WO2006050759A1 - Linearer ultraschallmotor - Google Patents

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WO2006050759A1
WO2006050759A1 PCT/EP2005/003897 EP2005003897W WO2006050759A1 WO 2006050759 A1 WO2006050759 A1 WO 2006050759A1 EP 2005003897 W EP2005003897 W EP 2005003897W WO 2006050759 A1 WO2006050759 A1 WO 2006050759A1
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holder
driven element
oscillator
ultrasonic
linear
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PCT/EP2005/003897
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Inventor
Wladimir Wischnewskij
Alexej Wischnewskij
Original Assignee
Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body

Definitions

  • the present invention relates to linear piezoelectric Ultraschall ⁇ motors according to the preamble of claim 1.
  • Such motors are intended as a drive in various devices of fine positioning, z.
  • Such motors are intended as a drive in various devices of fine positioning, z.
  • z For example, for the adjustment of optical lenses in miniaturized camera lenses, in micro copy tables, for the positioning of read / write heads in devices of data storage as well as in other such mechatronic devices.
  • the ceramic can break away; on the other hand, in functional operation of piezoelectric ultrasonic motors, the adhesive layer under the ultrasound influence softens, which leads to an increase in the acoustic resistance and resulting increased power losses.
  • the side of the resonator in contact with the rotor is equipped with milled teeth or ribs which serve to reinforce the tangential component of the bending shaft. Such cutouts are also not inexpensive to produce.
  • the known motors therefore have a very complicated construction of the ring oscillator and are not suitable for miniaturization and cost-effective mass production.
  • the starting point of the invention is a linear piezoelectric ultrasonic motor with a linear sliding Fritationsplayer between the driven element and its holder, which allows the excitation of ultrasonic vibrations in the support of the driven element, wherein the friction between the driven element and the support is reduced.
  • This clamp is attached to the ultrasonic oscillator and consists of a schal mandatden material.
  • the holder of the driven element is fastened to the ultrasonic oscillator and consists of a sound-conducting material, the ultrasound vibrations generated in the holder by the ultrasonic oscillator are intensively influenced and transmitted.
  • the presence of ultrasonic vibrations in the holder allows a reduction in the frictional force between the driven element and the holder and thus by the otherwise necessary use of linear ball bearings. This simplifies the design, reduces the size and theticians ⁇ cost of the engine.
  • the bracket can be made in various construction designs of the engine from a metal wire having a round cross-section or from a metal band having a rectangular cross-section. This allows a better adaptation of the acoustic resistance of the clamp to the ultrasonic oscillator as well as an exact adjustment of the contact pressure of the driven element to the oscillator of the motor.
  • the driven element can be produced in the form of a rectangular, triangular, round or semicircular rod with a flat surface.
  • the driven element can be designed as a fixed guide rail, with respect to which the ultrasonic oscillator can be displaced with the holder arranged on it.
  • the motor can be designed in the form of a carriage which is movable along a guide rail.
  • 1 is a perspective view of an embodiment of the ultrasonic motor
  • FIG. 5 shows a second oscillator variant in the form of a part of a cylinder shell
  • Fig. 8 is an ultrasonic motor with brackets from the metal strip
  • Fig. 10 is a motor with two driven elements
  • Fig. 11 is a motor with fixed driven elements
  • Fig. 12 shows an exemplary application of the motor according to the invention and Fig. 13, the electrical wiring of the motor according to the invention.
  • the ultrasonic motor according to the invention shown in Fig. 1, 2, 3 consists of the ultrasonic oscillator 1, which is arranged via scarf-conducting documents 3 in a Trä ⁇ ger 2.
  • the ultrasonic oscillator 1 is z. B. as a piezoelektri ⁇ cal plate 4, which contains the generators of acoustic vibrations 5 be ⁇ .
  • the friction element 6 is arranged, which is in frictional action with the friction surface 7 of the driven element 8.
  • one, two or more friction elements 6 can be arranged on the piezoelectric plate 4, as can be seen from FIG. 4, items 9 or 10.
  • the oscillator 1 can be embodied as a part of a cylindrical shell 31 with generators 5 arranged on it and with one or two friction elements 6, as shown in FIG. 5.
  • the generators of acoustic oscillations 5 consist of an excitation electrode 11, a common electrode 12 and the piezoelectric ceramic of the plate 4 in between.
  • the driven element 8 is arranged in the special holder 13, which is guided in the form of a clamp or strap comprising this element (see FIG. 6).
  • the bracket 13 is made of a schal technically feasible material, for. B. from a metal wire, metal strip with a round or rectangular cross-section (Fig. 6, Pos. 14, 15, 16).
  • a material of the holder 13 for example, temperature-treated steel or bronze can be used.
  • the driven element 8 can have the shape of a rod with the rectangular, triangular, round, semicircular cross-section with a planar surface, as shown in Fig. 7, Pos. 17, 18, 19, 20.
  • the material used for the driven element can be either metal or ceramic be z. As temperature-treated carbon steel, alumina, zirconia, silicon nitride or similar materials.
  • the holder 13 is fixedly attached to or on the surface of the oscillator plate 4.
  • the ends 21 (FIG. 6) of the holder 13 are adhesively fastened to the electrodes 11, 12 by soldering (FIG. 3) or gluing (FIG. 8) by means of a solid epoxy adhesive.
  • FIG. 9 shows an ultrasonic motor according to the invention with an oscillator 1 in the form of a part of a cylindrical shell 31.
  • FIG. 10 shows a construction variant of the motor according to the invention with two driven elements 8, which are connected to each other by a mechanical bridge 23.
  • the driven element 8 can be fixed with respect to the device housing (not shown) by means of the supports 24.
  • the driven element is designed in the form of a guide rail 25.
  • the oscillator 1 with the holder 26, to which the element to be moved is fastened (not illustrated), are arranged in this case so as to be movable with respect to the guide rail.
  • an optical lens 27 is arranged on the driven element 8 (see FIG. 12) in order to produce a device for autofocusing, for example by means of an optical system. B. to create a photo-mobile phone.
  • FIG. 11 shows an electrical wiring diagram of the motor according to the invention with the electrical excitation source 28.
  • the circuit includes a switch 29 for interrupting the supply voltage and a switch 30 for switching the direction of movement of the driven element.
  • the illustrated ultrasonic motor according to the invention has the followinggnacs ⁇ way.
  • the switch 29 (FIG. 13) is actuated, the electrodes 11, 12 of the generator 5 are subjected to the electrical alternating voltage of the electrical excitation source 28.
  • the frequency of the alternating voltage corresponds to the operating frequency of the oscillator 1.
  • the excitation voltage excites the generator 5, whereby an acoustic standing wave arises in the oscillator.
  • the an ⁇ arranged on the long end face of the oscillator and pressed against the friction surface 7 Stosselement 6 starts to oscillate, whereby the driven element 8 is set in motion.
  • the trajectory of the Stossettis can be an ellipse, a circle or a straight line, which forms an angle to the front page. The shape of the trajectory depends on the geometric dimensions of the oscillator, which in turn determine the type of excited standing wave.
  • FIG. 1 The embodiment of the oscillator 1 in the form of a part of the cylindrical shell (FIGS. 5, 9) facilitates the application of the motor according to the invention in devices of a cylindrical shape, for example in objectives.
  • the design of the driven element 8 in the form of a guide rail 25 allows the construction of the motor as a be ⁇ movable carriage shown in Fig. 10.
  • the use of the motor according to the invention in a lens (FIG. 10) or in another such optical device with a plurality of adjustable lenses enables a radial arrangement of each individual motor along the common axis. This simplifies the entire design and reduces the size of the device.
  • a preparation of the holder 13, for example, from beryllium bronze and the driven element 8 of alumina allows the construction of a non-magnetic linear motor.

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen linearen piezoelektrischen Ultraschallmotor mit einem Ultraschalloszillator (1) in Form einer piezoelektrischen Platte (4) oder eines Teils der Zylinderschale (3) mit Generatoren akustischer Schwingungen (5) sowie mit einem in Friktionswirkung mit dem angetriebenen Element (8) stehenden Friktionselement (6), das in einer Halterung angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist die ge­nannte Halterung in Form mindestens einer elastischen Klammer (13) ausgeführt, die das angetriebene Element umfasst und die an dem Ultraschalloszillator befestigt sowie aus einem schallleitenden Material gefertigt ist.

Description

"Linearer Ultraschallmotor"
Beschreibung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf lineare piezoelektrische Ultraschall¬ motoren gemäß Oberbegriff des Patentanspruches 1. Derartige Motoren sind als Antrieb in diversen Geräten der Feinpositionierung gedacht, z. B. zum Ver¬ stellen von optischen Linsen in miniaturisierten Kameraobjektiven, in Mikros¬ kopietischen, zur Positionierung von Schreib-/Leseköpfen in Geräten der Da¬ tenspeicherung sowie in anderen derartigen mechatronischen Geräten.
Aus der EP 0 450 919 Al sind lineare piezoelektrische Ultraschallmotoren be¬ kannt, die nach dem Prinzip der Anregung in einem ellipsenförmigen Resonator (einem geschlossenen Wellenleiter) einer laufenden Welle funktionieren. Der Ultraschalloszillator in Motoren dieser Konstruktion wird aus einem nicht pie¬ zoelektrischen Werkstoff gefertigt. Zur Anregung einer laufenden Biegewelle wird an den Resonator mittels einer Klebeverbindung ein elektromechanischer Energiewandler (piezoelektrisches Element) angebracht. Um eine laufende Welle im Resonator möglichst effektiv anregen zu können, ist es notwendig die akustische Verbindung zwischen dem Resonator und dem Piezoelement im Be¬ zug auf den akustischen Widerstand möglich gut zu gestalten, d.h. der akusti¬ sche Übergangswiderstand zwischen dem piezoelektrischen Element und dem Resonator muss gering sein. Dies erfordert beispielsweise die Verwendung von harten Klebstoffen. Eine großflächige Klebeverbindung zwischen der Piezokera- mik und dem Resonatorwerkstoff ist aber nicht möglich. Aufgrund von unter¬ schiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten beider Werkstoffe kann die Keramik ausbrechen, andererseits erweicht im funktionsbedingten Leistungsbe¬ trieb piezoelektrischer Ultraschallmotoren die Klebstoffschicht unter dem Ultra- schalleinfluss, was zu Erhöhung des akustischen Widerstandes und daraus re¬ sultierenden erhöhten Leistungsverlusten führt. Die im Kontakt mit dem Läufer stehende Seite des Resonators ist mit ausgefrästen Zähnen oder Rippen aus¬ gestattet, die der Verstärkung der tangentialen Komponente der Biegewelle dienen. Derartige Ausfräsungen sind ebenfalls nicht kostengünstig herstellbar. Die bekannten Motoren weisen demnach eine sehr komplizierte Bauweise des Ringoszillators auf und sind für eine Miniaturisierung sowie kostengünstige Massenfertigung nicht geeignet.
Weiterhin sind aus US-PS 5,672,930 lineare Ultraschallmotoren bekannt, die die Anregung einer laufenden Ultraschallwelle in einem Stab-Oszillator (in einem offenen Wellenleiter) nutzen. Nachteilig erweist sich bei diesen Motoren die Tatsache, dass es praktisch unmöglich ist in einem offenen Wellenleiter eine sauber laufende Ultraschallwelle anzuregen. Gleichzeitig mit der Anregung einer laufenden Welle wird in einem offenen Wellenleiter eine symmetrische stehende Welle angeregt, welche das effektive Funktionieren des Friktionskon¬ taktes des Motors negativ beeinträchtigt. Dies führt zu einem starken Erwär¬ men des Friktionskontaktes bzw. des Ultraschallmotors selbst sowie zum Ent¬ stehen eines hohen Geräuschpegels. Außerdem erfordern diese Motoren eine hohe Anregungsspannung, sind ebenfalls teuer in der Fertigung und können nicht miniaturisiert werden.
Die nächstliegende Lösung stellen piezoelektrische Ultraschall-Linearmotoren nach der DE 199 45 042 C2 dar. Bei diesen Ultraschallmotoren werden im pie¬ zoelektrischen plattenförmigen Resonator gleichzeitig eine stehende Longitudi- nal- sowie Biegewelle angeregt. Im Ergebnis der Überlagerung der beiden Wel¬ len erfährt das am Resonator angeordnete Stosselement eine elliptische Bewe¬ gung und überträgt dadurch die Bewegung an ein an das Stosselement ange- presstes kugelgelagertes bewegliches Element. Nachteilig erweist sich in die¬ ser Konstruktion der Einsatz einer relativ teueren Kugellagerung. Bei Verwendung einer Gleitlagerung entstehen Reibverluste in der Lagerung vergleichbar mit der von dem Aktor entwickelten bzw. durch den Friktionskon¬ takt übertragende Nutzkraft. Die notwendige Verwendung von Kugellagern ver¬ kompliziert die Motoren, vergrößert ihren Bauraum und erhöht ihre Herstel¬ lungskosten. Außerdem ist es nicht möglich, bei Verwendung von Stahlkugel¬ lager solche Motoren für nichtmagnetische Anwendungen zu konzipieren.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, die Baugröße von linearen Ultraschallmo¬ toren zu verkleinern sowie deren Wirkungsgrad zu erhöhen. Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt durch die Merkmalskombination nach Patentanspruch 1.
Ausgangspunkt der Erfindung ist ein linearer piezoelektrischer Ultraschallmotor mit einem linearen Gleit-Friktionskontakt zwischen dem angetriebenen Element und seiner Halterung, der die Anregung von Ultraschallschwingungen in der Halterung des angetriebenen Elementes ermöglicht, wobei die Reibung zischen dem angetriebenen Element sowie der Halterung verringert ist.
Bei einem linearen piezoelektrischen Ultraschallmotor mit Ultraschalloszillator in Form einer piezoelektrischen Platte oder eines Zylinderteils mit Generatoren akustischer Schwingungen sowie mit einem in Friktionswirkung mit dem ange¬ triebenen Element stehenden Friktionselement, welches in einer Halterung an¬ geordnet ist, wird die erwähnte Halterung in Form mindestens einer elasti¬ schen Klammer ausgeführt, die das angetriebene Element umfasst. Diese Klammer ist an dem Ultraschalloszillator befestigt und besteht aus einem schalleitenden Material.
Dadurch, dass die Halterung des angetriebenen Elementes an dem Ultraschall¬ oszillator befestigt wird sowie aus einem schalleitenden Material besteht, wer¬ den in der Halterung seitens des Ultraschalloszillators generierte Ultraschall¬ schwingungen intensiv mitangeregt sowie durchgeleitet. Das Vorhandensein von Ultraschallschwingungen in der Halterung ermöglicht eine Verringerung der Reibkraft zwischen dem angetriebenen Element und der Halterung und da¬ durch die ansonsten notwendige Verwendung von linearen Kugellagern. Dies vereinfacht die Konstruktion, verringert die Baugröße sowie die Herstellungs¬ kosten des Motors.
Die Klammer kann in verschiedenen Konstruktionsausführungen des Motors aus einem einen runden Querschnitt aufweisenden Metalldraht oder aus einem ei¬ nen rechteckigen Querschnitt aufweisenden Metallband gefertigt werden. Dies ermöglicht eine bessere Anpassung des akustischen Widerstandes der Klammer an den Ultraschalloszillator sowie eine exakte Einstellung der Anpresskraft des angetriebenen Elementes an den Oszillator des Motors. Außerdem kann in weiteren Motorvarianten das angetriebene Element in Form eines rechteckigen, dreieckigen, runden oder halbrunden Stabes mit einer fla¬ chen Oberfläche gefertigt werden.
Dies ermöglicht die Nutzung unterschiedlicher Herstellungstechnologien des angetriebenen Elementes und dadurch das Erreichen der notwendigen Herstel¬ lungspräzision für die jeweilige Anwendung.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors kann das angetriebene Element als eine feststehende Führungsschiene ausge¬ führt werden, bezüglich derer der Ultraschalloszillator mit der an ihm angeord¬ neten Halterung verschiebbar ist.
Dies erweitert den Einsatzbereich des erfindungsgemäßen Motors, da der Mo¬ tor in Form eines Wagens konzipierbar ist, der entlang einer Führungsschiene beweglich ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen sowie un¬ ter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert.
Hierbei zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Ultra¬ schallmotors
Fig. 2, 3 Seitenansichten des Motors
Fig. 4 eine erste Oszillatorvariante in Form einer piezoelektrischen Platte
Fig. 5 eine zweite Oszillatorvariante in Form eines Teils einer Zylinder¬ schale
Fig. 6 Ausführungsvarianten der Oszillatorhalterung
Fig. 7 Varianten des angetriebenen Elementes
Fig. 8 ein Ultraschallmotor mit Halterungen aus dem Metallband
Fig. 9 ein Motor mit Oszillator in Form eines Teils einer Zylinderschale
Fig. 10 ein Motor mit zwei angetriebenen Elementen
Fig. 11 ein Motor mit feststehenden angetriebenen Elementen
Fig. 12 eine beispielhafte Anwendung des erfindungsgemäßen Motors und Fig. 13 die elektrische Beschaltung des erfindungsgemäßen Motors.
Der in Fig. 1, 2, 3 dargestellte erfindungsgemäße Ultraschallmotor besteht aus dem Ultraschalloszillator 1, der über schalleitenden Unterlagen 3 in einem Trä¬ ger 2 angeordnet ist. Der Ultraschalloszillator 1 ist z. B. als eine piezoelektri¬ sche Platte 4 ausgeführt, die die Generatoren akustischer Schwingungen 5 be¬ inhaltet. An oder auf der piezoelektrischen Platte 4 ist das Friktionselement 6 angeordnet, das mit der Friktionsfläche 7 des angetriebenen Elementes 8 in Friktionswirkung steht.
Gemäß verschiedenen Varianten des erfindungsgemäßen Motors können an der piezoelektrischen Platte 4 ein, zwei oder mehrere Friktionselemente 6 ange¬ ordnet werden, so wie dies aus Fig.4, Pos. 9 oder 10 ersichtlicht ist.
Der Oszillator 1 kann als ein Teil einer Zylinderschale 31 mit an ihr angeordne¬ ten Generatoren 5 sowie mit einem oder zwei Friktionselementen 6 ausgeführt werden, so wie dies in Fig. 5 dargestellt ist.
Die Generatoren akustischer Schwingungen 5 bestehen aus einer Anregungs¬ elektrode 11, einer gemeinsamen Elektrode 12 sowie der dazwischen liegenden piezoelektrischen Keramik der Platte 4.
Das angetriebene Element 8 wird in der speziellen Halterung 13 angeordnet, die in Form einer dieses Element umfassenden Klammer oder eines Bügels aus¬ geführt ist (siehe Fig. 6).
Die Klammer 13 wird aus einem schalleitenden Material hergestellt, z. B. aus einem Metalldraht, Metallband mit einem runden oder rechteckigen Querschnitt (Fig. 6, Pos. 14, 15, 16). Als Material der Halterung 13 kann beispielsweise temperaturbehandelter Stahl oder Bronze verwendet werden.
Das angetriebene Element 8 kann die Form eines Stabes mit dem rechteckigen, dreieckigen, runden, halbrunden Querschnitt aufweisen mit einer Planarober- fläche, so wie dies in Fig. 7, Pos. 17, 18, 19, 20 dargestellt ist. Als Material für das angetriebene Element kann entweder Metall oder Keramik eingesetzt werden z. B. temperaturbehandelter Karbonstahl, Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumnitrid oder ähnlichen Materialien.
Die Halterung 13 wird fest an oder auf der Oberfläche der Oszillatorplatte 4 befestigt. Dazu werden die Enden 21 (Fig.6) der Halterung 13 an die Elektro¬ den 11, 12 durch Löten (Fig. 3) oder Kleben (Fig. 8) mittels eines festen Epo- xidklebstoffes stoffschlüssig befestigt.
In Fig. 9 ist ein erfindungsgemäßer Ultraschallmotor dargestellt mit einem Os¬ zillator 1 in Form eines Teils einer Zylinderschale 31.
Fig. 10 zeigt eine Konstruktionsvariante des erfindungsgemäßen Motors mit zwei angetriebenen Elementen 8, die miteinander durch eine mechanische Brücke 23 verbunden sind.
In einer weiteren Variante des Motors (siehe Fig.11) kann das angetriebene Element 8 mit Hilfe der Halterungen 24 fest in Bezug auf das Gerätegehäuse (nicht dargestellt) angeordnet werden. In dieser Variante ist das angetriebene Element in Form einer Führungsschiene 25 ausgeführt. Der Oszillator 1 mit der Halterung 26, an der das zu bewegende Element befestigt wird (nicht darge¬ stellt), sind in diesem Fall beweglich in Bezug auf die Führungsschiene ange¬ ordnet.
In einer weiteren Konstruktionsvariante des Motors ist an dem angetriebenen Element 8 eine optische Linse 27 angeordnet (siehe Fig.12), um eine Einrich¬ tung zur Autofokussierung, z. B. für ein Photo-Mobilphone zu schaffen.
Fig. 11 zeigt einen elektrischen Beschaltungsplan des erfindungsgemäßen Mo¬ tors mit der elektrischen Anregungsquelle 28. Die Schaltung enthält einen Schalter 29 zum Unterberechen der Versorgungsspannung sowie einen Schalter 30 zum Umschalten der Bewegungsrichtung des angetriebenen Elementes.
Der dargestellte erfindungsgemäße Ultraschallmotor hat folgende Funktions¬ weise. Beim Betätigen des Schalters 29 (Fig. 13) werden die Elektroden 11, 12 des Generators akustischen Schwingungen 5 mit der elektrischen Wechselspannung der elektrischen Anregungsquelle 28 beaufschlagt. Die Frequenz der Wechsel¬ spannung entspricht dabei der Arbeitsfrequenz des Oszillators 1. Die Anre¬ gungsspannung regt den Generator 5 an, wodurch im Oszillator eine akusti¬ sche stehende Welle entsteht. Das an der langen Stirnseite des Oszillators an¬ geordnete und an die Friktionsfläche 7 angepresste Stosselement 6 fängt an zu schwingen, wodurch das angetriebene Element 8 in Bewegung versetzt wird. Die Bewegungsbahn des Stosselementes kann dabei eine Ellipse, ein Kreis oder eine gerade Linie sein, die zu der Stirnseite einen Winkel bildet. Die Form der Bewegungsbahn hängt von geometrischen Abmessungen des Oszillators ab, die ihrerseits die Art der angeregten stehenden Welle bestimmen.
Punkte, die an den Oberflächen der Elektroden 11, 12 liegen, schwingen mit den gleichen Amplituden, wie die darunterliegenden Punkte der Oszillatorplatte 4. Dadurch breiten sich hochfrequente Schwingungen auch in der an den Elek¬ troden 11, 12 befestigten Halterung 13 (siehe Fig. 1 bis 3) aus. Da die Halte- rung 13 aus einem schalleitenden Werkstoff hergestellt ist, stellt sie für Ultra¬ schall einen Wellenleiter dar. Aufgrund der speziell gebogenen Form der Halte¬ rung (siehe Fig.6) sind darin sowohl längs- als auch Biegeschwingungen vor¬ handen. Außerdem findet aufgrund des stufenartigen Übergangs zwischen dem Oszillator 1 und der Halterung 13 findet eine Verstärkung der Schwingamplitu¬ de der Halterung statt. Das Schwingen der Halterung 13 führt zur Verringe¬ rung von Reibverlusten zwischen ihr und dem angetriebenen Element.
Bei den Varianten des Motors mit zwei Friktionselementen, zwei angetriebenen Elementen 8 sowie zwei Halterungen (Fig. 10) (Fig.4 Pos.10) findet eine derar¬ tige Verringerung der Reibkraft in den beiden Halterungen statt.
Bei dem erfindungsgemäßen Motor können verschiedenen Ausführungsformen der angetriebenen Elemente eingesetzt werden. Einige Ausführungsbeispiele sind in Fig. 7 dargestellt. Die Ausführung des Oszillators 1 in Form eines Teils der Zylinderschale (Fig. 5, Fig. 9 erleichtert die Anwendung des erfindungsgemäßen Motors in Geräten zy¬ lindrischer Form z. B. in Objektiven.
Die Ausführung des angetriebenen Elementes 8 in Form einer Führungsschiene 25 ermöglicht die Konstruktion des Motors als ein, in Fig. 10 dargestellter be¬ weglicher Schlitten.
Die Verwendung des erfindungsgemäßen Motors in einem Objektiv (Fig. 10) oder in einem anderen derartigen optischen Gerät mit mehreren verstellbaren Linsen ermöglicht eine radiale Anordnung jedes einzelnen Motors längs der ge¬ meinsamen Achse. Dies vereinfacht die gesamte Konstruktion und verringert die Baugröße des Gerätes.
Eine Herstellung der Halterung 13 beispielweise aus Berylliumbronze sowie des angetriebenen Elementes 8 aus Aluminiumoxid ermöglicht den Aufbau eines nichtmagnetischen linearen Motors.
Funktionstests des erfindungsgemäßen Motors wurden an mehreren Prototypen durchgeführt. So wurde ein Ultraschallmotor mit geometrischen Abmessungen des Oszillators 1 von 18x8x3mm3 sowie einer aus Berylliumbronze hergestell¬ ten Halterung 13 mit einem Durchmesser von 0,5 mm angefertigt. Als ange¬ triebenes Element 8 wurde ein Stab aus gehärtetem Stahl eingesetzt mit einem Durchmesser von 3mm. Für die Anregung wurde eine speziell entwickelte Anre¬ gungsquelle 28 eingesetzt mit einer elektrischen Wechselspannung von 3,6V. Der vom Motor gezogene Strom betrug 0,15 mA. Während der Funktionstests zeigte der Motor eine Funktionsdauer von 660000 Bewegungszyklen bei einem Verfahrweg von 20mm. Die Funktionsdauer des Motors würde hochgerechnet eine Lebensdauer von ca. 18 Jahren bedeuten.
Bezugzeichenliste
1 Ultraschalloszillator
2 Träger
3 schallisolierende Unterlagen piezoelektrische Platte Generator akustischer Schwingungen Friktionselement Friktionsoberfläche des angetriebenen Elementes angetriebenes Element eine die Konstruktion des Oszillators 1 erklärende Abbildung eine die Konstruktion des Oszillators 1 erklärende Abbildung Anregungselektrode gemeinsame Elektrode Halterung des angetriebenen Elementes 8 Konstruktionsvariante der Halterung 13 Konstruktionsvariante der Halterung 13 Konstruktionsvariante der Halterung 13 Konstruktionsvariante des angetriebenen Elementes 8 Konstruktionsvariante des angetriebenen Elementes 8 Konstruktionsvariante des angetriebenen Elementes 8 Konstruktionsvariante des angetriebenen Elementes 8 Enden der Halterung 13 Lötzinntropfen elastische Brücke Halterung der Führungsschiene 25 Führungsschiene Halterung des zu bewegenden Elementes optische Linse Quelle der elektrischen Anregung Schalter Umschalter der Bewegungsrichtung Teil der Zylinderschale

Claims

Ansprüche
1. Linearer piezoelektrischer Ultraschallmotor mit einem Ultraschalloszillator in Form einer piezoelektrischen Platte oder eines Teils einer Zylinderschale eines Piezoelementes sowie Generatoren zur Erzeugung akustischer Schwing¬ ungen und mit einem in Reibkontakt mit dem angetriebenen Element stehen¬ den Friktionselement, d a d u r c h g e ke n n ze i c h n et, d a s s das angetriebene Element (8) von einer Halterung (13) in Form mindestens einer elastischen Klammer oder eines Bügels umgriffen ist, wobei Enden (21) der Halterung (13), an dem Ultraschalloszillator stoffschlüssig befestigt sind und die Halterung (13) aus einem schalleitenden Material besteht.
2. Linearer Ultraschallmotor nach Anspruch 1 d a d u r c h g e ke n n z e i c h n et, d a s s die Halterung (13) aus Metalldraht mit rundem oder einem Metallband mit rechteckigem Querschnitt besteht.
3. Linearer Ultraschallmotor nach Anspruch 1 oder 2 d a d u r c h g e ke n n z e i c h n et, d a s s das angetriebene Element (8) die Form eines Stabes mit rechteckigem, drei¬ eckigem, rundem oder halbrundem Querschnitt aufweist sowie eine ebene Friktionsfläche (7) besitzt.
4. Linearer Ultraschallmotor nach einem der vorangegangen Ansprüche d a d u r c h g e ke n n z e i c h n et, d a s s das angetriebene Element (8) ein feststehendes Führungselement (25) ist, bezüglich dessen der Ultraschalloszillator mit der an ihm angeordneten Hal¬ terung (13) bewegt wird.
PCT/EP2005/003897 2004-11-15 2005-04-13 Linearer ultraschallmotor WO2006050759A1 (de)

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007045525A1 (de) * 2005-10-21 2007-04-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultraschalllinearmotor
DE102007009874A1 (de) * 2007-02-28 2008-09-04 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Linearer Ultraschall-Piezomotor
US7522351B2 (en) 2005-12-09 2009-04-21 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Lens driving device
JP2010041904A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Ind Technol Res Inst 超音波リニアモータ
EP2164120A1 (de) 2008-09-10 2010-03-17 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Ultraschallmotor mit einem Ultraschallaktor in Form eines Teilhohlzylinders
EP1995864A3 (de) * 2007-05-07 2010-04-07 Sharp Kabushiki Kaisha Antriebsvorrichtung
WO2011006987A1 (fr) * 2009-07-17 2011-01-20 Societe Technique Pour L'energie Atomique Technicatome Structure d'actionneurs pas a pas du type chenille
GB2458758B (en) * 2008-03-06 2013-05-01 Nanomotion Ltd Apparatus for moving a body between a first position and a second position
US9082959B2 (en) 2009-11-02 2015-07-14 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Actuator

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004059429B4 (de) * 2004-09-03 2006-07-27 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Linearer Ultraschall-Piezomotor
KR20070090148A (ko) * 2004-09-29 2007-09-05 나노모션 리미티드 카메라 모듈
GB0506358D0 (en) * 2004-09-29 2005-05-04 Nanomotion Ltd Assembly
NL2003141A1 (nl) * 2008-07-30 2010-02-02 Asml Holding Nv Actuator system using multiple piezoelectric actuators.
CN102158120B (zh) * 2011-03-23 2013-12-25 刘勤 径轴向多振子超声波直线电机及其工作方法
CN102142789B (zh) * 2011-04-06 2013-09-18 刘勤 位移放大超声波直线电机及其工作方法
CN102158121B (zh) * 2011-04-07 2013-09-18 刘勤 具有液压位移放大机构的超声波直线电机及其工作方法
UA104667C2 (en) * 2012-09-18 2014-02-25 Сергей Федорович Петренко Piezoelectric motor
DE102013204026B4 (de) * 2013-03-08 2019-08-08 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Aktoranordnung für einen Ultraschallmotor
CN104716864B (zh) * 2014-12-05 2017-01-11 南京航空航天大学 惯性式中型结构的直线压电电机及其控制方法
TWI647901B (zh) * 2017-06-22 2019-01-11 中原大學 線性壓電馬達及其滑台傳動系統
CN108134535B (zh) * 2018-02-05 2023-11-17 无锡工艺职业技术学院 一种振子移动式大推力直线压电电机

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0755054A2 (de) * 1995-07-18 1997-01-22 Nanomotion Ltd Keramischer Motor
WO2001003282A1 (de) * 1999-06-30 2001-01-11 Pi Ceramic Gmbh Piezoelektrischer antrieb, insbesondere halterahmen, friktionselement und schaltungsanordnung
EP1267425A2 (de) * 2001-06-12 2002-12-18 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Piezoelektrisches Stellelement

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4630941A (en) * 1984-02-21 1986-12-23 International Business Machines Corp. Tubular squeeze bearing apparatus with rotational restraint
JPS61154487A (ja) * 1984-12-26 1986-07-14 Canon Inc リニア振動波モ−タ
JPH0327603A (ja) * 1989-06-23 1991-02-06 Alps Electric Co Ltd 自動アンテナ装置
US5616980A (en) * 1993-07-09 1997-04-01 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
FR2709213B1 (fr) * 1993-08-18 1995-10-27 Figest Bv Moteur électrique à éléments vibrants et coupleur élastique.
JPH1080162A (ja) * 1996-08-30 1998-03-24 Honda Electron Co Ltd 超音波リニアモータ
JPH1080163A (ja) * 1996-08-30 1998-03-24 Honda Electron Co Ltd 超音波リニアモータ
US5780956A (en) * 1996-11-12 1998-07-14 Meritor Light Vehicle Systems, Inc. Rotary piezoelectric motor for vehicle applications
JPH10337057A (ja) * 1997-06-02 1998-12-18 Minolta Co Ltd 駆動装置
AU7075298A (en) * 1997-12-15 1999-07-05 Nanomotion Ltd. Conveying means and method
ATE370519T1 (de) * 1999-11-29 2007-09-15 Miniswys Sa Piezoelektrischer antrieb
JP2003033053A (ja) * 2001-07-23 2003-01-31 Minolta Co Ltd 多自由度駆動機構
US7315108B2 (en) * 2005-03-30 2008-01-01 Konica Minolta Opto, Inc. Driving device
CN101160711B (zh) * 2005-12-05 2013-03-20 松下电器产业株式会社 超声波致动器
JP5137406B2 (ja) * 2007-01-11 2013-02-06 キヤノン株式会社 振動型駆動装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0755054A2 (de) * 1995-07-18 1997-01-22 Nanomotion Ltd Keramischer Motor
WO2001003282A1 (de) * 1999-06-30 2001-01-11 Pi Ceramic Gmbh Piezoelektrischer antrieb, insbesondere halterahmen, friktionselement und schaltungsanordnung
EP1267425A2 (de) * 2001-06-12 2002-12-18 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Piezoelektrisches Stellelement

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007045525A1 (de) * 2005-10-21 2007-04-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultraschalllinearmotor
US7973451B2 (en) 2005-10-21 2011-07-05 Physic Instrumente (PI) GmbH & Co., KG Ultrasonic linear motor
US7522351B2 (en) 2005-12-09 2009-04-21 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Lens driving device
DE102007009874A1 (de) * 2007-02-28 2008-09-04 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Linearer Ultraschall-Piezomotor
EP1995864A3 (de) * 2007-05-07 2010-04-07 Sharp Kabushiki Kaisha Antriebsvorrichtung
GB2458758B (en) * 2008-03-06 2013-05-01 Nanomotion Ltd Apparatus for moving a body between a first position and a second position
JP2010041904A (ja) * 2008-08-07 2010-02-18 Ind Technol Res Inst 超音波リニアモータ
TWI408888B (zh) * 2008-08-07 2013-09-11 Ind Tech Res Inst 超音波線性馬達
EP2164120A1 (de) 2008-09-10 2010-03-17 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Ultraschallmotor mit einem Ultraschallaktor in Form eines Teilhohlzylinders
WO2011006987A1 (fr) * 2009-07-17 2011-01-20 Societe Technique Pour L'energie Atomique Technicatome Structure d'actionneurs pas a pas du type chenille
FR2948244A1 (fr) * 2009-07-17 2011-01-21 Technicatome Structure d'actionneurs pas a pas du type chenille
US9082959B2 (en) 2009-11-02 2015-07-14 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Actuator

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JP4477069B2 (ja) 2010-06-09
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