WO2009046468A8 - Verfahren und vorrichtung zum positionieren und ausrichten eines gegenstands relativ zu bzw. mit einem untergrund sowie verwendung hierfür - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum positionieren und ausrichten eines gegenstands relativ zu bzw. mit einem untergrund sowie verwendung hierfür Download PDF

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Abstract

Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Positionieren oder Ausrichten eines Gegenstands (1) relativ zu bzw. mit einem Untergrund (13), wobei Licht auf den Gegenstand (1) insbesondere im Bereich wenigstens einer Markierung (3) des zu positionierenden Gegenstands (1) gestrahlt wird und von dem zu positionierenden Gegenstand (1), insbesondere der Markierung (3) und/oder dem Untergrund (13) reflektiertes Licht in einer Aufnahmevorrichtung (7) aufgenommen und gegebenenfalls ausgewertet wird und auf Basis der aufgenommenen und gegebenenfalls ausgewerteten, reflektierten Strahlung die Position des Gegenstands (1) bestimmt wird und/oder die Position oder Ausrichtung des Gegenstands (1) korrigiert wird, ist vorgesehen, daß das zur Bestrahlung eingesetzte Licht insbesondere durch Verwendung eines lumineszierenden Materials (15) im Bereich der Markierung (3) in Licht einer geänderten Wellenlänge umgewandelt wird und in der Aufnahmevorrichtung (7) Licht der geänderten Wellenlänge aufgenommen und gegebenenfalls einer Auswertung unterworfen wird, wodurch sich eine hoch präzise Positionierung und Ausrichtung des zu positionierenden Gegenstands (1) insbesondere unter Verringerung von in weiterer Folge fehlerhaft bearbeiteten Gegenständen (1) erzielen läßt.
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