WO2010139740A3 - Source de faisceau electronique collimate a cathode froide - Google Patents

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Cédric ROBERT
Pierre Legagneux
Pascal Ponard
Frédéric Andre
Costel Sorin Cojocaru
Jean-Philippe Schnell
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Thales
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Abstract

Le domaine général de l'invention est celui des cathodes électroniques de type « cathode froide » comprenant un substrat plan (2) électriquement conducteur et un émetteur comportant une pointe (1) de diamètre micrométrique ou nanométrique disposée verticalement au-dessus de la surface du substrat. La cathode selon l'invention comporte une et une seule électrode annulaire (6) isolée électriquement du substrat par une couche d'isolant (3) et centrée sur l'émetteur, la source comportant des moyens permettant d'appliquer une différence de potentiel de plusieurs dizaines de volts entre le substrat et l'électrode annulaire, suffisante pour provoquer l'émission d'un faisceau électronique à la pointe de l'émetteur, l'électrode annulaire étant de dimension suffisante pour assurer la focalisation dudit faisceau électronique. Une source de faisceau électronique peur comporter une pluralité de cathodes identiques agencées selon un motif particulier.
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