WO2009050856A1 - Dispositif d'éclairage, procédé de dépôt de film et appareil de dépôt de film dans un dispositif d'éclairage - Google Patents

Dispositif d'éclairage, procédé de dépôt de film et appareil de dépôt de film dans un dispositif d'éclairage Download PDF

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WO2009050856A1
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Noriyuki Ito
Yosuke Fukasawa
Masashi Fukui
Takao Umezawa
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Mitsuba Corporation
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Abstract

Lorsqu'un film réfléchissant est formé sur le côté interne d'un logement et sur l'extrémité distale d'une source lumineuse pendant l'incorporation de la source lumineuse dans le logement, l'épaisseur de film sur l'extrémité distale de la source lumineuse est augmentée par rapport à l'épaisseur sur le côté interne du logement. Une première matrice (6) devenant une matrice fixe est dotée de premier et second appareils de dépôt de film (9, 10) équipés de premier et second systèmes de pulvérisation magnétron (9a, 10a), et un élément de masque (16) est prévu sur l'ouverture d'une chambre cible (11a) constituant le premier appareil de dépôt de film (9). Suivant une étape d'injection primaire, une première étape de dépôt de film réalisée par le premier appareil de dépôt de film (9) et une seconde étape de dépôt de film réalisée par le second appareil de dépôt de film (10) sont réalisées pour le logement (4) maintenu sur une seconde matrice (6) pendant l'incorporation d'une ampoule (3).
PCT/JP2008/002816 2007-10-19 2008-10-07 Dispositif d'éclairage, procédé de dépôt de film et appareil de dépôt de film dans un dispositif d'éclairage WO2009050856A1 (fr)

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