WO2008062050A3 - Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines elektrischen solarzellen-kontaktstruktur an einem substrat - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Solarzellen-Kontaktstruktur an einem Substrat, mit den Schritten: - Bereitstellen eine Mehrzahl von Substraten (3); - Herstellen mindestens einer elektrisch leitfähigen Solarzellen Kontaktstruktur (12) an dem Substrat (3) durch: Erzeugen eines metallischen Dampfes (21) in einer Metalldampfregion, Bewegen der Substrate (3) in einer Reihe entlang einer Substrat-Bewegungsrichtung (A) durch die Metalldampfregion, Anordnen einer die Substrate (3) in der Metalldampfregion abschnittsweise gegenüber dem metallischen Dampf (21) abschirmenden Maske (4), die eine die Solarzellen-Kontaktstruktur (12) definierende Öffnung (49) aufweist und Bewegen der Maske (4) entlang einer Masken-Bewegungsrichtung (B) zumindest abschnittsweise durch die Metalldampfregion, wobei die Substrat-Bewegungsrichtung (A) und die Masken -Bewegungsrichtung (B) im Wesentlichen parallel zueinander verlaufen und die Substrate (3) und die Maske (4) dem Betrag nach mit unterschiedlicher Geschwindigkeit bewegt werden. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Herstellen elektrischer Solarzellen-Kontaktstrukturen an einem Substrat.
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