WO2010003511A3 - Kompaktes uv bestrahlungsmodul - Google Patents

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Ralf Pretsch
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die Bestrahlung von zumindest einem Substrat, auffassend eine Bestrahlungseinheit zur Bestrahlung des Substrates mit UV-Licht, wobei die Bestrahlungseinheit eine Entladungslampe mit einem integrierten Reflektor umfasst sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Bestrahlungsmoduls zum Bestrahlen eines Substrates mittels UV- Licht.
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