträgers oder Substrats im Transportbetrieb Reibungseffekten ausgesetzt und dadurch verschleißanfällig ist. Gleiches gilt hinsichtlich der drehbeweglichen Ankopplung der Mittenunterstützungsstange. Diese Ankopplung ist bei der Transportrolle 11 dadurch realisiert, dass der Auflagezylinderabschnitt 6 hohlzylindrisch gestaltet ist und so einen hohlen Innenraum 6a als Stangenaufnahme bereitstellt, in welcher das betreffende axiale Ende der Mittenunterstützungsstange drehbeweglich aufnehmbar ist. Da die Transportrolle 11 insgesamt und damit auch der Auflagezylinderabschnitt 6 aus volumenkorrosionsfestem Material besteht, bleibt die drehbewegliche Halterung der Mittenunterstützungsstange in der Stangenaufnahme 6a auch im Fall von betriebsbedingter Reibungsbelastung an der Innenseite des Auflagezylinderabschnitts 6 zuverlässig erhalten, ohne dass es zu einem Verklemmen der Mittenunterstützungsstange in ihrer Stangenaufnahme 6a aufgrund von Korrosionserscheinungen kommt.Even if therefore the transport role 1 1 Friction loads during operation is subject to the corrosion protection. This applies in particular to the support cylinder section 6 due to the substrate carrier or substrate resting thereon exposed during transport transport friction effects and thus wear prone. The same applies to the rotatable coupling of the center support rod. This coupling is in the transport role 1 1 realized in that the support cylinder section 6 is designed hollow cylindrical and so a hollow interior 6a as a rod receiving provides, in which the relevant axial end of the center support rod is rotatably receivable. Because the transport role 1 1 total and thus also the support cylinder section 6 made of volume corrosion resistant material, the rotatable support of the center support rod remains in the rod receptacle 6a also in the case of operational friction load on the inside of the support cylinder section 6 Reliably obtained, without causing a jamming of the center support rod in their rod receiving 6a due to corrosion.

5 zeigt eine Transportrolle 12 , die zweiteilig mit einem Grundkörper 15a und einem Laufschalenkörper 15b gebildet ist, der drehfest mit dem Grundkörper 15a gekoppelt ist, im gezeigten Beispiel mittels Schraubverbindungen 16. Dabei ist mindestens der Laufschalenkörper 15b aus einem volumenkorrosionsfesten Material gefertigt, z. B. einem Keramikmaterial, und beinhaltet den verschleißbehafteten Auflagezylinderabschnitt 6, der auch in diesem Beispiel gleichzeitig die Stangenaufnahme 6a für die drehbewegliche Halterung der zugehörigen Mittenunterstützungsstange bereitstellt. Der Grundkörper 15a braucht nicht zwingend aus volumenkorrosionsfestem Material bestehen, sondern kann kostengünstig z. B. auch aus Stahlmaterial gefertigt sein. 5 shows a transport role 1 2 , the two-piece with a body 15a and a barrel body 15b is formed, the rotation with the body 15a is coupled, in the example shown by means of screw 16 , In this case, at least the running shell body 15b made of a volume corrosion resistant material, eg. As a ceramic material, and includes the wear-bearing support cylinder section 6 , who also in this example at the same time the pole recording 6a for rotatably mounting the associated center support bar. The main body 15a does not necessarily consist of volume corrosion resistant material, but can cost z. B. also be made of steel material.

Die zweiteilige Transportrollenausführung gemäß 5 hat den Vorteil, dass der verschleißanfällige Teil in Form des Laufschalenkörpers 15b zur Gewährleistung hoher Funktionssicherheit aus dem volumenkorrosionsfesten Material besteht und zudem im Bedarfsfall relativ einfach getauscht werden kann, indem er vom Grundkörper 15a abgenommen wird, so dass der Grundkörper 15a im Einbauzustand in der Beschichtungsanlage verbleiben kann.The two-piece transport roller execution according to 5 has the advantage that the wear-prone part in the form of the barrel body 15b To ensure high reliability of the volume corrosion-resistant material and, moreover, if necessary, can be relatively easily replaced by it from the body 15a is removed, leaving the main body 15a can remain in the installation state in the coating system.

Eine in 6 gezeigte Transportrolle 13 ist ebenfalls zweiteilig aus einem Grundkörper 16a und einem Laufschalenkörper 16b gefertigt, wobei in diesem Beispiel der Laufschalenkörper 16b zusätzlich zum Auflagezylinderabschnitt 6 auch eine erste Anschlagflanschhälfte 17 aufweist, die in Verbindung mit einer entsprechenden zweiten Anschlagflanschhälfte 18 des Grundkörpers 16a den Anschlagflansch 19 der montierten Transportrolle 13 bildet. Zur lagegenauen Zentrierung ist der Grundkörper 16a mit einem axialen Fortsatz 20 versehen, der passgenau in einer korrespondierenden Aufnahme 21 des Lagerschalenkörpers 16b aufnehmbar ist.An in 6 shown transport role 1 3 is also in two parts from a body 16a and a barrel body 16b manufactured, in this example, the running shell body 16b in addition to the support cylinder section 6 also a first stop flange half 17 having, in conjunction with a corresponding second stop flange half 18 of the basic body 16a the stop flange 19 the mounted transport roller 1 3 forms. For exact position centering is the main body 16a with an axial extension 20 provided, the perfect fit in a corresponding recording 21 of the bearing cup body 16b is receivable.

Die drehsichere Fixierung des Lagerschalenkörpers 16b am Grundkörper 16a ist durch die Schraubverbindungen 16 realisiert. Der Lagerschalenkörper 16b besteht aus einem volumenkorrosionsfesten Material, hier z. B. aus Molybdän, während der Grundkörper 16a auch aus einem anderen Material bestehen kann, wie aus Stahl. Hinsichtlich der Eigenschaften und Vorteile gilt im Übrigen für die Transportrolle 13 von 6 das Gleiche wie oben für die Transportrolle 12 der 5 erwähnt.The rotationally secure fixation of the bearing shell body 16b at the base body 16a is through the screw connections 16 realized. The bearing shell body 16b consists of a volume corrosion resistant material, here z. B. of molybdenum, while the main body 16a can also be made of a different material, such as steel. With regard to the properties and advantages, moreover, applies to the transport role 1 3 from 6 the same as above for the transport role 1 2 of the 5 mentioned.

Eine in 7 gezeigte Transportrolle 14 ist dreiteilig mit einem Grundkörper 22a entsprechend demjenigen von 6 sowie einer Halteplatte 22b und einer Laufschale 22c gefertigt, d. h. in diesem Beispiel ist der Laufschalenkörper zweiteilig aus der Halteplatte 22b und der Laufschale 22c gebildet. Die Halteplatte 22b ist drehfest mittels Schraubverbindungen 23 an der Anschlagflanschhälfte 18 des Grundkörpers 22a fixiert, und die Laufschale 22c ist mittels Schraubverbindungen 24 drehfest an der Halteplatte 22b fixiert, wobei die lagegenaue Zentrierung wiederum vom axialen Fortsatz 20 am Grundkörper 22a und der passgenauen Aufnahme 21 am hier zweiteiligen Lagerschalenkörper 22b, 22c gewährleistet wird. Die Laufschale 22c ist aus volumenkorrosionsfestem Material gefertigt, z. B. einer Keramik, während hinsichtlich Materialwahl für den Grundkörper 22a auf die obigen Ausführungen zu den vorangegan genen Beispielen verwiesen werden kann. Die Halteplatte 22b besteht z. B. aus Molybdän, braucht aber nicht unbedingt aus volumenkorrosionsbeständigem Material bestehen.An in 7 shown transport role 1 4 is in three parts with a basic body 22a corresponding to that of 6 and a holding plate 22b and a barrel 22c made, ie in this example, the running shell body is in two parts from the holding plate 22b and the barrel 22c educated. The holding plate 22b is non-rotatable by means of screw connections 23 at the stop flange half 18 of the basic body 22a fixed, and the barrel 22c is by means of screw connections 24 rotatably on the holding plate 22b fixed, with the positionally accurate centering turn of the axial extension 20 at the base body 22a and the accurate recording 21 on here two-piece bearing shell body 22b . 22c is guaranteed. The barrel shell 22c is made of volume corrosion resistant material, eg. As a ceramic, while respect to the choice of material for the body 22a Reference may be made to the above statements to the preceding genen examples. The holding plate 22b exists z. B. of molybdenum, but does not necessarily consist of volume corrosion resistant material.

Die Lagerschale 22c beinhaltet wiederum den verschleißbehafteten Auflagezylinderabschnitt 6 mit der in ihm integrierten Stangenaufnahme 6a, so dass bezüglich der entsprechenden Eigenschaften und Vorteile einer solchen Laufschale 22c aus volumenkorrosionsbeständigem Material auf die obigen Ausführungen zu den vorausgegangenen Ausführungsbeispielen verwiesen werden kann. Im Beispiel von 7 kann bei Bedarf die Lagerschale 22c als separates Bauteil abgenommen und getauscht werden, wobei der Grundkörper 22a samt Halteplatte 22b im Einbauzustand verbleiben kann. Außerdem kann im Bedarfsfall auch die Halteplatte 22b abgenommen und getauscht werden, ohne dazu den Grundkörper 22a der Transportrolle 14 ausbauen zu müssen.The bearing shell 22c In turn, includes the wear-bearing support cylinder section 6 with the integrated rod holder 6a so that with respect to the corresponding properties and advantages of such a raceway 22c made of volume corrosion resistant material can be made to the above statements to the previous embodiments. In the example of 7 If necessary, the bearing shell 22c be removed and replaced as a separate component, wherein the main body 22a including holding plate 22b can remain in the installed state. In addition, if necessary, the retaining plate 22b be removed and exchanged, without the body 22a the transport role 1 4 to have to expand.

Eine in 8 gezeigte Transportrolle 15 ist zweiteilig aus einem Grundkörper bzw. Transportrollenelement 25a und einer Einsatzbuchse 25b gefertigt. Bei dieser Ausführungsvariante sind der Anschlagflansch 19 und der Auflagezylinderabschnitt 6 Teil des Grundkörpers 25a. Die Einsatzbuchse 25b ist in das Innere des auch hier hohlzylindrisch ausgeführten Auflagezylinderabschnitts 6 drehbeweglich eingesetzt, d. h. das Innere des Auflagezylinderabschnitts 6 dient hier als Buchsenaufnahme 26 zum drehbeweglichen Aufnehmen der Einsatzbuchse 25b. Das Innere der Einsatzbuchse 25b dient seinerseits als Stangenaufnahme 27 zum drehbeweglichen Halten der zugeordneten Mittenunterstützungsstange.An in 8th shown transport role 1 5 is in two parts from a main body or transport roller element 25a and a cartridge 25b manufactured. In this embodiment, the stop flange 19 and the pad cylinder section 6 Part of the body 25a , The insert bush 25b is in the interior of the here also hollow cylindrical running support cylinder section 6 rotatably inserted, ie the inside of the Auflagezylinderab -section 6 serves as socket receptacle here 26 for rotatably receiving the insert bushing 25b , The inside of the insert bush 25b in turn serves as a pole recording 27 for rotatably holding the associated center support rod.

Bei diesem Ausführungsbeispiel ist mindestens die Einsatzbuchse 25b aus volumenkorrosionsbeständigem Material gefertigt, hier z. B. aus Graphit, was die Korrosionsbeständigkeit der drehbeweglichen Aufnahme der Mittenunterstützungsstange und damit die Funktionszuverlässig keit dieser Verbindung erhöht, wie dies zu den obigen Ausführungsbeispielen der 4 bis 7 für die Stangenaufnahme 6a des Auflagezylinderabschnitts 6 erläutert wurde. Dabei kann im Beispiel von 8 die Buchse 25b bei Bedarf separat abgenommen und getauscht werden. Falls je nach Anwendungsfall auch der Auflagezylinderabschnitt 6 einer hohen Verschleißbelastung unterliegt, kann der Grundkörper 25a ebenfalls aus volumenkorrosionsfestem Material gefertigt sein. Wenn dies nicht erforderlich ist, sind auch andere Materialien für den Grundkörper 25a möglich, z. B. Stahl.In this embodiment, at least the insert bush 25b made of volume corrosion resistant material, here z. B. of graphite, which increases the corrosion resistance of the rotatable recording of the center support rod and thus the function reliability of this connection, as in the above embodiments of the 4 to 7 for the pole recording 6a of the pad cylinder section 6 was explained. It can in the example of 8th the socket 25b If necessary, be taken separately and exchanged. If, depending on the application, the support cylinder section 6 subject to high wear, the body can 25a also be made of volume corrosion resistant material. If not required, other materials are also available for the body 25a possible, for. Steel.

Eine in 9 gezeigte Transportrolle 16 ist dreiteilig aus einem zweiteiligen Transportrollenelement mit einem Grundkörper 28a und einer Laufschale 28b, welche den Auflagezylinderabschnitt 6 mit innerem Buchsenaufnahmeraum 26 umfasst, und einer Einsatzbuchse 28c gefertigt und stellt auf diese Weise eine Kombination der Ausführungsformen der 5 und 8 dar. Wie im Beispiel von 5 ist die Laufschale 28b mittels der Schraubverbindungen 16 drehfest am den Anschlagflansch 19 beinhaltenden Grundkörper 28a fixiert, und wie im Beispiel von 8 ist die Einsatzbuchse 28c drehbeweglich in den Buchsenaufnahmeraum 26 des Auflagezylinderabschnitts 6 eingesetzt, wobei ihr Innenraum wiederum als Stangenaufnahmeraum 27 zum drehbeweglichen Aufnehmen des betreffenden axialen Endes der Mittenunterstützungsstange fungiert. Wiederum besteht die Buchse 28c aus volumenkorrosionsbeständigem Material, wie Graphit. Auch für die Laufschale 28b wird vorzugsweise ein volumenkorrosionsbeständiges Material verwendet, z. B. ein Keramikmaterial. Der Grundkörper 28a kann aus einem anderen Material bestehen, z. B. aus Stahl. Dementsprechend kombiniert das Ausführungsbeispiel von 9 die Vorteile und Eigenschaften, wie sie oben zu den Ausführungsbeispielen der 5 und 8 erläutert sind, worauf verwiesen werden kann.An in 9 shown transport role 1 6 is in three parts of a two-piece transport roller element with a body 28a and a barrel 28b , which the support cylinder section 6 with inner bushing receiving space 26 includes, and a cartridge 28c manufactured and thus provides a combination of the embodiments of 5 and 8th As in the example of 5 is the barrel 28b by means of the screw connections 16 rotatably on the stop flange 19 containing basic body 28a fixed, and as in the example of 8th is the insert bush 28c rotatable in the socket receiving space 26 of the pad cylinder section 6 used, with its interior again as a rod receiving space 27 for rotatably receiving the respective axial end of the center support rod. Again, there is the socket 28c made of volume corrosion resistant material, such as graphite. Also for the barrel shell 28b For example, a volume corrosion resistant material is preferably used, e.g. B. a ceramic material. The main body 28a may consist of another material, for. B. steel. Accordingly, the embodiment of FIG 9 the advantages and characteristics as mentioned above for the embodiments of 5 and 8th are explained, which can be referred to.

Eine in 10 gezeigte Transportrolle 17 ist vierteilig aus einem dreiteiligen Transportrollenelement, die einen Grundkörper 29a, eine Halteplatte 29b und eine Laufschale 29c umfasst, und einer Einsatzbuchse 29d gefertigt und stellt eine entsprechende Kombination des dreiteiligen Ausführungsbeispiels von 7 mit dem zweiteiligen Ausführungsbeispiel von 8 dar, wobei Grundkörper 29a, Halteplatte 29b und Laufschale 29c dem Beispiel von 7 entsprechen und die Einsatzbuchse 29d derjenigen von 8 entspricht, so dass zur Beschreibung dieser vier Komponenten 29a bis 29d sowie deren Eigenschaften und Vorteile auf die obigen Ausführungen zu den korrespondierenden Komponenten der 7 und 8 verwiesen werden kann, auch was die drehfeste Verbindung der Halteplatte 29b am Grundkörper 29a mittels der Schraubverbindungen 23 sowie der Laufschale 29c an der Halteplatte 29b mittels der Schraubverbindungen 24 betrifft. Wie im Beispiel von 8 fungiert im Ausführungsbeispiel von 10 das Innere des Auflagezylinderabschnitts 6 als Buchsenaufnahmeraum 26 zum drehbeweglichen Aufnehmen der Einsatzbuchse 29d. Hinsichtlich Materialwahl für die vier Komponenten 29a bis 29d gilt das oben zu den korrespondierenden Komponenten der Ausführungsbeispiele der 7 und 8 Gesagte. So können z. B. die Buchse 29d aus Graphit, die Laufschale 29c aus Keramik, die Halteplatte 29b aus Molybdän und der Grundkörper 29a aus Stahl bestehen.An in 10 shown transport role 1 7 is four parts of a three-piece transport roller element, which is a basic body 29a , a holding plate 29b and a barrel 29c includes, and a cartridge 29d manufactured and provides a corresponding combination of the three-part embodiment of 7 with the two-part embodiment of 8th where basic body 29a , Retaining plate 29b and running shell 29c the example of 7 correspond and the insert bushing 29d those of 8th is equivalent, so to describe these four components 29a to 29d As well as their properties and advantages to the above statements on the corresponding components of 7 and 8th can be referenced, also what the non-rotatable connection of the holding plate 29b at the base body 29a by means of the screw connections 23 as well as the barrel shell 29c on the retaining plate 29b by means of the screw connections 24 concerns. As in the example of 8th acts in the embodiment of 10 the inside of the pad cylinder section 6 as a socket receiving space 26 for rotatably receiving the insert bushing 29d , Regarding material choice for the four components 29a to 29d the above applies to the corresponding components of the embodiments of the 7 and 8th Said. So z. B. the socket 29d made of graphite, the running shell 29c made of ceramic, the retaining plate 29b made of molybdenum and the main body 29a Made of steel.

11 veranschaulicht die Transportrolle 17 von 10 in eingebautem Zustand. Dabei ist in 11 zusätzlich die drehbeweglich mit ihrem betreffenden axialen Ende 14a in die Stangenaufnahme 27 der Buchse 29d eingefügte Mittenunterstützungsstange 14 zu erkennen. Des Weiteren ist zu erkennen, dass der Substratträger 4 mit seinem seitlichen Randbereich 4a auf der Außenmantelfläche des Auflagezylinderabschnitts 6 der Laufschale 29c aufliegt. Zwischen dem Substratträger 4 und der Mittenunterstützungsstange 14 verbleibt ein gewisser Spalt jedenfalls im in 11 gezeigten Bereich, die Mittenunterstützungsstange 14 kann aber im hier nicht gezeigten Mittenbereich des Substratträgers 4 und des auf ihm liegenden Substrats 5 als zusätzliche, mittige Abstützung dienen. Die Mittenunterstützungsstange 14 kann dadurch ein unerwünscht starkes Durchbiegen von Substratträger 4 und Substrat 5 verhindern, was insbesondere bei flexiblen oder relativ dünnen Substraten bzw. Substratträgern von Bedeutung ist. Dabei dreht sich die Mittenunterstützungsstange 14 frei in ihren axial endseitigen Aufnahmen in den gegenüberliegend paarig angeordneten Transportrollen. Ein Verklemmen wird durch Wahl des volumenkorrosionsfesten Materials für die Einsatzbuchsen bzw. die Stangenaufnahmen an den die Mittenunterstützungsstange haltenden Transportrollen zuverlässig verhindert, so dass es auch nicht zu Torsionsbelastungen und einem damit einhergehenden Bruch der Mittenunterstützungsstange kommen kann. 11 illustrates the transport role 17 from 10 in installed condition. It is in 11 in addition, the rotatable with their respective axial end 14a in the pole recording 27 the socket 29d inserted center support rod 14 to recognize. Furthermore, it can be seen that the substrate carrier 4 with its lateral edge area 4a on the outer circumferential surface of the support cylinder portion 6 the barrel 29c rests. Between the substrate carrier 4 and the center support rod 14 In any case, a certain gap remains in the 11 shown area, the center support bar 14 but can in the center region of the substrate carrier, not shown here 4 and the substrate lying on it 5 serve as additional, central support. The center support rod 14 This can lead to an undesirably strong bending of substrate carrier 4 and substrate 5 prevent what is particularly important for flexible or relatively thin substrates or substrate carriers of importance. This will rotate the center support rod 14 free in their axial end-side recordings in the opposite paired transport rollers. Jamming is reliably prevented by selecting the volume corrosion-resistant material for the insert bushings or the rod receptacles on the transport rollers supporting the center support rod, so that it can not come to Torsionsbelastungen and a concomitant breakage of the center support rod.

Während in den 1 bis 3 eine Ausführung gezeigt ist, bei der die Mittenunterstützungsstange als Hohlstange mit konstantem Außendurchmesser gefertigt ist, ist in alternativen Ausführungsformen die Mittenunterstützungsstange mit einem oder mehreren zylindrischen Stützabschnitten versehen, die einer zusätzlichen Abstützung des Substrats 5 bzw. des Substratträgers 4 dienen. 12 zeigt hierzu ein Ausführungsbeispiel einer Mittenunterstützungsstange 14', die einen zylindrischen Stützabschnitt 30 in einem Mittenbereich aufweist, wobei dieser Stützabschnitt 30 einen größeren Außendurchmesser als beidseits anschließende Stangenbereiche 31a, 31b aufweist, an die endseitig abgesetzte axiale Endbereiche 32a, 32b anschließen, mit denen die Mittenunterstützungsstange 14' im Einbauzustand drehbeweglich in den zugehörigen Transportrollen gehalten wird. Der Außendurchmesser des mittigen Stützabschnitts 30 ist z. B. etwa gleich groß oder nur geringfügig kleiner gewählt als der Außendurchmesser der Auflagezylinderabschnitte der Transportrollen, auf denen sich das Substrat bzw. der Substratträger randseitig abstützt, so dass das Substrat bzw. der Substratträger auch auf dem mittigen Stützabschnitt 30 zur Auflage kommt. Der Quer schnitt der Stangenbereiche 31a, 31b zwischen Stützabschnitt 30 und den axialen Enden 32a, 32b kann beliebig gewählt werden, z. B. kreisrund, oval, oder mehreckig, solange sein Durchmesser kleiner als der Außendurchmesser des Stützabschnitts 30 bleibt. Es versteht sich, dass in weiteren alternativen Ausführungen die Mittenunterstützungsstange mehrere derartige Stützabschnitte aufweisen kann, die mit axialem Abstand voneinander entlang der Stangenlänge gebildet sind.While in the 1 to 3 an embodiment is shown in which the center support rod is manufactured as a hollow rod with constant outside diameter, in alternative embodiments, the center support rod with a or a plurality of cylindrical support portions, the additional support of the substrate 5 or the substrate carrier 4 serve. 12 shows an embodiment of a center support rod 14 ' which has a cylindrical support section 30 in a central region, this support section 30 a larger outer diameter than both sides subsequent rod areas 31a . 31b has, at the end remote axial end portions 32a . 32b connect with those the center support rod 14 ' is held in the installed state rotatably in the associated transport rollers. The outer diameter of the central support section 30 is z. B. about the same size or only slightly smaller than the outer diameter of the support cylinder sections of the transport rollers on which the substrate or the substrate support is supported on the edge, so that the substrate or the substrate support on the central support portion 30 comes to the edition. The cross section of the bar areas 31a . 31b between support section 30 and the axial ends 32a . 32b can be chosen arbitrarily, z. B. circular, oval, or polygonal, as long as its diameter is smaller than the outer diameter of the support portion 30 remains. It will be understood that in other alternative embodiments, the center support bar may include a plurality of such support portions formed axially spaced from each other along the bar length.

Mit der erfindungsgemäßen Transporteinrichtung lassen sich somit zu beschichtende Substrate in einer entsprechenden Substratbeschichtungsanlage funktionssicher und zuverlässig entlang der gewünschten Transportrichtung bewegen, z. B. kontinuierlich in einem Durchlaufprozess, wobei der Transport in horizontaler, vertikaler oder beliebiger anderer Richtung erfolgen kann. Die Transportrollen treiben den Substrattransport und sind dazu drehbeweglich gehalten. Gleichzeitig dienen sie dem drehbeweglichen Halten der Mittenunterstützungsstangen. Vorzugsweise wird jeweils eine Transportrolle jedes Transportrollenpaares aktiv von einem zugehörigen Rotationsantrieb in Drehung versetzt. Gegenüber einem beidseitigen Transportrollenantrieb hat dies den Vorteil, dass keine Synchronisierung der Antriebe von zwei sich als Paar gegenüberliegenden Transportrollen benötigt wird und auch nicht die Gefahr besteht, dass übermäßige Torsionsbelastungen auf die zugehörige Mittenunterstützungsstange einwirken, falls diese doch einmal in ihren endseitigen axialen Aufnahmen verklemmen sollte. Im übrigen wird jedoch dies und die Gefahr einer übermäßigen korrosiven Abnutzung und damit auch Durchmesserverringerung des Auflagezylinderabschnitts der Transportrollen durch Wahl eines volumenkorrosionsfesten Materials für die Stangenaufnahme und für die Substratauflagefläche der Transportrolle verhindert.With the transport device according to the invention can thus be coated substrates in a corresponding Substrate coating system reliable and reliable along the desired Move transport direction, z. B. continuously in a continuous process, the transport being horizontal, vertical or any other Direction can be done. The transport rollers drive the substrate transport and are rotatably held. At the same time they serve the Rotary holding center support rods. Preferably In each case one transport roller of each pair of transport rollers becomes active from an associated one Rotary drive set in rotation. Opposite a two-sided transport roller drive this has the advantage that no synchronization of the drives of two transport rollers opposite each other as a pair needed and there is also no risk that excessive torsional loads on the associated Center support rod act, if they once in their axial end Should jam recordings. Otherwise, will however, this and the risk of excessive corrosive wear and thus also diameter reduction of the support cylinder section the transport rollers by choosing a volume corrosion resistant material for the Rod holder and for the Substrate supporting surface prevents the transport roller.

Die Erfindung umfasst neben diesen Realisierungen mit Transportrollen und darin drehbeweglich aufgenommenen Mittenunterstützungsstangen auch Ausführungsformen mit direkt angetriebenen Transportstangen, d. h. in diesen Ausführungsformen ersetzt eine solche Transportstange je ein Paar gegenüberliegender Transportrollen und die zugehörige Mittenunterstützungsstange. 13 zeigt eine entsprechende Transportstange 33, in diesem Fall ausgeführt als zylindrische Stange mit über ihre Länge gleichbleibendem Außendurchmesser mit Ausnahme axial abgesetzter Enden 34a, 34b. Die Transportstange 33 kann beispielsweise in der Beschichtungsanlage von 1 die jeweilige Mittenunterstützungsstange nebst zugehörigen Transportrollen ersetzen und dabei mit ihrem einen axialen Ende über die Drehdurchführung 9 an den Rotationsantrieb 8, 11 angekoppelt werden, während sie mit ihrem gegenüberliegenden axialen Ende in einer geeigneten, herkömmlichen Weise frei drehbeweglich gehalten ist. Bei einer solchen Transporteinrichtung wird folglich das zu beschichtende Substrat über seine ganze Breite von den einseitig aktiv angetriebenen Transportstangen bewegt. Es versteht sich, dass auch bei dieser Realisierungsvariante der Erfindung in alternativen Ausführungsformen Transportstangen mit abschnittsweise unterschiedlichem Querschnitt vorgesehen sein können, so dass mehrere Abschnitte größeren Außendurchmessers mit zwischenliegenden Abschnitten geringeren Außendurchmessers abwechseln, wobei die Abschnitte mit größerem Außendurchmesser die antreibenden Transportstangenbereiche bilden, auf denen das zu beschichtende Substrat bzw. der Substratträger aufliegt. Gleichzeitig fungieren die Transportstangen bzw. deren Abschnitte größeren Durchmessers als Abstützungen, die ein unerwünscht großes Durchbiegen des Substrats bzw. Substratträgers verhindern. Wiederum können die Transportstangen aus einem volumenkorrosionsfesten Material gefertigt sein.In addition to these implementations with transport rollers and center support rods rotatably received therein, the invention also encompasses embodiments with directly driven transport rods, ie in these embodiments such a transport rod replaces a pair of opposite transport rollers and the associated center support rod. 13 shows a corresponding transport bar 33 , in this case designed as a cylindrical rod with constant over its length outer diameter except axially offset ends 34a . 34b , The transport bar 33 For example, in the coating plant of 1 replace the respective center support rod together with the associated transport rollers and thereby with its one axial end on the rotary feedthrough 9 to the rotary drive 8th . 11 be coupled while being held freely rotatably with its opposite axial end in a suitable, conventional manner. In such a transport device consequently the substrate to be coated is moved over its entire width by the unilaterally actively driven transport rods. It is understood that in this embodiment variant of the invention in alternative embodiments transport rods may be provided with sections of different cross section, so that several sections of larger outer diameter alternate with intermediate sections of smaller outer diameter, wherein the larger outer diameter portions form the driving transport bar areas on which to be coated substrate or substrate carrier rests. At the same time, the transport rods or their sections of larger diameter act as supports which prevent an undesirably large bending of the substrate or substrate carrier. Again, the transport bars can be made of a volume corrosion resistant material.

Die Erfindung ist, wie erläutert, besonders vorteilhaft z. B. für Vakuumbeschichtungsanlagen bei der Photovoltaikmodulfertigung verwendbar. Darüber hinaus ist sie selbstverständlich auch in beliebigen anderen Substratbeschichtungsanwendungen einsetzbar, bei denen ein zu be schichtendes Substrat zu transportieren ist, insbesondere unter Prozessbedingungen mit erhöhten Temperaturen und/oder reaktiven Atmosphärenumgebungen.The Invention is, as explained, particularly advantageous z. For example Vacuum coating equipment used in photovoltaic module production. Furthermore it goes without saying can also be used in any other substrate coating applications, in which a substrate to be coated is to be transported, especially under process conditions with elevated temperatures and / or reactive atmosphere environments.

Claims (13)

Transporteinrichtung mit – wenigstens einer drehbeweglich angeordneten Transportrolle (1a, 1b; 2a, 2b; 3a, 3b), die einen Auflagezylinderabschnitt (6) zum seitlichen Tragen eines zu transportierenden Gegenstands (4, 5) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass – die Transportrolle mindestens in ihrem Auflagezylinderabschnitt (6) aus einem volumenkorrosionsfesten Material besteht.Transport device with - at least one rotatably arranged transport roller ( 1a . 1b ; 2a . 2 B ; 3a . 3b ), which has a support cylinder section ( 6 ) for laterally carrying an article to be transported ( 4 . 5 ), characterized in that - the transport roller at least in its edition cylinder section ( 6 ) consists of a volume corrosion resistant material. Transporteinrichtung nach Anspruch 1, weiter dadurch gekennzeichnet, dass das volumenkorrosionsfeste Material ein Material ist, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Sintermetallen, Molybdän, Titan, Quarzglas, Graphit, Verbundwerkstoffen, technischen Keramiken und Kombinationen hiervon besteht.Transport device according to claim 1, further characterized in that the volume corrosion resistant material is a material is that selected from the group made of sintered metals, molybdenum, titanium, quartz glass, graphite, Composites, engineering ceramics and combinations thereof consists. Transporteinrichtung, insbesondere nach Anspruch 1 oder 2, mit – wenigstens einer drehbeweglich angeordneten Transportrolle (1a, 1b; 2a, 2b; 3a, 3b), die einen Auflagezylinderabschnitt (6) zum seitlichen Tragen eines zu transportierenden Gegenstands (4, 5) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass – die Transportrolle mehrteilig mit einem Grundkörper (15a) und einem den Auflagezylinderabschnitt umfassenden, mit dem Grundkörper drehfest gekoppelten Laufschalenkörper (15b) oder mit einem den Auflagezylinderabschnitt umfassenden Transportrollenelement (25a) und einer in eine Buchsenaufnahme (26) desselben eingefügten Einsatzbuchse (25b) gebildet ist.Transport device, in particular according to claim 1 or 2, with - at least one rotatably arranged transport roller ( 1a . 1b ; 2a . 2 B ; 3a . 3b ), which has a support cylinder section ( 6 ) for laterally carrying an article to be transported ( 4 . 5 ), characterized in that - the transport roller in several parts with a basic body ( 15a ) and the support cylinder section comprehensive, with the main body rotatably coupled to runner body ( 15b ) or with a transport roller element comprising the support cylinder section ( 25a ) and one in a female receptacle ( 26 ) of the same inserted insert bushing ( 25b ) is formed. Transporteinrichtung nach Anspruch 3, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Laufschalenkörper mehrteilig mit einer drehfest mit dem Grundkörper gekoppelten Halteplatte (29b) und einer drehfest mit der Halteplatte gekoppelten, den Auflagezylinderabschnitt umfassenden Laufschale (29c) gebildet ist.Transport device according to claim 3, further characterized in that the running shell body in several parts with a non-rotatably coupled to the main body retaining plate ( 29b ) and a rotatably coupled to the retaining plate, the support cylinder section comprising running shell ( 29c ) is formed. Transporteinrichtung nach Anspruch 3 oder 4, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der an der Laufschale oder an dem Laufschalenkörper vorgesehene Auflagezylinderabschnitt eine Buchsenaufnahme (26) aufweist, in die eine Einsatzbuchse (28c) eingefügt ist.Transport device according to claim 3 or 4, further characterized in that the provided on the running shell or on the running cup body support cylinder portion a socket receptacle ( 26 ) into which an insert bushing ( 28c ) is inserted. Transporteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiter dadurch gekennzeichnet, dass mehrere, in einer Transportrichtung des zu transportierenden Gegenstands aufeinanderfolgend angeordnete Paare von sich quer zur Transportrichtung beabstandet gegenüberliegenden Transportrollen vorgesehen sind, die den zu transportierenden Gegenstand an zwei gegenüberliegenden Randseiten tragen.Transport device according to one of claims 1 to 5, further characterized in that a plurality, in a transport direction of the object to be transported arranged successively Pairs of spaced transversely to the transport direction opposite Transport rollers are provided which the object to be transported on two opposite Bear edge sides. Transporteinrichtung nach Anspruch 6, weiter gekennzeichnet durch eine sich jeweils zwischen den beiden Transportrollen eines Paares erstreckende Mittenunterstützungsstange (14), die an ihren Enden in einer Stangenaufnahme (6a, 27) der jeweiligen Transportrolle gehalten ist, wobei sie an wenigstens einem der beiden Enden drehbeweglich gehalten ist.Transport device according to claim 6, further characterized by a center support rod extending in each case between the two transport rollers of a pair ( 14 ) at their ends in a pole mount ( 6a . 27 ) is held by the respective transport roller, wherein it is rotatably supported on at least one of the two ends. Transporteinrichtung nach Anspruch 7, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Stangenaufnahme an der jeweiligen Transportrolle von einem hohlen Innenraum (6a) des Auflagezylinderabschnitts gebildet ist.Transport device according to claim 7, further characterized in that the rod receptacle on the respective transport roller of a hollow interior ( 6a ) of the support cylinder portion is formed. Transporteinrichtung nach Anspruch 7, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Stangenaufnahme von der Einsatzbuchse gebildet ist.Transport device according to claim 7, further characterized in that the rod receptacle is formed by the insert bush is. Transporteinrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Mittenunterstützungsstange wenigstens einen zylindrischen Stützabschnitt (30) in einem Mittenbereich aufweist, wobei der wenigstens eine Stützabschnitt einen größeren Außendurchmesser als beidseits anschließende Stangenbereiche (31a, 31b) besitzt.Transport device according to one of claims 7 to 9, further characterized in that the center support rod at least one cylindrical support portion ( 30 ) in a central region, wherein the at least one support portion has a larger outer diameter than both sides adjoining rod regions (US Pat. 31a . 31b ) owns. Transporteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Transportrolle ein Antriebskopplungsmittel (7) zum Ankoppeln an einen Rotationsantrieb (8, 11) beinhaltet.Transport device according to one of claims 1 to 10, further characterized in that the transport roller comprises a drive coupling means ( 7 ) for coupling to a rotary drive ( 8th . 11 ) includes. Transporteinrichtung mit – einer oder mehreren, in einer Transportrichtung aufeinanderfolgend angeordneten Transportstangen (33), wobei sich die jeweilige Transportstange quer zur Transportrichtung erstreckt und einen zu transportierenden Gegenstand trägt, der durch eine Rotationsbewegung der jeweiligen Transportstange in Transportrichtung bewegt wird und über den hinaus die Transportstange an ihren beiden Enden vorsteht, und – Stangenhaltemittel, welche die jeweilige Transportstange an beiden Enden drehbeweglich halten, gekennzeichnet durch – einen Stangenantrieb (8, 11), der die jeweilige Transportstange (33) einseitig an einem ihrer beiden Enden zu der Rotationsbewegung antreibt.Transport device with - one or more, in a transport direction successively arranged transport rods ( 33 ), wherein the respective transport rod extends transversely to the transport direction and carries an object to be transported, which is moved by a rotational movement of the respective transport rod in the transport direction and beyond which the transport rod protrudes at both ends, and - rod holding means, which the respective transport rod rotatably holding both ends, characterized by - a rod drive ( 8th . 11 ), the respective transport rod ( 33 ) on one side at one of its two ends to the rotational movement drives. Substratbeschichtungsanlage, insbesondere zur Beschichtung von Substraten für Dünnschichtsolarzellenbauelemente, gekennzeichnet durch eine Transporteinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zum Transport von zu beschichtenden Substraten.Substrate coating system, in particular for coating of substrates for Thin film solar cells components, characterized by a transport device according to one of claims 1 to 12 for transporting substrates to be coated.
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