WO2009071502A1 - Linear guide having vibration damper - Google Patents

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WO2009071502A1
WO2009071502A1 PCT/EP2008/066505 EP2008066505W WO2009071502A1 WO 2009071502 A1 WO2009071502 A1 WO 2009071502A1 EP 2008066505 W EP2008066505 W EP 2008066505W WO 2009071502 A1 WO2009071502 A1 WO 2009071502A1
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carriage
guide
linear guide
pressure chamber
gap
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PCT/EP2008/066505
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Peter Lutz
Dietmar Rudy
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Schaeffler Kg
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Abstract

The invention relates to a linear guide having a guide carriage (1) displaceably disposed on a guide rail (2), having a connection (21) for clamping a machine part, for example a toolholder or machine table, and at least one bearing surface disposed at a distance from the connection (21) for supporting the guide carriage (1) on the guide rail (2), wherein the guide carriage (1) comprises an upper carriage segment (9) comprising the connection (21) and a lower carriage segment (10) comprising the at least one bearing surface, and wherein a gap (11) is provided between the upper carriage segment (9) and the lower carriage segment (10), and wherein limited relative displacements between the two carriage segments (9, 10) are provided without relative displacements between the lower carriage segment (10) and the guide rail (2), and having a vibration damper disposed effectively between the two carriage segments (9, 10) for damping vibrations, wherein a lift device (20) for a variable lift of the upper carriage segment (9) relative to the lower carriage segment (10) is provided in the gap (11), wherein the lift device (20) is used as a vibration damper (22).

Description

Linearführung mit Schwingungsdämpfer Linear guide with vibration damper
Die vorliegende Erfindung betrifft Linearführungen, bei denen ein Führungswagen auf einer Führungsschiene längsverschieblich angeordnet ist.The present invention relates to linear guides, in which a carriage is arranged longitudinally displaceable on a guide rail.
Aus DE 42 27 936 A1 beispielsweise ist eine Linearführung nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 bekannt geworden. Bei dieser Linearfüh- rung weist der Führungswagen einen oberen und einen unteren Wagenabschnitt auf, zwischen denen ein Spalt ausgebildet ist. Zwischen diesen beiden Wagenabschnitten sind seitliche Relativverschiebungen möglich, um beispielsweise Lagetoleranzen ausgleichen zu können. Zusätzlich zu dieser Schiebeeinrichtung ist in einem weiteren zwischen diesen beiden Wagenab- schnitten angeordneten Spalt ein Schmierfilmdämpfer gebildet. Der Spalt kann typischerweise eine Größe von einigen 10 μm aufweisen. Ein Speisekanal ist an diesen Spalt angeschlossen, sodass beispielsweise Öl mühelos und konstant in diesen Spalt hineintransportiert werden kann, um den Schmierfilmdämpfer zu bilden.From DE 42 27 936 A1, for example, a linear guide has become known according to the features of the preamble of claim 1. In this linear guide, the guide carriage has an upper and a lower carriage section, between which a gap is formed. Relative lateral displacements are possible between these two carriage sections in order to be able to compensate for positional tolerances, for example. In addition to this sliding device, a lubricating film damper is formed in a further gap arranged between these two carriage sections. The gap may typically be a few tens of microns in size. A feed channel is connected to this gap, so that, for example, oil can be effortlessly and constantly transported into this gap to form the lubricating film damper.
Linearführungen werden zu einem überwiegenden Teil in Produktionsmaschinen im Bereich der spanenden Formgebung eingesetzt. In der ständigen Weiterentwicklung derartiger Linearführungen werden deren Leistungs- und Dynamikgrenzen zunehmend angehoben. Als Folge dieser Anhebung müssen die zu bewegenden Masseanteile deutlich reduziert werden. Der Wegfall von Masse bedingt jedoch eine erhöhte Anfälligkeit für statische Verformungen und beispielsweise regenerative Rattererscheinungen, die auf Schwingungen zurückzuführen sind, die in den leichter gewordenen Bauteile zurückzuführen sind.Linear guides are predominantly used in production machines in the field of metal forming. In the continuous development of such linear guides whose power and dynamic limits are increasingly raised. As a result of this increase, the mass fractions to be moved must be significantly reduced. The omission of mass, however, causes an increased susceptibility to static deformations and, for example, regenerative chatter phenomena, which are due to vibrations that are due to the lighter components.
Demzufolge besteht ein großes Bedürfnis Linearführungen bereitzustellen, die einerseits in der Lage sind Schwingungen sowohl statisch als auch dynamisch zu dämpfen und andererseits beispielsweise Fehlpositionierungen durch entsprechende Einrichtungen an der Linearführung zu kompensieren.Accordingly, there is a great need to provide linear guides that are able to vibrate both statically and dynamically on the other hand, for example, to compensate for incorrect positioning by appropriate facilities on the linear guide.
Bei der bekannten geschriebenen Linearführung sind zwar seitliche Relativver- Schiebungen zwischen den beiden Wagenabschnitten des Führungswagens möglich, und weiterhin ist auch eine statische Schwingungsdämpfung mittels des eingesetzten Schmierfilmdämpfers möglich. Eine dynamische Schwingungsdämpfung ist jedoch nicht vorgesehen. Außerdem sind zwischen den beiden Wagenabschnitten Wälzkörpersätze angeordnet, die Relativverschie- bungen zwischen den beiden Wagenabschnitten begünstigen sollen, jedoch begünstigen derartige Wälzkörpersätze wiederum die Anfälligkeit derartiger Linearführungen für dynamische Schwingungen.Although in the known written linear guide lateral Relativver- sliding between the two car sections of the carriage are possible, and also a static vibration damping by means of the lubricating film damper used is possible. However, a dynamic vibration damping is not provided. In addition, rolling element sets are arranged between the two carriage sections which are intended to promote relative displacements between the two carriage sections, but such rolling element sets in turn favor the susceptibility of such linear guides to dynamic vibrations.
Die geschilderte Problematik wird mit der erfindungsgemäßen Linearführung gelöst.The described problem is solved with the linear guide according to the invention.
Dadurch, dass in dem Spalt - der vorzugsweise als einziger Spalt zur Unterteilung in die beiden Wagenabschnitte vorgesehen ist - eine Hubvorrichtung für einen variablen Hub des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt vorgesehen ist, wobei die Hubvorrichtung als Schwingungsdämpfer verwendet wird, bietet die Erfindung den Vorteil, dass für eine gegebenenfalls erforderliche Kompensation von Fehlpositionierungen einerseits sowie eine vorzugsweise dynamische Schwingungsdämpfung andererseits durch dieselben technischen Mittel ermöglicht wird. Die Erfindung ermöglicht demzufolge Linearführungen, die einfach aufgebaut sind, und bei denen Schwingungsdämpfung und Hubverstellung durch dieselben technischen Maßnahmen ermöglicht sind.Characterized in that in the gap - which is preferably provided as the only gap for subdivision into the two car sections - a lifting device for a variable stroke of the upper carriage portion opposite the lower carriage portion is provided, wherein the lifting device is used as a vibration damper, the invention offers the advantage in that for an optionally required compensation of incorrect positioning on the one hand and a preferably dynamic vibration damping on the other hand is made possible by the same technical means. The invention thus allows linear guides that are simple in construction, and where vibration damping and stroke adjustment are made possible by the same technical measures.
Es wurde herausgefunden, dass Hubverstellungen bis zu 100 μm ausreichen, um Fehlpositionierungen oder spielbehaftete Toleranzen auszugleichen, beispielsweise Materialdehnungen als Folge von Temperaturänderungen. Bei einer erfindungsgemäßen Linearführung kann der Spalt beispielsweise mit einer hydraulischen Flüssigkeit gefüllt sein, wobei in diesem Fall der Spalt als Druckkammer ausgebildet sein kann. Wenn nun die Flüssigkeit mit Druck beaufschlagt wird, wächst der Druck in der Druckkammer und die entsprechende Anordnung der beiden Wagenabschnitte ermöglicht einen Hub des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt, beispielsweise um 70 μm. Gleichzeitig kann über ein geeignetes Leistungsteil mit einer entsprechenden Steuerung und Regelung eine gezielte Schwingungskompensation erzeugt werden, sodass in der Druckkammer gezielte Druckschwingungen aufgebaut werden, die in unerwünschter Weise wirkenden dynamischen Schwingungen entgegengesetzt sind, sodass eine Kompensation erzielt wird, die einen ruhigen Lauf des Führungswagens gegenüber der Führungsschiene ermöglicht. Demzufolge kann mit einfachen Mitteln - beispielsweise hydraulische Flüssigkeit - in dem als Druckkammer ausgebildeten Spalt der beschrie- bene kombinatorische Effekt einer Hubverstellung sowie einer dynamischen Schwingungsdämpfung erzielt werden.It has been found that stroke adjustments up to 100 microns are sufficient to compensate for misalignments or clearance tolerances, such as material strain due to temperature changes. In a linear guide according to the invention, the gap may for example be filled with a hydraulic fluid, in which case the gap may be formed as a pressure chamber. Now, when the liquid is pressurized, the pressure in the pressure chamber increases and the corresponding arrangement of the two carriage sections allows a stroke of the upper carriage portion relative to the lower carriage portion, for example by 70 microns. At the same time a targeted vibration compensation can be generated via a suitable power unit with an appropriate control and regulation, so that in the pressure chamber targeted pressure oscillations are built up, which are opposite in an undesirable manner acting dynamic vibrations, so that a compensation is achieved, compared to a smooth running of the carriage allows the guide rail. Consequently, the described combinatorial effect of a stroke adjustment and a dynamic vibration damping can be achieved with simple means-for example hydraulic fluid-in the gap formed as a pressure chamber.
Alternative erfindungsgemäße Hubvorrichtungen sehen die Verwendung von piezoelektrischen Materialien vor, die in dem Spalt angeordnet sind. Durch die gerichtete Verformung eines piezoelektrischen Materials bilden sich mikroskopische Dipole innerhalb der Elementarzellen; es findet eine Verschiebung der Ladungs-Schwerpunkte statt. Die Aufsummierung über alle Elementarzellen des Kristalls führt zu einer makroskopisch messbaren elektrischen Spannung. Gerichtete Verformung bedeutet, dass der angelegte Druck nicht von allen Sei- ten auf die Probe wirkt, sondern beispielsweise nur von gegenüberliegenden Seiten aus. Umgekehrt kann durch Anlegen einer elektrischen Spannung beispielsweise ein Kristall (bzw. das Bauteil aus Piezokeramik) verformt werden.Alternative lifting devices of the invention provide for the use of piezoelectric materials disposed in the gap. The directed deformation of a piezoelectric material forms microscopic dipoles within the unit cells; There is a shift in the charge centers. The summation over all unit cells of the crystal leads to a macroscopically measurable electrical voltage. Directional deformation means that the applied pressure does not act on all sides of the sample, but only on opposite sides, for example. Conversely, by applying an electrical voltage, for example, a crystal (or the component made of piezoceramic) can be deformed.
Wie auch jeder andere Festkörper können piezoelektrische Körper mechani- sehe Schwingungen ausführen. Bei piezoelektrischen Werkstoffen können diese Schwingungen einerseits elektrisch angeregt werden, bewirken andererseits auch wieder eine elektrische Spannung. Die Frequenz der Schwingung ist nur von der Schallgeschwindigkeit und den Abmessungen des piezoelektrischen Körpers abhängig, wobei die Schallgeschwindigkeit eine Material konstante ist. Dadurch sind piezoelektrische Bauteile auch für Oszillatoren geeignet.Like any other solid, piezoelectric bodies can perform mechanical oscillations. In piezoelectric materials, these vibrations can be electrically excited on the one hand, on the other hand cause again an electrical voltage. The frequency of the oscillation is only from the speed of sound and the dimensions of the piezoelectric body, the sound velocity is a material constant. As a result, piezoelectric components are also suitable for oscillators.
Wichtigster Materialparameter für den inversen Piezoeffekt und damit für Aktoren ist die piezoelektrische Ladungskonstante. Sie beschreibt den funktionalen Zusammenhang zwischen der angelegten elektrischen Feldstärke und der damit erzeugten Dehnung. Die charakteristischen Größen eines piezoelektrischen Wandlers sind unterschiedlich für die verschiedenen Wirkrichtungen.The most important material parameter for the inverse piezo effect and thus for actuators is the piezoelectric charge constant. It describes the functional relationship between the applied electric field strength and the strain generated thereby. The characteristic sizes of a piezoelectric transducer are different for the different directions of action.
Im Bereich der Aktorik sind zwei Haupteffekte relevant: Erstens ist zu erwähnen der piezoelektrische Quer- oder Transversaleffekt, wobei die mechanische Kraft quer zum angelegten Feld wirkt. Der zweite Haupteffekt ist der piezoelektrischer Längs- oder Longitudinaleffekt. Die mechanische Kraft wirkt parallel zum angelegten Feld.In the field of actuators, two main effects are relevant: First, mention must be made of the piezoelectric transverse or transverse effect, with the mechanical force acting transversely to the applied field. The second main effect is the piezoelectric longitudinal or longitudinal effect. The mechanical force acts parallel to the applied field.
Aus dem piezoelektrischen Quer- und Längseffekt ergeben sich drei verschiedene Grundelemente für piezoelektrische Aktoren: der Dickenschwinger, das Querdehnelement, der Bimorph. Hierbei ist der Bimorph eine Kombination aus zwei Querdehnelementen. Eine entgegengesetzte Ansteuerung der Elemente bewirkt eine Verbiegung des Aktors, weshalb dieser eine getrennte Bezeichnung erhältThe piezoelectric transverse and longitudinal effects result in three different basic elements for piezoelectric actuators: the thickness oscillator, the transverse expansion element, the bimorph. Here, the bimorph is a combination of two transverse expansion elements. An opposite control of the elements causes a bending of the actuator, which is why this receives a separate name
Für die vorliegende Erfindung eignet sich insbesondere der zuvor erwähnte Dickenschwinger. Die Verformung beim Anlegen einer Spannung kann bei dem Dickenschwinger als Aktor benutzt werden, der auch als Piezopositionierer bezeichnet werden kann. Erfindungsgemäß können auch mehrere Piezopositionierer in dem Spalt und je nach Art der Anwendung in Parallel- oder Reihenschaltung angeordnet werden. Piezopositionierer erlauben durch die Verfor- mung eines oder mehrerer Piezoelemente präzise Bewegungen, die vorliegend insbesondere zur dynamischen Schwingungsdämpfung bei erfindungsgemäßen Linearführungen eingesetzt werden können. Die beiden Wagenabschnitte werden unter der Wirkung des aktiven piezoelektrischen Aktors relativ zueinander in den Hubrichtungen verschoben. Diese Verschiebung kann dann statisch sein, oder auch dynamisch.In particular, the above-mentioned thickness vibrator is suitable for the present invention. The deformation when applying a voltage can be used in the thickness vibrator as an actuator, which can also be referred to as a piezo-positioner. According to the invention, a plurality of piezo positioners can also be arranged in the gap and, depending on the type of application, in parallel or series connection. By means of the deformation of one or more piezo elements, piezo positioners allow precise movements which, in the present case, can be used in particular for dynamic vibration damping in linear guides according to the invention. The two car sections are shifted relative to each other in the lifting directions under the action of the active piezoelectric actuator. This shift can then be static, or dynamic.
Selbstverständlich sind andere Hubvorrichtungen denkbar. Beispielsweise kann in dem zwischen den beiden Wagenabschnitten ausgebildeten Spalt ein elektroaktives Polymer eingesetzt sein, dass beim Anlegen einer elektrischen Spannung seine Form ändern kann. Je nach den Anforderungen an eine dynamische Schwingungsdämpfung können geeignete Schwingungsdämpfer zu Einsatz kommen, die zugleich auch als Hubvorrichtung geeignet sind.Of course, other lifting devices are conceivable. For example, in the gap formed between the two carriage sections, an electroactive polymer may be used that can change its shape when an electrical voltage is applied. Depending on the requirements of a dynamic vibration damping suitable vibration dampers can be used, which are also suitable as a lifting device.
Im Fall des als Druckkammer ausgebildeten Spaltes kann diese Druckkammer volumenveränderlich sein. Es ist möglich mittels dynamischer Beaufschlagung der Druckkammer mit Druck bestimmte Hubfrequenzen, sowie bestimmte Hub- amplituden des oberen Wagenabschnittes gegenüber dem unteren Wagenabschnitt einzustellen. Diese gezielte Einstellbarkeit kann unerwünschte Schwingungen derart überlagern, dass ein ruhiges Gleiten des Führungswagens ermöglicht ist, und zugleich eine bestimmte Hubposition sicherstellen.In the case of the gap formed as a pressure chamber, this pressure chamber may be variable in volume. It is possible by means of dynamic loading of the pressure chamber to set certain stroke frequencies as well as certain lifting amplitudes of the upper carriage section relative to the lower carriage section. This targeted adjustability can superimpose unwanted vibrations such that a smooth sliding of the carriage is made possible, while ensuring a certain stroke position.
Die beiden Wagenabschnitte können einstückig miteinander verbunden sein. In diesem Fall sind zweckmäßigerweise verbleibende Stegbereiche, die die beiden Wagenabschnitt miteinander verbinden, derart dünnwandig und flexibel ausgeführt, dass eine Vergrößerung des Spaltes - beispielsweise mittels Druckbeaufschlagung - möglich ist. Das bedeutet, es können elastisch aus- lenkbare Wandabschnitte den oberen Wagenabschnitt mit dem unteren Wagenabschnitt einstückig verbinden. Vorzugsweise begrenzen diese auslenkbaren Wandabschnitte die Druckkammer. Das bedeutet, es sind keine separaten Dichtungen erforderlich, um die Druckkammer druckdicht zu halten.The two carriage sections can be integrally connected to each other. In this case, remaining web portions which connect the two carriage sections to one another are expediently made so thin-walled and flexible that an enlargement of the gap-for example by means of pressurization-is possible. This means that elastically deflectable wall sections can connect the upper carriage section to the lower carriage section in one piece. Preferably, these deflectable wall sections limit the pressure chamber. This means that no separate seals are required to keep the pressure chamber pressure-tight.
In bekannter Weise ist der Führungswagen vorzugsweise im Querschnitt gesehen etwa U-förmig ausgebildet, wobei zwei Schenkel des Führungswagens über einen Boden miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen mit seinen beiden Schenkeln die Führungsschiene umgreift, und wobei der Boden mit der Druckkammer versehen ist, die an ihren beiden Längsseiten jeweils von einer in Längsrichtung des Führungswagens angeordneten Längsbohrung begrenzt ist, und wobei zwischen einer äußeren Begrenzungsfläche des Füh- rungswagens und jeder der beiden Längsbohrungen ein elastisch auslenkbarer Wandabschnitt ausgebildet ist. Fertigungstechnisch gesehen können die Längsbohrungen in dem ansich bekannten Führungswagen problemlos erstellt werden, sodass in erwünschter Weise elastisch auslenkbare Wandabschnitte hergestellt sind, um eine elastische Vergrößerung des Spaltes zu ermöglichen.In known manner, the carriage is preferably formed in cross-section approximately U-shaped, wherein two legs of the carriage are connected to each other via a floor, wherein the carriage with his two legs, the guide rail engages, and wherein the bottom is provided with the pressure chamber, which is bounded on both its longitudinal sides by a longitudinal direction of the guide carriage longitudinal bore, and wherein between an outer boundary surface of the guide carriage and each of the two longitudinal bores elastically deflectable wall portion is formed. In terms of manufacturing technology, the longitudinal bores can be easily created in the carriage known per se, so that elastically deflectable wall sections are produced in the desired manner, in order to allow an elastic enlargement of the gap.
An der äußeren Kontur des Führungswagens kann eine zu der Längsbohrung parallel angeordnete und zur Umgebung des Führungswagens hin geöffnete Längsnut ausgebildet sein, die gemeinsam mit der Längsbohrung wenigstens einen Abschnitt des elastisch auslenkbaren Bandabschnitts begrenzt. Diese Längsnut ist also so positioniert, dass sie gemeinsam mit der Längsbohrung eine geeignete Elastizität der Wandabschnitte bereitstellt.On the outer contour of the guide carriage, a longitudinal groove parallel to the longitudinal bore and open to the surroundings of the guide carriage can be formed which, together with the longitudinal bore, delimits at least a portion of the elastically deflectable band section. This longitudinal groove is thus positioned so that it provides a suitable elasticity of the wall sections together with the longitudinal bore.
Eine alternative erfindungsgemäße Weiterbildung sieht vor, dass die beiden Wagenabschnitte durch voneinander getrennte Wagenteile gebildet sind, die mittels Dehnschrauben miteinander verbunden sind. In diesem Fall können diese beiden Wagenteile den Spalt begrenzen. Da in dieser Situation die Wandung der Druckkammer einen Übergangsbereich von dem unteren Wagenteil zu dem oberen Wagenteil aufweist, kann es zweckmäßig sein, zwischen den beiden Wagenteilen eine Dichtung, insbesondere einen O-Ring vorzusehen, der die Druckkammer gegenüber der Umgebung des Führungswagens abdichtet. So kann die Druckkammer mit Druck beaufschlagt werden, ohne dass dieser Druck in unerwünschter Weise in die Umgebung des Führungswagens gelangt.An alternative embodiment of the invention provides that the two car sections are formed by separate car parts, which are interconnected by means of expansion screws. In this case, these two car parts can limit the gap. Since, in this situation, the wall of the pressure chamber has a transition region from the lower carriage part to the upper carriage part, it may be expedient to provide a seal, in particular an O-ring, between the two carriage parts, which seals the pressure chamber to the surroundings of the guide carriage. Thus, the pressure chamber can be pressurized without this pressure undesirably enters the surroundings of the guide carriage.
Sofern die beiden Wagenabschnitte durch voneinander getrennte Wagenteile gebildet sind, sind nach einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung ein Führungswagen vorgesehen, der im Querschnitt gesehen etwa u-förmig aus- gebildet ist, wobei zwei Schenkel des Führungswagens über eine Boden miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen mit seinen beiden Schenkeln die Führungsschiene umgreift, und wobei der Boden mit der Druckkammer versehen ist, wobei das untere Wagenteil an seiner dem oberen Wagenteil zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg versehen ist, und wobei das obere Wagenteil mit einem Flansch zur Aufnahme der Dehnschrauben und mit einem Eingriffsabschnitt versehen ist, der in den von dem umlaufenden Steg begrenzten Aufnahmeabschnitt eingreift, wobei zwischen dem Steg und dem Eingriffsabschnitt ein vorzugsweise endloser O-Ring zum Abdichten der Druck- kammer gegenüber der Umgebung des Führungswagens angeordnet ist. Wenn nun die Druckkammer mit Druck beaufschlagt wird, findet in dem begrenzten Umfang bis zu etwa 100 μm eine Relativverschiebung der beiden Wagenteile zueinander statt, wobei diese Relativbewegung durch eine Dehnung der Dehnschrauben ermöglicht wird. Die Dehnschrauben bieten zudem den Vorteil einer hochgenauen Führung in Richtung des Hubes, sodass ein unerwünschtes Verkanten oder Klemmen ausgeschlossen ist. Die Schraubenachsen der Dehnschrauben sind vorzugsweise parallel zu der Hubrichtung des oberen Wagenteils gegenüber dem unteren Wagenteil angeordnet, um die erwünschte Relativverschiebung zwischen den beiden Wagenteilen unter Ausnutzung einer erwünschten Dehnung der Dehnschrauben zu ermöglichen.If the two carriage sections are formed by car parts which are separate from one another, according to a further embodiment according to the invention a guide carriage is provided which, seen in cross-section, is approximately U-shaped. is formed, wherein two legs of the carriage are connected to each other via a floor, wherein the guide carriage engages around the guide rail with its two legs, and wherein the bottom is provided with the pressure chamber, wherein the lower carriage part on its side facing the upper carriage part with a circumferential Is provided, and wherein the upper carriage member is provided with a flange for receiving the expansion bolts and with an engagement portion which engages in the bounded by the circumferential web receiving portion, wherein between the web and the engagement portion is a preferably endless O-ring for sealing the Pressure chamber is arranged opposite the surroundings of the carriage. Now, if the pressure chamber is pressurized, takes place in the limited scope up to about 100 microns, a relative displacement of the two car parts to each other, this relative movement is made possible by an expansion of the expansion screws. The expansion screws also offer the advantage of a high-precision guidance in the direction of the stroke, so that an undesirable tilting or jamming is excluded. The screw axes of the expansion screws are preferably arranged parallel to the stroke direction of the upper carriage part with respect to the lower carriage part to allow the desired relative displacement between the two carriage parts by utilizing a desired elongation of the expansion screws.
Nachstehend wird die Erfindung anhand von drei in insgesamt sieben Figuren abgebildeten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to three illustrated in a total of seven figures embodiments. Show it:
Figur 1 einen Querschnitt durch einen Führungswagen einer erfindungsgemäßen Linearführung,1 shows a cross section through a carriage of a linear guide according to the invention,
Figur 2 eine Darstellung wie in Figur 1 , jedoch mit einem modifizieren Führungswagen,FIG. 2 shows a representation as in FIG. 1, but with a modified carriage,
Figur 3 eine Darstellung wie in den Figuren 1 und 2, jedoch mit einem weiteren erfindungemäßen Führungswagen, Figuren 4 - 6 unterschiedliche Darstellungen einer erfindungsgemäßen Linearführung, deren Führungswagen in Figur 1 schema- tisch abgebildet ist undFIG. 3 shows a representation as in FIGS. 1 and 2, but with a further guide carriage according to the invention, FIGS. 4 to 6 show different representations of a linear guide according to the invention, whose guide carriage is shown schematically in FIG. 1 and FIG
Figur 7 in schematischer Darstellung einen Regelkreis der erfindungsgemäßen Linearführung.Figure 7 shows a schematic representation of a control circuit of the linear guide according to the invention.
In den Figuren 4 bis 6 ist eine erfindungsgemäße Linearführung mit ihren we- sentlichen Komponanten abgebildet, während die erfindungsgemäßen besonderen Merkmale in den Figuren 1 bis 3 näher spezifiziert sind.FIGS. 4 to 6 illustrate a linear guide according to the invention with its essential components, while the special features according to the invention are specified in greater detail in FIGS. 1 to 3.
Die in den Figuren 4 bis 6 abgebildete erfindungsgemäße Linearführung weist einen Führungswagen 1 auf, der auf einer Führungsschiene 2 längsver- schieblich gelagert ist. Der Figur 5 ist zu entnehmen, dass der Führungswgen 1 über Rollen 3 an der Führungsschiene 2 wälzgelagert ist, wobei diese Rollen 3 in bekannter Weise in einem endlosen Rollenkanal 4 umlaufen. Figur 5 zeigt Lastabschnitte 5 und Rücklaufabschnitte 6 des endlosen Rollenkanals 4. In dem Lastabschnitt 5 wälzen die Rollen 3 an Laufbahnen 7, 8 des Führungswa- gens 1 sowie der Führungsschiene 2 ab.The linear guide according to the invention shown in FIGS. 4 to 6 has a guide carriage 1, which is mounted longitudinally displaceably on a guide rail 2. It can be seen from FIG. 5 that the guide jib 1 is roller-mounted on the guide rail 2 via rollers 3, these rollers 3 circulating in an endless manner in an endless roller channel 4. FIG. 5 shows load sections 5 and return sections 6 of the endless roller channel 4. In the load section 5, the rollers 3 roll on raceways 7, 8 of the guide carriage 1 and the guide rail 2.
Figur 6 zeigt in perspektivischer Darstellung den Führungswagen 1 ohne die Führungsschiene.Figure 6 shows a perspective view of the carriage 1 without the guide rail.
Figur 1 zeigt nun in schematischer Darstellung einen Schnitt durch den Führungswagen 1 entlang der Linie I - I aus Figur 4. Der Abbildung ist zu entnehmen, dass der Führungswagen 1 einen oberen Wagenabschnitt 9 und einen unteren Wagenabschnitt 10 aufweist, zwischen denen ein Spalt 11 ausgebildet ist. Der Spalt 11 erstreckt sich über wenigstens den größten Teil der tragenden Struktur des Führungswagens 1.1 shows a schematic representation of a section through the guide carriage 1 along the line I - I of Figure 4. The figure shows that the carriage 1 has an upper carriage section 9 and a lower carriage section 10, between which a gap 11 is formed is. The gap 11 extends over at least the major part of the supporting structure of the guide carriage 1.
Der untere Wagenabschnitt 10 ist steif ausgebildet und einwandfrei an der Führungsschiene geführt, ohne dass es zu unerwünschten Relativverschiebungen zwischen dem unteren Wagenabschnitt 10 und der Führungsschiene kommen kann. Ebenso ist der obere Wagenabschnitt 9 ansich ebenfalls steif ausgeführt und unterliegt im Betrieb einer derartigen Linearführung keinen nennenswerten Verformungen. Der obere Wagenabschnitt 9 ist mittels elastisch auslenkbarer Wandabschnitte 12 einstückig mit dem unteren Wagenschnitt 10 verbunden. Diese elastisch auslenkbaren Wandabschnitte 12 sind einerseits begrenzt durch die äußere Kontur des Führungswagens 1 und andererseits durch Längsbohrungen 13, die in Längsrichtung des Führungswagens im Randbereich des Führungswagens 1 angeordnet sind. Der obere Wagenabschnitt 9 ist zudem an seinen Längsseiten jeweils mit einer nach außen hin geöffneten Nut 14 versehen, sodass die elastischen Wandabschnitte 12 begrenzt sind durch die Längsseite des Führungswagens 1 , sowie die Nut 14 und ferner durch die Längsbohrung 13. Die Längsbohrung 13 begrenzt zugleich den Spalt 11 an dessen beiden Längsseiten. Der Spalt 11 mündet demzufolge in diese Längsbohrungen 13 ein.The lower carriage portion 10 is stiff and properly on the Guide rail guided without it may lead to undesirable relative displacements between the lower carriage portion 10 and the guide rail. Likewise, the upper carriage section 9 is also designed to be stiff and is not subject to any appreciable deformations during operation of such a linear guide. The upper carriage section 9 is integrally connected by means of elastically deflectable wall sections 12 with the lower carriage section 10. These elastically deflectable wall sections 12 are bounded on the one hand by the outer contour of the guide carriage 1 and on the other hand by longitudinal bores 13 which are arranged in the longitudinal direction of the guide carriage in the edge region of the guide carriage 1. The upper carriage section 9 is also provided on its longitudinal sides each with an outwardly open groove 14, so that the elastic wall portions 12 are limited by the longitudinal side of the carriage 1, and the groove 14 and further through the longitudinal bore 13. The longitudinal bore 13 limited at the same time the gap 11 at its two longitudinal sides. The gap 11 thus opens into these longitudinal bores 13 a.
Der Führungswagen 1 ist im Querschnitt gesehen etwa u-förmig ausgebildet. Zwei Schenkel 15 des Führungswagens 1 sind über einen Boden 16 miteinan- der verbunden, wobei der Führungswagen 1 mit seinen beiden Schenkeln 15 die Führungsschiene umgreift. Der Boden 16 ist vorliegend mit dem bereits beschriebenen Spalt 11 versehen.The carriage 1 is seen in cross-section approximately U-shaped. Two legs 15 of the guide carriage 1 are connected to one another via a base 16, wherein the guide carriage 1 engages around the guide rail with its two legs 15. The bottom 16 is presently provided with the gap 11 already described.
Der Spalt 11 ist als Druckkammer 17 ausgebildet, wobei in dieser Druckkam- mer 17 Hydraulikflüssigkeit 18 eingefüllt ist. Über eine Leistungs-, Steuer- undThe gap 11 is formed as a pressure chamber 17, wherein in this pressure chamber 17 hydraulic fluid 18 is filled. About a performance, tax and
Regeleinrichtung 19 - die in der Figur 1 lediglich angedeutet ist - kann dieControl device 19 - which is merely indicated in the figure 1 - can
Hydraulikflüssigkeit 18 in der Druckkammer 17 mit Druck beaufschlagt werden.Hydraulic fluid 18 are pressurized in the pressure chamber 17.
Unter einer hinreichenden Beaufschlagung mit Druck weitet sich der Spalt 11 auf, so dass der obere Wagenabschnitt 9 gegenüber dem unteren Wagenab- schnitt 10 einen Hub verrichtet, aber weg der Führungsschiene nach oben.Under sufficient pressure, the gap 11 widens, so that the upper carriage section 9 performs a lift relative to the lower carriage section 10, but away from the guide rail.
Demzufolge ist in dem Spalt 11 eine Hubvorrichtung 20 geschaffen, mittels derAccordingly, in the gap 11, a lifting device 20 is provided by means of
Hübe bis ca. 100 μm einstellbar sind. In den gegebenen Grenzen kann jeder gewünschte Hub als fixe Position des oberen Wagenabschnitts 9 gegenüber dem unteren Wagenabschnitt 10 eingestellt werden, wobei lediglich eine entsprechende Druckbeaufschlagung erfolgt.Strokes are adjustable up to 100 μm. Anyone can do it within the given limits desired stroke can be set as a fixed position of the upper carriage section 9 relative to the lower carriage section 10, wherein only a corresponding pressurization takes place.
Unter der Druckbeaufschlagung der Druckkammer 11 mit Druck erfolgt eine Veränderung des Volumens der Druckkammer 11. Diese Vergrößerung der Druckkammer 11 wird möglich, weil die die Druckkammer 11 begrenzenden Wandabschnitte 12 elastisch auslenkbar sind. Insbesondere die gemäß der Figur 1 vorgesehene winkelförmige Ausbildung des elastischen Wandab- Schnitts 12 ermöglicht eine flexible elastische Auslenkung.Under the pressurization of the pressure chamber 11 with pressure there is a change in the volume of the pressure chamber 11. This enlargement of the pressure chamber 11 is possible because the pressure chamber 11 delimiting wall sections 12 are elastically deflectable. In particular, provided in accordance with the figure 1 angular configuration of the elastic Wandab- section 12 allows flexible elastic deflection.
Während die zuvor beschriebene erfindungemäße Wirkungsweise einen Aspekt der Erfindung beschreibt, der geeignet ist, beispielsweise Fehlstellungen des oberen Wagenabschnitts 9 gegenüber einem anzuschließenden Maschi- nenteil an einem Anschluss 21 des Führungswagens 1 auszugleichen, kann ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung darin gesehen werden, dass die mit Hydraulikflüssigkeit 18 gefüllte Druckkammer 17 eine Dämpfungseinrichtung 22 bildet, die Schwingungen dämpft. Diese Dämpfungseinrichtung 22 ist geeignet, die Übertragung von Schwingungen zwischen dem oberen Wa- genabschnitt 9 und dem unteren Wagenabschnitt 10 im Wesentlichen Umfang zu unterbinden. Neben einer statischen Dämpfung eignet sich die hier beschriebene erfindungsgemäße Linearführung insbesondere für eine dynamische Schwingungsdämpfung.While the abovementioned mode of operation according to the invention describes an aspect of the invention which is suitable, for example, for compensating misalignments of the upper carriage section 9 with respect to a machine part to be connected to a connection 21 of the guide carriage 1, a further aspect of the present invention can be seen in that FIGS filled with hydraulic fluid 18 pressure chamber 17 forms a damping device 22 which dampens vibrations. This damping device 22 is suitable for substantially suppressing the transmission of vibrations between the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10. In addition to a static damping, the linear guide according to the invention described here is particularly suitable for a dynamic vibration damping.
Zu diesem Zweck kann über die Leistungs-, Steuer- und Regeleinheit 19 beispielsweise bei Vorliegen einer unerwünschten dynamischen Schwingung zwischen dem oberen Wagenabschnitt 9 und dem unteren Wagenabschnitt 10 eine gezielte pulsierende Druckbeaufschlagung in einer Frequenz erfolgen, die die unerwünschte Schwingung derart überlagert, dass der obere Wagenab- schnitt 9 ohne Vibrationen laufen kann. Die Hubvorrichtung 20 bildet mit der Leistungs-, Steuer- und Regeleinheit 19 einen Aktor 23. Dieser Aktor ermöglicht eine dynamische Schwingungsdämpfung bei dieser erfindungsgemäßen Linearführung.For this purpose, via the power, control and regulation unit 19, for example in the presence of an undesired dynamic oscillation between the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10, a targeted pulsating pressurization takes place in a frequency which superimposes the unwanted oscillation such that the upper one Carriage section 9 can run without vibrations. The lifting device 20 forms with the power, control and regulating unit 19 an actuator 23. This actuator allows dynamic vibration damping in this invention Linear guide.
Mit dem Aktor 23 ist eine dynamische Beaufschlagung der Druckkammer 11 mit Druck derart möglich, dass bestimmte Hubfrequenzen sowie bestimmte Hub- amplituden des oberen Wagenabschnitts 9 einstellbar sind.With the actuator 23 a dynamic loading of the pressure chamber 11 with pressure is possible such that certain stroke frequencies and certain stroke amplitudes of the upper carriage section 9 are adjustable.
Der Führungswagen 1 kann gemäß Figur 2 dahingehend modifiziert werden, dass etwa in einer Längsmittelebene des Führungswagens 1 ein StützelementAccording to FIG. 2, the carriage 1 can be modified to the effect that approximately in a longitudinal center plane of the carriage 1 a support element
24 in dem Spalt 11 angeordnet ist, um ein Abstützten des oberen Wagenab- Schnitts 9 gegenüber dem unteren Wagenabschnitt 10 zu ermöglichen, und somit ein unerwünschtes Durchbiegen zu verhindern.24 is disposed in the gap 11 to allow support of the upper Wagenab- section 9 relative to the lower carriage portion 10, and thus to prevent undesirable bending.
Der in der Figur 3 abgebildete erfindungsgemäße Führungswagen unterscheidet sich von dem aus der Figur 1 im Wesentlichen dadurch, dass der obere Wagenabschnitt 9 sowie der untere Wagenabschnitt 10 durch getrennte Wagenteile 24, 25 gebildet sind. Die damit verbundenen konstruktiven Maßnahmen werden nachstehend näher erläutert. Das unter Wagenteil 25 ist an seiner dem oberen Wagenteil 24 zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg 26 versehen. Dieser Steg 26 ist mit einer Vielzahl von Gewindebohrungen 27 zur Aufnahme von Dehnschrauben 28 versehen. Die Innenwandung des Stegs 26 dient als Dichtungsfläche, wie nachstehend näher erläutert wird.The guide carriage according to the invention shown in FIG. 3 differs from that of FIG. 1 essentially in that the upper carriage section 9 and the lower carriage section 10 are formed by separate carriage parts 24, 25. The associated design measures are explained in more detail below. The under carriage part 25 is provided on its upper carriage part 24 facing side with a circumferential ridge 26. This web 26 is provided with a plurality of threaded holes 27 for receiving expansion screws 28. The inner wall of the web 26 serves as a sealing surface, as will be explained in more detail below.
Das obere Wagenteil 24 ist mit einem umlaufenden Flansch 29 versehen, der eine Vielzahl von Bohrungen zur Aufnahme der Dehnschrauben 28 aufweist. Der Flansch 29 liegt auf dem umlaufenden Steg 26 auf. Ferner ist das obere Wagenteil 24 mit einem Eingriffsabschnitt 30 versehen, der in einen von dem umlaufenden Steg 26 begrenzten Aufnahmeabschnitt des unteren WagenteilsThe upper carriage part 24 is provided with a peripheral flange 29 which has a plurality of bores for receiving the expansion screws 28. The flange 29 rests on the circumferential web 26. Further, the upper carriage member 24 is provided with an engaging portion 30 which in a bounded by the circumferential ridge 26 receiving portion of the lower carriage portion
25 eingreift. Der Eingriffsabschnitt 30 ist mit einer umlaufenden Nut 31 versehen in die ein O-Ring 32 eingesetzt ist. Wenn die beiden Wagenteile 24, 25 miteinander verbunden sind, ist der O-Ring 32 an Dichtungsflächen des umlaufenden Steges und der Nut 31 angelegt, so dass die Druckkammer 17 einwandfrei zur Umgebung des Führungswagens 1 abgedichtet ist. Unter Beaufschlagung der Druckkammer 17 mit Druck vergrößert sich der Spalt 17, wobei die Dehnschrauben 28 entlang ihrer Schraubenachsen gedehnt werden. Bei geringen Hubbewegungen von etwa 100 μm kann die hier beschrie- bene Dichtung mittels eines O-Ringes genügen, da dieser O-Ring vorwiegend einer lediglich statischen Belastung ausgesetzt ist. Selbstverständlich sind alternative Dichtungen möglich.25 engages. The engagement portion 30 is provided with a circumferential groove 31 into which an O-ring 32 is inserted. When the two carriage parts 24, 25 are connected to each other, the O-ring 32 is applied to sealing surfaces of the circumferential ridge and the groove 31, so that the pressure chamber 17 is properly sealed to the environment of the carriage 1. Upon application of pressure to the pressure chamber 17, the gap 17 increases, the expansion screws 28 being stretched along their screw axes. At low strokes of about 100 μm, the seal described here can be sufficient by means of an O-ring, since this O-ring is predominantly subjected to only static loading. Of course, alternative seals are possible.
Da der O-Ring umlaufend ausgebildet ist, sind keine weiteren Dichtungen er- forderlich, um den Druckraum hinreichend druckfest zu halten.Since the O-ring is formed circumferentially, no further seals are required in order to keep the pressure chamber sufficiently resistant to pressure.
Figur 7 zeigt in schematischer Abbildung den Aktor 23, und insbesondere die Leistungs-, Steuer- und Regeleinrichtung 19. An dem Führungswagen 1 ist eine Masse 33 befestigt. An dieser Masse 33 ist ein Signalgeber 34 angeord- net, der an der Masse 33 auftretende Schwingungen an einen Regler 35 überträgt. Der Regler 35 ist an ein Hydraulikaggregat 36 angeschlossen, über das die in dem Spalt 11 des Führungswagens 1 vorgesehene Hydraulikflüssigkeit mit Druck beaufschlagt werden kann. Der Führungswagen 1 ansich wirkt hier als Dämpfer, der in das schwingende Bauteil - hier die Masse 33 - eine um 90° phasenverschobene „Gegenschwingung" einleitet. Die Schwingung der Masse 33 und die korrespondierende „Gegenschwingung" heben sich dadurch auf. Diese aktive Dämpfungseinrichtung 22 kann - im Gegensatz zu den passiven Dämpfern - über einen großen Frequenzbereich kompensieren, während der bekannte passive Dämpfer nur für eine konkrete Frequenz optimal arbeitet. Die Integration des dynamischen Dämpfers in den Führungswagen 1 ermöglicht eine äußerst platzsparende Bauweise. BezugszahlenlisteFigure 7 shows a schematic illustration of the actuator 23, and in particular the power, control and regulating device 19. On the guide carriage 1, a mass 33 is attached. At this mass 33, a signal generator 34 is arranged, which transmits vibrations occurring at the mass 33 to a controller 35. The controller 35 is connected to a hydraulic unit 36, via which the hydraulic fluid provided in the gap 11 of the guide carriage 1 can be pressurized. The guide carriage 1 itself acts here as a damper, which introduces into the oscillating component-here the mass 33-a "counter-oscillation" phase-shifted by 90.degree .. The oscillation of the mass 33 and the corresponding "counter-oscillation" cancel each other out. This active damping device 22 can - in contrast to the passive dampers - compensate over a wide frequency range, while the known passive damper works optimally only for a specific frequency. The integration of the dynamic damper in the carriage 1 allows a very space-saving design. LIST OF REFERENCE NUMBERS
1 Führungswagen 27 Gewindebohrung1 carriage 27 threaded hole
2 Führungsschiene 28 Dehnschraube2 guide rail 28 expansion screw
3 Rolle 29 Flansch3 roller 29 flange
4 Rollenkanal 30 Eingriffsabschnitt4 roller channel 30 engaging portion
5 Lastabschnitt 31 Nut5 load section 31 groove
6 Rücklaufabschnitt 32 O-Ring6 Return section 32 O-ring
7 Laufbahn 33 Masse7 track 33 mass
8 Laufbahn 34 Signalgeber8 track 34 signal generator
9 oberer Wagenabschnitt 35 Regler9 upper carriage section 35 regulator
10 unterer Wagenabschnitt 36 Hydraulikaggregat10 lower carriage section 36 hydraulic unit
11 Spalt11 gap
12 Wandabschnitt12 wall section
13 Längsbohrung13 longitudinal bore
14 Nut14 groove
15 Schenkel15 thighs
16 Boden16 floor
17 Druckkammer17 pressure chamber
18 Hydraulikflüssigkeit18 hydraulic fluid
19 Leistungs-, Steuer- und Regeleinrichtung19 Power, control and regulation device
20 Hubvorrichtung20 lifting device
21 Anschluss21 connection
22 Dämpfungseinrichtung22 damping device
23 Aktor23 actor
24 oberer Wagenteil24 upper carriage part
25 unterer Wagenteil25 lower car part
26 umlaufender Steg 26 surrounding bridge

Claims

Patentansprüche claims
1. Linearführung, mit einem auf einer Führungsschiene (2) längsver- schieblich angeordneten Führungswagen (1 ), der einen Anschluss (21 ) zum Aufspannen eines Maschinenteils, beispielsweise Werkzeugträger oder Maschinentisch, und wenigstens eine, von dem Anschluss (21 ) beabstandet angeordnete Lagerflächen zum Lagern des Führungswagens (1 ) an der Führungsschiene (2) aufweist, wobei der Führungswagen (1 ) einen den Anschluss (21 ) aufweisenden oberen Wagenabschnitt (9) sowie einen die wenigstens eine Lagerfläche aufweisenden unteren1. Linear guide, with a longitudinally displaceable on a guide rail (2) arranged guide carriage (1) having a connection (21) for mounting a machine part, such as tool carrier or machine table, and at least one, spaced from the terminal (21) bearing surfaces for supporting the guide carriage (1) on the guide rail (2), wherein the guide carriage (1) has a connection (21) having the upper carriage portion (9) and the at least one bearing surface having lower
Wagenabschnitt (10) aufweist, und wobei zwischen dem oberen Wagenabschnitt (9) und dem unteren Wagenabschnitt (10) ein Spalt (11 ) vorgesehen ist, und wobei begrenzte Relativverschiebungen zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) ohne Relativverschiebungen zwi- sehen dem unteren Wagenabschnitt (10) und der Führungsschiene (2) vorgesehen sind, und mit einem zwischen den beiden Wagenabschnitten (9, 10) wirksam angeordneten Schwingungsdämpfer zum Dämpfen von Schwingungen, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Spalt (11 ) eine Hubvorrichtung (20) für einen variablen Hub des oberen Wagenab- Schnittes (9) gegenüber dem unteren Wagenabschnitt (10) vorgesehen ist, wobei die Hubvorrichtung (20) als Schwingungsdämpfer (22) verwendet wird.Carriage portion (10), and wherein between the upper carriage portion (9) and the lower carriage portion (10) has a gap (11) is provided, and wherein limited relative displacements between the two car sections (9, 10) without relative shifts between see the lower Carriage section (10) and the guide rail (2) are provided, and with a between the two car sections (9, 10) operatively arranged vibration damper for damping vibrations, characterized in that in the gap (11) a lifting device (20) for a variable lift of the upper Wagenab- section (9) opposite the lower carriage portion (10) is provided, wherein the lifting device (20) is used as a vibration damper (22).
2. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der Spalt (11 ) als mit Druck beaufschlagbare, vorzugsweise volumenveränderliche Druckkammer2. Linear guide according to claim 1, wherein the gap (11) as acted upon by pressure, preferably volume variable pressure chamber
(17) ausgebildet ist.(17) is formed.
3. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der Spalt (11 ) als Druckkammer (17) ausgebildet ist, wobei mittels dynamischer Beaufschlagung der Druckkammer (17) mit Druck bestimmte Hubfrequenzen sowie bestimmte Hubamplituden des oberen Wagenabschnittes (9) einstellbar sind. 3. Linear guide according to claim 1, wherein the gap (11) is designed as a pressure chamber (17), wherein by means of dynamic loading of the pressure chamber (17) with pressure certain stroke frequencies and certain Hubamplituden the upper carriage section (9) are adjustable.
4. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der obere Wagenabschnitt (9) mit dem unteren Wagenabschnitt (10) einstückig verbunden ist.4. Linear guide according to claim 1, wherein the upper carriage portion (9) with the lower carriage portion (10) is integrally connected.
5. Linearführung nach Anspruch 4, bei der der obere Wagenabschnitt (9) mittels elastisch auslenkbarer Wandabschnitte (12) einstückig mit dem unteren Wagenabschnitt (10) verbunden ist.5. Linear guide according to claim 4, wherein the upper carriage portion (9) by means of elastically deflectable wall sections (12) is integrally connected to the lower carriage portion (10).
6. Linearführung nach Anspruch 5, bei der die auslenkbaren Wandabschnitte (12) die Druckkammer (17) begrenzen.6. Linear guide according to claim 5, wherein the deflectable wall sections (12) delimiting the pressure chamber (17).
7. Linearführung nach Anspruch 1 , bei der der obere Wagenabschnitt (9) und der untere Wagenabschnitt (10) durch voneinander getrennte Wagenteile (24, 25) gebildet sind, die vorzugsweise mittels Dehnschrauben (28) miteinander verbunden sind.7. Linear guide according to claim 1, wherein the upper carriage portion (9) and the lower carriage portion (10) by separate carriage parts (24, 25) are formed, which are preferably connected to each other by means of expansion screws (28).
8. Linearführung nach den Ansprüchen 2 und 7, bei der zur Abdichtung der Druckkammer (17) zwischen den beiden Wagenteilen (24, 25) eine Dichtung, insbesondere ein O-Ring (32) angeordnet ist.8. Linear guide according to claims 2 and 7, wherein for sealing the pressure chamber (17) between the two carriage parts (24, 25) a seal, in particular an O-ring (32) is arranged.
9. Linearführung nach Anspruch 2, bei der der Führungswagen (1 ) im Querschnitt gesehen etwa u-förmig gebildet ist, wobei zwei Schenkel (15) des Führungswagens (1 ) über einen Boden (16) miteinander verbunden sind, wobei der Führungswagen (1 ) mit seinen beiden Schenkeln (15) die Führungsschiene (2) umgreift, wobei der Boden (16) mit der Druckkammer (17) versehen ist, die an ihren beiden Längsseiten jeweils von einer in Längsrichtung des Führungswagens (1 ) angeordneten Längsbohrung (13) begrenzt ist, wobei zwischen einer äußeren Begrenzungsfläche des Führungswagens (1 ) und jeder der beiden Längsbohrungen (13) ein elastisch auslenkbarer Wandabschnitt (12) ausgebildet ist. 9. Linear guide according to claim 2, wherein the guide carriage (1) seen in cross section is formed approximately U-shaped, wherein two legs (15) of the carriage (1) via a bottom (16) are interconnected, wherein the carriage (1 ) with its two legs (15) engages around the guide rail (2), wherein the bottom (16) with the pressure chamber (17) is provided, which in each case at its two longitudinal sides of a longitudinal bore of the guide carriage (1) longitudinal bore (13) is limited, wherein between an outer boundary surface of the guide carriage (1) and each of the two longitudinal bores (13) an elastically deflectable wall portion (12) is formed.
10. Linearführung nach Anspruch 9, bei der eine zu der Längsbohrung (13) parallel angeordnete und zur Umgebung des Führungswagens (1 ) hin geöffnete Längsnut (14) ausgebildet ist, die gemeinsam mit der Längsbohrung (13) wenigstens einen Abschnitt des elastisch auslenkbaren Wandabschnitts (12) begrenzt.10. Linear guide according to claim 9, wherein one to the longitudinal bore (13) arranged parallel and to the surroundings of the carriage (1) towards open longitudinal groove (14) is formed, which together with the longitudinal bore (13) at least a portion of the elastically deflectable wall portion (12) limited.
11. Linearführung nach Anspruch 2, bei der der Führungswagen (1 ) im Querschnitt gesehen etwa u-förmig gebildet ist, wobei zwei Schenkel (15) des Führungswagens (1 ) über einen Boden (16) miteinander ver- bunden sind, wobei der Führungswagen (1 ) mit seinen beiden Schenkeln (15) die Führungsschiene (2) umgreift, und wobei der Boden (16) mit der Druckkammer (17) versehen ist, wobei das untere Wagenteil (10) an seiner dem oberen Wagenteil (9) zugewandten Seite mit einem umlaufenden Steg (26) versehen ist, und wobei das obere Wagenteil (24) mit einem Flansch (29) zur Aufnahme der Dehnschrauben (28) und mit einem Eingriffsabschnitt (30) versehen ist, der in den von dem umlaufenden Steg (26) begrenzten Aufnahmeabschnitt eingreift, wobei zwischen dem Steg (26) und dem Eingriffsabschnitt ein vorzugsweise endloser O-Ring (32) zum Abdichten der Druckkammer (17) gegenüber der Umgebung des Führungswagens (1 ) angeordnet ist.11. Linear guide according to claim 2, wherein the guide carriage (1) seen in cross section is formed approximately U-shaped, wherein two legs (15) of the carriage (1) via a bottom (16) are interconnected, wherein the carriage (1) with its two legs (15) engages around the guide rail (2), and wherein the bottom (16) with the pressure chamber (17) is provided, wherein the lower carriage part (10) on its upper carriage part (9) facing side is provided with a circumferential web (26), and wherein the upper carriage part (24) with a flange (29) for receiving the expansion screws (28) and with an engagement portion (30) is provided in the of the circumferential web (26 ) engages limited receiving portion, wherein between the web (26) and the engagement portion, a preferably endless O-ring (32) for sealing the pressure chamber (17) relative to the surroundings of the guide carriage (1) is arranged.
12. Linearführung nach den Ansprüchen 2 und 7, bei der die Schraubenachsen der Dehnschrauben (28) parallel zu der Hubrichtung des oberen Wagenteils (24) gegenüber dem unteren Wagenteil (25) angeordnet sind. 12. Linear guide according to claims 2 and 7, wherein the screw axes of the expansion screws (28) parallel to the stroke direction of the upper carriage part (24) relative to the lower carriage part (25) are arranged.
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