WO2007102247A1 - 成膜用デポマスク、対向側基板集合体及び表示装置 - Google Patents

Abstract

　成膜用デポマスクは、表示装置を構成する基板領域が複数集合したマザー基板に対し、各基板領域の一部に表示装置用のパターン領域を形成するように構成されている。さらに、複数のパターン領域を互いに連続する１つのパターンとして形成するための開口部を備えている。

Description

明 細 書

成膜用デポマスク、対向側基板集合体及び表示装置

技術分野

[0001] 本発明は、成膜用デポマスク、対向側基板集合体及び表示装置に関するものであ る。

背景技術

[0002] 携帯機器等の表示装置として液晶表示装置が多用されている。図 16は、液晶表示 装置の主要な構成物である液晶セル 101の斜視図である。液晶セル 101は、図示省 略の複数の薄膜トランジスタ（Thin-Film Transistor： TFT)をスイッチング素子として 有するアクティブマトリクス型の液晶セルである。

[0003] 液晶セル 101は、一方の基板である素子側基板 102と、他方の基板である対向側 基板 103とが、シール部材 104を介して互いに電極面が向かい合うように貼り合わさ れた構造を有している。シール部材 104は、略矩形枠状に形成され、その一部に開 口部 105が形成されている。開口部 105は、所謂真空注入法により液晶セル 101の 内部に液晶が注入された状態で、紫外線硬化榭脂等によって封止される。

[0004] 一般に、液晶セル 101は、図 17に示すように、複数の素子側基板を含むマザーガ ラス 121と、複数の対向側基板を含むマザ一ガラス 122 (対向基板集合体とも呼ぶ） とを互いに貼り合わせた後、個々の液晶セル 101を分割して切り出すことによって製 造される。

[0005] 尚、開口部 105はシール部材 104の残渣が各液晶セル 101に切り出す際の分断 不良の原因となり易いため、液晶セル 101の四辺のうち端子 106が形成されていな い辺に配置される。またこのことにより、端子 106の配置の自由度も損なわれない。

[0006] 素子側基板 102には、マトリクス状の画素アレイが画素領域 107として形成されて いる。素子側基板 102の 1辺側には、外部信号を入力するための端子 106が配置さ れている。このような構成は 3辺フリー構造とも称され、表示装置の小型化に寄与する と共に、表示装置の周囲に配置される機器のレイアウトの自由度が高まるという利点 があり、好適に採用されている。このような 3辺フリー構造の液晶セル 101は、マザ一 ガラス上にぉ 、て互いに接するように連なって配置され、多面取りされるようになって いる。

[0007] 対向側基板 103には、カラーフィルタ（図示省略）が形成されるとともに、 ITO等の 透明電極力もなる対向電極 108が、画素領域 107を含む大きさで 1つのパターンとし て成膜されている。尚、カラーフィルタは素子側基板 102に形成することも可能である 。対向側基板 103は着色層を形成せずとも便宜上カラーフィルター基板と称されるこ とちある。

[0008] 一般に、対向電極 108に与えるべき駆動用の信号は、カーボンペースト等の導電 部材 109を介して素子側基板 102の端子 106から入力されることが多い。このために 、コモン転移 (又はトランスファー） 111が液晶セル 101の一角に形成される。すなわ ち、対向電極 108は長方形の形状に突部 110が追加されたような平面形状になって いる。コモン転移 111は、この対向電極 108の突部 110と、カーボンペースト等の導 電部材 109と、図示省略の素子側基板 102の電極とによって構成されている。

[0009] 尚、コモン転移 111は、液晶セル 101に任意の個数配置される。例えばサイズが小 さい液晶セル 101では 1つの、サイズが大きい液晶セル 101では 4つ以上のコモン転 移 111が配置される場合もある。

[0010] ここで、対向電極 108はパターン精度を必要としない。また、製造コストの削減を目 的として所謂マスクデポにより成膜される。マスクデポとは、マスクを用いてスパッタリ ング等により成膜を行って、任意の領域に薄膜を堆積して形成する手法のことをいう

[0011] 図 18に示すように、マスクデポに用いられる冶具（マスク）であるデポマスク 112は、 金属板力もなり、予め対向電極 108を形成するための領域に開口部 113を有してい る。そして、このデポマスク 112を成膜源と対向側基板 103との間に配置して、対向 側基板 103の表面に透明電極をスパッタリングして成膜する。このようにして対向電 極 108を形成する手法は、例えば、特許文献 1〜3に開示されている。

特許文献 1：特開平 10— 282480号公報

特許文献 2：特開平 11—44881号公報

特許文献 3：特開平 11― 183886号公報 発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0012] 対向電極 108を成膜する際には、マザ一ガラス 122に対するデポマスク 112の位 置ずれが生じたり、デポ領域の端部にお 、て成膜の均一性が悪ィ匕し易 、と 、う問題 がある。その結果、対向電極 108のパターンの端部がぼやけてしまうので、これらの 製造ばらつきを抑制する目的で、図 16及び断面図である図 20に示すように、マージ ンである所定の寸法幅 aが画素領域 107と対向電極 108の端部との距離として必要 となる。例えば寸法 aは約 lmmとされる。

[0013] また、デポマスクには、図 18に示すように、隣り合う液晶セル 101同士の間隔として 幅 bを有する細 、遮蔽部 114が必要となる。デポマスク 112の作成にぉ 、てはその加 ェ精度の限界があると共に強度が必要であることから、寸法 bとして 2mm程度が必要 となる。したがって、液晶セル 101の額縁領域 (画素領域の周りの枠状の非表示領域 )の幅は、 a+bZ2=約 2mm以上の寸法が最低限必要となってしまう。

[0014] また、複雑な形状のデポマスクはその取り扱いが容易ではないという問題もある。さ らに、デポマスクをカラーフィルター基板に対向して配置させる際に、そのデポマスク の金属面とカラーフィルター基板の表面とが擦れる結果、液晶セルの額縁近傍の力 ラーフィルターパターンを傷付けたり、カラーフィルターの構成材料を利用してパター ユングされた工程管理用のマークを削りとってしまう虞れもある。

[0015] 近年、液晶セルの狭額縁ィ匕の要望が非常に強まっており、また多用な液晶セルが 実現できる構成も望まれている。この点で、上記問題点は非常に重要なものとなって いる。

[0016] 一方、図 19に示すように、対向電極 108の形状として、マスクデポを行わずに単純 に対向側基板 103の全面に透明電極を成膜する手法も考えられる。しかしながら、こ の場合には以下の不具合が生じる。その詳細を図 19及び図 21を参照して説明する

[0017] 端子 106が形成されている液晶セル 101の 1辺の領域には、図 19及び図 21で 1点 鎖線で示すように、端子 106に接続される配線 116が形成されている領域 Xがある。 この領域 Xでは、シール部材 104の外側において、素子側基板 102の配線 116と、 対向側基板 103の対向電極 108とが数; z m程度の至近距離で互いに対向する構成 となっている。この構成を有する液晶セル 101を、例えば高温高湿度の環境下に放 置すると、素子側基板 102と対向側基板 103との間に入り込んだ水分 118と、素子側 基板 102の配線 116と対向電極 108との間に生じる電界とによって、配線 116及び 対向電極 108の少なくとも一方が腐食する虞れがある。

[0018] 配線 116及び対向電極 108は、互いに異なる信号が印加されることにより所定の電 位差が恒常的に生じているため、シール部材 104の外側領域において、これらの配 線 116及び対向電極 108が直接に対向する状態は好ましくな 、。

[0019] また、近年、平面型の表示装置は、その形態としてさらなる多様性も求められており 新規な構成の提示が期待されて ヽる。

[0020] 本発明は、斯カる諸点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、デポマスク の強度を高めてその取り扱いを容易にすることにある。また、他の目的とするところは 、シール部材の外側にお ヽて配線及び対向電極の少なくとも一方の腐食を抑制する ことにある。

課題を解決するための手段

[0021] 上記の目的を達成するために、本発明に係る成膜用デポマスクは、表示装置を構 成する基板領域が複数集合したマザ一基板に対し、各前記基板領域の一部に前記 表示装置用のパターン領域を形成するための成膜用デポマスクであって、複数の前 記パターン領域を互いに連続する 1つのパターンとして形成するための開口部を備 えている。

[0022] また、本発明に係る対向側基板集合体は、表示装置を構成する対向側基板が複 数集合した対向側基板集合体であって、各前記対向側基板の一部には、前記表示 装置用のパターン領域がそれぞれ形成され、複数の前記パターン領域は、互いに連 続する 1つのパターンとして形成されている。

[0023] また、本発明に係る表示装置は、互いに対向して配置されると共に矩形状に形成さ れた第 1基板及び第 2基板と、前記第 1基板及び第 2基板の間にシール部材により囲 まれて封入された表示媒体層とを備えた表示装置であって、前記第 1基板は、前記 シール部材の内側に画素領域が形成されると共に、前記画素領域から前記シール 部材の外側へ引き出された配線が形成され、前記第 2基板は、前記画素領域に少な くとも一部が対向する対向電極が形成されると共に、前記シール部材の外側で前記 第 2基板の端辺に沿って延びる領域であって、前記配線に対向する配線対向領域を 含む第 1端辺領域と、前記第 1端辺領域以外の領域であって前記シール部材の外 側で前記第 2基板の端辺に沿って延びる第 2端辺領域とを有し、前記対向電極は、 前記第 1端辺領域の配線対向領域に形成されない一方、前記第 2端辺領域の少なく とも一部において前記画素領域側力 当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端 辺に亘つて形成されている。

[0024] 前記対向電極は、前記第 1端辺領域に隣り合う第 2端辺領域において、前記画素 領域側から当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺に亘つて形成されていて ちょい。

[0025] 前記対向電極は、前記第 1端辺領域に前記画素領域を介して対向する第 2端辺領 域において、前記画素領域側力 当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺 に亘つて形成されて ヽてもよ 、。

[0026] 前記対向電極は、各前記第 2端辺領域のそれぞれにお 、て、前記画素領域側から 当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺に亘つて形成されていてもよい。

[0027] 前記第 1基板には、前記シール部材の外側で前記配線を覆う保護膜が形成されて 、ることが好まし!/、。

[0028] 前記第 1端辺領域が前記第 2基板の 2辺にそれぞれ形成され、 2つの前記第 1端辺 領域の一方に形成されて ヽる配線には、該配線に接続された端子を介して外部デ バイスが接続され、前記シール部材の形状が閉パターンになって 、てもよ 、。

[0029] 前記表示媒体層は液晶層であり、前記外部デバイスは表示デバイス部であっても よい。

[0030] 前記表示デバイス部は、対向配置された一対の基板と、該一対の基板の間に第 2 のシール部材によって封入された液晶層とを備え、前記表示デバイス部の液晶層は 、前記第 2のシール部材に設けられた注入口を介して、前記一対の基板の間に充填 されていてもよい。

発明の効果 [0031] 本発明によれば、配線対向領域に対向電極を形成しな 、ようにしたので、シール部 材の外側において配線及び対向電極の少なくとも一方の腐食を抑制することができ る。

[0032] また、成膜用デポマスクの開口部を、複数のパターン領域を連続する 1つのパター ンとして形成するような形状としたので、ノターン領域同士の境界を形成するための 細い構造物部分をデポマスクに無くすことが可能となる。その結果、強度の低い部分 を無くしてデポマスク全体の強度を高めることができ、その取り扱いを容易にすること ができる。

[0033] さらに、成膜の際にデポマスクの開口部周りの表面力 対向側基板に接触する機 会が減少するので、対向側基板の表面に形成されて ヽる例えばカラーフィルターや マーク等が傷付くことを抑制できる。その結果、対向側基板の歩留まりを改善すること ができる。

[0034] また、本発明に係る対向側基板集合体によると、隣り合うパターン領域同士を直接 に繋げることができるため、表示装置の画素領域に対するパターン領域の位置ずれ マージンを小さくすることができる。また、この対向側基板を用いて作成した表示装置 は、デポマスクの強度や成膜ばらつきに起因して強いられていた寸法マージンを考 慮する必要がなくなるので、その額縁を縮小させることが可能となる。

[0035] また、外形を大きくしたりまた信頼性を損ねることなく画素領域力も複数の方向に引 き出される配線に端子を設けることが可能となり、端子設計の自由度を高くして、多種 多用な表示装置を得ることができる。

図面の簡単な説明

[0036] [図 1]図 1は、実施形態 1の液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 2]図 2は、実施形態 1の成膜用デポマスクを示す平面図である。

[図 3]図 3は、素子側基板集合体及び対向側基板集合体を示す斜視図である。

[図 4]図 4は、実施形態 2の液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 5]図 5は、実施形態 2の成膜用デポマスクを示す平面図である。

[図 6]図 6は、素子側基板集合体及び対向側基板集合体を示す斜視図である。

[図 7]図 7は、図 1における VII— VII線断面図である。 圆 8]図 8は、保護膜が形成された液晶表示装置を示す図 7相当図である。

[図 9]図 9は、実施形態 3の液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 10]図 10は、実施形態 4の液晶表示装置を示す斜視図である。

圆 11]図 11は、第 1の液晶セルが形成される一対のマザ一基板を模式的に示す斜 視図である。

[図 12]図 12は、マザ一基板カゝら分割された短冊を示す斜視図である。

[図 13]図 13は、短冊カゝら分割された第 1の液晶セルを示す斜視図である。

[図 14]図 14は、 2つの液晶セルを有する液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 15]図 15は、実施形態 2の液晶表示装置の応用例を示す斜視図である。

[図 16]図 16は、従来の液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 17]図 17は、従来の素子側基板集合体及び対向側基板集合体を示す斜視図で ある。

[図 18]図 18は、従来の成膜用デポマスクを示す平面図である。

[図 19]図 19は、従来の液晶表示装置を示す斜視図である。

[図 20]図 20は、従来の液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。

[図 21]図 21は、従来の配線が腐食した液晶表示装置を示す断面図である。

符号の説明

1 揿晶表示装置

2 素子側基板集合体

3 対向側基板集合体

4 基板領域

5 第 1の液晶セル

6 第 2の液晶セル、第 2の表示セル

11 素子側基板

12 対向側基板

13 シール部材

14 液晶層（表示媒体層）

15 画素領域 16 注入口

17, 17a, 17b 実装領域

18, 18a, 18b 配線

19 端子

19a 第 1の端子

19b 第 2の端子

21 対向電極

21a 突部

25 配線対向領域

31, 31a, 31b 第 1端辺領域

32, 32a, 32b 第 2端辺領域

35 保護膜

37 パターン領域

40 成膜用デポマスク

41 開口部

43 欠損部

51 素子側基板

52 対向側基板

53 第 2のシール部材

54 画素領域

55 端子

57 シール部材

58 注入口

発明を実施するための最良の形態

[0038] 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下 の実施形態に限定されるものではない。

[0039] 《発明の実施形態 1》

図 1〜図 3、図 7及び図 8を参照して、本発明の実施形態 1を説明する。本実施形態 では、表示装置として液晶表示装置を例に挙げて説明する。図 1は液晶表示装置 1 を示す斜視図であり、図 2は成膜用デポマスク 40を示す平面図である。ここで、成膜 用デポマスクとは、基板等の対象物に対し、膜を堆積して形成するためのマスクをい

[0040] 斜視図である図 1及び図 1の VII— VII線断面図である図 7に示すように、液晶表示 装置 1は、互いに対向して配置されると共に矩形状に形成された第 1基板である素子 側基板 11及び第 2基板である対向側基板 12と、素子側基板 11及び対向側基板 12 の間にシール部材 13により囲まれて封入された表示媒体層である液晶層 14とを備 えている。

[0041] 素子側基板 11は、略中央の領域に多数の画素がマトリクス状に配置された画素領 域 15が形成されている。図示は省略する力 各画素には、例えばスイッチング素子 である薄膜トランジスタ (TFT)がそれぞれ形成されて!ヽる。

[0042] シール部材 13は、略矩形枠状に形成されており、その一部が開口されて注入口 1 6が形成されている。シール部材 13は、例えば紫外線硬化榭脂等の榭脂によって構 成されている。上記画素領域 15は、シール部材 13の内側に形成されている。

[0043] 素子側基板 11には、上記注入口 16に対向する領域に、ドライバ等が実装される実 装領域 17が形成されている。実装領域 17は、素子側基板 11の一部の領域が、対向 側基板 12の 1つの端辺よりも側方に突出することによって形成されている。また、実 装領域 17には、上記画素領域 15の各画素力 シール部材 13の外側へ引き出され た複数の配線 18が形成され、各配線 18の端部には、外部信号を入力するための端 子 19が形成されている。これらの配線 18及び端子 19は、なるべく集合するように配 置されている。

[0044] 対向側基板 12には、カラーフィルター（図示省略）と共に、図 1に示すように、 ITO 等の透明電極カゝらなる対向電極 21が、素子側基板 11に対向して形成されている。 対向電極 21の少なくとも一部は、画素領域 15に対向している。つまり、対向電極 21 は、画素領域 15を含む大きさでベタ状に形成されている。

[0045] 対向電極 21に供給される駆動用の信号は、カーボンペースト等の導電部材 23を 介して素子側基板 11の任意の端子 19から入力される。このために、コモン転移 (又 はトランスファー） 22が、対向側基板 12で対角線上に向かい合う 2つの角部分にそ れぞれ形成されている。すなわち、対向電極 21は、長方形の形状において、上記 2 つの角部分が突部 21aとして追加されたような平面形状になっている。コモン転移 22 は、この対向電極 21の突部 21aと、導電部材 23と、図示省略の素子側基板 11の電 極とによって構成されている。

[0046] ここで、対向側基板 12には、シール部材 13の外側で対向側基板 12の端辺に沿つ て延びる領域であって、配線 18に対向する配線対向領域 25を含む第 1端辺領域 31 と、第 1端辺領域 31以外の領域であってシール部材 13の外側で対向側基板 12の 端辺に沿って延びる第 2端辺領域 32とを有している。

[0047] そして、図 1に示すように、対向電極 21は、第 1端辺領域 31の配線対向領域 25に 形成されておらず、その対向電極 21の端辺はシール部材 13の内側に形成されてい る。一方、対向電極 21は、第 1端辺領域 31に隣り合う第 2端辺領域 32aにおいて、画 素領域 15側力も当該第 2端辺領域 32aにおける対向側基板 12の端辺に亘つて形成 されている。

[0048] 一方、第 1端辺領域 31に対向する第 2端辺領域 32bでは、少なくとも注入口 16近 傍の領域に対向電極 21が形成されていない。この第 2端辺領域 32bにおける対向 電極 21の端辺は、上記第 1端辺領域 31と同様に、シール部材 13の内側に形成され ている。

[0049] 尚、「シール部材 13の内側」が意味する領域は、シール部材 13から離間し且つシ 一ル部材 13により囲まれた領域に限られない。腐食の原因となる水分から配線 18等 を隔離できるという観点から、シール部材 13の形成領域、すなわちシール部材 13に よって直接覆われている領域も「シール部材 13の内側」に含まれる。

[0050] また、本実施形態における対向電極 21の形状は、従来と同様に長方形の突部が 追加されたような平面形状を有するが、以下の点で従来の形状と異なる。

[0051] すなわち、本実施形態では、シール部材 13の外側の第 1端辺領域 31において端 子 19から延伸されている配線 18と対向側基板 12とが重なる配線対向領域 25に対し て対向電極 21を設けないことにより、配線対向領域 25に対向側基板 12と素子側基 板 11とが直接に対向する領域が存在するように構成した。さらに、第 1端辺領域 31 の両隣の第 2端辺領域 32aにおいて、画素領域 15から液晶表示装置 1の端部まで 対向電極 21を一様に形成している。

[0052] 液晶表示装置 1を製造する場合には、斜視図である図 3に示すように、素子側基板 11が複数集合したマザ一基板である素子側基板集合体 2と、対向側基板 12が複数 集合したマザ一基板である対向側基板集合体 3とを、互いに貼り合わせる。素子側 基板集合体 2及び対向側基板集合体 3には、分割後に各液晶表示装置 1を構成す ることとなる基板領域 4が複数集合して形成されて 、る。

[0053] 素子側基板集合体 2の貼合せ面には、複数の画素領域 15、配線 18及び端子 19 等が形成されている。一方、対向側基板集合体 3の貼合せ面には、複数の対向電極 21、カラーフィルタ一等が形成されている。

[0054] ここで、対向側基板集合体 3について詳細に説明する。図 3に示すように、対向側 基板集合体 3に含まれる各対向側基板 12の一部には、液晶表示装置用のパターン 領域 37がそれぞれ形成され、これら各パターン領域 37が対向電極 21を構成してい る。そして、複数のパターン領域 37は、互いに連続する 1つのパターンとして形成さ れている。例えば、第 1端辺領域 31の隣りの第 2端辺領域 32a同士が連続するように 、 4つの対向電極 21が 1つのパターンを構成している。そうして、対向側基板集合体 3には、例えば 4つのパターン領域 37からなるパターン力 つ並んで形成されている

[0055] ノターン領域 37は、図 2に示すような成膜用デポマスク 40を用いて形成する。すな わち、デポマスク 40は、マザ一基板である対向側基板集合体 3に対し、各基板領域 4 の一部にパターン領域 37を形成するためのものである。デポマスク 40には、開口部 41が例えば 4つ並んで配置されている。開口部 41は、複数のパターン領域 37を互 いに連続する 1つのパターンとして形成するためのものである。

[0056] そして、対向電極 21のパターン領域 37を対向側基板集合体 3に形成する場合に は、対向側基板集合体 3にデポマスク 40を対向配置させて、スパッタリング等を行う。 そのことによって、対向側基板集合体 3に ITO等の薄膜を所定のパターンとして堆積 させ、開口部 41毎に 4つの連続したパターン領域 37 (つまり対向電極 21)を形成す る。 [0057] 各基板領域 4にシール部材 13をそれぞれ配置した状態で、素子側基板集合体 2と 対向側基板集合体 3とを互いに貼り合わせた後に、各基板領域 4毎に切断して分割 する。その後、注入口 16から液晶材料を注入して封止し、端子 19にドライバ回路を 実装して、液晶表示装置 1を製造する。

[0058] 図 20に示すように、従来のように、対向電極 108と配線 116とが直接に対向して一 対の電極として作用すると、周りの水分 118によって腐食が生じる虞れがあるが、本 実施形態によると、第 1端辺領域 31の配線対向領域 25に対向電極 21を形成しない ようにしたので、シール部材 13の外側において配線 18及び対向電極 21が露出した 状態で互いに対向させないようにできる。したがって、図 7に示すように、配線 18の周 りに水分 28等が付着したとしても、シール部材 13の外側において配線 18及び対向 電極 21の少なくとも一方の腐食を抑制することができる。一方、第 2端辺領域 32a, 3 2bには対向電極 21と異なる電位が供給される電極や配線は存在しない。したがって 、対向電極 21がシール部材 13の外側に存在していてもその腐食を避けることが可 能となる。

[0059] また、デポマスク 40の開口部 41を、複数のパターン領域 37を連続する 1つのパタ ーンとして形成するような形状としたので、パターン領域 37同士の境界を形成するた めの細い構造物部分をデポマスク 40に無くすことができる。その結果、強度の低い 部分を無くしてデポマスク 40全体の強度を高めることができ、その取り扱いを容易に することができる。

[0060] さらに、上記細い構造物部分がないことから、成膜の際にデポマスク 40の開口部 4 1周りの表面が、対向側基板 12に接触する機会が減少するので、対向側基板 12の 表面に形成されている例えばカラーフィルターやマーク等の損傷を抑制することがで きる。その結果、対向側基板 12の歩留まりを改善できる。

[0061] さらにまた、対向側基板集合体 3における隣り合うパターン領域 37同士を直接に繋 げることができるため、画素領域 15に対するパターン領域 37 (つまり対向電極 21)の 位置ずれマージンを小さくすることができる。また、この対向側基板 12を用いて作成 した液晶表示装置 1は、デポマスク 40の強度や成膜ばらつきに起因して強いられて いた寸法マージン（図 15における寸法 aや図 17における寸法 b)を考慮する必要がな くなるので、その額縁を縮小させることができる。

[0062] ここで、第 1端辺領域 31では、断面図である図 7に図示するように、完全に対向電 極 21を存在させないことが効果的である力 そのことにカ卩え、断面図である図 8に図 示するように、素子側基板 11に対し、シール部材 13の外側で配線 18を覆うように無 機材料や有機榭脂等カゝらなる保護膜 35を形成することも好ましい。

[0063] このように一方の電極である配線 18を保護膜 35で覆って露出させないことにより、 仮に、製造段階で対向電極 21がシール部材 13外側の配線対向領域 25の一部に誤 つて形成されしまったとしても、水分 28等による対向電極 21の腐食をより確実に抑制 できる。

[0064] また、対向電極 21を第 1端辺領域 31の配線対向領域 25に形成しない構成は、実 際の製造段階で、図 8に示すように、保護膜 35により配線 18を十分に覆うことができ ず、保護膜 35に欠損部 43が生じたとしても、配線対向領域 25における配線の腐食 を防止できる冗長設計とも 、うことができる。

[0065] さらに、図 8に示すように、上記保護膜 35を画素領域 15にまで形成し、画素の所謂 開口率の向上や散乱性を有する凹凸反射面の形成のために利用してもよい。

[0066] 尚、本発明は、第 1端辺領域 31の配線対向領域 25に対向電極 21を形成せず、且 つ、第 2端辺領域 32a, 32bの少なくとも一部において、画素領域 15側から対向側基 板 12の端辺に亘つて形成されていればよい。

[0067] 《発明の実施形態 2》

図 4〜図 6は、本発明の実施形態 2を示している。尚、以降の各実施形態では、図 1

〜図 3、図 7及び図 8と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省 略する。

[0068] 上記実施形態 1では、第 1端辺領域 31に隣り合う 2つの第 2端辺領域 32aについて は、画素領域 15側から対向側基板 12の端辺に亘つて対向電極 21を形成すると共 に、第 1端辺領域 31に対向する第 2端辺領域 32bについては、少なくとも注入口 16 近傍の領域に対向電極 21を形成しないようにしたが、本実施形態では、全ての第 2 端辺領域 32a, 32bにおいて、対向電極 21を画素領域 15側から対向側基板 12の 端辺に亘つて形成している。 [0069] すなわち、液晶表示装置 1の斜視図である図 4に示すように、対向電極 21は、配線 対向領域 25を含む第 1端辺領域 31の一部の領域を除いて、対向側基板 12の全体 に一様に形成されている。そのため、対向電極 21は、 1つの対向側基板 12について 1つの突部 21aを有しており、上記実施形態 1の対向電極 21に比べて単純な形状に なっている。

[0070] 本実施形態の液晶表示装置 1を製造する場合には、平面図である図 5に示すような デポマスク 40を用いて、対向側基板集合体 3に複数のパターン領域 37 (つまり対向 電極 21)を形成する。上記実施形態 1と同様に、デポマスク 40に形成されている開 口部 41は、複数のパターン領域 37を互いに連続する 1つのパターンとして形成する ようになっている。

[0071] そうして、斜視図である図 6に示すように、パターン領域 37によって対向電極 21を 形成した対向側基板集合体 3と、素子側基板集合体 2とをシール部材 13を介して貼 り合わせ、最終的に、各基板領域 4毎に分割することによって液晶表示装置 1を製造 する。

[0072] したがって、本実施形態によっても、上記実施形態 1と同様の効果を得ることができ る。さらに、対向電極 21の形状、及びデポマスク 40の開口部 41の形状を単純にする ことができる。

[0073] 尚、上記実施形態 1及び実施形態 2に示す構成は、第 1端辺領域 31を横切る配線 の数が比較的多い場合や、配線が比較的細い場合に、より好適である。

[0074] 例えば、斜視図である図 15に示すように、 ICドライバ 45を積載した実装形態 (所謂 COG : Chip On Glass)の場合では、第 1端辺領域 31を横切る配線 46が例えば数百 本と比較的多くなることが一般的である。

[0075] 特に、配線 46が ICドライバ 45から扇状に引き出されて斜め配線となる場合には、 各配線 46の間隔が狭くなるので、各配線 46の幅を数/ z m程度に細くする必要があ る。この場合、配線抵抗を低減するために、配線材料には A1や Cr等の単一材料、あ るいはこれら A1等を基材とした合金、又はこれら A1等と他の配線材料との積層物等 の低抵抗材料を用いることが多い。しカゝしながら、一般に、このような配線材料は腐食 を起し易!、ことが知られており、このような細 、配線の腐食は即座に断線となり易 、た め、信頼性の確保がより重要である。

[0076] 本発明の実施形態は、上記のような多数本の斜め配線 46の断線を抑制できる点で 好適であり、表示装置の信頼性を確保できるという効果を奏する。

[0077] 《発明の実施形態 3》

図 9は、液晶表示装置 1の斜視図であって、本発明の実施形態 3を示している。

[0078] 本実施形態では、図 9に示すように、素子側基板 11には 2つの実装領域 17a, 17b が対向側基板 12の隣接する 2つの端辺カゝらそれぞれ側方に延出して形成されてい る。実装領域 17aには、複数の配線 18aが画素領域 15からそれぞれ引き出されてお り、その配線 18aの端部に第 1の端子 19aが形成されている。同様に、実装領域 17b には、複数の配線 18bが画素領域 15からそれぞれ引き出されており、その配線 18b の端部に第 2の端子 19bが形成されている。一方、実装領域 17a, 17bが形成されて V、な 、素子側基板 11の端辺は、対向側基板 12の端辺に揃って配置されて 、る。

[0079] 対向側基板 12には、実装領域 17aに隣接する第 1端辺領域 31aと、実装領域 17b に隣接する第 1端辺領域 31bと、それ以外の 2つの第 2端辺領域 32とが形成されて いる。各第 1端辺領域 31a, 31bには、上記実施形態 1と同様に、配線対向領域 25 がそれぞれ含まれている。そうして、対向電極 21は、各配線対向領域 25に形成され ない一方、各第 2端辺領域 32では画素領域 15側力も対向側基板 12の端辺に亘っ て形成されている。

[0080] このようにすると、上記実施形態 1と同様の効果を得ることができると共に、第 1及び 第 2の端子 19a, 19bを素子側基板 11において互いに隣接する 2つの端辺側に形成 することができる。

[0081] 《発明の実施形態 4》

図 10は、液晶表示装置 1の斜視図であって、本発明の実施形態 4を示している。

[0082] 本実施形態では、図 10に示すように、素子側基板 11には 2つの実装領域 17a, 17 bが対向側基板 12の対向する 2つの端辺からそれぞれ側方に延出して形成されてい る。実装領域 17aには、複数の配線 18aが画素領域 15からそれぞれ引き出されてお り、その配線 18aの端部に第 1の端子 19aが形成されている。同様に、実装領域 17b には、複数の配線 18bが画素領域 15からそれぞれ引き出されており、その配線 18b の端部に第 2の端子 19bが形成されている。一方、実装領域 17a, 17bが形成されて V、な 、素子側基板 11の端辺は、対向側基板 12の端辺に揃って配置されて 、る。

[0083] 対向側基板 12の 2辺には第 1端辺領域 31a, 3 lbがそれぞれ形成されている。す なわち、対向側基板 12には、実装領域 17a, 17bに隣接する 2つの第 1端辺領域 31 aと、実装領域 17bに隣接する第 1端辺領域 31bと、それ以外の 2つの第 2端辺領域 3 2とが形成されている。各第 1端辺領域 31a, 31bには、上記実施形態 1と同様に、配 線対向領域 25がそれぞれ含まれている。そうして、対向電極 21は、互いに対向する 各配線対向領域 25に形成されない一方、互いに対向する各第 2端辺領域 32では画 素領域 15側力 対向側基板 12の端辺に亘つて形成されている。

[0084] このようにすると、上記実施形態 1と同様の効果を得ることができると共に、第 1及び 第 2の端子 19a, 19bを素子側基板 11における互いに対向する 2つの端辺側に形成 することができる。

[0085] 上述したように、第 1及び第 2の端子 19a, 19bを素子側基板 11の複数の端辺側に 設けることにより、以下に説明するように多様な構成の液晶表示装置 1のモジュール が得られる。

[0086] まず、第 1の構成として、斜視図である図 14に示すように、液晶表示装置 1が上記 第 1及び第 2の端子 19a, 19bを有する第 1の液晶セル 5と、別個の表示デバイス部（ 外部デバイス)である第 2の液晶セル 6とを備え、第 1の端子 19aが第 1の液晶セル 5 に信号を入力するための信号入力端子である一方、第 2の端子 19bが第 2の液晶セ ル 6への信号出力端子である構成が可能である。

[0087] 一方の第 1端辺領域 31bに形成されている配線 18bには、第 2の端子 19bを介して 第 2の液晶セル 6が接続されている。第 2の液晶セル 6は、対向配置された一対の基 板である素子側基板 51及び対向側基板 52を有している。素子側基板 51と対向側 基板 52との間には液晶層が第 2のシール部材 53によって封入されている。この液晶 層は、第 2のシール部材 53に設けられた注入口 58を介して、素子側基板 51と対向 側基板 52との間に充填されている。

[0088] 素子側基板 51には画素領域 54から引き出された配線に端子 55が形成されている 。そうして、第 1の液晶セル 5及び第 2の液晶セル 6は、端子 55と上記第 2の端子 19b との間でフレキシブルプリント基板 (FPC) 56を介して接続されて 、る。

[0089] 第 2の液晶セル 6の駆動は、第 1の液晶セル 5を介して印加される外部信号、又は 第 1の液晶セル 5内に多結晶シリコンを基材として形成された駆動回路から出力され る出力信号によって行う。このような第 1の液晶セル 5の表示面と第 2の液晶セル 6の 表示面とは、同一平面上に配置されたり、互いに背面が接するように、云わば両面表 示装置を形成するように配置される。

[0090] 次に、第 2の構成として、例えば図 10に示すように、液晶表示装置 1の液晶セルに おける第 1の端子 19aをその液晶セルへの信号入力端子にすると共に、第 2の端子 1 9bを液晶セル内に組み込まれた表示以外の機能を有する回路、例えば光学センサ 一回路、温度センサー回路及びオーディオ回路等への信号入出力端子とする構成 が可能である。

[0091] また、第 3の構成として、液晶表示装置 1の液晶セルにおける第 1の端子 19aをその 液晶セルへの信号入力端子にすると共に、第 2の端子 19bをその液晶セルの外部の デバイス、例えばタツチパネル、オーディオ回路及びバックライト制御部等への信号 入出力端子とする構成が可能である。バックライト制御部は上記液晶セル自身のバッ クライト制御部ではなぐ別個の他の液晶セルのものであってもよい。

[0092] 次に、第 4の構成として、液晶表示装置 1の第 1の端子 19a及び第 2の端子 19bの 双方が、その液晶セルの表示に係る信号入力端子である構成とすることが可能であ る。例えば、第 1の端子 19a及び第 2の端子 19bの一方を 2値表示駆動の端子であり 、他方が階調表示駆動用の端子であるようにして、互いに機能が異なる端子とするこ とが可能である。

[0093] ここで、図 10及び図 14に示すように、画素領域 15を挟んで第 1及び第 2の端子 19 a, 19bを対向して配置させた場合には、上記実施形態 1〜3で説明した発明とは独 立した別の発明として、液晶表示装置 1におけるシール部材 57を画素領域 15を囲 む枠状の閉パターンに形成し、所謂滴下注入方式によって液晶を封入することが望 ましい。

[0094] 特に、第 2の端子 19bを他の液晶セル (第 2の液晶セル 6)への出力端子とする上記 構成 1の場合には、図 14に図示するように、第 1の液晶セル 5のシール部材 57を画 素領域 15を囲む閉パターンとし、所謂滴下注入方式によって液晶を充填する一方、 小型の第 2の液晶セル 6は第 2のシール部材 53の一部に注入口である開口部 58を 設けて所謂真空注入方式によって液晶を充填することが好ましい。

[0095] 滴下注入法は、通常、液晶の注入時間を短縮する観点から、パソコンやテレビ等の 表示画面として用いられる比較的大型の液晶セルに対して適用される。しかし、本発 明では、他の新たな利点に着目されていることに注目されたい。これに関して以下に 説明する。

[0096] 本実施形態では、所謂メイン液晶である第 1の液晶セル 5と、サブ液晶である第 2の 液晶セル 6とを組み合わせたモジュールにおいて、それぞれの液晶セル 5, 6に適切 な液晶注入方式を採用すると共に、第 1の液晶セル 5における第 1及び第 2の端子 1 9a, 19bの配置の多様性を確保し、またその第 1の液晶セル 5のマザ一基板への効 率的な配置を実現するために滴下注入方式を利用した点に特徴がある。

[0097] すなわち、仮に、複数の端辺に第 1の端子又は第 2の端子が形成された第 1の液晶 セルに対し、上記端子が形成されて!、な 、端辺にシール部材の注入口を設けようと すると、複数の第 1の液晶セルを互いに連ねて配置させることができず、注入ロを設 けた液晶セルの端辺に接するマザ一基板の領域に、本来不要な基板領域 (所謂捨 て基板）が必要となるため、製造効率が悪化してしまう。

[0098] 一方、敢えて上記端子が形成されている端辺に注入口を設けようとすると、液晶を 満たした容器に注入口を浸した際に、その注入口が設けられて ヽる端辺の上記端子 が液晶に浸力つてしまう。その結果、上記端子の表面に付着している不純物が液晶 に混入し、液晶の汚染を引き起こしてしまう。この液晶の汚染は、 100%に近い電圧 保持率を有する液晶を用いる TFT等のアクティブマトリクス型の液晶セルにとって、 表示ムラの原因となり得る。

[0099] したがって、画素領域を挟んで対向する液晶セルの端辺にそれぞれ端子を設ける 場合には、液晶セルを効率よくマザ一基板に配置することを優先させると、端子を有 する端辺に注入口を形成する必要があることから、液晶に汚染の懸念が生じるため、 通常は、液晶の電圧保持率が 80%程度と比較的低い STN等の液晶を用いる単純 マトリクス型の液晶セルのように、信頼性の確保が比較的容易なものについて適用さ れる。

[0100] また、シール部材 13の封止榭脂が硬化する前に、封止榭脂が自重によって広がる 虞れがあり、その結果、上記端子が封止榭脂により覆われて、 FPCの上記端子への 圧着不良が生じる問題もある。そのため、封止榭脂が多少広がっても上記端子を覆 わないように端子の長さ（図 14における寸法 L1又は L2)を 4〜5mm程度に長くした り、注入口を避けるように端子数を減らす必要がある。その結果として、第 1の液晶セ ルの外形が大きくなつてしまったり、第 1及び第 2の端子の数や位置の自由度が低下 してしまう不都合があった。特に、第 2の端子の数が減ると信号を入出力すべき外部 デバイス（図 14では第 2の液晶セル 6を指す)の構成の自由度が狭まるので、表示装 置全体としての魅力が損なわれる。

[0101] これに対し、本実施形態では、上述のように第 1の液晶セル 5のシール部材 57を閉 ノターンに形成して、滴下注入方式によって液晶を充填するようにしたので、真空注 入法で必須となる注入口を不要とすることができる。したがって、第 1の液晶セル 5の 表示信頼性を低下させることなぐ複数の第 1の液晶セル 5を上記第 1及び第 2の端 子 19a, 19bの無い端辺同士が接するようにマザ一基板に効率よく連ねて配置できる

[0102] さらに、本実施形態の構成では、第 1の液晶セル 5に注入口が存在しないので、シ 一ル部材 57の封止榭脂によって第 2の端子 19bの数や位置に制限が加えられること がなぐ例えば第 2の端子 19bの長さ（図 15における寸法 L2)として 2mm未満とする ことも可能となる。よって、第 1の液晶セル 5を小型化できると共に、表示装置の設計 の自由度を高めることができ、この表示装置を用いた電子機器を多様な構成にでき るという効果を奏する。

[0103] また、電圧保持率の高い液晶を第 1の液晶セル 5に充填することができるので、第 1 の液晶セル 5をアクティブマトリクス型の液晶セルに構成することが可能となり、品位 の良 、多様な表示装置を得ることができる。

[0104] ところで、上述した滴下注入方式は大型の液晶セルへの液晶の充填方法として優 れているが、小型の液晶セルの場合には滴下すべき液晶量の制御が難しぐ液晶セ ルの容積に見合う過不足無い適切な量の液晶を充填させることが困難である。 [0105] これに対し、本実施形態における第 2の液晶セル 6は小型であるため、真空注入方 式であっても注入に要する時間は短い。すなわち、液晶の注入方法としては滴下注 入方式ではなく真空注入方式で十分である。つまり、ペアとなる第 1の液晶セル 5及 び第 2の液晶セル 6の注入方式を同一にする必要はない。

[0106] このように、第 1の液晶セル 5は、第 1の端子 19a及び第 2の端子 19bを有しながらも 滴下注入方式による注入口のな 、構造であるため、マザ一基板に効率よく配置でき る一方、第 2の液晶セル 6は、その 1つの端辺のみに端子 55がある 3辺フリー構造で あるので、注入口 58を有する構造でありながらマザ一基板に効率よく配置できる。

[0107] したがって、第 1の液晶セル 5及び第 2の液晶セル 6が互いに接続されている構成と なる 2画面表示型の液晶表示装置 1においては、大型の第 1の液晶セル 5を滴下注 入方式とする一方、小型の第 2の液晶セル 6を真空注入方式とすることにより、効率よ く製造できる構成となることが理解されよう。

[0108] また、第 1の液晶セル 5を製造する場合には、斜視図である図 11に示すように、閉 ノターンのシール部材 57を介して貼り合わせたマザ一基板である素子側基板集合 体 2及び対向側基板集合体 3を一度に個々の液晶セルに分断せずに、図 12に示す ように、一旦、複数の第 1の液晶セル 5がー列に連なった状態 (これを短冊と称する） に分断する。

[0109] このことにより、短冊 63に対してハンドリング及び各種検査等を一括して行うことが できるため、製造効率の向上を図ることができる。尚、第 2の液晶セル 6は 3辺フリー 構造であるので、第 1の液晶セル 5と同様に、短冊を用いた効率的な製造が可能で あることはいうまでもない。その後、斜視図である図 13に示すように、短冊 63をさらに 分断することによって、複数の第 1の液晶セル 5を製造する。

[0110] 尚、第 1の端子 19aの長さ L1と、第 2の端子 19bの長さ L2とを必ずしも同一にする 必要はない。例えば、一方の第 1端辺領域 31aに対して第 1の端子 19aの他に外付 けのドライバ ICを実装し、他方の第 1端辺領域 31bに第 2の端子 19bのみを設ける場 合には、 L1 >L2としてもよ!/ヽ。

[0111] 第 2の液晶セル 6は、例えば、 EL表示セルや、単純マトリクス型の液晶セル等の他 の表示セルとしてもよい。また、アクティブマトリクス型の第 1の液晶セル 5と、他の方 式の第 2の表示セルとが組み合わさった表示装置としてもよい。

[0112] また、図 14に示すように、製造工程を管理するために用いられる管理マーク 61や 管理バーコード 62等を、第 2の端子 19bが設けられていない実装領域 17bの空き領 域に配置してもよい。例えば第 2の端子 19bに接続されている外部デバイスの機能が 少ない場合には、第 2の端子 19bの数は比較的少なくなる。したがって、この第 2の 端子 19bが形成されている第 1端辺領域 31bを上記管理マーク 61等を配置する領 域として有効に利用できる。

[0113] 特に、第 1の端子 19aは、第 1の液晶セル 5の駆動と、第 2の表示セル 6 (外部デバ イス）の駆動とに係る端子である。したがって、第 1の端子 19aの数は比較的多い。ま た、この第 1の端子 19aが形成されている第 1端辺領域 31aにドライバ ICを実装した 場合にも、この第 1端辺領域 31aの空き領域は小さくなるので、いずれにしても管理 マーク 61等を配置できる空き領域は少ない。すなわち、図 14のような構成が管理マ ーク 61や TEG等を配置する上で都合がよい構成となる。

産業上の利用可能性

[0114] 以上説明したように、本発明は、成膜用デポマスク、対向側基板集合体及び表示 装置について有用であり、特に、上記デポマスクの強度を高めてその取り扱いを容易 にする場合に適している。

Claims

請求の範囲

[1] 表示装置を構成する基板領域が複数集合したマザ一基板に対し、各前記基板領 域の一部に前記表示装置用のパターン領域を形成するための成膜用デポマスクで あって、

複数の前記パターン領域を互いに連続する 1つのパターンとして形成するための 開口部を備えて 、ることを特徴とする成膜用デポマスク。

[2] 表示装置を構成する対向側基板が複数集合した対向側基板集合体であって、 各前記対向側基板の一部には、前記表示装置用のパターン領域がそれぞれ形成 され、

複数の前記パターン領域は、互いに連続する 1つのパターンとして形成されている ことを特徴とする対向側基板集合体。

[3] 互いに対向して配置されると共に矩形状に形成された第 1基板及び第 2基板と、 前記第 1基板及び第 2基板の間にシール部材により囲まれて封入された表示媒体 層とを備えた表示装置であって、

前記第 1基板は、前記シール部材の内側に画素領域が形成されると共に、前記画 素領域力 前記シール部材の外側へ引き出された配線が形成され、

前記第 2基板は、前記画素領域に少なくとも一部が対向する対向電極が形成され ると共に、前記シール部材の外側で前記第 2基板の端辺に沿って延びる領域であつ て、前記配線に対向する配線対向領域を含む第 1端辺領域と、前記第 1端辺領域以 外の領域であって前記シール部材の外側で前記第 2基板の端辺に沿って延びる第 2端辺領域とを有し、

前記対向電極は、前記第 1端辺領域の配線対向領域に形成されない一方、前記 第 2端辺領域の少なくとも一部において前記画素領域側力 当該第 2端辺領域にお ける前記第 2基板の端辺に亘つて形成されていることを特徴とする表示装置。

[4] 前記対向電極は、前記第 1端辺領域に隣り合う第 2端辺領域において、前記画素 領域側から当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺に亘つて形成されている ことを特徴とする請求項 3に記載の表示装置。

[5] 前記対向電極は、前記第 1端辺領域に前記画素領域を介して対向する第 2端辺領 域において、前記画素領域側力 当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺 に亘つて形成されていることを特徴とする請求項 3に記載の表示装置。

[6] 前記対向電極は、各前記第 2端辺領域のそれぞれにお 、て、前記画素領域側から 当該第 2端辺領域における前記第 2基板の端辺に亘つて形成されていることを特徴と する請求項 3に記載の表示装置。

[7] 前記第 1基板には、前記シール部材の外側で前記配線を覆う保護膜が形成されて

V、ることを特徴とする請求項 3に記載の表示装置。

[8] 前記第 1端辺領域が前記第 2基板の 2辺にそれぞれ形成され、

2つの前記第 1端辺領域の一方に形成されている配線には、該配線に接続された 端子を介して外部デバイスが接続され、

前記シール部材の形状が閉パターンになっていることを特徴とする請求項 3に記載 の表示装置。

[9] 前記表示媒体層は液晶層であり、

前記外部デバイスは表示デバイス部であることを特徴とする請求項 8に記載の表示 装置。

[10] 前記表示デバイス部は、対向配置された一対の基板と、該一対の基板の間に第 2 のシール部材によって封入された液晶層とを備え、

前記表示デバイス部の液晶層は、前記第 2のシール部材に設けられた注入口を介 して、前記一対の基板の間に充填されていることを特徴とする請求項 9に記載の表示 装置。