WO2008087827A1 - Système optique de formation d'image, équipement d'exposition et procédé de fabrication du dispositif - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un système optique de formation d'image qui possède une région de formation d'image efficace avec une forme appropriée pour un dispositif d'exposition de type collectif, par exemple, et qui est un type réfractant réfléchissant avec une faible valeur absolue d'un grossissement de formation d'image et une ouverture numérique élevée. Le système optique de formation d'image forme une image d'une première surface (R) sur une seconde surface (W) et comporte un premier système de formation d'image (G1) disposé entre la première surface et une première position conjuguée, conjuguée optiquement avec la première surface, un second système de formation d'image (G2) disposé entre une seconde position conjuguée, conjuguée optiquement avec la première position conjuguée, et la première position conjuguée, et un troisième système de formation d'image (G3) disposé entre la seconde position conjuguée et la seconde surface. Si les grossissements de formation d'image des premier, second et troisième systèmes de formation d'image sont respectivement M1, M2 et M3, les conditions suivantes sont satisfaites : 0.8< | M1 | <2, 0.8< | M2 | <2 et 0.03< | M3 | <2.
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