WO2009027457A3 - Verfahren zum messen der dicke einer auf einem träger befindlichen schicht - Google Patents

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Jens Klingemann
Ursus Krueger
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Volkmar Luethen
Ralph Reiche
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Jens Dahl Jensen
Jens Klingemann
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Messen der Dicke (d) einer auf einem Träger (20) befindlichen Schicht (40). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Schicht Teilchen (80) aus einem magnetisierbaren Material enthält und die Dicke mit Hilfe eines magnetischen Messverfahrens gemessen wird.
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