WO2009147961A1 - 微小物体操作・計測用の局所蛍光標識マイクロデバイス - Google Patents

微小物体操作・計測用の局所蛍光標識マイクロデバイス Download PDF

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microdevice
force
fluorescent
micro device
fine particles
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Inventor
幸士 生田
真志 池内
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独立行政法人科学技術振興機構
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1429Signal processing
    • G01N15/1433Signal processing using image recognition
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/16Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/32Micromanipulators structurally combined with microscopes

Definitions

  • the present invention relates to a microdevice for manipulating a minute object. More specifically, the present invention operates a micro object in a fluid such as a liquid (which can be applied to a micro device for manipulating a micro object in a gas or a vacuum as well as in a liquid).
  • the present invention relates to a micro device having a locally fluorescently labeled three-dimensional structure and a position / action force measurement system using the micro device.
  • micro tweezers manufactured using MEMS technology, or micro beads have been used.
  • Micro / nano-sized objects are manipulated and measured using micro-spheres called micro beads captured by a laser called optical tweezers.
  • Force that changes momentum ⁇ A force corresponding to the change in momentum is generated on the surface of fine particles. In order for these resultant forces to be directed to the laser focal point, the principle that works to attract fine particles is used.
  • Patent Document Patent Publication 200 1-1 65840.
  • the present inventor has, as the light-driven nanomanipulator as described above, a two-degree-of-freedom nanoneedle, a two-degree-of-freedom nanobar, and a two-degree-of-freedom nanorobot hand less than 10 / m in length.
  • These microdevices are usually observed in a bright field by a camera connected to a microscope.
  • the target object is often stained with a fluorescent substance, so a microdevice that can be operated under fluorescence observation is required.
  • the position of the microdevice must be able to be detected even under fluorescence observation.
  • a microdevice is made of a material with high fluorescence intensity, there is a problem that the fluorescence background becomes high and observation of the fluorescence of the object itself is hindered.
  • the present invention solves the above-described problems and is a micro device for manipulating a minute object, which can detect a position under fluorescence observation and does not interfere with fluorescence observation of an object.
  • the purpose is to provide a device. Disclosure of the invention
  • a micro device comprising at least one site and having a fluorescent label in at least one local region sufficiently separated from a site of contact with an object on the micro device is a constituent element.
  • micro device is characterized in that a dimension in any of X, ⁇ , and ⁇ directions of the at least one portion is less than 100 / m.
  • the microdevice is made of resin, glass, metal, biopolymer, functional fine particles It is characterized by comprising a child or a mixture thereof.
  • At least one portion captured in the fluid by the electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, or the like includes at least one of dielectric fine particles, magnetic fine particles, and transparent fine particles. It is characterized by.
  • the present invention also provides a protein having a hydrophilic group on the surface of the at least one site.
  • the polymer or a mixture thereof is characterized by being bound, mixed, adsorbed or coated.
  • At least one of an enzyme, a protein, a nucleic acid, an antibody, an extracellular matrix, a lipid, a sugar chain, and an inorganic catalyst is present in at least one site having a shape or mechanism suitable for the operation of the object. It is fixed.
  • At least one of an enzyme, a protein, a nucleic acid, an antibody, an extracellular matrix, a lipid, a sugar chain, and an inorganic catalyst is provided in at least one site having a shape or mechanism suitable for the operation of the object. It is characterized in that a liquid or a group of fine particles is supplied.
  • the at least one portion is formed by lithography, chemical etching, physical etching, laser removal / cutting, stereolithography, electric discharge machining, micro cutting, molding, embossing, soft lithography. 1. It is characterized by being produced by imprinting, ink-jetting, printing, or a combination thereof.
  • the present invention is characterized in that a fluorescent label having another fluorescent property is applied to a region other than the fluorescently labeled detection region.
  • the present invention is characterized in that the plurality of fluorescently labeled detection regions have different fluorescence characteristics.
  • the at least one fluorescently labeled detection region is a fluorescent dye.
  • the relationship between the force acting on at least one site captured in the fluid by the electrostatic force, magnetic force, optical pressure, fluid force, etc. and the displacement from the equilibrium point is theoretically or experimentally calibrated. It is characterized by. Brief Description of Drawings
  • FIG. 1 is a schematic view of a local fluorescent labeling microdevice of the present invention.
  • FIG. 3 is a fluorescence image obtained with a CCD camera during cell manipulation using the microdevice and apparatus.
  • FIG. 5 is a time series diagram of the amount of displacement of the cell membrane and the acting force on the cell membrane at the time of compression obtained by the present invention and taking yeast cell as an example.
  • Fig. 1 is a schematic diagram of the local fluorescent labeling microdevice of the present invention
  • Fig. 2 is a schematic diagram of an operation / measurement system using the local fluorescent labeling microdevice of the present invention
  • Fig. 3 is a schematic diagram of the microdevice and apparatus.
  • Fig. 4 is a schematic image of the microdevice projection shown in Fig. 3 enlarged from the top
  • Fig. 5 is a yeast cell obtained by the present invention.
  • FIG. 5 is a time series diagram of the amount of displacement of the cell membrane during compression and the acting force on the cell membrane.
  • the microdevice of the present invention is preferably composed of resin, glass, metal, biopolymer, functional fine particle, or a mixture thereof. Furthermore, a different material may be used for each site in the microdevice. At least one component of the microdevice of the present invention is made of a material that can be operated in liquid by electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, or a combination thereof, and is suitable for operation. Has the shape.
  • the microdevice of the present invention is different from the above-described part, and at least one component is a point contact, a line contact, a surface contact with a target micro object, or a transport, rotation, cutting, compression of the target object. It has a shape suitable for operations such as pulling and drilling.
  • each dimension of X—Y—Z of the microdevice forms a structure of less than 100 / m. More preferably, a structure in which each dimension of X—Y_Z is less than 10 ⁇ m is formed, and more preferably, the dimension of at least one portion is less than 500 nm.
  • At least one part of the microdevice of the present invention is a known lithography, chemical etching, physical etching, laser removal, cutting, stereolithography, electric discharge machining, micro cutting, molding, embossing, It is produced by soft lithography, imprint, ink jet, printing, or a combination of these.
  • a material that does not emit fluorescence under the excitation wavelength used for fluorescence observation is selected as the main part of the microdevice.
  • a fluorescent label for position detection is given only to a local region on the microphone device that is sufficiently separated from a region on the micro device that is close to the target substance.
  • a material comprising at least one of a fluorescent dye, inorganic fluorescent particles, quantum dots, and fluorescent beads is fixed to the surface of the local region, or This is realized by inclusion in the local region.
  • the microdevice of the present invention has at least one local fluorescently labeled detection region on the microdevice, more preferably has two fluorescently labeled detection regions, and more preferably three Fluorescently labeled detection area Has a zone.
  • the microdevice of the present invention can detect a position by optically acquiring a fluorescence signal from a detection region to which fluorescence on the microdevice is imparted under fluorescence observation. When there are two fluorescently-applied regions on the microdevice, it is possible to detect the direction in addition to the position of the microdevice. Furthermore, when there are three or more fluorescently-applied regions It is also possible to detect the posture.
  • the microdevice is free from electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, or a combination of external forces applied for operation in liquid. It has an equilibrium point, that is, a position and orientation where the resultant vector of the external force applied to the microdevice is zero.
  • an equilibrium point that is, a position and orientation where the resultant vector of the external force applied to the microdevice is zero.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a local fluorescently labeled microdevice used in the following examples of the present invention.
  • the micro device in this example is 5m long, 10m wide, 1zm high, U-shaped frame 1 at the tip of 5m long, 5m high, 1m thick.
  • the flat plate 2 is fixed.
  • a cylindrical protrusion 3 is formed on the end of the U-shaped frame 1 opposite to the flat plate, and fluorescence is imparted only to the protrusion 3.
  • the projection 3 is formed in an optimum shape for trapping by light pressure.
  • the above-mentioned light-driven microphone mouth device developed by the present inventor is produced by a two-photon nano-stereolithography method.
  • a three-dimensional microphone mouth processing method using two-photon absorption, which is a nonlinear phenomenon. is there.
  • Two-photon absorption is a phenomenon in which two light beams are absorbed by I when the density of photons is very high. This phenomenon occurs only near the focal point. Utilizing this phenomenon, by preparing a photo-curing resin that hardens from liquid to solid with an ultraviolet laser etc., normal one-photon absorption occurs outside the focus, but the resin hardens without enough energy do not do.
  • Portions other than the cylindrical projection 3 (1, 2, 7 in the present microdevice) are made of a UV curable epoxy-based photocurable resin (DEMEC, SCR 7 0 1). .
  • This resin is three-dimensionally cured by two-photon absorption stereolithography to produce a structure.
  • an uncured resin is placed on a microscope slide glass, and a femtosecond pulse laser beam focused on an objective lens (75 6 nm, 80 MHz, T sunami (Spectra physics) is irradiated into the uncured resin, and the volume of about 10 O nm square is cured.
  • the structure of the first part of the target microdevice is formed.
  • a resin in which a fluorescent dye rhodamine ⁇ is mixed with a UV curable epoxy-based photocurable resin is placed on the slide glass on which the first part is formed, and The structure of the cylindrical projection 3 is formed by the same method. As a result, fluorescence is imparted only to the protrusion 3 of the microdevice.
  • An infrared laser is used for optical driving.
  • the light trap can be increased several to several tens of times.
  • the trap point is drawn to the laser focus on the same principle as for microbeads.
  • the laser is struck by a galvano scanner mirror, the microdevice moves in the aqueous solution following it.
  • the trap point is captured at the laser focus like a spring.
  • the momentum of the light changes due to refraction, and the force corresponding to the change in the momentum generates a trap point surface.
  • the resultant force acts on the laser focus as the trap point is distorted.
  • FIG. 2 is a schematic diagram of an operation measurement system using the local fluorescent labeling microdevice of the present invention used in the following examples.
  • This system is used for the operation and measurement of micro devices.
  • the operator operates the controller remote controller 9 and the computer 10 acquires the operation amount.
  • the computer 10 converts the manipulated variable into a set of galvano mirrors 1 1 and outputs it.
  • the infrared laser beam 1 2 is deflected by the galvano mirror — 1 1 and focused on the projection 14 of the microdevice (corresponding to the projection 3 in FIG. 1) through the objective lens 1 3. Since the protrusion 14 is captured by the focal point of the laser beam, the microdevice can be arbitrarily operated by operating the controller 9.
  • the micro device 14 and the object 15 are fluoresced by the excitation light 17 irradiated by the dichroic mirror 16 inserted in the optical path, and the fluorescence image is transmitted by the dichroic mirror 18 Reflected and detected by CCD camera 19.
  • the detected fluorescent image is displayed on the monitor 20 and presented to the operator, and is simultaneously acquired by the computer 10.
  • FIG. 3 is a fluorescence image obtained with a CCD camera during cell manipulation using the microdevice and apparatus. Only the locally fluorescently labeled protrusion 2 1 (corresponding to protrusion 3 in Fig. 1) of this microdevice has a high fluorescence signal, the other U-shaped frame 2 2, the flat plate 2 3, and the opposing wall 2 4 (Corresponding to 1, 2, and 7 in Fig. 1, respectively) do not emit fluorescent signals.
  • the target cell 25 (corresponding to 8 in FIG. 1) does not emit fluorescence, but by adding a fluorescent modification corresponding to the molecule to be visualized, It is easy to observe the fluorescence signal from the surface simultaneously with the manipulation.
  • FIG. 4 is a schematic diagram in which only the projection of the microphone mouth device shown in FIG. 3 is enlarged from the top.
  • the difference 3 0 between the focal position 28 of the laser beam output from the computer via the galvano mirror and the center of gravity 29 of the projection calculated from the image from the CCD camera 3 0 is the optical pressure calibration formula 3 prepared in advance. By substituting for 1, the light pressure acting at this point 27, that is, the working force 26 from the cell is calculated.
  • FIG. 5 is a time-series diagram of the amount of displacement of the cell membrane and the acting force on the cell membrane during compression, which is obtained according to the present invention and is targeted to a yeast cell.
  • the positional relationship between the microdevice and the cell at each time indicated by the dotted line is shown.
  • the yeast cells are suspended in Milli-Q water supplemented with 1 wt% BSA, a 5 m counter-wall is formed in front of the microdevice, and the yeast cells are sandwiched between the counterwall and the microdevice.
  • a fine object capturing mode electrostatic force, magnetic force, optical pressure, fluid force, etc.
  • manipulation of an object Appropriate device shape, mechanism, dimensions in X and Y directions, distance of fluorescent label from contact area with target object, material of micro device (resin, glass, metal, biological polymer, functional fine particle, these )
  • Characteristics of surface materials in microdevices structures in which proteins, polymers, or mixtures of hydrophilic groups are bound, mixed, adsorbed or coated
  • capture in microdevices Characteristics of the material of the part (dielectric fine particles, magnetic fine particles, transparent fine particles, etc.
  • the present invention is a micro device for enabling manipulation of a minute object, and is suitable for manipulation of an object and at least one part captured by electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, etc. And at least one local area that is sufficiently away from the contact area with the object on the microdevice, and having a fluorescent label, Micro ⁇ Easy detection of device position and compatibility with observation of fluorescence of object itself, measurement of minute force and elasticity of intracellular organelles, etc. with higher accuracy Is possible.
  • the dimension in the X, X, or ⁇ direction of the at least one part is less than 100 m, it is possible to more accurately operate the minute object.
  • the microdevice is composed of resin, glass, metal, biopolymer, functional fine particle, or a mixture thereof, it is not affected by dissolution by the liquid, and can be used in the liquid. Reliable operation is possible.
  • each of the parts is formed of a different material among the materials of the resin, glass, metal, biopolymer, functional fine particles, or a mixture thereof.
  • Shape suitable for operations such as point contact with a target micro object, ⁇ ⁇ ⁇ , ⁇ ⁇ , or even target object, rotation, cutting, compression, tension, drilling, etc.
  • the material suitable for adopting can be freely selected and the degree of freedom of design is improved.
  • At least one site captured in the fluid by the electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, etc. includes at least one of dielectric fine particles, magnetic fine particles, and transparent fine particles
  • a micro device including at least one of a dielectric fine particle, a magnetic fine particle, and a transparent fine particle as an object to be manipulated by improving the force for capturing the part in the fluid by force, magnetic force, light pressure, fluid force, etc. Can be operated more effectively.
  • an enzyme a protein, a nucleic acid, an antibody, an extracellular matrix, a lipid, a sugar chain, and an inorganic catalyst is fixed to at least one site having a shape or mechanism suitable for the operation of the object
  • At least one site having a shape or mechanism suitable for the manipulation of the object a liquid containing at least one of an enzyme, protein, nucleic acid, antibody, extracellular matrix, lipid, sugar chain, and inorganic catalyst, or
  • a chemical or biochemical action can be continuously applied to the contact portion to the object by supplying a liquid or a fine particle group.
  • the at least one region is formed by lithography, chemical etching, physical etching, laser removal / cutting, stereolithography, electrical discharge machining, micro cutting, molding, embossing, soft lithography, in When produced by printing, inkjet, printing, or a combination of these, processing associated with the selection of the necessity of fluorescence emission under the excitation wavelength used for fluorescence observation, especially in the local region of the microdevice Fluorescent markers for position detection Knowledge can be easily assigned by various processing methods.
  • the dimension in the XY direction of the at least one fluorescently labeled detection region is less than 50 zm, it is possible to measure the change in elasticity or the like of a fine object on the order of zm with higher accuracy. Is possible.
  • the plurality of fluorescently labeled detection regions have different fluorescence characteristics
  • the plurality of detection regions can be easily identified, and the detection accuracy of the position, direction, and orientation of the microdevice can be improved. improves.
  • the at least one fluorescently labeled detection region contains a fluorescent dye, inorganic fluorescent particles, quantum dots, fluorescent beads, or a mixture thereof, it is located in a local region on the microdevice.
  • a fluorescent label for detection it can be easily performed by simply encapsulating a fixed label.
  • the relationship between the force acting on at least one part captured in the fluid by the electrostatic force, magnetic force, light pressure, fluid force, etc. and the displacement from the equilibrium point has been calibrated theoretically or experimentally.
  • the applied force from the object applied to the micro device that is operating the object can be easily calculated from the displacement and force calibration formula.

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Abstract

本発明は、蛍光観察下で位置を検出することが可能であり、かつ、対象物の蛍光観察を妨げないマイクロデバイスを提供することを目的とする。本発明は、液中の微小物体の操作を可能とするためのマイクロデバイスであって、静電気力、磁気力、光圧力、流体力等によって液中で捕捉される少なくとも1つの部位と、対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも1つの部位とから構成されている。これらの部位の内、少なくとも1つの部位のX-Y方向の寸法が100μm未満であり、かつ、該マイクロデバイス上の対象物8との接触部位2から十分離れた少なくとも1つの局所領域に蛍光標識3を有することにより、蛍光観察下でのマイクロデバイスの位置の検出を容易にするとともに、対象物8自体の蛍光の観察との両立が可能となり、微小な力の計測や細胞内小器官等の弾性等をより精度良く計測することが可能となる。

Description

明細書 微小物体操作 ·計測用の局所蛍光標識マイク口デバイス 技術分野
本発明は、 微小物体の操作を行うためのマイクロデバイスに関する。 より詳細 には、 本発明は、 液中等 (液体はもとより、 気体や真空中にての微小物体の操作 を行うためのマイクロデバイスにも適用が可能である) の流体中で微小物体を操 作するための、 局所的に蛍光ラベルされた 3次元構造を有するマイクロデバイス および、 それを用いた位置 ·作用力計測システムに関する。 背景技術
従来、 液中に分散した微小物体の操作 '計測には、 延伸したガラスピぺッ トゃ 、 MEMS技術を用いて作製した微小ピンセッ ト、 あるいはマイクロビーズ等が 用いられてきた。 光ピンセットと呼ばれるレーザによって捕捉されたマイクロビ —ズと呼ばれる微小球を用いてマイクロ ·ナノサイズの対象物の操作 ·計測は、 屈折率の大きい微小球に光が入射する際に、 屈折によって光の運動量が変化する 力 \ その運動量変化に応じた力が微粒子表面に生じる。 これらの合力がレーザ焦 点に向くために、 微粒子を引き寄せるように働く原理を利用したものである。 中 でも、 光学的、 電気的、 あるいは磁気的な作用力によって捕捉されたマイクロビ ーズを用いて、 微小物体を操作する手法は、 密閉された容器内でも適用可能なこ とや、 多数のマイク口ビーズを分散させることにより多数の対象物の操作が可能 なこと、 さらに可動範囲が大きいこと等から、 細胞や生体分子を扱う研究におい て多用されている (特許文献:特許公開 200 1 - 1 65840 1参照) 。
し力、し、 マイクロビーズは形状が球状体に限定されるため、 摑んだり、 引っ張 つたり、 捩じったりする局所的な操作や、 単分子の操作を行うことは困難であつ た。 そのため、 対象物の操作に適したより複雑な構造を有し、 かつマイクロビー ズと同様に液中分散可能な、 各種マイクロデバイス (非特許文献: App 1 i e d Phy s i c s Le t t e r s, Vo l. 82 (1) , pp. 1 33- 1 3 5, 2 0 0 3、 特許文献:特許公表 2 0 0 5 - 5 0 0 9 1 4、 特許文献:特許 公開 2 0 0 7— 9 7 4 7 5を参照) が開発されてきた。 そして、 本件発明者は、 前述したような光駆動ナノマニピュレータとして、 長さ 1 0 / mに満たない 2自 由度ナノニードル、 2自由度ナノム一バ、 2自由度ナノロボッ トハンドをこれま でに開発し、 数 m径の生細胞の個別遠隔操作に成功している。 通常、 これらのマイクロデバイスは、 顕微鏡に接続されたカメラによって、 明 視野下で観察される。 しかし、 細胞や生体分子を扱う研究においては、 対象物を 蛍光物質で染色している場合が多いため、 蛍光観察下で操作可能なマイクロデバ イスが求められている。 そのためには、 蛍光観察下でもマイクロデバイスの位置 を検出できなければならない。 しかしながら、 マイクロデバイスを蛍光強度の高 い材料で作製した場合、 蛍光のバックグラウンドが高くなり、 対象物自体の蛍光 の観察が妨げられるという問題がある。
そこで本発明では、 前記課題を解決して、 微小物体を操作するためのマイクロ デバイスであって、 蛍光観察下で位置を検出することが可能であり、 かつ、 対象 物の蛍光観察を妨げないマイクロデバイスを提供することを目的とする。 発明の開示
上記目的を達成するために、 本発明が採用した技術解決手段は、 以下の通りで ある。
微小物体の操作を可能とするためのマイクロデバイスであって、 静電気力、 磁 気力、 光圧力、 流体力等によって捕捉される少なくとも 1つの部位と、 対象物の 操作に適した形状あるいは機構を有する少なく とも 1つの部位とからなり、 かつ 、 該マイクロデバイス上の対象物との接触部位から十分離れた少なくとも 1つの 局所領域に蛍光標識を有することを特徴とするマイクロデバイスを構成要件とす
^ o
また前記マイクロデバイスは、 前記少なくとも 1つの部位の X、 Υ、 Ζいずれ かの方向の寸法が 1 0 0 / m未満であることを特徴とする。
また前記マイクロデバイスは、 樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微粒 子、 またはこれらの混合物から構成されることを特徴とする。
また本発明は、 前記各部位が前記樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微 粒子、 またはこれらの混合物の材料の内、 異なる材料によって形成されているこ とを特徴とする。
また本発明は、 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中で捕 捉される少なくとも 1つの部位が、 誘電体微粒子、 磁性微粒子、 透明微粒子の少 なくとも 1つを含むことを特徴とする。
また本発明は、 前記少なくとも 1つの部位の表面に、 親水基を有するタンパク
、 高分子またはこれらの混合物が、 結合、 混合、 吸着、 あるいはコーティングさ れていることを特徴とする。
また本発明は、 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくと も 1つの部位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリ クス、 脂質、 糖鎖 、 無機触媒の少なくとも 1つが固定されていることを特徴とする。
また本発明は、 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくと も 1つの部位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖 、 無機触媒の少なくとも 1つを含む液体、 あるいは微粒子群が供給される構成と なっていることを特徴とする。
また本発明は、 前記少なくとも 1つの部位が、 リ ソグラフィ一、 化学的エッチ ング、 物理的エッチング、 レーザーによる除去 ·切断加工、 ステレオリソグラフ ィ一、 放電加工、 マイクロ切削、 モールディング、 エンボス、 ソフトリソグラフ ィ一、 インプリント、 インクジェッ ト、 印刷のいずれか、 又はこれらの組み合わ せによって作製されたことを特徵とする。
また本発明は、 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域の X— Y方向 の寸法が、 5 0 z m未満であることを特徴とする。
また本発明は、 前記蛍光標識された検出用領域以外の領域に、 別の蛍光特性を 有する蛍光標識を施したことを特徴とする。
また本発明は、 前記蛍光標識された複数の検出用領域が、 それぞれ異なる蛍光 特性を有することを特徴とする。
また本発明は、 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域が、 蛍光色素 、 無機蛍光粒子、 量子ドッ ト、 蛍光ビーズのいずれか、 またはこれらの混合物を 含むことを特徴とする。 また本発明は、 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力 等によって流体中で捕捉される少なくとも 1つの部位に作用する力と平衡点から の変位の関係が、 理論または実験的に校正されていることを特徴とする。 図面の簡単な説明
図 1は本発明の局所蛍光標識マイクロデバイスの概略図である。
図 2は、 同、 局所蛍光標識マイクロデバイスを用いた操作 '計測システムの概 略図である。
図 3は、 同、 前記マイクロデバイスおよび装置を用いて、 細胞を操作中の C C Dカメラで取得した蛍光像図である。
図 4は、 図 3に示したマイクロデバイスの突起のみを上面から拡大した模式図 である。
図 5は、 本発明によって求められ、 イースト菌細胞を例とした圧縮時における 細胞膜の変位量と細胞膜への作用力との時系列図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 図 1は本発明の局所蛍光標 識マイクロデバイスの概略図、 図 2は本発明の局所蛍光標識マイクロデバイスを 用いた操作 ·計測システムの概略図、 図 3は前記マイクロデバイスおよび装置を 用いて、 細胞を操作中の C C Dカメラで取得した蛍光像図、 図 4は図 3に示した マイクロデバイスの突起のみを上面から拡大した模式図、 図 5は本発明によつて 求められた、 ィースト菌細胞圧縮時における細胞膜の変位量と細胞膜への作用力 との時系列図である。
本発明のマイクロデバイスは、 好適には、 樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微粒子、 またはこれらの混合物から構成される。 さらに、 該マイクロデバ イス内の部位ごとに異なる材料が使用されてもよい。 本発明のマイクロデバイス の少なくとも 1つの構成部は、 静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力のいずれか、 またはこれらの組み合わせによって、 液中で操作可能な材料からなり、 操作に適 した形状を有している。 本発明のマイクロデバイスの、 前記部分とは異なる、 さ らに少なくとも 1つの構成部は、 対象となる微小物体との点接触、 線接触、 面接 触、 あるいは対象物体の搬送、 回転、 切断、 圧縮、 引っ張り、 穿孔等の操作に適 した形状を有している。
本マイクロデバイスの対象物と接触する部位においては、 対象物との接着性あ るいは非接着性を制御する目的で、 少なくとも表面上の一部領域に適切な高分子 が存在していることが望ましい。 また、 対象物への化学的、 あるいは生化学的作 用を加えることを目的として、 対象物との接触部位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖、 無機触媒の少なく とも 1つが固定されて いる、 もしくはそれらを含む液体あるいは微粒子群が供給される構成となってい てもよい。 多くの場合、 本発明の実施形態において、 マイクロデバイスの X— Y 一 Zの各次元は 1 0 0 / m未満の構造を形成する。 より好ましくは、 X— Y _ Z の各次元が 1 0〃m未満の構造を形成し、 さらに好ましくは、 少なくとも 1つの 部分の寸法が 5 0 0 n m未満となる。
本発明のマイクロデバイスの少なくとも 1つの部分は、 公知のリソグラフィ一 、 化学的エッチング、 物理的エッチング、 レーザ一による除去,切断加工、 ステ レオリソグラフィ一、 放電加工、 マイクロ切削、 モ一ルディング、 エンボス、 ソ フトリソグラフィ一、 インプリント、 インクジヱッ ト、 印刷のいずれか、 又はこ れらの組み合わせによって作製される。 多くの場合、 本発明の実施形態において 、 該マイクロデバイスの主要部分は、 蛍光観察に使用される励起波長下で、 蛍光 を発しない材料が選択される。 該マイクロデバイスを用いた微小物質操作におい て、 対象物質と近接する該マイクロデバイス上の領域から十分離れた、 該マイク 口デバイス上の局所領域のみに、 位置検出用の蛍光標識が付与される。
本発明のマイクロデバイス上の局所領域に蛍光を付与する方法としては、 蛍光 色素、 無機蛍光粒子、 量子ドッ ト、 蛍光ビーズの少なくとも 1つからなる材料を 、 該局所領域表面に固定する、 または、 該局所領域に内包させることによって実 現される。 本発明のマイクロデバイスは、 該マイクロデバイス上に少なくとも 1 つの局所蛍光標識された検出用の領域を有し、 より好ましくは、 2つの蛍光標識 された検出用領域を有し、 さらに好ましくは 3つ以上の蛍光標識された検出用領 域を有する。 本発明のマイクロデバイスは、 蛍光観察下において、 該マイクロデ バイス上の蛍光が付与された検出用領域からの蛍光シグナルを光学的に取得する ことによって、 位置を検出することが可能である。 該マイクロデバイス上の蛍光 を付与された領域が 2つの場合、 該マイクロデバイスの位置に加え、 方向も検出 することが可能であり、 さらに、 蛍光を付与された領域が 3つ以上の場合には、 姿勢をも検出することが可能である。
本発明の多くの実施形態では、 該マイクロデバイスは、 液中において操作のた めに印加される静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力のいずれか、 又はこれらの組 み合わせによる外力との平衡点、 即ち、 該マイクロデバイスに印加される外力の 合ベクトルが 0となる位置および姿勢を有する。 そのような実施形態では、 該マ イク口デバイスを用いて対象物を操作中の該マイクロデバイスの位置および姿勢 と、 当初の平衡点での位置および姿勢との変位から、 予め理論的あるいは実験的 に求められた、 変位と力の校正式から、 対象物を操作中の該マイクロデバイスに 加わる、 対象物からの作用力を計算により求めることができる。 実施例 1
本実施例は、 液中で細胞を圧縮した際の作用力を計測するための、 光圧力によ つて操作されるマイクロデバイスである。 図 1は本発明の以下の実施例で使用さ れる局所蛍光標識マイクロデバイスの概略図である。 本実施例でのマイクロデバ イスは、 縦 5 ja m , 横 1 0〃m、 高さ 1 z mの U字型のフレーム 1の先端に、 縦 5 m、 高さ 5〃m、 厚さ 1 mの平板 2が固定されている。 U字型フレーム 1 上の平板と反対の端部には円柱状の突起 3が形成されており、 この突起 3のみに 蛍光が付与されている。 また、 この突起 3は光圧力によるトラップに最適な形状 に形成されており、 この突起 3にレーザー光 4を対物レンズ 5を通して集光する ことにより、 突起部に光圧力が作用し、 突起部がレーザー焦点 6に捕捉される。 平板 と対向する位置に壁 7が設置されており、 レーザー焦点 6を移動させるこ とにより、 平板 2と壁 7の間に載置された細胞 8が圧縮される。
本発明者が開発した前述の光駆動マイク口デバイスは、 二光子ナノ光造形法に よって作製する。 非線形現象である二光子吸収を用いた 3次元マイク口加工法で ある。 二光子吸収とは、 光子の密度が非常に高いとき、 二つの光チが I司時に吸収 される現象である。 この現象は焦点近傍でのみ発生する。 この現象を利用して、 紫外線レ一ザ等により液体から固体に固まる光硬化性樹脂を準備しておくことで 、 焦点以外では通常の一光子吸収が起きるが、 エネルギーが足りずに樹脂は硬化 しない。 しかしながら、 焦点付近では二光子吸収は起きるので、 二つの光子を吸 収し、 近赤外線の半波長の紫外線を照射したのと同様の現象が起きて樹脂が硬化 する。 レーザを操作することで任意の 3次元マク口構造物を構築することが可能 でめる。
本マイクロデバイスにおける円柱状の突起 3以外の部分 ( 1、 2、 7。 以下、 第 1の部分) は、 U V硬化性エポキシ系光硬化性樹脂 (ディーメック、 S C R 7 0 1 ) から作製される。 この樹脂を 2光子吸収ステレオリソグラフィ一によって 、 3次元的に硬化させ、 構造を作製する。 図示しての詳述はしないが、 まず、 未 硬化の樹脂が顕微鏡スライドガラス上に載置され、 対物レンズで集光されたフエ ムト秒パルスレーザ一 ( 7 5 6 n m、 8 0 MH z、 T s u n a m i , スぺク トラ フイジクス) が未硬化の樹脂内に照射されることにより、 約 1 0 O n m四方の体 積が硬化する。 レーザーの集光点を X、 Υ、 Ζ方向に移動させることにより、 目 的のマイクロデバイスの第 1の部分の構造が形成される。 次に、 未硬化の樹脂を 洗浄した後、 U V硬化性エポキシ系光硬化性樹脂に蛍光色素ローダミン Βを混合 した樹脂を、 第 1の部位が形成されたスライドガラス上に載置し、 前記と同じ手 法により、 円柱状の突起 3の構造を形成する。 これにより、 本マイクロデバイス の突起 3のみに蛍光が付与される。
光駆動には、 赤外線レーザを用いる。 前記光駆動マイクロデバイスの後部には トラップポィントと呼ぶ円柱状の突起を付加する工夫で光のトラップカを数倍か ら数十倍の増大させることができる。 マイクロビーズの場合と同様の原理で、 ト ラップボイントはレーザ焦点に引き寄せられる。 ガルバノスキャナミラ一でレ一 ザを走查すると、 それに追従してマイクロデバイスが水溶液中で運動する。 トラ ップボイントにレ一ザを集光させると、 トラップボイントはバネのようにレーザ 焦点に捕捉される。 屈折率の大きいトラップポイントに光が入射する際、 屈折に よって光の運動量が変わり、 その運動量変化に応じた力がトラップボイント表面 に生じて、 これらの合力はレーザ焦点にトラップボイントは引き奇 りれるよつ に作用する。 レ一ザ焦点とトラップポイントに中心との距離が離れる程、 合力は 大きくなる。 したがって、 マイクロデバイスに作用する力 Fとトラップポイント 中心 X rからレーザ焦点 までの変位 5の関係を予め明らかにしておけば、 変 位 5からトラップボイントに作用する外力を計測することが可能である。
図 2は以下の実施例で使用する本発明の局所蛍光標識マイクロデバイスを用い た操作 '計測システムの概略図である。 本装置システムは、 マイクロデバイスの 操作および計測に用いるものである。 操作者は、 コントローラリモコン 9を操作 し、 その操作量を計算機 1 0が取得する。 計算機 1 0は操作量を 1組のガルバノ ミラ一 1 1の回転量に変換し、 出力する。 赤外レーザー光 1 2は、 ガルバノ ミラ — 1 1によって偏向され、 対物レンズ 1 3を通して、 マイクロデバイスの突起 1 4 (前記図 1の突起 3に相当) に集光される。 突起 1 4はレーザ一光の焦点に捕 捉されているため、 コントローラ 9を操作することにより、 マイクロデバイスを 任意に操作することができる。 マイクロデバイス 1 4および、 対象物 1 5は、 光 路中に挿入されたダイクロイツクミラ一 1 6によって照射される励起光 1 7によ つて、 蛍光を発し、 蛍光像はダイクロイツクミラー 1 8により反射されて、 C C Dカメラ 1 9により検出される。 検出された蛍光像は、 モニター 2 0上に表示さ れ、 操作者に提示されると同時に、 計算機 1 0によって取得される。
図 3は前記マイクロデバイスおよび装置を用いて、 細胞を操作中の C C Dカメ ラで取得した蛍光像図である。 本マイクロデバイスの局所蛍光標識された突起 2 1 (前記図 1の突起 3に相当) のみが高い蛍光シグナルを有し、 他の U字型フレ —ム 2 2、 平板 2 3、 対抗壁 2 4 (それぞれ前記図 1の 1、 2、 7に相当) は蛍 光シグナルを発していない。 また、 対象の細胞 2 5 (前記図 1の 8に相当) は本 実施例では、 蛍光を発していないが、 可視化するべき分子に対応した蛍光修飾を 加えることにより、 該細胞内あるレ、は表面からの蛍光シグナルを操作と同時に観 察することは容易である。 さらに、 この C C D画像を計算機に取得し、 蛍光標識 された突起 2 1の重心位置を計算することで、 マイクロデバイスの位置を正確に 求めることができる。 本実施形態での重心位置の計算アルゴリズムには、 テンプ レートマッチング、 輝度重心、 エッジ検出、 ハフ変換等を用いているが、 何らこ れらに限られるものではない。 この時、 取得画像上で突起 2 1を探索する範囲 2 6を予め限定しておくことにより、 計算時間を短縮することが可能である。 図 4は図 3に示したマイク口デバイスの突起のみを上面から拡大した模式図で ある。 前述の操作時、 細胞 2 5からマイクロデバイスに作用する力 2 6と、 レー ザ一光による光圧力 2 7が平衡状態にある。 計算機からガルバノ ミラーを介して 出力されたレーザー光の焦点位置 2 8と、 C C Dカメラによる画像から計算され た突起の重心位置 2 9との差分 3 0を、 予め用意された光圧力の校正式 3 1に代 入することにより、 この時点で作用している光圧力 2 7すなわち、 細胞からの作 用力 2 6が計算される。
図 5は本発明によって求められ、 ィ一スト菌細胞を対象例とした圧縮時におけ る細胞膜の変位量と細胞膜への作用力との時系列図である。 点線で示された各時 刻における、 マイクロデバイスと細胞との位置関係が示されている。 イースト菌 細胞は、 B S A 1 w t %添加したミ リ Q水に懸濁し、 マイクロデバイスの前方に 5 mの対抗壁を造形して、 該対抗壁とマイクロデバイスとの間にィースト菌細 胞を挟んで、 0 . 5 H z周期で細胞圧縮をしながら、 反力をリアルタイムで計測 することに成功した。 かく して、 マイクロデバイスの位置と細胞反力が連続的に 計測され、 画像により、 イースト菌細胞は最大で 0 . 0 9 9 ^ m変形したことが 分かった。 本実施形態では、 局所的に蛍光標識されたマイクロデバイスを、 光圧 力によって操作することにより、 蛍光観察下で、 細胞周辺の蛍光バックグラウン ドを上げることなく、 細胞の観察と操作、 作用力の計測が同時に実現された。 以上、 本発明の各実施の形態について説明してきたが、 本発明の趣旨の範囲内 で、 微小物体の捕捉形態 (静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等) 、 対象物の操 作に適したデバイスの形状、 機構、 その X - Y方向の寸法、 対象物との接触部位 からの蛍光標識の距離、 マイクロデバイスの材質 (樹脂、 ガラス、 金属、 生体高 分子、 機能性微粒子、 これらの混合物等またはそれらの混合物) 、 マイクロデバ イスにおける表面の素材の特性 (親水基を有するタンパク、 高分子、 またはこれ らの混合物が結合、 混合、 吸着あるいはコーティングされる構成等) 、 マイクロ デバイスにおける捕捉部位の素材の特性 (誘電体微粒子、 磁性微粒子、 透明微粒 子等。 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鏆、 無機触媒 の少なくとも 1つが固定されてもよいし、 それらの 1つを、 含む液体、 あるいは 微粒子群が供給される構成) 、 形状あるいは機構、 マイクロデバイスにおける捕 捉部位の加工形態 (リソグラフィ一、 化学的エッチング、 物理的エッチング、 レ 一ザ一による除去 ·切断加工、 ステレオリソグラフィ一、 放電加工、 マイクロ切 削、 モールディ ング、 エンボス、 ソフトリソグラフィ一、 インプリント、 インク ジェッ ト、 印刷のいずれか、 又はこれらの組み合わせ) 、 蛍光標識された検出用 領域の X— Y方向の寸法、 蛍光標識の蛍光特性、 検出用領域における蛍光標識の 作製形態 (蛍光色素、 無機蛍光粒子、 量子ドッ ト、 蛍光ビーズのいずれか、 また はこれらの混合物等) 、 静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって液中で捕 捉される少なくとも 1つの部位に作用する力と平衡点からの変位の関係の、 理論 または実験的に校正形態等については適宜選定できる。 詳細な説明中の各諸元等 については限定的に解釈してはならない。 産業上での利用可能性
本発明によれば、 微小物体の操作を可能とするためのマイクロデバイスであつ て、 静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって捕捉される少なくとも 1つの 部位と、 対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なく とも 1つの部位 とからなり、 かつ、 該マイクロデバイス上の対象物との接触部位から十分離れた 少なくとも 1つの局所領域に蛍光標識を有することにより、 蛍光観察下でのマイ ク Πデバイスの位置の検出を容易にするとともに、 対象物自体の蛍光の観察との 両立が可能となり、 微小な力の計測や細胞内小器官等の弾性等をより精度良く計 測することが可能となる。
また、 前記少なくとも 1つの部位の X、 Υ、 Ζいずれかの方向の寸法が 1 0 0 m未満である場合は、 微小物体の操作をより精確に行うことが可能となる。 また、 前記マイクロデバイスは、 樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微 粒子、 またはこれらの混合物から構成される場合は、 液による溶解等の影響を受 けることがなく、 液中での確実な操作が可能となる。
さらに、 前記各部位が前記樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微粒子、 またはこれらの混合物の材料の内、 異なる材料によって形成されている場合は、 適材を適所に使用して、 対象となる微小物体との点接触、 龈拔卿、 囬拨舰、 め いは対象物体の搬送、 回転、 切断、 圧縮、 引っ張り、 穿孔等の操作に適した形状 を採用するのに適した素材を自由に選定することができて、 設計の自由度が向上 する。
さらにまた、 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中で捕捉 される少なくとも 1つの部位が、 誘電体微粒子、 磁性微粒子、 透明微粒子の少な くとも 1つを含む場合は、 静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中 で前記部位を捕捉する力が向上し、 操作すべき対象物を、 誘電体微粒子、 磁性微 粒子、 透明微粒子の少なくとも 1つを含むマイクロデバイスによってより効果的 に操作することができる。
また、 前記少なくとも 1つの部位の表面に、 親水基を有するタンパク、 高分子 またはこれらの混合物が、 結合、 混合、 吸着、 あるいはコ一ティングされている 場合は、 表面の接着力が低下し、 液中での操作がより容易となる。
さらに、 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも 1つ の部位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖、 無機 触媒の少なくとも 1つが固定されている場合は、 対象物への接触部に化学的ある いは生化学的作用を加えることができて、 試験条件等の選択領域の幅が増大する o
さらに、 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも 1つ の部位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖、 無機 触媒の少なくとも 1つを含む液体、 あるいは微粒子群が供給される構成となって いる場合は、 対象物への接触部に液体、 あるいは微粒子群の供給により、 化学的 あるいは生化学的作用を連続的に加えることができる。
さらにまた、 前記少なくとも 1つの部位が、 リソグラフィー、 化学的エツチン グ、 物理的エッチング、 レーザ一による除去 ·切断加工、 ステレオリソグラフィ 一、 放電加工、 マイクロ切削、 モ一ルディング、 エンボス、 ソフトリソグラフィ 一、 インプリント、 インクジェッ ト、 印刷のいずれか、 又はこれらの組み合わせ によって作製された場合は、 蛍光観察に使用される励起波長下での蛍光発光の要 否の選択に伴う加工、 特にマイクロデバイスの局所領域での位置検出用の蛍光標 識の付与等が各種加工法によつて容易に行える。
また、 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域の X— Y方向の寸法が 、 5 0 z m未満である場合は、 z mオーダの微細な対象物の弾性等の変化をより 精度良く計測することが可能となる。
さらに、 前記蛍光標識された検出用領域以外の領域に、 別の蛍光特性を有する 蛍光標識を施した場合は、 マイクロデバイスの位置の検出はもとより、 方向等や 姿勢も蛍光標識の識別力によつて精度よく検出することが可能となる。
さらにまた、 前記蛍光標識された複数の検出用領域が、 それぞれ異なる蛍光特 性を有する場合は、 複数の検出用領域を容易に識別でき、 マイクロデバイスの位 置や方向さらには姿勢の検出精度が向上する。
また、 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域が、 蛍光色素、 無機蛍 光粒子、 量子ドッ ト、 蛍光ビーズのいずれか、 またはこれらの混合物を含む場合 は、 マイクロデバイス上の局所領域に位置検出用の蛍光標識を付与する方法とし て、 固定あるレ、は内包させるだけで容易に行える。
さらに、 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中で捕捉され る少なく とも 1つの部位に作用する力と平衡点からの変位の関係が、 理論または 実験的に校正されている場合は、 変位と力の校正式から、 対象物を操作中のマイ クロデバイスに加わる対象物からの作用力を計算により容易に求めることができ る。
以上のように、 本発明によれば、 特に液中で、 微小な対象物を蛍光観察しなが ら、 同時に、 対象物に搬送、 回転、 切断、 圧縮、 引っ張り、 穿孔等の操作を加え 、 さらに同時に対象物からの作用力を計測することができる。 その結果、 細胞や 生体分子等を蛍光観察しながら、 同時に操作を加え、 それに対する反応を観察す るという、 新たな実験手法が可能となった。

Claims

請求の範囲
1 . 微小物体の操作を可能とするためのマイクロデバイスであって、 静電気力 、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって捕捉される少なくとも 1つの部位と、 対象 物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも 1つの部位とからなり、 かつ、 該マイクロデバイス上の対象物との接触部位から十分離れた少なくとも 1 つの局所領域に蛍光標識を有することを特徴とするマイクロデバイス
2 . 前記少なくとも 1つの部位の X、 Y、 Ζいずれかの方向の寸法が 1 0 0 m未満であることを特徵とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
3 . 樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微粒子、 またはこれらの混合物 から構成されることを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
4 . 前記各部位が前記樹脂、 ガラス、 金属、 生体高分子、 機能性微粒子、 また はこれらの混合物の材料の内、 異なる材料によって形成されていることを特徴と する請求項 1に記載のマイクロデバイス。
5 . 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中で捕捉される少 なくとも 1つの部位が、 誘電体微粒子、 磁性微粒子、 透明微粒子の少なくとも 1 つを含むことを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
6 . 前記少なくとも 1つの部位の表面に、 親水基を有するタンパク、 高分子ま たはこれらの混合物が、 結合、 混合、 吸着、 あるいはコーティングされているこ とを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
7 . 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも 1つの部 位に、 酵素、 タンパク、.核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖、 無機触媒 の少なくとも 1つが固定されていることを特徴とする請求項 1に記載のマイクロ デバイス。
8 . 前記対象物の操作に適した形状あるいは機構を有する少なくとも 1つの部 位に、 酵素、 タンパク、 核酸、 抗体、 細胞外マトリクス、 脂質、 糖鎖、 無機触媒 の少なくとも 1つを含む液体、 あるいは微粒子群が供給される構成となっている ことを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
9 . 前記少なくとも 1つの部位が、 リソグラフィ一、 化学的エッチング、 物理 的エッチング、 レーザ一による除去 '切断加工、 ステレオリソグラフィー、 放電 加工、 マイクロ切削、 モールディング、 エンボス、 ソフトリソグラフィ一、 イン プリント、 インクジェッ ト、 印刷のいずれか、 又はこれらの組み合わせによって 作製されたことを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
1 0 . 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域の X— Y方向の寸法が 、 5 0 z m未満であることを特徵とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
1 1 . 前記蛍光標識された検出用領域以外の領域に、 別の蛍光特性を有する蛍 光標識を施したことを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
1 2 . 前記蛍光標識された複数の検出用領域が、 それぞれ異なる蛍光特性を有 することを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
1 3 . 前記少なくとも 1つの蛍光標識された検出用領域が、 蛍光色素、 無機蛍 光粒子、 量子ドッ ト、 蛍光ビーズのいずれか、 またはこれらの混合物を含むこと を特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバィス。
1 4 . 前記静電気力、 磁気力、 光圧力、 流体力等によって流体中で捕捉される 少なくとも 1つの部位に作用する力と平衡点からの変位の関係が、 理論または実 験的に校正されていることを特徴とする請求項 1に記載のマイクロデバイス。
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