WO2007045773A1 - Dispositif d'echantillonnage optique heterodyne - Google Patents
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Definitions
- FIG. 3 illustrates, in the case of heterodyne sampling, pulse trains “pump” and “probe” offset by a delay Tps, as well as the value of the response of the sample obtained for this delay.
- the delay Tps between the pulse trains "pump” and “probe” is no longer fixed as in the case of homodyne sampling, but evolves with time.
- Tp-Ts the delay Tps varies linearly between 0 and Tp.
- the subject of the invention is a heterodyne optical sampling device equipped with two pulsed laser sources able respectively to emit a "pump” beam and a “probe” beam of respective repetition frequencies Fs and Fp with
- the laser sources are able to emit pulses with a duration of between 10 fs and 10 picoseconds.
- the device comprises a device for scanning the "pump” beam and / or the "probe" beam on the sample.
- the scanning device is able to move the "pump" beam and the "probe” beam and the combiner comprises this scanning device.
- the scanning device may comprise a plate for translating the sample.
- the response of the sample is obtained by reflection or transmission of the "pump” and “probe” beams.
- it comprises a step of scanning the beam "pump” and / or "probe" on the sample.
- the invention is based on the principle of heterodyne sampling which makes it possible to avoid mechanical translation and which makes it possible to considerably reduce the acquisition time.
- the device 150 according to the invention described with reference to FIG. 4 thus comprises, in a conventional manner, a pulsed laser source “pump” 10 and a “probe” pulsed laser source 15, able respectively to emit a "pump” beam and a "pump” beam.
- the duration of the pulses of the "pump” beam is generally not equal to that of the pulses of the "probe” beam, but they may be equal. In the following, the duration of the pulses ⁇ considered is that of the pulses of the "probe” beam.
- the "pump” and “probe” beams do not usually have the same wavelength, but they can be equal.
- FIG. 5 shows a curve of the impulse response of the reflectivity R obtained on a 280 mm thick tungsten film over a duration T p of 13 ns with a heterodyne sampling device according to the invention. More precisely, the measurement is that of the impulse response of ⁇ R / R0, RO being the average reflectivity of the tungsten film and ⁇ R its variation.
- the temporal resolution is one picosecond, the time range is extended to the period of the pulse train Tp, of the order of 13 ns and the acquisition time of 30 seconds is thus divided by a factor of 10 to 50 compared to that obtained by a homodyne sampling device for a time range of about 1 ns, that is to say 10 times smaller.
- the beam "pump” and / or “probe” move, the sample 200 being fixed.
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Abstract
L'invention concerne un dispositif (150) d'échantillonnage optique hétérodyne équipé de deux sources laser impulsionnelles (10, 15) susceptibles de présenter de la gigue, aptes à émettre respectivement un faisceau «pompe» et un faisceau «sonde» de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, d'un élément de combinaison (20) des faisceaux «pompe» et «sonde» destinés à être envoyés sur un échantillon (200) et qui comprend une voie signal (51) comportant un système de photo détection (50) du signal de réponse de l'échantillon, et un système d'acquisition (70) du signal photo détecté, relié à la voie signal. Fs et Fp étant sensiblement constantes, le système d'acquisition comportant un élément (71) de déclenchement de l'acquisition, il comprend reliée à cet élément de déclenchement, une voie synchronisation (90) comportant un dispositif (91) de mesure de la fréquence de battement |Fs-Fp| apte à générer un signal de synchronisation comportant des impulsions à chaque fois que les impulsions des faisceaux «pompe» et «sonde» coïncident.
Description
DISPOSITIF D'ECHANTILLONNAGE OPTIQUE HETERODYNE
Le domaine de l'invention est celui de la mesure utra-rapide non destructive des propriétés mécaniques, thermiques ou optiques d'un matériau. On entend par mesure ultra-rapide une mesure ayant une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde.
II est connu d'obtenir des mesures avec une telle résolution temporelle par des techniques d'échantillonnage optique utilisant deux trains d'impulsions respectivement désignés « pompe » et « sonde », de période de répétition T, chaque impulsion ayant une durée τ d'environ une centaine de femtosecondes.
Le faisceau « pompe » engendre une perturbation dans le matériau ou l'échantillon qui produit en réponse un signal optique fonction de ses propriétés optiques (réflectivité, absorption, expansion, contraction, ...). Le faisceau « sonde » est retardé d'une quantité Tps appelée retard « pompe-sonde » et vient lire la réponse du matériau ; il est généralement de faible intensité par rapport à celle du faisceau « pompe ». La réponse temporelle du matériau est reconstituée en faisant varier ce retard de zéro jusqu'à une durée égale au maximum à la période T du train d'impulsions. En pratique cette durée est très inférieure à T. Typiquement T est de l'ordre de 13 ns et la variation du retard est alors typiquement limitée à 2 ou 3 ns.
Habituellement, les deux trains d'impulsions « pompe » et « sonde » ont la même période de répétition T et l'échantillonnage est alors qualifié d'homodyne. On a illustré figure 1 dans le cas d'un échantillonnage homodyne, des trains d'impulsions « pompe » et « sonde » décalés d'un retard Tps ainsi que la valeur de la réponse de l'échantillon obtenue pour ce retard. Un exemple de montage permettant de mettre en œuvre cette technique est schématiquement représenté figure 2. Le dispositif d'échantillonnage homodyne 100 comprend une source laser 10 reliée à un diviseur 9 apte à diviser le faisceau laser en un faisceau « pompe » modulé par un modulateur 8, et un second faisceau « sonde » qui est retardé par une ligne à retard optique 11. Le modulateur a pour fonction de transposer le signal à une fréquence plus élevée afin de le dégager du bruit qui varie en
1/f, f étant la fréquence du signal. Les deux faisceaux sont ensuite combinés par un combineur 20 avant d'être pointés sur l'échantillon 200 via un objectif de microscope 30. Dans l'exemple de la figure, la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion. La réponse est dirigée vers un photo détecteur 50 après filtrage par un filtre de pompe 60. Le photo détecteur est relié à un système d'acquisition 70, via un démodulateur 12 qui permet de rétablir le signal en bande de base.
Le retard Tps est réalisé et contrôlé par une ligne à retard optique comprenant un système de translation mécanique d'un miroir situé sur le trajet d'un des faisceaux. Le retard est lié à la translation par la formule :
Tps= d/c d étant la longueur de la ligne à retard et c la vitesse de la lumière.
Compte tenu des ordres de grandeur, une longueur d de 30 μrή induit un retard de 100 fs. Dans la pratique, la longueur de la ligne à retard est limitée. En effet, un déplacement de plus de 30 cm affecte de façon notoire le pointé d'un faisceau par rapport à l'autre. Un retard de 10 ns qui nécessite une longueur d de 3m est donc très difficile à obtenir. A cette limite sur le déplacement correspond une limite pour les plages temporelles d'environ 2 à 3 ns : la réponse temporelle du matériau n'est reconstituée que sur environ 2 à 3 ns.
De plus ces déplacements sont réalisés au détriment de la stabilité du pointé du faisceau laser sur l'échantillon.
En outre les vibrations occasionnées par le déplacement de la ligne à retard détériorent le rapport signal sur bruit et augmentent considérablement le temps de mesure. Il est habituellement de 30 à 40 mn pour l'acquisition d'un signal sur plusieurs nanosecondes, c'est-à-dire pour effectuer les différents déplacements de manière à balayer la réponse du matériau, sur des temps qui vont jusqu'à Tp soit environ 13 ns.
Pour pallier ces inconvénients, une solution consiste à utiliser un faisceau « pompe » de période de répétition Tp et un faisceau « sonde » de période Ts, Tp étant différente de Ts. Cet échantillonnage est alors qualifié d'hétérodyne. On a illustré figure 3 dans le cas d'un échantillonnage hétérodyne, des trains d'impulsions « pompe » et « sonde » décalés d'un retard Tps ainsi que la valeur de la réponse de l'échantillon obtenue pour ce retard. Le retard Tps entre les trains d'impulsions « pompe » et « sonde »
n'est plus fixe comme dans le cas de l'échantillonnage homodyne, mais évolue avec le temps. Lorsque Tp-Ts est fixe, le retard Tps varie linéairement entre 0 et Tp. La période Tp est balayée en un temps égal à 1/ΔF avec ΔF= |Fs-Fp|, ΔF étant appelée fréquence de battement, Fp égale à 1/Tp étant la fréquence de répétition du faisceau « pompe » et Fs égale à 1/Ts celle du faisceau « sonde ».
Cette technique permet de mesurer la réponse de l'échantillon sans translation mécanique, et donc sans altération du pointé du faisceau sur l'échantillon. En fait, le retard Tp-Ts ne varie pas linéairement car les fréquences Fp et Fs varient aléatoirement en raison de la gigue naturelle des lasers. Cette gigue a pour effet de moduler aléatoirement la fréquence du battement ΔF d'une quantité g(t). Ce phénomène est d'autant plus important que l'on souhaite obtenir une résolution temporelle réduite. En effet, pour une période Tp de 13 ns, il faut 13 000 mesures pour atteindre une résolution temporelle d'1 ps : or l'incertitude que la gigue introduit pour chaque mesure se cumule dans le temps. La gigue a ainsi pour effet de limiter la résolution temporelle.
Le but de l'invention est de permettre d'obtenir des mesures avec une résolution temporelle d'environ 1 ps voire moins (100 fs ) sans avoir à effectuer de translation mécanique, et sans être pénalisé ni par un temps d'acquisition très long ni par la gigue.
Plus précisément l'invention a pour objet un dispositif d'échantillonnage optique hétérodyne équipé de deux sources laser impulsionnelles aptes à émettre respectivement un faisceau « pompe » et un faisceau « sonde » de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec
Fs≠Fp, d'un élément de combinaison des faisceaux « pompe » et « sonde » destinés à être envoyés sur un échantillon et qui comprend une voie signal comportant un système de photo-détection du signal de réponse de l'échantillon et relié à cette voie signal, un système d'acquisition du signal de réponse. Il est principalement caractérisé en ce que Fs et Fp étant sensiblement constantes, le système d'acquisition comprenant un élément de déclenchement de l'acquisition, il comprend, reliée à cet élément de déclenchement, une voie synchronisation comportant un dispositif de mesure
de la fréquence de battement |Fs-Fp| apte à générer un signal de synchronisation comportant des impulsions à chaque fois que les impulsions des faisceaux « pompe » et « sonde » coïncident.
Cette voie synchronisation permet que le système d'acquisition repère l'instant initial de la réponse, c'est-à-dire l'instant où les impulsions « pompe » coïncident avec les impulsions « sonde » sur l'échantillon. Cela permet de minimiser l'effet de la gigue naturelle des lasers sur la résolution temporelle. Selon une caractéristique de l'invention, le dispositif de mesure comporte une photodiode à 2 photons.
Selon une autre caractéristique de l'invention, il comprend un dispositif d'asservissement d'une source laser sur l'autre qui comprend par exemple un diviseur de fréquence situé en sortie d'une source laser et un synthétiseur de fréquence relié au diviseur et à l'autre source laser.
Le système de photo-détection peut être un photo-détecteur ou une barrette de photo-détecteurs ou une matrice de photo-détecteurs. Les sources laser présentent éventuellement la même longueur d'onde. De préférence, les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 10 GHz, plus précisément entre 1 kHz et 100 MHz.
Selon une caractéristique de l'invention, la voie synchronisation comportant le dispositif de mesure de |Fs-Fp| est située sur le trajet du signal de réponse de l'échantillon. Dans ce cas, le dispositif selon l'invention comprend un séparateur du signal de réponse de l'échantillon, en deux trajets, la voie signal étant située sur un trajet et la voie synchronisation sur l'autre trajet.
Selon une autre caractéristique de l'invention, la voie synchronisation est située sur le trajet des faisceaux « pompe » et « sonde » destinés à être envoyés sur l'échantillon.
De préférence, il comprend situé en entrée du système de photo détection, un filtre du faisceau « pompe » provenant de l'échantillon, ainsi qu'un filtre passe-bas disposé en sortie du système de photo-détection du signal de réponse.
Avantageusement, la fréquence de battement |Fs-Fp| est comprise entre 1 Hz et 100 kHz.
Selon une caractéristique de l'invention, les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée comprise entre 10 fs et 10 picosecondes.
Avantageusement, il présente une résolution temporelle sensiblement égale à une picoseconde.
Selon un mode de réalisation de l'invention, le dispositif comprend un dispositif de balayage du faisceau « pompe » et/ou du faisceau « sonde » sur l'échantillon.
Selon une caractéristique de l'invention, le dispositif de balayage comprend deux lentilles et un élément de déplacement du ou des faisceaux qui peut être une platine de translation d'une lentille ou qui peut comporter deux miroirs galvanométriques aptes à pivoter respectivement autour de deux axes perpendiculaires.
Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de balayage est apte à déplacer le faisceau « pompe » et le faisceau « sonde » et le combineur comprend ce dispositif de balayage.
Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de balayage est apte à déplacer le faisceau « pompe » ou le faisceau « sonde » et est disposé en aval du combineur.
Le dispositif de balayage peut comprendre une platine de translation de l'échantillon.
L'invention concerne aussi un procédé d'échantillonnage optique hétérodyne au moyen d'un dispositif équipé de deux sources laser aptes à émettre respectivement un faisceau d'impulsions « pompe » et un faisceau d'impulsions « sonde » de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, comportant une étape de combinaison des faisceaux « pompe » et « sonde », une étape d'envoi des faisceaux « pompe » et « sonde » combinés sur un échantillon, une étape de photo détection de la réponse de l'échantillon, une étape d'acquisition du signal photo détecté, caractérisé en ce que Fs et Fp étant sensiblement constantes, il comprend en outre une étape de mesure de la fréquence de battement |Fs-Fp| en vue de repérer un instant de coïncidence entre les impulsions « pompe » et « sonde » et en ce
que l'étape d'acquisition est déclenchée en fonction de l'instant de coïncidence.
Selon une caractéristique de l'invention, il comprend une étape d'asservissement d'une source laser sur l'autre. De préférence, la fréquence de battement |Fs-Fp| est sensiblement égale à τ F8 Fp, τ étant la durée des impulsions du faisceau « sonde ».
Selon une caractéristique de l'invention, la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion ou transmission des faisceaux « pompe » et « sonde ». Selon une autre caractéristique de l'invention, il comprend une étape de balayage du faisceau « pompe » et/ou « sonde » sur l'échantillon.
Les faisceaux « pompe » et « sonde » peuvent être superposés.
L'échantillon peut être un matériau en couches minces ou un circuit intégré ou un semi-conducteur ou une cellule biologique ou un réactif chimique.
Avantageusement, l'échantillonnage présente une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde.
Selon une caractéristique de l'invention, les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée d'environ 100 femtosecondes. De préférence, la fréquence de battement |Fs-Fp| est comprise entre
1 Hz et 100 kHz.
Les fréquences de répétition Fs et Fp sont par exemple comprises entre 1 kHz et 100 MHz.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit, faite à titre d'exemple non limitatif et en référence aux dessins annexés dans lesquels : la figure 1 représente schématiquement en fonction du temps, dans le cas d'un échantillonnage homodyne, des trains d'impulsions « pompe » et « sonde » et la réponse d'un échantillon, la figure 2 déjà décrite représente schématiquement un dispositif d'échantillonnage homodyne selon l'état de la technique, la figure 3 représente schématiquement en fonction du temps, dans le cas d'un échantillonnage hétérodyne, des trains d'impulsions « pompe » et « sonde » et la réponse d'un échantillon,
la figure 4 déjà décrite représente schématiquement un exemple de dispositif d'échantillonnage hétérodyne selon l'invention, la figure 5 représente schématiquement un exemple de représentation de la réponse impulsionnelle d'un film de tungstène en fonction du temps, obtenue avec un dispositif selon l'invention, les figures 6a, 7a, 8a, 9a, 10a représentent schématiquement des exemples de dispositifs d'échantillonnage hétérodyne selon l'invention équipés d'un dispositif de balayage, et les figures 6b, 7b, 8b, 9b, 10b représentent schématiquement les trajets des faisceaux « pompe » et « sonde » à travers le dispositif de balayage correspondant et l'objectif jusqu'à l'échantillon.
D'une figure à l'autre, les mêmes éléments sont repérés par les mêmes références.
L'invention est basée sur le principe de l'échantillonnage hétérodyne qui permet d'éviter d'effectuer une translation mécanique et qui permet de réduire considérablement le temps d'acquisition. Le dispositif 150 selon l'invention décrit en relation avec la figure 4, comprend donc de manière classique, une source laser impulsionnelle « pompe » 10 et une source laser impulsionnelle « sonde » 15, aptes à émettre respectivement un faisceau « pompe » et un faisceau « sonde ». La durée des impulsions du faisceau « pompe » n'est généralement pas égale à celle des impulsions du faisceau « sonde », mais elles peuvent être égales. Dans la suite, la durée des impulsions τ considérée est celle des impulsions du faisceau « sonde ». Les faisceaux « pompe » et « sonde » n'ont généralement pas la même longueur d'onde mais elles peuvent être égales.
Les faisceaux sont combinés par un combineur 20 qui comprend par exemple un miroir 21 et une lame semi-transparente 22, avant d'être envoyés sur l'échantillon 200 à mesurer, à travers un élément de focalisation 30 tel qu'une lentille. La réponse de l'échantillon obtenue par réflexion comme représenté sur la figure, ou par transmission est reçue par un photodétecteur 50 puis transmise à un système d'acquisition 70. De préférence, un filtre de « pompe » 60 est situé avant le photo détecteur 50 pour filtrer le signal résiduel de « pompe ». Un filtre passe-bas 55 est avantageusement disposé entre le photo détecteur 50 et le système d'acquisition 70 pour
éliminer les impulsions du laser superposées à la réponse. On désigne par voie signal 51 l'ensemble de ces 3 éléments 60, 50 et 55.
La gigue a pour effet de limiter la résolution temporelle Tp-Ts. En effet, on a : Tp-T3 ≈ ΔF/FpFs
Comme la résolution temporelle est égale à ΔF/FPFS (ou ΔF/F2 S lorsque ΔF est petit par rapport à la fréquence du laser), la modulation de ΔF limite la résolution temporelle.
Une solution pour minimiser l'effet de la gigue naturelle des lasers sur la résolution temporelle consiste à repérer l'instant initial de la réponse, c'est-à-dire l'instant où les impulsions « pompe » coïncident avec les impulsions « sonde » sur l'échantillon, comme illustré figure 3 par la courbe « voie synchronisation ». Il s'agit de reconstituer l'échelle des temps de la réponse de l'échantillon dans le temps transposé. Le dispositif 150 selon l'invention comprend alors en plus de la voie signal, une voie de synchronisation 90 qui comprend un dispositif 91 de mesure de |Fs-Fp| apte à générer un signal de synchronisation constitué d'impulsions à chaque fois que les impulsions laser « pompe » et « sonde » sont en coïncidence sur l'échantillon. Ce signal de synchronisation est proportionnel à la multiplication du signal ou train d'impulsions « pompe » par le signal ou train d'impulsions « sonde ». Le dispositif de mesure 91 comprend par exemple une photodiode à 2 photons. Cette mesure est effectuée à partir du signal de réponse dont une partie est prélevée avant la voie signal, par un diviseur 80 qui comporte par exemple une lame semi- transparente 81 et un miroir 82.
Selon une variante, cette voie de synchronisation 90 est située avant l'échantillon 200 : la mesure est alors effectuée en prélevant une partie des faisceaux « pompe » et « sonde » avant l'échantillon. Cette variante est référencée 92 ou 93. Le système d'acquisition 70 comprend un élément 71 de déclenchement de l'acquisition. La voie synchronisation 90 (ou 92 ou 93) est reliée en sortie à cet élément 71 qui peut ainsi déclencher l'acquisition de la réponse à l'instant de coïncidence. Cet instant est l'instant initial aussi dénommé zéro temporel.
L'effet de la gigue peut être encore plus réduit de la façon suivante. Dans un premier temps on évalue l'effet de la gigue sur le retard Tps.
On désigne : lp(2π Fpt) le train d'impulsions « pompe » et lp(2π Fp (t-TPs(t))) = lp(2π Fst) le train d'impulsions « sonde ».
La fréquence instantanée du train d'impulsion « sonde » s'écrit :
Une variation linéaire du retard est obtenue si la fréquence du train d'impulsion « sonde » est décalée d'une quantité fixe :
dTDS (t)
F. - F = ΔF = F_ dt Ainsi les retards varient de zéro à Tp (de manière discrète selon la résolution temporelle). La période du train d'impulsions est balayée en un temps égal à l'inverse du battement de fréquence ΔF. La réponse de l'échantillon est observée dans une échelle de temps transposée dans laquelle ΔTps / Δt = ΔF / Fp. Cette dilatation de l'échelle des temps permet de transposer le spectre du signal de réponse dans la bande passante du détecteur.
En fait la variation de Tps contient un terme de bruit : la gigue g(t) qui est la variation aléatoire de fréquence. Elle a pour effet de moduler aléatoirement la fréquence de battement d'une quantité g(t). On a :
dTps (t) ^ ΔF + g(t) dt F
TPS (t) + ΔTps g(u)du
L'incertitude ΔTps est amplifiée au cours du temps
Sur une période de mesure cette incertitude est
Pour minimiser cette incertitude, il faut que la gigue soit négligeable devant le battement : on choisit un battement ΔF important. Cependant celui-ci est limité : la limite haute pour ΔF notée ΔFmax, est imposée par la résolution temporelle que l'on souhaite atteindre.
La résolution est intrinsèquement limitée par la durée τ des impulsions : τ > I Ts-TpI On a donc : τ ≥ l ΔFl / (F5. Fp) D'où :
ΔFmax = T Fp Fs
Pour des lasers Sa :Ti de fréquences de répétition Fp et F8 de 76
MHz délivrant des impulsions de 100 fs (τ = 100 fs), on obtient un battement
ΔFmax de 600 Hz pour une résolution temporelle maximale égale à 100 fs. La gigue doit alors être très inférieure à quelques Hz pour que la résolution soit obtenue.
Pour minimiser l'effet de la gigue, on peut aussi asservir la fréquence de l'un des deux trains d'impulsions sur celle de l'autre en utilisant un dispositif d'asservissement 5 représenté figure 4. Ce dispositif est par exemple un dispositif de contrôle de longueur d'une des deux cavités laser.
On utilise l'entrée de synchronisation d'un synthétiseur de fréquence 7 en lui injectant un signal de référence F/n obtenu par un diviseur de-fréquenee-ê-éu-tr-ain-d-impulsions-de-^une-des-deux-sourGes-laser— 10-qui-
joue le maître. On décale ensuite de la quantité ΔF la sortie du synthétiseur de fréquence 7 et le signal F+ΔF est utilisé comme commande du système de contrôle de la source laser esclave 15.
La source laser maître est la source laser « pompe » et la source laser esclave est la source laser « sonde » comme représenté sur la figure. On peut aussi avoir l'inverse, la source laser « sonde » comme source laser maître et la source laser « pompe » comme source laser esclave.
Quand les deux sources laser « pompe » et « sonde » sont asservies en fréquence, le battement peut être aussi faible que les performances du dispositif le permettent (typiquement quelques fractions de Hertz).
Lorsque l'effet de la gigue a été minimisé, on peut atteindre la résolution maximale limitée par la durée des impulsions τ si ΔF < τ Fs Fp.
On considère à présent la bande passante du filtre passe-bas que l'on définit de la manière suivante : le temps de réponse du filtre passe-bas est égal à l'inverse de sa bande passante. τR ≈ 1/Bd.
La résolution temporelle souhaitée τeff devient dans le temps transposé la résolution temporelle du filtre passe-bas τR.
On a τeff = τR ΔF / Fp,
On en déduit τeff ≈ ΔF /Bd Fp
Avec ΔF = 600 Hz et Fp = 76 MHz, on obtient une bande passante de 8 MHz pour une résolution temporelle effective de 1 ps.
On résume dans le tableau suivant les caractéristiques et performances des essais effectués.
On a représenté figure 5 une courbe de la réponse impulsionnelle de la réflectivité R obtenue sur un film de tungstène de 280 mm d'épaisseur sur une durée Tp de 13 ns avec un dispositif d'échantillonnage hétérodyne selon l'invention. Plus précisément la mesure est celle de la réponse impulsionnelle de ΔR/R0, RO étant la réflectivité moyenne du film de tungstène et ΔR sa variation. La résolution temporelle est d'une picoseconde, la plage temporelle est étendue jusqu'à la période du train d'impulsions Tp, de l'ordre de 13 ns et le temps d'acquisition de 30 secondes est ainsi divisé par un facteur 10 à 50 comparé à celui obtenu par un dispositif d'échantillonnage homodyne pour une plage temporelle d'environ 1 ns, c'est-à-dire 10 fois plus petite.
Le procédé d'échantillonnage selon l'invention s'applique notamment à la mesure de propriétés optiques, thermiques et mécaniques de matériaux en couches minces, de quelques nm à quelques μm, à l'analyse de défaillance en microélectronique, à l'acoustique picoseconde, à l'étude du transfert de chaleur aux petites échelles d'espace (nm-μm) et de temps (fs à μs), à l'étude de nano objets et nano matériaux, à l'étude de réactions chimiques, au suivi de traceurs biologiques.
Le dispositif d'échantillonnage selon l'invention peut être associé à un dispositif de balayage du faisceau « pompe » et/ou « sonde » sur l'échantillon 200. Pour chaque position du (ou des) faisceau(x) sur l'échantillon, le signal de réponse temporel est enregistré comme décrit précédemment. La résolution temporelle maximale est la durée des impulsions laser. Ce dispositif d'échantillonnage peut ainsi être appliqué à de l'imagerie ultra rapide.
A partir du balayage de la surface d'un échantillon, on peut reconstituer un film de la réponse de la surface balayée avec une résolution de l'ordre de 1012 images par seconde pendant la plage temporelle comprise
entre deux impulsions du laser de pompe, c'est-à-dire 12 ns. Un tel balayage a été réalisé avec comme échantillon, un film de tungstène de 250 nm d'épaisseur ayant une surface de 15 x 15 μm2.
Le dispositif de balayage 300 comprend deux lentilles 301 et 302 de focales f1 et f2 situées à une distance f1+f2 l'une de l'autre et un élément 303 de déplacement du ou des faisceaux, tel que représenté sur les figures 6 à 9. Cet élément de déplacement 303 est une platine de translation d'une lentille dans un plan X1Y parallèle à celui de l'échantillon comme illustré figures 6 et 8 ou comporte deux miroirs galvanométriques aptes à pivoter respectivement autour de deux axes perpendiculaires φ1 , Θ1 comme illustré figures 7 et 9. On a représenté sur les figures b, les trajets des faisceaux « pompe » et « sonde » à travers le dispositif de balayage 300 correspondant et l'objectif 30 jusqu'à l'échantillon 200.
Selon un premier mode de réalisation décrit en relation avec les figures 6a et 7a, le dispositif de balayage 300 est inclus dans le combineur 20, par exemple en amont de la lame semi-transparente 22 : les faisceaux sont combinés par le combineur 20 mais ne sont pas superposés. Le faisceau « sonde » balaie l'échantillon 200 alors que le faisceau « pompe » reste sur l'échantillon à une position fixe. Selon un deuxième mode de réalisation décrit en relation avec les figures 8a et 9a, le dispositif de balayage 300 est en aval du combineur 20 : les faisceaux « pompe » et « sonde » sont combinés et superposés par le combineur 20. Ils sont superposés sur l'échantillon 200.
Dans les modes de réalisation précédents, le faisceau « pompe » et/ou « sonde » se déplacent, l'échantillon 200 étant fixe.
Selon un autre mode dé réalisation décrit en relation avec les figures 10a et 10b, les faisceaux « pompe » et « sonde » sont fixes et le dispositif de balayage 300 est alors une platine de translation dans le plan de l'échantillon, sur laquelle est monté l'échantillon 200. Les faisceaux « pompe » et « sonde » représentés sur les figures
6 à 10 peuvent être inversés.
Claims
1. Dispositif (150) d'échantillonnage optique hétérodyne équipé de deux sources laser impulsionnelles (10, 15) susceptibles de présenter de la gigue, aptes à émettre respectivement un faisceau « pompe » et un faisceau « sonde » de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, d'un élément de combinaison (20) des faisceaux « pompe » et « sonde » destinés à être envoyés sur un échantillon (200) et qui comprend une voie signal (51) comportant un système de photo-détection (50) du signal de réponse de l'échantillon, et un système d'acquisition (70) du signal photo détecté, relié à la voie signal, caractérisé en ce que Fs et Fp étant sensiblement constantes, le système d'acquisition comportant un élément (71) de déclenchement de l'acquisition, il comprend reliée à cet élément de déclenchement, une voie synchronisation (90) comportant un dispositif (91) de mesure de la fréquence de battement |Fs-Fp| apte à générer un signal de synchronisation comportant des impulsions à chaque fois que les impulsions des faisceaux « pompe » et « sonde » coïncident.
2. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le dispositif de mesure (91) comporte une photodiode à 2 photons.
3. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif d'asservissement (5) d'une source laser sur l'autre.
4. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le dispositif d'asservissement (5) comprend un diviseur de fréquence (6) situé en sortie d'une source laser et un synthétiseur de fréquence (7) relié au diviseur (6) et à l'autre source laser.
5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le système de photo-détection (50) est un photodétecteur ou une barrette de photo-détecteurs ou une matrice de photodétecteurs.
6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources laser (10, 15) ont des longueurs d'onde différentes.
7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 10 GHz.
8. Dispositif selon l'une quelconque des revend icationsi à 6, caractérisé en ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 1 kHz et 100 MHz.
9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la voie synchronisation (90) comportant le dispositif de mesure (91 ) de |Fs-Fp| est située sur le trajet du signal de réponse de l'échantillon.
10. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comprend un séparateur (80) du signal de réponse de l'échantillon, en deux trajets, la voie signal (51) étant située sur un trajet et la voie synchronisation (90) sur l'autre trajet.
11. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la voie synchronisation (90) est située sur le trajet des faisceaux
« pompe » et « sonde » destinés à être envoyés sur l'échantillon.
12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend situé en entrée du système de photo détection (50), un filtre (60) du faisceau « pompe » provenant de l'échantillon.
13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un filtre passe-bas (55) disposé en sortie du système de photo-détection (50) du signal de réponse.
14. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fréquence de battement |Fs-Fp| est comprise entre 1 Hz et 100 kHz.
15. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les sources laser (10, 15) sont aptes à émettre des impulsions d'une durée comprise entre environ 10 fs et 10 picosecondes.
16. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il présente une résolution temporelle sensiblement égale à une picoseconde.
17. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif de balayage (300) du faisceau
« pompe » et/ou du faisceau « sonde » sur l'échantillon (200).
18. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le dispositif de balayage comprend deux lentilles (301 , 302) et un élément de déplacement (303) du ou des faisceaux.
19. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l'élément de déplacement (303) est une platine de translation d'une lentille (301 ou 302) ou comporte deux miroirs galvanométriques aptes à pivoter respectivement autour de deux axes perpendiculaires.
20. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 17 à 19, caractérisé en ce que le dispositif de balayage (300) est apte à déplacer le faisceau « pompe » et le faisceau « sonde » et en ce que le combineur (20) comprend ce dispositif de balayage.
21. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 17 à 19, caractérisé en ce que le dispositif de balayage (300) est apte à déplacer Ie faisceau « pompe » ou le faisceau « sonde » et est disposé en aval du combineur (20).
22. Dispositif selon la revendication 17, caractérisé en ce que le dispositif de balayage (300) comprend une platine de translation de l'échantillon (200).
23. Procédé d'échantillonnage optique hétérodyne au moyen d'un dispositif équipé de deux sources laser (10, 15) susceptibles de présenter de la gigue, aptes à émettre respectivement un faisceau d'impulsions « pompe » et un faisceau d'impulsions « sonde » de fréquences de répétition respectives Fs et Fp avec Fs≠Fp, comportant une étape de combinaison des faisceaux « pompe » et « sonde », une étape d'envoi des faisceaux « pompe » et « sonde » combinés sur un échantillon (200), une étape de photo détection de la réponse de l'échantillon, et une étape d'acquisition du signal photo détecté, caractérisé en ce que Fs et Fp étant sensiblement constantes, il comprend en outre une étape de mesure de la fréquence de battement |Fs- Fp| en vue de repérer un instant de coïncidence entre les impulsions « pompe » et « sonde » et en ce que l'étape d'acquisition est déclenchée en fonction de l'instant de coïncidence.
24. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comprend une étape d'asservissement d'une source laser sur l'autre.
25. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 24, caractérisé en ce que la fréquence de battement |Fs-Fp| est sensiblement égale à τ Fs Fp, τ étant la durée des impulsions du faisceau « sonde ».
26. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 25, caractérisé en ce que la réponse de l'échantillon est obtenue par réflexion ou transmission des faisceaux « pompe » et « sonde ».
27. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 26, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de balayage du faisceau « pompe » et/ou « sonde » sur l'échantillon (200).
28. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 27, caractérisé en ce que les faisceaux « pompe » et « sonde » sont superposés.
29. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 28, caractérisé en ce que l'échantillon est un matériau en couches minces ou un circuit intégré ou un semi-conducteur ou une cellule biologique ou un réactif chimique.
30. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 29, caractérisé en ce que l'échantillonnage présente une résolution temporelle de l'ordre de la picoseconde.
31. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 30, caractérisé en ce que les sources laser sont aptes à émettre des impulsions d'une durée d'environ 100 femtosecondes.
32. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 31 , caractérisé en ce que la fréquence de battement |Fs-Fp| est comprise entre 10 Hz et 100 kHz.
33. Procédé selon l'une quelconque des revendications 23 à 32, caractérisé en ce que les fréquences de répétition Fs et Fp sont comprises entre 0.1 MHz et 100 MHz.
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