WO2011039069A1 - Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids - Google Patents

Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids Download PDF

Info

Publication number
WO2011039069A1
WO2011039069A1 PCT/EP2010/063793 EP2010063793W WO2011039069A1 WO 2011039069 A1 WO2011039069 A1 WO 2011039069A1 EP 2010063793 W EP2010063793 W EP 2010063793W WO 2011039069 A1 WO2011039069 A1 WO 2011039069A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
fluid
resonator
substance
fres
delta
Prior art date
Application number
PCT/EP2010/063793
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Martin Nirschl
Matthias Schreiter
Daniel Sickert
Original Assignee
Siemens Aktiengesellschaft
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Aktiengesellschaft filed Critical Siemens Aktiengesellschaft
Priority to EP10760964A priority Critical patent/EP2483676A1/de
Priority to US13/499,229 priority patent/US20120227474A1/en
Publication of WO2011039069A1 publication Critical patent/WO2011039069A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids
    • G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids
    • G01N29/036—Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/222—Constructional or flow details for analysing fluids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/025—Change of phase or condition
    • G01N2291/0255—(Bio)chemical reactions, e.g. on biosensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/025—Change of phase or condition
    • G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028—Material parameters
    • G01N2291/02809—Concentration of a compound, e.g. measured by a surface mass change
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04—Wave modes and trajectories
    • G01N2291/042—Wave modes
    • G01N2291/0426—Bulk waves, e.g. quartz crystal microbalance, torsional waves

Definitions

  • the invention relates to a device for detecting at least one substance of a fluid, to a method for producing this device and to a method for detecting at least one substance of another fluid.
  • a further possibility is to install at the site to detektie ⁇ Governing substance is a label.
  • This label has the property to be much easier than the detectable substance to be measured itself, for example due to specially ⁇ ler detectable properties such as fluorescence or radioactivity.
  • a commercially successful example of this is ELISA.
  • Biosensors are increasingly being used in modern biological analysis technology and in medical diagnostics.
  • a biosensor consists of a biological recognition system for a biological substance and a so-called physical transducer.
  • the biological recognition system "recognizes” the substance. This "recognition” is converted into an electronic signal with the help of the physical transducer.
  • Frequently used biological recognition systems are antibodies, enzymes and nucleic acids.
  • the biological recognition systems are usually immobilized (fixed) in approximately two-dimensional layers on the transducer. Immobilization (fixation) can be effected by covalent bonds, by affinity interactions and by hydrophilic or hydrophobic interactions.
  • the surface portion of the resonator constitutes a substance recognition system.
  • the piezoelectric resonator functions as a physical transducer.
  • the piezo-electric layer of the resonator consists of known egg ⁇ nem quartz crystal. Gold electrodes are attached to the quartz crystal.
  • the quartz crystal becomes an acoustic volume wave Bulk Acoustic Waves in the form of thickness-shear oscillations.
  • the resonance frequency is about 20 MHz.
  • One of the electrodes forms the surface portion for sorbing the substance of the fluid.
  • the substance is a macromolecular protein that is in a liquid and that is physically adsorbed to the electrode.
  • Adsorp ⁇ tion of the protein the mass and thus the Reso ⁇ nanzfrequenz the resonator changes.
  • the resonance frequency (Af) as a function of the change of the adsorbed amount of the substance per unit area (Am)
  • S is the mass sensitivity of the resonator
  • fo is the Re ⁇ sonanzfrequenz of the resonator without adsorbed substance
  • c is a material-specific constant
  • m the mass of the resonator per unit area.
  • the mass sensitivity is proportional to the square of the resonant frequency of the resonator.
  • the bulk sensitivity of the known device can be estimated to be about 1 Hz-ng-1-cm 2.
  • the known resonator has a surface portion on which a substance can be sorbed.
  • the resonator has a surface portion forming, che ⁇ mixing sensitive coating.
  • FBAR film bulk acoustic wave resonator
  • the object of the invention is to provide a compact system by means of which substances in a liquid can be detected quickly.
  • the sorption comprises both absorption and adsorption.
  • the substance is, for example, by working stratification of the resonator, the bil ⁇ det added to the surface portion, without forming a phase boundary.
  • the sub ⁇ substance is incorporated into the coating.
  • adsorption results in the formation of a phase boundary.
  • an adsorption in the form of physisorption is conceivable.
  • the substance attaches to the surface portion of the resonator by van der Waals or dipole-dipole interactions.
  • adsorption in the form of chemisorption may take place.
  • the substance deposits on the surface portion of un ⁇ ter formation of a chemical bond.
  • the chemical bond such as a covalent bond or a ⁇ What serstoff Portugalnscher.
  • the above-mentioned deposition of the substance to be detected / or the substance to be detected to the relevant surface portion of the below-described closer ⁇ NEN resonator can also take place with other bonding mechanisms, such as deposition by utilizing acting on the substance of gravity.
  • the sorption takes place reversibly. This ⁇ be indicated that the substance can be from the surface portion also as ⁇ the desorbed (removed).
  • the substance is removed by increasing the temperature of the surface portion or by the action of a reactive substance.
  • the reactive substance is, for example, an acid or an alkali, with the aid of which the bonds formed in the chemisorption are dissolved.
  • the device can be used several times in this way. It is also possible that the sorption is irreversible. The device is used only once as a one-way sensor.
  • Affinity refers to the driving force of a chemical reaction, namely the tendency of ions, atoms or groups of atoms to form a covalent bond.
  • a surface or a material having high affinity to a set of their ⁇ applied fluid is also referred to homophil.
  • a surface or material with low affinity for a fluid applied to it is also called homophobic. The fluid spreads over a highly homophilic surface over its entire surface while preferentially contracting into one or more beads on a highly homophobic surface.
  • the fluid mentioned below is formed, for example, from an aqueous solution or as a hydrocarbon-based solvent.
  • Any conceivable chemical or biological compound comes into question as a substance.
  • Such substances are, for example, organic solvents.
  • a substance is an explosive or a component, a precursor or a degradation product of an explosive.
  • the device can be used as an explosives detector.
  • the device is designed as a biosensor for the detection of any biomolecule.
  • the biomolecule is, for example, a DNA (deoxyribonucleic acid) sequence or a macromolecular protein.
  • the surface portion is preferably designed such that selectively a particular substance or substance class is sorbed and thus recognized by the key lock principle.
  • the device is also suitable for controlling the reaction of a chemical reaction in which the substance is involved.
  • the chemically sensitive coating Mole ⁇ molecules for detecting the substance are corresponding oligonucleotides (DNA oligos) of several nucleotide units.
  • the molecules for detecting the substance can be directly connected to a transducer surface.
  • the transducer surface is a gold electrode of the Re ⁇ sonators. Molecules that have a thiol group, ⁇ the bonded by forming a gold-sulfur bond directly to the transducer surface.
  • the chemically sensitive coating has an immobilization layer for connecting the resonator and the molecules for detecting the substance.
  • a transducer surface has NH or OH groups.
  • the molecules for detecting the substance can be immobilized via alkoxysilanes, cyanuric chloride or carbodiimide. These compounds form the Property ⁇ bilmaschines Mrs.
  • the immobilization layer may be connected directly to the transducer surface. It is also conceivable that the immobi ⁇ lization layer is indirectly connected via an adhesion-promoting layer with the transducer surface.
  • the immobilization may be substantially recountdimensi ⁇ onal.
  • the immobilization is arranged as an ordered mo ⁇ nomolekulare or multi-molecular layer along the Trans- ⁇ ducer surface.
  • the immobilization layer is three-dimensional.
  • the Immobilisie ⁇ approximate layer has open pores in which the molecules are arranged for He ⁇ know the substance.
  • a chemically sensiti ve ⁇ coating having a three-dimensional immobilization is characterized by an increased mass sensitivity for detecting the substance.
  • the three-dimensional Immobilisie approximately ⁇ layer can be formed for example by radical networking of monomers.
  • the molecules can be bound to recognize the substance. It is also conceivable that the monomers already have the functional groups for recognizing the substance before crosslinking.
  • the oscillation of the resonator is selected from the group of longitudinal oscillation and / or thickness shear oscillation.
  • Which type of vibration is excited depends, inter alia, on a group of symmetry of the piezoelectric material, the orientation of the piezoelectric layer to the surface and on the arrangement of the electrodes.
  • the piezoelectric layer consists of a ⁇ 111> oriented lead zirconate titanate. Is an electric field only in the z-direction along the layer thickness of the piezoelectric
  • the thickness shear vibration in the described arrangement can occur along the lateral extent of the piezoelectric layer.
  • the thickness shear vibration requires a late ⁇ rale component of the exciting electric field.
  • the measurement of the thickness shear vibration is suitable.
  • the thickness shear vibration is attenuated imperceptibly in a liquid.
  • the measurement can be carried out with liquid contact of the resonator.
  • the quality of the fluid-facing surface with the coating and the chemically sensitive material influences the quality of the measuring device. Quality factors are uniform in thickness and / or coverage of the coating on the Re ⁇ sonator and a uniform thickness or coverage of the surface ⁇ mixed-sensitive material on the layer.
  • a chemically sensitive coating of an oligonucleotide of 25 bases is immobilized on the gold electrode of the piezoacoustic resonator.
  • the oligo-nucleotide is applied at a concentration of a few mmol in the sub-nanoliter range as an aqueous solution on the electrode.
  • Each of the oligo nucleotides has a thiol-alkyl group at the 3 'position and a biotin group at the 5' position. About the thiol-alkyl group leads to the formation of sulfur-gold bonds.
  • the oligo-nucleodides are immobilized on the electrode.
  • the oligo-nucleotide backbone virtually forms an immobilization layer.
  • the biotin group forms a strong complex with streptavidin.
  • the biotin group acts as a kind of molecule for recognizing the substance streptavidin.
  • Oligo nucleotides of 25 bases are immobilized via thiol-alkyl groups.
  • the oligo-nucleotides have no Bio ⁇ tin groups.
  • DNA fragments with a correspondingly comple mentary ⁇ nucleotide sequence are linked via the formation of hydrogen bridge bonds to the immobilized oligo- nucleotides.
  • the device for detecting at least one substance of a fluid or the concentration of a substance of a fluid has a carrier, on which an acoustic resonator is applied, which is coated on its surface facing away from the carrier with a first layer for receiving a material, wherein the first Layer is made of gold, for example. On the first layer another fluid is applied, which contains the material.
  • the material can be mixed che ⁇ sensitive, specific selective or nonselective
  • the material may be capable of accepting deposits or deposits of the aforementioned elements.
  • the material separates on the first layer. The deposition process is measurable by continuously measuring the change in resonant frequency because the mass on the surface of the first layer increases.
  • the facing surface of the fluid Reso ⁇ nators already directly a layer or a respective surface segment for receiving a substance to be detected and / or a detected reaction or
  • the acoustic preferably designed as a piezoelectric element resonator is excited ⁇ by electrical energy, and is preferably a film bulk acoustic wave resonators ⁇ tor (FBAR) is formed.
  • FBAR film bulk acoustic wave resonators
  • the resonator can be excited by an alternating electric field and is preferably designed as a film bulk acoustic wave resonator (FBAR) with a piezoelectric element as an active element of the resonator.
  • FBAR film bulk acoustic wave resonator
  • the alternating field preferably has a plurality of frequencies in the region of the resonance frequency at the same time, as a result of which the resonance frequency of the device is continuously excited.
  • the evaluation unit for electrically driving the resonator and measuring the resonant frequency can measure this almost instantaneously.
  • the evaluation unit is either on the carrier or externally available.
  • the depositable on the surface of the resonator by means of a dispen sers ⁇ liquid volume is preferably be- see 0.1 to 10 nanoliters.
  • the side facing the fluid surface of the resonator has before ⁇ preferably a higher affinity to the fluid than the the Re ⁇ sonator horizontal surrounding surface such as the surface of gold and the surrounding surface of Si ⁇ liziumoxid (SiO2) ⁇ is the height of the resonator usual ⁇ some ym.
  • a coating applied to the carrier barrier surrounds the resonator circulating for preventing the run-off of the fluid from the resonator, wherein the barrier together with the surface of the resonator surrounds at least one volume to fully ⁇ permanent record of the applied fluid.
  • a plurality of resonators are in rows, or are arranged in Ar- ray arrangement side by side, so that per Trä ⁇ geraji a plurality of sensor elements are available.
  • the sensor by a chemically sensitive material ⁇ containing fluid is applied to the first layer of the resonator, wherein the material is at least partially deposited on the first layer is preferably prepared.
  • the quality of the first layer and of the deposited material can be measured after application of the fluid to the first layer, by determining the deviation of the shift of the resonance frequency from a reference value.
  • the reference value is, for example, the resonance frequency of the resonator covered with a reference liquid containing no substances.
  • the quality of the deposition can be determined by continuously measuring the deviation of the displacement of the time profile of the resonance frequency from a predetermined desired value or desired course.
  • the fluid (3) is removed, by evaporation or by mechanical means, so that the device is ready for the measuring method described below.
  • the fluid completely covers the cross section of the surface of the resonator.
  • the method for detecting at least one substance of a fluid by means of the sensor described above is performed by a plurality of further sub ⁇ punch-containing fluid is applied to the chemically-sensitive material or a.
  • the attachment of the substance to be detected to the chemically sensitive substance increases the mass of the resonator.
  • the concentration of Sub ⁇ substance can be determined.
  • the time course of the attachment of the substance to the chemically sensitive material after application of the further fluid to the material by Measuring the deviation of the shift of the resonant frequency can be determined.
  • the measured values are compared with reference values in order to be able to estimate the measurement tolerances.
  • a plurality of fluid layers are superimposed on the resonator, in which a dispenser applies a first fluid in a first step and another fluid in a step or several further steps, whereby the fluid types (32, 33) mix.
  • an exact mixing ratio can be set by applying respective predetermined volumes of the respective fluid types, without requiring a premix of the fluid types which is customary in microfluid technology.
  • concentrations can be set fully automatically.
  • more than two different Fluidar ⁇ th can be applied over each other in this way, making a wide range of combinations mixture is achieved.
  • Figure la, b, c an apparatus for detecting a sub- stance of a fluid before, during and after the final production step in each side ⁇ view.
  • Figure 2a, b the device for detecting a substance of a fluid from Figure lc in a further embodiment in side view and up.
  • FIG. 3a, b looks at a device for detecting a substance of a fluid from Figure 2 in two after each other following ⁇ measuring situations in side.
  • FIG. 4 shows a device for detecting a substance of a fluid from FIG. 2 in a further measuring situation in side view
  • FIGS. 1 a, b and c show a device 11 for detecting a substance of a fluid before, during and after the last production step, in each case in side view.
  • the device is, for example, a biosensor for the detection of biomolecules.
  • the biomolecules are, for example, oligonucleotides. Alternatively, biomolecules in the form of pro ⁇ teinen be detected.
  • Figure 1 shows a carrier 1, to which an acoustic resonator is applied 2 which is coated on its facing away from the carrier 1 end face 6 with a first layer 7 for receiving egg ⁇ nes chemically sensitive material.
  • the ers ⁇ te layer consists for example of gold or 7 of a material that can bind a chemically sensitive material 8 uniformly. Alternatively, the layer may also be formed as an immobilization layer.
  • a fluid 3 is applied by means of a dispenser 10, which contains the chemically sensitive material 8 in a predetermined Kon ⁇ centering.
  • the dispenser 10 may contain the fluid in one Dose exactly the specified amount.
  • the amount of the fluid 3 from 0.1 to 10 nanoliters, vorzugswei ⁇ se is about one (1) nanoliters.
  • the resonator 2 is preferably an existing of piezoelectric material acoustic resonator, which is excitable via drive lines 50 by an alternating electric field.
  • the distance H between the surface 6 of the layer 7 and the surface 61 of the carrier 1 is a few ym.
  • the sensor has a square base area of about 200 microns x 200 microns, but can also have other basic shapes such as rectangular, round, etc.
  • the resonator 2 is formed in the technology of the film bulk acoustic wave resonator (FBAR).
  • FIG. 1b the device 11 from FIG. 1 a is shown after the fluid 3 has been applied to the layer 7.
  • the chemically sensitive material 8 is at least partially deposited on the first layer 7, as shown in FIG. 1b.
  • the resonator 2 and kontinuierli ⁇ ches measuring the resonant frequency for the shift of the resonance frequency fR which is an indication of the course of the dependence of the deposition process of the chemically sensitive material 8 on the layer.
  • the deposition of the total mass of the layers 7 and 8 increased, whereby the Reso ⁇ nanzfrequenz decreases. It is thus possible to follow the deposition process virtually online. This makes it possible, by comparing with reference values, to determine the quality of the layer 7 and of the deposited material 8 by measuring the time profile of the shift of the resonance frequency fR.
  • Quality factors of the chemically sensitive layer 8 are the uniform coverage of the chemically sensitive material 8 on the layer 7, a uniform thickness of the chemically sensitive material 8, etc.
  • the device 11 is shown in Figures la, b, after the chemically sensitive material 8 has evenly distributed on the layer 7 and the fluid 3 has been removed, for example by heating the device 11 or by mechanical or chemical means ,
  • the Vorrich ⁇ device 11 is ready made and thus ready for the ei ⁇ tional measurement tasks as a sensor.
  • the fluid 3 of Figure lb preferably covers the entire surface 6 and does not project over the surface 6 of the resonators ⁇ tors 2 addition. This is achieved by the combination of the surfaces of the materials of the carrier 1 and the layer 7.
  • the layer 7 has a higher affinity for the fluid 3 than the surface 61 of the carrier 1 surrounding the resonator 2.
  • the height H of the resonator 2 or the distance of the layer 7 from the surface 61 of the carrier 1 of a few hundred to a few ym supports the boundary of the fluid 3 on the surface 6 of the layer 7.
  • the surface 6 of the resonator 2 facing the fluid 3 may already directly comprise a layer 7 or a respective surface section 7 for receiving a substance to be detected and / or a reaction or mixed product to be detected or the relevant surface section 8.
  • the device 11 is formed of Figure lc with the Reso ⁇ nator 2 orbiting barrier 4 in Figures 2a and 2b, in side view and plan view.
  • the barrier 4 is applied to the carrier 1 and rotates closed the resonator 2, here in square or rectangular shape.
  • the height of the barrier 4 is higher than the distance of the upper ⁇ surface 6 of the material of chemically sensitive material 8 from the surface of the carrier 1.
  • the minimum height of Barrie ⁇ re 4 depends on the desired volume of the gate on the Resona- 2 applied fluid 3.31 from.
  • FIGS. 3a and 3b illustrate the device 11 from FIG. 2 with successive measuring steps.
  • the device operates as a sensor 11 or measuring device for measuring the concentration of a substance 91 in a fluid 31.
  • a dispenser 10 which sprays a fluid 31 with a predetermined volume V onto the surface 8 of the chemically sensitive material 8.
  • the fluid 31 contains one or more substances 91, 92, wherein at least one of the substances ⁇ 91 is connectable from the chemically sensitive material. 8 After the fluid 31 has been applied to the surface 8, the substances 91 adhere to the receptors of the chemically sensitive layer 8. This increases the mass of the substances located on the resonator 2
  • each predetermined volume of the corresponding fluid types 32, 33 is a precise mixing ratio adjustable, without any in the Microfluidic technology usual premix is necessary. As a result, a wide range of concentrations can be set fully automatically. Furthermore, in this way more than two different types of fluid can be applied to each other, whereby a wide range of mixing combinations is achieved.
  • FIG. 5 illustrates a juxtaposed series of 16 sensors 11 of Figure lc. Some sensors 11 are sawn already covered with a fluid 3, 31 (black square), egg ⁇ nige sensors 11 are not yet covered with a fluid (white Square). Above the sensors 11 are to ⁇ lines 50 for excitation of the individual resonators 2 and to connect the selection electronics 51. The electronics 51 can select on the carrier 1 may be integrated or externally connected. By juxtaposing many of these juxtaposed sensors 11, a large number of sensors 11 are arranged on a carrier 1 in the form of a matrix.
  • FIG. 6 shows measurement results of concentration measurements of the substance "immunoglobin" 91 in a fluid 31, which were determined by means of a sensor 11 from FIGS. 1c and 5, respectively.
  • a predetermined flues ⁇ stechniksmengen or -volumina were each with different concen- configurations applied from immunoglobin 91 on the sensors.
  • the measurements can be carried out in parallel with the aid of a plurality of sensors 11 from FIG. 5 or serially in succession with the aid of a sensor 11 from FIG. 1c, whereby the sensor 11 can be cleaned after a measurement and is ready for a new measurement.
  • the measured Fre ⁇ quenzverschiebung Delta_ist_fR [MHz] as a function of the concentration of the immunoglobin [yg / ml] is added.
  • the vertical bars around the respective measuring point represent the error bars.
  • the measuring point A indicates a concentration of a few yg / ml with a frequency shift of -0.05 MHz which is almost unchanged in relation to the reference value 0, ie liquid without immunoglobin.
  • the measuring point B shows a concentration of about 10 yg / ml, which is already indicated by a free frequency shift of about -0.5 MHz is clearly measurable. This shows that low concentration changes or even low concentrations can be detected with high sensitivity.
  • Measurement points C, D, E, F and G represent concentrations of immunoglobin of 50, 100, 250, 500 and over 800 yg / ml with a measured frequency change Delta_ist_fR of -1, 05MHz, -1.1MHz, -1.4MHz, respectively
  • the measurement point G with a very high concentration of over 800 ⁇ g / ml could, inter alia, indicate that the adsorption of immunoglobin 91 on the chemically sensitive layer of the receptors 8 of Figure 1c is in saturation.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Die Vorrichtung zum Detektieren einer Substanz (91, 92) eines Fluids (31) oder der Konzentration einer Substanz (91, 92) eines Fluids (3) weist einen Träger (1) auf, auf den ein Resonator (2) aufgebracht ist, auf den ein chemisch sensitives Materials (7) zur Adsorption einer nachzuweisenden Substanz (91, 92) aufgebracht ist. Durch die Adsorption der Substanz erhöht sich die Masse des Resonators (2). Durch Messen der Frequenzänderung des Resonators in Abhängigkeit der Zeit ist u. a. die Konzentration der Substanz in der Flüssigkeit ermittelbar.

Description

Beschreibung
VORRICHTUNG UMFASSEND EINEN RESONATOR ZUM DETEKTIEREN MINDESTENS EINER SUBSTANZ EINES FLUIDS, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DIESER VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM DETEKTIEREN MINDESTENS EINER SUBSTANZ EINES WEITEREN FLUIDS
Die Erfindung betrifft Vorrichtung zum Detektieren mindestens einer Substanz eines Fluids, Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren mindestens einer Substanz eines weiteren Fluids.
In der Chemie- oder Pharmaindustrie ist es wichtig, Detektio- nen einer Substanz in einem Fluid mit einer geringen Probenmenge und einem hohem Durchsatz durchzuführen.
Bisher kann das Aufbringen kleinster Mengen in der Größenordnung von Nanolitern der zu detektierenden Flüssigkeiten labellos beispielsweise mit einer Quarzmikrowaage oder SPR (Surface Plasmon Resonance) beobachtet und kontrolliert wer¬ den. Diese Techniken haben den Nachteil, dass sie viel Fläche und Raum benötigen und daher schwer in andere Anwendungen, wie beispielsweise Systeme für die Handhabung kleinster Men¬ gen Flüssigkeit, integriert werden können.
Eine Weitere Möglichkeit besteht darin, an der zu detektie¬ renden Substanz ein Label anzubringen. Dieses Label hat die Eigenschaft, wesentlich einfacher detektierbar sein als die zu messende Substanz selbst, zum Beispiel auf Grund speziel¬ ler detektierbarer Eigenschaften wie Fluoreszenz oder Radioaktivität. Ein kommerziell erfolgreiches Beispiel hierfür ist ELISA.
Diese Lösung hat den Nachteil, dass die zu messende Substanz nur indirekt, das heißt über die Präsenz des Labels gemessen wird. Dadurch ist die Messung ungenauer und mit einem höheren Fehler behaftet. Zudem lassen sich keine Reaktion der Substanz mit der Oberfläche oder einer biochemischen Komponente auf der Oberfläche in Echtzeit beobachten. Dies ist zum Bei¬ spiel in Pharmaentwicklung notwendig.
Techniken, mit denen kleine Mengen an Substanz in Lösung etwa im Bereich von Pico- bis Nanolitern auf beispielsweise Oberflächen aufgebracht werden können, sind bekannt. Etwa "pin and ring coater" oder " Ink-j et-printer" .
In der modernen biologischen Analysetechnik und in der medi- zinischen Diagnostik werden in zunehmenden Maße Biosensoren eingesetzt. Ein Biosensor besteht aus einem biologischen Erkennungssystem für eine biologische Substanz und einem sogenannten physikalischen Transducer. Über das biologische Erkennungssystem erfolgt ein "Erkennen" der Substanz. Dieses "Erkennen" wird mit Hilfe des physikalischen Transducers in ein elektronisches Signal umgewandelt. Häufig eingesetzte biologische Erkennungssysteme sind Antikörper, Enzyme und Nukleinsäuren. Die biologischen Erkennungssysteme werden dabei meist in annähernd zweidimensionalen Schichten auf dem Transducer immobilisiert (fixiert) . Ein Immobilisieren (Fixieren) kann dabei durch kovalente Bindungen, durch Affinitätswechselwirkungen und durch hydrophile oder hydrophobe Wechselwirkungen erfolgten. Einen Überblick über einen Aufbau annähernd zweidimensionaler biologischer Erkennungsschichten geben I. Willner und E. Katz in "Angewandte Chemie",
112 (2000) , 1230 bis 1269.
Eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art ist aus US 5932953 oder aus C. Kößlinger et al . , Biosensors & Bioelectronics, 7 (1992), S. 397 bis 404 bekannt. Auch der
EP 1143241 AI sind die Vorrichtung und das Verfahren zu entnehmen. Der Oberflächenabschnitt des Resonators stellt ein Erkennungssystem für eine Substanz dar. Der piezoelektrische Resonator fungiert als physikalischer Transducer. Die piezo- elektrische Schicht des bekannten Resonators besteht aus ei¬ nem Quarzkristall. An dem Quarzkristall sind Elektroden aus Gold angebracht. Durch eine elektrische Ansteuerung der
Elektroden wird der Quarzkristall zu akustischen Volumenwel- len (Bulk Acoustic Waves) in Form von Dickenscherschwingungen angeregt. Die Resonanzfrequenz beträgt etwa 20 MHz. Eine der Elektroden bildet den Oberflächenabschnitt zur Sorption der Substanz des Fluids. Die Substanz ist ein makromolekulares Protein, das sich in einer Flüssigkeit befindet und das an der Elektrode physikalisch adsorbiert wird. Durch die Adsorp¬ tion des Proteins ändert sich die Masse und damit die Reso¬ nanzfrequenz des Resonators. Für die Änderung der Resonanzfrequenz (Af) in Abhängigkeit von der Änderung der adsorbier- ten Menge der Substanz pro Flächeneinheit (Am) gilt folgender allgemeine Zusammenhang (vergleiche G. Sauerbrey, Zeitschrift für Physik, 155 (1959), S. 206-222):
S= Af/Am = c*fO/m = fO2
Dabei ist S die Massensensitivität des Resonators, fO die Re¬ sonanzfrequenz des Resonators ohne adsorbierte Substanz, c ist eine materialspezifische Konstante und m die Masse des Resonators pro Flächeneinheit. Die Massensensitivität ist proportional zum Quadrat der Resonanzfrequenz des Resonators. Bei einer relativ niedrigen Resonanzfrequenz fO von etwa 20 MHz kann die Massensensitivität der bekannten Vorrichtung auf etwa 1 Hz-ng-l-cm2 abgeschätzt werden. Der bekannte Resonator weist einen Oberflächenabschnitt auf, an dem eine Substanz sorbiert werden kann. Dazu verfügt der Resonator über einen den Oberflächenabschnitt bildende, che¬ misch sensitive Beschichtung . Durch die Adsorption ändert sich die Masse des Resonators. Als Folge davon ändert sich die Resonanzfrequenz des Resonators. Ein Ausmaß der Änderung der Resonanzfrequenz hängt von der adsorbierten Menge der Substanz ab. Je mehr Substanz adsorbiert ist, desto größer ist die Änderung der Resonanzfrequenz. Aus DE 10308975 B4 ist ein piezoelektrischer Resonator bekannt, bei dem die Resonanzfrequenz sich ändert, wenn auf die Oberfläche des Resonators ein Fluid mit Substanzen aufge¬ bracht wird, die von der Resonator-Oberfläche adsorbiert wer- den. Die Technologie, mit der der Resonator aufgebaut ist, wird auch "Film Bulk Accustic Wave Resonator" (FBAR) genannt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein kompaktes System bereit zu stellen, mit dessen Hilfe Substanzen in einer Flüssigkeit schnell detektiert werden können.
Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen aufgeführt.
Unter Sorption ist die Ausbildung einer chemischen oder phy- sikalischen Bindung der nachzuweisenden Substanz an einen betreffenden Oberflächenabschnitt des unten näher beschriebe¬ nen Resonators zu verstehen. Die Sorption umfasst dabei so¬ wohl eine Absorption als auch eine Adsorption. Bei der Absorption wird die Substanz beispielsweise durch eine Be- Schichtung des Resonators, die den Oberflächenabschnitt bil¬ det, ohne Bildung einer Phasengrenze aufgenommen. Die Sub¬ stanz wird in die Beschichtung inkorporiert. Bei der Adsorption kommt es dagegen zur Bildung einer Phasengrenze. Insbesondere denkbar ist dabei eine Adsorption in Form einer Physisorption . Die Substanz lagert sich am Oberflächenabschnitt des Resonators durch Van der Waals- oder Dipol-Dipol- Wechselwirkungen an. Alternativ dazu kann auch eine Adsorption in Form einer Chemisorption stattfinden. Bei einer Chemi- sorption lagert sich die Substanz am Oberflächenabschnitt un¬ ter Bildung einer chemischen Bindung an. Die chemische Bindung ist beispielsweise eine kovalente Bindung oder eine Was¬ serstoffbrückenbindung . Die o. g. Abscheidung des nachzuweisenden Stoffs / bzw. der nachzuweisenden Substanz an den betreffenden Oberflächenabschnitt des unten näher beschriebe¬ nen Resonators kann auch mit anderen Bindungsmechanismen stattfinden, beispielsweise Abscheidung durch Ausnutzen auf die Substanz wirkenden der Schwerkraft. Vorzugsweise findet die Sorption reversibel statt. Dies be¬ deutet, dass die Substanz vom Oberflächenabschnitt auch wie¬ der desorbiert (entfernt) werden kann. Beispielsweise wird die Substanz durch Temperaturerhöhung des Oberflächenabschnitts oder durch Einwirken eines reaktiven Stoffes wieder entfernt. Der reaktive Stoff ist beispielsweise eine Säure oder eine Lauge, mit deren Hilfe die bei der Chemisorption gebildeten Bindungen gelöst werden. Die Vorrichtung kann auf diese Weise mehrmals benutzt werden. Möglich ist aber auch, dass die Sorption irreversibel ist. Die Vorrichtung wird als Einwegsensor nur einmalig verwendet.
Unter Affinität versteht man die Triebkraft einer chemischen Reaktion, nämlich das Bestreben von Ionen, Atomen oder Atomgruppen, eine kovalente Bindung einzugehen. Eine Oberfläche bzw. ein Material mit hoher Affinität zu einem auf ihr aufge¬ brachten Fluid wird auch homophil bezeichnet. Eine Oberfläche bzw. ein Material mit geringer Affinität zu einem auf ihr aufgebrachten Fluid wird auch homophob bezeichnet. Das Fluid breitet sich über einer hoch-homophilen Oberfläche über dessen Gesamtoberfläche aus, während es auf einer hoch-homo- phoben Oberfläche bevorzugt zu einem oder mehreren Kügelchen zusammenzieht .
Das im Folgenden erwähnte Fluid ist beispielsweise aus einer wässrigen Lösung oder als Lösungsmittel auf Kohlenwasser- stoffbasis ausgebildet. Als Substanz kommt jede denkbare che¬ mische oder biologische Verbindung in Frage. Derartige Sub- stanzen sind beispielsweise organische Lösungsmittel. Denkbar ist auch, dass eine derartige Substanz ein Sprengstoff oder ein Bestandteil, ein Vorprodukt oder ein Abbauprodukt eines Sprengstoffs ist. Die Vorrichtung kann als Sprengstoffdetek- tor eingesetzt werden. Denkbar ist auch, dass die Vorrichtung als Biosensor zur Detektion eines beliebigen Biomoleküls ausgestaltet ist. Das Biomolekül ist beispielsweise eine DANN (Deoxyribonucleic Acid) -Sequenz oder ein makromolekulares Protein . Der Oberflächenabschnitt ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass selektiv eine bestimmte Substanz oder Substanzklasse nach dem Schlüssel-Schloss-Prinzip sorbiert und damit erkannt wird. Somit ist es möglich, aus einem Gemisch aus einer Viel¬ zahl von Substanzen mit Hilfe der Vorrichtung selektiv eine bestimmte Substanz zu detektieren. Die Detektion umfasst dabei sowohl eine qualitative als auch quantitative Bestimmung der Substanz. Es kann die Abwesenheit oder die Anwesenheit der Substanz im Fluid nachgewiesen werden. Es kann auch die Konzentration der Substanz im Fluid bestimmt werden. Durch differentielle Detektion der Substanz kann auch eine zeitliche Änderung der Konzentration der Substanz bestimmt werden. Somit eignet sich die Vorrichtung beispielsweise auch zur Re- aktionskontrolle einer chemischen Reaktion, an der die Substanz beteiligt ist.
Insbesondere weist die chemisch sensitive Beschichtung Mole¬ küle zum Erkennen der Substanz. Zum Erkennen einer bestimmten DNA-Sequenz sind derartige Moleküle entsprechende Oligo- Nukleotide (DNA-Oligos) aus mehreren Nukleotid-Einheiten .
Die Moleküle zum Erkennen der Substanz können dabei direkt mit einer Transducer-Oberfläche verbunden sein. Beispielswei- se ist die Transducer-Oberfläche eine Gold-Elektrode des Re¬ sonators. Moleküle, die über eine Thiol-Gruppe verfügen, wer¬ den durch Ausbilden einer Gold-Schwefel-Bindung direkt an die Transducer-Oberfläche gebunden. In einer besonderen Ausgestaltung weist die chemisch sensitive Beschichtung eine Immobilisierungsschicht zum Verbinden des Resonators und der Moleküle zum Erkennen der Substanz auf. Beispielsweise verfügt eine Transducer-Oberfläche über NH- oder OH-Gruppen. Die Moleküle zum Erkennen der Substanz können dabei über Alkoxysilane, Cyanurchlorid oder Carbodii- mid immobilisiert werden. Diese Verbindungen bilden die Immo¬ bilisierungsschicht . Die Immobilisierungsschicht kann direkt mit der Transducer- Oberflache verbunden sein. Denkbar ist auch, dass die Immobi¬ lisierungsschicht indirekt über eine Haftvermittlungsschicht mit der Transducer-Oberflache verbunden ist.
Die Immobilisierungsschicht kann im Wesentlichen zweidimensi¬ onal sein. Die Immobilisierungsschicht ist als geordnete mo¬ nomolekulare oder multimolekulare Schicht entlang der Trans¬ ducer-Oberflache angeordnet. Insbesondere aber ist die Immo- bilisierungsschicht dreidimensional. Es liegt eine Immobili¬ sierungsmatrix vor. Beispielsweise verfügt die Immobilisie¬ rungsschicht über offene Poren, in denen die Moleküle zum Er¬ kennen der Substanz angeordnet sind. Es liegt eine chemisch sensitive Beschichtung mit einer großen "reaktiven" Oberflä- che vor. Als Folge davon zeichnet sich eine chemisch sensiti¬ ve Beschichtung mit einer dreidimensionalen Immobilisierungsschicht durch eine erhöhte Massensensitivität für das Erkennen der Substanz aus. Die dreidimensionale Immobilisie¬ rungsschicht kann beispielsweise durch radikalische Vernet- zung von Monomeren erzeugt werden. An die vernetzten Monomere können die Moleküle zum Erkennen der Substanz gebunden werden. Denkbar ist auch, dass die Monomere bereits vor dem Vernetzen über die funktionellen Gruppen zum Erkennen der Substanz verfügen.
Insbesondere ist die Schwingung des Resonators aus der Gruppe Längsschwingung und/oder Dickenscherschwingung ausgewählt. Welche Schwingungsart angeregt wird, hängt unter anderem von einer Symmetriegruppe des piezoelektrischen Materials, der Orientierung der piezoelektrischen Schicht zur Oberfläche und von der Anordnung der Elektroden ab. Beispielsweise besteht die piezoelektrische Schicht aus einem <111> orientierten Bleizirkonattitanat . Wird ein elektrisches Feld nur in z- Richtung entlang der Schichtdicke der piezoelektrischen
Schicht angelegt, so kommt es in erster Linie zu einer Längs¬ schwingung entlang der Schichtdicke. Dagegen kann die Dickenscherschwingung bei der beschriebenen Anordnung entlang der lateralen Ausdehnung der piezoelektrischen Schicht auftreten. Die Dickenscherschwingung benötigt dazu allerdings eine late¬ rale Komponente des anregenden elektrischen Feldes. Die
Längsschwingung wird insbesondere zur Untersuchung eines gasförmigen Fluids eingesetzt. Bei einem flüssigen Fluid wird die Längsschwingung relativ stark gedämpft, wodurch die Mas- sensensitivität stark reduziert wird. Zur Untersuchung eines flüssigen Fluids unter Ausnutzung der Längsschwingung des Resonators wird daher das Fluid nach der Sorption vom Oberflä¬ chenabschnitt beziehungsweise vom Resonator entfernt. Die Messung der Resonanzfrequenz des Resonators findet nach der
Sorption in Abwesenheit des Fluids statt. Zur direkten Untersuchung eines flüssigen Fluids eignet sich dagegen die Messung der Dickenscherschwingung. Die Dickenscherschwingung wird in einer Flüssigkeit nur unmerklich gedämpft. Die Mes- sung kann bei Flüssigkeitskontakt des Resonators erfolgen.
Die Qualität der dem Fluid zugewandten Oberfläche mit der Be- schichtung und dem chemisch-sensitiven Material beeinflusst die Güte der Messvorrichtung. Qualitätsfaktoren sind eine gleichmäßige Dicke und/oder Bedeckung der Schicht auf dem Re¬ sonator und eine gleichmäßige Dicke oder Bedeckung des che¬ misch-sensitiven Materials auf die Schicht.
Im Folgenden ist die Protein-Detektion dargestellt:
Auf der Gold-Elektrode des piezoakustischen Resonators wird eine chemisch sensitive Beschichtung aus einem Oligo-Nukleo- tid aus 25 Basen immobilisiert. Das Oligo-Nukleotid wird mit einer Konzentration von wenigen mmol im Sub-Nanoliterbereich als wässrige Lösung auf der Elektrode aufgetragen. Jedes der Oligo-Nukleotide weist an der 3 '-Position eine Thiol-Alkyl- Gruppe und an der 5 '-Position eine Biotin-Gruppe auf. Über die Thiol-Alkyl-Gruppe kommt es zur Ausbildung von Schwefel- Gold-Bindungen. Die Oligo-Nukleodide werden auf der Elektrode immobilisiert. Das Oligo-Nukleotid-Grundgerüst bildet quasi eine Immobilisierungsschicht. Die Biotin-Gruppe bildet einen starken Komplex mit Streptavidin . Die Biotin-Gruppe fungiert quasi als Molekül zum Erkennen der Substanz Streptavidin. Sobald dieses Protein in einem Fluid vorhanden ist, dem die be- schriebene chemisch sensitive Beschichtung ausgesetzt ist, kommt es zur Komplexbildung und damit zur Sorption des Proteins auf der chemisch sensitiven Beschichtung. Im Folgenden ist die DNA-Detektion dargestellt:
Es werden Oligo-Nukleotide aus 25 Basen über Thiol-Alkyl- gruppen immobilisiert. Die Oligo-Nukleotide weisen keine Bio¬ tin-Gruppen auf. DNA-Fragmente mit einer entsprechend komple¬ mentären Nukleotid-Sequenz werden über die Ausbildung von Wasserstoff-Brücken-Bindungen an die immobilisierten Oligo- Nukleotide gebunden.
Die Vorrichtung zum Detektieren mindestens einer Substanz eines Fluids oder der Konzentration einer Substanz eines Fluids weist einen Träger auf, auf den ein akustischer Resonator aufgebracht ist, der auf seiner vom Träger abgewandten Oberfläche mit einer ersten Schicht zur Aufnahme eines Materials beschichtet ist, wobei die erste Schicht beispielsweise aus Gold ist. Auf die erste Schicht wird ein weiteres Fluid auf- gebracht, das das Material enthält. Das Material kann che¬ misch sensitiv, spezifisch selektives oder unselektiv
und/oder sorptionsfähig für eine nachzuweisende Substanz oder ein Reaktions- bzw. Mischprodukt sein. Alternativ kann das Material fähig sein zur Aufnahme von Ablagerungen oder Ab- Scheidungen der vorher genannten Elemente sein. Das Material scheidet sich auf der ersten Schicht ab. Der Abscheidungsvor- gang ist durch kontinuierliches Messen der Änderung der Resonanzfrequenz messbar, da sich die Masse an der Oberfläche der ersten Schicht erhöht.
Bevorzugt weist die dem Fluid zugewandte Oberfläche des Reso¬ nators bereits direkt eine Schicht bzw. einen betreffenden Oberflächenausschnitt auf zur Aufnahme einer nachzuweisenden Substanz und/oder eines nachzuweisenden Reaktions- oder
Mischprodukts oder den betreffenden Oberflächenabschnitt. Der akustische, vorzugsweise als piezoelektrisches Element ausgebildete Resonator wird durch elektrische Energie ange¬ regt und ist vorzugsweise als Film Bulk Acoustic Wave Resona¬ tor (FBAR) ausgebildet.
Der Resonator ist durch ein elektrisches Wechselfeld anregbar und vorzugsweise als Film Bulk Acoustic Wave Resonator (FBAR) ausgebildet mit einem piezoelektrisches Element als aktivem Element des Resonators. Das Wechselfeld weist vorzugsweise mehrere Frequenzen im Bereich der Resonanzfrequenz gleichzeitig auf, wodurch die Resonanzfrequenz der Vorrichtung kontinuierlich angeregt ist. Dadurch kann die Auswerteinheit zum elektrischen Ansteuern des Resonators und zum Messen der Resonanzfrequenz diese fast verzögerungsfrei messen. Die Aus- werteinheit ist entweder auf dem Träger oder extern vorhanden .
Das auf die Oberfläche des Resonators mit Hilfe eines Dispen¬ sers aufbringbare Flüssigkeitsvolumen liegt vorzugsweise zwi- sehen 0,1 und 10 Nanoliter.
Die dem Fluid zugewandte Oberfläche des Resonators weist vor¬ zugsweise eine höhere Affinität zum Fluid auf als die den Re¬ sonator horizontal umgebende Oberfläche, beispielsweise ist die Oberfläche aus Gold und die umgebende Oberfläche aus Si¬ liziumoxid (SIO2) · Die Höhe des Resonators beträgt üblicher¬ weise einige ym.
Bevorzugt umläuft eine auf den Träger aufgebrachte Barriere den Resonator umlaufend zum Verhindern des Abfließens des Fluids vom Resonator, wobei die Barriere zusammen mit der Oberfläche des Resonators mindestens ein Volumen zum voll¬ ständigen Aufnehmen des aufgebrachten Fluids umschließt. Dabei weist die Barriere bevorzugt eine geringere Affinität zum Fluid auf als die Oberfläche des Resonators und besteht vor¬ zugsweise aus Polymer oder Fotolack. Bevorzugt sind mehrere Resonatoren reihenförmig oder in Ar- ray-Anordnung nebeneinander angeordnet sind, so dass pro Trä¬ gereinheit eine Vielzahl von Sensorelementen verfügbar sind. Bevorzugt wird der Sensor hergestellt, indem ein chemisch¬ sensitive Material enthaltendes Fluid auf die erste Schicht des Resonators aufgebracht wird, wobei das Material zumindest teilweise auf die erste Schicht abgeschieden wird. Dabei kann die Qualität der ersten Schicht und des abgeschiedenen Materials nach Aufbringen des Fluids auf die erste Schicht gemessen werden, indem die Abweichung der Verschiebung der Resonanzfrequenz von einem Referenzwert ermittelt wird. Der Referenzwert ist beispielsweise die Resonanzfrequenz des mit einer keine Substanzen enthaltenen Referenzflüssigkeit be- deckten Resonators. Auch ist durch kontinuierliches Messen der Abweichung der Verschiebung des zeitlichen Verlaufs der Resonanzfrequenz von einem vorgegebenen Sollwert bzw. Sollverlauf die Qualität der Abscheidung ermittelbar. Nach Erkennen einer ausreichenden Qualität des Sensors wird das Fluid (3) entfernt, durch Verdampfen oder durch mechanische Hilfsmittel, so dass die Vorrichtung bereit ist zum nachfolgend beschriebenen Messverfahren. Bevorzugt bedeckt das Fluid den Querschnitt der Oberfläche des Resonators vollständig.
Das Verfahren zum Detektieren mindestens einer Substanz eines Fluids mit Hilfe des vorhergehend beschriebenen Sensors wird durchgeführt, indem das eine oder mehrere weitere Sub¬ stanzen enthaltende Fluid auf das chemisch-sensitive Material aufgebracht wird. Das Anheften der zu detektierenden Substanz an der chemisch-sensitiven Substanz erhöht die Masse des Resonators. Durch Messen der Verschiebung der Resonanzfrequenz in Abhängigkeit von der Zeit ist die Konzentration der Sub¬ stanz ermittelbar. Auch ist der zeitlichen Verlauf der Anlagerung der Substanz an dem chemisch-sensitiven Material nach Aufbringen des weiteren Fluids auf das Material durch Messen der Abweichung der Verschiebung der Resonanzfrequenz ermittelbar. Dabei werden die gemessenen Werte mit Referenzwerten verglichen, um die Messtoleranzen einschätzen zu können .
Bevorzugt werden auf den Resonator mehrere Fluidschichten übereinander angebracht, in dem ein Dispenser in einem ersten Schritt ein erstes Fluid und in einem Schritt oder mehreren weiteren Schritten ein weiteres Fluid aufbringt, wodurch sich die Fluidarten (32, 33) vermischen. Vorteilhaft ist durch das Aufbringen von jeweils vorgegebenen Volumina der entsprechenden Fluidarten ein genaues Mischungsverhältnis einstellbar, ohne dass eine in der Mikrofluidtechnik übliche Vormischung der Fluidarten nötig ist. Dadurch ist eine breite Bandbreite von Konzentrationen vollautomatisch einstellbar. Weiterhin können auf diese Art auch mehr als zwei verschiedene Fluidar¬ ten übereinander aufgebracht werden, wodurch eine große Bandbreite von Mischungskombinationen erzielt wird. Im Folgenden sind die Figuren zur Erläuterung der Erfindung dargestellt. Es zeigen:
Figur la,b,c eine Vorrichtung zum Detektieren einer Sub- stanz eines Fluids vor, während und nach dem letzten Herstellungsschritt jeweils in Seiten¬ ansicht .
Figur 2a, b die Vorrichtung zum Detektieren einer Substanz eines Fluids aus Figur lc in einer weiteren Ausführungsvariante in Seitenansicht und Auf- sieht .
Figur 3a, b eine Vorrichtung zum Detektieren einer Substanz eines Fluids aus Figur 2 in zwei nach¬ einander folgenden Mess-Situationen in Seiten- ansieht . Figur 4 eine Vorrichtung zum Detektieren einer Substanz eines Fluids aus Figur 2 in einer weite¬ ren Mess-Situationen in Seitenansicht
Figur 5 ein Array aus mehreren nebeneinander angeordneten Vorrichtungen aus Figur lc
Figur 6 Messergebnisse der Ermittlung von Konzentrati¬ on von Immunoglobin in einer Flüssigkeit mit Hilfe der Vorrichtungen aus Figuren lc
Im Folgenden sind funktionsgleiche Elemente der Vorrichtung in den verschiedenen Figuren mit gleichen Bezugszeichen dargestellt.
Das in den folgenden Figuren dargestellte Fluid 3, 31, 32, 33 ist beispielsweise als wässrigen Lösung oder aus einem Lö¬ sungsmittel auf Kohlenwasserstoffbasis ausgebildet. Die Figuren la, b und c zeigen eine Vorrichtung 11 zum Detektieren einer Substanz eines Fluids vor, während und nach dem letzten Herstellungsschritt jeweils in Seitenansicht. Dabei ist die Vorrichtung beispielsweise ein Biosensor zur Detekti- on von Biomolekülen. Die Biomoleküle sind beispielsweise Oli- gonukleotide . Alternativ werden Biomoleküle in Form von Pro¬ teinen detektiert.
Figur 1 zeigt einen Träger 1, auf den ein akustischer Resonator 2 aufgebracht ist, der auf seiner vom Träger 1 abgewand- ten Stirnfläche 6 mit einer ersten Schicht 7 zur Aufnahme ei¬ nes chemisch-sensitiven Materials 8 beschichtet ist. Die ers¬ te Schicht besteht beispielsweise aus Gold 7 oder aus einem Material, das ein chemisch-sensitives Material 8 gleichmäßig fest binden kann. Die Schicht kann alternativ auch als Immo- bilisierungsschicht ausgebildet sein. Auf die Schicht 7 wird mit Hilfe eines Dispensers 10 ein Fluid 3 aufgebracht, das das chemisch-sensitive Material 8 in einer vorgegebenen Kon¬ zentration enthält. Der Dispenser 10 kann das Fluid in einer genau vorgegebenen Menge dosieren. Üblicherweise beträgt die Menge des Fluids 3 zwischen 0,1 und 10 Nanoliter, vorzugswei¬ se etwa ein (1) Nanoliter. Der Resonator 2 ist vorzugsweise ein aus piezoelektrischem Material bestehender akustischer Resonator, der über Ansteuerleitungen 50 durch ein elektrisches Wechselfeld anregbar ist.
An die Ansteuerleitungen 50 ist eine Auswerteinheit 51 an¬ schließbar, die den Resonator 2 mit dessen Resonanzfrequenz fR anregt und die Resonanzfrequenz fR misst.
Der Abstand H zwischen Oberfläche 6 der Schicht 7 und der Oberfläche 61 des Trägers 1 beträgt einige ym. Der Sensor hat eine quadratische Grundfläche mit etwa 200ym x 200ym, kann aber auch andere Grundformen wie rechteckig, rund usw. aufweisen. Vorzugsweise ist der Resonator 2 in der Technologie des Film Bulk Acoustic Wave Resonator (FBAR) ausgebildet.
In Figur lb ist die Vorrichtung 11 aus Figur la dargestellt, nachdem das Fluid 3 auf die Schicht 7 aufgebracht wurde.
Nach Aufbringen des Fluids 3 auf die Oberfläche 6 der Schicht 7 wird das chemisch-sensitive Material 8 zumindest teilweise auf die erste Schicht 7 abgeschieden, wie in Figur lb darge- stellt ist. Durch Anregen des Resonators 2 und kontinuierli¬ ches Messens der Resonanzfrequenz fR wird die Verschiebung der Resonanzfrequenz fR, die ein Indiz für den Verlauf des Abhängigkeit des Abscheidungsvorgangs des chemisch-sensitiven Materials 8 auf die Schicht ist. Durch das Abscheiden erhöht sich die Gesamtmasse der Schichten 7 und 8, wodurch die Reso¬ nanzfrequenz sinkt. Es ist so möglich, den Abscheidungsvor- gang quasi online zu verfolgen. Dadurch ist es möglich, durch Vergleichen mit Referenzwerten eine Aussage über die Qualität der Schicht 7 und des abgeschiedenen Materials 8 durch Messen des zeitlichen Verlaufs der Verschiebung der Resonanzfrequenz fR zu ermitteln. Dabei sind Qualitätsfaktoren der ersten Schicht 7 beispielsweise eine gleichmäßige Bedeckung des Re¬ sonators 2 mit der Schicht, eine gleichbleibende Schichtdicke der Schicht 7. Qualitätsfaktoren der chemisch-sensitiven Schicht 8 sind die gleichmäßigen Bedeckung des chemischsensitiven Materials 8 auf der Schicht 7, eine gleichmäßige Dicke des chemisch-sensitiven Materials 8 usw..
In Figur lc ist die Vorrichtung 11 aus den Figuren la,b dargestellt, nachdem sich das chemisch-sensitive Material 8 ist auf der Schicht 7 gleichmäßig verteilt hat und das Fluid 3 entfernt wurde, beispielsweise durch Erhitzen der Vorrichtung 11 oder durch mechanische oder chemische Mittel. Die Vorrich¬ tung 11 ist fertig hergestellt und somit bereit für die ei¬ gentliche Messaufgaben als Sensor.
Das Fluid 3 aus Figur lb bedeckt vorzugsweise die gesamte Oberfläche 6 und ragt nicht über die Oberfläche 6 des Resona¬ tors 2 hinaus. Dies wird erzielt durch die Kombination des Oberflächen der Materialien des Trägers 1 und der Schicht 7. Die Schicht 7 weist dazu eine höhere Affinität zum Fluid 3 auf als die den Resonator 2 umgebene Oberfläche 61 des Trä- gers 1. Beispielsweise ist die Oberfläche 6 des Trägers aus
Gold und die umgebene Oberfläche 61 des Trägers aus Silizium¬ oxid Si02. Die Höhe H des Resonators 2 bzw. der Abstand der Schicht 7 von der Oberfläche 61 des Trägers 1 von einigen lOOnm bis einigen ym unterstützt die Begrenzung des Fluids 3 auf die Oberfläche 6 der Schicht 7.
Dabei kann alternativ die dem Fluid 3 zugewandte Oberfläche 6 des Resonators 2 bereits direkt eine Schicht 7 bzw. einen betreffenden Oberflächenausschnitt 7 auf zur Aufnahme einer nachzuweisenden Substanz und/oder eines nachzuweisenden Reak- tions- oder Mischprodukts oder den betreffenden Oberflächenabschnitt 8.
Alternativ ist in den Figuren 2a und 2b in Seitenansicht und Aufsicht die Vorrichtung 11 aus Figur lc mit einer den Reso¬ nator 2 umlaufenden Barriere 4 ausgebildet. Die Barriere 4 ist auf den Träger 1 aufgebracht und umläuft geschlossen den Resonator 2, hier in quadratischer oder rechteckiger Form. Die Höhe der Barriere 4 ist höher als der Abstand der Ober¬ fläche 6 des Materials des chemisch-sensitiven Materials 8 von der Oberfläche des Trägers 1. Die Mindesthöhe der Barrie¬ re 4 hängt ab von dem gewünschten Volumen des auf den Resona- tor 2 aufzubringenden Fluids 3,31 ab.
Die Figuren 3a und 3b stellen die Vorrichtung 11 aus Figur 2 mit aufeinanderfolgenden Mess-Schritten dar. Die Vorrichtung arbeitet als Sensor 11 bzw. Messeinrichtung zur Messung der Konzentration einer Substanz 91 in einem Fluid 31.
Über dem Sensor 11 ist ein Dispenser 10 angeordnet, der ein Fluid 31 mit einem vorgegebenen Volumen V auf die Oberfläche 8 des chemisch-sensitiven Materials 8 aufspritzt. Das Fluid 31 enthält ein oder mehrere Substanzen 91, 92, wobei zumin¬ dest eine der Substanzen 91 von der chemisch-sensitiven Materials 8 anbindbar ist. Nach Aufbringen des Fluids 31 auf die Oberfläche 8 docken sich die Substanzen 91 an die Rezeptoren der chemisch-sensitiven Schicht 8 an. Dadurch erhöht sich die Masse der sich auf dem Resonator 2 befindlichen Substanzen
7,8,91, wodurch die Resonanzfrequenz fR des Resonators sinkt. Durch fortlaufendes Messen der sich ändernden Resonanzfrequenz fR ist der Vorgang des Abscheidens der Substanzen 91 auf das chemisch-sensitive Material 8 kontinuierlich verfolg- bar. Die Geschwindigkeit des Abscheidens hängt von der Kon¬ zentration der Substanz 91, der Fähigkeit des chemischsensitiven Materials 8 zur Aufnahme der Substanz 91, der Temperatur des Fluids 31 und verschiedenen anderen Faktoren ab. In Figur 3 sind auf dem Sensor aus Figur 2a mehrere Fluid- schichten 32, 33 übereinander angebracht worden, in dem der Dispenser 10 in einem ersten Schritt ein erstes Fluid 32 und in einem zweiten Schritt ein zweites Fluid 33 aufgebracht hat. Die Fluidarten 32, 33 vermischen sich abhängig von den darin enthaltenen Substanzen mit unterschiedlicher Geschwindigkeit. Die durch das Aufbringen von jeweils vorgegebenen Volumina der entsprechenden Fluidarten 32, 33 ist ein genaues Mischungsverhältnis einstellbar, ohne dass eine in der Mikrofluidtechnik üblichen Vormischung nötig ist. Dadurch ist vollautomatisch eine breite Bandbreite von Konzentrationen einstellbar. Weiterhin können auf diese Art auch mehr als zwei verschiedene Fluidarten übereinander aufgebracht werden, wodurch eine große Bandbreite von Mischungskombinationen erzielt wird.
Die Figur 5 stellt eine nebeneinander angeordnete Reihe von 16 Sensoren 11 aus Figur lc dar. Einige Sensoren 11 sind be- reits mit einem Fluid 3, 31 (schwarzes Quadrat) bedeckt, ei¬ nige Sensoren 11 sind noch nicht mit einem Fluid bedeckt (weißes Quadrat) . Oberhalb der Sensoren 11 befinden sich Zu¬ leitungen 50 zur Anregung der einzelnen Resonatoren 2 und zur Anbindung der Auswahlelektronik 51. Die Auswahlelektronik 51kann auf den Träger 1 integriert sein oder extern angebunden sein. Durch Aneinanderreihen von vielen dieser nebeneinander angeordneten Sensoren 11 werden eine große Anzahl von Sensoren 11 matrixförmig auf einem Träger 1 angeordnet . In Figur 6 sind Messergebnisse von Konzentrationsmessungen der Substanz " Immunoglobin" 91 in einem Fluid 31 dargestellt, die mit Hilfe einem Sensor 11 aus den Figuren lc bzw. Fig. 5 ermittelt wurden. Dazu wurden jeweils eine vorgegeben Flüs¬ sigkeitsmengen bzw. -volumina mit unterschiedlichen Konzent- rationen von Immunoglobin 91 auf den Sensoren 11 aufgebracht. Die Messungen können parallel mit Hilfe mehrerer Sensoren 11 aus Figur 5 oder seriell hintereinander mit Hilfe eines Sensors 11 aus Figur lc ausgeführt worden sein, wobei der Sensor 11 nach einer Messung gereinigt werden kann und für eine neue Messung bereitsteht. In dem Diagramm ist die gemessene Fre¬ quenzverschiebung Delta_ist_fR [Mhz] in Abhängigkeit von der Konzentration des Immunoglobins [yg/ml] aufgenommen. Die vertikalen Balken um den jeweiligen Messpunkt stellen die Fehlerbalken dar. Der Messpunkt A zeigt eine Konzentration von wenigen yg/ml an mit einer im Verhältnis zum Referenzwert 0, d.h. Flüssigkeit ohne Immunoglobin fast unveränderten Frequenzverschiebung -0,05 MHz. Der Messpunkt B zeigt eine Konzentration von etwa 10 yg/ml, was bereits durch eine Fre- quenzverschiebung von etwa -0,5 MHz deutlich messbar ist. Dies zeigt, dass geringe Konzentrationsänderungen bzw. auch geringe Konzentrationen mit hoher Sensitivität nachweisbar sind. Die Messpunkte C, D, E, F und G stellen Konzentrationen des Immunoglobin von 50, 100, 250, 500 und über 800 yg/ml mit einer gemessenen Frequenzänderung Delta_ist_fR von jeweils -1, 05MHz, -1,1MHz, -1,4MHz, -1,5MHz, -1,5MHz dar. Der Messpunkt G mit einer sehr hohen Konzentration von über 800 yg/ml könnte beispielsweise u. a. darauf schließen lassen, dass die Adsorption des Immunoglobin 91 an die chemischsensitive Schicht der Rezeptoren 8 aus Figur lc sich in der Sättigung befindet.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Detektieren mindestens einer Substanz (91, 92) eines Fluids (3, 31) oder der Konzentration einer Sub- stanz (91, 92) eines Fluids (3) aufweisend:
- einen Träger (1),
- ein auf den Träger (1) aufgebrachten Resonator (2), der auf seiner vom Träger (1) abgewandten Oberfläche (6) mit einem einen betreffenden Oberflächenabschnitt (8) zur zumindest teilweisen Aufnahme der nachzuweisenden Substanz (91,92) aufweist, wobei
die dem Fluid (3) zugewandte Oberfläche (6) des Resonators (2) und/oder der betreffenden Oberflächenabschnitt (8) eine höhere Affinität zum Fluid (3, 31) aufweist als die den Reso- nator (2) umgebende Oberfläche (61) bzw. die den betreffen¬ den Oberflächenabschnitt (8) umgebende Fläche,
und/oder
eine den Resonator (2) umlaufend umgebende Barriere (4) zum zum Verhindern des Abfließens des Fluids (3, 31) vom Resona- tor (2) auf den Träger (1) aufgebracht ist, wobei die Barrie¬ re (4) zusammen mit der Oberfläche (6) des Resonators (2) mindestens ein Volumen zum vollständigen Aufnehmen des Fluids (3,31) umschließt, wobei die Barriere (4) idealerweise eine geringere Affinität zum Fluid (3, 31) aufweist als die Ober- fläche (6) des Resonators (2) und vorzugsweise aus einem Po¬ lymer oder Fotolack besteht.
2. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (6) des Resonators (2) mit einer ersten Schicht (7) zur Aufnahme des den betreffenden Oberflächenabschnitts (8) bildenden Materials (8) durch Abscheiden des Materials (8) aus einem Fluid (3) beschichtet ist, wobei auf die erste Schicht (7) das Material (8) zur Aufnahme einer nachzuweisenden Substanz (91, 92) aufgebracht ist, wobei ein weiteres Fluid (31) mit der nachzuweisenden Substanz (91, 92) auf das Material (8) aufbringbar ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Resonator (2) durch ein elektrisches Wechselfeld anregbar ist und vorzugsweise als Film Bulk
Acoustic Wave Resonator (FBAR) ausgebildet ist und vorzugs- weise ein piezoelektrisches Element als aktives Element des Resonators (2) vorgesehen ist, wobei das Wechselfeld vorzugs¬ weise mehrere Frequenzen im Bereich der Resonanzfrequenz (fR) gleichzeitig enthält.
4. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Auswerteinheit zum elektrischen An¬ steuern des Resonators (2) und zum Messen der jeweils aktuel¬ len Resonanzfrequenz (fR) vorhanden ist, wobei die Resonanzfrequenz (fR) der Vorrichtung kontinuierlich angeregt ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die auf die Oberfläche (6) des Resona¬ tors (2) aufbringbare Flüssigkeitsvolumen zwischen 0,1 und 10 Nanoliter beträgt, vorzugsweise etwa 1 Nanoliter.
6. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Resonatoren (2) reihenförmig oder in Array-Anordnung nebeneinander angeordnet sind.
7. Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung nach einem der vorherigen Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
-ein das Material (8) enthaltendes Fluid (3) auf die dem Flu¬ id (3) zugewandte Oberfläche (6) des Resonators (2) und/oder die betreffenden Oberflächenabschnitt (8)
aufgebracht wird,
-das Material (8) zumindest teilweise auf die Oberfläche (6) und/oder den betreffenden Oberflächenabschnitt (8) abgeschie¬ den wird,
-die Qualität der Oberfläche (6) und/oder des betreffenden Oberflächenabschnitts (8) und des abgeschiedenen Materials (8) nach Aufbringen des Fluids (3) durch Messen der Abweichung der Verschiebung (Delta_ist_fRes) der Resonanzfrequenz (fRes) und/oder durch Messen der Abweichung der Verschiebung (Delta_ist_t ) des zeitlichen Verlaufs der Resonanzfrequenz (fRes) von einem vorgegebenen Sollwert (Delta_soll_fRes) bzw. Sollverlauf (Delta_soll_t ) ermittelt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass auch die Resonanzfrequenz (fRes) vor Aufbringen des Fluids (3) zur Auswertung der Qualität herangezogen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass nach Erkennen einer ausreichenden Qualität das Fluid (3) entfernt wird, z.B. durch Verdampfen oder durch mechanische Hilfsmittel, so dass die Vorrichtung bereit ist zum Verfahren nach einem der nachfolgenden Ansprüche.
10. Verfahren zum Detektieren mindestens einer Substanz (91) eines weiteren Fluids (31) oder eines Reaktionsprodukts des weiteren Fluids (31) mit Hilfe einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Vorrichtungsansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
-das weitere Fluid (31) auf die dem Fluid (3) zugewandte Oberfläche (6) des Resonators (2) oder den betreffenden Oberflächenabschnitt (8) aufgebracht wird,
-zumindest eine (91) der weiteren Substanzen (91,92) bzw. das Reaktionsprodukt oder die Konzentration zumindest der einen der weiteren Substanzen (91, 92) bzw. des Reaktionspro¬ dukts oder den zeitlichen Verlauf (v) der Anlagerung der weiteren Substanz (91) bzw. des Reaktionsprodukts an die Oberfläche (6) bzw. den betreffenden Oberflächenabschnitt (8) nach Aufbringen des weiteren Fluids (31) durch Messen der
Abweichung der Verschiebung (Delta_ist_fRes) der Resonanzfre¬ quenz (fRes) und/oder durch Messen der Abweichung der Verschiebung (Delta_ist_t ) des zeitlichen Verlaufs der Resonanzfrequenz (fRes) von vorgegebenen Referenzwerten (Del- ta_ref_fResl , Delta_ref_fResl ) bzw. Sollverlauf (Del¬ ta soll t) ermittelt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Volumen des aufgebrachten weiteren Fluids (31) einem vorgegebenen Referenzwert entspricht, wobei der Referenzwert vorzugsweise zwischen 0,1 und 10 Nanoliter (nL) beträgt.
12. Vorrichtung oder Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass
das Fluid (3) oder das weitere Fluid (31) den Querschnitt der Oberfläche (6) des Resonators (2) vollständig bedeckt.
13. Verfahren nach einem Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass
-auf den Resonator (2) mehrere Fluidschichten (32, 33,...) übereinander angebracht werden, indem ein Dispenser (10) in einem ersten Schritt ein erstes Fluid (32) und in einem
Schritt oder mehreren weiteren Schritten ein weiteres Fluid (33) aufbringt, wodurch sich die Fluidarten (32, 33) voll¬ ständig vermischen, wodurch Reaktionsprodukte, Reaktionszei¬ ten und/oder das Mischprodukt und/oder deren Konzentration ermittelbar sind.
PCT/EP2010/063793 2009-09-30 2010-09-20 Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids WO2011039069A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP10760964A EP2483676A1 (de) 2009-09-30 2010-09-20 Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids
US13/499,229 US20120227474A1 (en) 2009-09-30 2010-09-20 Device comprising a resonator for detecting at least one substance of a fluid, method for producing said device and method for detecting at least one substance of another fluid

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009047905.8 2009-09-30
DE102009047905A DE102009047905A1 (de) 2009-09-30 2009-09-30 Vorrichtung zum Detektieren mindestens einer Substanz eines Fluids, Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren mindestens einer Substanz eines weiteren Fluids

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2011039069A1 true WO2011039069A1 (de) 2011-04-07

Family

ID=43242934

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2010/063793 WO2011039069A1 (de) 2009-09-30 2010-09-20 Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20120227474A1 (de)
EP (1) EP2483676A1 (de)
DE (1) DE102009047905A1 (de)
WO (1) WO2011039069A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016205293A1 (de) * 2016-03-31 2017-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Detektion zumindest einer Substanz und Substanzdetektor
US11099157B2 (en) 2018-07-06 2021-08-24 Qorvo Biotechnologies, Llc Sensor with droplet retaining structure

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5932953A (en) 1997-06-30 1999-08-03 Iowa State University Research Foundation, Inc. Method and system for detecting material using piezoelectric resonators
EP1143241A1 (de) 2000-04-07 2001-10-10 Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw Akustischer sensor
DE10308975B4 (de) 2002-07-19 2007-03-08 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4596697A (en) * 1984-09-04 1986-06-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Chemical sensor matrix
US4999284A (en) * 1988-04-06 1991-03-12 E. I. Du Pont De Nemours And Company Enzymatically amplified piezoelectric specific binding assay
US7989851B2 (en) * 2002-06-06 2011-08-02 Rutgers, The State University Of New Jersey Multifunctional biosensor based on ZnO nanostructures
KR100455127B1 (ko) * 2003-01-24 2004-11-06 엘지전자 주식회사 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 물질 센서 모듈
US20050148065A1 (en) * 2003-12-30 2005-07-07 Intel Corporation Biosensor utilizing a resonator having a functionalized surface
WO2008068011A1 (de) * 2006-12-07 2008-06-12 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Piezoelektrische sensoranordnung mit dünnschichtscherwellenresonator basierend auf epitaktisch gewachsenen piezoelektrischen schichten
DE102009047807A1 (de) * 2009-09-30 2011-03-31 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren mindestens einer Substanz

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5932953A (en) 1997-06-30 1999-08-03 Iowa State University Research Foundation, Inc. Method and system for detecting material using piezoelectric resonators
EP1143241A1 (de) 2000-04-07 2001-10-10 Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw Akustischer sensor
DE10308975B4 (de) 2002-07-19 2007-03-08 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
C. KÖSSLINGER ET AL., BIOSENSORS & BIOELECTRONICS, vol. 7, 1992, pages 397 - 404
G. SAUERBREY, ZEITSCHRIFT FÜR PHYSIK, vol. 155, 1959, pages 206 - 222
GABL R ET AL: "First results on label-free detection of DNA and protein molecules using a novel integrated sensor technology based on gravimetric detection principles", BIOSENSORS AND BIOELECTRONICS, ELSEVIER BV, NL, vol. 19, no. 6, 11 September 2003 (2003-09-11), pages 615 - 620, XP002320316, ISSN: 0956-5663, DOI: DOI:10.1016/S0956-5663(03)00259-8 *
I. WILLNER; E. KATZ, ANGEWANDTE CHEMIE, vol. 112, 2000, pages 1230 - 1269
MICHAEL MERTIG ET AL: "Investigation of in-vitro bacterial surface layer formation by FBARs", SENSORS, 2009 IEEE, IEEE, PISCATAWAY, NJ, USA, 25 October 2009 (2009-10-25), pages 1161 - 1164, XP031618991, ISBN: 978-1-4244-4548-6 *
WEBER J ET AL: "Shear mode FBARs as highly sensitive liquid biosensors", SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 128, no. 1, 31 March 2006 (2006-03-31), pages 84 - 88, XP025081684, ISSN: 0924-4247, [retrieved on 20060331], DOI: DOI:10.1016/J.SNA.2006.01.005 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009047905A1 (de) 2011-04-07
US20120227474A1 (en) 2012-09-13
EP2483676A1 (de) 2012-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1549937B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz mithilfe eines piezoelektrischen Dünnfilmresonators
EP1451586B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der konzentration von in einer zu untersuchenden probe enthaltenen liganden
DE10308975B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Substanz
WO1999027367A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum nachweis von analyten
DE10049901C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur elektrisch beschleunigten Immobilisierung und zur Detektion von Molekülen
EP1738172B1 (de) Verfahren zur funktionalisierung von biosensor-chips
DE10113254A1 (de) Mikromechanik-Sensorelement und elektrische Schaltungsanordnung
WO2011039069A1 (de) Vorrichtung umfassend einen resonator zum detektieren mindestens einer substanz eines fluids, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz eines weiteren fluids
DE68918693T2 (de) Piezoelektrscher spezifischer bindungstest mit einem reagens mit erhöhter masse.
EP2483675B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum detektieren mindestens einer substanz
DE10136008B4 (de) Verfahren zur Analyse von Makromolekülen und Verfahren zur Herstellung einer Analysevorrichtung
DE102004002914B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion mindestens einer Substanz
DE19826617C1 (de) Verfahren zur Herstellung von Immunosensoren
EP2452190B1 (de) Sensor als biochip
EP1588168B1 (de) Verfahren zum separieren und nachweisen von zumindest einem analyten in biologischen matrizes
WO2005034348A1 (de) Piezoakustischer resonator und verwendung des piezoakustischen resonators
DE102022005110B4 (de) Digitale Sensorvorrichtung zur Detektion von Analyten in einer Probe
DE102022121187B3 (de) Digitale Sensorvorrichtung zur Detektion von Analyten in einer Probe
DE10226072B4 (de) Analyseverfahren zur Analyse von spezifischen Bindungsereignissen, Untersuchungsverfahren und Verwendung
WO2007076949A1 (de) Sensorchip mit in einem polymer-netzwerk eingelagerten rezeptoren
Shao Affinity mass sensors: Concept and applications
DE10065278A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur elektrisch beschleunigten Immobilisierung von Molekülen
DE10328181A1 (de) Verfahren zum Separieren und Nachweisen von zumindest einem Analyten in biologischen Matrizes
DE9321123U1 (de) Akustoelektrischer Flüssigkeitssensor
DE10125018A1 (de) Verfahren und Sensor-Anordnung zum Erfassen von Molekülen in einer zu untersuchenden Flüssigkeit

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10760964

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010760964

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13499229

Country of ref document: US