WO2007000259A1 - Substrate holder - Google Patents

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WO2007000259A1
WO2007000259A1 PCT/EP2006/005874 EP2006005874W WO2007000259A1 WO 2007000259 A1 WO2007000259 A1 WO 2007000259A1 EP 2006005874 W EP2006005874 W EP 2006005874W WO 2007000259 A1 WO2007000259 A1 WO 2007000259A1
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WO
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substrate
receiving
spindles
turntable
spacer
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/005874
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German (de)
French (fr)
Inventor
Bernd Mahner
Thomas Kern
Original Assignee
Steag Hama Tech Ag
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Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hama Tech Ag filed Critical Steag Hama Tech Ag
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/265—Apparatus for the mass production of optical record carriers, e.g. complete production stations, transport systems

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus for receiving a plurality of disc-shaped in-hole substrates alternately with spacers, a plurality of substrate-receiving spindles, and a plurality of spacer-receiving spindles.
  • the substrate discs forming the optical data carrier are received on substrate receiving spindles during and / or after their production. It is also known, for example from EP 1 182 655 A1, to place spacers, so-called spacers, between the individual substrate disks, in order to prevent surface contact of the substrate disks with one another. In other embodiments, the spacers are received on a separate device for receiving spacers with their own turntable or other feed elements and a plurality of spacer-receiving spindles.
  • a substrate take-up spindle substrates and spacers are now alternately loaded onto a substrate take-up spindle by appropriate handling units.
  • the turntable or other feed elements are further clocked so that a new substrate take-up spindle comes to a loading position.
  • the turntable or other feed elements with the spacer take-up spindles are further indexed to bring a new spacer take-up spindle into a position for removal of the spacers.
  • a substrate receiving spindle is loaded alternately with substrates and spacers.
  • the unloading of the substrate take-up spindles takes place in the reverse manner, with a lift unit lifting or lowering a support element of the substrate take-up spindle as a rule both during loading and unloading of the substrate take-up spindle, so that an upper substrate or an upper one lying spacer is always substantially at the same height.
  • two separate turntables or other feeders or transport systems with separate control units and drives are provided, which entails a high operational effort.
  • a correspondingly large space requirement is necessary for the two side-by-side turntables.
  • a lifting device for substrates in which a designated there as spacer element is rigidly secured to a spindle to a substrate stack on a spindle by means of a Arms move up and down. This element is not intended to keep the stacked substrates spaced from each other.
  • the present invention is therefore based on the object to provide a cost-effective device for receiving a plurality of disk-shaped an inner hole exhibiting substrates, which also has a small footprint.
  • Spacer receiving spindles are provided on a turntable and arranged alternately in the circumferential direction of the turntable.
  • the number of required components in particular a separate turntable with drive and control omitted.
  • the spacer take-up spindles on the turntable of the substrate take-up spindles, the footprint can be significantly reduced.
  • the substrate-receiving spindles and the spacer-receiving spindles are arranged alternately in the circumferential direction of the turntable, whereby the substrates to be recorded and the spacers can be arranged in the radial direction of the turntable at least partially overlapping, which in turn reduces the space required.
  • the plurality of spacer take-up spindles and the plurality of substrate take-up spindles are equally spaced, each on a circular line concentric with the axis of rotation of the turntable.
  • a corresponding circular symmetry is provided, which allows a uniform positioning of the respective spindles.
  • a support star attached to the turntable is provided with a plurality of arms at the free ends of which the spacer receiving spindles are mounted.
  • the free ends of the arms of the support star are preferably spaced from an upper side of the turntable.
  • the height of the spacer receiving spindles is smaller than that of the substrate receiving spindles, wherein preferably the upper ends of the spacer receiving spindles and the substrate receiving spindles are substantially at the same height.
  • the smaller height of the spacer spindles extends u.a. the associated costs.
  • a substrate support member is provided per substrate take-up spindle that is movable along the respective substrate take-up spindle and a lift unit for moving the substrate support member along the respective substrate take-up spindle.
  • the substrate support element in combination with the lifting unit allows a top substrate or an uppermost spacer is in each case at a certain height, regardless of the loading state of the substrate receiving spindle.
  • the lifting unit has a rotatable clock star, which lies in the path of movement of the substrate support elements during rotation of the turntable such that it is contacted and turned by the contact into a lifting position in which it at least partially grips the respective substrate support element.
  • a clock star Through the use of such a clock star, it can be automatically brought into leverage engagement with a substrate support member by rotation of the turntable, eliminating a moving unit for engaging a lift member with the substrate support member.
  • the clock star or the associated lifting unit therefore only has to perform a vertical movement.
  • the clock star and a lifting arm carrying it preferably have a height that is smaller than the distance between the free ends of the arms of the supporting star and the top of the turntable. This makes it possible that the clock star and a lifting arm carrying it move through the space formed between the free ends of the arms of the supporting star and the top of the turntable upon rotation of the turntable.
  • a handling unit for transporting substrates between an input / output position and a substrate receiving spindle and a handling unit for transporting spacers between a spacer receiving spindle and a substrate receiving spindle is provided.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a receiving device according to the present invention.
  • Fig. 2 is a schematic, perspective detail view of a part of the receiving device according to the present invention.
  • 1 and 2 show a schematic plan view of a receiving device 1 and a schematic perspective detail view of a part thereof.
  • the receiving device 1 comprises a turntable 4 with substrate receiving spindles 6 and spacer receiving spindles 8. Furthermore, the device has a first handling unit 10 for transporting spacers between a spacer Spindle, which is located in a loading / unloading position A and a substrate receiving spindle, which is located in a loading / unloading position B. Further, a second handling unit 12 is provided, which is for transporting substrates or discs between a substrate-receiving spindle, which is located in the loading / unloading position B and an input / output position C.
  • the turntable 4 has recesses 14 in the region of the spacer receiving spindles in which corresponding holders 16 can be inserted for the substrate receiving spindles.
  • the turntable 4 is rotatable about a rotational axis D via a drive unit, not shown.
  • the substrate take-up spindles 6 are mounted on the turntable 4 via holders 16.
  • the substrate-receiving spindles 6 have a guide spindle 18 fastened to the holder 16 and a substrate support element 20 movable along the guide spindle 18.
  • the substrate support element can be moved along the guide spindle 18 via a lifting device not shown in detail, as will be explained in more detail below.
  • a lifting device is shown in Fig. 2, only a so-called clock star 22, which is rotatably mounted on a lifting arm of the lifting device.
  • the clock star 22 is held by the lifting arm in the radial direction with respect to the turntable 4 such that it lies in a path of movement of the substrate support elements.
  • the clock star 22 is located in the Movement path of the substrate support members 20 that he contacted them during rotation of the turntable and is rotated by the contact in a lifting position in which the respective substrate support member 20 at least partially surrounds. With a further rotation of the turntable 4, the clock star 22 is then further clocked out and indeed out of the stroke position, so that the turntable can continue to rotate freely.
  • the substrate spindles are arranged uniformly spaced on a circular line concentric with respect to the axis of rotation D of the turntable 4. Since six substrate-receiving spindles are shown in FIG. 1, they are arranged at an angular distance of 60 ° to each other. Of course, a different number of substrate receiving spindles may be provided.
  • the device 1 sits a support star 25 having a substantially annular central portion 27 and a total of six radially outwardly extending arms 28. At the free ends of the arms 28, the spacer-receiving spindles 8 are attached, as can be seen in Fig. 2.
  • the supporting star 25 is fastened to the turntable 4 via corresponding spacer elements in the region of the annular middle part 27.
  • the spacer elements 30 have a height which is greater than the height of the clock star 22 and a lifting arm, not shown, of the lifting device. This makes it possible for the clock star and the lifting arm to move through the free space formed between the carrying star 25 and the turntable 4 during a rotation of the turntable.
  • the spacer-receiving spindles 8 each have a guide spindle 34 and a spacer support element 36 that is movable via a not shown lifting device along the spacer guide spindle.
  • the operation of the recording device 1 will be explained in more detail below with reference to the figures. In this case, a loading process of a substrate receiving spindle will be explained.
  • an empty substrate take-up spindle 6 is brought into the loading / unloading position B.
  • a substrate take-up spindle 6 is in the loading / unloading position B, due to the arrangement of the substrate take-up spindles 6 and the spacer take-up spindles 8, one of the spacer take-up spindles 8 is in the loading / unloading position A itself around a receiving spindle filled with spacers.
  • the clock star 22 in this position engages the substrate support member 20 which engages the substrate take-up spindle located in position B and is raised to an uppermost position.
  • a substrate wafer is now loaded by the handling unit 12 from position C onto the substrate take-up spindle 6 in position B.
  • the substrate support element 20 is moved downwards by the lifting device about the height of the substrate wafer.
  • the handling unit 12 pivots out of the area of the substrate take-up spindle and picks up a new substrate wafer in the position C.
  • the handling unit 10 has received a spacer at the loading / unloading position A and now transports it to the substrate receiving spindle and deposits it on the uppermost substrate wafer.
  • the substrate support element 20 is lowered again by the height of a spacer. In this way, substrate disks and spacers are alternately loaded on the substrate take-up spindle 6.
  • the lifting device, not shown, for the substrate support element 20 is controlled such that the uppermost substrate or the uppermost spacer are always at a predetermined height.
  • the corresponding spacer support element 36 is controlled in such a way that the uppermost spacer is always at a predetermined height.

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Abstract

The invention relates to an inexpensive and space-saving device for holding a plurality of discoid substrates that comprise respective inner holes. Said devices comprises a turntable, a plurality of substrate holding spindles secured to said turntable, and a corresponding plurality of spacer holding spindles secured to the turntable.

Description

Substrataufnahme substrate uptake
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Aufnahme einer Vielzahl scheibenförmiger ein Innenloch aufweisender Substrate abwechselnd mit Spacern, mit einer Vielzahl von Substrat-Aufnahmespindeln und einer Vielzahl von Spacer-Aufnahmespindeln.The present invention relates to an apparatus for receiving a plurality of disc-shaped in-hole substrates alternately with spacers, a plurality of substrate-receiving spindles, and a plurality of spacer-receiving spindles.
Bei der Herstellung optischer Datenträger, wie beispielsweise CDs, DVDs, Blu-Ray etc. ist es bekannt, dass die den optischen Datenträger bildenden Substratscheiben während und/oder nach ihrer Herstellung auf Substrat- Aufnahmespindeln aufgenommen werden. Dabei ist es z.B. aus der EP 1 182 655 A1 ferner bekannt, zwischen den einzelnen Substratscheiben Abstandhalter, so genannte Spacer, zu platzieren, um einen flächigen Kontakt der Substratscheiben miteinander zu verhindern. Bei anderen Ausführungsformen sind die Spacer auf einer getrennten Vorrichtung zur Aufnahme von Spacern mit einem eigenen Drehtisch oder anderen Zuführelementen und einer Vielzahl von Spacer-Aufnahmespindeln aufgenommen. Während des Beiadens einer Substrat-Aufnahmespindel werden nun abwechselnd durch entsprechende Handhabungseinheiten Substrate und Spacer auf eine Substrat-Aufnahmespindel geladen. Wenn diese Substrat-Aufnahmespindel voll ist, wird der Drehtisch oder andere Zuführelemente weitergetaktet, so dass eine neue Substrat-Aufnahmespindel in eine Beladeposition gelangt. Gleichzeitig hierzu wird in der Regel der Drehtisch oder andere Zuführelemente mit den Spacer-Aufnahmespindeln weitergetaktet, um eine neue Spacer-Aufnahmespindel in eine Position zur Entnahme der Spacer zu bringen. Anschließend wird wiederum eine Substrat- Aufnahmespindel abwechselnd mit Substraten und Spacern beladen. Die Entladung der Substrat-Aufnahmespindeln erfolgt in umgekehrter Weise, wobei sowohl bei der Beladung als auch der Entladung der Substrat- Aufnahmespindel in der Regel eine Hubeinheit ein Auflageelement der Substrat-Aufnahmespindel anhebt bzw. absenkt, so dass ein oben liegendes Substrat bzw. ein oben liegender Spacer sich im Wesentlichen immer auf derselben Höhe befindet. Bei der oben beschriebenen bekannten Vorrichtung sind zwei separate Drehtische oder andere Zuführeinrichtungen oder Transportsysteme mit separaten Steuereinheiten und Antrieben vorgesehen, was einen hohen operativen Aufwand mit sich bringt. Darüber hinaus ist für die beiden nebeneinander angeordneten Drehtische ein entsprechend großer Platzbedarf notwendig.In the production of optical data carriers, such as CDs, DVDs, Blu-Ray, etc., it is known that the substrate discs forming the optical data carrier are received on substrate receiving spindles during and / or after their production. It is also known, for example from EP 1 182 655 A1, to place spacers, so-called spacers, between the individual substrate disks, in order to prevent surface contact of the substrate disks with one another. In other embodiments, the spacers are received on a separate device for receiving spacers with their own turntable or other feed elements and a plurality of spacer-receiving spindles. During the loading of a substrate take-up spindle, substrates and spacers are now alternately loaded onto a substrate take-up spindle by appropriate handling units. When this substrate take-up spindle is full, the turntable or other feed elements are further clocked so that a new substrate take-up spindle comes to a loading position. At the same time, usually the turntable or other feed elements with the spacer take-up spindles are further indexed to bring a new spacer take-up spindle into a position for removal of the spacers. Subsequently, in turn, a substrate receiving spindle is loaded alternately with substrates and spacers. The unloading of the substrate take-up spindles takes place in the reverse manner, with a lift unit lifting or lowering a support element of the substrate take-up spindle as a rule both during loading and unloading of the substrate take-up spindle, so that an upper substrate or an upper one lying spacer is always substantially at the same height. In the known device described above, two separate turntables or other feeders or transport systems with separate control units and drives are provided, which entails a high operational effort. In addition, a correspondingly large space requirement is necessary for the two side-by-side turntables.
Aus der WO 00 43305 A1 , die von derselben Anmelderin wie das vorliegende Schutzrecht angemeldet wurde, ist eine Hubvorrichtung für Substrate bekannt, bei der ein dort als Spacer bezeichnetes Element an einer Spindel starr befestigt ist, um einen Substrat-Stapel auf einer Spindel mittels eines Arms auf und ab zu bewegen. Dieses Element ist nicht dafür vorgesehen, die aufeinander geschichteten Substrate jeweils voneinander beabstandet zu halten.From WO 00 43305 A1, which was filed by the same applicant as the present patent, a lifting device for substrates is known, in which a designated there as spacer element is rigidly secured to a spindle to a substrate stack on a spindle by means of a Arms move up and down. This element is not intended to keep the stacked substrates spaced from each other.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine kostengünstige Vorrichtung zur Aufnahme einer Vielzahl scheibenförmiger ein Innenloch aufweisender Substrate vorzusehen, die darüber hinaus einen geringen Platzbedarf hat.The present invention is therefore based on the object to provide a cost-effective device for receiving a plurality of disk-shaped an inner hole exhibiting substrates, which also has a small footprint.
Ausgehend von einer eingangs genannten Vorrichtung wird die gestellteStarting from an aforementioned device is asked
Aufgabe dadurch gelöst, dass die Substrat-Aufnahmespindeln und dieProblem solved in that the substrate-receiving spindles and the
Spacer-Aufnahmespindeln auf einem Drehteller vorgesehen und in Umfangsrichtung des Drehtischs abwechselnd angeordnet sind.Spacer receiving spindles are provided on a turntable and arranged alternately in the circumferential direction of the turntable.
Durch das Vorsehen einer entsprechenden Vielzahl von Spacer- Aufnahmespindeln an dem Drehtisch der Substrat-Aufnahmespindeln kann die Anzahl der erforderlichen Komponenten, insbesondere ein separater Drehtisch mit Antrieb und Steuerung entfallen. Darüber hinaus kann durch das Vorsehen der Spacer-Aufnahmespindeln an dem Drehtisch der Substrat- Aufnahmespindeln der Platzbedarf erheblich verringert werden. Die Substrat-Aufnahmespindeln und die Spacer-Aufnahmespindeln sind in Umfangrichtung des Drehtischs abwechselnd angeordnet, wodurch die aufzunehmenden Substrate und die Spacer in Radialrichtung des Drehtischs wenigstens teilweise überlappend angeordnet sein können, was wiederum den erforderlichen Platzbedarf verringert.By providing a corresponding plurality of spacer-receiving spindles on the turntable of the substrate-receiving spindles, the number of required components, in particular a separate turntable with drive and control omitted. In addition, by providing the spacer take-up spindles on the turntable of the substrate take-up spindles, the footprint can be significantly reduced. The substrate-receiving spindles and the spacer-receiving spindles are arranged alternately in the circumferential direction of the turntable, whereby the substrates to be recorded and the spacers can be arranged in the radial direction of the turntable at least partially overlapping, which in turn reduces the space required.
Vorzugsweise liegen die Vielzahl von Spacer-Aufnahmespindeln und die Vielzahl von Substrat-Aufnahmespindeln gleichmäßig beabstandet jeweils auf einer zur Drehachse des Drehtischs konzentrischen Kreislinie. Hierdurch wird eine entsprechende Kreissymmetrie vorgesehen, die eine gleichmäßige Positionierung der jeweiligen Spindeln ermöglicht.Preferably, the plurality of spacer take-up spindles and the plurality of substrate take-up spindles are equally spaced, each on a circular line concentric with the axis of rotation of the turntable. As a result, a corresponding circular symmetry is provided, which allows a uniform positioning of the respective spindles.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein am Drehtisch befestigter Tragstern mit einer Vielzahl von Armen vorgesehen, an deren freien Enden die Spacer-Aufnahmespindeln angebracht sind. Dabei sind die freien Enden der Arme des Tragsterns vorzugsweise von einer Oberseite des Drehtischs beabstandet. Vorzugsweise ist die Bauhöhe der Spacer- Aufnahmespindeln kleiner, als die der Substrat-Aufnahmespindeln, wobei vorzugsweise die oberen Enden der Spacer-Aufnahmespindeln und der Substrat-Aufnahmespindeln im Wesentlichen auf derselben Höhe liegen. Die kleinere Bauhöhe der Spacer-Aufnahmespindeln verlängert u.a. die damit assoziierten Kosten. Dadurch dass die oberen Enden der Spacer- Aufnahmespindeln und der Substrat-Aufnahmespindeln im Wesentlichen auf derselben Höhe liegen, vereinfacht sich eine entsprechende Handhabungseinheit zum Transport von Spacern zwischen Spacer- Aufnahmespindeln und Substrat-Aufnahmespindeln.In a preferred embodiment of the invention, a support star attached to the turntable is provided with a plurality of arms at the free ends of which the spacer receiving spindles are mounted. The free ends of the arms of the support star are preferably spaced from an upper side of the turntable. Preferably, the height of the spacer receiving spindles is smaller than that of the substrate receiving spindles, wherein preferably the upper ends of the spacer receiving spindles and the substrate receiving spindles are substantially at the same height. The smaller height of the spacer spindles extends u.a. the associated costs. The fact that the upper ends of the spacer receiving spindles and the substrate receiving spindles are essentially at the same height simplifies a corresponding handling unit for transporting spacers between spacer receiving spindles and substrate receiving spindles.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Substrat-Auflageelement pro Substrat-Aufnahmespindel vorgesehen, dass entlang der jeweiligen Substrat-Aufnahmespindel bewegbar ist und eine Hubeinheit zum Bewegen des Substrat-Auflageelements entlang der jeweiligen Substrat-Aufnahmespindel. Das Substrat-Auflageelement in Kombination mit der Hubeinheit ermöglicht, dass ein oberstes Substrat bzw. ein oberster Spacer jeweils auf einer bestimmten Höhe liegt, und zwar unabhängig von dem Beladezustand der Substrat-Aufnahmespindel.In a particularly preferred embodiment of the invention, a substrate support member is provided per substrate take-up spindle that is movable along the respective substrate take-up spindle and a lift unit for moving the substrate support member along the respective substrate take-up spindle. The substrate support element in combination with the lifting unit allows a top substrate or an uppermost spacer is in each case at a certain height, regardless of the loading state of the substrate receiving spindle.
Vorzugsweise weist die Hubeinheit einen drehbaren Taktstern auf, der bei einer Drehung des Drehtischs derart im Bewegungspfad der Substrat- Auflageelemente liegt, dass er sie kontaktiert und durch den Kontakt in eine Hubposition gedreht wird, in der er das jeweilige Substrat-Auflageelement wenigstens teilweise greift. Durch die Verwendung eines solchen Taktsterns kann der automatisch durch eine Drehung des Drehtischs in Hubeingriff mit einem Substrat-Auflageelement gebracht werden, wodurch eine Bewegungseinheit zum in Eingriff bringen eines Hubelements mit dem Substrat-Auflageelement entfällt. Der Taktstern bzw. die damit verbundene Hubeinheit muss daher nur eine Vertikalbewegung durchführen. Dabei besitzen der Taktstern und ein ihn tragender Hubarm vorzugsweise eine Höhe, die kleiner ist als der Abstand zwischen den freien Enden der Arme des Tragsterns und der Oberseite des Drehtischs. Hierdurch ist es möglich, dass sich der Taktstern und ein ihn tragender Hubarm durch den zwischen den freien Enden der Arme des Tragsterns und der Oberseite des Drehtischs gebildeten Raum bei einer Drehung des Drehtischs hindurchbewegen.Preferably, the lifting unit has a rotatable clock star, which lies in the path of movement of the substrate support elements during rotation of the turntable such that it is contacted and turned by the contact into a lifting position in which it at least partially grips the respective substrate support element. Through the use of such a clock star, it can be automatically brought into leverage engagement with a substrate support member by rotation of the turntable, eliminating a moving unit for engaging a lift member with the substrate support member. The clock star or the associated lifting unit therefore only has to perform a vertical movement. In this case, the clock star and a lifting arm carrying it preferably have a height that is smaller than the distance between the free ends of the arms of the supporting star and the top of the turntable. This makes it possible that the clock star and a lifting arm carrying it move through the space formed between the free ends of the arms of the supporting star and the top of the turntable upon rotation of the turntable.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist eine Handhabungseinheit zum Transport von Substraten zwischen einer Ein-/ Ausgabeposition und einer Substrataufnahmespindel und eine Handhabungseinheit zum Transport von Spacern zwischen einer Spacer- Aufnahmespindel und einer Substrat-Aufnahmespindel vorgesehen.According to a preferred embodiment of the invention, a handling unit for transporting substrates between an input / output position and a substrate receiving spindle and a handling unit for transporting spacers between a spacer receiving spindle and a substrate receiving spindle is provided.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt:The invention will be explained in more detail below with reference to a preferred embodiment of the invention with reference to the drawing. The drawing shows:
Fig.1 eine schematische Draufsicht auf eine Aufnahmevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;1 is a schematic plan view of a receiving device according to the present invention;
Fig. 2 eine schematische, perspektivische Detailansicht eines Teils der Aufnahmevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 1 und 2 zeigen eine schematische Draufsicht auf eine Aufnahmevorrichtung 1 bzw. eine schematische perspektivische Detailansicht eines Teils derselben.Fig. 2 is a schematic, perspective detail view of a part of the receiving device according to the present invention. 1 and 2 show a schematic plan view of a receiving device 1 and a schematic perspective detail view of a part thereof.
Wie am besten in der Draufsicht gemäß Fig. 1 zu erkennen ist, besteht die Aufnahmevorrichtung 1 aus einem Drehtisch 4 mit darauf angeordneten Substrat-Aufnahmespindeln 6 und Spacer-Aufnahmespindeln 8. Ferner besitzt die Vorrichtung eine erste Handhabungseinheit 10 zum Transport von Spacern zwischen einer Spacer-Spindel, die sich in einer Be-/Entladeposition A befindet und einer Substrat-Aufnahmespindel, die sich in einer Be- /Entladeposition B befindet. Ferner ist eine zweite Handhabungseinheit 12 vorgesehen, die zum Transport von Substraten bzw. Discs zwischen einer Substrat-Aufnahmespindel, die sich in der Be-/Entladeposition B befindet und einer Ein-/Ausgabeposition C.As can best be seen in the plan view according to FIG. 1, the receiving device 1 comprises a turntable 4 with substrate receiving spindles 6 and spacer receiving spindles 8. Furthermore, the device has a first handling unit 10 for transporting spacers between a spacer Spindle, which is located in a loading / unloading position A and a substrate receiving spindle, which is located in a loading / unloading position B. Further, a second handling unit 12 is provided, which is for transporting substrates or discs between a substrate-receiving spindle, which is located in the loading / unloading position B and an input / output position C.
Der Drehtisch 4 weist wie am besten in Fig. 2 zu erkennen ist im Bereich der Spacer-Aufnahmespindeln Ausnehmungen 14 auf, in denen entsprechende Halter 16 für die Substrat-Aufnahmespindeln einsetzbar sind. Der Drehtisch 4 ist über eine nicht näher dargestellte Antriebseinheit um eine Drehachse D drehbar.As best seen in FIG. 2, the turntable 4 has recesses 14 in the region of the spacer receiving spindles in which corresponding holders 16 can be inserted for the substrate receiving spindles. The turntable 4 is rotatable about a rotational axis D via a drive unit, not shown.
Wie zuvor ausgeführt, sind die Substrat-Aufnahmespindeln 6 über Halter 16 an dem Drehtisch 4 angebracht. Die Substrat-Aufnahmespindeln 6 besitzen eine am Halter 16 befestigte Führungsspindel 18 sowie ein entlang der Führungsspindel 18 bewegbares Substrat-Auflageelement 20. Das Substrat- Auflageelement ist über eine nicht im Detail dargestellte Hubvorrichtung entlang der Führungsspindel 18 bewegbar, wie nachfolgend noch näher erläutert wird. Von der Hubvorrichtung ist in Fig. 2 nur ein so genannter Taktstern 22 zu sehen, der an einem Hubarm der Hubvorrichtung drehbar gelagert ist. Der Taktstern 22 wird dabei durch den Hubarm in Radialrichtung bezüglich des Drehtischs 4 derart gehalten, dass er in einem Bewegungspfad der Substrat-Auflageelemente liegt. Dabei liegt der Taktstern 22 derart im Bewegungspfad der Substrat-Auflageelemente 20, dass er sie bei einer Drehung des Drehtischs kontaktiert und durch den Kontakt in eine Hubposition gedreht wird, in der das jeweilige Substrat-Auflageelement 20 wenigstens teilweise umgreift. Bei einer weitergehenden Drehung des Drehtischs 4 wird der Taktstern 22 dann wieder weitergetaktet und zwar aus der Hubposition heraus, so dass der Drehtisch frei weiterdrehen kann.As previously stated, the substrate take-up spindles 6 are mounted on the turntable 4 via holders 16. The substrate-receiving spindles 6 have a guide spindle 18 fastened to the holder 16 and a substrate support element 20 movable along the guide spindle 18. The substrate support element can be moved along the guide spindle 18 via a lifting device not shown in detail, as will be explained in more detail below. Of the lifting device is shown in Fig. 2, only a so-called clock star 22, which is rotatably mounted on a lifting arm of the lifting device. The clock star 22 is held by the lifting arm in the radial direction with respect to the turntable 4 such that it lies in a path of movement of the substrate support elements. In this case, the clock star 22 is located in the Movement path of the substrate support members 20 that he contacted them during rotation of the turntable and is rotated by the contact in a lifting position in which the respective substrate support member 20 at least partially surrounds. With a further rotation of the turntable 4, the clock star 22 is then further clocked out and indeed out of the stroke position, so that the turntable can continue to rotate freely.
Wie in der Draufsicht gemäß Fig. 1 zu erkennen ist, sind die Substrat- Spindeln gleichmäßig beabstandet auf einer bezüglich der Drehachse D des Drehtischs 4 konzentrischen Kreislinie angeordnet. Da in Fig. 1 sechs Substrat-Aufnahmespindeln dargestellt sind, sind diese mit einem Winkelabstand von je 60° zueinander angeordnet. Natürlich kann auch eine andere Anzahl von Substrat-Aufnahmespindeln vorgesehen sein.As can be seen in the plan view according to FIG. 1, the substrate spindles are arranged uniformly spaced on a circular line concentric with respect to the axis of rotation D of the turntable 4. Since six substrate-receiving spindles are shown in FIG. 1, they are arranged at an angular distance of 60 ° to each other. Of course, a different number of substrate receiving spindles may be provided.
Wie in den Figuren 1 und 2 dargestellt ist, sitzt die Vorrichtung 1 einen Tragstern 25 mit einem im Wesentlichen ringförmigen Mittelteil 27 und insgesamt sechs sich radial nach außen erstreckenden Armen 28. An den freien Enden der Arme 28 sind die Spacer-Aufnahmespindeln 8 befestigt, wie in Fig. 2 zu erkennen ist.As shown in Figures 1 and 2, the device 1 sits a support star 25 having a substantially annular central portion 27 and a total of six radially outwardly extending arms 28. At the free ends of the arms 28, the spacer-receiving spindles 8 are attached, as can be seen in Fig. 2.
Der Tragstern 25 ist über entsprechende Abstandselemente im Bereich des ringförmigen Mittelteils 27 an dem Drehtisch 4 befestigt. Die Abstandselemente 30 besitzen eine Höhe, die größer ist als die Höhe des Taktsterns 22 und eines nicht näher dargestellten Hubarms der Hubvorrichtung. Hierdurch ist es möglich, dass sich der Taktstern und der Hubarm bei einer Drehung des Drehtischs durch den zwischen Tragstern 25 und Drehtisch 4 gebildeten Freiraum hindurchbewegen.The supporting star 25 is fastened to the turntable 4 via corresponding spacer elements in the region of the annular middle part 27. The spacer elements 30 have a height which is greater than the height of the clock star 22 and a lifting arm, not shown, of the lifting device. This makes it possible for the clock star and the lifting arm to move through the free space formed between the carrying star 25 and the turntable 4 during a rotation of the turntable.
Die Spacer-Aufnahmespindeln 8 besitzen jeweils eine Führungsspindel 34 sowie ein Spacer-Auflageelement 36, dass über eine nicht näher dargestellte Hubvorrichtung entlang der Spacer-Führungsspindel bewegbar ist. Nachfolgend wird der Betrieb der Aufnahmevorrichtung 1 anhand der Figuren näher erläutert. Dabei wird ein Beladevorgang einer Substrat- Aufnahmespindel erläutert.The spacer-receiving spindles 8 each have a guide spindle 34 and a spacer support element 36 that is movable via a not shown lifting device along the spacer guide spindle. The operation of the recording device 1 will be explained in more detail below with reference to the figures. In this case, a loading process of a substrate receiving spindle will be explained.
Zunächst wird eine leere Substrat-Aufnahmespindel 6 in die Be-/ Entladeposition B gebracht. Wenn sich eine Substrat-Aufnahmespindel 6 in der Be-/Entladeposition B befindet, befindet sich aufgrund der Anordnung der Substrat-Aufnahmespindeln 6 und der Spacer-Aufnahmespindeln 8 zueinander eine der Spacer-Aufnahmespindeln 8 in der Be-/Entladeposition A. Dabei handelt es sich um eine mit Spacern gefüllte Aufnahmespindel.First, an empty substrate take-up spindle 6 is brought into the loading / unloading position B. When a substrate take-up spindle 6 is in the loading / unloading position B, due to the arrangement of the substrate take-up spindles 6 and the spacer take-up spindles 8, one of the spacer take-up spindles 8 is in the loading / unloading position A itself around a receiving spindle filled with spacers.
Der Taktstern 22 steht in dieser Position mit dem Substrat-Auflageelement 20, der sich in der Position B befindlichen Substrat-Aufnahmespindel in Eingriff, und wird in eine obersten Position angehoben. In dieser angehobenen Position wird nun eine Substrat-Scheibe durch die Handhabungseinheit 12 aus der Position C auf die Substrat-Aufnahmespindel 6 in Position B geladen. Nach Freigabe der Substratscheibe wird das Substrat-Auflageelement 20 durch die Hubvorrichtung um die Höhe der Substratscheibe nach unten bewegt. Die Handhabungseinheit 12 schwenkt aus dem Bereich der Substrat- Aufnahmespindel hinaus und nimmt in der Position C eine neue Substratscheibe auf. Zuvor hat die Handhabungseinheit 10 an der Be- /Entladeposition A einen Spacer aufgenommen und transportiert diesen nun zu der Substrat-Aufnahmespindel und legt ihn auf der obersten Substratscheibe ab. Anschließend wird das Substrat-Auflageelement 20 wiederum um die Höhe eines Spacers abgesenkt. Auf diese Art und Weise werden abwechselnd Substratscheiben und Spacer auf die Substrat- Aufnahmespindel 6 geladen. Dabei wird die nicht dargestellte Hubvorrichtung für das Substrat-Auflageelement 20 derart gesteuert, dass das oberste Substrat bzw. der oberste Spacer sich immer auf einer vorbestimmten Höhe befinden. In gleicher Weise wird beim Entladen der Spacer von der Spacer- Aufnahmespindel 8 das entsprechende Spacer-Auflageelement 36 derart gesteuert, das der oberste Spacer immer auf einer vorbestimmten Höhe liegt. Wenn die Substrat-Aufnahmespindel 6 voll ist, wird eine nächste Substrat- Aufnahmespindel 6 in die Be-/Entladeposition B und der Vorgang wird wiederholt. Die Entladung der Substrat-Aufnahmespindeln 6 erfolgt in umgekehrter Art und Weise.The clock star 22 in this position engages the substrate support member 20 which engages the substrate take-up spindle located in position B and is raised to an uppermost position. In this raised position, a substrate wafer is now loaded by the handling unit 12 from position C onto the substrate take-up spindle 6 in position B. After release of the substrate wafer, the substrate support element 20 is moved downwards by the lifting device about the height of the substrate wafer. The handling unit 12 pivots out of the area of the substrate take-up spindle and picks up a new substrate wafer in the position C. Previously, the handling unit 10 has received a spacer at the loading / unloading position A and now transports it to the substrate receiving spindle and deposits it on the uppermost substrate wafer. Subsequently, the substrate support element 20 is lowered again by the height of a spacer. In this way, substrate disks and spacers are alternately loaded on the substrate take-up spindle 6. In this case, the lifting device, not shown, for the substrate support element 20 is controlled such that the uppermost substrate or the uppermost spacer are always at a predetermined height. In the same way, when unloading the spacer from the spacer mounting spindle 8, the corresponding spacer support element 36 is controlled in such a way that the uppermost spacer is always at a predetermined height. When the substrate take-up spindle 6 is full, a next substrate take-up spindle 6 moves to the loading / unloading position B, and the process is repeated. The discharge of the substrate-receiving spindles 6 takes place in the reverse manner.
Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels beschrieben ohne auf das konkret dargestellte beschränkt zu sein. Dem Fachmann werden sich Abwandlungen und Modifikationen ergeben, die im Schutzumfang der nachfolgenden Ansprüche liegen. The invention has been described above with reference to a preferred embodiment without being limited to the specific illustrated. Those skilled in the art will be subject to modifications and modifications which are within the scope of the following claims.

Claims

Patentansprüche claims
1. Vorrichtung zur Aufnahme einer Vielzahl scheibenförmiger ein Innenloch aufweisender Substrate abwechselnd mit Spacern, mit: einer Vielzahl von Substrat-Aufnahmespindeln (6) und einer Vielzahl von Spacer-Aufnahmespindeln (8), dadurch gekennzeichnet, dass die Substrat-Aufnahmespindeln (6) und die Spacer-Aufnahmespindel (8) auf einem Drehtisch (4) vorgesehen und in Umfangsrichtung des Drehtischs (4) abwechselnd angeordnet sind.An apparatus for receiving a plurality of disk-shaped substrates having an inner hole alternately with spacers, comprising: a plurality of substrate-receiving spindles (6) and a plurality of spacer-receiving spindles (8), characterized in that the substrate-receiving spindles (6) and the spacer-receiving spindle (8) provided on a turntable (4) and arranged alternately in the circumferential direction of the turntable (4).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Vielzahl von Spacer-Aufnahmespindeln (8) und die Vielzahl von Substrat- Aufnahmespindeln (6) gleichmäßig beabstandet jeweils auf einer zur Drehachse (D) des Drehtischs (4) konzentrischen Kreislinie liegen.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the plurality of spacer-receiving spindles (8) and the plurality of substrate take-up spindles (6) uniformly spaced in each case on a to the rotation axis (D) of the turntable (4) concentric circle lie.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen am Drehtisch (4) befestigten Tragstern (25) mit einer Vielzahl von Armen (28) an deren freien Enden die Spacer- Aufnahmespindeln (8) angebracht sind.3. Device according to one of the preceding claims, characterized by a on the turntable (4) attached to the supporting star (25) with a plurality of arms (28) at the free ends of the Spacer receiving spindles (8) are mounted.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die freien Enden der Arme (28) des Tragstern (25) von einer Oberseite des Drehtischs (4) beabstandet sind.4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the free ends of the arms (28) of the supporting star (25) from an upper side of the turntable (4) are spaced.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauhöhe der Spacer-Aufnahmespindeln (8) kleiner ist als die der Substrat-Aufnahmespindeln (6).5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the overall height of the spacer-receiving spindles (8) is smaller than that of the substrate-receiving spindles (6).
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die oberen Enden der Spacer-Aufnahmespindeln (8) und der Substrat-Aufnahmespindeln (6) im Wesentlichen auf derselben Höhe liegen. 6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the upper ends of the spacer receiving spindles (8) and the substrate receiving spindles (6) lie substantially at the same height.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Substrat-Auflageelement (20) pro Substrat-Aufnahmespindel (6), das entlang der jeweiligen Substrat-Aufnahmespindel (6) bewegbar ist, und eine Hubeinheit zum Bewegen des Substrat-Auflagelements (6) entlang der jeweiligen Substrat-Aufnahmespindel (6).7. Device according to one of the preceding claims, characterized by a substrate support element (20) per substrate receiving spindle (6) which is movable along the respective substrate-receiving spindle (6), and a lifting unit for moving the substrate support member (6 ) along the respective substrate take-up spindle (6).
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hubeinheit einen drehbaren Taktstern (22) aufweist, der bei einer Drehung des Drehtischs (4) derart im8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the lifting unit has a rotatable clock star (22), which upon rotation of the turntable (4) in such
Bewegungspfad der Substrat-Auflageelemente (20) liegt, dass er sie kontaktiert und durch den Kontakt in eine Hubposition gedreht wird, in der er das jeweilige Substrat-Auflageelement (20) wenigstens teilweise umgreift.Movement path of the substrate support elements (20) is that he contacted them and is rotated by the contact in a lifting position in which he at least partially surrounds the respective substrate support element (20).
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Taktstern (22) und ein ihn tragender Hubarm eine Höhe besitzen, die kleiner ist, als der Abstand zwischen den freien Enden der Arme des Tragstern (25) und der Oberseite des Drehtischs (4).9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the clock star (22) and a lifting arm carrying it have a height which is smaller than the distance between the free ends of the arms of the supporting star (25) and the top of the turntable (4).
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Handhabungseinheit zum Transport von Substraten zwischen einer Ein-/Ausgabeposition und einer Substrat-Aufnahmespindel (6) und eine Handhabungseinheit zum Transport von Spacern zwischen einer10. Device according to one of the preceding claims, characterized by a handling unit for transporting substrates between an input / output position and a substrate receiving spindle (6) and a handling unit for transporting spacers between a
Spacer-Aufnahmespindel (8) und einer Substrat-Aufnahmespindel (6). Spacer receiving spindle (8) and a substrate receiving spindle (6).
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