WO2011006694A2 - Verfahren zur behandlung von katalysator-präkursoren - Google Patents

Verfahren zur behandlung von katalysator-präkursoren Download PDF

Info

Publication number
WO2011006694A2
WO2011006694A2 PCT/EP2010/056701 EP2010056701W WO2011006694A2 WO 2011006694 A2 WO2011006694 A2 WO 2011006694A2 EP 2010056701 W EP2010056701 W EP 2010056701W WO 2011006694 A2 WO2011006694 A2 WO 2011006694A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
catalyst
catalyst precursor
water
treatment
mbar
Prior art date
Application number
PCT/EP2010/056701
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2011006694A3 (de
Inventor
Hartwig Rauleder
Ekkehard MÜH
Reinhold Schork
Uwe Schön
Original Assignee
Evonik Degussa Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Evonik Degussa Gmbh filed Critical Evonik Degussa Gmbh
Priority to ES10720757.3T priority Critical patent/ES2523899T3/es
Priority to RU2012105031/04A priority patent/RU2012105031A/ru
Priority to CA2767853A priority patent/CA2767853A1/en
Priority to KR1020127000994A priority patent/KR101664521B1/ko
Priority to EP10720757.3A priority patent/EP2454016B1/de
Priority to CN2010800315336A priority patent/CN102470355A/zh
Priority to US13/383,965 priority patent/US20120177557A1/en
Priority to BR112012000964A priority patent/BR112012000964A2/pt
Priority to JP2012519941A priority patent/JP5680075B2/ja
Publication of WO2011006694A2 publication Critical patent/WO2011006694A2/de
Publication of WO2011006694A3 publication Critical patent/WO2011006694A3/de

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J31/00Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
    • B01J31/02Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
    • B01J31/06Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides containing polymers
    • B01J31/08Ion-exchange resins
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/08Heat treatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J41/00Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
    • B01J41/04Processes using organic exchangers
    • B01J41/07Processes using organic exchangers in the weakly basic form
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • C01B33/10773Halogenated silanes obtained by disproportionation and molecular rearrangement of halogenated silanes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07FACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
    • C07F7/00Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
    • C07F7/02Silicon compounds
    • C07F7/08Compounds having one or more C—Si linkages
    • C07F7/12Organo silicon halides
    • C07F7/121Preparation or treatment not provided for in C07F7/14, C07F7/16 or C07F7/20
    • C07F7/125Preparation or treatment not provided for in C07F7/14, C07F7/16 or C07F7/20 by reactions involving both Si-C and Si-halogen linkages, the Si-C and Si-halogen linkages can be to the same or to different Si atoms, e.g. redistribution reactions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J41/00Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
    • B01J41/04Processes using organic exchangers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/80Compositional purity
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/10Process efficiency

Definitions

  • the invention relates to a process for treating a highly water-containing amino-functional, polymeric catalyst precursor while maintaining its internal porous structure and its outer spherical shape to form a catalyst by the catalyst precursor is treated at mild temperatures and under reduced pressure and a catalyst with a water content below
  • the process is a large-scale
  • Monochlorosilane (CISiH 3 ) and also of dichlorosilane (DCS, H 2 SiCl 2 ) from trichlorosilane (TCS, HSiCl 3 ) to form the coupled product silicon tetrachloride (STC, SiCl 4 ) has proved the dismutation reaction.
  • the dismutation reaction to produce low chlorinated silanes, such as monosilane, monochlorosilane or dichlorosilane, from higher chlorinated silanes, generally trichlorosilane, is performed to more rapidly adjust the chemical balance in the presence of catalysts.
  • an exchange of hydrogen and chlorine atoms between two silane molecules is generally carried out according to the general reaction equation (1) in a so-called dismutation or disproportionation reaction.
  • x can assume the values 0 to 3 and y the values 1 to 4, with the proviso that the silicon atom is tetravalent.
  • trichlorosilane to suitable catalysts is customary.
  • the majority of the catalysts used are secondary or tertiary amines or quaternary ammonium salts.
  • Material separation offers the reactive rectification.
  • the dismutation reaction is a reaction limited by the chemical equilibrium in the conversion, so that a separation of reaction products from the unreacted starting materials is required in order to ultimately drive the conversion in the overall process to completion.
  • catalysts are subjected to treatment for conversion into their active form. This can be done by hydrogen fumigation or change the electronic environment of catalytically active centers, for example by oxidation or reduction.
  • water-containing substances as catalysts for the catalysis of water-sensitive compounds, the water is advantageously removed to avoid hydrolysis. Also, the catalyst activity in these cases can often suffer from the water content of the system.
  • Divinylbenzene cross-linked polystyrene resin with tertiary amine groups, by direct Aminomethylation of a styrene-divinylbenzene copolymer is prepared. This catalyst is first washed with ultrapure water and then with
  • the object of the present invention was to develop an alternative, more ecological method for catalyst preparation, which avoids the disadvantages mentioned above.
  • the catalyst thus prepared should be able to be used in processes for the dismutation of halosilanes of the highest purity, in particular without decomposing or contaminating these halosilanes.
  • Treatment remains the porous internal structure and / or the external shape of the
  • all amino-functionalized divinylbenzene-styrene copolymers can be treated as catalyst precursors by the process according to the invention.
  • Preference is given to dialkylamino- or dialkylaminomethyl-functionalized divinylbenzene Styrene copolymers or trialkylammonium- or trialkylammoniummethyl-functionalized divinylbenzene-styrene copolymers are treated by the process according to the invention, in order to be suitable preferably as a dismutation catalyst for halosilanes.
  • R ' is a polymeric carrier, in particular divinylbenzene crosslinked polystyrene, ie divinylbenzene-styrene copolymer
  • alkyl independently is preferably methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl or i-butyl and A is " independent for one Anion - for example, but not exclusively - from the series OH ° (hydroxy), Cl " (chloride), CH 3 COO " (acetate) or HCOO " (formate), in particular OH ⁇ .
  • Catalyst precursors include nitrogen-containing basic Lewis compounds prepared by polymerization or co-polymerisation with amino, pyridine, pyrazine, phenazine, acridine, quinoline or phenanthroline groups, and high surface area compounds, for example molecular sieves, modified with polymers Molecular sieves or vinyl resins. Preference is given to multiply amino-functionalized porous polymers, in particular vinylpyridine polymers
  • Vinylpyridines or Vinylpyridincopolymere, such as copolymers with vinylpryridine and styrene or divinylbenzene.
  • the vinylpyridine content predominates.
  • cross-linked polystyrene divinylbenzene resins with tertiary amino groups as the catalyst precursors such as Amberlyst ® A 21 an ion exchange resin based on cross-linked divinylbenzene polystyrene resin having dimethylamino groups on the polymeric backbone of the resin.
  • a Amberlyst ® A 26 OH which is based on a quaternary trimethylammoniumfunktionalupperem divinylbenzene-styrene copolymer, and has a highly porous structure.
  • the mean particle diameter of the catalysts is usually 0.5 to 0.6 mm.
  • macroporous catalyst precursors (pore diameter greater than 200 angstroms), as in Amberlyst ® A 21, can be prepared by treating the precursors under vacuum - synonymous vacuum - and optionally a moderate temperature treatment to below 200 0 C catalysts. Preferably, below 150 0 C is treated.
  • the catalysts thus prepared are under structure preservation ie preserving the internal and / or external structure or morphology and habit of the catalyst precursors to be activated.
  • the crude catalysts or catalyst precursors can not be without structural
  • Changes and / or decompositions may be exposed to high temperatures for extended periods of time, as set forth in the examples.
  • the invention therefore provides a process for the treatment of a water-containing, amino-functional, organic, polymeric catalyst precursor, in particular solvent-free catalyst precursor, to form a catalyst by the catalyst precursor below 200 0 C and under reduced pressure (ie one to atmospheric pressure or ambient pressure reduced pressure) and a catalyst is obtained, preferably having a water content of less than 2.5 wt .-%, preferably having a water content in the range of 0.00001 to 2 wt .-%.
  • Organic according to the invention is to be understood as meaning a catalyst precursor which at least partially comprises organic compounds. These are usually amino-functionalized polymers or co-polymers.
  • the water-containing catalyst precursor is treated under a dried gas or gas mixture under reduced pressure.
  • air or an inert gas can be used whose residual moisture preferably below 1000 ppm (mass fractions).
  • 1000 ppm mass fractions
  • the treatment is carried out under a flowing gas or gas mixture.
  • a flowing gas or gas mixture Preferably under one
  • the gas flow or intergas flow may preferably be between 0.0001 and 10 m 3 / h, preferably between 0.0001 and 1.5 m 3 / h, with values of 0.5 to 1.25 m 3 / h being preferred on an industrial scale are.
  • the invention relates to a process for treating a highly water-containing amino-functional catalyst precursor while retaining its internal and / or external structure, particularly the internal porous structure and its external form, to form a catalyst by exposing the catalyst precursor at mild temperatures and is treated under reduced pressure and a substantially anhydrous catalyst is prepared, in particular with a
  • the fluctuation range of the determinable water content may be plus or minus 0.3% by weight.
  • the water content can be determined, for example, according to Karl Fischer (Karl Fischer Titration, DIN 5 777).
  • Karl Fischer Karl Fischer Titration, DIN 5 777.
  • adjustable water contents of the amino-functional catalysts are suitably between 0, d. H. not detectable with KF, and 2.5 wt .-%, in particular between 0.0001 wt .-% to 2 wt .-%, preferably between 0.001 to 1, 8 wt .-%, particularly preferably between 0.001 to 1, 0 Wt .-%, more preferably between 0.001 to 0.8 wt .-%, more preferably between 0.001 to 0.5 wt .-%, 0.001 to 0.4 wt .-% or 0.001 to 0.3 wt .-%.
  • the combination according to the invention allows the combination according to the invention.
  • the process is preferably a large-scale process, preferably integrated in or associated with a large-scale process for the production of dichlorosilane, silane up to solar or semiconductor silicon from silanes.
  • the process can be assigned discontinuously in the cycle of the catalyst service lives to the said processes.
  • a highly water-containing, amino-functional catalyst precursor generally contains greater than 10% by weight of water relative to its total weight.
  • the water content can be up to 60% by weight and above, in particular the content of a water-washed and optionally filtered catalyst precursor. It may be preferred to wash the water-containing catalyst precursor prior to treatment with water, especially desalted or deionized water.
  • Solvents may preferably be omitted by the process according to the invention.
  • the water-containing, amino-functional catalyst precursor before the treatment according to the invention by washing with water can be formed only. For example, from a raw catalyst due to its
  • Impurity profile can not be used in the process for the preparation or dismutation of high purity silanes. This is particularly relevant in the case of
  • the water content of the precursor can be through this
  • the water content is 30 to 70 wt .-%, preferably 45 to 60 wt .-% in relation to the total weight.
  • Substantially solvent-free is the catalyst precursor if the precursor or crude catalyst has not been additionally treated with a solvent or a mixture containing a solvent such as an alcohol.
  • the catalyst is obtained after step 2) or 3).
  • the catalyst may be contacted with a halosilane for dismutation.
  • the regulation of the temperature under an applied vacuum preferably ensures a temperature range between 15 0 C to 200 0 C during the treatment.
  • the precursor is under vacuum at elevated
  • the method can also be carried out without step 1).
  • the catalyst is prepared by treating an amino-functional, porous and water-containing catalyst precursor, optionally substantially while maintaining the internal and / or external structure.
  • Precursors can be up to 60% by weight.
  • the porous structure and / or the outer structure remains, preferably the inner and / or outer
  • Maintaining the structure, in particular the porous internal structure and also the external shape, is essential for the activity of the catalyst and for the longest possible service life in the reactor.
  • the accessibility of the active centers must be for the
  • Partial oxidation of the active sites may interfere with the catalytic activity and, as described above, poses a safety risk in the production of monosilane. This is especially true for
  • High-purity halosilanes are understood to mean those whose impurity profile in total of all impurities, in particular of all so-called "metallic" impurities, is below 1 ppm to 0.0001 ppt, preferably 100 ppb to 0.0001 ppt, particularly preferably 10 ppb to 0.0001 ppt 1 ppb to 0.0001 ppt (by mass) is generally desired.
  • impurity profile is desired for the elements iron, boron, phosphorus and aluminum.
  • Vacuum also a vacuum breaking by means of a gas or gas mixture, such as with dried air or an inert gas, in particular with dried inert gas.
  • a gas or gas mixture such as with dried air or an inert gas, in particular with dried inert gas.
  • Catalyst precursor be stored under inert gas.
  • a gas Preferably, a gas
  • the catalyst prepared or obtainable by the process is for dismutation of hydrogen and halogen-containing
  • Silicon compound of general formula I suitable, in particular of high-purity halosilanes, H n Si m X (2m + 2-n) (I) wherein X independently of one another corresponds to fluorine, chlorine, bromine and / or iodine and n and m are each an integer are 1 ⁇ n ⁇ (2m + 2) and 1 ⁇ m ⁇ 12.
  • m is 1 or 2, more preferably 1, where X is chlorine. Therefore, the catalyst is particularly preferably suitable for the dismutation of HSiCh, H 2 SiCb 1 H 3 SiCl or mixtures containing at least two of the compounds.
  • the treatment of the catalyst precursor is preferably carried out in the temperature range between -196 0 C to 200 0 C, in particular between 15 0 C to 175 0 C, preferably between 15 0 C to 150 0 C, more preferably between 20 0 C to 135 0 C, most preferably between 20 0 C to 110 0 C, in which case the temperature range of 20 0 C to 95 0 C is particularly preferred.
  • the treatment after adjusting the temperature in the temperature range between 60 0 C to 140 0 C, in particular from 60 0 C to 95 0 C, ie in particular at 60, 65, 70, 75, 80, 85, 90, 95 0 C. as well as all intervening temperature values carried out, preferably under reduced pressure and optionally with movement of the catalyst precursors or the formed mixture of catalyst and precursor.
  • the treatment takes place under reduced pressure between 0.0001 mbar to 1012 mbar (mbar absolute).
  • the vacuum is at values between 0.005 mbar to 800 mbar, preferably between 0.01 mbar to 600 mbar, more preferably between 0.05 to 400 mbar, more preferably between 0.05 mbar to 200 mbar, more preferably between 0.05 mbar to 100 mbar, in particular between 0.1 mbar to 80 mbar, more preferably between 0.1 mbar to 50 mbar, even better between 0.001 to 5 mbar, more preferably the pressure is below 1 mbar.
  • a vacuum or vacuum between 50 mbar to 200 mbar, preferably down to less than 1 mbar and 50 mbar at elevated temperature,
  • water-containing catalyst precursors has become a treatment in the temperature range from 80 0 C to 140 0 C under vacuum at 50 mbar to 200 mbar to less than 1 mbar to be particularly advantageous for adjusting a water content of less than 2 wt .-%, preferably from below 0.8% by weight to below 0.5% by weight, while retaining the structure.
  • drying can be carried out industrially in an acceptable process duration under these conditions.
  • a further particular advantage of the process according to the invention is that it can also be used industrially to obtain the structure of the catalyst precursors to be activated.
  • 1 kg to 10 t in particular 1 to 1000 kg, preferably 10 to 500 kg of catalyst precursor are dried without undergoing significant structural changes or decomposition.
  • the treatment can be carried out in a device comprising a container, in particular a reactor, a vessel or container, with a device for filling and optionally emptying the device and a device for discharging liquid or gaseous substances.
  • a device comprising a container, in particular a reactor, a vessel or container, with a device for filling and optionally emptying the device and a device for discharging liquid or gaseous substances.
  • the device is suitable under the above-mentioned suppression to be operated under atmospheric pressure or under overpressure.
  • the container is preferably associated with a heating and / or cooling device.
  • the container is associated with a stirring device and / or the container is rotatable.
  • the device has a
  • Particularly preferred devices for carrying out the method according to the invention comprise a paddle dryer, filter drier or reactor with agitator, to which a vacuum system, a heating and / or cooling device and inert gas supply are assigned.
  • the invention also relates to the use of a paddle dryer
  • Filter drier or reactor with agitator which is associated with a vacuum system, a heating and / or cooling device and inert gas supply for producing a catalyst from a water-containing, amino-functionalized catalyst precursor.
  • Chlorosilanes in particular for the production of dichlorosilane, monochlorosilane or monosilane from higher substituted chlorosilanes.
  • the catalyst prepared may be used to dismutate (i) trichlorosilane to give monosilane, Monochlorosilane, dichlorosilane and tetrachlorosilane or a mixture containing at least two of said compounds or (ii) dichlorosilane are used and monosilane, monochlorosilane, trichlorosilane and silicon tetrachloride or a mixture of at least two of said compounds are obtained.
  • Figure 1 Catalyst after drying for 5 h at 130 0 C and 10 to 20 mbar
  • Figure 2 Undried catalyst (marking 500 ⁇ m).
  • the water content of the dried catalyst was determined by Karl Fischer titration (DIN 51 777) and is 0.3 wt .-%.
  • Catalyst was in a flask with condenser and 250 ml gas discharge
  • hydrolysis-sensitive substances e.g. Trichlorosilane, not suitable.
  • the catalysts prepared according to the description in Examples 1.1, 3.1, 3.2, 3.3, 4.1, 4.2 and 4.3 were examined for their catalytic activity.
  • Silicon tetrachloride SiCl 4 , studied.
  • the gaseous products escaping via the gas outlet (inter alia monosilane) were introduced into sodium methoxide solution.
  • the water content was determined by Karl Fischer titration (DIN S1 777) to 0.5%.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Catalysts (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung eines stark Wasser enthaltenden, aminofunktionellen, polymeren Katalysator-Präkursors unter Beibehaltung seiner inneren porösen Struktur und seiner äußeren sphärischen Form unter Bildung eines Katalysators, indem der Katalysator-Präkursor bei milden Temperaturen und unter Unterdruck behandelt wird und ein Katalysator mit einem Wassergehalt unter 2,5 Gew.-% hergestellt wird. Bevorzugt ist das Verfahren integriert in ein großtechnisches Verfahren zur Herstellung von Dichlorsilan, Monosilan, Silan oder Solar- oder Halbleitersilizium aus Silanen.

Description

Verfahren zur Behandlung von Katalysator-Präkursoren
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung eines stark Wasser enthaltenden aminofunktionellen, polymeren Katalysator-Präkursors unter Beibehaltung seiner inneren porösen Struktur und seiner äußeren sphärischen Form unter Bildung eines Katalysators, indem der Katalysator-Präkursor bei milden Temperaturen und unter Unterdruck behandelt wird und ein Katalysator mit einem Wassergehalt unter
2,5 Gew.-% hergestellt wird. Bevorzugt ist das Verfahren ein großtechnisches
Verfahren, insbesondere integriert in ein großtechnisches Verfahren zur Herstellung von Dichlorsilan, Monochlorsilan, Monosilan oder Reinst-Silizium aus Monosilan (SiH4).
Als besonders wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung von Monosilan (SiH4),
Monochlorsilan (CISiH3) und auch von Dichlorsilan (DCS, H2SiCI2) aus Trichlorsilan (TCS, HSiCI3) unter Bildung des Koppel produkts Siliciumtetrachlorid (STC, SiCI4) hat sich die Dismutierungsreaktion erwiesen. Die Dismutierungsreaktion zur Herstellung von niedrig chlorierten Silanen, wie Monosilan, Monochlorsilan oder Dichlorsilan aus höher chlorierten Silanen, im Allgemeinen Trichlorsilan, wird zur schnelleren Einstellung des chemischen Gleichgewichtes in Gegenwart von Katalysatoren durchgeführt. Dabei erfolgt ein Austausch von Wasserstoff- und Chloratomen zwischen zwei Silanmolekülen in der Regel nach der allgemeinen Reaktionsgleichung (1 ) in einer so genannten Dismutierungs- oder Disproportionierungsreaktion. Hierbei kann x die Werte 0 bis 3 und y die Werte 1 bis 4 annehmen, mit der Maßgabe, dass das Siliziumatom vierbindig ist.
HχSiCI4-χ+HySiCI4-y— > Hx+iSiCI4-χ-i+ Hy-iSiCI4-y+i (1 )
Üblich ist die Disproportionierung von Trichlorsilan an geeigneten Katalysatoren. Die Mehrzahl der verwendeten Katalysatoren sind sekundäre oder tertiäre Amine oder quartäre Ammoniumsalze.
Entscheidend beim Einsatz der Katalysatoren ist die Vermeidung der Bildung von unerwünschten Nebenprodukten und der Einbringung von Verunreinigungen. Dies gilt um so mehr, wenn aus den Silanen Reinst-Silizium abgeschieden werden soll. In diesem Fall stören bereits Verunreinigungen im ppb bis ppt Bereich (Massenanteil).
Durch Kombination mehrerer, aufeinander folgender Reaktionen, wird die Herstellung von Monosilan durch die Dismutierung in drei Schritten - ausgehend von Trichlorsilan zu Dichlorsilan über Monochlorsilan und schließlich zu Monosilan unter Bildung von Siliciumtetrachlorid möglich. Die bestmögliche Integration von Reaktion und
Stofftrennung bietet die Reaktivrektifikation. Die Dismutierungsreaktion ist eine vom chemischen Gleichgewicht im Umsatz begrenzte Reaktion, so dass eine Abtrennung von Reaktionsprodukten von den nicht umgesetzten Edukten erforderlich ist, um den Umsatz im Gesamtverfahren schließlich zur Vollständigkeit zu treiben.
Üblicherweise werden käufliche Katalysatoren zur Überführung in ihre aktive Form einer Behandlung unterzogen. Dies kann durch Wasserstoffbegasung oder Änderung der elektronischen Umgebung katalytisch aktiver Zentren, beispielsweise durch Oxidation oder Reduktion erfolgen. Bei Verwendung wasserhaltiger Substanzen als Katalysatoren zur Katalyse wasserempfindlicher Verbindungen wird zur Vermeidung der Hydrolyse das Wasser vorteilhaft entfernt. Auch die Katalysatoraktivität kann in diesen Fällen häufig unter dem Wassergehalt des Systems leiden.
Zur Entfernung des Wassers, das meist stark durch Ausbildung von
Wasserstoffbrückenbindungen an den Katalysatoren gebunden ist, wird es
üblicherweise durch andere polare aprotische oder polare protische Lösemittel verdrängt. Als Lösemittel kommen meist organische Substanzen, wie Alkohole oder Ketone zum Einsatz, die in nachfolgenden Verfahrensschritten vor der Verwendung des Katalysators meist auch wieder entfernt werden müssen. Derartige Verfahren haben den Nachteil, dass sie viele Verfahrensschritte aufweisen und dadurch langwierig sind. In den genannten Fällen fallen zudem große Mengen an Gemischen der Lösemittel und des verdrängten Wassers an, die aufwendig und kostenträchtig aufgearbeitet werden müssen.
Die DE 100 57 521 A1 offenbart als Katalysator für die Dismutierung ein mit
Divinylbenzol vernetztes Polystyrol-Harz mit tertiären Amin-Gruppen, das durch direkte Aminomethylierung eines Styrol-Divinylbenzol-Copolymerisats hergestellt wird. Dieser Katalysator wird zunächst mit hochreinem Wasser gewaschen und danach mit
Methanol, insbesondere mit siedendem Methanol. Anschließend wird der Katalysator mittels nicht näher spezifizierten Beheizens, Evakuieren oder Strippen von Methanol- Resten befreit.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es ein alternatives, ökologischeres Verfahren zur Katalysatorpräparation zu entwickeln, welches die vorstehend genannten Nachteile vermeidet. Besonders bevorzugt soll der so hergestellte Katalysator in Verfahren zur Dismutierung von Halogensilanen höchster Reinheit eingesetzt werden können, insbesondere ohne diese Halogensilane zu zersetzen oder zu verunreinigen.
Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie die Verwendung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 17. Besonders bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen und detailliert in der Beschreibung dargelegt.
Überraschend wurde gefunden, dass nach dem erfindungsgemäßen Verfahren selbst poröse, Wasser enthaltende aminofunktionelle, organische, polymere Katalysator- Präkursoren, insbesondere lösemittelfrei, zur Bildung eines Katalysators unter
Unterdruck und im Temperaturbereich unter 200 0C, besser unter 150 0C, unter Beibehaltung der Struktur und der katalytischen Aktivität und/oder Aktivierung der katalytischen Aktivität behandelt werden können, insbesondere wird ein im
Wesentlichen wasserfreier Katalysator erhalten. Durch die erfindungsgemäße
Behandlung bleibt die poröse innere Struktur und/oder die äußere Form der
Präkursoren im Katalysator erhalten. Die katalytische Aktivität und Standzeit derart behandelter Katalysatoren eignet sich in hervorragender weise zur Dismutierung von höheren Halogensilanen in großtechnischem Maßstab.
Generell können alle aminofunktionalisierten Divinylbenzol-Styrol-Copolymere als Katalysator-Präkursor nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelt werden. Bevorzugt werden dialkylamino- bzw. dialkylaminomethylfunktionalisierte Divinylbenzol- Styrol-Copolymere oder trialkylammonium- bzw. trialkylammoniummethylen- funktionalisierte Divinylbenzol-Styrol-Copolymere nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelt, um vorzugsweise als Dismutierungskatalysator für Halogensilane geeignet zu sein.
Die nachfolgenden Formeln erläutern idealisiert die Struktur der zuvor genannten funktionalisierten Divinylbenzol-Styrol-Copolymere:
Alkyl
\ dialkylaminofunktionalisiert.es
I N R'
/ Divinylbenzol-Styrol-Copolymer,
Alkyl
Alkyl
\ dialkylaminomethylenfunktionalisiertes
I N CH2 R'
/ Divinylbenzol-Styrol-Copolymer,
Alkyl
Alkyl
I Θ A trialkylammoniumfunktionalisert.es
Alkyl N R'
I Divinylbenzol-Styrol-Copolymer
Alkyl sowie
Alkyl
I Θ A trialkylammoniummethylenfunktionalisiertes
Alkyl N CH2 R'
I Divinylbenzol-Styrol-Copolymer,
Alkyl wobei R' für einen polymeren Träger, insbesondere mit Divinylbenzol vernetztes Polystyrol, d. h. Divinylbenzol-Styrol-Copolymer, steht, Alkyl unabhängig vorzugsweise für Methyl, Ethyl, n-Propyl, i-Propyl, n-Butyl oder i-Butyl steht und A" unabhängig für ein Anion - beispielsweise, aber nicht ausschließlich - aus der Reihe OH°(Hydroxy), Cl" (Chlorid), CH3COO" (Acetat) oder HCOO" (Formiat) steht, insbesondere für OHΘ.
Neben den genannten dimethylaminofunktionalisierten mit Divinylbenzol vernetzten Polystyrol-Harzen können auch weitere mit tertiären und/oder quartären Amino- Gruppen funktionalisierte mit Divinylbenzol vernetzte, poröse Polystyrol-Harze nach dem erfindungsgemäßen Verfahren getrocknet werden. Gleichfalls bevorzugte
Katalysator-Präkursoren umfassen Stickstoff enthaltende basische Lewis- Verbindungen, die durch Polymerisation oder Co-Polymehsation mit Amino-, Pyridin-, Pyrazin, Phenazin, Acridin, Chinolin- oder Phenanthrolingruppen und Verbindungen mit hoher spezifischer Oberfläche hergestellt werden, beispielsweise Molekularsiebe, mit Polymeren modifizierte Molekularsiebe oder Vinylharze. Bevorzugt sind mehrfach aminofunktionalisierte poröse, Polymere, insbesondere Vinylpyridinpolymere
(Polyvinylpyridine) oder Vinylpyridincopolymere, wie Co-Polymere mit Vinylpryridin und Styrol oder Divinylbenzol. Vorteilhaft überwiegt der Vinylpyridinanteil.
Als besonders geeignet erweist sich das erfindungsgemäße Verfahren für Divinylbenzol vernetzte Polystyrol-Harze mit tertiären Amino-Gruppen als Katalysator-Präkursoren, wie Amberlyst® A 21 ein lonenaustauscherharz basierend auf Divinylbenzol vernetztem Polystyrol-Harz mit Dimethylaminogruppen am polymeren Rückgrat des Harzes.
Gleichfalls kann auf diese Weise ein Amberlyst® A 26 OH, der auf einem quartären trimethylammoniumfunktionalisiertem Divinylbenzol-Styrol-Copolymer basiert und eine stark poröse Struktur aufweist, behandelt werden. Der mittlere Partikeldurchmesser der Katalysatoren liegt üblicherweise bei 0,5 bis 0,6 mm.
Selbst bei Vorhandensein großer Mengen eingeschlossenen flüchtigen oder auch schwer flüchtigen Substanzen, wie Wasser, in den Hohlräumen poröser bis
makroporöser Katalysator-Präkursoren (Porendurchmesser größer 200 Angström), wie bei Amberlyst® A 21 , können durch Behandlung der Präkursoren unter Unterdruck - synonym Vakuum - und gegebenenfalls einer moderaten Temperaturbehandlung bis unterhalb 200 0C Katalysatoren hergestellt werden. Vorzugsweise wird unterhalb 150 0C behandelt. Die so hergestellten Katalysatoren werden unter Strukturerhaltung d. h. unter Erhalt der inneren und/oder äußeren Struktur bzw. Morphologie und Habitus der zu aktivierenden Katalysator-Präkursoren erhalten.
Es wurde festgestellt, dass eine rein thermische Behandlung der Katalysator- Präkursoren zur im Wesentlichen vollständigen Entfernung schwerflüchtiger
Substanzen, wie Wasser, ausscheidet. Die aktiven Zentren sowie die meist
verwendeten organischen Trägermaterialien, wie Divinylbenzol-Styrol-Copolymere, der Roh-Katalysatoren oder Katalysator-Präkursoren können nicht ohne strukturelle
Veränderungen und/oder Zersetzungen über längere Zeit hohen Temperaturen ausgesetzt werden, wie in den Beispielen dargelegt wird.
Als Katalysator für die Dismutierung von Halogensilanen muss zudem aus
sicherheitstechnischen Aspekten, wegen der Entzündlichkeit der Silane, und zur Vermeidung der Verunreinigung der Silane der Kontakt mit Sauerstoff vermieden werden. Durch Kontakt der Silane mit Wasser kann es zudem zu störenden festen Siliziumdioxid Ablagerungen kommen, die die Katalysatoraktivität beeinträchtigen können.
Gegenstand der Erfindung ist daher ein Verfahren zur Behandlung eines Wasser enthaltenden, aminofunktionellen, organischen, polymeren Katalysator-Präkursors, insbesondere lösemittelfreien Katalysator-Präkursors, unter Bildung eines Katalysators, indem der Katalysator-Präkursor unterhalb 200 0C und unter Unterdruck (d. h. einem gegenüber Normaldruck bzw. Umgebungsdruck vermindertem Druck) behandelt wird und ein Katalysator erhalten wird, vorzugsweise mit einem Wassergehalt von unter 2,5 Gew.-%, bevorzugt mit einem Wassergehalt im Bereich von 0,00001 bis 2 Gew.-%. Als organisch ist gemäß der Erfindung ein Katalysator-Präkursor zu verstehen, der zumindest teilweise organische Verbindungen umfasst. Dies sind in der Regel aminofunktionalisierte Polymere oder Co-Polymere.
Dabei ist es besonders bevorzugt, wenn der Wasser enthaltende Katalysator-Präkursor unter einem getrockneten Gas oder Gasgemisch unter Unterdruck behandelt wird. Typischerweise kann Luft oder ein Inertgas eingesetzt werden dessen Restfeuchte vorzugsweise unter 1000 ppm (Massenanteile) liegt. Beispielsweise im Bereich zwischen 1000 ppm bis 0,01 ppt, insbesondere unter 200 ppm, besonders bevorzugt unter 50 ppm, besonders vorzugsweise unter 5 ppm.
Für eine optimale Behandlung der Katalysator-Präkursoren erfolgt die Behandlung unter einem strömendem Gas oder Gasgemisch. Vorzugsweise unter einer
Inertgasatmosphäre, insbesondere unter strömender Inertgasatmosphäre unter
Unterdruck. Der Gasfluss bzw. Intergasfluss kann vorzugsweise zwischen 0,0001 bis 10 m3/h, bevorzugt zwischen 0,0001 bis 1 ,5 m3/h betragen, wobei Werte um 0,5 bis 1 ,25 m3/h großtechnisch zu bevorzugen sind.
Die Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren zur Behandlung eines stark Wasser enthaltenden aminofunktionellen Katalysator-Präkursors unter Beibehaltung seiner inneren und/oder äußeren Struktur, insbesondere der inneren porösen Struktur und seiner äußeren Form, unter Bildung eines Katalysators, indem der Katalysator- Präkursor bei milden Temperaturen und unter Unterdruck behandelt wird und ein im Wesentlichen wasserfreier Katalysator hergestellt wird, insbesondere mit einem
Wassergehalt unter 2,5 Gew.-%, vorzugsweise 0,00001 bis 2 Gew.-%. Bevorzugt wird bei unter 100 0C und einem Druck im Bereich von 0,001 bis 100 mbar behandelt, vorzugsweise zwischen 0,001 bis 70 mbar. Die Schwankungsbreite des bestimmbaren Wassergehaltes kann um plus/minus 0,3 Gew.-% liegen.
Der Wassergehalt kann beispielsweise nach Karl-Fischer bestimmt werden (Karl- Fischer Titration, DIN 5 777). Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
einstellbaren Wassergehalte der aminofunktionellen Katalysatoren liegen zweckmäßig zwischen 0, d. h. mit KF nicht detektierbar, und 2,5 Gew.-%, insbesondere zwischen 0,0001 Gew.-% bis 2 Gew.-%, bevorzugt zwischen 0,001 bis 1 ,8 Gew.-%, besonders bevorzugt zwischen 0,001 bis 1 ,0 Gew.-%, weiter bevorzugt zwischen 0,001 bis 0,8 Gew.-%, besser zwischen 0,001 bis 0,5 Gew.-%, 0,001 bis 0,4 Gew.-% oder 0,001 bis 0,3 Gew.-%. Gleichzeitig erlaubt die erfindungsgemäße Kombination der
Verfahrensschritte den Erhalt der Struktur des Katalysators unter Vermeidung eines Einsatzes organischer Lösemittel. Bevorzugt ist das Verfahren ein großtechnisches Verfahren, vorzugsweise integriert in oder einem großtechnischen Verfahren zur Herstellung von Dichlorsilan, Silan bis hin zu Solar- oder Halbleitersilizium aus Silanen zugeordnet. In der Regel kann das Verfahren diskontinuierlich im Zyklus der Katalysatorstandzeiten den genannten Verfahren zugeordnet sein.
Ein stark Wasser enthaltender, aminofunktioneller Katalysator-Präkursor enthält in der Regel über 10 Gew.-% Wasser in Bezug auf sein Gesamtgewicht. Der Wassergehalt kann bis zu 60 Gew.-% und darüber betragen, insbesondere der Gehalt eines mit Wasser gewaschenen und gegebenenfalls filtrierten Katalysator-Präkursors. Es kann bevorzugt sein, den Wasser enthaltenden Katalysator-Präkursor vor der Behandlung mit Wasser, insbesondere entsalztem oder deionisierten Wasser, zu waschen.
Beispielsweise mittels einer Druckwäsche. Eine Verdrängung des Wassers mit
Lösemitteln kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren vorzugsweise unterbleiben.
Gleichfalls kann auch der Wasser enthaltende, aminofunktionelle Katalysator-Präkursor vor der erfindungsgemäßen Behandlung durch Waschen mit Wasser erst gebildet werden. Beispielsweise aus einem Roh-Katalysator der aufgrund seines
Verunreinigungsprofils nicht in den Verfahren zur Herstellung oder Dismutierung hochreiner Silane eingesetzt werden kann. Besonders relevant ist dies bei der
Dismutierung von Halogensilanen zu geringer halogenierten Silanen oder zu Monosilan, insbesondere als Ausgangsstoffe zur Herstellung von Solar- oder Halbleitersilizium.
Gewaschen wird der Roh-Katalysator für diese Anwendung mit destilliertem,
bidestilliertem, bevorzugt mit hochreinem, deionisiertem Wasser und liegt dann als Katalysator-Präkursor vor. Der Wassergehalt des Präkursors kann durch diese
Maßnahme deutlich größer 10 Gew.-% in Bezug auf das Gesamtgewicht sein, insbesondere bis zu 80 Gew.-%. In der Regel liegt der Wassergehalt um 30 bis 70 Gew.-%, bevorzugt um 45 bis 60 Gew.-% in Bezug auf das Gesamtgewicht.
Ausgehend von diesem hohen Wassergehalten der Katalysator-Präkursoren ist eine sensible Abstimmung des Trocknungsverfahrens notwendig, um den temperaturempfindlichen, aminofunktionellen Katalysator-Präkursor ohne Zersetzung oder ohne Beeinträchtigung der Katalysatoraktivität im großtechnischen Maßstab zu einem Katalysator zu trocknen, der vorzugsweise zur genannten Disproportionierung geeignet ist. Sehr problematisch sind Zersetzungsreaktionen, Umwandlungen oder Ausblühungen bei der Behandlung der Katalysator-Präkursoren.
Weiter ist es bevorzugt, wenn der mit Wasser gewaschene oder der unbehandelte Katalysator-Präkursor im Wesentlichen lösemittelfrei in das erfindungsgemäße
Verfahren eingesetzt wird. Als im Wesentlichen lösemittelfrei gilt der Katalysator- Präkursor, wenn der Präkursor oder der Roh-Katalysator nicht zusätzlich mit einem Lösemittel oder einem Gemisch enthaltend ein Lösemittel, wie einem Alkohol, behandelt wurde.
Nach einer Alternative umfasst ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung des
Katalysators die Schritte 1 ) Waschen eines Katalysator-Präkursors oder eines Roh- Katalysators mit Wasser zur Bildung des Katalysator-Präkursors, insbesondere eines üblichen käuflichen Katalysators, bevorzugt eines aminofunktionellen Katalysators, wobei das Waschen bevorzugt mit destilliertem Wasser, besonders bevorzugt mit hochreinem, deionisiertem Wasser erfolgt; im 2) Schritt wird der Wasser enthaltende Katalysator-Präkursor ohne weitere Behandlung unter Ausbildung des Katalysators durch Anlegen von Unterdruck bzw. Vakuum und gegebenenfalls unter Regulierung der Temperatur hergestellt, insbesondere im Temperaturbereich bis 200 0C; wobei gegebenenfalls in einem 3) Schritt ein Vakuumbrechen mittels Inertgas oder
getrockneter Luft erfolgt; und der Katalysator nach Schritt 2) oder 3) erhalten wird. In einem weiteren Schritt kann der Katalysator mit einem Halogensilan zur Dismutierung in Kontakt gebracht werden. Die Regulierung der Temperatur unter anliegendem Vakuum stellt vorzugsweise einen Temperaturbereich zwischen 15 0C bis 200 0C während der Behandlung sicher. Bevorzugt wird der Präkursor unter Vakuum bei erhöhter
Temperatur, besonders bevorzugt unterhalb 150 0C behandelt. Gemäß einer Alternative kann das Verfahren auch ohne Schritt 1 ) durchgeführt werden. Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Verfahrens sieht vor, dass der Katalysator durch Behandlung eines aminofunktionellen, porösen und Wasser enthaltenden Katalysator-Präkursors, gegebenenfalls im Wesentlichen unter Erhaltung der inneren und/oder äußeren Struktur, hergestellt wird. Der Wassergehalt des
Präkursors kann dabei bis zu 60 Gew.-% betragen. Insbesondere bleibt die poröse Struktur und/oder die äußere Struktur, vorzugsweise die innere und/oder äußere
Struktur bzw. Form, insbesondere die Oberfläche des Katalysator-(Präkursors) nach der Entfernung des Wassers im Wesentlichen erhalten.
Der Erhalt der Struktur, insbesondere der porösen inneren Struktur und auch der äußeren Form, ist essentiell für die Aktivität des Katalysators und für eine möglichst lange Standzeit im Reaktor. Die Zugänglichkeit der aktiven Zentren muss für die
Katalysatoraktivität gewährleistet sein, wie auch eine gute Durch- und Umströmbarkeit mit den umzusetzenden Fluiden, d. h. flüssigen oder gasförmigen Substanzen. Die aktiven Zentren der Katalysatoren bleiben für die umzusetzenden Substanzen zugänglich und aktiv. Ein Zusammenbrechen der Struktur oder eine Zersetzung der temperaturempfindlichen Materialien der Katalysator-Präkursoren ist in jedem Fall zu vermeiden. Bei einer üblichen, rein thermischen Trocknung des Katalysator-Präkursors verändert sich die Struktur bei der Behandlung, insbesondere wurde festgestellt, dass sich die porösen Strukturen mit ausblühenden kristallinen Stoffen zusetzen. Visuell wird dies besonders deutlich an kristallinen Ablagerungen oder generell an Ablagerungen auf der äußeren Oberfläche der partikulären Katalysatoren der Abbildungen 3 und 4 nach rein thermischer Trocknung.
Das Aufheben des Unterdruck bzw. des Vakuums mit Inertgas, insbesondere mit Stickstoff, Argon oder Helium, erlaubt es, den Katalysator im Wesentlichen
sauerstofffrei herzustellen. Eine partielle Oxidation der aktiven Zentren kann die katalytische Aktivität beeinträchtigen und stellt, wie eingangs ausgeführt, bei der Herstellung von Monosilan, ein Sicherheitsrisiko dar. Dies gilt insbesondere für
Amberlyst® A 21 zur Herstellung des eigentlich verwendbaren Katalysator zur
Dismutierung von hochreinen Halogensilanen. Als hochreine Halogensilane werden jene verstanden, deren Verunreinigungsprofil in Summe aller Verunreinigungen, insbesondere aller so genannten„metallischen" Verunreinigungen, unter 1 ppm bis 0,0001 ppt, bevorzugt 100 ppb bis 0,0001 ppt, besonders bevorzugt 10 ppb bis 0,0001 ppt, besser 1 ppb bis 0,0001 ppt (Masseanteil) beträgt. Generell wird ein derartiges Verunreinigungsprofil für die Elemente Eisen, Bor, Phosphor und Aluminium angestrebt.
Somit umfasst das Verfahren zur Behandlung des Katalysator-Präkursors unter
Unterdruck auch ein Vakuumbrechen mittels eines Gases oder Gasgemisches, wie mit getrockneter Luft oder einem Inertgas, insbesondere mit getrocknetem Inertgas. Gemäß einer Verfahrensvariante kann bereits vor der Einstellung des Unterdrucks der
Katalysator-Präkursor unter Inertgas aufbewahrt werden. Vorzugsweise wird ein
Inertgasstrom über den Katalysator-Präkursor geleitet und anschließend der Unterdruck eingestellt.
Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn der Katalysator-Präkursor, der Katalysator oder das Gemenge beider bei der Behandlung bewegt wird.
Im Anschluss an die erfindungsgemäße Behandlung kann der Katalysator,
insbesondere bei Raumtemperatur, mit einem Halogensilan in Kontakt gebracht werden. Erfindungsgemäß ist der nach dem Verfahren hergestellte oder erhältliche Katalysator zur Dismutierung von Wasserstoff und Halogen enthaltenden
Siliziumverbindung der allgemeinen Formel I geeignet, insbesondere von hochreinen Halogensilanen, HnSimX(2m+2-n) (I) wobei X unabhängig von einander Fluor, Chlor, Brom und/oder Jod entspricht und n und m jeweils eine ganze Zahl sind mit 1≤ n < (2m + 2) und 1≤ m≤ 12. Bevorzugt ist m gleich 1 oder 2, besonders bevorzugt 1 , wobei X Chlor entspricht. Daher ist der Katalysator besonders bevorzugt zur Dismutierung von HSiCh, H2SiCb1H3SiCI oder Gemischen enthaltend mindestens zwei der Verbindungen geeignet.
Die Behandlung des Katalysator-Präkursors erfolgt vorzugsweise im Temperaturbereich zwischen -196 0C bis 200 0C, insbesondere zwischen 15 0C bis 175 0C, bevorzugt zwischen 15 0C bis 150 0C, besonders bevorzugt zwischen 20 0C bis 135 0C, ganz besonders bevorzugt zwischen 20 0C bis 110 0C, wobei hier der Temperaturbereich von 20 0C bis 95 0C besonders bevorzugt ist. Üblicherweise wird die Behandlung nach dem Einstellen der Temperatur im Temperaturbereich zwischen 60 0C bis 140 0C, insbesondere von 60 0C bis 95 0C, d. h. insbesondere bei 60, 65, 70, 75, 80, 85, 90, 95 0C sowie auch allen jeweils dazwischen liegenden Temperaturwerten durchgeführt, vorzugsweise unter Unterdruck und gegebenenfalls unter Bewegung der Katalysator- Präkursoren oder der gebildeten Gemenge aus Katalysator und Präkursor.
Dabei ist es bevorzugt, wenn die Behandlung unter Unterdruck zwischen 0,0001 mbar bis 1012 mbar (mbar absolut) erfolgt. Insbesondere liegt der Unterdruck bei Werten zwischen 0,005 mbar bis 800 mbar, bevorzugt zwischen 0,01 mbar bis 600 mbar, besonders bevorzugt zwischen 0,05 bis 400 mbar, weiter bevorzugt zwischen 0,05 mbar bis 200 mbar, vorteilhafter zwischen 0,05 mbar bis 100 mbar, insbesondere zwischen 0,1 mbar bis 80 mbar, besser zwischen 0,1 mbar bis 50 mbar, noch besser zwischen 0,001 bis 5 mbar, noch bevorzugter liegt der Druck unter 1 mbar.
Vorzugsweise wird ein Unterdruck bzw. Vakuum zwischen 50 mbar bis 200 mbar vorzugsweise bis auf kleiner 1 mbar und 50 mbar bei erhöhter Temperatur,
insbesondere bei 15 0C bis 180 0C, besonders bevorzugt zwischen 20 0C bis 150 0C, eingestellt.
Für aminofunktionelle, Wasser enthaltende Katalysator-Präkursoren hat sich eine Behandlung im Temperaturbereich zwischen 80 0C bis 140 0C unter Unterdruck bei 50 mbar bis 200 mbar bis zu kleiner 1 mbar als besonders vorteilhaft zur Einstellung eines Wassergehaltes von unter 2 Gew.-%, bevorzugt von unter 0,8 Gew.-% bis unter 0,5 Gew.-%, unter gleichzeitigem Erhalt der Struktur erwiesen. Zudem kann unter diesen Bedingungen die Trocknung großtechnisch in einer akzeptablen Verfahrensdauer erfolgen.
Ein weiterer besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass es auch großtechnisch unter Erhalt der Struktur der zu aktivierenden Katalysator- Präkursoren eingesetzt werden kann. Vorteilhaft können je Verfahrensansatz 1 kg bis 10 t, insbesondere 1 bis 1.000 kg, bevorzugt 10 bis 500 kg an Katalysator-Präkursor getrocknet werden ohne wesentliche strukturelle Veränderungen oder Zersetzung zu erleiden.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann die Behandlung in einer Vorrichtung erfolgen, umfassend ein Behältnis, insbesondere einen Reaktor, ein Gefäß oder Behälter, mit einer Einrichtung zum Befüllen und gegebenenfalls zum Entleeren der Vorrichtung und einer Einrichtung zum Abführen flüssiger oder gasförmiger Stoffe erfolgen. Mithilfe der Einrichtung zum Befüllen und gegebenenfalls zum Entleeren der Vorrichtung kann der Katalysator-Präkursor eingefüllt werden, die Reaktanden können diskontinuierlich oder kontinuierlich zugegeben werden und später kann der
verbrauchte Katalysator entnommen werden. Erfindungsgemäß ist die Vorrichtung geeignet unter den eingangs genannten Unterdrücken, unter Normaldruck oder auch unter Überdruck betrieben zu werden. Zudem ist dem Behälter vorzugsweise eine Heiz- und/oder Kühlvorrichtung zugeordnet. Vorteilhaft ist dem Behälter eine Rührvorrichtung zugeordnet und/oder der Behälter ist rotierbar. Weiter weist die Vorrichtung eine
Inertgaszuführung auf. Besonders bevorzugte Vorrichtungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens umfassen einen Schaufeltrockner, Filtertrockner oder Reaktor mit Rührwerk, dem ein Vakuumsystem, eine Heiz- und/oder Kühlvorrichtung und Inertgaszuführung zugeordnet sind.
Gegenstand der Erfindung ist auch die Verwendung eines Schaufeltrockners,
Filtertrockners oder Reaktors mit Rührwerk, dem ein Vakuumsystem, eine Heiz- und/oder Kühlvorrichtung und Inertgaszuführung zugeordnet ist zur Herstellung eines Katalysators aus einem Wasser enthaltenden, aminofunktionalisierten Katalysator- Präkursor.
Ebenfalls Gegenstand der Erfindung ist die Verwendung eines nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Katalysators zur Dismutierung von
Chlorsilanen, insbesondere zur Herstellung von Dichlorsilan, Monochlorsilan oder Monosilan aus höher substituierten Chlorsilanen. Bevorzugt kann der hergestellte Katalysator zur Dismutierung von (i) Trichlorsilan unter Erhalt von Monosilan, Monochlorsilan, Dichlorsilan und Tetrachlorsilan oder eines Gemisches enthaltend mindestens zwei der genannten Verbindungen oder (ii) Dichlorsilan eingesetzt werden und Monosilan, Monochlorsilan, Trichlorsilan und Siliziumtetrachlorid oder ein Gemisch aus mindestens zwei der genannten Verbindungen gewonnen werden.
Die nachfolgenden Beispiele erläutern das erfindungsgemäße Verfahren ohne das Verfahren auf diese zu beschränken. Die Abbildungen 1 bis 5 zeigen visuelle
Veränderungen des Habitus und der morphologischen Eigenschaften von Amberlyst® A 21 (circa 25 m2/g, mittlerer Porendurchmesser 400 Angström) vor und nach den nachfolgend dargelegten Behandlungsmethoden.
Abbildung 1 : Katalysator nach Trocknung für 5 h bei 130 0C und 10 bis 20 mbar
(Markierung 500 μm).
Abbildung 2: Ungetrockneter Katalysator (Markierung 500 μm).
Abbildung 3: Katalysator nach Trocknung für 5 h bei 175 0C mit Ausblühungen
(Markierung 500 μm).
Abbildung 4: Katalysator nach Trocknung für 5 h bei 250 0C mit kristallinen
Ausblühungen (Markierung 500 μm).
Abbildung 5: Ungetrockneter Katalysator (größere Auflösung; Markierung 500 μm).
Beispielreihe 1
Beispiel 1.1
80,1 g Amberlyst® A21 (Rohm Haas) mit einem Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-% wird in einen 500-ml-Vierhalskolben mit Intensivkühler und Rührer eingewogen. Die Trocknung erfolgt bei ca. 95 0C Sumpftemperatur im Ölbad über 8 h bei einem Druck kleiner < 1 mbar (Drehschieberpumpe). Anschließend wird mit trockenem
Stickstoff belüftet und auf Umgebungstemperatur abgekühlt. Der Wassergehalt des getrockneten Katalysators wurde über Karl- Fischer Titration (DIN 51 777) bestimmt und beträgt 0,3 Gew.-%.
Anwendungstechnische Prüfung des Katalysators: 29,1 g des getrockneten
Katalysators wurden in einem Kolben mit Kühler und Gasableitung mit 250 ml
Trichlorsilan (GC > 99,9 %) überlagert und nach 5 h eine Probe für GC gezogen. Neben Trichlorsilan 87,8 (GC%) liegen Siliziumtetrachlorid sowie die in der Mischung gelösten, leichtflüchtigen Reaktionsprodukte Dichlorsilan und Monochlorsilan vor.
Vergleichsbeispiel 1.2
Anwendungstechnische Prüfung des unbehandelten Amberlyst® A21 Katalysators mit einem Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-%. 1 g des Katalysators wurden in einem Kolben mit Thermometer, Kühler und Gasableitung vorgelegt und über einen 25 ml Tropftrichter 10 ml Siliziumtetrachlorid zudosiert. Es setzte umgehend eine starke Reaktion die mit einer Temperaturerhöhung von 24 auf 37 0C und Bildung von HCI- Nebel einherging ein, bis die Wasseranteile mit dem Siliziumtetrachlorid abreagiert hatten. Eine Untersuchung der Reaktionsmischung zeigte, dass sich verschiedene Siloxane und Kondensationsprodukte bis hin zu Kieselsäureablagerungen gebildet hatten. Der Katalysator in seiner ursprünglichen Form ist für die Umsetzung
hydrolyseempfindlicher Substanzen, wie z.B. Trichlorsilan, nicht geeignet.
Beispielreihe 2
Die gemäß der Beschreibung in den Beispielen 1.1 , 3.1 , 3.2, 3.3, 4.1 , 4.2 und 4.3 hergestellten Katalysatoren wurden auf ihre katalytische Aktivität hin untersucht.
Dazu wurden in einem 250 cm3 Vierhalskolben mit Tropftrichter, Innenthermometer, Septum zur Probenahme und Gasabgang 20 g des jeweiligen Katalysators vorgelegt und im Wasserbad bei 30-31 0C unter ständigen Rühren mittels Magnetrührer schnell 100 g Trichlorsilan (TCS) zugegeben. Nach vorgegebenen Messzeitpunkten wurden über das Septum mit Hilfe einer GC-Spritze Proben entnommen und mittels GC auf die Bildung der Dismutierungsprodukte, insbesondere des schwerflüchtigen
Siliziumtetrachlorids (SiCI4), untersucht.
Die über den Gasabgang entweichenden gasförmigen Produkte (u. a. entstehendes Monosilan) wurden in Nathummethylatlösung eingeleitet.
Die gemäß der Beschreibung 1.1 , 3.2, 3.3, 4.1 hergestellten Katalysatoren zeigten allesamt eine vergleichbar hohe Dismutierungsaktivität. Der nach 3.1 hergestellte Katalysator zeigte mittlere Dismutierungsaktivität, die Katalysatoren nach 4.2 und 4.3 zeigten nur noch geringe katalytische Aktivität wobei der Katalysator nach 4.3 die geringste Aktivität aufwies.
Beispielreihe 3
Allgemeine Durchführung der Versuche: In einem 2-l-Rundkolben wurden 300 g gemäß der in den einzelnen Beispielen beschriebenen Vorgehensweise getrockneter
Amberlyst® A 21 Katalysator (ca. 50% des Kolbenvolumens) vorgelegt und dann 1.500 g SiCI4 innerhalb einer Minute über einen Tropftrichter zugegeben. Der
Temperaturverlauf wurde über ein Thermometer verfolgt,
Beispiel 3. 1
1 kg des unbehandelten Amberlyst® A21 Katalysators mit einem Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-%. wurde in einem Rotationsverdampfer bei 110 0C bei
Umgebungsdruck über 11 Stunden getrocknet. Der Wassergehalt wurde mittels Karl- Fischer Titration (DIN 51 777) zu 1 ,7 % bestimmt.
Bei der SiCI4-Zugabe wurde eine heftige Reaktion beobachtet. Der Kolbeninhalt erwärmte sich begleitet von starker Gasentwicklung und Siedeverzügen sehr stark auf über 1100C.
Beispiel 3.2
350 kg des unbehandelten Amberlyst® A21 Katalysators mit einem
Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-% wurde in einem 1 m3 Schaufeltrockner bei 90 0C über 12 Stunden und 20 Umdrehungen/min getrocknet. Dabei wurde über den Trocknerboden trockener Stickstoff mit einem Fluss von 1 m3/h eingeblasen und das Vakuum sukzessive von 60 mbar bis auf kleiner < 1 mbar abgesenkt. Der Wassergehalt wurde mittels Karl-Fischer Titration (DIN 51 777) zu 0,5 % bestimmt. Bei der SiCI4- Zugabe erwärmte sich der Kolbeninhalt leicht auf max. 40 0C, dabei wurde, nur eine geringe Gasentwicklung beobachtet. Beispiel 3.3
350 kg des unbehandelten Amberlyst® A21 Katalysators mit einem
Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-%. wurde in einem 1 -m3-Schaufeltrockner bei 130 0C über 16 Stunden und 20 Umdrehungen/min, getrocknet. Dabei wurde das Volumen über dem zu trocknenden Katalysator mit trockenem Stickstoff mit einem Fluss von 0,5 m3/h überlagert und ein Vakuum von 150 mbar eingestellt. Der
Wassergehalt wurde mittels Karl-Fischer Titration (DIN 51 777) zu 0,4 % bestimmt. Bei der SiCI4-Zugabe erwärmte sich der Kolbeninhalt leicht auf max. 38 0C, dabei wurde nur eine geringe Gasentwicklung beobachtet.
Ergebnis der Untersuchungsreihe 3: Die bei erhöhten Restfeuchtegehalten auftretenden Effekte wie Temperaturerhöhung bis über den Siedepunkt der eingesetzten Chlorsilane sowie Gasentwicklung führen im technischen Maßstab zu großen Problemen, die eine Verwendung der Katalysatoren unmöglich machen bzw. stark einschränken.
Beispielsreihe 4
Beispiel 4.1
Morphologische Untersuchungen: 300 g des unbehandelten Amberlyst® A21
Katalysators mit einem Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.-%. wurde in einem Rotationsverdampfer bei 130 0C bei einem Druck von 20 - 10 mbar über 5 h getrocknet. Der Wassergehalt wurde mittels Karl-Fischer Titration (DIN S1 777) zu 0,5 % bestimmt.
Eine Probe des getrockneten Katalysators wurde mittels Lichtmikroskopie untersucht Abbildung 1 und mit einer ungetrockneten Probe verglichen (Abb. 2). Es ist zu erkennen, dass sich die sphärische visuell sehr glatte Oberfläche der
Katalysatorkügelchen bei dieser Trocknungsmethode nicht verändert. Der so
getrocknete Katalysator zeigt in Aktivitätstest, siehe Beispielsreihe 2, gute Aktivität.
Beispiele 4.2 und 4.3
Jeweils 300 g des unbehandelten Amberlyst® A21 Katalysators mit einem
Ausgangswassergehalt von ca. 55 Gew.%. wurde in einem Rotationsverdampfer mit Marlotherm Ölbad bei 175 0C bzw. 250 0C bei Umgebungsdruck über 5 h getrocknet. Der Wassergehalt wurde mittels Karl-Fischer Titration (DIN 51 777) zu 1 ,5 bzw. 1 ,2 % bestimmt. Bei der bei 175 0C getrockneten Katalysator-Probe zeigten sich unter dem Lichtmikroskop leichte kristallin erscheinende Ausblühungen (Abb. 3). Die bei 250 0C getrocknete Probe zeigte starke kristalline Ausblühungen (Abb. 4). sowie eine zunehmende Braunfärbung der ansonsten gelblichen Kügelchen. Abbildung 5 zeigt zum Vergleich die Aufnahme einer ungetrockneten Probe in passender Vergrößerung.
Im Vergleich zu dem bei 130 0C und 20 bis 10 mbar getrockneten Katalysator zeigten die bei hohen Temperaturen getrockneten Katalysatoren geringere Aktivität, wobei der bei 250 0C getrocknete Katalysator die geringste Aktivität zeigt.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Behandlung eines Wasser enthaltenden, aminofunktionellen, polymeren, organischen Katalysator-Präkursors unter Bildung eines Katalysators, indem der Katalysator-Präkursor unterhalb 200 0C und unter Unterdruck behandelt wird und ein Katalysator mit einem Wassergehalt unter 2,5 Gew.-% erhalten wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 ,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Wasser enthaltende Katalysator-Präkursor mit einem getrockneten Gas oder Gasgemisch unter Unterdruck behandelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Katalysator-Präkursor im Wesentlichen lösemittelfrei ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Behandlung des Katalysator-Präkursors unter Unterdruck und
Vakuumbrechen mittels Inertgas, Luft oder eines Gemisches dieser erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Katalysator-Präkursor, der Katalysator oder das Gemenge beider bei der Behandlung bewegt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Katalysator durch Behandlung eines aminofunktionellen, porösen und Wasser enthaltenden Katalysator-Präkursors hergestellt wird, der ein tertiäres- aminofunktionelles Divinylbenzol-Styrol-Copolymer oder ein quartäres- ammoniumfunktionelles Divinylbenzol-Stryrol-Copolymer umfasst.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Katalysator aus dem Wasser enthaltenden Katalysator-Präkursor im Wesentlichen unter Erhaltung der inneren und/oder äußeren Struktur hergestellt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
dass es die Schritte
1 ) Waschen eines Roh-Katalysator mit Wasser zur Bildung des Katalysator- Präkursors,
2) Behandlung des Katalysator-Präkursors unter Unterdruck und bei erhöhter Temperatur unterhalb 200 0C; und gegebenenfalls
3) Vakuumbrechen mittels Inertgas
umfasst.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Katalysator zur Dismutierung von HSiCh, H2SiCb1H3SiCI oder Gemischen enthaltend mindestens zwei der Verbindungen geeignet ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Behandlung im Temperaturbereich zwischen -196 0C bis 175 0C erfolgt.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Unterdruck 0,001 mbar bis 1012 mbar beträgt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11 ,
dadurch gekennzeichnet, dass die Behandlung in einer Vorrichtung erfolgt, umfassend ein Behältnis mit einer Einrichtung zum Befüllen und gegebenenfalls zum Entleeren der Vorrichtung und einer Einrichtung zum Abführen flüssiger oder gasförmiger Stoffe.
13. Verfahren nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Behälter einer Heiz- und/oder Kühlvorrichtung zugeordnet ist.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 13,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Vorrichtung geeignet ist bei Überdruck, Normaldruck und Unterdruck betrieben zu werden.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
dass dem Behälter eine Rührvorrichtung zugeordnet ist und/oder der Behälter rotierbar ist.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Vorrichtung einen Schaufeltrockner, Filtertrockner oder Reaktor mit Rührwerk umfasst, der ein Vakuumsystem, einer Heiz- und/oder Kühlvorrichtung und Inertgaszuführung zugeordnet sind.
17. Verwendung eines nach einem der Ansprüche 1 bis 16 hergestellten Katalysators zur Dismutierung von Chlorsilanen.
18. Verwendung nach Anspruch 17 zur Herstellung von Dichlorsilan, Monochlorsilan oder Monosilan aus höher substituierten Chlorsilanen.
PCT/EP2010/056701 2009-07-15 2010-05-17 Verfahren zur behandlung von katalysator-präkursoren WO2011006694A2 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ES10720757.3T ES2523899T3 (es) 2009-07-15 2010-05-17 Procedimiento para el tratamiento de compuestos precursores de catalizadores, poliméricos, funcionalizados con amino
RU2012105031/04A RU2012105031A (ru) 2009-07-15 2010-05-17 Способ обработки прекурсоров полимерных катализаторов с аминными функциональными группами
CA2767853A CA2767853A1 (en) 2009-07-15 2010-05-17 Process for treating catalyst precursors
KR1020127000994A KR101664521B1 (ko) 2009-07-15 2010-05-17 아미노 관능성 중합체 촉매 전구체의 처리 방법
EP10720757.3A EP2454016B1 (de) 2009-07-15 2010-05-17 Verfahren zur behandlung von aminofunktionellen, polymeren katalysator-präkursoren
CN2010800315336A CN102470355A (zh) 2009-07-15 2010-05-17 处理氨基官能的聚合物催化剂前体的方法
US13/383,965 US20120177557A1 (en) 2009-07-15 2010-05-17 Process for treating catalyst precursors
BR112012000964A BR112012000964A2 (pt) 2009-07-15 2010-05-17 método para tratamento de precursores-catalisadores orgânicos e uso de um catalisador
JP2012519941A JP5680075B2 (ja) 2009-07-15 2010-05-17 触媒前駆体の処理法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009027728.5 2009-07-15
DE102009027728A DE102009027728A1 (de) 2009-07-15 2009-07-15 Verfahren zur Behandlung von Katalysator-Präkursoren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2011006694A2 true WO2011006694A2 (de) 2011-01-20
WO2011006694A3 WO2011006694A3 (de) 2011-12-01

Family

ID=43382683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2010/056701 WO2011006694A2 (de) 2009-07-15 2010-05-17 Verfahren zur behandlung von katalysator-präkursoren

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20120177557A1 (de)
EP (1) EP2454016B1 (de)
JP (1) JP5680075B2 (de)
KR (1) KR101664521B1 (de)
CN (2) CN102470355A (de)
BR (1) BR112012000964A2 (de)
CA (1) CA2767853A1 (de)
DE (1) DE102009027728A1 (de)
ES (1) ES2523899T3 (de)
RU (1) RU2012105031A (de)
TW (1) TW201114492A (de)
WO (1) WO2011006694A2 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007007874A1 (de) 2007-02-14 2008-08-21 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Herstellung höherer Silane
DE102009053804B3 (de) 2009-11-18 2011-03-17 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur Herstellung von Hydridosilanen
DE102010002342A1 (de) 2010-02-25 2011-08-25 Evonik Degussa GmbH, 45128 Verwendung der spezifischen Widerstandsmessung zur indirekten Bestimmung der Reinheit von Silanen und Germanen und ein entsprechendes Verfahren
DE102010043648A1 (de) 2010-11-09 2012-05-10 Evonik Degussa Gmbh Verfahren zur selektiven Spaltung höherer Silane
DE102011004058A1 (de) 2011-02-14 2012-08-16 Evonik Degussa Gmbh Monochlorsilan, Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung
JP5879283B2 (ja) * 2013-02-13 2016-03-08 信越化学工業株式会社 トリクロロシランの製造方法
JP6184898B2 (ja) * 2014-04-15 2017-08-23 信越化学工業株式会社 クロロシラン類、クロロシラン類の精製方法、および、シリコン結晶
RU2608035C1 (ru) * 2015-07-30 2017-01-12 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Ордена Трудового Красного Знамени Институт нефтехимического синтеза им. А.В. Топчиева Российской академии наук (ИНХС РАН) Способ гидроконверсии тяжёлого углеводородного сырья (варианты)
CN105921175A (zh) * 2016-04-18 2016-09-07 张玲 一种甲硅烷催化剂的制备方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3928542A (en) * 1974-04-05 1975-12-23 Union Carbide Corp Process for the preparation of anion exchange resin for use in the redistribution of chlorosilanes
US4113845A (en) * 1971-06-14 1978-09-12 Union Carbide Corporation Disproportionation of chlorosilane
US4746752A (en) * 1983-09-28 1988-05-24 Rhone-Poulenc Specialites Chimiques Preparation of hydrogenosilanes by redistribution
EP0334664A2 (de) * 1988-03-25 1989-09-27 Hemlock Semiconductor Corporation Rückgewinnung niedrig siedender Silane in einem CVD-Verfahren
DE10057519A1 (de) * 2000-11-21 2002-05-23 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Silanen
DE10057521A1 (de) * 2000-11-21 2002-05-23 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Silanen
WO2006029930A1 (en) * 2004-09-17 2006-03-23 Degussa Ag Apparatus and process for preparing silanes
DE102007059170A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-10 Evonik Degussa Gmbh Katalysator und Verfahren zur Dismutierung von Wasserstoff enthaltenden Halogensilanen
WO2010074301A1 (ja) * 2008-12-25 2010-07-01 株式会社トクヤマ クロロシランの製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2914181C2 (de) * 1979-04-07 1982-06-16 Kernforschungsanlage Jülich GmbH, 5170 Jülich Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen temperaturempfindlicher Güter der Pharma- und Nahrungsmittelindustrie
DE3712098A1 (de) * 1987-04-10 1988-10-20 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur herstellung von disproportionierungsprodukten von dichlormethylsilan in gegenwart eines katalysators
US20030054509A1 (en) * 2001-04-06 2003-03-20 Archer-Daniels-Midland Company Method for producing fats or oils

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4113845A (en) * 1971-06-14 1978-09-12 Union Carbide Corporation Disproportionation of chlorosilane
US4113845B1 (de) * 1971-06-14 1984-01-24
US3928542A (en) * 1974-04-05 1975-12-23 Union Carbide Corp Process for the preparation of anion exchange resin for use in the redistribution of chlorosilanes
US4746752A (en) * 1983-09-28 1988-05-24 Rhone-Poulenc Specialites Chimiques Preparation of hydrogenosilanes by redistribution
EP0334664A2 (de) * 1988-03-25 1989-09-27 Hemlock Semiconductor Corporation Rückgewinnung niedrig siedender Silane in einem CVD-Verfahren
DE10057519A1 (de) * 2000-11-21 2002-05-23 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Silanen
DE10057521A1 (de) * 2000-11-21 2002-05-23 Solarworld Ag Verfahren zur Herstellung von Silanen
WO2006029930A1 (en) * 2004-09-17 2006-03-23 Degussa Ag Apparatus and process for preparing silanes
DE102007059170A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-10 Evonik Degussa Gmbh Katalysator und Verfahren zur Dismutierung von Wasserstoff enthaltenden Halogensilanen
WO2010074301A1 (ja) * 2008-12-25 2010-07-01 株式会社トクヤマ クロロシランの製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LI K Y ET AL: "Redistribution reaction of trichlorosilane in a fixed-bed reactor", INDUSTRIAL & ENGINEERING CHEMISTRY RESEARCH, AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, US, Bd. 27, Nr. 9, 1. September 1988 (1988-09-01), Seiten 1600-1606, XP002193567, ISSN: 0888-5885, DOI: DOI:10.1021/IE00081A008 *

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120047902A (ko) 2012-05-14
EP2454016A2 (de) 2012-05-23
CA2767853A1 (en) 2011-01-20
JP2012532752A (ja) 2012-12-20
CN102470355A (zh) 2012-05-23
CN106076416A (zh) 2016-11-09
RU2012105031A (ru) 2013-08-20
WO2011006694A3 (de) 2011-12-01
JP5680075B2 (ja) 2015-03-04
BR112012000964A2 (pt) 2016-03-15
DE102009027728A1 (de) 2011-01-20
EP2454016B1 (de) 2014-09-17
KR101664521B1 (ko) 2016-10-10
US20120177557A1 (en) 2012-07-12
TW201114492A (en) 2011-05-01
ES2523899T3 (es) 2014-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2454016B1 (de) Verfahren zur behandlung von aminofunktionellen, polymeren katalysator-präkursoren
EP2591856A1 (de) Anlage mit Katalysator zur Dismutierung von Wasserstoff enthaltenden Halogensilanen
EP1245271B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von im Wesentlichen halogenfreien Trialkoxysilanen
DE102005051939A1 (de) Verfahren zur Herstellung von organisch modifizierten Polyorganosiloxanen
EP2637968B1 (de) Verfahren zur selektiven spaltung höherer silane
WO2011006697A1 (de) Verfahren und verwendung von aminofunktionellen harzen zur dismutierung von halogensilanen und zur entfernung von fremdmetallen
EP2590988B1 (de) Quartäre-aminoalkoholfunktionelle, siliciumorganische verbindungen, diese enthaltende zusammensetzung sowie deren herstellung und verwendung
DE3800564C1 (de)
DE3120195A1 (de) Polymere ammoniumverbindungen mit kieselsaeureartigem grundgeruest, verfahren zu ihrer herstellung und verwendung
DE102010043649A1 (de) Verfahren zur Spaltung höherer Silane
EP0367105B1 (de) Organosiloxanamin-Copolykondensate, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung (II)
WO2011006695A1 (de) Entfernung von fremdmetallen aus anorganischen silanen
EP4065512B1 (de) Verfahren zur entfernung einer verunreinigung aus einem chlorsilangemisch
EP0367106A2 (de) Organosiloxanamin-Copolykondensate, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung (I)
DE3334297C2 (de)
DE3518878A1 (de) Phenylengruppen-haltige organosilane, verfahren zu ihrer herstellung
EP0205889B1 (de) Funktionalisierte Phenylengruppen-haltige Organopolysiloxane und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE10057519A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Silanen
EP2956462B1 (de) Verfahren zur veresterung von siliziumhalogenverbindungen in einer kolonne und dafür geeignete vorrichtung
DE10057521A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Silanen
DE2430950B2 (de) Verfahren zur herstellung von kohlenwasserstoffsilanen aus polysilanen

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201080031533.6

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10720757

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010720757

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2767853

Country of ref document: CA

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20127000994

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012519941

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1238/CHENP/2012

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: A201201639

Country of ref document: UA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012105031

Country of ref document: RU

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10720757

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13383965

Country of ref document: US

REG Reference to national code

Ref country code: BR

Ref legal event code: B01A

Ref document number: 112012000964

Country of ref document: BR

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 112012000964

Country of ref document: BR

Kind code of ref document: A2

Effective date: 20120113