WO2008028622A1 - Laservorrichtung - Google Patents

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WO2008028622A1
WO2008028622A1 PCT/EP2007/007698 EP2007007698W WO2008028622A1 WO 2008028622 A1 WO2008028622 A1 WO 2008028622A1 EP 2007007698 W EP2007007698 W EP 2007007698W WO 2008028622 A1 WO2008028622 A1 WO 2008028622A1
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cooling plate
laser
laser device
plate
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PCT/EP2007/007698
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Inventor
Detlef STÖHR
Daniel Bartoschewski
Original Assignee
Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • HELECTRICITY
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    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02476Heat spreaders, i.e. improving heat flow between laser chip and heat dissipating elements
    • HELECTRICITY
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/04Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
    • H01S5/042Electrical excitation ; Circuits therefor

Definitions

  • the present invention relates to a laser device according to the preamble of claim 1.
  • the cooling plate can be made of a heat-conducting material and penetrated by coolant channels.
  • a laser diode bar can serve as a semiconductor laser element.
  • Such a laser diode bar is mounted on the heat sink, which consists for example of copper and is electrically connected to one of the electrodes of the laser diode bar.
  • a problem in the prior art is the provision of a plurality of laser units on a cooling plate, because then with electrically conductive connection between the cooling plate and the plurality of heat sinks, the laser diode bars would be at the same potential. Therefore, in the prior art multi-bar system, cooling plates of coated aluminum are used, the coating being electrically insulating. The heat dissipation is not optimal when using such a cooling plate.
  • the problem underlying the present invention is the provision of a laser device of the type mentioned, which is constructed more effectively.
  • a separating agent which may be formed, for example, as a ceramic plate or as a ceramic film, with good heat transfer electrical insulation between achieved the heat sinks of the individual laser units and the cooling plate.
  • a material such as copper can be used, which has better thermal conduction properties than the aforementioned coated aluminum.
  • the temperature of the coolant can be reduced.
  • FIG. 1 is a schematic, perspective view of a laser device according to the invention.
  • FIG. 2 is an exploded view of the laser device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is an exploded view of the laser device of FIG. 1.
  • the illustrated laser device comprises a cooling plate 1 and a laser unit with a heat sink 2, which is also commonly used in laser units according to the prior art.
  • the cooling plate 1 may for example consist of copper and has a plurality of channels for a coolant such as water, which are arranged in the interior of the heat sink 2.
  • the heat sink 2 may also consist of copper or gold-plated copper.
  • a schematically depicted semiconductor laser element 5, such as a laser diode bar, is mounted on the upper side of the heat sink 2 in FIG. 1, a schematically depicted semiconductor laser element 5, such as a laser diode bar, is mounted.
  • the heat sink 2 may be connected to an electrode of this semiconductor laser element 5.
  • the heat sink 2 is screwed to the cooling plate 1 by screws 4 shown in FIGS. 1 and 2.
  • the screws 4 are insulated in the heat sink 2, for example, by plastic insulating sleeves 8 (see FIG. 2) with respect to the heat sink 2.
  • the illustrated embodiment further comprises per screw 4, for example, a metallic washer 6 and an existing example of plastic insulating collar sleeve 7. Both the -A-
  • Washer 6 and the collar sleeve 7 are penetrated by the screw 4 in the screwed state.
  • a wafer 3 or a film of ceramic 5 serving as a separating agent is provided between the heat sink 2 and the cooling plate 1.
  • the plate 3 or the film may in particular
  • the plate 3 or the film may have a thickness between 0.05 mm to 1 mm, in particular between 0.1 mm to 0.4 mm, preferably a thickness of about 0.2 mm. 0
  • Heat sink 2 screwed to the cooling plate 1.
  • the heat sink 2 and the plate 3 or the film respectively have openings 9, 10, through which the screws 4 can extend.
  • the cooling plate 1 corresponding

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Abstract

Laservorrichtung, umfassend mindestens eine Lasereinheit, die eine Wärmesenke (2) und mindestens ein auf dieser angeordnetes Halbleiterlaserelement (5) umfasst, eine Kühlplatte (1), an der die mindestens eine Lasereinheit derart angebracht ist, dass ein Wärmeübertrag von der Wärmesenke (2) auf die Kühlplatte (1) ermöglicht wird, sowie ein Separationsmittel, das zwischen der Wärmesenke (2) und der Kühlplatte (1) angeordnet ist, einen Wärmeübertrag von der Wärmesenke (2) auf die Kühlplatte (1) ermöglicht und eine elektrische Isolierung zwischen Wärmesenke (2) und Kühlplatte (1) gewährleistet.

Description

"Laservorrichtung"
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laservorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 .
Bei derartigen Laservorrichtungen kann die Kühlplatte aus einem Wärme leitenden Material bestehen und von Kühlmittelkanälen durchsetzt sein. Weiterhin kann beispielsweise ein Laserdiodenbarren als Halbleiterlaserelement dienen. Ein derartiger Laserd iodenbarren wird auf der Wärmesenke angebracht, die beispielsweise aus Kupfer besteht und elektrisch leitend mit einer der Elektroden des Laserdiodenbarrens verbunden ist. Problematisch ist bei dem Stand der Technik das Vorsehen mehrerer Lasereinheiten auf einer Kühlplatte, weil dann bei elektrisch leitender Verbindung zwischen der Kühlplatte und der Mehrzahl von Wärmesenken die Laserdiodenbarren auf dem gleichen Potenzial lägen. Daher werden im Stand der Technik für Mehrbarrensysteme Kühlplatten aus beschichtetem Aluminium verwendet, wobei die Beschichtung elektrisch isolierend ist. Die Wärmeableitung ist bei Verwendung einer derartigen Kühlplatte nicht optimal.
Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Laservorrichtung der eingangs genannten Art, die effektiver aufgebaut ist.
Dies wird erfindungsgemäß durch eine Laservorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung .
Durch die Verwendung eines Separationsmittels, das beispielsweise als Keramikplättchen oder als Keramikfolie ausgebildet sein kann , wird bei guter Wärmeübertragung eine elektrische Isolierung zwischen den Wärmesenken der einzelnen Lasereinheiten und der Kühlplatte erreicht. Dadurch kann für die Kühlplatte beispielsweise ein Material wie Kupfer verwendet werden, das bessere Wärmeleiteigenschaften als das vorgenannte beschichtete Aluminium aufweist. Dadurch kann beispielsweise die Temperatur des Kühlmittels verringert werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1 eine schematische, perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Laservorrichtung;
Fig. 2 eine Explosionsansicht der Laservorrichtung gemäß Fig. 1 .
Die abgebildete Laservorrichtung umfasst eine Kühlplatte 1 und eine Lasereinheit mit einer Wärmesenke 2, die auch gemäß dem Stand der Technik üblicherweise bei Lasereinheiten verwendet wird . Die Kühlplatte 1 kann beispielsweise aus Kupfer bestehen und weist eine Mehrzahl von Kanälen für ein Kühlmittel wie beispielsweise Wasser auf, die im Inneren der Wärmesenke 2 angeordnet sind.
Die Wärmesenke 2 kann ebenfalls aus Kupfer oder auch vergoldetem Kupfer bestehen. Auf der in Fig. 1 oberen Seite der Wärmesenke 2 ist ein schematisch abgebildetes Halbleiterlaserelement 5, wie beispielsweise ein Laserdiodenbarren angebracht. Die Wärmesenke 2 kann mit einer Elektrode dieses Halbleiterlaserelements 5 verbunden sein.
Die Wärmesenke 2 ist an der Kühlplatte 1 durch in Fig. 1 und Fig. 2 abgebildete Schrauben 4 angeschraubt. Um dadurch keine elektrisch leitende Verbindung zwischen der Wärmesenke 2 und der Kühlplatte 1 zu erzeugen, werden die Schrauben 4 in der Wärmesenke 2 beispielsweise durch aus Kunststoff bestehende isolierende Hülsen 8 (siehe Fig. 2) gegenüber der Wärmesenke 2 isoliert. Die abgebildete Ausführungsform umfasst weiterhin pro Schraube 4 eine beispielsweise metallische Unterlegscheibe 6 und eine beispielsweise aus Kunststoff bestehende isolierende Kragenhülse 7. Sowohl die -A-
Unterlegscheibe 6 als auch die Kragenhülse 7 werden von der Schraube 4 im verschraubten Zustand durchdrungen .
Zwischen der Wärmesenke 2 und der Kühlplatte 1 ist ein als Separationsmittel d ienendes Plättchen 3 oder eine Folie aus Keramik 5 vorgesehen. Das Plättchen 3 oder die Folie kann insbesondere aus
Aluminiumnitrid bestehen . Das Plättchen 3 beziehungsweise die Folie kann eine Dicke zwischen 0,05 mm bis 1 mm, insbesondere zwischen 0, 1 mm bis 0,4 mm, vorzugsweise eine Dicke von etwa 0,2 mm aufweisen . 0 Das Plättchen 3 beziehungsweise d ie Folie wird zusammen mit der
Wärmesenke 2 an der Kühlplatte 1 angeschraubt. Dazu weisen die Wärmesenke 2 und das Plättchen 3 beziehungsweise d ie Folie jeweils Öffnungen 9, 10 auf, durch die sich d ie Schrauben 4 hindurch erstrecken können . Weiterhin weist die Kühlplatte 1 entsprechende
.5 Gewindebohrungen 1 1 auf, in die die Schrauben 4 hinein geschraubt werden können.
Es besteht die Möglichkeit, mehr als eine Lasereinheit mit mehr als einer Wärmesenke 2 auf ein und derselben Kühlplatte 1 zu befestigen . Aufgrund der elektrischen Isolierung zwischen den Wärmesenken 2 !0 und der Kühlplatte 1 , die das Plättchen 3 beziehungsweise die Folie gewährleistet, befinden sich dann die unterschiedlichen Wärmesenken 2 und damit auch d ie unterschiedlichen Halbleiterlaserelemente 5 nicht auf dem gleichen elektrischen Potential.

Claims

Patentansprüche:
1 . Laservorrichtung, umfassend
mindestens eine Lasereinheit, die eine Wärmesenke (2) und mindestens ein auf d ieser angeordnetes Halbleiterlaserelement (5) umfasst, sowie
eine Kühlplatte (1 ), an der d ie mindestens eine Lasereinheit derart angebracht ist, dass ein Wärmeübertrag von der Wärmesenke (2) auf die Kühlplatte (1 ) ermöglicht wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
- die Laservorrichtung ein Separationsmittel umfasst, das zwischen der Wärmesenke (2) und der Kühlplatte (1 ) angeordnet ist, einen Wärmeübertrag von der Wärmesenke (2) auf die Kühlplatte (1 ) ermöglicht und eine elektrische Isolierung zwischen Wärmesenke (2) und Kühlplatte (1 ) gewährleistet.
2. Laservorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch geken nzeichnet, dass das Separationsmittel als Plättchen (3) oder als Folie ausgebildet ist.
3. Laservorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Plättchen (3) beziehungsweise die Folie mit der
Wärmesenke (2) und/oder der Kühlplatte ( 1 ) lösbar verbunden ist.
4. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Plättchen (3) beziehungsweise die FoMe mit der Wärmesenke (2) und/oder der Kühlplatte (1 ) verschraubt ist.
5. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Plättchen (3) beziehungsweise die Folie eine Dicke zwischen 0,05 mm bis 1 mm, insbesondere zwischen 0, 1 mm bis 0,4 mm, vorzugsweise eine Dicke von etwa 0,2 mm aufweist.
6. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Separationsmittel aus einem keramischen Material, insbesondere aus Aluminiumnitrid besteht.
7. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlplatte (1 ) und/oder die Wärmesenke (2) aus Kupfer oder einem anderen gut Wärme leitenden Material bestehen.
8. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleiterlaserelement (5) eine Laserdiode oder ein Laserdiodenbarren ist.
9. Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Laservorrichtung mehr als eine
Lasereinheit umfasst, die jeweils an der Kühlplatte (1 ) angebracht sind.
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