WO2011037905A1 - Système de contrôle 3d à haute résolution et à grande vitesse pour piles photovoltaïques - Google Patents

Système de contrôle 3d à haute résolution et à grande vitesse pour piles photovoltaïques Download PDF

Info

Publication number
WO2011037905A1
WO2011037905A1 PCT/US2010/049619 US2010049619W WO2011037905A1 WO 2011037905 A1 WO2011037905 A1 WO 2011037905A1 US 2010049619 W US2010049619 W US 2010049619W WO 2011037905 A1 WO2011037905 A1 WO 2011037905A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cameras
workpiece
images
array
inspection system
Prior art date
Application number
PCT/US2010/049619
Other languages
English (en)
Inventor
Carl E. Haugan
Timothy A. Skunes
Paul R. Haugen
Steven K. Case
Original Assignee
Cyberoptics Corporation
Caruso, Beverly
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cyberoptics Corporation, Caruso, Beverly filed Critical Cyberoptics Corporation
Priority to JP2012530968A priority Critical patent/JP2013505465A/ja
Priority to CN2010800418027A priority patent/CN102498387A/zh
Priority to DE112010003742T priority patent/DE112010003742T5/de
Publication of WO2011037905A1 publication Critical patent/WO2011037905A1/fr

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details
    • G01N21/8903Optical details; Scanning details using a multiple detector array
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/845Objects on a conveyor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8838Stroboscopic illumination; synchronised illumination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's

Landscapes

  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

La présente invention concerne un système et un procédé de contrôle optique. Un dispositif d'acheminement (26) des pièces usinées assure le déplacement, en continu, d'une pièce usinée (12). Un dispositif d'éclairage (40) comporte un conducteur de lumière et est conçu pour fournir des premier et second types de champ d'éclairage stroboscopique. Des premier (3) et second ensembles (5) de caméras sont disposés de façon à effectuer des prises de vue stéréoscopiques de la pièce usinée (12). Le premier ensemble de caméras (3) génère une première pluralité d'images de la pièce usinée (12) avec le premier champ d'éclairage et une deuxième pluralité d'images de la pièce usinée (12) avec le second champ d'éclairage. Le second ensemble de caméras (5) génère une troisième pluralité d'images de la pièce usinée (12) avec le premier champ d'éclairage et une quatrième pluralité d'images de la pièce usinée (12) avec le second champ d'éclairage. Un dispositif de traitement stocke au moins certaines des images des première, deuxième, troisième et quatrième pluralités d'images et transfère lesdites images jusqu'à un autre dispositif.
PCT/US2010/049619 2009-09-22 2010-09-21 Système de contrôle 3d à haute résolution et à grande vitesse pour piles photovoltaïques WO2011037905A1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012530968A JP2013505465A (ja) 2009-09-22 2010-09-21 高速高解像度三次元太陽電池検査システム
CN2010800418027A CN102498387A (zh) 2009-09-22 2010-09-21 高速、高解析度、三维太阳能电池检查系统
DE112010003742T DE112010003742T5 (de) 2009-09-22 2010-09-21 Hochschnelles, hochauflösendes, dreidimensionales Solarzellenprüfsystem

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US24461609P 2009-09-22 2009-09-22
US24467109P 2009-09-22 2009-09-22
US61/244,671 2009-09-22
US61/244,616 2009-09-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2011037905A1 true WO2011037905A1 (fr) 2011-03-31

Family

ID=43086315

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/US2010/049619 WO2011037905A1 (fr) 2009-09-22 2010-09-21 Système de contrôle 3d à haute résolution et à grande vitesse pour piles photovoltaïques
PCT/US2010/049617 WO2011037903A1 (fr) 2009-09-22 2010-09-21 Système d'inspection optique à grande vitesse faisant appel à un ensemble de caméras et à un dispositif d'éclairage intégré compact

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/US2010/049617 WO2011037903A1 (fr) 2009-09-22 2010-09-21 Système d'inspection optique à grande vitesse faisant appel à un ensemble de caméras et à un dispositif d'éclairage intégré compact

Country Status (5)

Country Link
JP (2) JP2013505465A (fr)
KR (1) KR20120084738A (fr)
CN (2) CN102656444B (fr)
DE (1) DE112010003742T5 (fr)
WO (2) WO2011037905A1 (fr)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102253051A (zh) * 2011-05-03 2011-11-23 3i系统公司 一种线扫描探测器检测太阳能电池片缺陷的系统
WO2013081882A1 (fr) * 2011-12-01 2013-06-06 Cyberoptics Corporation Système de contrôle tridimensionnel à grande vitesse et haute résolution de cartes à circuits imprimés
WO2014113517A1 (fr) * 2013-01-17 2014-07-24 Cyberoptics Corporation Capteur à plusieurs caméras pour une imagerie tridimensionnelle d'une carte de circuit imprimé
WO2017172819A1 (fr) * 2016-03-30 2017-10-05 Optical Wavefront Laboratories, Llc Imagerie de microscope à cameras multiples avec éclairage à motifs
US10126252B2 (en) 2013-04-29 2018-11-13 Cyberoptics Corporation Enhanced illumination control for three-dimensional imaging

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103076330A (zh) * 2013-01-05 2013-05-01 王锦峰 多面阵相机aoi设备及其拍摄图像方法
KR101351000B1 (ko) * 2013-04-10 2014-01-15 주식회사 미루시스템즈 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치
US9599572B2 (en) * 2014-04-07 2017-03-21 Orbotech Ltd. Optical inspection system and method
EP3140639A4 (fr) * 2014-05-05 2018-01-31 Arconic Inc. Appareil et procédés pour mesure de soudure
EP3194939B1 (fr) * 2014-09-11 2021-11-03 Cyberoptics Corporation Fusion de nuages de points à partir de multiples appareils de prise de vues et de sources en profilométrie tridimensionnelle
DE102015101252B4 (de) * 2015-01-28 2023-10-19 Chromasens Gmbh Beleuchtungsvorrichtung, optisches Analysesystem sowie Verfahren zum Abtasten einer Oberfläche
CN106706657A (zh) * 2015-11-17 2017-05-24 北大方正集团有限公司 基于喷墨印刷的在线检测系统及方法
CN106093068A (zh) * 2016-08-10 2016-11-09 武汉科技大学 锂电池极片表面缺陷检测装置的成像系统及其使用方法
CN106501267A (zh) * 2016-10-18 2017-03-15 凌云光技术集团有限责任公司 用于表面缺陷检测的线性光源装置及系统
CN106525874A (zh) * 2016-11-01 2017-03-22 凌云光技术集团有限责任公司 一种大幅面工业品表面检测系统
US20190320145A1 (en) * 2017-02-02 2019-10-17 Ismeca Semiconductor Holding Sa Assembly and method for inspecting components
TWI647444B (zh) * 2017-05-12 2019-01-11 廣盈自動化工程股份有限公司 Battery yield automatic detecting device and method thereof
JP6584454B2 (ja) * 2017-06-14 2019-10-02 キヤノン株式会社 画像処理装置及び方法
CN109425617A (zh) * 2017-08-31 2019-03-05 菱光科技股份有限公司 光学检测系统及图像处理方法
CN107478661A (zh) * 2017-09-11 2017-12-15 深圳市中天元光学玻璃有限公司 一种玻璃屏幕在线检测装置
EP3779355A4 (fr) * 2018-03-30 2021-12-01 Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha Dispositif de mesure en trois dimensions pour objet linéaire et procédé de mesure en trois dimensions pour objet linéaire
CN109000566B (zh) * 2018-08-15 2020-09-11 深圳科瑞技术股份有限公司 激光扫描三维成像和ccd二维成像组合测量方法及装置
WO2020148749A1 (fr) * 2019-01-14 2020-07-23 Orbotech Ltd. Dispositif d'acquisition d'image multiplexée pour système optique
CN111060516B (zh) * 2019-12-10 2022-03-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法
JP7373436B2 (ja) * 2020-03-09 2023-11-02 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
DE102021104947B4 (de) 2021-03-02 2023-05-25 Gerhard Schubert Gesellschaft mit beschränkter Haftung Scanner, damit ausgestattete Ermittlungs-Vorrichtung sowie Verfahren für deren Betrieb
CN113075232A (zh) * 2021-03-31 2021-07-06 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种检测设备及检测方法
KR102528246B1 (ko) * 2021-04-30 2023-05-03 (주)자비스 배터리 내부 전체 전극 상태 검사 시스템
CN116500050B (zh) * 2023-06-28 2024-01-12 四川托璞勒科技有限公司 一种pcb板视觉检测系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1577388A (en) 1923-05-19 1926-03-16 Hilger Ltd Adam Projection apparatus
EP0994646A1 (fr) * 1998-10-13 2000-04-19 Yamagata Casio Co., Ltd. Illumination à utiliser dans un appareil de montage de composants électroniques
WO2000038494A2 (fr) * 1998-12-19 2000-06-29 Cyberoptics Corporation Systeme automatique d'inspection stereoscopique
US6577405B2 (en) 2000-01-07 2003-06-10 Cyberoptics Corporation Phase profilometry system with telecentric projector
WO2009094489A1 (fr) * 2008-01-23 2009-07-30 Cyberoptics Corporation Système d'inspection optique à haute vitesse avec imagerie par multiples éclairages

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1242290C (zh) * 2003-09-18 2006-02-15 中国科学院上海技术物理研究所 一种能使光束光能分布均匀的均化光学组件
US20100074515A1 (en) * 2008-02-05 2010-03-25 Kla-Tencor Corporation Defect Detection and Response

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1577388A (en) 1923-05-19 1926-03-16 Hilger Ltd Adam Projection apparatus
EP0994646A1 (fr) * 1998-10-13 2000-04-19 Yamagata Casio Co., Ltd. Illumination à utiliser dans un appareil de montage de composants électroniques
WO2000038494A2 (fr) * 1998-12-19 2000-06-29 Cyberoptics Corporation Systeme automatique d'inspection stereoscopique
US6577405B2 (en) 2000-01-07 2003-06-10 Cyberoptics Corporation Phase profilometry system with telecentric projector
WO2009094489A1 (fr) * 2008-01-23 2009-07-30 Cyberoptics Corporation Système d'inspection optique à haute vitesse avec imagerie par multiples éclairages

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102253051A (zh) * 2011-05-03 2011-11-23 3i系统公司 一种线扫描探测器检测太阳能电池片缺陷的系统
WO2013081882A1 (fr) * 2011-12-01 2013-06-06 Cyberoptics Corporation Système de contrôle tridimensionnel à grande vitesse et haute résolution de cartes à circuits imprimés
WO2014113517A1 (fr) * 2013-01-17 2014-07-24 Cyberoptics Corporation Capteur à plusieurs caméras pour une imagerie tridimensionnelle d'une carte de circuit imprimé
US10126252B2 (en) 2013-04-29 2018-11-13 Cyberoptics Corporation Enhanced illumination control for three-dimensional imaging
WO2017172819A1 (fr) * 2016-03-30 2017-10-05 Optical Wavefront Laboratories, Llc Imagerie de microscope à cameras multiples avec éclairage à motifs

Also Published As

Publication number Publication date
JP5809628B2 (ja) 2015-11-11
JP2013505464A (ja) 2013-02-14
WO2011037903A1 (fr) 2011-03-31
DE112010003742T5 (de) 2013-06-06
KR20120084738A (ko) 2012-07-30
JP2013505465A (ja) 2013-02-14
CN102656444B (zh) 2016-08-03
CN102656444A (zh) 2012-09-05
CN102498387A (zh) 2012-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8388204B2 (en) High speed, high resolution, three dimensional solar cell inspection system
WO2011037905A1 (fr) Système de contrôle 3d à haute résolution et à grande vitesse pour piles photovoltaïques
US8670031B2 (en) High speed optical inspection system with camera array and compact, integrated illuminator
US8681211B2 (en) High speed optical inspection system with adaptive focusing
US20120133920A1 (en) High speed, high resolution, three dimensional printed circuit board inspection system
US8355581B2 (en) System and method for detecting the contour of an object on a moving conveyor belt
US8872912B2 (en) High speed distributed optical sensor inspection system
US20110310244A1 (en) System and method for detecting a defect of a substrate
US7641365B2 (en) Linear light concentrator
US9140546B2 (en) Apparatus and method for three dimensional inspection of wafer saw marks
KR20190082198A (ko) 광학 검사 장치
US20110175997A1 (en) High speed optical inspection system with multiple illumination imagery
TWI497059B (zh) Multi - surface detection system and method
WO2013051716A1 (fr) Système d'inspection des surfaces d'une plaquette de semi-conducteur
US9255893B2 (en) Apparatus for illuminating substrates in order to image micro cracks, pinholes and inclusions in monocrystalline and polycrystalline substrates and method therefore
KR102224699B1 (ko) 3차원 측정 장치, 3차원 측정 방법 및 기판의 제조 방법
WO2009094489A1 (fr) Système d'inspection optique à haute vitesse avec imagerie par multiples éclairages
WO2011056976A1 (fr) Système d'inspection optique à vitesse élevée à focalisation adaptative
KR101485425B1 (ko) 커버 글라스 분석 장치
JP2004251890A (ja) ロッドレンズアレイ検査装置、ロッドレンズアレイ検査方法および搬送装置
KR20150119884A (ko) 검사 장치
CN214767039U (zh) 一种板材检测装置
WO2023182390A1 (fr) Procédé d'inspection d'élément optique, dispositif d'inspection et procédé de fabrication
WO2023139136A1 (fr) Agencement pour mesures optiques et procédé associé
CN117347377A (zh) 光伏电池上的导电指状体的自动光学检查

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201080041802.7

Country of ref document: CN

DPE2 Request for preliminary examination filed before expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10763511

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012530968

Country of ref document: JP

Ref document number: 112010003742

Country of ref document: DE

Ref document number: 1120100037426

Country of ref document: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20127009863

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 10763511

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1