WO2011036590A2 - Device and method for cleaning a pump chamber of a vacuum pump - Google Patents

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WO2011036590A2
WO2011036590A2 PCT/IB2010/054043 IB2010054043W WO2011036590A2 WO 2011036590 A2 WO2011036590 A2 WO 2011036590A2 IB 2010054043 W IB2010054043 W IB 2010054043W WO 2011036590 A2 WO2011036590 A2 WO 2011036590A2
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feed element
detergent
pump
pump chamber
vacuum pump
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PCT/IB2010/054043
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WO2011036590A3 (en
Inventor
Marcel Heinrich
Martin Falsner
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Roth & Rau Ag
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth

Definitions

  • the present invention relates to a device for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, with a coupling with the pump chamber feed element for conducting a detergent in the pump chamber, and a method for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, wherein by a coupled to the pump chamber feed element rinsing agent into the pump chamber is pumped.
  • Vacuum pumps serve to generate vacuum in confined spaces.
  • An important field of application is semiconductor technology, whereby vacuum technology is used, for example, in PECVD coating systems.
  • protective measures such as sieves or pump traps, in practice contamination of the pump working space by particles from the coating process occurs. The particles settle on the walls of the working space and reduce the performance of the pump. In extreme cases, the contamination can even lead to a standstill of the pump. In particular, when switching off the pumps and their cooling these contaminants fall from the walls of the working space into the working space and thus prevent the rotation of the claw levels. The pumps can then no longer be started.
  • a pump scavenging set Edwards which has a simple, coupled with the pump connecting pipe, at the end of an air filter is provided so that a liquid-air mixture can be pulled through the pump.
  • the liquid supply to the pump can be regulated.
  • the liquid with the unwanted particles is drained off.
  • the known device has the disadvantage that when the air supply is interrupted in a closure of the filter opening, only liquid is sucked and a cleaning effect is omitted.
  • the object is achieved by a device of the abovementioned type, wherein the feed element has a plurality of air inlet openings on different sides of the feed element, in the feed element a scavenger nozzle is arranged and in the feed element at least one flow cross-sectional taper is provided.
  • the pump must absorb less liquid when using the cleaning device according to the invention, whereby the pump is spared and the pump room can subsequently be dried much faster.
  • Excessive fluid entry into the chambers of the vacuum pump designed to pump gases will result in increased pump loading when the rotary pistons strike the incompressible fluid.
  • the volume flow which passes through the cleaning device is limited by the flow cross-sectional taper provided in the feed element. As a result, a decrease in the vacuum and an excessively high volume flow through the cleaning device is avoided, whereby in addition the load of the pump can be reduced.
  • An embodiment of the device according to the invention has a closure element arranged in the feed element.
  • the closing element By the closing element, it is possible to interrupt the cleaning process at any time and continue to control the volume flow at intermediate positions of the closing element.
  • the cleaning device can remain permanently installed on the vacuum pump by the use of the closing element, since unintentional loading of the cleaning device with vacuum is prevented by the closing element. As a result, the conversion effort before cleaning can be reduced, and a cleaning with a total of less effort is more feasible.
  • An advantageous development of the invention provides that the closing element between the detergent nozzle and a connecting flange is arranged. By this arrangement, in addition to the inflow of ambient air into the vacuum pump is simultaneously avoided that further detergent is sucked into the vacuum pump.
  • the closing element is designed as a ball valve.
  • the closing element can be closed or opened very quickly, since even a quarter turn of the ball valve is sufficient to switch between a fully open position to a fully closed position. This makes it possible to react quickly to changes in the cleaning operation.
  • the ball valve can be safely used in the device according to the invention, since the suction of the vacuum pump is so strong that even at a measured final pressure of 10 "5 bar, no mixture exits from the connections is lower than the maximum flow rate.
  • a particularly preferred embodiment of the invention provides that the flow cross-sectional taper is arranged on the closing element. From this in particular manufacturing advantages, because the closing element is either produced with taper or at least equipped with an additional flow cross-sectional taper and this can be pre-assembled.
  • the rinsing agent nozzle has an inner diameter of 0.9 to 1.4 mm. Due to this small diameter in the passage, a particularly fine detergent-air mixture is produced in the detergent nozzle, which protects the pump, because it has to absorb less liquid. Another consequence, which has surprisingly been found, is a better cleaning effect, since the detergent passes through the fine distribution in areas of the pump room, which were previously not amenable to cleaning.
  • the air inlet openings are arranged laterally of an air filter provided on the feed element.
  • the use of the air filter advantageously prevents the penetration of small foreign body in the cleaning device and subsequently in the vacuum pump. As a result, faults and damage, in particular to the vacuum pump can be avoided. At the same time there is a coupling of continuous and thereby clean air supply.
  • a further advantageous embodiment of the invention provides that a connecting flange between the feed element and the vacuum pump is designed as a closable flange. This makes it possible that the connecting flange permanently remains on the vacuum pump. This results in a simplified installation of the cleaning device, since the flange must only be opened and immediately a connection of the cleaning device can be done. After the cleaning process, the cleaning device must only be removed and the flange closed. The vacuum pump is immediately ready for normal operation.
  • an exhaust gas outlet of the vacuum pump has a flange with a pipe socket. This is connected to the silencer and hosed. This prevents the contamination of the components following the vacuum pump. This applies in particular to the piping and the exhaust gas purification system.
  • the object is further achieved by a method of the abovementioned type, wherein air is pumped into the feed element through a plurality of air inlet openings of the feed element, the dishwashing liquid is passed through a detergent nozzle and thus a detergent-air mixture is produced and through a flow cross-sectional tapering in the feed element Volume flow of the detergent-air mixture is limited.
  • air is also pumped in sufficient quantity through the feed element even when closing one of the openings.
  • the vacuum pump generates a negative pressure in the feed element, whereby the flushing agent is withdrawn from the detergent nozzle. It comes to spraying the detergent and a detergent-air mixture is formed.
  • a particularly fine and defined mixture can be produced, which leads to a fine and uniform distribution of the detergent in the pump interior. This results in a particularly good cleaning effect despite reduced use of detergent.
  • the pump is less burdened by the detergent and can be dried faster after cleaning.
  • the pump is spared because it must absorb less liquid than when using a cleaning process, as offered in the prior art, for example, by the manufacturer Edwards.
  • the detergent supply is carried out discontinuously.
  • this procedure ensures that the rinsing agent is used more effectively, since no already contaminated circulating detergent in the pump is circulated.
  • contaminated detergent can be drained from the pump, so that an improved cleaning effect by repeated use of clean detergent and a reduced load on the pump during the cleaning process by removing contaminated detergent and the use of a small amount of detergent, the to record the pump must be recorded.
  • the method has at least a first phase, in which a detergent-air mixture is pumped into the pump chamber. Furthermore, the method has a second phase, in which only air is pumped into the pump chamber.
  • the rinsing agent introduced into the vacuum pump in the first phase can take effect and detach impurities in the pump chamber.
  • the second phase in which no further detergent-air mixture enters the pump chamber to be cleaned, only a discharge of the contaminated detergent from the pump room. As a result, the cleaning can be done very efficiently, as with each new cycle a lower contamination load is discharged through the detergent from the pump room.
  • Figure 1 shows schematically a partially sectioned side view of an embodiment of a device according to the invention for cleaning the pump chamber of a vacuum pump;
  • Figure 2 shows schematically a possible procedure for cleaning the pump chamber of a vacuum pump according to the present invention.
  • Fig. 1 shows schematically a partially sectioned side view of an embodiment of a device 1 for cleaning the pump chamber of a vacuum pump only partially shown here.
  • the device 1 has a feed element 2 that can be coupled to an intake opening 10.
  • the feed element 2 is formed in the embodiment shown in Figure 1 in the form of a tube, but may have other shapes in other, not shown embodiments of the invention. These include, for example, rigid pipes or pipe connections which have a non-round, for example rectangular, cross-section.
  • the feeding element 2 is in the embodiment shown substantially straight, but may also be formed arcuate or angled. Furthermore, in another embodiment, the feeding element 2 may be a flexible tube instead of a rigid tube.
  • a flushing agent nozzle 3 Connected to the feed element 2 is a flushing agent nozzle 3.
  • this is designed as a longer, thin tube inserted from the rear end face 20 of the feed element 2 into this.
  • the rinsing agent nozzle 3 is designed in a different way. For example, it may be introduced from the peripheral side of the feed element 2 into this and be formed only as a short tube or inserted into the lateral surface in such a way that it projects beyond the inner surface of the feed element 2 only slightly.
  • the rinsing agent nozzle 3 is a fine nozzle having an inner diameter of 0.9 to 1, 4 mm, preferably 1, 2 mm, in the passage.
  • the device 1 has a flow cross-sectional taper 4. This is arranged in the section between a closing element 5 and a connecting flange 6. Further arrangements within the feed element 2 are in other, not showed embodiments provided.
  • the flow cross-sectional taper 4 may be arranged on a closing element 5 in a further embodiment of the invention.
  • the illustrated embodiment of the invention provides a centrally located, circular tube insert as a flow cross-section taper 4 before. Other arrangements and forms of flow cross-sectional tapering 4 are provided in further embodiments.
  • the flow cross-sectional taper 4 can advantageously also be designed as an annular gap.
  • the cross-section of a tube forming the feed element 2 can also be tapered in a section to form the flow cross-sectional taper 4.
  • the connecting flange 6 is designed in the illustrated embodiment of the invention as a flat, adapting to the suction port 10 of the vacuum pump Kleinflansch, which is adapted to the design of the vacuum pump. Further embodiments are provided for the connection between the device 1 and the vacuum pump.
  • the feed element 2 may be mounted in an alternative embodiment by means of a hose clamp to a pipe socket of the vacuum pump.
  • An air filter 8 as a component of the feed element 2 according to the invention is connected to the feed element 2 in such a way that it protrudes at right angles from the feed element 2 on a pipe socket 19.
  • a different attachment of the air filter 8 may be provided on the feed element 2.
  • the air filter 8 may be attached to the end face 20 of the feed element 2 facing away from the vacuum pump, in particular when the dishwashing nozzle 3 is arranged at a location other than the end face 20 of the feed element 2.
  • the air filter 8 has a plurality of air inlet openings 7, which are arranged in the embodiment shown laterally on the lateral surface 30 and at the end 31 of the air filter 8 and in the example have a rectangular cross-section.
  • the air inlet openings 7 may have a round or oval cross section and distributed in various other ways on different sides of the air filter 8 and thus of the feed 2.
  • This is in the embodiment shown as a hose between a flushing medium container 16 and the detergent nozzle 3 executed.
  • the rinsing agent container 16 may also be attached directly to the rinsing agent nozzle 3.
  • a detergent filter 13 is arranged in the detergent feed 9. Further embodiments of the invention provide for a different arrangement of the flushing agent filter 13, for example, the flushing agent filter 13 may be arranged directly on the flushing agent tank 16 in an alternative embodiment.
  • the feeding element 2 furthermore has a closing element 5. This is executed in the illustrated embodiment as a ball valve, but can also be performed in other ways, such as a valve.
  • the vacuum pump has an exhaust outlet 17 with a vacuum-tight flange 18, which is attached to a suction opening 1 1 of the vacuum pump.
  • the attachment of the exhaust outlet 17 to the vacuum pump takes place in the embodiment shown by screwing.
  • Other ways of mounting are provided alternatively, including, for example, the attachment by means of a bayonet lock counts.
  • the exhaust outlet 17 can be used according to the invention to discharge spent detergent-air mixture from the pump chamber of the vacuum pump.
  • the rinse 14 in the preferred embodiment is water with detergent additives, but in other embodiments may also have other compositions. For example, it may be a special solvent.
  • a detergent-air mixture 15, which is an aerosol are dispersed in the fine droplets of detergent 14 in the air.
  • a vacuum is generated, which rests against the suction opening 10.
  • the connecting flange 6 of the device 1 is attached to the suction port 10 of the vacuum pump.
  • the fluid is air or an aerosol in the form of a detergent-air mixture 15.
  • the detergent-air mixture 15 is formed by a vacuum is generated by the vacuum pump and detergent 14 via the detergent supply 9, in which also the detergent filter 13 is pumped out of the detergent container 16 through the detergent nozzle 3.
  • the detergent filter 13 is designed in a particularly preferred embodiment so that a conventional fuel filter is used for this purpose. However, other, especially fine-pored filters can be provided.
  • the air is supplied via the above-described air filter 8, which is attached to a connected to the feed element 2 pipe socket 19 and the air inlet openings 7 has.
  • the air filter 8 ensures the cleaning of the sucked into the vacuum pump air from foreign bodies.
  • the arrangement of a plurality of air inlet openings 7 reduces the probability of completion of the air supply in the event that one of the air inlet openings 7 would be closed by a sucked object. As a result, the occupational safety, as a suction of body parts and resulting injuries are less likely. A strong negative pressure can not be produced at any of the air inlet openings 7, since still further air inlet openings 7 remain open, even if one of the air inlet openings 7 would be closed.
  • the flow cross-sectional taper 4 described above is provided between the connecting flange 6 and the flushing agent nozzle 3.
  • the flow cross-sectional taper 4 ensures that the volumetric flow of the detergent-air mixture 15 is limited, even if the closing element 5 is completely closed. dig is open. By opening the closing element 5, the flow cross-section is completely released and the formation of the aerosol, the detergent-air mixture 15, can take place.
  • the use of the closing element 5 has the advantage that the device 1 can remain mounted on the vacuum pump, even if no cleaning is carried out.
  • the exhaust outlet 17 of the vacuum pump is provided with the flange 18.
  • the contaminated detergent 14 can be removed after the cleaning process from the vacuum pump. This avoids that subsequent facilities, such as mufflers or pipes, are polluted.
  • the connection of the flange 18 takes place on the muffler.
  • FIG. 2 schematically shows a possible process sequence for cleaning the pump chamber 12 of a vacuum pump according to the present invention.
  • the device 1 is mounted on the vacuum pump.
  • the assembly can then be dispensed with if the device 1 remains mounted on the vacuum pump.
  • the switching on of the vacuum pump in step 22 takes place on the switching on of the vacuum pump can be dispensed with in the case when the pump is to be cleaned during operation. This is particularly advantageous if the vacuum pump is heavily contaminated and there is a risk that it will do not turn on again by itself. It is particularly advantageous if the device 1 is mounted on the vacuum pump, which greatly facilitates the cleaning process when the pump is running.
  • the closing element 5 is opened.
  • the pump chamber 12 of the vacuum pump is fluidically connected to the feed element 2 of the device 1.
  • the opening of the closing element 2 can take place completely because the flow cross-sectional taper 4 limits the volume flow in the feed element 2.
  • the rinsing process begins with method step 24, in which, in the method sequence preferably used, about one liter of rinsing agent 14 is atomized via the rinsing agent nozzle 3 in the feeding element 2 into rinsing agent-air mixture 15. Another amount of detergent may alternatively be provided. After one liter of detergent 14 is consumed, the detergent supply is interrupted in step 25. This is followed by process step 26, during which only air is sucked into the vacuum pump for one minute. Then, as indicated by the step 27, process step 24 is performed again, in which about a further liter of rinsing agent 14 is introduced into the vacuum pump. This in turn is followed by the method steps 25 and 26.
  • step 28 the shutdown of the pump and with step 29, the disassembly of the device 1 for cleaning the pump chamber 12 of a vacuum pump.
  • Step 28 is omitted if the cleaning was done during operation of the pump.
  • the disassembly in step 29 is omitted in the case when the device 1 remains mounted on the vacuum pump.
  • the vacuum pump is to be dried until all residues of the cleaning agent 14 have been removed from the pump chamber 12.
  • the executed cleaning process is characterized by a step-by-step procedure. This results in a very high cleaning effect, the liquid load of the vacuum pump is lower and the consumption of detergent 14, as measured by the cleaning effect, also very low.

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Abstract

The present invention relates to a device for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, comprising a feed element that can be coupled to the pump chamber for conducting a flushing agent into the pump chamber, and to a method for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, wherein flushing agent is pumped into the pump chamber by a feed element coupled to the pump chamber. The aim of the invention is to provide a device and a method of the type in question, with improved cleaning action. The aim is achieved by a device in that the feed element comprises a plurality of air inlet openings on different sides of the feed element, a flushing agent nozzle is disposed in the feed element, and at least one flow cross-section reduction is provided in the feed element. The aim of the invention is further achieved by a method of the type in question, wherein air is pumped into the feed element through a plurality of air inlet openings of the feed element, the flushing agent is conducted through a flushing agent nozzle, whereby a flushing agent-air mixture is generated, and a volume flow of the flushing agent-air mixture is limited by a flow cross-section reduction in the feed element.

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe  Device and method for cleaning a pump chamber of a vacuum pump
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe, mit einem mit dem Pumpenraum koppelbaren Zuführelement zur Leitung eines Spülmittels in den Pumpenraum, sowie ein Verfahren zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe, wobei durch ein mit dem Pumpenraum gekoppeltes Zuführelement Spülmittel in den Pumpenraum gepumpt wird. The present invention relates to a device for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, with a coupling with the pump chamber feed element for conducting a detergent in the pump chamber, and a method for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, wherein by a coupled to the pump chamber feed element rinsing agent into the pump chamber is pumped.
Vakuumpumpen dienen dazu, in abgegrenzten Räumen Vakuum zu erzeugen. Ein wichtiges Anwendungsgebiet ist die Halbleitertechnik, wobei beispielsweise in PECVD- Beschichtungssystemen Vakuumtechnik zum Einsatz kommt. Trotz Schutzvorkehrungen, wie Sieben oder Pumpentraps, kommt es in der Praxis zur Kontaminierung des Pumpenarbeitsraumes durch Partikel aus dem Beschichtungsprozess. Die Partikel setzen sich an den Wänden des Arbeitsraumes ab und verringern die Leistung der Pumpe. Im Extremfall kann die Verunreinigung sogar zum Stillstand der Pumpe führen. Insbesondere beim Abschalten der Pumpen und deren Auskühlen fallen diese Verschmutzungen von den Wänden des Arbeitsraumes in den Arbeitsraum hinein und verhindern so die Rotation der Klauenstufen. Die Pumpen können dann nicht mehr gestartet werden. Vacuum pumps serve to generate vacuum in confined spaces. An important field of application is semiconductor technology, whereby vacuum technology is used, for example, in PECVD coating systems. Despite protective measures such as sieves or pump traps, in practice contamination of the pump working space by particles from the coating process occurs. The particles settle on the walls of the working space and reduce the performance of the pump. In extreme cases, the contamination can even lead to a standstill of the pump. In particular, when switching off the pumps and their cooling these contaminants fall from the walls of the working space into the working space and thus prevent the rotation of the claw levels. The pumps can then no longer be started.
Um die Ablagerungen an den Wänden zu beseitigen, ist es möglich, den Pumpenarbeitsraum durch Spülmittel einer speziellen Mischung aus Wasser und Zusätzen zu reinigen. So ist beispielsweise ein Pumpenspülset der Firma Edwards bekannt, welches ein einfaches, mit der Pumpe koppelbares Verbindungsrohr aufweist, an dessen Ende ein Luftfilter vorgesehen ist, sodass ein Flüssigkeits-Luft-Gemisch durch die Pumpe gezogen werden kann. Durch einen an dem Verbindungsrohr vorgesehenen Kugelhahn kann die Flüssigkeitszuführung zur Pumpe reguliert werden. Am Auslass der Pumpe wird die Flüssigkeit mit den unerwünschten Partikeln abgelassen. Die bekannte Vorrichtung besitzt den Nachteil, dass dann, wenn die Luftzufuhr bei einem Verschluss der Filteröffnung unterbrochen wird, nur Flüssigkeit angesaugt wird und ein Reinigungseffekt unterbleibt. Zudem besteht Verletzungsgefahr, wenn Körperteile an der Filteröffnung angesaugt werden und diese dadurch verschlossen wird. Ferner wird bei dieser Spülvorrichtung nur ein grobes, Undefiniertes Flüssigkeits-Luft-Gemisch erzeugt, mit welchem nur eine ungenügende Reinigungswirkung erzielbar ist. Darüber hinaus wird bei der bekannten Reinigung eine relativ große Spülflüssigkeitsmenge durch die Pumpe durchgelassen, wobei sich nur ein geringer Reinigungseffekt einstellt und die Pumpe relativ lange nachlaufen muss, um nachfolgend wieder auszutrocknen. In order to remove the deposits on the walls, it is possible to clean the pump working space by means of washing-up liquid of a special mixture of water and additives. Thus, for example, a pump scavenging set Edwards is known, which has a simple, coupled with the pump connecting pipe, at the end of an air filter is provided so that a liquid-air mixture can be pulled through the pump. By a provided on the connecting pipe ball valve, the liquid supply to the pump can be regulated. At the outlet of the pump, the liquid with the unwanted particles is drained off. The known device has the disadvantage that when the air supply is interrupted in a closure of the filter opening, only liquid is sucked and a cleaning effect is omitted. In addition, there is a risk of injury when body parts are sucked in at the filter opening and this is thereby closed. Furthermore, in this flushing device only produces a coarse, undefined liquid-air mixture, with which only an insufficient cleaning effect can be achieved. In addition, in the known cleaning, a relatively large amount of flushing fluid is allowed to pass through the pump, whereby only a small cleaning effect sets in and the pump has to run for a relatively long time to subsequently dry out again.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren der oben genannten Gattung mit verbesserter Reinigungswirkung, erhöhter Praktikabilität und Sicherheit zur Verfügung zu stellen. It is therefore the object of the present invention to provide an apparatus and a method of the above-mentioned type with improved cleaning action, increased practicability and safety.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung der oben genannten Gattung gelöst, wobei das Zuführelement mehrere Lufteintrittsöffnungen an verschiedenen Seiten des Zuführelementes aufweist, in dem Zuführelement eine Spülmitteldüse angeordnet ist und in dem Zuführelement wenigstens eine Strömungsquerschnittsverjüngung vorgesehen ist. According to the invention, the object is achieved by a device of the abovementioned type, wherein the feed element has a plurality of air inlet openings on different sides of the feed element, in the feed element a scavenger nozzle is arranged and in the feed element at least one flow cross-sectional taper is provided.
Durch die erfindungsgemäß mehreren Lufteintrittsöffnungen, die an verschiedenen Seiten des Zuführelementes vorgesehen sind, wird das Risiko, dass der gesamte Luftansaugquerschnitt abgedeckt werden kann, stark verringert. Damit ist neben einer verminderten Verletzungs- und Beschädigungsgefahr von die Lufteintrittsöffnungen gegebenenfalls abdeckenden Körperteilen eine kontinuierliche Luftzufuhr gewährleistet. Hierdurch kann durch die im Zuführelement angeordnete Spülmitteldüse dauerhaft ein besonders feines Spülmittel-Luft-Gemisch erzeugt werden. Es zeigte sich zudem überraschenderweise, dass eine kontinuierliche, gleichmäßige Verteilung der Spülmittelpartikel in der Luft zu einem verbesserten Reinigungseffekt führt und zugleich den Verbrauch von Spülmittel senkt. Due to the invention several air inlet openings, which are provided on different sides of the feed, the risk that the entire air intake cross section can be covered, greatly reduced. Thus, in addition to a reduced risk of injury and damage of the air intake openings optionally covering body parts ensures a continuous air supply. As a result, a particularly fine rinsing agent-air mixture can be generated permanently by the rinsing agent nozzle arranged in the feeding element. It was also surprisingly found that a continuous, uniform distribution of the detergent particles in the air leads to an improved cleaning effect and at the same time reduces the consumption of detergent.
Darüber hinaus muss die Pumpe beim Einsatz der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung weniger Flüssigkeit aufnehmen, wodurch die Pumpe geschont wird und der Pumpenraum nachfolgend wesentlich schneller getrocknet werden kann. Bei großem Flüssigkeitseintrag in die Kammern der Vakuumpumpe, die für das Pumpen von Gasen ausgelegt ist, kommt es zu einer erhöhten Belastung der Pumpe, wenn die Drehkolben in die nicht komprimierbare Flüssigkeit schlagen. Ferner wird durch die in dem Zuführelement vorgesehene Strömungsquerschnittsverjüngung der Volumenstrom begrenzt, der die Reinigungsvorrichtung passiert. Dadurch wird ein Absinken des Vakuums und ein zu hoher Volumenstrom durch die Reinigungsvorrichtung vermieden, wodurch zusätzlich die Belastung der Pumpe verringert werden kann. In addition, the pump must absorb less liquid when using the cleaning device according to the invention, whereby the pump is spared and the pump room can subsequently be dried much faster. Excessive fluid entry into the chambers of the vacuum pump designed to pump gases will result in increased pump loading when the rotary pistons strike the incompressible fluid. Furthermore, the volume flow which passes through the cleaning device is limited by the flow cross-sectional taper provided in the feed element. As a result, a decrease in the vacuum and an excessively high volume flow through the cleaning device is avoided, whereby in addition the load of the pump can be reduced.
Eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist ein in dem Zuführelement angeordnetes Schließelement auf. Durch das Schließelement ist es möglich, den Reinigungsvorgang jederzeit zu unterbrechen und weiterhin bei Zwischenstellungen des Schließelements auch den Volumenstrom zu steuern. Weiterhin kann durch den Einsatz des Schließelements die Reinigungsvorrichtung dauerhaft an der Vakuumpumpe installiert bleiben, da ein unbeabsichtigtes Beaufschlagen der Reinigungsvorrichtung mit Vakuum durch das Schließelement verhindert wird. Dadurch lässt sich der Umbauaufwand vor einer Reinigung verringern, und eine Reinigung mit insgesamt geringerem Aufwand ist öfter durchführbar. An embodiment of the device according to the invention has a closure element arranged in the feed element. By the closing element, it is possible to interrupt the cleaning process at any time and continue to control the volume flow at intermediate positions of the closing element. Furthermore, the cleaning device can remain permanently installed on the vacuum pump by the use of the closing element, since unintentional loading of the cleaning device with vacuum is prevented by the closing element. As a result, the conversion effort before cleaning can be reduced, and a cleaning with a total of less effort is more feasible.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass das Schließelement zwischen der Spülmitteldüse und einem Verbindungsflansch angeordnet ist. Durch diese Anordnung wird neben dem Einströmen von Umgebungsluft in die Vakuumpumpe gleichzeitig vermieden, dass weiteres Spülmittel in die Vakuumpumpe eingesaugt wird. An advantageous development of the invention provides that the closing element between the detergent nozzle and a connecting flange is arranged. By this arrangement, in addition to the inflow of ambient air into the vacuum pump is simultaneously avoided that further detergent is sucked into the vacuum pump.
Als günstig hat es sich weiterhin erwiesen, wenn das Schließelement als Kugelhahn ausgeführt ist. Dadurch kann das Schließelement sehr schnell geschlossen oder geöffnet werden, da bereits eine Vierteldrehung des Kugelhahnes ausreicht, um zwischen einer voll geöffneten Stellung in eine vollständig geschlossene Stellung zu wechseln. Damit kann auf Veränderungen im Reinigungsbetrieb schnell reagiert werden. Der Kugelhahn ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung bedenkenlos einsetzbar, da der Sog der Vakuumpumpe so stark ist, dass auch bei einem gemessenen Enddruck von 10"5 bar kein Gemisch aus den Verbindungen austritt. Weiterhin sind auch bei einem Kugelhahn Zwischenstellungen möglich, sodass ein Volumenstrom einstellbar ist, der niedriger als der maximale Volumenstrom ist. As low, it has also proven to be when the closing element is designed as a ball valve. As a result, the closing element can be closed or opened very quickly, since even a quarter turn of the ball valve is sufficient to switch between a fully open position to a fully closed position. This makes it possible to react quickly to changes in the cleaning operation. The ball valve can be safely used in the device according to the invention, since the suction of the vacuum pump is so strong that even at a measured final pressure of 10 "5 bar, no mixture exits from the connections is lower than the maximum flow rate.
Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Strömungsquerschnittsverjüngung an dem Schließelement angeordnet ist. Daraus erge- ben sich insbesondere fertigungstechnische Vorzüge, weil das Schließelement entweder mit Verjüngung herstellbar oder zumindest mit einer zusätzlichen Strömungsquerschnittsverjüngung ausgestattet ist und diese bereits vormontiert werden kann. A particularly preferred embodiment of the invention provides that the flow cross-sectional taper is arranged on the closing element. From this in particular manufacturing advantages, because the closing element is either produced with taper or at least equipped with an additional flow cross-sectional taper and this can be pre-assembled.
Als vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn die Spülmitteldüse einen Innendurchmesser von 0,9 bis 1 ,4 mm aufweist. Durch diesen geringen Durchmesser im Durchlass wird in der Spülmitteldüse ein besonders feines Spülmittel-Luft-Gemisch erzeugt, das die Pumpe schont, weil sie damit weniger Flüssigkeit aufnehmen muss. Weitere Folge, die sich überraschend gezeigt hat, ist ein besserer Reinigungseffekt, da durch die feine Verteilung das Spülmittel in Bereiche des Pumpenraumes gelangt, die bisher einer Reinigung nicht zugänglich waren. It has proved to be advantageous if the rinsing agent nozzle has an inner diameter of 0.9 to 1.4 mm. Due to this small diameter in the passage, a particularly fine detergent-air mixture is produced in the detergent nozzle, which protects the pump, because it has to absorb less liquid. Another consequence, which has surprisingly been found, is a better cleaning effect, since the detergent passes through the fine distribution in areas of the pump room, which were previously not amenable to cleaning.
Gemäß einer günstigen Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die Lufteintrittsöffnungen seitlich eines an dem Zuführelement vorgesehenen Luftfilters angeordnet. Der Einsatz des Luftfilters verhindert vorteilhafter Weise das Eindringen auch kleiner Fremdkörper in die Reinigungsvorrichtung sowie nachfolgend in die Vakuumpumpe. Dadurch werden Störungen und Schäden insbesondere an der Vakuumpumpe vermieden. Zugleich erfolgt eine Kopplung von kontinuierlicher und dabei sauberer Luftzufuhr. According to a favorable embodiment of the device according to the invention, the air inlet openings are arranged laterally of an air filter provided on the feed element. The use of the air filter advantageously prevents the penetration of small foreign body in the cleaning device and subsequently in the vacuum pump. As a result, faults and damage, in particular to the vacuum pump can be avoided. At the same time there is a coupling of continuous and thereby clean air supply.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass ein Verbindungsflansch zwischen dem Zuführelement und der Vakuumpumpe als verschließbarer Flansch ausgeführt ist. Damit wird es möglich, dass der Verbindungsflansch permanent an der Vakuumpumpe verbleibt. Daraus ergibt sich eine vereinfachte Montage der Reinigungsvorrichtung, da der Flansch nur geöffnet werden muss und sofort ein Anschluss der Reinigungsvorrichtung erfolgen kann. Nach dem Reinigungsvorgang muss die Reinigungsvorrichtung nur abgenommen und der Flansch verschlossen werden. Die Vakuumpumpe ist sofort wieder zum Normalbetrieb bereit. A further advantageous embodiment of the invention provides that a connecting flange between the feed element and the vacuum pump is designed as a closable flange. This makes it possible that the connecting flange permanently remains on the vacuum pump. This results in a simplified installation of the cleaning device, since the flange must only be opened and immediately a connection of the cleaning device can be done. After the cleaning process, the cleaning device must only be removed and the flange closed. The vacuum pump is immediately ready for normal operation.
Es hat sich weiterhin gezeigt, dass es besonders günstig ist, wenn die Vorrichtung vakuumdichte Verbindungs- und Verschlussbauteile an der Vakuumpumpe und dem Zuführelement aufweist. Durch die Verwendung vakuumdichter Komponenten in diesem Bereich wird beim Einsatz der Reinigungsvorrichtung an der Vakuumpumpe insbesondere eine hohe Effektivität und Sicherheit erreicht. Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung weist ein Abgasausgang der Vakuumpumpe einen Flansch mit Rohransatz auf. Dieser wird am Schalldämpfer angeschlossen und verschlaucht. Dadurch wird die Kontaminierung der nach der Vakuumpumpe folgenden Bauteile verhindert. Das betrifft insbesondere die Rohrleitungen und das Abgasreinigungssystem. It has also been shown that it is particularly advantageous if the device has vacuum-tight connection and closure components on the vacuum pump and the feed element. By using vacuum-tight components in this area, high efficiency and safety are achieved in particular when using the cleaning device on the vacuum pump. In an advantageous development of the device according to the invention, an exhaust gas outlet of the vacuum pump has a flange with a pipe socket. This is connected to the silencer and hosed. This prevents the contamination of the components following the vacuum pump. This applies in particular to the piping and the exhaust gas purification system.
Die Aufgabe wird weiterhin durch ein Verfahren der oben genannten Gattung gelöst, wobei durch mehrere Lufteintrittsöffnungen des Zuführelementes Luft in das Zuführelement gepumpt wird, das Spülmittel durch eine Spülmitteldüse geleitet und damit ein Spülmittel- Luft-Gemisch erzeugt wird und durch eine Strömungsquerschnittsverjüngung in dem Zuführelement ein Volumenstrom des Spülmittel-Luft-Gemisches begrenzt wird. The object is further achieved by a method of the abovementioned type, wherein air is pumped into the feed element through a plurality of air inlet openings of the feed element, the dishwashing liquid is passed through a detergent nozzle and thus a detergent-air mixture is produced and through a flow cross-sectional tapering in the feed element Volume flow of the detergent-air mixture is limited.
Durch das Vorsehen mehrerer Lufteintrittsöffnungen an verschiedenen Seiten des Zuführelementes wird auch beim Verschluss einer der Öffnungen weiterhin Luft in ausreichender Menge durch das Zuführelement gepumpt. Die Vakuumpumpe erzeugt einen Unterdruck in dem Zuführelement, wodurch das Spülmittel aus der Spülmitteldüse herausgezogen wird. Dabei kommt es zum Versprühen des Spülmittels und ein Spülmittel- Luft-Gemisch entsteht. Durch den Einsatz der Düse kann ein besonders feines und definiertes Gemisch erzeugt werden, das zu einer feinen und gleichmäßigen Verteilung des Spülmittels im Pumpeninnenraum führt. Daraus resultiert ein besonders guter Reinigungseffekt trotz verringerten Spülmitteleinsatzes. In der Folge wird die Pumpe weniger durch den Spülmitteleintrag belastet und kann nach der Reinigung schneller getrocknet werden. Dadurch wird die Pumpe geschont, da diese weniger Flüssigkeit aufnehmen muss als bei Einsatz eines Reinigungsverfahrens, wie es nach dem Stand der Technik beispielsweise durch den Hersteller Edwards angeboten wird. Durch die Begrenzung der Menge des in die Vakuumpumpe einströmenden Spülmittel-Luft-Gemisches durch die im Zuführelement angeordnete Strömungsquerschnittsverjüngung wird eine Überlastung der Pumpe vermieden und das Einströmen von Spülmittel-Luft-Gemisch in einer Menge, die einen maximal zulässigen Umfang übersteigt, verhindert. By providing a plurality of air inlet openings on different sides of the feed element, air is also pumped in sufficient quantity through the feed element even when closing one of the openings. The vacuum pump generates a negative pressure in the feed element, whereby the flushing agent is withdrawn from the detergent nozzle. It comes to spraying the detergent and a detergent-air mixture is formed. By using the nozzle, a particularly fine and defined mixture can be produced, which leads to a fine and uniform distribution of the detergent in the pump interior. This results in a particularly good cleaning effect despite reduced use of detergent. As a result, the pump is less burdened by the detergent and can be dried faster after cleaning. As a result, the pump is spared because it must absorb less liquid than when using a cleaning process, as offered in the prior art, for example, by the manufacturer Edwards. By limiting the amount of flushing agent-air mixture flowing into the vacuum pump through the flow cross-sectional tapering arranged in the feed element, an overload of the pump is avoided and the inflow of detergent-air mixture in an amount exceeding a maximum permissible extent is prevented.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass die Spülmittelzufuhr diskontinuierlich durchgeführt wird. Diese Vorgehensweise sichert einerseits, dass das Spülmittel effektiver genutzt wird, da kein bereits kontami- niertes Spülmittel in der Pumpe umgewälzt wird. Hierdurch kann zwischen den einzelnen Zyklen jeweils das im Reinigungsprozess kontaminierte Spülmittel aus der Pumpe abgelassen werden, sodass ein verbesserter Reinigungseffekt durch mehrfachen Einsatz sauberen Spülmittels und eine verringerte Belastung der Pumpe während des Reinigungsprozesses durch das Entfernen kontaminierten Spülmittels sowie des Einsatzes einer geringen Menge Spülmittel, die die Pumpe aufnehmen muss, zu verzeichnen sind. In an advantageous embodiment of the method according to the invention it is provided that the detergent supply is carried out discontinuously. On the one hand, this procedure ensures that the rinsing agent is used more effectively, since no already contaminated circulating detergent in the pump is circulated. As a result, each of the individual cycles in the cleaning process contaminated detergent can be drained from the pump, so that an improved cleaning effect by repeated use of clean detergent and a reduced load on the pump during the cleaning process by removing contaminated detergent and the use of a small amount of detergent, the to record the pump must be recorded.
In einem besonders bevorzugten Beispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens weist das Verfahren wenigstens eine erste Phase auf, in welcher ein Spülmittel-Luft-Gemisch in den Pumpenraum gepumpt wird. Weiter weist das Verfahren eine zweite Phase auf, in welcher nur Luft in den Pumpenraum gepumpt wird. Dadurch kann das in der ersten Phase in die Vakuumpumpe eingebrachte Spülmittel zur Wirkung gelangen und Verunreinigungen im Pumpenraum ablösen. In der zweiten Phase, in der kein weiteres Spülmittel-Luft-Gemisch in den zu reinigenden Pumpenraum gelangt, erfolgt nur ein Austrag des kontaminierten Spülmittels aus dem Pumpenraum. Dadurch kann die Reinigung sehr effizient erfolgen, da bei jedem neuen Zyklus eine geringere Kontaminationslast durch das Spülmittel aus dem Pumpenraum auszutragen ist. In a particularly preferred example of the method according to the invention, the method has at least a first phase, in which a detergent-air mixture is pumped into the pump chamber. Furthermore, the method has a second phase, in which only air is pumped into the pump chamber. As a result, the rinsing agent introduced into the vacuum pump in the first phase can take effect and detach impurities in the pump chamber. In the second phase, in which no further detergent-air mixture enters the pump chamber to be cleaned, only a discharge of the contaminated detergent from the pump room. As a result, the cleaning can be done very efficiently, as with each new cycle a lower contamination load is discharged through the detergent from the pump room.
Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn in der ersten Phase etwa ein Liter Spülmittel-Luft-Gemisch in den Pumpenraum gepumpt wird und in der zweiten Phase etwa eine Minute lang Luft in den Pumpenraum gepumpt wird und die beiden Phasen mehrmals, bevorzugt fünf Mal nacheinander, wiederholt werden. Durch den Einsatz von nur einem Liter Spülmittel bei der Bildung des Spülmittels-Luft-Gemischs anstelle eines sofortigen Eintrags von fünf Litern, wie es beispielsweise bei Verfahren der Firma Edwards im Stand der Technik bekannt ist, wird die Vakuumpumpe beim Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens geschont, während sie anderenfalls durch eine zu hohe Flüssigkeitsmenge im Pumpenraum Schaden nehmen könnte. Weiterhin wird nach jedem Eintrag von Spülmittel-Luft-Gemisch in den Pumpenraum dieses kontaminierte Gemisch ausgetragen. Mit jedem Zyklus wird die Schmutzlast geringer, sodass eine hohe Effektivität der Reinigung erzielt wird. It has proved to be particularly advantageous if in the first phase about one liter of detergent-air mixture is pumped into the pump room and in the second phase for about one minute air is pumped into the pump room and the two phases several times, preferably five times successively, be repeated. Through the use of only one liter of detergent in the formation of the detergent-air mixture instead of an immediate entry of five liters, as is known, for example, in the Edwards method in the prior art, the vacuum pump is spared when using the method according to the invention, otherwise it could be damaged by too much fluid in the pump room. Furthermore, this contaminated mixture is discharged after each entry of detergent-air mixture in the pump room. With each cycle, the dirt load is reduced, so that a high cleaning efficiency is achieved.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung, deren Aufbau, Funktion und Vorteile werden im Folgenden anhand der Figuren der Zeichnung näher erläutert, wobei Figur 1 schematisch eine teils geschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Reinigen des Pumpenraumes einer Vakuumpumpe zeigt; und Preferred embodiments of the invention, their structure, function and advantages are explained in more detail below with reference to the figures of the drawing, wherein Figure 1 shows schematically a partially sectioned side view of an embodiment of a device according to the invention for cleaning the pump chamber of a vacuum pump; and
Figur 2 schematisch einen möglichen Verfahrensablauf zum Reinigen des Pumpenraumes einer Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Figure 2 shows schematically a possible procedure for cleaning the pump chamber of a vacuum pump according to the present invention.
Fig. 1 zeigt schematisch eine teils geschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung 1 zum Reinigen des Pumpenraumes einer hier nur ansatzweise dargestellten Vakuumpumpe. Die Vorrichtung 1 weist ein mit einer Ansaugöffnung 10 koppelbares Zuführelement 2 auf. Das Zuführelement 2 ist in dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel in Form eines Rohres ausgebildet, kann jedoch in anderen, nicht gezeigten Ausführungsformen der Erfindung andere Formen aufweisen. Darunter fallen beispielsweise starre Rohre oder Rohrverbindungen, die einen nicht runden, beispielsweise rechteckigen, Querschnitt aufweisen. Das Zuführelement 2 ist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen gerade ausgeführt, kann jedoch auch bogenförmig oder winklig ausgebildet sein. Weiterhin kann es sich bei dem Zuführelement 2 in einem anderen Ausführungsbeispiel um einen flexiblen Schlauch anstelle eines starren Rohres handeln. Fig. 1 shows schematically a partially sectioned side view of an embodiment of a device 1 for cleaning the pump chamber of a vacuum pump only partially shown here. The device 1 has a feed element 2 that can be coupled to an intake opening 10. The feed element 2 is formed in the embodiment shown in Figure 1 in the form of a tube, but may have other shapes in other, not shown embodiments of the invention. These include, for example, rigid pipes or pipe connections which have a non-round, for example rectangular, cross-section. The feeding element 2 is in the embodiment shown substantially straight, but may also be formed arcuate or angled. Furthermore, in another embodiment, the feeding element 2 may be a flexible tube instead of a rigid tube.
Mit dem Zuführelement 2 verbunden ist eine Spülmitteldüse 3. Diese ist in der bevorzugten Ausführungsform als längeres, von der hinteren Stirnseite 20 des Zuführelements 2 in dieses eingesetztes dünnes Rohr ausgeführt. In anderen, nicht gezeigten Ausführungsformen ist die Spülmitteldüse 3 jedoch auf andere Art ausgeführt. Beispielsweise kann sie von der Umfangsseite des Zuführelements 2 in dieses eingeführt sein und nur als kurzes Rohr ausgebildet oder in der Weise in die Mantelfläche eingesetzt sein, dass sie die innere Oberfläche des Zuführelements 2 nur geringfügig überragt. Connected to the feed element 2 is a flushing agent nozzle 3. In the preferred embodiment, this is designed as a longer, thin tube inserted from the rear end face 20 of the feed element 2 into this. In other embodiments, not shown, however, the rinsing agent nozzle 3 is designed in a different way. For example, it may be introduced from the peripheral side of the feed element 2 into this and be formed only as a short tube or inserted into the lateral surface in such a way that it projects beyond the inner surface of the feed element 2 only slightly.
Die Spülmitteldüse 3 ist eine feine Düse, die einen Innendurchmesser von 0,9 bis 1 ,4 mm, vorzugsweise von 1 ,2 mm, im Durchlass aufweist. The rinsing agent nozzle 3 is a fine nozzle having an inner diameter of 0.9 to 1, 4 mm, preferably 1, 2 mm, in the passage.
Weiterhin weist die Vorrichtung 1 eine Strömungsquerschnittsverjüngung 4 auf. Diese ist im Abschnitt zwischen einem Schließelement 5 und einem Verbindungsflansch 6 angeordnet. Weitere Anordnungen innerhalb des Zuführelements 2 sind in anderen, nicht ge- zeigten Ausführungsformen vorgesehen. Beispielsweise kann die Strömungsquerschnittsverjüngung 4 in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung am Schließelement 5 angeordnet sein. Die dargestellte erfindungsgemäße Ausgestaltung sieht einen zentral angeordneten, kreisrunden Rohreinsatz als Strömungsquerschnittsverjüngung 4 vor. Andere Anordnungen und Formen der Strömungsquerschnittsverjüngung 4 sind in weiteren Ausführungsformen vorgesehen. Beispielsweise kann die Strömungsquerschnittsverjüngung 4 vorteilhaft auch als Ringspalt ausgeführt sein. Ferner kann auch der Querschnitt eines das Zuführelement 2 ausbildenden Rohres zur Ausbildung der Strömungsquerschnittsverjüngung 4 in einem Abschnitt verjüngt sein. Furthermore, the device 1 has a flow cross-sectional taper 4. This is arranged in the section between a closing element 5 and a connecting flange 6. Further arrangements within the feed element 2 are in other, not showed embodiments provided. For example, the flow cross-sectional taper 4 may be arranged on a closing element 5 in a further embodiment of the invention. The illustrated embodiment of the invention provides a centrally located, circular tube insert as a flow cross-section taper 4 before. Other arrangements and forms of flow cross-sectional tapering 4 are provided in further embodiments. For example, the flow cross-sectional taper 4 can advantageously also be designed as an annular gap. Furthermore, the cross-section of a tube forming the feed element 2 can also be tapered in a section to form the flow cross-sectional taper 4.
Der Verbindungsflansch 6 ist in der dargestellten Ausführungsform der Erfindung als flacher, sich an die Ansaugöffnung 10 der Vakuumpumpe anpassender Kleinflansch ausgeführt, der dem Design der Vakuumpumpe angepasst ist. Weitere Ausführungsformen sind für die Verbindung zwischen der Vorrichtung 1 und der Vakuumpumpe vorgesehen. So kann das Zuführelement 2 in einer alternativen Ausführungsform mittels einer Schlauchklemme an einem Rohrstutzen der Vakuumpumpe angebracht sein. The connecting flange 6 is designed in the illustrated embodiment of the invention as a flat, adapting to the suction port 10 of the vacuum pump Kleinflansch, which is adapted to the design of the vacuum pump. Further embodiments are provided for the connection between the device 1 and the vacuum pump. Thus, the feed element 2 may be mounted in an alternative embodiment by means of a hose clamp to a pipe socket of the vacuum pump.
Ein Luftfilter 8 als erfindungsgemäßer Bestandteil des Zuführelements 2 ist in der Weise mit dem Zuführelement 2 verbunden, dass er an einem Rohrstutzen 19 rechtwinklig vom Zuführelement 2 absteht. In anderen Ausführungsformen kann auch eine andersartige Anbringung des Luftfilters 8 am Zuführelement 2 vorgesehen sein. Beispielsweise kann der Luftfilter 8 an der von der Vakuumpumpe abgewandten Stirnseite 20 des Zuführelements 2 angebracht sein, insbesondere dann, wenn die Spülmitteldüse 3 an einer anderen Stelle als der Stirnseite 20 des Zuführelements 2 angeordnet ist. An air filter 8 as a component of the feed element 2 according to the invention is connected to the feed element 2 in such a way that it protrudes at right angles from the feed element 2 on a pipe socket 19. In other embodiments, a different attachment of the air filter 8 may be provided on the feed element 2. For example, the air filter 8 may be attached to the end face 20 of the feed element 2 facing away from the vacuum pump, in particular when the dishwashing nozzle 3 is arranged at a location other than the end face 20 of the feed element 2.
Der Luftfilter 8 weist mehrere Lufteintrittsöffnungen 7 auf, die in der gezeigten Ausführungsform seitlich an der Mantelfläche 30 und am Ende 31 des Luftfilters 8 angeordnet sind und in dem Beispiel einen rechteckigen Querschnitt aufweisen. In anderen, nicht gezeigten Ausführungsformen können die Lufteintrittsöffnungen 7 einen runden oder ovalen Querschnitt aufweisen und auf vielfältige andere Art an verschiedenen Seiten des Luftfilters 8 und damit des Zuführelements 2 verteilt angeordnet sein. The air filter 8 has a plurality of air inlet openings 7, which are arranged in the embodiment shown laterally on the lateral surface 30 and at the end 31 of the air filter 8 and in the example have a rectangular cross-section. In other, not shown embodiments, the air inlet openings 7 may have a round or oval cross section and distributed in various other ways on different sides of the air filter 8 and thus of the feed 2.
Die Zuführung von Spülmittel 14 zur Spülmitteldüse 3 erfolgt über eine Spülmittelzuführung 9. Diese ist in der gezeigten Ausführungsform als Schlauch zwischen einem Spül- mittelbehälter 16 und der Spülmitteldüse 3 ausgeführt. In einer alternativen Ausgestaltung kann der Spülmittelbehälter 16 auch direkt an der Spülmitteldüse 3 angebracht sein. The supply of detergent 14 to the detergent nozzle 3 via a detergent feed 9. This is in the embodiment shown as a hose between a flushing medium container 16 and the detergent nozzle 3 executed. In an alternative embodiment, the rinsing agent container 16 may also be attached directly to the rinsing agent nozzle 3.
In der dargestellten Ausführungsform ist in der Spülmittelzuführung 9 ein Spülmittelfilter 13 angeordnet. Weitere Ausführungsformen der Erfindung sehen eine andere Anordnung des Spülmittelfilters 13 vor, beispielsweise kann der Spülmittelfilter 13 in einer alternativen Ausführungsform direkt an dem Spülmittelbehälter 16 angeordnet sein. In the illustrated embodiment, a detergent filter 13 is arranged in the detergent feed 9. Further embodiments of the invention provide for a different arrangement of the flushing agent filter 13, for example, the flushing agent filter 13 may be arranged directly on the flushing agent tank 16 in an alternative embodiment.
Das Zuführelement 2 weist weiterhin ein Schließelement 5 auf. Dieses ist in der dargestellten Ausgestaltung als Kugelhahn ausgeführt, kann jedoch auch in anderer Weise, wie beispielsweise als Ventil, ausgeführt sein. The feeding element 2 furthermore has a closing element 5. This is executed in the illustrated embodiment as a ball valve, but can also be performed in other ways, such as a valve.
Ferner weist die Vakuumpumpe einen Abgasausgang 17 mit einem vakuumdichten Flansch 18 auf, der an einer Absaugöffnung 1 1 der Vakuumpumpe angebracht ist. Die Anbringung des Abgasausgangs 17 an der Vakuumpumpe erfolgt dabei in dem gezeigten Ausführungsbeispiel durch Verschrauben. Weitere Möglichkeiten der Anbringung sind alternativ vorgesehen, wozu beispielsweise die Befestigung mittels eines Bajonettverschlusses zählt. Wie unten näher ausgeführt, kann der Abgasausgang 17 erfindungsgemäß dazu genutzt werden, um verbrauchtes Spülmittel-Luft-Gemisch aus dem Pumpenraum der Vakuumpumpe auszutragen. Furthermore, the vacuum pump has an exhaust outlet 17 with a vacuum-tight flange 18, which is attached to a suction opening 1 1 of the vacuum pump. The attachment of the exhaust outlet 17 to the vacuum pump takes place in the embodiment shown by screwing. Other ways of mounting are provided alternatively, including, for example, the attachment by means of a bayonet lock counts. As explained in more detail below, the exhaust outlet 17 can be used according to the invention to discharge spent detergent-air mixture from the pump chamber of the vacuum pump.
In die Vorrichtung 1 kann ein Spülmittel 14 eingebracht werden, das in dem Spülmittelbehälter 16 gespeichert ist. Das Spülmittel 14 ist in der bevorzugten Ausführungsform Wasser mit reinigenden Zusätzen, kann aber in weiteren Ausführungsformen auch andere Zusammensetzungen aufweisen. So kann es sich beispielsweise um ein spezielles Lösungsmittel handeln. Aus dem Spülmittel 14 entsteht in dem Zuführelement 2 ein Spülmittel-Luft-Gemisch 15, wobei es sich um ein Aerosol handelt, bei dem feine Tröpfchen von Spülmittel 14 in der Luft verteilt sind. A rinsing agent 14, which is stored in the rinsing agent container 16, can be introduced into the device 1. The rinse 14 in the preferred embodiment is water with detergent additives, but in other embodiments may also have other compositions. For example, it may be a special solvent. From the rinsing agent 14 is formed in the supply element 2, a detergent-air mixture 15, which is an aerosol, are dispersed in the fine droplets of detergent 14 in the air.
In dem Pumpenraum 12 der Vakuumpumpe wird ein Vakuum erzeugt, das an der Ansaugöffnung 10 anliegt. An die Ansaugöffnung 10 der Vakuumpumpe wird der Verbindungsflansch 6 der Vorrichtung 1 angebracht. Damit kann im Innenraum des Zuführelements 2 der Vorrichtung 1 befindliches Fluid in die Vakuumpumpe eingesaugt werden. Das Fluid ist Luft oder ein Aerosol in Form eines Spülmittel-Luft-Gemisches 15. Das Spülmittel-Luft-Gemisch 15 wird gebildet, indem durch die Vakuumpumpe ein Unterdruck erzeugt wird und Spülmittel 14 über die Spülmittelzuführung 9, in der sich auch der Spülmittelfilter 13 befindet, aus dem Spülmittelbehälter 16 durch die Spülmitteldüse 3 gepumpt wird. Der Spülmittelfilter 13 ist in einer besonders bevorzugten Ausführungsform so gestaltet, dass für diesen Zweck ein herkömmlicher Kraftstofffilter zum Einsatz kommt. Es können jedoch auch andere, insbesondere feinporige Filter vorgesehen werden. Durch den Spülmittelfilter 13 wird vermieden, dass über das Spülmittel 14 Fremdkörper in den Pumpenraum 12 der Vakuumpumpe hineingelangen und dort Schädigungen hervorrufen können. In the pump chamber 12 of the vacuum pump, a vacuum is generated, which rests against the suction opening 10. To the suction port 10 of the vacuum pump, the connecting flange 6 of the device 1 is attached. Thus, fluid located in the interior of the feed element 2 of the device 1 can be sucked into the vacuum pump. The fluid is air or an aerosol in the form of a detergent-air mixture 15. The detergent-air mixture 15 is formed by a vacuum is generated by the vacuum pump and detergent 14 via the detergent supply 9, in which also the detergent filter 13 is pumped out of the detergent container 16 through the detergent nozzle 3. The detergent filter 13 is designed in a particularly preferred embodiment so that a conventional fuel filter is used for this purpose. However, other, especially fine-pored filters can be provided. By means of the flushing agent filter 13 it is avoided that foreign objects can enter the pump chamber 12 of the vacuum pump via the flushing agent 14 and cause damage there.
Die Luftzufuhr erfolgt über den oben beschriebenen Luftfilter 8, der an einem mit dem Zuführelement 2 verbundenen Rohrstutzen 19 angebracht ist und der Lufteintrittsöffnungen 7 aufweist. Der Luftfilter 8 sichert die Reinigung der in die Vakuumpumpe eingesaugten Luft von Fremdkörpern. Die Anordnung mehrerer Lufteintrittsöffnungen 7 verringert die Wahrscheinlichkeit eines Abschlusses der Luftzufuhr in dem Fall, dass eine der Lufteintrittsöffnungen 7 durch einen angesaugten Gegenstand verschlossen würde. Dadurch erhöht sich auch die Arbeitssicherheit, da ein Ansaugen von Körperteilen und dadurch hervorgerufene Verletzungen weniger wahrscheinlich werden. Ein starker Unterdruck ist an keiner der Lufteintrittsöffnungen 7 herstellbar, da immer noch weitere Lufteintrittsöffnungen 7 offen bleiben, selbst wenn eine der Lufteintrittsöffnungen 7 verschlossen würde. The air is supplied via the above-described air filter 8, which is attached to a connected to the feed element 2 pipe socket 19 and the air inlet openings 7 has. The air filter 8 ensures the cleaning of the sucked into the vacuum pump air from foreign bodies. The arrangement of a plurality of air inlet openings 7 reduces the probability of completion of the air supply in the event that one of the air inlet openings 7 would be closed by a sucked object. As a result, the occupational safety, as a suction of body parts and resulting injuries are less likely. A strong negative pressure can not be produced at any of the air inlet openings 7, since still further air inlet openings 7 remain open, even if one of the air inlet openings 7 would be closed.
Ein vor der Spülmitteldüse 3 durch Vernebeln des Spülmittels 14 in der im ZuführelementA front of the detergent nozzle 3 by atomizing the rinsing agent 14 in the feed
2 strömenden Luft gebildetes Spülmittel-Luft-Gemisch 15 wird zum Zweck der Reinigung des Pumpenraumes 12 in diesen hinein gesaugt. Bedingt durch die feine Spülmitteldüse2 rinsing air formed detergent-air mixture 15 is sucked for the purpose of cleaning the pump chamber 12 in this. Due to the fine detergent nozzle
3 wird ein sehr feines, definiertes Spülmittel-Luft-Gemisch 15 erzeugt, mit welchem eine sehr effektive Reinigung möglich ist. 3, a very fine, defined detergent-air mixture 15 is generated, with which a very effective cleaning is possible.
Um den Volumenstrom des in den Pumpenraum 12 der Vakuumpumpe eingesaugten Spülmittel-Luft-Gemischs zu begrenzen, ist zwischen dem Verbindungsflansch 6 und der Spülmitteldüse 3 die oben beschriebene Strömungsquerschnittsverjüngung 4 vorgesehen. Die Strömungsquerschnittsverjüngung 4 sorgt dafür, dass der Volumenstrom des Spülmittel-Luft-Gemisches 15 begrenzt wird, selbst wenn das Schließelement 5 vollstän- dig geöffnet ist. Durch das Öffnen des Schließelements 5 wird der Strömungsquerschnitt vollständig freigegeben und die Bildung des Aerosols, des Spülmittel-Luft-Gemischs 15, kann erfolgen. Der Einsatz des Schließelements 5 hat den Vorteil, dass die Vorrichtung 1 an der Vakuumpumpe montiert verbleiben kann, auch wenn keine Reinigung durchgeführt wird. In order to limit the volumetric flow of the flushing agent-air mixture sucked into the pump chamber 12 of the vacuum pump, the flow cross-sectional taper 4 described above is provided between the connecting flange 6 and the flushing agent nozzle 3. The flow cross-sectional taper 4 ensures that the volumetric flow of the detergent-air mixture 15 is limited, even if the closing element 5 is completely closed. dig is open. By opening the closing element 5, the flow cross-section is completely released and the formation of the aerosol, the detergent-air mixture 15, can take place. The use of the closing element 5 has the advantage that the device 1 can remain mounted on the vacuum pump, even if no cleaning is carried out.
Da für die Vorrichtung 1 im Verbindungs- und Verschlussbereich an der Vakuumpumpe und dem Zuführelement 2 vakuumdichte Bauteile Verwendung finden, ist keine Beeinträchtigung der Qualität des Vakuums durch die angebaute Vorrichtung 1 zu befürchten. Vielmehr ist als zusätzlicher Vorteil zu verzeichnen, dass die Servicezeit verkürzt wird, da ein Anbau der Vorrichtung 1 an die Vakuumpumpe nicht mehr erforderlich ist, wenn die Vorrichtung 1 permanent angebaut verbleiben kann. Since vacuum-tight components are used for the device 1 in the connection and closure region on the vacuum pump and the feed element 2, no impairment of the quality of the vacuum due to the attached device 1 is to be feared. Rather, it can be seen as an additional advantage that the service time is shortened, since an attachment of the device 1 to the vacuum pump is no longer necessary if the device 1 can remain permanently grown.
Wie oben ausgeführt, ist der Abgasausgang 17 der Vakuumpumpe mit dem Flansch 18 versehen. Am Flansch 18 kann das kontaminierte Spülmittel 14 nach dem Reinigungsvorgang aus der Vakuumpumpe entfernt werden. Dadurch wird vermieden, dass nachfolgende Einrichtungen, wie Schalldämpfer oder Rohrleitungen, verschmutzt werden. Bevorzugt erfolgt der Anschluss des Flansches 18 am Schalldämpfer. As stated above, the exhaust outlet 17 of the vacuum pump is provided with the flange 18. On the flange 18, the contaminated detergent 14 can be removed after the cleaning process from the vacuum pump. This avoids that subsequent facilities, such as mufflers or pipes, are polluted. Preferably, the connection of the flange 18 takes place on the muffler.
Mit der Vorrichtung 1 zum Reinigen des Pumpenraumes 12 einer Vakuumpumpe steht ein vollständiges Pumpenreinigungsset zur Verfügung, das leicht installierbar und damit sofort einsatzfähig ist und vom Prinzip her keine zusätzlichen Elemente benötigt, um eine effektive Reinigung durchzuführen. With the device 1 for cleaning the pump chamber 12 of a vacuum pump, a complete pump cleaning set is available, which is easy to install and thus ready to use and in principle requires no additional elements to perform an effective cleaning.
Figur 2 zeigt schematisch einen möglichen Verfahrensablauf zum Reinigen des Pumpenraumes 12 einer Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung. In Verfahrensschritt 21 erfolgt die Montage der Vorrichtung 1 an der Vakuumpumpe. Auf die Montage kann dann verzichtet werden, wenn die Vorrichtung 1 an der Vakuumpumpe montiert verbleibt. FIG. 2 schematically shows a possible process sequence for cleaning the pump chamber 12 of a vacuum pump according to the present invention. In method step 21, the device 1 is mounted on the vacuum pump. The assembly can then be dispensed with if the device 1 remains mounted on the vacuum pump.
Danach erfolgt das Einschalten der Vakuumpumpe in Verfahrensschritt 22. Auf das Einschalten der Vakuumpumpe kann in dem Fall verzichtet werden, wenn die Pumpenreinigung im laufenden Betrieb erfolgen soll. Das ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Vakuumpumpe stark verschmutzt ist und die Gefahr besteht, dass sie nach dem Ab- schalten nicht wieder von selbst anläuft. Besonders vorteilhaft ist es, wenn dazu die Vorrichtung 1 an der Vakuumpumpe montiert ist, was den Reinigungsvorgang bei laufender Pumpe stark erleichtert. Thereafter, the switching on of the vacuum pump in step 22 takes place on the switching on of the vacuum pump can be dispensed with in the case when the pump is to be cleaned during operation. This is particularly advantageous if the vacuum pump is heavily contaminated and there is a risk that it will do not turn on again by itself. It is particularly advantageous if the device 1 is mounted on the vacuum pump, which greatly facilitates the cleaning process when the pump is running.
In Verfahrensschritt 23 folgt das Öffnen des Schließelements 5. Dadurch wird der Pumpenraum 12 der Vakuumpumpe strömungstechnisch mit dem Zuführelement 2 der Vorrichtung 1 verbunden. Das Öffnen des Schließelements 2 kann vollständig erfolgen, weil die Strömungsquerschnittsverjüngung 4 den Volumenstrom in dem Zuführelement 2 begrenzt. In method step 23, the closing element 5 is opened. As a result, the pump chamber 12 of the vacuum pump is fluidically connected to the feed element 2 of the device 1. The opening of the closing element 2 can take place completely because the flow cross-sectional taper 4 limits the volume flow in the feed element 2.
Mit Verfahrensschritt 24 beginnt der Spülvorgang, bei dem im bevorzugt angewandten Verfahrensablauf etwa ein Liter Spülmittel 14 über die Spülmitteldüse 3 im Zuführelement 2 zu Spülmittel-Luft-Gemisch 15 zerstäubt wird. Eine andere Menge Spülmittel kann alternativ vorgesehen werden. Nachdem ein Liter Spülmittel 14 verbraucht ist, wird die Spülmittelzufuhr im Verfahrensschritt 25 unterbrochen. Hierauf folgt Verfahrensschritt 26, während dem über eine Minute hinweg nur Luft in die Vakuumpumpe eingesaugt wird. Daraufhin wird, wie durch den Schritt 27 angedeutet, erneut Verfahrensschritt 24 durchgeführt, bei dem etwa ein weiterer Liter Spülmittel 14 in die Vakuumpumpe eingebracht wird. Es folgen wiederum die Verfahrensschritte 25 und 26. Dieser Zyklus, die Abfolge der Verfahrensschritte 24, 25 und 26, werden gemäß einer bevorzugten Ausführungsvariante des erfindungsgemäßen Reinigungsverfahrens insgesamt fünf Mal ausgeführt, bis insgesamt fünf Liter Spülmittel 14 verbraucht sind. In alternativen Verfahrensabläufen werden die Verfahrensschritte seltener oder häufiger ausgeführt. In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird in jedem Zyklus nach dem Verfahrensschritt 26 zunächst das kontaminierte Spülmittel aus der Vakuumpumpe abgelassen. The rinsing process begins with method step 24, in which, in the method sequence preferably used, about one liter of rinsing agent 14 is atomized via the rinsing agent nozzle 3 in the feeding element 2 into rinsing agent-air mixture 15. Another amount of detergent may alternatively be provided. After one liter of detergent 14 is consumed, the detergent supply is interrupted in step 25. This is followed by process step 26, during which only air is sucked into the vacuum pump for one minute. Then, as indicated by the step 27, process step 24 is performed again, in which about a further liter of rinsing agent 14 is introduced into the vacuum pump. This in turn is followed by the method steps 25 and 26. This cycle, the sequence of method steps 24, 25 and 26, are carried out a total of five times in accordance with a preferred embodiment of the inventive cleaning method until a total of five liters of rinsing agent 14 are consumed. In alternative processes, the process steps are performed less frequently or more frequently. In a particularly advantageous embodiment of the method according to the invention, the contaminated rinsing agent is first discharged from the vacuum pump in each cycle after method step 26.
Es folgt mit Verfahrensschritt 28 das Abschalten der Pumpe und mit Verfahrensschritt 29 die Demontage der Vorrichtung 1 zum Reinigen des Pumpenraumes 12 einer Vakuumpumpe. Verfahrensschritt 28 entfällt dann, wenn die Reinigung bei laufendem Betrieb der Pumpe erfolgte. Die Demontage im Verfahrensschritt 29 entfällt in dem Fall, wenn die Vorrichtung 1 an der Vakuumpumpe montiert verbleibt. In jedem Fall ist die Vakuumpumpe nach dem Abschluss des Reinigungsvorgangs zu trocknen, bis alle Reste des Reinigungsmittels 14 aus dem Pumpenraum 12 entfernt sind. Das ausgeführte Reinigungsverfahren zeichnet sich durch ein Schritt-für-Schritt- Vorgehen aus. Daraus ergibt sich ein sehr hoher Reinigungseffekt, die Flüssigkeitsbelastung der Vakuumpumpe ist geringer und der Verbrauch an Spülmittel 14 ist, gemessen am Reinigungseffekt, ebenfalls sehr gering. It follows with step 28, the shutdown of the pump and with step 29, the disassembly of the device 1 for cleaning the pump chamber 12 of a vacuum pump. Step 28 is omitted if the cleaning was done during operation of the pump. The disassembly in step 29 is omitted in the case when the device 1 remains mounted on the vacuum pump. In any case, after completion of the cleaning operation, the vacuum pump is to be dried until all residues of the cleaning agent 14 have been removed from the pump chamber 12. The executed cleaning process is characterized by a step-by-step procedure. This results in a very high cleaning effect, the liquid load of the vacuum pump is lower and the consumption of detergent 14, as measured by the cleaning effect, also very low.

Claims

Patentansprüche claims
1 . Vorrichtung zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe, mit einem mit dem Pumpenraum koppelbaren Zuführelement (2) zur Leitung eines Spülmittels (14) in den Pumpenraum (12), 1 . Device for cleaning a pump chamber of a vacuum pump, with a feed element (2), which can be coupled to the pump chamber, for conducting a flushing agent (14) into the pump chamber (12),
dadurch gekennzeichnet,  characterized,
dass das Zuführelement (2) mehrere Lufteintrittsöffnungen (7) an verschiedenen Seiten des Zuführelementes (2) aufweist, in dem Zuführelement (2) eine Spülmitteldüse (3) und ein Schließelement (5) angeordnet ist und in dem Zuführelement (2) wenigstens eine Strömungsquerschnittsverjüngung (4) vorgesehen ist, wobei die Strömungsquerschnittsverjüngung (4) an dem Schließelement (5) angeordnet ist.  in that the feed element (2) has a plurality of air inlet openings (7) on different sides of the feed element (2), in the feed element (2) a rinsing agent nozzle (3) and a closing element (5) are arranged and in the feed element (2) at least one flow cross-sectional taper (4) is provided, wherein the flow cross-sectional taper (4) is arranged on the closing element (5).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Schließelement (5) zwischen der Spülmitteldüse (3) und einem Verbindungsflansch (6) angeordnet ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the closing element (5) between the detergent nozzle (3) and a connecting flange (6) is arranged.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Schließelement (5) als Kugelhahn ausgeführt ist. 3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the closing element (5) is designed as a ball valve.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Spülmitteldüse (3) einen Innendurchmesser von 0,9 bis 1 ,4 mm aufweist. 4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the Spülmitteldüse (3) has an inner diameter of 0.9 to 1, 4 mm.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lufteintrittsöffnungen (7) seitlich eines an dem Zuführelement (2) vorgesehenen Luftfilters (8) angeordnet sind. 5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the air inlet openings (7) are arranged laterally one of the feed element (2) provided air filter (8).
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Verbindungsflansch (6) zwischen dem Zuführelement (2) und der Vakuumpumpe als verschließbarer Flansch ausgeführt ist. 6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a connecting flange (6) between the feed element (2) and the vacuum pump is designed as a closable flange.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung vakuumdichte Verbindungs- und Verschlussbauteile an der Vakuumpumpe und dem Zuführelement (2) aufweist. 7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the device comprises vacuum-tight connection and closure components on the vacuum pump and the feed element (2).
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Abgasausgang (10) der Vakuumpumpe einen Flansch (1 1 ) mit Rohransatz aufweist. 8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that an exhaust gas outlet (10) of the vacuum pump has a flange (1 1) with a pipe socket.
9. Verfahren zum Reinigen eines Pumpenraumes (12) einer Vakuumpumpe, wobei durch ein mit dem Pumpenraum (12) gekoppeltes Zuführelement (2) Spülmittel9. A method for cleaning a pump chamber (12) of a vacuum pump, wherein by a with the pump chamber (12) coupled to the feed element (2) detergent
(14) in den Pumpenraum (12) gepumpt wird, dadurch gekennzeichnet, dass durch mehrere Lufteintrittsöffnungen (7) an verschiedenen Seiten des Zuführelementes (2) Luft in das Zuführelement (2) gepumpt, dass das Spülmittel (14) durch eine Spülmitteldüse (3) geleitet und damit ein Spülmittel-Luft-Gemisch (15) erzeugt wird und durch eine Strömungsquerschnittsverjüngung (4) in dem Zuführelement (2), die an einem in dem Zuführelement (2) angeordneten Schließelement (5) angeordnet ist, ein Volumenstrom des Spülmittel-Luft-Gemisches (15) begrenzt wird. (14) is pumped into the pump chamber (12), characterized in that through a plurality of air inlet openings (7) on different sides of the feed element (2) air in the feed element (2) is pumped, that the rinsing agent (14) by a detergent nozzle (3 ) and thus a rinsing agent-air mixture (15) is generated and by a flow cross-sectional taper (4) in the feed element (2) which is arranged on a in the feed element (2) arranged closing element (5), a volume flow of the rinsing agent Air mixture (15) is limited.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Spülmittelzufuhr diskontinuierlich durchgeführt wird. 10. The method according to claim 9, characterized in that the detergent supply is carried out discontinuously.
1 1 . Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren wenigstens eine erste Phase aufweist, in welcher ein Spülmittel-Luft-Gemisch1 1. A method according to claim 9 or 10, characterized in that the method comprises at least a first phase, in which a detergent-air mixture
(15) in den Pumpenraum (12) gepumpt wird, und wenigstens eine zweite Phase aufweist, in welcher nur Luft in den Pumpenraum (12) gepumpt wird. (15) is pumped into the pump chamber (12) and has at least a second phase in which only air is pumped into the pump chamber (12).
12. Verfahren nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass in der ersten Phase etwa ein Liter Spülmittel (14) mit dem Spülmittel-Luft-Gemisch (15) in den Pumpenraum (12) gepumpt wird und in der zweiten Phase etwa eine Minute lang Luft in den Pumpenraum (12) gepumpt wird, und die beiden Phasen etwa fünf Mal nacheinander wiederholt werden. 12. The method of claim 1 1, characterized in that in the first phase about one liter of detergent (14) with the detergent-air mixture (15) in the pump chamber (12) is pumped and in the second phase for about one minute Air is pumped into the pump chamber (12), and the two phases are repeated about five times in succession.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104314883A (en) * 2014-09-27 2015-01-28 芜湖新兴铸管有限责任公司 Inner wall cleaning device for steam jet pump
CN104324918A (en) * 2014-09-27 2015-02-04 芜湖新兴铸管有限责任公司 Cleaning method for inner wall cleaning device of steam spraying pump

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1153490B (en) * 1982-04-15 1987-01-14 Henkel Chimica Spa PLANT FOR THE FORMATION AND DELIVERY OF DETERGENT FLUIDS, IN PARTICULAR FOR THE WASHING OF INDUSTRIAL EQUIPMENT
US5553785A (en) * 1995-01-10 1996-09-10 Spraying Systems Co. Enhanced efficiency apparatus for atomizing and spraying liquid
JP2707490B2 (en) * 1995-06-09 1998-01-28 株式会社ウチナミ Air cleaning method and apparatus
TW428677U (en) * 1999-05-07 2001-04-01 Ind Tech Res Inst Nozzle device for eliminating function of vacuum pump
DE20015744U1 (en) * 2000-09-12 2001-01-25 Rietschle Werner Gmbh & Co Kg Pump with water feed
DE10065825B4 (en) * 2000-12-28 2006-11-23 Thomas Falkenstein Gewerbliche Vermietung Und Verpachtung E.K. High-pressure cleaning system, cleaning method and nozzle unit therefor
KR20050013016A (en) * 2003-07-26 2005-02-02 삼성전자주식회사 Dry pump capable of cleaning rotors
DE102004063058A1 (en) * 2004-12-22 2006-07-13 Leybold Vacuum Gmbh Method for cleaning a vacuum screw pump
DE102007027944B4 (en) * 2007-06-18 2016-02-04 Werner Meissner Method and device for cleaning objects in a treatment chamber

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104314883A (en) * 2014-09-27 2015-01-28 芜湖新兴铸管有限责任公司 Inner wall cleaning device for steam jet pump
CN104324918A (en) * 2014-09-27 2015-02-04 芜湖新兴铸管有限责任公司 Cleaning method for inner wall cleaning device of steam spraying pump

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