WO2009030209A1 - Vorrichtung und verfahren zum laserstrahlschneiden - Google Patents

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WO2009030209A1
WO2009030209A1 PCT/DE2008/001458 DE2008001458W WO2009030209A1 WO 2009030209 A1 WO2009030209 A1 WO 2009030209A1 DE 2008001458 W DE2008001458 W DE 2008001458W WO 2009030209 A1 WO2009030209 A1 WO 2009030209A1
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nozzle
laser beam
region
section
cutting gas
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PCT/DE2008/001458
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Thomas Himmer
Florian Bartels
Lothar Morgenthal
Matthias LÜTKE
Original Assignee
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Technische Universität Dresden
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    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for laser beam cutting of workpieces, preferably metallic workpieces. It is usual that a laser beam is directed onto a workpiece through a nozzle. With the laser beam cutting gas is additionally directed through the nozzle on the trained kerf to better drive out liquid melt and improved
  • laser cutting in "remote technology” is suitable, in which, in such critical geometric regions, in addition to the movement of a laser processing head or a robot, a deflection / movement / displacement of the laser beam is carried out with deflectable optical elements.
  • a cutting nozzle outlet opening with a slotted geometric shape.
  • Such a cutting nozzle outlet opening can be used as a longitudinal slot, slit, ellipsoidal or circular with a correspondingly large diameter.
  • An increased diameter leads to the already mentioned increased amount of cutting gas that is required.
  • the other geometric designs of cutting nozzle outlet openings also limit the possibility of laser beam deflection, so that the advantages of the remote technology can not be fully utilized.
  • this object is achieved with a device having the features of claim 1. It can be worked with a method according to claim 25.
  • a deflectable laser beam with the respective cutting gas through the nozzle which is converging from a cutting gas inlet opening in the interior to a region with the smallest inner cross section and then diverging up to the cutting gas exit opening in the longitudinal axis, to a respective Directed workpiece.
  • a nozzle used in the invention will be referred to below as a Laval nozzle.
  • a Laval nozzle also has, starting from its cutting gas inlet opening, a conically tapered region, which is guided up to a region with the smallest internal cross section within the nozzle. From this area with the smallest inner cross section, the free cross section within the nozzle expands again conically up to the cutting nozzle outlet opening.
  • the nozzle and / or a housing is pivoted about at least one axis about a pivot point B arranged in the region of the smallest internal cross section within the nozzle.
  • the nozzle alone, the housing alone but also the nozzle and housing can be pivoted.
  • a respective stationary part can then be held with a suitable element, for example with a guide.
  • the laser beam is not additionally deflected with correspondingly suitable optical elements, but the entire device is pivoted accordingly, so that the laser beam at pivoting of the device at an angle, deviating from 90 ° with respect to the surface of the respective workpiece is directed to the workpiece.
  • This can also be done with nem robot to which the device according to the invention is attached and with which the device is moved and pivoted accordingly, can be achieved.
  • the laser beam through a housing on or in the optical element, for example for a
  • Beam shaping / focusing and also the nozzle to be used according to the invention are present, are directed to a workpiece. This should at least always take place when the feed axis direction is changed during laser cutting, ie a direction change of the kerf is desired.
  • the device according to the invention can also be designed so that the laser beam can be deflected during cutting so that it is pivoted about a pivot point A.
  • the pivot point A is also always arranged in the region of the smallest cross section in the interior of the nozzle. As a result, larger deflections of the focal spot when cutting a workpiece can be achieved and at the same time a small inner cross-section of the nozzle can be achieved with minimized cutting gas consumption.
  • the positions of the two pivot points A and B can be identical.
  • such a Laval nozzle with its free inner cross sections is rotationally symmetrical with respect to the longitudinal axis of the Laval nozzle.
  • the required cutting gas volume flow in the laser beam cutting can be limited.
  • a correspondingly deflected laser beam is thereby pivoted so that it is pivoted along at least one axis about an arranged in the region of the smallest inner cross section within the nozzle pivot point. This allows larger paths of the focal spot of a corresponding realize deflected laser beam on the surface of the workpiece or in the cutting joint.
  • the widening diverging region within the nozzle may have cone angle / tangent angle of at least 1 ° to a maximum of 15 °, preferably from 2 to a maximum of 10 °.
  • different cone angles / tangent angles in the converging and in the diverging region can also be present in the interior of the nozzle.
  • a larger cone angle / tangent angle in the convergent region in the interior of the nozzle can be selected.
  • Cross-sectional area of the cutting gas inlet opening of the nozzle in relation to the cross-sectional area of the cutting gas outlet opening of the nozzle can be achieved.
  • the cross-sectional area of the cutting gas nozzle inlet opening should be 1 to 5 times, preferably 1.5 to 4 times larger than the free cross-sectional area of the cutting gas outlet opening of the nozzle.
  • the cutting gas outlet opening of the nozzle should have an inner diameter in the range of 3 mm to 20 mm, preferably 4 mm to 15 mm.
  • the free cross-sectional area in the region of the smallest inner cross-section of the nozzle should be in the range 0.7 mm 2 to 40 mm 2 , preferably from 1 mm 2 to 20 mm 2 .
  • this nozzle should be arranged rotatably about its longitudinal axis on the device according to the invention, so that an adaptation of Slot alignment to the respective machining direction is possible even with the change.
  • optical elements for the deflection and shaping of the laser beam can be present on a device according to the invention, which can then be used as a combination of different optical elements.
  • a laser beam through a Plan-Plan lens, which is pivotable about two axes and a focusing optical lens, as optical elements for deflection and shaping of the laser beam.
  • two plan-plan lenses which are each rotatable about an axis and an optically focusing lens can be provided as optical elements for the deflection and shaping of the laser beam on a device according to the invention.
  • the laser beam can be directed through the optical elements and the nozzle on the workpiece surface to form the kerf.
  • a collimated laser beam with at least one reflecting optical element a concave reflective optical element for focusing the laser beam as optical elements for the deflection and shaping of the laser beam, in which case at least one of these optical elements to two axes, preferably both, should be able to pivot about the deflection of the laser beam with corresponding ones To be able to achieve movements of the focal spot.
  • a device according to the invention can also be designed such that nozzles having differently dimensioned and / or different inner cross-sectional geometries can be fastened interchangeably.
  • adjustments to the laser cutting machining for different workpieces can be achieved, which can take into account, for example, the particular thickness of a workpiece to be separated or also the respective metallic material of the workpiece.
  • An adaptation of the respective focal point of a focused laser beam to the respective deflection angle of the laser beam, the penetration of the laser beam into the workpiece to be cut or also for the laser cutting of different workpieces can be achieved by a movement of a focusing optical element along the laser beam axis.
  • a part of a housing can be displaced along the laser beam axis in order to change the position of the focal point of the focused laser beam.
  • the pivoting of the nozzle according to the invention to be used around the pivot point, which should be arranged in the region of the smallest inner cross section within the nozzle, can be achieved with at least one linear drive.
  • a pivoting of such a nozzle can be achieved by at least one axis in this manner. It is more favorable, however, to be able to pivot a nozzle about at least two axes oriented perpendicular to one another, which can be achieved by means of a bearing suitable for this purpose, for example a cardan suspension or in the form of a ball bearing.
  • Pan recording is possible, in which case as possible two drives should be provided for such a pivoting possibility of nozzles.
  • a drive suitable for this purpose can also be operated hydraulically, pneumatically, electrically (eg piezo drive) or also mechanically (toothed belt gear drive).
  • the dynamics of the entire device is limited by the maximum nozzle acceleration (jet is always carried in the center of the nozzle). This drive should be highly dynamic and should have as small a mass as possible.
  • the machining speed can be achieved with the invention when laser cutting metallic workpieces in which difficult cutting contours are to be formed, which require considerable changes in direction.
  • Chamfers can also be cut on cutting edges with be formed different bevel angles.
  • the required cutting gas consumption can be minimized. It is also possible, given larger distances between the cutting gas nozzle outlet opening and the surface of the workpiece to be machined, to comply with the known technical solutions, since the advantageous effect of a nozzle to be used according to the invention on the cutting gas flow has a correspondingly positive effect.
  • the distance to the workpiece surface can be significantly increased and then several millimeters up to max. 7 mm.
  • the deflection of the laser beam can also be performed oscillating, so that the focal spot can be moved repeatedly with small amplitude over the workpiece surface, which also improves the cut quality of the cut edges and the expulsion of the melt can be facilitated.
  • the invention can be used particularly preferably in the formation of filigree contours with a concomitant high processing speed.
  • the invention will be explained in more detail by way of example in the following.
  • Ia is a schematic representation of an example with a pivotable nozzle and / or pivoting housing
  • Figure Ib is a schematic representation of an example with a pivotable nozzle and / or pivotable housing (in the deflected position);
  • FIG. 2 a shows a sectional view through an example of a nozzle (with calculated Laval geometry) which can be used on a device according to the invention
  • FIG. 2b shows a sectional view through a second example of a nozzle which can be used on a device according to the invention (with a simplified geometry approximated by tangents);
  • FIG. 3a shows an example of an optical arrangement for deflecting the laser beam
  • FIG. 3b shows a further example of an optical arrangement for deflecting the laser beam
  • FIG. 3c shows a further example of an optical arrangement for deflecting the laser beam with cardanic mounting
  • Figure 3d shows another example of an optical arrangement for the deflection of the laser beam in a front view
  • FIG. 3e shows the example of an optical arrangement for deflecting the laser beam according to FIG. 3e in side view.
  • Figures Ia and Ib show examples in which the nozzle 1 and the housing 3 are pivotable about a pivot point B. The pivot point B is arranged in the region 1.3 of the nozzle 1 with the smallest cross section.
  • At least one linear drive 10 engages at the nozzle 1 with which the nozzle 1 can be pivoted about the pivot point B, if, for example, the housing 3 is pivoted correspondingly for a deflection of the laser beam 2 (not shown).
  • the nozzle 1 With a deflection of the laser beam 2 with housing 3 and also deflection of the laser beam 2, the nozzle 1 can also be pivoted about the pivot point B by linear displacement of the nozzle 1 along at least one axis, but preferably two-dimensionally.
  • a second linear drive (not shown), preferably perpendicular to the first linear actuator 10 acting, are used.
  • the second linear drive can act on the nozzle 1 or on the housing 3.
  • one or more linear drives can also only act on the housing 3. Then, the nozzle 1 is to be held in a guide and accordingly rotated about the pivot point B.
  • FIGS. 2a and 2b show sectional views through nozzles 1 which can be used in a device according to the invention.
  • the convergent region of the nozzle 1 starting from the cutting gas inlet opening 1.1 to the region 1.3 with the smallest cross section and the diverging region from there to the cutting gas outlet opening 1.2, is convexly curved.
  • the front edge of the cutting gas inlet opening 1.1 and the area 1.3 should be rounded as much as possible in order to be able to keep the flow of the cutting gas as homogeneous as possible.
  • the pivot point A is arranged, about which the deflectable laser beam 2 can be pivoted.
  • the pivot point A is preferably arranged in the middle of the region 1.3 with the smallest cross section in the longitudinal axis direction of the nozzle 1.
  • the convergent and diverging regions are formed once conically tapering continuously starting from the cutting gas inlet opening 1.1 and secondly from the cutting gas outlet opening 1.2 to the region 1.3.
  • Both nozzles 1 shown are rotationally symmetrical. The below each shown
  • Circles indicate the area over which a movement of the focal spot by deflection of the laser beam 2 is possible.
  • the region 1.3 with the smallest cross section may be convexly curved and alone or in addition Lekssachscardi the nozzle 1 have a maximum length of 5mm, preferably 0.5 mm to 3 mm.
  • the diameter is not constant there, but always smaller than in the converging and diverging regions of the nozzle 1.
  • the fulcrum A should preferably be at the position of the actually smallest diameter, possibly with slight deviation, but always in the region 1.3 be arranged.
  • FIGS. 3a and 3b show examples with two plan-plane lenses (plane-parallel plates) 5 and 6 and one focusing optical element 7, here a lens.
  • a rotation about at least one axis of the plan-plan lenses 5 or 6 a one-dimensional deflection of the laser beam 2 can be achieved.
  • a two-dimensional deflection of the laser beam 2 is by two-dimensional pivoting a plan-plan lens 5 or 6. This possibility is illustrated in Figure 3c, with a second plan plan lens 6 can then be omitted.
  • a two-dimensional deflection is also possible by pivoting both plan-plan lenses 5 and 6 about mutually perpendicular axes.
  • Figures 3d and 3e show another example of an optical arrangement for deflecting the laser beam 2 in a front and side view.
  • the focusing optical element 7 is movable with its distance from the workpiece surface, so that an adjustment of the position of the focal point upon deflection of the laser beam 2 or even during a change in the position of the focal point. dertem distance workpiece surface or deeper penetration of the laser beam into the kerf of the nozzle 1 is possible.
  • the laser beam 2 can then be deflected with here two reflective elements 12 and 13, which are each pivotable about two mutually perpendicular axes, which is possible by means of gimbal suspensions and suitable Antriebn.
  • At least one of the reflective elements 13 can also be displaced linearly in at least one axis.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Laserstrahlschneiden von Werkstücken, bevorzugt metallischen Werkstücken. Aufgabe der Erfindung ist es, Möglichkeiten zu schaffen, mit denen die Schneidbearbeitungsgeschwindigkeit erhöht und der Verbrauch an Schneidgas, wenn überhaupt, nur unwesentlichen erhöht werden muss. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird ein auslenkbarer Laserstrahl mit dem jeweiligen Schneidgas durch die Düse, die ausgehend von einer Schneidgaseintrittsöffnung im Inneren konvergierend bis zu einem Bereich mit kleinstem inneren Querschnitt und dann bis zur Schneidgasaustrittsöffnung in Längsachsrichtung divergierend ausgebildet ist, auf ein jeweiliges Werkstück gerichtet. Eine bei der Erfindung eingesetzte Düse soll nachfolgend als Lavaldüse bezeichnet werden. Eine Lavaldüse weist dabei ebenfalls ausgehend von ihrer Schneidgaseintrittsöffnung einen sich konisch verjüngenden Bereich auf, der bis zu einem Bereich mit kleinstem innerem Querschnitt innerhalb der Düse geführt ist. Ab diesem Bereich mit dem kleinsten inneren Querschnitt erweitert sich der freie Querschnitt innerhalb der Düse wieder konisch bis zur Schneiddüsenaustrittsöffnung. Bei der Erfindung wird die Düse und/oder ein Gehäuse um einen im Bereich des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse angeordneten Drehpunkt B, um mindestens eine Achse verschwenkt.

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Laserstrahlschneiden
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Laserstrahlschneiden von Werkstücken, be- vorzugt metallischen Werkstücken. Dabei ist es üblich, dass ein Laserstrahl auf ein Werkstück durch eine Düse gerichtet wird. Mit dem Laserstrahl wird zusätzlich Schneidgas durch die Düse auf die ausgebildete Schnittfuge gerichtet, um flüssige Schmelze besser austreiben zu können und eine verbesserte
Schnittkante an dem Werkstück ausbilden zu können.
Selbstverständlich sind bei solchen Bearbeitungen von Werkstücken hohe Bearbeitungsgeschwindigkeiten ge- wünscht. Geeignete Vorrichtungen zum Laserstrahlschneiden werden dementsprechend über bestimmte Antriebe oder auch mittels Robotern bewegt, um bestimmte, auch unterschiedlichste Schneidkonturen ausbilden zu können. Bei hohen Schneidgeschwindigkeiten treten in Bereichen, bei denen starke Richtungswechsel er- forderlich sind, insbesondere dann, wenn Richtungsänderungen >90° gewünscht sind, erhebliche Beschleunigungen auf, so dass es bisher erforderlich ist, in solchen Bearbeitungsbereichen die Geschwindigkeit, mit der eine entsprechende Laserbearbeitungsanlage bewegt wird, deutlich zu reduzieren, was sich wiederum nachteilig auf die gewünschte hohe Schneidgeschwindigkeit auswirkt.
In den meisten Fällen können solche Werkstückgeometrien aber nicht vermieden werden, da sie konstruktiv bedingt hergestellt werden müssen.
Um diesen Nachteilen entgegenzuwirken bietet sich ei- ne Laserschneidbearbeitung in „Remote-Technologie" an, bei der in solchen kritischen geometrischen Bereichen zusätzlich zur Bewegung eines Laserbearbeitungskopfes oder eines Roboters eine Auslenkung/Bewegung/Verschiebung des Laserstrahls mit aus- lenkbaren optischen Elementen durchgeführt wird.
Dies bedingt wiederum eine vergrößerte Fläche einer Schneiddüsenaustrittsöffnung, mittels der ein Laserstrahl über bestimmte Auslenkwinkel hinaus ausgelenkt werden kann. So vergrößerte Schneiddüsenaustrittsöff- nungen führen aber zu einem erheblich erhöhten Verbrauch an Schneidgas, das häufig ein inertes Gas ist. Dadurch steigen die Betriebskosten dementsprechend an. Mit einem vergrößerten Düsenaustrittsquer- schnitt steigt aber der Schneidgasverbrauch quadratisch mit dem jeweiligen Durchmesser an.
Aus DE 10 2005 027 836 Al ist es bekannt, eine Schneiddüsenaustrittsöffnung mit einer geschlitzten geometrischen Form einzusetzen. Eine solche Schneiddüsenaustrittsöffnung kann als Längsschlitz, Kreuz- schlitz, ellipsenförmig oder auch mit entsprechend großem Durchmesser kreisförmig ausgebildet sein. Ein vergrößerter Durchmesser führt zu der bereits erwähnten erhöhten Schneidgasmenge, die erforderlich ist. Die anderen geometrischen Gestaltungen von Schneiddü- senaustrittsöffnungen begrenzen aber auch die Möglichkeit der Laserstrahlauslenkung, so dass die Vorteile der Remote-Technologie nicht vollständig ausgenutzt werden können.
Die in EP 1 475 182 Al beschriebene technische Lösung weist ebenfalls einen erheblich vergrößerten Durchmesser bzw. freien Querschnitt einer Schneiddüsenaus- trittsöffnung, die die bereits genannten Nachteile hervorruft, auf.
Außerdem ist es aus DE 203 18 461 Ul und aus DE 689 06 429 T2 bekannt, Schneiddüsen einzusetzen, die als Lavaldüsen ausgebildet sind. Dabei soll jedoch ledig- lieh die Schneidgasströmung verbessert werden.
Ausgehend hiervon, ist es daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten zu schaffen, mit denen die Schneidbearbeitungsgeschwindigkeit erhöht und der Verbrauch an Schneidgas, wenn überhaupt, nur unwesentlichen erhöht werden muss.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, ge- löst. Dabei kann mit einem Verfahren gemäß Anspruch 25 gearbeitet werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungsformungen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten technischen Merkmalen erreicht werden. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird ein auslenkbarer Laserstrahl mit dem jeweiligen Schneidgas durch die Düse, die ausgehend von einer Schneidgas- eintrittsöffnung im Inneren konvergierend bis zu ei- nem Bereich mit kleinstem inneren Querschnitt und dann bis zur Schneidgasaustrittsöffnung in Längsachsrichtung divergierend ausgebildet ist, auf ein jeweiliges Werkstück gerichtet. Eine bei der Erfindung eingesetzte Düse soll nachfolgend als Lavaldüse be- zeichnet werden. Eine Lavaldüse weist dabei ebenfalls ausgehend von ihrer Schneidgaseintrittsöffnung einen sich konisch verjüngenden Bereich auf, der bis zu einem Bereich mit kleinstem innerem Querschnitt innerhalb der Düse geführt ist. Ab diesem Bereich mit dem kleinsten inneren Querschnitt erweitert sich der freie Querschnitt innerhalb der Düse wieder konisch bis zur Schneiddüsenaustrittsöffnung.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird die Düse und/oder ein Gehäuse um einen im Bereich des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse angeordneten Drehpunkt B, um mindestens eine Achse verschwenkt. Dabei kann die Düse allein, das Gehäuse allein aber auch Düse und Gehäuse verschwenkt werden. Ein jeweils stationäres Teil kann dann mit einem geeigneten Element, beispielsweise mit einer Führung gehalten sein.
Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn der La- serstrahl nicht zusätzlich mit entsprechend hierfür geeigneten optischen Elementen ausgelenkt wird, sondern die gesamte Vorrichtung entsprechend verschwenkt wird, so dass der Laserstrahl bei Verschwenkung der Vorrichtung in einem Winkel, abweichend von 90° in Bezug zur Oberfläche des jeweiligen Werkstücks auf das Werkstück gerichtet wird. Dies kann auch mit ei- nem Roboter, an dem die erfindungsgemäße Vorrichtung befestigt ist und mit dem die Vorrichtung entsprechend bewegt und verschwenkt wird, erreicht werden. Dabei kann der Laserstrahl durch ein Gehäuse an bzw. in dem optischen Element, beispielsweise für eine
Strahlformung/Fokussierung und auch die erfindungsgemäß einzusetzende Düse vorhanden sind, auf ein Werkstück gerichtet werden. Dies sollte zumindest immer dann erfolgen, wenn beim Laserschneiden die Vorschub- achsrichtung verändert wird, also eine Richtungsänderung der Schnittfuge gewünscht ist.
Die Erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch so ausgebildet sein, dass der Laserstrahl beim Schneiden so ausgelenkt werden kann, dass er um einen Drehpunkt A verschwenkt wird. Der Drehpunkt A ist dabei ebenfalls immer im Bereich des kleinsten Querschnitts im Inneren der Düse angeordnet. Dadurch können größere Auslenkungen des Brennflecks beim Schneiden eines Werk- Stücks erreicht werden und gleichzeitig ein kleiner innerer Querschnitt der Düse mit minimiertem Schneidgasverbrauch erreicht werden. Die Positionen der beiden Drehpunkte A und B können identisch sein.
In bevorzugter Ausführungsform ist eine solche Laval- düse mit ihren freien inneren Querschnitten rotationssymmetrisch in Bezug zur Längsachse der Lavaldüse ausgebildet.
Es besteht aber auch die Möglichkeit, eine Schlitz- Lavaldüse einzusetzen, wobei dann die Schneidgasein- trittsöffnung und die Schneiddüsenaustrittsöffnung ebenfalls schlitzförmig ausgebildet sein können.
Durch den konvergierenden Einlass und einen divergierenden Austritt für Schneidgas von Lavaldüsen können besonders günstige Strömungsverhältnisse für das durch eine Düse geführte Schneidgas erreicht werden. Dies kann insbesondere dann vorteilhaft erreicht werden, wenn Strömungsgeschwindigkeiten des Schneidgases im Überschallbereich eingehalten werden. Dadurch kann eine laminare Schneidgasströmung nach der Schneidgas- austrittsöffnung bis hin zur jeweiligen Oberfläche des Werkstücks erreicht werden. Dies kann durch eine kontrollierte Druckabsenkung im divergierenden Teil der Lavaldüse bis hin zum Umgebungsdruck erreicht werden, da ein Aufplatzen bzw. ein extremes Aufweiten des Schneidgasstrahls nach dem Austritt aus der Düse vermieden werden kann. Nach dem Austritt aus der Düse weist der Schneidgasstrahl über der Austrittsfläche eine nahezu gleichmäßige Geschwindigkeitsverteilung auf und es ist eine laminare Strömung zu verzeichnen. Mit einer solchen gleichmäßigen Geschwindigkeitsverteilung im Schneidgasstrahlquerschnitt können besonders günstige Verhältnisse für das Austreiben der Schmelze erreicht werden, was insbesondere bei der Remote-Technologie günstig ist.
So kann der erforderliche Schneidgasvolumenstrom bei der Laserstrahlschneidbearbeitung in Grenzen gehalten werden.
Außerdem ergibt sich die Möglichkeit, einen Laserstrahl zusätzlich zur Bewegung der Vorrichtung ebenfalls entsprechend auszulenken, was mit optischen E- lementen, worauf nachfolgend noch zurückzukommen sein wird, erreicht werden kann. Ein entsprechend ausgelenkter Laserstrahl wird dabei so verschwenkt, dass er entlang mindestens einer Achse um einen im Bereich des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse angeordneten Drehpunkt geschwenkt wird. Dadurch lassen sich größere Wege des Brennflecks eines entspre- chend ausgelenkten Laserstrahls auf der Oberfläche des Werkstücks bzw. in der Schneidfuge realisieren. Der sich erweiternde divergierende Bereich innerhalb der Düse kann Konuswinkel/Tangentenwinkel von mindes- tens 1° bis maximal 15°, bevorzugt von 2 bis maximal 10° aufweisen.
Dabei können auch unterschiedliche Konuswinkel/Tangentenwinkel im konvergierenden und im diver- gierenden Bereich im Inneren der Düse vorhanden sein. Dabei kann bevorzugt ein größerer Konuswinkel/Tangentenwinkel im konvergierenden Bereich im Inneren der Düse gewählt werden.
So kann beispielsweise auch eine vergrößerte freie
Querschnittsfläche der Schneidgaseintrittsöffnung der Düse in Bezug zur Querschnittsfläche der Schneidgas- austrittsöffnung der Düse erreicht werden. Hierfür sollte die Querschnittsfläche der Schneidgasdüsenein- trittsöffnung 1- bis 5-fach, bevorzugt 1,5- bis 4- fach größer als die freie Querschnittsfläche der Schneidgasaustrittsöffnung der Düse sein.
Die Schneidgasaustrittsöffnung der Düse sollte einen Innendurchmesser im Bereich von 3 mm bis 20 mm, bevorzugt von 4 mm bis 15 mm aufweisen.
Die freie Querschnittsfläche im Bereich des kleinsten inneren Querschnitts der Düse sollte im Bereich 0,7 mm2 bis 40 nun2, bevorzugt von 1 mm2 bis 20 mm2 liegen.
Insbesondere in dem Fall, in dem als Düse eine Schlitz-Lavaldüse vorhanden ist, sollte diese Düse um ihre Längsachse drehbar an der erfindungsgemäßen Vorrichtung angeordnet sein, so dass eine Anpassung der Schlitzausrichtung an die jeweilige Bearbeitungsrichtung auch bei deren Veränderung möglich wird.
Wie bereits angesprochen, können an einer erfindungsgemäßen Vorrichtung optische Elemente für die Auslenkung und Formung des Laserstrahls vorhanden sein, die dann als Kombination unterschiedlicher optischer Elemente eingesetzt werden können. So besteht die Mög- lichkeit, einen Laserstrahl durch eine Plan-Plan Linse, die um zwei Achsen schwenkbar ist und über eine fokussierende optische Linse, als optische Elemente zur Auslenkung und Formung des Laserstrahls einzusetzen.
In einer zweiten möglichen Alternative können zwei Plan-Plan Linsen, die jeweils um eine Achse drehbar sind und eine optisch fokussierende Linse als optische Elemente für die Auslenkung und Formung des La- serstrahls an einer erfindungsgemäßen Vorrichtung vorgesehen werden.
In beiden genannten Fällen kann der Laserstrahl durch die optischen Elemente und die Düse auf die Werk- Stückoberfläche zur Ausbildung der Schneidfuge gerichtet werden.
Es besteht aber auch die Möglichkeit einen kollimier- ten Laserstrahl mit mindestens einem reflektierenden optische Element ein konkav gewölbtes reflektierendes optisches Element, für die Fokussierung des Laserstrahls, als optische Elemente für die Auslenkung und Formung des Laserstrahls einzusetzen, wobei dann mindestens eines dieser optischen Elemente um zwei Ach- sen, bevorzugt beide, verschwenkbar sein sollten, um die Auslenkung des Laserstrahls mit dementsprechenden Bewegungen des Brennflecks erreichen zu können.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch so ausgebildet sein, dass an ihr unterschiedlich dimensio- nierte und/oder unterschiedliche innere Querschnittsgeometrien aufweisende Düsen austauschbar befestigt werden können. Dadurch können Anpassungen an die Laserschneidbearbeitung für unterschiedliche Werkstücke erreicht werden, was beispielsweise die jeweilige Di- cke eines zu trennenden Werkstücks oder auch den jeweiligen metallischen Werkstoff des Werkstücks berücksichtigen kann.
Eine Anpassung des jeweiligen Brennpunkts eines fo- kussierten Laserstrahls an den jeweiligen Auslenkwinkel des Laserstrahls, beim Eindringen des Laserstrahls in das zu schneidende Werkstück oder auch für die Laserschneidbearbeitung unterschiedlichster Werkstücke kann durch eine Bewegung eines fokussie- renden optischen Elements entlang der Laserstrahlachse erreicht werden. Dabei kann beispielsweise ein Teil eines Gehäuses entlang der Laserstrahlachse zur Veränderung der Position des Brennpunktes des fokus- sierten Laserstrahls verschoben werden.
Die Verschwenkung der erfindungsgemäß einzusetzenden Düse um den Drehpunkt, der im Bereich des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse angeordnet sein sollte, kann mit mindestens einem Linearantrieb erreicht werden. Dabei kann auf diese Art und Weise eine Verschwenkung einer solchen Düse um mindestens eine Achse erreicht werden. Günstiger ist es jedoch, eine Düse um mindestens zwei senkrecht zueinander ausgerichtete Achsen verschwenken zu können, was mit einer hierfür geeigneten Lagerung, beispielsweise einer kardanischen Aufhängung oder in Form einer Kugel- Pfanne-Aufnahme möglich ist, wobei dann möglichst zwei Antriebe für eine solche Schwenkmöglichkeit von Düsen vorgesehen sein sollten. Ein hierfür geeigneter Antrieb kann auch hydraulisch, pneumatisch, elekt- risch (z.B. Piezoantrieb) oder auch mechanisch (Zahnriemen Zahnradgetriebe) betrieben werden.
Die Dynamik der gesamten Vorrichtung wird von der maximalen Düsenbeschleunigung begrenzt (Strahl wird in der Mitte der Düse immer mitgeführt) . Dieser Antrieb sollte hochdynamisch sein und möglichst eine kleine Eigenmasse aufweisen.
An einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann es vorteilhaft sein, den Laserstrahl so auszulenken, dass die Brennflecken zur Ausbildung der Schneidfuge eine oszillierende Bewegung zwischen ümkehrpunkten zurücklegen, wobei der Abstand der Umkehrpunkte vari- iert werden kann und dabei die jeweils auszubildende Schnittfugenkontur berücksichtigt wird.
In einigen Fällen kann es aber auch vorteilhaft sein, einen Laserstrahl so auszulenken, dass der Brennfleck eine zirkulierende Bewegung um einen Mittelpunkt oder eine Bewegung um einen Flächenschwerpunkt auf der Werkstückoberfläche bzw. innerhalb der Schneidfuge ausführt, wodurch die Qualität der Schnittkante positiv beeinflusst werden kann.
Mit der Erfindung kann, wie bereits angesprochen, die Bearbeitungsgeschwindigkeit beim Laserschneiden von metallischen Werkstücken, bei denen diffizile Schneidkonturen ausgebildet werden sollen, die erheb- liehe Richtungsänderungen erfordern, erreicht werden. Es können auch Fasen an Schneidkanten mit unter- schiedlichen Fasenwinkeln ausgebildet werden.
Außerdem kann der hierfür erforderliche Schneidgasverbrauch minimiert werden. Es besteht auch die Möglichkeit bei größeren Abständen zwischen der Schneidgasdüsenaustrittsöffnung und der Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstücks gegenüber den bekannten technischen Lösungen einhalten zu können, da sich die vorteilhaften Auswirken einer er- findungsgemäß einzusetzenden Düse auf die Schneidgasströmung entsprechend positiv auswirken. Der Abstand zur Werkstückoberfläche kann deutlich vergrößert werden und dann auch mehrere Millimeter bis zu max. 7 mm betragen.
Mit einer laminaren Schneidgasströmung, die einen vergrößerten Durchmesser oder eine vergrößerte Querschnittsfläche gegenüber herkömmlichen Düsen aufweist, kann eine verbesserte Einkopplung der Schneid- gasströmung in den Schnittspalt/Schneidfuge erreich werden. Die Impulsübertragung des Schneidgases auf die Schmelze kann erhöht werden und dadurch die Schmelze besser aus dem Schnittspalt ausgetrieben werden. Auch hierdurch lassen sich die Schneidkanten- qualität und die Schneidgeschwindigkeit erhöhen.
Die Auslenkung des Laserstrahls kann auch oszillierend erfolgen, so dass der Brennfleck mehrfach mit kleiner Amplitude über die Werkstückoberfläche bewegt werden kann, wodurch ebenfalls die Schnittqualität der Schnittkanten verbessert und das Austreiben der Schmelze erleichtert werden kann.
Die Erfindung kann besonders bevorzugt bei der Aus- bildung von filigranen Konturen mit einhergehender hoher Bearbeitungsgeschwindigkeit eingesetzt werden. Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
Dabei zeigen:
igur Ia eine schematische Darstellung eines Beispiels mit schwenkbarer Düse und/oder schwenkbarem Gehäuse;
Figur Ib eine schematische Darstellung eines Beispiels mit schwenkbarer Düse und/oder schwenkbarem Gehäuse (in ausgelenkter Position) ;
Figur 2a eine Schnittdarstellung durch ein Beispiel einer an einer erfindungsgemäßen Vorrichtung einsetzbaren Düse (mit berechneter Laval-Geometrie) ;
Figur 2b eine Schnittdarstellung durch ein zweites Beispiel einer an einer erfindungsgemäßen Vorrichtung einsetzbaren Düse (mit vereinfachter durch Tangenten angenäherter Geometrie) ;
Figur 3a ein Beispiel einer optischen Anordnung zur Auslenkung des Laserstrahls;
Figur 3b ein weiteres Beispiel einer optischen Anordnung zur Auslenkung des Laserstrahls;
Figur 3c ein weiteres Beispiel einer optischen Anordnung zur Auslenkung des Laserstrahls mit kardani- scher Lagerung;
Figur 3d ein weiteres Beispiel einer optischen An- Ordnung zur Auslenkung des Laserstrahls in einer Vorderansicht und Figur 3e das Beispiel einer optischen Anordnung zur Auslenkung des Laserstrahls nach Figur 3e in Seitenansicht . Die Figuren Ia und Ib zeigen Beispiele bei denen die Düse 1 und auch das Gehäuse 3 um einen Drehpunkt B schwenkbar sind. Der Drehpunkt B ist im Bereich 1.3 der Düse 1 mit dem kleinsten Querschnitt angeordnet.
An der Düse 1 greift mindestens ein Linearantrieb 10 (mit Doppelpfeil angedeutet) an mit dem die Düse 1 um den Drehpunkt B geschwenkt werden kann, wenn beispielsweise das Gehäuse 3 entsprechend für eine Auslenkung des Laserstrahls 2 geschwenkt wird (nicht ge- zeigt) .
Bei einer Auslenkung des Laserstrahls 2 mit Gehäuse 3 und auch Auslenkung des Laserstrahls 2 kann die Düse 1 auch um den Drehpunkt B durch lineare Verschiebung der Düse 1 entlang mindestens einer Achse, bevorzugt aber zweidimensional geschwenkt werden. Hierfür kann ein zweiter Linearantrieb (nicht dargestellt) , bevorzugt senkrecht zum ersten Linearantrieb 10 wirkend, eingesetzt werden. Der zweite Linearantrieb kann an der Düse 1 oder am Gehäuse 3 angreifen.
Ein oder mehrere Linearantriebe können aber auch nur am Gehäuse 3 angreifen. Dann soll die Düse 1 in einer Führung gehalten werden und entsprechend um den Dreh- punkt B gedreht werden können.
Für eine Auslenkung des Laserstrahls 2 kann ein reflektierendes, bevorzugt ebenfalls schwenkbares optisches Element 11, hier oben im Gehäuse 3 angeordnet, eingesetzt sein. In den Figuren 2a und 2b sind Schnittdarstellungen durch bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung einsetzbare Düsen 1 gezeigt.
Beim Beispiel nach Figur Ia ist der konvergierende Bereich der Düse 1 ausgehend von der Schneidgasein- trittsöffnung 1.1 bis zum Bereich 1.3 mit dem kleinsten Querschnitt und der divergierende Bereich von dort bis zur Schneidgasaustrittsöffnung 1.2 konvex gekrümmt ausgebildet. Die Stirnkante der Schneidgas- eintrittsöffnung 1.1 und der Bereich 1.3 sollten möglichst abgerundet sein, um die Strömung des Schneidgases soweit als möglich homogen halten zu können.
Im Bereich 1.3 mit dem kleinsten inneren Querschnitt der Düse 1 ist der Drehpunkt A angeordnet, um den der auslenkbare Laserstrahl 2 geschwenkt werden kann. Der Drehpunkt A ist dabei bevorzugt in der Mitte des Bereichs 1.3 mit dem kleinsten Querschnitt in Längs- achsrichtung der Düse 1 angeordnet.
Beim In Figur 2b gezeigten Beispiel sind der konvergierende und der divergierende Bereich einmal ausgehend von der Schneidgaseintrittsöffnung 1.1 und zum anderen von der Schneidgasaustrittsöffnung 1.2 bis zum Bereich 1.3 sich kontinuierlich konisch verjüngend ausgebildet.
Beide gezeigten Düsen 1 sind rotationssymmetrisch ausgebildet. Die jeweils unterhalb dargestellten
Kreise deuten die Fläche an über die eine Bewegung des Brennflecks durch Auslenkung des Laserstrahls 2 möglich ist.
Der Bereich 1.3 mit dem kleinsten Querschnitt kann konvex gekrümmt sein und allein oder zusätzlich in Längsachsrichtung der Düse 1 eine maximale Länge von 5mm, bevorzugt 0,5 mm bis 3 mm aufweisen. Bei einer konvexen Krümmung des Bereichs 1.3 ist der Durchmesser dort nicht konstant, aber immer kleiner als im konvergierenden und im divergierenden Bereich der Düse 1. Der Drehpunkt A sollte bevorzugt an der Position des tatsächlich kleinsten Durchmessers, ggf. mit geringer Abweichung aber immer im Bereich 1.3 angeordnet sein.
Mit den Figuren 3a bis 3e sollen Möglichkeiten für eine Auslenkung des Laserstrahls 2 an einer erfindungsgemäßen Vorrichtung verdeutlicht werden.
In den Figuren 3a und 3b sind Beispiele mit jeweils zwei Plan-Plan Linsen (planparallele Platten) 5 und 6 sowie einem fokussierenden optischen Element 7, hier eine Linse gezeigt. Durch eine Drehung um mindestens eine Achse einer der Plan-Plan Linsen 5 oder 6 kann eine eindimensionale Auslenkung des Laserstrahls 2 erreicht werden. Eine zweidimensionale Auslenkung des Laserstrahls 2 ist durch zweidimensionale Schwenkung eine Plan-Plan Linse 5 oder 6. Diese Möglichkeit ist in Figur 3c verdeutlicht, wobei auf eine zweite Plan- Plan Linse 6 dann verzichtet werden kann. Eine zweidimensionale Auslenkung ist aber auch durch Schwenkung beider Plan-Plan Linsen 5 und 6 um senkrecht zueinander ausgerichtete Achsen möglich.
Die Figuren 3d und 3e zeigen ein weiteres Beispiel einer optischen Anordnung zur Auslenkung des Laserstrahls 2 in einer Vorder- und Seitenansicht. Dabei ist das fokussierende optische Element 7 mit seinem Abstand zur Werkstückoberfläche bewegbar, so dass ei- ne Anpassung der Position des Brennpunktes bei Auslenkung des Laserstrahls 2 oder auch bei einem geän- dertem Abstand Werkstückoberfläche bzw. beim tieferen Eindringen des Laserstrahls in die Schneidfuge von der Düse 1 möglich ist.
Der Laserstrahl 2 kann dann mit hier zwei reflektierenden Elementen 12 und 13, die jeweils um zwei senkrecht zueinander ausgerichtete Achsen schwenkbar sind, ausgelenkt werden, was mittels kardanischen Aufhängungen und geeigneten Antriebn möglich ist.
Wie in den Figuren 3d und 3e mit dem Horizontal ausgerichteten Doppelpfeil angedeutet, kann zumindest eines der reflektierenden Elemente 13 auch zusätzlich in mindestens einer Achse linear verschoben werden.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Laserstrahlschneiden von Werkstücken, bei der ein auslenkbarer Laserstrahl auf ein Werkstück durch eine Düse mit ei- nem Schneidgas gerichtet ist, wobei die Düse einen inneren freien Querschnitt aufweist, der sich entlang der Längsachse ausgehend von einer Schneidgaseintrittsöffnung konvergierend bis zu einem Bereich mit kleinstem inneren Querschnitt verkleinert und dann sich divergierend in Richtung Scheidgasaustrittsöff- nung vergrößert, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (1) und/oder ein Gehäuse (3) an dem die Düse(l) gehalten ist, um einen im Bereich (1.3) des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse (1) angeordneten Drehpunkt (B), um mindestens eine Achse schwenkbar angeordnet ist/sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- zeichnet, dass der Laserstrahl (2) so auslenkbar ist, dass er entlang mindestens einer Achse um einen im Bereich (1.3) des kleinsten inneren Querschnitts innerhalb der Düse (1) angeordneten Drehpunkt (A) schwenkbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der konvergierende und der divergierende Bereich im inneren der Düse (1) einen Konuswinkel von mindestens 1° bis maximal 15 ° aufweisen.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich der Düse (1) mit dem kleinsten inneren Querschnitt in der Mitte der Düse (1) zwischen der Schneidgaseintrittsöffnung (1.1) und der
Schneidgasaustrittsöffnung (1.2) angeordnet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (2) mit schwenkbaren optischen Elementen so auslenkbar ist, dass er um den Drehpunkt (A) schwenkbar ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (1) um ihre Längsachse drehbar angeordnet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (1) als Schlitz-Laval-Düse ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Schwenken der Düse (1) mindestens ein Linearantrieb (10), ein elektrischer, pneumatischer oder hydraulischer Antrieb vorhanden ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (1) in einer Führung gehalten ist.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (3) mittels eines Industrieroboters beweg- und um den Drehpunkt (B) schwenkbar ist.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Position der Drehpunkte (A) und (B) identisch ist.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die innere
Wandung der Düse (1) im konvergierenden Bereich konvex und im Anschluss an den Bereich (1.3) mit dem kleinsten inneren Querschnitt im divergierenden Bereich konkav gekrümmt ist.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich (1.3) mit dem kleinsten freien Querschnitt in Richtung der Längsachse der Düse (1) eine Ausdehnung von maximal 5 mm aufweist.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich (1.3) mit dem kleinsten freien Querschnitt konvex gekrümmt ist.
15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die
Schneidgaseintrittsöffnung (1.1) der Düse (1) eine freie Querschnittsfläche aufweist, die 1 bis 5 -fach größer als die freie Querschnittsfläche der Schneidgasaustrittsöffnung (1.2) der Düse (1) ist.
16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schneidgasaustrittsöffnung (1.2) der Düse (1) einen Innendurchmesser im Bereich 3 mm bis 20 mm aufweist.
17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die freie Querschnittsfläche im Bereich (1.1) des kleinsten inneren Querschnitts der Düse (1) im Bereich 0,7 mm2 bis 40 mm2 liegt.
18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- Sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass optische
Elemente für die Auslenkung und/oder Formung des Laserstrahls (2) und die Düse (1) in/am Gehäuse (3) angeordnet sind.
19. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass unterschiedlich dimensionierte und/oder unterschiedliche innere Querschnittsgeometrien aufweisende Düsen (1) an der Vorrichtung austauschbar befestigt sind.
20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Plan-Plan Linse (5, 6), die um zwei Achsen schwenkbar ist und eine fokussierende optische Linse (7) als optische Elemente für die Auslen- kung und Formung des Laserstrahls (2) vorhanden sind.
21. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Plan- Plan Linsen (5, 6) , von denen mindestens eine um mindestens eine Achse drehbar ist und eine optisch fokussierende Linse (7) als optische Elemente für die Auslenkung und Formung des Laserstrahls (2) vorhanden sind.
22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein fokus- sierendes optisches Element (7) und mindestens ein um mindestens eine Achse schwenkbares optisches Element (8, 9) für die Auslenkung und For- mung des Laserstrahls (2) vorhanden sind und mindestens eines dieser optischen Elemente um eine Achse schwenkbar ist.
23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein fokussierendes optisches Element (7) entlang der Laserstrahlachse zur Veränderung der Position des Brennpunktes des fokussierten Laserstrahls (2) verschiebbar ist.
24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil des Gehäuses (3) entlang der Laserstrahlachse zur Veränderung der Position des Brennpunktes des fokussierten Laserstrahls (2) verschiebbar ist.
25. Verfahren zum Laserstrahlschneiden metallischer Werkstücke mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Düse (1) und/oder das Gehäuse (3) zumindest bei einer Vorschubachsrichtungsänderung um den
Drehpunkt (B) geschwenkt wird/werden.
26. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass Schneidgas durch die Düse (1) mit einer Geschwindigkeit, die mindestens der Schall- geschwindigkeit entspricht, im Bereich (1.3) des kleinsten inneren Querschnitts der Düse (1), geführt wird.
27. Verfahren nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung in mindestens einer Achsrichtung über die Oberfläche eines
Werkstücks bewegt und dabei der Laserstrahl (2) so auf das Werkstück gerichtet wird, dass er in jedem Auslenkungswinkel und/oder Schwenkwinkel der Düse (1) durch den/die Drehpunkt (e) (A), (B) im Bereich (1.3) des kleinsten inneren Querschnitts der Düse (1) gerichtet ist.
28. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (2) oszillierend zwischen Umkehrpunkten seines Brennflecks ausgelenkt wird.
29. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (2) um einen Mittel- oder Flächenschwerpunkt ausge- lenkt wird.
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