WO2008071018A1 - Magnetischer positionssensor - Google Patents

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WO2008071018A1
WO2008071018A1 PCT/CH2007/000586 CH2007000586W WO2008071018A1 WO 2008071018 A1 WO2008071018 A1 WO 2008071018A1 CH 2007000586 W CH2007000586 W CH 2007000586W WO 2008071018 A1 WO2008071018 A1 WO 2008071018A1
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magnetic
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sensor according
magnetic position
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Andreas Imhof
Josua Lanter
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Polycontact Ag
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Definitions

  • the invention relates to a magnetic position sensor for detecting the position of an adjustable component along a predetermined path according to the preamble of patent claim 1.
  • Position sensors are widely used to detect the position or state of motion of a mechanical component.
  • the information detected by the position sensor is usually converted into electrical signals that vary in response to the change in position of the component.
  • Position sensors are an important part of many mechanical products, enabling intelligent control.
  • the detection of a path traveled along a predetermined path of a component is for example when cutting to length of materials of interest.
  • the analog translational position sensors used for this often work according to the ohmic or induction principle. Both principles exploit the analogous (continuous) conversion of a travel path into an electrical signal.
  • the electric voltage is picked up by a wiper from a resistance wire whose size depends on the wire length.
  • Such potentiometers have the disadvantage that the grinder and the wire are subjected to relatively high wear.
  • a magnetic field is induced in the measuring system via an alternating voltage, which generates an electrical voltage in a coil. The coil is moved relative to the rest of the measuring system.
  • the voltage induced in the coil depends on its position in the measuring system. With the help of suitable electronic circuits, a position measuring signal can be obtained therefrom.
  • the measuring method is non-contact; however, an AC power source is needed and a relatively large amount of electronic effort is required to produce a position sensing signal.
  • a Hall sensor In the gap between the Flußleitschienen a Hall sensor is arranged, which is displaceable relative to the longitudinal extent of the Flußleitschienen.
  • the output signal of the Hall sensor which changes as a result of the relative shift, is further processed and used as a measure of the distance covered by the monitored component.
  • a disadvantage of these known systems is that they usually operate incrementally, ie that information about the absolute position of the moving component is only available if a zero point position, corresponding to a basic output signal of the sensor, is determined before the measurement. If, for example, in the case of a seat adjustment, the seat is initially adjusted before the engine and thus the car electrics and electronics are set in motion, it is virtually impossible with the known position sensors to determine the exact position of the seat.
  • Object of the present invention is therefore to provide a magnetic position sensor, which makes it possible to easily and without much electronic effort to cover a traversed along a predetermined path travel and determine the absolute position of the displaceable component.
  • the magnetic position sensor is not necessarily forced to be guided.
  • the requirements for the alignment accuracy should be reduced and the position sensor to be largely insensitive to vibrations.
  • the position sensor should work wear-free and have a simple and inexpensive construction.
  • the invention is a. magnetic position sensor for detecting the position of an enüdng a predetermined path adjustable component created.
  • the magnetic position sensor has a device arranged along the trajectory for generating a magnetic field, the polarity of which changes along the trajectory of the component, and at least one arranged in the effective range of the magnetic field galvanomagnetic see detector, which is adjustable relative to the magnetic field along the trajectory of the component and has at least two measuring fields, on.
  • the galvanomagnetic detector is designed for the vectorial evaluation of the magnetic field.
  • galvanomagnetic detector is used as a collective term for detectors whose function is based on various gavanomagnetic effects that arise in a conductor or semiconductor through which electrical current flows in conjunction with a magnetic field.
  • the effects can be longitudinal or transversal nature.
  • Hall sensors and field plates but also magnetoresistive detectors are understood, which latter are based on the principle of magnetically caused Wideistandseff ekte in current-carrying ferromagnetic conductors.
  • the inventive magnetic position sensor is based on a galvanomagnetic detector, which is designed for the vectorial evaluation of the magnetic field, which changes its polarity over its longitudinal extent. Thus, the angle of the vector of the magnetic field is directly detected and evaluated.
  • the galvanomagnetic detector is arranged in the general range of action of the magnetic field, in which its ability to detect changes in direction of the magnetic field is ensured. This allows adjustment tolerances down to the centimeter range, depending on the magnetic field strengths that are usefully used. On a positive guidance of the galvanomagnetic detector in the magnetic field can therefore be omitted. Because of the large adjustment tolerances of the magnetic position sensor is also largely insensitive to shocks. The measuring principle is contactless. Due to the omission of a positive guidance and the mechanical wear of the magnetic position sensor is reduced. This favors its use, for example in the automotive industry.
  • the absolute position of the component can be determined solely from the direction of the magnetic field.
  • the inventively designed magnetic position sensor does without flux guide for the magnetic field and without forced operation. As a result, it is much simpler and less expensive than the magnetic sensors known from the prior art.
  • an advantageous embodiment of the magnetic position sensor comprises the galvanomagnetic detector oblige Meßfelde ⁇ , which are arranged in a cross shape.
  • each case two mutually opposite each other on a crossbar measuring fields are coupled together.
  • the arrangement of the position sensor that all measuring fields are penetrated substantially perpendicularly from the field lines of the magnetic field.
  • the arrangement of coupled measuring fields allows a higher signal-to-noise ratio.
  • the crossed measuring fields allow directly the evaluation of the angle of the vector of the magnetic field over the arctangent and from this a practically linear relationship the determination of the position of the observed component.
  • the measuring fields are advantageously designed as field plates.
  • a very advantageous embodiment variant of the magnetic position sensor provides that the galvanomagnetic detector is a Hall sensor element with two crossed differential Hall sensors. The function of differential Hall sensors is well known and they are available in different designs.
  • the arrangement of two differential Hall sensors crossed perpendicular to one another allows the above-described simple positional determination over the arc tangent of the angle of the vector of the magnetic field.
  • the device for generating the magnetic field comprises at least one permanent magnet, which is polarized perpendicular to the measuring direction and whose polarity of the magnetic field changes over its longitudinal extent.
  • the change in the direction of the vector of the magnetic field over the longitudinal extent of the permanent magnet can be detected and evaluated as angle dependence.
  • the angle of the vector of the magnetic field is linearly related to the displacement of the component. As a result, the respective measured angle is directly opposite the position of the adjustable component 7 bar.
  • a variant of changing the polarity of the permanent magnet over its longitudinal extension is that the permanent magnet, which is polarized vertically to the measuring direction, is twisted over its longitudinal extent by at least 180 °.
  • the invention is not limited to a linear extent of the permanent magnet.
  • a further embodiment of the magnetic position sensor may provide that the permanent magnet in any arbitrary curve in space einnruruxit. Thus, any spatial travel paths of a component are traceable and the position of the component can be determined at any location simply by the vektoiielle evaluation of the magnetic field.
  • a simple and expedient embodiment variant of the magnetic position sensor provides that the device for generating the magnetic field comprises two or more permanent magnets which are polarized perpendicular to the measuring direction and are arranged relative to one another such that adjacent magnets have opposite polarities. Adjacent permanent magnets are preferably arranged at a distance of 10 mm to 100 mm from each other. Permanent magnets become ideal Usually characterized by the magnetic volume and the self-remanence.
  • Typical permanent magnets used for the invention have a self-remanence of 100 mT to 1.5 T and a diameter of 2 mm to 30 mm
  • the permanent magnets can also have a different design than cylindrical
  • the length of the permanent magnets is about 0.1 times to 2 times the diameter
  • the measuring fields of the galvanomagnetic detector to the permanent magnet is 1 mm to 50 mm.
  • the individual permanent magnets can be arranged along a linearly extending path or along a curved planar path.
  • the permanent magnets can be arranged along an arbitrarily curved spatial path.
  • linear displacements, displacements along a curved planar path or along a path that runs as desired in space can be evaluated in order to determine the respective position of the adjustable component.
  • the analogue evaluation between each 2 to 3 magnets can be supplemented with a digital coding, so that over several magnets a longer linear distance can be measured.
  • 3 Hall sensors can determine whether they are measured in the N-S-N or S-N-S range.
  • the area can be detected with a digital switch, in particular with digital Hall effect switches on the same or on a separate track.
  • the detected absolute signal is then composed of the linear signal of the galvanomagnetic detector and the digital signal of one or more digital switches, such as digital Hall effect sensors.
  • FIG. 2 shows a variant of a permanent magnet arrangement or of a permanent magnet of a magnetic position sensor according to FIG. 1;
  • FIG. 3 shows the schematic structure of a magnetic position sensor with two permanent magnets
  • FIG. 4 shows the schematic structure of a magnetic position sensor with three permanent magnets.
  • FIG. 5 shows the signal course measured by the magnetic position sensor of a construction according to FIG. 4 along the displacement path
  • FIG. 6 shows the magnetic position sensor according to FIG. 4 with details of the dimensions
  • FIG. 8 shows a beli ebig extending in space and twisted permanent magnet of a magnetic position sensor.
  • the magnetic position sensor 1 which can be used, for example, in the automotive industry for monitoring a displaceable component /, for example, a seat, comprises a permanent magnet 2 and a galvanomagnetic detector 5.
  • galvanomagnetic detector is used here as collective term for detectors whose function is based on various gavanomagnetic effects, which arise in a conductor or semiconductor through which electrical current flows in conjunction with a magnetic field.
  • the effects can be longitudinal or transversal nature.
  • Hall sensors and field plates but also magnetoresistive detectors are understood, which latter are based on the principle of magnetically induced resistance effects in current-carrying ferromagnetic conductors.
  • the permanent magnet 2 is twisted over its longitudinal extent, which corresponds to the length of the displacement path of a component to be monitored. In the case shown, the twist from one end of the permanent magnet 2 to the other end is 180 °. Accordingly, the polarity of the magnetic field within the permanent magnet, designated J in FIG. 1, changes direction. While the polarity J of the magnetic field at the magnetic north pole N points out of the plane of the drawing, it runs at the magnetic south pole S at the other end of the permanent magnet 2 into the plane of the drawing. At the magnetic north pole N, the corresponding south pole is subtracted from the observer. At the south pole S facing the observer, the corresponding north pole is invisible to the observer.
  • the permanent magnet 2 of the magnetic position sensor is arranged in a stationary manner, while the galvanomagnetic detector 5 is arranged displaceably.
  • the displacement direction of the detector 5, which corresponds to the measuring direction, is indicated by the double arrow D.
  • the measuring direction D is perpendicular to the polarity J of the magnetic field generated by the permanent magnet 2.
  • the galvanomagnetic detector 5 has at least two measuring fields whose arrangement allows an immediate vectorial evaluation of the magnetic field. By vectoring the magnetic field, i. the angle of the magnetic field vector is detectable, no incremental measurement with zero point fixing is required for the position determination of the adjustable component along the path.
  • the absolute position of the component can be determined solely from the direction of the magnetic field.
  • FIG. 2 shows a permanent magnet of an alternative embodiment of the magnetic position sensor.
  • the provided with the reference numeral 2 * permanent magnet is twisted over its longitudinal extent by 360 °.
  • the vector J of the polarity of the magnetic field shows at one end of the permanent magnet 2 * at the magnetic north pole N from the drawing plane out, changes its angle to the magnetic south pole S by 180 ° and points into the plane, after a further rotation by 180 ° at the magnetic north pole N at the other end of the permanent magnet 2 * again out of the drawing plane.
  • This embodiment of the permanent magnet 2 * of the magnetic position sensor allows the detection of a longer displacement distance of the monitored component.
  • the magnetic position sensor 11 as a whole, comprises two permanent magnets 12, 13 and a galvanomagnetic detector 15.
  • the permanent magnets 12, 13 are arranged such that within the permanent magnets the vectors J of the magnetic field, i. their polarities are opposite to each other.
  • the displacement direction which corresponds to the measuring direction, is again provided with the reference symbol D and extends perpendicular to the polarities J of the two permanent magnets 12, 13.
  • FIG. 4 shows a further exemplary embodiment of a magnetic position sensor according to the invention, which bears the reference numeral 21 in its entirety. It comprises three individual magnets 22, 23, 24 and a galvanomagnetic detector 25.
  • the polarities J of the magnetic field within two adjacent permanent magnets are just opposite.
  • the starting position on the permanent magnet 22 is indicated by 0.
  • the position is denoted by Pi.
  • the position of the permanent magnet 24 whose polarity J corresponds to that of the permanent magnet 22 is indicated by 2Pi.
  • FIG. 5 shows a diagram in which the signal curve s measured by the galvanomagnetic detector is represented by a displacement path d.
  • the linearly arranged permanent magnets 22, 23, 24 define a linear displacement path.
  • the magnetic field applied by a permanent magnet to the adjacent permanent magnet of opposite polarity J changes its direction along the displacement path.
  • the resultant angular dependence of the magnetic field is detected directly by the galvanomagnetic detector and is related directly to a displacement s via an arctangent relationship.
  • the superimposition of the magnetic fields generated by the permanent magnets 22, 23, 24 results in a substantially linear relationship between the displacement path d and the signal s measured by the galvanomagnetic detector 25.
  • the position of the moving along the displacement path d component can be determined directly from the detected angle of the magnetic field.
  • a zero point determination as required in the incremental measuring methods of the prior art, can be dispensed with.
  • FIG. 6 again shows the arrangement of the permanent magnets 22, 23, 24 and the galvanomagnetic detector 25 of the magnetic position sensor 21 according to FIG. 4.
  • the distance between adjacent permanent magnets is designated by the reference symbol a and is for example 10 mm to 100 mm, preferably 20 mm to 60 mm.
  • the measuring fields of the galvanomagnetic detector 25, the position of which is indicated at 26 in FIG. 6, have a spacing of the permanent magnets which is, for example, 5 mm to 20 mm, preferably 8 mm to 12 mm.
  • the permanent magnets used have a dimension of 3x3x3 mm to 30x30x5 mm, preferably 4x4x2 mm to 8x8x3 mm, or in the case of cylindrical design the corresponding base surface, and have a self-remanence of 0.1 T to 2 T, preferably 0.8 T to 1.4T, up.
  • the galvanomagnetic detector 25 has, for example, 4 measuring fields, which are arranged in a cross shape. Each measuring fields lying opposite each other on a crossbar are coupled together. This arrangement results in a simple, immediate evaluation possibility of the angle of the magnetic field via an arctangent connection.
  • the distance a of adjacent permant magnets is 50 mm.
  • the measured width in the measuring direction of the permanent magnets or their diameter is 10 mm.
  • the distance of the measuring fields of the galvanomagnetic detector from the permanent magnets is for example 6 mm.
  • the permanent magnets which may be formed as simple bar magnets, have a self-remanence of about 1 T. With an arrangement of three such permanent magnets can be distances of 100 mm and more monitor and from the linear relationship of the displacement and signal detected the position of the monitored component immediately.
  • the tolerance with respect to the positioning accuracy of the galvanomagnetic detector with respect to the permanent magnets is very high and amounts to a few centimeters. Accordingly, the system is robust and insensitive to vibrations.
  • Fig. 7 shows a magnetic position sensor 31 whose permanent magnets 32, 33, 34 are arranged along a flat curved path.
  • the displacement of the monitored component, which corresponds to the displacement of the provided with the reference numeral 35 galvanomagnetic detector 35 is indicated in Fig. 7 as a curved path d.
  • four or more permanent magnets may be arranged along a circular path.
  • the galvanomagnetic detector is then movable along this circular path and allows an angle measurement of a rotatable component.
  • the arrangement of the permanent magnets is also not limited to the plane.
  • the individual permanent magnets can also be arranged along an arbitrarily curved path in space. This allows the simple monitoring of corresponding displacement paths, which run arbitrarily curved in space.
  • FIG 8 shows schematically a permanent magnet 2 **, which is twisted along its extension by 180 ° in analogy to the permanent magnet shown in FIG.
  • the polarity changing over its extent as a result of the twist is indicated by the arrows J.
  • the permanent magnet 2 ** is formed as a flexible band that describes in addition to its twisting any curve in space. Also, this is a simple monitoring and position detection of a component is possible, which is displaceable along a corresponding arbitrarily curved in space path.
  • the magnetic tape in analogy to the permanent magnet shown in Fig. 2 also Twisted Twice. Embodiments are also possible in which the magnetic tape is twisted more often along its longitudinal extent along the displacement path.

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Abstract

Es ist ein magnetischer Positionssensor zur Erfassung der Lage eines entlang einer vorgegebenen Bahn verstellbaren Bauteils beschrieben. Der magnetische Positionssensor weist eine entlang der Stellbahn angeordnete Einrichtung zur Erzeugung eines Magnetfelds, dessen Polarität (J) sich entlang der Stellbahn des Bauteils verändert, und wenigstens einen im Wirkungsbereich des Magnetfelds angeordneten galvanomagnetischen Detektor (5), der relativ zum Magnetfeld entlang der Stellbahn des Bauteils verstellbar ist, auf. Der galvanomagnetische Detektor (5) ist zur vektoriellen Auswertung des Magnetfelds ausgebildet.

Description

Magnetischer Positionssensor
Die Erfindung betrifft einen magnetischen Positionssensor zur Erfassung der Lage eines entlang einer vorgegebenen Bahn verstellbaren Bauteils gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
In zunehmendem Masse erobern elektronische Komponenten Bereiche, die bislang vorwiegend dem mechanischen Gebiet zugerechnet wurden. Dies betrifft insbesondere auch die Automobilindustrie, welche ihre Produkte, dem allgemeinen Trend entsprechend, mit Elektronik ausstattet, um mechanische Funktionen elektronisch zu erfassen, zu steuern, zu regeln und/ oder dem Anwender Informationen mitzuteilen. Zur Umsetzung der mechanischen Funktionen eines Bauteils in elektronisch verarbeitbare Signale und umgekehrt dienen Sensoranordnungen und Aktuatoren als Verbindungsglieder zwischen den beiden Welten.
Positionssensoren werden vielfach eingesetzt, um die Lage oder den Bewegungszustand eines mechanischen Bauteils zu erfassen. Die vom Positionssensor erfassten Informationen werden üblicherweise in elektrische Signale umgeformt, die sich in Abhängigkeit von der Positionsänderung des Bauteils verändern. Positionssensoren sind bei vielen mechanischen Produkten ein wichtiger Bestandteil, der erst eine intelligente Steuerung ermöglicht.
Die Erfassung einer entlang einer vorgegebenen Bahn zurückgelegten Wegstrecke eines Bauteils ist beispielsweise beim Ablängen von Materialien von Interesse. Die dafür eingesetzten analogen translatorischen Positionssensoren arbeiten vielfach nach dem Ohm- schen oder dem Induktionsprinzip. Bei beiden Prinzipen wird die analoge (kontinuierliche) Umsetzung eines Verfahrweges in ein elektrisches Signal ausgenutzt. Bei Positionssensoren nach dem ohmschen Messprinzip wird über einen Schleifer von einem Wider- standsdraht die elektrische Spannung abgegriffen, deren Grosse von der Drahtlänge abhängt. Derartige Potentiometer haben den Nachteil, dass der Schleifer und der Draht einem relativ grossen Verschleiss unterworfen sind. Beim Induktionsprinzip wird im Messsystem über eine Wechselspannung ein Magnetfeld induziert, welches in einer Spule eine elektrische Spannung erzeugt. Die Spule wird relativ zum übrigen Messsystem bewegt. Die in der Spule induzierte Spannung hängt von ihrer Position im Messsystem ab. Mit Hilfe geeigneter elektronischer Schaltungen kann daraus ein Positionsmesssignal gewonnen werden. Das Messverfahren ist zwar berührungslos; jedoch wird eine Wechselspannungsquelle benötigt und ist ein relativ grosser elektronischer Aufwand erforderlich, um ein Positionsmesssignal zu erzeugen.
Andere bekannte Wegmesssysteme benutzen beispielsweise Magnetbänder, deren Magnetfeld von einem Lesekopf abgegriffen und in ein Positions- bzw. Wegmesssignal umgeformt wird. Beim Seillängenaufnehmer wird entsprechend dem Verfahrweg ein Seil auf eine Trommel gewickelt oder über eine Rolle geführt. Die Umdrehungen werden erf asst und daraus ein Wegmesssignal erzeugt. Beim magnetostriktiven Prinzip ändert ein verschieblicher Magnet seine Schallreflexionseigenschaften. Über eine Ultraschall-Laufzeitmessung wird in Verbindung mit einer relativ aufwendigen Auswerteelektronik der Ort des Magneten und damit der Verschiebeweg festgestellt. Aus der US-6,753,680 B2 ist ein Positionssensor bekannt, der zwei im Abstand voneinander, parallel zueinander verlaufende Flussleitschienen und Permanentmagneten umf asst, die an den Enden der Flussleit- schienen angeordnet sind. Im Spalt zwischen den Flussleitschienen ist ein Hallsensor angeordnet, der relativ zur Längserstreckung der Flussleitschienen verschiebbar ist. Das am Ausgang des Hallsensors anliegende Ausgangssignal, dass sich in Folge der Relativver- Schiebung verändert, wird weiterverarbeitet und als Mass für die zurückgelegte Wegstrecke des überwachten Bauteils herangezogen. Nachteilig an diesen bekannten Systemen ist, dass sie üblicherweise inkremental arbeiten, d.h., dass eine Information über die Absolutposition des bewegten Bauteils nur dann zur Verfügung steht, wenn vor der Messung eine Nullpunktposition, entsprechend einem Grundausgangssignal des Sensors, festgelegt wird. Wird beispielsweise im Fall einer Sitzverstellung zunächst der Sitz verstellt, bevor der Motor und damit die Autoelektrik und -elektronik in Gang gesetzt wird, ist es mit den bekannten Positionssensoren praktisch unmöglich, die exakte Position des Sitzes zu bestimmen. Zudem weisen die bekannten magnetischen Positionssensoren eine grosse Abhängigkeit von der Amplitude des detektierten Magnetfelds auf. Dies bedingt, dass beispielsweise der Hallsensor sehr genau in Bezug auf die Flussleitschienen justiert sein muss. Ungenauigkeiten in der Justierung oder erschütterungsbedingte Verstellungen wirken sich unmittelbar negativ auf die Messergebnisse aus. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen magnetischen Positionssensor zu schaffen, der es ermöglicht, einfach und ohne grossen elektronischen Aufwand einen entlang einer vorgegebenen Bahn zurückgelegten Verfahrweg zu erfassen und die Absolutposition des verschiebbaren Bauteils festzustellen. Der magnetische Positionssensor soll nicht unbedingt zwangsgeführt werden müssen. Die Anforderungen an die Justiergenauigkeit sollen verringert sein und der Positionssensor weitgehend unempfindlich gegenüber Erschütterungen sein. Der Positionssensor soll verschleissfrei arbeiten und einen einfachen und kostengünstigen Aufbau aufweisen.
Die Lösung dieser Aufgaben besteht in einem magnetischen Positionssensor, der die im. kennzeichnenden Abschnitt des Patentanspruchs 1 angeführten Merkmale aufweist. Weiterbildungen und/ oder vorteilhafte Ausführungsvarianten der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Durch die Erfindung wird ein. magnetischer Positionssensor zur Erfassung der Lage eines enüdng einer vorgegebenen Bahn verstellbaren Bauteils geschaffen. Der magnetische Positionssensor weist eine entlang der Stellbahn angeordnete Einrichtung zur Erzeugung eines Magnetfelds, dessen Polarität sich entlang der Stellbahn des Bauteils verändert, und wenigstens einen im Wirkungsbereich des Magnetfelds angeordneten galvanomagneti- sehen Detektor mit, der relativ zum Magnetfeld entlang der Stellbahn des Bauteils verstellbar ist und wenigstens zwei Messfelder besitzt, auf. Der galvanomagnetische Detektor ist zur vektoriellen Auswertung des Magnetfelds ausgebildet.
Die Bezeichnung galvanomagnetischer Detektor wird als Sammelbegriff für Detektoren verwendet, deren Funktion auf verschiedenen gavanomagnetischen Effekten beruht, die in einem von elektrischem Strom durchflossenen Leiter oder Halbleiter im Zusammenwirken mit einem Magnetfeld entstehen. Die Effekte können longitudinaler oder transversaler Natur sein. Insbesondere werden unter dem Begriff Hall-Sensoren und Feldplatten, aber auch magnetoresistive Detektoren verstanden, welche letzeren auf dem Prinzip ma- gnetisch verursachter Wideistandseff ekte in stromdurchflossenen ferromagnetischen Leitern beruhen. Der erfindungsgemässe magnetische Positionssensor beruht auf einem galvanomagnetischen Detektor, der zur vektoriellen Auswertung des Magnetfelds, welches über seine Längserstreckung seine Polarität verändert, ausgebildet ist. Es wird somit unmittelbar der Winkel des Vektors des Magnetfelds erfasst und ausgewertet. Wegen seiner Amplituden- Unabhängigkeit sind die Anforderungen an die Justiergenauigkeit des Positionssensors deutlich reduziert. Es genügt, dass der galvanomagnetische Detektor im generellen Wirkungsbereich des Magnetfelds angeordnet ist, in dem seine Fähigkeit, Richtungsänderungen des Magnetfelds zu detektieren, gewährleistet ist. Dies erlaubt in Abhängigkeit von den sinnvollerweise eingesetzten Magnetfeldstärken Justiertoleranzen bis in den Zenti- meterbereich. Auf eine Zwangsführung des galvanomagnetischen Detektors im Magnetfeld kann daher verzichtet werden. Wegen der grossen Justiertoleranzen ist der magnetische Positionssensor auch weitgehend unempfindlich gegenüber Erschütterungen. Das Messprinzip ist berührungslos. Wegen des Verzichts auf eine Zwangsführung ist auch der mechanische Verschleiss des magnetischen Positionssensors verringert. Dies begünstigt seinen Einsatz beispielsweise im Automobilbau. Indem das Magnetfeld vektoriell erfasst wird, d.h. der Winkel des Magnetfeldvektors erfassbar ist, ist für die Lagefeststellung des entlang der Bahn verstellbaren Bauteils keine inkrementale Messung mit Nullpuriktf esüe- gung erforderlich. Die absolute Position des Bauteils ist allein aus der Richtung des Magnetfelds ermittelbar. Der erfindungsgemäss ausgebildete magnetische Positionssensor kommt ohne Flussleitschienen für das Magnetfeld und ohne Zwangsführung aus. Dadurch ist er gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten magnetischen Sensoren deutlich einfacher und kostengünstiger aufgebaut.
kι einer vorteilhaften Ausführungsvariante des magnetischen Positionssensors umf asst der galvanomagnetische Detektor vier Messfeldeϊ, die in Kreuzform angeordnet sind.
Jeweils zwei einander auf einem Kreuzbalken gegenüberliegende Messfelder sind miteinander gekoppelt. Dabei ist durch die Anordnung des Positionssensors sichergestellt, dass alle Messfelder im wesentlichen senkrecht von den Feldlinien des Magnetfelds durchdrungen werden. Die Anordnung gekoppelter Messfelder erlaubt einen höheren Si- gnal/ Rauschen Abstand. Die gekreuzten Messfelder erlauben unmittelbar die Auswertung des Winkels des Vektors des Magnetfelds über den Arcustangens und daraus über einen praktisch linearen Zusammenhang die Ermittlung der Position des beobachteten Bauteils. Die Messfelder sind mit Vorteil als Feldplatten ausgebildet. Eine sehr vorteilhafte Ausführungsvariante des magnetischen Positionssensors sieht vor, der galvanomagnetischε Detektor ein Hallsensorelement mit zwei gekreuzt angeordneten Differentialhallsensoren ist. Die Funktion von Differentialhallsensoren ist hinlänglich be- kannt, und sie sind in unterschiedlichen Ausführungen erhältlich. Die Anordnung von zwei senkrecht zueinander gekreuzt angeordneten Differentialhallsensoren erlaubt die vorstehend geschilderte einfache Positionsfesteilung über den Arcustangens des Winkels des Vektors des Magnetfelds.
Die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds umf asst wenigstens einen Permanentmagnet, der senkrecht zur Messrichtung polarisiert ist und dessen Polarität des Magnetfelds sich über seine Längserstreckung verändert. Die Veränderung der Richtung des Vektors des Magnetfelds über die Längserstreckung des Permanentmagnets ist als Winkelabhängigkeit erfassbar und auswertbar. Der Winkel des Vektors des Magnetfelds steht in einem linearen Zusammenhang mit der Verschiebung des Bauteils. Dadurch ist der jeweilige gemessene Winkel unmittelbar der Position des verstellbaren Bauteils üuorden- 7 bar.
Eine Variante, die Polarität des Permanentmagnets über seine Längserstreckung zu ver- ändern besteht darin, dass der Permanentmagnet, der vertikal zur Messrichtung polarisiert ist, über seine Längserstreckung um wenigstens 180° verdrillt ist. Die Erfindung ist dabei nicht auf eine lineare Erstreckung des Permanentmagnets beschränkt. Eine weitere Ausführungsvariante des magnetischen Positionssensors kann vorsehen, dass der Permanentmagnet eine beliebige Kurve im Raum einnirruxit. Damit sind entsprechend beliebige räumliche Stellwege eines Bauteils nachvollziehbar und die Position des Bauteils kann an jedem Ort einfach durch die vektoiielle Auswertung des Magnetfelds festgestellt werden.
Eine einfache und zweckmässige Ausführungsvariante des magnetischen Positionssensors sieht vor, dass die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds zwei oder mehrere Permanentmagnete umf asst, die senkrecht zur Messrichtung polarisiert sind und derart zueinander angeordnet sind, dass benachbarte Magnete entgegengesetzte Polaritäten aufweisen. Einander benachbarte Permanentmagnete sind vorzugsweise in einem Abstand von 10 mm bis 100 mm voneinander angeordnet. Permanentmagnete werden idea- lerweise durch das Magnetvolumen und die Eigenremanenz charakterisiert. Bei einem Magneten beispielsweise der Grosse 2x3x5 mm gibt die letzte Zahl „5" die Durchmagnetisierung an. Der Permanentmagnet ist somit durch 5 mm durchmagnetisiert. Ein Permanentmagnet der Dimension 2x5x3 mm ist durch 3 mm durchmagnetisiert. Typische für die Erfindung eingesetzte Permanentmagnete haben eine Eigenremanenz von 100 mT bis 1,5 T und einen Durchmesser von 2 mm bis 30 mm. Die Permanentmagnete können aber auch eine andere Bauform als zylindrisch haben. Die Länge der Permanentmagneten beträgt etwa das 0,1-fache bis 2-fache des Durchmessers. Der Abstand der Messfelder des galvanomagnetischen Detektors zu den Permanentmagneten beträgt dabei 1 mm bis 50 mm.
Die einzelnen Permanentmagnete können entlang einer linear verlaufenden Bahn oder entlang einer gekrümmten ebenen Bahn angeordnet sind, ha einer weiteren Ausführungsvariante des magnetischen können die Permanentmagnete entlang einer beliebig ge- krümmten räumlichen Bahn angeordnet sein. Je nach der Anordnung der Permanentmagnete sind lineare Verschiebungen, Verschiebungen entlang einer gekrümmten ebenen Bahn oder entlang einer beliebig im Raum gekrümmt verlaufenden Bahn auswertbar, um die jeweilige Position des verstellbaren Bauteils zu bestimmen.
Die analoge Auswertung zwischen jeweils 2 bis 3 Magneten kann mit einer digitalen Codierung ergänzt werden, sodass über mehrere Magnete eine längere lineare Wegstrecke gemessen werden kann. So können 3 Hallsensoren jeweils feststellen ob im Bereich N-S-N oder S-N-S gemessen wird. Bei repetitiven Abfragen mehrerer Pole N-S-N-S-N kann der Bereich mit einem digitalen Schalter, insbesondere mit digitalen Halleffektschaltern auf der gleichen oder auf einer separaten Spur erfasst werden. Das erfasste Absolutsignal setzt sich dann zusammen aus dem linearen Signal des galvanomagnetischen Detektors und dem digitalen Signal eines oder mehrerer digitaler Schalter, beispielsweise digitaler Halleffektsensoren.
Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Prinzipdarstellungen von Ausführungsbeispielen des erfindungsgemä- ssen analogen magnetischen Positionssensors. Es zeigen in nicht massstabsgetreuer Darstellung: Fig. 1 den schematischen Aufbau eines ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsge- mässen analogen magnetischen Positionssensors;
Fig.2 eine Variante einer Permanentmagnetanordnung bzw. eines Permanentmagnets eines magnetischen Positionssensors gemäss Fig. 1;
Fig.3 den schematische Aufbau eines magnetischen Positionssensors mit zwei Permanentmagneten;
Fig.4 den schematischen Aufbau eines magnetischen Positionssensors mit drei Permanentmagneten;
Fig.5 den vom magnetischen Positionssensor eines Auf baus gemäss Fig.4 entlang des Verschiebewegs gemessenen Signalverlauf;
Fig.6 den magnetischen Positionssensor gemäss Fig.4 mit Angaben zu den Abmessungen;
Fig.7 eine Anordung von Permanentmagneten entlang einer gekrümmten Verschiebebahn; und
Fig.8 einen beli ebig im Raum verlaufenden und verdrillten Permanentmagnet eines magnetischen Positionssensors.
In Fig.1 ist der prinzipielle Aufbau eines magnetischen Positionssensors gemäss der Erfindung schematisch dargestellt und gesamthaft mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet. Der magnetische Positionssensor 1, der beispielsweise im Automobilbau zur Überwachung eines verschiebbaren Bauteils/ beispielsweise eines Sitzes, zum Einsatz kommen kann, umfasst einen Permanentmagnet 2 und einen galvanomagnetischen Detektor 5.
Die Bezeichnung galvanomagnetischer Detektor wird hier als Sammelbegriff für Detektoren verwendet, deren Funktion auf verschiedenen gavanomagnetischen Effekten beruht, die in einem von elektrischem Strom durchflossenen Leiter oder Halbleiter im Zusammenwirken mit einem Magnetfeld entstehen. Die Effekte können longitudinaler oder transversaler Natur sein. Insbesondere werden unter dem Begriff Hall-Sensoren und Feldplatten, aber auch magnetoresistive Detektoren verstanden, welche letzeren auf dem Prinzip magnetisch verursachter Widerstandseffekte in stromdurchflossenen ferroma- gnetischen Leitern beruhen.
Der Permanentmagnet 2 ist über seine Längserstreckung, welche der Länge des Verschiebewegs eines zu überwachenden Bauteils entspricht, verdrillt. Im dargestellten Fall be- trägt die Verdrillung vom einen Ende des Permanentmagnets 2 zum anderen Ende 180°. Entsprechend verändert die Polarität des Magnetfelds innerhalb des Permanentmagnets, die in Fig. 1 mit J bezeichnet ist, ihre Richtung. Während die Polarität J des Magnetfelds beim magnetischen Nordpol N aus der Zeichnungsebene herauszeigt, verläuft sie beim magnetischen Südpol S am anderen Ende des Permanentmagnets 2 in die Zeichnungse- bene hinein. Am magnetischen Nordpol N ist der zugehörige Südpol vom Betrachter ab- gfcjcehrt. Am dem Betrachter zugekehrten Südpol S ist der zugehörige Nordpol für den Betrachter unsichtbar.
hi der Regel ist der Permanentmagnet 2 des magnetischen Positionssensors ortsfest ange- ordnet, während der galvanomagnetische Detektor 5 verschieblich angeordnet ist. Die Verschieberichtung des Detektors 5, welche der Messrichtung entspricht, ist durch den Doppelpfeil D angedeutet. Die Messrichtung D verläuft senkrecht zur Polarität J des vom Permanentmagneten 2 erzeugten Magnetfelds. Der galvanomagnetische Detektor 5 weist wenigstens zwei Messfelder auf, deren Anordnung eine unmittelbare vektorielle Aus- Wertung des Magnetfelds erlaubt. Indem das Magnetfeld vektoriell erfasst wird, d.h. der Winkel des Magnetfeldvektors erfassbar ist, ist für die Lagefeststellung des entlang der Bahn verstellbaren Bauteils keine inkrementale Messung mit Nullpunktfestlegung erforderlich. Die absolute Position des Bauteils ist allein aus der Richtung des Magnetfelds ermittelbar.
Fig.2 zeigt einen Permanentmagnet einer alternativen Ausführungsvariante des magnetischen Positionssensors. Der mit dem Bezugszeichen 2* versehene Permanentmagnet ist über seine Längserstreckung um 360° verdrillt. Der Vektor J der Polarität des Magnetfelds zeigt am einen Endes des Permanentmagnets 2* am magnetischen Nordpol N aus der Zeichungsebene heraus, ändert seinen Winkel bis zum magnetischen Südpol S um 180° und weist in die Zeichenebene hinein, um nach einer weiteren Drehung um 180° am magnetischen Nordpol N am anderen Ende des Permanentmagnets 2* wieder aus der Zei- chungsebene herauszuweisen. Diese Ausführung des Permanentmagnets 2* des magnetischen Positionssensors erlaubt die Erfassung einer längeren Verschiebungsstrecke des überwachten Bauteils.
Fig.3 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel eines magnetischen Positionssensors gemäss der Erfindung. Der gesamthaft mit 11 bezeichnete magnetische Positionssensor umfasst zwei Permanentmagnete 12, 13 und einen galvanomagnetischen Detektor 15. Die Permanentmagnete 12, 13 sind derart angeordnet, dass innerhalb der Permanentmagnete die Vektoren J des magnetischen Feldes, d.h. ihre Polaritäten, entgegengesetzt zueinander verlaufen. Die Verschieberichtung, die der Messrichtung entspricht, ist wiederum mit dem Bezugszeichen D versehen und verläuft senkrecht zu den Polaritäten J der beiden Permanentmagnete 12, 13.
Fig.4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines magnetischen Positionssensors gemäss der Erfindung, der gesamthaft das Bezugszeichen 21 trägt. Er umfasst drei Einzelmagnete 22, 23, 24 und einen galvanomagnetischen Detektor 25. Die Polaritäten J des Magnetfelds innerhalb von zwei benachbarten Permanentmagneten verlaufen gerade entgegengesetzt. Die wiederum mit dem Doppelpfeil D angedeutete Verschieberichtung = Messrichtung verläuft senkrecht zu den Polaritäten J der Permanentmagnete 22, 23, 24. In Fig.4 ist die Ausgangsposition am Permanentmagnet 22 mit 0 angegeben. Am Permanentmagnet 23, der eine um 180° gedrehte Polarität J aufweist ist die Position mit Pi bezeichnet. Entsprechend ist die Position des Permanentmagnet 24, dessen Polarität J derjenigen des Permanentmagnets 22 entspricht, mit 2Pi bezeichnet.
Fig.5 zeigt ein Diagramm, in dem der vom galvanomagnetischen Detektor gemessene Signalverlauf s über einen Verschiebeweg d dargestellt ist. Die linear angeordneten Permanentmagnete 22, 23, 24 definieren einen linearen Verschiebeweg. Das von einem Permanentmagnet zum benachbarten Permanentmagnet mit entgegengesetzter Polarität J aufgespannte Magnetfeld ändert entlang des Verschiebewegs seine Richtung. Die daraus resultierende Winkelabhängigkeit des Magnetfelds wird durch den galvanomagnetischen Detektor unmittelbar erfasst und über eine Arcustangens-Beziehung unmittelbar zu einem Verschiebeweg s in Beziehung gesetzt. Aus der Überlagerung der von den Permanentmagneten 22, 23, 24 erzeugten Magnetfeldern ergibt sich ein im wesentlichen linearer Zusammenhang zwischen dem Verschiebeweg d und dem vom galvanomagnetischen Detektor 25 gemessenen Signal s. Somit kann aus dem erfassten Winkel des Magnetfelds unmittelbar die Position des entlang des Verschiebewegs d bewegten Bauteils bestimmt werden. Auf eine Nullpunktsfestlegung, wie sie bei den inkrementalen Messverfahren des Stands der Technik erforderlich ist, kann verzichtet werden.
Fig. 6 zeigt erneut die Anordnung der Permanentmagnete 22, 23, 24 und des galvanomagnetischen Detektors 25 des magnetischen Positionssensors 21 gemäss Fig. 4. Der Abstand zwischen benachbarten Permanentmagneten ist mit dem Bezugszeichen a versehen und beträgt beispielsweise 10 mm bis 100 mm, vorzugsweise 20 mm bis 60 mm. Die Messfel- der des galvanomagnetischen Detektors 25, deren Lage in Fig. 6 bei 26 angedeutet ist, weisen von den Permanentmagneten einen mit b bezeichneten Abstand auf, der bei- ■ spielsweise 5 mm bis 20 mm, vorzugsweise 8 mm bis 12 mm beträgt. Die eingesetzten Permanentmagnete haben eine Dimension von 3x3x3 mm bis 30x30x5 mm, vorzugsweise 4x4x2 mm bis 8x8x3 mm, bzw. bei zylindrischer Ausbildung die entsprechende Grundflä- che, und weisen eine Eigenremanenz von 0,1 T bis 2 T, vorzugsweise 0,8 T bis 1,4 T, auf. Der galvanomagnetische Detektor 25 weist beispielsweise 4 Messfelder auf, die in Kreuzform angeordnet sind. Jeweils einander auf einem Kreuzbalken gegenüberliegende Messfelder sind miteinander gekoppelt. Aus dieser Anordung ergibt sich eine einfache unmittelbare Auswertemöglichkeit des Winkels des Magnetfelds über eine Arcustangensbezie- ming.
Beispielsweise beträgt der Abstand a von benachbarten Permantenmagneten 50 mm. Die in Messrichtung gemessene Breite der Permanentmagnete bzw. deren Durchmesser beträgt dabei 10 mm. Der Abstand der Messfelder des galvanomagnetischen Detektors von den Permanentmagneten beträgt beispielsweise 6 mm. Die Permanentmagnete, die als einfache Stabmagnete ausgebildet sein können, besitzen eine Eigenremanenz von ca.1 T. Mit einer Anordnung von drei solchen Permanentmagneten lassen sich Distanzen von 100 mm und mehr überwachen und aus der linearen Beziehung des Verschiebewegs und des gemessenen Signals die Position des überwachten Bauteils unmittelbar feststellen. Die Toleranz hinsichtlich der Positioniergenauigkeit des galvanomagnetischen Detektors in Bezug auf die Permanentmagnete ist sehr hoch und beträgt bis zu einigen Zentimetern. Entsprechend ist das System robust und erschütterungsunempfindlich.
Der magnetische Positionssensor gemäss der Erfindung ist nicht auf die Erfassung linearer Verschiebungen von Bauteilen beschränkt. Fig. 7 zeigt beispielsweise einen magnetischen Positionssensor 31, dessen Permanentmagnete 32, 33, 34 entlang einer ebenen gekrümmten Bahn angeordnet sind. Der Verschiebeweg des überwachten Bauteils, der dem Verschiebeweg des mit dem Bezugszeichen 35 versehenen galvanomagnetischen Detektors 35 entspricht, ist in Fig. 7 als gekrümmte Bahn d angedeutet.
In einer nicht näher dargestellten Ausführungsvariante können vier oder mehr Permanentmagnete mit jeweils entgegengesetzten Polaritäten benachbarter Permanentmagnete entlang einer Kreisbahn angeordnet sein. Der galvanomagnetische Detektor ist dann entlang dieser Kreisbahn bewegbar und ermöglicht eine Winkelmessung eines rotierbaren Bauteils.
Die Anordung der Permanentmagnete ist auch nicht auf die Ebene beschränkt. In weite- ren Ausführungsvarianten können die einzelnen Permanentmagnete auch entlang einer beliebig im Raum gekrümmten Bahn angeordnet sein. Dies ermöglicht die einfache Überwachung entsprechender Verschiebewege, die beliebig im Raum gekrümmt verlaufen.
Fig.8 zeigt schematisch einen Permanentmagnet 2**, der in Analogie zu dem in Fig. 1 dargestellten Permanentmagnet entlang seiner Erstreckung um 180° verdrillt ist. Die sich über seine Erstreckung infolge der Verdrillung ändernde Polarität ist durch die Pfeile J angedeutet. Der Permanentmagnet 2** ist als ein flexibles Band ausgebildet, dass neben seiner Verdrillung eine beliebige Kurve im Raum beschreibt. Auch damit ist eine einfache Überwachung und Positionsfeststellung eines Bauteils möglich, welches entlang einer entsprechend beliebig im Raum gekrümmten Bahn verschiebbar ist. Es versteht sich, dass das Magnetband in Analogie zu dem in Fig. 2 dargestellten Permanentmagnet auch zweimal verdrillt sein kann. Es sind auch Ausführungsvarianten möglich, in denen das Magnetband über seine Längserstreckung entlang des Verschiebeweges öfter verdrillt ist.

Claims

Patentansprüche
1. Magnetischer Positionssensor zur Erfassung der Lage eines entlang einer vorgegebenen Bahn verstellbaren Bauteils, mit einer entlang der Stellbahn angeordneten Einrichtung zur Erzeugung eines Magnetfelds, dessen Polarität sich entlang der
Stellbahn des Bauteils verändert, und wenigstens einem im Wirkungsbereich des Magnetfelds angeordneten galvanomagnetischen Detektor mit wenigstens zwei Messfeldern, der relativ zum Magnetfeld entlang der Stellbahn des Bauteils verstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der galvanomagnetische Detektor (5; 15; 25; 35) zur vektoriellen Auswertung des Magnetfelds ausgebildet ist.
2. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der galvanomagnetische Detektor vier Messfelder umfasst, die in Kreuzform angeordnet sind, wobei jeweils einander auf einem Kreuzbalken gegenüberliegende Mess- f eider miteinander gekoppelt sind.
3. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Messfelder Feldplatten sind.
4. Magnetischer Positionssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der galvanomagnetische Detektor ein Hallsensorelement mit zwei gekreuzt angeordneten Differentialhallsensoren ist.
5. Magnetischer Positionssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds wenigstens einen Permanentmagnet (2) umfasst, der senkrecht zur Messrichtung polarisiert ist und dessen Polarität (J) des Magnetfelds sich über seine Längserstrek- kung verändert.
6. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Permanentmagnet (2; 2*; 2**) über seine Längserstreckung um wenigstens 180° verdrillt ist.
7. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Permanentmagnet (2**) eine beliebige räumliche Kurve beschreibt.
8. Magnetischer Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds zwei oder mehrere
Permanentmagnete (12, 13; 22, 23, 24; 32, 33, 34) umfasst, die senkrecht zur Messrichtung polarisiert sind und derart zueinander angeordnet sind, dass benachbarte Permanentmagnete entgegengesetzte Polaritäten (J) aufweisen, .
9. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Permanentmagnete (12, 13; 22, 23, 24) entlang einer linear verlaufenden Bahn angeordnet sind.
10. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Permanentmagnete entlang einer gekrümmten ebenen Bahn (32, 33, 34) angeordnet sind.
11. Magnetischer Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Permanentmagnete entlang einer beliebig gekrümmten räumlichen Bahn ange- ordnet sind.
12. Magnetischer Positionssensor nach einem der Ansprüche 8 - 11, dadurch gekennzeichnet, dass einander benachbarte Permanentmagnete in einem Abstand von 10 mm bis 100 mm voneinander angeordnet sind, eine Eigenremanenz von 100 mT bis 1,5 T aufweisen, einen Durchmesser von 2 mm bis 30 mm und eine Baulänge besitzen, die das 0,1-fache bis 1,5-fache des Durchmessers beträgt, und der Abstand der Messfelder des galvanomagnetischen Detektors zu den Permanentmagneten 10 mm bis 30 mm beträgt.
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