WO2009024291A1

WO2009024291A1 - Spektral abstimmbares lasermodul

Info

Publication number: WO2009024291A1
Application number: PCT/EP2008/006703
Authority: WO
Inventors: Frank Fuchs; Rudolf Moritz; Christoph Wild; Eckhard WÖRNER
Original assignee: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Priority date: 2007-08-20
Filing date: 2008-08-14
Publication date: 2009-02-26
Also published as: EP2193581A1; US20100220755A1; DE102007039219B4; EP2193581B1; DE102007039219A1; ATE533211T1

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Lasermodul umfassend eine flächige Substratbasis (1) mit einem Montagebereich (A) und mit mindestens einem an den Montagebereich angrenzenden Wärmeleitungsbereich (B), ein im Montagebereich angeordnetes Heizelement (2) und ein im Montagebereich angeordnetes Temperatursensorelement (5).

Description

Spektral abstimmbares Lasermodul

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein spektral abstimmbares Lasermodul, auf ein Verfahren zum Betrieb eines solchen Lasermoduls und auf Verwendungen eines solchen. Spektral abstimmbare Lasermodule werden vor allem im Bereich der Analytik von Gasen, Flüssigkeiten und/oder Oberflächen eingesetzt.

Im Bereich der Analytik von Gasen, Flüssigkeiten und Oberflächen nehmen lasergestützte, spektroskopische Messverfahren einen immer breiteren Raum ein. Ein e- tabliertes Arbeitsgebiet stellt die Spurengasanalyse mittels einmodiger Halbleiterlaser dar. Hierbei wird die Veränderung der Emissionswellenlänge des Lasers unter elektrischem Pumpen ausgenutzt. Die Injektion eines Strompulses in die aktive Schicht des Halbleiterlasers führt zu einer Erwärmung und damit zu einer Verschiebung der Laserwellenlänge von der Größenord- nung etwa einer Wellenzahl, d.h. im mittleren Infra- roten Spektralbereich weniger als ein Promille. Bei leichten Molekülen mit geringen Linienbreiten und entsprechend schmaler Emissionscharakteristik des Lasers ist dies ausreichend und kann für die hochemp- findliche chemisch spezifische Sensorik verwendet werden. Diese Methode ist Stand der Technik und wird im angelsächsischen Raum mit tunable diode laser spectroscopy (TDLAS) bezeichnet.

Schwere, komplexer aufgebaute, organische Moleküle weisen dagegen im infraroten Spektralbereich Spektren mit wesentlich breiteren charakteristischen Absorptionsbanden auf . Die Halbwertsbreiten liegen typischerweise bei 10 bis 30 Wellenzahlen, also weit über dem Abstimmbefβich. der oben beschriebenen klassischen Laserspektroskopie. Bisher erfordern solche großen Abstimmbereiche wesentlich aufwendigere Techniken, wie z. B. einen external cavity Laser (ECL) oder Frequenzmischverfahren wie sie z. B. in einem optisch- parametrischen Oszillator zur Anwendung kommen (OPO- System) .

Mit der klassischen TDLAS-Technik ist das Abscannen einer solch breiten Absorptionslinie nicht möglich und somit die Aussagekraft einer Messung bezüglich der chemischen Spezies und der Querempfindlichkeiten zu anderen Substanzen stark eingeschränkt.

Um den Abstimmbereich von Halbleiterlasern zu erwei- tern, könnte man erwägen, denselben bei größeren

Strömen zu betreiben um eine größere Temperaturverschiebung zu erzielen. Die Erwärmung der aktiven Schicht eines Halbleiterlasers über den Injektionsstrom hat jedoch Grenzen. So kann prinzipiell über einen sehr hohen Injektionsstrom immer eine sehr starke Erwärmung erzielt werden, jedoch sind sehr ho- he Ströme in einem Halbleiterlaser in der Regel mit ungeeigneten spektralen Charakteristika verbunden. Die Modencharakteristik wird in der Regel sehr komplex und das Rauschverhalten ungünstig. Außerdem kön- nen hohe Ströme im Bauelement nicht beherrschbare lokale Überhitzungen verursachen die letztlich zur Zerstörung führen. So stellen sich z. B. bei hohen Strömen im Bereich der Laserfacetten größere Temperaturen ein als im Volumen des Lasers, was zum Totalausfall führen kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Lasermodul zur Verfügung zu stellen, welches erlaubt, den Abstimmbereich eines mit dem Lasermodul betriebe- nen Lasers bzw. eines Lasers des Lasermoduls dβuLli- che zu vergrößern im Vergleich zum Stand der Technik. Aufgabe ist es darüberhinaus , ein Lasermodul zur Verfügung zu stellen, mit der eine schnelle und genaue Steuerung der entsprechenden Abstimmung möglich ist, und mit welchem eine hohe Homogenität im durchzustimmenden Bereich erzielbar ist.

Die vorstehende Aufgabe wird durch ein Lasermodul nach Anspruch 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausges- taltungsformen des erfindungsgemäßen Lasermoduls ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen 2 bis 22. Darüberhinaus stellt die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Verfahren zum Betrieb des Lasermoduls zur Verfügung (Ansprüche 22 und 23); auch Verwendun- gen werden beschrieben (Anspruch 24) .

Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung zunächst allgemein beschrieben. Sodann schließt sich ein konkretes Ausführungsbeispiel an. Die einzelnen erfin- dungsgemäßen Merkmale des konkreten Ausführungsbeispiels können hierbei im Rahmen der vorliegenden Er- findung nicht nur in einer Kombination, wie sie das speziell vorgestellte vorteilhafte Ausführungsbeispiel zeigt, auftreten, sondern auch im Rahmen der Erfindung in beliebigen anderen Kombinationsmöglich- keiten ausgebildet sein oder verwendet werden.

Grundlegende Idee der vorliegenden Erfindung ist es, das Lasermodul so zu gestalten, dass die Temperaturveränderung des Lasers (und die damit verbundene Ver- Schiebung der Emissionswellenlänge des Lasers) entkoppelt von den Injektionsbedingungen des Lasers erfolgen kann. Mit einer solchen erfindungsgemäßen Entkopplung lässt sich im Vergleich zum Erwärmen des Lasers über den Injektionsstrom (wie bei der aus dem Stand der Technik bekannten TDLAS-Technik) eine wesentlich größere Temperaturverschiebung von mehreren 100 K ermöglichen (im nachfolgenden Beispiel wurden mehr als 200 K erzielt) . Erfindungsgemäß erfolgt dies ohne eine zusätzliche thermische Last in die aktive Schicht des Lasers einzubringen. Die vorliegende Erfindung stellt somit ein Lasermodul zur Verfügung, bei dem sich die Temperatur des auf dem Lasermodul angeordneten Halbleiterlasers mithilfe des Diamant- submounts des Lasermoduls sehr schnell variieren bzw. modulieren lässt. Ein entscheidender Aspekt ist hierbei das Einregeln eines schnellen Temperaturanstiegs in Kombination mit einem hohen Temperaturhub. Durch diese durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung mögliche Temperaturmodulation ist die Möglichkeit gegeben, die Wellenlänge des Lasers in sehr kurzer Zeit abzustimmen. Das Lasermodul ist erfindungsgemäß so ausgebildet, das es möglich ist, die Temperatur des Lasers bzw. des Laserchips unabhängig vom Laserstrom bzw. entkoppelt von den Injektionsbedingungen des Lasers mit hoher Geschwindigkeit (insbesondere mit größer als 1000 K/s) und/oder mit hohme Hub (insbesondere größer als 100 K) zu modulieren. Somit wird ein wesentlich größerer Abstimmbereich erreicht, als es bei den aus dem Stand der Technik bekannten spektral abstimmbaren Lasern möglich ist. Weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung lassen sich der Beschreibung des Ausführungsbeispiels entnehmen.

Erfindungsgemäß wird ein Lasermodul zur Verfügung gestellt, welches eine flächige Substratbasis (welche bevorzugt aus einem einzigen Material, insbesondere Diamant, ausgebildet ist) aufweist, wobei diese in der Regel als längliche flächige Substratbasis ausgebildet ist (Verhältnis von Länge zu Breite vorteil - hafterweise > 5) und in einen Montagebereich und min- destenε einen weiteren, an diesen Montagebereich angrenzenden Wärmeleitungsbereich unterteilt ist. Im Montagebereich wird dann auf der flächigen Substratbasis sowohl ein Heizelement, als auch ein Temperatursensorelement angeordnet.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltungsform, die nachfolgend noch ausführlich beschrieben wird, werden in den Wärmeleitungsbereich mehrere die Substratbasis senkrecht zur Flächenebene vollständig durchschneidende Einschnitte bzw. Einsägungen eingebracht, so dass hierdurch in diesem Wärmeleitungsbereich ein mäanderförmiges thermisches Widerstandselement ausgebildet wird. Besonders vorteilhaft weist ein erfindungsgemäßes Lasermodul auf zwei gegenüber- liegenden Seiten eines zentralen Montagebereichs zwei angrenzende Wärmeleitungsbereiche auf, in welchen jeweils ein solches mäanderförmiges thermisches Widerstandselement ausgebildet ist. Vorteilhafterweise schließen sich dann noch an den bzw. den dem Montage- bereich abgewandten Ende bzw. Enden der flächigen

Substratbasis angrenzend an den bzw. die jeweiligen Wärmeleitungsbereich (e) ein bzw. zwei Kontaktflächen- bereich(e) an. Ein solcher Kontaktflächenbereich, welcher vorteilhafterweise ebenfalls als Teil der flächigen Substratbasis ausgebildet ist, kann dann als Kontaktfläche zu einer externen Wärmesenke dienen. Vorteilhafterweise weist hierbei, wenn ebenso wie der Montagebereich als Teil der flächigen Substratbasis ausgebildet, ein solcher Kontaktflächenbe- reich dieselbe Wärmeleitfähigkeit auf, wie der Monta- gebereich.

Besonders vorteilhaft wird für die flächige Substratbasis ein Material gewählt, welches eine Wärmeleitfähigkeit von größer als 1.000 W/ (K*m) aufweist . Insbe- sondere βxgnθt sich lϊxβxf ui DxciiHctiiL .

Durch die besonders vorteilhafte Kombination eines solchen Materials hoher Wärmeleitfähigkeit mit der erfindungsgemäßen Unterteilung in einen Montagebe- reich (in dem sich sowohl das Heizelement als auch das Temperatursensorelement befindet und in dem dann auch der Laser angebondet wird) und den oder die danebenliegenden Wärmeleitungsbereich (e) sowie das vorteilhafte Ausbilden entsprechender Einschnittsberei- che bzw. thermischer Widerstandselemente in dem oder den Wärmeleitungsbereich (en) lässt sich nicht nur eine sehr große thermische Homogenität im Bereich der Auflagefläche des Lasers (Montagebereich) erzielen, sondern auch die Temperaturänderung sehr schnell steuern, somit der Laser sehr schnell über den gewünschten Spektralbereich abstimmen. Vorteilhafterweise werden hierzu insbesondere das Heizelement, das Temperatursensorelement und der Laser möglichst nahe beieinander im Montagebereich des flächigen Substrats angeordnet. Nachfolgend zeigen die Figuren 1 bis 7 des speziellen Ausführungsbeispiels :

Figur 1 eine vorteilhafte Ausgestaltungsform ei- nes erfindungsgeraäßen Lasermoduls.

Figur 2a die Vorderflächenansicht V und die Rückflächenansicht R der Substratbasis 1 mit aufgebrachtem Temperatursensorelement (beim Lasermodul von Figur 1) .

Figur 2b das entsprechende Modul von Figur 1 mit montiertem und gebondetem Laser sowie mit thermisch angebundenen Wärmesenken.

Figur 3 den Temperaturverlauf des Lasermoduls aus Figur 1 bei verschiedenen Dauern von Heizpulsen.

Figur 4 den zeitlichen Verlauf der Spannung am

Heizelement bzw. Heizwiderstand, die Temperatur am Temperatursensorelement und die Laserintensität bei einem 100 ms Ein- zelpuls der Heizspannung.

Figur 5 Leistungs-Stromkennlinien des zusammen mit dem Lasermodul gemäß Figur 1 verwendeten Lasers .

Figur 6 die Emissionscharakteristik eines in Verbindung mit dem Modul aus Figur 1 verwendeten Quantenkaskadenlasers .

Figur 7 verschiedene Materialien, wie sie für das flächige Substrat verwendet werden können. Figur 1 zeigt ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Lasermoduls. Das Lasermodul weist eine flächige Substratbasis 1 aus Diamant auf, welche eine Dicke senkrecht zur hier gezeigten Flächenebene von 0.1 mm aufweist, und deren Längen- zu- Breiten-Verhältnis hier 5 beträgt (Länge in Richtung L, Breite in Richtung BR) . Die flächige Substratbasis 1 ist nun entlang der Längsrichtung L in insgesamt fünf Abschnitte wie folgt unterteilt: In einen zentralen Abschnitt bzw. Bereich, die Montagefläche A, beidseits der Montagefläche bzw. des Montagebereichs A und angrenzend an diesen in jeweils einen Wärmeleitungsbereich (Bereiche Bl und B2) und in jeweils an die WärmeIeituiiy≤btiieiche BI und B2 auf der dem Montagebereich A abgewandten Seite der Wärmeleitungsbereiche angeschlossene Kontaktflächenbereiche Cl und C2 (diese bilden somit jeweils die Endbereiche der Substratbasis aus) . Der Montagebereich A und die bei- den Wärmeleitungsbereiche Bl und B2 sind hierbei in

Längsrichtung L etwa gleich groß; die beiden Kontakt- bereiche Cl, C2 weisen jeweils etwa die halbe Länge hierzu auf. Die vorstehend genannten Bereiche umfassen hierbei jeweils den gezeigten Oberflächenab- schnitt auf der Oberseite der Substratbasis 1 sowie den zugehörigen, d.h. sich exakt auf der gegenüberliegenden Unterseite der Substratbasis 1 befindenden Oberflächenabschnitt. Wie nachfolgend noch näher beschrieben, sind weitere Elemente des erfindungsgemä- ßen Lasermoduls im Montagebereich A auf dessen Oberseite und auf dessen Unterseite bzw. auf dem entsprechenden Oberseitenabschnitt und Unterseitenabschnitt der Substratbasis angeordnet.

Die Abschnitte Bl und Cl einerseits sowie die Abschnitte B2 und C2 andererseits sind somit auf gege- nüberliegenden Seiten des Montagebereichs A angeordnet (alle genannten Abschnitte in einer Linie) . Es ist jedoch selbstverständlich auch möglich, beispielsweise die Abschnitte Cl und Bl nicht um 180° versetzt zu den Abschnitten B2 und C2 anzuordnen, sondern im 90°-Winkel (Anordnung in Form eines „L" mit dem Montagebereich A im Knickpunkt des „L") . Wie nachfolgend noch genauer beschrieben, besteht das gezeigte Lasermodul bzw. dessen Substratbasis aus einem Material hoher Wärmeleitfähigkeit (Diamant) , bei dem die im Montagebereich A benachbarten WärmeIeitungsbe- reiche B mit reduzierter Wärmeleitfähigkeit ausgebildet werden. Im Bereich der Montagefläche A werden dann mittels vorder- und/oder rückseitiger Metalli- siexungen das Heizelement und das TeiϊipθxaLux≤eiiSür- element angeordnet. Ebenso wird im Bereich A eine Laserbondmetallisierung vorgesehen, so dass der Halbleiterlaser ebenfalls im Bereich A mit der Substratbasis in Kontakt gebracht wird. In den Kontaktflä- chenbereichen C ist die Substratbasis so ausgestaltet, dass sie dieselbe Wärmeleitfähigkeit aufweist, wie im Montagebereich A. In diesen Bereichen C werden dann Wärmesenken (beispielsweise Kupferkörper oder ähnliches, auch flüssigkeitsbetriebene Wärmesenken oder ähnliches sind möglich, wie dem Fachmann bekannt ist) realisiert. Im Bereich A, in dem sich sowohl die Lasermontagefläche, als auch der Laser, das Heizelement und der Temperatursensor befinden, ist die flächige Substratbasis homogen und unstrukturiert ausge- arbeitet, so dass sich eine hohe Wärmeleitfähigkeit ergibt. Beim im vorliegenden Beispiel verwendeten Diamantmodul mit Abmessungen 3 x 13 mm² und einer Dicke von 0.1 mm hat der nicht aufliegende Bereich B (10 x 3 mm²) eine Wärmekapazität von 5.5 10^"3 J/K (bei 300 K) . Der Wert für die Wärmesenke W sollte mindestens einen Faktor 10 darüber liegen. Hier gewählt ist etwa der Faktor 20 (ergibt 0.1 J/K für die Wärmesenke W) ,

Mittels der Bereiche B mit reduzierter Wärmeleitfähigkeit kann nun wie folgt ein Temperaturgradient zur Wärmesenke bzw. zu den Kontaktflächenbereichen C aufgebaut werden: In den Bereichen B wird durch Einschnitte (Einsägungen) in das Material der Substrat - basis 1 die Wärmeleitung gezielt reduziert. Im Bereich der Kontaktflächen C, welche den Kontakt zur Wärmesenke herstellen, hat das Modul wieder die maximale Wärmeleitfähigkeit. Für die Substratbasis 1 wird hier wie vorbeschrieben Diamant verwendet, es lassen sich jedoch auch andere Materialien wie SiC oder AlN verwenden (siehe auch Tabelle der Figur 7) .

Im Montagebereich A ist nun auf der in Figur 1 gezeigten Oberseite des Moduls ein Temperatursensorelement 5 in Form einer C- förmigen Metallisierung aufgebracht. Dieses Temperatursensorelement 5 ist mit zwei elektrischen Kontakten 6 elektrisch verbunden, über die dann ein Temperatursensorkopf (beispielsweise in Form eines Widerstandsmessgerätes) angeschlossen werden kann. Ebenfalls auf der hier gezeigten Vorderseite ist im Montagebereich A eine weitere Metallisie- rung, die Laserbondmetallisierung 8 angeordnet. Dies dient dem Anbonden von Kontakten des verwendeten Halbleiterlasers mittels des hier ebenfalls im Bereich A angeordneten Lotdepots 7. Der verwendete Halbleiterlaser (hier nicht gezeigt) wird somit eben- falls im Bereich A und in unmittelbarer Nähe zum Temperatursensorelement (sowie ebenfalls zum nachfolgend noch näher beschriebenen Heizelement) angeordnet.

Auf der der hier gezeigten Vorderseite V gegenüber- liegenden Rückseite R (vgl. Figur 2a) der Substratbasis 1 ist ebenfalls im Montagebereich A und somit in unmittelbarer Nähe zu den Elementen 5 bis 8 das Heizelement 2 in Form eines mäanderförmig verlaufenden Heizwiderstands (welcher ebenfalls als metallisierte Schicht ausgebildet ist) angeordnet. Das Heizelement 2 ist hier nicht eingefärbt, sondern lediglich anhand seiner Umrandungen gezeichnet, um darzustellen, dass es sich bezogen auf die Elemente 5 bis 8 auf der gegenüberliegenden Oberflächenseite R befindet. Auch das Heizelement 2 weist zwei (hier nicht gezeigte) elektrische Anschlusskontakte auf, mittels derer eine Stromquelle an das Heizelement 2 angeschlossen werden kann.

Jeder der beiden Wärmeleitungsbereiche Bl und B2 ist nun wie folgt ausgestaltet: In. Richtung^" der Längsrichtung L gesehen werden alternierend (d.h. abwechselnd von beiden Seitenrändern her, hier im gezeigten Bild also von der oberen Längsschmalseite und der unteren Längsschmalseite her) Einschnitte in die Sub- stratbasis 1 eingebracht. Diese Einschnitte (beispielsweise die Einschnitte El und E2) werden hierbei durch die gesamte Dicke (senkrecht zur Papierebene) des Substrats eingebracht (z.B. vollständiges Durchsägen der Substratschicht) . In Längsrichtung gesehen weisen hierbei benachbarte Einschnitte El, E2 den Abstand d auf. Die Einschnittlänge, d.h. ihre Tiefe in Richtung der Breitenrichtung BR gesehen, beträgt 1. Die Länge 1 ist hierbei deutlich größer als der Abstand d, das Verhältnis beträgt hier etwa V2=l/d=4. Da die Breite BR des Substrats 1 nur unwesentlich größer als 1 ist (hier etwa 1,25*1) und da in jedem der Bereiche Bl und B2 sechs Einschnitte E vorgenommen wurden, wird in jedem der Bereiche Bl und B2 somit ein mäanderförmiges thermisches Widerstandsele- ment ausgebildet (Widerstandselemente 4a und 4b) . Wesentlich hierbei ist somit zum einen, dass das be- schriebene Verhältnis V2=l/d eine Mindestgröße so aufweist und dass benachbarte Einschnitte jeweils abwechselnd von beiden Seiten (in Längsrichtung L gesehen) so eingesägt werden, dass sich für die Wärmelei- tung der besagte mäanderförmige, somit im Vergleich zu der Ausdehnung der Bereiche Bl und B2 in Längsrichtung gesehen deutlich verlängerte Weg ergibt. Die vorstehend beschriebene Geometrie ist hierbei so ausgebildet, dass im gezeigten Fall das Verhältnis V1=W_A/W_B der Wärmeleitfähigkeit W_A des Montagebereichs A und der Wärmeleitfähigkeit W_B eines WärmeIeitungs- bereichs Bl, B2 etwa 30 ist.

Entscheidend ist darüberhinaus die kompakte, integ- rierte Anordnung der Elemente 5 bis S im Montagebereich A: Entscheidende Größe hierbei sind die beiden Verhältnisse v3 und v4 wie folgt. Sei A_H die mittlere Ausdehnung des Heizelements in der Flächenebene (wenn das Heizelement 2 in erster Näherung quadratisch an- genommen wird, entspricht dies einer Seitenlänge des Quadrats) . Sei A_τ die entsprechende mittlere Ausdehnung des Temperatursensorelements (weist dieses beispielsweise in der Flächenebene näherungsweise die Form eines Kreises auf, so entspricht diese Ausdeh- nung dem Kreisdurchmesser) . Bildet man nun von diesen beiden Ausdehnungswerten den Mittelwert A_Hτ und setzt diesen ins Verhältnis zum Abstand a_Hτ zwischen dem Heizelement und dem Temperatursensorelement, so sind die beiden Elemente 2, 5 so anzuordnen, dass das Ver- hältnis v3=a_Hτ/A_Hτ möglichst klein ist. Der Abstand ist hierbei als der Abstand der (geometrischen) Schwerpunkte der beiden Elemente 2 , 5 in der Flächenebene definiert. V3 ist hier etwa 0,8. Ebenso lässt sich das Verhältnis

vom Abstand a_HL zwischen dem Heizelement einerseits und der Laserbondmetallisierung 8 (oder dem Laser) andererseits und von der entsprechend gemittelten mittleren Ausdehnung A_KL des Heizelements und der Laserbondmetallisierung (oder des Lasers) definieren. Der Abstand ist hier wieder über die Schwerpunkte und in der Flächenebene defi- niert . Auch dieser Wert sollte so gewählt werden, dass er möglichst klein ist (er beträgt hier etwa 0,5) .

Auf der Oberseite der Substratbasis 1 ist somit in der Mitte A eine Goldmetallisierung (Laserbondmetallisierung 8) aufgebracht, die zur Montage eines Halbleiterlasers mittels Verlötung dient (siehe auch Figur 4) . Auf diese Goldfläche werden die Rückkontakte des Lasers gebondet. Auf der Rückseite der Substrat- basis 1 befindet sich eine weitere Metallisierung

(Heizelement 2), deren Ausgestaltung (mäanderförmig) so ist, dass ein einfaches, schnelles, selektives Beheizen der mittleren Montagefläche A ermöglicht wird. Der thermische Widerstand der Montagefläche A relativ zu den seitlichen Auflageflächen (Kontaktflächen Cl und C2) wird durch die Einschnitte E in den Wärmeleitungsbereichen Bl und B2 definiert eingestellt. Wird dann die Substratbasis im Bereich C mit einer Wärme- senke W (vgl. Figur 4) kontaktiert, kann durch Behei- zen der Montagefläche A des Lasers die Temperatur definiert und schnell erhöht werden. Die Metallisierung 5 bzw. das Temperatursensorelement 5 auf der Vorderseite des Moduls ermöglicht (im einfachsten Fall über eine Widerstandsmessung) eine ständige Kontrolle der Lasertemperatur.

Figur 2 zeigt nun in Figur 2a eine konkrete Ausbildung eines erfindungsgemäßen Lasermoduls in Vorderseitenansicht V und Rückseitenansicht R mit der Heiz- metallisierung bzw. dem Heizelement 2 auf der Rückseite R und der Temperatursensormetallisierung bzw. dem Temperatursensorelement 5 auf der Vorderseite V.

In Figur 2b ist eine Detailansicht gezeigt, hier ist lediglich noch der Montagebereich A mit den seitlich davon angeordneten Wärmeleitungsbereichen Bl und B2 sichtbar: Die Kontaktbereiche Cl und C2 werden hier durch die Wärmesenken (Kupferkörper) Wl und W2 überdeckt. Ebenfalls gezeigt ist der angebondete Laser. Die seitlichen Kupferauflageflächen der Wärmesenken Wl, W2 bilden den Kontakt des Lasers zur Wärmesenke.

Mit Verwendung von Diamant als Werkstoff für die flächige Substratbasis 1 wird die bestmögliche Gesamtperformance des Lasermoduls erreicht. Vor allem für den schnellen Teiriperaturausgleich im Mon'cagebereich A zwischen Heizelement 2, flächiger Substratbasis 1 und Temperatursensorelement 5 ist wegen der hohen Wärmeleitfähigkeit die Verwendung von Diamant vorteilhaft. Damit können sehr schnelle definierte Temperaturver- änderungen erzielt werden. Es lassen sich mit dem erfindungsgemäßen Diamantmodul Raten von mehr als 2.500 K/s bei Temperaturhüben zwischen 77 K und 300 K erreichen (vgl. auch Figur 5, welche den Temperaturverlauf eines erfindungsgemäßen Lasermoduls mit Diamant- Substratbasis bei verschiedenen Dauern eines an das Heizelement 2 angelegten Heizpulses zeigt (die schnellste Rate von mehr als 2.500 K/s wurde mit einem Heizpuls der Länge 100 ms erreicht) ) .

In Figur 4 sind die Verläufe der Heizspannung am

Heizwiderstand 5 (a) , der Temperatur am integrierten Sensor (im Montagebereich A) (b) und der Laserintensität (c) während eines 100 ms dauernden Heizpulses dargestellt. Das Absinken der Temperatur nach Aus- schalten der Heizspannung dauert etwas länger als das Aufheizen. Die Anstiegsrate hängt hierbei vom thermi- sehen Widerstand im Wärmeleitungsbereich B und der Heizleistung ab, die Abfallcharakteristik kann ebenfalls mit dem thermischen Widerstand eingestellt werden. Die Definition des thermischen Widerstandes er- gibt sich durch die Zahl und Ausgestaltung der seitlichen Einschnitte im Diamantträger (Figur 1) . Im vorliegenden Beispiel ist die Wärmeleitfähigkeit in Zone B (vgl. Fig. 1) gezielt um einen Faktor 30 reduziert worden. Somit ist nur eine sehr geringe Heiz- leistung nötig um die Temperatur von 77 K auf 300 K anzuheben. Die maximale Heizleistung am Ende des Heizpulses nach 80 ms beträgt nur etwa 300 mW. Die so reduzierte Wärmeleitfähigkeit limitiert die Zeit des Temperaturabfalls nach Abschalten des Heizers von 300 K zurück auf die Easisteir.peratur von 77 K auf ca. 15ö ms (Fig. 4 (b) ) . Durch Modifikation der Einschnitte im Bereich B kann dieses Verhalten gezielt optimiert werden. Weniger Einschnitte erhöhen die Wärmeleitfähigkeit. D.h. es wird für den gleichen Temperaturan- stieg mehr Heizleistung benötigt. Dafür wird der Temperaturabfall nach Ausschalten des Heizers schneller erfolgen.

Fig. 4 (c) zeigt den Intensitätsverlauf der Laser- emission. Wie erwartet, reduziert sich die Laserintensität beim Verlauf von 77 K bis Raumtemperatur auf etwas unter die Hälfte. Die leichten Oszillationen der Intensität sind die Folge von Änderungen der Modenverteilung infolge der Verschiebung der Laserwel- lenlänge .

Zu beachten beim Betrieb des hier beschriebenen Moduls ist die unterschiedliche thermische Ausdehnung der verwendeten Materialien. Die thermische Ausdeh- nung von Diamant ist kleiner als die des vorliegenden III-V Halbleiters des im gezeigten Beispiel verwende- ten Lasers (vgl. Fig. 7) . Bei der Auslegung ist die thermisch induzierte Verspannung zwischen Diamant und dem Halbleiterlaser möglichst klein zu halten. Zudem muss die Lötverbindung zwischen Laser und Modul aus- reichend stabil sein. Um die Verspannung und Wärmekapazität minimal zu halten, ist ein möglichst kleiner Laserchip zu verwenden. Ferner ist die Änderungsrate der Temperatur anzugleichen an die Zeit, die der Laserchip benötigt um eine möglichst gleichmäßige Tem- peraturverteilung anzunehmen. Ansonsten werden zusätzliche innere Verspannungen erzeugt, die zur Zerstörung des Laserchips führen können.

Es wurden Belastungstests mit aktivem Laserbauelement im oben beschriebenen Betriebsmodus durchgeführt: Bei Verwendung eines 2000 μm x 1000 μm großen Laserchips, auf dem sich ein 8 μm x 2000 μm großer Quantenkaska- denlaser (QC-Laser) befand, konnten 10000 Temperaturzyklen zwischen 77 K und 300 K durchgeführt werden ohne dass der Laser, der sich dabei ständig im Betrieb befand, Schaden gelitten hätte.

In Fig. 5 wird die optische Leistung des Lasers gegen den Injektionsstrom dargestellt (Leistungs-Strom Kennlinien des Lasers, gemessen bei 77 K) .

1: Vor Beginn der Zyklentests, 2: nach 3000 Temperaturzyklen, 3: nach 7000 weiteren Zyklen. Man beobachtet leichte Änderungen der Kennlinie im mittleren Strombereich. Hier schwingen verschiedene laterale Moden an, deren Verteilung offenbar leicht variiert. Die maximale Ausgangsleistung und insbesondere der Schwellstrom haben sich im Rahmen der Messgenauigkeit auch nach insgesamt 10000 Zyklen nicht geändert.

Mit der Erfindung wird ein neuartiges Konzept dargelegt, das die Erweiterung des spektralen Abstimmbe- reichs von Halbleiterlasern in der optischen Spektroskopie erlaubt. Ein QC-Laser_; aufgebaut auf dem Dia- mantmodul, wird abwechselnd bei 180 K und 120 K betrieben. Die Periode des kompletten Heiz- und Kühl- zyklus beträgt 1 s. Wie in der Emissionscharakteristik von Fig. 6 dargestellt, liegt die Laseremission bei 180 K genau passend zur Absorption eines komplexen Moleküls einer Testsubstanz mit breiter Absorptionsbande zentriert bei 1350 cm^"1. Bei 120 K ver- schiebt sich die Emissionscharakteristik zu 1380 cm^'1 (bei 120 K kann eine Referenzmessung durchgeführt werden) . Mit einem geeigneten optischen Verfahren kann während der Halbperiode des Temperaturzyklus bei 180 K die Absorption gemessen werden (Sensing-Modus) , wobei in der zweiten Haibperiode eine Referenzbildung ermöglicht wird (Referenz-Modus) , da die Substanz im Spektralbereich um 1380 cm^"1 nicht absorbiert. Somit wird ein spektral differentielles Messverfahren ermöglicht, bei dem die Einzelmessung etwa im Zeitbe- reich zwischen 100 ms und einer Sekunde liegen kann. Der Laser wurde mit einer Stromdichte von 8 kA/cm² bei einer Pulslänge von 5 μs und einer Repetitionsra- te von 2 kHz betrieben.

Figur 7 zeigt schließlich die verschiedenen Materialparameter typischer Materialien, die für die Verwendung als Substratbasis des erfindungsgemäßen Lasermoduls in Frage kommen.

Claims

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT...e.V. 089PCT 0966Patentansprüche

1. Lasermodul umfassend eine flächige Substratbasis (1) mit einem Montagebereich (A) und mit mindestens einem an den Montagebereich angrenzenden Wärmeleitungsbereich (B) , ein im Montagebereich angeordnetes Heizelement ( 2 ) und ein im Montagebereich angeordnetes Temperatursensorelement (5)

dadurch gekennzeichnet, dass in mindestens einem der Wärmeleitungsbereiche (B) über mindestens zwei die Substratbasis senkrecht zur Flächenebene vollständig durchschneidende Einschnitte (El, E2) ein mäanderförmiges thermisches Widerstandselement (4) ausgebildet ist.

2. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet, dass die Einschnitte des mäanderförmigen thermischen Widerstandselements (4) und/oder die Substratbasis (1) so ausgebildet und/oder angeordnet sind, dass das Verhältnis vl=W_A/W_B der Wärmeleitfähigkeit W_A des Montagebereichs (A) und der Wärmeleitfähigkeit W_B des Wärmeleitungsbereichs (B) größer als 10 oder größer als 20 oder größer als 30 oder größer als 50 ist.

3. Lasermodul nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche ,

dadurch gekennzeichnet, dass

das mäanderförmige thermische Widerstandselement (4) mindestens vier oder mindestens sechs oder mindestens acht Einschnitte aufweist und/oder

dass das Verhältnis v2=l/d von Einschnittslänge

1 und Einschnittsabstand d zweier benachbarter Einschnitte bei mindestens zwei Einschnitten des mäanderförmigen thermischen Widerstandselements (4) größer als 1 oder größer als 1.5 oder größer als 2 oder größer als 3 oder größer als 5 ist.

4. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass

die Substratbasis (1) , der Montagebereich (A) , der Wärmeleitungsbereich (B) , das Heizelement

(2) und/oder das Temperatursensorelement (5) so angeordnet und/oder ausgebildet ist, dass die Temperatur eines im Montagebereich (A) angeordneten Lasers unabhängig vom Laserstrom oder der Injektion eines Strompulses in die aktive

Schicht des Lasers mit einer Geschwindigkeit von größer als 500 K/s oder größer als 1000 K/s und einem Hub größer als 50 K oder größer als 100K regelbar ist.

5. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet , dass die Substratbasis (1) zwei an den Montagebereich (A) angrenzende Wärmeleitungsbereiche (Bl, B2) aufweist .

6. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet, dass

diese beiden Wärmeleitungsbereiche (Bl, B2) auf gegenüberliegenden Seiten an den Montagebereich angrenzen.

7. Lasermodul nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass in beiden Wärmeleitungsbereichen (Bl, B2) jeweils ein mäanderförmiges thermisches Widerstandselement (4a, 4b) ausgebildet ist.

8. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

gekennzeichnet durch eine Substratbasis (1) aus genau einem Material.

9. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet, dass das Material Diamant, SiC, AlN, InP, Si oder Sa- phir ist.

10. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 8,

dadurch gekennzeichnet, dass

die Substratbasis eine Wärmeleitfähigkeit von größer als 200 W/ (m*K) oder von größer als 400

W/ (m*K) oder von größer als 1000 W/ (m*K) oder von größer als 2000 W/ (m*K) aufweist.

11. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet , dass das Heizelement und das Temperatursensorelement auf ein und derselben Oberflächenseite des Montagebereiches der flächigen Substratbasis angeordnet sind

oder dass das Heizelement und das Temperatursensorelement auf den gegenüberliegenden Oberflächenseiten des Montagebereiches der flächigen Substratbasis angeordnet sind.

12. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass

das Verhältnis v3=aHτ/A_Hτ vom Abstand a_Hτ zwischen Heizelement und Temperatursensorelement und von der gemittelten mittleren Ausdehnung A_Hτ des

Heizelements und des Temperatursensorelements kleiner als 1.5 oder kleiner als 1 oder kleiner als 0.5 oder kleiner als 0.5 oder kleiner als 0.1 ist.

13. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass

das Heizelement eine Metallisierung (Heizmetal- lisierung) , welche im Montagebereich unmittelbar an genau eine Oberflächenseite der Substratbasis angrenzend angeordnet ist, aufweist.

14. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass

die Heizmetallisierung mäanderförmig ist und/oder dass das Heizelement zwei elektrische Anschlusskontakte zum Anschluss einer Stromquelle aufweist.

15. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprü- che, dadurch gekennzeichnet, dass

das Temperatursensorelement eine Metallisierung (Temperatursensormetallisierung) , welche im Montagebereich unmittelbar an genau eine Oberflä- chenseite der Substratbasis angrenzend angeordnet ist, aufweist.

16. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet, dass

das Temperatursensorelement auch zwei elektri- sehe Anschlusskontakte aufweist.

17. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche

gekennzeichnet durch einen im Montagebereich (A) angeordneten Laser, einmodigen Halbleiterlaser oder Quantenkaskaden- laser .

18. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet , dass einerseits die Laserbondmetallisierung und/oder der Laser und andererseits das Temperatursensorelement auf gegenüberliegenden Oberflächenseiten des Montagebereiches der flächigen Substratbasis angeordnet sind.

19. Lasermodul nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass

das Verhältnis

vom Abstand a_HL zwischen Heizelement einerseits und Laser und/oder Laserbondmetallisierung andererseits und von der ge- mittelten mittleren Ausdehnung A_HL des Heizelements und des Lasers und/oder der Laserbondmetallisierung kleiner als 1.5 oder kleiner als 1 oder kleiner als 0.5 oder kleiner als 0.5 oder kleiner als 0.1 ist.

20. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass die Substratbasis (1) mindestens einen sich auf der dem Montagebereich (A) abgewandten Seite mindestens eines der Wärmeleitungsbereiche (B) an diesen Wärmeleitungsbereich (B) anschließenden Kontaktflächenbereich (C) aufweist.

21. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch

gekennzeichnet durch

eine Wärmesenke (W) , welche thermisch mit dem Kontaktflächenbereich (C) gekoppelt ist und/oder an den Kontaktflächenbereich (C) angrenzend angeordnet ist.

22. Lasermodul nach dem vorhergehenden Anspruch,

dadurch gekennzeichnet, dass

die Wärmesenke als Festkörper mit einer spezifischen Wärmekapazität von größer als 0.1 J/K ausgebildet ist.

23. Lasermodul nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche , dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmekapazität des Montagebereichs (A) und die Wärmekapazität mindestens eines der Kontakt- flächenbereiche (C) identisch sind.

24. Lasermodul nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass die Substratbasis (1) eine Dicke senkrecht zur Flächenebene von zwischen 20 μm und 500 μm aufweist .

25. Verfahren zum Betrieb eines Lasermoduls,

dadurch gekennzeichnet, dass

an das Heizelement eines Lasermoduls nach einem der vorhergehenden Ansprüche mindestens ein an- steigender elektrischer Spannungspuls angelegt wird.

26. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet , dass

der elektrische Spannungspuls rampenförmig an- steigt und/oder dass der elektrische Spannungs- puls eine Pulsdauer von zwischen 10 ms und 500 ms oder zwischen 50 ms und 200 ms aufweist.

27. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche ,

dadurch gekennzeichnet, dass

der elektrische Spannungspuls so ausgebildet wird, dass die Temperatur eines im Montagebe- reich (A) des Lasermoduls angeordneten Lasers unabhängig vom Laserstrom oder der Injektion eines Strompulses in die aktive Schicht des Lasers mit einer Geschwindigkeit von größer als 500 K/s oder größer als 1000 K/s und/oder einem Hub von größer als 50 K oder größer als 100 K geregelt wird.

28. Verwendung eines Lasermoduls und/oder eines Verfahrens zum Betrieb eines Lasermoduls nach einem der vorhergehenden Ansprüche im Bereich spektro- skopischer Messverfahren, im Bereich der Analyse von Gasen,. Flüssigkeiten und/oder Oberflächen und/oder zur Spurengasanalyse .