WO2008071678A1 - Systeme optronique de veille passive - Google Patents

Systeme optronique de veille passive Download PDF

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WO2008071678A1
WO2008071678A1 PCT/EP2007/063655 EP2007063655W WO2008071678A1 WO 2008071678 A1 WO2008071678 A1 WO 2008071678A1 EP 2007063655 W EP2007063655 W EP 2007063655W WO 2008071678 A1 WO2008071678 A1 WO 2008071678A1
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scanning
micro
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optronic
watch device
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Inventor
Arnaud Beche
Ludovic Perruchot
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Thales
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S3/00—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
    • G01S3/78—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic, or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S3/782—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction
    • G01S3/783—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems
    • G01S3/784—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems using a mosaic of detectors

Definitions

  • the field of the invention is that of large-field long-range monitoring systems for applications such as IRST type (InfraRed Search and Track System) for aircraft weapons or to ensure operations of ground watches.
  • IRST type InfraRed Search and Track System
  • This type of system uses infra-red matrix detectors to satisfy: a large field covered by a matrix detector and be operational at long distance.
  • matrix detectors There are two types of systems:
  • the sensor covers a sector of space by rotation.
  • a direction of space is not observed permanently, but with a more or less short period depending on the speed of rotation of the sensor.
  • a counter-scanning device makes it possible, on the one hand, to ensure the stability of the line of sight during the integration time.
  • observe the same sector of space (of dimension equal to the instantaneous field of the sensor) as the rotation of the sensor does not require the passage to the next sector.
  • the target whose image is smaller than the size of a pixel, can be projected on the same pixel for a long time. (zero tangential velocity, or displacement of small amplitude with respect to the resolution of the sensor). In this case, the detection of this target can not take place if the target is projected on a dead detector, which decreases the overall performance of the system and can make it unacceptable in the case of typical systems (airborne, naval or land).
  • the present invention proposes to use different pixels of a matrix to monitor the same elementary sector of space, to no longer have non-detection related to a dead pixel or a dead pixels area . This is made possible by introducing a micro-scanning on two axes shifting between them of one or a few pixels, the successive images made in the same angular sector and sufficiently to cover a region wider than a tolerated detection surface for a given matrix detector.
  • the subject of the invention is a large-field passive field-monitoring optoelectronic device comprising means for forming the image of a scene, means for detecting said image comprising a matrix detector presenting a set of pixels in a plane.
  • microscanning means so as to form at least one optimized microbalar pattern comprising a number of positions Nr according to the first direction greater than the first number Ni and a number of positions N 2 'in the second upper direction e to the second number N 2 .
  • the optronic passive watch device comprises means for summing and processing sub-sets of micro-scanning figures for regularly analyzing the scene.
  • the optronic device comprises scanning means so as to periodically cover different sectors of the space.
  • the optoelectronic device further comprises counter-scanning means making it possible to compensate the movements of the image during a phase of acquisition of the scanning figures in a given sector.
  • the device comprises:
  • the micro-scanning means comprise scanning means according to the two directions of the matrix detector.
  • the microsweep means in at least one direction comprise a mobile deflection mirror about an axis.
  • the micro-scanning means in at least one direction comprise a transparent blade movable about an axis.
  • the scanning means comprise the micro-scanning means and specific control means.
  • the scanning means have a speed of movement making it possible to produce images for about a tenth of a second in a given sector.
  • FIG. 1 illustrates a first example of an optronic watch device according to the invention
  • FIG. 2 schematizes a portion of a matrix detector used in a watch device according to the invention, corresponding to an aggregate of defective pixels;
  • FIG. 3 illustrates an example of a sequence of micro-scanning figures for covering a matrix detector whose defect pixel number tolerance is 16;
  • FIG. 4 illustrates a second example of an optronic watch device according to the invention comprising a scanning system in combination with a micro-scanning system;
  • FIG. 5 illustrates a series of microbalarage figures made in different sectors of space with a device similar to that illustrated in FIG. 3.
  • a target to be identified can be detected successively by a set of elementary detectors or pixels belonging to the matrix detector instead of a single elementary detector without this principle of micro-scanning. This makes it possible to have a homogeneous sensitivity over all the space addressed by the matrix detector by limiting the impact of the dead and defective pixels.
  • the optronic watch device comprises a matrix detector having a fault tolerance represented by a number of predefined pixels and microswapping means making it possible to carry out a succession of microscanning figures according to two corresponding orthogonal axes. to a succession of images of a scene comprising for example a target to be identified, formed on different pixels of the matrix detector, the number of microscanning figures multiplied by the number of pixels of a micro-scanning figure being greater than the number pixels that may be faulty.
  • FIG. 1 illustrates a first example of an optronic watch device according to the invention and said to be static because it does not include integrated means making it possible to scan the space.
  • the device comprises l_i blades and L 2 of deflection respectively permitting rotation in a direction X and a rotation in an orthogonal direction Y, said blades being positioned between two Fi lens assemblies and F 2 to form an image on a matrix detector D.
  • FIG. 2 schematizes a portion of a matrix detector used in a watch device according to the invention, in which an aggregate is grayed out corresponding to a defective zone ZD of the detector comprising 4x4 pixels.
  • superposition is represented a micro-scanning figure comprising the scan of 5 pixels with a displacement in the direction X, then successively 3 displacements in the direction Y, and a displacement in the direction X.
  • Figure 3 illustrates a possible sequence of microsweeps compatible with the detector whose tolerance is 4 * 4 dead pixels. It is therefore necessary systematically to make a number of figures at least equal to 5 to be sure to necessarily make the image of a target on a non-defective pixel by moving along the two axes X and Y. According to this example it is proposed 5 micro-scanning figures each having 5 positions. These 5 image positions allow to post-integrate 5 images after resetting the displacement. 5 micro-scanning patterns are used successively to cover a total area of 5 by 5 pixels and thus allow detection despite aggregates of dead pixels up to 4 by 4 in size.
  • micro-scanning figures it can thus be particularly interesting to carry out 1 or 2 micro-scanning figures, to summon them and then to process the summation to identify if a target is present.
  • the summation of other micro-scanning figures which are also summed and analyzed to detect the presence of a target or not and thus gradually, we seek to detect as quickly as possible. presence of a possible target and warn about a possible threat, when shooting at the maximum of 25 images on 25 pixels.
  • FIG. 4 illustrates a second example of a watch device according to the invention, comprising scanning means for analyzing different sectors of the space.
  • This device comprises an instantaneous field optic 1 and scanning means 2 for observing a scene with a given total field.
  • the scanning means are controlled by a processing unit, allowing the scanning of the scene.
  • the watch device further comprises means for forming the image 3 on a pixel of the matrix detector 41 included in detection means 4.
  • the device may also comprise counter-scanning means 6 making it possible to compensate for the movements of the sensor. 'picture due to scanning the scene during image acquisition.
  • the processing unit 5 can synchronize the acquisition of the images with the movement of the counter-scanning means.
  • the micro-scanning means may advantageously be integrated with the scanning means by applying a control law forcing the displacement along the scanning axis of the desired number of pixels, outside the integration time. of the matrix.
  • the scanning means make it possible to scan different sectors of the space periodically.
  • images at 10 Hz one can typically perform about ten images in a given sector by taking the above-mentioned example corresponding to 5 microscanning figures.
  • FIG. 4 shows, for different sectors Si, S 2 , ..., S P, examples of different micro-scanning figures. It is thus possible, if necessary, to reconstitute the optimized micro-scanning figure in several passages.
  • micro-scan figures When a number of micro-scan figures have been performed by sector, they can be summed and analyzed after each end of passage in a given sector to identify a target as quickly as possible and trigger an alert if necessary.
  • micro-scanning carried out according to the two directions X and Y can be realized:

Landscapes

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Abstract

L'invention concerne un dispositif optronique de veille passive grand champ comprenant des moyens de formation de l'image d'une scène, des moyens de détection de ladite image comportant un détecteur matriciel présentant un ensemble de pixels dans un plan défini selon une première direction et selon une seconde direction perpendiculaire à ladite première direction, avec une définition d'un sous-ensemble de pixels appelé agrégat (ZD) défini par un premier nombre (N1) de pixels selon la première direction multiplié par un second nombre (N2) de pixels selon la deuxième direction correspondant à une tolérance maximum de taille d'un ensemble de pixels défectueux, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de micro-balayage de manière à former au moins une figure de micro-balayage optimisée comportant un nombre de positions (N1') selon la première direction supérieur au premier nombre (N1) et un nombre de positions (N2') selon la seconde direction supérieure au second nombre (N2).

Description

SYSTEME OPTRONIQUE DE VEILLE PASSIVE
Le domaine de l'invention est celui des systèmes de veille grand champ longue distance pour applications notamment de type IRST (InfraRed Search and Track system) pour avion d'arme ou pour assurer des opérations de veilles terrestres. Ce type de système utilise des détecteurs matriciels infra-rouge devant satisfaire : un grand champ couvert par un détecteur matriciel et être opérationnel à longue distance. On peut distinguer deux types de systèmes :
- les systèmes à balayage : le capteur couvre un secteur de l'espace par rotation. Dans ce cas, une direction de l'espace n'est pas observée de façon permanente, mais avec une période plus ou moins courte selon la vitesse de rotation du capteur. Un dispositif de contre-balayage permet : d'une part, d'assurer la stabilité de la ligne de visée pendant le temps d'intégration. D'autre part, d'observer le même secteur de l'espace (de dimension égale au champ instantané du capteur) tant que la rotation du capteur ne nécessite pas le passage au secteur suivant.
Selon la fréquence d'acquisition des images et la vitesse de rotation du capteur, un certain nombre d'images du même secteur est donc obtenu (avec la même direction de visée) ;
- les systèmes statiques composés d'un ou plusieurs capteurs fixes. Chaque capteur est dédié à la surveillance d'un secteur de dimensions égales à son champ.
Le problème rencontré avec ces types de système est la présence de pixels morts (détecteur élémentaire de la matrice ayant une réponse faible ou nulle), qui peuvent empêcher la détection d'objets d'intérêt et notamment de cibles situées dans les directions correspondant à ces détecteurs.
En effet, pour les systèmes de veille grand champ (aéroporté ou terrestre) utilisant des matrices de détecteurs, la cible, dont l'image est plus petite que la taille d'un pixel, peut être projetée sur le même pixel pendant une longue période (vitesse tangentielle nulle, ou déplacement de faible amplitude par rapport à la résolution du capteur). Dans ce cas, la détection de cette cible ne peut avoir lieu si la cible est projetée sur un détecteur mort, ce qui diminue la performance globale du système et peut rendre celle-ci inacceptable dans le cas de systèmes type veille (Aéroportées, navals ou terrestres).
Pour résoudre ce type de problème, la présente invention propose d'utiliser différents pixels d'une matrice pour surveiller le même secteur élémentaire de l'espace, pour ne plus avoir de non détection liée à un pixel mort ou à une zone de pixels morts. Ceci est rendu possible en introduisant un micro-balayage sur deux axes décalant entre elles de un ou de quelques pixels, les images successives réalisées dans un même secteur angulaire et ce de manière suffisante pour couvrir une région plus large qu'une surface de détection tolérée pour un détecteur matriciel donné.
Plus précisément, l'invention a pour objet un dispositif optronique de veille passive grand champ comprenant des moyens de formation de l'image d'une scène, des moyens de détection de ladite image comportant un détecteur matriciel présentant un ensemble de pixels dans un plan défini selon une première direction et selon une seconde direction perpendiculaire à ladite première direction, avec une définition d'un sous-ensemble de pixels appelé agrégat défini par un premier nombre Ni de pixels selon la première direction multiplié par un second nombre N2 de pixels selon la deuxième direction correspondant à une tolérance maximum de taille d'un ensemble de pixels défectueux, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de microbalayage de manière à former au moins une figure de microbalayage optimisée comportant un nombre de positions Nr selon la première direction supérieur au premier nombre Ni et un nombre de positions N2' selon la seconde direction supérieure au second nombre N2.
Selon une variante de l'invention, le dispositif optronique de veille passive comprend des moyens de sommation et de traitement de sous- ensembles de figures de micro-balayage permettant d'analyser régulièrement la scène. Selon une variante de l'invention, le dispositif optronique comprend des moyens à balayage de manière à couvrir périodiquement différents secteurs de l'espace.
Selon une variante de l'invention, le dispositif optronique comprend en outre des moyens de contre-balayage permettant de compenser les mouvements de l'image pendant une phase d'acquisition des figures de balayage dans un secteur donné.
Selon une variante de l'invention, le dispositif comprend :
- des moyens de balayages successifs de l'ensemble des secteurs pour réaliser un ensemble de sous-ensembles de figures différentes de micro-balayage dans chaque secteur ;
- des moyens de sommation des sous-ensembles de figures dans un secteur donné, permettant de réaliser la figure de micro-balayage optimisée. Selon une variante de l'invention, les moyens de micro-balayage comprennent des moyens de balayage selon les deux directions du détecteur matriciel.
Selon une variante de l'invention, les moyens de micro-balayage selon au moins une direction comprennent un miroir de renvoi mobile autour d'un axe.
Selon une variante de l'invention, les moyens de micro-balayage selon au moins une direction comprennent une lame transparente mobile autour d'un axe.
Selon une variante de l'invention, les moyens de balayage comprennent les moyens de micro-balayage et des moyens de commande spécifique.
Avantageusement, les moyens de balayage ont une vitesse de déplacement permettant de réaliser des images pendant environ un dixième de seconde dans un secteur donné.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce aux figures annexées parmi lesquelles :
- la figure 1 illustre un premier exemple de dispositif de veille optronique selon l'invention ;
- la figure 2 schématise une portion de détecteur matriciel utilisé dans un dispositif de veille selon l'invention, correspondant à un agrégat de pixels défectueux ; - la figure 3 illustre un exemple d'enchaînement de figures de micro-balayage pour couvrir un détecteur matriciel dont la tolérance en nombre de pixels défectueux est de 16 ;
- la figure 4 illustre un second exemple de dispositif de veille optronique selon l'invention comportant un système de balayage en combinaison avec un système de micro-balayage ;
- la figure 5 illustre un enchaînement de figures de microbalayage effectuées dans différents secteurs de l'espace avec un dispositif analogue à celui illustré en figure 3.
Selon l'invention, une cible à identifier peut être détectée successivement par un ensemble de détecteurs élémentaires ou pixels appartenant au détecteur matriciel au lieu d'un unique détecteur élémentaire sans ce principe de micro-balayage. Cela permet d'avoir une sensibilité homogène sur tout l'espace adressé par le détecteur matriciel en limitant l'impact des pixels morts et défectueux.
Pour cela, le dispositif de veille optronique selon l'invention comprend un détecteur matriciel présentant une tolérance de défauts représentée par un nombre de pixels prédéfinis et des moyens de micro- balayage permettant d'effectuer une succession de figures de microbalayage selon deux axes orthogonaux correspondant à une succession d'images d'une scène comportant par exemple une cible à identifier, formées sur différents pixels du détecteur matriciel, le nombre de figures de microbalayage multiplié par le nombre de pixels d'une figure de micro-balayage étant supérieur au nombre de pixels pouvant être défaillants.
La figure 1 illustre un premier exemple de dispositif de veille optronique selon l'invention et dit statique car ne comportant pas de moyens intégrés permettant de balayer l'espace. Selon cet exemple, le dispositif comprend des lames l_i et L2 de déviation permettant respectivement une rotation suivant une direction X et une rotation suivant une direction orthogonale Y, lesdites lames étant positionnées entre deux ensembles de lentilles Fi et F2 permettant de former une image sur un détecteur matriciel D.
La figure 2 schématise une portion de détecteur matriciel utilisé dans un dispositif de veille selon l'invention, dans lequel est grisé un agrégat correspondant à une zone défectueuse ZD du détecteur comportant 4x4 pixels. En superposition est représentée une figure de micro-balayage comportant le balayage de 5 pixels avec un déplacement selon la direction en X, puis successivement 3 déplacements selon la direction en Y, et un déplacement selon la direction en X.
La figure 3 illustre un enchaînement possible de figures de microbalayage compatible avec le détecteur dont la tolérance est de 4*4 pixels morts. Il convient donc systématiquement de faire un nombre de figures au moins égal à 5 pour être assuré de réaliser nécessairement l'image d'une cible sur un pixel non défectueux en se déplaçant selon les deux axes X et Y. Selon cet exemple il est proposé 5 figures de micro-balayage ayant chacune 5 positions. Ces 5 positions d'image permettent de post-intégrer 5 images après recalage du déplacement. 5 figures de micro-balayage sont utilisées successivement afin de couvrir une surface totale de 5 par 5 pixels et ainsi permettre une détection malgré des agrégats de pixels morts de taille allant jusqu'à 4 par 4.
Il peut être ainsi particulièrement intéressant d'effectuer 1 ou 2 figures de micro-balayage, de les sommer puis de traiter la sommation pour identifier si une cible est présente. Dans le cas négatif, on poursuit à nouveau la sommation d'autres figures de micro-balayage qui sont également sommées et analysées pour détecter la présence d'une cible ou non et ainsi de proche en proche, on cherche à détecter au plus vite la présence d'une cible éventuelle et alerter sur une menace éventuelle, lors de la prise au maximum des 25 images sur 25 pixels.
La figure 4 illustre un second exemple de dispositif de veille selon l'invention, comportant des moyens de balayage permettant d'analyser différents secteurs de l'espace. Ce dispositif comprend une optique frontale 1 de champ instantané et des moyens de balayage 2 permettant l'observation d'une scène avec un champ total donné. Les moyens de balayage sont contrôlés par une unité de traitement, permettant le balayage de la scène. Le dispositif de veille comprend en outre des moyens de formation de l'image 3 sur un pixel du détecteur matriciel 41 compris dans des moyens de détection 4. Le dispositif peut comprendre aussi des moyens de contre-balayage 6 permettant de compenser les mouvements de l'image dus au balayage de la scène pendant l'acquisition des images. Par exemple l'unité de traitement 5 peut synchroniser l'acquisition des images avec le mouvement des moyens de contre-balayage.
Selon cette variante de l'invention, les moyens de micro-balayage peuvent être avantageusement intégrés aux moyens de balayage en appliquant une loi de commande forçant le déplacement suivant l'axe de balayage du nombre de pixels voulu, en dehors du temps d'intégration de la matrice.
De manière classique, les moyens de balayage permettent de scruter différents secteurs de l'espace et ce de manière périodique. En réalisant des images à 10 Hz, on peut typiquement effectuer une dizaine d'images dans un secteur donné en reprenant l'exemple précédemment cité correspondant à 5 figures de microbalayage. Avantageusement seul un certain nombre de figures de micro-balayage peuvent être réalisées dans chacun des secteurs lors d'un premier balayage, les autres étant réalisées lors de passages ultérieurs. La figure 4 met en évidence pour différents secteurs S-i, S2,... , SP des exemples de figures de micro-balayage différentes. On peut ainsi, si nécessaire, reconstituer la figure optimisée de micro-balayage en plusieurs passages.
Comme illustré en figure 5 et ce de manière très simplifiée, puisque seule une figure de micro-balayage est schématisée par secteur on procède par exemple :
- dans le secteur Si aux enchaînements de micro-balayage sur les pixels : S111Si21Si31S14 et S15 ;
- dans le secteur S2 aux enchaînements de micro-balayage sur les pixels : S21,S22,S23,S24 et S25 ;
- dans le secteur S3 aux enchaînements de micro-balayage sur les pixels : S31,S32,S33,S34 et S35 ; - dans le secteur S4 aux enchaînements de micro-balayage sur les pixels : S41, S42, S43, S44 et S45 ;
- dans le secteur S5 aux enchaînements de micro-balayage sur les pixels : S51, S521S53, S54 et S55.
Lorsqu'un certain nombre de figures de micro-balayage ont été effectuées par secteur, elles peuvent être sommées et analysées après chaque fin de passage dans un secteur donné pour identifier au plus vite une cible et déclencher une alerte le cas échéant.
Le micro-balayage réalisé selon les deux directions X et Y peut être réalisé :
Pour le balayage en X : o Soit par un miroir de renvoi mobile suivant un axe
(déplacement en deux fois l'angle du miroir) o Soit par une lame transparente mobile suivant un axe (déplacement fonction de l'épaisseur de la lame) o Soit en utilisant un miroir de contre-balayage associé a une commande spécifique. Pour le balayage en Y : o Soit par un miroir de renvoi mobile suivant un axe (déplacement en deux fois l'angle du miroir) o Soit par une lame transparente mobile suivant un axe (déplacement fonction de l'épaisseur de la lame)

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif optronique de veille passive grand champ comprenant des moyens de formation de l'image d'une scène, des moyens de détection de ladite image comportant un détecteur matriciel présentant un ensemble de pixels dans un plan défini selon une première direction (X) et selon une seconde direction (Y) perpendiculaire à ladite première direction, avec une définition d'un sous-ensemble de pixels appelé agrégat (ZD) défini par un premier nombre (N-i) de pixels selon la première direction multiplié par un second nombre (N2) de pixels selon la deuxième direction correspondant à une tolérance maximum de taille d'un ensemble de pixels défectueux, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de micro-balayage de manière à former une succession de figures de micro-balayage selon deux axes orthogonaux, formées sur différents pixels du détecteur matriciel, le nombre de figures de micro-balayage multiplié par le nombre de pixels d'une figure de micro-balayage étant supérieur au nombre de pixels Ni x N2 pouvant être défaillants.
2. Dispositif optronique de veille passive selon la revendication 1 , caractérisé en ce qu'il comprend des moyens à balayage de manière à couvrir périodiquement différents secteurs de l'espace.
3. Dispositif optronique de veille passive selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens de contre-balayage permettant de compenser les mouvements de l'image pendant une phase d'acquisition des figures de balayage dans un secteur donné.
4. Dispositif optronique de veille passive selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il comprend :
- des moyens de balayages successifs de l'ensemble des secteurs pour réaliser un ensemble de sous-ensembles de figures différentes de micro-balayage dans chaque secteur ; - des moyens de sommation des sous-ensembles de figures dans un secteur donné, permettant de réaliser la figure de micro-balayage optimisée.
5. Dispositif optronique de veille passive selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les moyens de micro-balayage comprennent des moyens de balayage selon les deux directions du détecteur matriciel.
6. Dispositif optronique de veille passive selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens de microbalayage selon au moins une direction comprennent un miroir de renvoi mobile autour d'un axe.
7. Dispositif optronique de veille passive selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de micro-balayage selon au moins une direction comprennent une lame transparente mobile autour d'un axe
8. Dispositif optronique de veille passive selon l'une des revendications 2 à 7, caractérisé en ce que les moyens de balayage comprennent les moyens de micro-balayage et des moyens de commande spécifiques.
9. Dispositif optronique de veille passive selon l'une des revendications 4 à 8, caractérisé en ce que les moyens de balayage ont une vitesse de déplacement permettant de réaliser des images pendant environ un dixième de seconde dans un secteur donné.
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CN102384787A (zh) * 2011-08-10 2012-03-21 北京理工大学 一种基于压电陶瓷和滑动导轨的高精度可控微扫描装置
CN102384787B (zh) * 2011-08-10 2012-12-12 北京理工大学 一种基于压电陶瓷和滑动导轨的高精度可控微扫描装置

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