WO2011057851A1 - Verfahren und vorrichtung zum fügen von keramischen bauteilen - Google Patents

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WO2011057851A1
WO2011057851A1 PCT/EP2010/064016 EP2010064016W WO2011057851A1 WO 2011057851 A1 WO2011057851 A1 WO 2011057851A1 EP 2010064016 W EP2010064016 W EP 2010064016W WO 2011057851 A1 WO2011057851 A1 WO 2011057851A1
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laser
solder
joining
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Charlotte Summerer
Reiner Ramsayer
Ingo Kesel
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Robert Bosch Gmbh
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    • C04B2237/10—Glass interlayers, e.g. frit or flux

Definitions

  • the present invention relates to a method and a device for joining ceramic components.
  • a method for welding ceramic components together using laser beams is known.
  • the components to be welded are preheated by a first laser beam.
  • the heating takes place up to a temperature which is lower than the melting temperature of the components to be welded.
  • the components in the joining zone are melted by means of a second laser beam, which is focused directly on the weld seam, and a welding is effected.
  • a disadvantage of such a method is that the energy input into the components and thus the thermal load of the areas located in direct proximity to the joint are so high that the ceramic can shatter.
  • the invention proposes a method for joining ceramic components, wherein the components are soldered with the aid of a first laser beam.
  • the laser beam can first melt the solder.
  • the liquid solder can then hit the components to be joined and wet them.
  • the re-solidifying solder can finally make the joint connection.
  • the heat input by the laser beam does not occur during soldering directly into the ceramic components.
  • the laser beam is directed in particular to the solder and heats primarily only the solder. In this case, the thermal load of the entire component can be made only indirectly by the contact of the components with the molten solder. Thus, a lower thermal load of the components is possible.
  • the temperature of the ceramic components can be below their melting point at any time.
  • a significant deformation of the ceramic components by thermal stress and / or melting and solidification can thus be largely avoided. As the components thus retain their original shape more accurately, increased process accuracy is enabled. Likewise, the likelihood of cracks or cracks in the ceramic components is at least reduced. This in turn allows a higher process reliability.
  • the generation of laser beams offers a sophisticated and very flexible applicable method, which makes it possible to realize a freely selectable geometry of the joint connection. The inventive method allows a short process time and it requires, for example, no pre-glazing, no furnace process and / or no cooling.
  • the soldering of the ceramic components takes place with the aid of glass solder.
  • the composition of the glass solder can be selected such that the glass solder is absorbing below its melting point for the laser radiation and becomes transparent upon reaching a certain bonding temperature for the laser radiation. This allows self-regulation of the glass solder temperature above the glass solder melting temperature.
  • the glass types quartz glass, soda-lime glass, float glass, lead crystal glass, borosilicate glass and / or enamel can be used with preference.
  • the use of glass solder offers the advantage that the ceramic components in an additional process step does not have to be metallized first.
  • the electrical insulating properties of ceramic can be maintained by the use of glass solder in the joint seam. Corrosion of the solder can be avoided.
  • a process step of the metallization of the ceramic components can be saved. This allows for a shortened
  • the solder is supplied in powder form and / or rod form.
  • Powdered solder can be supplied to the joint via a nozzle.
  • the feeder can by a
  • the first laser beam is preferably aligned coaxially with a supplied powdered solder.
  • the first laser beam can thus be guided centrally through the nozzle and thus melt the flowing through the nozzle powdered solder better.
  • the type of gas is particularly adapted to the solder composition, so that a correspondingly ideal wetting of the components can be achieved.
  • the rod-shaped solder can be supplied via a mechanical feed of the joining zone. With powdered and / or rod-shaped solder, the position of the respective feed can be variable. As a result, the process can be adapted very flexibly to a large number of direct soldering process conditions, but also to the external characteristics such as, for example, the spatial conditions.
  • a joining seam is formed by a relative movement between the components and the supplied solder along a gap to be joined, wherein a movement of the first laser beam corresponds to the movement of the solder.
  • the relative movement can be caused by a movement of the components to be joined and / or the solder.
  • a joint seam is flown with protective gas to provide a Lötatmo- sphere.
  • the protective gas can be supplied by means of a protective gas nozzle whose position is preferably variable. Through the protective gas can the joints are protected from environmental influences such as contamination and thus a higher quality joint seam can be achieved.
  • solder parameters in particular the wetting of the components and / or the temperature profile of a resulting joining seam, are manipulated with the aid of a second laser beam, wherein the wavelength of the second laser beam can deviate from that of the first laser beam.
  • the second laser beam need not be directed to the supplied solder, but may, for example, follow the first laser beam slightly spaced and be directed to the already re-solidifying solder. In this case, the second laser beam can also perform a deviating from the movement of the first laser beam movements. Due to the differing wavelengths of the first and the second laser beam, a mutual extinction by interference of the laser beams can be prevented.
  • the invention further relates to a laser cutting system for carrying out the method described above, with at least two ceramic components, a receiving device for positioning the components and a first laser sersystem for delivering a first laser beam for soldering the components.
  • the laser system may have the ability to emit variable laser beams.
  • the wavelength of the laser beam and / or the focusing of the laser beam can be adapted to the respective application.
  • the receiving device can be immobile and / or movable.
  • immobile recording devices a table on which the components are stored, or a restraint, with the aid of which the components can be fixed in very specific positions, can be used.
  • Movable receiving devices may be a type of assembly line for translational movement of the components, or a robotic arm that allows the components to perform complex three-dimensional motions.
  • the laser cutting system has a solder feed for applying powdered and / or rod-shaped glass solder, wherein the first laser system is suitable for melting the glass solder.
  • the first laser system may also be suitable for using at least part of the laser radiation for the ceramic construction. parts to melt itself. This is particularly advantageous when joining the aluminum oxide, which forms a molten phase.
  • a protective gas supply for providing a Lötatmospreheat is provided.
  • the protective gas supply leads to the protective gas of the joint and is preferably variable in its position.
  • the composition of the protective gas can preferably be adapted to the soldering conditions, the material of the ceramic components or the solder, so that for the particular application, an ideal wetting of the components can take place.
  • the joining atmosphere generated by the protective gas supply can be, in particular, to protect the joint against environmental influences and lead to an improved quality of the joint seam.
  • a second laser system is preferably provided for dispensing a second laser beam for manipulating soldering parameters, in particular wetting the components and / or the temperature profile of a resulting joining seam, wherein the wavelength of the second laser beam can deviate from the wavelength of the first laser beam.
  • the laser beam emitted by the second laser system need not be directed towards the supplied solder, but may, for example, follow the first laser beam slightly spaced apart and be directed towards the already solidifying solder.
  • the laser beam emitted by the second laser system can in particular also perform deviations from the movement of the first laser beam. Due to the divergent wavelengths of the first and the second laser beam, a mutual extinction of the laser beams can be prevented.
  • the figures show a schematic representation of a laser soldering system with a powdered solder.
  • 2 shows a schematic representation of a laser soldering system with rod-shaped solder.
  • the laser soldering system 8 shown in FIG. 1 has a nozzle 9 for supplying powdered glass solder 5a.
  • the nozzle 9 is aligned orthogonal to a surface 14 formed by the ceramic components 3 to be joined.
  • a gas flow 4 which flows through the nozzle 9 together with the pulverulent glass solder 5a, realizes the feeding of the glass solder 5a.
  • the first laser beam 1 thus passes centrally through the nozzle 9.
  • the glass solder 5 a strikes the ceramic components 3 to be soldered, wets the ceramic components 3, and at this point makes the solder connection at this location of a gap 6.
  • a joining seam 7 is produced along the gap 6 to be soldered.
  • the joining seam 7 is flown during the soldering by a laterally positioned protective gas supply 10 with inert gas 13.
  • the protective gas 13 provides a joining atmosphere.
  • the laser soldering system 8 has a second laser system 12 for generating a second laser beam 2.
  • the second laser beam 2 is positioned laterally and directed slightly spaced from the first laser beam 1 to the already re-solidifying solder.
  • the wavelength of the second laser beam 2 deviates from the wavelength of the first laser beam 1 in order to avoid an extinction by interference of the two laser beams 1, 2.
  • the laser soldering system 8 shown in FIG. 2 has, compared to the laser soldering system 8 shown in FIG. 1, a laterally positioned feed 9 for the supply of rod-shaped glass solder 5b.
  • the first laser beam 1 generated by the first laser system 1 1 is, as in FIG. 1, oriented orthogonally to the surface 14 formed by the ceramic components 3 to be joined.
  • the first laser beam 1 melts the rod-shaped glass solder 5b before striking the ceramic components 3 to be soldered and, as in FIG. 1, produces the solder connection at this point of the gap 6.
  • the production of the joint seam 7 by the described relative movement and has the Laser soldering system 8, a second laser system 12 for generating a second laser beam 2.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Fügen von keramischen Bauteilen (3). Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die Bauteile (3) mit Hilfe eines Laserstrahls (1) gelötet. Dadurch, dass die keramischen Bauteile (3) gelötet werden, ist ihre thermische Belastung gering und ein Zerspringen der Bauteile (3) unwahrscheinlich. Ferner betrifft die Erfindung ein Laserlötsystem zur Durchführung besagten Verfahrens.

Description

Beschreibung
Titel
Verfahren und Vorrichtung zum Fügen von keramischen Bauteilen.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Fügen von keramischen Bauteilen.
Stand der Technik
Aus DE 198 48 179 A1 ist ein Verfahren zum Verschweißen von keramischen Bauteilen miteinander unter Verwendung von Laserstrahlen bekannt. Dazu werden die zu verschweißenden Bauteile von einem ersten Laserstrahl vorgewärmt. Die Erwärmung erfolgt dabei bis auf eine Temperatur, die kleiner ist als die Schmelztemperatur der zu verschweißenden Bauteile. Unmittelbar danach werden mittels eines zweiten Laserstrahles, der direkt auf die Schweißnaht fokus- siert wird, die Bauteile in der Fügezone aufgeschmolzen und eine Verschweißung herbeigeführt.
Nachteilig an einem derartigen Verfahren ist, dass der Energieeintrag in die Bauteile und somit die thermische Belastung der sich in direkter Nähe zu der Fügestelle befindenden Bereiche so hoch ist, dass die Keramik zerspringen kann.
Offenbarung der Erfindung
Es ist die Aufgabe der Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Fügen von keramischen Bauteilen zu schaffen, bei denen die thermische Belastung reduziert werden kann.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Verfahren zum Fügen von keramischen Bauteilen mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Laserfügesystem mit den Merkmalen des Anspruchs 7. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in Unteransprüchen angegeben.
Erfindungsgemäß vorgeschlagen wird ein Verfahren zum Fügen von keramischen Bauteilen, wobei die Bauteile mit Hilfe eines ersten Laserstrahls gelötet werden. Der Laserstrahl kann das Lot zunächst aufschmelzen. Das flüssige Lot kann daraufhin auf die zu fügenden Bauteile treffen und diese benetzen. Das wieder erstarrende Lot kann schließlich die Fügeverbindung herstellen. Die Wärmeeinbringung durch den Laserstrahl erfolgt beim Löten nicht direkt in die keramischen Bauteile. Der Laserstrahl ist insbesondere auf das Lot gerichtet und erhitzt in erster Linie nur das Lot. Dabei kann die thermische Belastung des Gesamtbauteils nur indirekt durch den Kontakt der Bauteile mit dem aufgeschmolzenen Lot erfolgen. Somit wird eine geringere thermische Belastung der Bauteile ermöglicht. Die Temperatur der keramischen Bauteile kann zu jedem Zeitpunkt unterhalb ihres Schmelzpunktes liegen. Eine wesentliche Verformung der keramischen Bauteile durch thermische Belastung und/oder Aufschmelzen und Erstarren kann somit weitgehend vermieden werden. Da die Bauteile folglich Ihre ursprüngliche Form exakter beibehalten, wird eine erhöhte Prozessgenauigkeit ermöglicht. Ebenso wird die Wahrscheinlichkeit, dass es in den keramischen Bauteilen zu Rissen bzw. Sprüngen kommt, zumindest verringert. Dies wiederum ermöglicht eine höhere Prozesssicherheit. Die Erzeugung von Laserstrahlen bietet ein ausgereiftes und sehr flexibel anwendbares Verfahren, das es ermöglicht eine frei wählbare Geometrie der Fügeverbindung zu realisieren. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht eine kurze Prozesszeit und es erfordert beispielsweise keine Vorverglasung, keinen Ofenprozess und/oder keine Abkühlstrecke.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform erfolgt das Löten der keramischen Bauteile mit Hilfe von Glaslot. Die Zusammensetzung des Glaslotes kann derart ausgewählt werden, dass das Glaslot unterhalb seines Schmelzpunktes für die Laserstrahlung absorbierend ist und bei Erreichen einer bestimmten Fügetemperatur für die Laserstrahlung transparent wird. Dadurch wird eine Selbstregelung der Glaslottemperatur oberhalb der Glaslotschmelztemperatur ermöglicht. Als Glaslot können bevorzugt die Glasarten Quarzglas, Kalk-Natron-Glas, Floatglas, Bleikristallglas, Borosilikatglas und/oder Emaille verwendet werden.
Die Verwendung von Glaslot bietet den Vorteil, dass die keramischen Bauteile in einem zusätzlichen Verfahrensschritt nicht zunächst metallisiert werden müssen. Die elektrisch isolierenden Eigenschaften von Keramik können durch die Verwendung von Glaslot auch in der Fügenaht beibehalten werden. Eine Korrosion des Lotes kann vermieden werden. Ein Verfahrensschritt der Metallisierung der keramischen Bauteile kann eingespart werden. Dies ermöglicht eine verkürzte
Prozesszeit.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das Lot pulverförmig und/oder stabförmig zugeführt. Pulverförmiges Lot kann über ei- ne Düse der Fügestelle zugeführt werden. Die Zuführung kann dabei durch einen
Gasstrom, der zusammen mit dem pulverförmigen Lot durch die Düse strömt realisiert werden. Der erste Laserstrahl wird vorzugsweise koaxial zu einem zugeführten pulverförmigen Lot ausgerichtet. Der erste Laserstrahl kann somit zentral durch die Düse geführt sein und so das durch die Düse strömende pulverförmige Lot besser aufschmelzen. Die Gasart wird insbesondere an die Lotzusammensetzung angepasst, damit eine entsprechend ideale Benetzung der Bauteile erzielt werden kann. Das Stabförmige Lot kann über eine mechanische Zuführung der Fügezone zugeführt werden. Bei pulverförmiger und/oder stabförmigem Lot kann die Position der jeweiligen Zuführung variabel sein. Dadurch lässt sich das Verfahren sehr flexibel an einer Vielzahl von direkten Lötprozessbedingungen, aber auch den äußeren Besonderheiten wie beispielsweise den räumlichen Gegebenheiten anpassen.
Besonders bevorzugt entsteht eine Fügenaht durch eine Relativbewegung zwi- sehen den Bauteilen und dem zugeführten Lot entlang eines zu fügenden Spalts, wobei eine Bewegung des ersten Laserstrahls der Bewegung des Lotes entspricht. Dabei kann die Relativbewegung durch eine Bewegung der zu fügenden Bauteile und/oder des Lotes hervorgerufen werden. Dies hat den Vorteil, dass der Wärmeeintrag in das Verfahren punktuell und damit sehr kontrolliert erfolgen kann. Die beschrieben Variationsmöglichkeiten zur Realisierung der Relativbewegung ermöglicht ein sehr flexibles Verfahren mit frei wählbarer Geometrie der Lötverbindung.
Bevorzugt wird eine Fügenaht mit Schutzgas zur Bereitstellung einer Lötatmo- Sphäre beströmt. Dabei kann das Schutzgas mit Hilfe einer Schutzgasdüse zugeführt werden, deren Position bevorzugt variabel ist. Durch das Schutzgas kann die Fügestelle vor Umwelteinflüssen wie beispielsweise Verunreinigungen geschützt werden und so eine qualitativ hochwertigere Fügenaht erreicht werden.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden mit Hilfe eines zweiten Laserstrahls Lotparameter, insbesondere die Benetzung der Bauteile und/oder der Temperaturverlauf einer entstehenden Fügenaht manipuliert, wobei die Wellenlänge des zweiten Laserstrahls von der des ersten Laserstrahls abweichen kann. Der zweite Laserstrahl muss dabei nicht auf das zugeführte Lot gerichtet sein, sondern kann beispielsweise dem ersten Laserstrahl etwas beabstandet folgen und auf das bereits wieder erstarrende Lot gerichtet sein. Dabei kann der zweite Laserstrahl auch eine von der Bewegung des ersten Laserstrahls abweichende Bewegungen ausführen. Durch die voneinander abweichenden Wellenlängen des ersten und des zweiten Laserstrahls kann eine gegenseitige Auslöschung durch Interferenz der Laserstrahlen verhindert wer- den.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Laserfügesystem zur Durchführung des vorstehend beschriebenen Verfahrens, mit mindestens zwei keramischen Bauteilen, einer Aufnahmevorrichtung zur Positionierung der Bauteile und einem ersten La- sersystem zur Abgabe eines ersten Laserstrahls zum Löten der Bauteile. Insbesondere kann das Lasersystem die Eignung aufweisen variable Laserstrahlen abzugeben. Beispielsweise kann die Wellenlänge des Laserstahls und/oder die Fokussierung des Laserstrahls dem jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden. Die Aufnahmevorrichtung kann unbeweglich und/oder beweglich sein. Als unbewegliche Aufnahmevorrichtungen können ein Tisch, auf dem die Bauteile abgelegt werden, oder eine Einspannung, mit deren Hilfe die Bauteile in ganz speziellen Positionen fixiert werden können, eingesetzt werden. Als bewegliche Aufnahmevorrichtungen können eine Art Fließband für translatorische Bewegungen der Bauteile oder ein Roboterarm, der die Bauteile einprogrammierte kom- plexe dreidimensional Bewegungen ausführen lassen, eingesetzt werden.
In einer sehr bevorzugten Ausführungsform weist das Laserfügesystem eine Lotzuführung zum Aufbringen von pulverförmigem und/oder stabförmigem Glaslot auf, wobei das erste Lasersystem geeignet ist das Glaslot aufzuschmelzen. Je nach Anwendungsfall kann das erste Lasersystem auch dazu geeignet sein wenigstens einen Teil der Laserstrahlung dafür zu verwenden die keramischen Bau- teile selber aufzuschmelzen. Dies ist insbesondere beim Fügen vom Aluminiumoxid, welches eine schmelzflüssige Phase bildet, vorteilhaft.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist eine Schutzgaszuführung zur Bereitstellung einer Lötatmosphäre vorgesehen. Die Schutzgaszuführung führt das Schutzgas der Fügestelle zu und ist bevorzugt in seiner Position variabel. Die Zusammensetzung des Schutzgases kann bevorzugt an die Lötbedingungen, dem Werkstoff der keramischen Bauteile oder des Lotes angepasst werden, so dass für den jeweiligen Anwendungsfall eine ideale Benetzung der Bauteile erfolgen kann. Die von der Schutzgaszuführung erzeugte Fügeatmosphäre kann insbesondere zum Schutz der Fügenstelle vor Umwelteinflüssen sein und zu einer verbesserten Qualität der Fügenaht führen.
Vorzugsweise ist bei dem Laserfügesystem ein zweites Lasersystem zur Abgabe eines zweiten Laserstrahls zur Manipulation von Lötparametern, insbesondere der Benetzung der Bauteile und/oder des Temperaturverlaufs einer entstehenden Fügenaht vorgesehen, wobei die Wellenlänge des zweiten Laserstrahls von der Wellenlänge des ersten Laserstrahls abweichen kann. Der von dem zweiten Lasersystem abgegebene Laserstrahl muss dabei nicht auf das zugeführte Lot gerichtet sein, sondern kann beispielsweise dem ersten Laserstrahls etwas beabstandet folgen und auf das bereits wieder erstarrende Lot gerichtet sein. Dabei kann der von dem zweiten Lasersystem abgegebene Laserstrahl insbesondere auch von der Bewegung des ersten Laserstrahls abweichende Bewegungen ausführen. Durch die voneinander abweichenden Wellenlängen des ersten und des zweiten Laserstrahls kann eine gegenseitige Auslöschung der Laserstrahlen verhindert werden.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele exemplarisch erläutert.
Es zeigen: eine schematische Darstellung eines Laserlötsystems mit pul förmigem Lot. Fig. 2: eine schematische Darstellung eines Laserlötsystems mit stabförmi- gem Lot.
Das in Fig. 1 dargestellte Laserlötsystem 8 weist eine Düse 9 zur Zuführung von pulverförmigem Glaslot 5a auf. Die Düse 9 ist orthogonal zu einer von den zu fügenden keramischen Bauteilen 3 gebildeten Oberfläche 14 ausgerichtet. Ein Gasstrom 4, der zusammen mit dem pulverförmigen Glaslot 5a durch die Düse 9 strömt, realisiert die Zuführung des Glaslots 5a. Ein von einem ersten Lasersystem 1 1 erzeugter erster Laserstrahl 1 , der koaxial zum pulverförmigen Glaslot 5a geführt wird, schmilzt das pulverförmige Glaslot 5a auf. Der erste Laserstrahl 1 führt somit zentral durch die Düse 9 hindurch. In flüssiger Form trifft das Glaslot 5a auf die zu lötenden keramische Bauteile 3, benetzt die keramischen Bauteile 3 und stellt an dieser Stelle die Lötverbindung an dieser Stelle eines Spalts 6 her. Durch eine Relativbewegung zwischen dem zugeführten Glaslot 5a und den keramischen Bauteilen 3 wird entlang des zu lötenden Spalts 6 eine Fügenaht 7 hergestellt. Dabei wird die Fügenaht 7 während des Lötens durch eine seitlich positionierte Schutzgaszuführung 10 mit Schutzgas 13 beströmt. Durch das Schutzgas 13 wird eine Fügeatmosphäre bereitgestellt. Zur Verbesserung des Lötprozesses insbesondere zur Verbesserung der Benetzung und/oder zur kontrollierten Abkühlung des flüssigen Glaslotes weist das Laserlötsystem 8 ein zweites Lasersystem 12 zur Erzeugung eines zweiten Laserstrahls 2 auf. Der zweite Laserstrahl 2 ist seitlich positioniert und etwas beabstandet von dem ersten Laserstrahl 1 auf das bereits wieder erstarrende Lot gerichtet. Die Wellenlänge des zweiten Laserstrahls 2 weicht von der Wellenlänge des ersten Laserstrahls 1 ab um eine Auslöschung durch Interferenz der beiden Laserstrahlen 1 , 2 zu vermeiden.
Das in Fig. 2 dargestellte Laserlötsystem 8 weist im Vergleich zu dem in Fig. 1 dargestellten Laserlötsystem 8 eine seitlich positionierte Zuführung 9 für die Zu- führung von stabförmigem Glaslot 5b auf. Der von dem ersten Lasersystem 1 1 erzeugte erste Laserstrahl 1 ist wie in Fig. 1 orthogonal zu der von den zu fügenden keramischen Bauteilen 3 gebildeten Oberfläche 14 ausgerichtet. Der erste Laserstrahl 1 schmilzt das stabförmige Glaslot 5b vor dem Auftreffen auf die zu lötenden keramische Bauteile 3 auf und stellt wie in Fig. 1 die Lötverbindung an dieser Stelle des Spalts 6 her. Ebenfalls entsprechend Fig. 1 erfolgt die Erzeugung der Fügenaht 7 durch die beschriebene Relativbewegung und weist das Laserlötsystem 8 ein zweites Lasersystem 12 zur Erzeugung eines zweiten Laserstrahls 2 auf.

Claims

Ansprüche
1 . Verfahren zum Fügen von keramischen Bauteilen (3), wobei die Bauteile (3) mit Hilfe eines ersten Laserstrahls (1 ) gelötet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , bei dem das Löten mit Hilfe von Glaslot erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Lot pulverförmig (5a)
und/oder stabförmig (5b) zugeführt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem eine Fügenaht (7) durch eine Relativbewegung zwischen den Bauteilen und dem zugeführten Lot entlang eines zu fügenden Spalts (6), wobei eine Bewegung des ersten Laserstrahls (1 ) der des Lotes entspricht.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem eine Fügenaht (7) mit Schutzgas (13) zur Bereitstellung einer Lötatmosphäre beströmt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem mit Hilfe eines zweiten Laserstrahls (2) Fügeparameter, insbesondere die Benetzung der Bauteile und/oder der Temperaturverlauf einer entstehenden Fügenaht (7) manipuliert werden, wobei die Wellenlänge des zweiten Laserstrahls (2) von der des ersten Laserstrahls (1 ) abweicht.
7. Laserfügesystem (8) zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, mit mindestens zwei keramischen Bauteilen (3), einer Aufnahmevorrichtung zur Positionierung der Bauteile (3) und einem ersten Lasersystem (1 1 ) zur Abgabe eines ersten Laserstrahls (1 ) zum Löten der Bauteile (3).
8. Laserfügesystem (8) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Laserfügesystem (8) eine Lotzuführung (9) zum Aufbringen von pulverförmi- gem (5a) und/oder stabförmigem (5b) Glaslot aufweist, wobei das erste Lasersystem (1 1 ) geeignet ist das Glaslot aufzuschmelzen.
9. Laserfügesystem (8) nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schutzgaszuführung (10) zur Bereitstellung einer Lötatmosphäre vorgesehen ist.
10. Laserfügesystem (8) nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweites Lasersystem (12) zur Abgabe eines zweiten Laserstrahls (2) zur Manipulation von Lötparametern, insbesondere der Benetzung der Bauteile (3) und/oder des Temperaturverlaufs einer entstehenden Fügenaht (7) vorgesehen ist, wobei die Wellenlänge des zweiten Laserstrahls (2) von der Wellenlänge des ersten Laserstrahls (1 ) abweicht.
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