WO2007097456A1

WO2007097456A1 - 微少液量測定装置、及び微少液量測定方法

Info

Publication number: WO2007097456A1
Application number: PCT/JP2007/053621
Authority: WO
Inventors: Kentaro Nakamura
Original assignee: Tokyo Institute Of Technology
Priority date: 2006-02-27
Filing date: 2007-02-27
Publication date: 2007-08-30
Also published as: JPWO2007097456A1

Abstract

　分注装置（１００）により液が分注される複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・の各開口に向かって所定の傾斜方向から音響発生部（１０）により音波を放射し、解析装置（５０）の掃引部（５１）により上記音波の周波数を掃引しながら、音響検出部（２０）の音響電気変換器（２１），（２１Ａ），（２１Ｂ）・・・により、上記複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・の各開口の近傍において上記音波を検出し、上記解析装置（５０）の解析部（５２）により上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・に分注された液量を推定する。

Description

微少液量測定装置、及び微少液量測定方法

技術分野

[0001] 本発明は、液体の検査 ·分析用分注装置から吐出した微少量の液量を非接触で測定する微少液量測定装置及び微少液量測定方法に関する。

本出願は、日本国において 2006年 2月 27日に出願された日本特許出願番号 200 6— 050359を基礎として優先権を主張するものであり、この出願を参照することにより、本出願に援用される。

背景技術

[0002] 医療，生化学，バイオ，臨床検査，放射線等の分野で、各種試験液を数マイクロリットルカ数ミリリットルの単位で定量的に小分けするために分注装置が用いられている。分注装置は、試験液を貯留した容器力も試験液を吸引し、ゥエルと呼ばれる小分け容器に試験液をそれぞれ注入するために、 X— Y方向に移動可能な分注ヘッドにより分注ノズルを上下動可能に保持している。また、試験液を同時に複数のゥエルに分注する分注装置では、分注ヘッドに複数のノズルが取り付けられて、る。

ゥエルに注入された試験液の液量の過不足は、検査結果や分析結果に影響を及ぼすので、分注装置では一定量の試験液をゥエルに注入しなければならない。しかしながら、分注装置によりゥエルに注入される試験液の液量は、分注ノズルの状態や試験液の吸弓 I量のバラツキなどによって変化するので、ゥエル毎に測定して確認する必要がある。

従来、分注装置によりゥエルに注入された試験液の液量は、吐出時のシリンダ移動量など力も推定したり、吐出されたものを精密は力りで測定するようにしていた。

また、液量を非接触で測定する方法としては、容器の容量を既知とし液面の高さ位置の変化を例えば超音波センサや光センサを用、て測定したり、音響特性を用、て、容積や体積を測定する方法が知られている。

音響特性を用いて、容積や体積を測定する方法として、ヘルムホルツ共鳴を用いる方法や、体積比と音圧比の関係を用いるものなどが知られている。発明の開示

発明が解決しょうとする課題

近年、ゥエル数を増大して試験効率を向上させるとともに使用される試薬の消費量を削減するために内容積を小さくする目的で、ゥエルのサイズが小型化する傾向にあり、ゥエルに注入される試験液の液量はより微少量となっている。

ところで、従来のヘルムホルツ共鳴を用いる方法では、くびれた入り口を有した特別な容器形状を必要とし、くびれた入り口を有した特別な形状のゥエルを用いたり、あるいは、くびれ部がついたフタをゥエルにつけて、測定しなければならない。また、体積比と音圧比の関係を用いる方法では、容器を密閉する必要があり、ゥエルに密着したもうひとつの容器を準備する必要がある。

上述の如き従来の方法では、液体の検査 '分析用分注装置から吐出した微少量の液量を測定するには、測定誤差が大き力つたり、その場で測定できない、あるいは、多数同時計測には不向きであるなどの問題があった。

そこで、本発明の目的は、液体の検査 ·分析用分注装置力も複数のゥエルに吐出した微少量の液量を非接触で迅速にかつ高精度に同時計測することのできる微少液量測定装置及び微少液量測定方法を提供することにある。

そこで、本発明では、上述した課題を解決するために、分注装置のゥエルと呼ばれる容器をそのまま共鳴器として用いて、ゥエルの音響共鳴周波数を測定することでゥエル内の液量を推定する。

すなわち、本発明に係る微少液量測定装置は、分注装置により液が分注される複数のゥエルの各開口に向力つて所定の傾斜方向から音波を放射する音響発生部と、上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記音響発生部に供給する掃引部と、上記音響発生部から放射された音波を上記複数のゥエルの各開口の近傍において検出する複数の音響電気変換器からなる音響検出部と、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号から上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のゥエルに分注された液量を推定する解析部とを備え、上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引し、上記解析部により、上記音響検出部により検出される音波の各検出信号力上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数力上記複数のゥエルに分注された各液量を推定することを特徴とする。

また、本発明に係る微少液量測定装置は、例えば、環境温度を検出する温度センサを備え、上記解析部は、上記温度センサによる検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出する。

また、本発明に係る微少液量測定装置における上記音響検出部の音響電気変換器は、例えば、上記ゥエルの開口の近傍位置まで導出された音導管を備える。また、本発明に係る微少液量測定装置における上記解析部は、例えば、上記音導管の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記ゥエルの共鳴周波数を検出する。

さらに、本発明に係る微少液量測定装置における上記解析部は、例えば、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号を上記掃引部力供給される掃引信号で同期検波することにより、上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出する。

また、本発明に係る微少液量測定方法は、分注装置により液が分注される複数のゥエルの各開口に向かって所定の傾斜方向力音波を放射し、上記音波の周波数を掃引しながら、上記複数のゥエルの各開口の近傍において上記音波を検出し、上記検出された音波の各検出信号力上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数カゝら上記複数のゥエルに分注された液量を推定することを特徴とする。

図面の簡単な説明

[図 1]図 1は、本発明を適用した微少液量測定装置の構成を示すブロック構成図である。

[図 2]図 2Aは、上記微少液量測定装置における音響検出部の音響電気変換器の具体例を示す図であり、図 2Bは、上記微少液量測定装置における音響検出部の音響電気変換器の具体例を示す図である。

[図 3]図 3は、上記微少液量測定装置の使用例を示す模式図である。

[図 4]図 4は、ゥエルの共鳴周波数の検出結果の一例を示すグラフである。

[図 5]図 5は、上記微少液量測定装置における液量測定の原理の説明に供する模式図である。

[図 6]図 6は、上記音響電気変換器により上記音波を検出して得られる検出信号の周波数特性を示す特性図である。

[図 7]図 7は、ゥエルの液位と共鳴周波数の関係を示す特性図である。

[図 8]図 8は、上記微少液量測定装置の解析部において上記検出信号のディップ周波数すなわちゥエルの共鳴周波数を検出するための構成例を示すブロック図である

[図 9]図 9は、図 6に示した構成例における同期検波出力を示す特性図である。

[図 10]図 10は、上記微少液量測定装置の解析部において上記検出信号のディップ周波数すなわちゥエルの共鳴周波数を検出するための他の構成例を示すブロック図である。

[図 11]図 11Aは、図 6に示した構成例における各同期検波出力を示す特性図であり、図 11Bは、図 6に示した構成例における各同期検波出力を示す特性図である。圆 12]図 12は、上記音響電気変翻に備えられた音導管の長さと共鳴の関係を示す特性図である。

圆 13]図 13は、上記音響電気変翻に備えられた音導管の共鳴特性を示す特性図である。

[図 14]図 14は、微少液量測定の実験に用いたゥエルを模式的に示す斜視図である

[図 15]図 15は、微少液量測定の実験系におけるゥエルとスピーカ及び音響電気変換器の配置状態を模式的に示す図である。

[図 16]図 16は、上記実験系においてゥエルの液量を変えた場合の各液量における周波数応答を示す特性図である。

[図 17]図 17は、上記実験系において各液量における共鳴周波数を 10回測定した結果を示す特性図である。

[図 18]図 18は、上記実験系において得られた 10個の測定データデータの平均値からの最大ずれを示す特性図である。

発明を実施するための最良の形態以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではなぐ本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。

本発明は、例えば図 1に示すように、試験液を同時に複数のゥエルに分注する分注装置 100に適用される。

この分注装置 100は、分注ヘッド 110に複数のノズル 120A, 120Β· · ·が取り付けられており、各ノズノレ 120A, 120Β· · ·力ら試験液を同時に複数のウエノレ 130A, 13 OB · · ·に分注するようになって、る。

そして、この分注装置 100により上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·に分注される試験液の液量を測定するための微少液量測定装置 90が、上記分注装置 100により試験液が分注される複数のゥエル 130A, 130Β· · ·の各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射するスピーカ 11からなる音響発生部 10、上記スピーカ 11力放射された音波を上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·の各開口の近傍において検出する複数の音響電気変換器 21A, 21B…を備える音響検出部 20、上記音響発生部 10のスピーカ 11に接続された DZAコンバータ 30、上記音響検出部 20の各音響電気変翻 21A, 21Β· ·が接続された多チャンネル AZDコンバータ 40、上記 D ZAコンバータ 30及び多チャンネル AZDコンバータ 40が接続された解析装置 50 により構成されている。

上記解析装置 50は、例えばパーソナルコンピュータ力なり、上記音響発生部 10 力放射する音波の周波数を掃引し、上記音響検出部 20により検出される音波の各検出信号から上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·の各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数力上記複数のゥエルに分注された各液量を推定する機能を有する。

すなわち、上記解析装置 50は、上記音響発生部 10のスピーカ 11から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記 DZAコンバータ 30を介して上記スピーカ 1 1に供給する掃引部 51として機能するとともに、上記音響検出部 20の各音響電気変換器 21A, 21Β· · ·による検出信号が上記多チャンネル AZDコンバータ 40を介して供給され、上記各音響電気変換器 21A, 21B…により検出された音波の各検出信号から上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·の共鳴周波数を検出し、検出した共鳴周波数から上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·に分注された液量を推定する解析部 52として機能するようになっている。

ここで、上記音響検出部 20の各音響電気変 21A, 21Β· · ·には、小型のエレタトレットコンデンサマイクロフォンやさらに小型の MEMSマイクロフォンユニット（シリコンコンマイク口フォン）が用いられる。この微少液量測定装置 90では、例えば、図 2 Aに示すように、ゥエル 130の開口の近傍位置まで導出された音導管 22を備えるマイク口フォンユニット 21、あるいは、図 2Bに示すように、支持棒 23の先端に設けることにより、ゥエル 130の開口の近傍位置に位置させるようにしたマイクロフォンユニット 2 1からなる。

そして、この微少液量測定装置 90では、上記音響発生部 10のスピーカ 11から放射する音波の周波数を上記掃引部 51により掃引しながら、上記複数のゥエル 130A , 130Β· · ·の各開口の近傍において上記音響検出部 20の各音響電気変換器 21A , 21Β· · ·により上記音波を検出し、上記解析部 52により、上記検出された音波の各検出信号から上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·の各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数カゝら上記複数のゥエル 130A, 130Β· · ·に分注された液量を推定する。

この微少液量測定装置 90は、例えば、次のようにしてゥエル 130の共鳴周波数の検出を迅速に行うことができる。すなわち、この微小液量測定装置 90は、図 3に示すように、 1列に複数のノズル 120が配列された分注ヘッド 110により、二次元平面上に配列されたゥエル 130に試験液を分注する。続いて、この微少液量測定装置 90は、ノズル 130の配列方向の直交する水平方向 Aに、試験液が分注されたゥエル 130を移動させて、試験液が分注された 1列のゥエル 130に向けてスピーカ 11から音波を放射するとともに、 1列に音響電気変 21が配列された音響検出部 20により、各ゥエル 130の共鳴周波数を 1列毎に検出する。

このように、この微少液量測定装置 90は、 1つのスピーカから放射された音波から、複数の音響電気変換器 21により、例えば 1列に配列された複数のゥエル 130の共鳴周波数を同時に検出することができる。すなわち、この微少液量測定装置 90は、例えば、図 4に示すように、多数のゥエル 130の共鳴周波数を、迅速に検出することができる。図 4において、 X— y軸は各ゥェル 130の位置座標を示し、 z軸は各ゥエル 130の共鳴周波数 [Hz]を示している。このグラフにお、ては、ゥエル 200の中には試験液の代わりに金属球を挿入して！/、るので、その共鳴周波数が、試験液が注がれている他のゥエル 130の共鳴周波数に対して、突出して異なる。

この微小液量測定装置 90では、同時に複数のゥエル 130の共鳴周波数を検出するので、二次元平面上に配列されたゥエル 130の 1つに金属球が挿入されたゥエル 200が含まれていても、上述したように、図 4に示すような検出結果を迅速に得ることができる。

次に、この微少液量測定装置 90における液量測定の原理について説明する。図 5に示すように、ゥエル 130の開口に向力つてスピーカ 11から音波を放射し、上記放射する音波の周波数を掃引しながら、ゥエル 130の開口の近傍において音響電気変換器 21により上記音波を検出して得られる検出信号は、上記ゥエル 130の共鳴周波数近傍では上記音波が上記ゥエル 130で吸収されるので、信号レベルが低下し、図 6に示すように、上記共鳴周波数近傍で周波数ディップを有するものとなる。すなわち、ゥエル 130は、液面を固定端とし、開口部を自由端 (以下、開口端という。）として、共鳴する。ゥエル 130の開口部を理想的な開口端とすると、上記検出信号のデイッブ周波数 f すなわち上記ゥエル 130の共鳴周波数は、液位に比例して変化する

0

。したがって、上記ディップ周波数 f を検出することにより、ゥエル 130の液量を推定

0

することができる。

すなわち、ゥエル 130の液位を h、ゥエル 130の高さを D、共鳴周波数を f、音波の波長をえ、音速を cとし、ゥエル 130の深さ方向に 1Z4波長共振するとした場合、ゥエル 130の共鳴波長 Lは λ Ζ4である。

共鳴波長 Lは、 L = D—hである。したがって、図 7に示すように、液位 hは共鳴周波数 fに対して単調に増加し、 h=D— 4c/f〖こて示されるので、上記ディップ周波数 f

0 すなわち上記ゥエル 130の共鳴周波数 fを検出することにより、ゥエル 130の液量を推定することができる。なお、ゥエル 130は、その深さ方向に対して 1Z4波長で共振する以外にも、 3/4 波長及び 5Z4波長で共振する。このように、 1Z4波長以外の共鳴周波数を検出して、共鳴波長 Lを検出して、この検出結果力ゥエル 130の液量を推定することも可能である。しかしながら、微少液量のゥエル 130は深さと直径の大きさに大差ないものが多ぐ深さ方向に 3Z4波長で共鳴する周波数よりも低い周波数帯において、ゥエル 130の直径方向に共鳴する周波数帯が存在する場合がある。このため、最も低い周波数で共鳴が生じるゥエル 130の 1Z4波長の共鳴周波数を検出対象とすることにより、深さ方向以外の共鳴現象による測定誤りを防止できる。

また、音響電気変 21はゥエル 130の開口近傍に存在するが、この音響電気変 21がゥエル 130の開口部に与える影響を最小にすることで、理想的な開口端に近づき、精度良く液位 hの検出することができる。

例えば、ゥエル 130の開口部は、上記音響電気変に備えられている音導管 22の形状をより細くすることにより、より理想的な開口端として共鳴する条件が与えられる。

また、実際には、ゥエル 130の開口端の外にも共鳴する音場があふれ出ることと、ゥエル 130の直径方向の音場分布による影響で、 h=D- 4cZfの関係に誤差が生じる。そこで、微少液量測定装置 90では、予め図 7の共鳴特性を測定したデータべ一スを作成して解析部 52に記憶させ、解析部 52がゥエル 130の共鳴周波数の検出結果に応じたゥエル 130の液量をデータベース力検索することで、より正確な液量を求めることができる。

上記検出信号のディップ周波数 f すなわち上記ゥエル 130の共鳴周波数 fは、例え

0

ば、図 8に示すように、音響電気変換器 21により検出された音波の検出信号を、上記解析部 52においてロックインアンプ 52Aで上記掃引部 51から供給される掃引信号 (p_COS2 ft)で同期検波することにより、図 9に示すような同期検波出力を得ることにより、検出することができる。

さらに、例えば、図 10に示すように、発振器 51Aにより与えられる周波数信号 f で

M

FM変調かけた掃引信号 (pcos2 f (1 + Δ。θ32 π ί t) t)を掃引部 51から音響電

M

気変換器 21に供給するようにして、図 11Aに示すように、ロックインアンプ 52Aによる同期検波出力に含まれる FM変調成分 f t, 2f をロックインアンプ 52Bで上記発振

M M

器 51Aにより与えられる周波数信号 f で同期検波することにより、図 11Bに示すよう

M

な同期検波出力 f t, 2f を得て、上記検出信号のディップ周波数 f すなわち上記ゥ

M M 0 エル 130の共鳴周波数 fを検出することもできる。

ここで、音速 c〖ま、

c = 331 + 0. 6T(m/s)

にて示され、温度 Tに依存して 0. 2%Z°Cの割合で変化するので、上記ディップ周波数 f を検出することにより、上記ゥエル 130の共鳴周波数 fから液量を推定する際

0

に、温度による音速変化の影響を補正した共鳴周波数 fを検出することにより、液量の測定精度を向上させることができる。

例えば、環境温度を検出する温度センサ 45を備えることにより、上記解析部 52は、上記温度センサ 45による検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正したゥエル 130の共鳴周波数 fを検出することができる。

また、上記音響電気変換器 21に備えられている音導管 22の共鳴周波数も温度変化により変化するので、上記解析部 52は、上記音導管 22の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管 22の共鳴周波数に基づいて温度の変化量を求め、温度による音速変化の影響を補正したゥエル 130の共鳴周波数を検出することができる。このように、音導管 22の共鳴周波数を検出し、検出された音導管 22の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正することにより、ゥエル 130の開口部の近傍に別途温度センサを設けることがないのでゥエル 130の開口部をより理想的な開口端としてゥエル 130を共鳴させることができるので、精度良くゥエル 130の共鳴周波数を検出することができる。

例えば、図 12に示すように、音導管 22の長さを 1とした場合、図 13に示す音導管 2 2の共振周波数 f , f の間隔は

1 2

f f =c/21

2 1

で示されるので、上記共振周波数 f , f の間隔力温度の変化量を求め、温度による

1 2

音速変化の影響を補正したゥエルの共鳴周波数を検出することができる。

ここで、図 14に示すウエノレ 130 (内径 6. 5mm,深さ 10mm容積 300 L)について、図 15に示すように、スピーカ 11をゥエル開口力も 65mm離れた斜め 50° 上方に配置し、音響電気変換器 21はゥエル開口近傍 3mmに角度 20° で設置して、スピー力 11の音の周波数をスイープして、ゥエル 130の共鳴周波数で音響電気変換器 21 の出力のディップ周波数を測定することでゥエルの共鳴周波数を読み取る実験を行つた。 10 /z L毎に水を注入し、 0〜： L 10 Lでゥエル 130の共鳴周波数を測定したところ、ゥエル内の液量に対して周波数が単調に変化しており、 0〜： LOO /z Lの水に対して 0. 4〜3. 0 Lの誤差で測定することができた。

スピーカ 11から放射する音波の周波数を 6〜： L 1kHzを 10秒でスイープした場合に、音響電気変換器 21の出力は、 0 /z L, 50 L及び 100 Lに対するディップ周波数が図 16に示すように変化しており、液量が増加すると共鳴周波数が高周波にシフトしている。

この音響電気変換器 21の出力のディップ部を 2次曲線でフィッティングし、その頂点を共鳴周波数とした。各液量における共鳴周波数を 10回測定した結果を図 17に示す。液量に対して周波数が単調に変化しており、周波数から液量を推定できる。同図中の実線は 1Z4波長の気中共鳴を仮定した理論値 (音速 345mZs)であり、得られた共鳴周波数は、この気中共鳴と同じ傾向である。

図 17の結果をフィッティングすると、： L当り 2. 6Hzの周波数変化に相当するので、共鳴周波数力も液量を算出した。各液量について 10個の測定値の中から 2つ又は 3つ選びそれらの平均をとることを 10回行!、、 10個のデータの平均値からの最大ずれを図 18に示す。 2. 0〜7. 9 Lのばらつき力平均をとることで、 0. 9〜3. 0 μ のばらつきに抑圧されて!、る。

以上のように、分注装置 100により液が分注される複数のゥエル 130A, 130Β · · · の各開口に向かって所定の傾斜方向力も音響発生部 10により音波を放射し、解析装置 50の掃引部 51により上記音波の周波数を掃引しながら、音響検出部 20の音響電気変換器 21 , 21A, 21Β · · ·により、上記複数のゥエル 130A, 130Β · · ·の各開口の近傍において上記音波を検出し、上記解析装置 50の解析部 52により上記検出された音波の各検出信号力上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のゥエル 130A, 130Β · · ·に分注された液量を推定することにより、複数のゥエル 130A, 130B- · ·に吐出した微少量の液量を非接触で迅速かつ高精度に同時計測することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 1.分注装置により液が分注される複数のゥエルの各開口に向力つて所定の傾斜方向から音波を放射する音響発生部と、

上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記音響発生部に供給する掃引部と、

上記音響発生部から放射された音波を上記複数のゥエルの各開口の近傍にぉヽて検出する複数の音響電気変換器からなる音響検出部と、

上記音響検出部により検出された音波の各検出信号から上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のゥエルに分注された液量を推定する解析部とを備え、

上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引し、上記解析部により、上記音響検出部により検出される音波の各検出信号力上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のゥエルに分注された各液量を推定することを特徴とする微少液量測定装置。

[2] 2.環境温度を検出する温度センサを備え、

上記解析部は、上記温度センサによる検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第 1項記載の微少液量測定装置。

[3] 3.上記音響検出部の音響電気変換器は、上記ゥエルの開口の近傍位置まで導出された音導管を備えることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の微少液量測定装置

[4] 4.上記解析部は、上記音導管の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記ゥエルの共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第 3項記載の微少液量測定装置。

[5] 5.上記解析部は、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号を上記掃引部から供給される掃引信号で同期検波することにより、上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第 1項記載の微少液量測定装置。

[6] 6.分注装置により液が分注される複数のゥエルの各開口に向力つて所定の傾斜方向から音波を放射し、

上記音波の周波数を掃引しながら、上記複数のゥエルの各開口の近傍において上記音波を検出し、

上記検出された音波の各検出信号から上記複数のゥエルの各共鳴周波数を検出し、

検出した各共鳴周波数力上記複数のゥエルに分注された液量を推定することを特徴とする微少液量測定方法。