WO2011085869A2 - Trägermaterial mit einer mechanischen filtereigenschaft und verfahren zur herstellung eines trägermaterials - Google Patents

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Ralf Schober
Mariusz Koc
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Robert Bosch Gmbh
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5783—Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making

Definitions

  • the present invention relates to a carrier material according to claim 1, a sensor unit according to claim 9, and a method for producing a carrier material according to claim 10.
  • ⁇ sensors are used to detect vehicle movements, such as acceleration or yaw rate.
  • the sensors are placed on a support, for example a circuit board, and connected to the vehicle by a mechanical, usually rigid, coupling, for example a screw connection from the circuit board to a housing of the control unit.
  • Analog measured variables in the sensor are digitally converted and made available to an evaluation unit of the control unit.
  • the evaluation unit of the control unit can logically link a plurality of sensor measured variables for executing system functions.
  • the interference signal can be transmitted by a mechanical coupling between the vehicle and the sensor element via a sensor carrier.
  • Current solutions for reducing interference signals make use of mechanically damping materials. Often serves a damping mat, for example of foam, between the vehicle and sensor carrier to reduce an influence of the interference signal to the useful signal by the mechanical coupling. Also, by applying a damping mass between the sensor and the carrier, the mechanical coupling can be changed.
  • the present invention provides a carrier material with a mechanical filter property, wherein the carrier material has the following ranges:
  • a separating region coupled to the at least one holding region and the sensor region, which is arranged between the at least one holding region and the sensor region, the carrier material being arranged in the
  • Separation region for forming a mechanical filter property has a different structure than the carrier material in the holding region and / or in the sensor region.
  • the present invention further provides a sensor unit which has the following features:
  • a sensor element which is arranged in the sensor region on the carrier material and which is designed to detect mechanical movements or vibrations and a mechanical movement or movement
  • the present invention further provides a process for producing a carrier material having a mechanical filter property, the process comprising the following steps:
  • the support plate comprises a holding portion for holding the support plate
  • the invention serves the purpose of reducing (dampening) or avoiding an interference signal arriving at a sensor element. This is achieved by passing the interference signal before it can reach the sensor element, a mechanical filter.
  • the mechanical filter has the task to attenuate an interference signal in a certain frequency range, which is critical for the correct operation of the sensor element, while a useful signal should reach the sensor element as unhindered as possible.
  • a direct advantageous effect of the invention is that an improved ratio of useful signal power to noise power can be achieved by the mechanical filter.
  • the evaluation of the controller can thus be provided a measurement signal with higher accuracy available.
  • smaller demands can be made on the sensor element at the desired constant measurement accuracy, which can lead to the use of a less expensive sensor element.
  • Another important advantage is that interfering signals with frequencies, in which a sensor is particularly sensitive, are avoided during the measured value recording.
  • Sensitivity of the sensor means that the sensor only has to be excited with a small mechanical signal power and frequency to generate spurious signals in a useful band.
  • the interfering signals with new frequencies are generated by nonlinear effects in the sensor element when excited with externally applied vibrations. This can be increase overall disturbance and reduce the ratio of useful signal power to noise power.
  • the output from the sensor to the evaluation and superimposed by an interfering signal useful signal can then be corrupted or even unusable.
  • the invention offers the advantage that an influence on a mechanical transfer function can be achieved even without the aid of additional components, such as foam or damping masses.
  • a mechanical filter effect can be achieved by a suitable choice of recesses in a separating region around the sensor or the sensor region in the carrier material.
  • This solution offers a cost-optimized approach especially for applications in which high demands are placed on a defined mechanical transfer function at low cost.
  • problems with the use of additional materials, such as foam or damping compounds are avoided by aging. Since these materials often change their mechanical properties during a sensor's lifetime, the use of such materials poses a risk of unpredictable system interference. Thanks to a realization of the integrated in a carrier material, such as a printed circuit board, mechanical filter in the form of the separation area can be dispensed with additional materials with aging properties.
  • the invention is based on the recognition that, taking into account the shape, material type and structure of a region of a carrier material, a mechanical filter can be realized.
  • This region of the carrier material which may be referred to as a separating region, is distinguished by a change in the carrier material, for example with respect to the shape, the type of material and / or the structure.
  • the shape may have a rectangular shape, circular shape or a mixed shape of rectangular and circular shape.
  • Material type of separation area made of an identical material as the carrier material in the holding area and / or in the sensor area itself to introduce a structure of the separation area in a simple manufacturing step.
  • the structure may be formed by a recess or one or more openings in the separation area.
  • the separation area is between one
  • One measure of mechanical coupling is a transfer function that is a response to excitation of a mechanical system in a predetermined frequency range.
  • the transfer function (seen from the sensor area) can be dependent on mechanical properties, such as, for example, the shape, the material and / or the structure of the separation area.
  • these mechanical properties can be used to adapt a transfer function to a sensitivity characteristic of a sensor to be mounted in the sensor region.
  • a protective function is necessary if mechanical vibrations could damage the sensor or lead to faulty sensor signals.
  • the mechanical filter helps to filter out sensor-damaging or signal-distorting frequencies.
  • the carrier material in the separation region may have a smaller or a greater thickness than the carrier material in the holding region and / or in the sensor region. Different material thicknesses can lead to different resonance behavior of the whole
  • Carry support material Depending on the design of the different material thicknesses, a transfer function may result.
  • the transfer function can be adapted, for example, to a mechanical environment or to a sensitivity characteristic of a sensor to be arranged in the sensor region of the carrier material, so that such a sensor can supply sensor signals which are hardly or not at all degraded by interference signals.
  • the carrier material may have at least one opening in the separation area.
  • the at least one opening alters the structure of the material in the separation area and can be easily manufactured, for example by a corresponding manufacturing method.
  • a transfer function can be adapted to a sensitivity characteristic of a sensor used in the sensor region.
  • the separating region may comprise partial regions which have different thicknesses of the carrier material. A structuring of the separation region with different thicknesses of the carrier material of a subregion allows a frequency-selective attenuation of an interfering signal or a frequency-selective passing of a useful signal within a subrange.
  • the separation region may surround the sensor region up to at least one transition region, wherein the separation region may be separated by the transition region.
  • the transition region can be made of the same material as the material of the separation region only with a correspondingly changed structure, in order to exert no influence on the transfer function. It can the
  • the transfer function for the sensor region can be adapted flexibly. At the same time, however, a certain stability of the sensor area can be ensured, since in this area the sensor on the
  • Carrier material may be attached and electrically contacted.
  • the separation region may have a rectangular shape and / or completely surround the sensor region.
  • a mechanical coupling of the sensor region to the carrier material can be optimized in such a way that vibrations always have to pass through the separation region in order to reach the sensor region.
  • Such a structured separation region can furthermore be produced very simply and therefore reduces the costs for a corresponding carrier material.
  • the separation region may have a circular shape and completely enclose the sensor region.
  • the circular shape may be advantageous because in such a shape no corners and / or edges occur at which mechanical vibrations can be reflected.
  • the use of a circular shape can make it easier to calculate.
  • the transfer function can be optimized in the circular sensor area, which will achieve maximum attenuation of an interference signal.
  • the separation region may have at least one notch as a structure and / or the separation region may completely surround the sensor region.
  • the notch introduced into the separation region may constitute a region to shield an interference signal originally originating from the carrier material in the holding region from the sensor region. In this case, by means of a position of the notch, a location-selective attenuation of the interference signal can take place.
  • the separation region may be configured to produce a mechanical spring action between the holding region and the sensor region.
  • the transfer function can be defined for the sensor area.
  • the mechanical spring action can be realized, for example, by a mechanical spring made of a different material from the carrier material or, for example, by a meandering structure introduced into the carrier material.
  • the carrier material can be a printed circuit board and have electrical conductor tracks.
  • the formation of the carrier material, the separation region and the sensor region from an identical printed circuit board material can be advantageous in that electrical components are applied to the printed circuit board material and / or a circuit and / or integrated circuits can be arranged on the printed circuit board material.
  • a structural design of the separation area can be performed in a single operation, if the
  • Material of the separation area should be identical to the material of the carrier material. Also, possibly the separation area may be formed by an advantageous conductor track guide on the circuit board.
  • FIG. 1 is a plan view of a section of a carrier material with a mechanical filter property, according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a plan view of a section of a carrier material with a different mechanical filter property, according to an embodiment
  • FIG. 3 shows a signal transmission chain according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 5 shows a flow chart of a method for producing a carrier material with a mechanical filter characteristic, according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • an exemplary embodiment comprises a "and / or" link between a first feature / step and a second feature / step
  • this can be read such that the embodiment according to one embodiment includes both the first feature / the first feature and the second feature / the second step and according to another embodiment has neither only the first feature / step or only the second feature / step.
  • the carrier material 102 is subdivided into a holding region 104 which corresponds to the cutout, a separating region 106 and a rectangular sensor region 110.
  • a sensor 1 10 including connection contacts is arranged on the sensor area.
  • the separating region 106 completely encloses the rectangular sensor region 110, wherein the separating region 106 effects a mechanical coupling between the holding region 104 and the sensor region 110.
  • the sensor 1 10 can be contacted via electrical lines, not shown, which are guided by the holding area 104 via the separation area 106 to the sensor area 1 10.
  • the carrier material 100 shown in FIG. 1 with a mechanical filter characteristic can be understood as a mechanical filter 106 which is integrated in a printed circuit board 102 used as carrier material 102.
  • the mechanical filter 106 can be realized, for example, by recesses in the separation region 106 on the printed circuit board 102.
  • a filtering effect can be achieved, which can have a direct influence on a noise signal.
  • Fig. 2 shows a plan view of a section of a carrier material 200 without mechanical filter property.
  • a material of the sensor region 110 is identical to a material of the carrier material 1021 10, wherein structuring in the separation region 106 was dispensed with.
  • a arranged on the sensor portion 1 10 sensor 1 10 is here coupled directly to the circuit board 102 and the holding area without mechanical filter. As a result, no interference signals can be advantageously kept away from the sensor.
  • 3 shows a signal transmission chain 300 according to an embodiment of the present invention.
  • Useful signal 304 is supplied via a transmission channel 306 to a sensor 308, which passes on a corresponding electrical output signal to a data processing device, such as a microcontroller of an electrical control unit, 310.
  • the useful signal 304 is superimposed with interference signals 302, for example due to vibrations, which disturb the useful signal 304.
  • the transmission channel is described here on the basis of different transmission functions, which map the transmission behavior of this transmission channel 306. If a mechanical filter is integrated in the transmission channel 306, which represents the mechanical coupling between vehicle and sensor 308, through the separation region described above, the interference signal 302 can be filtered out of the useful signal 304 by means of a transmission function modified by the mechanical filter.
  • FIG. 3 shows by way of example the comparison between a mechanical filter transfer function 312 and a transfer function without a mechanical filter 314. A deviation between the two transfer functions 312, 314 is caused by the mechanical filter of the
  • a useful signal processed by the mechanical filter is supplied to the sensor 308.
  • the sensor 308 detects an incoming signal, such as a mechanical signal, and transforms the incoming signal by means of a response function specific to the sensor 308
  • the output signal of the sensor 308 serves as an input signal for the microcontroller of the electrical control unit 310, which is further processed in the control unit 310.
  • a signal transmission from a vehicle to a sensor 308 is illustrated.
  • the useful and interference signal 304, 302 are superimposed in the vehicle and are passed as an overall signal through a mechanical transfer function 312, 314 to the sensor 308.
  • Non-linearities present in the sensor 308 act on an output signal of the
  • the transfer functions include a transfer function 406 of the sensor, a mechanical filter transfer function 408, and a transfer function 410 without a mechanical filter.
  • the transmission function 406 of the sensor shows two pronounced maxima, wherein a first maximum occurs in a lower frequency range and a second maximum in an upper frequency range.
  • the transfer function 408 of the carrier material with a mechanical filter and the transfer function 410 of the carrier material without a mechanical filter each show a maximum in the amplitude curve, with the maximum of the transfer function 410 of the carrier material without mechanical filter occurring in the upper frequency range superimposing the second maximum.
  • the maximum of the mechanical filter transfer function 408 is shown shifted in a middle, between the upper and lower, frequency range. From the graphical representation 400, a particular situation can be read in particular in the upper frequency range. In this case, an interference signal in the upper frequency range, which is referred to as the sensitive frequency range 412 of the sensor, leads to an excitation of the sensor.
  • the excitation of the sensor may result in a resonance frequency range 412, which corresponds to the upper frequency range, to a deterioration up to unusability of the useful signal. In extreme cases, it could be to
  • Carrier material remain applied to facilitate assembly, for example, in an automatic assembly.
  • the sensor may be connected to the vehicle by other materials.
  • a mechanical coupling is produced in a defined manner.
  • the new coupling structure between carrier and sensor realizes a defined mechanical transfer function 408 with filtering effect.
  • an effect of the mechanical filter can be clarified.
  • the effect of the mechanical filter or its filter effect can be detected by recording the mechanical transfer function 408, 410.
  • a first control device without a mechanical filter is excited on a vibration table.
  • a stimulating vibration is measured with a reference sensor.
  • An additionally mounted reference sensor on the sensor element measures the vibrations occurring at the sensor.
  • an attenuation or a gain can be determined starting from a control unit housing via the carrier material up to the sensor and can be represented as a mechanical transfer function 408, 410. Thereafter, the same control unit is changed with the measures described above.
  • a second controller provided with a mechanical filter is placed thereon
  • a filter function can be calculated from the two present mechanical transfer functions 408, 410.
  • FIG. 5 shows a flow chart of a method 500 for producing a carrier material with a mechanical filter characteristic, according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the method 500 can be used for producing an embodiment shown in FIG. 1.
  • a carrier plate is provided, wherein the carrier plate comprises a holding region for holding the carrier plate.
  • the carrier plate may represent a printed circuit board in one embodiment.
  • a structure of a separation area between the holding area and a sensor area of the carrier plate is introduced, wherein the separation area has a structure other than the holding area and the sensor area to obtain a mechanical filter property.
  • the introduction of a structure on the separation area can be a partially local
  • Removing the carrier material for example in the form of a notch, or a completely local removal of the carrier material, for example in the form of an opening or a meander-shaped structure as a spring element represent.

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Abstract

Es wird ein Trägermaterial (100, 200) mit einer mechanischen Filtereigenschaft vorgeschlagen, das zumindest einen Haltebereich (104) zur Halterung des Trägermaterials (102) aufweist. Ferner weist das Trägermaterial (100, 200) einen Sensorbereich (110) mit Sensoranschlusskontakten auf. Weiterhin umfasst das Trägermaterial (100, 200) einen mit dem zumindest einen Haltebereich (104) und dem Sensorbereich (110) gekoppelten Trennbereich (106), der zwischen dem zumindest einen Haltebereich (104) und dem Sensorbereich (110) angeordnet ist. Dabei weist das Trägermaterial (102) in dem Trennbereich (106) zur Ausbildüng einer mechanischen Filtereigenschaft eine andere Struktur auf, als das Trägermaterial (102) in dem Haltebereich (104) und/oder in dem Sensorbereich (110).

Description

Beschreibung
Titel
Trägermaterial mit einer mechanischen Filtereigenschaft und Verfahren zur Herstellung eines Trägermaterials
Stand der Technik
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Trägermaterial gemäß Anspruch 1 , eine Sensoreinheit gemäß Anspruch 9, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Trägermaterials gemäß Anspruch 10.
Heutzutage werden in Steuergeräten von Fahrzeugen verschiedene Sensoren zur Detektion von Fahrzeugbewegungen, zum Beispiel einer Beschleunigung oder einer Drehrate, eingesetzt. Die Sensoren werden auf einem Träger, beispielsweise einer Platine, platziert und durch eine mechanische, meist starre, Kopplung, zum Beispiel einer Verschraubung von der Platine mit einem Gehäuse des Steuergerätes, mit dem Fahrzeug verbunden. Analoge Messgrößen im Sensor werden digital gewandelt und einer Auswerteeinheit des Steuergerätes zur Verfügung gestellt. Durch die Auswerteeinheit des Steuergerätes können mehrere Sensormessgrößen zur Ausführung von Systemfunktionen logisch verknüpft werden.
In einem Fahrzeug entstehen durch Umwelteinwirkung, zum Beispiel Vibration, Störsignale. Ein Vorteil des Steuergerätes ist, dass es kompakt in das Fahrzeug integriert werden kann, jedoch zusätzlich zu einem gewünschten Nutzsignal ein dem Nutzsignal überlagertes Störsignal an ein Sensorelement gelangen kann. Somit kann das Störsignal unter Umständen zu einer Verschlechterung einer Funktionsweise des Sensorelementes führen. Das Störsignal kann durch eine mechanische Kopplung zwischen dem Fahrzeug und dem Sensorelement über einen Sensorträger übertragen werden. Aktuelle Lösungsansätze zur Verminderung von Störsignalen bedienen sich mechanisch dämpfenden Materialien. Oft dient eine dämpfende Matte, zum Beispiel aus Schaumstoff, zwischen Fahrzeug und Sensorträger dazu, um einen Einfluss des Störsignals auf das Nutzsignal durch die mechanische Kopplung zu reduzieren. Ebenfalls kann durch ein Aufbringen einer Dämpfungsmasse zwischen Sensor und Träger die mechanische Kopplung verändert werden.
In der Offenlegungsschrift US 2003/0132726 A1 wird eine Kombination aus einem mechanischen Filter und einer Kontrollanlage beschrieben, die für einen Roboter oder einen Manipulator bereitgestellt wird.
Offenbarung der Erfindung
Vor diesem Hintergrund wird mit der vorliegenden Erfindung ein Trägermaterial, weiterhin ein Sensorelement, sowie ein Verfahren zur Herstellung gemäß den unabhängigen Patentansprüchen vorgestellt. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Trägermaterial mit einer mechanischen Fil- tereigenschaft, wobei das Trägermaterial folgende Bereiche aufweist:
- zumindest einen Haltebereich zur Halterung des Trägermaterials;
- einen Sensorbereich mit Sensoranschlusskontakten; und
- einen mit dem zumindest einen Haltebereich und dem Sensorbereich gekoppelten Trennbereich, der zwischen dem zumindest einen Haltebereich und dem Sensorbereich angeordnet ist, wobei das Trägermaterial in dem
Trennbereich zur Ausbildung einer mechanischen Filtereigenschaft eine andere Struktur aufweist, als das Trägermaterial in dem Haltebereich und/oder in dem Sensorbereich. Die vorliegende Erfindung schafft ferner eine Sensoreinheit, die folgende Merkmale aufweist:
- ein Trägermaterial gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche; und
- ein Sensorelement, das in dem Sensorbereich auf dem Trägermaterial angeordnet ist und das ausgebildet ist, um mechanische Bewegungen oder Vibrationen zu detektieren und ein den mechanischen Bewegungen oder
Vibrationen charakteristisches Sensorsignal zu erzeugen. Die vorliegende Erfindung schafft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines Trägermaterials mit einer mechanischen Filtereigenschaft, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
- Bereitstellen einer Trägerplatte, wobei die Trägerplatte einen Haltebereich zur Halterung der Trägerplatte umfasst; und
- Einbringen einer Struktur in einen Trennbereich zwischen dem Haltebereich und einen Sensorbereich der Trägerplatte, wobei der Trennbereich nach dem Schritt des Einbringens eine andere Struktur als der Haltebereich und/oder der Sensorbereich aufweist, um eine mechanische Filtereigenschaft zu erhalten.
Die Erfindung dient dem Ziel, ein an ein Sensorelement ankommendes Störsignal zu verringern (dämpfen) oder zu vermeiden. Dies wird dadurch erreicht, dass das Störsignal bevor es an das Sensorelement gelangen kann, ein mechanisches Filter passiert. Das mechanische Filter hat die Aufgabe, ein Störsignal in einem bestimmten Frequenzbereich, der kritisch für die korrekte Funktion des Sensorelementes ist, zu dämpfen, während ein Nutzsignal möglichst ungehindert an das Sensorelement gelangen soll.
Eine direkte vorteilhafte Auswirkung der Erfindung ist, dass durch das mechanische Filter ein verbessertes Verhältnis von Nutzsignalleistung zu Störsignalleistung erreicht werden kann. Der Auswerteeinheit des Steuergerätes kann damit ein Messsignal mit höherer Genauigkeit zur Verfügung gestellt werden. Alternativ können bei gewünschter gleichbleibender Messgenauigkeit an das Sensorelement geringere Anforderungen gestellt werden, die zu einer Verwendung eines kostengünstigeren Sensorelementes führen können.
Ein weiterer wichtiger Vorteil ist, dass Störsignale mit Frequenzen, in denen ein Sensor besonders empfindlich ist, bei der Messwertaufnahme vermieden werden. Empfindlichkeit des Sensors bedeutet, dass der Sensor lediglich mit einer kleinen mechanischen Signalleistung und einer bestimmten Frequenz angeregt werden muss, um Störsignale in einem Nutzband zu erzeugen. Die Störsignale mit neuen Frequenzen werden durch nichtlineare Effekte im Sensorelement bei Anregung mit von außen aufgebrachten Vibrationen erzeugt. Dadurch kann sich eine Gesamtstörleistung erhöhen und vermindert das Verhältnis von Nutzsignalleistung zu Störsignalleistung. Das vom Sensor an die Auswerteeinheit abgegebene und von einem Störsignal überlagerte Nutzsignal kann dann verfälscht oder sogar unbrauchbar sein.
Die Erfindung bietet den Vorteil, dass auch ohne Zuhilfenahme von zusätzlichen Bauteilen, wie zum Beispiel Schaumstoff oder Dämpfungsmassen, ein Einfluss auf eine mechanische Übertragungsfunktion erreicht werden kann. So lässt sich beispielsweise durch eine geeignete Wahl von Aussparungen in einem Trennbe- reich um den Sensor bzw. den Sensorbereich im Trägermaterial eine mechanische Filterwirkung erreichen. Diese Lösung bietet einen kostenoptimierten Ansatz speziell für Einsatzgebiete, in denen hohe Anforderungen an eine definierte mechanische Übertragungsfunktion bei geringen Kosten gestellt werden. Weiterhin werden Probleme bei der Verwendung von zusätzlichen Materialien, beispielsweise Schaumstoff oder Dämpfungsmassen, durch Alterung vermieden. Da diese eingesetzten Materialien während einer Betriebszeit des Sensors oft ihre mechanischen Eigenschaften ändern, birgt die Verwendung von solchen Materialien eine Gefahr von nicht vorhersehbaren Systembeeinflussungen. Dank ei- ner Realisierung des in einem Trägermaterial, beispielsweise einer Leiterplatte, integrierten mechanischen Filters in Form des Trennbereiches kann auf zusätzliche Materialien mit Alterungseigenschaften verzichtet werden.
Die Erfindung basiert auf der Erkenntnis, dass unter Berücksichtigung von Form, Materialsorte und Struktur eines Bereiches eines Trägermaterials ein mechanisches Filter realisiert werden kann. Dieser Bereich des Trägermaterials, der als Trennbereich bezeichnet werden kann, ist durch eine Veränderung des Trägermaterials, wie zum Beispiel bezüglich der Form, der Materialsorte und/oder der Struktur ausgezeichnet. Die Form kann dabei Rechteckform, Kreisform oder eine Mischform aus Rechteck- und Kreisform aufweisen. Insbesondere kann bei der
Materialsorte der Trennbereich aus einem identischen Material wie das Trägermaterial im Haltebereich und/oder im Sensorbereich selbst bestehen, um in einem einfachen Herstellungsschritt eine Struktur des Trennbereiches einzubringen. Die Struktur kann durch eine Aussparung oder eine oder mehrere Öffnun- gen im Trennbereich gebildet sein. Der Trennbereich ist dabei zwischen einem
Haltebereich und einem Sensorbereich angeordnet, um eine mechanische Kopp- lung, oder im besten Fall, eine mechanische Entkopplung bezüglich Vibrationen von dem Haltebereich und dem Sensorbereich zu realisieren. Ein Maß für die mechanische Kopplung ist eine Übertragungsfunktion, die eine Antwort auf eine Anregung eines mechanischen Systems in einem vorbestimmten Frequenzbe- reich darstellt. Die Übertragungsfunktion (vom Sensorbereich aus gesehen) kann dabei von mechanischen Eigenschaften, wie zum Beispiel der Form, dem Material und/oder der Struktur des Trennbereiches, abhängig sein. Vorteilhafterweise können diese mechanischen Eigenschaften dazu verwendet werden, um eine Übertragungsfunktion an eine Empfindlichkeitscharakteristik eines im Sensorbe- reich anzubringenden Sensors anzupassen. Hierdurch lässt sich eine Schutzfunktion gegen Störsignale für einen in dem Sensorbereich des Trägermaterials zu integrierenden Sensor realisieren. Eine Schutzfunktion ist dann notwendig, wenn mechanische Vibrationen den Sensor beschädigen oder zu fehlerhaften Sensorsignalen führen könnten. Dabei hilft das mechanische Filter, um Sensor- zerstörende oder Messsignal-verfälschende Frequenzen herauszufiltern.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das Trägermaterial im Trennbereich eine geringere oder eine größere Dicke als das Trägermaterial im Haltebereich und/oder im Sensorbereich aufweisen. Unterschiedliche Materialdicken können zu unterschiedlichem Resonanzverhalten des gesamten
Trägermaterials führen. Je nach Ausbildung der unterschiedlichen Materialdicken kann sich eine Übertragungsfunktion ergeben. Dadurch kann die Übertragungsfunktion, zum Beispiel an eine mechanische Umgebung oder auf eine Empfindlichkeitscharakteristik eines im Sensorbereich des Trägermaterials anzuordnen- den Sensors, angepasst sein, so dass ein solcher Sensor Sensorsignale liefern kann, die kaum oder überhaupt nicht durch Störsignale verschlechtert sind.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das Trägermaterial im Trennbereich mindestens eine Öffnung aufweisen. Die min- destens eine Öffnung verändert die Struktur des Materials im Trennbereich und kann, zum Beispiel durch ein entsprechendes Fertigungsverfahren, einfach hergestellt sein. Mittels der mindestens einen Öffnung und aus der daraus resultierenden Struktur des Materials im Trennbereich kann eine Übertragungsfunktion an eine Empfindlichkeitscharakteristik eines im Sensorbereich eingesetzten Sen- sors angepasst sein. In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich Teilbereiche umfassen, die unterschiedliche Dicken des Trägermaterials aufweisen. Eine Strukturierung des Trennbereichs mit unterschiedlichen Dicken des Trägermaterials eines Teilbereiches ermöglicht eine frequenzselektive Dämpfung eines Störsignals oder ein frequenzselektives Passieren eines Nutzsignals innerhalb eines Teilbereiches. Dabei kann abhängig von einer Position des Teilbereiches im Trennbereich eine ortsabhängige Dämpfung des Störsignals möglich sein. In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich den Sensorbereich bis auf mindestens einen Übergangsbereich umschließen, wobei der Trennbereich durch den Übergangsbereich aufgetrennt sein kann. Der Übergangsbereich kann aus dem gleichen Material hergestellt sein, wie das Material des Trennbereiches nur mit entsprechend geänderter Struktur, um keinen Einfluss auf die Übertragungsfunktion auszuüben. Dabei kann der
Trennbereich beliebig oft durch Übergangsbereiche separiert oder unterbrochen sein. Mittels einer vorbestimmten Anzahl und/oder einer vorbestimmten Anordnung von Übergangsbereichen kann die Übertragungsfunktion für den Sensorbereich flexibel angepasst sein. Zugleich kann dennoch eine gewisse Stabilität des Sensorbereiches sichergestellt sein, da in diesem Bereich der Sensor auf dem
Trägermaterial angebracht und elektrisch kontaktiert sein kann.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich eine Rechteckform aufweisen und/oder den Sensorbereich vollständig um- schließen. Bei einer Ausbildung des Trennbereiches, das den Sensorbereich vollständig umschließt, kann eine mechanische Kopplung des Sensorbereiches an das Trägermaterial derart optimiert sein, dass Vibrationen immer den Trennbereich passieren müssen, um in den Sensorbereich zu gelangen. Ein derartig strukturierter Trennbereich lässt sich ferner sehr einfach herstellen und reduziert daher die Kosten für ein entsprechendes Trägermaterial.
Gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich eine Kreisform aufweisen und den Sensorbereich vollständig umschließen. Die Kreisform kann von Vorteil sein, da bei einer solchen Form keine Ecken und/oder Kanten auftreten, an denen mechanische Schwingungen reflektiert werden können. Bei einer Realisierung einer gewünschten Übertragungs- funktion kann zu deren Berechnung die Verwendung einer Kreisform eine Erleichterung bieten. Dabei kann die Übertragungsfunktion im kreisförmigen Sensorbereich so optimiert sein, das eine maximale Dämpfung eines Störsignals erreichen wird.
In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich als Struktur mindestens eine Kerbe aufweisen und/oder der Trennbereich den Sensorbereich vollständig umschließen. Die in den Trennbereich eingebrachte Kerbe kann einen Bereich darstellen, um ein von dem Trägermaterial im Haltebereich ursprünglich kommendes Störsignal von dem Sensorbereich abzuschirmen. Dabei kann mittels einer Position der Kerbe eine ortsselektive Dämpfung des Störsignals erfolgen.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der Trennbereich derart ausgebildet sein, um eine mechanische Federwirkung zwischen dem Haltebereich und dem Sensorbereich zu erzeugen. Mittels der mechanischen Federwirkung kann die Übertragungsfunktion für den Sensorbereich festgelegt sein. Die mechanische Federwirkung kann beispielsweise durch eine mechanische Feder aus einem dem Trägermaterial unterschiedlichen Material oder beispielsweise durch eine in das Trägermaterial eingebrachte mäanderförmige Struktur realisiert sein.
In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das Trägermaterial eine Leiterplatte sein und elektrische Leiterbahnen aufweisen. Die Aus- bildung des Trägermaterials, des Trennbereiches und des Sensorbereiches aus einem identischen Leiterplattenmaterial kann in einer Weise von Vorteil sein, dass auf dem Leiterplattenmaterial elektrische Bauteile aufgebracht werden und/oder eine Schaltung und/oder integrierte Schaltkreise auf dem Leiterplattenmaterial angeordnet sein können. Ferner kann eine strukturelle Gestaltung des Trennbereiches in einem einzigen Arbeitsschritt durchgeführt werden, wenn das
Material des Trennbereiches identisch mit dem Material des Trägermaterials sein soll. Auch kann eventuell der Trennbereich durch eine vorteilhafte Leiterbahnführung auf der Leiterplatte gebildet sein.
Die Erfindung wird anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher läutert. Es zeigen: Fig. 1 eine Aufsicht eines Ausschnittes aus einem Trägermaterial mit einer mechanischen Filtereigenschaft, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine Aufsicht eines Ausschnittes aus einem Trägermaterial mit einer anderen mechanischen Filtereigenschaft, gemäß einem Ausführungsbeispiel;
Fig. 3 eine Signalübertragungskette, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine grafische Darstellung von unterschiedlichen Übertragungsfunktionen, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 5 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung eines Trägermaterials mit einer mechanischen Filtereigenschaft, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Gleiche oder ähnliche Elemente können in den Figuren durch gleiche oder ähnliche Bezugszeichen versehen sein, wobei auf eine wiederholte Beschreibung verzichtet wird. Ferner enthalten die Figuren der Zeichnungen, deren Beschreibung sowie die Ansprüche zahlreiche Merkmale in Kombination. Einem Fachmann ist dabei klar, dass diese Merkmale auch einzeln betrachtet werden oder sie zu weiteren, hier nicht explizit beschriebenen Kombinationen zusammenge- fasst werden können. Weiterhin ist die Erfindung in der nachfolgenden Beschreibung eventuell unter Verwendung von unterschiedlichen Maßen und Dimensionen erläutert, wobei die Erfindung nicht auf diese Maße und Dimensionen eingeschränkt zu verstehen ist. Ferner können erfindungsgemäße Verfahrensschritte wiederholt sowie in einer anderen als in der beschriebenen Reihenfolge ausgeführt werden. Umfasst ein Ausführungsbeispiel eine„und/oder" Verknüpfung zwischen einem ersten Merkmal/Schritt und einem zweites Merkmal/Schritt, so kann dies so gelesen werden, dass das Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform sowohl das erste Merkmal / den ersten Schritt als auch das zweite Merkmal /den zweiten Schritt und gemäß einer weiteren Ausführungsform ent- weder nur das erste Merkmal / Schritt oder nur das zweite Merkmal /Schritt aufweist.
Fig. 1 zeigt eine Aufsicht eines Ausschnittes aus einem Trägermaterial 100 mit einer mechanischen Filtereigenschaft, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Dabei ist das Trägermaterial 102 in einen Haltebereich 104, der dem Ausschnitt entspricht, einen Trennbereich 106 und einem rechteck- förmigen Sensorbereich 1 10 unterteilt. Auf dem Sensorbereich ist ein Sensor 1 10 einschließlich Anschlusskontakten angeordnet. Der Trennbereich 106 umschließt den rechteckförmigen Sensorbereich 1 10 vollständig, wobei der Trennbereich 106 eine mechanische Kopplung zwischen dem Haltebereich 104 und dem Sensorbereich 1 10 bewirkt. Der Sensor 1 10 kann über nicht dargestellte elektrische Leitungen kontaktiert werden, die von dem Haltebereich 104 über den Trennbereich 106 zum Sensorbereich 1 10 geführt werden.
Das in Fig. 1 dargestellte Trägermaterial 100 mit einer mechanischen Filtereigenschaft kann als ein mechanisches Filter 106 verstanden werden, das in einer als Trägermaterial 102 verwendeten Leiterplatte 102 integriert ist. Das mechanische Filter 106 kann zum Beispiel durch Aussparungen im Trennbereich 106 auf der Leiterplatte 102 realisiert werden. Durch eine Veränderung einer mechanischen Ankopplung des Sensors 1 10 an das Trägermaterial 102 kann eine Filterwirkung erreicht werden, die einen direkten Einfluss auf ein Störsignal haben kann. Dazu ist es notwendig den Sensor 1 10 weitestgehend vom Trägermaterial 102 im Haltebereich 104 zu entkoppeln. Dies kann durch Aussparungen im Trennbereich 106 des Trägermaterials 102 erreicht werden.
Dagegen zeigt Fig. 2 eine Aufsicht eines Ausschnittes aus einem Trägermaterial 200 ohne mechanische Filtereigenschaft. Dabei ist ein Material des Sensorbereiches 1 10 identisch mit einem Material des Trägermaterials 1021 10, wobei auf eine Strukturierung im Trennbereich 106 verzichtet wurde. Ein auf dem Sensorbereich 1 10 angeordneter Sensor 1 10 ist hier direkt mit der Leiterplatte 102 und dem Haltebereich ohne mechanisches Filter gekoppelt. Hierdurch können keine Störsignale von dem Sensor vorteilhaft ferngehalten werden. Fig. 3 zeigt eine Signalübertragungskette 300 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Dabei wird ein mit einem Störsignal 302 überlagertes Nutzsignal 304 über einen Übertragungskanal 306 einem Sensor 308 zugeführt, der ein entsprechendes elektrisches Ausgabesignal an ein Daten verarbeitendes Gerät, z.B. einen Mikrocontroller eines elektrischen Steuergerätes, 310 weitergibt. Im Allgemeinen ist das Nutzsignal 304 mit Störsignalen 302, zum Beispiel durch Vibrationen, überlagert, die das Nutzsignal 304 stören. Der Übertragungskanal wird hier an Hand von unterschiedlichen Übertragungsfunktionen beschrieben, die das Übertragungsverhalten dieses Übertragungskanals 306 abbilden. Ist in dem Übertragungskanal 306, der die mechanische Kopplung zwischen Fahrzeug und Sensor 308 darstellt, ein mechanisches Filter durch den vorstehend beschriebenen Trennbereich integriert, so kann mittels einer durch das mechanische Filter veränderten Übertragungsfunktion das Störsignal 302 aus dem Nutzsignal 304 gefiltert werden. In Fig. 3 ist beispielhaft der Vergleich zwischen einer Übertragungsfunktion mit mechanischem Filter 312 und einer Übertragungsfunktion ohne mechanisches Filter 314 gezeigt. Eine Abweichung zwischen den bei- den Übertragungsfunktionen 312, 314 wird durch das mechanische Filter des
Trennbereiches erzeugt, das in einer der vorangegangenen Beschreibung detailliert dargestellt wurde. Im Weiteren wird ein durch das mechanische Filter aufbereitetes Nutzsignal dem Sensor 308 zugeführt. Der Sensor 308 detektiert ein eingehendes Signal, beispielsweise ein mechanisches Signal, und transformiert das eingehende Signal mittels einer für den Sensor 308 spezifischen Antwortfunktion
316 in ein auszugebendes, zum Beispiel elektrisches, Ausgabesignal. Das Ausgabesignal des Sensors 308 dient als Eingabesignal für den Mikrocontroller des elektrischen Steuergerätes 310, das in dem Steuergerät 310 weiter verarbeitet wird.
Zusammenfassend ist anzumerken, dass in Fig. 3 eine Signalübertragung von einem Fahrzeug zu einem Sensor 308 veranschaulicht ist. Das Nutz- und Störsignal 304, 302 überlagern sich im Fahrzeug und werden als Gesamtsignal durch eine mechanische Übertragungsfunktion 312, 314 zum Sensor 308 geleitet. Im Sensor 308 vorhandene Nichtlinearitäten wirken auf ein Ausgangssignal des
Sensors 308, das wiederum als Eingangssignal für eine Auswerteeinheit 310 dient.
Fig. 4 zeigt eine grafische Darstellung 400 von unterschiedlichen Übertragungs- funktionen, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Dabei sind entlang einer horizontalen Frequenzachse 402 Amplituden von unterschied- liehen Übertragungsfunktionen an einer vertikalen Amplitudengangachse 404 aufgetragen. Zu den Übertragungsfunktionen gehören eine Übertragungsfunktion 406 des Sensors, eine Übertragungsfunktion 408 mit mechanischem Filter und eine Übertragungsfunktion 410 ohne mechanisches Filter. Die Übertragungsfunk- tion 406 des Sensors zeigt zwei ausgeprägte Maxima, wobei ein erstes Maximum in einem unteren Frequenzbereich und ein zweites Maximum in einem oberen Frequenzbereich auftreten. Die Übertragungsfunktion 408 des Trägermaterials mit mechanischem Filter und die Übertragungsfunktion 410 des Trägermaterials ohne mechanisches Filter zeigen im Amplitudenverlauf jeweils ein Maxi- mum, wobei das Maximum der Übertragungsfunktion 410 des Trägermaterials ohne mechanisches Filter in dem oberen Frequenzbereich überlagernd mit dem zweiten Maximum auftritt. Das Maximum der Übertragungsfunktion 408 mit mechanischem Filter ist in einem mittleren, zwischen den oberen und unteren, Frequenzbereich verschoben dargestellt. Aus der grafischen Darstellung 400 kann insbesondere im oberen Frequenzbereich eine besondere Situation abgelesen werden. Dabei führt ein Störsignal im oberen Frequenzbereich, der als empfindlicher Frequenzbereich 412 des Sensors bezeichnet wird, zu einer Anregung des Sensors. Die Anregung des Sensors kann in einem Resonanzfrequenzbereich 412, das dem oberen Frequenzbereich entspricht, zu einer Verschlechterung bis hin zu Unbrauchbarkeit des Nutzsignals führen. Im Extremfall könnte es zur
Schädigung des Sensors kommen. Unter Verwendung eines mechanischen Filters wird daher die Übertragungsfunktion 410 des Trägermaterials verändert und es ergibt sich eine neue Übertragungsfunktion 408, bei der ein im empfindlichen Frequenzbereich 412 des Sensors auftretendes Störsignal gedämpft und eine Funktionsbeeinträchtigung des Sensors verhindert wird.
In einer Übersicht werden daher in Fig. 4 Übertragungsfunktionen (ÜF) im System, zum Beispiel in einem Fahrzeug, gezeigt. Durch Einführung eines mechanischen Filters, verändert dies die Übertragungsfunktion des Trägermaterials von einem Haltebereich in einem Sensorbereich. Der Sensor selbst kann auf einem
Trägermaterial aufgebracht bleiben, um eine Montage, zum Beispiel bei einer automatischen Bestückung, zu erleichtern. Weiterhin kann der Sensor anhand anderer Materialien mit dem Fahrzeug verbunden sein. Durch definierte Übergangselemente zwischen dem Trägermaterial und dem Sensor wird eine mecha- nische Kopplung in definierter Weise hergestellt. Zweckmäßigerweise wird durch die neue Kopplungsstruktur zwischen Träger und Sensor eine definierte mechanische Übertragungsfunktion 408 mit Filterwirkung realisiert.
Anhand von Fig. 4 kann ein Effekt des mechanischen Filters verdeutlich werden. Der Effekt des mechanischen Filters bzw. dessen Filterwirkung kann durch Aufnahme der mechanischen Übertragungsfunktion 408, 410 nachgewiesen werden, Hierbei wird ein erstes Steuergerät ohne mechanisches Filter auf einem Vibrationstisch angeregt. Eine anregende Vibration wird mit einem Referenzsensor gemessen. Ein zusätzlich angebrachter Referenzsensor an dem Sensorelement misst die am Sensor auftretenden Vibrationen. Nach Durchfahren eines Frequenzbereichs lässt sich eine Dämpfung oder eine Verstärkung ausgehend von einem Steuergerätegehäuse über das Trägermaterial bis zum Sensor bestimmen und als mechanische Übertragungsfunktion 408, 410 darstellen. Danach wird das gleiche Steuergerät mit den oben beschriebenen Maßnahmen verändert. Ein mit einem mechanischen Filter versehenes zweites Steuergerät wird auf derselben
Messanordnung vermessen. Eine Filterfunktion kann aus den beiden vorliegenden mechanischen Übertragungsfunktionen 408, 410 errechnet werden.
Fig. 5 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens 500 zur Herstellung eines Trä- germaterials mit einer mechanischen Filtereigenschaft, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Dabei kann das Verfahren 500 zur Herstellung eines in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels verwendet werden. In einem Schritt des Bereitstellens 502 wird eine Trägerplatte bereitgestellt, wobei die Trägerplatte einen Haltebereich zur Halterung der Trägerplatte umfasst. Die Trägerplatte kann in einem Ausführungsbeispiel eine Leiterplatte darstellen. Ferner wird in einem Schritt des Einbringens 504 eine Struktur eines Trennbereiches zwischen dem Haltebereich und einen Sensorbereich der Trägerplatte eingebracht, wobei der Trennbereich eine andere Struktur aufweist, als der Haltebereich und der Sensorbereich, um eine mechanische Filtereigenschaft zu erhalten. Das Einbringen einer Struktur auf den Trennbereich kann ein teilweise lokales
Entfernen von dem Trägermaterial, zum Beispiel in Form einer Kerbe, oder ein komplett lokales Entfernen von dem Trägermaterial, beispielsweise in Form einer Öffnung oder einer Mäander-förmigen Struktur als Federelement, darstellen.

Claims

Ansprüche
1 . Trägermaterial (100, 200) mit einer mechanischen Filtereigenschaft, wobei das Trägermaterial (100, 200) folgende Bereiche aufweist: zumindest einen Haltebereich (104) zur Halterung des Trägermaterials (102);
einen Sensorbereich (1 10) mit Sensoranschlusskontakten; und einen mit dem zumindest einen Haltebereich (104) und dem Sensorbereich (1 10) gekoppelten Trennbereich (106), der zwischen dem zumindest einen Haltebereich (104) und dem Sensorbereich (1 10) angeordnet ist, wobei das Trägermaterial (102) in dem Trennbereich (106) zur Ausbildung einer mechanischen Filtereigenschaft eine andere Struktur aufweist, als das Trägermaterial (102) in dem Haltebereich (104) und/oder in dem Sensorbereich (1 10).
2. Trägermaterial (100, 200) gemäß Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Trägermaterial (102) im Trennbereich (106) eine geringere oder eine größere Dicke als das Trägermaterial (102) im Haltebereich (104) und/oder Sensorbereich (1 10) aufweist.
3. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägermaterial (102) im Trennbereich (106) mindestens eine Öffnung aufweist.
4. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Trennbereich (106) Teilbereiche um- fasst, die unterschiedliche Dicken des Trägermaterials (102) aufweisen.
5. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Trennbereich (106) den Sensorbereich (1 10) bis auf mindestens einen Übergangsbereich umschließt, wobei der Trennbereich (106) durch den Übergangsbereich aufgetrennt ist.
6. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Trennbereich (106) eine Rechteckform aufweist und/oder den Sensorbereich (1 10) vollständig umschließt.
7. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Trennbereich (106) als Struktur mindestens eine Kerbe aufweist und/oder der Trennbereich (106) den Sensorbereich (1 10) vollständig umschließt.
8. Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Trennbereich (106) derart ausgebildet ist, um eine mechanische Federwirkung zwischen dem Haltebereich (104) und dem Sensorbereich (1 10) zu erzeugen.
9. Sensoreinheit, die folgende Merkmale aufweist: ein Trägermaterial (100, 200) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche; und
- ein Sensorelement, das ausgebildet und in dem Sensorbereich (1 10) auf dem Trägermaterial (100, 200) angeordnet ist, um mechanische Bewegungen oder Vibrationen zu detektieren und um ein den mechanischen Bewegungen oder Vibrationen charakteristisches Sensorsignal zu erzeugen.
10. Verfahren (500) zur Herstellung eines Trägermaterials (100, 200) mit einer mechanischen Filtereigenschaft, wobei das Verfahren (500) folgende Schritte aufweist: - Bereitstellen (502) einer Trägerplatte (102), wobei die Trägerplatte (102) einen Haltebereich (104) zur Halterung der Trägerplatte (102) umfasst; und
Einbringen (504) einer Struktur eines Trennbereiches (106) zwischen dem Haltebereich (104) und einen Sensorbereich (1 10) der Trägerplatte (102), wobei der Trennbereich (106) eine andere Struktur als der des
Haltebereiches (104) und der des Sensorbereiches (1 10) aufweist, um eine mechanische Filtereigenschaft zu erhalten.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9250262B1 (en) * 2013-02-01 2016-02-02 Maxim Integrated Products, Inc. Method and apparatus for an integrated isolation mechanical filter with substrate based package
DE102014213217A1 (de) * 2014-07-08 2016-01-14 Continental Teves Ag & Co. Ohg Körperschallentkopplung an mit Geberfeldern arbeitenden Sensoren

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030132726A1 (en) 2001-10-16 2003-07-17 Dohring Mark E. Admittance enhancement in force feedback of dynamic systems

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3962499B2 (ja) * 1999-01-27 2007-08-22 三菱電機株式会社 半導体加速度センサ及びその製造方法
US6918297B2 (en) * 2003-02-28 2005-07-19 Honeywell International, Inc. Miniature 3-dimensional package for MEMS sensors
EP1896802A1 (de) * 2005-06-15 2008-03-12 Mecel Engine Systems Aktiebolag Schwingungsdämpfungsanordnung
US20090293618A1 (en) * 2005-08-18 2009-12-03 C & N Inc. Acceleration Sensor Device
DE102006011753B4 (de) * 2006-03-13 2021-01-28 Infineon Technologies Ag Halbleitersensorbauteil, Verfahren zur Herstellung eines Nutzens und Verfahren zur Herstellung von Halbleitersensorbauteilen
DE102006022807A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Robert Bosch Gmbh Chipgehäuse mit reduzierter Schwingungseinkopplung
US7706213B2 (en) * 2006-10-23 2010-04-27 Nancy Ann Winfree Mechanical filter for sensors
JP2008224428A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Denso Corp センサ装置
EP2133699B1 (de) * 2007-04-02 2020-02-19 JTEKT Corporation Installationsstruktur für rotationssensor und nabeneinheit
US20100164026A1 (en) * 2007-06-15 2010-07-01 Erich Ilich Premold housing having integrated vibration isolation
DE102009001930B4 (de) * 2009-03-27 2018-01-04 Robert Bosch Gmbh Sensorbaustein

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030132726A1 (en) 2001-10-16 2003-07-17 Dohring Mark E. Admittance enhancement in force feedback of dynamic systems

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